KR20180123170A - 컨택트 시스템 및 컨택트 모듈 - Google Patents

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로젠버거 호흐프리쿠벤츠테흐닉 게엠베하 운트 코. 카게
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Abstract

공압으로 제어되는 적어도 하나의 컨택트 핀(121. 122, 123), 압력 챔버(1), 각 컨택트 핀(121. 122, 123)을 위해 상기 압력 챔버(1)의 하우징(2)에 제공되는 제1 피드스루(37; 37')를 포함하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'')로서, 상기 각 컨택트 핀(121. 122, 123)은, 제1 외부 직경을 가진 제1 섹션(141) 및 상기 제1 섹션(141)에 인접하며 상기 제1 외부 직경보다 더 큰 제2 외부 직경을 가진 제2 섹션(142)을 포함하고, 상기 제1 피드스루(37; 37')는, 제1 내부 직경을 가지며 상기 압력 챔버(1)에서 멀어지는 방향을 향하는 제1 섹션(131; 131') 및 상기 제1 내부 직경보다 큰 제2 내부 직경을 가지며 상기 압력 챔버(1)를 향하는 제2 섹션(132; 132')을 포함하고, 각 컨택트 핀(121. 122, 123)의 상기 제2 섹션(142)은, 상기 제1 피드스루(37; 37')의 제2 섹션(132; 132') 내에서 축을 따라 이동 가능하도록 유도되고, 상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 상기 제1 섹션(141)은 접속을 위해 상기 제1 피드스루(37; 37')의 상기 제1 섹션(131; 131') 내로 통과되고, 해당 제1 피드스루(37; 37') 내 각 컨택트 핀(121, 122, 123)의 특정한 축상 위치는 상기 압력 챔버(1) 내 압력 매체의 특정 압력 레벨에 대응하고, 상기 압력 매체는 온도 제어된다.

Description

컨택트 시스템 및 컨택트 모듈
본 발명은 각각의 경우에 적어도 하나의 전기 신호를 검출하고 전송하기 위해 단일 접속점 또는 접속점 그리드가 연결될 수 있는 적어도 하나의 컨택트 핀을 갖는 컨택트 시스템에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 컨택트 핀을 갖는 단일 컨택트 모듈에 관한 것이다.
종래 기술로서 다수의 컨택트 시스템이 잘 알려져 있다. 컨택트 시스템은 본질적으로 컨택트 핀의 디자인에 따라 3개의 그룹으로 나누어질 수 있다.
- 예를 들어, US 6,624,645 B2에 개시된 스프링(spring) 컨택트 핀을 갖는 컨택트 시스템
- 예를 들어 US 7,55,834 B2에 묘사된 레버 암(lever arms)을 갖춘 컨택트 시스템
- 예를 들어 US 5,324,205 A1에 나타난 버클링 바(buckling bars)를 갖춘 컨택트 시스템
컨택트 시스템에 의해 접촉되는 접속점은, 예를 들어 볼 그리드 어레이 (Ball Grid Array, BGA) 또는 쿼드 플랫 노 리드 패키지 (Quad Flat No Leads Package, QFN)와 같은 집적 회로의 하우징 상에 다양하게 표준화된 구성으로 구현될 수 있다.
이러한 모든 컨택트 핀의 공통적인 구조는 접촉에 필요한 탄성력 또는 편향력(prestressing force)을 구성 요소(스프링 컨택트 핀의 나선형 스프링) 또는 컨택트 핀 전체 (레버 암 또는 버클링 바)의 탄성 변형에 의해 만들어지는 것입니다. 상기 요구되는 접촉력 조건, 스프링 이동성 및 특정 환경에서 구조 역학 법칙을 고려한 안정성을 달성하기 위해 탄성 컨택트 핀은 비교적 큰 크기를 초래할 수 있다.
이것은 다음과 같은 여러가지 단점이 있다.
일반적으로 이미 달성하기 어려운 전체 측정 시스템에 대한 컨택트 핀의 전기적 적응(electrical adaptation: 전기적 적응이란, 고주파 신호의 반사가 최소화된 전송에 요구됨)은 컨택트 핀의 연장으로 인해 더욱 어려워졌다. 이는 송신되는 고주파 신호의 신호 강도에 불리한 영향을 미친다.
또한, 스프링 이동의 각 지점마다 서로 다른 접촉력이 생긴다. 탄성 컨택트 핀의 이러한 비선형성은 보상되어야 할 축 방향 허용 오차(axial tolerances) 예를 들어, 비스듬한 위치로 인한 경우, 접촉 표면 그리드의 마모 또는 평탄도 허용 오차(planarity tolerances)의 경우에 특히 불리한 효과를 갖는다.
예를 들어 탄성 컨택트 핀의 완화로 인한 탄성력의 노화 관련 변동은 큰 비용 지출만으로 보상 될 수 있다.
민감한 접촉점의 경우, 예를 들어 고전류용 또는 산화된 접촉점과 같은 경우에 만약 탄성 컨택트 핀의 접촉력이 조정된다면, 이 것은 오직 어렵기만 할 것이다.
반도체 구성 요소는 종종 번-인(burn-in) 테스트와 같이 극한의 온도 조건에서 테스트된다. 이러한 경우, 탄성 컨택트 핀은 종종 매우 높거나 낮은 온도에 노출되어 열전 도체로서 작용하여 바람직하지 않게 측정 대상물로부터 열을 방출하거나 측정 대상물에 열을 공급한다.
이것은 개선될 필요가 있다.
이러한 기술적 배경에 있어서, 본 발명의 목적은 컨택트 핀을 포함하는 컨택트 모듈 및 각각이 전술 한 단점을 극복하는 적어도 하나의 컨택트 핀을 포함하는 컨택트 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 이러한 목적은 청구항 1의 특징을 갖는 컨택트 시스템 및 청구항 14의 특징을 갖는 컨택트 모듈에 의해 달성된다. 유리한 기술적 확장은 각각의 종속항에 열거된다.
이 목적을 위해, 본 발명에 따른 컨택트 시스템은 공압으로 작동하는 적어도 하나의 컨택트 핀, 압력 챔버 및 상기 압력 챔버의 하우징 내 각 컨택트 핀을 위해 제공되는 제1 피드스루를 가진다.
피드스루는 이하에서 상기 압력 챔버의 하우징 내에서 상기 압력 챔버와 상기 압력 챔버의 외부 공간 사이에서 개구(opening)로 이해된다. 여기 상기 피드스루는 소정의 길이 범위 및 소정의 횡단면 프로파일 또는 길이 범위를 따라 횡단면 프로파일의 진행을 본질적으로 가진다. 상기 길이 범위에 추가로, 상기 피드스루는 세로 방향 범위에 인접한 가로 방향 범위 및/또는 세로 범위 또는 가로 범위에 인접한 추가 범위 및 세로 범위에 대해 임의의 각도로 배향됨을 선택적으로 가질 수 있다.
각 제1 피드스루는 상기 압력 챔버에서 멀어지는 방향을 향하고 제1 내부 직경을 가진 제1 섹션을 가지고, 상기 압력 챔버를 향하고 상기 제1 내부 직경보다 큰 제2 내부 직경을 가진 제2 섹션을 가진다.
상기 각 컨택트 핀은 외부 직경을 가진 제1 섹션(141) 및 상기 제1 섹션(141)에 인접하며 상기 제1 외부 직경보다 더 큰 제2 외부 직경을 가진 제2 섹션(142)을 가진다.
상기 컨택트 핀의 제2 섹션은 상기 제1 피드스루의 제2 섹션에서 축을 따라 이동 가능하도록 유도되고, 상기 제1 피드스루의 상기 제1 섹션 내 상기 컨택트 핀의 상기 제1 섹션과 접속하기 위해 통과되다.
해당 제1 피드스루 내 각 컨택트 핀의 축상 위치는, 압력 챔버의 압력 매체의 압력 레벨에 대응한다.
상기 컨택트 핀의 외부 직경 및 상기 제1 피드스루의 내부 직경이 상기 컨택트 핀의 제1 섹션 또는 상기 제1 피드스루의 제1 섹션에서 상기 컨택트 핀의 제2 섹션 또는 상기 제1 피드스루의 제2 섹션으로 증가한 것 때문에, 상기 제1 피드스루 내 상기 컨택트 핀의 소정의 축상 위치에서 소정의 공간이 상기 제1 피드스루의 제2 섹션 영역의 내부벽, 상기 컨택트 핀의 상기 제1 섹션의 실린더 외측면, 상기 압력 챔버에서 멀어지는 방향을 향하는 상기 컨택트 핀의 제1 섹션의 끝 표면, 상기 압력 챔버를 향하는 제1 피드스루의 제1 섹션의 끝 표면 사이에 형성된다. 상기 압력 챔버의 외부 공간 방향을 상기 컨택트 핀의 축상 이동 동안 상기 공간에 위치한 소정의 압축성 공기는 축을 따라 이동하는 컨택트 핀에 대해 감쇠 효과를 발휘한다. 그러므로 탄성 컨택트 핀은 딱딱한 컨택트 핀으로 유리하게 대체가능하다. 관습적으로 사용된 용수철을 피해 컨택트 핀의 감쇠를 제공하는 공압으로 동작하는 컨택트 핀으로 대체가 가능하다.
