KR20180020520A - Multilayered anisotropic conductive film - Google Patents

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Abstract

Disclosed is a multilayer anisotropic conductive film with excellent anisotropy for electrical conductivity. According to an aspect of the present invention, the multilayer anisotropic conductive film comprises: an anisotropic conductive layer including graphene and a conductive filler, and having orientation to electrical conductivity; and a nonconductive layer formed on the anisotropic conductive layer.

Description

다층 이방성 전도 필름{MULTILAYERED ANISOTROPIC CONDUCTIVE FILM}[0001] MULTILAYERED ANISOTROPIC CONDUCTIVE FILM [0002]

본 발명은 다층 이방성 전도 필름에 관한 것이다.The present invention relates to a multilayer anisotropic conductive film.

전자 패키징(packaging) 기술은 반도체 소자에서부터 최종 제품까지의 모든 단계를 포함하는 광범위하고 다양한 시스템 제조 기술이며, 최종 전자 제품의 성능, 크기, 가격, 신뢰성 등을 결정하는 중요한 기술이다.Electronic packaging technology is an extensive and diverse system manufacturing technology that covers all stages from semiconductor devices to final products and is an important technology that determines the performance, size, cost, and reliability of the final electronics.

액정 디스플레이(LCD)의 패키징에서는 인쇄회로기판(Printed Circuit Board)과 투명 전극(transparent electrode) 사이의 기계적, 전기적 접속용으로 전도성 접착제가 사용되고 있다.In liquid crystal display (LCD) packaging, a conductive adhesive is used for mechanical and electrical connection between a printed circuit board (PCB) and a transparent electrode.

전도성 접착제에는 이방성 전도 필름(Anisotropic Conductive Film, ACF), 등방성 전도 접착제 (Isotropic Conductive Adhesive, ICA)등의 제품 형태가 있으며, 기본적으로 니켈 (Ni) 혹은 니켈/고분자 (Ni/polymer), 그리고 은 (Ag) 등의 전기 전도성 입자가 열경화성 혹은 열가소성의 절연성 수지 (insulating resin)에 분산된 형태로 구성되어 있다.Conductive adhesives include products such as anisotropic conductive film (ACF) and isotropic conductive adhesive (ICA). They are basically composed of nickel (Ni) or nickel / polymer (Ni / polymer) Ag) or the like are dispersed in thermosetting or thermoplastic insulating resin.

일본 공개특허공보 제2010-073681호 (2010.04.02)Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-073681 (Apr. 02, 2010)

본 발명의 실시예에 따르면, 전기전도성에 대한 이방성이 우수한 이방성 전도 필름을 제공될 수 있다.According to the embodiment of the present invention, an anisotropic conductive film excellent in anisotropy against electric conductivity can be provided.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 열팽창 계수의 차이에 따른 내부 응력을 최소화될 수 있어 패키징 불량을 최소화할 수 있다.Also, according to the embodiment of the present invention, the internal stress due to the difference in the thermal expansion coefficient can be minimized, and the packaging failure can be minimized.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름을 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 제1 실시예의 변형예에 따른 다층 이방성 전도 필름을 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름을 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름을 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 적용되는 이방성 전도층의 제조방법을 개략적으로 나타내는 도면.
도 6은 도 5의 (B)를 나타내는 도면.
1 shows a multilayer anisotropic conduction film according to a first embodiment of the present invention.
2 is a view showing a multilayered anisotropic conduction film according to a modification of the first embodiment of the present invention.
3 is a view showing a multilayered anisotropic conduction film according to a second embodiment of the present invention.
4 is a view showing a multilayered anisotropic conduction film according to a third embodiment of the present invention.
5 is a view schematically showing a method of manufacturing an anisotropic conductive layer applied to an embodiment of the present invention.
Fig. 6 is a view showing Fig. 5 (B). Fig.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 그리고, 명세서 전체에서, "상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것이 아니다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof. In the specification, "on" means to be located above or below the object portion, and does not necessarily mean that the object is located on the upper side with respect to the gravitational direction.

또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.In addition, the term " coupled " is used not only in the case of direct physical contact between the respective constituent elements in the contact relation between the constituent elements, but also means that other constituent elements are interposed between the constituent elements, Use them as a concept to cover each contact.

도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.The sizes and thicknesses of the respective components shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, and thus the present invention is not necessarily limited to those shown in the drawings.

이하, 본 발명에 따른 다층 이방성 전도 필름의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the multilayered anisotropic conduction film according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals, The description will be omitted.

다층 이방성 전도 필름Multilayer anisotropic conductive film

(제1 실시예 및 변형예)(First Embodiment and Modifications)

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a multilayered anisotropic conduction film according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름(1000)은 이방성 전도층(100), 비전도층(200) 및 보호층(10)을 포함한다.Referring to FIG. 1, a multilayer anisotropic conduction film 1000 according to the first embodiment of the present invention includes an anisotropic conductive layer 100, a nonconductive layer 200, and a protective layer 10.

