KR20180035248A

KR20180035248A - 개선된 플렉시블 자재의 공급 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20180035248A
Application number: KR1020160124441A
Authority: KR
Inventors: 박희석; 김익현
Original assignee: 주식회사 나래나노텍
Priority date: 2016-09-28
Filing date: 2016-09-28
Publication date: 2018-04-06

Abstract

본 발명은 개선된 플렉시블 자재의 공급 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치 및 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치는 플렉시블 자재를 공급하기 위한 공급 지그; 상기 공급 지그에 의해 공급된 상기 플렉시블 자재를 지지하기 위한 한 쌍의 클램프; 상기 한 쌍의 클램프에 의해 상기 플렉시블 자재가 하방향으로 휨이 발생한 상태에서 상기 플렉시블 자재를 수평 상태로 지지하기 위한 지지 및 압착 블록; 및 기판과 상기 플렉시블 자재 사이에서 상기 기판과 상기 플렉시블 자재 간의 얼라인 상태를 확인하기 위한 복수의 얼라인 확인 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

개선된 플렉시블 자재의 공급 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치 및 방법{An Improved Device and Method of Providing Flexible Material, and Apparatus and Method of Bonding Substrate and Flexible Material Having the Same}

본 발명은 개선된 플렉시블 자재의 공급 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치 및 방법에 관한 것이다.

좀 더 구체적으로, 본 발명은 플렉시블 자재의 공급 후 플렉시블 자재가 하방향으로 휨이 발생하도록 한 쌍을 클램프를 전진시키면서 플렉시블 자재의 양 측단부에서 중앙 방향으로 공급 지그의 진공을 해제하고, 압착 블록을 상승시켜 플렉시블 자재를 지지하면서 한 쌍을 클램프를 후진시켜 클랭핑 상태를 해제하여 플렉시블 자재가 압착 블록 상에서 수평 상태로 지지되도록 함으로써, 플렉시블 자재의 균일한 공급이 가능하고, 기판과 플렉시블 자재 간의 얼라인 측정 시의 휨 발생이 방지되며, 그에 따라 얼라인 확인 장치에 의한 기판과 플렉시블 자재 간의 얼라인 보정이 가능해지고 또한 보정 시간이 최소화되며, 최종 제품의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소되어 양품 제조,수율 향상, 제조 시간 단축, 및 제조 비용 절감의 효과가 달성될 수 있는 플렉시블 자재의 공급 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치 및 방법에 관한 것이다.

근래에 들어 사회가 본격적인 정보화시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 여러 가지 다양한 평판표시장치가 개발되어 각광받고 있다.

이러한 평판표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device : PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device : FED), 전기발광 표시장치(Electroluminescence Display device : ELD), 유기발광소자(organic light emitting diodes : OLED) 등을 들 수 있는데, 이들 평판표시장치는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 보여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.

한편, 최근에는 사용자로 하여금 몰입도를 보다 향상시키게 되고 화상 또한 보다 실감나도록 하여, 사용자가 편안함까지 느끼게 되는 곡면형 표시장치(curved display device)를 휴대용 무선전화기에 적용하고 있다. 또한, 이러한 곡면형 표시장치 중에서도 전면부와 측면부에서 모두 화상을 구현할 수 있는 에지 곡면형 표시장치(edge curved display device)에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 곡면형 표시장치는 공간활용성, 인테리어 및 디자인의 장점을 가지며, 다양한 응용분야를 가질 수 있다.

종래에는 곡면형 표시장치의 합착장치에 관련된 기술이 국내등록특허 제10-1486861호, 국내공개특허 제10-2014-0139295호, 국내공개특허 제10-2014-0044579호 및 국내등록특허 제10-1413032호 등에 다양하게 제안되어 있다.

그러나 상기 종래기술들은 롤러 또는 윈도우와 패널이 안착되는 각 지그 등을 구비하여 윈도우와 패널을 합착함으로써 곡면형 표시장치를 생산하지만, 윈도우 에지가 90도로 직교되게 형성되는 경우에는 윈도우와 패널의 완전한 합착을 이룰 수가 없는 치명적인 문제가 있다. 이러한 문제점은 윈도우와 패널의 합착시 윈도우에 형성된 에지의 경계(절곡)부위로 가압력이 전달되지 못함으로써 경계부위의 패널 합착이 원활하지 못하여 경계부위에 들뜸현상으로 인한 기포층이 형성되기 때문이며, 이러한 기포층이 형성된 표시장치는 불량으로 판단하여 전량 폐기된다.

만일, 롤러를 이용하여 윈도우와 패널을 합착하는 경우에는, 에지 경계(절곡)부위의 합착을 위해 상대적으로 직경이 작은 롤러를 이용하여 합착을 이룰 수 있으나, 반대로 롤러의 작은 직경으로 인해 합착공정에 상당한 시간이 소요되기 때문에 비효율적이다.

또한, 지그를 이용하여 윈도우와 패널을 합착하는 경우에는, 패널이 윈도우에 합착되는 과정에서 패널의 둘레면이 윈도우 에지의 단부와 접촉을 이루면서 합착되기 때문에 패널의 둘레면에 증착된 젤 형태의 OCA층이 밀려나 결국 제품의 신뢰성을 떨어뜨리게 된다.

상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 또 다른 종래 기술로 에지가 직교되게 형성된 윈도우에 패널이 완전하게 합착되도록 하는 윈도우 합착장치 및 이를 이용한 합착방법이 제안되어 사용되고 있다. 이러한 또 다른 종래 기술은 조상식 등에 의해 2015년 7월 23일자에윈도우 합착장치 및 이를 이용한 합착방법이라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원 제10-2015-0104055호로 출원되어 2016년 1월 20일자에 등록된 대한민국 특허 제10-1588600호(이하 "600 특허"라 합니다)에 상세히 개시되어 있다.

도 1a 내지 도 1c는 상술한 600 특허에 개시된 종래 기술의 윈도우 합착장치에 의해 합착이 진행되는 과정을 보여주는 공정도를 도시한 도면이다.

