KR20180022841A - 전력 공급 시스템과, 전력 공급 시스템의 증폭기 스테이지의 출력 변수를 조정하기 위한 방법 - Google Patents

전력 공급 시스템과, 전력 공급 시스템의 증폭기 스테이지의 출력 변수를 조정하기 위한 방법 Download PDF

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비달 알베르토 페나
뎀 브록케 마누엘 포
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트럼프 헛팅거 게엠베하 + 코 카게
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Abstract

본 발명에 따른 전력 공급 시스템(2)은, 구동 터미널(17)과 전력 터미널(16)을 통해 공급 전압에 연결되는 적어도 하나의 트랜지스터(15), 특히 LDMOS 트랜지스터를 구비하는 증폭기 스테이지(14)를 포함하고; 트랜지스터(15)는 구동 전압에 의해 제어되고; 제1 컨트롤러(22)가 트랜지스터(15)의 구동 전압을 조정하기 위해 마련되며, 제2 컨트롤러(23)가 공급 전압을 조장하기 위해 마련되고; 두 컨트롤러(22, 23) 중의 어느 하나는 상태 신호를 다른 컨트롤러(23, 22)에 공급하도록 구성되어 있으며, 다른 컨트롤러(23, 22)는 상태 신호를 평가하도록 구성되어 있는 것이다.

Description

전력 공급 시스템과, 전력 공급 시스템의 증폭기 스테이지의 출력 변수를 조정하기 위한 방법
본 발명은, 증폭기 스테이지를 포함하는 전력 공급 시스템과, 전력 공급 시스템의 증폭기 스테이지의 출력 변수를 조정하기 위한 방법에 관한 것이다.
이러한 종류의 장치 및 방법과 유사한 종래 기술이 예를 들어 하기 문헌들을 통해 알려져 있다: US 2008/0284510 A1, US 8,095,090 B2, US 2007/0145900 A1, DE 10 2013 226 511 A1, US 2014/0084700 A1, US 2009/0004981 A1.
전력 공급 시스템, 특히 ≥1 ㎒의 주파수의 전력을 생성하는 시스템이, 예를 들어 레이저 여기용으로, 플라즈마 코팅 설비에서, 또는 유도 용례용으로도 사용된다. 이러한 종류의 전력 공급 시스템은, 플라즈마 코팅 설비에, 유도 용례에, 또는 레이저 여기에 공급되는 전력을 생성하는 증폭기를 포함한다. 이론상으로는, 증폭기의 전력을 제어하는 것에 대한 개념은 2개가 있다. 진폭 제어에서, 증폭기의 출력 전력은 입력 신호의 진폭에 의해 제어된다. 대안적으로, 증폭기의 출력 전력은 증폭기의 공급 전압을 제어함으로써 제어될 수 있다. 이러한 타입의 제어에서는, 넓은 동적 범위에 걸쳐 효율이 상대적으로 일정하게 유지된다. 증폭기는 일반적으로, 공급 전압에 연결되어 있는 적어도 하나의 트랜지스터를 포함한다. 공급 전압이 제어되므로, 트랜지스터가 열 응력을 받는, 트랜지스터의 구동 전압과 공급 전압의 조합이 생길 수 있다. 특히, 그 과정에서 트랜지스터가 손상될 위험에 처하게 되거나, 트랜지스터의 사용 수명이 현저하게 감소될 위험에 처하게 된다.
본 발명의 과제는, 고장의 발생 및 사용 수명의 단축을 최소화하기 위해, 트랜지스터에서 상기한 열 응력을 방지할 수 있게 하는 것이다.
본 발명에 따르면 상기한 과제는, 전력 터미널과, 구동 전압으로 구동되는 구동 터미널에 의하여, 공급 전압에 연결되는 적어도 하나의 트랜지스터, 특히 LDMOS 트랜지스터를, 구비하는 증폭기 스테이지를 포함하는 전력 공급 시스템으로서, 상기 트랜지스터의 구동 전압을 조정하기 위한 제1 컨트롤러와, 상기 공급 전압을 조정하기 위한 제2 컨트롤러가 마련되어 있는 것인 전력 공급 시스템에 의해 달성된다.