이방성 전도층(100)은 그래핀(Graphene, 120) 및 전도성 필러(130)를 포함하고, 전기전도성에 대한 방향성을 가진다. 이방성 전도층(100)의 그래핀(120)과 전도성 필러(130)는 제1 절연수지(110) 내에서 일방향으로 배향되어 있으므로, 이방성 전도층(100)은 상기 일방향으로만 전기전도성을 가진다. 본 명세서에 있어, 이방성 전도층(100)이 전기전도성에 대한 방향성을 가진다고 함은, 이방성 전도층(100)의 x-y-z축 중 어느 하나의 축에 대한 전기전도성이 나머지 축에 대한 전기전도성 보다 큰 것을 의미한다. 가장 바람직하게는 어느 하나의 축에 대해서는 전기전도성이고 나머지 축에 대해서는 전기절연성인 것일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The anisotropic conductive layer 100 includes a graphene 120 and a conductive filler 130, and has an orientation to electrical conductivity. Since the graphene 120 of the anisotropic conductive layer 100 and the conductive filler 130 are oriented in one direction in the first insulating resin 110, the anisotropic conductive layer 100 has electrical conductivity only in the one direction. In this specification, the anisotrophic conduction layer 100 has a directionality to the electrical conductivity, which means that the electrical conductivity of one of the xyz axes of the anisotropic conduction layer 100 is greater than the electrical conductivity of the other axis it means. Most preferably electrically conductive for one axis and electrically insulating for the other axis, but is not limited thereto.

제1 절연수지(110)는 열경화성 수지, 열가소성 수지, 광경화성 수지 또는 이들의 혼합물 중 전기절연성을 가지는 것으로 선택된다. 제1 절연수지(110)는 액정 고분자(LCP: Liquid crystal polymer) 및 에폭시 수지로 구성된 군에서 선택된 적어도 어느 하나로 구성될 수 있다. 에폭시 수지는 비스페놀 A형 에폭시 수지, 나프탈렌 변형 에폭시 수지, 크레졸 노블락 에폭시 수지, 고무 변형성 에폭시 수지 등이 사용될 수 있다.The first insulating resin 110 is selected to have electrical insulation among a thermosetting resin, a thermoplastic resin, a photocurable resin, or a mixture thereof. The first insulating resin 110 may be composed of at least one selected from the group consisting of a liquid crystal polymer (LCP) and an epoxy resin. As the epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, naphthalene modified epoxy resin, cresol novolak epoxy resin, rubber deformable epoxy resin and the like can be used.

제1 절연수지(110)는 반경화상태(B-stage)로 형성되어 그래핀(120)의 배향 방향을 패키징 시까지 유지할 수 있다.The first insulating resin 110 may be formed in a semi-cured state (B-stage) to maintain the orientation direction of the graphene 120 until packaging.

그래핀(120)은 탄소 원자가 육각고리로 연결된 판상 구조의 재료로 우수한 전기전도성과 우수한 물리적 기계적 성질을 가진다.The graphene 120 is a plate-like material having a hexagonal ring of carbon atoms, and has excellent electrical conductivity and excellent physical mechanical properties.

그래핀(120)은 제1 절연수지(110) 내에서 일방향으로 배향되는데, 전기전도성의 그래핀(120)을 일방향으로 배향함으로써 이방성 전도층(100)이 일방향으로만 전기전도성을 가질 수 있다. 제1 절연수지(110) 내에서 그래핀(120)을 일방향으로 배향하는 자세한 방법은 후술한다.The graphene 120 is oriented in one direction in the first insulating resin 110. By orienting the electrically conductive graphene 120 in one direction, the anisotropic conductive layer 100 can have electrical conductivity only in one direction. A detailed method of orienting the graphene 120 in the first insulating resin 110 in one direction will be described later.

그래핀(120)은 이방성 전도층(100)의 두께 방향으로 배향된다. 이로 인해, 이방성 전도층(100)의 두께 방향을 따라 인쇄회로기판과 반도체 다이가 서로 전기적으로 연결될 수 있다. 그래핀(120)의 배향 방향으로 인해 이방성 전도층(100)은 면방향으로 전기적 절연성을 가진다. 따라서, 인쇄회로기판과 반도체 다이를 패키징함에 있어 이방성 전도층(100)의 면방향으로 배열된 인접하는 인쇄회로기판의 패드 간, 인접하는 반도체 다이의 범프 간 또는 인접하는 패드-범프 결합구조 간은 각각 전기적으로 절연된다.The graphene 120 is oriented in the thickness direction of the anisotropic conductive layer 100. Thus, the printed circuit board and the semiconductor die can be electrically connected to each other along the thickness direction of the anisotropic conductive layer 100. Due to the orientation direction of the graphene 120, the anisotropic conductive layer 100 has electrical insulation in the planar direction. Therefore, in the packaging of the printed circuit board and the semiconductor die, between the pads of the adjacent printed circuit boards arranged in the surface direction of the anisotropic conductive layer 100, between the bumps of the adjacent semiconductor dies or between the adjacent pad- Respectively.

인쇄회로기판의 패드 및 반도체 다이의 범프란 각각 인쇄회로기판 및 반도체 다이에 형성되는 외부연결수단을 의미한다. 즉, 본 명세서의 패드 및 범프는 전자장치의 통상적인 외부단자와 동일한 기능을 가진다. 따라서, 본 발명의 패드 및 범프와 동일한 기능을 가진다면 그 명칭에 불구하고 본 발명의 범위에 속하는 것으로 보아야 한다.The pads of the printed circuit board and the bumps of the semiconductor die refer to external connection means formed on the printed circuit board and the semiconductor die, respectively. That is, the pads and bumps herein have the same function as the conventional external terminals of an electronic device. Therefore, it should be understood that the present invention belongs to the scope of the present invention regardless of its name, if it has the same function as the pad and bump of the present invention.

전도성 필러(130)는 전기 전도성을 가지는 물질의 입자로, 제1 절연수지(110)에 분산된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 전도성 필러(130)는 그래핀(120)과 함께 일방향으로 배향되는데, 전도성 필러(130)는 본 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름(1000)의 전류 밀도를 향상시킬 수 있고, 본 실시예에 적용되는 이방성 전도층(100)의 성형성을 향상시킬 수 있다.The conductive filler 130 is a particle of an electrically conductive material and is dispersed in the first insulating resin 110. 1, the conductive filler 130 is oriented in one direction together with the graphene 120, and the conductive filler 130 enhances the current density of the multilayer anisotropic conduction film 1000 according to the present embodiment. And the moldability of the anisotropic conductive layer 100 applied to the present embodiment can be improved.

