KR20180059997A - 기판 회전형 약물 분사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 회전형 약물 분사장치에 관한 것으로서, 특히 평판 형상으로 이루어진 기판의 전체 고르고 균일하게 약물이 분사되도록 할 수 있는 기판 회전형 약물 분사장치에 관한 것이다.
본 발명의 기판 회전형 약물 분사장치는, 지지체와; 평판형상으로 이루어져 상기 지지체에 회전 가능하게 장착된 회전체와; 상기 회전체를 상기 지지체에 회전 가능하게 결합시키는 회전결합부와; 상기 회전체에 결합되어 평판형상의 기판을 상기 회전체에 결합시키는 고정부재와; 상기 회전체를 상기 지지체에 대하여 회전시키는 구동부와; 상기 지지체의 일측 또는 양측에 배치되어, 상기 회전체에 결합된 상기 기판의 일면 또는 양면에 약물을 분사하는 분사부;를 포함하여 이루어지되, 상기 구동부에 의한 상기 회전체의 회전에 의해 상기 기판은 회전되고, 상기 분사부는 회전하는 기판에 약물을 분사하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 회전형 약물 분사장치 { SUBSTRATE ROTATION TYPE INJECTION SPRAY APPARATUS }
본 발명은 기판 회전형 약물 분사장치에 관한 것으로서, 특히 평판 형상으로 이루어진 기판의 전체 고르고 균일하게 약물이 분사되도록 할 수 있는 기판 회전형 약물 분사장치에 관한 것이다.
반도체용 기판, LCD, 태양전지, PCB 등의 기판을 제조하기 위해, 일반적으로 증착, 식각, 세정 등의 다양한 기판 처리 공정들이 수행된다.
이러한 기판 처리 공정은 다양한 방법으로 이루어지는데, 기판에 약물을 분사하여 처리하는 방법도 있다.
위와 같이 기판이 수직으로 배치되어 상기 기판에 약물을 분사하는 경우에는, 기판에 약물을 분사하게 되면 상기 기판에 도포된 약물이 중력에 의해 하강하면서 상기 기판 전체에 약물이 고르게 균일하게 도포되지 않게 되는 문제가 발생한다.
공개특허 제10-2008-0054225호
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 수직으로 배치된 기판에 약물을 분사할 경우 기판 전체에 약물이 고르고 균일하게 도포되도록 할 수 있는 기판 회전형 약물 분사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기판 회전형 약물 분사장치는, 지지체와; 평판형상으로 이루어져 상기 지지체에 회전 가능하게 장착된 회전체와; 상기 회전체를 상기 지지체에 회전 가능하게 결합시키는 회전결합부와; 상기 회전체에 결합되어 평판형상의 기판을 상기 회전체에 결합시키는 고정부재와; 상기 회전체를 상기 지지체에 대하여 회전시키는 구동부와; 상기 지지체의 일측 또는 양측에 배치되어, 상기 회전체에 결합된 상기 기판의 일면 또는 양면에 약물을 분사하는 분사부;를 포함하여 이루어지되, 상기 구동부에 의한 상기 회전체의 회전에 의해 상기 기판은 회전되고, 상기 분사부는 회전하는 기판에 약물을 분사하는 것을 특징으로 한다.
상기 지지체에는 제1관통공이 형성되고, 상기 회전체에는 상기 제1관통공과 연통되는 제2관통공이 형성되며, 상기 기판은 일면이 상기 제1관통공 및 제2관통공을 통해 외부로 노출되면서 상기 회전체에 결합된다.
상기 지지체는, 베이스부재와; 상기 베이스부재의 상부에 상하방향으로 배치되는 수직지지부재;를 포함하여 이루어지되, 상기 수직지지부재에는 상기 제1관통공이 형성된다.
상기 베이스부재는 하부에 배치되는 이송롤러에 의해 일방향으로 이송된다.
상기 회전체는 상기 제1관통공보다 크게 형성되어 상기 지지체의 일면에 배치되고, 상기 회전결합부는 상기 제1관통공을 통해 상기 회전체를 상기 지지체에 회전 가능하게 결합시킨다.
상기 회전결합부는, 상기 회전체의 일면에서 돌출되어 상기 제1관통공을 관통하고, 상기 제1관통공의 둘레를 따라 배치되는 다수개의 회전축과; 상기 회전축에 회전 가능하게 결합되어 상기 회전체의 회전시 상기 제1관통공을 따라 이동하는 회전롤러;를 포함하여 이루어진다.
