KR20180100497A

KR20180100497A - 절삭 장치

Info

Publication number: KR20180100497A
Application number: KR1020180024563A
Authority: KR
Inventors: 주삼 차
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2017-03-01
Filing date: 2018-02-28
Publication date: 2018-09-11
Also published as: CN108538718A; KR102341606B1; TW201834045A; JP2018147913A; TWI745541B; JP6814662B2

Abstract

본 발명은 피가공물의 절삭 시에 있어서, 절삭 블레이드가 장착된 스핀들의 부하 전류값이 높아진 부분을 오퍼레이터가 특정하기 쉽게 하는 것을 과제로 한다.
본 발명은, 회전 구동되는 스핀들(111)과, 스핀들(111)의 선단에 장착되어 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(W)을 절삭하는 절삭 블레이드(113)를 구비하고, 피가공물(W)을 가공 예정 라인을 따라 절삭 가공하는 절삭 장치(1)로서, 절삭 가공 시에 있어서의 스핀들(111)의 부하 전류값을 검출하는 부하 전류값 검출 수단(15)과, 부하 전류값 검출 수단(15)에 의해 검출한 부하 전류값을 표시하는 표시 수단(18)을 구비하고, 가공 예정 라인과 가공 예정 라인의 가공 시의 스핀들(111)의 부하 전류값을 대응시켜 표시 수단(18)에 표시하는 것인, 절삭 장치이다.

Description

절삭 장치{CUTTING APPARATUS}

본 발명은 피가공물을 절삭하는 절삭 장치에 관한 것이다.

절삭 장치에 있어서는, 절삭 블레이드를 피가공물의 가공 예정 라인에 절단진입시켜 절삭을 행하고 있다. 절삭 블레이드는, 스핀들에 장착되고, 스핀들의 회전에 의해 절삭 블레이드도 회전하는 구성으로 이루어진다.

절삭 블레이드에 의한 절삭 가공에 있어서는, 절삭 블레이드가 마모되거나 하여 절삭 능력이 저하하면, 피가공물에 치핑(chipping)이 생기는 등의 문제가 생길 수 있다. 그래서, 절삭 장치에서는, 스핀들이 일정한 회전수로 회전하도록 제어를 행하고, 스핀들의 부하 전류값을 감시하여, 부하 전류값이 상승한 경우에는, 절삭 블레이드를 드레싱(dressing)하는 등의 처리를 행함으로써, 절삭 품질의 유지를 도모하고 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2009-283604호 공보

그러나, 부하 전류값을 감시함으로써, 절삭 시에 부하 전류값이 상승한 것은 파악할 수 있어도, 그것이 어떤 가공 예정 라인의 절삭 시에 생긴 것인지를 아는 것은 용이하지 않다. 그 때문에, 피가공물이 분할되어 형성되는 다수의 칩 중, 어떤 칩의 품질에 문제가 있는 것인지는 파악할 수 없다. 한편, 어느 절삭 시에 얼마만큼의 부하 전류값이 검출된 것인지를 오퍼레이터가 파악할 수 있게 되면, 품질에 문제가 있다고 생각되는 칩을 특정하기 쉬워진다.

본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 피가공물의 절삭 시에 있어서, 절삭 블레이드가 장착된 스핀들의 부하 전류값이 높아진 부분을 오퍼레이터가 특정하기 쉽게 하는 것을 과제로 한다.

본 발명은 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 회전 구동되는 스핀들과, 상기 스핀들의 선단에 장착되어 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 구비하고, 상기 피가공물을 가공 예정 라인을 따라 절삭 가공하는 절삭 장치로서, 절삭 가공 시에 있어서의 상기 스핀들의 부하 전류값을 검출하는 부하 전류값 검출 수단과, 상기 부하 전류값 검출 수단에 의해 검출한 부하 전류값을 표시하는 표시 수단과, 적어도 상기 부하 전류값 검출 수단과 상기 표시 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하고, 상기 제어 수단은 가공 예정 라인과 상기 가공 예정 라인의 가공 시의 상기 스핀들의 부하 전류값을 대응시켜 상기 표시 수단에 표시한다.

상기 절삭 장치에 있어서, 상기 제어 수단은 부하 전류값의 값에 따라, 가공 예정 라인을 색별, 선 종류별 중 어느 한쪽 또는 양쪽에 의해 상기 표시 수단에 표시하는 것이 바람직하다.