도 1a 내지 도 1c를 참조하면, 종래 기술의 윈도우 합착 장치(1)에서는, 패널(20)이 접착된 보호필름(30)을 공급하여 보호필름(30)의 양단을 클램프(230)를 통해 클램핑한다. 이를 위해, 픽커(미도시)를 이용하여 보호필름(30)이 윈도우 합착장치(1)로 공급된다. 이 경우, 도 1a에 도시된 바와 같이, 클램프(230)의 어퍼클램프(233)는 공급되는 보호필름(30)의 양단부가 안착될 수 있도록 제2실린더(240)의 구동에 의해 도면상 상측방향(일점쇄선)으로 상승하여 언더클램프(231)와 소정 간격으로 이격된다. 이 상태에서, 공급된 보호필름(30)의 양단부가 각각 양측의 언더클램프(231)의 상부면에 안착되면, 제2실린더(240)가 구동되어 어퍼클램프(233)를 도 1의 화살표와 같이 하강시키면서 보호필름(30)의 양단을 클램핑한다. 그 후, 제 1실린더(220)가 구동되어 클램프(230)를 설정된 위치까지 하강시킨다. 이 경우, 패널(20)에 접착된 보호필름(30)은 패널(20)이 윈도우(10) 방향을 향하는 상태로 공급된다.

그 후, 압착 블록(310)을 1차 상승시켜 보호필름(30)을 밀어올리면서 보호필름(30)을 팽팽하게 신축(伸縮)시킨다. 이를 위해, 한 쌍의 클램프(230)에 의해 보호필름(30)이 클램핑 되면, 승강플레이트(320)가 상승한다. 이때, 압착 블록(310)의 접촉면(311)은 상승과정에서 어느 순간 보호필름(30)의 저면과 접촉을 이루게 되고, 이후 승강플레이트(320)의 계속적인 상승에 의해 보호필름(30)의 저면을 밀어 올리게 된다. 이 경우, 승강플레이트(320)는 클램프(230)에 클램핑된 보호필름(30)이 압착 블록(310)에 의해 팽팽하게 신축될 수 있을 정도의 설정된 높이만큼 상승한다. 이는 패널(20)이 윈도우(10)에 합착시 주름진 곳이 발생되는 것을 미연에 방지하기 위함이다. 또한, 신축된 상태의 보호필름(30)은 압착 블록(310)의 접촉면(311)에 밀착된 상태를 유지하게 된다. 그 후, 보호필름(30)을 팽팽하게 신축시킬 때 윈도우(10)가 안착된 윈도우지그(100)가 설정된 위치로 하강할 수 있다. 이 때, 윈도우지그(100)에는 패널(20)과 합착이 이루어지는 윈도우(10)가 안착홈(101)에 지지된 상태이다.

그 후, 압착 블록(310)의 2차 상승과 클램프(230)의 하강 및 이동을 통해 보호필름(30)과 함께 패널(20)의 단부를 절곡시킨다. 이를 위해, 윈도우지그(100)가 설정된 위치로 하강하면, 승강플레이트(320)가 상승하면서 압착 블록(310)을 2차 상승시키면서 패널(20)을 윈도우(10) 내부로 진입시킨다. 이때, 압착 블록(310)의 상승과 동시에 제1실린더(220)의 구동에 의해 클램프(230)가 하강한다. 그 결과, 보호필름(30)의 단부는 클램프(230)에 물린 상태로 도면상 하측방향으로 당겨지게 된다. 이와 더불어, 압착 블록(310)의 상승과 동시에 구동모터(213)가 구동하면서 베이스(210)를 승강플레이트(320) 방향으로 이동시키고, 그 결과 보호필름(30)의 단부는 압착 블록(310)의 상승과 클램프의 하강 및 이동이 동시에 구현됨에 따라 클램프(230)에 물린 상태에서 도면상 하측방향으로 당겨지면서 압착 블록(310)의 수직면으로 절곡된다. 이때, 보호필름(30)의 단부가 절곡되는 과정에서 압착 블록(310)의 폭방향으로 노출된 패널(20)의 단부 또한 보호필름(30) 단부에 의해 함께 절곡된다. 이는, 보호필름(30)과 패널(20)이 상호 접착된 상태임에 따라 가능하다. 또한, 상기의 상태에서 패널(20)의 절곡부위는 보호필름(30)이 압착 블록(310)의 접촉면(311)에 밀착되어 곡률을 형성하고 있는 상태임에 따라 동일한 형태를 유지하고 있어 윈도우(10)의 에지(11)와 소정간격으로 이격된 상태이다.

그 후, 압착 블록(310)을 3차 상승시켜 패널(20)의 길이방향 중심으로부터 윈도우(10) 에지 양방향으로 점진적인 합착이 이루어지도록 하여 합착을 완료한다. 이를 위해, 승강플레이트(320)의 계속적인 상승을 통해 압착 블록(310)을 3차 상승시킨다. 압착 블록(310)의 3차 상승이 시작되면, 압착 블록(310) 접촉면(311)의 길이방향 중심부가 먼저 윈도우(10)의 내면과 접촉을 이룸에 따라 결국 보호필름(30)의 상부면에 접착된 패널(20)의 중심부가 먼저 윈도우(10)의 중심과 접촉되면서 합착을 이루게 된다. 그 후, 압착 블록(310)의 계속적인 상승이 이루어지면, 접촉면(311)을 이루는 곡률이 눌려지게 되고, 이 과정에서 접촉면(311)의 곡률이 점진적으로 밀착되면서 패널(20)을 윈도에 합착시키게 된다. 즉, 패널(20)의 합착이 패널(20)의 중심으로부터 윈도우(10)의 에지(11) 방향으로 점진적으로 이루어지도록 하는 것이다. 이러한 패널(20)의 합착은 윈도우(10) 에지(11)의 절곡이 시작되는 경계부위까지 점진적으로 이루어지게 되고, 압착 블록(310)의 승강이 완전하게 이루어진 상태에서는 도 1c에 도시된 바와 같이 접촉면(311)이 패널(20)의 절곡 부위를 가압하여 윈도우(10)의 에지(11)에 완전하게 합착시킴으로써 윈도우(10)와 패널(20)의 합착을 완료하여 표시장치(50)를 완성한다.

그 후, 윈도우지그(100)와 승강가압부(300)는 원위치로 복귀하고, 제2실린더(240)가 구동하여 어퍼클램프(233)를 상승시킨 후 표시장치(50)를 인출한다.

상술한 바와 같이, 도 1a 내지 도 1c에 도시된 종래 기술의 윈도우 합착장치는 에지가 90도로 직교되게 형성된 윈도우에 패널이 합착될 때 패널의 길이방향 중심부터 에지를 향해 점진적인 합착이 이루어지도록 함으로써 에지의 절곡이 시작되는 경계부위로 합착을 위한 가압력이 부여되게 하여 패널의 합착이 완벽하게 이루어지도록 하는 효과가 달성되고, 패널의 합착이 이루어지기 전에 패널의 단부가 절곡됨에 따라 합착시 윈도우와 간섭이 일어나지 않는 효과가 달성되지만, 여전히 다음과 같은 문제점을 가지고 있다.

