KR20180000678A - 능동 방진 시스템 작동 방법 및 공압 액추에이터 - Google Patents

능동 방진 시스템 작동 방법 및 공압 액추에이터 Download PDF

Info

Publication number
KR20180000678A
KR20180000678A KR1020170075024A KR20170075024A KR20180000678A KR 20180000678 A KR20180000678 A KR 20180000678A KR 1020170075024 A KR1020170075024 A KR 1020170075024A KR 20170075024 A KR20170075024 A KR 20170075024A KR 20180000678 A KR20180000678 A KR 20180000678A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
piston
pneumatic actuator
actuator
pressure chamber
pneumatic
Prior art date
Application number
KR1020170075024A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102453615B1 (ko
Inventor
아른트 에베르스
프랭크 호프만
한 하르트게르스
틸 샤르프
Original Assignee
인티그레이티드 다이나믹스 엔지니어링 게엠베하
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 인티그레이티드 다이나믹스 엔지니어링 게엠베하 filed Critical 인티그레이티드 다이나믹스 엔지니어링 게엠베하
Publication of KR20180000678A publication Critical patent/KR20180000678A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102453615B1 publication Critical patent/KR102453615B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
    • F16F15/027—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means comprising control arrangements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
    • F16F15/027—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means comprising control arrangements
    • F16F15/0275—Control of stiffness
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F1/00—Springs
    • F16F1/02—Springs made of steel or other material having low internal friction; Wound, torsion, leaf, cup, ring or the like springs, the material of the spring not being relevant
    • F16F1/04—Wound springs
    • F16F1/12—Attachments or mountings
    • F16F1/122—Attachments or mountings where coils, e.g. end coils, of the spring are rigidly clamped or similarly fixed
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/04—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
    • F16F15/06—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means with metal springs
    • F16F15/063—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means with metal springs with bars or tubes used as torsional elements
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
    • G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F1/00—Springs
    • F16F1/02—Springs made of steel or other material having low internal friction; Wound, torsion, leaf, cup, ring or the like springs, the material of the spring not being relevant
    • F16F1/04—Wound springs
    • F16F1/12—Attachments or mountings
    • F16F1/128—Attachments or mountings with motion-limiting means, e.g. with a full-length guide element or ball joint connections; with protective outer cover
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/04—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
    • F16F15/046—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means using combinations of springs of different kinds
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F3/00—Spring units consisting of several springs, e.g. for obtaining a desired spring characteristic
    • F16F3/02—Spring units consisting of several springs, e.g. for obtaining a desired spring characteristic with springs made of steel or of other material having low internal friction

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Atmospheric Sciences (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 특히 반도체 디바이스 공정용 장치를 수용하는 고정식 방진 시스템에 사용되도록 구성된 공압 액추에이터에 관한 것이다. 이 공압 액추에이터는 작업 공간을 포함하되, 이 작업 공간은 피스톤에 의해 제1 및 제2 압력실로 분할되어 있고, 피스톤은 작업 공간의 내부 표면으로부터 갭만큼 이격되어 있으며, 피스톤은 축 방향으로만 이동할 수 있다.