본 발명에서는, 제어 수단이, 가공 예정 라인과 그 가공 예정 라인의 가공 시의 스핀들의 부하 전류값을 대응시켜 표시 수단에 표시하기 때문에, 어떤 가공 예정 라인의 절삭 시에 얼마만큼의 부하 전류가 생긴 것인지를 한눈에 파악할 수 있다. 따라서, 품질에 문제가 있다고 생각되는 칩을 특정하기 쉬워진다.

도 1은 절삭 장치의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2는 피가공물의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 3은 표시 수단에 있어서의 표시예를 나타내는 정면도이다.

도 1에 나타내는 절삭 장치(1)는, 피가공물(W)에 절삭 가공을 실시하는 장치로서, 예컨대, 피가공물(W)을 유지하는 척 테이블(10)과, 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(W)을 절삭하는 절삭 수단(11)을 적어도 구비한다.

절삭 장치(1)의 베이스(1A)의 전방(+Y 방향측)에는, X축 방향으로 척 테이블(10)을 왕복 이동시키는 절삭 이송 수단(12)이 구비된다. 절삭 이송 수단(12)은, X축 방향의 축심을 갖는 볼 나사(120)와, 볼 나사(120)와 평행하게 배치되는 한 쌍의 가이드 레일(121)과, 볼 나사(120)를 회동시키는 모터(122)와, 내부의 너트가 볼 나사(120)에 나사 결합하여 바닥부가 가이드 레일(121)에 미끄럼 접촉하는 가동판(123)으로 구성된다. 그리고, 모터(122)가 볼 나사(120)를 회동시키면, 이에 따라 가동판(123)이 가이드 레일(121)에 가이드되어 X축 방향으로 이동하고, 가동판(123) 상에 배치된 척 테이블(10)이 가동판(123)의 이동에 따라 X축 방향으로 이동함으로써, 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(W)이 절삭 이송된다.

도 1에 나타내는 척 테이블(10)은, 피가공물(W)을 흡착하는 다공성 부재 등으로 이루어지는 흡착부(100)와, 흡착부(100)를 지지하는 프레임(101)을 구비한다. 흡착부(100)는 도시하지 않는 흡인원에 연통되어, 흡착부(100)의 노출면인 유지면(100a) 상에서 피가공물(W)을 흡인 유지한다. 척 테이블(10)은, 커버(102)에 의해 주위로부터 둘러싸이고, 척 테이블(10)의 바닥면측에 배치된 회전 수단(103)에 의해 구동되어 회전할 수 있게 된다. 또한, 프레임(101)의 주위에는, 환형 프레임(F)을 고정하는 고정 클램프(104)가 둘레 방향으로 균등하게 4개 배치된다.

절삭 장치(1)의 베이스(1A) 상에는, Y축 방향으로 절삭 수단(11)을 왕복 이동시키는 인덱싱 이송 수단(13)이 구비된다. 인덱싱 이송 수단(13)은, Y축 방향의 축심을 갖는 볼 나사(130)와, 볼 나사(130)와 평행하게 배치되는 한 쌍의 가이드 레일(131)과, 볼 나사(130)를 회동시키는 모터(132)와, 내부의 너트가 볼 나사(130)에 나사 결합하여 바닥부가 가이드 레일(131)에 미끄럼 접촉하는 가동판(133)으로 구성된다. 그리고, 모터(132)가 볼 나사(130)를 회동시키면, 이에 따라 가동판(133)이 가이드 레일(131)에 가이드되어 Y축 방향으로 이동하고, 가동판(133) 상에 배치되는 절삭 수단(11)이 가동판(133)의 이동에 따라 Y축 방향으로 이동함으로써, 절삭 수단(11)이 인덱싱 이송된다.

