KR20180020045A - Cover glass analysis apparatus and method with dust removal function - Google Patents

Cover glass analysis apparatus and method with dust removal function Download PDF

Info

Publication number
KR20180020045A
KR20180020045A KR1020160104528A KR20160104528A KR20180020045A KR 20180020045 A KR20180020045 A KR 20180020045A KR 1020160104528 A KR1020160104528 A KR 1020160104528A KR 20160104528 A KR20160104528 A KR 20160104528A KR 20180020045 A KR20180020045 A KR 20180020045A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cover glass
present
optical sensor
analyzing
illumination
Prior art date
Application number
KR1020160104528A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김대봉
Original Assignee
주식회사 엠티엠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엠티엠 filed Critical 주식회사 엠티엠
Priority to KR1020160104528A priority Critical patent/KR20180020045A/en
Publication of KR20180020045A publication Critical patent/KR20180020045A/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8803Visual inspection
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94Investigating contamination, e.g. dust
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94Investigating contamination, e.g. dust
    • G01N2021/945Liquid or solid deposits of macroscopic size on surfaces, e.g. drops, films, or clustered contaminants

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

The present invention relates to a cover glass analyzing device and a method thereof, and more particularly, to a cover glass analyzing device and a method thereof capable of, in an automated inspection process of cover glass for a display using illumination and camera determination, detecting more reliable defects by removing contaminants attached to the cover glass transferred before the inspection. To this end, a device for automatically analyzing cover glass for a display device using computer judgment according to the present invention includes: a light for radiating light toward cover glass; an optical sensor for photographing a cover glass; and a foreign substance removing portion for removing foreign substances from the cover glass.

Description

오염이 제거되는 커버 글라스 분석 장치와 그 방법{COVER GLASS ANALYSIS APPARATUS AND METHOD WITH DUST REMOVAL FUNCTION}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a cover glass analyzer,

본 발명은 커버 글라스의 분석 장치와 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 조명 및 카메라 판정을 이용한 디스플레이용 커버 글라스의 자동화 검사 공정에 있어서, 그 검사 전 이송되는 커버 글라스에 부착된 오염 물질을 제거하여 보다 신뢰성 높은 결함 검출이 가능한 커버 글라스 분석 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for analyzing a cover glass, and more particularly, to a method for automatically inspecting a cover glass for display using illumination and camera judgment, And more particularly, to a cover glass analysis apparatus and method capable of detecting a defect with higher reliability.

LCD 디스플레이, OLED 디스플레이 등의 디스플레이 장치에는 해당 디스플레이를 보호하기 위한 커버 글라스가 장착된다. 일반적으로, 이러한 커버 글라스는 용융 제조공정을 거쳐 완성되는데 이렇게 완성된 커버 글라스는 검사 공정에 보내져서 미세한 상처나 이물 등의 결함의 유무에 대한 검사를 거치게 된다. 최근 소형의 디스플레이가 필수적으로 장착되는 스마트 폰이나 태블릿 피씨 등의 휴대용 디지털 기기에 대한 관심이 급증하였는데, 이러한 휴대용 디지털 기기의 폭발적인 보급으로 인하여 커버 글라스 검사 공정 및 장치에 대한 관심도 더욱 증가하고 있다. 특히 휴대용 디지털 기기의 경우 일반적인 사용 태양에 있어서, 사용자의 육안과 기기와의 거리가 매우 근접하게 되므로 커버 글라스의 결함 여부가 해당 기기의 품질에 직접적인 영향을 미치게 되므로 그 분석 공정은 더욱 중요하게 되었다.Display devices such as an LCD display and an OLED display are equipped with a cover glass for protecting the display. Generally, such a cover glass is completed through a melting process, and the completed cover glass is sent to an inspection process to be inspected for defects such as fine scratches and foreign matter. Recently, interest in portable digital devices such as smart phones and tablet PCs, in which small-sized displays are essentially installed, has surged, and due to the explosive spread of such portable digital devices, interest in the cover glass inspection process and devices is increasing. Particularly, in the case of a portable digital device, since the distance between the user's eyes and the device is very close to that of a user in general use, a defect in the cover glass directly affects the quality of the device.

