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異方導電接着剤Anisotropic conductive adhesive

本発明は、異方導電接着剤、特に電極間の幅が広いバンプ付ICチップ等の実装に適し
た異方導電接着剤に関する。
The present invention relates to an anisotropic conductive adhesive, and more particularly to an anisotropic conductive adhesive suitable for mounting a bumped IC chip having a wide width between electrodes.

近年、情報端末機器を中心として、高機能化、軽量化、薄型化、小型化の市場ニーズが
高まっているのに伴い、ベアチップを直接的にプリント配線板その他の基板に実装する方
法が種々検討されている。
In recent years, with the increasing market demand for higher functionality, lighter weight, thinner and smaller size, mainly for information terminal equipment, various methods for mounting bare chips directly on printed wiring boards and other substrates have been studied. Has been.

その一つとして、熱硬化型接着剤中に導電性粒子を分散した異方導電接着剤をフィルム
状に成形した異方導電フィルム(ACF)や、異方導電接着剤を液状に調製した異方導電
ぺースト(ACP)を用いる方法がある。このうちフィルム状の異方導電接着剤の製品形
態は、通常、図4(a)、(b)に示した異方導電接着剤1のように、ベースフィルム2
上に異方導電膜4をベタで積層し、それをリールに巻いたものとなっている。ここで、図
4(a)は従来の異方導電接着剤の平面図であり、図4(b)は線A−Aに沿った断面図
である。
One of them is the anisotropic conductive film (ACF) in which an anisotropic conductive adhesive in which conductive particles are dispersed in a thermosetting adhesive is formed into a film, or an anisotropic conductive film prepared in a liquid form. There is a method using an electrically conductive paste (ACP). Of these, the product form of the film-like anisotropic conductive adhesive is usually the base film 2 like the anisotropic conductive adhesive 1 shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b).
The anisotropic conductive film 4 is laminated on the top and wound around a reel. Here, FIG. 4A is a plan view of a conventional anisotropic conductive adhesive, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line AA.

図5(a)、(b)は上記の異方導電接着剤1を用いたICチップの実装状態を示す断面図である。異方導電膜4は絶縁性樹脂中に導電性粒子を含む(図示せず)。ICチップ20にはバンプ22が形成され、ガラス基板30上には電極32が形成されている。
ICチップを実装する際、図5(a)に示すように、異方導電膜4をガラス基板30上
の電極32に貼付する。この際、ICチップ20のバンプ22が、ガラス基板30上の電
極32に対応するように位置合わせをして仮固定する。この後、加熱圧着を行い、ICチ
ップ20をガラス基板30に実装する(図5(b))。
加熱圧着するとき、異方導電膜4の樹脂は図5(a)の矢印が示す方向に流動し、一部
はICチップ20の内側を充填し、ICチップ20がガラス基板30に接着される。また
、このときバンプ22と電極32の間にある樹脂は排除され、異方導電膜4中の導電性粒
子がバンプ22と電極32の間で捕捉される。これによりバンプ22と電極32の間で導
通が確保される。
5A and 5B are cross-sectional views showing a mounted state of an IC chip using the anisotropic conductive adhesive 1 described above. The anisotropic conductive film 4 contains conductive particles in an insulating resin (not shown). Bumps 22 are formed on the IC chip 20, and electrodes 32 are formed on the glass substrate 30.
When mounting the IC chip, the anisotropic conductive film 4 is attached to the electrode 32 on the glass substrate 30 as shown in FIG. At this time, the bumps 22 of the IC chip 20 are aligned and temporarily fixed so as to correspond to the electrodes 32 on the glass substrate 30. Thereafter, thermocompression bonding is performed, and the IC chip 20 is mounted on the glass substrate 30 (FIG. 5B).
When the thermocompression bonding is performed, the resin of the anisotropic conductive film 4 flows in the direction indicated by the arrow in FIG. 5A, a part of the resin fills the inside of the IC chip 20, and the IC chip 20 is bonded to the glass substrate 30. . At this time, the resin between the bump 22 and the electrode 32 is excluded, and the conductive particles in the anisotropic conductive film 4 are captured between the bump 22 and the electrode 32. Thereby, conduction is ensured between the bump 22 and the electrode 32.

