KR20180103044A - 미소 기포 함유 액체의 생성 장치 - Google Patents
미소 기포 함유 액체의 생성 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20180103044A KR20180103044A KR1020187015790A KR20187015790A KR20180103044A KR 20180103044 A KR20180103044 A KR 20180103044A KR 1020187015790 A KR1020187015790 A KR 1020187015790A KR 20187015790 A KR20187015790 A KR 20187015790A KR 20180103044 A KR20180103044 A KR 20180103044A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- bubble generating
- liquid
- tube
- support member
- gas
- Prior art date
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 268
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 82
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 56
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 56
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 33
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 20
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 14
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 9
- 229920002943 EPDM rubber Polymers 0.000 description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 5
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002101 nanobubble Substances 0.000 description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000181 Ethylene propylene rubber Polymers 0.000 description 1
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000004332 deodorization Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003651 drinking water Substances 0.000 description 1
- 235000020188 drinking water Nutrition 0.000 description 1
- 210000003722 extracellular fluid Anatomy 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002843 nonmetals Chemical class 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000013535 sea water Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/20—Mixing gases with liquids
- B01F23/23—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids
- B01F23/231—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids by bubbling
- B01F23/23105—Arrangement or manipulation of the gas bubbling devices
- B01F23/2312—Diffusers
- B01F23/23124—Diffusers consisting of flexible porous or perforated material, e.g. fabric
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/20—Mixing gases with liquids
- B01F23/23—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids
- B01F23/231—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids by bubbling
- B01F23/23105—Arrangement or manipulation of the gas bubbling devices
- B01F23/2312—Diffusers
- B01F23/23123—Diffusers consisting of rigid porous or perforated material
-
- B01F3/04503—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/20—Mixing gases with liquids
- B01F23/23—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids
- B01F23/232—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids using flow-mixing means for introducing the gases, e.g. baffles
- B01F23/2323—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids using flow-mixing means for introducing the gases, e.g. baffles by circulating the flow in guiding constructions or conduits
-
- B01F15/00662—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/20—Mixing gases with liquids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/20—Mixing gases with liquids
- B01F23/23—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids
- B01F23/2366—Parts; Accessories
- B01F23/2368—Mixing receptacles, e.g. tanks, vessels or reactors, being completely closed, e.g. hermetically closed
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/20—Mixing gases with liquids
- B01F23/23—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids
- B01F23/237—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids characterised by the physical or chemical properties of gases or vapours introduced in the liquid media
- B01F23/2373—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids characterised by the physical or chemical properties of gases or vapours introduced in the liquid media for obtaining fine bubbles, i.e. bubbles with a size below 100 µm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
- B01F25/40—Static mixers
-
- B01F3/04836—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/40—Mounting or supporting mixing devices or receptacles; Clamping or holding arrangements therefor
-
- B01F5/06—
-
- B01F2003/04858—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/20—Mixing gases with liquids
- B01F23/23—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids
- B01F23/231—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids by bubbling
- B01F23/23105—Arrangement or manipulation of the gas bubbling devices
- B01F23/2312—Diffusers
- B01F23/23126—Diffusers characterised by the shape of the diffuser element
- B01F23/231265—Diffusers characterised by the shape of the diffuser element being tubes, tubular elements, cylindrical elements or set of tubes
Abstract
미소 기포 함유 액체(BLQ)의 생성 장치(100, 200, 300)는 길이 방향(NX)으로 연장하는 관상으로, 적어도 일방 단부(2) 및 타방 단부(3)의 사이의 중앙부(4)가 다공질 세라믹스로 이루어지고, 중앙부(4)에 언급하는 액체(LQ) 중에 기포(BB)를 불어 넣는 복수의 기포 발생관(1)과, 복수의 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)를 각각 지지하는 일방측 지지 부재(110, 210, 310)와, 복수의 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)를 각각 지지하는 타방측 지지 부재(140, 240, 340)와, 일방측 지지 부재와 타방측 지지 부재의 간격을 유지하는 간격 유지 부재(170, 270, 370)를 구비한다.
Description
본 발명은 액체 중에 미소 기포를 불어 넣어서 미소 기포 함유 액체를 생성하는 미소 기포 함유 액체의 생성 장치에 관한 것이다.
근년, 마이크로 버블, 나노 버블이라고 불리는 미소 기포를 사용한 기술의 유용성이 주목받고 있다. 예를 들어, 미소 기포를 포함하는 액체를 사용한 세정 기술, 물의 제균 및 탈취, 오존수의 생성, 건강·의료 기기 분야나, 호소나 양식장의 수질 정화, 공장·축산 등의 각종 배수 처리, 및 기능수 제조 등에의 이용이 검토되고 있다.
이러한 마이크로 버블, 나노 버블을 발생시키는 장치로서, 여러가지 구조를 갖는 장치가 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1∼3 등 참조).
특히, 다공질 세라믹스로 이루어지는 기포 발생관은, 이 기포 발생관을 액체 내에 침지하고, 관 내에 압력을 가한 기체를 넣는 것만으로, 또는, 이 기포 발생관 내에 액체를 유통시키고, 관 외에 압력을 가한 기체를 보내서 넣는 것만으로, 액체 내에, 마이크로 버블, 나노 버블이라고 불리는 미소 기포를 보내서 넣어, 미소 기포 함유 액체를 용이하게 생성할 수 있다.
그러나, 액 중에 기포를 불어 넣는 데는, 액(유로)에 접한 기포 발생관(다공질 세라믹스)에 압력을 가한 기체를 통과시킬 필요가 있다. 이 경우에, 액 중에 다량으로 기포를 불어 넣기 위해서는, 기체의 기압을 높이거나, 기포 발생관의 면적을 크게 하거나 할 필요가 있다. 기압을 높이면, 각 부의 강도가 필요해지기 때문에, 기압을 자유롭게 높게 하는 것은 어렵다. 그래서, 기포 발생관을 길게 하여 면적을 증대시키는 것도 생각할 수 있지만, 길이가 긴 기포 발생관은, 강도가 저하되어 취급이 어려워진다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 적어도 중앙부가 다공질 세라믹스로 이루어지는 기포 발생관을 사용하면서도, 액 중에 다량의 미소 기포를 발생시킬 수 있는 미소 기포 함유 액체의 생성 장치를 제공한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 양태는, 길이 방향으로 연장되는 관상이며, 적어도 일방 단부 및 타방 단부 사이의 중앙부가 다공질 세라믹스로 이루어지고, 상기 중앙부에 접촉하는 액체 중에 기포를 불어 넣는 복수의 기포 발생관과, 상기 복수의 기포 발생관의 상기 일방 단부를 각각 지지하는 일방측 지지 부재와, 상기 복수의 기포 발생관의 상기 타방 단부를 각각 지지하는 타방측 지지 부재와, 상기 일방측 지지 부재와 상기 타방측 지지 부재의 간격을 유지하는 간격 유지 부재를 구비하는 미소 기포 함유 액체의 생성 장치이다.
본 발명의 미소 기포 함유 액체의 생성 장치에서는, 일방측 지지 부재와 타방측 지지 부재 사이에, 복수의 기포 발생관을 지지하고 있다. 즉, 일방측 지지 부재와 타방측 지지 부재 사이에, 병렬로 복수의 기포 발생관을 설치하고 있으므로, 적어도 중앙부가 다공질 세라믹스로 이루어지는 기포 발생관을 사용하면서도, 액에 접하는 기포 발생관(다공질 세라믹스)의 면적을 증가시킬 수 있어, 액 중에 보다 많은 미소 기포를 불어 넣을 수 있다. 게다가, 1개의 긴 기포 발생관을 사용하는 경우에 비하여, 각각의 기포 발생관의 길이를 짧게 할 수 있으므로, 각각의 기포 발생관의 강도가 높고 신뢰성이 있는 미소 기포 함유 액체의 생성 장치로 할 수 있다.
또한, 기포 발생관은, 이 기포 발생관 중, 적어도 일방 단부와 타방 단부 사이의 중앙부(길이 방향의 중앙부)가 다공질 세라믹스, 구체적으로는, 서로 삼차원 그물눈상으로 연결된 다수의 통기로를 구성하는 다공질 세라믹스로 이루어지는 기포 발생관이다. 예를 들어, 기포 발생관 전체가 다공질 세라믹스로 이루어지는 기포 발생관을 들 수 있다. 또한, 중앙부(길이 방향의 중앙부)가 다공질 세라믹스로 이루어지는 한편, 일방 단부 및 타방 단부는 치밀질의 세라믹스로 이루어지는 기포 발생관이나, 관상의 기포 발생관 전체가 다공질 세라믹스로 이루어지는데, 일방 단부 및 타방 단부에 대해서는, 유리, 수지 등을 함침시킴으로써, 기공을 막아서 통기성을 없앤 기포 발생관도 들 수 있다. 또한, 관상(통상)의 기포 발생관의 형태에는, 원관상, 각관상 등, 축선 방향에 걸쳐 횡단면의 형상이 변화하지 않는 직관 이외에, 원뿔대상, 각뿔대상 등, 축선 방향의 일방측일수록 테이퍼상으로 오므라진 형태여도 된다. 단, 단면 형태가 원환상이 되는 원관으로 하는 것이 강도의 면에서 바람직하다. 또한, 관상(통상)에는, 양단이 개구된 형태 이외에, 일단부측이 폐쇄되어 U자상 또는 평판상의 저부로 된 바닥이 있는 통상의 형태도 포함된다.
기포 발생관의 적어도 중앙부를 이루는 다공질 세라믹스의 재질로서는, 예를 들어, 알루미나, 티타니아, 실리카, 멀라이트, 지르코니아 등의 산화물 세라믹스나, 질화규소 등의 질화물 세라믹스, 탄화규소 등의 탄화물 세라믹스를 들 수 있다.
또한, 기포 발생관의 일방 단부 및 타방 단부를, 일방측 지지 부재 및 타방측 지지 부재로 지지하는 방법으로서는, 기포 발생관의 일방 단부의 일방측 단부면을 길이 방향 타방측으로 압박하고, 타방 단부의 타방측 단부면을 길이 방향 일방측으로 압박하고, 기포 발생관을 길이 방향으로 사이에 두도록 하여 보유 지지하는 방법을 들 수 있다. 또한, 기포 발생관의 일방 단부 및 타방 단부의 주위를 각각 보유 지지하게 해도 된다. 또한, 일방측 지지 부재에 의한 압박이나 보유 지지에 있어서는, 천연 고무제, 실리콘 고무제 등의 고무제나 PTFE제 등의 불소 수지제의 패킹 등을 통하여 압박이나 지지를 하면 된다.
