KR20180111089A - 레이저 스크라이브 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 취성 재료 기판의 절단을 위하여 레이저를 사용하는 경우 레이저의 초점 거리를 용이하게 변경하는 것이 가능한 레이저 스크라이브 장치에 대한 것이다.본 발명은, 스크라이빙 헤드유닛과 기판이 로딩되는 스테이지를 포함하는 레이저 스크라이브 장치에 있어서, 상기 스크라이빙 헤드유닛은 상기 스테이지에 대해 상대적으로 이동되고, 상기 스크라이빙 헤드유닛은, 레이저 발생장치로부터 절단용 레이저빔을 전달받아 상기 절단용 레이저빔의 초점을 가변하는 렌즈 조립체; 및 측정용 레이저빔을 발생하는 발광부와 상기 측정용 레이저빔을 수신하는 수광부를 포함한 거리 측정 센서가 구비되고, 상기 렌즈 조립체에서 초점 거리가 조절된 상기 절단용 레이저빔이 통과하는 빔 통과부가 형성된 거리 측정 센서 조립체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이브 장치를 제공한다.

Description

레이저 스크라이브 장치 {LASER SCRIBING APPRATUS}
본 발명은 레이저 스크라이브 장치에 대한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 취성 재료 기판과의 거리를 측정하고 상기 취성 재료 기판과의 거리에 따라 능동적으로 레이저의 초점 거리를 조정하는 레이저 스크라이브 장치에 대한 것이다.
절단 대상물을 절단하는 방법으로 정밀 절단을 위하여 레이저를 이용하는 경우가 있다. 레이저를 이용한 절단은 금속 재질의 판재뿐만 아니라 유리와 같은 취성 재료의 절단에도 사용된다.
일례로 레이저를 이용하여 액정 표시 장치와 같은 평판 디스플레이 패널을 절단한다. 종래 액정 표시장치의 절단을 위한 스크라이브 장치는 다아이몬드 또는 초경합금 재질의 스크라이빙 휠을 기판 표면에 일정한 압력을 가하면서 회전 이동시켜 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하고 브레이크 공정을 통해 기판을 절단하였다.
이에 대해 레이저를 이용한 스크라이브 장치는 레이저를 기판에 조사하고 냉각 가스 등으로 기판을 냉각하여 열 응력을 발생시킴으로써 기판에 크랙을 형성시킨다. 또는 서로 다른 레이저를 기판에 순차적으로 조사하여 기판의 절단을 수행하는 것이 제안된다. 한편, 경우에 따라서는 레이저를 이용하여 액정 표시 장치를 이루는 두 장의 기판을 접합하는 실런트나 기판에 형성된 블랙 매트릭스 등을 절단한 후 스크라이빙 휠을 이용하여 기판을 절단하기도 한다.
그런데 절단 대상이 되는 기판이 평탄하지 않은 경우 또는 레이저 조사 깊이를 조절할 필요가 있는 경우에 즉각적인 조정이 어렵다는 문제점이 있다.
일례로 대한민국 공개특허 제10-2005-0106156호(비금속재 절단장치 및 비금속재 절단시의 절단깊이 제어방법, 2005.11.09. 공개)는 기판까지의 거리를 계측하고 레이저빔을 조사하는 조사구의 높이를 승강시키는 승강수단을 구비하여 레이저빔의 초점 거리를 조절하는 구성을 개시한다.
그러나 상기 선행기술과 같이 레이저빔을 조사하는 조사구의 높이를 기계적으로 제어하는 것은 응답이 늦어 기판 절단 속도를 높이기 어렵다는 단점이 있다. 또한, 종래 기술에 있어서는 기판과의 거리를 측정하는 거리 센서와 레이저빔을 조사하는 조사구 간의 수평 거리가 이격되어 있어 정확한 깊이로 레이저빔을 조사하지 못하는 문제점이 존재하였다.
