TWI793139B - Printed circuit board - Google Patents
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Abstract
Description
以下說明是有關於一種印刷電路板。 The following description is for a printed circuit board.
在製造印刷電路板中存在平行增層式層壓(parallel build up lamination)與依序層壓(sequential lamination)。平行增層式層壓包括高溫加壓,而依序層壓包括低溫加壓。當採用平行增層式層壓方法時,可使用糊膏(paste)作為單元層間連接結構。在此種情形中,內部配線與所述糊膏之間的黏合及連接性可能劣化。 There are parallel build up lamination and sequential lamination in the manufacture of printed circuit boards. Parallel build-up lamination involves high temperature pressing, while sequential lamination involves low temperature pressing. When using the parallel build-up lamination method, paste can be used as the connection structure between the unit layers. In such a case, the adhesion and connectivity between the internal wiring and the paste may deteriorate.
日本公開專利第2003-179356號闡述一種印刷電路板的實例。 Japanese Laid-Open Patent No. 2003-179356 describes an example of a printed circuit board.
本發明的目標是提供一種具有極佳層間黏合及連接性的印刷電路板。 The object of the present invention is to provide a printed circuit board with excellent interlayer adhesion and connectivity.
根據本發明的態樣,提供一種印刷電路板,所述印刷電路板包括:絕緣層,所述絕緣層的一表面上形成有金屬接墊;開口部件,位於所述金屬接墊的一表面上且穿透所述絕緣層;第一突出部件,位於所述開口部件中且形成於所述金屬接墊的所述一 表面上;第二突出部件,形成於所述金屬接墊的另一表面上;以及填充構件,填充於所述開口部件內以接觸所述第一突出部件,其中所述填充構件的熔點低於所述金屬接墊的熔點,且其中投影在所述絕緣層的另一表面上的所述第二突出部件在所述絕緣層的所述另一表面上位於所述開口部件區域中。 According to an aspect of the present invention, a printed circuit board is provided, and the printed circuit board includes: an insulating layer, a metal pad is formed on one surface of the insulating layer; an opening part is located on a surface of the metal pad and penetrate the insulating layer; the first protruding part is located in the opening part and formed on the one of the metal pads a second protruding part formed on the other surface of the metal pad; and a filling member filled in the opening part to contact the first protruding part, wherein the filling member has a melting point lower than The melting point of the metal pad, and wherein the second protruding part projected on the other surface of the insulating layer is located in the opening part region on the other surface of the insulating layer.
根據本發明的另一態樣,提供一種印刷電路板,所述印刷電路板包括:絕緣層,所述絕緣層的一表面上形成有第一金屬接墊且另一表面中嵌置有第二金屬接墊;開口部件,位於所述第一金屬接墊與所述第二金屬接墊之間且穿透所述絕緣層;第一突出部件,位於所述開口部件中且自朝向所述第二金屬接墊的所述第一金屬接墊的一表面突出;第二突出部件,位於所述開口部件中且自朝向所述第一金屬接墊的所述第二金屬接墊的一表面突出;以及填充構件,填充於所述開口部件內以使所述第一突出部件接觸所述第二突出部件,其中所述填充構件的熔點低於所述第一金屬接墊的熔點。 According to another aspect of the present invention, a printed circuit board is provided. The printed circuit board includes: an insulating layer, a first metal pad is formed on one surface of the insulating layer and a second metal pad is embedded in the other surface. a metal pad; an opening part, located between the first metal pad and the second metal pad and penetrating through the insulating layer; a first protruding part, located in the opening part and facing from the first metal pad A surface of the first metal pad of the two metal pads protrudes; a second protruding part is located in the opening part and protrudes from a surface of the second metal pad facing the first metal pad. and a filling member filled in the opening part so that the first protruding part contacts the second protruding part, wherein a melting point of the filling member is lower than a melting point of the first metal pad.
1、2、3:單元基板 1, 2, 3: Unit substrate
10:開口部件 10: Opening parts
20、30:通孔孔洞 20, 30: through holes
100:絕緣層 100: insulating layer
110:金屬接墊/第一金屬接墊 110: metal pad/first metal pad
110a:金屬接墊的一表面/第一金屬接墊的一表面 110a: a surface of the metal pad/a surface of the first metal pad
110b:金屬接墊的另一表面/第一金屬接墊的另一表面 110b: the other surface of the metal pad/the other surface of the first metal pad
110c:金屬接墊的側表面/第一金屬接墊的側表面 110c: side surface of the metal pad/side surface of the first metal pad
111:電路/第一電路 111: circuit/first circuit
120:第一突出部件 120: first protruding part
120’:第三突出部件 120': third protruding part
130:無電鍍覆層 130: electroless plating layer
140:電鍍層 140: Plating layer
150:晶種層 150: seed layer
200:絕緣層/上部絕緣層 200: insulating layer/upper insulating layer
210:第二金屬接墊 210: Second metal pad
210a:第二金屬接墊的一表面 210a: a surface of the second metal pad
211:第二電路 211: second circuit
220:第二突出部件 220: second protruding part
220’:第四突出部件 220': Fourth protruding part
230:無電鍍覆層 230: electroless plating layer
300:絕緣層/下部絕緣層/第三絕緣層 300: insulating layer/lower insulating layer/third insulating layer
B:背部遮罩 B: Back mask
C:最外電路層 C: Outermost circuit layer
F1、F2:保護膜 F1, F2: protective film
M:金屬箔 M: metal foil
P1:填充構件 P1: filling member
P2、P3:通孔 P2, P3: through hole
R1、R2、R3:抗蝕劑膜 R1, R2, R3: resist film
圖1示出根據本發明第一實施例的印刷電路板。 FIG. 1 shows a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention.
