KR20170070187A - Laminate structure, dry film, and flexible printed wiring board - Google Patents

Laminate structure, dry film, and flexible printed wiring board Download PDF

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Abstract

굴곡성이 우수하고, 플렉시블 프린트 배선판의 절연막, 특히 절곡부(굴곡부)와 실장부(비굴곡부)의 일괄 형성 프로세스에 적합한 적층 구조체, 드라이 필름 및 그의 경화물을 보호막으로서 갖는 플렉시블 프린트 배선판을 제공한다. 수지층 (A)와, 수지층 (A)를 개재해서 플렉시블 프린트 배선판에 적층되는 수지층 (B)를 갖는 적층 구조체이다. 수지층 (B)가 알칼리 용해성 수지와 광중합 개시제와 열반응성 화합물을 포함하는 감광성 열경화성 수지 조성물을 포함하고, 또한 수지층 (A)가, 알칼리 용해성 수지와 열반응성 화합물을 포함하고, 광중합 개시제를 포함하지 않는 알칼리 현상형 수지 조성물을 포함한다.(EN) Provided is a flexible printed wiring board excellent in flexibility and suitable for a process for collectively forming an insulating film of a flexible printed wiring board, in particular, a bending part (bending part) and a mounting part (non - bending part), and a dry film and a cured product thereof as a protective film. A resin layer (A) and a resin layer (B) laminated on the flexible printed wiring board via the resin layer (A). Wherein the resin layer (B) comprises a photosensitive thermosetting resin composition comprising an alkali soluble resin, a photopolymerization initiator and a thermoreactive compound, and the resin layer (A) contains an alkali soluble resin and a thermoreactive compound and contains a photopolymerization initiator And the like.

Description

적층 구조체, 드라이 필름 및 플렉시블 프린트 배선판{LAMINATE STRUCTURE, DRY FILM, AND FLEXIBLE PRINTED WIRING BOARD}A laminated structure, a dry film, and a flexible printed wiring board (LAMINATE STRUCTURE, DRY FILM, AND FLEXIBLE PRINTED WIRING BOARD)

본 발명은 플렉시블 프린트 배선판의 절연막으로서 유용한 적층 구조체, 드라이 필름 및 플렉시블 프린트 배선판에 관한 것이다.The present invention relates to a laminated structure useful as an insulating film of a flexible printed wiring board, a dry film and a flexible printed wiring board.

최근, 스마트폰이나 태블릿 단말기의 보급에 의한 전자 기기의 소형 박형화에 의해, 회로 기판의 작은 스페이스화가 필요해지고 있다. 그로 인해, 절곡해서 수납할 수 있는 플렉시블 프린트 배선판의 용도가 확대되고, 플렉시블 프린트 배선판에 대해서도, 지금까지 이상으로 높은 신뢰성을 가질 것이 요구되고 있다.2. Description of the Related Art [0002] In recent years, miniaturization of electronic devices due to the spread of smart phones and tablet terminals has necessitated a smaller space for circuit boards. As a result, the use of a flexible printed wiring board that can be folded and stored has been expanded, and a flexible printed wiring board has been required to have higher reliability than ever.

이에 반해, 현재 플렉시블 프린트 배선판의 절연 신뢰성을 확보하기 위한 절연막으로서, 절곡부(굴곡부)에는, 내열성 및 굴곡성 등의 기계적 특성이 우수한 폴리이미드를 베이스로 한 커버 레이를 사용해서(예를 들어, 특허문헌 1, 2 참조), 실장부(비굴곡부)에는, 전기 절연성이나 땜납 내열성 등이 우수하고 미세 가공이 가능한 감광성 수지 조성물을 사용한 혼재 프로세스가 널리 채용되고 있다.On the other hand, as the insulating film for securing the insulation reliability of the flexible printed wiring board at present, a coverlay based on polyimide having excellent mechanical properties such as heat resistance and bending property is used as the bent portion (bent portion) A mixed process using a photosensitive resin composition which is excellent in electrical insulation and solder heat resistance and can be microfabricated is widely adopted as a mounting portion (non-bending portion).

즉, 폴리이미드를 베이스로 한 커버 레이는, 금형 펀칭에 의한 가공을 필요로 하기 때문에, 미세 배선에는 부적합하다. 그로 인해, 미세 배선이 필요해지는 칩 실장부에는, 포토리소그래피에 의한 가공이 가능한 알칼리 현상형의 감광성 수지 조성물(솔더 레지스트)을 부분적으로 병용할 필요가 있다.That is, the coverlay based on polyimide is not suitable for fine wiring because it requires machining by die punching. Therefore, it is necessary to partially use an alkali development type photosensitive resin composition (solder resist) capable of being processed by photolithography in the chip mounting portion where fine wiring is required.

일본특허공개 소62-263692호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-263692 일본특허공개 소63-110224호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-110224

이와 같이, 종래의 플렉시블 프린트 배선판의 제조 공정에서는, 커버 레이를 붙이는 공정과 솔더 레지스트를 형성하는 공정의 혼재 프로세스를 채용하지 않을 수 없어, 비용성과 작업성이 떨어진다고 하는 문제가 있었다.As described above, in the manufacturing process of the conventional flexible printed wiring board, there is a problem that cost and operability are deteriorated because a process of attaching the coverlay and a process of forming the solder resist must be employed.

이에 대해, 종래 솔더 레지스트로서의 절연막 또는 커버 레이로서의 절연막을, 플렉시블 프린트 배선판의 솔더 레지스트 및 커버 레이로서 적용하는 것이 검토되고 있지만, 양쪽의 요구 성능을 충분히 만족할 수 있는 재료는 아직 실용화에는 이르지 못하였다.On the contrary, conventionally, it has been studied to apply an insulating film as a solder resist or an insulating film as a coverlay as a solder resist and a coverlay of a flexible printed wiring board. However, a material satisfying both required performance has not yet been put to practical use.

따라서 본 발명의 목적은, 굴곡성이 우수하고, 플렉시블 프린트 배선판의 절연막, 특히 절곡부(굴곡부)와 실장부(비굴곡부)의 일괄 형성 프로세스에 적합한 적층 구조체, 드라이 필름 및 그의 경화물을 보호막, 예를 들어 커버 레이 또는 솔더 레지스트로서 갖는 플렉시블 프린트 배선판을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a laminated structure having excellent flexibility and suitable for a process for collectively forming an insulating film of a flexible printed wiring board, in particular, a bending part (bending part) and a mounting part To provide a flexible printed wiring board having a coverlay or a solder resist.

본 발명자들은, 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토한 결과, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.Means for Solving the Problems As a result of intensive studies for solving the above problems, the present inventors have completed the present invention.

즉, 본 발명의 적층 구조체는, 수지층 (A)와, 해당 수지층 (A)를 개재해서 플렉시블 프린트 배선판에 적층되는 수지층 (B)를 갖는 적층 구조체이며, 상기 수지층 (B)가, 알칼리 용해성 수지와 광중합 개시제와 열반응성 화합물을 포함하는 감광성 열경화성 수지 조성물을 포함하고, 또한 상기 수지층 (A)가, 알칼리 용해성 수지와 열반응성 화합물을 포함하고, 광중합 개시제를 포함하지 않는 알칼리 현상형 수지 조성물을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.That is, the laminated structure of the present invention is a laminated structure having a resin layer (A) and a resin layer (B) laminated on the flexible printed wiring board via the resin layer (A), wherein the resin layer (B) A photosensitive thermosetting resin composition comprising an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator and a thermoreactive compound, wherein the resin layer (A) comprises an alkali-soluble type resin containing an alkali-soluble resin and a thermoreactive compound and not containing a photopolymerization initiator And a resin composition.

본 발명의 적층 구조체에 있어서는, 상기 수지층 (A)가, 중합 금지제를 더 포함하는 수지 조성물을 포함하는 것이 바람직하다.In the laminated structure of the present invention, it is preferable that the resin layer (A) includes a resin composition further comprising a polymerization inhibitor.

본 발명의 적층 구조체는, 플렉시블 프린트 배선판의 굴곡부 및 비굴곡부 중 적어도 어느 한쪽에 사용할 수 있고, 또한 플렉시블 프린트 배선판의 커버 레이, 솔더 레지스트 및 층간 절연 재료 중 적어도 어느 하나의 용도에 사용할 수 있다.The laminated structure of the present invention can be used for at least one of the bent portion and the non-bent portion of the flexible printed wiring board and can be used for at least any of the coverlay, the solder resist and the interlayer insulating material of the flexible printed wiring board.

또한, 본 발명의 드라이 필름은, 상기 본 발명의 적층 구조체의 적어도 편면이, 필름으로 지지 또는 보호되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.The dry film of the present invention is characterized in that at least one side of the laminated structure of the present invention is supported or protected by a film.