구체적으로, 도 1d 및 도 1e는 도 1a 내지 도 1c에 도시된 종래 기술의 윈도우 합착장치(1)에서 패널(20)이 접착된 보호필름(30)을 클램프(230)에 공급하는 동작을 설명하기 위한 도면이다. 이하에서는, 설명의 편의를 위해 패널(20)이 접착된 보호필름(30)을 포괄적으로 플렉시블 자재(420)로 지칭하고, 윈도우(10)를 포괄적으로 기판(10)으로 지칭하기로 한다.

도 1d 및 도 1e를 참조하면, 종래 기술의 윈도우 합착장치(1)에서 사용되는 플렉시블 자재(420)의 공급 장치(400)는 플렉시블 자재(420)를 공급하기 위한 공급 지그(440); 상기 공급 지그(440)에 의해 공급된 상기 플렉시블 자재(420)를 지지하기 위한 한 쌍의 클램프(430); 및 기판(10)과 상기 플렉시블 자재(420) 사이에서 상기 기판(10)과 상기 플렉시블 자재(420) 간의 얼라인 상태를 확인하기 위한 복수의 얼라인 확인 장치(450)를 포함한다. 이 경우, 공급 지그(440)는 그 상부면에 플렉시블 자재(420)의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 흡착 홀(421) 및 복수의 흡착 홀(421)과 연결되는 진공 펌핑 장치(미도시)를 포함한다.

먼저, 공급 지그(440) 상에 플렉시블 자재(420)를 적재하여 플렉시블 자재(420)의 하부면을 진공 흡착한 상태에서 공급 지그(440)를 한 쌍의 클램프(430) 사이로 공급한다. 이를 위해 공급 지그(440)는 초기에 통상적으로 도 1d에 도시된 단면도에서 한 쌍의 클램프(430)의 전방 또는 후방에 위치하며, 플렉시블 자재(420)가 적재된 후 전방에서 후방으로 또는 후방에서 전방으로 이동하여 한 쌍의 클램프(430) 사이에서 한 쌍의 클램프(430)와 동일한 높이에 위치하도록 이송된다(도 1d의 좌측 도면).

그 후, 한 쌍의 클램프(430)가 플렉시블 자재(420)의 방향으로 전진 이동하여 양 측면 방향에서 플렉시블 자재(420)를 클램핑한다(도 1d의 중간 도면). 그 후, 공급 지그(440)의 진공 상태가 해제되어 하방향으로 이동하면, 플렉시블 자재(420)가 공급 지그(440)와 분리된 상태에서 한 쌍의 클램프(430)가 플렉시블 자재(420)를 지지하게 된다(도 1d의 우측 도면).

그 후, 복수의 얼라인 확인 장치(450)가 기판(10)과 플렉시블 자재(420) 사이에 위치되도록 이동한 후, 기판(10)과 플렉시블 자재(420) 간의 얼라인 상태를 확인한다(도 1e 참조).

도 1f는 종래 기술에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치에서 복수의 얼라인 확인 장치에 의해 측정된 얼라인 상태를 도시한 도면이다.

도 1f에 도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 플렉시블 자재(420)의 공급 장치(400)에서 복수의 얼라인 확인 장치(450)에 의한 기판(10)과 플렉시블 자재(420) 간의 측정 결과에 따르면, 플렉시블 자재(420)가 한 쌍의 클램프(430)를 가로지는 방향으로 좌측(L) 및 우측(R)에서의 얼라인 상태가 균일하지 않음을 확인할 수 있다. 이러한 플렉시블 자재(420)의 불균일한 얼라인 상태는 도 1e에 도시된 바와 같이 플렉시블 자재(420)의 휨 발생에 기인한 것이다.

상술한 바와 같이, 종래 기술의 플렉시블 자재(420)의 공급 장치(400)에서는, 공급 지그(440)와 분리된 플렉시블 자재(420)가 한 쌍의 클램프(430)에 의해 지지되므로, 플렉시블 자재(420)의 자중에 의해 하방향으로 휨이 발생한다. 이러한 휨의 발생은 예를 들어, 수평면을 기준으로 상하 방향(up 및 down) 모두에서 휨이 발생하거나(도 1e의 좌측 도면) 또는 상방향(up) 또는 하방향(down) 중 어느 한쪽 방향으로의 휨이 발생할 수 있다(도 1e의 우측 도면). 따라서, 플렉시블 자재(420)의 휨 발생으로 인해, 복수의 얼라인 확인 장치(450)의 초점거리가 각각의 위치에서 플렉시블 자재(420)까지의 거리와 일치하지 않게 되어 플렉시블 자재(420)를 인식하지 못하거나, 인식하더라도 플렉시블 자재(420)의 수직축(Z축) 방향의 변위에 따른 평면 인식 오차 발생한다. 그 결과, 종래 기술에서는 다음과 같은 문제가 발생한다.

1. 플렉시블 자재(42)의 휨 발생이 일정하지 않으므로 균일한 공급이 어렵거나 불가능하다.

2. 플렉시블 자재(420)의 휨 발생에 따른 플렉시블 자재(420)의 인식 불가능 또는 평면 인식 오차에 따라 기판(10)과 플렉시블 자재(42) 간의 얼라인 보정이 어렵거나 불가능하며, 또한 보정이 가능하더라도 상당한 시간이 요구된다.

3. 기판(10)과 플렉시블 자재(420) 간의 합착 후 낮은 얼라인 정밀도로 인하여 최종 제품의 불량 발생 가능성이 높아지므로, 양품 제조가 어렵고, 수율이 낮으며, 제조 시간 및 제조 비용이 증가한다.

따라서, 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.