이러한 경우에, 두 컨트롤러 중 어느 한 컨트롤러는 상태 신호를 다른 컨트롤러에 공급하도록 구성될 수 있다. 상기 다른 컨트롤러는 상기 상태 신호를 평가하도록 구성될 수 있다.
상기 다른 컨트롤러는 상기 상태 신호에 응답하도록 구성될 수 있다.
이는 증폭기 스테이지가 잘 제어된 작동 값 또는 범위로 작동하는 것을 가능하게 하며, 이로써, 증폭기 스테이지가 안전한 방식으로 기능하는 것이 보장된다. 특히, 증폭기 스테이지의 트랜지스터가 너무 많은 열 응력을 받는 상황이, 회피될 수 있다.
제1 컨트롤러의 작동 값과 상태 신호 양자 모두가 제2 컨트롤러의 입력에 인가될 수 있는데, 상기 상태 신호는 상기 제1 컨트롤러가 그 한계에 있는지 여부를 나타내는 것이다.
상기 상태 신호를 생성하는 컨트롤러가 그 제어 한계 상태에 있음을 나타내는 점에서, 상기 상태 신호가 구별될 수 있다.
특히 본 발명에 따르면, 전력 제어 시스템은 2개의 채널, 즉 제1 컨트롤러와 제2 컨트롤러로 나뉘어진다.
증폭기 스테이지의 출력 변수를 제어 변수로서 검출하기 위한 측정 장치가 마련될 수 있다. 상기 측정 장치는 증폭기 스테이지에 의해 생성된 출력 변수를 검출하는 데 사용될 수 있다. 컨트롤러에 대한, 특히 제1 컨트롤러에 대한 입력 변수를 얻기 위해, 상기 출력 변수를 설정값과 비교할 수 있다.
이러한 목적으로, 제어 변수 및 설정값으로부터 제어 편차를 결정하는 제어 편차 결정 수단이 제공될 수 있는데, 상기 결정 수단은 제1 컨트롤러에 연결되어 있다. 이러한 방식으로, 에러가 결정될 수 있고 제1 컨트롤러에 공급될 수 있다. 이에 따라, 제1 컨트롤러는 제어 루프에서 폐루프 제어로서 지칭되는 것을 수행할 수 있다.
제1 컨트롤러의 출력은 제2 컨트롤러의 입력에 연결될 수 있다. 이에 따라, 제2 컨트롤러는, 제1 컨트롤러에 의해 조정된 변수에 따라, 공급 전압 자체를 또는 공급 전압에 대한 작동 변수를 조정할 수 있다. 따라서, 상기 공급 전압은 제1 컨트롤러의 출력 변수에 따라 조정된다.
제2 컨트롤러의 출력은 제1 컨트롤러의 입력에 연결될 수 있다. 이러한 경우에, 제1 컨트롤러는 또한, 제2 컨트롤러에 의해 결정된 출력 변수를 고려함으로써, 그 출력 변수를 조정할 수 있다.
또한, 제2 컨트롤러는 제어 편차 결정 수단에 연결될 수 있다. 따라서, 특히 제어 편차는 2개의 컨트롤러에 공급될 수 있고, 2개의 컨트롤러 각각에는 다른 컨트롤러로부터의 출력 신호가 각각 공급될 수 있다. 그 결과, 제어가 매우 복잡해진다. 특히, 2개의 컨트롤러는 증폭기 스테이지의 출력에서 측정된 출력 변수에 근거하여 제어를 수행하고, 그 작동 범위 또는 조정 범위를 서로 제한한다.
2개의 컨트롤러 중 어느 하나는 제어를, 특히 폐루프 제어를 수행하도록 구성될 수 있고, 다른 컨트롤러는 개루프 제어를 수행하도록 구성될 수 있다. 이러한 경우에, 제1 컨트롤러는 특히 폐루프 제어를 수행할 수 있고, 제2 컨트롤러는 특히 개루프 제어를 수행할 수 있다.