전도성 필러(130)는 금속 및/또는 합금을 포함할 수 있다. 구체적으로, 전도성 필러(130)는 구리, 금, 은, 니켈 또는 이들의 합금을 포함하는 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The conductive filler 130 may comprise a metal and / or an alloy. Specifically, the conductive filler 130 may include at least one selected from the group consisting of copper, gold, silver, nickel, and alloys thereof.

전도성 필러(130)는 비전도성 물질의 코어와 코어의 표면에 전도성 물질을 코팅한 구조로 형성될 수 있고, 전도성 입자만으로 형성될 수도 있다.The conductive filler 130 may be formed of a conductive material coated on the surface of the core and the core of the nonconductive material, or may be formed of only the conductive particles.

전도성 필러(130)는 구형, 반구형, 다각형, 실린더형 또는 판형 등 다양한 형상으로 형성될 수 있으므로, 도 1 등에 도시된 전도성 필러(130)의 형상은 예시적인 것으로 이해되어야 한다.Since the conductive filler 130 may be formed in various shapes such as spherical, hemispherical, polygonal, cylindrical, or plate shapes, the shape of the conductive filler 130 shown in FIG. 1 and the like should be understood as an example.

전도성 필러(130)의 직경은 수 nm에서 수십 ㎛의 크기로 다양하게 선택될 수 있다. 전도성 필러(130)가 구형이 아닌 경우에 있어 전도성 필러(130)의 직경이란, 전도성 필러(130) 표면의 서로 다른 두 점을 잇고 전도성 필러(130)의 무게 중심을 지나는 복수의 선분 각각의 길이 중 최장 길이를 의미하는 것으로 사용한다.The diameter of the conductive filler 130 may be variously selected from several nm to several tens of micrometers. When the conductive filler 130 is not spherical, the diameter of the conductive filler 130 refers to the length of each of a plurality of line segments passing through two different points on the surface of the conductive filler 130 and passing through the center of gravity of the conductive filler 130 Is used to mean the longest of the two.

비전도층(200)은 제2 절연수지(210)와 산화 그래핀(Grahpine Oxide, 220)을 포함하고, 이방성 전도성층(100) 상에 형성된다.The nonconductive layer 200 comprises a second insulating resin 210 and graphene oxide 220 and is formed on the anisotropic conductive layer 100.

제2 절연수지(210)는 열경화성 수지, 열가소성 수지, 광경화성 수지 또는 이들의 혼합물 중 전기절연성을 가지는 것으로 선택된다. 제2 절연수지(210)는 액정 고분자(LCP: Liquid crystal polymer) 및 에폭시 수지로 구성된 군에서 선택된 적어도 어느 하나로 구성될 수 있다. 에폭시 수지는 비스페놀 A형 에폭시 수지, 나프탈렌 변형 에폭시 수지, 크레졸 노블락 에폭시 수지, 고무 변형성 에폭시 수지 등이 사용될 수 있다.The second insulating resin 210 is selected to have electrical insulation among a thermosetting resin, a thermoplastic resin, a photocurable resin, or a mixture thereof. The second insulating resin 210 may be composed of at least one selected from the group consisting of a liquid crystal polymer (LCP) and an epoxy resin. As the epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, naphthalene modified epoxy resin, cresol novolak epoxy resin, rubber deformable epoxy resin and the like can be used.

제2 절연수지(210)는 반경화상태(B-stage)로 형성되어 패키징 시까지 비전도층(200)의 변형을 방지할 수 있고, 패키징 시의 가공성을 향상시킬 수 있다.The second insulating resin 210 may be formed in a semi-cured state (B-stage) to prevent deformation of the non-conductive layer 200 until packaging, and improve workability in packaging.

산화 그래핀(220)은 제2 절연수지(210)에 분산된 물질로, 상술한 그래핀(120)의 산화물에 해당하고 전기적 비전도성을 가진다. 산화 그래핀(220)은 전기적 성질을 제외하고 그래핀(120)과 유사한 열적, 기계적 성질을 가진다.The oxide graphene 220 is a material dispersed in the second insulating resin 210 and corresponds to the oxide of the graphene 120 described above and has electrical nonconductivity. The oxidized graphene 220 has similar thermal and mechanical properties to the graphene 120 except for electrical properties.

보호층(10)은 비전도층(200)의 상면과 이방성 전도층(100)의 하면에 각각 형성되어 본 실시예 따른 다층 이방성 전도 필름(1000)을 외부로부터 보호한다. 보호층(10)은 인쇄회로기판을 가공하는데 사용되는 재료 중 다층 필름의 형태로 제공되는 필름재의 최외각에 형성되는 통상적인 보호필름일 수 있다. 따라서, 본 실시예의 보호층(10)은 통상적인 캐리어필름, 이형필름 또는 보호필름 등과 동일한 기능을 한다.The protective layer 10 is formed on the upper surface of the nonconductive layer 200 and the lower surface of the anisotropic conductive layer 100 to protect the multilayer anisotropic conduction film 1000 according to the present embodiment from the outside. The protective layer 10 may be a conventional protective film formed at an outermost edge of a film material provided in the form of a multilayer film of a material used for processing a printed circuit board. Therefore, the protective layer 10 of this embodiment has the same function as a conventional carrier film, release film, protective film, or the like.