컨택트 핀의 목표된 온도 제어를 위해, 시험 대상 집적 회로의 하우징으로 상기 컨택트 핀을 통해 열이 흐르거나 배출되는 것을 방지하기 위해, 본 발명에 따르면 상기 압력 챔버 내 상기 압력 매체는 온도 제어된다. 그러므로 상기 압력 챔버의 압력 매체와 접촉하는 컨택트 핀은 열전달 또는 열대류에 의해 상기 압력 챔버의 온도를 가진다. 그러므로 상기 압력 매체의 온도가 상기 하우징의 온도와 동일할 때, 상기 컨택트 핀을 토한 열공급 또는 열배출이 방지된다.
상기 압력 챔버 내 압력 매체에 직접 접촉하는 컨택트 핀의 영역뿐만 아니라 상기 컨택트 핀의 더 큰 길이 범위를 넘어 열전달에 의한 상기 컨택트 핀의 온도 조절을 구현하기 위해, 본 발명의 바람직한 확장으로 적어도 하나의 에어채널은 상기 컨택트 핀 내에 제공된다. 상기 에어 채널은 상기 압력 챔버를 향하는 컨택트 핀으 끝단으로부터 상기 컨택트 핀의 제2 섹션 내 소정의 길이 범위를 넘어 뻗는다. 상기 각 에어 채널은 이하에서 제1 에어 채널로 언급된다.
상기 제1 에어 채널은 온도 제어된 압력 매체로 채워지고, 적어도 하나의 에어 채널의 길이 범위를 따라 보다 균일하고 보다 빠른 컨택트 핀의 온도 제어로 바람직하게 구현된다.
에어 채널은 여기 및 이하에서 기계적 구성요소 및/또는 서로 인접한 적어도 2개의 기계적 구성요소 사이에서 소정의 횡단면 프로파일 및 소정의 진행을 가진 공간의 의미로 이해된다.
추가로, 에어 채널은 상기 제1 피드스루의 제2 섹션의 내부 공간과 상기 압력 챔버의 외부 공간 사이에 제공되고, 상기 에어 채널은 이하에서 제2 에어 채널로 언급된다.
제1 피드스루의 제2 섹션 내 각 제2 에어 채널의 축상 위치 및 해당 컨택트 핀 내 상기 제1 에어 채널의 길이 범위는 상기 제1 피드스루 영역에서 소정의 위치 내 상기 컨택트 핀의 축상 위치에서 각 제2 에어 채널과 적어도 하나의 제1 에어 채널 사이에 연결되는 방식으로 구성된다. 소정의 위치 영역 내 컨택트 핀의 축상 위치는 상기 컨택트 핀으로부터 시험 대상 집적 회로의 하우징에 접촉되어여야 할 접속점의 다른 거리에 의한 결과이다.
이러한 방식으로, 상기 압력 챔버와 상기 압력 챔버의 외부 공간 사이의 공기 교환은 각 경우에 상기 제1 에어 채널 및 제2 에어 채널을 통해 구현되고, 상기 공기 교환은 상기 압력 챔버 내 압력 매체의 온도 레벨에 대해 열 대류를 통해 가속화된 방법으로 상기 컨택트 핀의 온도를 제어한다.
본 발명의 제1 실시예에서, 각 제1 에어 채널은 각 경우에 바람직하게 상기 컨택트 핀의 제1 섹션의 실린더 외측면에 길이 방향으로 형성된 리세스로 구현될 수 있다. 각 리세스는 상기 압력 챔버를 향하는 컨택트 핀의 끝단으로부터 상기 컨택트 핀의 제2 섹션 내 소정의 길이 범위를 넘어서 뻗어 나간다.
바람직한 본 발명의 제1 실시예의 연장에서, 각 리세스는 상기 압력 챔버에서 멀어지는 방향을 향하는 그 끝단에서 원뿔 또는 절두 원추형 프로파일을 가진다. 그러므로 상기 컨택트 핀은 각 제1 에어 채널 내에서 독립적 크기를 가진 공기 크기를 따라서 상기 제1 피드스루의 중앙에 있다.
본 발명의 제2 실시예에서, 각 제1 에어 채널은 각 제1 에어 채널에 공통되고 상기 컨택트 핀 내 컨택트 핀의 제2 섹션의 길이 방향 내 제1 보어와 상기 컨택트 핀의 제2 섹션에 대해 가로 방향으로 형성된 인접 제2 보어로 구현된다. 마찬가지로 상기 제1 보어는 상기 압력 챔버를 향하는 컨택트 핀의 끝단으로부터 상기 컨택트 핀의 제2 섹션 내 소정의 길이 범위를 넘어서 연장한다.
본 발명에 따른 컨택트 시스템의 제1 예시에서, 각 해당 컨택트 핀의 제1 피드스루는 압력 챔버의 하우징 내 계단식 관통공으로 구현되고, 상기 계단식 관통공은 제1 내부 직경을 가진 제1 섹션 및 제2 직경을 가진 제2 섹션을 가진다. 상기 제1 피드스루 내에서 축을 따라 이동되는 상기 컨택트 핀의 좋은 축상 가이드 측면에서, 제1 슬리브의 부분 섹션은 상기 계단식 관통공의 제2 섹션에 정확하게 맞춘 방식으로 고정된다. 이 목적을 위해, 상기 컨택트 핀은 상기 제1 슬리브 내 제2 섹션에서 축을 따라 이동 가능한 방식으로 유도된다. 상기 제1 예시의 장점은 상기 제1 슬리브가 구성적이고 제조가 비교적 간단한 것이 보인다.
본 발명에 따른 컨택트 시스템의 제2 예시에서, 해당 각 컨택트 핀 내 제1 피드스루는 상기 압력 챔버의 하우징 내 해당 관통공에 정확하게 맞춘 방식으로 고정된 제1 슬리브의 내부 공간으로 구현된다. 상기 제1 슬리브는 차례로 제1 내부 직경을 가진 제1 섹션 및 제2 내부 직경을 가진 제2 섹션을 가진다. 상기 제2 예시의 장점은 제1 슬리브 및 그 안에 연결된 컨택팅 핀이 상기 압력 챔버의 하우징 내 비교적 간단히 설치될 수 있는 분리가능한 컨택트 모듈로 생산될 수 있다는 것이다.
본 발명에 따른 컨택트 시스템의 두 예시에서, 적어도 하나의 개구가 상기 압력 챔버 내에 위치한 제1 슬리브의 제2 섹션의 부분 섹션 내에 제공된다. 상기 제1 슬리브의 제2 섹션의 부분 섹션은 해당 컨택트 핀으로부터 동시에 자유롭게 놓여진다. 상기 압력 챔버 내 위치한 압력 매체와 상기 압력 챔버를 가리키는 컨택트 핀의 끝단 사이에서 직접 연결이 가능하다.
인쇄회로기판에 상기 컨택트 핀에 의해 접속되어야 할 접속점의 전기적 연결을 위해, 신호선은 상기 컨택트 핀 또는 상기 제1 슬리브에 고정된다.
그러므로 상기 제1 슬리브 및 상기 압력 챔버의 하우징 내 해당 컨택트 핀의 보다 나은 고정을 위해, 해당 컨택트 핀으로부터 떨어진 제1 슬리브의 끝단은 각 경우에 바람직하게 상기 압력 챔버의 하우징 내 제3 피드스루에 정확하게 맞춘 방식으로 고정된다.
집적 회로 상 동축 접촉 접속의 접촉 접속에 관해서, 상기 컨택트 시스템의 각 컨택트 핀은 각 컨택트 핀에 대해서 동축으로 배열된 컨택트 부싱에 의해 연장된다. 이 목적을 위해, 제2 피드스루에 동축 배열되고 상기 컨택트 부싱이 내부에서 축을 따라 이동가능한 절연부 및 제2 피드스루는 컨택핀에 대해 주변에 제공된다.
본 발명에 따라 적어도 하나의 컨택트 핀, 바람직하게 다수의 컨택트 핀을 가진 컨택트 시스템에 부가적으로, 내부에서 축을 따라 이동가능하고 공압에 의해 움직이는 제1 슬리브 및 제2 슬리브를 가진 본 발명에 따른 각 컨택트 모듈 역시 커버한다. 상기 제1 슬리브 및 상기 컨택트 핀의 특징은 본 발명에 따른 컨택트 시스템의 해당 특징에 해당한다.
상기 개선 및 개발은 필요에 따라 적절히 결합될 수 있다. 본 발명의 추가적으로 가능한 개선, 개발 및 구현은 예시적인 실시예와 관련하여 이전 또는 이하에서 설명된 본 발명의 특징에서 명시되지 않은 조합 역시 포함한다. 특히, 당업자는 본 발명의 각각의 기본 형태에 대한 개선 또는 보충으로서 개별적인 면을 추가할 수 있다.
본 발명은 아래의 개략적으로 도시된 실시예를 참고하여 더욱 자세히 설명된다.
도 1a은 본 발명의 일 실시예에 따라 컨택트 핀이 수축된 컨택트 시스템의 단면도이다.
도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따라 컨택트 핀이 뻗어 나간 컨택트 시스템의 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 컨택트 모듈의 세로 단면도이다.