Description

능동 방진 시스템 작동 방법 및 공압 액추에이터 {PNEUMATIC ACTUATOR AND METHOD FOR OPERATING AN ACTIVE VIBRATION ISOLATION SYSTEM}
본 발명은 고정식 방진 시스템에 사용하도록 특별히 구성된 공압 액추에이터에 관한 것이다.
본 발명은 능동 방진 시스템을 작동시키는 방법과, 공압 액추에이터를 포함하는 방진 시스템에도 관한 것이다.
본 발명은 특히 반도체 디바이스 공정용 리소그래피 및/또는 계측 시스템을 진동을 방지하는 방식으로 지지하기 위해 채용되는 고정식 즉 움직이지 않게 설치되는 방진 시스템에 관한 것이다.
반도체 공정용 장치 특히 리소그래피 또는 계측 장치를 지지하기 위해 채용되는 것과 같은 고정식 방진 시스템은 복수의 아이솔레이터 위에 장착되어 있는 테이블로 이루어지는 것이 통상적이다.
부하(기계)에 의해 초래되는 진동이 차단되어야 하거나 또는 지진에 의한 진동에 대항하는 능동 제어 시스템을 포함하는 능동 방진 시스템이 특히 실무적으로 공지되어 있다. 예를 들면, 바닥 위 및/또는 차단되어야 하는 부하 위에 배치되어 있는 센서들이 진동을 측정하는 데에 사용될 수 있다. 능동적으로 방진하기 위한 액추에이터를 구동하는 데에 사용되는 보상 신호들을 능동적으로 발생시키기 위해, 취득된 측정값들이 제어 장치에 의해 사용된다. 실제로, 대항력(counterforce)을 생성시키기 위해, 공압식 또는 기계식(예컨대 코일 스프링) 아이솔레이터의 내에 또는 아이솔레이터 위에 액추에이터들이 배치되어 사용된다. 이들 액추에이터들의 대부분은 자기식이다.
처리하고자 하는 반도체 디바이스들의 크기에 따라, 이러한 방진 목적을 위해 채용되는 시스템들의 크기도 증가되어야 한다. 이에 따라, 액추에이터들에 의해 가해질 필요가 있는 반응력들이 점점 더 커지게 되며, 이에 따라 전기적으로 구동되는 액추에이터들을 사용하기가 더 어려워진다. 그 결과로, 자기적 원리에 따라 작동하는 복수의 액추에이터들은 하나의 작용 방향으로 병렬로 연결되어야만 한다. 그렇지만 제한된 설치공간으로 인해 매우 복잡하게 되거나 혹은 일부 경우에는 실현이 불가능하게 된다. 자기 액추에이터들에서 발생되는 열에 의해 자기 액추에이터들의 사용이 또한 제한된다.
방진 시스템의 공압 레벨 제어를 능동 방진으로 통합시킴으로써, 자기 액추에이터들의 구동 필요성은 분명히 감소될 수 있다. 그러나, 이것이 전술한 단점들을 없애는 데에 언제나 충분한 것은 아니다.
코일 스프링을 포함하는 기계식 진동 아이솔레이터가 유럽 공개특허공보 EP 2 759 736 A2호(Integrated Dynamic Engineering GmbH)에 개시되어 있다.
유럽 공개특허공보 EP 2 998 611 A2호(Integrated Dynamic Engineering GmbH)는 교체 가능한 리프 스프링 조립체를 통해 특성이 수정될 수 있고, 수평 방향으로 차단 효과를 제공하는 벤딩 추를 포함하는 공기 스프링을 포함하는 아이솔레이터를 개시하고 있다.
그러나, 예를 들어 벨로즈 실린더, 공압 머슬 및 공압 실린더와 같이 실제로 공지되어 있는 공압 액추에이터들은 통상적으로 일 방향으로만 유효하며, 일반적인 고정식 방진 시스템의 아이솔레이터로 사용하기에는 매우 적당하지 않다. 이는, 실린더와 피스톤 사이에 존재하는 마찰력 및/또는 실제로 작용하는 방향을 가로지르는 방향으로 존재하는 힘 성분 때문이다.
이러한 배경을 고려하여, 본 발명은 종래 기술이 갖고 있는 단점들을 감소시키는 목적에 기초한 것이다.
보다 상세하게는, 본 발명의 목적은 고정식 능동 방진 시스템에도 적합한 공압 액추에이터를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 독립 청구항들 중 어느 한 항에 따른 공압 액추에이터 및 능동 방진 시스템을 작동하는 방법에 의해 달성된다.
본 발명의 바람직한 실시형태들 및 상세한 사항들이 종속 청구항들의 주제, 발명의 상세한 설명 및 도면들로부터 명확해질 것이다.
본 발명은 공압 액추에이터 특히 공기 압력에 의해 작동되는 액추에이터에 관한 것이다.
공압 액추에이터는 반도체 디바이스 공정용 시스템과 기계를 방진 방식으로 지지하기 위해 사용되는 것과 같은 고정식 방진 시스템에 사용하도록 특별히 구성되어 있다.
공압 액추에이터는 피스톤을 구비하는 작업 공간을 포함한다. 피스톤의 축 방향 이동 방향으로 힘을 발생시키기 위해 피스톤이 작업 공간 내에서 이동할 수 있다.
작업 공간은 피스톤에 의해 제1 압력실과 제2 압력실로 분할되어서, 피스톤이 양측으로부터 압력을 받을 수 있다. 이에 따라, 간단한 방식으로 양쪽 두 방향으로 힘이 발생될 수 있다.
피스톤의 이동에 의한 마찰력과 진동을 최소로 하기 위해, 피스톤은 작업 공간의 내부 표면으로부터 갭만큼 떨어져 있다.
이에 따라, 작업 공간에 의해 획정되는 실린더에 의해 안내되기보다는 작업 공간의 내부 표면으로부터 충분히 떨어져 있기 때문에, 정상적으로 작동하는 동안에는 피스톤이 작업 공간의 내부 표면과 닿지 않게 된다.
그러나, 본 발명에 따르면, 피스톤이 축 방향으로만 즉 피스톤이 작용하는 방향으로만 이동하는데, 이는 공압 액추에이터가 공간상에서 정확히 한 방향으로만 힘을 발생시키게 설계되어 있다는 것을 의미한다.
피스톤이 기울어지거나 작용 방향을 가로지르는 방향으로 변위되는 것을 방지함으로써, 액추에이터가 구동할 때 소망하는 작용 방향을 가로지르는 방향으로 힘들이 발생되지 않거나 발생되더라도 최소로 된다.
바람직한 실시형태에서, 피스톤은 서로 이격되어 있는 적어도 2개의 리프 스프링들에 의해 축 방향으로 안내된다.
하나의 리프 스프링이 제1 압력실 내에 배치되고, 다른 리프 스프링이 제2 압력실 내에 배치되는 것을 특별히 상정할 수 있다.
리프 스프링들은 피스톤이 기울어지지 않도록 하고, 작용 방향을 가로지르는 방향으로 변위되지 않도록 한다.