또한, 간격 유지 부재는, 일방측 지지 부재와 타방측 지지 부재의 간격을 유지하는 부재이다. 예를 들어, 용기에 저류한 액 중에 가라앉고, 각 기포 발생관 내에 기체를 공급하고, 각 기포 발생관으로부터 용기 내의 액체 중에 미소 기포를 불어 넣는 형태의 미소 기포 함유 액체의 생성 장치의 경우에는, 예를 들어, 일방측 지지 부재 및 타방측 지지 부재에 각각 고정하고, 이들 사이의 간격을 유지하도록 구성한 복수의 주상 부재가, 간격 유지 부재에 해당한다. 또한, 일방측 지지 부재와 타방측 지지 부재 사이의, 복수의 기포 발생관의 주위를 둘러싸는 포위 부재 내를 액체가 흐르도록 하고, 각 기포 발생관 내에 공급한 기체에 압력을 가하여, 포위 부재와 기포 발생관 사이의 액체 중에 미소 기포를 불어 넣는 형태의 미소 기포 함유 액체의 생성 장치의 경우에는, 예를 들어, 일방측 지지 부재와 타방측 지지 부재 사이의, 복수의 기포 발생관 주위를 액밀하게 둘러싸는 포위 부재가, 간격 유지 부재에 해당한다. 또한, 각 기포 발생관 내에 액체를 통과시키고, 각 기포 발생관 외에 공급한 기체에 압력을 가하여, 관 내의 액체 중에 미소 기포를 불어 넣는 형태의 미소 기포 함유 액체의 생성 장치의 경우에는, 예를 들어, 일방측 지지 부재와 타방측 지지 부재 사이의, 복수의 기포 발생관 주위를 기밀하게 둘러싸는 포위 부재가, 간격 유지 부재에 해당한다.
또한, 미소 기포를 포함시켜서 미소 기포 함유 액체로 하는 액체로서는, 순수, 음료수, 해수, 각종 배양액, 각종 수용액, 각종 오수 등의 수계의 액체나, 유기 용매, 유류 등 각종 액체를 들 수 있다. 또한, 액체에 미소 기포로서 포함시키는 기체로서는, 공기, 산소, 오존, 염소 가스, 수소, 질소 등 각종 기체를 들 수 있다.
또한, 다공질 세라믹스의 세공 직경 D가, D(10)≤2㎛인 다공질 세라믹스를 사용하면, 효율적이고, 직경 1㎛ 이하의 미소 기포를 생성하여 액 중에 불어 넣을 수 있으므로 특히 바람직하다. 또한, 세공 직경 분포의 측정 방법으로서는, 수은 압입법을 사용한다. D(10)은 얻어진 누적 세공 직경 분포 곡선에 있어서, 세공 용적 전체 중 대직경측의 상위 10％를 차지하는 세공 직경이다.
상술한 미소 기포 함유 액체의 생성 장치이며, 상기 복수의 기포 발생관이, 상기 길이 방향에 직교하는 단면에 있어서, 중앙 기포 발생관을 중심으로 하여, 상기 중앙 기포 발생관의 주위에 배치된 주위 기포 발생관이 회전 대칭으로 배치되고, 또한, 각각의 상기 기포 발생관의 중심이, 서로 합동인 가상 정삼각형의 정점에 위치하는 형태로 배치된 미소 기포 함유 액체의 생성 장치로 하면 된다.
일방측 지지 부재 및 타방측 지지 부재로, 복수의 기포 발생관을 각각 지지하고, 게다가, 일방측 지지 부재와 타방측 지지 부재 사이에서, 어느 기포 발생관에 대해서도 기밀하고 또한 액밀하게 보유 지지하기 위해서는, 복수의 기포 발생관의 배치를 치우침이 없는 배치로 하는 것이 바람직하다.
이 미소 기포 함유 액체의 생성 장치에서는, 복수의 기포 발생관이, 상술한 조건에 따르는 패턴으로 배치되어 있으므로, 복수의 기포 발생관을, 중앙 기포 발생관을 중심으로 하여, 치우침 없이 배치할 수 있고, 복수의 기포 발생관을, 일방측 지지 부재 및 타방측 지지 부재로 확실하게 지지한 미소 기포 함유 액체의 생성 장치로 할 수 있다.
구체적으로는, 1개의 중앙 기포 발생관의 주위에, 6개의 주위 기포 발생관을 정육각형으로 배치한 합계 7개의 기포 발생관을 갖는 미소 기포 함유 액체의 생성 장치를 들 수 있다. 또한, 1개의 중앙 기포 발생관의 주위에, 6개의 주위 기포 발생관을 정육각형으로 배치하고, 또한 이들의 둘레에 6개의 주위 기포 발생관을, 정육각형의 1변이 새로운 정삼각형의 1변이 되도록 배치한, 합계 13개의 기포 발생관을 갖는 미소 기포 함유 액체의 생성 장치를 들 수 있다. 또한, 1개의 중앙 기포 발생관의 주위에, 6개의 주위 기포 발생관을 정육각형으로 배치하고, 또한 이들의 주위에 12개의 주위 기포 발생관을 배치한, 합계 19개의 기포 발생관을 갖는 미소 기포 함유 액체의 생성 장치를 들 수 있다. 또한, 1개의 중앙 기포 발생관의 주위에, 6개의 주위 기포 발생관을 정육각형으로 배치하고, 또한 이들의 주위에 12개의 주위 기포 발생관을 배치하고, 또한 이들의 주위에 12개의 주위 기포 발생관을 배치한, 합계 31개의 기포 발생관을 갖는 미소 기포 함유 액체의 생성 장치도 들 수 있다. 또한, 1개의 중앙 기포 발생관의 주위에, 6개의 주위 기포 발생관을 정육각형으로 배치하고, 또한 이들의 주위에 12개의 주위 기포 발생관을 배치하고, 또한 이들의 주위에 24개의 주위 기포 발생관을 배치한, 합계 43개의 기포 발생관을 갖는 미소 기포 함유 액체의 생성 장치도 들 수 있다.
또한, 상술한 미소 기포 함유 액체의 생성 장치이며, 상기 액체에 접촉하는 부위를, 모두 비금속으로 구성하여 이루어지는 미소 기포 함유 액체의 생성 장치로 하는 것이 바람직하다.
반도체의 제조 라인에서 사용하는 순수나 각종 약액 중에 미기포를 포함시키고자 하는 경우 등에 있어서, 미소 기포 발생 도구가, 금속재가 노출된 구성일 경우에는, 액체 중에 금속 이온이 용출된다는 문제가 발생하는 경우가 있다. 이에 반해, 이 미소 기포 함유 액체의 생성 장치에서는, 액체에 접촉하는 부위를, 모두 비금속으로 구성하고 있으므로, 액체 중에 금속 이온이 용출된다는 문제를 발생시키는 경우가 없다.
또한, 비금속의 재료로서는, 예를 들어, 알루미나, 티타니아, 멀라이트, 지르코니아, 질화규소 등의 세라믹스, PTFE, PFA 등의 불소 수지 이외에, PE, PP, ABS, PET, 아크릴 등의 열가소성 수지 등을 들 수 있다. 이들 재질로 이루어지는 부재를 사용하는 것 이외에, 금속재 중 액체에 접하는 부위를, 불소 수지 등으로 라이닝한 부재를 사용할 수도 있다.
또한, 상술한 것 중 어느 것에 기재된 미소 기포 함유 액체의 생성 장치이며, 상기 일방측 지지 부재는, 상기 액체가 유입되는 액 유입구를 이루는 액 유입부와, 상기 복수의 기포 발생관의 상기 일방 단부에, 유입한 상기 액체를 각각 분배하는 액 분배 경로를 이루는 액 분배부를 포함하고, 상기 타방측 지지 부재는, 상기 미소 기포 함유 액체가 유출되는 액 유출구를 이루는 액 유출부와, 상기 복수의 기포 발생관의 상기 타방 단부로부터 유출된 상기 미소 기포 함유 액체를 각각 상기 액 유출구에 유도하는 액 집합 경로를 이루는 집합 경로부를 포함하고, 상기 간격 유지 부재는, 상기 일방측 지지 부재 및 상기 타방측 지지 부재 사이에서, 상기 복수의 기포 발생관의 주위를 기밀하게 둘러싸는 관상의 관 포위부와, 상기 관 포위부 내에 가압된 기체를 유도하는 기체 유입구를 이루는 기체 유입부를 포함하는 미소 기포 함유 액체의 생성 장치로 하면 된다.
이 복수의 기포 발생관 내에 액체를 유통시키는 형태의 미소 기포 함유 액체의 생성 장치에서는, 액체에 기체의 기포를 불어 넣음에 있어서, 액체가 외기에 접촉할 일이 없으므로, 청정한 상태에서, 액체를 미소 기포 함유 액체로 할 수 있다.
또는, 전술한 것 중 어느 것에 기재된 미소 기포 함유 액체의 생성 장치이며, 상기 일방측 지지 부재는, 가압된 기체가 유입되는 기체 유입구를 이루는 기체 유입부와, 상기 복수의 기포 발생관의 상기 일방 단부에, 유입된 상기 기체를 각각 분배하는 기체 분배 경로를 이루는 기체 분배부를 포함하고, 상기 간격 유지 부재는, 상기 일방측 지지 부재 및 상기 타방측 지지 부재 사이에서, 상기 복수의 기포 발생관의 주위를 액밀하게 둘러싸는 관상의 관 포위부를 포함하고, 상기 액체를, 상기 복수의 기포 발생관과 상기 관 포위부 사이에 유입시키고, 유입된 상기 액체를 상기 기포 발생관의 상기 중앙부를 따라서 상기 길이 방향으로 흐르게 하고, 상기 미소 기포 함유 액체를 상기 관 포위부로부터 유출시키는 형태로, 액 유입부 및 액 유출부를 설치한 미소 기포 함유 액체의 생성 장치로 하면 된다.
이 복수의 기포 발생관 외에 액체를 유통시키는 형태의 미소 기포 함유 액체의 생성 장치도, 액체에 기체의 기포를 불어 넣음에 있어서, 액체가 외기에 접촉할 일이 없으므로, 청정한 상태에서, 액체를 미소 기포 함유 액체로 할 수 있다. 또한 이 관외 액 유통형의 미소 기포 함유 액체의 생성 장치는, 액체가 기포 발생관의 중앙부의 외측면에 접촉하므로, 액체가 기포 발생관의 내측면에 접촉하는 관내 액 유통형의 생성 장치에 비하여, 기포 발생관(다공질 세라믹스)이 액체에 접촉하는 면적이 상대적으로 크게 할 수 있어, 상대적으로 효율적으로 액체 중에 미소 기포를 불어 넣을 수 있다. 또한 액 유입부 및 액 유출부는, 액체를 복수의 기포 발생관과 관 포위부 사이에 유입시키고, 유입된 액체를 기포 발생관의 중앙부를 따라서 길이 방향으로 흐르게 하고, 미소 기포 함유 액체를 관 포위부로부터 유출시키는 형태로 설치하면 된다. 예를 들어, 액 유입부 및 액 유출부를, 간격 유지 부재의 관 포위부에 설치하면 된다. 또한, 액 유입부를 일방측 지지 부재에 설치하고, 액 유출부를 타방측 지지 부재에 설치하는 형태, 또는 이와는 반대로, 액 유입부를 타방측 지지 부재에 설치하고, 액 유출부를 일방측 지지 부재에 설치하는 형태로 해도 된다.
또한, 이러한 미소 기포 함유 액체의 생성 장치로서는, 상기 간격 유지 부재는, 상기 관 포위부를 포함하는 것 이외에, 상기 액 유입부를, 상기 관 포위부 중 상기 길이 방향의 일방측 또는 타방측의 부위에 설치하고, 상기 액 유출부를, 상기 관 포위부 중 상기 액 유입부와는 상기 길이 방향의 반대측의 타방측 또는 일방측의 부위에 설치하여 이루어지는 미소 기포 함유 액체의 생성 장치를 들 수 있다.