圖2示出根據本發明第二實施例的印刷電路板。 Fig. 2 shows a printed circuit board according to a second embodiment of the invention.
圖3示出根據本發明第三實施例的印刷電路板。 Fig. 3 shows a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention.
圖4示出根據本發明第四實施例的印刷電路板。 Fig. 4 shows a printed circuit board according to a fourth embodiment of the present invention.
圖5示出根據本發明第五實施例的印刷電路板。 Fig. 5 shows a printed circuit board according to a fifth embodiment of the present invention.
圖6(a)及圖6(b)示出根據本發明第六實施例的印刷電路板。 6(a) and 6(b) show a printed circuit board according to a sixth embodiment of the present invention.
圖7至圖19是示出製造根據本發明實施例的印刷電路板的方法中所使用的各製程的剖視圖。 7 to 19 are cross-sectional views illustrating processes used in a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
圖20至圖29(b)是示出製造根據本發明另一實施例的印刷電路板的方法中所使用的各製程的剖視圖。 20 to 29(b) are cross-sectional views illustrating processes used in a method of manufacturing a printed circuit board according to another embodiment of the present invention.
在所有圖式及詳細說明通篇中,相同的參考編號指代相同的元件。各圖式可能並非按比例繪製,且為清晰、示出及方便起見,可誇大圖式中的元件的相對大小、比例、及描繪。 Like reference numbers refer to like elements throughout the drawings and detailed description. The drawings may not be drawn to scale, and the relative size, proportion, and depiction of elements in the drawings may be exaggerated for clarity, illustration, and convenience.
提供以下詳細說明是為了幫助讀者獲得對本文中所述方法、設備、及/或系統的全面理解。然而,對於此項技術中具有通常知識者而言,本文中所述方法、設備、及/或系統的各種改變、潤飾、及等效形式將顯而易見。本文中所述操作順序僅為實例,且並非僅限於本文中所提及的該些操作順序,而是如對於此項技術中具有通常知識者而言將顯而易見,除必定以特定次序出現的操作以外,均可有所改變。此外,為提高清晰性及明確性,可省略對對於此項技術中具有通常知識者而言眾所習知的功能及構造的說明。 The following detailed description is provided to assist the reader in gaining a comprehensive understanding of the methods, devices, and/or systems described herein. However, various changes, modifications, and equivalents of the methods, apparatus, and/or systems described herein will be apparent to those having ordinary skill in the art. The order of operations described herein are examples only and are not limited to those mentioned herein, but as would be apparent to one of ordinary skill in the art, unless operations must occur in a particular order Otherwise, changes may be made. Also, descriptions of functions and constructions that are well known to one having ordinary skill in the art may be omitted for increased clarity and certainty.
本文中所述特徵可以不同形式實施,且不應被解釋為僅限於本文中所述實例。確切而言,提供本文中所述實例是為了使此揭露內容將透徹及完整,並將向此項技術中具有通常知識者傳 達本發明的全部範圍。 The features described herein may be implemented in different forms and should not be construed as limited to only the examples described herein. Rather, the examples described herein are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will convey to those of ordinary skill in the art. up to the full scope of the invention.
除非另有定義,否則本文中所使用的全部用語(包括技術用語及科學用語)的含義均與其被本發明所屬技術中具有通常知識者所通常理解的含義相同。在常用字典中所定義的任何用語應被解釋為具有與在相關技術的情境中的含義相同的含義,且除非另有明確定義,否則不應將其解釋為具有理想化或過於正式的含義。 Unless otherwise defined, all terms (including technical terms and scientific terms) used herein have the same meaning as commonly understood by those skilled in the art to which this invention pertains. Any terms defined in commonly used dictionaries should be construed as having the same meaning as in the context of the relevant technology, and unless otherwise clearly defined, should not be construed as having an idealized or overly formal meaning.
無論圖號如何,將對相同的或對應的組件給定相同的參考編號,且將不再對相同的或對應的組件予以贅述。在本發明的說明通篇中,當闡述特定相關傳統技術確定與本發明的要點無關時,將省略有關詳細說明。在闡述各種組件時可使用例如「第一(first)」及「第二(second)」等用語,但以上組件不應僅限於以上用語。以上用語僅用於區分各個組件。在附圖中,可誇大、省略、或簡要示出一些組件,且組件的尺寸未必反映該些組件的實際尺寸。 Regardless of the figure number, the same or corresponding components will be given the same reference numerals and will not be described repeatedly. Throughout the description of the present invention, when explaining a certain related conventional art is determined to be irrelevant to the gist of the present invention, the relevant detailed description will be omitted. Terms such as "first" and "second" may be used in describing various components, but the above components should not be limited to the above terms. The above terms are only used to distinguish individual components. In the drawings, some components may be exaggerated, omitted, or briefly shown, and the size of the components does not necessarily reflect the actual size of the components.
在下文中,將參照附圖來詳細闡述本發明的特定實施例。 Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be explained in detail with reference to the accompanying drawings.
圖1示出根據本發明第一實施例的印刷電路板。 FIG. 1 shows a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention.