바람직하기로는, 제1 및 제2 압력실과 리프 스프링들은 실질적으로 거울-대칭 즉 이들은 거의 동일한 형상과 동일한 크기로 되어 있다.
특히 EP 2 998 611 A1호에 기재되어 있는, 내부 링과 외부 링을 구비하는 리프 스프링이 본 발명의 리프 스프링으로 사용될 수 있다.
바람직하기로는, 제1 및 제2 압력실 각각은 멤브레인에 의해 밀봉되어 있다.
멤브레인은 적어도 피스톤과 내부 표면 사이의 갭을 가로지르고 있다.
본 발명의 바람직한 실시형태에서, 멤브레인은 피스톤에 걸쳐 있다.
작업 공간의 하우징에 고정되어 있는 멤브레인 특히 작업 공간의 하우징에 클램핑되어 있는 멤브레인을 사용하는 것을 특별히 상정할 수 있다. 또는 작업 공간 전체에 걸쳐 있어서 이미 각 압력실을 폐쇄하고 있는 멤브레인을 사용하는 것을 상정할 수 있다.
이러한 방식으로, 피스톤 측 위에서 압력실에 대해 특히 경량 밀봉부를 제공할 수 있게 된다.
본 발명의 바람직한 실시형태에서, 피스톤이 압력실 내로 돌출하는 별개의 스페이서에 의해 각 리프 스프링에 연결되어 있다.
이러한 방식으로, 리프 스프링이 작업 공간의 대면적에 걸쳐 반경 방향으로 연장할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 따라 상정할 수 있는 바와 같이, 멤브레인을 피스톤에 고정시키는 데에 스페이서가 추가로 사용될 수 있다.
본 발명의 다른 실시형태에서, 피스톤과 스페이서가 일체로 형성되어 있다.
스페이서는 특히 각 압력실 내로 축 방향으로 연장하는, 피스톤의 중앙 연장부일 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시형태에서, 피스톤은 작업 공간의 측벽 밖으로 돌출하는 적어도 하나의 연장부를 포함한다.
이 연장부는 특히 원주 링으로 구성될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시형태에서, 피스톤은 측방향으로 돌출하는 복수의 연장부들을 포함한다. 특히, 피스톤은, 수평 방향에서 측 방향으로 돌출하는 적어도 3개의 연장부들을 포함한다.
연장부(들)은 피스톤을 방진시키고자 하는 부하 또는 베이스(바닥)에 결합시키는 기능을 한다.
이를 위해, 공압 액추에이터는 축 방향으로 가로지르는 방향으로 방진을 추가로 부가하기 위한 수단을 포함하는 것이 바람직하다.
이에 따라, 액추에이터는 베이스로부터 또는 방진 대상의 부하로부터 작용 방향을 가로지르는 방향으로 떨어지게 된다. 이는, 이 공간상의 방향으로의 액추에이터의 강성도 유사하다는 것을 의미하며 특히 작용 방향의 강성보다 특히 적어도 10배 작다.
특히 피스톤이 대칭 방식으로 힘을 받게 하기 위해, 피스톤의 원주 방향 주위에 분산되어 있는 적어도 3개의 지점에서 커플링이 수행될 수 있다.
이에 따라, 원주 링으로 설계되는 연장부 대신에, 각각이 작업 공간의 하우징 밖으로 돌출하는 복수의 연장부들을 사용할 수도 있다.
피스톤을 베이스 또는 방진 대상의 부하에 결합시키기 위해, 특별히 벤딩 로드, 벤딩 추, 케이블 또는 와이어가 사용될 수 있다.
축 방향을 가로지르는 방향으로 방진을 추가로 제공하는 수단은 피스톤 작업 공간의 바깥쪽에 배치되는 것이 바람직하다.
피스톤의 작용 방향을 가로지르는 방향으로 차단 효과를 가지는 수단이 피스톤 작업 공간과 측 방향으로 이웃하게 배치되는 것을 특별히 상정할 수 있다.
본 발명은 또한 공간상에서 서로 다른 방향으로 작용하는 전술한 공압 액추에이터를 적어도 2개 포함하는 방진 시스템용 아이솔레이터에 관한 것이다.
이 아이솔레이터는 수직 방향으로 작용하는 하나의 공압 액추에이터와 수평 방향으로 작용하는 하나의 공압 액추에이터를 포함하는 것을 특별히 상정한다.
본 발명에 따른 아이솔레이터는 특별히 공압 또는 기계식 아이솔레이터로 설계되는데, 특히 코일 스프링을 포함하는 기계식 아이솔레이터로 설계되며, 적어도 수평 방향으로 작용하는 스프링 외에도 2개의 공압 액추에이터들을 포함한다.
본 발명은 또한 전술한 공압 액추에이터들을 포함하는 능동 방진 시스템에 관한 것이다. 방진 시스템은 특히 각각이 적어도 2개의 공압 액추에이터를 포함하는 아이솔레이터들을 포함한다.
특히, 바닥 및/또는 방진 대상 부하의 진동을 검출하는 적어도 하나의 센서에 연결되어 있으며, 피드-포워드 제어 방식으로 센서 신호들을 기초로 한 보상 신호들을 발생시키는 제어 장치를 포함하는 고정식 능동 방진 시스템에 관한 것이다.
본 발명은 또한 능동 방진 시스템 특히 전술한 방진 시스템을 작동시키기 위한 방법에도 관한 것이다.
이 방법은 제어 장치에 의해 적어도 한 방향으로 유효한 공압 액추에이터들을 구동시키는 것을 포함한다.
제어 장치는 공압 액추에이터들의 작업 공간 내에서 압력을 제어하기 위한 밸브들에 연결되어 있다.
공압 액추에이터들에 의해 가해지는 힘 및/또는 공압 액추에이터들의 압력실 내 압력이 센서에 의해 측정되어 제어 장치에 의해 수집된다.
보상력(compensation force)을 발생시키기 위해, 공압 액추에이터들이, 밸브를 통해 액추에이터의 작업 공간 내의 압력을 조절하는 제어 장치에 의해 제어된다.
압력실 내에서 유체의 비선형 특성을 고려하여 압력이 제어된다.
유압 유체와는 대조적으로, 공기는 압축성이므로, 예를 들어 액추에이터의 작업 공간 내로 공기로 유입될 수 있는 밸브의 개방 시간(opening duration)은 그로부터 발생되는 힘에 비례하지 않는다.
이는, 예컨대 디지털 또는 아날로그 제어 필터에 의해 보상될 수 있다. 비례식 슬라이드 밸브, 비례식 압력 밸브 또는 패스트 스위칭 밸브도 사용될 수 있다.
이 방향을 위해 사용되는 공압 액추에이터는 적어도 하나의 방향으로 힘을 발생시킨다. 바람직하기로는, 전술한 공압 액추에이터 즉 두 반대 방향으로 힘을 발생시킬 수 있는 공압 액추에이터가 사용된다.
도 1은 본 발명에 따른 공압 액추에이터의 예시적인 일 실시형태의 개략적인 단면도이다.