보호층(10)은 패키징 시 비전도층(200)과 이방성 전도층(100)으로부터 각각 분리된다. 즉, 패키징 시에는 본 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름(1000) 중 이방성 전도층(100)과 비전도층(200)만 선택적으로 이용된다. 패키징 시 보호층(10)의 용이한 제거를 위해 보호층(10)의 일면에는 이형성 물질이 도포될 수 있다.The protective layer 10 is separated from the nonconductive layer 200 and the anisotropic conductive layer 100, respectively, upon packaging. That is, at the time of packaging, only the anisotropic conductive layer 100 and the nonconductive layer 200 of the multilayer anisotropic conduction film 1000 according to the present embodiment are selectively used. A releasing material may be applied to one side of the protective layer 10 for easy removal of the protective layer 10 during packaging.

본 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름(1000)은 다양한 설계의 패키지에 적용될 수 있다. 예로써, 본 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름(1000)은 인쇄회로기판과 반도체 소자를 패키징하는 경우뿐 아니라, 인쇄회로기판과 액정 디스플레이의 ITO와 같은 투명 전극을 패키징하는 경우에도 사용될 수 있다.The multilayer anisotropic conduction film 1000 according to the present embodiment can be applied to packages of various designs. For example, the multilayer anisotropic conduction film 1000 according to the present embodiment can be used not only for packaging a printed circuit board and a semiconductor device, but also for packaging a transparent electrode such as a printed circuit board and an ITO of a liquid crystal display.

도 2는 본 발명의 제1 실시예의 변형예에 따른 다층 이방성 전도 필름을 나타내는 도면이다.2 is a view showing a multilayer anisotropic conduction film according to a modification of the first embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면 본 발명의 제1 실시예의 변형예에 따른 다층 이방성 전도 필름(1000')은 제1 실시예의 구성 중 산화 그래핀(도 1의 220)을 제외한 구성은 동일하되, 제1 실시예의 산화 그래핀(도 1의 220)이 무기 필러(230)로 치환된다.Referring to FIG. 2, a multilayer anisotropic conduction film 1000 'according to a modification of the first embodiment of the present invention is the same as the structure of the first embodiment except for the graphene oxide (220 in FIG. 1) Exemplary oxide graphene (220 in FIG. 1) is replaced with an inorganic filler (230).

무기 필러(230)는 알루미나, 실리카, 글라스 및 실리콘 카바이드로 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니고 각종 금속 산화물 또는 금속 질화물 등 전기적 부도체인 무기재료라면 본 변형예의 무기 필러(230)에 포함될 수 있다.The inorganic filler 230 may be at least one selected from the group consisting of alumina, silica, glass, and silicon carbide, and mixtures thereof. However, if the inorganic filler 230 is an electrically nonconductive inorganic material such as various metal oxides or metal nitrides, May be included in the inorganic filler 230 of the modified example.

무기 필러(230)는 구형, 반구형, 다각형, 실린더형 또는 판형 등 다양한 형상으로 형성될 수 있으므로, 도 2에 도시된 무기 필러(230)의 형상은 예시적인 것으로 이해되어야 한다.Since the inorganic filler 230 can be formed into various shapes such as spherical, hemispherical, polygonal, cylindrical or plate shapes, the shape of the inorganic filler 230 shown in FIG. 2 should be understood as an example.

무기 필러(230)의 직경은 수 nm에서 수십 ㎛의 크기로 다양하게 선택될 수 있다. 무기 필러(230)가 구형이 아닌 경우에 있어 무기 필러(230)의 직경이란, 무기 필러(230) 표면의 서로 다른 두 점을 잇고 무기 필러(230)의 무게 중심을 지나는 복수의 선분 각각의 길이 중 최장 길이를 의미하는 것으로 사용한다.The diameter of the inorganic filler 230 may be variously selected from the range of several nanometers to several tens of micrometers. When the inorganic filler 230 is not spherical, the diameter of the inorganic filler 230 refers to the length of each of a plurality of line segments connecting two different points on the surface of the inorganic filler 230 and passing through the center of gravity of the inorganic filler 230 Is used to mean the longest of the two.

본 변형예에 따른 다층 이방성 전도 필름(1000')은 설계 상의 필요에 따라 무기 필러(230)의 함량을 다양하게 변경할 수 있다. 또한, 본 변형예에 따른 다층 이방성 전도 필름(1000')은 설계 상의 필요에 따라 산화 그래핀(도 1의 220)을 제외한 전기 절연성의 유기 필러를 더 포함할 수 있다.The multilayer anisotropic conduction film 1000 'according to the present modification can vary the content of the inorganic filler 230 according to design requirements. In addition, the multilayer anisotropic conduction film 1000 'according to the present modification may further include an electrically insulating organic filler except for the graphene oxide (220 in FIG. 1) according to design requirements.

본 변형예에 의할 경우, 비전도층(200)의 열팽창계수가 반도체 다이의 열팽창계수와 유사해질 수 있다.In this modification, the coefficient of thermal expansion of the nonconductive layer 200 may be similar to the coefficient of thermal expansion of the semiconductor die.

(제2 실시예)(Second Embodiment)

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름을 나타내는 도면이다.3 is a view showing a multilayer anisotropic conduction film according to a second embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름(2000)은 이방성 전도층(100), 비전도층(200) 및 보호층(10)을 포함한다. 본 실시예를 본 발명의 제1 실시예와 비교하면 비전도층(200)이 상이하고, 나머지 구성들이 본 발명의 제1 실시예와 동일하다. 따라서, 이하에서는 본 발명의 제1 실시예의 경우와 차이가 있는 비전도층(200)을 중심으로 기술한다.Referring to FIG. 3, the multilayer anisotropic conduction film 2000 according to the second embodiment of the present invention includes an anisotropic conductive layer 100, a nonconductive layer 200, and a protective layer 10. In comparison with the first embodiment of the present invention, the non-conductive layer 200 is different, and the remaining configurations are the same as those of the first embodiment of the present invention. Accordingly, the non-conductive layer 200, which differs from the first embodiment of the present invention, will be mainly described below.