또한, 본 발명의 플렉시블 프린트 배선판은, 플렉시블 프린트 배선판 위에 상기 본 발명의 적층 구조체의 층을 형성하고, 광조사에 의해 패터닝하고, 현상액으로 패턴을 일괄하여 형성하여 이루어지는 절연막을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.The flexible printed wiring board of the present invention is characterized by having an insulating film formed by forming a layer of the laminated structure of the present invention on a flexible printed wiring board, patterning the same by light irradiation, and collecting patterns in a developer .

여기서, 본 발명의 플렉시블 프린트 배선판은, 본 발명에 따른 적층 구조체를 사용하지 않고, 수지층 (A)와 수지층 (B)를 순차적으로 형성하고, 그 후에, 광조사에 의해 패터닝하고, 현상액으로 패턴을 일괄해서 형성해도 된다. 또한, 본 발명에 있어서 「패턴」이란 패턴 형상의 경화물, 즉 절연막을 의미한다.Here, in the flexible printed wiring board of the present invention, the resin layer (A) and the resin layer (B) are sequentially formed without using the laminate structure according to the present invention, and then patterned by light irradiation, The patterns may be collectively formed. In the present invention, the term " pattern " means a patterned cured product, that is, an insulating film.

본 발명에 따르면, 굴곡성이 우수하고, 플렉시블 프린트 배선판의 절연막, 특히 절곡부(굴곡부)와 실장부(비굴곡부)의 일괄 형성 프로세스에 적합한 적층 구조체, 드라이 필름 및 그의 경화물을 보호막, 예를 들어 커버 레이 또는 솔더 레지스트로서 갖는 플렉시블 프린트 배선판을 실현하는 것이 가능하게 된다.According to the present invention, it is possible to provide a multilayer structure excellent in flexibility and suitable for a process for collectively forming an insulating film of a flexible printed wiring board, in particular, a bending part (bending part) and a mounting part (non-bending part), a dry film and a cured product thereof, It is possible to realize a flexible printed wiring board having a coverlay or a solder resist.

도 1은 본 발명의 플렉시블 프린트 배선판의 제조 방법의 일례를 모식적으로 도시하는 공정도이다.
도 2는 본 발명의 플렉시블 프린트 배선판의 제조 방법의 다른 예를 모식적으로 도시하는 공정도이다.
도 3은 실시예에서 얻어진 개구 형상을 나타내는 사진도이다.
BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a process diagram schematically showing an example of a manufacturing method of a flexible printed wiring board according to the present invention. FIG.
2 is a process diagram schematically showing another example of the manufacturing method of the flexible printed wiring board of the present invention.
3 is a photograph showing an opening shape obtained in the embodiment.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.

(적층 구조체)(Laminated structure)

본 발명의 적층 구조체는, 수지층 (A)와, 수지층 (A)를 개재해서 플렉시블 프린트 배선판에 적층되는 수지층 (B)를 갖고 있고, 수지층 (B)가, 알칼리 용해성 수지와 광중합 개시제와 열반응성 화합물을 포함하는 감광성 열경화성 수지 조성물을 포함함과 함께, 수지층 (A)가 알칼리 용해성 수지와 열반응성 화합물을 포함하고, 광중합 개시제를 포함하지 않는 알칼리 현상형 수지 조성물을 포함하는 것이다.The laminated structure of the present invention comprises a resin layer (A) and a resin layer (B) laminated on the flexible printed wiring board via the resin layer (A), wherein the resin layer (B) comprises an alkali- And a photosensitive thermosetting resin composition comprising a thermosetting resin and a thermosetting resin composition, wherein the resin layer (A) contains an alkali-soluble resin and a heat-reactive compound and does not contain a photopolymerization initiator.

이러한 본 발명의 적층 구조체는, 플렉시블 기판에 구리 회로가 형성된 플렉시블 프린트 배선판 위에, 수지층 (A)와 수지층 (B)를 순서대로 갖고, 상층측의 수지층 (B)가 광조사에 의해 패터닝이 가능한 감광성 열경화성 수지 조성물을 포함하고, 또한 수지층 (B)와 수지층 (A)가 현상에 의해 패턴을 일괄 형성하는 것이 가능한 것이다.The laminated structure of the present invention has a resin layer (A) and a resin layer (B) in this order on a flexible printed wiring board on which a copper circuit is formed on a flexible substrate and the resin layer (B) And the resin layer (B) and the resin layer (A) can collectively form a pattern by development.

이러한 본 발명의 적층 구조체에 있어서, 프린트 배선판측의 수지층 (A)는, 광중합 개시제를 포함하지 않기 때문에 단층으로는 패터닝이 불가능하지만, 노광 시에는, 그 상층의 수지층 (B)에 포함되는 광중합 개시제로부터 발생한 라디칼 등의 활성종이 바로 아래의 수지층 (A)로 확산됨으로써, 양 층은 동시에 패터닝하는 것이 가능하게 된다. 특히, PEB(POST EXPOSURE BAKE) 공정을 포함하는 프린트 배선판의 제조 방법에서는, 상기 활성종의 열확산에 의해, 그 효과가 현저했다.In the laminated structure of the present invention, since the resin layer (A) on the printed wiring board side does not contain a photopolymerization initiator, it can not be patterned as a single layer, but when exposed, The active species such as radicals generated from the photopolymerization initiator diffuse into the resin layer (A) immediately below, so that both layers can be patterned at the same time. Particularly, in the method for producing a printed wiring board including a POST EXPOSURE BAKE (PEB) process, the effect is remarkable due to thermal diffusion of the active species.

반면에, 프린트 배선 기판측의 수지층 (A)에 광중합 개시제가 포함되는 경우에는, 광중합 개시제 자체가 광을 흡수하는 특성을 갖는 점에서, 심부로 향할수록 광중합 개시제의 중합 개시능이 저하되어, 심부의 광반응성이 저하되어버림으로써 언더컷이 되는 경향이 있어, 고정밀한 패턴 형성이 곤란했지만, 본 발명의 적층 구조체에 있어서의 상층의 수지층 (B)로부터의 활성종의 확산의 영향에 의해, 이러한 문제도 개선할 수 있는 것으로 본 발명자들은 생각했다. 그러나, 상기 활성종의 확산이 있음에도 불구하고, 이 광중합 개시제와의 상호 작용에 의해 여전히 심부의 광반응성(심부 경화성)이 나빠서, 언더컷을 일으킨다는 문제가 있다.On the other hand, when the photopolymerization initiator is contained in the resin layer (A) on the printed wiring board side, since the photopolymerization initiator itself has a property of absorbing light, the ability to initiate polymerization of the photopolymerization initiator decreases toward the core part, It is difficult to form a high-precision pattern. However, due to the influence of the diffusion of the active species from the resin layer (B) in the upper layer in the laminated structure of the present invention, The inventors thought that the problem could also be improved. However, in spite of the diffusion of the active species, there is still a problem that the photoreactivity (deep curability) of the deep portion is still poor due to the interaction with the photopolymerization initiator, resulting in undercut.

따라서, 본 발명의 적층 구조체의 구성에서는, 수지층 (A)가 광중합 개시제를 포함하지 않는 것이 필요하며, 그 결과 언더컷이 없는 심부 경화성이 우수한 패턴 형성이 가능하게 된다.Therefore, in the structure of the laminated structure of the present invention, it is necessary that the resin layer (A) does not contain a photopolymerization initiator, and as a result, it becomes possible to form a pattern with excellent deep portion curability without undercut.

또한, 본원 발명과 같은 적층 구조체에서는, 이유는 명백하지 않지만, 상기 활성종의 확산이, 계면의 영향에 의해 노광부 이외에도 발생하기 때문에 개구 형상이 폐쇄될 기미가 보이는 등, 수지층 (A)와 수지층 (B)의 계면 근방에서 소위 할레이션이 일어나기 쉽다고 하는 새로운 문제가 있었다. 이 문제는 특히 PEB 공정에 있어서 현저했다. 이러한 점에서, 본 발명의 적층 구조체에서는, 수지층 (A)를 구성하는 조성물에 중합 금지제를 더 배합함으로써, 의외로 이 할레이션을 방지하여, 개구 형상의 안정화와 양호한 심부 경화성을 양립할 수 있는 해상성이 우수한 고정밀의 패턴을 형성하는 것이 가능하게 되는 것이다.In the laminated structure according to the present invention, the reason is not clear. However, since diffusion of the active species occurs due to the influence of the interface other than in the exposed portion, There arises a new problem that a so-called halftoning is apt to occur in the vicinity of the interface of the resin layer (B). This problem was particularly noticeable in the PEB process. In this respect, in the laminated structure of the present invention, by further adding a polymerization inhibitor to the composition constituting the resin layer (A), it is possible to prevent illegally from unexpectedly, to stabilize the opening shape and to achieve good deep- It becomes possible to form a high-precision pattern having excellent resolution.