도 2는 작용 방향을 가로지르는 방향으로 차단을 제공하는 추가 수단을 설명하는, 액추에이터의 입측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 액추에이터들을 포함하는 아이솔레이터들을 구비하는 방진 시스템의 개략도이다.
도 4는 본 발명에 따른 액추에이터의 예시적인 일 실시형태의 단면도이다.
도 5 및 도 6은 액추에이터의 분해도이다.
도 7은 벤딩 로드가 장착되어 있는 액추에이터의 사시도이다.
도 8은 안에 도 4 내지 도 7의 액추에이터가 설치되어 있는 본 발명에 따른 아이솔레이터의 사시도이다.
도 1 내지 도 8의 도면들을 참고하여, 예시적 실시형태를 개략적으로 설명함으로써, 본 발명의 주제를 좀 더 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 액추에이터(1)의 예시적인 일 실시형태의 개략적인 단면도이다.
공압 액추에이터(1)는 작업 공간(3)을 둘러싸는 하우징(2)을 포함한다. 작업 공간(3) 내에서 피스톤(5)이 움직일 수 있다. 이 작업 공간은 압축 공기가 유입될 수 있는 작업 체적을 획정한다.
작업 공간(3)은 피스톤(5)에 의해 제1 압력실(4a)과 제2 압력실(4b)로 분할되어 있다.
압력실(4a)은 공압 포트(13a)를 포함하고, 압력실(4b)은 공압 포트(13b)를 포함한다.
압축 공기가 포트들(13a, 13b)을 통해 밀봉되어 있는 압력실들(4a, 4b) 내로 도입될 수 있다.
이러한 방식으로, 피스톤(5)에 의해 축 방향으로 즉 축선(24)을 따라 힘이 생성될 수 있다.
공지되어 있는 공압 실린더들과는 대조적으로, 작업 공간(3)의 하우징(2)의 내부 표면(7)과 피스톤(5) 사이에는 갭(6)이 제공되어 있다. 그 결과, 피스톤(5)이 이동하는 동안에 마찰력이 발생하지 않게 된다. 갭(6)의 폭은 적어도 0.1 mm, 바람직하기로는 적어도 0.5 mm, 가장 바람직하기로는 적어도 1 mm이다.
갭(6)을 통해 유체가 유출되는 것을 방지할 목적으로 압력실들(4a, 4b)을 밀봉하기 위해, 적어도 갭(6)을 가로지르게 개별 탄성 멤브레인(12a, 12b)이 제공된다.
본 예시적 실시형태에서, 멤브레인(12a, 12b)은 피스톤(5)에 연결되어 있는 동시에 피스톤(5) 전체를 가로지르고 있다.
또한, 멤브레인(12a, 12b)은 하우징(2)의 측벽(25)의 가장자리를 따라 클램핑되어 있다.
피스톤(5)을 축 방향으로 안내하기 위해, 압력실(4a)과 압력실(4b) 모두에 각각 리프 스프링(9a, 9b)이 제공되어 있으며, 리프 스프링은 각 스페이서(10a, 10b)를 통해 피스톤(5)에 연결되어 있다.
리프 스프링(9a, 9b)은 작업 공간(3)의 측벽(25)에도 고정되어 있는데, 특히 측벽(25)에 클램핑되어 있다.
바람직하기로는, 별도의 밀봉 수단을 사용하지 않기 위해, 리프 스프링(9a, 9b) 각각이 압력실(4a)과 압력실(4b) 내에 고정되어 있다.
리프 스프링(9a, 9b)은 축선(24)과 직교하며 연장하고, 특히 내부 링과 외부 링을 구비하는 리프 스프링으로 구성될 수 있다.
스페이서(10a, 10b)는 각각이 피스톤(5)의 양 측면에 고정되어 있으며, 본 예시적 실시형태에서 스페이서(10a, 10b)는 부가적으로 멤브레인(12a, 12b)을 피스톤(5)에 고정시킨다.
본 예시적 실시형태에서, 공압 액추에이터는 그 공압 액추에이터(1)가 작용하는 방향으로 공압 액추에이터의 중심을 관통하여 연장하는 축선(24)에 대해 거의 회전 대칭 형상으로 되어 있다.
또한, 리프 스프링(9a, 9b)과 멤브레인(12a, 12b)을 구비하는 제1 및 제2 압력실(4a, 4b)들이 거의 동일하게 구성되어 있다. 리프 스프링(9a, 9b)은 형상과 기능의 측면에서 거울-대칭 방식으로 설치되어 있다.
하우징(2)의 측벽(25)은 개구(11)를 구비한다. 개구(11)로부터 연장부(8)가 축선(24)에 직교하게 돌출되어 있다.
공압 액추에이터(1)가 작동하는 중에, 연장부(8)가 측벽(25)과 닿지 않도록, 개구(11) 내에서 충분한 간격을 가진다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
본 예시적 실시형태에서, 연장부(8)는 원주 링으로 구성되어 있다. 연장부(8)는 개구부를 구비할 수 있고, 이 개구부를 통해 컴포넌트들이 연장하고 있다. 이 컴포넌트에 의해 하우징(2)의 두 절반부가 결합되어 있다(도시되어 있지 않음).
연장부(8)는 피스톤(5)을 베이스 또는 방진 대상 부하에 결합시킨다.
원주 링 대신, (도시되어 있지 않은) 복수의 연장부들이 공압 액추에이터(1)의 원주 주위에 분산되어 제공되어 있을 수도 있다.
도 2는 공압 액추에이터(1)의 개략적인 입측면도이다. 이 도면은 피스톤(5)을 방진 대상 부하(15)에 (또는 베이스에) 결합시키는 수단을 도시하고 있다.
본 예시적 실시형태에서, 연장부(8) 위에 3개의 벤딩 로드(14a 내지 14c)가 연장부(8) 원주 주위에 균등하게 분산되어 있으며, 차단 대상인 부하(15)에 연결되어 있다.
벤딩 로드(14a 내지 14c)는 공압 액추에이터(1)의 유효 축선을 가로지르는 방향으로 방진을 제공한다.
벤딩 로드(14a 내지 14c)는 작용 방향(도 1에서 축선(24))으로는 고 강성을 나타내지만, 작용 방향을 가로지르는 방향으로 작용하는 힘에는 항복(yield)해서, 공압 액추에이터(1)의 작용 방향을 가로지르는 방향으로 베이스와 방진 대상의 부하를 분리시킨다.
도 3은 방진 시스템(16)의 개략도이다.
방진 시스템(16)은 방진을 위해 장착된 테이블(17)을 포함하고, 테이블 위에는 특별히 반도체 디바이스(도시되어 있지 않음) 공정용 리소그래피 및 계측 시스템이 배치될 수 있다.
테이블(17)은 바닥(19)에 결합되어 있는 복수의 아이솔레이터(18) 위에 안착되어 있다.
아이솔레이터(18)는 공압 또는 기계식 스프링으로 구성될 수 있다.
아이솔레이터(18)는 전술한 공압 액추에이터(1)를 적어도 2개 포함하는데, 하나의 액추에이터는 수평 공간 방향으로 유효하고, 하나의 액추에이터는 수직 공간 방향으로 유효하다.