상기 두 컨트롤러 중 어느 한 컨트롤러는 상태 신호를 다른 컨트롤러에 공급하도록 구성될 수 있고, 상기 다른 컨트롤러는 상태 신호를 평가하도록, 특히 이에 응답하도록 구성될 수 있다. 상기 상태 신호를 생성하는 컨트롤러가 그 제어 한계 상태에 있음을 나타내는 점에서, 상기 상태 신호가 구별될 수 있다. 특히, 상태 신호를 평가하도록 구성되어 있는 컨트롤러는, "다른 컨트롤러가 제어 한계에 있는" 상태가 검출될 때, 폐루프 제어로부터 개루프 제어로, 또는 그 반대로 전환되도록 구성될 수 있다. 특히, 제1 컨트롤러는 상태 신호를 제2 컨트롤러에 공급하도록 구성될 수 있고, 제2 컨트롤러는 상태 신호를 평가하도록 구성될 수 있다. 제1 컨트롤러가 그 한계에 있음을 나타낼 때, 제2 컨트롤러는 폐루프 컨트롤러로서 작동하고, 특히 설정값 편차를 입력 변수로서 사용하도록, 제2 컨트롤러가 구성될 수 있는데, 상기 설정값 편차는 또한 제1 컨트롤러의 입력에서도 발생된다. 또한, 제1 컨트롤러가 정상적인 방식으로 제어를 수행하고 있을 때, 즉 그 제어 한계에 있지 않을 때, 제2 컨트롤러는 예정된 특성 곡선을 추종함으로써 개루프 컨트롤러로서 (개루프 모드로) 작동하도록, 제2 컨트롤러가 구성될 수 있다.
본 발명의 범위에는 또한, 전력 공급 시스템의 증폭기 스테이지의 출력 변수를 조정하기 위한 방법으로서, 상기 증폭기 스테이지의 트랜지스터의 구동 전압은, 증폭기 스테이지에 의해 생성된 출력 변수 및/또는 설정값을 고려함으로써 조정되고, 상기 트랜지스터의 공급 전압은 상기 구동 전압의 조정을 고려함으로써 조정되는 것인 방법이 포함된다. 따라서, 2개의 작동 변수가 증폭기 스테이지 또는 증폭기 스테이지의 트랜지스터에 공급되어, 증폭기 또는 트랜지스터가 2개의 자유도로 작동될 수 있게 된다. 이로써, 위험한 상황을, 특히 트랜지스터의 과열을 야기하는 상황을 회피할 수 있게 된다. 특히, 이로써, 2개의 작동 변수(구동 전압 및 공급 전압)의 작동 범위 모두가 서로 자유롭게 조합되는 것은 아닐 수 있게 된다. 그 결과, 저효율로 작동하는 동안에 너무 많은 열이 생성되어, 증폭기 스테이지의 트랜지스터가 파괴되는 상황을 회피할 수 있다.
구동 전압은 또한, 공급 전압의 조정을 고려함으로서 조정될 수 있다. 이로써 또한, 증폭기 스테이지의 트랜지스터, 특히 LDMOS 트랜지스터가 작동되는 범위를 제한할 수 있게 된다.
구동 전압은, 증폭기 스테이지에 의해 생성된 출력 변수 및/또는 설정값을 고려함으로써 조정될 수 있다. 상기한 특징들은, 트랜지스터의 파괴를 야기하는 작동점이 발생하지 않는 것을, 보다 더 신뢰 가능한 방식으로 보장할 수 있다.
본 발명의 다른 특징들 및 이점들은, 본 발명에 있어서 필수적인 세부 사항들을 보여주는 도면을 참조로 하여, 본 발명의 실시형태에 대한 하기의 설명에서, 그리고 청구범위에서 찾을 수 있다. 본 발명의 변형예에서, 개별 특징들은 각각 따로 또는 임의의 바람직한 조합으로 함께 구현될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시형태가 도면에 개략적으로 도시되어 있고, 도면을 참조로 하여 이하에서 더 상세히 기술되어 있다.