이러한 커버 글라스의 분석 공정에 사용되는 장치는, 이송용 롤러 상에 수평으로 커버 글라스를 적재하고, 이송용 롤러로 커버 글라스를 수평으로 이동시키면서 커버 글라스에 광원을 조사하고, 그로부터 반사, 회절, 산란되어서 나오는 광을 이미지 센서, 즉 카메라로 감지하여 컴퓨터로 분석하는 것으로 커버 글라스의 결함을 자동으로 검출하는 방법이 이용되고 있다. 예를 들어, 대한민국 공개특허 제10-2007-0121820호, 미국 등록특허 제7551274호 등의 종래 기술에서는 이와 같은 방식의 분석 공정 및 장치가 개시되고 있다. 그러나 이러한 종래 기술은 분석 과정에 있어서 2차 오염, 즉 외부로부터 유입된 먼지가 검사 대상인 커버 글라스에 붙어 검사 결과에 영향을 미치는 문제를 보유하고 있다. 즉 검사 과정에서 유입된 먼지가 커버 글라스에 부착되고, 이것이 분석 과정에서 커버 글라스의 결함으로 인식될 수 있는 것이다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 대한민국 등록특허 제10-1387090호에서는 커버 글라스를 수중에서 이송시키며 촬영하는 기술을 제시하고 있다. 그러나 수중에 이러한 커버 글라스 분석 환경을 구성하는 것은 굉장히 비용이 많이 들며 그 유지관리도 어렵다. 또한 물결이나 기포의 발생으로 인한 분석 오류도 배제할 수 없다. 또 다른 해결책으로 클린룸을 구성하고 그 내부에서 커버 글라스를 분석하는 방법도 가능할 것이나 역시 클린룸 진입 전에 커버 글라스에 부착되는 먼지가 있을 경우도 발생할 수 있으며 역시 많은 비용이 든다는 단점이 있다.The apparatus used for the analysis process of such a cover glass is such that a cover glass is horizontally placed on a conveying roller, a cover glass is irradiated with a light source while horizontally moving the cover glass with a conveying roller, and reflection, diffraction, scattering A method of automatically detecting a defect of a cover glass is used by analyzing light emitted from an image sensor, that is, a camera, and analyzing it with a computer. For example, Korean Unexamined Patent Publication No. 10-2007-0121820 and U.S. Patent No. 7551274 disclose an analysis process and apparatus of this type. However, this conventional technique has a problem that secondary pollution in the analysis process, that is, dust adhering to the outside, affects the inspection result on the cover glass to be inspected. That is, the dust adhering to the inspection process is attached to the cover glass, which can be recognized as a defect of the cover glass during the analysis process. In order to solve such a problem, Korean Patent Registration No. 10-1387090 discloses a technology for transporting and photographing a cover glass in water. However, it is very expensive to construct such a cover glass analysis environment underwater and maintenance is difficult. Analysis errors due to the generation of waves or bubbles can not be excluded. Another solution is to construct a clean room and analyze the cover glass inside. However, there is a possibility that the dust may adhere to the cover glass before entering the clean room, which is also costly.

본 발명은 상기 종래 기술들이 가지고 있던 문제점에 착안하여 이루어진 것으로, 커버 글라스의 분석에 있어 커버 글라스의 검사 직전에 이물질로 인한 오염을 제거하여 더욱 신뢰도 높은 검사 결과를 도출해낼 수 있는 커버 글라스 분석 장치 및 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a cover glass analyzer capable of removing contamination due to foreign matter immediately before inspection of a cover glass in analyzing a cover glass, And to provide such a method.

또한 본 발명은 단순한 구조와 방법으로, 또한 적은 비용으로, 또한 빠른 시간 내에 커버 글라스의 이물질을 제거할 수 있는 커버 글라스 분석 장치 및 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a cover glass analysis apparatus and method which can remove foreign matter from a cover glass with a simple structure and method, and at a low cost and in a short time.