[수지층 (A)][Resin Layer (A)]

(수지층 (A)를 구성하는 알칼리 현상형 수지 조성물)(Alkali-developable resin composition constituting the resin layer (A)),

수지층 (A)를 구성하는 알칼리 현상형 수지 조성물로서는, 페놀성 수산기, 카르복실기 중 1종 이상의 관능기를 함유하고, 알칼리 용액으로 현상 가능한 알칼리 용해성 수지와, 열반응성 화합물을 포함하고, 광중합 개시제를 포함하지 않는 조성물이면 된다. 상기 알칼리 용해성 수지로서는, 예를 들어 페놀성 수산기를 갖는 화합물, 카르복실기를 갖는 화합물, 페놀성 수산기 및 카르복실기를 갖는 화합물을 들 수 있고, 공지 관용의 것이 사용된다.Examples of the alkali-developing resin composition constituting the resin layer (A) include an alkali-soluble resin containing at least one functional group selected from the group consisting of a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group, capable of being developed into an alkali solution, and a thermoreactive compound, The composition may be any composition. As the alkali-soluble resin, for example, a compound having a phenolic hydroxyl group, a compound having a carboxyl group, a compound having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group can be used, and known ones are used.

특히 카르복실기를 갖는 화합물을 포함하는, 종래부터 솔더 레지스트 조성물로서 사용되고 있는 카르복실기 함유 수지 또는 카르복실기 함유 감광성 수지와, 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물과, 열반응성 화합물을 포함하고, 광중합 개시제를 포함하지 않는 수지 조성물을 들 수 있다.Particularly a resin containing a carboxyl group-containing resin or a carboxyl group-containing photosensitive resin which has been conventionally used as a solder resist composition and a compound having an ethylenically unsaturated bond and a thermoreactive compound and which contains a compound having a carboxyl group and does not contain a photopolymerization initiator Composition.

여기서, 카르복실기 함유 수지 또는 카르복실기 함유 감광성 수지 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물로서는, 공지 관용의 화합물이 사용되고, 또한 열반응성 화합물로서는, 환상(티오)에테르기 등의 열에 의한 경화 반응이 가능한 관능기를 갖는 공지 관용의 화합물이 사용된다.Here, as a compound having a carboxyl group-containing resin or a carboxyl group-containing photosensitive resin and a compound having an ethylenically unsaturated bond, a known compound is used, and as the heat-reactive compound, a compound having a functional group capable of curing reaction by heat such as a cyclic (thio) A compound for known purpose is used.

수지층 (A)를 구성하는 알칼리 현상형 수지 조성물에는, 중합 금지제를 더 배합하는 것이 바람직하다. 이 중합 금지제의 배합에 의해, 노광의 영향을 최소한으로 억제하고, PEB 공정에서의 열의 영향을 억제하여, 개구 형상을 안정화시키는 것이 가능하게 된다. 또한, 이 경우, 심부에 있어서의 경화 불량의 문제를 발생하는 일도 없다. 따라서, 수지층 (A)를 구성하는 알칼리 현상형 수지 조성물에 중합 금지제를 배합함으로써, 개구 형상의 안정화와 양호한 심부 경화성을 양립할 수 있다.It is preferable to add a polymerization inhibitor to the alkali-developing resin composition constituting the resin layer (A). By combining the polymerization inhibitor, the influence of exposure can be minimized, the influence of heat in the PEB process can be suppressed, and the opening shape can be stabilized. In this case, there is also no problem of poor curing in the core portion. Therefore, by incorporating a polymerization inhibitor into the alkali-developing resin composition constituting the resin layer (A), stabilization of the opening shape and good deep-part curability can be achieved.

이 중합 금지제로서는, 공지 관용의 중합 금지제를 사용할 수 있다. 중합 금지제로서는, 페노티아진, 히드로퀴논, N-페닐나프틸아민, 클로라닐, 피로갈롤, 벤조퀴논, t-부틸카테콜, 하이드로퀴논, 메틸하이드로퀴논, tert-부틸하이드로퀴논, 하이드로퀴논모노메틸에테르, 카테콜, 피로갈롤, 나프토퀴논, 4-메톡시-1-나프톨, 2-히드록시1,4-나프토퀴논, 페놀성 수산기를 갖는 인 함유 화합물, 니트로소아민계 화합물 등을 들 수 있다. 이들의 중합 금지제는, 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합해서 사용해도 된다.As the polymerization inhibitor, a known polymerization inhibitor may be used. Examples of the polymerization inhibitor include phenothiazine, hydroquinone, N-phenylnaphthylamine, chloriranyl, pyrogallol, benzoquinone, t-butylcatechol, hydroquinone, methylhydroquinone, tert- butylhydroquinone, hydroquinone monomethyl Ether, catechol, pyrogallol, naphthoquinone, 4-methoxy-1-naphthol, 2-hydroxy 1,4-naphthoquinone, phosphorus containing compounds having a phenolic hydroxyl group, have. These polymerization inhibitors may be used alone or in combination of two or more.

이 중합 금지제의 배합량은, 알칼리 용해성 수지 100질량부에 대하여, 적합하게는 0.01 내지 100질량부이고, 보다 적합하게는 0.03 내지 50질량부이다. 중합 금지제의 배합량을 상기 범위로 함으로써, 할레이션을 방지할 수 있어, 바람직하다.The blending amount of the polymerization inhibitor is preferably 0.01 to 100 parts by mass, more preferably 0.03 to 50 parts by mass, based on 100 parts by mass of the alkali-soluble resin. When the blending amount of the polymerization inhibitor is within the above range, it is possible to prevent halation, which is preferable.

[수지층 (B)][Resin Layer (B)]

(수지층 (B)를 구성하는 감광성 열경화성 수지 조성물)(Photosensitive thermosetting resin composition constituting the resin layer (B)).

수지층 (B)를 구성하는 감광성 열경화성 수지 조성물은, 알칼리 용해성 수지와, 광중합 개시제와, 열반응성 화합물을 포함하는 것이다. 이 중 알칼리 용해성 수지로서는, 상기 수지층 (A)와 마찬가지인 공지 관용의 것을 사용할 수 있지만, 내굴곡성, 내열성 등의 특성에 따라 우수한 이미드환을 갖는 알칼리 용해성 수지를 적합하게 사용할 수 있다. 또한, 열반응성 화합물로서는, 상기 수지층 (A)와 마찬가지인 공지 관용의 것을 사용할 수 있다.The photosensitive thermosetting resin composition constituting the resin layer (B) comprises an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, and a heat-reactive compound. Among them, known alkali-soluble resins similar to those of the resin layer (A) can be used as the alkali-soluble resin, but an alkali-soluble resin having an imide ring excellent in flex resistance and heat resistance can be suitably used. As the heat-reactive compound, a known publicly known compound similar to the resin layer (A) can be used.

(이미드환을 갖는 알칼리 용해성 수지)(An alkali-soluble resin having an imide ring)

본 발명에 있어서, 이미드환을 갖는 알칼리 용해성 수지는, 페놀성 수산기, 카르복실기 중 1종 이상의 알칼리 용해성기와, 이미드환을 갖는 것이다. 이 알칼리 용해성 수지에 대한 이미드환의 도입에는 공지 관용의 방법을 사용할 수 있다. 예를 들어, 카르복실산 무수물 성분과 아민 성분 및/또는 이소시아네이트 성분을 반응시켜서 얻어지는 수지를 들 수 있다. 이미드화는 열이미드화로 행해도 되고, 화학 이미드화로 행해도 되고, 또한 이들을 병용해서 실시할 수 있다.In the present invention, the alkali-soluble resin having an imide ring is one having at least one alkali-soluble group in the phenolic hydroxyl group and the carboxyl group and an imide ring. For the introduction of the imide ring into the alkali soluble resin, a publicly known method can be used. For example, a resin obtained by reacting a carboxylic acid anhydride component with an amine component and / or an isocyanate component can be given. The imidization may be performed by heat imidization, chemical imidization, or both.

여기서, 카르복실산 무수물 성분으로서는, 테트라카르복실산 무수물이나 트리카르복실산 무수물 등을 들 수 있지만, 이들의 산 무수물에 한정되는 것이 아니라, 아미노기나 이소시아네이트기와 반응하는 산 무수물기 및 카르복실기를 갖는 화합물이면, 그의 유도체를 포함시켜 사용할 수 있다. 또한, 이들의 카르복실산 무수물 성분은, 단독으로 또는 조합하여 사용해도 된다.Examples of the carboxylic acid anhydride component include tetracarboxylic acid anhydride and tricarboxylic acid anhydride. However, the carboxylic anhydride component is not limited to these acid anhydrides but may be a compound having an acid anhydride group and a carboxyl group which react with an amino group or an isocyanate group , A derivative thereof can be used. These carboxylic acid anhydride components may be used alone or in combination.