도 1은 전력 공급 시스템을 포함하는 플라즈마 시스템의 매우 개략적인 도면이고;
도 2는 증폭기의 트랜지스터의 제어를 예시하는 블록 선도이며;
도 3은 증폭기의 효율이 얼마나 공급 전압에 의존하는지를 예시하는 선도이다.
도 1은 전력 공급 시스템(2)을 포함하는 플라즈마 시스템(1)을 보여준다. 더 구체적으로, 전력 공급 시스템(2)은, 전압 공급 네트워크(4)에 연결될 수 있는 전력 변환기(3)를 포함한다. 전력 변환기(3)의 출력에서 생성된 전력은, 임피던스 매칭 네트워크(5)를 경유하여 플라즈마 챔버(6)에 전달되며, 이 플라즈마 챔버에서는, 플라즈마 챔버(6)에서의 플라즈마 가공에 사용될 수 있는 플라즈마가 생성된다. 특히, 가공 대상물이 에칭될 수 있거나, 또는 재료 층이 기판에 부착될 수 있다.
도 2는 도 1의 전력 공급 시스템(3)의 일부분을 보여준다. 특히, 전력 공급 시스템(3)은, 적어도 하나의 트랜지스터(15)를 구비하는 증폭기 스테이지(14)를 포함한다. 트랜지스터(15)는 전력 터미널(16)에 의하여 공급 전압에 연결된다. 상기 트랜지스터는 구동 터미널(17)에 의하여 구동 전압에, 예를 들어 게이트 전압 또는 베이스 전압에 연결된다. 그 출력(18)에서, 증폭기 스테이지(14)는 출력 신호를, 특히 고주파 전력 신호를 생성한다. 측정 장치(19)는 상기 출력(18)에 연결되어 있고, 상기 측정 장치에 의하여 출력 신호가 검출될 수 있다. 이러한 방식으로 측정된 신호는 제어 편차 결정 수단(20)에 라우팅되고, 이 제어 편차 결정 수단에서는 출력(18)에서의 출력 변수에 대한 설정값이 또한 특정된다. 제어 편차 결정 수단(20)은 설정값(21) 및 제어 변수로부터 제어 편차를 결정하는데, 이 제어 편차는 측정 장치(19)의 출력 변수에 대응하며, 이 제어 편차는 제1 컨트롤러(22)에 공급된다. 제1 컨트롤러(22)는 트랜지스터(15)에 대한 구동 전압을 결정하거나 또는 트랜지스터(15)의 구동 전압에 대한 작동 변수를 결정한다. 제1 컨트롤러(22)의 출력은 제2 컨트롤러(23)의 입력에 연결되는데, 이 제2 컨트롤러는 제1 컨트롤러(22)에 의해 결정된 변수에 따라 공급 전압에 대한 작동 변수 또는 공급 전압을 결정하고, 상기 작동 변수 또는 공급 전압을 증폭기 스테이지(14)에 공급한다.
제2 컨트롤러(23)의 출력은 선택적으로 제1 컨트롤러(22)의 입력에도 또한 연결될 수 있다. 이는 점선 24로 나타내어져 있다. 상기 제어 편차는 또한 제2 컨트롤러(23)에 공급될 수 있는데, 이는 점선 25로 나타내어져 있다. 바람직하게는, 제1 컨트롤러(22)는 폐쇄 제어 루프로 작동하고 이에 따라 폐루프 제어를 수행하는 반면에, 제2 컨트롤러(23)는 개방 제어 루프로 마련되어 있고 이에 따라 개루프 제어를 수행한다. 그러나, 제1 컨트롤러(22)의 작동 값은 제2 컨트롤러(23)의 입력에 인가될 수 있을 뿐만 아니라, 상태 신호는 제1 컨트롤러(22)가 그 한계에 있는지 여부를 나타낸다. 이 상태 신호는, 제2 컨트롤러(23)에서 개루프 제어와 폐루프 제어를 전환하는 데 사용된다. 제1 컨트롤러(22)가 그 한계에 있음을 나타낼 때, 제2 컨트롤러(23)는 폐루프 컨트롤러로서 사용되고, 상기 설정값 편차를 입력 변수가 되도록 취하는데, 상기 설정값 편차는 또한 제1 컨트롤러(22)의 입력에서도 발생된다. 제1 컨트롤러(22)가 정상적인 방식으로 제어를 수행하고 있을 때, 제2 컨트롤러(23)는 예정된 특성 곡선을 추종함으로써 개루프 제어 모드로만 작동한다. 따라서, 제2 컨트롤러(23)가 항상 개루프 제어 모드에 있는 것은 아니다.
도 3에서는, 여러 공급 전압에서의 증폭기 스테이지(14)의 효율이, 출력 전력에 대하여 플롯되어 있다. 곡선 100은 50 V의 공급 전압에서 생성되었고, 곡선 101은 48 V의 공급 전압에서 생성되었으며, 곡선 102는 45 V의 공급 전압에서 생성되었고, 곡선 103은 40 V의 공급 전압에서 생성되었으며, 곡선 104는 35 V의 공급 전압에서 생성되었고, 곡선 105는 30 V의 공급 전압에서 생성되었으며, 곡선 106은 25 V의 공급 전압에서 생성되었고, 곡선 107은 20 V의 공급 전압에서 생성되었으며, 곡선 108은 15 V의 공급 전압에서 생성되었고, 곡선 109는 10 V의 공급 전압에서 생성되었다. 곡선 100은, 50 V의 공급 전압에서 출력 전력이 약 50 W이고, 이에 따라 매우 낮은 수준의 효율만이 달성된다는 것을 매우 뚜렷하게 보여준다. 이러한 경우에, 증폭기 스테이지(14)의 트랜지스터(15)에서 매우 많은 양의 전력이 열로 변환되고, 그 결과 트랜지스터의 파괴가 야기될 수 있다. 이러한 종류의 상태를 피하는 것이 중요하다. 이러한 종류의 상태는, 도 2에 도시된 바와 같은 본 발명에 따른 장치에 의해 유효하게 회피될 수 있다.

Claims (23)

  1. 전력 터미널(16)과, 구동 전압으로 구동되는 구동 터미널(17)에 의하여, 공급 전압에 연결되는 적어도 하나의 트랜지스터(15), 특히 LDMOS 트랜지스터를, 구비하는 증폭기 스테이지(14)를 포함하는 전력 공급 시스템(2)으로서, 상기 트랜지스터(15)의 구동 전압을 조정하기 위한 제1 컨트롤러(22)와, 상기 공급 전압을 조정하기 위한 제2 컨트롤러(23)가 마련되어 있고, 상기 두 컨트롤러 중 어느 한 컨트롤러(22, 23)는 상태 신호를 다른 컨트롤러(23, 22)에 공급하도록 구성되어 있으며, 상기 다른 컨트롤러(23, 22)는 상태 신호를 평가하도록 구성되어 있는 것인 전력 공급 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 다른 컨트롤러(23, 22)는 상기 상태 신호에 응답하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 컨트롤러(22)의 작동 값과 상태 신호 양자 모두가 상기 제2 컨트롤러(23)의 입력에 인가되고, 상기 상태 신호는 상기 제1 컨트롤러(22)가 그 한계에 있는지 여부를 나타내는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상태 신호를 생성하는 컨트롤러(22, 23)가 그 제어 한계 상태에 있음을 나타내는 점에서, 상기 상태 신호가 구별되는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 전력 제어 시스템은 2개의 채널, 즉 제1 컨트롤러(22)와 제2 컨트롤러(23)로 나뉘어지는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 증폭기 스테이지(14)의 출력 변수를 제어 변수로서 검출하기 위한 측정 장치(19)가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 측정 장치(19)는, 컨트롤러(22, 23)에 대한, 특히 제1 컨트롤러(22)에 대한, 입력 변수를 얻기 위해, 상기 증폭기 스테이지(14)에 의해 생성된 출력 변수를 검출하도록, 그리고 특히 상기 출력 변수를 설정값과 비교하도록, 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상태 