상기 지지체에는 상기 제1관통공의 둘레를 따라 단차지게 형성된 회전지지홈이 형성되고, 상기 회전롤러는 상기 회전지지홈에 안착되어 상기 회전체의 회전시 상기 회전지지홈을 따라 이동되며, 상기 회전체는 상기 회전롤러가 상기 회전지지홈을 형성하는 지지턱에 걸려 상기 지지체로부터의 분리가 저지된다.
상기 회전체의 외주면에는 외측기어가 형성되고, 상기 구동부는, 모터와, 상기 모터에 의해 회전하면서 상기 외측기어에 맞물리는 피니언기어로 이루어진다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 기판 회전형 약물 분사장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
수직으로 배치된 기판을 수평축을 중심으로 회전시키면서 약물을 분사함으로써, 기판 전체에 약물이 고르고 균일하게 도포되도록 할 수 있다.
이를 통해 약물에 의해 전체가 고르게 처리되는 양질의 기판을 제조 및 가공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 회전형 약물 분사장치의 일방향 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 회전형 약물 분사장치의 타방향 사시도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 회전형 약물 분사장치의 정면도,
도 4는 도 1의 A-A선을 취하여 본 단면구조도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 회전형 약물 분사장치의 사용상태도,
본 발명의 기판 회전형 약물 분사장치는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 지지체(10)와, 회전체(20)와, 회전결합부(30)와, 고정부재(40)와, 구동부(50)와, 분사부(60)를 포함하여 이루어진다.
상기 지지체(10)는 베이스부재(11)와 수직지지부재(12)로 이루어진다.
상기 베이스부재(11)는 대략 수평방향 형성되고, 하부에는 상기 지지체(10)를 일방향으로 이송시키는 이송롤러(70)가 배치된다.
따라서, 상기 이송롤러(70)의 상부에 상기 베이스부재(11)의 하부가 접함으로써, 상기 이송롤러(70)가 회전됨에 따라 상기 지지체(10)는 일방향으로 이송되게 된다.
상기 수직지지부재(12)는 상기 베이스부재(11)의 상부에서 상하방향으로 배치된다.
이러한 상기 수직지지부재(12)에는 상기 제1관통공(13)이 좌우방향으로 형성된다.
그리고, 상기 베이스부재(11)는 상면이 상기 수직지지부재(12)를 중심으로 양측방향으로 경사지게 형성되어 후술하는 바와 같이 분사된 약물이 상기 베이스부재(11)의 상부에서 경사진 방향으로 잘 흐르도록 함이 바람직하다.
상기 회전체(20)는 평판 형상으로 이루어져 상기 지지체(10)에 회전 가능하게 장착된다.
보다 구체적으로 상기 회전체(20)는 상기 수직지지부재(12)에 회전 가능하게 장착된다.
이러한 상기 회전체(20)는 상기 수직지지부재(12)에 대하여 수평축을 중심으로 회전 가능하게 장착된다.
상기 회전체(20)는 원판 형상으로 이루어지고, 중심에는 상기 제1관통공(13)과 연통되는 제2관통공(23)이 형성되어 있다.
상기 회전체(20)는 상기 제1관통공(13)보다 크게 형성되어 상기 지지체(10)의 일면에 배치된다.
경우에 따라 상기 회전체(20)는 상기 제1관통공(13)의 내부에 배치될 수도 있다.
그리고, 상기 회전체(20)의 외주면에는 상기 구동부(50)에 의해 상기 회전체(20)가 회전될 수 있도록 외측기어(25)가 형성되어 있다.
상기 회전결합부(30)는 상기 회전체(20)를 상기 지지체(10)에 회전 가능하게 결합시킨다.
이러한 상기 회전결합부(30)는 상기 제1관통공(13)을 통해 상기 회전체(20)를 상기 지지체(10)의 수직지지부재(12)에 회전 가능하게 결합시킨다.
본 실시예에서 상기 회전결합부(30)는 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이 회전축(31)과 회전롤러(32)로 이루어진다.
상기 회전축(31)은 상기 회전체(20)의 일면에서 돌출되어 상기 제1관통공(13)을 관통하고, 다수개가 상기 제1관통공(13)의 둘레를 따라 일정한 간격을 유지하면서 배치된다.
상기 회전롤러(32)는 상기 회전축(31)에 회전 가능하게 결합되어 상기 회전체(20)의 회전시 상기 제1관통공(13)을 따라 이동한다.
보다 구체적으로, 상기 수직지지부재(12)에는 상기 제1관통공(13)의 둘레를 따라 단차진 회전지지홈(14)이 형성되어 있다.