가동판(133) 상으로부터는 벽부(145)가 일체적으로 세워서 설치되고, 벽부(145)의 +X 방향측의 측면에는 Z축 방향으로 절삭 수단(11)을 왕복 이동시키는 절단진입 이송 수단(14)이 구비된다. 절단진입 이송 수단(14)은, Z 방향의 축심을 갖는 볼 나사(140)와, 볼 나사(140)와 평행하게 배치되는 한 쌍의 가이드 레일(141)과, 볼 나사(140)를 회동시키는 모터(142)와, 내부의 너트가 볼 나사(140)에 나사 결합하여 측부가 가이드 레일(141)에 미끄럼 접촉하는 홀더(143)로 구성된다. 그리고, 모터(142)가 볼 나사(140)를 회동시키면, 이에 따라 홀더(143)가 가이드 레일(141)에 가이드되어 Z축 방향으로 이동하고, 홀더(143)에 하우징(11A)를 통해 지지되는 절삭 수단(11)이 홀더(143)의 이동에 따라 Z축 방향으로 이동한다.

절삭 수단(11)은, 홀더(143)에 의해 지지되는 하우징(110)과, 하우징(110)에 의해 회전 가능하게 지지되는 스핀들(111)과, 스핀들(111)을 회전 구동시키는 모터(112)와, 스핀들(111)의 선단부에 장착되는 절삭 블레이드(113)를 갖는다.

도 1에 나타내는 절삭 블레이드(113)는, 예컨대, 허브 블레이드이고, 원반형으로 형성되어 중앙에 장착 구멍을 구비하는 알루미늄제의 베이스와, 베이스의 외주부에 고정한 절단날을 구비한다. 또한, 절삭 블레이드(113)는 허브 블레이드에 한정되는 것이 아니며, 외형이 환형인 와셔형 블레이드여도 좋다.

스핀들(111)은, 그 축 방향이 척 테이블(10)의 이동 방향(X축 방향)에 대하여 수평 방향으로 직교하는 방향(Y축 방향)이고, 스핀들(111)의 후단측(-Y 방향측의 단부측)은, 모터(112)의 회전력을 전달하는 샤프트에 연결되며, 스핀들(111)의 전단측에 절삭 블레이드(113)가 장착된다. 그리고, 모터(112)에 의해 스핀들(111)이 회전 구동됨에 따라, 절삭 블레이드(113)도 고속 회전한다.

모터(112)는 전동 모터이고, 모터(112)에는, 모터(112)에 전력을 공급하는 도시하지 않는 전원과, 모터(112)에 공급되는 전력의 부하 전류값을 검출하는 부하 전류값 검출 수단(15)이 접속된다.

하우징(110)에는, 블레이드 커버(114)가 부착된다. 블레이드 커버(114)는, 그 대략 중앙부에 절삭 블레이드(113)를 부착하기 위한 개구부를 구비하고, 개구부에 절삭 블레이드(113)를 위치 부여하며, 절삭 블레이드(113)를 상방으로부터 덮는다. 또한, 블레이드 커버(114)에는, 피가공물(W)에 대하여 절삭 블레이드(113)가 접촉하는 가공점에 절삭수를 공급하는 절삭수 공급 노즐(115)이 부착된다. 예컨대, Y축 방향에서 보아 L자형으로 형성된 절삭수 공급 노즐(115)은, 절삭 블레이드(113)를 Y축 방향 양측으로부터 사이에 끼우도록 2개 배치되고, 절삭 블레이드(113)의 측면을 향하는 분사구를 구비하며, 도시하지 않는 절삭수 공급원에 연통된다.

하우징(110)의 측면에는 얼라인먼트 수단(19)이 배치된다. 얼라인먼트 수단(19)은, 피가공물(W)을 촬상하는 촬상 수단(190)을 구비하고, 촬상 수단(190)은, 예컨대, 피가공물(W)에 광을 조사하는 광 조사부와, 피가공물(W)로부터의 반사광을 포착하는 광학계 및 반사광에 대응하는 전기 신호를 출력하는 촬상 소자(CCD) 등으로 구성되는 카메라를 구비한다. 얼라인먼트 수단(19)은, 촬상 수단(190)에 의해 취득한 화상에 기초하여, 피가공물(W)의 절삭하여야 하는 가공 예정 라인을 검출할 수 있다. 얼라인먼트 수단(19)과 절삭 수단(11)은 일체로 구성되고, 양자는 연동하여 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동한다.