상기와 같은 문제를 해결하기 위한 본 발명은 컴퓨터 판정을 이용한, 디스플레이 장치용 커버 글라스의 자동 분석 장치에 있어서, 커버 글라스를 향해 빛을 방사하는 조명; 커버 글라스를 촬영하는 광학 센서; 커버 글라스의 이물질 제거하는 이물질 제거부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for automatically analyzing a cover glass for a display device, the method comprising: illuminating a cover glass with light; An optical sensor for photographing a cover glass; And a foreign substance removing unit for removing foreign substances from the cover glass.

또한 본 발명은, 이물질 제거부는 점착 테이프를 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, the present invention is characterized in that the foreign substance removing portion includes an adhesive tape.

또한 본 발명은, 이물질 제거부는 커버 글라스가 통과하기 위한, 점착 테이프로 구성된 2단의 롤러 형태인 것을 특징으로 한다.Further, the present invention is characterized in that the foreign substance removing portion is in the form of a two-step roller composed of an adhesive tape for allowing a cover glass to pass therethrough.

또한 본 발명은, 이물질 제거부는 커버 글라스의 촬영 지점 전에 배치되는 것을 특징으로 한다.Further, the present invention is characterized in that the foreign substance removing unit is disposed before the photographing point of the cover glass.

또한 본 발명은, 컴퓨터 판정을 이용한, 디스플레이 장치용 커버 글라스의 자동 분석 방법에 있어서 점착 테이프로 커버 글라스의 이물질을 제거하는 단계; 커버 글라스에 조명을 조사하고 영상을 획득하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of automatically analyzing a cover glass for a display device using computer judgment, comprising the steps of: removing foreign matter from a cover glass with an adhesive tape; And irradiating the cover glass with illumination and acquiring an image.

본 발명에 따르면, 커버 글라스의 검사 전 커버 글라스에 부착되어 있을 수 있는 이물질을 제거하므로 커버 글라스의 결함 분석 결과가 더욱 정확해진다.According to the present invention, foreign matter that may be attached to the cover glass before the inspection of the cover glass is removed, so that the result of the defect analysis of the cover glass is more accurate.

또한 본 발명에 따르면, 단순한 구조와 방법으로, 또한 적은 비용으로, 또한 빠른 시간 내에 커버 글라스의 이물질 오염을 제거할 수 있다.Further, according to the present invention, foreign matter contamination of the cover glass can be removed with a simple structure and a method, at a low cost, and in a short time.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글라스 분석 장치의 구성을 개념적으로 나타낸 블록도,
도 2는 상기 커버 글라스 분석 장치의 제어부를 제외한 전체 구조를 간략히 나타낸 측면도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글라스 분석 방법의 각 단계를 나타내는 순서도이다.
1 is a block diagram conceptually showing a configuration of a cover glass analysis apparatus according to an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a side view schematically showing the overall structure of the cover glass analyzer except for the control section. FIG.
FIG. 3 is a flowchart showing each step of the method of analyzing a cover glass according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서, 도면의 가독성을 위하여 도면상 대칭되는 구조이거나 동일한 구성임이 용이하게 확인될 수 있는 경우에는 일부 도면상의 부호를 생략하였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Here, for ease of readability of the drawings, symbols in some drawings are omitted if they are symmetrical in the drawings or can be easily identified as being the same.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글라스 분석 장치의 구성을 개념적으로 나타낸 블록도이며 도 2는 상기 커버 글라스 분석 장치의 제어부를 제외한 전체 구조를 간략히 나타낸 측면도이다. 평행 이송 수단(100)은 분석 대상인 커버 글라스(1)를 평행 방향(도 2에서 화살표로 표시)으로 이송한다. 따라서 평행 이송 수단(100)으로는 예를 들어, 벨트 컨베이어나 롤러 컨베이어, 체인 컨베이어, 공기부상 컨베이어 등 산업 현장에서 널리 쓰이는 컨베이어 장치가 사용될 수 있다.FIG. 1 is a block diagram conceptually showing the construction of a cover glass analysis apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view schematically showing the overall structure of the cover glass analysis apparatus except for the control unit. The parallel conveying means 100 conveys the cover glass 1 to be analyzed in a parallel direction (indicated by an arrow in FIG. 2). Therefore, as the parallel conveying means 100, for example, a conveyor apparatus widely used in industrial fields such as a belt conveyor, a roller conveyor, a chain conveyor, an air floating conveyor, and the like can be used.