이 미소 기포 함유 액체의 생성 장치에서는, 액 유입부 및 액 유출부를 간격 유지 부재의 관 포위부에 설치하고 있으므로, 구조 간단하고 용이하게 형성할 수 있다는 이점이 있다. 게다가, 액 유입부와 액 유출부를, 길이 방향의 반대측, 즉, 서로 떨어진 위치에 설치하고 있으므로, 유입된 액체를 기포 발생관을 따라서 흐르게 하여, 액체 내에 미소 기포를 적절하게 불어 넣을 수 있다.
도 1은 실시 형태 1에 관한, 복수의 기포 발생관을 사용한 미소 기포 함유 액체의 생성 장치의 구조를 도시하는 단면 설명도이다.
도 2는 실시 형태 1에 관련되고, 복수(13개)의 기포 발생관의 배치를 도시하는 설명도이다.
도 3은 실시 형태 1, 2, 3에 관련되고, 기포 발생관끼리의 배치 관계를 도시하는 설명도이다.
도 4는 실시 형태 1에 관련되고, 미소 기포 함유 액체의 생성 장치의 사용예를 도시하는 설명도이다.
도 5는 실시 형태 2에 관련되고, 복수의 기포 발생관을 사용한 미소 기포 함유 액체의 생성 장치의 구조를 도시하는 단면 설명도이다.
도 6은 실시 형태 2에 관련되고, 복수(13개)의 기포 발생관의 배치를 도시하는 설명도이다.
도 7은 실시 형태 3에 관련되고, 복수의 기포 발생관을 사용한 미소 기포 함유 액체의 생성 장치의 구조를 도시하는 단면 설명도이다.
도 8은 실시 형태 3에 관련되고, 복수(13개)의 기포 발생관의 배치를 도시하는 설명도이다.
도 2는 실시 형태 1에 관련되고, 복수(13개)의 기포 발생관의 배치를 도시하는 설명도이다.
도 3은 실시 형태 1, 2, 3에 관련되고, 기포 발생관끼리의 배치 관계를 도시하는 설명도이다.
도 4는 실시 형태 1에 관련되고, 미소 기포 함유 액체의 생성 장치의 사용예를 도시하는 설명도이다.
도 5는 실시 형태 2에 관련되고, 복수의 기포 발생관을 사용한 미소 기포 함유 액체의 생성 장치의 구조를 도시하는 단면 설명도이다.
도 6은 실시 형태 2에 관련되고, 복수(13개)의 기포 발생관의 배치를 도시하는 설명도이다.
도 7은 실시 형태 3에 관련되고, 복수의 기포 발생관을 사용한 미소 기포 함유 액체의 생성 장치의 구조를 도시하는 단면 설명도이다.
도 8은 실시 형태 3에 관련되고, 복수(13개)의 기포 발생관의 배치를 도시하는 설명도이다.
(실시 형태 1)
제1 실시 형태를, 도 1∼도 4를 참조하여 설명한다. 도 1은, 본 실시 형태 1에 관한 미소 기포 함유 액체의 생성 장치(이하, 간단히 생성 장치라고도 한다)(100)의 단면 구조를 모식적으로 도시하는 단면 설명도이다. 또한, 도 2는, 13개의 기포 발생관(1)의 배치 상태를 도시하는 설명도이다.
본 실시 형태 1의 생성 장치(100)는 예를 들어 도 4에 도시한 바와 같이, 탱크(WT)에 저류한 액체(LQ)(예를 들어, 물）중에 투입하고, 액체(LQ)를 미소 기포 함유 액체(BLQ)로 하는 데 사용한다. 즉, 생성 장치(100)에서는, 가스 봄베(GB)로부터 송출되고, 레귤레이터(RG)에 의해 게이지압으로 2기압 정도로 압력 조절된 기체(AR)(예를 들어, 공기)를 가스 배관(GS)을 통해서, 이것에 접속한 기체 유입부(135)로부터 생성 장치(100)에 도입한다. 그렇게 하면, 이 기체(AR)는, 복수의 기포 발생관(1)에 각각 보내진다. 이에 의해, 이 기포 발생관(1)에 외측으로부터 접하고 있는 액체(LQ) 중에, 기체(AR)로 이루어지는 미소 기포(BB)를 불어 넣는다. 또한, 기체(AR)의 압력은 압력계(PM)로 계측되고, 가스 배관(GS)에 흐르는 기체(AR)의 유량은, 유량계(FM)로 계측된다.
생성 장치(100)는 복수(본 실시 형태 1에서는 13개)의 기포 발생관(1)과, 이들 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)(도 1에 있어서 좌측 단부)를 각각 지지하는 일방측 지지 부재(110)와, 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)(도 1에 있어서 우측 단부)를 각각 지지하는 타방측 지지 부재(140)와, 일방측 지지 부재(110)와 타방측 지지 부재(140)의 간격을 유지하는 간격 유지 부재(170)를 구비한다.
이 중, 기포 발생관(1)은 단면 원형의 직원관 형상의 다공질 알루미나로 이루어진다. 이 중, 도 1에 있어서 좌측 단부를 일방 단부(2)로 하고, 도 1에 있어서 우측 단부를 타방 단부(3)로 하고, 일방 단부(2)와 타방 단부(3) 사이의 부위를 중앙부(4)로 한다. 기포 발생관(1)은 수은 압입법(JIS R1655)을 사용하여 세공 직경 분포를 측정하고, 이 세공 직경 분포에 있어서, 대직경측의 상위 10％로 되는 세공 직경의 값을 D(10)으로 하면, D(10)=2㎛ 이하의 다공질 알루미나로 이루어진다. 구체적으로는, 본 실시 형태 1에서는, D(10)=1.4㎛이다. 이 때문에, 이 기포 발생관(1)을 사용하여, 그 관 내에 게이지압으로 1.5기압 정도의 기체(AR)를 보내서 넣으면, 관 외의 액체(LQ) 중에, 1㎛ 이하의 기포를 포함하는 미소 기포(BB)를 불어 넣을 수 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 이 기포 발생관(1)은 그 관 외에 게이지압으로 1.5기압 정도의 기체(AR)를 보내서 넣고, 관 내에 액체(LQ)를 보내는 경우에도, 마찬가지로, 1㎛ 이하의 기포를 포함하는 미소 기포(BB)를, 액체(LQ) 중에 불어 넣을 수 있다.
각각의 기포 발생관(1) 중, 일방 단부(2)는 일방측 지지 부재(110)에 지지되고, 타방 단부(3)는 타방측 지지 부재(140)에 지지되어 있다(도 1 참조). 이 중 일방측 지지 부재(110)는 개략 원판상의 일방측 보유 지지구(111)와, 제1 패킹(121)과, 일방측 보유 지지구(111)를 길이 방향 NX의 일방측 NX1로부터 덮는 일방측 커버구(131)로 이루어진다.
스테인리스재로 이루어지는 일방측 보유 지지구(111)에는, 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)를 삽입 관통하는 13개의 발생관 삽입 관통 구멍(112)이 축선 AX를 중심으로 한 후술하는 소정의 배치로 각각 천공되어 있다. 각각의 발생관 삽입 관통 구멍(112)에는, 환상으로 직경 확장되는 패킹 홈(113)이 설치되어 있고, 에틸렌프로필렌 고무(EPDM)로 이루어지는 제1 패킹(121)(O링)이 이 패킹 홈(113) 내에 배치되어 있다. 이 때문에, 발생관 삽입 관통 구멍(112)에 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)를 삽입 관통함으로써, 이 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)가 제1 패킹(121)을 통하여, 각각 일방측 보유 지지구(111)에 기밀 및 액밀하게 보유 지지되고, 후술하는 바와 같이, 일방측 보유 지지구(111)의 일방측 NX1로부터, 기체(AR)를 각 기포 발생관(1) 내에 보내서 넣을 수 있다.
또한, 일방측 보유 지지구(111) 중 주위 부분에는, 후술하는 컬럼 부재(171)(간격 유지 부재(170)) 중 일방측의 일방 단부(173) 및 이것을 고정하는 볼트(181)를 삽입 관통하고, 컬럼 부재(171)를 일방측 보유 지지구(111)에 체결 고정하는 컬럼 고정 구멍(114)이 6군데 천공되어 있다. 이 컬럼 고정 구멍(114)은 컬럼 부재(171)의 일방 단부(173)를 받아들이는 비교적 대직경의 컬럼 삽입부(114A)와, 볼트(181)의 축부(182)를 삽입 관통하는 비교적 소직경의 볼트 삽입 관통부(114B)와, 이들 사이에 설치된 단상이며, 컬럼 부재(171)의 일방 단부면(173A)을 부딪히게 해서 걸림 결합시키는 걸림 결합 단차부(114C)로 이루어진다.
스테인리스재로 이루어지는 일방측 커버구(131)는 기체 분배부(132)와 기체 유입부(135)를 갖는다. 이 기체 유입부(135)가 이루는 기체 유입구(136)에는, 가스 배관(GS)(도 4 참조) 등이 접속되고, 예를 들어 게이지압 1.5기압으로 가압된 기체(AR)가 유입된다. 또한, 기체 분배부(132)에는, 각 발생관 삽입 관통 구멍(112)이 면하는 범위, 즉, 일방측 보유 지지구(111)에 삽입 관통한 각 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)에 면하는 범위에 걸치고, 오목상의 기체 분배 오목부(133)가 설치되어 있고, 기체 유입부(135)로부터 유입된 기체(AR)가, 도 1에 백색 바탕 화살표로 나타낸 바와 같이, 기체 분배 경로가 되는 기체 분배 오목부(133)를 통하여, 각각의 기포 발생관(1)(일방 단부(2))의 관 내에 분배된다.
또한, 일방측 커버구(131) 중, 기체 분배 오목부(133)의 외측(도 1중, 상하 방향)에는, 전술한 볼트(181)의 헤드부(184)를 수용하고, 일방측 커버구(131)와의 간섭을 피하기 위해, 볼트 수용 오목부(134)도 설치되어 있다. 또한, 일방측 보유 지지구(111)와 일방측 커버구(131)는, 도시하지 않은 볼트에 의해, 길이 방향 NX로 체결되어 일체로 되어 있다.
한편, 타방측 지지 부재(140)는 개략 원판상의 타방측 보유 지지구(141)와, 제2 패킹(151)과, 타방측 보유 지지구(141)를 길이 방향 NX의 타방측 NX2로부터 덮는 타방측 커버구(161)로 이루어진다.
이 중, 스테인리스재로 이루어지는 타방측 보유 지지구(141)에는, 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)를 삽입 관통하는 13개의 발생관 삽입 관통 구멍(142)이 축선 AX를 중심으로 한 후술하는 소정의 배치로 각각 천공되어 있다. 각각의 발생관 삽입 관통 구멍(142)에는, 환상으로 직경 확장되는 패킹 홈(143)이 설치되어 있고, EPDM으로 이루어지는 제2 패킹(151)(O링)이 이 패킹 홈(143) 내에 배치되어 있다. 이 때문에, 발생관 삽입 관통 구멍(142)에 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)를 삽입 관통함으로써, 이 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)가 제2 패킹(151)을 통하여, 각각 타방측 보유 지지구(141)에 기밀 및 액밀하게 보유 지지되고, 후술하는 바와 같이, 일방측 보유 지지구(111)의 일방측 NX1로부터, 기체(AR)를 각 기포 발생관(1) 내에 보내서 넣을 수 있다.