しかし、図5(a)に示すように、従来の異方導電膜4では加熱圧着したときに樹脂の
流動方向が、ICチップ20の外側に限られる。そのため、特にオニウム塩−エポキシ硬
化系のような反応速度(硬化速度)の速い系では、バンプ22と電極32の間に介在する
樹脂を十分に排除できないまま硬化が進行する。その結果、異方導電膜4中の導電性粒子
をバンプ22と電極32の間でうまく捕捉できないという現象が、特に電極間の幅が広い
ICチップを実装するときに生じていた。そのため、加熱圧着後(図5(b))、バンプ
22と電極32の間における導通信頼性が十分に得られないという問題があった。
However, as shown in FIG. 5A, in the conventional anisotropic conductive film 4, the resin flow direction is limited to the outside of the IC chip 20 when thermocompression bonding is performed. For this reason, particularly in a system having a high reaction rate (curing rate) such as an onium salt-epoxy curing system, the curing proceeds without sufficiently removing the resin interposed between the bump 22 and the electrode 32. As a result, a phenomenon that the conductive particles in the anisotropic conductive film 4 cannot be captured well between the bumps 22 and the electrodes 32 occurs particularly when an IC chip having a wide width between the electrodes is mounted. For this reason, there is a problem in that sufficient conduction reliability between the bumps 22 and the electrodes 32 cannot be obtained after thermocompression bonding (FIG. 5B).

本発明は、接続する電極間の導通信頼性が高い異方導電接着剤を提供することを目的と
する。
An object of this invention is to provide the anisotropic conductive adhesive with high conduction | electrical_connection reliability between the electrodes to connect.

本発明によれば、次の異方導電接着剤が提供される。
1.ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に、絶縁性接着剤中に導電性粒子を分散してなる異方導電膜を積層してなり、前記異方導電膜に、長手方向に延びるスペースを形成した異方導電接着剤。
2.前記スペースを、前記異方導電膜の幅方向ほぼ中央において長手方向に延びるようにした異方導電接着剤。
3.前記スペースを、長手方向に延びる一つのスペースとした異方導電接着剤。
4.バンプ付ICチップ接続用である異方導電接着剤。
According to the present invention, the following anisotropic conductive adhesive is provided.
1. A base film and an anisotropic conductive film in which conductive particles are dispersed in an insulating adhesive are laminated on the base film, and the anisotropic conductive film is formed with a space extending in the longitudinal direction. One way conductive adhesive.
2. An anisotropic conductive adhesive in which the space extends in the longitudinal direction at substantially the center in the width direction of the anisotropic conductive film.
3. An anisotropic conductive adhesive in which the space is one space extending in the longitudinal direction.
4). An anisotropic conductive adhesive for connecting IC chips with bumps.

本発明によれば、接続する電極間の導通信頼性が高い異方導電接着剤を提供することが
できる。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the anisotropic conductive adhesive with high conduction | electrical_connection reliability between the electrodes to connect can be provided.

(a)は本発明の異方導電接着剤の一実施形態の平面図であり、(b)は線A−Aに沿った断面図である。(A) is a top view of one Embodiment of the anisotropic conductive adhesive of this invention, (b) is sectional drawing along line AA. (a)は本発明の異方導電接着剤を用いてICチップを仮固定した時の断面図であり、(b)はICチップを圧着した後の断面図である。(A) is sectional drawing when an IC chip is temporarily fixed using the anisotropic conductive adhesive of this invention, (b) is sectional drawing after crimping | bonding an IC chip. (a)は、本発明の異方導電接着剤の製造方法において、膜に切れ込みを入れた異方導電膜の断面図であり、(b)は膜の中央部を取り除いた異方導電膜の断面図である。(A) is sectional drawing of the anisotropic conductive film which cut | disconnected the film | membrane in the manufacturing method of the anisotropic conductive adhesive of this invention, (b) is the anisotropic conductive film which removed the center part of the film | membrane. It is sectional drawing. (a)は従来の異方導電接着剤の平面図であり、(b)は線A−Aに沿った断面図である。(A) is a top view of the conventional anisotropic conductive adhesive, (b) is sectional drawing along line AA. (a)は従来の異方導電接着剤を用いてICチップを仮固定した時の断面図であり、(b)はICチップを圧着した後の断面図である。(A) is sectional drawing when an IC chip is temporarily fixed using the conventional anisotropic conductive adhesive, (b) is sectional drawing after crimping an IC chip.