광학 센서(200)는 평행 이송 수단(100) 상에 고정된 상태로, 평행 이송 수단(100)의 특정 지점(조사부)을 촬영하는데, 이 때 커버 글라스(1)가 평행 이송 수단(100)에 의해 이송되면 광학 센서(200)는 커버 글라스(1)의 특정 지점을 순차적으로 촬영하게 된다. 여기서 조명(300)은 이송되는 커버 글라스(1)를 향해 특정 파장의 빛을 조사하게 되고 결국 광학 센서(200)는, 조명(300)에 의하여 커버 글라스(1)로부터 방출되는 회절광을 촬영하게 된다. 이 때 광학 센서(200)는 촬영된 영상을 제어부(400) 또는 실시예에 따라 기타 영상 판독 수단(미도시)으로 전송하여 영상을 분석하도록 하며 제어부(400)나 영상 판독 수단은 영상에서의 이상 유무를 분석하여 최종적으로 커버 글라스(1)의 결함 여부를 판정하게 된다. 여기서 광학 센서(200)는 커버 글라스(1) 이송 방향에 직각 방향으로의 직선 부위를 감지하는 라인 스캔 카메라인 것이 바람직하다.The optical sensor 200 photographs a specific point (irradiated portion) of the parallel transporting means 100 while being fixed on the parallel transporting means 100. At this time, the cover glass 1 is transported to the parallel transporting means 100 The optical sensor 200 sequentially photographs a specific point of the cover glass 1. Here, the illumination 300 irradiates light of a specific wavelength toward the transported cover glass 1, so that the optical sensor 200 photographs the diffracted light emitted from the cover glass 1 by the illumination 300 do. At this time, the optical sensor 200 transmits the photographed image to the control unit 400 or other image reading means (not shown) according to the embodiment to analyze the image, and the control unit 400 and the image reading means And finally determines whether or not the cover glass 1 is defective. Here, the optical sensor 200 is preferably a line scan camera that senses a straight line portion in a direction perpendicular to the conveying direction of the cover glass 1. [

조명(300)은 하나 혹은 다수가 구비될 수 있으며 이송되는 커버 글라스(1)를 향해 그 분석을 위한 특정 파장의 빛을 발산한다. 여기서 특정 파장은 자외선 파장이나 가시광선 파장, 적외선 파장 등이 될 수 있다. 조명(300)은 평행 이송 수단(100)의 특정 지점(조사부)을 향해 빛을 발산한다. 여기서 광학 센서(200)로 라인 스캔 카메라를 사용할 경우에는, 조명(300) 역시 조사부를 향하여 이송 방향에 직각 방향으로의 직선형 광을 방출하는 것이 바람직하다.One or more lights 300 may be provided and emit light of a specific wavelength for the analysis to the conveyed cover glass 1. Here, the specific wavelength may be an ultraviolet wavelength, a visible light wavelength, an infrared wavelength, or the like. The illumination 300 emits light toward a specific point (irradiation portion) of the parallel transporting means 100. In this case, when the line sensor is used as the optical sensor 200, it is preferable that the illumination unit 300 also emits linear light in a direction perpendicular to the transport direction toward the irradiation unit.