도 2b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 컨택트 모듈의 가로 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 컨택트 모듈의 세로 단면도이다.
도 3b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 컨택트 모듈의 가로 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 동축 실시예에 따른 컨택트 모듈의 세로 단면도이다.
도 4b, 4c는 본 발명의 동축 실시예에 따른 컨택트 모듈의 가로 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 컨택트 시스템의 단면도이다.
도 6a는 본 발명의 동축 실시예에 따른 컨택트 시스템의 단면도이다.
도 6b, 6c는 본 발명에 따른 동축 실시예를 위한 하우징 판의 평면도 및 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 컨택트 시스템의 단면도이다.
상기 도면들은 본 발명의 실시예를 더 잘 이해하기 위해 제공된다. 도면들은 설명과 함께 실시예를 도시하고, 본 발명의 원리 및 개념을 설명하는데 도움을 준다. 다른 실시예 및 언급되는 다양한 장점은 도면과 함께 명백해질 것이다. 상기 도면의 구성요소들은 다른 구성과의 관계에서 실제 크기일 필요는 없다.
다른 언급이 없다면, 도면 내 독립되거나, 기능적으로 분리되거나 독립된 동작의 구성 요소 및 구성들은 같은 참조 번호로 언급된다.
구성은 포괄적이고 일관된 방법으로 아래에서 설명된다.
본 발명에 따른 컨택트 시스템(100)의 제1 실시예가 도 1A 및 1B를 참조하여 아래에서 설명된다.
본 발명에 따른 컨택트 시스템은 압력 챔버(1)를 포함한다. 상기 압력 챔버(1)는, 바람직하게는 압박 방식(pressure-tight manner)으로, 하우징(2)에 의해 폐쇄된다. 간단한 구현으로, 상기 하우징(2)은 상부 플레이트(21) 및 하부 플레이트(22)를 가진다. 상부 플레이트(21) 및 하부 플레이트(22)는 컨넥팅 웹(23)을 통해 특정 거리가 서로 떨어진다.
서로 떨어진 2개의 플레이트를 통해 구현된 하우징(2)은 컨택트 시스템의 각 컨택트 핀들이 컨택트 연결 및 단일 집적 회로의 시험을 위해 하나의 표면에 배열된 것처럼 적용하는데 적합하다.
그러나, 본 발명은 각각이 서로 특정하게 결합된 다수의 플레이트들이 하우징 표면 및 각 컨택트 핀을 형성하는 하우징 역시 포함한다. 2이상의 플레이트를 가진 하우징으로, 다수의 집적 회로가 접속될 수 있고 동시에 시험될 수 있다.
상기 하우징(2)으로 사용된 재료 및 개별 부품은 기계적인 내부 하중을 견디는 전기적 절연 재질이 적당하다.
바람직한 예로, 평행한 2개의 플레이트(21, 22)가진 하우징(2)은 상기 웹(23) 사이에 제1 입구(31) 및 제2 입구(32)를 제공한다. 상기 제1 입구(31)를 통해 상기 압력 챔버(1)는 제1 공압 펌프(41)의 제1 압력 제어 밸브(51)를 통해 상기 압력 챔버(1)의 외부 공간보다 증가된 압력 레벨을 가진 제1 또는 제2 압력 레벨을 얻기 위해 특정 부피의 압력 매체(예: 공기)를 공급받는다. 특정 온도 레벨로 상기 압력 매체의 온도를 제어하는 온도 제어기(19)는 상기 제1 공압 펌프(41) 및 상기 제1 압력 제어 밸브(51)와 직렬로 연결된다.
제2 입구(32)는 상기 압력 챔버(1)의 외부 공기보다 감소된 압력 레벨 즉, 음압(negative pressure level)인 제2 압력 레벨로 조정하기 위해 제2 압력 펌프(42) 및 제2 압력 제어 밸브(52)에 의해 상기 압력 챔버(1)에서 특정 부피의 압력 매체를 제거하기 위해 선택적으로 제공된다.
상기 압력 챔버(1)의 하우징(2)은, 도 1A 및 1B에 도시된 것 같이, 상기 하우징(2)의 상부 플레이트(21)에 배열된 적어도 하나(바람직하게 다수)의 제1 관통공(61, 62, 63)을 가진다. 제1 실시예에 따른 컨택트 모듈(71, 72, 73)은 상기 제1 관통공(61, 62, 63) 중 어느 하나에 정확하게 맞춘 방식(precisely fitting manner)으로 고정된다. 상기 컨택트 모듈(71, 72, 73)은 상기 제1 관통공(61, 62, 63)의 반대편에 위치한 즉, 도 1A 및 1B에서 상기 하우징(2)의 하부 플레이트(22)에 위치한 제2 관통공(81, 82, 83)에 정확하게 맞춘 방식으로 추가적으로 고정된다. 이 것은 상기 압력 챔버(1)의 하우징(2) 내 추가적이고 안정적인 컨택트 모듈(71, 72, 73)을 제공한다.
인쇄회로기판(10)의 접속점 또는 접속면으로 유도된 신호선(91, 92, 93, 예: 전선, 케이블 및 기타 전달 요소)은 납땜, 접착, 용점 및 기타 연결 기술에 의해 상기 컨택트 모듈(71, 72, 73)의 단부에 고정된다. 상기 인쇄회로기판(10)은 상기 하우징(2)의 하부 플레이트(22)에 직접 고정된다. 또는, 상기 인쇄회로기판(10)은 상기 압력 챔버(1)에서 떨어진 측정기기에 집적(intergrate)될 수 있다.
도 1A는 상기 각 컨택트 핀(121, 122, 123)이 수축된 상태 즉, 비접촉 상태를 도시한다. 도 1B는 상기 컨택트 핀(121, 122, 123)이 시험대상 직접회로의 하우징(200)에서 해당 접속점(2011, 2012, 2013)과 접촉을 만들도록 뻗은 상태를 도시한다.
본 발명에 따른 컨택트 모듈(7)의 제1 실시예는 도 2A 및 2B의 확대도를 참조하여 상세히 설명된다.
본 발명에 따른 컨택트 모듈(7)의 제1 실시예는 도 1A 및 1B에서 상부 플레이트인 상기 하우징(2)의 플레이트(21)의 제1 관통공(61, 62, 63) 중 하나 또는 도 1A 및 1B에서 하부 플레이트인 상기 하우징(2)의 플레이트(22)의 제2 관통공(81, 82, 83) 중 하나에 정확하게 맞춘 방식으로 고정된 제1 슬리브(11)을 가진다.
컨택트 핀(12)은 상기 제1 슬리브(11)의 내부 공간에서 축을 따라 이동가능한 방식으로 유도되며, 상기 내부 공간은 제1 피드스루(37) 역할을 한다. 제1 피드스루(37) 즉, 상기 제1 슬리브(11)의 내부 공간은 상기 압력 챔버(1)에서 멀어지는 방향을 향하며 접속 상태에서 컨택트 핀의 제1 섹션(141)을 위한 통로 역할을 하는 제1 섹션(131) 및 상기 압력 챔버(1)를 향하는 제2 섹션(132)을 포함하고, 상기 제1 섹션(131)에 인접하고, 상기 제1 섹션(141)에 인접한 컨택트 핀의 제2 섹션(142)이 내부에서 축을 따라 이동가능한 방식으로 유도된다.
바람직하게, 상기 제1 피드스루(37)의 제1 섹션(131) 영역에서 상기 제1 슬리브(11)의 제1 내부 직경은 상기 컨택트 핀(12)의 제1 섹션(141)의 제1 외부 직경보다 약간 크다. 이 것은 상기 컨택트 핀(12)이 방해나 마찰없이 상기 제1 피드스루(37)의 제1 섹션(131)의 영역에서 상기 제1 슬리브(11)의 내부 구경(inner bore)을 통해 슬라이드되는 것을 보장하기 위함이다.
상기 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(132) 영역에서 상기 제1 슬리브(11)의 제2 내부 직경 즉, 상기 제1 피드스루(37)의 내부 직경은 상기 컨택트 핀(12)의 제2 섹션(142)의 제2 외부 직경에 해당한다. 이것은 상기 압력 챔버(1) 내 압력 상승 초기에 상기 압력 챔버(1)에서 외부 공간으로 압력 매체가 누출되는 것을 막기 위함이다.
상기 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(132) 영역에서 상기 제1 슬리브(11)의 내부벽, 상기 컨택트 핀(12)의 제1 섹션(141), 상기 압력 챔버를 향하는 상기 제1 슬리브(11)의 제1 섹션(131)의 그 끝 표면, 상기 제1 피드스루(37)의 제1 및 제2 섹션 사이의 전환 부분 및 상기 압력 챔버에서 멀어지는 방향인 상기 컨택트 핀(12)의 제2 섹션(142)의 그 끝 표면으로 둘러 쌓인 공간(cavity)이 형성된다. 상기 공간은 압축가능한 공기로 채워진다. 상기 컨택트 핀(12)이 접속해야 하는 시험 대상 집적 회로의 하우징 방향으로 축을 따라 이동하는 동안, 상기 공간 내 공기는 더 압축된다. 따라서 상기 공기는 상기 컨택트 핀(12)의 제동(damping) 요소로 동작한다. 그러므로 본 발명에 따른 컨택트 시스템은, 공압으로 동작하는 컨택트 핀을 갖춘 종래 기술에 따른 컨택트 시스템과 달리, 제동 요소로서 스프링을 필요로 하지 않는다.