參照圖1,根據本發明第一實施例的印刷電路板包括形成有金屬接墊110的絕緣層100、形成於絕緣層100中的開口部件10、第一突出部件120、第二突出部件220、及填充於開口部件10中的填充構件P1。此處,填充構件P1可為含有金屬粉末的糊膏。
Referring to FIG. 1, a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention includes an insulating
絕緣層100是由例如樹脂等絕緣材料製成。絕緣層100的樹脂可由例如熱固性樹脂及熱塑性樹脂等各種材料製成。
The insulating
絕緣層100可由具有低介電常數(Dk)及低介電損耗(Df)的材料製成。具體而言,絕緣層100可由液晶聚合物(liquid crystal polymer,LCP)、聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene,PTFE)、聚苯醚(polyphenylene ether,PPE)、環烯烴聚合物(cyclo olefin polymer,COP)、及聚全氟烷氧基(perfluoroalkoxy,PFA)中的至少一者製成。然而,其並非僅限於此。可應用所有具有低介電常數及低介電損耗的材料。此種材料適合於減少用於傳輸高頻訊號的基板中的訊號損耗。
The insulating
然而,絕緣層100並非僅限於以上材料,且可由環氧樹脂或聚醯亞胺等形成。環氧樹脂的實例包括萘環氧樹脂(naphthalene epoxy resin)、雙酚A型環氧樹脂(bisphenol A type epoxy resin)、雙酚F型環氧樹脂(bisphenol F type epoxy resin)、酚醛清漆環氧樹脂(novolak epoxy resin)、甲酚酚醛清漆環氧樹脂(cresol novolak epoxy resin)、橡膠改質環氧樹脂(rubber modified epoxy resin)、脂環族環氧樹脂(cycloaliphatic epoxy resin)、矽系環氧樹脂(silicon-based epoxy resin)、氮系環氧樹脂(nitrogen-based epoxy resin)、磷系環氧樹脂(phosphorus-based epoxy resin)等。然而,其並非僅限於此。
However, the insulating
絕緣層100可為將例如玻璃布(glass cloth)等纖維加強材料(fiber reinforcement material)包含於樹脂中的預浸體
(prepreg,PPG)。絕緣層100可為將例如氧化矽(silica)等無機填料填充於樹脂中的增層膜。可使用味之素增層膜(ajinomoto build-up film,ABF)等作為此種增層膜。
The insulating
絕緣層100的一表面上形成有電路111及金屬接墊110。電路111是被圖案化以傳輸電性訊號的導體。金屬接墊110是連接至電路111的端部的導體。電路111及金屬接墊110是由例如銅(Cu)、鈀(Pd)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、金(Au)、鉑(Pt)、或其合金等金屬形成。
開口部件10形成於絕緣層100中。開口部件10穿透絕緣層100以定位於金屬接墊110的一表面110a上。亦即,金屬接墊110的一表面110a的至少一部分經由開口部件10暴露出來。開口部件10可形成為圓柱形,但彼此面對的一表面的面積與另一表面的面積可不同。亦即,開口部件10的截面積可朝進行加工的表面變大。
The opening
第一突出部件120形成於金屬接墊110的一表面110a上且位於開口部件10中。第一突出部件120自金屬接墊110的一表面110a朝上突出。第一突出部件120可由例如銅(Cu)、鈀(Pd)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、金(Au)、鉑(Pt)、或其合金等金屬形成。第一突出部件120亦可由與電路111及金屬接墊110相同的金屬製成。
The first
第一突出部件120的高度(突出長度)小於開口部件10的高度(厚度)。第一突出部件120與金屬接墊110接觸的區域被
形成為等於或小於開口部件10與金屬接墊110彼此接觸的區域(金屬接墊110經由開口部件10暴露出的區域)。
The height (protrusion length) of the
第一突出部件120的側表面與絕緣層100之間可設置有空間。即使第一突出部件120與金屬接墊110彼此接觸的區域等於開口部件10與金屬接墊110彼此接觸的區域(金屬接墊110經由開口部件10暴露出的區域),仍可能存在所述空間。
A space may be provided between a side surface of the
第二突出部件220形成於金屬接墊110的另一表面110b(與所述一表面相對的表面)上。第二突出部件220以與第一突出部件120相反的方向突出。第二突出部件220可由例如銅(Cu)、鈀(Pd)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、金(Au)、鉑(Pt)、或其合金等金屬形成,且亦可由與電路111及金屬接墊110相同的金屬製成。
The second
當第二突出部件220投影在絕緣層100的另一表面時,投影在絕緣層100的所述另一表面的第二突出部件220可在絕緣層100的所述另一表面中形成於開口部件10的區域中。亦即,當第二突出部件220的上表面平行於絕緣層100的另一表面移動時,第二突出部件220定位於開口部件10中。此外,當第二突出部件220相對於金屬接墊110平面對稱時,第二突出部件220可定位於開口部件10內。
When the second
第二突出部件220的高度(突出長度)小於開口部件10的高度(厚度)。
The height (protrusion length) of the
電路111的表面及金屬接墊的表面上可形成無電鍍覆層
130。無電鍍覆層130可形成於不與絕緣層100接觸的電路111的表面及金屬接墊的表面上。具體而言,無電鍍覆層130可形成於金屬接墊110的另一表面110b及側表面110c上。無電鍍覆層130可不形成於金屬接墊110的一表面110a上。
An electroless plating layer can be formed on the surface of the
第二突出部件220可形成於在金屬接墊110的另一表面110b上形成的無電鍍覆層130上。當第一突出部件120及第二突出部件220是藉由電鍍(electroplating)形成時,無電鍍覆層130變為引入線(lead-in wire)。
The second
填充構件P1填充於開口部件10中且接觸第一突出部件120。填充構件P1的填充高度可等於或大於開口部件10的高度。填充構件P1具有傳導性(conductivity)且可為含有例如銅(Cu)、錫(Sn)、銀(Ag)等金屬的糊膏。然而,填充構件P1不限於此種材料。可應用所有具有傳導性的材料。填充構件P1的熔點可低於印刷電路板中的其他導體的熔點。具體而言,填充構件P1的熔點可低於電路111、金屬接墊110、第一突出部件120、及第二突出部件220中的至少一者的熔點。較佳地,填充構件P1的熔點可為印刷電路板中最低的。
The filling member P1 is filled in the
當第一突出部件120的側表面與絕緣層100之間設置有空間時,填充構件P1可填充於所述空間中。
When a space is provided between the side surface of the
圖2示出根據本發明第二實施例的印刷電路板。 Fig. 2 shows a printed circuit board according to a second embodiment of the invention.