제어부(400)는 예를 들어, 적어도 마이크로 프로세서를 포함할 수 있으며, 다른 구성요소, 즉, 평행 이송 수단(100), 광학 센서(200), 조명(300), 또는 추후 설명할 이물질 제거부(500)와 연결되며 이들 구성요소를 제어하는 역할을 한다. 상기 역할에는 예를 들어, 광학 센서의 영상 촬영 타이밍을 제어하거나 조명의 온, 오프(on, off) 내지 회전을 제어하는 역할을 포함할 수 있다. 추가적으로 광학 센서(200)에서 획득한 회절광 영상을 분석하여 결함 보유 여부를 판독하는 판독 기능을 보유할 수도 있다.The control unit 400 may include at least a microprocessor and may include other components such as the parallel transport means 100, the optical sensor 200, the illumination 300, 500) and serves to control these components. The role may include, for example, controlling the imaging timing of the optical sensor or controlling the on, off, or turn of illumination. In addition, a diffraction optical image obtained by the optical sensor 200 may be analyzed to have a reading function for reading whether or not the defect is held.

이물질 제거부(500)는 검사 대상인 커버 글라스(1)의 특히 표면상의 이물질을 제거한다. 바람직하게는 이물질 제거부(500)는 점착성 테이프를 포함한다. 즉 점착성 테이프를 커버 글라스(1)의 표면에 붙였다 떼는 것으로 그 표면상의 이물질 역시 점착성 테이프에 점착되므로 커버 글라스(1)의 이물질이 제거될 수 있다. 점착성 테이프에 사용되는 점착 물질은 특별히 제한이 없을 것이나 점착성 테이프를 커버 글라스(1)에 붙였다 떼어도 해당 점착 물질은 커버 글라스(1)에 잔존하지 않을 정도의 점착성을 가져야 할 것이다. 바람직하게는, 도 2에 개략적으로 도시된 것처럼 이물질 제거부(500)는 점착성 테이프로 구성된 2단의 회전형 롤러인 것이 바람직하다. 점착성 테이프로 구성된 2단의 롤러(500)가 지속적으로 커버 글라스(1)의 이송 방향으로 회전하며 커버 글라스(1)가 이를 통과할 수 있도록 하는 경우 평행 이송 수단(100)과 연계되며 추가적인 이송의 중단 없이도 연속적으로 커버 글라스(1)의 이물질을 제거할 수 있다. 2단의 롤러(500)는 능동적으로 회전할 수 도 있으며 평행 이송 수단(100)이 커버 글라스(1)를 이송하는 힘에 의하여 수동적으로 회전할 수도 있다. 커버 글라스(1)가 2단의 롤러(500)를 통과할 경우, 각 단의 롤러가 커버 글라스(1)의 상하 표면에 접해야 하는 것은 물론이다. 이물질 제거부(500)는 또한 커버 글라스(1)의 검사 부위의 앞에, 즉 조사부의 앞 단에 위치하는 것이 바람직하다 할 것이다.The foreign substance removing unit 500 removes foreign substances on the surface of the cover glass 1, which is the object to be inspected. Preferably, the foreign material removing unit 500 includes a sticky tape. That is, since the adhesive tape is adhered to the surface of the cover glass 1 and the foreign substance on the surface thereof is also adhered to the adhesive tape, the foreign substance of the cover glass 1 can be removed. The adhesive material used for the adhesive tape is not particularly limited. However, even if the adhesive tape is attached to the cover glass 1, the adhesive material should have adhesiveness so that the adhesive material does not remain in the cover glass 1. Preferably, as shown schematically in FIG. 2, the foreign material remover 500 is preferably a two-stage rotatable roller composed of an adhesive tape. When the two-stage roller 500 constituted by the adhesive tape is continuously rotated in the conveying direction of the cover glass 1 and the cover glass 1 is allowed to pass therethrough, it is connected to the parallel conveying means 100, Foreign matter of the cover glass 1 can be continuously removed without interruption. The two stages of rollers 500 may be actively rotated and the parallel feeding means 100 may be manually rotated by the force of conveying the cover glass 1. [ Needless to say, when the cover glass 1 passes through the two-stage roller 500, the rollers at each end must contact the upper and lower surfaces of the cover glass 1. [ It is preferable that the foreign substance removing unit 500 is also located in front of the inspection region of the cover glass 1, that is, at the front end of the irradiation region.