본 실시예에서 상기 회전지지홈(14)은 상기 회전체(20)의 반대방향에 배치된 상기 수직지지부재(12)의 일면에서 상기 제1관통공(13)의 둘레를 따라 단차지게 형성되어 있다.
그리고, 상기 수직지지부재(12)에는 상기 회전지지홈(14)을 형성함에 의해 지지턱(15)이 형성된다.
상기 지지턱(15)은 상기 제1관통공(13)의 내주면을 이룬다.
상기 회전롤러(32)는 상기 회전지지홈(14)에 안착되어 상기 회전체(20)의 회전시 상기 회전지지홈(14)을 따라 이동된다.
그리고 상기 회전체(20)는 상기 회전롤러(32)가 상기 회전지지홈(14)을 형성하는 상기 지지턱(15)에 걸려 상기 지지체(10)로부터의 분리가 저지된다.
즉, 상기 회전지지홈(14)에 안착된 상기 회전롤러(32)가 상기 지지턱(15)에 걸려 상기 회전체(20)가 상기 수직지지부재(12)로부터 분리되지 않게 된다.
위와 같은 상기 회전결합부(30)는 상술한 구조 이외에 다른 구조를 이용하여, 상기 회전체(20)를 상기 수직지지부재(12)에 회전 가능하게 결합시킬 수도 있다.
상기 고정부재(40)는 상기 회전체(20)에 결합되어 평판형상의 기판(80)을 상기 회전체(20)에 결합시킨다.
상기 고정부재(40)에 의해 상기 기판(80)은 상기 회전체(20)에 고정되어 상기 회전체(20)와 함께 회전하게 된다.
위와 같이 상기 기판(80)이 상기 고정부재(40)에 의해 상기 회전체(20)에 고정됨으로써, 상기 수직지지부재(12)에 형성된 상기 제1관통공(13)과 상기 회전체(20)에 형성된 상기 제2관통공(23)을 통해 상기 기판(80)의 일면은 외부로 노출된다.
그리고, 상기 기판(80)의 타면은 상기 회전체(20)와 접하는 반대방향을 향해 외부로 노출된다.
상기 구동부(50)는 상기 회전체(20)를 상기 지지체(10)에 대하여 회전시킨다.
이러한 상기 구동부(50)는 다양한 구조로 이루어져 상기 회전체(20)를 상기 지지체(10)에 대하여 회전시킬 수 있다.
본 실시예에서 상기 구동부(50)는 모터(51)와 피니언기어(52)로 이루어져 있다.
상기 피니언기어(52)는 상기 모터(51)에 의해 회전하면서 상기 회전체(20)의 외측면에 형성된 상기 외측기어(25)에 맞물려, 상기 회전체(20)가 상기 수직지지부재(12)에 대하여 회전될 수 있도록 한다.
상기 분사부(60)는 상기 지지체(10)의 일측 또는 양측에 배치되어, 상기 회전체(20)에 결합된 상기 기판(80)의 일면 또는 양면에 약물을 분사한다.
즉 상기 분사부(60)가 상기 지지체(10)의 일측에 배치된 경우에는 상기 기판(80)의 일면에만 약물을 분사하게 되고, 상기 분사부(60)가 상기 지지체(10)의 양측에 배치된 경우에는 상기 기판(80)의 양면에 약물을 분사하게 된다.
상기 분사부(60)가 상기 지지체(10)의 양측에 배치된 경우에는, 상기 제1관통공(13)과 제2관통공(23)을 통해 외부로 노출된 상기 기판(80)의 일면과 그 반대면인 타면에 상기 분사부(60)에서 분사된 약물이 도포되게 된다.
상기 약물은 상기 기판(80)의 식각하는 약물, 코팅하는 약물 등 다양한 물질로 이루어질 수 있다.
본 실시예에서는 상기 기판(80)이 상하방향으로 배치되어, 상기 기판(80)의 양측에서 약물이 분사되는 것을 설명하였지만, 경우에 따라 상기 기판(80)이 수평방향으로 배치고 상기 기판(80)의 상부와 하부에서 약물이 분사될 수도 있다.
이하, 상술한 구성으로 이루어진 본 발명의 작동과정에 대하여 살펴본다.
상기 고정부재(40)를 이용하여 상기 기판(80)을 상기 회전체(20)에 고정결합시킨다.
그 후 상기 이송롤러(70)에 의해 상기 지지체(10)는 상기 분사부(60)가 있는 곳까지 이동한다.
상기 분사부(60)에서는 액상의 약물을 공기에 함께 상기 기판(80)에 분사한다.
이때, 상기 구동부(50)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 회전체(20)를 상기 지지체(10)에 대하여 회전시킨다.