아민 성분으로서는, 지방족 디아민이나 방향족 디아민 등의 디아민, 지방족 폴리에테르 아민 등의 다가 아민, 카르복실산을 갖는 디아민, 페놀성 수산기를 갖는 디아민 등을 사용할 수 있지만, 이들의 아민에 한정되는 것은 아니다. 또한, 이들의 아민 성분은, 단독으로 또는 조합하여 사용해도 된다.Examples of the amine component include diamines such as aliphatic diamines and aromatic diamines, polyamines such as aliphatic polyether amines, diamines having carboxylic acids, and diamines having phenolic hydroxyl groups, but the amines are not limited to these amines. These amine components may be used alone or in combination.

이소시아네이트 성분으로서는, 방향족 디이소시아네이트 및 그의 이성체나 다량체, 지방족 디이소시아네이트류, 지환식 디이소시아네이트류 및 그의 이성체 등의 디이소시아네이트나 그 외 범용의 디이소시아네이트류를 사용할 수 있지만, 이들의 이소시아네이트에 한정되는 것은 아니다. 또한, 이들의 이소시아네이트 성분은, 단독으로 또는 조합하여 사용해도 된다.As the isocyanate component, diisocyanates such as aromatic diisocyanates and isomers or isomers thereof, aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and isomers thereof, and other general diisocyanates can be used. However, the diisocyanates are not limited to these isocyanates It is not. These isocyanate components may be used alone or in combination.

이상 설명한 바와 같은 이미드환을 갖는 알칼리 용해성 수지는, 아미드 결합을 갖고 있어도 된다. 이것은 카르복실기를 갖는 이미드화물과 이소시아네이트와 카르복실산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 폴리아미드이미드이어도 되고, 그 이외의 반응에 의한 것이어도 된다. 또한 그 외의 부가 및 축합을 포함하는 결합을 갖고 있어도 된다.The alkali-soluble resin having an imide ring as described above may have an amide bond. This may be a polyamideimide obtained by reacting an imide compound having a carboxyl group with an isocyanate and a carboxylic acid anhydride or may be obtained by other reactions. And may have a bond including addition and condensation.

이러한 알칼리 용해성기와 이미드환을 갖는 알칼리 용해성 수지의 합성에 있어서는, 공지 관용의 유기 용제를 사용할 수 있다. 이러한 유기 용매로서는, 원료인 카르복실산 무수물류, 아민류, 이소시아네이트류와 반응하지 않고, 또한 이들 원료가 용해하는 용매이면 문제는 없고, 특히 그의 구조는 한정되지 않는다. 특히, 원료의 용해성이 높은 점에서, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸-2-피롤리돈, 디메틸술폭시드, γ-부티로락톤 등의 비프로톤성 용매가 바람직하다.In the synthesis of such an alkali-soluble resin having an alkali-soluble group and an imide ring, a known organic solvent may be used. Such an organic solvent is not particularly limited as long as it does not react with carboxylic acid anhydrides, amines and isocyanates as starting materials, and is a solvent in which these raw materials are dissolved, and its structure is not particularly limited. Particularly, from the viewpoint of high solubility of the starting materials, non-protonic substances such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylsulfoxide, Solvents are preferred.

이상 설명한 바와 같은 페놀성 수산기, 카르복실기 중 1종 이상의 알칼리 용해성기와 이미드환을 갖는 알칼리 용해성 수지는, 포토리소그래피 공정에 대응하기 위해서, 그의 산가가 20 내지 200㎎KOH/g인 것이 바람직하고, 보다 적합하게는 60 내지 150㎎KOH/g인 것이 바람직하다. 이 산가가 20㎎KOH/g 이상인 경우, 알칼리에 대한 용해성이 증가하여, 현상성이 양호해지고, 나아가서는 광조사 후의 열경화 성분과의 가교도가 높아지기 때문에, 충분한 현상 콘트라스트를 얻을 수 있다. 또한, 이 산가가 200㎎KOH/g 이하인 경우에는, 특히 후술하는 광조사 후의 PEB(POST EXPOSURE BAKE) 공정에서의 소위 열 차폐를 억제할 수 있어, 프로세스 마진이 커진다.The alkali soluble resin having at least one alkali soluble group and imide ring in the phenolic hydroxyl group or carboxyl group as described above preferably has an acid value of 20 to 200 mgKOH / g in order to cope with the photolithography step, It is preferably 60 to 150 mg KOH / g. When the acid value is 20 mgKOH / g or more, the solubility in alkali increases, the developability becomes good, and further the degree of crosslinking with the thermosetting component after the light irradiation becomes high, so that sufficient development contrast can be obtained. Further, when the acid value is 200 mgKOH / g or less, so-called heat shielding in the post-exposure bake (PEB) process after light irradiation described later can be suppressed, and the process margin is increased.

또한, 이 알칼리 용해성 수지의 분자량은, 현상성과 경화 도막 특성을 고려하면, 질량 평균 분자량 1,000 내지 100,000이 바람직하고, 또한 2,000 내지 50,000이 보다 바람직하다. 이 분자량이 1,000 이상인 경우, 노광·PEB 후에 충분한 내현상성과 경화물성을 얻을 수 있다. 또한, 분자량이 100,000 이하인 경우, 알칼리 용해성이 증가하고, 현상성이 향상된다.The molecular weight of the alkali-soluble resin is preferably 1,000 to 100,000, more preferably 2,000 to 50,000, in view of the developability and the cured coating film characteristics. When the molecular weight is 1,000 or more, sufficient developability and curing properties can be obtained after exposure and PEB. When the molecular weight is 100,000 or less, the alkali solubility is increased and the developability is improved.

(광중합 개시제)(Photopolymerization initiator)

수지층 (B)에 있어서 사용하는 광중합 개시제로서는, 공지 관용의 것을 사용할 수 있어, 예를 들어 벤조인 화합물, 아실포스핀옥사이드계 화합물, 아세토페논계 화합물, α-아미노아세토페논 화합물, 옥심에스테르 화합물, 티옥산톤계 화합물 등을 들 수 있다.As the photopolymerization initiator used in the resin layer (B), known ones can be used, and examples thereof include benzoin compounds, acylphosphine oxide compounds, acetophenone compounds,? -Amino acetophenone compounds, oxime ester compounds , Thioxanthone compounds, and the like.

특히, 후술하는 광조사 후의 PEB 공정에 사용하는 경우에는, 광염기 발생제로서의 기능도 갖는 광중합 개시제가 적합하다. 또한, 이 PEB 공정에서는, 광중합 개시제와 광염기 발생제를 병용해도 된다.Particularly, when used in a PEB process after light irradiation described below, a photopolymerization initiator having a function as a photobase generator is also suitable. Further, in this PEB step, a photopolymerization initiator and a photobase generator may be used in combination.

광염기 발생제로서의 기능도 갖는 광중합 개시제는, 자외선이나 가시광 등의 광조사에 의해 분자 구조가 변화하거나 또는 분자가 개열함으로써, 후술하는 열반응성 화합물의 중합 반응의 촉매로서 기능할 수 있는 1종 이상의 염기성 물질을 생성하는 화합물이다. 염기성 물질로서, 예를 들어 2급 아민, 3급 아민을 들 수 있다.The photopolymerization initiator having a function as a photobase generator may be one or more kinds of photopolymerization initiators which can function as a catalyst for the polymerization reaction of a thermoreactive compound which will be described later when the molecular structure is changed by irradiation of light such as ultraviolet rays or visible light, It is a compound that produces a basic substance. As the basic substance, for example, secondary amine and tertiary amine can be mentioned.

이러한 광염기 발생제로서의 기능도 갖는 광중합 개시제로서는, 예를 들어 α-아미노아세토페논 화합물, 옥심에스테르 화합물이나, 아실옥시이미노기, N-포르밀화 방향족 아미노기, N-아실화 방향족 아미노기, 니트로벤질카르바메이트기, 알콕시벤질카르바메이트기 등의 치환기를 갖는 화합물 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 옥심에스테르 화합물, α-아미노아세토페논 화합물이 바람직하고, 옥심에스테르 화합물이 보다 바람직하다. α-아미노아세토페논 화합물로서는, 특히, 2개 이상의 질소 원자를 갖는 것이 바람직하다.Examples of the photopolymerization initiator having a function as a photobase generator include, for example, an? -Aminoacetophenone compound, an oxime ester compound, an acyloxyimino group, an N-formylated aromatic amino group, a N-acylated aromatic amino group, A compound having a substituent such as a benzoate, an alkoxybenzylcarbamate group and the like. Of these, oxime ester compounds and? -Aminoacetophenone compounds are preferable, and oxime ester compounds are more preferable. As the? -amino acetophenone compound, it is particularly preferable to have two or more nitrogen atoms.