1. 대한민국 특허 제10-1486861호 2. 대한민국공개특허 제10-2014-0139295호 3. 대한민국공개특허 제10-2014-0044579호 4. 대한민국 특허 제10-1413032호 5. 대한민국 특허 제10-1588600호

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 플렉시블 자재의 공급 후 플렉시블 자재가 하방향으로 휨이 발생하도록 한 쌍을 클램프를 전진시키면서 플렉시블 자재의 양 측단부에서 중앙 방향으로 공급 지그의 진공을 해제하고, 압착 블록을 상승시켜 플렉시블 자재를 지지하면서 한 쌍을 클램프를 후진시켜 클랭핑 상태를 해제하여 플렉시블 자재가 압착 블록 상에서 수평 상태로 지지되도록 함으로써, 플렉시블 자재의 균일한 공급이 가능하고, 기판과 플렉시블 자재 간의 얼라인 측정 시의 휨 발생이 방지되며, 그에 따라 얼라인 확인 장치에 의한 기판과 플렉시블 자재 간의 얼라인 보정이 가능해지고 또한 보정 시간이 최소화되며, 최종 제품의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소되어 양품 제조,수율 향상, 제조 시간 단축, 및 제조 비용 절감의 효과가 달성될 수 있는 플렉시블 자재의 공급 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 제 1 특징에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치는 플렉시블 자재를 공급하기 위한 공급 지그; 상기 공급 지그에 의해 공급된 상기 플렉시블 자재를 지지하기 위한 한 쌍의 클램프; 상기 한 쌍의 클램프에 의해 상기 플렉시블 자재가 하방향으로 휨이 발생한 상태에서 상기 플렉시블 자재를 수평 상태로 지지하기 위한 지지 및 압착 블록; 및 기판과 상기 플렉시블 자재 사이에서 상기 기판과 상기 플렉시블 자재 간의 얼라인 상태를 확인하기 위한 복수의 얼라인 확인 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 2 특징에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치는 일면에 기판이 지지된 상태로 승강 가능하게 이동하는 기판 공급 지그; 상기 기판 공급 지그의 하부에 제공되며, 상기 플렉시블 자재를 공급하기 위한 공급 지그; 상기 공급 지그에 의해 공급된 상기 플렉시블 자재를 지지하기 위한 한 쌍의 클램프; 상기 한 쌍의 클램프에 의해 상기 플렉시블 자재가 하방향으로 휨이 발생한 상태에서 상기 플렉시블 자재를 수평 상태로 지지하고, 상기 플렉시블 자재가 상기 기판과 합착되도록 승강 가능하게 이동하는 지지 및 압착 블록; 및 상기 기판과 상기 플렉시블 자재 사이에서 상기 기판과 상기 플렉시블 자재 간의 얼라인 상태를 확인하기 위한 복수의 얼라인 확인 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 3 특징에 따른 플렉시블 자재의 공급 방법은 a) 공급 지그 상에 플렉시블 자재를 적재하여 상기 플렉시블 자재의 하부면을 진공 흡착한 상태에서 공급 지그를 한 쌍의 클램프 사이로 공급하는 단계; b) 상기 한 쌍의 클램프를 상기 플렉시블 자재의 방향으로 전진 이동시켜 양 측면 방향에서 상기 플렉시블 자재를 클램핑하는 단계; c) 상기 한 쌍의 클램프를 계속 전진 이동시키면서 상기 플렉시블 자재의 양 측단부에서 중앙 방향으로 점진적으로 상기 공급 지그의 진공 상태를 해제하는 단계; d) 상기 플렉시블 자재가 한 쌍의 클램프에 의해 지지된 상태에서 하방향으로 휨이 발생하도록 상기 공급 지그를 하방향으로 이동하여 상기 플렉시블 자재와 분리시키는 단계; e) 상기 공급 지그를 원래 위치로 이동시킨 상태에서, 지지 및 압착 블록을 상기 플렉시블 자재의 방향으로 상승시키는 단계; 및 f) 상기 지지 및 압착 블록이 상기 플렉시블 자재와 접촉하면, 상기 한 쌍의 클램프를 상기 플렉시블 자재에서 멀어지는 방향으로 후진 이동시키면서 상기 플렉시블 자재의 하부면 전체가 상기 지지 및 압착 블록의 상부면에 접촉되어 수평 상태를 유지할 때까지 상기 지지 및 압착 블록을 계속 상승시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 4 특징에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 방법은 a) 기판이 기판 공급 지그에 의해 지지되도록 제공하는 단계; b) 공급 지그 상에 플렉시블 자재를 적재하여 상기 플렉시블 자재의 하부면을 진공 흡착한 상태에서 공급 지그를 한 쌍의 클램프 사이로 공급하는 단계; c) 상기 한 쌍의 클램프를 상기 플렉시블 자재의 방향으로 전진 이동시켜 양 측면 방향에서 상기 플렉시블 자재를 클램핑하는 단계; d) 상기 한 쌍의 클램프를 계속 전진 이동시키면서 상기 플렉시블 자재의 양 측단부에서 중앙 방향으로 점진적으로 상기 공급 지그의 진공 상태를 해제하는 단계; e) 상기 플렉시블 자재가 한 쌍의 클램프에 의해 지지된 상태에서 하방향으로 휨이 발생하도록 상기 공급 지그를 하방향으로 이동하여 상기 플렉시블 자재와 분리시키는 단계; f) 상기 공급 지그를 원래 위치로 이동시킨 상태에서, 지지 및 압착 블록을 상기 플렉시블 자재의 방향으로 상승시키는 단계; g) 상기 지지 및 압착 블록이 상기 플렉시블 자재와 접촉하면, 상기 한 쌍의 클램프를 상기 플렉시블 자재에서 멀어지는 방향으로 후진 이동시키면서 상기 플렉시블 자재의 하부면 전체가 상기 지지 및 압착 블록의 상부면에 접촉되어 수평 상태를 유지할 때까지 상기 지지 및 압착 블록을 계속 상승시키는 단계; 및 h) 상기 기판 공급 지그 및 상기 지지 및 압착 블록을 상대 이동시켜 상기 플렉시블 자재를 상기 기판과 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 개선된 플렉시블 자재의 공급 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치 및 방법을 사용하면 다음과 같은 효과가 달성된다.

1. 플렉시블 자재의 균일한 공급이 가능하다.

2. 기판과 플렉시블 자재 간의 얼라인 측정 시의 휨 발생이 방지된다.

3. 얼라인 확인 장치에 의한 기판과 플렉시블 자재 간의 얼라인 보정이 가능해지고 또한 보정 시간이 최소화된다.

4. 최종 제품의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소되어 양품 제조,수율 향상, 제조 시간 단축, 및 제조 비용 절감의 효과가 달성된다.

본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.

도 1a 내지 도 1c는 종래 기술의 윈도우 합착장치에 의해 합착이 진행되는 과정을 보여주는 공정도를 도시한 도면이다.
도 1d 및 도 1e는 도 1a 내지 도 1c에 도시된 종래 기술의 윈도우 합착장치에서 패널이 접착된 보호필름을 클램프에 공급하는 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 1f는 플렉시블 자재의 공급 장치에서 복수의 얼라인 확인 장치에 의해 측정된 얼라인 상태를 도시한 도면이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치를 개략적으로 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치에서 복수의 얼라인 확인 장치에 의해 측정된 얼라인 상태를 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 방법의 플로우차트이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 방법의 플로우차트이다.