방진 시스템이 다른 액추에이터들 특히 보이스 코일 원리에 기초하는 자기 액추에이터들을 포함할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
본 예시적 실시형태에서, 지진에 의한 진동이 센서(20)에 의해 검출되고, 차단 대상인 부하 즉 그 위에 어셈블리들이 배치되어 있는 테이블(17)에 의한 진동은 센서(21)에 의해 검출된다.
센서들(20, 21)에서 발생된 신호들을 기초로 하여 제어 장치(22)가 보상 신호를 발생시키고, 이에 의해 밸브(23)를 제어하여 공압 액추에이터(1)의 압력실 내의 압력을 조절한다.
본 예시적 실시형태에서는 개략적으로 압력실의 포트에 하나의 밸브(23)만이 제공되어 있는 것으로 도시되어 있지만, 압력실의 각 포트에 개별의 밸브가 제공될 수 있음은 물론이다.
공기가 압축성이라는 점을 고려하기 위해, 액추에이터(1)는 압력실 내 압력을 기초로 하여 또는 센서(도시되어 있지 않음)를 사용하여 측정된 힘에 기초하여 피드-포워드 제어를 통해 제어될 수 있다.
도 4 내지 도 7을 참고하여, 본 발명에 따른 액추에이터의 예시적 실시형태를 자세하게 설명한다.
도 4는 공압 액추에이터(1)의 절개 사시도이다.
본 예시적 실시형태에서, 피스톤은 3개의 파트(5a 내지 5c)로 구성되어 있다.
본 예시적 실시형태에서, 파트(5a 내지 5c)로 구성된 피스톤은 작업 공간을 2개의 압력실(4a, 4b)로 분할한다.
스페이서(10a)는 리프 스프링(9a)과 멤브레인(12a)을 피스톤에 클램핑시킨다.
미러 대칭으로 배치되는 저압 압력실이 이와 유사하게 구성될 수 있음은 물론이다.
도 5는 도 4에 도시되어 있는 액추에이터의 분해도이다.
하우징(도 4에서 도면부호 2)의 두 파트들이 서로 분리되어 있으며, 3개의 파트들(도 4에서 도면부호 5a 내지 도 5c)로 구성된 피스톤(5)을 볼 수 있다.
본 예시적 실시형태에서, 피스톤(5)이, 측 방향으로 바깥쪽으로 돌출하고 있으며, 120°의 간격으로 피스톤(5)의 원주 주위에 분산되어 있는 3개의 연장부(8a 내지 8c)를 구비하는 것을 알 수 있다.
도 6은 상부 하우징 파트와 피스톤이 생략되어 있는 다른 분해도이다.
도 6에서, 특히 리프 스프링(9b)과 멤브레인(12b)을 피스톤에 부착시키는 데에 사용되는 스페이서(10b)를 볼 수 있다.
리프 스프링(9b)은 실질적으로 원형이며, 내부 링과 외부 링을 포함하고 있다.
도 7은 이전에 설명한 액추에이터(1)를 설명하고 있는데, 3개의 개별의 벤딩 바(14a 내지 14c)가 각 측면 위에 장착되어서 액추에이터(1)의 작용 방향과 직교하는 방향에서 방진을 제공한다.
연장부(8b)가 측 방향으로 액추에이터의 하우징(2) 밖으로 돌출하고 있음을 알 수 있다.
벤딩 로드(14a 내지 14c)를 위한 연장부들이 하우징 안쪽에 위치하고 있다. 이에 따라 하우징 내에는 벤딩 로드(14a 내지 14c)가 관통하여 연장하기 위한 2개의 보어들이 제공되어 있다.
도 8은 능동 방진을 위해 도 4 내지 도 7에 도시되어 있는 액추에이터(1)가 설치되어 있는 아이솔레이터(18)의 사시도이다.
여기에 도시되어 있는 액추에이터(1)는, 수평 방향으로 보상력을 발생시키는 데에 사용된다.
아이솔레이터(18)는 바람직하기로는 방진 목적으로 수평 및 수직 방향 양쪽으로 유효한 스프링을 수용하는 하우징(28)을 포함한다. 스프링은 공압 스프링(도시되어 있지 않음)으로 구성되는 것이 바람직하다.
하우징(28)은, 지면에 대한 연결부를 제공하는 베이스 파트(26)에 연결되어 있다.
상부 파트(27)가 스프링 위에서 방진 방식으로 지지되어 있으며, 방진 대상인 부하를 결합시키는 데에 사용된다.
액추에이터(1)가 하우징(28)에 장착되어 있다.
상부 파트(27)는 브래킷(29)을 구비하며, 브래킷(29)에는 벤딩 로드(14a 내지 14c)가 장착된다.
벤딩 로드(14a 내지 14c)는 상부 파트 즉 방진 대상 부하를 액추에이터(1)에 결합시킨다.
여기서는 연장부(8b)에 연결되어 있는 벤딩 로드(14b)를 특별히 볼 수 있다.
벤딩 로드(14a 내지 14c)는 나사(30)에 의해 프리로딩되어 있다.
액추에이터가 작동하는 중에, 벤딩 로드(14a 내지 14c)는 인장에 의한 부하만을 받고, 액추에이터(1)를 수직 방향으로 진동 방식으로 지지되어 있는 부하로부터 분리시킨다.
아이솔레이터(18)가 수직 방향으로 유효한 다른 액추에이터(1)(도시되어 있지 않음)를 추가로 포함하는 것이 바람직하다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명은 큰 힘을 발생시킬 수 있으며, 특히 자기 액추에이터를 대체할 수 있는 컴팩트한 액추에이터를 제공할 수 있다.
1 공압 액추에이터(pneumatic actuator)
2 하우징(housing)
3 작업 공간(working space)
4a, 4b 압력실(pressure chamber)
5 피스톤(piston)
5a-5b 파트(part)
6 갭(gap)
7 내부 표면(inner surface)
8, 8a-8c 연장부(extension)
9a, 9b 리프 스프링(leaf spring)
10a, 10b 스페이서(spacer)
11 개구(opening)
12a, 12b 멤브레인(membrane)
13a, 13b 포트(port)
14a-14c 벤딩 로드(bending rod)
15 부하(load)
16 방진 시스템(vibration isolation system)
17 테이블(table)
18 아이솔레이터(isolator)
19 바닥(floor)
20 센서(sensor)
21 센서(sensor)
22 제어 장치(control device)
23 밸브(valve)
24 축선(axis)
25 측벽(lateral wall)
26 베이스(base)
27 상부 파트(upper part)
28 하우징(housing)
29 브래킷(bracket)
30 나사(screw)