α-아미노아세토페논 화합물은, 분자 중에 벤조인에테르 결합을 갖고, 광조사를 받으면 분자 내에서 개열이 일어나서, 경화 촉매 작용을 발휘하는 염기성 물질(아민)이 생성하는 것이면 된다.The? -amino acetophenone compound may be any one that has a benzoin ether bond in its molecule and undergoes cleavage in the molecule upon irradiation with light to generate a basic substance (amine) which exerts a curing catalytic action.

옥심에스테르 화합물로서는, 광조사에 의해 염기성 물질을 생성하는 화합물이면 어느 것이든 사용할 수 있다.As the oxime ester compound, any compound capable of generating a basic substance by light irradiation can be used.

이러한 광중합 개시제는, 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합해서 사용해도 된다. 수지 조성물 중의 광중합 개시제의 배합량은, 바람직하게는 알칼리 용해성 수지 100질량부에 대하여 0.1 내지 40질량부이고, 더욱 바람직하게는, 0.3 내지 20질량부이다. 0.1질량부 이상인 경우, 광조사부/미조사부의 내현상성의 콘트라스트를 양호하게 얻을 수 있다. 또한, 40질량부 이하인 경우, 경화물 특성이 향상된다.One such photopolymerization initiator may be used alone, or two or more photopolymerization initiators may be used in combination. The blending amount of the photopolymerization initiator in the resin composition is preferably 0.1 to 40 parts by mass, more preferably 0.3 to 20 parts by mass, based on 100 parts by mass of the alkali soluble resin. When the amount is not less than 0.1 part by mass, the contrast of the developability of the light irradiation portion / the non-irradiation portion can be satisfactorily obtained. When the amount is 40 parts by mass or less, the properties of the cured product are improved.

이상 설명한 바와 같은 수지층 (A) 및 수지층 (B)에 있어서 사용하는 수지 조성물에는, 필요에 따라 이하의 성분을 배합할 수 있다.The resin composition used in the resin layer (A) and the resin layer (B) as described above may contain the following components, if necessary.

(고분자 수지)(Polymer resin)

고분자 수지는, 얻어지는 경화물의 가요성, 지촉 건조성의 향상을 목적으로, 공지 관용의 것을 배합할 수 있다. 이러한 고분자 수지로서는, 셀룰로오스계, 폴리에스테르계, 페녹시수지계 중합체, 폴리비닐아세탈계, 폴리비닐부티랄계, 폴리아미드계, 폴리아미드이미드계 바인더 중합체, 블록 공중합체, 엘라스토머 등을 들 수 있다. 이 고분자 수지는, 1종류를 단독으로 사용해도 되고, 2종류 이상을 병용 해도 된다.For the purpose of improving the flexibility and tack-and-dryness of the resulting cured product, a publicly known one can be blended with the polymer resin. Examples of such a polymer resin include cellulose type, polyester type, phenoxy resin type, polyvinyl acetal type, polyvinyl butyral type, polyamide type, polyamideimide type binder polymer, block copolymer and elastomer. These polymer resins may be used alone or in combination of two or more.

(무기 충전제)(Inorganic filler)

무기 충전재는, 경화물의 경화 수축을 억제하고, 밀착성, 경도 등의 특성을 향상시키기 위해서 배합할 수 있다. 이러한 무기 충전제로서는, 예를 들어 황산바륨, 무정형 실리카, 용융 실리카, 구상 실리카, 탈크, 클레이, 탄산마그네슘, 탄산칼슘, 산화알루미늄, 수산화알루미늄, 질화규소, 질화알루미늄, 질화붕소, 노이부르그 실리셔스 어스 등을 들 수 있다.The inorganic filler can be compounded in order to suppress curing shrinkage of the cured product and improve the properties such as adhesion and hardness. Examples of the inorganic filler include barium sulfate, amorphous silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride, And the like.

(착색제)(coloring agent)

착색제로서는, 적, 청, 녹, 황, 백, 흑 등의 공지 관용의 착색제를 배합할 수 있으며, 안료, 염료, 색소의 어느 것이든 무방하다.As the coloring agent, known coloring agents such as red, blue, green, yellow, white, and black can be mixed, and any of pigments, dyes, and pigments may be used.

(유기 용제)(Organic solvent)

유기 용제는, 수지 조성물의 제조를 위해서나, 기재나 캐리어 필름에 도포하기 위한 점도 조정을 위해서 배합할 수 있다. 이러한 유기 용제로서는, 케톤류, 방향족 탄화수소류, 글리콜에테르류, 글리콜에테르아세테이트류, 에스테르류, 알코올류, 지방족탄화수소, 석유계 용제 등을 들 수 있다. 이러한 유기 용제는, 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상의 혼합물로서 사용해도 된다.The organic solvent may be blended for the production of a resin composition or for viscosity adjustment for application to a substrate or a carrier film. Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents and the like. These organic solvents may be used singly or as a mixture of two or more kinds.

(그 외 성분)(Other components)

필요에 따라 또한, 머캅토 화합물, 밀착 촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제 등의 성분을 배합할 수 있다. 이들은, 공지 관용의 것을 사용할 수 있다. 또한, 미분 실리카, 하이드로탈사이트, 유기 벤토나이트, 몬모릴로나이트 등의 공지 관용의 증점제, 실리콘계, 불소계, 고분자계 등의 소포제 및/또는 레벨링제, 실란 커플링제, 방청제 등과 같은 공지 관용의 첨가제류를 배합할 수 있다.If necessary, components such as a mercapto compound, an adhesion promoter, an antioxidant, and an ultraviolet absorber may be blended. These can be used for known purposes. It is also possible to add known additives such as thickening agents for known additives such as fine silica, hydrotalcite, organic bentonite and montmorillonite, antifoaming agents such as silicone, fluorine and high molecular weight and / or leveling agents, silane coupling agents and rust preventive agents .

본 발명의 적층 구조체는, 굴곡성이 우수한 점에서, 플렉시블 프린트 배선판의 굴곡부 및 비굴곡부 중 적어도 어느 한쪽에 사용할 수 있고, 또한 플렉시블 프린트 배선판의 커버 레이, 솔더 레지스트 및 층간 절연 재료 중 적어도 어느 하나의 용도로서 사용할 수 있다.The laminated structure of the present invention can be used for at least one of the bent portion and the non-bent portion of the flexible printed wiring board in view of excellent flexibility and can be used for at least any one of the coverlay, the solder resist and the interlayer insulating material of the flexible printed wiring board .

이상 설명한 바와 같은 구성에 따른 본 발명의 적층 구조체는, 그의 적어도 편면이 필름으로 지지 또는 보호되어 있는 드라이 필름으로서 사용하는 것이 바람직하다.It is preferable that the laminated structure of the present invention constructed as described above is used as a dry film in which at least one side thereof is supported or protected by a film.

(드라이 필름)(Dry film)

본 발명의 드라이 필름은, 이하와 같이 해서 제조할 수 있다. 즉, 먼저 캐리어 필름(지지 필름) 위에, 상기 수지층 (B) 및 수지층 (A)를 구성하는 조성물을, 유기 용제로 희석해서 적절한 점도로 조정하여, 통상법에 따라서, 콤마 코터 등의 공지의 방법으로 순차 도포한다. 그 후, 통상, 50 내지 130℃의 온도에서 1 내지 30분간 건조함으로써, 캐리어 필름 위에 수지층 (B) 및 수지층 (A)를 포함하는 드라이 필름을 형성할 수 있다. 이 드라이 필름 위에는, 막의 표면에 티끌이 부착되는 것을 방지하는 등의 목적으로, 박리 가능한 커버 필름(보호 필름)을 더 적층할 수 있다. 캐리어 필름 및 커버 필름으로서는, 종래 공지의 플라스틱 필름을 적절히 사용할 수 있으며, 커버 필름에 대해서는, 커버 필름을 박리할 때에, 수지층과 캐리어 필름의 접착력보다 작은 것인 것이 바람직하다. 캐리어 필름 및 커버 필름의 두께에 대해서는 특별히 제한은 없지만, 일반적으로, 10 내지 150㎛의 범위에서 적절히 선택된다.The dry film of the present invention can be produced as follows. That is, first, the composition constituting the resin layer (B) and the resin layer (A) is diluted with an organic solvent on the carrier film (support film) and adjusted to an appropriate viscosity, and a known composition such as a comma coater Method. Then, the dry film containing the resin layer (B) and the resin layer (A) can be formed on the carrier film by usually drying at a temperature of 50 to 130 ° C for 1 to 30 minutes. On the dry film, a peelable cover film (protective film) can be further laminated for the purpose of preventing the adherence of dust to the surface of the film. As the carrier film and the cover film, conventionally known plastic films can be suitably used. For the cover film, it is preferable that the cover film is smaller than the adhesive force between the resin layer and the carrier film. The thickness of the carrier film and the cover film is not particularly limited, but is generally appropriately selected in the range of 10 to 150 mu m.