또한, 타방측 보유 지지구(141) 중 주위 부분에는, 후술하는 컬럼 부재(171) 중 타방측의 타방 단부(176)를 삽입 관통하는 컬럼 삽입 관통 구멍(144)이 6군데 천공되어 있다. 이 컬럼 삽입 관통 구멍(144)에 삽입 관통한 컬럼 부재(171)의 타방 단부(176)에는, 수나사부(177)가 형성되어 있고, 와셔(193)를 통하여 너트(191)를 나사 고정하고, 컬럼 부재(171)의 타방 단부(176)를 후술하는 타방측 커버구(161) 중 컬럼 삽입 관통 구멍(164)의 주위에 건다.
스테인리스재로 이루어지는 타방측 커버구(161)의 중심 부분의 타방 단부 커버부(162)에는, 타방측 보유 지지구(141)의 발생관 삽입 관통 구멍(142)에 삽입 관통한 각 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)가 부딪힌다.
또한, 타방측 커버구(161) 중, 타방 단부 커버부(162)의 직경 방향 외측(도 1중, 상하 방향)에는, 전술한 컬럼 부재(171)의 타방 단부(176)를 삽입 관통하는 컬럼 삽입 관통 구멍(164)이 타방측 보유 지지구(141)의 컬럼 삽입 관통 구멍(144)과 각각 동일 축심상에 겹쳐지는 배치로 천공되어 있다. 타방측 보유 지지구(141)와 타방측 커버구(161)는, 컬럼 삽입 관통 구멍(144) 및 컬럼 삽입 관통 구멍(164)을 삽입 관통하는 컬럼 부재(171)로, 서로 고정되어 있다.
본 실시 형태 1에 있어서, 일방측 지지 부재(110)와 타방측 지지 부재(140)의 간격을 유지하는 간격 유지 부재(170)는 6조의 컬럼 부재(171), 볼트(181), 너트(191) 및 와셔(193)를 포함한다. 스테인리스로 이루어지는 컬럼 부재(171)는 개략 원기둥상의 컬럼 본체부(172) 이외에, 내부에 암나사 구멍(174)을 형성한 일방 단부(173)와, 컬럼 본체부(172)보다도 소직경으로 되고, 선단 부분에 수나사부(177)를 설치한 타방 단부(176)를 갖는다. 컬럼 본체부(172)와 타방 단부(176) 사이에는, 단상의 걸림 결합 단차부(175)가 설치되어 있다.
전술한 바와 같이, 컬럼 부재(171)의 일방 단부(173)는 일방측 보유 지지구(111)의 컬럼 삽입부(114A) 내에 삽입되고, 그 일방 단부면(173A)을 걸림 결합 단차부(114C)에 부딪힌 상태에서, 암나사 구멍(174)에 비틀어 넣은 볼트(181)(축부(182)의 수나사부(183))에 의해, 일방측 보유 지지구(111)에 체결되어 있다. 또한, 컬럼 부재(171)의 타방 단부(176)는 타방측 보유 지지구(141)의 컬럼 삽입 관통 구멍(144) 및 타방측 커버구(161)의 컬럼 삽입 관통 구멍(164)에 삽입 관통하고, 수나사부(177)를 너트(191)에 나사 결합함으로써, 타방측 보유 지지구(141)에 걸림 결합하는 걸림 결합 단차부(175)와 타방측 커버구(161)에 걸림 결합하는 너트(191)로, 타방측 보유 지지구(141)와 타방측 커버구(161)를 서로 밀착하여 고정함과 함께, 일방측 지지 부재(110)와 타방측 지지 부재(140) 사이의 간격 M이 소정의 치수로 규제되어 있다.
이어서, 본 실시 형태 1의 생성 장치(100)에 있어서의, 13개의 기포 발생관(1)의 배치에 대해서, 도 2, 도 3을 참조하여 설명한다. 이 도 2는, 도 1에 도시하는 생성 장치(100)의 A-A 단면 중, 13개의 기포 발생관(1)의 단부면만을 나타낸 것이다. 13개의 기포 발생관(1)은 이하와 같이 배치되어 있다. 즉, 13개의 기포 발생관(1) 중 1개를, 중앙 기포 발생관(10)으로 하고, 그 축선 AX를 중심으로 하여, 6개의 기포 발생관(1)(주위 기포 발생관(11))의 중심이, 가상의 정육각형의 정점을 이루도록 배치한다. 이에 의해, 7개의 기포 발생관(1)은 축선 AX의 둘레에 60도마다의 회전 대칭으로 배치되고, 또한, 각각의 기포 발생관(1)의 중심이, 서로 합동인 가상 정삼각형의 정점에 위치하는 형태로 배치된다(도 3 참조).
또한, 나머지 6개의 주위 기포 발생관(11)을 가상의 정육각형의 1변이 새로운 정삼각형의 1변이 되는 위치에 각각 배치한다. 이에 의해, 도 2에 도시하는 배치가 된다. 그리고, 이 13개의 기포 발생관(1)도, 축선 AX의 둘레에 60도마다의 회전 대칭으로 배치되고, 또한, 각각의 기포 발생관(1)의 중심이, 서로 합동인 가상 정삼각형의 정점에 위치하는 형태로 배치되어 있다(도 3 참조). 복수의 기포 발생관(1)을 이와 같은 형태로 배치하면, 복수의 기포 발생관(1)을 중앙 기포 발생관(10)을 중심으로 하여, 치우침 없이 배치할 수 있고, 복수의 기포 발생관(1)을 일방측 지지 부재(110)(일방측 보유 지지구(111)) 및 타방측 지지 부재(140)(타방측 보유 지지구(141))로 확실하게 지지한 생성 장치(100)로 할 수 있다. 또한, 마찬가지로 하여, 기포 발생관(1)의 수를, 19개, 31개 등으로 할 수도 있다.
본 실시 형태 1의 생성 장치(100)는 전술한 바와 같이, 예를 들어, 탱크(WT)에 저류한 액체(LQ) 중에 투입하고, 기체 유입부(135)를 통하여 기포 발생관(1)에 기체(AR)를 보내서 넣음으로써, 이 기포 발생관(1)(중앙부(4))으로부터 미소 기포(BB)를 발생시켜, 액체(LQ) 내에 미소 기포(BB)를 불어 넣을 수 있다. 이 생성 장치(100)에서는, 복수(본 실시 형태 1에서는 13개)의 기포 발생관(1)을 사용하고 있고, 기체(AR)를 각각의 기포 발생관(1)에 분배하고 있으므로, 각각의 기포 발생관(1)의 중앙부(4)로부터 미소 기포(BB)를 발생시킬 수 있다. 즉, 액체(LQ)에 접하는 기포 발생관(1)의 중앙부(4)(다공질 세라믹스)의 면적을 증가시킬 수 있어, 액체(LQ) 중에 보다 많은 미소 기포(BB)를 불어 넣을 수 있다. 게다가, 1개의 긴 기포 발생관을 사용하는 경우에 비하여, 각각의 기포 발생관(1)의 길이를 짧게 할 수 있으므로, 각각의 기포 발생관(1)의 강도가 높고 신뢰성이 있는 미소 기포 함유 액체(BLQ)의 생성 장치(100)가 된다.
(실시 형태 2)
이어서, 실시 형태 2에 관한 생성 장치(200)에 대해서, 도 5, 도 6을 참조하여 설명한다. 도 5는, 본 실시 형태 2에 관한 생성 장치(200)의 단면 구조를 모식적으로 도시하는 단면 설명도이다. 전술한 실시 형태 1의 생성 장치(100)는 탱크(WT)에 저류한 액체(LQ) 중에 투입하여 사용하는 형태(투입형)의 생성 장치였다. 이에 반해, 본 실시 형태 2의 생성 장치(200)는 기포 발생관(1) 내에 기체(AR)를 보내는 점에서는, 실시 형태 1과 마찬가지인데, 복수의 기포 발생관(1)을 관 포위 부재(271)로 둘러싸고, 기포 발생관(1)과 관 포위 부재(271) 사이에 액체(LQ)를 유입시키고, 미소 기포 함유 액체(BLQ)를 유출시키는 점에서, 실시 형태 1과는 상이하다.
생성 장치(200)는 복수(본 실시 형태 1에서는 13개)의 기포 발생관(1)과, 이들 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)(도 5에 있어서 좌측 단부)를 각각 지지하는 일방측 지지 부재(210)와, 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)(도 5에 있어서 우측 단부)를 각각 지지하는 타방측 지지 부재(240)와, 일방측 지지 부재(210)와 타방측 지지 부재(240)의 간격을 유지하는 간격 유지 부재(270)를 구비한다. 이 중, 기포 발생관(1)(10, 11) 및 그 배치는, 실시 형태 1에서 사용한 것과 동일하므로, 설명을 생략한다(도 2, 도 6 참조).
각각의 기포 발생관(1) 중, 일방 단부(2)는 일방측 지지 부재(210)에 지지되고, 타방 단부(3)는 타방측 지지 부재(240)에 지지되어 있다(도 5 참조). 이 중 일방측 지지 부재(210)는 개략 원판상의 일방측 보유 지지구(211)와, 제1 패킹(221)과, 일방측 보유 지지구(211)를 길이 방향 NX의 일방측 NX1로부터 덮는 일방측 커버구(231)로 이루어진다.
스테인리스재로 이루어지는 일방측 보유 지지구(211) 중, 기체 분배부(216)에는, 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)를 삽입 관통하는 13개의 발생관 삽입 관통 구멍(212)이 실시 형태 1과 동일하게, 축선 AX를 중심으로 하여 소정의 위치에 배치된 13개의 기포 발생관(1)(10, 11)의 배치(도 6 참조)에 맞춰서, 각각 천공되어 있다. 각각의 발생관 삽입 관통 구멍(212)에는, 환상으로 직경 확장되는 패킹 홈(213)이 설치되어 있고, EPDM으로 이루어지는 제1 패킹(221)(O링)이 이 패킹 홈(213) 내에 배치되어 있다. 이 때문에, 발생관 삽입 관통 구멍(212)에 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)를 삽입 관통함으로써, 이 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)가 제1 패킹(221)을 통하여, 각각 일방측 보유 지지구(211)에 기밀 및 액밀하게 보유 지지되고, 일방측 보유 지지구(211)의 일방측 NX1로부터, 기체(AR)를 각 기포 발생관(1) 내에 보내서 넣을 수 있다.
또한, 일방측 보유 지지구(211) 중 주위 부분은, 단상으로 잘려 나가 있고, 후술하는 관 포위 부재(271)(간격 유지 부재(270)) 중 일방측의 제1 플랜지부(273)를 감입하여 거는 걸림 단차부(214)로 되어 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 일방측 커버구(231), 일방측 보유 지지구(211) 및 관 포위 부재(271)의 제1 플랜지부(273)를 체결하는 볼트(223)의 축부(224)를 삽입 관통하는 볼트 삽입 관통 구멍(215)이 6군데 천공되어 있다.
또한 기체 분배부(216)에는, 각 발생관 삽입 관통 구멍(212)이 존재하는 범위, 즉, 각 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)가 노출되는 범위에 걸쳐서, 오목상의 기체 분배 오목부(217)가 설치되어 있고, 후술하는 기체 유입부(235)로부터 유입된 기체(AR)가, 도 5에 백색 바탕 화살표로 나타낸 바와 같이, 기체 분배 경로인 기체 분배 오목부(217)를 통하여, 각각의 기포 발생관(1)(일방 단부(2))의 관 내에 분배된다.
스테인리스재로 이루어지는 일방측 커버구(231)는 원판상의 일방 단부 커버부(232)와, 이 중앙으로부터 길이 방향 일방측 NX1로 돌출되는 기체 유입부(235)를 갖는다. 이 기체 유입부(235)가 이루는 기체 유입구(236)에는, 가스 배관(도시 생략) 등이 접속되고, 예를 들어 게이지압 1.5기압으로 가압된 기체(AR)가 유입된다. 또한, 일방 단부 커버부(232)는 각 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)를 덮고, 기체 분배 오목부(217)에 의해, 일방측 보유 지지구(211)의 기체 분배부(216)와의 사이에, 유입된 기체(AR)를 각 기포 발생관(1)에 분배하는 공간을 형성한다. 또한, 일방측 커버구(231) 중 주위 부분에도, 볼트(223)의 축부(224)를 삽입 관통하는 볼트 삽입 관통 구멍(234)이 일방측 보유 지지구(211)의 볼트 삽입 관통 구멍(215)과 각각 동일 축심상으로 겹쳐지는 배치로 6군데 천공되어 있다.
한편, 타방측 지지 부재(240)는 타방측 보유 지지구(241)와, 제2 패킹(251)과, 개략 원판상으로, 타방측 보유 지지구(241)를 길이 방향 NX의 타방측 NX2로부터 덮는 타방측 커버구(261)로 이루어진다.
이 중, 스테인리스재로 이루어지는 타방측 보유 지지구(241)에는, 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)를 삽입 관통하는 13개의 발생관 삽입 관통 구멍(242)이 축선 AX를 중심으로 하여 소정의 위치에 배치된 13개의 기포 발생관(1)(10, 11)의 배치(도 6 참조)에 맞춰서, 각각 천공되어 있다. 각각의 발생관 삽입 관통 구멍(242)에는, 환상으로 직경 확장되는 패킹 홈(243)이 설치되어 있고, EPDM으로 이루어지는 제2 패킹(251)(O링)이 이 패킹 홈(243) 내에 배치되어 있다. 이 때문에, 발생관 삽입 관통 구멍(242)에 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)를 삽입 관통함으로써, 이 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)가 제2 패킹(251)을 통하여, 각각 타방측 보유 지지구(241)에 기밀 및 액밀하게 보유 지지되어 있다.
또한, 타방측 보유 지지구(241) 중 주위 부분은, 단상으로 잘려 나가 있고, 후술하는 관 포위 부재(271)의 타방측 제2 플랜지부(274)를 감입하여 거는 걸림 단차부(244)로 되어 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 타방측 커버구(261), 타방측 보유 지지구(241) 및 관 포위 부재(271)의 제2 플랜지부(274)를 체결하는 볼트(253)의 축부(254)를 삽입 관통하는 볼트 삽입 관통 구멍(245)이 6군데 천공되어 있다.
스테인리스재로 이루어지는 타방측 커버구(261)의 중심 부분의 타방 단부 커버부(262)에는, 타방측 보유 지지구(241)의 발생관 삽입 관통 구멍(242)에 삽입 관통한 각 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)가 부딪혀진다. 또한, 타방측 커버구(261) 중 주위 부분에도, 볼트(253)의 축부(254)를 삽입 관통하는 볼트 삽입 관통 구멍(264)이 타방측 보유 지지구(241)의 볼트 삽입 관통 구멍(245)과 각각 동일 축심상으로 겹쳐지는 배치로 6군데 천공되어 있다.
본 실시 형태 2에 있어서, 일방측 지지 부재(210)와 타방측 지지 부재(240)의 간격을 유지하는 간격 유지 부재(270)는 관 포위 부재(271), 볼트(223, 253)를 포함한다. 스테인리스로 이루어지는 통상의 관 포위 부재(271)는 13개의 기포 발생관(1)의 주위를 둘러싸는 통상의 관 포위부(272) 이외에, 이 관 포위부(272)의 길이 방향 일방측 NX1의 단부로부터 직경 방향 외측을 향하여 넓어지는 제1 플랜지부(273), 관 포위부(272)의 길이 방향 타방측 NX2의 단부로부터 직경 방향 외측을 향하여 넓어지는 제2 플랜지부(274)를 갖는다. 또한, 관 포위부(272) 중, 길이 방향 일방측 NX1(도 5중, 좌측)에 가까운 부위에는, 액 유입구(277)를 이루는 액 유입부(276)가 외측으로 돌출되는 형태로 설치되어 있다. 또한, 액 유입부(276)와는 반대의 길이 방향 타방측 NX2(도 5중, 우측)에 가까운 부위에는, 액 유출구(279)를 이루는 액 유출부(278)가 외측으로 돌출되는 형태로 설치되어 있다.
이 관 포위 부재(271)의 제1 플랜지부(273)를 일방측 보유 지지구(211)의 걸림 단차부(214)에 끼워넣고, 일방측 커버구(231)의 볼트 삽입 관통 구멍(234)과 일방측 보유 지지구(211)의 볼트 삽입 관통 구멍(215)을 삽입 관통한 볼트(223)의 수나사부(225)를 제1 플랜지부(273)에 설치한 암나사 구멍(273A)에 비틀어 넣는 것에 의해, 일방측 커버구(231), 일방측 보유 지지구(211) 및 관 포위 부재(271)(제1 플랜지부(273))가 서로 체결되어 있다. 또한, 관 포위 부재(271)의 제2 플랜지부(274)를 타방측 보유 지지구(241)의 걸림 단차부(244)에 끼워넣고, 타방측 커버구(261)의 볼트 삽입 관통 구멍(264)과 타방측 보유 지지구(241)의 볼트 삽입 관통 구멍(245)을 삽입 관통한 볼트(253)의 수나사부(255)를 제2 플랜지부(274)에 설치한 암나사 구멍(274A)에 비틀어 넣는 것에 의해, 타방측 커버구(261), 타방측 보유 지지구(241) 및 관 포위 부재(271)(제2 플랜지부(274))가 서로 체결되어 있다. 또한, 이 관 포위 부재(271)에 의해, 일방측 지지 부재(210)와 타방측 지지 부재(240) 사이의 간격 M이 소정의 치수로 규제되어 있다.
이어서, 본 실시 형태 2의 생성 장치(200)에 있어서의, 13개의 기포 발생관(1)의 배치에 대해서, 도 6, 도 3을 참조하여 설명한다. 이 도 6은, 도 5에 도시하는 생성 장치(200)의 B-B 단면 중, 13개의 기포 발생관(1) 및 관 포위 부재(271)(관 포위부(272))의 단부면만을 나타낸 것이다. 13개의 기포 발생관(1)의 배치는, 실시 형태 1과 마찬가지이므로, 설명은 생략한다. 13개의 기포 발생관(1)은 축선 AX의 둘레에 60도마다의 회전 대칭으로 배치되고, 또한, 각각의 기포 발생관(1)의 중심이, 서로 합동인 가상 정삼각형의 정점에 위치하는 형태로 배치되어 있다(도 3 참조). 복수의 기포 발생관(1)을 이와 같은 형태로 배치하면, 복수의 기포 발생관(1)을 중앙 기포 발생관(10)을 중심으로 하여, 치우침 없이 배치할 수 있고, 복수의 기포 발생관(1)을 일방측 지지 부재(210)(일방측 보유 지지구(211)) 및 타방측 지지 부재(240)(타방측 보유 지지구(241))로 확실하게 지지한 생성 장치(200)로 할 수 있다.
본 실시 형태 2의 생성 장치(200)는 도 5에 도시한 바와 같이, 기체 유입부(235)를 통하여 기포 발생관(1)에 기체(AR)를 보내서 넣는 한편, 액 유입부(276)로부터 액체(LQ)를 관 포위부(272) 내(기포 발생관(1)과 관 포위부(272) 사이)에 유입시키고, 액 유출부(278)로부터 미소 기포 함유 액체(BLQ)를 유출시킨다. 관 포위부(272) 내에 유입된 액체(LQ)는, 기포 발생관(1)의 외부를, 기포 발생관(1)의 중앙부(4)를 따라서 길이 방향 NX(본 실시 형태 2에서는, 길이 방향 타방측 NX2(도면 중 우측))로 흐르고, 또한 액 유출부(278)로부터 유출한다. 관 포위부(272) 내를 액체(LQ)가 유통하는 동안에, 기포 발생관(1)의 중앙부(4)로부터 미소 기포(BB)를 발생시켜, 액체(LQ) 내에 미소 기포(BB)를 불어 넣을 수 있다.
이 생성 장치(200)에서는, 복수(본 실시 형태 1에서는 13개)의 기포 발생관(1)을 사용하고 있고, 기체(AR)를 각각의 기포 발생관(1)에 분배하고 있으므로, 각각의 기포 발생관(1)의 중앙부(4)로부터 미소 기포(BB)를 발생시킬 수 있다. 즉, 액체(LQ)에 접하는 기포 발생관(1)의 중앙부(4)(다공질 세라믹스)의 면적을 증가시킬 수 있어, 액체(LQ) 중에 보다 많은 미소 기포(BB)를 불어 넣을 수 있다. 게다가, 1개의 긴 기포 발생관을 사용하는 경우에 비하여, 각각의 기포 발생관(1)의 길이를 짧게 할 수 있으므로, 각각의 기포 발생관(1)의 강도가 높고 신뢰성이 있는 미소 기포 함유 액체(BLQ)의 생성 장치(200)가 된다.
게다가, 본 실시 형태 2의 생성 장치(200)에서는, 액체(LQ)에 기체(AR) 미소 기포(BB)를 불어 넣음에 있어서, 액체(LQ)가 외기에 접촉할 일이 없으므로, 청정한 상태에서, 액체(LQ)를 미소 기포 함유 액체(BLQ)로 할 수 있다. 또한, 본 실시 형태 2의 생성 장치(200)는 액체(LQ)가 기포 발생관(1)의 중앙부(4)의 외측면에 접촉하므로, 후술하는 액체(LQ)가 기포 발생관(1)의 내측면에 접촉하는 실시 형태 3의 생성 장치(300)에 비하여, 기포 발생관(1)의 중앙부(4)가 액체에 접촉하는 면적을 상대적으로 크게 할 수 있어, 상대적으로 효율적으로 액체(LQ) 중에 미소 기포(BB)를 불어 넣을 수 있다는 이점도 있다.
(실시 형태 3)
이어서, 실시 형태 3에 관한 생성 장치(300)에 대해서, 도 7, 도 8을 참조하여 설명한다. 도 7은, 본 실시 형태 3에 관한 생성 장치(300)의 단면 구조를 모식적으로 도시하는 단면 설명도이다. 전술한 실시 형태 2의 생성 장치(200)는 기포 발생관(1) 내에 기체(AR)를 보내는 한편, 복수의 기포 발생관(1)을 관 포위 부재(271)로 둘러싸고, 기포 발생관(1)과 관 포위 부재(271) 사이에 액체(LQ)를 유입시키고, 미소 기포 함유 액체(BLQ)를 유출시켰다. 이에 반해, 본 실시 형태 3의 생성 장치(300)는 기체(AR)와 액체(LQ)의 관계를 역전시켜, 복수의 기포 발생관(1)을 관 포위 부재(371)로 둘러싸고, 기포 발생관(1)과 관 포위 부재(371) 사이에 기체(AR)를 보내는 한편, 기포 발생관(1)의 한쪽 단부터 관 내에 액체(LQ)를 유입시키고, 다른 쪽 단부로부터 미소 기포 함유 액체(BLQ)를 유출시키는 점에서 상이하다.