Claims (15)

  1. 피스톤(5)에 의해 제1 압력실(4a)과 제2 압력실(4b)로 분할되어 있는 작업 공간(3)을 포함하는, 특히 고정식 방진 시스템(16)용으로 구성된 공압 액추에이터(1)에 있어서, 피스톤(5)이 작업 공간(3)으로부터 갭(6)만큼 이격되어 있으며, 피스톤(5)이 축 방향만으로만 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터.
  2. 선행 청구항에 있어서,
    피스톤(5)이, 서로 이격되어 있는 적어도 2개의 리프 스프링(9a, 9b)에 의해 축 방향으로 안내되는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터.
  3. 선행 청구항에 있어서,
    하나의 리프 스프링(9a)은 제1 압력실(4a) 내에 배치되어 있고, 다른 하나의 리프 스프링(9b)은 제2 압력실(4b) 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터.
  4. 선행 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
    제1 압력실(4a)과 제2 압력실(4b) 각각은 멤브레인(12a, 12b)에 의해 밀봉되어 있는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터.
  5. 선행 청구항에 있어서,
    멤브레인(12a, 12b)이 피스톤(5)에 걸쳐 있는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터.
  6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    피스톤(5)이, 압력실(4a, 4b) 내로 돌출하고 있는 각각의 스페이서(10a, 10b)를 통해 리프 스프링(9a, 9b)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터.
  7. 선행 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
    피스톤(5)이, 작업 공간(3)의 측벽(25) 밖으로 돌출하는 적어도 하나의 연장부(8)를 구비하는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터.
  8. 선행 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
    피스톤(5)이 측 방향으로 돌출하는 복수의 연장부(8) 특히 적어도 3개의 연장부(8)를 구비하는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터.
  9. 선행 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
    공압 액추에이터(1)가 축 방향을 가로지르는 방향으로 방진을 부가하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터.
  10. 선행 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
    피스톤(5)이 벤딩 로드(14a-14c), 벤딩 추, 케이블 또는 와이어 중 적어도 하나에 의해 베이스 또는 방진 대상인 부하(15)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터.
  11. 선행 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
    축 방향을 가로지르는 방향으로 방진을 부가하기 위한 수단이 작업 공간(3) 외부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터.
  12. 선행하는 두 개의 청구항 중 어느 한 항에 있어서,
    피스톤(5)이 그 피스톤(5)의 원주 주위에 분산되어 있는 복수의 벤딩 로드(14a-14c), 벤딩 추, 케이블 또는 와이어 의해 베이스 또는 방진 대상인 부하(15)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터.
  13. 선행하는 청구항들 중 어느 하나에 따른 공압 액추에이터(1)를 적어도 2개 포함하는, 방진 시스템(16)용 아이솔레이터(18)에 있어서, 상기 적어도 2개의 공압 액추에이터(1)가 다른 방향으로 작용하는 것을 특징으로 하는 아이솔레이터.
  14. 능동 방진 시스템(16)으로, 공압 액추에이터(1), 특히 선행하는 청구항들 중 어느 한 하나에 따른 공압 액추에이터(1)를 구비하는 아이솔레이터(18)를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 방진 시스템.
  15. 능동 방진 시스템(16) 특히 선행 청구항에 따른 능동 방진 시스템(16)을 작동하는 방법으로, 적어도 하나의 방향으로 작용하는 공압 액추에이터(1)가 공압 액추에이터의 작업 공간(3) 내 압력을 제어하기 위한 밸브(23)에 연결되어 있는 구동 장치(22)에 의해 구동되고; 공압 액추에이터(1)에 의해 가해지는 힘 및/또는 공압 액추에이터(1)의 압력실(4a, 4b) 내의 압력이 측정되고; 제어 장치(22)가 압력실(4a, 4b) 내의 유체의 비선형 특성을 고려하여 공압 액추에이터(1)를 제어하는 것을 특징으로 하는 능동 방진 시스템 작동 방법.
KR1020170075024A 2016-06-23 2017-06-14 능동 방진 시스템 작동 방법 및 공압 액추에이터 KR102453615B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP16175909.7A EP3260732B1 (de) 2016-06-23 2016-06-23 Pneumatischer aktor sowie verfahren zum betrieb eines aktiven schwingungsisolationssystem
EP16175909.7 2016-06-23