(배선판의 제조 방법)(Manufacturing method of wiring board)

본 발명의 적층 구조체를 사용한 플렉시블 프린트 배선판의 제조는, 도 1의 공정도에 나타내는 수순에 따라 행할 수 있다. 즉, 도체 회로를 형성한 플렉시블 배선 기판 위에 본 발명의 적층 구조체의 층을 형성하는 공정(적층 공정), 이 적층 구조체의 층에 활성 에너지선을 패턴 형상으로 조사하는 공정(노광 공정) 및 이 적층 구조체의 층을 알칼리 현상하여, 패턴화된 적층 구조체의 층을 일괄 형성하는 공정(현상 공정)을 포함하는 제조 방법이다. 또한, 필요에 따라서, 알칼리 현상 후, 더 이상의 광경화나 열경화(후경화 공정)를 행하여, 적층 구조체의 층을 완전히 경화시켜서, 신뢰성이 높은 플렉시블 프린트 배선판을 얻을 수 있다.The production of the flexible printed wiring board using the laminated structure of the present invention can be performed according to the procedure shown in the process chart of Fig. That is, a step (lamination step) of forming a layer of the laminated structure of the present invention on a flexible wiring board on which a conductor circuit is formed, a step of irradiating the layer of the laminated structure with a pattern of active energy rays (exposure step) And a step of collectively forming layers of the patterned laminated structure by developing the layer of the structure with an alkali (developing step). Further, after the alkaline development, if necessary, further light curing or thermosetting (post-curing step) is carried out to completely cure the layer of the laminated structure, whereby a highly reliable flexible printed wiring board can be obtained.

또한, 본 발명의 적층 구조체를 사용한 플렉시블 프린트 배선판의 제조는, 도 2의 공정도에 나타내는 수순에 따라 행할 수도 있다. 즉, 도체 회로를 형성한 플렉시블 배선 기판 위에 본 발명의 적층 구조체의 층을 형성하는 공정(적층 공정), 이 적층 구조체의 층에 활성 에너지선을 패턴 형상으로 조사하는 공정(노광 공정), 이 적층 구조체의 층을 가열하는 공정(가열(PEB) 공정) 및 적층 구조체의 층을 알칼리 현상하여, 패턴화된 적층 구조체의 층을 일괄 형성하는 공정(현상 공정)을 포함하는 제조 방법이다. 또한, 필요에 따라, 알칼리 현상 후, 더 이상의 광경화나 열경화(후경화 공정)를 행하여, 적층 구조체의 층을 완전히 경화시켜서, 신뢰성이 높은 플렉시블 프린트 배선판을 얻을 수 있다. 특히, 수지층 (B)에 있어서 이미드환 함유 알칼리 용해성 수지를 사용한 경우에는, 이 도 2의 공정도에 나타내는 수순을 사용하는 것이 바람직하다.The production of the flexible printed wiring board using the laminated structure of the present invention can also be performed according to the procedure shown in the process chart of Fig. That is, a step (lamination step) of forming a layer of the laminated structure of the present invention on a flexible wiring board on which a conductor circuit is formed, a step of irradiating the layer of the laminated structure with a pattern of active energy rays (exposure step) A step of heating a layer of the structure (a heating (PEB) step), and a step of alkali-developing the layer of the laminated structure to collectively form the layers of the patterned laminated structure (developing step). If necessary, after the alkali development, further light curing or thermosetting (post-curing step) is carried out to completely cure the layer of the laminated structure, whereby a highly reliable flexible printed wiring board can be obtained. Particularly, in the case where an imide ring-containing alkali-soluble resin is used in the resin layer (B), it is preferable to use the procedure shown in the process chart of Fig.

이하, 도 1 또는 도 2에 도시하는 각 공정에 대해서, 상세하게 설명한다.Hereinafter, each step shown in Fig. 1 or Fig. 2 will be described in detail.

[적층 공정][Lamination step]

이 공정에서는, 도체 회로(2)가 형성된 플렉시블 프린트 배선 기판(1)에, 알칼리 용해성 수지 등을 포함하는 알칼리 현상형 수지 조성물을 포함하는 수지층(3)(수지층 (A))과, 수지층(3) 위의, 알칼리 용해성 수지 등을 포함하는 감광성 열경화성 수지 조성물을 포함하는 수지층(4)(수지층 (B))을 포함하는 적층 구조체를 형성한다. 여기서, 적층 구조체를 구성하는 각 수지층은, 예를 들어 수지층(3, 4)을 구성하는 수지 조성물을, 순차, 배선 기판(1)에 도포 및 건조함으로써 수지층(3, 4)을 형성하거나, 혹은 수지층(3, 4)을 구성하는 수지 조성물을 2층 구조의 드라이 필름의 형태로 한 것을, 배선 기판(1)에 라미네이트하는 방법에 의해 형성 해도 된다.In this step, a resin layer 3 (resin layer (A)) containing an alkali developing resin composition containing an alkali soluble resin or the like and a resin layer And a resin layer 4 (resin layer (B)) containing a photosensitive thermosetting resin composition containing an alkali soluble resin or the like on the paper layer 3 is formed. Here, the respective resin layers constituting the laminated structure are formed by forming resin layers 3 and 4 by, for example, applying the resin composition constituting the resin layers 3 and 4 sequentially to the wiring substrate 1 and drying the same Alternatively, the resin composition constituting the resin layers 3 and 4 may be formed in the form of a two-layered dry film by a method of laminating the resin composition on the wiring board 1.

수지 조성물의 배선 기판에 대한 도포 방법은, 블레이드 코터, 립 코터, 콤마 코터, 필름 코터 등의 공지의 방법이어도 된다. 또한, 건조 방법은, 열풍 순환식 건조로, IR로, 핫 플레이트, 컨벡션 오븐 등, 증기에 의한 가열 방식의 열원을 구비한 것을 사용하여, 건조기 내의 열풍을 향류 접촉시키는 방법 및 노즐에 의해 지지체로 분사하는 방법 등, 공지의 방법이어도 된다.The method of applying the resin composition to the wiring board may be a known method such as a blade coater, a lip coater, a comma coater, and a film coater. The drying method includes a method in which warm air in a dryer is countercurrently contacted using a hot air circulating drying furnace, IR, a hot plate, a convection oven, or the like, Or a known method such as a spraying method.

[노광 공정][Exposure step]

이 공정에서는, 활성 에너지선의 조사에 의해, 수지층(4)에 포함되는 광중합 개시제를 네거티브형 패턴 형상으로 활성화시켜서, 노광부를 경화한다. 노광기로서는, 직접 묘화 장치, 메탈 할라이드 램프를 탑재한 노광기 등을 사용할 수 있다. 패턴 형상의 노광용 마스크는, 네거티브형 마스크이다.In this step, the photopolymerization initiator contained in the resin layer 4 is activated in a negative pattern by irradiation of an active energy ray to cure the exposed portion. As the exposure machine, a direct imaging apparatus, an exposure machine equipped with a metal halide lamp, or the like can be used. The pattern-shaped exposure mask is a negative mask.

노광에 사용하는 활성 에너지선으로서는, 최대 파장이 350 내지 450㎚의 범위에 있는 레이저광 또는 산란광을 사용하는 것이 바람직하다. 최대 파장을 이 범위로 함으로써, 효율적으로 광중합 개시제를 활성화시킬 수 있다. 또한, 그 노광량은 막 두께 등에 따라 다르지만, 통상은 100 내지 1500mJ/㎠로 할 수 있다.As the active energy ray used for exposure, laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm is preferably used. By setting the maximum wavelength within this range, the photopolymerization initiator can be activated efficiently. The exposure dose varies depending on the film thickness and the like, but it may be usually from 100 to 1500 mJ / cm 2.

[PEB 공정][PEB process]

이 공정에서는, 노광 후, 수지층을 가열함으로써, 노광부를 경화한다. 이 공정에 의해, 광염기 발생제로서의 기능을 갖는 광중합 개시제를 사용하거나, 광중합 개시제와 광염기 발생제를 병용한 조성물을 포함하는 수지층 (B)의 노광 공정에서 발생한 염기에 의해, 수지층 (B)를 심부까지 경화할 수 있다. 가열 온도는, 예를 들어 80 내지 140℃이다. 가열 시간은, 예를 들어 2 내지 140분이다. 본 발명에 있어서의 수지 조성물의 경화는, 예를 들어 열반응에 의한 에폭시 수지의 개환반응이기 때문에, 광 라디칼 반응으로 경화가 진행되는 경우에 비해서 변형이나 경화 수축을 억제할 수 있다.In this step, after exposure, the resin layer is heated to cure the exposed portion. By this step, a photopolymerization initiator having a function as a photopolymerization initiator can be used, or a base generated in the exposure step of the resin layer (B) including a composition comprising a photopolymerization initiator and a photo- B) to the core. The heating temperature is, for example, 80 to 140 占 폚. The heating time is, for example, 2 to 140 minutes. The curing of the resin composition in the present invention is a ring-opening reaction of an epoxy resin by, for example, a thermal reaction, so that deformation and curing shrinkage can be suppressed as compared with the case where curing proceeds by a photo radical reaction.

