KR20170111620A - 열 처리 및 초음파 처리된 팽창흑연을 포함하는 방열 시트, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 방열 구조물 - Google Patents

열 처리 및 초음파 처리된 팽창흑연을 포함하는 방열 시트, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 방열 구조물 Download PDF

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Abstract

본 발명은 열 처리 및 초음파 처리된 팽창흑연을 포함하는 방열 시트, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 방열 구조물에 관한 것으로, 본 발명에 따른 열 처리 및 초음파 처리된 팽창흑연을 포함하는 방열 시트는 초음파 처리만 실시한 천연 흑연 포함 방열 시트에 비하여 열확산도 및 열전도도가 현저히 향상되는 효과가 있다.

Description

열 처리 및 초음파 처리된 팽창흑연을 포함하는 방열 시트, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 방열 구조물{Heat radiation sheet having heat and ultrasonic treated expanded graphite, preparation method thereof and structure of radiant heat}
본 발명은 열 처리 및 초음파 처리된 팽창흑연을 포함하는 방열 시트, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 방열 구조물에 관한 것이다.
최근 LED 조명을 포함한 전자기기의 고성능화, 소형화 및 고기능화로 인해 전자부품 회로에서의 발열량이 증가되고 이로 인해 기기의 내부온도가 상승하여 반도체 소자의 오작동, 저항체 부품의 특성변화 및 부품의 수명이 저하되는 문제점들이 발생하고 있다. 따라서 이러한 문제점을 해결하기 위한 방열대책으로 다양한 기술이 개발되고 있다.
종래 개발된 방열대책으로는 히트싱크(Heat sink)나 방열판을 설치하는 방법이 있으며, 열원과 히트싱크 사이에 방열그리스(Thermal grease), 방열 패드, 방열 테이프 등과 같은 열 전달물질을 삽입하는 방법이 있다.
그런데 상기와 같은 종래의 방열방법은 열원에서 발생하는 열을 단순히 히트싱크로 전달하는 기능만 할 뿐, 히트싱크에 축적된 열을 공기 중으로 방출하는 기능은 수행하지 못한다. 더구나 전자제품의 열원이나 히트 싱크, 방열판 등을 보호하기 위하여 그 표면에 액상도료를 코팅하게 되는데, 이러한 경우 코팅된 피막이 피도체의 열방출을 차단하여 오히려 전자제품의 성능이나 수명에 악영향을 미치는 결과를 초래한다.
한편, 일반적인 고분자 수지의 열전도율은 금속과 세라믹에 비하여 매우 낮다(0.15~0.3 W/mK). 이 때문에 고분자 메트릭스 내에 기체를 복합하여(발포체화하여) 단열재로서 각종 분야에 이용되어 왔다. 하지만, 전기전자소자분야를 중심으로 전기절연성, 내흡성, 가공성, 내부식성 등은 물론 열전도특성이 우수한 소재에 주목하면서 고분자복합소재의 고열전도특성에 많은 관심이 모아지고 있으며 개발이 활발히 진행되고 있다.
에폭시 수지를 이용한 기술은 전자부품 분야에 많이 이용되고 있다. 금속과 세라믹이 접하는 면과 전자부품이 붙혀지는 부위의 접촉 열저항을 낮게 하기 위하여 열전도성 그리스와 열전도성 접착제, 열전도 시트 등과 같은 복합고분자재료의 개발이 이루어졌다. 열전도성 그리스는 열교환기 등과 같은 금속부품의 열전도를 돕고, 열전도성 접착제는 냉각핀과 본체인 금속의 접착에 주로 사용되며, 열전도 시트는 파워 트랜지스터와 기판과의 사이에 끼워져 방열을 촉진하는 분야에 이용되고 있다. 최근에는 노트북과 휴대전화 등의 전자제품들이 더욱 고집적화되고 있고 고출력 사양을 갖추어 가는 추세이며, 이와 함께 기판은 점점 소형화되고 있어, 기기의 동작 중 다량의 열이 발생하게 되는데, 이렇게 발생되는 열은 제품의 성능에 큰 영향을 미치고 있다. 따라서 점점 더 기기의 성능 안정성과 신뢰도 향상을 위해 첨단전자기기의 방열문제는 제품개발에 있어 중요한 이슈가 되고 있다.
한편, 최근에는 더욱 높은 방열 효율을 갖는 방열 시트의 요구가 있어, 본 발명자들은 이에 대하여 연구하던 중, 질산 및 황산이 층간 삽입된 상태로 판매되는 팽창흑연을 열 처리 및 초음파 처리하여 사용할 경우, 열확산도 및 열전도도가 현저히 향상됨을 알아내고, 본 발명을 완성하였다.
공개특허공보 10-2014-0109849호
본 발명의 목적은 방열 특성이 개선된 방열 시트를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 방열 시트의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 방열 시트를 포함하는 방열판을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 방열 시트를 포함하는 방열 구조물을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 고분자 수지 또는 습윤분산제; 및 팽창흑연;을 포함하는 방열 시트에 있어서,
상기 팽창흑연은 열 처리 및 초음파 처리한 흑연인 것을 특징으로 하는 방열 시트를 제공한다.
또한, 본 발명은 평균입자 크기 450-550 ㎛의 질산 및 황산 혼합물이 층간에 삽입된 상태로 판매되는 팽창흑연을 800-1200℃에서 10-60분 동안 열처리한 다음, 분쇄기로 분쇄하는 단계(단계 1);
용매에 상기 열 처리한 팽창흑연을 넣고, 100-500 Hz 세기로 1.5-4.5시간 동안 초음파 처리하는 단계(단계 2);
고분자 수지 또는 습윤분산제를 첨가하고 교반하여 흑연 복합조성물을 준비하는 단계(단계 3); 및
상기 흑연 복합조성물을 이형지 위에 도포하고 가열 건조한 다음, 흑연 복합조성물이 도포된 면에 이형지를 추가로 입힌 다음, 가압처리하는 단계(단계 4);
를 포함하는 상기 방열 시트 제조방법을 제공한다.
나아가, 본 발명은 상기 방열 시트를 포함하는 방열판을 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 방열 시트를 포함하는 방열 구조물을 제공한다.
본 발명에 따른 열처리 및 초음파 처리된 팽창흑연을 포함하는 방열 시트는 초음파 처리만 실시한 천연흑연 포함 방열 시트에 비하여 열확산도 및 열전도도가 현저히 향상되는 효과가 있다.
도 1은 비교예 4 및 실시예 4에서 제조한 방열 시트의 단면 및 표면을 SEM으로 촬영한 이미지이다.
도 2는 비교예 2 및 실시예 2에서 제조한 방열 시트의 단면 및 표면을 SEM으로 촬영한 이미지이다.
도 3은 방열 시트 제조를 위한 롤투롤(roll to roll) 장치 모식도이다.
본 발명에서 사용되는 모든 기술용어는, 달리 정의되지 않는 이상, 하기의 정의를 가지며 본 발명의 관련 분야에서 통상의 당업자가 일반적으로 이해하는 바와 같은 의미에 부합된다. 또한, 본 명세서에는 바람직한 방법이나 시료가 기재되나, 이와 유사하거나 동등한 것들도 본 발명의 범주에 포함된다. 본 명세서에 참고문헌으로 기재되는 모든 간행물의 내용은 본 발명에 도입된다.
용어 "약"이라는 것은 참조 양, 수준, 값, 수, 빈도, 퍼센트, 치수, 크기, 양, 중량 또는 길이에 대해 30, 25, 20, 25, 10, 9, 8, 7, 6, 5, 4, 3, 2 또는 1% 정도로 변하는 양, 수준, 값, 수, 빈도, 퍼센트, 치수, 크기, 양, 중량 또는 길이를 의미한다.
본 명세서를 통해, 문맥에서 달리 필요하지 않으면, "포함하다" 및 "포함하는"이란 말은 제시된 단계 또는 구성요소, 또는 단계 또는 구성요소들의 군을 포함하나, 임의의 다른 단계 또는 구성요소, 또는 단계 또는 구성요소들의 군이 배제되지는 않음을 내포하는 것으로 이해하여야 한다.
이하, 본 발명을 상세히 설명한다.
본 발명은 고분자 수지 또는 습윤분산제; 및 팽창흑연;을 포함하는 방열 시트에 있어서,
상기 팽창흑연은 열 처리 및 초음파 처리한 흑연인 것을 특징으로 하는 방열 시트를 제공한다.
상기 방열 시트는 에틸셀루솔브(Ethyl Cellosolve, Ethylene glycol mono ethyl ether), 톨루엔, 에틸아세테이트, 메틸에틸케톤, 자일렌, 부틸아세테이트 등의 용매를 단독으로 또는 혼합하여 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 방열 시트는 고분자 수지 또는 습윤분산제 1-20 중량%; 및 흑연 80-99 중량%;를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 고분자 수지 또는 습윤분산제 8-12 중량%; 및 흑연 88-92 중량%를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 방열 시트에 있어서, 상기 고분자 수지로는 에폭시 수지, 아크릴 수지, 이들의 복합체 등을 사용할 수 있고, 바람직하게는 아크릴 수지를 사용할 수 있다.
상기 아크릴 수지로는 올레핀 수지, 폴리 우레탄 수지, 시아노 아크릴레이트 수지, 이소시아네이트 수지, 메틸메타크릴레이트, 아크릴공중합체 등을 사용할 수 있고, 본 발명에서는 일례로 아크릴공중합체로서 부틸아크릴레이트와 메틸메타크릴레이트의 공중합체를 사용하였다.
본 발명에 따른 방열 시트에 있어서, 상기 습윤분산제로는 폴리에스테르 계열 또는 폴리에테르 계열 습윤분산제를 사용할 수 있다. 구체적으로, 상기 폴리에스테르 계열 습윤분산제의 예로는 2-메톡시프로필 아세테이트 및 1-메톡시-2-프로필 아세테이트의 공중합체, 폴리에스테르, 포스포릭 에스테르 등을 사용할 수 있고, 상기 폴리에테르 계열 습윤분산제의 예로는 폴리에테르, 지방족 폴리에테르 등을 사용할 수 있다. 본 발명에서는 일례로 폴리에스테르 계열 습윤분산제 중에서 2-메톡시프로필 아세테이트 및 1-메톡시-2-프로필 아세테이트의 공중합체(TEGO® Disperse 670)를 사용하였다.
본 발명에 따른 방열 시트에 있어서, 상기 팽창흑연은 질산 및 황산 혼합물이 층간에 삽입된 형태로 판매되는 제품으로, 평균입자 크기 450-550 ㎛인 것이 바람직하고, 470-530 ㎛인 것이 더욱 바람직하다. 본 발명에서 팽창흑연은 평균입자 크기 450-550 ㎛의 질산 및 황산 혼합물이 층간에 삽입된 상태로 판매되는 팽창흑연을 800-1200℃에서 10-60분 동안 열처리한 다음, 분쇄기로 분쇄하고, 에틸셀루솔브(Ethyl Cellosolve, Ethylene glycol mono ethyl ether), 톨루엔, 에틸아세테이트, 메틸에틸케톤, 자일렌, 및 부틸아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 용매에 상기 열처리한 팽창흑연을 넣고, 100-500 Hz 세기로 1.5-4.5시간 동안 초음파 처리하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는 질산 및 황산 혼합물이 층간에 삽입된 형태로 판매되는 팽창흑연을 열처리함에 따라서, 질산과 황산 혼합물이 산화되는 과정에서 흑연의 팽창, 그래핀화가 되어 열처리하지 않는 팽창흑연의 특성보다 크게 개선된다. 이렇게 그래핀화된 팽창흑연을 이용하여 시트를 제조하였을 때 열처리하지 않는 팽창흑연보다 밀도가 증가하게 되고 불순물 또한 제거하는 효과를 얻어 열전도특성, 방열특성이 효과적으로 나타나는 것으로 보인다.
본 발명에 따른 열 처리 및 초음파 처리된 팽창흑연을 포함하는 방열 시트는 초음파 처리만 실시한 천연 흑연 포함 방열 시트에 비하여 열확산도 및 열전도도가 현저히 향상되는 효과가 있다.
제조방법
본 발명은 평균입자 크기 450-550 ㎛의 질산 및 황산 혼합물이 층간에 삽입된 상태로 판매되는 팽창흑연을 800-1200℃에서 10-60분 동안 열처리한 다음, 분쇄기로 분쇄하는 단계(단계 1);
용매에 상기 열 처리한 팽창흑연을 넣고, 100-500 Hz 세기로 1.5-4.5시간 동안 초음파 처리하는 단계(단계 2);
고분자 수지 또는 습윤분산제를 첨가하고 교반하여 흑연 복합조성물을 준비하는 단계(단계 3); 및
상기 흑연 복합조성물을 이형지 위에 도포하고 가열 건조한 다음, 흑연 복합조성물이 도포된 면에 이형지를 추가로 입힌 다음, 가압처리하는 단계(단계 4);
를 포함하는 상기 방열 시트 제조방법을 제공한다.
본 발명에 따른 제조방법에 있어서, 상기 단계 1은 평균입자 크기 450-550 ㎛의 질산 및 황산 혼합물이 층간에 삽입된 상태로 판매되는 팽창흑연을 800-1200℃에서 10-60분 동안 열처리한 다음, 분쇄기로 분쇄하는 단계이다. 상기 단계 1의 열처리는 950-1050℃에서 20-40분 동안 처리하는 것이 바람직할 수 있다. 만약, 열처리 온도가 800℃ 미만일 경우 모든 흑연이 팽창하지 못하고 흑연 잔여물이 남아 시트 가공시에 결함으로 존재하거나 열확산도 및 열전도도를 낮게하는 주요 원인이 되는 문제가 있을 수 있고, 1200℃ 초과일 경우 흑연이 타거나 흑연 결합을 깨트려 열확산도 및 열전도도가 낮아지는 문제가 있을 수 있다.
본 발명에 따른 제조방법에 있어서, 상기 단계 2는 용매에 상기 열처리한 팽창흑연을 넣고, 100-500 Hz 세기로 1.5-4.5시간 동안 초음파 처리하는 단계이다. 상기 용매로는 에틸셀루솔브(Ethyl Cellosolve, Ethylene glycol mono ethyl ether), 톨루엔, 에틸아세테이트, 메틸에틸케톤, 자일렌, 부틸아세테이트 등을 사용할 수 있고, 본 발명에서는 일례로 에틸셀루솔브를 사용하였다.
한편, 열확산도 및 열전도도 측면에서, 상기 단계 2는 용매에 단계 1의 열처리한 팽창흑연을 넣고, 120-180 Hz 세기로 2.5-3.5시간 동안 초음파처리하는 것이 바람직할 수 있다.
본 발명에 따른 제조방법에 있어서, 상기 단계 3은 고분자 수지 또는 습윤분산제를 첨가하고 교반하여 흑연 복합조성물을 준비하는 단계이다.
상기 고분자 수지 및 습윤분산제는 본 명세서에서 상술한 바와 같다.
본 발명에 따른 제조방법에 있어서, 상기 단계 4는 상기 흑연 복합조성물을 이형지 위에 도포하고 가열 건조한 다음, 흑연 복합조성물이 도포된 면에 이형지를 추가로 입힌 다음, 가압처리하는 단계이다.
구체적으로, 본 발명에 따른 방열 시트는 롤투롤(roll to roll) 공정으로 제조할 수 있고, 도 3에 롤투롤 장치에 대한 모식도를 나타내었다.
또한, 본 발명은 상기 방열 시트를 포함하는 방열판을 제공한다.
나아가, 본 발명은 상기 방열 시트를 포함하는 방열 구조물을 제공한다.
상기 방열 구조물로는 전자 제품에 들어가는 방열 구조물 모두를 포함한다.
이하, 본 발명을 하기의 실시예에 의하여 더욱 상세하게 설명한다. 단, 하기의 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐, 본 발명의 내용이 하기의 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.
< 비교예 1-4> 초음파 처리한 흑연 포함 방열 시트의 제조 및 이의 방열 특성
흑연복합조성물의 준비
평균입자 크기 45㎛의 천연 흑연 20 g을 에틸셀루솔브(Ethyl Cellosolve, Ethylene glycol mono ethyl ether) 용매 80 g과 각각 혼합한 후, 초음파 분쇄기를 이용하여 150 Hz 또는 450 Hz에서 3시간 반응시켰다. 여기에, 아크릴 수지 또는 습윤분산제를 2 g(상기 흑연 100 중량부 대비 10 중량부)을 첨가하여 48시간 동안 교반하여 분산하였다.
시트의 제조
상기에서 준비한 흑연복합조성물을 이형지 위에 콤마 코팅기로 도포한 후에, 120 ℃에서 3시간 동안 건조하였다. 건조된 흑연복합조성물 시트는 판프레스를 이용하여 100 ℃, 80 t 압력에서 30분 동안 가압처리하여 최종적인 시트로 가공하였다.
하기 표 1에 비교예 1-4의 구성 및 초음파 처리조건, 물리적 특성 및 방열특성을 정리하여 나타내었다. 여기서, 수평 열확산도 및 수평 열전도도는 "LFA 447 Nanoflash"(제조사: Netzsch)를 이용하여 측정하였고, 비열(Cp)은 "DSC214 (제조사: Netzsch)"를 이용하였다.
구성 Cp(J/g*K)2 밀도
(g/cm3)		 수평
열확산도
(mm2/S)
 수평
열전도도
(W/m*K)		 초음파
처리조건
비교예1 천연흑연/670 1.153 2.089 177.639 428.198 450Hz/3h
비교예2 천연흑연/670 1.153 1.607 154.982 287.386 150Hz/3h
비교예3 천연흑연/A 1.111 1.428 119.264 189.332 450Hz/3h
비교예4 천연흑연/A 1.111 1.243 108.242 149.573 150Hz/3h
상기 표 1에서,
"607"은 습윤분산제로서, 2-메톡시프로필 아세테이트 및 1-메톡시-2-프로필 아세테이트의 공중합체(TEGO® Disperse 670)이고,
"A"는 아크릴 수지로서, 부틸아크릴레이트와 메틸메타크릴레이트의 공중합체이고,
"Cp"는 비열이다.
상기 표 1에 나타난 바와 같이, 비교예 1-4의 경우 초음파 파쇄를 450 Hz 조건으로 강하게 실시할 경우, 150 Hz 조건으로 약하게 실시할 경우에 비해 좀 더 높은 열확산도를 나타내었다.
< 실시예 1-8> 열 처리 및 초음파 처리한 팽창흑연 포함 방열 시트의 제조 및 이의 방열 특성
팽창흑연의 열 처리
질산 및 황산 혼합물이 층간에 삽입된 상태로 판매되는 팽창흑연(평균입자 크기 500 ㎛) 1g을 도가니에 넣고, 1000℃ 오븐에서 30분 동안 열처리한 다음, 분쇄기로 분쇄하였다.
흑연복합조성물의 준비
상기에서 열 처리한 팽창흑연 20 g을 에틸셀루솔브(Ethyl Cellosolve, Ethylene glycol mono ethyl ether) 용매 80 g과 각각 혼합한 후, 초음파 분쇄기를 이용하여 150 Hz 또는 450 Hz에서 3, 6 또는 12시간 반응시켰다. 여기에, 아크릴 수지 또는 습윤분산제를 2 g(상기 흑연 100 중량부 대비 10 중량부)을 첨가하여 48시간 동안 교반하여 분산하였다.
시트의 제조
상기에서 준비한 흑연복합조성물을 이형지 위에 콤마 코팅기로 도포한 후에, 120 ℃에서 3시간 동안 건조하였다. 건조된 흑연복합조성물 시트는 판프레스를 이용하여 100 ℃, 80 t 압력에서 30분 동안 가압처리하여 최종적인 시트로 가공하였다.
하기 표 2에 실시예 1-8의 구성 및 초음파 처리조건, 물리적 특성 및 방열특성을 정리하여 나타내었다. 여기서, 수평 열확산도 및 수평 열전도도는 "LFA 447 Nanoflash"(제조사: Netzsch)를 이용하여 측정하였고, 비열(Cp)은 "DSC214 (제조사: Netzsch)"를 이용하였다.
구성 Cp(J/g*K)2 밀도
(g/cm3)		 수평
열확산도
(mm2/S)
 수평
열전도도
(W/m*K)		 초음파
처리조건
실시예1 열처리 팽창흑연
/670		 1.579 2.017 274.741 875.339 450Hz/3h
실시예2 열처리 팽창흑연
/670		 1.579 1.539 399.676 971.615 150Hz/3h
실시예3 열처리 팽창흑연
/A		 1.411 2.131 159.937 480.734 450Hz/3h
실시예4 열처리 팽창흑연
/A		 1.411 1.511 442.013 942.047 150Hz/3h
실시예5 열처리 팽창흑연
/670		 1.136 1.815 118.871 245.092 150Hz/12h
실시예6 열처리 팽창흑연
/A		 1.094 1.513 108.643 179.828 150Hz/12h
실시예7 열처리 팽창흑연
/670		 1.136 1.85 181.015 380.421 150Hz/6h
실시예8 열처리 팽창흑연
/A		 1.094 1.511 138.243 228.505 150Hz/6h
상기 표 2에서,
"607"은 습윤분산제로서, 2-메톡시프로필 아세테이트 및 1-메톡시-2-프로필 아세테이트의 공중합체(TEGO® Disperse 670)이고,
"A"는 아크릴 수지로서, 부틸아크릴레이트와 메틸메타크릴레이트의 공중합체이고,
"Cp"는 비열이다.
상기 표 2에 나타난 바와 같이, 실시예 1-2를 비교하여 보면 초음파 처리 세기를 450Hz에서 150Hz로 줄일 경우 수평 열전도도는 약 96 W/m*K 향상하였고, 실시예 3-4의 경우 약 462 W/m*K 향상하는 것으로 나타나, 최적의 초음파 처리 세기는 150Hz인 것으로 나타났다. 반면에, 표 1에서 비교예 1-2를 비교하여 보면 초음파 처리 세기를 450Hz에서 150Hz로 줄일 경우 수평 열전도도는 약 141 W/m*K 저하하고, 비교예 3-4의 경우 약 40 W/m*K 저하하는 것으로 나타나, 비교예 1-4(천연흑연)와 실시예 1-4(열처리한 팽창흑연)의 최적 초음파 처리 세기는 상이한 것을 알 수 있었다. 즉, 초음파 처리 세기를 450Hz에서 150Hz로 조절함에 따라서, 비교예 1-4의 경우 수평 열전도도가 저하하나, 실시예 1-4의 경우 향상하는 결과가 나타났다. 또한, 실시예 1-4와 실시예 5-8에서 초음파 처리 시간을 달리한 경우를 비교하여 보면, 최적 초음파 처리 시간은 3h인 것을 알 수 있었다.
< 실험예 1> 흑연의 표면 균일도 평가
실시예 2 및 4, 비교예 2 및 4에서 제조한 방열 시트의 표면 및 단면의 균일도를 알아보기 위하여 SEM으로 표면 및 단면을 확인하였고, 그 결과를 도 1 및 도 2에 나타내었다.
도 1은 비교예 4 및 실시예 4에서 제조한 방열 시트의 단면 및 표면을 SEM으로 촬영한 이미지이다.
도 2는 비교예 2 및 실시예 2에서 제조한 방열 시트의 단면 및 표면을 SEM으로 촬영한 이미지이다.
도 1 및 도 2에 나타난 바와 같이, 비교예 2 및 비교예 4와 같이 초음파 처리만 실시한 천연흑연 포함 방열 시트의 경우 단면 및 표면 균일도는 거친 것으로 나타나지만, 대조적으로 실시예 2 및 실시예 4와 같이 열처리 후 초음파 처리한 팽창흑연 포함 방열시트의 경우 단면 및 표면 균일도는 현저히 개선되는 것으로 나타났다. 즉, 비교예 2 및 비교예 4에 비하여 실시예 2 및 실시예 4는 단면 및 표면 균일도가 현저히 향상되므로, 열확산도 및 열전도도가 향상됨을 알 수 있었다.

Claims (14)

  1. 고분자 수지 또는 습윤분산제; 및 팽창흑연;을 포함하는 방열 시트에 있어서,
    상기 팽창흑연은 열 처리 및 초음파 처리한 흑연인 것을 특징으로 하는 방열 시트.
  2. 제1항에 있어서,
    고분자 수지 또는 습윤분산제 1-20 중량%; 및 팽창흑연 80-99 중량%;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방열 시트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 고분자 수지는 에폭시 수지, 아크릴 수지 및 이들의 복합체로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 방열 시트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 습윤분산제는 폴리에스테르계열의 분산안정제인 것을 특징으로 하는 방열 시트.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 습윤분산제는 2-메톡시프로필 아세테이트 및 1-메톡시-2-프로필 아세테이트의 공중합체, 폴리에스테르, 포스포릭 에스테르, 폴리에테르, 및 지방족 폴리에테르로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 방열 시트.
  6. 제1항에 있어서,
    에틸셀루솔브(Ethyl Cellosolve, Ethylene glycol mono ethyl ether), 톨루엔, 에틸아세테이트, 메틸에틸케톤, 자일렌 및 부틸아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 용매를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방열 시트.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 흑연은,
    평균입자 크기 450-550 ㎛의 질산 및 황산 혼합물이 층간에 삽입된 상태로 판매되는 팽창흑연을 800-1200℃에서 10-60분 동안 열처리한 다음, 분쇄기로 분쇄하고,
    에틸셀루솔브(Ethyl Cellosolve, Ethylene glycol mono ethyl ether), 톨루엔, 에틸아세테이트, 메틸에틸케톤, 자일렌 및 부틸아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 용매에 상기 열처리한 팽창흑연을 넣고, 100-500 Hz 세기로 1.5-4.5시간 동안 초음파 처리하는 것을 특징으로 하는 방열 시트.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 열처리한 팽창흑연의 초음파 처리는 120-180 Hz 세기로, 2.5-3.5시간 동안 초음파 처리하는 것을 특징으로 하는 방열 시트.
  9. 평균입자 크기 450-550 ㎛의 질산 및 황산 혼합물이 층간에 삽입된 상태로 판매되는 팽창흑연을 800-1200℃에서 10-60분 동안 열처리한 다음, 분쇄기로 분쇄하는 단계(단계 1);
    용매에 상기 열 처리한 팽창흑연을 넣고, 100-500 Hz 세기로 1.5-4.5시간 동안 초음파 처리하는 단계(단계 2);
    고분자 수지 또는 습윤분산제를 첨가하고 교반하여 흑연 복합조성물을 준비하는 단계(단계 3); 및
    상기 흑연 복합조성물을 이형지 위에 도포하고 가열 건조한 다음, 흑연 복합조성물이 도포된 면에 이형지를 추가로 입힌 다음, 가압처리하는 단계(단계 4);
    를 포함하는 제1항의 방열 시트 제조방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 단계 2의 용매는 에틸셀루솔브(Ethyl Cellosolve, Ethylene glycol mono ethyl ether), 톨루엔, 에틸아세테이트, 메틸에틸케톤, 자일렌 및 부틸아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 제조방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 단계 1의 열처리는 950-1050℃에서 20-40분 동안 처리하는 것을 특징으로 하는 제조방법.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 단계 2의 초음파 처리는 120-180 Hz 세기로, 2.5-3.5시간 동안 초음파 처리하는 것을 특징으로 하는 제조방법.
  13. 제1항의 방열 시트를 포함하는 방열판.
  14. 제1항의 방열 시트를 포함하는 방열 구조물.
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