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180000678A true KR20180000678A (ko) 2018-01-03
KR102453615B1 KR102453615B1 (ko) 2022-10-12

Family

ID=56411390

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170075024A KR102453615B1 (ko) 2016-06-23 2017-06-14 능동 방진 시스템 작동 방법 및 공압 액추에이터

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10480609B2 (ko)
EP (1) EP3260732B1 (ko)
JP (1) JP6957227B2 (ko)
KR (1) KR102453615B1 (ko)
TW (1) TWI742083B (ko)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3181944B1 (de) 2015-12-16 2023-04-26 Integrated Dynamics Engineering GmbH Schwingungsisolator mit einer vertikal wirksamen pneumatischen feder
EP3260733B1 (de) * 2016-06-23 2019-08-07 Integrated Dynamics Engineering GmbH Aktives stationäres schwingungsisolationssystem
CN108425992B (zh) * 2018-03-29 2019-08-13 江西省雄基建设集团有限公司 一种减震式钢架结构
WO2019206517A1 (en) 2018-04-25 2019-10-31 Asml Netherlands B.V. Pneumatic support device and lithographic apparatus with pneumatic support device
CH714963A1 (de) * 2018-05-02 2019-11-15 Explotechnik AG Druckwellengenerator und Verfahren zum Betreiben eines Druckwellengenerators, sowie pneumatischer Aktuator.
CN112727995A (zh) * 2020-12-21 2021-04-30 兰州空间技术物理研究所 一种复合弹簧支撑振动系统
KR102560602B1 (ko) 2022-11-01 2023-07-27 (주)케이.브이.에이 원격 지시계를 갖는 에어 모터식 밸브 조작기

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04244628A (ja) * 1991-01-28 1992-09-01 Kurashiki Kako Co Ltd 空気ばねの制御装置
JPH0642158A (ja) * 1992-04-14 1994-02-15 Takenaka Komuten Co Ltd 免震床の三次元免震装置
JPH10281109A (ja) * 1997-03-31 1998-10-20 Fujikura Rubber Ltd 空気圧シリンダ装置
US6926263B1 (en) * 2001-04-17 2005-08-09 Technical Manufacturing Corporation High center of gravity stable pneumatic isolator
JP2008082382A (ja) * 2006-09-26 2008-04-10 Yokohama Rubber Co Ltd:The 振動伝達抑制装置
US20090283942A1 (en) * 2006-09-26 2009-11-19 The Yokohama Rubber Co., Ltd. Vibration transmission damping apparatus
JP2014194275A (ja) * 2013-01-29 2014-10-09 Integrated Dynamics Engineering Gmbh コイルバネを有する振動絶縁装置