[현상 공정][Development process]

이 공정에서는, 알칼리 현상에 의해, 미노광부를 제거하여, 네거티브형 패턴 형상의 절연막, 특히 커버 레이 및 솔더 레지스트를 형성한다. 현상 방법으로서는, 디핑 등의 공지의 방법에 따를 수 있다. 또한, 현상액으로서는, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 수산화칼륨, 아민류, 2-메틸이미다졸 등의 이미다졸류, 수산화테트라메틸암모늄 수용액 (TMAH) 등의 알칼리 수용액 또는 이들의 혼합액을 사용할 수 있다.In this step, the unexposed portion is removed by alkali development to form a negative patterned insulating film, in particular, a coverlay and a solder resist. As the developing method, a known method such as dipping can be used. As the developing solution, an aqueous alkali solution such as sodium carbonate, potassium carbonate, potassium hydroxide, amines, imidazoles such as 2-methylimidazole, aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (TMAH), or a mixture thereof can be used.

[후경화 공정][Post-curing process]

이 공정은, 현상 공정 후에, 수지층을 완전히 열경화시켜서 신뢰성이 높은 도막을 얻는 것이다. 가열 온도는, 예를 들어 140℃ 내지 180℃이다. 가열 시간은, 예를 들어 20 내지 120분이다. 또한, 후경화 전 또는 후에, 광조사해도 된다.In this step, after the development step, the resin layer is completely thermally cured to obtain a highly reliable coating film. The heating temperature is, for example, 140 占 폚 to 180 占 폚. The heating time is, for example, 20 to 120 minutes. Further, light irradiation may be performed before or after post-curing.

실시예Example

이하, 실시예, 비교예에 의해 본 발명을 더욱 상세히 설명하지만, 본 발명은, 이들 실시예, 비교예에 의해 제한되는 것이 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these examples and comparative examples.

<합성예 1: 폴리아미드이미드 수지 용액의 합성예>&Lt; Synthesis Example 1: Synthesis Example of Polyamideimide Resin Solution >

교반기, 질소 도입관, 분류환, 냉각환을 설치한 세퍼러블 3구 플라스크에, 3,5-디아미노벤조산을 3.8g, 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판을 6.98g, 제파민 XTJ-542(헌츠만사 제조, 분자량 1025.64)를 8.21g, γ-부티로락톤을 86.49g, 실온에서 투입하고, 용해했다.Diaminobenzoic acid and 3.8 g of 2,2'-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane were placed in a separable three-necked flask equipped with a stirrer, 6.98 g of propane, 8.21 g of Zephamin XTJ-542 (manufactured by Huntsman, molecular weight 1025.64) and 86.49 g of? -Butyrolactone were dissolved at room temperature.

계속해서, 시클로헥산-1,2,4-트리카르복실산-1,2-무수물 17.84g 및 트리멜리트산 무수물 2.88g을 투입하고, 실온에서 30분간 유지했다. 계속해서, 톨루엔을 30g 첨가하고, 160℃까지 승온하고, 톨루엔 및 물을 증류 제거하면서 3시간 교반한 후, 실온까지 냉각하여, 이미드화물 용액을 얻었다.Subsequently, 17.84 g of cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride and 2.88 g of trimellitic anhydride were added and kept at room temperature for 30 minutes. Subsequently, 30 g of toluene was added, the temperature was raised to 160 캜, and toluene and water were distilled off while stirring for 3 hours, followed by cooling to room temperature to obtain an imide frement solution.

얻어진 이미드화물 용액에, 트리멜리트산 무수물 9.61g 및 트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트 17.45g을 투입하고, 온도 160℃에서 32시간 교반했다. 이렇게 해서 카르복실기를 갖는 폴리아미드이미드 수지 용액 (PAI-1)을 얻었다. 얻어진 수지(고형분)의 산가는 83.1㎎KOH, Mw는 4300이었다.9.61 g of trimellitic anhydride and 17.45 g of trimethylhexamethylene diisocyanate were added to the obtained imide cargo solution, and the mixture was stirred at a temperature of 160 캜 for 32 hours. Thus, a polyamide-imide resin solution (PAI-1) having a carboxyl group was obtained. The obtained resin (solid content) had an acid value of 83.1 mgKOH and an Mw of 4300.

<합성예 2: 이미드환, 페놀성 수산기 및 카르복실기를 갖는 폴리이미드 수지 용액의 합성>Synthesis Example 2: Synthesis of polyimide resin solution having imide ring, phenolic hydroxyl group and carboxyl group>

교반기, 질소 도입관, 분류환, 냉각환을 설치한 세퍼러블 3구 플라스크에, 3,3'-디아미노-4,4'-디히드록시디페닐술폰 22.4g, 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판을 8.2g, NMP를 30g, γ-부티로락톤을 30g, 4,4'-옥시디프탈산 무수물을 27.9g, 트리멜리트산 무수물을 3.8g 첨가하고, 질소 분위기 하에서, 실온, 100rpm으로 4시간 교반했다. 계속해서 톨루엔을 20g 첨가하고, 실리콘욕 온도 180℃, 150rpm으로 톨루엔 및 물을 증류 제거하면서 4시간 교반하여, 페놀성 수산기 및 카르복실기를 갖는 폴리이미드 수지 용액 (PI-1)을 얻었다.In a separable three-necked flask equipped with a stirrer, a nitrogen introducing tube, a separating ring and a cooling ring, 22.4 g of 3,3'-diamino-4,4'-dihydroxydiphenyl sulfone, 8.2 g of 4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 30 g of NMP, 30 g of? -Butyrolactone, 27.9 g of 4,4'-oxydiphthalic anhydride and 3.8 g of trimellitic anhydride , And the mixture was stirred at 100 rpm for 4 hours at room temperature under a nitrogen atmosphere. Subsequently, 20 g of toluene was added, and the mixture was stirred for 4 hours while distilling off toluene and water at a silicon bath temperature of 180 캜 at 150 rpm to obtain a polyimide resin solution (PI-1) having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group.

얻어진 수지(고형분)의 산가는 18㎎KOH, Mw는 10,000, 수산기 당량은 390이었다.The obtained resin (solid content) had an acid value of 18 mgKOH, an Mw of 10,000 and a hydroxyl group equivalent of 390.

<합성예 3: 카르복실기 함유 우레탄 수지의 합성>&Lt; Synthesis Example 3: Synthesis of carboxyl group-containing urethane resin &

교반 장치, 온도계 및 콘덴서를 구비한 반응 용기에, 1,5-펜탄디올과 1,6-헥산디올로부터 유도되는 폴리카르보네이트디올(아사히 가세이 케미컬즈(주) 제조, T5650J, 수평균 분자량 800)을 2400g(3몰), 디메틸올프로피온산을 603g(4.5몰) 및 모노히드록실 화합물로서 2-히드록시에틸아크릴레이트를 238g(2.6몰) 투입했다. 계속해서, 폴리이소시아네이트로서 이소포론디이소시아네이트 1887g(8.5몰)을 투입하고, 교반하면서 60℃까지 가열해서 정지하고, 반응 용기 내의 온도가 저하되기 시작한 시점에서 다시 가열해서 80℃에서 교반을 계속하여, 적외선 흡수 스펙트럼으로 이소시아네이트기의 흡수 스펙트럼(2280㎝-1)이 소실한 것을 확인하여, 반응을 종료했다. 그 후, 고형분이 50질량%가 되도록 카르비톨아세테이트를 첨가했다. 얻어진 카르복실기 함유 수지의 고형분 산가는 50㎎KOH/g이었다.A polycarbonate diol (T5650J, manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd., number-average molecular weight 800 (trade name), manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd.) was added to a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer and a condenser, ), 603 g (4.5 mol) of dimethylolpropionic acid and 238 g (2.6 mol) of 2-hydroxyethyl acrylate as a monohydroxyl compound were introduced. Subsequently, 1887 g (8.5 mol) of isophorone diisocyanate was added as polyisocyanate, and the mixture was heated to 60 DEG C with stirring and stopped. When the temperature in the reaction vessel began to decrease, the mixture was heated again and stirring was continued at 80 DEG C, The absorption spectrum (2280 cm -1 ) of the isocyanate group was confirmed to be lost in the infrared absorption spectrum, and the reaction was terminated. Thereafter, carbitol acetate was added so that the solid content was 50 mass%. The solid content of the obtained carboxyl group-containing resin was 50 mgKOH / g.