비전도층(200)은 제2 절연수지(210), 산화 그래핀(220) 및 무기 필러(230)를 포함하고, 무기 필러(230)와 산화 그래핀(220)은 서로 화학적으로 결합되어 무기 필러-산화 그래핀 복합재료(Composite)의 형태로 제2 절연수지(210)에 분산된다.The nonconductive layer 200 includes a second insulating resin 210, an oxidized graphene 220 and an inorganic filler 230. The inorganic filler 230 and the oxidized graphene 220 are chemically bonded to each other, Is dispersed in the second insulating resin 210 in the form of a filler-oxidized graphene composite material (Composite).

무기 필러-산화 그래핀 복합재료(Composite)의 형성 메커니즘을 살펴보면, 산화 그래핀(220)의 표면에 존재하는 -COOH, -OH, -C-O-C-(epoxy ring)의 기능성 작용기와 무기 필러(230)의 표면에 존재하는 -OH와 -NH의 기능성 작용기 간의 산-염기 반응에 따라 -C-O-C-와 -C-N-C- 작용기를 가지는 무기 필러-산화 그래핀 복합재료(Composite)가 형성된다.The formation of inorganic filler-oxidized graphene composite material can be explained by the functional groups of -COOH, -OH and -COC- (epoxy ring) existing on the surface of the oxide graphene 220 and the functional groups of the inorganic filler 230 An inorganic filler-oxidized graphene composite material having a -COC- and -CNC- functional group is formed according to an acid-base reaction between the functional groups of -OH and -NH existing on the surface of the substrate.

한편, 도 3에는 본 실시예에 적용되는 무기 필러(230)가 모두 산화 그래핀(220)과 결합되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 이는 예시적인 것으로 무기 필러-산화 그래핀 복합재료를 형성하지 않은 무기 필러(230)가 제2 절연수지(210)에 분산되어 있는 경우도 당연히 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.FIG. 3 illustrates that the inorganic filler 230 applied to the present embodiment is all bonded to the oxide graphene 220. However, the inorganic filler 230 is not limited to the inorganic filler- The case where the filler 230 is dispersed in the second insulating resin 210 is naturally also within the scope of the present invention.

본 실시예의 경우, 비전도층(200)이 이방성 전도층(100)에 포함된 그래핀(120)과 열적 기계적 성질이 유사한 산화 그래핀(220)을 포함하므로 이방성 전도층(100)과 비전도층(200)의 간의 응력 발생을 최소화할 수 있다. 또한, 본 실시예의 경우, 비전도층(200)이 반도체 다이의 주요 구성물질인 무기재료와 열적 기계적 성질이 유사한 무기 필러(230)를 포함하므로 본 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름(2000)과 반도체 다이 간의 열적 기계적 결합이 향상될 수 있다.Since the nonconductive layer 200 includes the graphene 220 having similar thermal mechanical properties to the graphene 120 included in the anisotropic conductive layer 100, the anisotropic conductive layer 100 and the nonconductive It is possible to minimize the generation of stress in the interlayer of the layer 200. In this embodiment, since the nonconductive layer 200 includes the inorganic filler 230 having similar thermal and mechanical properties to the inorganic material that is the main constituent material of the semiconductor die, the multilayer anisotropic conduction film 2000 and The thermal mechanical coupling between the semiconductor dies can be improved.

(제3 실시예)(Third Embodiment)

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름을 나타내는 도면이다.4 is a view showing a multilayer anisotropic conduction film according to a third embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름(3000)은 내층(100), 완충층(200), 외층(300) 및 보호층(10)을 포함한다. 본 실시예에 따른 내층(100)과 보호층(10)은 각각 본 발명의 제1 실시예에 따른 이방성 전도층(도 1의 100)과 보호층(도 1의 10)에 대응되므로 자세한 설명을 생략하기로 하고, 본 실시예에서는 완충층(200)과 외층(300)을 중심으로 설명하기로 한다.Referring to FIG. 4, a multilayer anisotropic conduction film 3000 according to a third embodiment of the present invention includes an inner layer 100, a buffer layer 200, an outer layer 300, and a protective layer 10. The inner layer 100 and the protective layer 10 according to the present embodiment correspond to the anisotropic conductive layer (100 in FIG. 1) and the protective layer (10 in FIG. 1) according to the first embodiment of the present invention. The buffer layer 200 and the outer layer 300 will be mainly described in this embodiment.

본 실시예를 본 발명의 제1 실시예, 제1 실시예의 변형예 및 제2 실시예와 비교해 보면, 제1 실시예, 제1 실시예의 변형예 및 제2 실시예에서 설명한 비전도층(도 1 내지 도 3의 200) 각각이 조합되어 이중층 구조의 비전도층인 본 실시예의 완충층(200)과 외층(300)을 형성한다. As compared with the first embodiment, the modification of the first embodiment and the second embodiment, the present embodiment is different from the first embodiment, the modification of the first embodiment, and the nonconductive layer described in the second embodiment 1 to 200 of FIG. 3) are combined to form the buffer layer 200 and the outer layer 300 of the present embodiment, which are non-conductive layers of a bilayer structure.

즉, 본 실시예에 적용되는 완충층(200)은 본 발명의 제2 실시예에서 설명한 비전도층(도 3의 200)과 동일하고, 본 실시예에 적용되는 외층(300)은 본 발명의 제1 실시예의 변형예에서 설명한 비전도층(도 2의 200)과 동일하다.That is, the buffer layer 200 applied to this embodiment is the same as the nonconductive layer (200 of FIG. 3) described in the second embodiment of the present invention, and the outer layer 300 applied to this embodiment is the same as the non- Is the same as the nonconductive layer (200 in Fig. 2) described in the modification of one embodiment.