상기 제1 슬리브(11) 내 상기 컨택트 핀(12)의 축 방향 상승으로 인해 상기 공간 내 공기의 소정의 압축을 넘어, 상기 제1 피드스루(37)의 제1 섹션(131) 영역 내 상기 제1 슬리브(11)와 상기 컨택트 핀(12)의 제1 섹션(141) 사이의 중간 공간의 공기는 상기 압력 챔버(1)의 외부 공간으로 배출될 수 있다.
상기 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(132) 영역에서, 바람직하게 상기 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(132)에서 상기 압력 챔버(1) 내 위치한 일부 영역에서, 상기 제1 슬리브(11)는 방사형이며 안쪽으로 들어간 숄더(15)를 가진다. 상기 숄더(15)는 상기 압력 챔버를 향하는 상기 컨택트 핀(12)의 기계적 제동 역할을 한다.
상기 압력 챔버를 향하는 상기 제1 슬리브(11)의 그 끝 표면(상기 제1 피드스루(37)의 제1 및 제2 섹션 전환 부분)은 상기 압력 챔버에서 멀어지는 상기 컨택트 핀의 기계적 제동 역할을 한다.
상기 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(132) 영역에서 상기 압력 챔버(1) 내 위치한 일부 영역에서, 상기 제1 슬리브(11)는 상기 압력 챔버에 있는 압력 매체가 상기 제1 슬리브(11)의 내부 공간으로 통과하여 상기 압력 챔버를 향하는 컨택트 핀(12)의 끝(17)에 도달하게 하는 적어도 하나(바람직하게 다수)의 개구(16)를 가진다. 그러므로 상기 컨택트 핀(12)은 상기 제1 슬리브(11) 내 소정의 축상 위치를 가지며, 상기 위치는 상기 압력 챔버(1) 내 압력 매체의 압력 레벨(이하 '제1 축상 위치')에 대응한다.
도 1B에 도시된 바와 같이 뻗은 상태에서, 각 컨택트 핀(121, 122, 123)의 제1 섹션(141)은 상기 제1 슬리브(11)를 넘어 돌출되고, 시험 대상 집적 회로의 하우징(200)에 대응하는 접속점(2011, 2012, 2013)에 해당 테스트 프로브(18)가 접촉하게 만든다. 이 압력 레벨은 상기 제1 공압 펌프(41) 및 상기 제1 압력 제어 밸브(51)에 의해 설정된 제1 압력 레벨에 해당한다.
도 1A에 도시된 바와 같이 수축된 상태에서, 상기 컨택트 핀(121, 122, 123)은 상기 제1 슬리브(11) 내에서 상기 제1 축상 위치보다 상기 압력 챔버(1)에 가까운 축상 위치에 있다. 이 위치는 제2 축상 위치로 언급된다. 상기 제2 축상 위치에서, 상기 테스트 프로브(18)는 더 이상 상기 집적 회로의 하우징 내 해당 접속점과 접촉하지 않는다. 상기 컨택트 핀(12)의 제1 섹션(141)은 상기 제1 피드스루(37)의 제1 섹션(131)을 넘어 튀어나오거나, 상기 제1 섹션(131) 내에 위치하거나, 상기 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(132) 내에 위치할 수 있다.
제1 예로, 제2 압력 레벨에 해당하는 압력 레벨은 제1 압력 레벨에 비해 감소되고, 마찬가지로 상기 제1 공압 펌프(41) 및 제1 압력 제어 밸브(51)에 의해 설정된다.
제2 예로, 제2 압력 레벨은 압력 챔버(1)의 외부 공간 압력 레벨에 해당하고, 상기 제1 공압 펌프(41)의 스위치 오프(off)에 의해 및/또는 상기 제1 압력 제어 밸브(51)에 의해 주변 압력으로 제어되는 것으로 구현된다. 제1 예 및 제2 예에서, 상기 컨택트 핀(12)은 중력에 의해 상기 제1 축상 위치에서 제2 축상 위치로 돌아간다. 제3 예로, 상기 제2 압력 레벨은 상기 압력 챔버(1)의 외부 공간 내 주변 압력 대비 상대적 음압(negative pressure level)에 해당한다.
제3 예로, 상기 압력 챔버(1)의 외부 공간 내 주변 압력 대비 상대적 음압은 상기 제2 공압 펌프(42) 및 제2 압력 제어 밸브(52)에 의해 상기 압력 챔버(1)에서 구현될 수 있다. 이 제3 예는 상기 압력 챔버(1)에 대한 컨택트 핀(12)의 위치로 인해 상기 압력 챔버(1) 방향으로 중력에 의해 들어가지 않을 때 특히 사용된다. 예를 들어, 상기 컨택트 핀이 상기 하우징(2) 내 측면 플레이트에 있는 제1 슬리브(11)에서 각각 상기 압력 챔버(1)를 향해 수평 축을 따라 이동가능한 방식으로 설치되거나 또는 상기 컨택트 핀이 상기 압력 챔버(1) 아래에 있는 하부 플레이트(22)의 제1 슬리브(11)에서 축을 따라 이동가능한 식으로 설치된다.
상기 컨택트 핀(12)에서 멀리 떨어진 상기 제1 슬리브(11)의 끝단(18)은 상기 하우징(2), 바람직하게 상기 하우징(2)의 하우징 플레이트(22)의 제3 피드스루(8)에 정확하게 맞춘 방식으로 고정된다. 이 타입의 바람직한 구현으로, 상기 제1 슬리브(11)의 끝단(18)은 폐쇄된다. 신호선(9)는 상술한 연결 기술에 의해 상기 제1 슬리브(11)의 끝단(18)에 고정된다.
다른 구현으로서, 상기 컨택트 핀(12)에서 멀리 떨어진 상기 제1 슬리브(11)의 끝단(36)은 상기 압력 챔버(1)내에서 끝난다. 이 다른 구현에서, 제1 슬리브(11)의 끝단(18)에 고정된 신호선(9)은 상기 하우징(2)에 봉쇄된 구멍(모든 도면에 도시된 것은 아님)을 통해 상기 압력 챔버(1)의 외부 공간으로 유도되고 인쇄회로기판(10)의 접속점에 접촉된다.
상기 테스트 프로브(18)에서 멀어지는 방향을 향하는 상기 컨택트 핀(12)의 끝단(17)이 상기 압력 챔버(1)에서 온도-제어된 압력 매체와 직접 닿음으로 인해, 상기 압력 챔버(1)의 압력 매체와 컨택트 핀(12) 사이에 열이 전달된다. 이 방법으로, 컨택트 핀(12)의 온도는 압력 매체의 온도 제어를 통해 시험 대상 집적 회로의 하우징의 온도 레벨과 같아질 수 있다. 따라서, 집적 회로의 하우징에서 컨택트 핀(12)으로 원치 않는 열의 제거 또는 컨택트 핀(12)에서 집적 회로로 원치 않는 열의 전달은 유리하게 회피될 수 있다.
그러므로 직접회로 또는 직접회로의 하우징은 설정된 테스트 온도에 이상적으로 유지된다. 만약 집적 회로가 예를 들어 번인 테스트(burn-in test)의 경우처럼 수행되는 온도 사이클에서 테스트된다면, 온도 제어기(19)는 상기 압력 매체의 온도를 제어하기 위해 같은 온도 사이클로 동작되어야 한다.
상기 컨택트 핀(12)은 상기 컨택트 핀(12) 내 제공된 적어도 하나의 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)에 의해 압력 챔버(1) 내 압력 매체의 변화된 온도 레벨을 더욱 빠르게 따라간다. 상기 각 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)은 상기 압력 챔버를 향하는 상기 컨택트 핀(12)의 끝단(17)으로부터 상기 컨택트 핀의 제2 섹션(132)의 소정의 길이 범위를 넘어 뻗어 있다.
본 발명에 따라 도 2A 및 2B에 도시된 컨택트 모듈(7)의 제1 실시예에서, 각 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)은 상기 컨택트 핀(12)의 실린더 외부 표면에 리세스(recess)로 구현된다. 각 리세스는 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(132) 영역 내 제1 슬리브(11)의 내벽에 의해 폐쇄된다. 상기 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)의 각 리세스는 서로 등각거리(equidistant angular distances)로 떨어져서 배열된다.
마찬가지로 서로 등각거리로 떨어져서 배열된 다수의 제2 에어 채널(211, 212)은 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(132) 즉, 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(132) 영역 내 제1 슬리브(11)의 내부 공간과 압력 챔버의 외부 공간 사이에 형성된다. 상기 제2 에어 채널(211, 212)의 개수는 상기 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)에 비해 적다. 이로서 제1 슬리브(11) 내 상기 컨택트 핀(12)의 임의의 방향성 및 해당 제1 슬리브(11) 내 컨택트 핀(12)의 소정의 축 위치에서 각 제2 에어 채널(211, 212)은 적어도 하나의 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)과 적어도 일부가 연결되는 것이 보장된다.