이에 본 발명은 기판과의 거리 측정에 따른 레이저 조사 깊이 제어 정밀도를 향상시킨 레이저 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기판과의 거리 측정 위치와 절단을 위한 레이저 조사 위치의 차이에 따른 오차를 최소화하여 스크라이브 정밀도를 향상시킨 레이저 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 스크라이빙 헤드유닛과 기판이 로딩되는 스테이지를 포함하는 레이저 스크라이브 장치에 있어서, 상기 스크라이빙 헤드유닛은 상기 스테이지에 대해 상대적으로 이동되고, 상기 스크라이빙 헤드유닛은, 레이저 발생장치로부터 절단용 레이저빔을 전달받아 상기 절단용 레이저빔의 초점을 가변하는 렌즈 조립체; 및 측정용 레이저빔을 발생하는 발광부와 상기 측정용 레이저빔을 수신하는 수광부를 포함한 거리 측정 센서가 구비되고, 상기 렌즈 조립체에서 초점 거리가 조절된 상기 절단용 레이저빔이 통과하는 빔 통과부가 형성된 거리 측정 센서 조립체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이브 장치를 제공한다.
일 실시예에 있어서, 상기 렌즈 조립체는 상기 절단용 레이저빔의 초점을 형성하는 포커싱 렌즈, 및 상기 포커싱 렌즈의 위치를 조정하는 렌즈 구동부를 포함한다.
또한, 상기 발광부는 상기 기판을 향하여 수직이 아닌 각도로 측정용 레이저빔을 조사하고 상기 수광부는 상기 기판을 향하여 수직이 아닌 각도로 상기 측정용 레이저빔을 수광할 수 있다.
또한, 상기 빔 통과부는 상기 발광부와 상기 수광부 사이에 형성될 수 있다.
또한, 상기 측정용 레이저빔이 상기 기판에 조사되는 지점은 상기 절단용 레이저빔의 조사 위치보다 선행할 수 있다.
또한, 레이저 스크라이브 장치는 상기 거리 측정 센서로부터 거리 센싱 정보를 입력받고 상기 렌즈 구동부의 구동을 제어하는 주제어부를 추가로 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 주제어부는 상기 거리 측정 센서의 센싱 지점에 상기 절단용 레이저빔이 조사될 시점을 고려하여 상기 렌즈 구동부의 구동 완료 시점을 산출할 수 있다.
또한, 상기 주제어부는 상기 거리 측정 센서의 처리 시간(Ts), 상기 주제어부의 처리 시간(Tm), 상기 주제어부의 제어 신호 출력에 의해 상기 렌즈 구동부가 실제 구동하기까지 소요되는 시간(Td)을 고려하여 상기 렌즈 구동부의 구동 완료 시점을 산출할 수 있다.
또한, 상기 주제어부는, 상기 거리 측정 센서의 센싱 지점과 상기 절단용 레이저빔의 조사 지점간의 거리를 고려하여 상기 스크라이빙 헤드유닛과 상기 기판의 상대 이동 속도의 상한값을 제한할 수 있다.
또한, 상기 주제어부는, 상기 거리 측정 센서의 센싱 주기를 상기 스크라이빙 헤드유닛과 상기 기판의 상대 이동 속도에 따라 설정할 수 있다.
본 발명에 따르면 기판과의 거리 측정 결과에 따라 레이저 조사 깊이를 빠르고 정밀하게 제어할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 기판과의 거리 측정을 위한 거리 측정 센서와 기판 절단을 위한 레이저 조사 장치를 일체화하여 거리 측정 위치와 레이저 조사 위치의 차이에 따른 오차를 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명은 거리 측정 센서의 센싱 주기와, 스크라이빙 헤드유닛의 기판에 대한 상대 이동 속도와, 거리 측정 센서의 센싱 지점과 절단용 레이저빔의 조사 지점과의 거리 차 등을 종합적으로 고려하여 레이저 빔의 초점 거리를 정밀하게 제어하는 효과가 있다.