參照圖2,根據本發明第二實施例的印刷電路板包括形成有第一金屬接墊110及第二金屬接墊210的絕緣層100、形成於
絕緣層100上的開口部件10、第一突出部件120、第二突出部件220、及填充於開口部件10中的填充構件P1。此處,填充構件P1可為含有金屬粉末的糊膏。
Referring to FIG. 2, a printed circuit board according to a second embodiment of the present invention includes an insulating
絕緣層100是由例如樹脂等絕緣材料製成。絕緣層100的樹脂可由例如熱固性樹脂及熱塑性樹脂等各種材料製成。
The insulating
絕緣層100可由具有低介電常數(Dk)及低介電損耗(Df)的材料製成。具體而言,絕緣層100可由液晶聚合物(LCP)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚苯醚(PPE)、環烯烴聚合物(COP)、及聚全氟烷氧基(PFA)中的至少一者製成。然而,其並非僅限於此。可應用所有具有低介電常數及低介電損耗的材料。此種材料適合於減少用於傳輸高頻訊號的基板中的訊號損耗。
The insulating
然而,絕緣層100並非僅限於以上材料,且可為環氧樹脂、聚醯亞胺等。其說明與上述說明相同。
However, the insulating
絕緣層100的一表面上形成有第一電路111及第一金屬接墊110。絕緣層100的另一表面上形成有第二電路211及第二金屬接墊210。第一電路111及第二電路211是被圖案化以傳輸電性訊號的導體。第一金屬接墊110是連接至第一電路111的端部的導體,且第二金屬接墊210是連接至第二電路211的端部的導體。
A
第一電路111及第一金屬接墊110形成於絕緣層100的一表面上,且第二電路211及第二金屬接墊210嵌置於絕緣層100的另一表面中。
The
第一電路111、第二電路211、第一金屬接墊110、及第
二金屬接墊210可由例如銅(Cu)、鈀(Pd)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、金(Au)、鉑(Pt)、或其合金等金屬形成。
The
絕緣層100中形成有開口部件10。開口部件10穿透絕緣層100以定位於第一金屬接墊110與第二金屬接墊210之間。開口部件10接觸第一金屬接墊110的一表面110a及第二金屬接墊210的一表面210a。開口部件10可形成為圓柱形,但開口部件10的截面積可自第一金屬接墊110朝第二金屬接墊210增大。
The opening
第一突出部件120形成於第一金屬接墊110的一表面110a上且位於開口部件10中。第一突出部件120自朝向第二金屬接墊210的第一金屬接墊110的一表面110a突出。第一突出部件120可由例如銅(Cu)、鈀(Pd)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、金(Au)、鉑(Pt)、或其合金等金屬形成。
The first
第一突出部件120的高度(突出長度)小於開口部件10的高度(厚度)。第一突出部件120與第一金屬接墊110彼此接觸的區域可等於或小於開口部件10與第一金屬接墊110彼此接觸的區域(第一金屬接墊110經由開口部件10暴露出的區域)。
The height (protrusion length) of the
第一突出部件120的側表面與絕緣層100之間可設置有空間。即使第一突出部件120與第一金屬接墊110彼此接觸的區域等於開口部件10與第一金屬接墊110彼此接觸的區域(金屬接墊110經由開口部件10暴露出的區域),仍可能存在所述空間。
A space may be provided between a side surface of the
第二突出部件220形成於第二金屬接墊210的一表面210a上且位於開口部件10中。第二突出部件220自朝向第一金屬
接墊110的第二金屬接墊210的一表面210a突出。第二突出部件220可由例如銅(Cu)、鈀(Pd)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、金(Au)、鉑(Pt)、或其合金等金屬形成。
The second
第二金屬接墊210的另一表面上可形成有具有與第一突出部件120相同的結構的第三突出部件120’。第一金屬接墊110的另一表面110b上可形成有具有與第二突出部件220相同的結構的第四突出部件220’。亦即,金屬接墊110及突出部件的結構可重覆地形成於絕緣層100的一表面及另一表面上。然而,第一突出部件至第四突出部件中的所有者未必一起形成,且第三突出部件120’及第四突出部件220’可視需要來形成。舉例而言,如隨後將闡述,當絕緣層100的上部部分及下部部分上層壓有附加的絕緣層100且經由通孔進行層間連接時,第三突出部件120’或第四突出部件220’可接觸所述通孔。
A third protruding part 120' having the same structure as the first protruding
第一電路111及第一金屬接墊110的表面上以及第二電路211及第二金屬接墊210的表面上可形成無電鍍覆層130。無電鍍覆層130形成於不與絕緣層100接觸的第一電路111的表面及第一金屬接墊110的表面上。無電鍍覆層130形成於與絕緣層100接觸的第二電路211的表面及第二金屬接墊210的表面上。具體而言,無電鍍覆層130可形成於第一金屬接墊110的另一表面110b及側表面110c上、以及第二金屬接墊210的一表面210a及側表面上。
The
第二突出部件220可形成於在第二金屬接墊210的一表
面210a上形成的無電鍍覆層130上。第四突出部件220’可形成於在第一金屬接墊110的另一表面110b上形成的無電鍍覆層130上。當第一突出部件至第四突出部件是藉由電鍍形成時,無電鍍覆層130變為引入線。
The second
填充構件P1填充於開口部件10中且接觸第一突出部件120及第二突出部件220。填充構件P1具有傳導性且可為含有例如銅(Cu)、錫(Sn)、銀(Ag)等金屬的糊膏。然而,填充構件P1並非僅限於此種材料。可應用所有具有傳導性的材料。填充構件P1的熔點可低於印刷電路板中的其他導體的熔點。具體而言,填充構件P1的熔點可低於電路111、金屬接墊110、第一突出部件120、及第二突出部件220中的至少一者的熔點。較佳地,填充構件P1的熔點可為印刷電路板中最低的。
The filling member P1 is filled in the
當第一突出部件120的側表面與絕緣層100之間設置有空間時,填充構件P1可填充於所述空間中。
When a space is provided between the side surface of the
圖3示出根據本發明第三實施例的印刷電路板。 Fig. 3 shows a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention.
參照圖3,根據本發明第三實施例的印刷電路板包括圖1或圖2中所示形成於絕緣層100的上部部分及/或底部部分上的絕緣層200及絕緣層300。
Referring to FIG. 3 , a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention includes an insulating
詳言之,除絕緣層100、突出部件、及填充構件P1以外,根據本發明第三實施例的印刷電路板更包括上部絕緣層200、下部絕緣層300、及通孔P2、通孔P3。
In detail, in addition to the insulating
上部絕緣層200層壓於絕緣層100的上部部分上且下部
絕緣層300層壓於絕緣層100的下部部分上。其詳細說明與以上對絕緣層100闡述的說明相同。上部絕緣層200與下部絕緣層300未必一定一起層壓於絕緣層100的上部部分及下部部分上,而是可被選擇性地層壓。亦即,若以上所述絕緣層100位於多層印刷電路板的最上部分或最下部分處,則上部絕緣層200或下部絕緣層300可層壓於絕緣層100上。
The upper insulating
上部絕緣層200可包括通孔P2。上部絕緣層200的通孔P2位於第二金屬接墊210的另一表面上且穿透上部絕緣層200。此處,形成於第二金屬接墊210的另一表面上的第三突出部件120’可凹陷至通孔P2中。具體而言,當通孔P2是藉由在通孔孔洞20中填充金屬糊膏而形成時,第三突出部件120’可藉由平行增層式層壓而凹陷至通孔P2中。通孔P2可為與以上所述填充於開口部件10中的填充構件P1相同的材料。
The upper insulating
下部絕緣層300亦包括通孔P3。下部絕緣層300的通孔P3位於第一金屬接墊110的另一表面110b下方且穿透下部絕緣層300。此處,形成於第一金屬接墊110的另一表面110b上的第四突出部件220’可凹陷至通孔P3中。具體而言,當通孔P3是以金屬糊膏填充於通孔孔洞30中時,第四突出部件220’可藉由平行增層式層壓凹陷至通孔P3中。通孔P3可為與以上所述填充於開口部件10中的填充構件P1相同的材料。
The lower
此種突出部件的結構可重覆地形成於所述多個絕緣層100、200、及300中。然而,未必全部所述多個絕緣層100、200、
及300均具有突出部件,且所述突出部件可選擇性地形成於一或多個所需絕緣層中。
The structure of such protruding parts can be repeatedly formed in the plurality of insulating
通孔P2及通孔P3與絕緣層100的開口部件10可被排列成在垂直方向上彼此交疊。較佳地,開口部件10與通孔P2及通孔P3可在垂直方向上排列成一條線。
The via holes P2 and P3 and the
圖4示出根據本發明第四實施例的印刷電路板。 Fig. 4 shows a printed circuit board according to a fourth embodiment of the present invention.
參照圖4,在根據本發明第四實施例的印刷電路板中,相較於第一實施例至第三實施例,第一突出部件120的側表面與絕緣層100之間可不設置空間。亦即,第一突出部件120的側表面與絕緣層100可彼此接觸。在此種情形中,第一突出部件120形成於開口部件10的整個表面(金屬接墊110經由與金屬接墊110接觸的開口部件10暴露出的區域)上。
Referring to FIG. 4 , in the printed circuit board according to the fourth embodiment of the present invention, no space may be provided between the side surface of the first protruding
由於除此以外的詳細說明與第一實施例至第三實施例無異,因此將不再對其予以贅述。 Since other detailed descriptions are the same as those of the first embodiment to the third embodiment, they will not be repeated here.
圖5示出根據本發明第五實施例的印刷電路板。 Fig. 5 shows a printed circuit board according to a fifth embodiment of the present invention.
參照圖5,在根據本發明第五實施例的印刷電路板中,相較於第二實施例及第三實施例,第一突出部件120與第二突出部件220彼此接觸。在此種情形中,第一突出部件120的高度與第二突出部件220的高度之和可等於或大於開口部件10的厚度。訊號的層間傳送是藉由第一突出部件120及第二突出部件220執行,以使訊號傳輸速度可為快速的。
Referring to FIG. 5 , in the printed circuit board according to the fifth embodiment of the present invention, compared with the second and third embodiments, the first protruding
圖6(a)及圖6(b)示出根據本發明第六實施例的印 刷電路板。 Fig. 6 (a) and Fig. 6 (b) show the print according to the sixth embodiment of the present invention Brush the circuit board.
參照圖6,根據本發明第六實施例的印刷電路板包括其上形成有第一金屬接墊110及第二金屬接墊210的絕緣層100、位於絕緣層100中的開口部件10、第一突出部件120、第二突出部件220、及填充於開口部件10中的填充構件P1。填充構件P1可為含有金屬粉末的金屬糊膏。
Referring to FIG. 6, the printed circuit board according to the sixth embodiment of the present invention includes an insulating
絕緣層100是由例如樹脂等絕緣材料製成。絕緣層100的樹脂可由例如熱固性樹脂及熱塑性樹脂等各種材料製成。
The insulating
絕緣層100可由具有低介電常數(Dk)及低介電損耗(Df)的材料製成。具體而言,絕緣層100可由液晶聚合物(LCP)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚苯醚(PPE)、環烯烴聚合物(COP)、及聚全氟烷氧基(PFA)中的至少一者製成。然而,其並非僅限於此。可應用所有具有低介電常數及低介電損耗的材料。此種材料適合於減少用於傳輸高頻訊號的基板中的訊號損耗。
The insulating
然而,絕緣層100並非僅限於以上材料,且可由環氧樹脂或聚醯亞胺等形成。其說明與上述說明相同。
However, the insulating
絕緣層100的一表面上形成有第一電路111及第一金屬接墊110。絕緣層100的另一表面上形成有第二電路211及第二金屬接墊210。第一電路111及第一金屬接墊110形成於絕緣層100的一表面上,且第二電路211及第二金屬接墊210嵌置於絕緣層100的另一表面中。
A
第一電路111、第二電路211、第一金屬接墊110、及第
二金屬接墊210可由例如銅(Cu)、鈀(Pd)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、金(Au)、鉑(Pt)、或其合金等金屬形成。
The
絕緣層100中形成有開口部件10。開口部件10穿透絕緣層100以定位於第一金屬接墊110與第二金屬接墊210之間。開口部件10接觸第一金屬接墊110的一表面110a及第二金屬接墊210的一表面210a。開口部件10可形成為圓柱形,但開口部件10的截面積可自第一金屬接墊110朝第二金屬接墊210增大。
The opening
第一突出部件120形成於第一金屬接墊110的一表面110a上且位於開口部件10中。第一突出部件120自朝向第二金屬接墊210的第一金屬接墊110的一表面110a突出。第一突出部件120可由例如銅(Cu)、鈀(Pd)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、金(Au)、鉑(Pt)、或其合金等金屬形成。
The first
第一突出部件120的側表面與絕緣層100可彼此接觸。在此種情形中,第一突出部件120形成於接觸金屬接墊110的開口部件10的整個表面(金屬接墊110經由開口部件10暴露出的區域)上。
A side surface of the
根據本發明第六實施例的印刷電路板更包括沿開口部件10的內側壁自第一突出部件120延伸的電鍍層140。在此種情形中,由於第一突出部件120與電鍍層140是藉由電鍍而同時形成,因此第一突出部件120與電鍍層140之間可不形成介面。
The printed circuit board according to the sixth embodiment of the present invention further includes a
如圖6(a)中所示,第一突出部件120與電鍍層140可形成為具有相同的厚度。然而,如圖6(b)中所示,第一突出部
件120的厚度可大於電鍍層140的厚度。在後一種情形中,由於第一突出部件120及電鍍層140是藉由各向同性電鍍(isotropic electroplating)形成,因此第一突出部件120的厚度可相對較大。
As shown in FIG. 6( a ), the first protruding
根據本發明第六實施例的印刷電路板可更包括位於第一突出部件120的底部部分及電鍍層140的底部部分上的晶種層150。亦即,晶種層150可沿開口部件10的內側壁及經由開口部件10暴露出的第一金屬接墊110的一表面110a形成。晶種層150可藉由無電鍍覆形成且成為用於電解鍍覆(electrolytic plating)的引入線。晶種層150可形成為2微米(μm)或小於2微米的厚度。
The printed circuit board according to the sixth embodiment of the present invention may further include a
第二突出部件220形成於第二金屬接墊210的一表面210a上且位於開口部件10中。第二突出部件220自朝向第一金屬接墊110的第二金屬接墊210的一表面210a突出。第二突出部件220可由例如銅(Cu)、鈀(Pd)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、金(Au)、鉑(Pt)、或其合金等金屬形成。
The second
如圖6(a)及圖6(b)中所示,第二突出部件220可形成為不接觸電鍍層140,但第二突出部件220可形成為接觸電鍍層140。
As shown in FIGS. 6( a ) and 6 ( b ), the second
第二金屬接墊210的另一表面上可形成有具有與第一突出部件120相同的結構的第三突出部件120’。此處,電鍍層140亦可形成為自第三突出部件120’延伸。第一金屬接墊110的另一表面110b上可形成有具有與第二突出部件220相同的結構的第四突出部件220’。亦即,金屬接墊110及突出部件的結構可重覆地
形成於絕緣層100的一表面及另一表面上。然而,第一突出部件至第四突出部件中的所有者未必一起形成,且第三突出部件120’及第四突出部件220’可視需要形成。
A third protruding part 120' having the same structure as the first protruding
填充構件P1填充於開口部件10中且接觸第一突出部件120及第二突出部件220。填充構件P1具有傳導性且可為含有例如銅(Cu)、錫(Sn)、銀(Ag)等金屬的糊膏。然而,填充構件P1並非僅限於此種材料。可應用所有具有傳導性的材料。填充構件P1的熔點可低於印刷電路板中的其他導體的熔點。具體而言,填充構件P1的熔點可低於電路111、金屬接墊110、第一突出部件120、及第二突出部件220中的至少一者的熔點。較佳地,填充構件P1的熔點可為印刷電路板中最低的。
The filling member P1 is filled in the
在下文中,將闡釋一種製造印刷電路板的方法。 Hereinafter, a method of manufacturing a printed circuit board will be explained.
圖7至圖19是示出製造根據本發明實施例的印刷電路板的方法中所使用的各製程的剖視圖。 7 to 19 are cross-sectional views illustrating processes used in a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
參照圖7,製備將金屬箔M層壓於絕緣層100的一表面及另一表面上的板。金屬箔M對應於電路111及金屬接墊110,且可為例如銅等金屬。金屬箔M可具有18微米的厚度。作為例如液晶聚合物(LCP)等絕緣材料,絕緣層100可具有50微米的厚度。
Referring to FIG. 7 , a board in which a metal foil M is laminated on one surface and the other surface of an insulating
參照圖8,移除層壓於絕緣層100的另一表面上的金屬箔M。可藉由半蝕刻(half etching)執行所述移除金屬箔M。當執行半蝕刻時,在未被蝕刻的金屬箔M上層壓例如泡沫膠帶(foam
tape)等膜(未示出)且所述膜被用作為蝕刻遮罩。然而,在製備板時,提供將金屬箔M層壓於絕緣層100的僅一表面上的板,以使得可減少圖7及圖8所示製程。
Referring to FIG. 8 , the metal foil M laminated on the other surface of the insulating
參照圖9及圖10,在金屬箔M上塗佈抗蝕劑膜R1。抗蝕劑膜R1可為乾膜。在絕緣層100的上面未形成金屬箔M的表面上層壓例如泡沫膠帶等膜(未示出),以使得所述表面可受到保護。抗蝕劑膜R1是感光性的且利用遮罩而被選擇性地暴露。當抗蝕劑膜R1為負型(negative type)時,將除形成有抗蝕劑膜R1中的電路111及金屬接墊110的區域以外的區域暴露並進行光固化(photo-cured)。此後,藉由顯影製程(developing process)移除形成電路111及金屬接墊110的區域中的抗蝕劑膜R1,且藉由鍍覆製程等在對應區域中形成導體。
Referring to FIGS. 9 and 10 , a resist film R1 is applied on the metal foil M. As shown in FIG. The resist film R1 may be a dry film. A film (not shown) such as foam tape is laminated on the surface of the insulating
參照圖11,在電路111及金屬接墊110的表面上以及絕緣層100的一表面上連續地形成無電鍍覆層130。可藉由無電鍍覆例如銅等金屬來形成無電鍍覆層130。
Referring to FIG. 11 , an
參照圖12,再次在無電鍍覆層130上塗佈抗蝕劑膜R2。選擇性地移除將形成第二突出部件220的區域中的抗蝕劑膜R2。在此種情形中,可藉由微影方法(photolithography method)選擇性地移除抗蝕劑膜R2。
Referring to FIG. 12 , a resist film R2 is coated on the
參照圖13及圖14,可在絕緣層100的另一表面上形成保護膜F1,且可在作為所加工表面的絕緣層100的另一表面中形成開口部件10。可藉由例如CO2雷射等雷射加工來形成開口部件
10。保護膜F1可為聚對苯二甲酸乙二脂(polyethylene terephthalate,PET)且防止可能在雷射加工期間出現的毛邊(burr)。
13 and 14, the protective film F1 may be formed on the other surface of the insulating
在第一金屬接墊110上形成開口部件10以暴露出第一金屬接墊110的一表面110a。開口部件10的底部直徑小於第一金屬接墊110的直徑。
The opening
參照圖15,藉由鍍覆形成第一突出部件120及第二突出部件220。可藉由電鍍、使用無電鍍覆層130作為引入線來形成第一突出部件120及第二突出部件220。當第二突出部件220形成完畢時,移除抗蝕劑膜R2。
Referring to FIG. 15, the first protruding
可調整鍍覆條件以使第一突出部件120的側表面可與絕緣層100分離或接觸絕緣層100。
Plating conditions may be adjusted such that the side surface of the
參照圖16,藉由蝕刻移除不需要的無電鍍覆層130,且在絕緣層100的一表面上貼附背部遮罩B。背部遮罩B可將基板在製程期間經受處置時受到的任何影響最小化。
Referring to FIG. 16 , unnecessary
參照圖17,將填充構件P1填充於開口部件10中。填充構件P1可為含有金屬的糊膏。可在真空或大氣壓條件下在開口部件10中印刷填充構件P1,且可以例如網版印刷等方式來印刷填充構件P1。
Referring to FIG. 17 , the filling member P1 is filled in the
參照圖18,移除保護膜F1及背部遮罩B以提供單元基板。形成多個單元基板。 Referring to FIG. 18, the protection film F1 and the back mask B are removed to provide a unit substrate. A plurality of unit substrates are formed.
參照圖19,將所述多個單元基板1、2、及3在垂直方
向上對齊且接著在300℃或高於300℃的溫度下將所述多個單元基板1、2、及3加壓於一起。藉由此種層壓,第二突出部件220及第四突出部件220’凹陷至相對較軟的填充構件P1中。填充於開口部件10中的填充構件P1能夠進行層間訊號傳輸。
19, the plurality of
第二突出部件220凹陷至填充構件P1中且第一突出部件120位於填充構件P1內。第一突出部件120與第二突出部件220可在填充構件P1中彼此接觸。
The second
圖20至圖29(b)是示出製造根據本發明另一實施例的印刷電路板的方法中所使用的各製程的剖視圖。 20 to 29(b) are cross-sectional views illustrating processes used in a method of manufacturing a printed circuit board according to another embodiment of the present invention.
參照圖20,提供將金屬箔層壓於絕緣層100的僅一表面上的板。藉由將金屬箔M圖案化來形成電路111及金屬接墊110。可藉由製備將金屬箔M層壓於絕緣層100的一表面及另一表面上的板且接著移除層壓於絕緣層100的所述另一表面上的金屬箔M來製備此種板。另外,可藉由微影製程、使用抗蝕劑膜來形成電路111及金屬接墊110。
Referring to FIG. 20 , there is provided a board in which a metal foil is laminated on only one surface of the insulating
參照圖21,在絕緣層100的一表面上層壓覆蓋電路111及金屬接墊110的抗蝕劑膜R3,且移除位於將形成第二突出部件220的區域上的抗蝕劑膜R3。可藉由曝光及顯影製程來執行移除抗蝕劑膜R3。
Referring to FIG. 21, a resist film R3 covering the
參照圖22及圖23,將保護膜F1貼附至絕緣層100的另一表面,且以絕緣層100的所述另一表面為加工表面來加工開口部件10。可藉由例如CO2雷射等雷射加工來形成開口部件10。保
護膜F1可為PET且防止可能在雷射加工期間出現的毛邊。
Referring to FIG. 22 and FIG. 23 , the protective film F1 is attached to the other surface of the insulating
在第一金屬接墊110上形成開口部件10以暴露出第一金屬接墊110的一表面110a。開口部件10的底部直徑小於第一金屬接墊110的直徑。
The opening
參照圖24,在開口部件10中及絕緣層100的另一表面上形成晶種層150。可藉由無電鍍覆形成晶種層150。可在移除保護膜F1之後形成晶種層150。
Referring to FIG. 24 , a
參照圖25(a)及圖25(b),在晶種層150上形成第一突出部件120及電鍍層140,且移除抗蝕劑膜R3。在金屬接墊110的一表面上形成第一突出部件120且將電鍍層140形成為沿開口部件10的內側壁自第一突出部件120延伸。可藉由電解鍍覆同時地形成第一突出部件120與電鍍層140。
25(a) and 25(b), the first protruding
如圖25(a)中所示,第一突出部件120的厚度與電鍍層140的厚度可彼此相等。此外,相較於圖25(a),如圖25(b)中所示,可增加鍍覆時間以使第一突出部件120的厚度大於電鍍層140的厚度。
As shown in FIG. 25( a ), the thickness of the first protruding
參照圖26及圖27,在將背部遮罩B貼附至絕緣層100的一表面且將保護膜F2貼附至絕緣層100的另一表面之後,在開口部件10中填充填充構件P1。保護膜F2可為PET。填充構件P1可為含有金屬的糊膏。可藉由網版印刷方法在開口部件10中印刷填充構件P1。
Referring to FIGS. 26 and 27 , after the back mask B is attached to one surface of the insulating
參照圖28,剝除背部遮罩B與保護膜F2二者,並製備 多個單元基板。 Referring to FIG. 28, peel off both the back mask B and the protective film F2, and prepare Multiple unit substrates.
參照圖29(a)及圖29(b),在將所述多個單元基板1、2、及3結合於一起之後將所述多個單元基板1、2、及3層壓於一起。最後,圖29(a)對應於圖6(a)且圖29(b)對應於圖6(b)。在進行平行增層式層壓時,亦可一起層壓最外電路層C。
Referring to FIGS. 29( a ) and 29 ( b ), the plurality of
儘管本發明包括特定實例,然而對於此項技術中具有通常知識者而言將顯而易見,在不背離申請專利範圍及其等效範圍的精神及範圍的條件下,可在該些實例中作出各種形式及細節上的變化。本文中所述實例應被視作僅用於說明意義,而非用於限制。對每一實例中的特徵或態樣的說明應被視作適用於其他實例中的相似特徵或態樣。若以不同的次序執行所述技術及/或若以不同的方式對所述系統、架構、裝置或電路中的組件加以組合及/或以其他組件或其等效組件進行替換或補充,則可達成適合的結果。因此,本發明的範圍並非由詳細說明界定,而是由申請專利範圍及其等效範圍界定,且處於申請專利範圍及其等效範圍的範圍內的所有變動皆應被視作包含於本發明中。 Although this disclosure includes specific examples, it will be apparent to those skilled in the art that various forms may be made in these examples without departing from the spirit and scope of claims and equivalents thereof. and changes in details. The examples set forth herein should be considered in an illustrative sense only and not in a limiting sense. Descriptions of features or aspects within each example should be considered as available for similar features or aspects in the other examples. If the described techniques are performed in a different order and/or if components in the described system, architecture, device, or circuit are combined in a different manner and/or are substituted or supplemented with other components or their equivalents, then achieve suitable results. Therefore, the scope of the present invention is not defined by the detailed description, but by the scope of the patent application and its equivalent scope, and all changes within the scope of the patent application and its equivalent scope should be deemed to be included in the present invention middle.
10‧‧‧開口部件 10‧‧‧opening parts
100‧‧‧絕緣層 100‧‧‧Insulation layer
110‧‧‧金屬接墊/第一金屬接墊 110‧‧‧Metal pad/first metal pad
110a‧‧‧金屬接墊的一表面/第一金屬接墊的一表面 110a‧‧‧a surface of the metal pad/a surface of the first metal pad
110b‧‧‧金屬接墊的另一表面/第一金屬接墊的另一表面 110b‧‧‧The other surface of the metal pad/the other surface of the first metal pad
110c‧‧‧金屬接墊的側表面/第一金屬接墊的側表面 110c‧‧‧The side surface of the metal pad/the side surface of the first metal pad
111‧‧‧電路/第一電路 111‧‧‧circuit/first circuit
120‧‧‧第一突出部件 120‧‧‧The first protruding part
130‧‧‧無電鍍覆層 130‧‧‧Electroless coating
220‧‧‧第二突出部件 220‧‧‧The second protruding part
P1‧‧‧填充構件 P1‧‧‧Filler
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