이 방식에서, 압력 챔버(1)및 압력 챔버(1)의 외부 공간 사이에서 제2 에어 채널(211, 212)의 개수에 해당하는 최소한 직접적 공기 연결이 있다.
컨택트 핀(12)의 접속 상태에서, 해당 제1 슬리브(11) 내에서 상기 컨택트 핀(12)의 축상 위치는 상기 컨택트 시스템에 대한 집적 회로의 하우징 위치에 의존하고 특정 영역에 따라 달라질 수 있다. 결과적으로, 상기 컨택트 핀(12)의 상기 제2 섹션(142) 내 각 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)의 길이 방향 범위 및 상기 제1 피드스루(37)의 상기 제2 섹션 내 상기 제1 슬리브(11)를 통하는 상기 제2 에어 채널(211, 212)의 축상 위치는 각 제2 에어 채널 및 적어도 하나의 제1 에어 채널 사이에 구현된 직접적 연결 방식에 의해 구성될 수 있다. 특히, 상기 컨택트 핀(12)의 상기 제2 섹션(142) 내 각 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)의 길이 방향 범위은 충분한 길이로 설계되어야 한다.
각 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)과 연관된 제2 에어 채널(211, 212) 사이의 직접적 공기 연결에 의해, 압력 챔버(1) 및 압력 챔버(1)의 외부 공간 사이의 온도-제어된 압력 매체의 공기 흐름이 발생한다. 상기 공기 흐름은 상기 온도-제어된 압력 매체와 상기 컨택트 핀(12) 사이에서 컨택트 핀(12)의 가속된 온도 제어를 압력 매체의 온도 레벨로 보내는 열 대류를 추가적으로 일으킨다. 상기 열 대류는 상기 컨택트 핀(12) 내 각 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)의 총 길이 방향 범위를 넘어간다.
도 3A 및 3B는 본 발명에 따른 컨택트 모듈(7')의 제2 실시예를 도시한다. 제1 실시예와 동일한 구성은 동일한 참조번호를 가지고 있고, 반복적인 설명은 생략한다.
본 발명에 따른 컨택트 모듈(7')의 제2 실시예에서, 상기 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)은 각각에 공동으로 상기 컨택트 핀(12)의 길이 방향인 제1 보어홀(22) 및 각각이 상기 컨택트 핀의 가로 방향인 제2 보어홀(221, 222, 223, 224)로 구현된다.
상기 공동 제1 보어홀(22)은 상기 컨택트 핀의 내부, 바람직하게 상기 컨택트 핀(12)의 제2 섹션(142) 내 소정의 길이 범위를 넘어 상기 압력 챔버를 향하는 컨택트 핀(12)의 끝단(17)에서부터 컨택트 핀(12)의 중심에 형성된다. 상기 제1 보어홀(22)의 이 길이 범위의 끝에서, 바람직하게 등각거리로 배열된 다수의 제2 보어홀(221, 222, 223, 224)은 상기 컨택트 핀(12)의 내부에서 외측면으로 이끈다.
상기 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(132)와 상기 압력 챔버(1)의 외부 공간 사이에서 상기 제1 슬리브(11) 내 제2 에어 채널(211, 212)은 바람직하게 상호 등각거리로 배열된다. 마찬가지로 제2 에어 채널(211, 212)의 개수는 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)에 비해 적다. 이로서 제1 슬리브(11) 내 상기 컨택트 핀(12)의 임의의 방향성 및 해당 제1 슬리브(11) 내 컨택트 핀(12)의 소정의 축 위치에서 각 제2 에어 채널(211, 212)은 적어도 하나의 제2 보어홀(231, 232, 233, 234)과 적어도 일부가 연결되는 것이 마찬가지로 보장된다. 이 방식에 마찬가지로, 압력 챔버(1)및 압력 챔버(1)의 외부 공간 사이에서 제2 에어 채널(211, 212)의 개수에 해당하는 최소한 직접적 공기 연결이 있다.
바람직하게 상기 각 제2 보어홀(231, 232, 233, 234)은 타원형 단면 프로파일을 가지고, 상기 타원형 단면 프로파일의 장축(longer axis)은 상기 컨택트 핀(12)의 길이 방향으로 연장되고, 상기 타원형 단면 프로파일의 단축(shorter axis)은 상기 컨택트 핀(12)의 둘레 방향으로 연장된다.
이로서 컨택트 시스템으로부터 접속되어야 할 접속점의 거리차가 다른 경우에 상기 제1 슬리브(11) 내 컨택트 핀(12)의 다른 축상 위치에서, 공기 연결은 각 제2 에어 채널(211, 212)과 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)의 적어도 하나의 제2 보어홀(231, 232, 233, 234) 사이에 각각의 경우에 항상 구현되는 것이 보장된다.
본 발명에 따라 집적 회로의 하우징에 동축 접촉(coaxial contact)된 접촉 연결을 위한 컨택트 핀 및 컨택트 부싱을 가진 컨택트 모듈(7'')의 제3 실시예가 도 4A, 4B 및 4C를 참조하여 아래에서 설명된다.
상기 컨택트 핀(12)에 관련된 외형 및 집적 회로의 하우징의 단일 접속점과 접속하기 위해 본 발명에 따라 도 2A, 2B, 3A 및 3B에서 각각 표현된 컨택트 모듈 실시예의 외형에 해당하는 제1 슬리브(11)은 이하에서 반복하여 설명되지 않는다.
절연부(24) 및 제2 피드스루(25)는 상기 제1 슬리브(11)에 대해 동축 배열된다. 상기 제2 피드스루(25)는 제2 슬리브(26)와 절연부(24) 사이에 슬리브 모양의 중간 공간으로 설계된다. 컨택트 부싱(28)은 상기 제2 피드스루(25) 안에서 축을 따라 이동 가능한 방식으로 유도된다.
상기 압력 챔버(1)에서 멀어지는 방향을 향하는 상기 제2 피드스루(25)의 제1 섹션(271)에서, 상기 제2 슬리브(26)는, 바람직한 조성으로,
상기 압력 챔버(1)를 향하는 제2 피드스루(25)의 제2 섹션(272)에서 제1 내부 직경 및 상기 제1 내부 직경보다 큰 제2 내부 직경을 가진다.
이 컨택트 부싱(28)은 상기 압력 챔버(1)에서 멀어지는 방향의 제1 섹션(291) 및 상기 제1 섹션(291)에 인접한 제2 섹션(292)을 가진다. 상기 제1 섹션(291)의 외부 직경은 상기 제2 섹션(292)의 외부 직경보다 작다.
상기 컨택트 부싱(28)의 제2 섹션(292)의 외부 직경은 상기 제2 피드스루(25)의 제2 섹션(272) 내 상기 제2 슬리브(26)의 내부 직경에 대응한다. 도 4A, 4B 및 4C에 도시된 본 발명에 따른 컨택트 모듈(7'')의 변형 예로, 상기 컨택트 모듈(7'')의 제1 섹션(291)의 외부 직경은 상기 제2 피드스루(25)의 제1 섹션(271) 내 제2 슬리브(26)의 내부 직경에 대응한다.
상기 제1 슬리브(11) 내 제공된 개구(16)의 높이 즉, 상기 압력 챔버(1) 내 위치한 상기 컨택트 모듈(7'')의 부분 영역에서, 개구(30) 또한 상기 제2 슬리브(26) 내에 제공된다. 바람직하게 상기 제1 슬리브(11) 내 개구(16)의 개수는 상기 제2 슬리브(26) 내 개구(30)의 개수에 대응한다. 추가로, 상기 제1 슬리브(26) 내 개구(30)는 상기 압력 챔버(1)를 향하는 상기 컨택트 핀(12)의 끝단(17)과 상기 압력 챔버(1)를 향하는 컨택트 부싱(28)의 끝단(31)과 동일한 방식으로 상기 압력 챔버(1) 내에 위치한 압력 매체를 유도하기 위해 제1 슬리브(11) 내 개구(16)로서 바람직하게 같은 위상 위치(same phase position)에 배열된다.
상기 절연부(24)는 상기 제1 피드스루(37)의 상기 제2 섹션(132) 영역 내 제1 슬리브(11)를 통하는 상기 제2 에어 채널(211, 212)만큼 길게 상기 제1 슬리브(11) 내 개구(16)로부터 제1 피드스루(37) 및 제2 피드스루(25)의 길이 방향으로 연장한다. 오직 상기 제1 슬리브(11)의 개구(16) 또는 제2 슬리브(26)의 개구(30)와 상기 압력 챔버(1)를 향하는 컨택트 부싱(28)의 끝단(31) 사이 영역에서, 상기 절연부(24)는, 도 4B에서 나타난 바와 같이, 제1 슬리브(11) 및 제2 슬리브(26) 각각을 지지하기 위해 제1 슬리브(11) 및 제2 슬리브(26) 사이를 횡방향으로 연장한다.
바람직하게 등각거리로 배열된 다수의 통로(321, 322, 323, 324)는 상기 제2 슬리브(26)의 개구(30)와 상기 압력 챔버(1)를 향하는 컨택트 부싱(28)의 끝단(31) 사이의 영역 내 절연부(24)에서 제공되어, 압력 매체는 상기 압력 챔버(1)에서부터 상기 제2 슬리브(26) 내 개구(30)를 통해 상기 압력 챔버(1)를 향하는 컨택트 부싱(28)의 끝단으로 이동할 수 있다. 바람직하게 상기 통로(321, 322, 323, 324)는 슬롯으로 설계된다. 또는, 상기 통로(321, 322, 323, 324)를 위한 다른 횡단면 프로파일이 구현될 수 있다. 통로(321, 322, 323, 324)의 개수는 적정하게 선택될 수 있다.
상기 컨택트 핀(12)의 경우와 마찬가지로 유사하게, 압축 가능한 공기로 찬 공간이 상기 제2 피드스루(25)의 제2 섹션(272) 내 제2 슬리브(26)의 내부벽, 상기 컨택트 부싱(28)의 제1 섹션(291)의 외부 실린더 외측면, 상기 압력 챔버를 향하는 제2 슬리브(26)의 끝단이면, 상기 제2 피드스루(25)의 제1 섹션 및 제2 섹션의 전환 부분, 및 상기 압력 챔버에서 멀어지는 방향을 향하는 컨택트 부싱(28)의 제2 섹션(292)의 끝단이면 사이에 형성된다. 이 공기의 압축성은 용수철의 감쇠 효과를 구현하여, 본 발명에 따른 컨택트 부싱(28)은 그것이 필요하지 않다.
접속되어야 하는 집적 회로의 하우징의 상기 접속점 방향으로 상기 컨택트 부싱(28)의 추가적인 축상 이동동안 상기 공간에 위치한 공기의 상기 압력 챔버(1)의 외부 공간으로 배출은, 도 4C에 도시된 바와 같이, 상기 제2 피드스루(25)의 제1 섹션(271)의 영역 내 제2 슬리브 내 적어도 하나의 통로(331), 바람직하게 다수의 통로(331, 332)를 통해 이행된다.
추가적인 실시예로, 상기 제2 슬리브(26)은 상기 제2 피드스루(25)의 제2 섹션(272)로 제한된다. 분리된 제3 슬리브가 상기 제2 피드스루(25)의 제1 섹션(271)의 영역 내에 제공된다. 상기 제3 슬리브는 앞서 언급된 상기 제2 피드스루(25)의 상기 제1 섹션(271)의 영역 내 상기 제2 슬리브(26)와 동일한 기하학과 동일한 형상을 가진다. 상기 제3 슬리브는
억지끼움, 접합 또는 나사를 통해 제2 슬리브(26) 및/또는 상기 압력 챔버(1)의 하우징(2) 내 각각의 관통공(61, 62, 63)의 내부벽에 연결된다.
상기 압력 챔버(1)의 온도 레벨에 대한 상기 컨택트 부싱(28)의 온도 제어는 우선, 상기 제2 슬리브(26) 내 압력 매체로부터 상기 압력 챔버를 향하는 컨택트 부싱(28)의 끝단(31)에서 컨택트 부싱(28)으로 열 전달 방법을 통해 발생한다. 한편, 상기 컨택트 부싱(28)은 상기 컨택트 핀(12)의 각 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)을 통하고 제2 에어 채널(211, 212)을 통하고 상기 제1 슬리브(11)를 통하여 유도된 공기 흐름에 의해 추가적으로 온도 제어되고, 상기 컨택트 부싱(28)의 제1 섹션(291)의 내부벽을 따라 전도(conducted)된다.
본 발명에 따른 컨택트 시스템(100')의 제2 실시예가 도 5를 참조하여 아래에서 설명된다.
상기 압력 챔버(1)의 하우징(2)에서, 관통공(61', 62', 63')은 각각의 컨택트 핀(121, 122, 123)을 위해 제공되고, 관통공의 내부 공간은 해당 컨택트 핀(121, 122, 123)을 제1 피드스루(37')을 제공한다. 상기 각 제1 피드스루(37') 즉, 관통공(61', 62', 63')의 내부 공간은 상기 압력 챔버에서 멀어지는 방향을 향하는 제1 섹션(131')을 가지고, 보다 작은 직경을 가지고, 상기 압력 챔버를 향하는 제2 섹션(132')를 가지며, 보다 큰 내부 직경을 가진다.
그러므로 각 관통공(61', 62', 63')은 우선 계단식 관통공으로 구현될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 다른 구현은 상기 제1 피드스루(37')의 제2 섹션(132')의 내부 직경에 대응하는 보다 큰 내부 직경을 가진 관통공 및 상기 제1 피드스루(37')의 제1 섹션(131')의 내부 직경에 대응하는 보다 작은 내부 직경을 가진 제3 슬리브(38)를 가진다. 상기 제3 슬리브(38)은 상기 압력 챔버에서 멀어지는 방향을 향하는 각 관통공의 끝단에 있는 관통공에 정확하게 맞춘 방식으로 고정된다. 예를 들어, 상기 제3 슬리브(38)은 억지끼움, 접합 또는 나사를 통하여 각 관통공에 고정된다.
제1 슬리브(11')의 제2 실시예의 부분 영역은 상기 압력 챔버를 향하는 제1 피드스루(37')의 제2 섹션(132')의 일부 영역 즉, 관통공에 정확하게 맞춘 방식으로 고정된다. 상기 제1 슬리브(11')의 제2 실시예는 시험 대상 집적 회로의 하우징 방향으로 개방된 슬리브이고, 상기 압력 챔버(1) 방향으로 상기 제1 슬리브(11)의 제1 실시예에 대응한다. 상기 제1 슬리브(11)의 제1 실시예에 비슷하게, 상기 컨택트 핀(12)는 상기 제1 슬리브(11') 내에서 축을 따라 이동가능한 방식으로 유도되다.
그러므로 상기 제3 슬리브(38)의 내부 공간은 집적 회로의 하우징에 접속점과 접촉 접속을 위한 컨택트 핀(12)을 위한 출구를 제공하는 제1 피드스루(37')의 제1 섹션(131')을 형성한다. 상기 제3 슬리브(38)에 의해 차지되지 않은 관통공의 일부 영역 및 상기 제1 슬리브(11')의 내부 공간은 축을 따라 이동 가능한 방식으로 유도되는 상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 일부인 제1 피드스루(37')의 제2 섹션(132')을 함께 형성한다.
각 컨택트 핀(121, 122, 123)은 상기 압력 챔버를 향하는 끝단(17)으로부터 소정의 길이 범위를 넘는 각 컨택트 핀(121, 122, 123)의 제2 섹션(142)의 실린더 외측면에 리세스(recess)로 구현된 다수의 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)을 가진다. 상기 압력 챔버로부터 멀어지는 방향을 향하는 그들의 끝단에서, 상기 각 리세스는 원추형 또는 절두 원추형 디자인이다. 상기 제1 에어 채널(201, 202, 203, 204)을 통하는 공기 흐름은 상기 제3 슬리브(38)에 통로로 구현된 제2 에어 채널을 통해 균일하게 흐른다. 이 방식으로, 첫번째 상기 제1 피드스루(37') 내 각 컨택트 핀(121, 122, 123)의 중심이 구현된다. 두번째 상기 압력 매체의 온도 레벨에 대한 각 컨택트 핀(121, 122, 123)의 가속화된 온도 제어는 열 대류를 통해 구현된다.
도 6A, 6B 및 6C는 본 발명에 따른 컨택트 시스템(100'')의 제3 실시예를 도시한다. 상기 압력 챔버(1)의 하우징(2)에서, 제1 관통공(61'', 62'', 63'')은 각 컨택트 모듈(71''', 72''', 73''')을 위해 제공된다. 상기 관통공은 본 발명에 따른 컨택트 시스템(100'')의 제2 실시예에 표현된 제1 관통공(61', 62', 63')에 구조적으로 대응한다. 본 발명에 따른 컨택트 시스템(100'')의 제3 실시예의 제1 관통공(61'', 62'', 63'')은 각각이 컨택트 핀 및 컨택트 부싱을 구성된 컨택트 모듈(71''', 72''', 73''')을 위해 사용되므로 보다 큰 직경을 가지며, 상세한 설명은 이 시점에서 생략되고, 본 발명에 따른 컨택트 시스템(100'')의 제2 실시예에서 제1 관통공(61', 62', 63')에 해당하는 설명이 참조된다. 상기 압력 챔버(1)의 외부 배선 역시 본 발명에 따른 컨택트 시스템의 제1 및 제2 실시예에 비교하여 제3 실시예에서 변경되지 않으므로, 상세한 설명은 여기서 생략하고 이와 관련된 제1 및 제2 실시예에 대한 설명이 참조된다.
본 발명에 따른 컨택트 시스템(100'')의 제3 실시예에서 사용된 컨택트 모듈(71''', 72''', 73''')의 제3 실시예는 도4A 내지 4C에 따른 컨택트 모듈(7'')의 제2 실시예와 유사한 컨택트 핀 및 컨택트 부싱을 가지므로, 차이점만 이하에서 설명된다.
제3 실시예의 각 컨택트 모듈(71''', 72''', 73''')은 해당 계단식 관통공(61'', 62'', 63'')에 정확하게 맞춘 방식으로 고정된다.