이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 기술한다.

도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치를 개략적으로 설명하기 위해 도시한 도면이다.

도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치(500)는 플렉시블 자재(520)를 공급하기 위한 공급 지그(540); 상기 공급 지그(540)에 의해 공급된 상기 플렉시블 자재(520)를 지지하기 위한 한 쌍의 클램프(530); 상기 한 쌍의 클램프(530)에 의해 상기 플렉시블 자재(520)가 하방향으로 휨이 발생한 상태에서 상기 플렉시블 자재(520)를 수평 상태로 지지하기 위한 지지 및 압착 블록(510); 및 기판(10)과 상기 플렉시블 자재(520) 사이에서 상기 기판(10)과 상기 플렉시블 자재(520) 간의 얼라인 상태를 확인하기 위한 복수의 얼라인 확인 장치(550)를 포함한다. 여기서, 복수의 얼라인 확인 장치(550)는 각각 카메라로 구현될 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니라는 점에 유의하여야 한다.

상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치(500)에서는, 상기 공급 지그(540)가 그 상부면에 플렉시블 자재(520)의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 흡착 홀(521) 및 상기 복수의 흡착 홀(521)과 연결되는 진공 펌핑 장치(미도시)를 포함한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치(500)에서는, 상기 지지 및 압착 블록(510)은 예를 들어 실리콘과 같은 탄성 재질로 구현될 수 있다. 이 경우, 지지 및 압착 블록(510)은 그 상부면이 상기 플렉시블 자재(520)의 하부면을 수평으로 지지하기 위해 점착성 재질을 추가로 구비하거나, 또는 공급 지그(540)와 마찬가지로 그 상부면에 플렉시블 자재(520)의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 제 2 흡착 홀(미도시) 및 상기 복수의 제 2 흡착 홀(미도시)과 연결되는 제 2 진공 펌핑 장치(미도시)를 포함할 수 있다는 점에 유의하여야 한다.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치(500)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.

다시 도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치(500)에서는, 먼저 공급 지그(540) 상에 플렉시블 자재(520)를 적재하여 플렉시블 자재(520)의 하부면을 진공 흡착한 상태에서 공급 지그(540)를 한 쌍의 클램프(530) 사이로 공급한다. 이를 위해 공급 지그(540)는 초기에 통상적으로 도 2a에 도시된 단면도에서 한 쌍의 클램프(530)의 전방 또는 후방에 위치하며, 플렉시블 자재(520)가 적재된 후 전방에서 후방으로 또는 후방에서 전방으로 이동하여 한 쌍의 클램프(530) 사이에서 한 쌍의 클램프(530)와 동일한 높이에 위치하도록 이송된다(도 2a 좌측 도면).

그 후, 한 쌍의 클램프(530)가 플렉시블 자재(520)의 방향으로 이동(이하 전진 이동이라 함)하여 양 측면 방향에서 플렉시블 자재(520)를 클램핑한다(도 2a의 중간 도면). 그 후, 한 쌍의 클램프(530)를 계속 전진 이동시키면서 플렉시블 자재(520)의 양 측단부에서 중앙 방향으로 점진적으로 공급 지그(540)의 진공 상태를 해제하면서(도 2a의 우측 도면), 공급 지그(540)를 하방향으로 이동하여 플렉시블 자재(520)가 한 쌍의 클램프(530)에 의해 클램핑된 상태에서(도 2b의 좌측 도면의 A 부분) 하방향으로 휨이 발생하도록 한다(도 2b의 좌측 도면). 이 경우, 플렉시블 자재(520)가 하방향으로 확실하게 휨이 발생하도록 한 쌍의 클램프(530)를 추가적으로 계속 전진 이동시킬 수도 있다. 그 결과, 플렉시블 자재(520)는 하방향으로 휨이 발생한 상태로 공급 지그(540)와 분리되고(도 2b의 중간 도면의 B 부분), 한 쌍의 클램프(530)가 플렉시블 자재(520)를 지지한다(도 2b의 중간 도면).

그 후, 공급 지그(540)를 원래 위치로 이동시킨 상태에서, 지지 및 압착 블록(510)을 플렉시블 자재(520)의 방향으로 상승시킨다(도 2b의 우측 도면). 지지 및 압착 블록(510)이 플렉시블 자재(520)와 접촉하면, 한 쌍의 클램프(530)가 플렉시블 자재(520)에서 멀어지는 방향으로의 이동(이하 후진 이동이라 함)하면서 지지 및 압착 블록(510)은 계속 상승한다(도 2c의 좌측 및 중간 도면). 이러한 지지 및 압착 블록(510)의 상승은 플렉시블 자재(520)의 하부면 전체가 지지 및 압착 블록(510)의 상부면에 접촉되어 수평 상태를 유지할 때까지 계속된다(도 2c의 우측 도면).

상술한 도 2c의 우측 도면에 도시된 상태에서, 플렉시블 자재(520)의 하부면 전체가 지지 및 압착 블록(510)의 상부면에 완전히 수평 상태를 유지하기 위해, 지지 및 압착 블록(510)의 상부면이 점착성 재질로 구현되거나 또는 지지 및 압착 블록(510)의 상부면에 복수의 제 2 흡착 홀(미도시) 및 상기 복수의 제 2 흡착 홀(미도시)과 연결되는 제 2 진공 펌핑 장치(미도시)가 제공되는 것이 바람직하다.

그 후, 복수의 얼라인 확인 장치(550)가 기판(10)과 플렉시블 자재(520) 사이에 위치되도록 이동한 후, 기판(10)과 플렉시블 자재(520) 간의 얼라인 상태를 확인한다(도 2c 우측 도면).

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치(500)에서는, 플렉시블 자재(520)가 지지 및 압착 블록(510)의 상부면에서 수평 상태로 지지된 상태에서, 기판(10)과 플렉시블 자재(520) 간의 얼라인 상태가 측정되므로, 기판과 플렉시블 자재 간의 얼라인 측정 시의 휨 발생이 방지되고, 그에 따라 복수의 얼라인 확인 장치(550)에 의한 기판(10)과 플렉시블 자재(520) 간의 얼라인 보정이 필요없거나, 얼라인 보정이 필요한 경우에도 용이하게 이루어질 수 있으므로 얼라인 보정 시간이 최소화된다.

도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치에서 복수의 얼라인 확인 장치에 의해 측정된 얼라인 상태를 도시한 도면이다.