절삭 장치(1)는, CPU 및 메모리 등의 기억 소자로 구성되어 장치 전체의 제어를 행하는 제어 수단(16)을 구비한다. 제어 수단(16)은, 배선에 의해 절삭 이송 수단(12) 및 절단진입 이송 수단(14) 등의 각 장치 구성 요소에 접속되고, 제어 수단(16)에 의한 제어 하에서, 절삭 이송 수단(12)에 의한 척 테이블(10)의 X축 방향으로의 절삭 이송 동작이나, 절단진입 이송 수단(14)에 의한 절삭 수단(11)의 Z축 방향으로의 절단진입 이송 동작 등이 제어된다. 또한, 제어 수단(16)은, 부하 전류값 검출 수단(15)에 접속되고, 부하 전류값 검출 수단(15)은, 검출한 모터(112)의 부하 전류값에 대한 정보를 제어 수단(16)에 보낼 수 있어, 제어 수단(16)은, 부하 전류값에 기초한 제어를 행한다.

제어 수단(16)에는, 메모리 등의 기억 소자를 구비한 기억부(17)와, 제어 수단(16)으로부터의 출력 정보를 화면 표시하는 표시 수단(18)을 구비하고 있다.

이하에서는, 도 1에 나타내는 피가공물(W)을 종횡으로 절삭하여 분할 가공하는 경우에 있어서의 절삭 장치(1)의 동작에 대해서 설명한다. 도 1에 나타내는 피가공물(W)은 직사각 형상으로 형성되어 있고, 그 내부에는, 격자형의 영역에 다수의 디바이스가 형성되어 있다. 피가공물(W)의 이면(Wb)은, 다이싱 테이프(T)에 점착되어 있어, 다이싱 테이프(T)에 의해 보호되고 있다. 다이싱 테이프(T)의 점착면의 외주 영역에는 원형의 개구를 구비하는 환형 프레임(F)이 점착되어 있고, 피가공물(W)은, 다이싱 테이프(T)를 통해 환형 프레임(F)에 의해 지지되어 있다. 또한, 피가공물(W)은, 직사각형의 것으로 한정되지는 않는다.

먼저, 오퍼레이터에 의해, 도시하지 않는 조작 수단에 의해, 척 테이블(10)의 절삭 이송 속도, 피가공물(W)의 크기, 인접하는 절삭 라인 사이의 간격, 절삭 블레이드(113)의 절단진입 깊이 등의 가공 조건이 제어 수단(16)에 입력된다.

피가공물(W)은, 도 1에 나타내는 척 테이블(10)의 중심과 피가공물(W)의 중심이 합치하도록, 다이싱 테이프(T)측을 아래로 하여 유지면(100a) 상에 배치된다. 그리고, 도시하지 않는 흡인원에 의해 만들어지는 흡인력을 유지면(100a)에 작용시킴으로써, 피가공물(W)의 피가공면(Wa)과 반대의 면인 이면(Wb)이 척 테이블(10)에 의해 흡인 유지된다. 또한, 각 고정 클램프(104)에 의해 환형 프레임(F)이 고정된다.

계속해서, 절삭 이송 수단(12)이 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(W)을 +X 방향으로 보내고, 절삭 블레이드(113)를 절단진입시켜야 하는 가공 예정 라인이 얼라인먼트 수단(19)에 의해 검출된다. 즉, 촬상 수단(190)에 의해 촬상된 피가공물(W)의 표면(Wa)의 화상에 의해, 얼라인먼트 수단(19)이 패턴 매칭 등의 화상 처리를 실행하여, 절삭 블레이드(113)를 절단진입시켜야 하는 가공 예정 라인이 검출된다. 가공 예정 라인이 검출됨에 따라, 절삭 수단(11)이 인덱싱 이송 수단(13)에 의해 Y축 방향으로 구동되어, 절삭하여야 하는 가공 예정 라인과 절삭 블레이드(113)의 Y축 방향에 있어서의 위치 맞춤이 행해진다.

절삭 수단(11)을 구성하는 모터(112)에는 교류 전력이 공급되어, 스핀들(111) 및 절삭 블레이드(113)는 고속 회전한다. 그 상태에서, 절단진입 이송 수단(14)이 절삭 수단(11)을 -Z 방향으로 절단진입 이송하여, 절삭 블레이드(113)를 미리 정해진 높이 위치에 위치 부여한다.