이에 따라 본 발명은 기판과 같은 피가공물까지의 거리에 따라 절단용 레이저빔의 초점 거리를 가변시켜 피가공물에 균일한 깊이의 스크라이브 라인을 형성하는 것이 가능한 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 스크라이브 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 스크라이브 장치에 구비되는 거리 측정 센서 조립체의 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 스크라이브 장치의 제어 구성을 도시한 블록도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 스크라이브 장치의 거리 측정 센서와 레이저 조사 위치의 관계를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 스크라이브 장치의 제어 방법을 도시한 순서도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 스크라이브 장치의 구성을 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 스크라이브 장치에 구비되는 거리 측정 센서 조립체의 구성을 도시한 도면이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 스크라이브 장치는 기판(1)이 로딩되는 스테이지(2)와, 상기 스테이지(2)와 상대운동이 가능하도록 구비된 스크라이빙 헤드유닛(10)을 포함한다. 스테이지(2)는 고정되어 있고 스크라이빙 헤드유닛(10)이 이동하거나, 스크라이빙 헤드유닛(10)는 고정되어 있고 스테이지(2)가 이동하거나, 스테이지(2)와 스크라이빙 헤드유닛(10) 모두가 이동가능할 수 있다. 스크라이빙 헤드유닛(10)은 스테이지(2)의 상방을 가로질러 배치되는 갠트리(미도시)에 구비될 수 있다. 이러한 레이저 스크라이브 장치의 기본 구성은 종래 기술로 설명한 대한민국 공개특허 제10-2005-0106156호의 도 1에 도시된 구성에 따를 수 있다.
이상적인 경우 스테이지(1) 상부에 로딩된 기판(2)은 동일한 평면을 이룰 것이나 실제에 있어서는 기판(2)은 수평면에 대하여 미소한 높이차를 갖게 된다. 본 발명에 따른 레이저 스크라이브 장치는 기판(2)과의 거리에 따라 절단용 레이저빔의 초점 거리, 즉 절단용 레이저빔의 조사 깊이를 조정한다. 여기서, 절단용 레이저빔의 조사 깊이는 기판의 표면이나 기판 내부의 일 지점일 수 있고, 경우에 따라서는 합착 기판을 접착시키기 위한 실런트의 일 지점이거나 기판 내에 존재하는 블랙 매트릭스에 대응되는 위치일 수 있다.
스크라이빙 헤드유닛(10)에는 거리 측정 센서 조립체(20)와, 상기 거리 측정 센서 조립체(20)의 상부에 구비되는 렌즈 조립체(30)가 구비된다. 또한, 별도의 레이저 발생장치(40)에서 발생된 절단용 레이저빔(42)을 렌즈 조립체(30) 측으로 전달하기 위한 적어도 하나의 반사거울(12)이 스크라이빙 헤드유닛(10)에 포함될 수 있다.
거리 측정 센서 조립체(20)는 스크라이빙 헤드유닛(10)에 고정되는 브라켓 형태로 구비될 수 있다. 거리 측정 센서 조립체(20)의 하방에는 기판(1)에 대해 소정 각도로 측정용 레이저빔(25)을 조사하는 발광부(24)와, 상기 발광부(24)에서 발생된 측정용 레이저빔(25)이 기판(1)에 반사된 후 반사된 측정용 레이저빔(25)을 수광하는 수광부(26)를 포함하는 거리 측정 센서(22)가 구비된다. 발광부(24)와 수광부(26)의 사이에는 상하로 관통 형성된 빔 통과부(28)가 구비된다.
빔 통과부(28)로는 렌즈 조립체(30)에서 초점 거리가 조정된 절단용 레이저빔(42)이 통과한다.
측정용 레이저빔(25)과 절단용 레이저빔(42)은 파장 대역이 서로 다른 것이 바람직할 수 있다. 이는 측정용 레이저빔(25)을 수광부(26)에서 수신하는 경우 절단용 레이저빔(42)에 의한 간섭을 방지하기 위함이다.
렌즈 조립체(30)에는 절단용 레이저빔(42)의 초점 거리를 조정하는 포커싱 렌즈(32)가 구비된다. 포커싱 렌즈(32)는 단일 렌즈이거나 복수의 렌즈가 조합된 구성일 수 있다. 또한, 렌즈 조립체(30)에는 상기 포커싱 렌즈(32)의 위치를 조정하는 렌즈 구동부(도 1, 2에는 미도시)가 구비된다.
렌즈 구동부는 보이스 코일(voice coil) 방식으로 구비되거나 리니어 모터 형태로 구비되어 상기 포커싱 렌즈(32)의 위치를 조정할 수 있다. 거리 측정 센서(22)에 의해 기판(1)과의 거리가 측정되고, 측정된 거리에 따라 렌즈 구동부는 포커싱 렌즈(32)의 위치를 조정하여 기판(1)에 조사되는 레이점 빔(42)의 초점 거리를 조정한다.
렌즈 구동부에 의한 포커싱 렌즈(32)의 위치 조정 시간은 스크라이빙 헤드유닛(10)과 기판(1)과의 상대 이동 속도(V)를 고려하여 이루어질 수 있다.
도 1에 있어서는 거리 측정 센서 조립체(20)의 상부에 렌즈 조립체(30)가 위치하고, 렌즈 조립체(30)를 통과한 절단용 레이저빔(42)이 그 하방에 위치한 빔 통과부(28)를 통과하여 기판(1)의 소정 위치에 초점이 형성되는 것을 예시하였다. 그러나, 본 발명의 실시에 있어서는 렌즈 조립체(30)에서 출력된 절단용 레이저빔(42)이 별도의 반사 거울(미도시)을 통해 광경로가 변환되어 상기 빔 통과부(28)를 통과하도록 구성하는 것도 가능하다.
본 발명에 있어서, 거리 측정 센서(22)가 기판(1)과의 거리를 측정하는 수평면상 위치와 절단용 레이저빔(42)이 조사되는 수평면상 위치는 이격된다. 일 실시예에 있어서 거리 측정 센서(22)가 기판(1)과의 거리를 측정하는 위치는 절단용 레이저빔(42)의 조사 위치보다 선행된다. 즉, 거리 측정 센서(22)에 의해 기판(1)과의 거리를 측정한 후 절단용 레이저빔(42)이 기판(1)에 조사되도록 위치가 설정된다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 스크라이브 장치의 제어 구성을 도시한 블록도이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 스크라이브 장치의 거리 측정 센서와 레이저 조사 위치의 관계를 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 레이저 스크라이브 장치는 거리 측정 센서(22)로부터 기판(1)과의 거리 측정 결과를 입력받고 렌즈 조립체(30)의 렌즈 구동부(34)를 제어하는 주제어부(50)를 포함한다.
거리 측정 센서(22)는 주제어부(50)의 제어에 따라 또는 소정 주기마다 기판(1)과의 거리를 측정하여 주제어부(50)로 전달한다.
주제어부(50)는 거리 측정 센서(22)의 측정 결과에 따라 렌즈 조립체(30)의 렌즈 구동부(34)의 구동을 제어하여 포커싱 렌즈(32)의 위치를 조정한다.
도 4를 참조하면, 거리 측정 센서(22)의 발광부(24)에서 발생한 측정용 레이저빔(25)은 기판의 P1 지점에 조사되어 반사된 후 수광부(26)로 입사한다. 거리 측정 센서(22)는 발광부(24)에서 발생한 측정용 레이저빔(25)이 수광부(26)로 입사하기까지의 시간에 기초하여 기판(1)까지의 수직 거리를 산출할 수 있다. 또한, P1 지점은 발광부(24)와 수광부(26)의 배치 및 기판(1)까지의 수직 거리에 의해 산출될 수 있다.
절단용 레이저빔(42)은 기판(1)에 초점(F)을 형성하고 초점(F)이 형성된 기판(1) 표면에서의 지점은 P2이다. 본 발명에 따른 레이저 스크라이브 장치의 설치 방향에 있어서 수평면에 대해 서로 직교하는 X축 및 Y축으로 방향을 나타내는 경우, P1과 P2는 X축 방향 또는 Y축 방향으로 동일한 직선에 위치하거나 대각선 방향으로 위치할 수 있다.
P1과 P2의 수평 거리는 ΔL로 나타내었다. 일 실시예에 있어서, ΔL은 수 mm의 값을 가질 수 있다. 또한, ΔL은 0.5 내지 2 mm 이내일 수 있다. ΔL이 작을수록 거리 측정 센서(22)의 센싱 결과에 따른 절단용 레이저빔(42)의 초점 거리를 조정이 빠르게 반영될 수 있다는 장점이 있다. 그러나, 거리 측정 센서(22)의 센싱 결과에 따라 렌즈 구동부(34)의 구동을 제어하기까지 소요되는 시간으로 인해 ΔL을 과도하게 작게 설정하는 것은 어려울 수 있다. 본 발명에 있어서는 ΔL과 스크라이빙 헤드유닛(10)과 기판(1)의 상대 이동 속도, 제어를 위해 소요되는 시간 등을 고려하여 최적의 스크라이빙 제어가 이루어질 수 있도록 한다.
스크라이빙 헤드유닛(10)과 기판(1)의 상대 이동 속도가 V인 경우, 절단용 레이저빔(42)이 P2 지점에서 P1 지점에 위치하기까지 소요되는 시간(ΔT)은 ΔL/V로 구할 수 있다.
주제어부(50)는 상기 ΔT를 고려하여 렌즈 구동부(34)의 구동 시점을 산출하여 렌즈 구동부(34)의 구동을 제어한다.
일 실시예에 있어서, 주제어부(50)는, 거리 측정 센서(22)에 의해 P1에 측정용 레이저빔이 조사된 시간(T1)으로부터 거리 측정 센서(22)의 내부 처리에 소요되는 시간(Ts), 주제어부(50)에서의 처리 시간(Tm), 및 주제어부(50)의 제어 신호 출력에 의해 렌즈 구동부(34)가 실제 구동하기까지 소요되는 시간(Td)을 고려하여 렌즈 구동부(34)의 구동 완료 시점(T2)을 결정할 수 있다.
절단용 레이저빔(42)의 위치가 P1에 이르는 시점에서 렌즈 구동부(34)의 구동이 이루어져야 하므로 상기 시간들에 있어서는 수학식 1에 따른 관계를 만족하여야 한다.
Figure pat00001
주제어부(50)는 수학식 1의 조건을 만족하도록 스크라이빙 헤드유닛(10)과 기판(1)의 상대 이동 속도(V)의 상한값을 설정할 수 있다.
또한, 주제어부(50)는 렌즈 구동부(34)의 구동 완료 시점(T2)에 렌즈 구동부(34)의 구동이 완료되도록 렌즈 구동부(34)의 제어 지연 시간을 설정하고 상기 제어 지연 시간을 더하여 렌즈 구동부(34)로 제어 신호의 출력 시점을 조정하는 것도 가능할 수 있다.
또한, 상기 거리 측정 센서(22)의 센싱 주기는 상기 수학식 1의 조건을 만족하는 ΔT로 설정되는 것도 가능할 수 있다.
또한, 상기 거리 측정 센서(22)의 센싱 주기는 상기 스크라이빙 헤드유닛(10)과 기판(1)의 상대 이동 속도(V)와 상관 관계를 이루도록 설정되는 것도 가능할 수 있다. 상대 이동 속도(V)가 빠를 경우 거리 측정 센서(22)의 센싱 주기는 짧아지고, 상대 이동 속도(V)가 느릴 경우 거리 측정 센서(22)의 센싱 주기는 길어질 수 있다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 스크라이브 장치의 제어 방법을 도시한 순서도이다.
먼저, 기판(1)에 대한 절단용 레이저빔(42)의 조사 깊이, 즉 초점 거리를 설정한다(S100).
거리 측정 센서(22)는 주기적으로 또는 연속하여 기판(1)과의 거리를 측정하고 주제어부(50)는 거리 측정 센서(22)로부터 측정 결과를 입력받는다(S102).
주제어부(50)는 거리 측정 센서(22)로부터 측정 결과를 입력받은 후, 거리 측정 센서(22)의 센싱 지점(P1)에 절단용 레이저빔(42)이 조사될 시점을 고려하여 레이저 조사 깊이 제어 시간을 산출한다(S104). 여기서 레이저 조사 깊이 제어 시간은 전술한 렌즈 구동부(34)의 구동 완료 시점(T2)까지의 시간으로 이해될 수 있다.
주제어부(50)의 제어에 따라 렌즈 구동부(34)가 제어된다(S106).
상기 S102 단계 내지 S106 단계는 기판(1)에 대한 레이저 스크라이빙 작업이 이루어지는 동안 반복하여 수행된다. S102 내지 S106 단계의 반복 수행은 거리 측정 센서(22)의 센싱 주기에 따라 이루어질 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1 : 기판
2 : 스테이지
10 : 스크라이빙 헤드유닛
12 : 반사거울
20 : 거리 측정 센서 조립체
22 : 거리 측정 센서
24 : 발광부
25 : 측정용 레이저빔
26 : 수광부
28 : 빔 통과부
30 : 렌즈 조립체
32 : 포커싱 렌즈
34 : 렌즈 구동부
40 : 레이저 발생장치
42 : 절단용 레이저빔
50 : 주제어부

Claims (10)

  1. 스크라이빙 헤드유닛과 기판이 로딩되는 스테이지를 포함하는 레이저 스크라이브 장치에 있어서,
    상기 스크라이빙 헤드유닛은 상기 스테이지에 대해 상대적으로 이동되고,
    상기 스크라이빙 헤드유닛은,
    레이저 발생장치로부터 절단용 레이저빔을 전달받아 상기 절단용 레이저빔의 초점을 가변하는 렌즈 조립체; 및
    측정용 레이저빔을 발생하는 발광부와 상기 측정용 레이저빔을 수신하는 수광부를 포함한 거리 측정 센서가 구비되고, 상기 렌즈 조립체에서 초점 거리가 조절된 상기 절단용 레이저빔이 통과하는 빔 통과부가 형성된 거리 측정 센서 조립체;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이브 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 렌즈 조립체는 상기 절단용 레이저빔의 초점을 형성하는 포커싱 렌즈, 및 상기 포커싱 렌즈의 위치를 조정하는 렌즈 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이브 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 발광부는 상기 기판을 향하여 수직이 아닌 각도로 측정용 레이저빔을 조사하고 상기 수광부는 상기 기판을 향하여 수직이 아닌 각도로 상기 측정용 레이저빔을 수광하는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이브 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 빔 통과부는 상기 발광부와 상기 수광부 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이브 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 측정용 레이저빔이 상기 기판에 조사되는 지점은 상기 절단용 레이저빔의 조사 위치보다 선행하는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이브 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 거리 측정 센서로부터 거리 센싱 정보를 입력받고 상기 렌즈 구동부의 구동을 제어하는 주제어부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이브 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 주제어부는, 상기 거리 측정 센서의 센싱 지점에 상기 절단용 레이저빔이 조사될 시점을 고려하여 상기 렌즈 구동부의 구동 완료 시점을 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이브 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 주제어부는, 상기 거리 측정 센서의 처리 시간(Ts), 상기 주제어부의 처리 시간(Tm), 상기 주제어부의 제어 신호 출력에 의해 상기 렌즈 구동부가 실제 구동하기까지 소요되는 시간(Td)을 고려하여 상기 렌즈 구동부의 구동 완료 시점을 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이브 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 주제어부는, 상기 거리 측정 센서의 센싱 지점과 상기 절단용 레이저빔의 조사 지점간의 거리를 고려하여 상기 스크라이빙 헤드유닛과 상기 기판의 상대 이동 속도의 상한값을 제한하는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이브 장치.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 주제어부는, 상기 거리 측정 센서의 센싱 주기를 상기 스크라이빙 헤드유닛과 상기 기판의 상대 이동 속도에 따라 설정하는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이브 장치.
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