신호를 평가하도록 구성되어 있는 컨트롤러(23, 22)는, "다른 컨트롤러가 그 제어 한계에 있는" 상태가 검출될 때, 폐루프 제어로부터 개루프 제어로, 또는 그 반대로 전환되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 컨트롤러(22)는 상태 신호를 제2 컨트롤러(23)에 공급하도록 구성되어 있고, 제2 컨트롤러(23)는 상태 신호를 평가하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 컨트롤러(22)가 그 한계에 있음을 나타낼 때, 제2 컨트롤러(23)가 폐루프 컨트롤러로서 작동하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 제2 컨트롤러(23)는 설정값 편차를 입력 변수로서 사용하고, 상기 설정값 편차는 또한 제1 컨트롤러(22)의 입력에서도 발생되는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 컨트롤러(22)가 정상적인 방식으로 제어를 수행하고 있을 때, 즉 그 제어 한계에 있지 않을 때, 제2 컨트롤러(23)는 예정된 특성 곡선을 추종함으로써 개루프 컨트롤러로서 작동하도록, 제2 컨트롤러(23)가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 제어 변수 및 설정값으로부터 제어 편차를 결정하는 제어 편차 결정 수단(20)이 제공되고, 상기 결정 수단(20)은 제1 컨트롤러(22)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 컨트롤러(22)의 출력은 제2 컨트롤러(23)의 입력에 연결되는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  15. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 제2 컨트롤러(23)의 출력은 제1 컨트롤러(22)의 입력에 연결되는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  16. 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 제2 컨트롤러(23)는 제어 편차 결정 수단(20)에 연결되는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  17. 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 컨트롤러들(22, 23) 중 어느 하나는 폐루프 제어를 수행하도록 구성되어 있고, 상기 컨트롤러들(22, 23) 중 어느 하나는 개루프 제어를 수행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전력 공급 시스템.
  18. 전력 공급 시스템(2)의 증폭기 스테이지(14)의 출력 변수를 조정하기 위한 방법으로서, 상기 증폭기 스테이지(14)의 트랜지스터(15)의 구동 전압은, 증폭기 스테이지(14)에 의해 생성된 출력 변수 및/또는 설정값을 고려함으로써 조정되고, 상기 트랜지스터(15)의 공급 전압은, 상기 구동 전압의 조정을 고려함으로써 조정되며, 컨트롤러들 중 어느 한 컨트롤러(22, 23)는 상태 신호를 다른 컨트롤러(23, 22)에 공급하고, 다른 컨트롤러(23, 22)는 상태 신호를 평가하는 것인 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 다른 컨트롤러(23, 22)는 상기 상태 신호에 응답하는 것을 특징으로 하는 방법.
  20. 제18항 또는 제19항에 있어서, 상기 제1 컨트롤러(22)의 작동 값과 상태 신호 양자 모두가 상기 제2 컨트롤러(23)의 입력에 인가되고, 상기 상태 신호는 상기 제1 컨트롤러(22)가 그 한계에 있는지 여부를 나타내는 것을 특징으로 하는 방법.
  21. 제18항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상태 신호를 생성하는 컨트롤러(22, 23)가 제어 한계 상태에 있음을, 상기 상태 신호가 나타내는 것을 특징으로 하는 방법.
  22. 제18항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동 전압은, 상기 공급 전압의 조정을 고려함으로써 조정되는 것을 특징으로 하는 방법.
  23. 제18항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동 전압은, 상기 증폭기 스테이지(14)에 의해 생성된 출력 변수 및/또는 설정값을 고려함으로써 조정되는 것을 특징으로 하는 방법.
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