절삭 블레이드(113)와 검출한 가공 예정 라인의 Y축 방향의 위치 맞춤이 이루어진 상태에서, 피가공물(W)을 유지하는 척 테이블(10)이 미리 정해진 절삭 이송 속도로 더욱 +X 방향으로 송출됨으로써, 척 테이블(10)과 절삭 블레이드(113)가 상대적으로 미리 정해진 속도로 절삭 이송 방향(X축 방향)으로 이동하여, 절삭 블레이드(113)가 고속 회전하면서 피가공물(W)의 검출된 가공 예정 라인에 절단진입되어, 그 가공 예정 라인이 절삭된다. 절삭 도중에, 절삭수 공급 노즐(115)로부터 절삭 블레이드(113)에 대하여 절삭수를 공급한다.

다음에, 인접하는 가공 예정 라인의 간격만큼 절삭 수단(11)을 Y축 방향으로 인덱싱 이송하여, 동일한 절삭을 행함으로써, 절삭 종료된 가공 예정 라인 옆의 가공 예정 라인을 절삭한다. 이와 같이 하여, 인덱싱 이송과 절삭을 반복해서 행함으로써, 같은 방향의 가공 예정 라인이 전부 절삭된다. 또한, 척 테이블(10)을 90도 회전시키고 나서 동일한 절삭을 행함으로써, 도 2에 나타내는 바와 같이, 모든 가공 예정 라인이 종횡으로 절삭되어, 개개의 칩으로 분할된다.

이와 같이 하여 행하는 절삭의 과정에 있어서는, 제어 수단(16)이, 절삭 이송 수단(12)을 구성하는 모터(122)에 관한 제어 정보[예컨대 모터(122)에 송출한 펄스 수 또는 인코더로부터의 정보]에 기초하여 피가공물(W)의 X축 방향의 위치를 검출하며, 인덱싱 이송 수단(13)을 구성하는 모터(132)에 관한 제어 정보[예컨대 모터(132)에 송출한 펄스 수 또는 인코더로부터의 정보]에 기초하여, 절삭 블레이드(113)의 Y축 방향의 위치를 검출한다. 즉, 이러한 2개의 제어 정보에 기초하여, 제어 수단(16)은, 현재의 절삭 가공 위치를 인식한다. 그리고, 도 3에 나타내는 바와 같이, 가공에 의해 형성되는 절삭홈(G)을, 표시 수단(18)에 리얼 타임으로 표시해 간다.

또한, 이와 병행하여, 제어 수단(16)은, 부하 전류값 검출 수단(15)에 있어서의 부하 전류를 순서대로 읽는다. 그리고, 가공 위치와 그 가공 위치의 가공 시에 있어서의 부하 전류값을 대응시킨 가공 위치별 부하 전류값 정보를 기억 수단(17)에 기억한다. 또한, 제어 수단(16)은, 가공 위치별 부하 전류값 정보를, 가공의 진행에 맞추어 표시 수단(18)에 리얼 타임으로 표시한다.

절삭 블레이드(113)에 의한 절삭 가공 시는, 절삭 블레이드(113)에 관한 부하가 커지면, 절삭 블레이드(113)에는 보다 강한 회전력이 필요해진다. 제어 수단(16)은, 스핀들(111)이 일정한 회전수로 회전하도록 모터(112)를 제어하기 때문에, 절삭 블레이드(113)에 작용하는 부하가 커지면, 모터(112)의 부하 전류값은 상승한다. 제어 수단(16)은, 도 3에 나타내는 바와 같이, 위에서 본 상태의 피가공물(W)을 표시하며, 절삭 가공에 의해 형성되는 절삭홈(G)을 표시하고, 절삭홈(G)의 형성 시의 부하 전류값을, 절삭홈(G)에 대응시켜 표시한다. 도 3의 예에서는, 부하 전류값에 맞추어 절삭홈(G)의 굵기를 바꿈으로써, 부하 전류값이 높은 부분을 한눈에 파악할 수 있도록 하고 있다. 즉, 또한, 도 3에 나타낸 예는, 모든 가공 예정 라인의 절삭이 종료되고, 모든 가공 예정 라인을 따라 절삭홈이 형성된 상태를 나타내고 있다.