본 실시예는 하부로부터 내층(100)-완충층(200)-외층(300)의 3중층 구조로 형성되고, 완충층(200)이 내층(100)의 그래핀(120) 및 외층(300)의 제2 무기 필러(330)와 각각 열적 기계적 성질이 유사한 산화 그래핀(220)과 제1 무기필러(230)를 포함하므로 내층(100)과 외층(300) 간의 열팽창계수의 급격한 변화를 방지할 수 있다. 따라서, 열팽창계수의 불균형으로 인한 내부 응력의 발생을 최소화할 수 있다.The buffer layer 200 is formed of a graphene 120 and an outer layer 300 of the inner layer 100 and the outer layer 300. The buffer layer 200 is formed of a triple layer structure of an inner layer 100, a buffer layer 200, It is possible to prevent a sharp change in the thermal expansion coefficient between the inner layer 100 and the outer layer 300 because the layer includes the oxidation graphene 220 and the first inorganic filler 230 having thermal mechanical properties similar to those of the second inorganic filler 330 . Therefore, the occurrence of internal stress due to the unevenness of the thermal expansion coefficient can be minimized.

다층 이방성 전도 필름의 제조방법Method for manufacturing multilayer anisotropic conduction film

도 5는 본 발명의 일 실시예에 적용되는 이방성 전도층의 제조방법을 개략적으로 나타내는 도면이다.5 is a view schematically showing a method of manufacturing an anisotropic conductive layer according to an embodiment of the present invention.

이하에서는, 본 발명의 제3 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름(도 4의 3000)을 제조하기 위한 제조방법을 설명한다.Hereinafter, a manufacturing method for manufacturing the multilayer anisotropic conduction film (3000 in Fig. 4) according to the third embodiment of the present invention will be described.

우선, 그래핀과 전도성 필러가 제1 절연수지에 분산된 제1 바니시(V1), 산화 그래핀과 제1 무기 필러가 제2 절연수지에 분산된 제2 바니시 및 제2 무기 필러가 제3 절연수지에 분산된 제3 바니시를 각각 준비한다. 제1 바니시, 제2 바니시 및 제3 바니시 각각은 본 발명의 제3 실시예에서 설명한 내층(도 4의 100), 완충층(도 4의 200) 및 외층(도 4의 300)이 되는 원재료에 해당한다.First, a first varnish (V1) in which graphene and a conductive filler are dispersed in a first insulating resin, a second varnish in which graphene oxide and a first inorganic filler are dispersed in a second insulating resin, A third varnish dispersed in the resin is prepared. Each of the first varnish, the second varnish and the third varnish corresponds to the raw material which is the inner layer (100 in FIG. 4), the buffer layer (200 in FIG. 4) and the outer layer (300 in FIG. 4) described in the third embodiment of the present invention do.

제1 바니시(V1)는 그래핀과 전도성 필러를 혼합한 후 혼합된 그래핀과 전도성 필러를 제1 절연수지에 분산시킴으로써 형성된다.The first varnish V1 is formed by mixing the graphene and the conductive filler, and then dispersing the mixed graphene and the conductive filler in the first insulating resin.

제2 바니시는 산화 그래핀과 제1 무기 필러를 혼합한 후 혼합된 산화 그래핀과 제1 무기 필러를 제2 절연수지에 분산시킴으로써 형성된다. 산화 그래핀과 제1 무기 필러는 혼합 단계 또는 분산 단계에서 상술한 바와 같이 무기 필러-산화 그래핀 복합재료(Composite)를 형성할 수 있다.The second varnish is formed by mixing the graphene oxide and the first inorganic filler, and then dispersing the mixed graphene grains and the first inorganic filler in the second insulating resin. The graphene oxide and the first inorganic filler may form an inorganic filler-oxidized graphene composite material as described above in the mixing step or the dispersing step.

그래핀은 그래파이트(Graphite)로부터 제조되거나, 탄소나노튜브를 절단하여 제조되거나 메탄을 탄소원으로 사용하는 CVD(Chemical vapor deposition) 공정으로 제조될 수 있다.Graphene may be prepared from graphite, or by cutting a carbon nanotube, or by a CVD (chemical vapor deposition) process using methane as a carbon source.

그래파이트로부터 그래핀을 제조하는 방법은 크게 기계적 박리법과 물리화학적 박리법의 두 가지로 나뉜다.Methods for producing graphene from graphite are roughly divided into mechanical peeling and physico-chemical peeling.

기계적 박리법은 점착 테이프 등을 그래파이트에 붙였다 떼어내는 것을 반복하여 그래파이트의 적층 구조를 깸으로써 그래핀을 제조하는 방법이다.In the mechanical peeling method, an adhesive tape or the like is attached to graphite and peeling off is repeated to remove graphene laminate structure, thereby producing graphene.

물리화학적 박리법은 적층된 구조를 가진 그래파이트 덩어리를 적절한 용매에 분산시킨 상태에서 그래파이트의 표면과 층간 구조 사이에서 산화 반응을 일으켜 층과 층 사이 공간을 넓히고 다시 여기에 다른 물질을 표면 흡착시켜 결국에는 이를 완전히 박리시키는 과정을 포함한다. The physico-chemical stripping method causes an oxidation reaction between the surface of the graphite and the interlayer structure in a state in which the graphite lumps having the laminated structure are dispersed in an appropriate solvent, widening the space between the layers and again adsorbing other substances on the surface thereof, And completely peeling it off.

이를 보다 자세히 설명하면, 우선 그래파이트의 형태로 적층되어 있는 그래핀의 표면 또는 말단, 표면과 말단 양쪽 모두를 카르복실기, 히드록실기, 술포닐기, 아민기 등의 이온성 관능기로 개질시킴으로써 산화 그래핀을 형성하여 그래파이트의 적층 구조를 파괴한다. 이후 환원반응을 통해 산화 그래핀의 표면 또는 말단, 표면과 말단 양쪽 모두를 환원시켜 그래핀을 제조한다.In more detail, the graphene laminated in the form of graphite is first modified by ionic functional groups such as a carboxyl group, a hydroxyl group, a sulfonyl group and an amine group to the surface or the terminal, both the surface and the end of graphene, Thereby destroying the laminated structure of the graphite. Thereafter, graphene is produced by reducing both the surface and the end, both the surface and the end, of the oxidized graphene through a reduction reaction.

그래핀이 카르복실기 및 히드록실기를 갖도록 개질시키는 방법 및 산화 그래핀을 환원시키는 방법은 당업계에서 통상적으로 사용할 수 있는 모든 방법을 사용될 수 있다. 일례로 그래파이트를 분쇄, 산화시켜 산화 그래파이트를 만들고 초음파로 산화 그래파이트를 처리하여 산화 그래핀을 얻고, 산화 그래핀을 히드라진과 암모니아로 처리하여 그래핀을 얻는 방법이 있다.Methods for modifying graphene to have a carboxyl group and a hydroxyl group and for reducing the oxidized graphene can be used in all methods commonly used in the art. For example, there is a method of grinding and oxidizing graphite to prepare oxidized graphite, treating the oxidized graphite with ultrasonic waves to obtain oxidized graphene, and treating the graphene oxide with hydrazine and ammonia to obtain graphene.

제1 절연수지, 제2 절연수지 및 제3 절연수지는 열경화성 수지, 열가소성 수지, 광경화성 수지 또는 이들의 혼합물 중 전기절연성을 가지는 것으로 선택된다. 제1 절연수지, 제2 절연수지 및 제3 절연수지는 액정 고분자(LCP: Liquid crystal polymer) 및 에폭시 수지로 구성된 군에서 선택된 적어도 어느 하나로 구성될 수 있다. 에폭시 수지는 비스페놀 A형 에폭시 수지, 나프탈렌 변형 에폭시 수지, 크레졸 노블락 에폭시 수지, 고무 변형성 에폭시 수지 등이 사용될 수 있다.The first insulating resin, the second insulating resin and the third insulating resin are selected to have electrical insulation among a thermosetting resin, a thermoplastic resin, a photocurable resin, or a mixture thereof. The first insulating resin, the second insulating resin and the third insulating resin may be composed of at least one selected from the group consisting of a liquid crystal polymer (LCP) and an epoxy resin. As the epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, naphthalene modified epoxy resin, cresol novolak epoxy resin, rubber deformable epoxy resin and the like can be used.

다음으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 바니시(V1)를 보호층(10)에 도포하고(A), 제1 바니시(V1)에 전기장 또는 자기장을 인가하여 그래핀과 전도성 필러를 일방향으로 배향한 후(B) 제1 바니시(V1)를 반경화상태로 건조(C)함으로써 내층(도 4의 100)을 형성한다.5, the first varnish V1 is applied to the protective layer 10 (A), and an electric field or a magnetic field is applied to the first varnish V1 to cause the graphene and the conductive filler to move in one direction (B), and the first varnish (V1) is dried (C) in a semi-cured state to form an inner layer (100 in Fig. 4).

도 6을 참조하면, 전기장에서 상면을 +극, 하면을 -극 되도록 배치하거나 또는 자기장 상에서 상면을 S극, 하면을 N극이 되도록 배치하여, 그래핀(120)과 전도성 필러(130)가 제1 바니시(V1)의 두께 방향을 따라 배향될 수 있다. 또는, 전기장에서 상면을 -극, 하면을 +극이 되도록 배치하여 또는 자기장 상에서 상면을 N극, 하면을 S극이 되도록 배향하여도 그래핀(120)과 전도성 필러(130)가 제1 바니시(V1)의 두께 방향을 따라 배향될 수 있다.6, the upper surface of the graphene 120 and the lower surface of the conductive filler 130 may be arranged so that the upper surface of the graphene 120 and the lower surface of the conductive filler 130 are arranged in the electric field, 1 < / RTI > varnish V1. Alternatively, the graphene 120 and the conductive filler 130 may be disposed on the first varnish (not shown) even if the top surface is arranged so as to have a positive pole and the bottom surface as a positive pole in the electric field, V1).

건조공정(C)에서 제1 절연수지가 그래핀(120)과 전도성 필러(130)를 고정할 수 있도록 제1 바니시(V1)가 건조되며, 이 과정을 통해서 내층의 제1 절연수지는 반경화 상태를 유지할 수 있다.In the drying step (C), the first varnish V1 is dried so that the first insulating resin can fix the graphene 120 and the conductive filler 130. Through this process, the first insulating resin of the inner layer is semi-hardened State can be maintained.

비록 도면에 도시하지는 않았으나, 건조 단계가 끝난 다음 내층 상에 제2 바니시를 도포한 후 건조하여 완충층을 형성하고, 완충층 상에 제3 바니시를 도포한 후 건조하여 외층을 형성할 수 있다. 마지막으로, 외층 상에 보호층을 형성함으로써, 본 발명의 제3 실시예에 따른 다층 이방성 전도 필름이 제조될 수 있다.Although not shown in the drawing, after the drying step is completed, a second varnish may be coated on the inner layer, followed by drying to form a buffer layer, applying a third varnish on the buffer layer, and drying the outer layer. Finally, by forming the protective layer on the outer layer, the multilayer anisotropic conduction film according to the third embodiment of the present invention can be produced.