생성 장치(300)는 복수(본 실시 형태 1에서는 13개)의 기포 발생관(1)과, 이들 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)(도 7에 있어서 좌측 단부)를 각각 지지하는 일방측 지지 부재(310)와, 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)(도 7에 있어서 우측 단부)를 각각 지지하는 타방측 지지 부재(340)와, 일방측 지지 부재(310)와 타방측 지지 부재(340)의 간격을 유지하는 간격 유지 부재(370)를 구비한다. 이 중, 기포 발생관(1)은 실시 형태 1, 2에서 사용한 것과 동일하므로, 설명을 생략한다.
각각의 기포 발생관(1) 중, 일방 단부(2)는 일방측 지지 부재(310)에 지지되고, 타방 단부(3)는 타방측 지지 부재(340)에 지지되어 있다(도 7 참조). 이 중 일방측 지지 부재(310)는 개략 원판상의 일방측 보유 지지구(311)와, 제1 패킹(321)과, 일방측 보유 지지구(311)를 길이 방향 NX의 일방측 NX1로부터 덮는 일방측 커버구(331)로 이루어진다.
스테인리스재로 이루어지는 일방측 보유 지지구(311) 중, 액 분배부(316)에는, 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)를 삽입 관통하는 13개의 발생관 삽입 관통 구멍(312)이 실시 형태 1, 2와 동일하게, 축선 AX를 중심으로 한 소정의 배치로 각각 천공되어 있다(도 8 참조). 각각의 발생관 삽입 관통 구멍(312)에는, 환상으로 직경 확장되는 패킹 홈(313)이 설치되어 있고, EPDM으로 이루어지는 제1 패킹(321)(O링)이 이 패킹 홈(313) 내에 배치되어 있다. 이 때문에, 발생관 삽입 관통 구멍(312)에 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)를 삽입 관통함으로써, 이 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)가 제1 패킹(321)을 통하여, 각각 일방측 보유 지지구(311)에 기밀 및 액밀하게 보유 지지되고, 일방측 보유 지지구(311)의 일방측 NX1로부터, 액체(LQ)를 각 기포 발생관(1) 내에 보내서 넣을 수 있다.
또한, 일방측 보유 지지구(311) 중 주위 부분은, 단상으로 잘려 나가 있고, 후술하는 관 포위 부재(371)(간격 유지 부재(370)) 중 일방측의 제1 플랜지부(373)를 감입하여 거는 걸림 단차부(314)로 되어 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 일방측 커버구(331), 일방측 보유 지지구(311) 및 관 포위 부재(371)의 제1 플랜지부(373)를 체결하는 볼트(323)의 축부(324)를 삽입 관통하는 볼트 삽입 관통 구멍(315)이 6군데 천공되어 있다.
또한 액 분배부(316)에는, 각 발생관 삽입 관통 구멍(312)이 존재하는 범위, 즉, 각 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)가 노출되는 범위에 걸쳐서, 오목상의 액 분배 오목부(317)가 설치되어 있고, 후술하는 액 유입부(335)로부터 유입된 액체(LQ)가, 도 7에 흑색 화살표로 나타낸 바와 같이, 액 분배 경로인 액 분배 오목부(317)를 통하여, 각각의 기포 발생관(1)(일방 단부(2))의 관 내에 분배된다.
스테인리스재로 이루어지는 일방측 커버구(331)는 원판상의 일방 단부 커버부(332)와, 이 중앙으로부터 길이 방향 일방측 NX1로 돌출되는 액 유입부(335)를 갖는다. 이 액 유입부(335)가 이루는 액 유입구(336)에는, 액체 배관(도시 생략) 등이 접속되고, 액체(LQ)가 유입된다. 또한, 일방 단부 커버부(332)는 각 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)를 덮고, 액 분배 오목부(317)에 의해, 일방측 보유 지지구(311)의 액 분배부(316)와의 사이에, 유입된 액체(LQ)를 각 기포 발생관(1)에 분배하는 공간을 형성한다. 또한, 일방측 커버구(331) 중 주위 부분에도, 볼트(323)의 축부(324)를 삽입 관통하는 볼트 삽입 관통 구멍(334)이 일방측 보유 지지구(311)의 볼트 삽입 관통 구멍(315)과 각각 동일 축심상으로 겹쳐지는 배치로, 6군데 천공되어 있다.
한편, 타방측 지지 부재(340)는 개략 원판상의 타방측 보유 지지구(341)와, 제2 패킹(351)과, 타방측 보유 지지구(341)를 길이 방향 NX의 타방측 NX2로부터 덮는 타방측 커버구(361)로 이루어진다.
이 중, 스테인리스재로 이루어지는 타방측 보유 지지구(341) 중, 집합 경로부(346)에는, 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)를 삽입 관통하는 13개의 발생관 삽입 관통 구멍(342)이 축선 AX를 중심으로 한 소정의 배치로 각각 천공되어 있다(도 8 참조). 각각의 발생관 삽입 관통 구멍(342)에는, 환상으로 직경 확장되는 패킹 홈(343)이 설치되어 있고, EPDM으로 이루어지는 제2 패킹(351)(O링)이 이 패킹 홈(343) 내에 배치되어 있다. 이 때문에, 발생관 삽입 관통 구멍(342)에 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)를 삽입 관통함으로써, 이 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)가 제2 패킹(351)을 통하여, 각각 타방측 보유 지지구(341)에 기밀 및 액밀하게 보유 지지되어 있다.
또한, 타방측 보유 지지구(341) 중 주위 부분은, 단상으로 잘려 나가 있고, 후술하는 관 포위 부재(371)의 타방측 제2 플랜지부(374)를 감입하여 거는 걸림 단차부(344)로 되어 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 타방측 커버구(361), 타방측 보유 지지구(341) 및 관 포위 부재(371)의 제2 플랜지부(374)를 체결하는 볼트(353)의 축부(354)를 삽입 관통하는 볼트 삽입 관통 구멍(345)이 6군데 천공되어 있다.
또한 집합 경로부(346)에는, 각 발생관 삽입 관통 구멍(342)이 존재하는 범위, 즉, 각 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)가 노출되는 범위에 걸쳐서, 오목상의 집합 경로 오목부(347)가 설치되어 있고, 각 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)로부터 유출한 미소 기포 함유 액체(BLQ)가, 도 7에 줄무늬상 흑색 화살표로 나타낸 바와 같이, 액 집합 경로인 집합 경로 오목부(347)를 통하여 모아지고, 후술하는 액 유출부(365)에 유도된다.
스테인리스재로 이루어지는 타방측 커버구(361)는 원판상의 타방 단부 커버부(362)와, 이 중앙으로부터 길이 방향 타방측 NX2로 돌출되는 액 유출부(365)를 갖는다. 이 액 유출부(365)가 이루는 액 유출구(366)에는, 액체 배관(도시 생략) 등이 접속되고, 미소 기포 함유 액체(BLQ)가 유출된다. 또한, 타방 단부 커버부(362)는 각 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)를 덮고, 집합 경로 오목부(347)에 의해, 타방측 보유 지지구(341)의 집합 경로부(346)와의 사이에, 각 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)로부터 유출한 미소 기포 함유 액체(BLQ)를 액 유출부(365)에 유도하는 공간을 형성한다. 또한, 타방측 커버구(361) 중 주위 부분에도, 볼트(353)의 축부(354)를 삽입 관통하는 볼트 삽입 관통 구멍(364)이 타방측 보유 지지구(341)의 볼트 삽입 관통 구멍(345)과 각각 동일 축심상으로 겹쳐지는 배치로, 6군데 천공되어 있다.
본 실시 형태 3에 있어서, 일방측 지지 부재(310)와 타방측 지지 부재(340)의 간격을 유지하는 간격 유지 부재(370)는 관 포위 부재(371), 볼트(323, 353)를 포함한다. 스테인리스로 이루어지는, 통상의 관 포위 부재(371)는 13개의 기포 발생관(1)의 주위를 둘러싸는 통상의 관 포위부(372) 이외에, 이 관 포위부(372)의 길이 방향 일방측 NX1의 단부로부터 직경 방향 외측을 향하여 넓어지는 제1 플랜지부(373), 관 포위부(372)의 길이 방향 타방측 NX2의 단부로부터 직경 방향 외측을 향하여 넓어지는 제2 플랜지부(374)를 갖는다. 또한, 관 포위부(372) 중, 길이 방향 NX의 중앙 부분에는, 기체 유입구(377)를 이루는 기체 유입부(376)가 외측으로 돌출되는 형태로 설치되어 있다.
이 관 포위 부재(371)의 제1 플랜지부(373)를 일방측 보유 지지구(311)의 걸림 단차부(314)에 끼워넣고, 일방측 커버구(331)의 볼트 삽입 관통 구멍(334)과 일방측 보유 지지구(311)의 볼트 삽입 관통 구멍(315)을 삽입 관통한 볼트(323)의 수나사부(325)를 제1 플랜지부(373)에 설치한 암나사 구멍(373A)에 비틀어 넣는 것에 의해, 일방측 커버구(331), 일방측 보유 지지구(311) 및 관 포위 부재(371)(제1 플랜지부(373))가 서로 체결되어 있다. 또한, 관 포위 부재(371)의 제2 플랜지부(374)를 타방측 보유 지지구(341)의 걸림 단차부(344)에 끼워넣고, 타방측 커버구(361)의 볼트 삽입 관통 구멍(364)과 타방측 보유 지지구(341)의 볼트 삽입 관통 구멍(345)을 삽입 관통한 볼트(353)의 수나사부(355)를 제2 플랜지부(374)에 설치한 암나사 구멍(374A)에 비틀어 넣는 것에 의해, 타방측 커버구(361), 타방측 보유 지지구(341) 및 관 포위 부재(371)(제2 플랜지부(374))가 서로 체결되어 있다. 또한, 이 관 포위 부재(371)에 의해, 일방측 지지 부재(310)와 타방측 지지 부재(340) 사이의 간격 M이 소정의 치수로 규제되어 있다.
이어서, 본 실시 형태 3의 생성 장치(300)에 있어서의, 13개의 기포 발생관(1)의 배치에 대해서, 도 8, 도 3을 참조하여 설명한다. 이 도 8은, 도 7에 나타내는 생성 장치(300)의 C-C 단면 중, 13개의 기포 발생관(1) 및 관 포위 부재(371)(관 포위부(372))의 단부면만을 나타낸 것이다. 13개의 기포 발생관(1)의 배치는, 실시 형태 1, 2와 마찬가지이므로, 설명은 생략한다. 13개의 기포 발생관(1)은 축선 AX의 둘레에 60도마다의 회전 대칭으로 배치되고, 또한, 각각의 기포 발생관(1)의 중심이, 서로 합동인 가상 정삼각형의 정점에 위치하는 형태로 배치되어 있다(도 3 참조). 복수의 기포 발생관(1)을 이와 같은 형태로 배치하면, 복수의 기포 발생관(1)을 중앙 기포 발생관(10)을 중심으로 하여, 치우침 없이 배치할 수 있고, 복수의 기포 발생관(1)을 일방측 지지 부재(310)(일방측 보유 지지구(311)) 및 타방측 지지 부재(340)(타방측 보유 지지구(341))로 확실하게 지지한 생성 장치(300)로 할 수 있다.