도 3의 예에 있어서는, 통상의 부하 전류값을 나타낸 부분과, 통상의 부하 전류값보다 큰 값을 나타낸 부분을, 오퍼레이터가 식별할 수 있도록 표시하고 있다. 구체적으로는, 절삭 중의 부하 전류값이 통상의 값이었던 부분은 세선으로 나타내고, 절삭 중의 부하 전류값이 1.0 A였던 부분은 굵은 선(G1), 절삭 중의 부하 전류값이 1.5 A였던 부분은 극히 굵은 선(G2), 절삭 중의 부하 전류값이 2.0 A였던 부분은 파선(G3), 부하 전류값이 2.5 A였던 부분은 파동형 선(G4)에 의해 표시하고 있다. 또한, 가공 예정 라인의 선 종류에 의한 식별(선 종류별) 대신에, 예컨대 색별에 의해 부하 전류값의 값을 식별할 수 있도록 하여도 좋다. 또한, 선 종류별과 색별을 병용하여도 좋다.

부하 전류값이 높지 않은 부분에 대해서는, 가공 품질이 낮지 않다고 추정되고, 부하 전류값이 높은 부분에 대해서는, 가공 품질이 낮다고 추정된다. 따라서, 오퍼레이터는, 부하 전류값이 높은 부분에서 어떠한 가공 트러블이 발생하였다고 추정할 수 있고, 그 부분을 용이하게 특정할 수 있다. 또한, 부하 전류값이 높게 표시된 절삭홈의 양측의 칩만을 검사하도록 할 수도 있어, 생산성을 향상시킬 수 있다.

가공 예정 라인에는, TEG(Test Element Group)라고 불리는 금속이 매립되어 있는 경우도 있다. 절삭 블레이드(113)가 TEG 등의 금속에 절단진입되면, 절삭 블레이드(113)에 걸리는 부하가 커지기 때문에, 모터(112)의 부하 전류값은 상승한다. 예컨대, TEG가 없는 부분의 절삭 시의 부하 전류값이 1.5 A인 경우는, TEG를 절삭하면, 부하 전류값이 2.0 A 정도가 된다. 따라서, 국소적으로 부하 전류값이 상승한 경우에는, TEG의 존재가 추정되어, 절삭 블레이드(113)의 절삭 능력의 저하에 기초한 부하 전류값의 증가가 아니라고 판단할 수 있다. 또한, TEG의 존재 위치를 확인할 수 있기 때문에, 다음에 동종의 피가공물을 절삭할 때에는, TEG의 존재 위치에 기초하여, 가공 예정 라인의 절삭 순서를 조정할 수 있다. 예컨대, TEG가 존재하는 가공 예정 라인을 마지막으로 절삭함으로써, 절삭 블레이드의 드레싱 횟수나 교환 횟수를 저감하는 것이 가능해져, 생산성이 향상된다.

절삭 블레이드(113)를 오래 사용함으로써 절삭 능력이 저하한 경우도, 부하 전류값은 높아진다. 예컨대, 부하 전류값이 2.5 A∼3.0 A가 되면, 가공 품질이 저하한다. 그리고, 절삭 능력의 저하에 기인하여 부하 전류값이 높아진 경우는, 부하 전류값이 높은 상태가 쭉 계속되게 된다. 따라서, 오퍼레이터는, 표시 수단(18)에 표시되는 가공 위치별 부하 전류값 정보에 기초하여, 절삭 블레이드(113)의 절삭 능력이 저하하였기 때문에 부하 전류값이 높은 상태가 계속되고 있다고 판단한 경우는, 절삭 블레이드의 드레싱을 행한다. 예컨대, 도 1에 나타낸 척 테이블(10)의 근방에 도시하지 않는 드레싱 보드 등을 배치하고, 절삭 블레이드(113)를 드레싱 보드에 절단진입시킴으로써, 절삭 블레이드의 절삭 능력을 높일 수 있다. 또한, 드레싱 대신에, 절삭 블레이드(113)를 교환하여도 좋다.

또한, 피가공물(W)의 사이즈에 기초하여 절삭한 가공 예정 라인의 총거리를 구할 수 있기 때문에, 드레싱 후에 재차 절삭 능력이 저하하여 부하 전류값이 미리 정해진 값 이상이 된 경우는, 드레싱 후의 절삭 재개 시부터 부하 전류값이 미리 정해진 값 이상이 되기까지 사이의 총절삭 거리를 산출함으로써, 얼마만큼의 거리를 절삭한 시점에 드레싱(중간 드레스)을 행하면 좋은지를 파악하는 것이 가능해진다.