상기 계단식 관통공(61'', 62'', 63'')과 해당 컨택트 모듈(71''', 72''', 73''') 사이의 중간 공간은 제2 피드스루(25')를 형성한다. 도 6C를 따르면, 제2 피드스루(25')는 상기 압력 챔버에서 멀어지는 방향을 향하는 제1 섹션(271')을 가지고, 제1 내부 직경을 가지고, 상기 압력 챔버를 향하는 제2 섹션(272')을 가지고, 제1 내부 직경보다 큰 제2 내부 직경을 가진다.
도 6B에 따르면, 바람직하게 등각거리로 배열되고 상기 제2 피드스루의 길이 방향으로 형성된 다수의 리세스(341, 342)는 상기 제2 피드스루(25')의 제1 섹션(271') 영역 내 계단식 관통공(61'', 62'', 63'')의 실린더 내부벽에 제공된다. 상기 리세스는 상기 제2 슬리브(26), 상기 컨택트 부싱(28)의 제1 섹션(291), 상기 압력 챔버에서 멀어지는 방향을 향하는 컨택트 부싱(28)의 제2 섹션(291)의 끝단, 상기 압력 챔버를 향하는 각 계단식 관통공(61'', 62'', 63'')의 저 끝표면, 상기 제2 피드스루(25')의 제1섹션과 제2 섹션 사이의 전환 부분 사이의 공간에 위치한공기를 상기 압력 챔버(1)의 외부 공간으로 배출을 허용한다.
각 컨택트 모듈(71', 72''', 73''')의 제2 슬리브(26)은 상기 제2 피드스루(25')의 영역 내 계단식 관통공(61'', 62'', 63'')에 완전히 맞춰진다.
상기 컨택트 부싱(28)은 해당 제2 피드스루(25') 내에서 축을 따라 이동 가능하다.
본 발명에 따른 컨택트 모듈(71''', 72''', 73''')의 제3 실시예에서, 상기 컨택트 부싱(28) 방향의 개구(30)에 추가하여, 추가 개구(35)가 상기 제2 슬리브(26) 내에 제공된다. 상기 추가 개구(35)는 절연부(24)의 사용을 허용하므로, 통로(321, 322, 323, 324)가 상호 지원을 위해 상기 제1 슬리브(11) 및 제2 슬리브(26)의 영역에서 필요하지 않다.
본 발명에 따른 컨택트 모듈(71''', 72''', 73''')의 제3 실시예에서 남은 특징은 본 발명에 따른 컨택트 모듈의 제2 실시예(72'')에 대응하므로, 이하에서 상세한 설명은 하지 않는다.
이 시점에서, 동축 접촉 접속을 갖춘 실시예의 경우, 상기 하우징(2)은 전기적 절연 물질로 구성될 뿐만 아니라, 바람직하게 전기적 전도체 물질이여야 함이 분명해져야 한다. 물질의 선택에 있어서, 각 컨택트 부싱을 위한 공동 접지는 상기 하우징(2) 전체를 통해 구현될 수 있다.
도 7은 도 4A 내지 4C에 따라 동축 설계된 컨택트 모듈(7'')에 사용될 수 있는 본 발명에 따른 컨택트 시스템(100''')의 추가 실시예를 도시한다. 또한, 본 발명에 따른 컨택트 시스템(100''')의 추가 실시예는 도 6A 내지 6C에 도시된 동축 접촉 접속에도 사용가능 하다.
상기 압력 챔버(1)는 추가 하우징 플레이트(24)의 상호연결에 의해 2개의 압력 챔버(11, 12)로 나누어 진다. 이 것을 위해, 상기 추가 하우징 플레이트(24)는 각 동축 컨택트 모듈(7'')을 위한 적당한 치수 및 위치의 구경을 가질 수 있다. 이 경우 각 압력 챔버(11, 12)는 압력 매체의 공급 및 배출을 위한 각각 분리된 제1 입구(311, 321) 및 제2 입구(312, 322)를 가진다.
이 방식에서, 압력 매체를 위한 특정 압력 레벨은 각 압력 챔버(11, 12)에 각 경우에 따라 설정될 수 있다. 그러므로 각 컨택트 핀은 시험 대상 집적 회로의 하우징의 접속점에 해당 컨택트 부싱보다 다른 접촉 압력으로 압박될 수 있다. 만약 컨택트 핀이 해당 접속점의 두꺼운 산화 현상 때문에 산화층을 뚫기 위해 높은 접촉 압력이 필요한 경우, 특별히 요구된다.
비록 본 발명은 바람직한 실시예 참조와 함께 위에서 충분히 설명되었지만, 다양한 반향으로 수정되는 것을 제한하지 않는다.
1 : 압력 챔버(Pressure chamber)
2: 하우징(Housing)
21, 22 : 상부 플레이트 및 하부 플레이트(Upper plate and lower plate)
31, 32 : 제1 입구 및 제2 입구(First and Second access)
41, 42 : 제1 및 제2 공압 펌프(Pneumatic pump)
51, 52 : 제1 및 제2 압력 제어 밸브(Pressure control valve)
61, 62, 63 : 제1 관통공(First throughbore)
61', 62', 63' : 제1 관통공(First throughbore)
7, 71, 72, 73 : 제1 실시예에 따른 컨택트 모듈(First embodiment of a contact module)
7´ : 제2실시예에 따른 컨택트 모듈(Second embodiment of a contact module)
7´´ : 제3 실시예에 따른 컨택트 모듈(Third embodiment of a contact module)
81, 82, 83 : 제2 관통공(Second throughbore)
91, 92, 93 : 신호선(Signal lines)
10 : 인쇄회로기판(Printed circuit board)
11 : 제1 슬리브(First sleeve)
12, 121, 122, 123 : 컨택트 핀(Contact pins)
131, 132 : 제1 피드스루의 제1 섹션(First section of first feedthrough)
131', 132' : 제1 피드스루의 제2 실시예에 따른 제1 섹션 및 제2 섹션(First and second section of a second embodiment of a first feedthrough)
141, 142 : 컨택트 핀의 제1 섹션 및 제2 섹션(First and second section of a contact pin)
15 : 숄더(Shoulder)
16 : 개구(Opening)
17 : 압력 챔버를 향하는 컨택트 핀의 끝단(End of the contact pin facing the pressure chamber)
18 : 테스트 프로브(Test probe)
19 : 온도 제어기(Temperature controller)
201, 202, 203, 204 : 제1 에어 채널(First air channel)
211, 212 : 제2 에어 채널(Second air channel)
22 : 제1 보어홀(First borehole)
231, 232, 233 : 제2 보어홀(Second borehole)
24 : 절연부(Insulating part)
25 : 제2 피드스루의 제1 실시예(First embodiment of a second feedthrough)
25´ : 제2 피드스루의 제2 실시예( Second embodiment of a second feedthrough)
26 : 제2 슬리브(Second sleeve)
271, 272 : 제1 실시예에 따른 제2 피드스루의 제1 및 제2 섹션( First and second section of a first embodiment of a second feedthrough)
271´, 272´: 제2 피드스루의 제2 실시예에 따른 제1 섹션 및 제2 섹션(First and second section of a second embodiment of a second feedthrough)
28 : 컨택트 부싱(Contact bushing)
291, 292 : 컨택트 부싱의 제1 및 제2 섹션(First and second section of the contact bushing)
30 : 개구(Opening)
31 : 압력 챔버를 향하는 컨택트 부싱의 끝단(End of the contact bushing facing the pressure chamber)
321, 322, 323 : 절연부 내 통로(Passages in the insulator part)
331, 332 : 제2 피드스루의 제1 섹션의 영역 내 제2 슬리브 내 통로(Passages in the second sleeve in the region of the first section of the second feedthrough)
341, 342 : 제2 피드스루의 제1 섹션 영역에서 계단식 관통공 내 리세스(Recesses in the stepped throughbores in the region of the first section of the second feedthrough)
35 : 추가 개구(Additional openings)
36 : 테스트 프로부로부터 떨어진 컨택트 핀의 끝단(End of the contact pin remote from the test probe)
37 : 제1 피드스루의 제1 실시예(First embodiment of a first feedthrough)
37´ : 제1 피드스루의 제2 실시예(Second embodiment of a first feedthrough)
38 : 제3 슬리브(Third sleeve)
200 : 집적 회로의 하우징(Housing of the integrated circuit)
2011, 2012, 2013 : 집적 회로의 하우징의 접속점(Contact points on the housing of the integrated circuit)

Claims (20)

  1. 공압으로 제어되는 적어도 하나의 컨택트 핀(121. 122, 123), 압력 챔버(1), 각 컨택트 핀(121. 122, 123)을 위해 상기 압력 챔버(1)의 하우징(2)에 제공되는 제1 피드스루(37; 37')를 포함하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'')로서,
    상기 각 컨택트 핀(121. 122, 123)은, 제1 외부 직경을 가진 제1 섹션(141) 및 상기 제1 섹션(141)에 인접하며 상기 제1 외부 직경보다 더 큰 제2 외부 직경을 가진 제2 섹션(142)을 포함하고,
    상기 제1 피드스루(37; 37')는, 제1 내부 직경을 가지며 상기 압력 챔버(1)에서 멀어지는 방향을 향하는 제1 섹션(131; 131') 및 상기 제1 내부 직경보다 큰 제2 내부 직경을 가지며 상기 압력 챔버(1)를 향하는 제2 섹션(132; 132')을 포함하고,
    각 컨택트 핀(121. 122, 123)의 상기 제2 섹션(142)은, 상기 제1 피드스루(37; 37')의 제2 섹션(132; 132') 내에서 축을 따라 이동 가능하도록 유도되고,
    상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 상기 제1 섹션(141)은 접속을 위해 상기 제1 피드스루(37; 37')의 상기 제1 섹션(131; 131') 내로 통과되고,