커버 글라스 분석 장치의 작동에 있어, 커버 글라스(1)는 평행 이송 수단(100)에 의하여 지속적으로 이동하며 먼저 이물질 제거부(500)를 통과하게 되고, 광학 센서(200)는 조사부를 향하여 고정된 채 제어부(400)의 제어에 따라 이송되는 커버 글라스(1)를 향하여 그 특정 부위를 특정의 속도, 예를 들어, 초당 25장 정도로 촬영하게 된다. 조명(300)은 이 때 조사부를 비춘다. 이렇게 광학 센서(200)를 통하여 조명(300)으로 유발된 회절광을 획득하여 이를 제어부(400) 내지 판독 컴퓨터가 분석하는 것으로 결함을 검출할 수 있다. 여기서 회절광을 이용한 투명 소재의 결함 검출 방법은 종래 기술에 따를 것이며 본 발명의 특징으로는 볼 수 없다 할 것이므로 이 부분에 대한 자세한 설명은 생략한다.In operation of the cover glass analyzing apparatus, the cover glass 1 is continuously moved by the parallel conveying means 100 and is first passed through the foreign material removing unit 500, and the optical sensor 200 is fixed to the irradiating unit The subject is photographed at a specific speed, for example, about 25 sheets per second, toward the cover glass 1 conveyed under the control of the control unit 400. The illumination 300 illuminates the irradiating unit at this time. The defects can be detected by obtaining the diffracted light induced in the illumination 300 through the optical sensor 200 and analyzing it by the control unit 400 or the reading computer. Here, a method of detecting defects in a transparent material using diffracted light will be in accordance with the prior art and can not be seen as a feature of the present invention, so a detailed description thereof will be omitted.

상기와 같은 구성과 방법으로 커버 글라스(1)가 이물질 제거부(500)에 진입하고 조사부에 진입하는 시점부터 모두 통과하여 조사부로부터 이탈하는 시점까지 이물질 제거, 조명 조사 및 촬영, 분석 과정을 거치는 것으로 하나의 커버 글라스(1)의 결함 여부 분석이 종료되며 이와 같은 과정이 연속적, 자동적으로 진행되면서 2차적인 오염이 제거된 커버 글라스(1)를 대상으로 신속하고 높은 검출율로 커버 글라스를 분석할 수 있다. By the above-described constitution and method, the cover glass 1 enters the foreign matter removing unit 500 and passes through all the steps from the time of entering the irradiating unit to the time when the cover glass 1 passes away from the irradiating unit, The analysis of the defect of one cover glass 1 is terminated and the cover glass is analyzed with a fast and high detection rate on the cover glass 1 whose secondary contamination has been removed while such process is continuously and automatically proceeded .

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글라스 분석 방법의 각 단계를 나타내는 순서도이다. 먼저 이물질 제거 단계(s10)에서는 전술한 이물질 제거부(500)와 같은 구성을 통하여 분석 대상인 커버 글라스의 이물질을 제거한다. 바람직하게는 이물질 제거 단계(s10)에서는 점착성 테이프를 이용하여 이물질을 제거하는 것이 바람직하다. 다음으로 조명 조사 및 영상 획득 단계(s20)에서는 이송되어 오는 커버 글라스에, 예를 들어 전술한 도 1, 2에서와 같은 조명(300)을 조사하고 그로부터 유발되는 회절광을 역시 전술한 구성과 같은 광학 센서(200)로 촬영하여 그 영상을 획득한다. 영상 분석 단계(s30)에서는 이렇게 얻어진 영상을 컴퓨터를 이용한 자동화된 영상 분석을 통하여 검사 대상인 커버 글라스의 결함을 검출하게 된다. 점착성 테이프를 이용한 이물질 제거 단계(s10)를 도입하는 것으로 커버 글라스의 2차적인 오염을 제거하여 결함의 검출 정확도를 더욱 높일 수 있다.FIG. 3 is a flowchart showing each step of the method of analyzing a cover glass according to an embodiment of the present invention. First, in the foreign substance removing step (s10), the foreign substance of the cover glass to be analyzed is removed through the same constitution as the foreign substance removing unit 500 described above. Preferably, in the foreign substance removing step (s10), the foreign matter is preferably removed using the adhesive tape. Next, in the illuminating and image acquiring step (s20), the illumination 300 as shown in Figs. 1 and 2 is irradiated to the transported cover glass, and the diffracted light generated therefrom is also reflected in the same manner as the above- And is photographed by the optical sensor 200 to acquire the image. In the image analysis step (s30), defects of the cover glass to be inspected are detected through an automated image analysis using a computer. By introducing the foreign substance removing step (s10) using the adhesive tape, secondary contamination of the cover glass can be removed, and the accuracy of detecting the defect can be further increased.

1: 커버 글라스 100: 평행 이송 수단
200: 광학 센서 300: 조명
400: 제어부 500: 이물질 제거부
1: cover glass 100: parallel feeding means
200: optical sensor 300: illumination
400: control unit 500: foreign matter removing unit

Claims (1)

커버 글라스의 자동 분석 장치에 있어서, 자동 분석 장치는:
커버 글라스를 향해 빛을 방사하는 조명과;
커버 글라스를 촬영하는 광학 센서 및;
커버 글라스의 이물질 제거하는 이물질 제거부를 포함하는 것을 특징으로 하는 커버 글라스의 자동 분석 장치.
An automatic analyzer for a cover glass, comprising:
A light radiating light toward the cover glass;
An optical sensor for photographing the cover glass;
And a foreign substance removing unit for removing foreign substances from the cover glass.
KR1020160104528A 2016-08-17 2016-08-17 Cover glass analysis apparatus and method with dust removal function KR20180020045A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160104528A KR20180020045A (en) 2016-08-17 2016-08-17 Cover glass analysis apparatus and method with dust removal function

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160104528A KR20180020045A (en) 2016-08-17 2016-08-17 Cover glass analysis apparatus and method with dust removal function

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20180020045A true KR20180020045A (en) 2018-02-27

Family

ID=61394289

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160104528A KR20180020045A (en) 2016-08-17 2016-08-17 Cover glass analysis apparatus and method with dust removal function

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20180020045A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101118192B1 (en) Non-Lighting Inspection Apparatus
JP4747602B2 (en) Glass substrate inspection apparatus and inspection method
KR20160047360A (en) System and method for defect detection
JP3205511B2 (en) Seal inspection device
KR101779974B1 (en) System for inspecting defects of glass
US20200378899A1 (en) Glass processing apparatus and methods
JPH10148619A (en) Method and device for inspecting face defect of substrate under inspection
JP5542367B2 (en) Visual inspection device and optical device for visual inspection
JP6249338B2 (en) Appearance inspection device
JP5210998B2 (en) Silicon wafer inspection equipment
JPH11264803A (en) Method and apparatus for detection of defect on transparent platelike body
JP2003263627A (en) Image taking-in device
KR102045818B1 (en) Transmissive optical inspection device and method of detecting defect using the same
JP2013246059A (en) Defect inspection apparatus and defect inspection method
CN110646432A (en) Glass crack inspection system and method
KR20180136421A (en) System and method for defect detection
KR20180020045A (en) Cover glass analysis apparatus and method with dust removal function
KR101485425B1 (en) Cover-glass Analysis Apparatus
JP2006349599A (en) Device and method for inspecting transparent substrate
CN110945347B (en) Damage inspection method for optical display panel
JP4177204B2 (en) Container foreign matter inspection system
KR20180020046A (en) Multi-angle cover glass analysis apparatus
KR101505498B1 (en) Cover-glass Analysis Apparatus
JP2007194888A (en) Method of inspecting solid-state imaging device
JP2021056166A (en) Inspection device, inspection system, and method for inspection of inspection device