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50121188U (ko) * 1974-03-19 1975-10-03
US3889936A (en) 1974-04-12 1975-06-17 Wright Barry Corp Combined air mounts
SU612087A1 (ru) * 1975-10-31 1978-06-25 Научно-Производственное Объединение "Автоматгормаш" Пневматический исполнительный механизм
EP0410647B1 (en) 1989-07-24 1994-12-07 Tokkyo Kiki Kabushiki Kaisha Method of controlling positions and vibrations and active vibration control apparatus therefor
IT1231308B (it) * 1989-07-27 1991-11-28 Tetra Dev Co Unita' a pistone con membrana a rotolamento
CA2064902C (en) * 1989-08-16 2006-11-21 David L. Platus Vibration isolation system
US5111735A (en) 1990-10-30 1992-05-12 Beloit Corporation Air spring with quick release valve
DE4133878C2 (de) 1991-10-12 1995-04-13 Continental Ag Luftfeder mit einem Schlauchrollbalg aus elastomerem Werkstoff
DE4241997C1 (de) * 1992-12-12 1994-05-26 Daimler Benz Ag Pneumatisch steuerbarer Stellantrieb
DE4324595C1 (de) * 1993-07-22 1994-12-15 Escher Wyss Gmbh Schüttelbock
JPH11294520A (ja) 1998-04-08 1999-10-29 Canon Inc 除振装置、これを用いた露光装置およびデバイス製造方法、ならびに除振方法
JP2002020690A (ja) 2000-07-04 2002-01-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 親水性塗膜とその製造法並びにそれを用いた固体高分子電解質型燃料電池及び熱交換器
US7095482B2 (en) * 2001-03-27 2006-08-22 Nikon Corporation Multiple system vibration isolator
US6746005B1 (en) 2001-10-04 2004-06-08 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Constant natural frequency passive-active mount
JP2004131180A (ja) * 2002-07-09 2004-04-30 Imi Cornelius (Uk) Ltd 飲料の注出における改良または飲料の注出に関連する改良
GB2404716B (en) * 2003-08-08 2007-07-25 Ultra Electronics Ltd A vibration isolation mount and method
JP4408208B2 (ja) * 2003-09-26 2010-02-03 藤倉ゴム工業株式会社 ばね剛性可変空気ばね除振ユニット
JP2005114083A (ja) 2003-10-09 2005-04-28 Ebara Corp 真空チャンバの除振システム
JP4463573B2 (ja) * 2004-01-22 2010-05-19 藤倉ゴム工業株式会社 除振装置
JP2006083883A (ja) 2004-09-14 2006-03-30 Fujikura Rubber Ltd 除振台装置
JP4810860B2 (ja) * 2005-03-31 2011-11-09 横浜ゴム株式会社 懸架装置
US7552620B2 (en) * 2006-09-07 2009-06-30 3M Innovative Properties Company Fluid permeation testing method employing mass spectrometry
DE102007059631B4 (de) * 2007-12-10 2009-09-17 Integrated Dynamics Engineering Gmbh Schwingungsisolator zur Verwendung im Vakuum
JP5064316B2 (ja) 2008-07-01 2012-10-31 特許機器株式会社 除振装置
JP5015309B2 (ja) 2009-11-24 2012-08-29 ヤマハ発動機株式会社 車両用油圧式緩衝器
AU2011338574B2 (en) * 2010-12-07 2015-07-09 General Compression, Inc. Compressor and/or expander device with rolling piston seal
US9039217B2 (en) 2011-09-21 2015-05-26 Lg Innotek Co., Ltd. Lighting device
FR2993943B1 (fr) * 2012-07-24 2017-04-28 Peugeot Citroen Automobiles Sa Actionneur pneumatique, en particulier pour la regulation de l'ouverture de la soupape de decharge d'un turbocompresseur
CN103047346B (zh) 2012-12-19 2014-06-11 哈尔滨工业大学 滚动关节轴承角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振系统
EP2759735B1 (de) 2013-01-29 2016-06-15 Integrated Dynamics Engineering GmbH Stationäres Schwingungsisolationssystem sowie Verfahren zur Regelung eines Schwingungsisolationssystems
EP2998611B1 (de) 2014-09-18 2019-07-24 Integrated Dynamics Engineering GmbH Schwingungsisolator mit pneumatischer Feder
EP3181944B1 (de) * 2015-12-16 2023-04-26 Integrated Dynamics Engineering GmbH Schwingungsisolator mit einer vertikal wirksamen pneumatischen feder
EP3260733B1 (de) * 2016-06-23 2019-08-07 Integrated Dynamics Engineering GmbH Aktives stationäres schwingungsisolationssystem

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04244628A (ja) * 1991-01-28 1992-09-01 Kurashiki Kako Co Ltd 空気ばねの制御装置
JPH0642158A (ja) * 1992-04-14 1994-02-15 Takenaka Komuten Co Ltd 免震床の三次元免震装置
JPH10281109A (ja) * 1997-03-31 1998-10-20 Fujikura Rubber Ltd 空気圧シリンダ装置
US6926263B1 (en) * 2001-04-17 2005-08-09 Technical Manufacturing Corporation High center of gravity stable pneumatic isolator
JP2008082382A (ja) * 2006-09-26 2008-04-10 Yokohama Rubber Co Ltd:The 振動伝達抑制装置
US20090283942A1 (en) * 2006-09-26 2009-11-19 The Yokohama Rubber Co., Ltd. Vibration transmission damping apparatus
JP2014194275A (ja) * 2013-01-29 2014-10-09 Integrated Dynamics Engineering Gmbh コイルバネを有する振動絶縁装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018009696A (ja) 2018-01-18
TW201800680A (zh) 2018-01-01
JP6957227B2 (ja) 2021-11-02
KR102453615B1 (ko) 2022-10-12
EP3260732B1 (de) 2019-03-27
TWI742083B (zh) 2021-10-11
US10480609B2 (en) 2019-11-19
EP3260732A1 (de) 2017-12-27
US20170370442A1 (en) 2017-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20180000678A (ko) 능동 방진 시스템 작동 방법 및 공압 액추에이터
JP6862167B2 (ja) 垂直方向に有効な空気ばねを備えた防振装置
KR102462325B1 (ko) 고정식 방진 시스템용 아이솔레이터
US9618076B2 (en) Stationary vibration isolation system and method for controlling a vibration isolation system
JP6308999B2 (ja) 能動的除振システム
JP6599187B2 (ja) 空気ばねを備えた防振装置
JP6352641B2 (ja) コイルバネを有する振動絶縁装置
KR20160132950A (ko) 부하 보상을 가지는 진동 가진기
JP2000249185A (ja) アクティブ型除振装置
JP2014044076A (ja) 振動試験機
KR100811828B1 (ko) Ｍｒ댐퍼를 이용한 고정밀장비 방진용 모션 컨트롤러 및이를 이용한 운동제어시스템
JPS63243595A (ja) 柱部材及びそれにリンク連結された腕部材とを備えた支持装置
JP2001050334A (ja) アクティブ型除振装置
JP2010031982A (ja) 除振機構におけるレベリングユニット
KR20080029074A (ko) 전기액추에이터를 이용한 고정밀장비 운동제어용모션컨트롤러 및 이를 이용한 운동제어시스템
KR20190076086A (ko) 진동 저감이 가능한 퀵 클램프장치
JP4706312B2 (ja) 免震装置、免震システム
KR102098661B1 (ko) 제진장치
KR101362930B1 (ko) 음강성 방진 시스템
JP6097638B2 (ja) 気体ばね式除振装置
KR101832624B1 (ko) 방진 장치
KR20210034581A (ko) 기체스프링식 제진장치
RU2390669C1 (ru) Виброизолирующая система кочетова
RU2385426C1 (ru) Пружинный виброизолятор с маятниковым подвесом
RU2647389C2 (ru) Устройство виброизоляции

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant