KR20170143129A - 전자 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

전자 장치 및 이의 제조 방법은 베이스 부재, 상기 베이스 부재 상에 배치된 단차 패턴, 상기 베이스 부재 상에 배치된 제1 부분 및 상기 단차 패턴 상에 배치된 제1 도전층, 상기 제1 도전층 상에 배치되고 상기 제1 부분을 커버하며 상기 제2 부분을 노출시키는 절연막, 및 상기 절연막 상에 배치되고 평면상에서 상기 제1 도전층과 중첩하는 제2 도전층을 포함한다. 상기 제2 도전층은 상기 제1 부분으로부터 이격되고 상기 제2 부분과 접촉한다.

Description

전자 장치 및 이의 제조 방법{ELECTRONIC DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING OF THE SAME}
본 발명은 전자 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 상세하게는 제조가 용이한 전자 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
전자 장치는 전기적 신호를 인가받아 활성화된다. 전자 장치는 영상을 표시하는 표시 장치나 외부로부터 인가되는 터치를 감지하는 터치 스크린을 포함한다.
전자 장치는 전기적 신호에 의해 활성화되도록 다양한 전극 패턴들을 포함할 수 있다. 전극 패턴들이 활성화된 영역은 정보가 표시되거나 외부로부터 인가되는 터치에 반응한다.
본 발명의 목적은 서로 다른 층상에 배치된 두 도전 패턴들을 용이하게 접속시킬 수 있는 전자 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 감소된 공정 단계들을 포함하는 전자 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 베이스 부재, 단차 패턴, 제1 도전층, 절연막, 및 제2 도전층을 포함할 수 있다.
상기 단차 패턴은 상기 베이스 부재 상에 배치된다. 상기 단차 패턴은 유기물질을 포함할 수 있다.
상기 제1 도전층은 상기 베이스 부재 상에 배치된 제1 부분 및 상기 단차 패턴 상에 배치되고 상기 제1 부분에 연결된 제2 부분을 포함한다.
상기 절연막은 상기 제1 도전층 상에 배치되고 상기 제1 부분을 커버하며, 상기 제2 부분을 노출시킨다. 상기 절연막의 두께는 상기 단차 패턴의 두께 및 상기 제2 부분의 두께의 합과 동일할 수 있다.
상기 제1 도전층의 상기 제2 부분의 상면은 상기 절연막으로부터 노출되며, 상기 제2 부분의 상면과 상기 절연막의 상면은 실질적으로 동일한 평면을 정의할 수 있다.
상기 제1 도전층은 복수의 제1 센서부들, 각각이 상기 복수의 제1 센서부들 사이에 배치되어 인접한 제1 센서부들을 연결하는 복수의 제1 연결부들, 및 상기 복수의 제1 센서부들과 상기 복수의 제1 연결부들과 전기적으로 절연된 복수의 제1 더미 패턴들을 포함할 수 있다.
상기 제2 도전층은 상기 절연막 상에 배치되고, 평면상에서 상기 제1 도전층과 중첩한다. 상기 제2 도전층은 상기 제1 부분으로부터 이격되고 상기 제2 부분과 접촉한다.
상기 제2 도전층은 복수의 제2 센서부들, 각각이 상기 복수의 제2 센서부들 사이에 배치되어 인접한 제2 센서부들을 연결하는 복수의 제2 연결부들, 및 상기 복수의 제2 센서부들과 상기 복수의 제2 연결부들과 전기적으로 절연된 복수의 제2 더미 패턴들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 단차 패턴은 복수로 구비되어 상기 복수의 제1 센서부들에 각각 중첩하여 배치될 수 있다. 상기 제2 부분은 상기 복수의 제1 센서부들에 정의되어 상기 복수의 제2 더미 패턴들과 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 단차 패턴은 복수로 구비되어 상기 복수의 제1 센서부들 및 상기 복수의 제1 더미 패턴들에 각각 중첩하여 배치될 수 있다. 상기 제2 부분은 상기 복수의 제1 센서부들에 정의되어 상기 복수의 제2 더미 패턴들과 연결되고, 상기 복수의 제1 더미 패턴들에 각각 정의되어 상기 복수의 제2 센서부들과 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제2 도전층은 복수의 제1 센서부들, 각각이 상기 복수의 제1 센서부들 사이에 배치되어 인접한 제1 센서부들을 연결하는 복수의 제1 연결부들, 및 상기 복수의 제1 센서부들과 상기 복수의 제1 연결부들과 전기적으로 절연된 복수의 제2 센서부들을 포함할 수 있다.
상기 제1 도전층은 상기 복수의 제1 연결부들에 각각 교차하는 복수의 제2 연결부들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 단차 패턴은 복수로 구비되어 상기 복수의 제1 연결부들에 각각 중첩하여 배치될 수 있다. 상기 제2 부분은 상기 복수의 제2 연결부들에 정의되어 상기 복수의 제2 센서부들에 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 상기 베이스 부재 상에 배치되어 영상을 표시하는 표시층 및 상기 표시층 상에 배치되어 상기 표시층을 커버하는 박막 봉지층을 더 포함할 수 있다. 상기 제1 도전층은 상기 박막 봉지층 상에 배치될 수 있다.
상기 표시층은 제1 전극, 상기 제1 전극의 적어도 일부를 노출시키는 개구부가 정의된 화소 정의막, 상기 개구부에 배치된 발광층, 및 상기 발광층 상에 배치된 제2 전극을 포함한다.
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 각각은 상기 화소 정의막에 중첩하고 상기 개구부에 비 중첩한다. 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 각각은 복수의 메쉬선들을 포함할 수 있다.
상기 제2 부분은 상기 복수의 메쉬선들 중 적어도 하나의 메쉬선을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 상기 화소 정의막에 중첩하는 블랙 매트릭스를 더 포함할 수 있다.
상기 블랙 매트릭스의 일 부분의 일 방향에서의 너비는 상기 화소 정의막 중 상기 일 부분에 중첩하는 부분의 상기 일 방향에서의 너비와 동일할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 단차 패턴은 흑색일 수 있다. 이때, 상기 블랙 매트릭스 중 상기 단차 패턴과 중첩하는 일 부분의 일 방향에서의 너비는 상기 복수의 메쉬선들 중 상기 일 부분에 중첩하는 부분의 상기 일 방향에서의 너비와 동일할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 방법은 베이스 부재를 제공하는 단계, 상기 베이스 부재 상에 단차 패턴을 형성하는 단계, 상기 베이스 부재 상에 위치하는 제1 부분 및 상기 단차 패턴 상에 위치하는 제2 부분을 포함하는 제1 도전층을 형성하는 단계, 상기 베이스 부재 상에 상기 제1 도전층 및 상기 단차 패턴을 커버하는 초기 절연막을 형성하는 단계, 상기 초기 절연막을 식각하여, 상기 제1 부분을 커버하고 상기 제2 부분의 상면을 노출시키는 절연막을 형성하는 단계, 및 상기 절연막 및 상기 제1 도전층 상에 제2 도전층을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 초기 절연막을 식각하는 공정은 건식 식각 공정이다.
상기 절연막의 두께는 상기 단차 패턴의 두께 및 상기 단차 패턴 상에 위치하는 상기 제1 도전층의 두께의 합과 동일하며, 상기 단차 패턴 상에 위치하는 상기 제1 도전층의 상기 상면은 상기 절연막의 상면과 동일한 평면 상에 위치할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 서로 다른 층상에 배치된 두 도전 패턴들을 용이하게 접속시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 방법은 제조 공정을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 평면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 도 2에 도시된 전자 장치의 일부 구성들을 각각 도시한 평면도들이다.
도 4는 도 3a 내지 도 3d에 도시된 I-I' 및 II-II' 선에 따른 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 평면도이다.
도 6은 도 5의 III-III'선에 따른 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치를 도시한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부를 간략히 도시한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부를 간략히 도시한 단면도이다.
도 10a 내지 도 10f는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 방법을 순차적으로 도시한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예를 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 다수의 표현을 포함한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 평면도이다.
도 1에 도시된 것과 같이, 전자 장치(1000)는 외부에서 인가되는 터치를 감지한다. 예를 들어, 전자 장치(1000)는 터치 스크린 또는 터치 가능한 표시 장치일 수 있다.
한편, 외부에서 인가되는 터치는 다양한 방식으로 제공될 수 있다. 도 1에는 사용자의 손과 같은 신체의 일부가 전자 장치(1000)에 근접하거나 접촉하는 상태를 터치로 감지하는 실시예를 도시하였다.
다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 전자 장치(1000)는 스타일러스 펜과 같은 무체물의 일부가 근접하거나 접촉하는 상태를 터치로 감지할 수도 있다. 또한, 전자 장치(1000)는 광학식, 접촉식, 열감지식, 또는 자기식을 포함하는 다양한 방식을 통해 제공되는 외부 터치를 감지할 수 있다.
전자 장치(1000)는 평면상에서 액티브 영역(AA) 및 주변 영역(NAA)으로 구분될 수 있다. 액티브 영역(AA)은 전기적 신호가 인가되면 외부 터치를 감지할 수 있도록 활성화된다.
본 실시예에서, 액티브 영역(AA)은 상대적으로 전자 장치(1000)의 중심에 치우치도록 정의된다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 전자 장치(1000)의 사용 형태에 따라 전자 장치(1000)의 외곽이나 일측에 치우치도록 정의될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예에 한정되지 않는다.
주변 영역(NAA)은 액티브 영역(AA)에 인접하여 정의된다. 전자 장치(1000)는 주변 영역(NAA)에 인가되는 외부 터치를 감지하지 않는다.
도 1에는 주변 영역(NAA)이 액티브 영역(AA)을 에워싸는 프레임 형상으로 정의된 실시예를 예시적으로 도시하였다. 한편, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 주변 영역(NAA)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(1000)의 제1 방향(DR1) 및 제1 방향(DR1)에 교차하는 제2 방향(DR2)에 의해 정의되는 전면이 전체적으로 액티브 영역(AA)으로 정의될 수도 있으며, 이때 주변 영역(NAA)은 생략될 수도 있다.
전자 장치(1000)는 베이스 부재(100) 및 터치 부재(200)를 포함한다. 베이스 부재(100)는 터치 부재(200)가 배치되기 위한 기저층일 수 있다.
예를 들어, 베이스 부재(100)는 유리, 고분자 수지 등과 같은 절연성 재료로 이루어진 절연 기판 또는 절연 필름일 수 있다. 베이스 부재(100)가 절연 기판인 경우, 전자 장치(1000)는 향상된 강성을 가질 수 있다. 또는, 베이스 부재(100)가 절연 필름인 경우, 전자 장치(1000)는 향상된 유연성을 가질 수 있다.
한편, 베이스 부재(100)는 복수의 유기막들 및/또는 무기막들이 적층된 박막층일 수 있다. 이때, 전자 장치(1000)는 슬림한 장치로 구현될 수 있다.
다만, 이는 예시적으로 기재한 것이고, 본 발명에 따른 베이스 부재(100)는 다양한 실시예들을 포함할 수 있으며, 어느 하나의 실시예에 한정되지 않는다.
터치 부재(200)는 베이스 부재(100)의 일면 상에 배치된다. 도 1에는 터치 부재(200)가 베이스 부재(100)의 상면에 배치된 실시예를 도시하였으나, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 부재(200)는 베이스 부재(100)의 하면에 배치될 수도 있다.
외부에서 인가된 터치는 실질적으로 터치 부재(200)에 의해 감지될 수 있다. 도 2에 도시된 것과 같이, 터치 부재(200)는 복수의 제1 전극들(TE1), 복수의 제2 전극들(TE2), 복수의 제1 배선들(WP1), 복수의 제2 배선들(WP2), 복수의 제1 패드들(PD1), 및 복수의 제2 패드들(PD2)을 포함할 수 있다.
한편, 도 2에서는 용이한 설명을 위해 복수의 제1 전극들(TE1), 복수의 제2 전극들(TE2), 복수의 제1 배선들(WP1), 복수의 제2 배선들(WP2), 복수의 제1 패드들(PD1), 및 복수의 제2 패드들(PD2)이 하나의 층상에 배치된 것처럼 도시하였으나, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 각 구성들은 서로 다른 층상에 배치될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예에 한정되지 않는다.
복수의 제1 전극들(TE1)과 복수의 제2 전극들(TE2)은 액티브 영역(AA)에 배치된다. 한편, 본 실시예에 따른 전자 장치(1000)는 복수의 제1 전극들(TE1)과 복수의 제2 전극들(TE2)을 전기적으로 절연시키는 절연막(ILD)을 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 복수의 제1 전극들(TE1)은 센싱 신호를 출력하고, 복수의 제2 전극들(TE2)은 구동 신호를 수신할 수 있다. 이때, 전자 장치(1000)는 복수의 제2 전극들(TE2)에 구동 신호를 인가하여 액티브 영역(AA)을 스캔하고, 복수의 제1 전극들(TE1)로부터 출력되는 센싱 신호를 통해 터치가 인가된 영역을 감지할 수 있다.
한편, 이는 예시적으로 기재한 것이고, 복수의 제1 전극들(TE1)이 구동 신호를 수신하고 복수의 제2 전극들(TE2)이 센싱 신호를 출력할 수도 있으며, 다른 전기적 신호들을 추가적으로 수신하거나 출력할 수도 있다.
복수의 제1 전극들(TE1)은 제1 방향(DR1)을 따라 연장되고, 제2 방향(DR2)을 따라 배열된다.
복수의 제1 전극들(TE1) 각각은 복수의 제1 센서부들(SP1) 및 복수의 제1 연결부들(CP1)을 포함한다. 복수의 제1 센서부들(SP1)은 제1 방향(DR1)을 따라 배열되고, 복수의 제1 연결부들(CP1)은 복수의 제1 센서부들(SP1)을 각각 연결한다.
복수의 제2 전극들(TE2)은 제2 방향(DR2)을 따라 연장되고, 제1 방향(DR1)을 따라 배열된다. 복수의 제2 전극들(TE2) 각각은 복수의 제2 센서부들(SP2) 및 복수의 제2 연결부들(CP2)을 포함한다. 복수의 제2 센서부들(SP2)은 제2 방향(DR2)을 따라 배열되고, 복수의 제2 연결부들(CP2)은 복수의 제2 센서부들(SP2)을 각각 연결한다.
본 실시예에서, 복수의 제1 센서부들(SP1)과 복수의 제2 센서부들(SP2) 각각은 복수의 메쉬선들(MSL)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 복수의 제1 전극들(TE1) 및 복수의 제2 전극들(TE2)은 향상된 유연성을 가지게 되어 전자 장치(1000)의 폴딩 특성이 향상될 수 있다.
한편, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 복수의 제1 센서부들(SP1)과 복수의 제2 센서부들(SP2) 각각은 메쉬(mesh) 구조가 아닌 벌크(bulk) 구조를 가질 수도 있다.
복수의 제1 배선들(WP1) 및 복수의 제2 배선들(WP2)은 주변 영역(NAA)에 배치된다. 복수의 제1 배선들(WP1)은 복수의 제1 전극들(TE1)에 각각 연결되고, 복수의 제2 배선들(WP2)은 복수의 제2 전극들(TE2)에 각각 연결된다.
복수의 제1 패드들(PD1) 및 복수의 제2 패드들(PD2)은 주변 영역(NAA)에 배치된다. 복수의 제1 패드들(PD1) 및 복수의 제2 패드들(PD2)은 복수의 제1 배선들(WP1) 및 복수의 제2 배선들(WP2)에 각각 연결된다.
전자 장치(1000)는 복수의 제1 패드들(PD1) 및 복수의 제2 패드들(PD2)을 통해 외부 전원으로부터 전원 전압을 수신하거나, 복수의 제1 패드들(PD1) 및 복수의 제2 패드들(PD2)을 통해 액티브 영역(AA)에서 감지된 외부 터치에 대응하는 신호를 외부로 출력한다.
한편, 본 실시예에서, 복수의 제1 패드들(PD1)과 복수의 제2 패드들(PD2)은 순차적으로 정렬되도록 도시되었으나, 복수의 제1 패드들(PD1) 및 복수의 제2 패드들(PD2)은 서로 교번하여 배치되거나 부분적으로 분리되어 배치될 수도 있으며, 어느 하나의 배치방식에 한정되지 않는다.
터치 부재(200)는 복수의 제1 전극들(TE1)과 복수의 제2 전극들(TE2) 사이의 정전 용량 커플링을 통해 외부 터치를 감지하는 정전 용량 방식으로 동작할 수 있다. 한편, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 터치 부재(200)는 저항막 방식, 광학 방식, 초음파 방식, 또는 좌표 인식 방식 등 다양한 방식을 통해 외부 터치를 감지할 수 있으며, 이에 대응되는 전극 구조를 가질 수 있다.
도 3a 내지 도 3d는 도 2에 도시된 전자 장치의 일부 구성들을 각각 도시한 평면도들이다. 도 4는 도 3a 내지 도 3d에 도시된 I-I' 및 II-II' 선에 따른 단면도이다.
도 3a 및 도 3b에는 베이스 부재(100) 상에 배치된 구성들을 도시하였고, 도 3c에는 절연막(ILD)을 도시하였으며, 도 3d에는 절연막 (ILD) 상에 배치된 구성들을 도시하였다. 한편, 도 3a 내지 도 3c에서 용이한 설명을 위해 베이스 부재(100)를 점선으로 도시하였다.
도 3a 내지 도 4에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 전자 장치(1000)는 베이스 부재(100), 복수의 단차 패턴들(ST), 제1 도전층(CL1), 절연막(ILD), 및 제2 도전층(CL2)을 포함한다. 제1 도전층(CL1)은 베이스 부재(100)와 절연막(ILD) 사이에 위치하며, 제2 도전층(CL2)은 절연막(ILD) 상에 배치된다.
본 실시예에서, 제1 도전층(CL1), 절연막(ILD), 및 제2 도전층(CL2)은 상측 방향(이하, 제3 방향(DR3))으로 순차적으로 적층될 수 있다.
도 3a를 참조하면, 복수의 단차 패턴들(ST)은 베이스 부재(100) 상에 배치된다. 복수의 단차 패턴들(ST)은 액티브 영역(AA)에 배치된다. 복수의 단차 패턴들(ST)은 서로 이격되어 배열될 수 있다.
복수의 단차 패턴들(ST)은 후술할 제1 도전층(CL1)에 부분적으로 중첩한다. 또한, 복수의 단차 패턴들(ST)은 후술할 복수의 개구 영역(OA)에 대응되도록 배치된다.
복수의 단차 패턴들(ST)은 유기물질을 포함할 수 있다. 복수의 단차 패턴들(ST)은 투명할 수 있다. 그러나, 복수의 단차 패턴들(ST)은 예를 들어, 흑색일 수 있으며, 어느 하나에 한정되지 않는다.
도 3b에 도시된 것과 같이, 베이스 부재(100) 상에는 제1 도전층(CL1)이 배치될 수 있다. 제1 도전층(CL1)은 액티브 영역(AA) 내에 배치된다. 도 4에서는 복수의 단차 패턴들(ST) 중 하나의 단차 패턴(ST-A)을 기준으로 도시하였다.
이때, 도 3b 및 도 4를 참조하면, 제1 도전층(CL1)은 단차 패턴(ST-A)과 비 중첩하는 제1 부분(P1) 및 단차 패턴(ST-A)과 중첩하는 제2 부분(P2)을 포함할 수 있다. 제1 부분(P1) 및 제2 부분(P2)은 서로 연결되어 하나의 도전 패턴을 정의할 수 있다.
제2 부분(P2)은 복수의 단차 패턴들(ST) 상에 배치된다. 즉, 제1 부분(P1)은 복수의 단차 패턴들(ST)과 동일한 층상에 배치되고, 제2 부분(P2)은 복수의 단차 패턴들(ST) 상에 배치될 수 있다. 본 실시예에 따른 제1 도전층(CL1)은 복수의 단차 패턴들(ST)에 의해 서로 상이한 층상에 배치되는 제1 부분(P1) 및 제2 부분(P2)으로 구분될 수 있다.
제1 도전층(CL1)은 복수의 제1 센서부들(SP1), 복수의 제1 연결부들(CP1), 및 복수의 제1 더미 패턴들(DP1)을 포함할 수 있다. 복수의 제1 센서부들(SP1) 및 복수의 제1 연결부들(CP1)은 서로 연결되어 제1 전극(TE1)을 구성한다.
복수의 제1 더미 패턴들(DP1)은 복수의 제1 센서부들(SP1) 및 복수의 제1 연결부들(CP1)로부터 이격되어 배치되며 전기적으로 절연된다. 복수의 제1 더미 패턴들(DP1)은 복수의 제1 센서부들(SP1)과 교번하여 배치될 수 있다.
한편, 본 실시예에서, 제1 도전층(CL1)은 복수의 제1 메쉬선들(MSL1)을 포함할 수 있다. 복수의 제1 센서부들(SP1), 복수의 제1 연결부들(CP1), 및 복수의 제1 더미 패턴들(DP1) 각각은 복수의 제1 메쉬선들(MSL1)로 구성될 수 있다.
제2 부분(P2)은 적어도 하나의 메쉬선으로 구성될 수 있다. 평면상에서의 제2 부분(P2)의 면적은 단차 패턴(ST-A)에 따라 달라질 수 있다.
도 3c에 도시된 것과 같이, 절연막(ILD)은 베이스 부재(100) 상에 배치되어 복수의 제1 센서부들(SP1), 복수의 제1 연결부들(CP1), 및 복수의 제1 더미 패턴들(DP1)을 커버한다. 절연막(ILD)은 투명한 절연 물질을 포함할 수 있다.
예를 들어, 절연막(ILD)은 유기 물질을 포함할 수 있다. 이때, 절연막(ILD)은 제1 도전층(CL1)의 상측에 평탄면을 제공한다. 또는, 본 발명의 일 실시예에서 절연막(ILD)은 유기막 및 무기막의 혼합층일 수도 있다.
절연막(ILD)은 액티브 영역(AA) 및 주변 영역(NAA)에 중첩하는 일체의 형상을 가질 수 있다. 절연막(ILD)에는 복수의 개구 영역들(OA)이 정의될 수 있다. 복수의 개구 영역들(OA)은 액티브 영역(AA) 내에 정의된다.
본 실시예에서, 복수의 개구 영역들(OA)은 복수의 제1 더미 패턴들(DP1) 및 복수의 제1 센서부들(SP1)에 각각 대응되도록 배열된다. 한편, 이는 예시적으로 도시된 것이고, 복수의 제1 더미 패턴들(DP1) 중 하나의 제1 더미 패턴 또는 복수의 제1 센서부들(SP1) 중 하나의 제1 센서부 각각에 복수의 개구 영역들(OA)이 대응될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예에 한정되지 않는다.
절연막(ILD)은 복수의 개구 영역들(OA)을 통해 제1 도전층(CL1)을 부분적으로 노출시킨다. 도 4에 도시된 것과 같이, 제1 부분(P1)의 상면은 절연막(ILD)에 의해 완전히 커버된다.
이와 달리, 제2 부분(P2)의 상면은 절연막(ILD)에 의해 커버되지 않고 노출될 수 있다. 제2 부분(P2)의 상면과 절연막(ILD)의 상면은 실질적으로 동일한 평면을 정의할 수 있다. 이때, 제2 부분(P2)의 측면은 절연막(ILD)에 의해 완전히 커버된다.
도 3d에 도시된 것과 같이, 절연막(ILD) 상에는 제2 도전층(CL2)이 배치될 수 있다. 제2 도전층(CL2)은 액티브 영역(AA) 및 주변 영역(NAA)에 배치될 수 있다.
제2 도전층(CL2)은 액티브 영역(AA) 내에 배치된 복수의 제2 센서부들(SP2), 복수의 제2 연결부들(CP2), 및 복수의 제2 더미 패턴들(DP2)을 포함할 수 있다. 복수의 제2 센서부들(SP2) 및 복수의 제2 연결부들(CP2)은 서로 연결되어 제2 전극(TE2)을 구성한다.
복수의 제2 센서부들(SP2)은 복수의 제1 더미 패턴들(DP1)과 평면상에서 중첩한다. 복수의 제2 더미 패턴들(DP2)은 복수의 제2 센서부들(SP2) 및 복수의 제2 연결부들(CP2)로부터 이격되어 배치되며 전기적으로 절연된다.
복수의 제2 더미 패턴들(DP2)은 복수의 제2 센서부들(SP2)과 교번하여 배치될 수 있다. 복수의 제2 더미 패턴들(DP2)은 복수의 제1 센서부들(SP1)과 평면상에서 중첩한다.
한편, 본 실시예에서, 제2 도전층(CL2)은 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)을 포함할 수 있다. 복수의 제2 센서부들(SP2), 복수의 제2 연결부들(CP2), 및 복수의 제2 더미 패턴들(DP2) 각각은 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)로 구성될 수 있다. 그러나, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 복수의 제2 센서부들(SP2), 복수의 제2 연결부들(CP2), 및 복수의 제2 더미 패턴들(DP2) 각각은 메쉬(mesh) 구조가 아닌 벌크(bulk) 구조를 가질 수도 있다.
제2 도전층(CL2)은 주변 영역(NAA)에 배치된 복수의 제1 배선들(WP1), 복수의 제2 배선들(WP2), 제1 패드(PD1), 및 제2 패드(PD2)를 더 포함할 수 있다.
도 3d 및 도 4를 참조하면, 복수의 제2 더미 패턴들(DP2)은 복수의 개구 영역들(OA)과 중첩한다. 이때, 복수의 제2 더미 패턴들(DP2)은 복수의 개구 영역들(OA)에 의해 노출되는 제2 부분(P2)과 접촉할 수 있다. 복수의 제2 더미 패턴들(DP2)은 제2 부분(P2)에 접속되어 복수의 제1 센서부들(SP1)에 각각 연결될 수 있다.
마찬가지로, 복수의 제1 더미 패턴들(DP1)은 복수의 개구 영역들(OA)과 중첩한다. 이때, 복수의 제1 더미 패턴들(DP1)은 복수의 개구 영역들(OA)에 의해 노출되는 제2 부분(P2)과 접촉할 수 있다. 복수의 제1 더미 패턴들(DP1)은 제2 부분(P2)에 접속되어 복수의 제2 센서부들(SP2)에 각각 연결될 수 있다.
복수의 제1 배선들(WP1), 복수의 제2 배선들(WP2), 복수의 제1 패드들(PD1), 및 복수의 제2 패드들(PD2)는 절연막(ILD) 상에 배치될 수 있다. 복수의 제1 배선들(WP1)은 복수의 제1 패드들(PD1)과 복수의 제2 더미 패턴들(DP2)을 연결하고, 복수의 제2 배선들(WP2)은 복수의 제2 패드들(PD2)과 복수의 제1 센서부들(SP1)을 연결한다.
본 실시예에서, 복수의 제1 패드들(PD1)은 복수의 제1 센서부들(SP1)을 구성하는 복수의 제1 메쉬선들(MSL1)과 다른 층상에 배치될 수 있다. 복수의 제2 더미 패턴들(DP2)이 복수의 제1 센서부들(SP1)과 전기적으로 연결되므로, 복수의 제1 패드들(PD1)에 제공되는 전기적 신호들은 복수의 제1 센서부들(SP1)에 용이하게 제공될 수 있다.
이에 따라, 복수의 제1 배선들(WP1), 복수의 제2 배선들(WP2), 복수의 제1 패드들(PD1), 및 복수의 제2 패드들(PD2)이 모두 동일한 층상에 배치될 수 있다.
한편, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 복수의 제1 배선들(WP1), 복수의 제2 배선들(WP2), 복수의 제1 패드들(PD1), 및 복수의 제2 패드들(PD2)은 서로 다른 층상에 배치될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예에 한정되지 않는다.
도 4에 도시된 것과 같이, 제1 부분(P1)은 절연막(ILD)을 사이에 두고 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)과 이격된다. 제2 부분(P2)은 복수의 제2 메쉬선들(MSL2) 중 제2 부분(P2)에 대응되는 제2 메쉬선과 직접 접촉한다. 절연막(ILD)의 두께는 단차 패턴(ST-A)의 두께와 제2 부분(P2)의 두께의 합과 같다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(1000)는 절연막(ILD)의 두께를 단차 패턴(ST-A)의 두께와 제2 부분(P2)의 두께의 합과 같게 형성함에 따라, 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)과 제2 부분(P2) 이 직접 접촉될 수 있다. 이에, 컨택홀(contact hole) 없이도 서로 다른 층상에 배치된 두 도전 패턴들을 접속시키는 것이 가능하다.
도 5는 일 실시예에 따른 전자 장치의 평면도이고, 도 6은 도 5의 III-III'선에 따른 단면도이다. 이하, 도 5 및 도 6을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(1000-1)에 대해 설명한다. 설명의 편의를 위해, 도 1 내지 도 4에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략한다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 베이스 부재(100) 상에는 복수의 단차 패턴들(ST)이 배치된다. 베이스 부재(100) 및 복수의 단차 패턴들(ST) 상에는 제1 도전층(CL1)이 배치될 수 있다.
제1 도전층(CL1)은 복수의 제2 연결부들(CP2-1)을 포함하고, 복수의 제2 연결부들(CP2-1) 각각은 복수의 제1 메쉬선들(MSL1)로 구성될 수 있다.
복수의 제1 메쉬선들(MSL1)은 베이스 부재(100) 상에 배치된 제1 부분(P1) 및 단차 패턴들(ST) 상에 배치된 제2 부분(P2)을 포함한다. 복수의 제1 메쉬선들(MSL1) 상에는 제1 부분(P1)을 커버하며 제2 부분(P2)을 노출시키는 절연막(ILD)이 배치된다.
절연막(ILD) 상에는 제2 도전층(CL2)이 배치된다. 제2 도전층(CL2)은 복수의 제1 센서부들(SP1-1), 복수의 제1 연결부들(CP1-1), 및 복수의 제2 센서부들(SP2-1)을 포함할 수 있다. 제2 도전층(CL2)은 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)로 구성될 수 있다.
제1 부분(P1)은 절연막(ILD)을 사이에 두고 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)과 이격된다. 제2 부분(P2)은 복수의 제2 메쉬선들(MSL2) 중 제2 부분(P2)에 대응되는 제2 메쉬선과 직접 접촉한다. 절연막(ILD)의 두께는 단차 패턴(ST-A)의 두께와 제2 부분(P2)의 두께의 합과 같다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치를 도시한 단면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부를 간략히 도시한 단면도이다. 한편, 설명의 편의를 위해, 도 1 내지 도 6에서 설명한 구성들과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략한다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(1001)는 영상을 표시하는 터치 스크린 패널일 수 있다. 전자 장치(1001)는 전기적 신호를 인가받아 영상을 표시하는 복수의 화소들이 배치된 표시층(DPL)을 포함할 수 있다.
도 7 및 도 8에 도시된 것과 같이, 전자 장치(1001)는 베이스 층(BSL), 표시층(DPL), 박막 봉지층(TFE), 및 감지층(TSL)을 포함할 수 있다.
베이스 층(BSL)은 유연한 절연 물질로 구성될 수 있다. 이때, 베이스 층(BSL)은 도 1에 도시된 전자 장치(1000)의 베이스 부재(100)와 대응될 수 있다.
도시되지 않았으나, 베이스 층(BSL)은 복수의 절연층들 및 복수의 도전층들을 포함할 수 있다. 복수의 도전층들 및 복수의 절연층들은 표시 소자(DEM)에 연결된 박막 트랜지스터 및 커패시터를 구성할 수 있다.
표시층(DPL)은 베이스 층(BSL)과 감지층(TSL) 사이에 배치될 수 있다. 표시층(DPL)은 전면 발광, 배면 발광, 또는 양면 발광 방식으로 구동될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
표시층(DPL)은 표시 소자(DEM) 및 화소 정의막(PDL)을 포함할 수 있다.
표시 소자(DEM)는 베이스 층(BSL) 상에 배치된다. 표시 소자(DEM)는 박막 트랜지스터 및 커패시터를 통해 전달된 전기적 신호에 따라 광을 표시하여 영상을 구현한다.
표시 소자(DEM)는 다양한 실시예들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 표시 소자(DEM)는 전기 영동 소자, 액정 커패시터, 전기 습윤 소자, 또는 유기발광소자일 수 있다. 본 실시예에서, 표시 소자(DEM)는 유기발광소자인 실시예를 예시적으로 설명한다.
화소 정의막(PDL)은 베이스 층(BSL) 상에 배치된다. 화소 정의막(PDL)에는 소정의 개구부들(OP)이 정의된다.
본 실시예에서, 개구부들(OP) 각각은 제1 전극(EL1)의 일부를 노출시키고 화소 정의막(PDL)에 의해 에워싸인 빈 공간을 정의한다. 개구부들(OP)은 하나의 표시 소자(DEM)가 구획되는 영역을 정의할 수 있다.
표시 소자(DEM)는 제1 전극(EL1), 발광층(EML), 및 제2 전극(EL2)을 포함한다. 표시 소자(DEM)는 제1 전극(EL1) 및 제2 전극(EL2) 사이의 전위차에 따라 발광층(EML)을 활성화시켜 광을 생성할 수 있다.
박막 봉지층(TFE)은 표시층(DPL) 및 감지층(TSL) 사이에 배치될 수 있다. 박막 봉지층(TFE)은 복수의 유기막 및/또는 무기막이 적층된 구조를 가질 수 있다. 박막 봉지층(TFE)은 표시층(DPL)을 밀봉하여 표시층(DPL)에 외부 수분 등이 침입하는 문제를 방지할 수 있다.
이때, 감지층(TSL)은 박막 봉지층(TFE) 상에 직접 배치될 수 있다. 이에 따라, 전자 장치(1001)는 슬림(slim)한 두께를 가질 수 있어 휴대성이나 폴딩 동작에 유리할 수 있다.
감지층(TSL)은 외부에서 인가되는 터치를 감지한다. 감지층(TSL)은 도 1에 도시된 전자 장치(1000)의 터치 부재(200)와 대응될 수 있다.
복수의 제1 메쉬선들(MSL1) 및 단차 패턴(ST-A)은 박막 봉지층(TFE) 상에 배치된다. 단차 패턴(ST-A)은 투명한 유기물질을 포함할 수 있다. 단차 패턴(ST-A)은 화소 정의막(PDL)에 중첩한다. 제1 방향(DR1) 및/또는 제2 방향(DR2)에 교차하는 일 방향에서의 단차 패턴(ST-A)의 너비(S-W)는 화소 정의막(PDL)의 일 방향에서의 너비보다 작게 제공될 수 있다.
한편, 도시되지 않았으나, 전자 장치(1001)는 박막 봉지층 및 복수의 제1 메쉬선들(MSL1) 사이에 배치된 컬러 필터층을 더 포함할 수 있다.
복수의 제1 메쉬선들(MSL1) 및 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)은 화소 정의막(PDL)에 중첩하고, 발광층(EML)에 비 중첩하도록 배치된다. 이에 따라, 복수의 제1 메쉬선들(MSL1) 및 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)에 의해 전자 장치(1001)의 표시 특성에 미치는 영향을 감소시킬 수 있다. 또한, 복수의 제1 메쉬선들(MSL1) 및 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)을 불투명한 물질로 구성할 수 있어, 복수의 제1 메쉬선들(MSL1) 및 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)의 재료 선택 자유도가 클 수 있다.
한편, 전자 장치(1001)는 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)을 커버하는 패시베이션막(passivation layer, PVL)을 더 포함할 수 있다. 패시베이션막(PVL)은 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)을 보호한다.
또한, 패시베이션막(PVL) 상에는 블랙 매트릭스(BM)가 배치될 수 있다. 블랙 매트릭스(BM)는 화소 정의막(PDL)에 중첩하도록 배치된다. 블랙 매트릭스(BM)는 화소 정의막(PDL)과 전면적으로 중첩될 수 있다. 즉, 제1 방향(DR1) 및/또는 제2 방향(DR2)에 교차하는 일 방향에서의 블랙 매트릭스(BM)의 너비(B-W)는 동일 방향에서의 화소 정의막(PDL)의 너비와 동일하게 제공될 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부를 간략히 도시한 단면도이다. 한편, 도 9에 도시된 전자 장치(1001-1)는 단차 패턴(ST-A) 및 블랙 매트릭스(BM)를 제외하고 실질적으로 도 8a에 도시된 전자 장치(1001)와 동일할 수 있다. 이하, 도 8a에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략한다.
도 9에 도시된 것과 같이, 단차 패턴(ST-A1)은 흑색일 수 있다. 단차 패턴(ST-A1)은 화소 정의막(PDL)에 전면적으로 중첩할 수 있다. 제1 방향(DR1) 및/또는 제2 방향(DR2)에 교차하는 일 방향에서의 단차 패턴(ST-A1)의 너비(S-W)는 화소 정의막(PDL)의 일 방향에서의 너비와 동일할 수 있다. 이에, 단차 패턴(ST-A1)은 단차 패턴(ST-A1) 하부에 위치하는 화소 정의막(PDL)이 외부에서 시인되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 단차 패턴(ST-A1)은 표시 소자(DEM)로부터 생성된 광 중 개구부들(OP)을 통해 출사되지 못하고 개구부들(OP) 주변으로 출사되는 광이 외부로 새어나가는 것을 차단할 수 있다.
블랙 매트릭스(BM-1)는 화소 정의막(PDL)에 중첩하도록 배치된다. 블랙 매트릭스(BM-1)는 단차 패턴(ST-A1)과 중첩되는 제1 블랙 매트릭스(BM-11)와 단차 패턴(ST-A1)과 비 중첩되는 제2 블랙 매트릭스(BM-12)로 구분될 수 있다.
제1 블랙 매트릭스(BM-11)는 복수의 제2 메쉬선들(MSL2) 중 단차 패턴(ST-A1) 상에 배치된 제2 메쉬선에 전면적으로 중첩될 수 있다. 이에, 제1 블랙 매트릭스(BM-11)는 복수의 제2 메쉬선들(MSL2) 중 단차 패턴(ST-A1) 상에 배치된 제2 메쉬선이 외부에서 시인되는 것을 방지할 수 있다. 일 방향에서의 제1 블랙 매트릭스(BM-11)의 너비(B1-W)는 복수의 제2 메쉬선들(MSL2) 중 단차 패턴(ST-A1) 상에 배치된 제2 메쉬선의 일 방향에서의 너비(M-W)와 동일할 수 있다.
제2 블랙 매트릭스(BM-12)는 제2 블랙 매트릭스(BM-1) 하부에 배치된 화소 정의막(PDL)과 전면적으로 중첩할 수 있다.
도 10a 내지 도 10f는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 방법을 순차적으로 도시한 단면도이다. 이하, 도면들을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(1000)의 제조 방법에 대해 설명한다. 설명의 편의를 위해, 앞서 설명된 구성 요소들에 대해서는 도면 부호를 병기하고, 구성 요소들에 대한 중복된 설명은 생략한다.
도 10a에 도시된 것과 같이, 제공된 베이스 부재(100) 상에 단차 패턴(ST-A)을 형성한다. 단차 패턴(ST-A)은 유기 물질로 형성된 층을 패터닝하여 형성할 수 있다.
이후, 도 10b에 도시된 것과 같이, 베이스 부재(100) 및 단차 패턴(ST-A) 상에 복수의 제1 메쉬선들(MSL1)로 구성된 제1 도전층(CL1)을 형성한다. 복수의 제1 메쉬선들(MSL1)은 도전층을 패터닝하여 형성할 수 있다. 이때, 제1 부분(P1)과 제2 부분(P2)은 동시에 형성될 수 있다.
단차 패턴(ST-A)의 두께는 제1 부분(P1)의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다. 단차 패턴(ST-A)의 면적은 제2 부분(P2)의 면적보다 크게 형성될 수 있다.
이후, 도 10c에 도시된 것과 같이, 베이스 부재(100) 상에 복수의 제1 메쉬선들(MSL1) 및 단차 패턴(ST-A)을 커버하는 초기 절연막(P-ILD)을 형성한다. 초기 절연막(P-ILD)은 제1 부분(P1) 및 제2 부분(P2)을 모두 커버한다.
초기 절연막(P-ILD)의 두께는 복수의 제1 메쉬선들(MSL1) 중 어느 하나의 제1 메쉬선의 두께 및 단차 패턴(ST-A)의 두께의 합보다 크게 형성된다.
이후, 도 10d 및 도 10e에 도시된 것과 같이, 초기 절연막(P-ILD)을 식각하여 절연막(ILD)을 형성한다. 절연막(ILD)은 건식 식각 공정에 의해 형성될 수 있다. 이에 따라, 제공되는 식각 물질은 가스(gas) 상태로 제공된다.
초기 절연막(P-ILD)은 복수의 제1 메쉬선들(MSL1) 중 제2 부분(P2)의 상면(P2-U)의 적어도 일부가 노출될 때까지 식각될 수 있다.
절연막(ILD)은 적어도 제1 부분(P1)을 커버하고 제2 부분(P2)을 노출시키는 두께를 가질 수 있다. 예를 들어, 절연막(ILD)의 두께는 단차 패턴(ST-A)의 두께보다 두껍고, 단차 패턴(ST-A)의 두께 및 제2 부분(P2)의 두께의 합보다 얇을 수 있다.
본 실시예에서, 절연막(ILD)이 단차 패턴(ST-A)의 두께 및 제2 부분(P2)의 두께의 합과 실질적으로 동일한 두께를 갖는 것을 예시적으로 도시하였다. 이에 따라, 이때, 제2 부분(P2)의 상면(P2-U)은 절연막(ILD)의 상면(ILD-U)과 동일한 평면을 정의할 수 있다.
이후, 도 10f에 도시된 것과 같이, 절연막(ILD) 및 복수의 제1 메쉬선들(MSL1) 상에 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)로 구성된 제2 도전층(CL2)을 형성한다. 복수의 제2 메쉬선들(MSL2) 중 제1 부분(P1)에 대응되는 제2 메쉬선들은 절연막(ILD) 상면(ILD-U)에 형성된다. 제2 메쉬선들(MSL2) 중 제2 부분(P2)에 대응되는 제2 메쉬선들은 제2 부분(P2)의 상면(P2-U)에 형성된다.
제1 패드(PD1)는 절연막(ILD)의 상면(ILD-U) 상에 복수의 제2 메쉬선들(MSL2)과 동시에 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 방법은 절연막(ILD)에 컨택홀을 형성하지 않더라도 제1 도전층(CL1)과 제2 도전층(CL2)을 용이하게 접속시킬 수 있다. 이에 따르면, 컨택홀 형성을 위한 별도의 포토 리소그래피 공정 없이, 식각 공정만으로 제1 도전층(CL1)과 제2 도전층(CL2)의 접속이 가능하다.
식각 공정을 통해 노출된 제2 부분(P2)과 이에 대응되는 복수의 제2 메쉬선들(MSL2) 을 접촉시킴으로써, 전자 장치(1000)를 제조할 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 방법에 따르면 공정 시간 및 비용이 절감될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 기준하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
1000: 전자 장치 100: 베이스 부재
ILD: 절연막 ST: 단차 패턴들
MSL1: 제1 메쉬선 MSL2: 제2 메쉬선
P1: 제1 부분 P2: 제2 부분
DPL: 표시층 TFE: 박막 봉지층
TSL: 감지층

Claims (20)

  1. 베이스 부재;
    상기 베이스 부재 상에 배치된 단차 패턴;
    상기 베이스 부재 상에 배치된 제1 부분 및 상기 단차 패턴 상에 배치되고 상기 제1 부분에 연결된 제2 부분을 포함하는 제1 도전층;
    상기 제1 도전층 상에 배치되고 상기 제1 부분을 커버하며, 상기 제2 부분을 노출시키는 절연막; 및
    상기 절연막 상에 배치되고, 평면상에서 상기 제1 도전층과 중첩하는 제2 도전층을 포함하고,
    상기 제2 도전층은 상기 제1 부분으로부터 이격되고 상기 제2 부분과 접촉하는 전자 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 절연막의 두께는 상기 단차 패턴의 두께 및 상기 제2 부분의 두께의 합과 동일한 전자 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 도전층의 상기 제2 부분의 상면은 상기 절연막으로부터 노출되며, 상기 제2 부분의 상면과 상기 절연막의 상면은 실질적으로 동일한 평면을 정의하는 전자 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 도전층은 복수의 제1 센서부들, 각각이 상기 복수의 제1 센서부들 사이에 배치되어 인접한 제1 센서부들을 연결하는 복수의 제1 연결부들, 및 상기 복수의 제1 센서부들과 상기 복수의 제1 연결부들과 전기적으로 절연된 복수의 제1 더미 패턴들을 포함하고,
    상기 제2 도전층은 복수의 제2 센서부들, 각각이 상기 복수의 제2 센서부들 사이에 배치되어 인접한 제2 센서부들을 연결하는 복수의 제2 연결부들, 및 상기 복수의 제2 센서부들과 상기 복수의 제2 연결부들과 전기적으로 절연된 복수의 제2 더미 패턴들을 포함하는 전자 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 단차 패턴은 복수로 구비되어 상기 복수의 제1 센서부들에 각각 중첩하여 배치되고,
    상기 제2 부분은 상기 복수의 제1 센서부들에 정의되어 상기 복수의 제2 더미 패턴들과 연결된 전자 장치.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 단차 패턴은 복수로 구비되어 상기 복수의 제1 센서부들 및 상기 복수의 제1 더미 패턴들에 각각 중첩하여 배치되고,
    상기 제2 부분은 상기 복수의 제1 센서부들에 정의되어 상기 복수의 제2 더미 패턴들과 연결되고, 상기 복수의 제1 더미 패턴들에 각각 정의되어 상기 복수의 제2 센서부들과 연결된 전자 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 도전층은 복수의 제1 센서부들, 각각이 상기 복수의 제1 센서부들 사이에 배치되어 인접한 제1 센서부들을 연결하는 복수의 제1 연결부들, 및 상기 복수의 제1 센서부들과 상기 복수의 제1 연결부들과 전기적으로 절연된 복수의 제2 센서부들을 포함하고,
    상기 제1 도전층은 상기 복수의 제1 연결부들에 각각 교차하는 복수의 제2 연결부들을 포함하는 전자 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 단차 패턴은 복수로 구비되어 상기 복수의 제1 연결부들에 각각 중첩하여 배치되고,
    상기 제2 부분은 상기 복수의 제2 연결부들에 정의되어 상기 복수의 제2 센서부들에 연결된 전자 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상가 단차 패턴은 유기 물질을 포함하는 전자 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 베이스 부재 상에 배치되어 영상을 표시하는 표시층; 및
    상기 표시층 상에 배치되어 상기 표시층을 커버하는 박막 봉지층을 더 포함하며,
    상기 제1 도전층은 상기 박막 봉지층 상에 배치된 전자 장치.
  11. 제6 항에 있어서,
    상기 표시층은,
    제1 전극;
    상기 제1 전극의 적어도 일부를 노출시키는 개구부가 정의된 화소 정의막;
    상기 개구부에 배치된 발광층; 및
    상기 발광층 상에 배치된 제2 전극을 포함하고,
    상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 각각은 상기 화소 정의막에 중첩하고 상기 개구부에 비 중첩하는 전자 장치.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 각각은 복수의 메쉬선들을 포함하는 전자 장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 제2 부분은 상기 복수의 메쉬선들 중 적어도 하나의 메쉬선을 포함하는 전자 장치.
  14. 제11 항에 있어서,
    상기 화소 정의막에 중첩하는 블랙 매트릭스를 더 포함하는 전자 장치.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 블랙 매트릭스의 일 부분의 일 방향에서의 너비는 상기 화소 정의막 중 상기 일 부분에 중첩하는 부분의 상기 일 방향에서의 너비와 동일한 전자 장치.
  16. 제14 항에 있어서,
    상기 단차 패턴은 흑색인 전자 장치.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 블랙 매트릭스 중 상기 단차 패턴과 중첩하는 일 부분의 일 방향에서의 너비는 상기 복수의 메쉬선들 중 상기 일 부분에 중첩하는 부분의 상기 일 방향에서의 너비와 동일한 전자 장치.
  18. 베이스 부재를 제공하는 단계;
    상기 베이스 부재 상에 단차 패턴을 형성하는 단계;
    상기 베이스 부재 상에 위치하는 제1 부분 및 상기 단차 패턴 상에 위치하는 제2 부분을 포함하는 제1 도전층을 형성하는 단계;
    상기 베이스 부재 상에 상기 제1 도전층 및 상기 단차 패턴을 커버하는 초기 절연막을 형성하는 단계;
    상기 초기 절연막을 식각하여, 상기 제1 부분을 커버하고 상기 제2 부분의 상면을 노출시키는 절연막을 형성하는 단계; 및
    상기 절연막 및 상기 제1 도전층 상에 제2 도전층을 형성하는 단계를 포함하는 전자 장치의 제조 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 초기 절연막을 식각하는 공정은 건식 식각 공정인 전자 장치의 제조 방법.
  20. 제18 항에 있어서,
    상기 절연막의 두께는 상기 단차 패턴의 두께 및 상기 단차 패턴 상에 위치하는 상기 제1 도전층의 두께의 합과 동일하며,
    상기 단차 패턴 상에 위치하는 상기 제1 도전층의 상기 상면은 상기 절연막의 상면과 동일한 평면 상에 위치하는 전자 장치의 제조 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200027611A (ko) * 2018-09-04 2020-03-13 삼성디스플레이 주식회사 전자 패널 및 이의 제조 방법

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102549925B1 (ko) * 2017-10-26 2023-06-30 삼성디스플레이 주식회사 터치 센서 및 그 제조 방법, 그리고 이를 포함하는 표시 장치

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020002013A (ko) 2000-06-29 2002-01-09 박종섭 반도체소자의 제조방법
TWI365005B (en) * 2008-01-04 2012-05-21 Chimei Innolux Corp Organic light emitting diode (oled) display devices, modules, and electronic devices
KR101634791B1 (ko) * 2008-11-28 2016-06-30 삼성디스플레이 주식회사 접촉 감지 기능이 있는 유기 발광 표시 장치
US8624849B2 (en) * 2009-04-20 2014-01-07 Apple Inc. Touch actuated sensor configuration integrated with an OLED structure
KR101908492B1 (ko) * 2011-04-12 2018-10-17 엘지디스플레이 주식회사 터치 패널 일체형 표시 장치
KR101747735B1 (ko) * 2011-07-15 2017-06-16 엘지디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그의 제조 방법
KR101860507B1 (ko) * 2011-07-21 2018-05-24 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR101363151B1 (ko) 2011-09-06 2014-02-14 삼성전자주식회사 터치스크린용 투명 회로 기판, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 터치스크린
KR101524449B1 (ko) 2011-12-22 2015-06-02 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치 및 그 제조방법
JP2013195331A (ja) * 2012-03-22 2013-09-30 Jsr Corp 異方導電性シートおよびその用途
TWI541957B (zh) * 2012-05-11 2016-07-11 矽品精密工業股份有限公司 半導體封裝件及其封裝基板
TWI478256B (zh) * 2012-07-06 2015-03-21 Unidisplay Inc 觸控面板及其製作方法
KR102110231B1 (ko) 2012-09-14 2020-05-14 삼성디스플레이 주식회사 표시장치
US9977272B2 (en) * 2012-09-14 2018-05-22 Superc-Touch Corporation In-cell touch display panel structure using conductive wires to connect with sensing electrodes
US9853092B2 (en) * 2012-11-30 2017-12-26 Lg Display Co., Ltd. OLED display device having touch sensor and method of manufacturing the same
KR102097150B1 (ko) 2013-02-01 2020-04-03 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 디스플레이 기판, 플렉서블 유기 발광 표시 장치 및 플렉서블 유기 발광 표시 장치 제조 방법
KR102076690B1 (ko) * 2013-04-19 2020-02-13 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR101534206B1 (ko) 2013-07-05 2015-07-07 주식회사 가교 유산균 발효 콜라비를 포함하는 식품 조성물
KR102108846B1 (ko) * 2013-07-16 2020-05-11 엘지이노텍 주식회사 터치 윈도우
KR102092842B1 (ko) * 2013-08-07 2020-04-16 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널 및 이의 제조 방법
KR102096622B1 (ko) 2013-08-19 2020-04-03 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치
KR102101401B1 (ko) 2013-09-23 2020-04-17 엘지디스플레이 주식회사 터치패널 제조방법 및 이를 이용한 표시장치 제조방법
KR102132631B1 (ko) 2013-11-19 2020-07-13 엘지디스플레이 주식회사 터치 스크린이 내장된 액정표시장치
CN103677410A (zh) * 2013-12-02 2014-03-26 合肥京东方光电科技有限公司 一种触控基板、触摸屏及显示装置
KR102178659B1 (ko) 2013-12-26 2020-11-13 엘지디스플레이 주식회사 터치 스크린 패널 및 터치 스크린 패널 제조 방법
KR20150118465A (ko) 2014-04-14 2015-10-22 제이 터치 코퍼레이션 흑화도료 및 이를 사용한 전극 구조
CN104078489B (zh) * 2014-06-11 2017-02-15 京东方科技集团股份有限公司 一种有机发光二极管显示面板和显示装置
KR102264888B1 (ko) 2014-08-13 2021-06-16 삼성디스플레이 주식회사 터치 패널
TWI550494B (zh) * 2014-09-05 2016-09-21 晨星半導體股份有限公司 內嵌式觸控顯示面板
KR102221910B1 (ko) * 2014-10-10 2021-03-05 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 및 그 제조방법
KR102386458B1 (ko) * 2014-11-17 2022-04-15 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR101731700B1 (ko) * 2015-03-18 2017-04-28 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 디바이스 및 그 제조 방법
CN204515751U (zh) * 2015-04-20 2015-07-29 南昌欧菲光科技有限公司 触控面板
CN112068740B (zh) * 2015-04-24 2023-11-21 Lg伊诺特有限公司 触摸窗和触摸装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200027611A (ko) * 2018-09-04 2020-03-13 삼성디스플레이 주식회사 전자 패널 및 이의 제조 방법
US10957747B2 (en) 2018-09-04 2021-03-23 Samsung Display Co.. Ltd. Electronic panel and method for manufacturing the same
US11856832B2 (en) 2018-09-04 2023-12-26 Samsung Display Co., Ltd. Electronic panel and method for manufacturing the same

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