표시 수단(18)에 표시된 가공 위치별 부하 전류값 정보는, 도 1에 나타낸 기억 수단(17)에 기억시킬 수 있다. 즉, 피가공물 1장 단위로, 가공 위치별 부하 전류값 정보를 각각 기억시켜 둘 수 있다. 따라서, 개개의 피가공물마다, 칩의 품질 관리를 할 수 있다. 또한, 전체 가공 예정 라인의 부하 전류값을 기억할 수 있기 때문에, 절삭이 종료한 피가공물에 대해서도 부하 전류값이 이상이라고 생각되는 위치를 확인할 수 있다.

본 실시형태에서는, 피가공물의 절삭 부분의 X축 방향의 위치를 절삭 이송 수단을 구성하는 모터의 제어 정보에 기초하여 인식하고, 피가공물의 절삭 부분의 Y축 방향의 위치를 인덱싱 이송 수단을 구성하는 모터의 제어 정보에 기초하여 인식하는 것으로 하였지만, 절삭 부분의 인식에는, 이외의 방법을 채용할 수도 있다. 예컨대, X축 방향과 Y축 방향에 각각 눈금자(scale)를 배치해 두고, 눈금자의 판독값에 따라 절삭 부분을 인식하도록 하여도 좋다.

또한, 본 실시형태에서는, 가공 예정 라인의 어떤 부분에서 부하 전류값이 상승하였는지에 대해서도 파악할 수 있도록 하였지만, 어떤 가공 예정 라인에 있어서 부하 전류값이 상승하였는지만을 파악하고, 그 가공 예정 라인 중의 위치까지 특정하지 않도록 하여도 좋다. 이 경우는, 인덱싱 이송 수단(13)을 구성하는 모터(132)의 제어 정보에만 기초하여 가공 예정 라인을 특정하면 좋고, 절삭 이송 수단(12)을 구성하는 모터(122)의 제어 정보를 이용하지 않아도 좋다.

1: 절삭 장치 10: 척 테이블
100: 흡착부 100a: 유지면
101: 프레임 102: 커버 103: 회전 수단
11: 절삭 수단 110: 하우징
111: 스핀들 112: 모터
113: 절삭 블레이드 114: 블레이드 커버
115: 절삭수 공급 노즐 12: 절삭 이송 수단
120: 볼 나사 121: 가이드 레일
122: 모터 123: 가동판
13: 인덱싱 이송 수단 130: 볼 나사
131: 가이드 레일 132: 모터
133: 가동판 14: 절단진입 이송 수단
140: 볼 나사 141: 가이드 레일
142: 모터 143: 홀더
145: 벽부 15: 부하 전류값 검출 수단
16: 제어 수단 17: 기억 수단
18: 표시 수단 19: 얼라인먼트 수단
190: 촬상 수단 W: 피가공물
Wa: 표면 Wb: 이면
T: 다이싱 테이프 F: 환형 프레임
G: 절삭홈

Claims

피가공물을 유지하는 척 테이블과, 회전 구동되는 스핀들과, 상기 스핀들의 선단에 장착되어 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 구비하고, 상기 피가공물을 가공 예정 라인을 따라 절삭 가공하는 절삭 장치로서,
절삭 가공 시에 있어서의 상기 스핀들의 부하 전류값을 검출하는 부하 전류값 검출 수단과,
상기 부하 전류값 검출 수단에 의해 검출한 부하 전류값을 표시하는 표시 수단과,
적어도 상기 부하 전류값 검출 수단과 상기 표시 수단을 제어하는 제어 수단
을 구비하고,
상기 제어 수단은 가공 예정 라인과 상기 가공 예정 라인의 가공 시의 상기 스핀들의 부하 전류값을 대응시켜 상기 표시 수단에 표시하는 것인, 절삭 장치.
제 1항에 있어서,
상기 제어 수단은 상기 스핀들의 부하 전류값의 값에 따라, 가공 예정 라인을 색별, 선 종류별 중 어느 한쪽 또는 양쪽에 의해 상기 표시 수단에 표시하는 것인, 절삭 장치.