도 2d에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치(500)에서 복수의 얼라인 확인 장치(550)에 의한 기판(10)과 플렉시블 자재(520) 간의 측정 결과에 따르면, 플렉시블 자재(520)가 한 쌍의 클램프(530)를 가로지는 방향으로 좌측(L) 및 우측(R)에서의 얼라인 상태가 균일함을 확인할 수 있다. 이러한 플렉시블 자재(520)의 균일한 얼라인 상태는 도 2c의 우측 도면에 도시된 바와 같이 플렉시블 자재(520)가 지지 및 압착 블록(510)의 상부면에서 수평 상태로 지지된다는 점에 기인한 것이다.

이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치를 기술하기로 한다. 여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치는 도 1d 내지 도 1e에 도시된 종래 기술의 플렉시블 자재의 공급 장치(400) 대신 상술한 도 2a 내지 도 2c에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 장치(500)를 사용한다는 점을 제외하고는 도 1a 내지 도 1c에 도시된 종래 기술의 윈도우 합착장치(1)와 실질적으로 동일하다는 점에 유의하여야 한다.

따라서, 도 1a 내지 도 1c를 도 2a 내지 도 2c와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치는 일면에 기판(10)이 지지된 상태로 승강 가능하게 이동하는 기판 공급 지그(100); 상기 기판 공급 지그(100)의 하부에 제공되며, 상기 플렉시블 자재(520)를 공급하기 위한 공급 지그(540); 상기 공급 지그(540)에 의해 공급된 상기 플렉시블 자재(520)를 지지하기 위한 한 쌍의 클램프(530); 상기 한 쌍의 클램프(530)에 의해 상기 플렉시블 자재(520)가 하방향으로 휨이 발생한 상태에서 상기 플렉시블 자재(520)를 수평 상태로 지지하고, 상기 플렉시블 자재(520)가 상기 기판(10)과 합착되도록 승강 가능하게 이동하는 지지 및 압착 블록(510); 및 상기 기판(10)과 상기 플렉시블 자재(520) 사이에서 상기 기판(10)과 상기 플렉시블 자재(520) 간의 얼라인 상태를 확인하기 위한 복수의 얼라인 확인 장치(550)를 포함한다. 여기서, 복수의 얼라인 확인 장치(550)는 각각 카메라로 구현될 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니라는 점에 유의하여야 한다.

상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치에서는, 상기 공급 지그(540)가 그 상부면에 플렉시블 자재(520)의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 흡착 홀(521) 및 상기 복수의 흡착 홀(521)과 연결되는 진공 펌핑 장치(미도시)를 포함한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치에서는, 상기 지지 및 압착 블록(510)은 예를 들어 실리콘과 같은 탄성 재질로 구현될 수 있다. 이 경우, 지지 및 압착 블록(510)은 그 상부면이 상기 플렉시블 자재(520)의 하부면을 수평으로 지지하기 위해 점착성 재질을 추가로 구비하거나, 또는 공급 지그(540)와 마찬가지로 그 상부면에 플렉시블 자재(520)의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 제 2 흡착 홀(미도시) 및 상기 복수의 제 2 흡착 홀(미도시)과 연결되는 제 2 진공 펌핑 장치(미도시)를 포함할 수 있다는 점에 유의하여야 한다.

상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치르 구성하는 기판 공급 지그(100), 한 쌍의 클램프(530), 지지 및 압착 블록(510)의 구체적인 구성 및 동작은 도 1a 내지 도 1c에 도시된 종래 기술의 윈도우 합착장치(1)의 윈도우지그(100), 한쌍의 클램프(230), 및 압착 블록(310)의 구성 및 동작과 실질적으로 동일한 것이어서, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 방법의 플로우차트이다.

도 3a를 도 2a 내지 도 2c와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 방법(301)은 a) 공급 지그(540) 상에 플렉시블 자재(520)를 적재하여 상기 플렉시블 자재(520)의 하부면을 진공 흡착한 상태에서 공급 지그(540)를 한 쌍의 클램프(530) 사이로 공급하는 단계(310); b) 상기 한 쌍의 클램프(530)를 상기 플렉시블 자재(520)의 방향으로 전진 이동시켜 양 측면 방향에서 상기 플렉시블 자재(520)를 클램핑하는 단계(320); c) 상기 한 쌍의 클램프(530)를 계속 전진 이동시키면서 상기 플렉시블 자재(520)의 양 측단부에서 중앙 방향으로 점진적으로 상기 공급 지그(540)의 진공 상태를 해제하는 단계(330); d) 상기 플렉시블 자재(520)가 한 쌍의 클램프(530)에 의해 지지된 상태에서 하방향으로 휨이 발생하도록 상기 공급 지그(540)를 하방향으로 이동하여 상기 플렉시블 자재(520)와 분리시키는 단계(340); e) 상기 공급 지그(540)를 원래 위치로 이동시킨 상태에서, 지지 및 압착 블록(510)을 상기 플렉시블 자재(520)의 방향으로 상승시키는 단계(350); 및 f) 상기 지지 및 압착 블록(510)이 상기 플렉시블 자재(520)와 접촉하면, 상기 한 쌍의 클램프(530)를 상기 플렉시블 자재(520)에서 멀어지는 방향으로 후진 이동시키면서 상기 플렉시블 자재(520)의 하부면 전체가 상기 지지 및 압착 블록(510)의 상부면에 접촉되어 수평 상태를 유지할 때까지 상기 지지 및 압착 블록(510)을 계속 상승시키는 단계(360)를 포함한다.

상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 방법(301)은 g) 복수의 얼라인 확인 장치(550)를 이용하여 상기 기판(10)과 상기 플렉시블 자재(520) 간의 얼라인 상태를 확인하는 단계를 추가로 포함한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 방법(301)에서는, 상기 d) 단계가 d1) 상기 플렉시블 자재(520)가 하방향으로 휨이 발생하도록 상기 한 쌍의 클램프(530)를 계속 전진 이동시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 자재의 공급 방법(301)에서는, 상기 f) 단계에서 상기 플렉시블 자재(520)의 하부면 전체가 상기 지지 및 압착 블록(510)의 상부면에 수평 상태를 유지하는 것이 f1) 상기 지지 및 압착 블록(510)의 상부면에 제공되는 점착성 재질에 의해 이루어지거나 또는 f2) 상기 플렉시블 자재(520)의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 제 2 흡착 홀(미도시) 및 상기 복수의 제 2 흡착 홀(미도시)과 연결되는 제 2 진공 펌핑 장치(미도시)에 의해 이루어질 수 있다.