    해당 제1 피드스루(37; 37') 내 각 컨택트 핀(121, 122, 123)의 특정한 축상 위치는 상기 압력 챔버(1) 내 압력 매체의 특정 압력 레벨에 대응하고,
    상기 압력 매체는 온도 제어되는 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 피드스루(37; 37')의 상기 제2 섹션(132; 132')과 상기 압력 챔버(1)의 외부 공간 사이에 제공되는 적어도 하나의 제2 에어 채널(211, 212);를 더 포함하고,
    상기 제2 에어 채널(211, 212)은,
    상기 해당 제1 피드스루(37; 37') 내 상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 특정한 축상 위치가 적어도 하나의 제1 에어 채널(201, 202, 203)과 연결되고,
    상기 압력 챔버(1)를 향하는 컨택트 핀(121, 122, 123)의 끝단(18)에서 상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 제2 섹션(142) 내 특정 길이 범위를 거쳐 뻗은 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 에어 채널(201, 202, 203)은, 각각 상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 상기 제2 섹션(142) 내 실린더 외측면에 길이 방향으로 뻗은 리세스(recess)이고,
    상기 리세스는, 상기 제1 피드스루(37; 37')의 상기 제2 섹션(132)의 내측벽에 의해 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  4. 청구항 3에 있어서,
    각 리세스는, 끝단이 상기 압력 챔버에서 멀어지는 방향을 향하는 원추형 또는 절두 원추형인 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  5. 청구항 2에 있어서,
    각 제1 에어 채널(201, 202, 203)은,
    상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 상기 제2 섹션(142) 내에서 길이 방향으로 공동으로 형성되어 각 제1 에어 채널(201, 202, 203)을 위한 제1 보어홀(22); 및
    상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 상기 제2 섹션(142)의 가로 방향으로 인접하게 형성된 제2 보어홀(231, 232, 233);을 포함하는 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 청구항에 있어서,
    상기 컨택트 핀(121, 122, 123)에 속한 각 제1 피드스루(37; 37')는, 상기 압력 챔버(1)의 상기 하우징(2) 내에 구현된 계단식 관통공(61', 62', 63')으로서 구현된 제1 피드스루인 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  7. 청구항 6에 있어서,
    제1 슬리브(11')의 일부 섹션은 계단식 관통공(61', 62', 63')으로 구현된 제1 피드스루(37')의 제2 섹션(132')의 일부 섹션에 정확하게 맞춰 고정되고, 각 컨택트 핀(121, 122, 123)은 해당 제1 슬리브(11') 내 제2 섹션(142)에 의해 축을 따라 이동 가능하도록 유도되는 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  8. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 청구항에 있어서,
    각 컨택트 핀(121, 122, 123)에 속한 제1 피드스루(37)는 제1 슬리브(11)의 내부에 있고,
    상기 제1 슬리브(11)는 상기 압력 챔버(1)의 상기 하우징(2) 내 해당 관통공(61', 62', 63')에 정확하게 맞춰 고정된 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  9. 청구항 7 또는 청구항 8에 있어서,
    상기 압력 챔버(1) 내에 위치하며 해당 컨택트 핀(121, 122, 123)으로부터 빈(vacant) 각 제1 슬리브(11; 11')의 섹션은 적어도 하나의 개구(16)를 가진 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  10. 청구항 7 내지 청구항 9 중 어느 한 청구항에 있어서,
    신호선(9; 91, 92, 93)은 각각 제1 슬리브(11; 11') 또는 컨택트 핀(121, 122, 123)에 고정된 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  11. 청구항 7 내지 청구항 10 중 어느 한 청구항에 있어서,
    해당 컨택트 핀(121, 122, 123)로부터 떨어진 제1 슬리브(11; 11')의 끝단은 상기 압력 챔버(1)의 상기 하우징(2) 내 해당 제3 피드스루(8)에 정확하게 맞춰 고정된 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  12. 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 청구항에 있어서,
    컨택트 부싱(28)이 축을 따라 이동가능한 절연부(24) 및 제2 피드스루(25; 25')는 각각 상기 압력 챔버(1)의 상기 하우징(2) 내에서 각 제1 피드스루에 대해 동심원(concentrically)으로 제공되는 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  13. 청구항 1 내지 청구항 12 중 어느 한 청구항에 있어서,
    상기 압력 챔버(1)는, 압력 챔버(1) 내 제1 압력 레벨을 구성하기 위한 제1 입구(31) 및 압력 챔버(1) 내 제2 압력 레벨을 구성하기 위한 제2 입구(32)를 가지며,
    상기 제1 압력 레벨은 압력 챔버의 외부 공간보다 높은 압력 레벨이고
    상기 제2 압력 레벨은 압력 챔버의 외부 영역보다 낮은 압력 레벨인 것을 특징으로 하는 컨택트 시스템(100; 100'; 100'').
  14. 공압으로 제어가능한 컨택트 핀(121. 122, 123) 및 제1 슬리브(11)를 포함하는 컨택트 모듈(7; 7'; 7'')로서,
    상기 각 컨택트 핀(121. 122, 123)은, 외부 직경을 가진 제1 섹션(141) 및 상기 제1 섹션(141)에 인접하며 상기 제1 외부 직경보다 더 큰 제2 외부 직경을 가진 제2 섹션(142)을 포함하고,
    제1 슬리브(11)의 내부는, 상기 컨택트 핀(121. 122, 123)을 위한 제1 피드스루(37)을 형성하고, 제1 내부 직경을 가진 제1 섹션(131) 및 상기 제1 내부 직경보다 큰 제2 내부 직경을 가진 제2 섹션(142)를 가지며,
    상기 컨택트 핀(121. 122, 123)의 제2 섹션(142)은, 상기 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(132)에서 축을 따라 이동 가능하도록 유도되고,
    상기 제1 피드스루(37; 37')의 상기 제1 섹션(131; 131') 내 상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 상기 제1 섹션(141)과 접속하기 위해 통과되며,
    제1 슬리브(11) 내 상기 컨택트 핀(121. 122, 123)의 축상 위치는, 상기 컨택트 핀(121. 122, 123)의 상기 제2 섹션(142)의 끝단(18)에서의 압력 매체의 압력 레벨에 대응하며,
    상기 압력 매체는 온도 제어되는 것을 특징으로 하는 컨택트 모듈(7; 7'; 7'').
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 제1 슬리브(11) 내 상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 특정한 축상 위치를 위해, 상기 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(132)과 상기 제1 슬리브(11)의 외부 영역 사이에 형성된 적어도 하나의 제2 에어 채널(211, 212)이, 상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 제2 섹션(132)의 끝단(18)에서 상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 제2 섹션(132) 내 특정 길이 범위를 통해 형성된 적어도 하나의 제1 에어 채널(201, 202, 203)과 연결된 것을 특징으로 하는 컨택트 모듈(7; 7'; 7'').
  16. 청구항 15에 있어서,
    각 제1 에어 채널(201, 202, 203)은, 상기 컨택트 핀(121. 122, 123)의 제2 섹션(132) 내 실린더의 외측면에서 길이 방향으로 형성된 리세스 (recess)인 것을 특징으로 하는 컨택트 모듈(7; 7'; 7'').
  17. 청구항 15에 있어서,
    상기 제1 에어 채널(201, 202, 203)은,
    상기 컨택트 핀의 상기 제2 섹션의 길이 방향으로 공동으로 형성되어 각 제1 에어 채널(201, 202, 203)을 위한 제1 보어홀(22); 및
    상기 컨택트 핀(121, 122, 123)의 제2 섹션(142)의 가로 방향으로 인접하게 형성된 제2 보어홀(231, 232, 233);을 포함하는 것을 특징으로 하는 컨택트 모듈(7; 7'; 7'').
  18. 청구항 14내지 청구항 17 중 어느 한 청구항에 있어서,
    컨택트 핀(121, 122, 123)으로부터 빈(vacant) 제1 피드스루(37)의 제2 섹션(131)의 일부 섹션에서 적어도 하나의 개구(16)가 상기 제1 슬리브(11)의 내부에 제공되는 것을 특징으로 하는 컨택트 모듈(7; 7'; 7'').
  19. 청구항 14 내지 청구항 18 중 어느 한 청구항에 있어서,
    끝단이 상기 압력 챔버(1)에서 멀어지는 방향을 향하는 각 리세스는, 원추형 또는 절두 원추형인 것을 특징으로 하는 컨택트 모듈(7; 7'; 7'').
  20. 청구항 14 내지 청구항 19 중 어느 한 청구항에 있어서,
    절연부(24) 및 제2 슬리브(26)가 상기 제1 슬리브(11)에 대해 동심원(concentrically)으로 정렬되고, 절연부(24) 및 제2 슬리브(26) 사이에서 컨택트 부싱(28)은 축을 따라 이동가능한 것을 특징으로 하는 컨택트 모듈(7; 7'; 7'').
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