以下、本発明の異方導電接着剤を、図面を参照しつつ詳細に説明する。尚、各図中、同
一符号は同一又は同等の構成要素を表している。
図1(a)は本発明の異方導電接着剤の一実施形態を示す平面図、図1(b)は図1(
a)の線A−Aに沿った断面図である。
Hereinafter, the anisotropic conductive adhesive of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same reference numerals represent the same or equivalent components.
Fig.1 (a) is a top view which shows one Embodiment of the anisotropic conductive adhesive of this invention, FIG.1 (b) is FIG.
It is sectional drawing along line AA of a).

異方導電接着剤10は、ベースフィルム12に異方導電膜14が積層されている。
異方導電膜14の幅の中央に、連続して1つのスペース16が延びている。スペース16は、異方導電膜の幅のほぼ中央に、長手方向に沿って延びている。
In the anisotropic conductive adhesive 10, an anisotropic conductive film 14 is laminated on a base film 12.
One space 16 continuously extends in the center of the width of the anisotropic conductive film 14. The space 16 extends along the longitudinal direction substantially at the center of the width of the anisotropic conductive film.

図2(a)は上記の異方導電接着剤10を用いて、ICチップ20をガラス基板30に
仮固定した時の断面図を、図2(b)はICチップ20をガラス基板30に圧着した後の
断面図を示す。
スペース16は、接続対象となるバンプ22間の幅に合わせて空いている。従って、図
2(a)に示すように、ICチップ20を仮固定した時には空隙(樹脂が存在しない部分
)がICチップ20直下に存在する。この空隙の存在により加熱圧着時に異方導電膜14
の樹脂の流動が、図2(a)に示すように、ICチップ20の外側のみならず内側にも生
じるため、速やかにICチップ20の内側に異方導電膜14の樹脂が充填され、ICチッ
プ20と基板30の接着が確保される。
また、流動の方向が増えたことにより、バンプ22と電極32の間にある異方導電膜1
4の樹脂を効率よく排除できる。これにより余分な異方導電膜14の樹脂の流動による干
渉が抑えられ、異方導電膜14の導電性粒子がバンプ22と電極32の間に捕捉されやすくなる。従って、バンプ22と電極32の導通信頼性が向上する。
本発明の異方導電接着剤は、上記のように加熱圧着時に排除すべき異方導電膜の樹脂の
排除性がよい。従って、特にバンプ間の幅が広いICやバンプが密集している高精細対応
のICの導通信頼性に効果を発揮する。
2A is a cross-sectional view when the IC chip 20 is temporarily fixed to the glass substrate 30 using the anisotropic conductive adhesive 10, and FIG. FIG.
The space 16 is vacant according to the width between the bumps 22 to be connected. Therefore, as shown in FIG. 2A, when the IC chip 20 is temporarily fixed, a gap (portion where no resin is present) exists immediately below the IC chip 20. Due to the presence of the voids, the anisotropic conductive film 14 is formed during thermocompression bonding.
As shown in FIG. 2A, the flow of the resin occurs not only on the outside of the IC chip 20, but also on the inside, so that the resin of the anisotropic conductive film 14 is quickly filled inside the IC chip 20, and the IC Adhesion between the chip 20 and the substrate 30 is ensured.
Further, since the direction of flow increases, the anisotropic conductive film 1 between the bump 22 and the electrode 32 is provided.
4 resin can be efficiently excluded. Thereby, interference due to the flow of the resin of the anisotropic anisotropic conductive film 14 is suppressed, and the conductive particles of the anisotropic conductive film 14 are easily captured between the bumps 22 and the electrodes 32. Therefore, the conduction reliability between the bump 22 and the electrode 32 is improved.
As described above, the anisotropic conductive adhesive of the present invention has good resin rejection of the anisotropic conductive film to be excluded at the time of thermocompression bonding. Accordingly, the present invention is particularly effective for the conduction reliability of an IC having a wide width between bumps and a high-definition IC having a dense bump.

ここで、ベースフィルム12としては、異方導電膜14のキャリアテープとして機能し
、異方導電膜14の基板への転着を阻害しない限り、その形成材料や厚み等に特に制限は
ない。例えば、ポリテトラフルオロエチレン、剥離処理が施されたポリエチレンテレフタ
レート(PET)フィルム等を使用することができる。
Here, the base film 12 functions as a carrier tape for the anisotropic conductive film 14, and there is no particular limitation on the forming material, thickness, and the like as long as the anisotropic conductive film 14 is not transferred to the substrate. For example, polytetrafluoroethylene, a polyethylene terephthalate (PET) film subjected to a peeling treatment, or the like can be used.

異方導電膜14は、絶縁性接着剤中に導電性粒子を分散させたものであるが、絶縁性接
着剤や導電性粒子それ自体は、公知の異方導電膜と同様とすることができる。
例えば、絶縁性接着剤としては、種々の熱硬化性接着剤や熱可塑性接着剤を使用するこ
とができる。ICチップ実装後の信頼性の点からは、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、
アクリレート系樹脂、BTレジン樹脂等の熱硬化性接着剤を使用することが好ましい。尚
、これら樹脂成分から絶縁性接着剤を調製する場合に、単一種の樹脂成分を使用してもよ
く、複数種を混合して使用してもよい。
The anisotropic conductive film 14 is obtained by dispersing conductive particles in an insulating adhesive, but the insulating adhesive and the conductive particles themselves can be the same as known anisotropic conductive films. .
For example, various thermosetting adhesives and thermoplastic adhesives can be used as the insulating adhesive. From the point of reliability after IC chip mounting, epoxy resin, urethane resin,
It is preferable to use a thermosetting adhesive such as an acrylate resin or a BT resin resin. In addition, when preparing an insulating adhesive from these resin components, a single type of resin component may be used, or a plurality of types may be mixed and used.

一方、導電性粒子としては、例えば、Ni,Ag,Cu又はこれらの合金等からなる金
属粉、球状樹脂粒子の表面に金属メッキを施したもの等、電気的良導体からなる粒子を種
々使用することができる。このような電気的良導体からなる粒子上に絶縁被膜を形成した
粒子も使用することができる。また、導電性粒子の粒径は、0.2〜20μmとすること
が好ましい。
以上の絶縁性接着剤と導電性粒子とを常法に従って混合することにより異方導電膜用組
成物を調製できる。
On the other hand, as the conductive particles, for example, various kinds of particles made of a good electrical conductor such as metal powder made of Ni, Ag, Cu or an alloy thereof, or the like, and the surface of spherical resin particles plated with metal are used. Can do. It is also possible to use particles in which an insulating film is formed on such particles made of a good electrical conductor. Moreover, it is preferable that the particle size of electroconductive particle shall be 0.2-20 micrometers.
The composition for anisotropic conductive films can be prepared by mixing the above insulating adhesive and conductive particles according to a conventional method.

次に、本発明の異方導電接着剤の製造方法について説明する。
例えば、異方導電膜組成物をベースフィルム12上で成膜した後、図3(a)のように異方導電膜14のみハーフカットの要領で切れ込みをいれ、中央の異方導電膜14を巻き取り除くことにより、図3(b)のように長手方向に沿って連続して延びるスペース16を形成する。
また、組成物をスクリーン印刷等でベースフィルム上に所定のパターンに印刷することにより、本発明の異方導電接着剤を得ることができる。
Next, the manufacturing method of the anisotropic conductive adhesive of this invention is demonstrated.
For example, after forming the anisotropic conductive film composition on the base film 12, only the anisotropic conductive film 14 is cut in a half-cut manner as shown in FIG. By removing the winding, a space 16 continuously extending along the longitudinal direction is formed as shown in FIG.
Further, the anisotropic conductive adhesive of the present invention can be obtained by printing the composition in a predetermined pattern on the base film by screen printing or the like.

尚、本実施形態の異方導電接着剤10は、連続する1つのスペース16が設けられているが、接続する電極/バンプの位置や数に合わせて複数並設してもよい。また、本実施形態ではスペース16は異方導電膜14の幅のほぼ中央にあるが、スペース16をいずれか
の端に寄せてもよい。
In addition, although the anisotropic conductive adhesive 10 of this embodiment is provided with one continuous space 16, a plurality of the anisotropic conductive adhesives 10 may be arranged in parallel according to the position and number of electrodes / bumps to be connected. In the present embodiment, the space 16 is substantially at the center of the width of the anisotropic conductive film 14, but the space 16 may be brought to either end.

本発明の異方導電接着剤は、バンプ付ICチップ等の電子部品を基板に実装する際の接
着剤として好適に利用されるが、この用途に限定するものではない。
The anisotropic conductive adhesive of the present invention is suitably used as an adhesive for mounting electronic components such as bumped IC chips on a substrate, but is not limited to this application.