도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 방법의 플로우차트이다.

도 3b를 도 1a 내지 도 1c 및 도 2a 내지 도 2c와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 방법(302)은 a) 기판(10)이 기판 공급 지그(100)에 의해 지지되도록 제공하는 단계(312); b) 공급 지그(540) 상에 플렉시블 자재(520)를 적재하여 상기 플렉시블 자재(520)의 하부면을 진공 흡착한 상태에서 공급 지그(540)를 한 쌍의 클램프(530) 사이로 공급하는 단계(322); c) 상기 한 쌍의 클램프(530)를 상기 플렉시블 자재(520)의 방향으로 전진 이동시켜 양 측면 방향에서 상기 플렉시블 자재(520)를 클램핑하는 단계(332); d) 상기 한 쌍의 클램프(530)를 계속 전진 이동시키면서 상기 플렉시블 자재(520)의 양 측단부에서 중앙 방향으로 점진적으로 상기 공급 지그(540)의 진공 상태를 해제하는 단계(342); e) 상기 플렉시블 자재(520)가 한 쌍의 클램프(530)에 의해 지지된 상태에서 하방향으로 휨이 발생하도록 상기 공급 지그(540)를 하방향으로 이동하여 상기 플렉시블 자재(520)와 분리시키는 단계(352); f) 상기 공급 지그(540)를 원래 위치로 이동시킨 상태에서, 지지 및 압착 블록(510)을 상기 플렉시블 자재(520)의 방향으로 상승시키는 단계(362); g) 상기 지지 및 압착 블록(510)이 상기 플렉시블 자재(520)와 접촉하면, 상기 한 쌍의 클램프(530)를 상기 플렉시블 자재(520)에서 멀어지는 방향으로 후진 이동시키면서 상기 플렉시블 자재(520)의 하부면 전체가 상기 지지 및 압착 블록(510)의 상부면에 접촉되어 수평 상태를 유지할 때까지 상기 지지 및 압착 블록(510)을 계속 상승시키는 단계(372); 및 h) 상기 기판 공급 지그(100) 및 상기 지지 및 압착 블록(510)을 상대 이동시켜 상기 플렉시블 자재(520)를 상기 기판(10)과 합착하는 단계(382)를 포함한다.

상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 방법(302)은 상기 g) 단계 및 상기 h) 단계 사이에 복수의 얼라인 확인 장치(550)를 이용하여 상기 기판(10)과 상기 플렉시블 자재(520) 간의 얼라인 상태를 확인하는 단계를 추가로 포함한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 방법(302)에서는, 상기 e) 단계가 e1) 상기 플렉시블 자재(520)가 하방향으로 휨이 발생하도록 상기 한 쌍의 클램프(530)를 계속 전진 이동시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 및 플렉시블 자재의 합착 방법(302)에서는, 상기 g) 단계에서 상기 플렉시블 자재(520)의 하부면 전체가 상기 지지 및 압착 블록(510)의 상부면에 수평 상태를 유지하는 것이 g1) 상기 지지 및 압착 블록(510)의 상부면에 제공되는 점착성 재질에 의해 이루어지거나 또는 g2) 상기 플렉시블 자재(520)의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 제 2 흡착 홀(미도시) 및 상기 복수의 제 2 흡착 홀(미도시)과 연결되는 제 2 진공 펌핑 장치(미도시)에 의해 이루어질 수 있다.

다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.

1: 윈도우 합착 장치 10: 윈도우/기판 20: 패널 30: 보호필름
50: 표시장치 100: 윈도우지그/기판 공급 지그 210: 베이스
20: 제1실린더 230,430,530: 클램프 240: 제2실린더
310,410: 압착 블록 320: 승강플레이트
400,500: 플렉시블 자재의 공급 장치 420,520: 플렉시블 자재
421,521: 흡착 홀 440,540: 공급 지그
450,550: 얼라인 확인 장치 510: 지지 및 압착 블록

Claims

플렉시블 자재의 공급 장치에 있어서,
플렉시블 자재를 공급하기 위한 공급 지그;
상기 공급 지그에 의해 공급된 상기 플렉시블 자재를 지지하기 위한 한 쌍의 클램프;
상기 한 쌍의 클램프에 의해 상기 플렉시블 자재가 하방향으로 휨이 발생한 상태에서 상기 플렉시블 자재를 수평 상태로 지지하기 위한 지지 및 압착 블록; 및
기판과 상기 플렉시블 자재 사이에서 상기 기판과 상기 플렉시블 자재 간의 얼라인 상태를 확인하기 위한 복수의 얼라인 확인 장치
를 포함하는 플렉시블 자재의 공급 장치.
제 1항에 있어서,
상기 공급 지그가 그 상부면에 상기 플렉시블 자재의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 흡착 홀 및 상기 복수의 흡착 홀과 연결되는 진공 펌핑 장치를 포함하는 플렉시블 자재의 공급 장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 지지 및 압착 블록은 그 상부면이 상기 플렉시블 자재의 하부면을 수평으로 지지하기 위해 점착성 재질을 추가로 구비하거나, 또는 그 상부면에 상기 플렉시블 자재의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 제 2 흡착 홀 및 상기 복수의 제 2 흡착 홀과 연결되는 제 2 진공 펌핑 장치를 추가로 포함하는 플렉시블 자재의 공급 장치.
기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치에 있어서,
일면에 기판이 지지된 상태로 승강 가능하게 이동하는 기판 공급 지그;
상기 기판 공급 지그의 하부에 제공되며, 상기 플렉시블 자재를 공급하기 위한 공급 지그;
상기 공급 지그에 의해 공급된 상기 플렉시블 자재를 지지하기 위한 한 쌍의 클램프;
상기 한 쌍의 클램프에 의해 상기 플렉시블 자재가 하방향으로 휨이 발생한 상태에서 상기 플렉시블 자재를 수평 상태로 지지하고, 상기 플렉시블 자재가 상기 기판과 합착되도록 승강 가능하게 이동하는 지지 및 압착 블록; 및
상기 기판과 상기 플렉시블 자재 사이에서 상기 기판과 상기 플렉시블 자재 간의 얼라인 상태를 확인하기 위한 복수의 얼라인 확인 장치
를 포함하는 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치.
제 4항에 있어서,
상기 공급 지그가 그 상부면에 상기 플렉시블 자재의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 흡착 홀 및 상기 복수의 흡착 홀과 연결되는 진공 펌핑 장치를 포함하는 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치.
제 4항 또는 제 5항에 있어서,
상기 지지 및 압착 블록은 그 상부면이 상기 플렉시블 자재의 하부면을 수평으로 지지하기 위해 점착성 재질을 추가로 구비하거나, 또는 그 상부면에 상기 플렉시블 자재의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 제 2 흡착 홀 및 상기 복수의 제 2 흡착 홀과 연결되는 제 2 진공 펌핑 장치를 추가로 포함하는 기판 및 플렉시블 자재의 합착 장치.
플렉시블 자재의 공급 방법에 있어서,
a) 공급 지그 상에 플렉시블 자재를 적재하여 상기 플렉시블 자재의 하부면을 진공 흡착한 상태에서 공급 지그를 한 쌍의 클램프 사이로 공급하는 단계;
b) 상기 한 쌍의 클램프를 상기 플렉시블 자재의 방향으로 전진 이동시켜 양 측면 방향에서 상기 플렉시블 자재를 클램핑하는 단계;
c) 상기 한 쌍의 클램프를 계속 전진 이동시키면서 상기 플렉시블 자재의 양 측단부에서 중앙 방향으로 점진적으로 상기 공급 지그의 진공 상태를 해제하는 단계;
d) 상기 플렉시블 자재가 한 쌍의 클램프에 의해 지지된 상태에서 하방향으로 휨이 발생하도록 상기 공급 지그를 하방향으로 이동하여 상기 플렉시블 자재와 분리시키는 단계;
e) 상기 공급 지그를 원래 위치로 이동시킨 상태에서, 지지 및 압착 블록을 상기 플렉시블 자재의 방향으로 상승시키는 단계; 및
f) 상기 지지 및 압착 블록이 상기 플렉시블 자재와 접촉하면, 상기 한 쌍의 클램프를 상기 플렉시블 자재에서 멀어지는 방향으로 후진 이동시키면서 상기 플렉시블 자재의 하부면 전체가 상기 지지 및 압착 블록의 상부면에 접촉되어 수평 상태를 유지할 때까지 상기 지지 및 압착 블록을 계속 상승시키는 단계
를 포함하는 플렉시블 자재의 공급 방법.
제 7항에 있어서,
상기 플렉시블 자재의 공급 방법은
g) 복수의 얼라인 확인 장치를 이용하여 상기 기판과 상기 플렉시블 자재 간의 얼라인 상태를 확인하는 단계를 추가로 포함하는 플렉시블 자재의 공급 방법.
제 7항 또는 제 8항에 있어서,
상기 d) 단계는 d1) 상기 플렉시블 자재가 하방향으로 휨이 발생하도록 상기 한 쌍의 클램프를 계속 전진 이동시키는 단계를 추가로 포함하는 플렉시블 자재의 공급 방법.
제 7항 또는 제 8항에 있어서,
상기 f) 단계에서 상기 플렉시블 자재의 하부면 전체가 상기 지지 및 압착 블록의 상부면에 수평 상태를 유지하는 것이 f1) 상기 지지 및 압착 블록의 상부면에 제공되는 점착성 재질에 의해 이루어지거나 또는 f2) 상기 플렉시블 자재의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 제 2 흡착 홀 및 상기 복수의 제 2 흡착 홀과 연결되는 제 2 진공 펌핑 장치에 의해 이루어지는 플렉시블 자재의 공급 방법.
기판 및 플렉시블 자재의 합착 방법에 있어서,
a) 기판이 기판 공급 지그에 의해 지지되도록 제공하는 단계;
b) 공급 지그 상에 플렉시블 자재를 적재하여 상기 플렉시블 자재의 하부면을 진공 흡착한 상태에서 공급 지그를 한 쌍의 클램프 사이로 공급하는 단계;
c) 상기 한 쌍의 클램프를 상기 플렉시블 자재의 방향으로 전진 이동시켜 양 측면 방향에서 상기 플렉시블 자재를 클램핑하는 단계;
d) 상기 한 쌍의 클램프를 계속 전진 이동시키면서 상기 플렉시블 자재의 양 측단부에서 중앙 방향으로 점진적으로 상기 공급 지그의 진공 상태를 해제하는 단계;
e) 상기 플렉시블 자재가 한 쌍의 클램프에 의해 지지된 상태에서 하방향으로 휨이 발생하도록 상기 공급 지그를 하방향으로 이동하여 상기 플렉시블 자재와 분리시키는 단계;
f) 상기 공급 지그를 원래 위치로 이동시킨 상태에서, 지지 및 압착 블록을 상기 플렉시블 자재의 방향으로 상승시키는 단계;
g) 상기 지지 및 압착 블록이 상기 플렉시블 자재와 접촉하면, 상기 한 쌍의 클램프를 상기 플렉시블 자재에서 멀어지는 방향으로 후진 이동시키면서 상기 플렉시블 자재의 하부면 전체가 상기 지지 및 압착 블록의 상부면에 접촉되어 수평 상태를 유지할 때까지 상기 지지 및 압착 블록을 계속 상승시키는 단계; 및
h) 상기 기판 공급 지그 및 상기 지지 및 압착 블록을 상대 이동시켜 상기 플렉시블 자재를 상기 기판과 합착하는 단계
를 포함하는 기판 및 플렉시블 자재의 합착 방법.
제 11항에 있어서,
상기 판 및 플렉시블 자재의 합착 방법은
상기 g) 단계 및 상기 h) 단계 사이에 복수의 얼라인 확인 장치를 이용하여 상기 기판과 상기 플렉시블 자재 간의 얼라인 상태를 확인하는 단계를 추가로 포함하는 기판 및 플렉시블 자재의 합착 방법.
제 11항 또는 제 12항에 있어서,
상기 e) 단계는 e1) 상기 플렉시블 자재가 하방향으로 휨이 발생하도록 상기 한 쌍의 클램프를 계속 전진 이동시키는 단계를 추가로 포함하는 기판 및 플렉시블 자재의 합착 방법.
제 11항 또는 제 12항에 있어서,
상기 g) 단계에서 상기 플렉시블 자재의 하부면 전체가 상기 지지 및 압착 블록의 상부면에 수평 상태를 유지하는 것이 g1) 상기 지지 및 압착 블록의 상부면에 제공되는 점착성 재질에 의해 이루어지거나 또는 g2) 상기 플렉시블 자재의 하부면을 착탈 가능하게 흡착하도록 제공되는 복수의 제 2 흡착 홀 및 상기 복수의 제 2 흡착 홀과 연결되는 제 2 진공 펌핑 장치에 의해 이루어지는 기판 및 플렉시블 자재의 합착 방법.