본 실시 형태 3의 생성 장치(300)는 도 7에 도시하는 바와 같이, 관 포위부(372)에 형성한 기체 유입부(376)를 통해서, 관 포위부(372) 내의 기포 발생관(1)의 외측에 기체(AR)를 보내서 넣는다. 그 한편, 액 유입부(335)로부터 유입시킨 액체(LQ)를, 각 기포 발생관(1)의 일방 단부(2)에 분배하고, 이 일방 단부를 통하여 액체(LQ)를 이 기포 발생관(1)의 관 내에 유입시킨다. 또한, 기포 발생관(1)의 타방 단부(3)로부터 유출한 미소 기포 함유 액체(BLQ)를 모으고, 액 유출부(365)로부터 유출시킨다. 기포 발생관(1) 내에 유입된 액체(LQ)는, 기포 발생관(1)의 중앙부(4) 내를 길이 방향 NX(본 실시 형태 3에서는, 길이 방향 타방측 NX2(도면 중 우측))로 흐른다. 이 기포 발생관(1)의 중앙부(4) 내를 액체(LQ)가 흐르는 사이에, 기포 발생관(1)의 중앙부(4)의 내주면으로부터 미소 기포(BB)를 발생시켜, 액체(LQ) 내에 미소 기포(BB)를 불어 넣을 수 있다.
이 생성 장치(300)에서는, 복수(본 실시 형태 1에서는 13개)의 기포 발생관(1)을 사용하고 있고, 액체(LQ)를 각각의 기포 발생관(1)에 분배하고 있으므로, 각각의 기포 발생관(1)의 중앙부(4) 내에서 미소 기포(BB)를 발생시킬 수 있다. 즉, 액체(LQ)에 접하는 기포 발생관(1)의 중앙부(4)(다공질 세라믹스)의 면적을 증가시킬 수 있어, 액체(LQ) 중에 보다 많은 미소 기포(BB)를 불어 넣을 수 있다. 게다가, 1개의 긴 기포 발생관을 사용하는 경우에 비하여, 각각의 기포 발생관(1)의 길이를 짧게 할 수 있으므로, 각각의 기포 발생관(1)의 강도가 높고 신뢰성이 있는 미소 기포 함유 액체(BLQ)의 생성 장치(300)가 된다.
게다가, 본 실시 형태 3의 생성 장치(300)에서는, 액체(LQ)에 기체(AR) 미소 기포(BB)를 불어 넣음에 있어서, 액체(LQ)가 외기에 접촉할 일이 없으므로, 청정한 상태에서, 액체(LQ)를 미소 기포 함유 액체(BLQ)로 할 수 있다.
이상에 있어서, 본 발명을 실시 형태 1∼3에 의거하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니라, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 적절히 변경하여 적용할 수 있음은 말할 필요도 없다. 각 실시 형태에서는, 기포 발생관(1)의 수를 13개로 했지만, 다른 개수로 해도 된다. 특히, 중앙 기포 발생관(10)을 중심으로 하여, 중앙 기포 발생관(10)의 주위에 배치된 주위 기포 발생관(11)이 회전 대칭으로 배치되고, 또한, 각각의 기포 발생관(1)의 중심이, 서로 합동인 가상 정삼각형의 정점에 위치하는 형태로 배치된, 다른 개수, 예를 들어, 7개, 19개, 31개 등으로 할 수도 있다.
또한, 기포 발생관(1)을 다공질 알루미나로 이루어지는 것으로 한 예를 나타냈지만, 다른 다공질 세라믹스(티타니아, 지르코니아, 실리카, 질화규소, 탄화규소 등)로 구성할 수도 있다.
또한, 각 실시 형태에 있어서는, 일방측 지지 부재(110) 등, 타방측 지지 부재(140) 등을 스테인리스 등의 금속재로 형성한 예를 나타냈지만, 액체(LQ)에 접하는 부위(부재)를 불소 수지 등의 수지나 알루미나 등의 세라믹스 등의 비금속의 재료로 구성할 수 있다. 또한, 금속재 중 액체에 접하는 부위를, 불소 수지 등으로 라이닝한 부재를 사용할 수도 있다.
100, 200, 300: 미소 기포 함유 액체의 생성 장치
NX: (기포 발생관의) 길이 방향
NX1: (길이 방향의) 일방측
NX2: (길이 방향의) 타방측
1: 기포 발생관
10: 중앙 기포 발생관
AX: (중앙 기포 발생관의) 축선
11: 주위 기포 발생관
2: (기포 발생관의) 일방 단부
3: (기포 발생관의) 타방 단부
4: (기포 발생관의) 중앙부
110, 210, 310: 일방측 지지 부재
140, 240, 340: 타방측 지지 부재
170, 270, 370: 간격 유지 부재
M: (일방측 지지 부재와 타방측 지지 부재의) 간격
111, 211, 311: 일방측 보유 지지구(일방측 지지 부재)
112, 212, 312: (일방측 보유 지지구 중) 발생관 삽입 관통 구멍
113, 213, 313: (일방측 보유 지지구 중)패킹 홈
114: (일방측 보유 지지구 중) 컬럼 고정 구멍
216: 기체 분배부
217: 기체 분배 오목부(기체 분배 경로)
316: 액 분배부
317: 액 분배 오목부
121, 221, 321: 제1 패킹(일방측 지지 부재)
223, 323: 볼트(일방측 지지 부재, 간격 유지 부재)
131, 231, 331: 일방측 커버구(일방측 지지 부재)
132: 기체 분배부
133: 기체 분배 오목부
135, 235: 기체 유입부
136, 236: 기체 유입구
335: 액 유입부
336: 액 유입구
141, 241, 341: 타방측 보유 지지구(타방측 지지 부재)
142, 242, 342: (타방측 보유 지지구 중) 발생관 삽입 관통 구멍
143, 243, 343: (타방측 보유 지지구 중)패킹 홈
346: 집합 경로부
347: 집합 경로 오목부(액 집합 경로)
151, 251: 제2 패킹(타방측 지지 부재)
253, 353: 볼트(타방측 지지 부재, 간격 유지 부재)
161, 261, 361: 타방측 커버구(타방측 지지 부재)
264, 364: 볼트 삽입 관통 구멍
365: 액 유출부
366: 액 유출구
171: 컬럼 부재(간격 유지 부재)
271, 371: 관 포위 부재(간격 유지 부재)
272, 372: (관 포위 부재의) 관 포위부
276: 액 유입부
277: 액 유입구
278: 액 유출부
279: 액 유출구
376: 기체 유입부
377: 기체 유입구
191: 너트(간격 유지 부재)
193: 와셔(간격 유지 부재)
AR: 기체
LQ: 액체
BB: 기포
BLQ: 미소 기포 함유 액체
NX: (기포 발생관의) 길이 방향
NX1: (길이 방향의) 일방측
NX2: (길이 방향의) 타방측
1: 기포 발생관
10: 중앙 기포 발생관
AX: (중앙 기포 발생관의) 축선
11: 주위 기포 발생관
2: (기포 발생관의) 일방 단부
3: (기포 발생관의) 타방 단부
4: (기포 발생관의) 중앙부
110, 210, 310: 일방측 지지 부재
140, 240, 340: 타방측 지지 부재
170, 270, 370: 간격 유지 부재
M: (일방측 지지 부재와 타방측 지지 부재의) 간격
111, 211, 311: 일방측 보유 지지구(일방측 지지 부재)
112, 212, 312: (일방측 보유 지지구 중) 발생관 삽입 관통 구멍
113, 213, 313: (일방측 보유 지지구 중)패킹 홈
114: (일방측 보유 지지구 중) 컬럼 고정 구멍
216: 기체 분배부
217: 기체 분배 오목부(기체 분배 경로)
316: 액 분배부
317: 액 분배 오목부
121, 221, 321: 제1 패킹(일방측 지지 부재)
223, 323: 볼트(일방측 지지 부재, 간격 유지 부재)
131, 231, 331: 일방측 커버구(일방측 지지 부재)
132: 기체 분배부
133: 기체 분배 오목부
135, 235: 기체 유입부
136, 236: 기체 유입구
335: 액 유입부
336: 액 유입구
141, 241, 341: 타방측 보유 지지구(타방측 지지 부재)
142, 242, 342: (타방측 보유 지지구 중) 발생관 삽입 관통 구멍
143, 243, 343: (타방측 보유 지지구 중)패킹 홈
346: 집합 경로부
347: 집합 경로 오목부(액 집합 경로)
151, 251: 제2 패킹(타방측 지지 부재)
253, 353: 볼트(타방측 지지 부재, 간격 유지 부재)
161, 261, 361: 타방측 커버구(타방측 지지 부재)
264, 364: 볼트 삽입 관통 구멍
365: 액 유출부
366: 액 유출구
171: 컬럼 부재(간격 유지 부재)
271, 371: 관 포위 부재(간격 유지 부재)
272, 372: (관 포위 부재의) 관 포위부
276: 액 유입부
277: 액 유입구
278: 액 유출부
279: 액 유출구
376: 기체 유입부
377: 기체 유입구
191: 너트(간격 유지 부재)
193: 와셔(간격 유지 부재)
AR: 기체
LQ: 액체
BB: 기포
BLQ: 미소 기포 함유 액체
Claims (4)
- 길이 방향으로 연장되는 관상이며, 적어도 일방 단부 및 타방 단부 사이의 중앙부가 다공질 세라믹스로 이루어지고, 상기 중앙부에 접촉하는 액체 중에 기포를 불어 넣는 복수의 기포 발생관과,
상기 복수의 기포 발생관의 상기 일방 단부를 각각 지지하는 일방측 지지 부재와,
상기 복수의 기포 발생관의 상기 타방 단부를 각각 지지하는 타방측 지지 부재와,
상기 일방측 지지 부재와 상기 타방측 지지 부재의 간격을 유지하는 간격 유지 부재를 구비하는
미소 기포 함유 액체의 생성 장치. - 제1항에 있어서,
상기 복수의 기포 발생관은,
중앙에 배치된 중앙 기포 발생관과, 상기 중앙 기포 발생관 주위에 배치된 주위 기포 발생관을 포함하고,
상기 길이 방향에 직교하는 단면에 있어서, 상기 중앙 기포 발생관을 중심으로 하여, 상기 중앙 기포 발생관 주위에 배치된 주위 기포 발생관이, 회전 대칭으로 배치되고, 또한,
각각의 상기 기포 발생관의 중심이, 서로 합동인 가상 정삼각형의 정점에 위치하는 형태로 배치된
미소 기포 함유 액체의 생성 장치. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 일방측 지지 부재는,
상기 액체가 유입되는 액 유입구를 이루는 액 유입부와,
상기 복수의 기포 발생관의 상기 일방 단부에, 유입된 상기 액체를 각각 분배하는 액 분배 경로를 이루는 액 분배부를 포함하고,
상기 타방측 지지 부재는,
상기 미소 기포 함유 액체가 유출되는 액 유출구를 이루는 액 유출부와,
상기 복수의 기포 발생관의 상기 타방 단부로부터 유출된 상기 미소 기포 함유 액체를 각각 상기 액 유출구에 유도하는 액 집합 경로를 이루는 집합 경로부를 포함하고,
상기 간격 유지 부재는,
상기 일방측 지지 부재 및 상기 타방측 지지 부재 사이에서, 상기 복수의 기포 발생관의 주위를 기밀하게 둘러싸는 관상의 관 포위부와,
상기 관 포위부 내에 가압된 기체를 유도하는 기체 유입구를 이루는 기체 유입부를 포함하는
미소 기포 함유 액체의 생성 장치. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 일방측 지지 부재는,
가압된 기체가 유입되는 기체 유입구를 이루는 기체 유입부와,
상기 복수의 기포 발생관의 상기 일방 단부에, 유입된 상기 기체를 각각 분배하는 기체 분배 경로를 이루는 기체 분배부를 포함하고,
상기 간격 유지 부재는,
상기 일방측 지지 부재 및 상기 타방측 지지 부재 사이에서, 상기 복수의 기포 발생관의 주위를 액밀하게 둘러싸는 관상의 관 포위부를 포함하고,
상기 액체를, 상기 복수의 기포 발생관과 상기 관 포위부 사이에 유입시키고, 유입된 상기 액체를 상기 기포 발생관의 상기 중앙부를 따라서 상기 길이 방향으로 흐르게 하고, 상기 미소 기포 함유 액체를 상기 관 포위부로부터 유출시키는 형태로, 액 유입부 및 액 유출부를 설치한
미소 기포 함유 액체의 생성 장치.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016011680 | 2016-01-25 | ||
| JPJP-P-2016-011680 | 2016-01-25 | ||
| PCT/JP2017/000431 WO2017130680A1 (ja) | 2016-01-25 | 2017-01-10 | 微小気泡含有液体の生成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20180103044A true KR20180103044A (ko) | 2018-09-18 |
| KR102587718B1 KR102587718B1 (ko) | 2023-10-12 |
Family
ID=59397892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020187015790A KR102587718B1 (ko) | 2016-01-25 | 2017-01-10 | 미소 기포 함유 액체의 생성 장치 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20180333687A1 (ko) |
| JP (1) | JP6846361B2 (ko) |
| KR (1) | KR102587718B1 (ko) |
| CN (1) | CN108463283A (ko) |
| DE (1) | DE112017000493T5 (ko) |
| TW (1) | TW201737991A (ko) |
| WO (1) | WO2017130680A1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220105178A (ko) * | 2021-01-18 | 2022-07-27 | 레독스생명공학(주) | 나노버블수 제조장치 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112313000A (zh) * | 2018-06-28 | 2021-02-02 | 日本特殊陶业株式会社 | 细气泡产生装置及细气泡产生方法 |