実施例
異方導電接着剤AC−8624AY(3μm粒子、48K個品)に、幅方向の中心に0
.5mmのスペースができるように、長手方向に2箇所カッターで異方導電膜に切れ込み
を入れ、中央の異方導電膜を粘着剤ロールで巻き取り除いた。
上記の処理をした異方導電接着剤を用いて、COG用のプロセス評価用素子(TEG、
チップサイズ:1.7mm×17.2mm×0.5mmt、バンプサイズ:50μm×
50μm)のガラス基板への実装を行った。
次に、圧着後のバンプ−電極間(バンプ数111)の導電性粒子の捕捉個数について電
子顕微鏡を用いて測定を行い、各バンプにおける導電性粒子の捕捉個数より平均の捕捉個
数を評価した。
この結果、平均捕捉個数は29.5個であった。
Example An anisotropic conductive adhesive AC-8624AY (3 μm particles, 48K pieces) has 0 in the center in the width direction.
. In order to make a space of 5 mm, the anisotropic conductive film was cut with two cutters in the longitudinal direction, and the central anisotropic conductive film was wound off with an adhesive roll.
Using the anisotropic conductive adhesive subjected to the above-described treatment, a COG process evaluation element (TEG,
Chip size: 1.7 mm × 17.2 mm × 0.5 mmt, bump size: 50 μm ×
50 μm) was mounted on a glass substrate.
Next, the number of captured conductive particles between the bumps and the electrodes (the number of bumps 111) after pressure bonding was measured using an electron microscope, and the average number of captured particles was evaluated from the number of captured conductive particles in each bump.
As a result, the average number of captured particles was 29.5.

比較例
異方導電接着剤AC−8624AYをそのまま用い、実施例と同様にTEGのガラス基
板への実装を行った。
次に、実施例と同様の方法で、導電性粒子の平均捕捉個数を評価した。
この結果、平均捕捉個数は26.8個であった。
Comparative Example The anisotropic conductive adhesive AC-8624AY was used as it was, and the TEG was mounted on a glass substrate in the same manner as in the example.
Next, the average number of trapped conductive particles was evaluated in the same manner as in the examples.
As a result, the average number of captured particles was 26.8.

以上より、本実施例の異方導電接着剤はバンプ下の導電性粒子の捕捉数を向上させるこ
とができた。
From the above, the anisotropic conductive adhesive of this example was able to improve the number of captured conductive particles under the bump.

本発明の異方導電接着剤は、電気・電子用の異方導電接着剤として幅広く使用できる。   The anisotropic conductive adhesive of the present invention can be widely used as an anisotropic conductive adhesive for electric and electronic use.

10 異方導電接着剤
12 ベースフィルム
14 異方導電膜
16 スペース
20 ICチップ
22 バンプ
30 ガラス基板
32 電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Anisotropic conductive adhesive 12 Base film 14 Anisotropic conductive film 16 Space 20 IC chip 22 Bump 30 Glass substrate 32 Electrode

Claims (4)

ベースフィルムと、
前記ベースフィルム上に、絶縁性接着剤中に導電性粒子分散してなる異方導電膜を積層してなり、
前記異方導電膜に、長手方向に延びるスペースを形成したことを特徴とする異方導電接着剤。
A base film,
On the base film, formed by laminating the anisotropic conductive film formed by dispersing conductive particles in an insulating adhesive,
An anisotropic conductive adhesive, wherein a space extending in a longitudinal direction is formed in the anisotropic conductive film .
前記スペースを、前記異方導電膜の幅方向ほぼ中央において長手方向に延びるようにした請求項1記載の異方導電接着剤。2. The anisotropic conductive adhesive according to claim 1, wherein the space extends in the longitudinal direction at substantially the center in the width direction of the anisotropic conductive film. 前記スペースを、長手方向に延びる一つのスペースとした請求項1又は2記載の異方導電接着剤。The anisotropic conductive adhesive according to claim 1 or 2, wherein the space is one space extending in a longitudinal direction. バンプ付ICチップ接続用である請求項1〜3のいずれかに記載の異方導電接着剤。The anisotropic conductive adhesive according to any one of claims 1 to 3, which is used for connecting an IC chip with bumps.
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