제2 바니시와 제3 바니시로 각각 완충층과 외층을 형성하는 과정은 상술한 내층을 형성하는 과정과 유사하므로, 자세한 설명을 생략한다. 다만, 내층 형성과정 중 배향 과정(B)은 완충층과 외층을 형성하는 과정에서 생략될 수 있다.The process of forming the buffer layer and the outer layer with the second varnish and the third varnish, respectively, is similar to the above-described process of forming the inner layer, so a detailed description will be omitted. However, the orientation process (B) during the inner layer formation process may be omitted in the process of forming the buffer layer and the outer layer.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경 또는 삭제 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

V1: 제1 바니시
10: 보호층
100: 이방성 전도층, 내층
110: 제1 절연수지
120: 그래핀
130: 전도성 필러
200: 비전도층, 완충층
210: 제2 절연수지
220: 산화 그래핀
230: 제1 무기 필러
300: 외층
310: 제3 절연수지
330: 제2 무기 필러
1000, 1000', 2000, 3000: 다층 이방 전도성 필름
V1: First varnish
10: Protective layer
100: anisotropic conductive layer, inner layer
110: first insulating resin
120: Graphene
130: Conductive filler
200: nonconductive layer, buffer layer
210: second insulating resin
220: oxidized graphene
230: first inorganic filler
300: outer layer
310: Third insulating resin
330: second inorganic filler
1000, 1000 ', 2000, 3000: multilayer anisotropic conductive film

Claims (10)

그래핀(Graphene) 및 전도성 필러를 포함하고, 전기전도성에 대한 방향성을 가지는 이방성 전도층; 및
상기 이방성 전도성층 상에 형성된 비전도층;
을 포함하는 다층 이방성 전도 필름.
An anisotropic conductive layer comprising a graphene and a conductive filler, the anisotropic conductive layer having a directivity to electrical conductivity; And
A nonconductive layer formed on the anisotropic conductive layer;
/ RTI >
제1항에 있어서,
상기 그래핀(Graphene)은 상기 이방성 전도층의 두께 방향으로 배향된, 다층 이방성 전도 필름.
The method according to claim 1,
Wherein the graphene is oriented in the thickness direction of the anisotropic conductive layer.
제1항에 있어서,
상기 전도성 필러는 금속 및/또는 합금을 포함하는, 다층 이방성 전도 필름.
The method according to claim 1,
Wherein the conductive filler comprises a metal and / or an alloy.
제1항에 있어서,
상기 비전도층은 산화 그래핀(Grahpine Oxide)을 포함하는, 다층 이방성 전도 필름
The method according to claim 1,
Wherein the nonconductive layer is a multi-layer anisotropic conductive film comprising graphene oxide
제4항에 있어서,
상기 비전도층은 무기 필러를 더 포함하는, 다층 이방 전도성 필름.
5. The method of claim 4,
Wherein the nonconductive layer further comprises an inorganic filler.
제5항에 있어서,
상기 무기 필러는 상기 산화 그래핀(Grahpine Oxide)의 표면에 결합된, 다층 이방성 전도 필름.
6. The method of claim 5,
Wherein the inorganic filler is bonded to the surface of the graphene oxide.
제1항에 있어서,
상기 비전도층은
산화 그래핀(Grahpine Oxide) 및 제1 무기 필러를 포함하고, 상기 이방성 전도층 상에 형성되는 제1 비전도층 및
제2 무기 필러를 포함하고, 상기 제1 비전도층 상에 형성된 제2 비전도층을 포함하는 다층 이방성 전도 필름.
The method according to claim 1,
The non-
A first nonconductive layer comprising graphene oxide and a first inorganic filler, the first nonconductive layer being formed on the anisotropic conductive layer,
And a second non-conductive layer formed on the first non-conductive layer, the second non-conductive layer including a second inorganic filler.
제1 절연수지, 상기 제1 절연수지에 분산된 그래핀(Graphene), 및 상기 제1 절연수지에 분산된 전도성 필러를 포함하고, 전기전도성에 대한 방향성을 가지는 내층;
제2 절연수지, 상기 제2 절연수지에 분산된 산화 그래핀(Graphene Oxide), 및 상기 산화 그래핀(Graphene Oxide)의 표면에 결합된 제1 무기 필러를 포함하는 완충층 및
제3 절연수지, 및 상기 제3 절연수지에 분산된 제2 무기 필러를 포함하는 외층;
을 포함하는 다층 이방성 전도 필름.
An inner layer having a first insulating resin, a graphene dispersed in the first insulating resin, and a conductive filler dispersed in the first insulating resin, the inner layer having an electric conductivity;
A buffer layer comprising a second insulating resin, Graphene Oxide dispersed in the second insulating resin, and a first inorganic filler bonded to the surface of the oxide graphene (Graphene Oxide)
An outer layer comprising a third insulating resin and a second inorganic filler dispersed in the third insulating resin;
/ RTI >
제8항에 있어서,
상기 그래핀(Graphene)은 상기 이방성 전도층의 두께 방향으로 배향된, 다층 이방성 전도 필름.
9. The method of claim 8,
Wherein the graphene is oriented in the thickness direction of the anisotropic conductive layer.
제8항에 있어서,
상기 제1 절연수지, 상기 제2 절연수지 및 상기 제3 절연수지는 반경화상태인 다층 이방성 전도 필름.
9. The method of claim 8,
Wherein the first insulating resin, the second insulating resin, and the third insulating resin are in a semi-cured state.
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