| WO2020189270A1 (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | 株式会社村田製作所 | 気泡発生装置 |
| EP3747534A1 (en) | 2019-06-03 | 2020-12-09 | Watermax AG | Device and method for generating nanobubbles |
| JP7407063B2 (ja) | 2019-07-02 | 2023-12-28 | クアーズテック株式会社 | ディフューザ |
| TWI757082B (zh) * | 2021-02-03 | 2022-03-01 | 謝志欽 | 超微細氣泡產生裝置 |
| CN113716644A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-11-30 | 浙江一龙环保科技有限公司 | 气泡切割器及制备纳米气泡的方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050252982A1 (en) * | 2004-05-17 | 2005-11-17 | Yasuhiro Akita | Humidifier |
| JP2008520412A (ja) * | 2004-11-16 | 2008-06-19 | ヴェロシス，インク． | マイクロチャネル技術を用いる多相反応プロセス |
| JP2009101299A (ja) | 2007-10-24 | 2009-05-14 | Fuji Xerox Co Ltd | マイクロナノバブル発生方法、マイクロ流路の洗浄方法、マイクロナノバブル発生システム、及び、マイクロリアクター |
| JP2011224461A (ja) | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Hang-Ichi:Kk | マイクロバブル発生装置 |
| JP2013034976A (ja) | 2011-08-11 | 2013-02-21 | Koichi Arai | マイクロバブル化装置 |
| CN204324934U (zh) * | 2014-09-29 | 2015-05-13 | 北京石油化工学院 | 气浮处理用微细气泡发生装置 |
| CN204324933U (zh) * | 2014-09-29 | 2015-05-13 | 北京石油化工学院 | 大流量水质气浮净化处理用微细气泡发生器 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1537090A (en) * | 1923-04-06 | 1925-05-12 | Alva T Smith | Humidor |
| US2579203A (en) * | 1948-11-10 | 1951-12-18 | Stratford Eng Corp | Gas-liquid contacting apparatus |
| NL269380A (ko) * | 1960-09-19 | |||
| US4007601A (en) * | 1975-10-16 | 1977-02-15 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Tubular sublimator/evaporator heat sink |
| US4068625A (en) * | 1976-05-12 | 1978-01-17 | Charles Lester Brown | Engine intake air moisturizer |
| US4818447A (en) * | 1987-04-27 | 1989-04-04 | Kiyomoto Tekko Kabushiki Kaisha | Apparatus for mass transferring between phases different from each other |
| US4980060A (en) * | 1987-07-13 | 1990-12-25 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Hollow fiber membranes with fusion-bonded end portions |
| US5218833A (en) * | 1992-03-11 | 1993-06-15 | Bend Research, Inc. | Temperature and humidity control in a closed chamber |
| EP0861684A3 (en) * | 1997-02-26 | 1999-09-22 | Komax Systems, Inc. | Multi path mixing apparatus |
| DE19846041A1 (de) * | 1998-10-07 | 2000-04-20 | Membraflow Gmbh & Co Kg Filter | Membranmodul |
| JP2001293341A (ja) * | 2000-04-11 | 2001-10-23 | Sasakura Engineering Co Ltd | 超高濃度のオゾン溶解装置 |
| JP2002320995A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-05 | Rajiant:Kk | 水浄化装置および水浄化方法 |
| JP2011041868A (ja) * | 2007-11-19 | 2011-03-03 | Kurita Water Ind Ltd | 有機物含有水の処理方法及び装置 |
| JP4885829B2 (ja) * | 2007-11-26 | 2012-02-29 | 三井造船株式会社 | オゾン混合器 |
| US8757444B2 (en) * | 2009-12-17 | 2014-06-24 | Actamax Surgical Materials, Llc | Dispensing device having an array of laterally spaced tubes |
| CA2790599A1 (en) * | 2010-02-22 | 2011-08-25 | Ksm Water Gmbh | Filter membrane module and method for its production |
| KR101123136B1 (ko) * | 2010-10-06 | 2012-03-20 | 주식회사 지케이옥시 | 액체 중에서 미세기포를 발생시키는 방법 및 그 방법에 적합한 미세기포의 발생기 |
| CN202497831U (zh) * | 2012-02-03 | 2012-10-24 | 王志雄 | 微气泡发生器 |
| CN103193288B (zh) * | 2013-04-08 | 2014-07-16 | 中国海洋石油总公司 | 污水气浮处理用微细气泡发生器 |
| DE102014118130A1 (de) * | 2014-12-08 | 2016-06-09 | Technische Universität Berlin | Fluidverteileinrichtung für einen Gas-Flüssigkeits-Kontaktor, Gas-Flüssigkeits-Kontaktor und Verfahren zum Versetzen einer Flüssigkeit mit einem Gas |
-
2017
- 2017-01-10 DE DE112017000493.4T patent/DE112017000493T5/de active Pending
- 2017-01-10 WO PCT/JP2017/000431 patent/WO2017130680A1/ja active Application Filing
- 2017-01-10 CN CN201780004726.4A patent/CN108463283A/zh active Pending
- 2017-01-10 JP JP2017563775A patent/JP6846361B2/ja active Active
- 2017-01-10 KR KR1020187015790A patent/KR102587718B1/ko active IP Right Grant
- 2017-01-10 US US15/777,777 patent/US20180333687A1/en not_active Abandoned
- 2017-01-17 TW TW106101501A patent/TW201737991A/zh unknown
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050252982A1 (en) * | 2004-05-17 | 2005-11-17 | Yasuhiro Akita | Humidifier |
| JP2008520412A (ja) * | 2004-11-16 | 2008-06-19 | ヴェロシス，インク． | マイクロチャネル技術を用いる多相反応プロセス |
| JP2009101299A (ja) | 2007-10-24 | 2009-05-14 | Fuji Xerox Co Ltd | マイクロナノバブル発生方法、マイクロ流路の洗浄方法、マイクロナノバブル発生システム、及び、マイクロリアクター |
| JP2011224461A (ja) | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Hang-Ichi:Kk | マイクロバブル発生装置 |
| JP2013034976A (ja) | 2011-08-11 | 2013-02-21 | Koichi Arai | マイクロバブル化装置 |
| CN204324934U (zh) * | 2014-09-29 | 2015-05-13 | 北京石油化工学院 | 气浮处理用微细气泡发生装置 |
| CN204324933U (zh) * | 2014-09-29 | 2015-05-13 | 北京石油化工学院 | 大流量水质气浮净化处理用微细气泡发生器 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220105178A (ko) * | 2021-01-18 | 2022-07-27 | 레독스생명공학(주) | 나노버블수 제조장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108463283A (zh) | 2018-08-28 |
| JP6846361B2 (ja) | 2021-03-24 |
| JPWO2017130680A1 (ja) | 2019-01-17 |
| US20180333687A1 (en) | 2018-11-22 |
| TW201737991A (zh) | 2017-11-01 |
| DE112017000493T5 (de) | 2018-11-15 |
| KR102587718B1 (ko) | 2023-10-12 |
| WO2017130680A1 (ja) | 2017-08-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20180103044A (ko) | 미소 기포 함유 액체의 생성 장치 | |
| JP6231507B2 (ja) | 微小気泡発生具及び微小気泡含有液体の生成装置 | |
| US20200182566A1 (en) | Compositions containing nano-bubbles in a liquid carrier | |
| EP2492004B1 (en) | Micro-bubble generation device | |
| JP5669173B2 (ja) | マイクロバブル発生装置 | |
| JP7464390B2 (ja) | ファインバブル発生装置及びファインバブル発生方法 | |
| JP2008119623A (ja) | ループ流式バブル発生ノズル | |
| JP6515581B2 (ja) | 分離膜モジュール | |
| KR101863769B1 (ko) | 미세기포 발생기 | |
| JP2022093693A (ja) | 分離膜モジュール | |
| KR102118842B1 (ko) | 마이크로버블 발생장치 | |
| JP2018153715A (ja) | 分離膜モジュール | |
| JP6411399B2 (ja) | 微小気泡発生装置 | |
| JP2013123701A (ja) | 気体溶解液の生成システム及び生成方法 | |
| JP6476150B2 (ja) | 微小気泡発生装置 | |
| JP2008229513A (ja) | 散気板および散気板の製造方法 | |
| JP6615662B2 (ja) | 気泡含有液体の製造装置及びその使用方法 | |
| JP4375766B2 (ja) | 脱気装置及び脱気方法 | |
| CN112351839A (zh) | 气液混合喷嘴 | |
| JP2010194425A (ja) | 散気装置及び気泡発生装置 | |
| WO2020028646A1 (en) | Apparatus and method for expanding nano-bubbles in a liquid carrier | |
| US20230149862A1 (en) | All Ceramic High Efficiency Diffuser with Ceramic Membrane | |
| JP2005326008A (ja) | 管が容器に入る場所で管を封止状態で固定するための装置 | |
| Kartohardjono et al. | Mass transfer and fluid hydrodynamics in sealed end hydrophobic hollow fiber membrane gas-liquid contactors | |
| WO2018112359A1 (en) | Spiral mixing chamber with vortex generating obstructions |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right |