상기 회전체(20)가 회전됨에 따라 상기 회전체(20)에 결합된 상기 지지체(10)도 함께 회전하게 된다.
따라서, 상기 분사부(60)는 회전하는 상기 기판(80)에 약물을 분사하는 것이 된다.
위와 같이 상기 기판(80)을 회전시키면서 상기 분사부(60)에서 상기 기판(80)에 약물을 분사함으로써, 상기 기판(80)의 상하좌우가 바뀌면서 상기 기판(80) 전체에 상기 약물이 고르게 분사될 수 있고, 또한 약물이 상기 기판(80)에 균일한 두께로 도포되게 할 수 있어, 기판(80) 전체에서 균일하고 고르게 코팅, 식각, 도포 등의 처리작업이 이루어지도록 할 수 있다.
본 발명인 기판 회전형 약물 분사장치은 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
10 : 지지체, 11 : 베이스부재, 12 : 수직지지부재, 13 : 제1관통공, 14 : 회전지지홈, 15 : 지지턱,
20 : 회전체, 23 : 제2관통공, 25 : 외측기어,
30 : 회전결합부, 31 : 회전축, 32 : 회전롤러,
40 : 고정부재,
50 : 구동부, 51 : 모터, 52 : 피니언기어,
60 : 분사부,
70 : 이송롤러,
80 : 기판.

Claims (8)

  1. 지지체와;
    평판형상으로 이루어져 상기 지지체에 회전 가능하게 장착된 회전체와;
    상기 회전체를 상기 지지체에 회전 가능하게 결합시키는 회전결합부와;
    상기 회전체 결합되어 평판형상의 기판을 상기 회전체에 결합시키는 고정부재와;
    상기 회전체를 상기 지지체에 대하여 회전시키는 구동부와;
    상기 지지체의 일측 또는 양측에 배치되어, 상기 회전체에 결합된 상기 기판의 일면 또는 양면에 약물을 분사하는 분사부;를 포함하여 이루어지되,
    상기 구동부에 의한 상기 회전체의 회전에 의해 상기 기판은 회전되고,
    상기 분사부는 회전하는 기판에 약물을 분사하는 것을 특징으로 하는 기판 회전형 약물 분사장치.
  2. 청구항1에 있어서,
    상기 지지체에는 제1관통공이 형성되고,
    상기 회전체에는 상기 제1관통공과 연통되는 제2관통공이 형성되며,
    상기 기판은 일면이 상기 제1관통공 및 제2관통공을 통해 외부로 노출되면서 상기 회전체에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 회전형 약물 분사장치.
  3. 청구항1에 있어서,
    상기 지지체는,
    베이스부재와;
    상기 베이스부재의 상부에 상하방향으로 배치되는 수직지지부재;를 포함하여 이루어지되,
    상기 수직지지부재에는 상기 제1관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 회전형 약물 분사장치.
  4. 청구항3에 있어서,
    상기 베이스부재는 하부에 배치되는 이송롤러에 의해 일방향으로 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 회전형 약물 분사장치.
  5. 청구항2에 있어서,
    상기 회전체는 상기 제1관통공보다 크게 형성되어 상기 지지체의 일면에 배치되고,
    상기 회전결합부는 상기 제1관통공을 통해 상기 회전체를 상기 지지체에 회전 가능하게 결합시키는 것을 특징으로 하는 기판 회전형 약물 분사장치.
  6. 청구항5에 있어서,
    상기 회전결합부는,
    상기 회전체의 일면에서 돌출되어 상기 제1관통공을 관통하고, 상기 제1관통공의 둘레를 따라 배치되는 다수개의 회전축과;
    상기 회전축에 회전 가능하게 결합되어 상기 회전체의 회전시 상기 제1관통공을 따라 이동하는 회전롤러;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 회전형 약물 분사장치.
  7. 청구항6에 있어서,
    상기 지지체에는 상기 제1관통공의 둘레를 따라 단차지게 형성된 회전지지홈이 형성되고,
    상기 회전롤러는 상기 회전지지홈에 안착되어 상기 회전체의 회전시 상기 회전지지홈을 따라 이동되며,
    상기 회전체는 상기 회전롤러가 상기 회전지지홈을 형성하는 지지턱에 걸려 상기 지지체로부터의 분리가 저지되는 것을 특징으로 하는 기판 회전형 약물 분사장치.
  8. 청구항1에 있어서,
    상기 회전체의 외주면에는 외측기어가 형성되고,
    상기 구동부는, 모터와, 상기 모터에 의해 회전하면서 상기 외측기어에 맞물리는 피니언기어로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 회전형 약물 분사장치.
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