(실시예 1 내지 6, 비교예 1 내지 4)(Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 4)

하기 표 안에 기재된 배합에 따라, 실시예 및 비교예에 기재된 재료를 각각 배합, 교반기로 예비 혼합한 후, 3개 롤밀로 혼련하여, 각 수지층을 구성하는 수지 조성물을 제조했다. 표 안의 값은, 특별히 언급이 없는 한, 고형분의 질량부이다.The materials described in the examples and the comparative examples were each compounded, premixed with a stirrer, and kneaded with a three-roll mill to prepare a resin composition constituting each resin layer. The values in the table are parts by mass of solids, unless otherwise noted.

<수지층 (A)의 형성>&Lt; Formation of Resin Layer (A) >

구리 두께 18㎛의 회로가 형성되어 있는 플렉시블 프린트 배선 기판을 준비하고, 멕 브라이트 CB-801Y를 사용하여, 전처리를 행하였다. 그 후, 전처리를 행한 플렉시블 프린트 배선 기판에, 각 수지 조성물을 각각 건조 후의 막 두께가 25㎛가 되도록 도포했다. 그 후, 열풍 순환식 건조로로 90℃/30분으로 건조하여, 수지 조성물을 포함하는 수지층 (A)를 형성했다.A flexible printed wiring board on which a circuit with a copper thickness of 18 mu m was formed was prepared and preprocessed using Macblight CB-801Y. Thereafter, each of the resin compositions was coated on the preprinted flexible printed wiring board so that the film thickness after drying was 25 mu m. Thereafter, the resultant was dried with a hot-air circulation type drying furnace at 90 DEG C for 30 minutes to form a resin layer (A) containing the resin composition.

<수지층 (B)의 형성>&Lt; Formation of resin layer (B) >

상기에서 형성된 수지층 (A) 위에 각 수지 조성물을 각각 건조 후의 막 두께가 10㎛가 되도록 도포했다. 그 후, 열풍 순환식 건조로로 90℃/30분으로 건조하여, 수지 조성물을 포함하는 수지층 (B)를 형성했다.Each of the resin compositions was coated on the resin layer (A) formed as described above so as to have a thickness of 10 mu m after drying. Thereafter, the resultant was dried at 90 DEG C for 30 minutes in a hot-air circulation type drying furnace to form a resin layer (B) containing the resin composition.

<감도><Sensitivity>

얻어진 각 적층 구조체를, 메탈 할라이드 램프 탑재의 노광 장치(HMW-680-GW20)를 사용하여, 41단의 스텝 타블렛(STOUFFER 제조 T-4105)을 통하여 500mJ/㎠로 노광했다. 그 후, 실시예 3 내지 6 및 비교예 3, 4에 대해서는 90℃에서 30분간 PEB 공정을 행하고 나서, 현상(30℃, 0.2㎫, 1질량% Na2CO3 수용액)을 60초로 행하여, 잔존하는 스텝 타블렛의 단수를 감도의 지표로 했다. 잔존 단수가 많을수록, 감도가 양호하다.Each of the obtained laminated structures was exposed at 500 mJ / cm 2 through a 41-step step tablet (STOUFFER T-4105) using an exposure apparatus (HMW-680-GW20) equipped with a metal halide lamp. Then, Examples 3 to 6 and Comparative Example 3, and then carried out for 30 minutes at 90 ℃ PEB step for 4 to 60 seconds, the developer (30 ℃, 0.2㎫, 1 wt% Na 2 CO 3 solution) is performed, the remaining The step number of the step tablet was made an index of the sensitivity. The higher the number of the remaining stages, the better the sensitivity.

<최소 잔존 라인폭>&Lt; Minimum remaining line width &

얻어진 각 적층 구조체를, 메탈 할라이드 램프 탑재의 노광 장치(HMW-680-GW20)를 사용하여, 500mJ/㎠로 노광했다. 노광 패턴은 폭 20/30/40/50/60/70/80/90/100㎛의 라인을 노광하는 네거티브형 마스크를 사용했다. 그 후, 실시예 3 내지 6 및 비교예 3, 4에 대해서는 90℃에서 30분간 PEB 공정을 행하고 나서, 현상(30℃, 0.2㎫, 1질량% Na2CO3 수용액)을 60초로 행하여 패턴을 그리고, 150℃×60분으로 열경화함으로써 경화 도막을 얻었다. 얻어진 경화 도막의 최소 잔존 라인폭을, 200배로 조정한 광학 현미경을 사용해서 카운트했다. 최소 잔존 라인폭이 작을수록, 심부 경화성이 양호하다.Each laminated structure thus obtained was exposed at 500 mJ / cm 2 using an exposure apparatus (HMW-680-GW20) equipped with a metal halide lamp. A negative mask for exposing a line having a width of 20/30/40/50/60/70/80/90/100 μm was used as the exposure pattern. Then, Examples 3 to 6 and Comparative Example 3, and then carried out for 30 minutes at 90 ℃ PEB step for 4 subjected to the development (30 ℃, 0.2㎫, 1 wt% Na 2 CO 3 solution) to 60 seconds, the pattern Then, the cured coating film was obtained by thermosetting at 150 占 폚 for 60 minutes. The minimum remaining line width of the obtained cured coating film was counted using an optical microscope adjusted to 200 times. The smaller the minimum remaining line width is, the better the deep curing property is.

<굴곡성 시험(맨드릴 시험)><Flexibility test (mandrel test)>

얻어진 각 적층 구조체를 메탈 할라이드 램프 탑재의 노광 장치(HMW-680-GW20)를 사용해서 500mJ/㎠로 전체면 노광했다. 그 후, 실시예 3 내지 6 및 비교예 3, 4에 대해서는 90℃에서 30분간 PEB 공정을 행하고 나서, 현상(30℃, 0.2㎫, 1질량% Na2CO3 수용액)을 60초로 행하고, 150℃×60분으로 열경화함으로써, 경화 적층 구조체를 얻었다. 얻어진 경화 적층 구조체를 약 50㎜×약 200㎜로 절단하여, 원통형 맨드릴 시험기(BYK 가드너사, No.5710)를 사용해서 굴곡성 평가를 행하였다. 수지 조성물을 도포한 면을 외측에 배치하여, 직경 2㎜의 중심 막대를 중심으로 굴곡시켜서, 변색, 크랙 발생의 유무를 평가했다. 굴곡부에 변색, 크랙의 발생이 없는 경우를 ◎, 변색이 있고 크랙의 발생이 없는 경우를 ○, 크랙이 발생한 경우를 ×로 하였다.Each of the obtained laminated structure bodies was entirely exposed at 500 mJ / cm 2 using an exposure apparatus (HMW-680-GW20) equipped with a metal halide lamp. Then, Examples 3 to 6 and Comparative Example 3, and then carried out for 30 minutes at 90 ℃ PEB step for 4, subjected to developing for 60 seconds (30 ℃, 0.2㎫, 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution), 150 C for 60 minutes to obtain a cured laminated structure. The obtained cured laminated structure was cut to a size of about 50 mm x about 200 mm, and flexural properties were evaluated using a cylindrical mandrel tester (BYK Gardner Co., Ltd., No. 5710). The surface coated with the resin composition was placed on the outside and bent around a central rod having a diameter of 2 mm to evaluate discoloration and occurrence of cracks. The case where there was no discoloration or crack in the bent portion was rated as?, A case in which there was discoloration, no crack occurred, and a case where crack occurred.

<내열성 시험><Heat resistance test>

얻어진 각 적층 구조체를 메탈 할라이드 램프 탑재의 노광 장치(HMW-680-GW20)를 사용하여, 구리 위에 직경 약 2㎜ 내지 5㎜의 개구가 형성되는 네거티브형 마스크를 통하여 500mJ/㎠로 노광했다. 그 후, 실시예 3 내지 6 및 비교예 3, 4에 대해서는 90℃에서 30분간 PEB 공정을 행하고 나서, 현상(30℃, 0.2㎫, 1질량% Na2CO3 수용액)을 60초로 행하고, 150℃×60분으로 열경화함으로써, 경화 적층 구조체를 얻었다. 얻어진 경화 적층 구조체를, 260℃와 280℃로 가열한 땜납조에 담가서, 내열성 시험을 행하였다. 수지 조성물을 도포한 면이 땜납에 닿도록 조에 5초 띄운 후, 회수, 냉각해서 수지 조성물의 들뜸, 박리의 발생 유무를 평가했다. 280℃에서 띄워서, 박리의 발생이 없는 경우를 ◎, 260℃에서 띄워서, 박리의 발생이 없고, 280℃에서 띄워서, 박리가 발생한 경우를 ○, 260℃에서 띄워서, 박리가 발생한 경우를 ×로 했다.Each of the obtained laminated structures was exposed at 500 mJ / cm 2 through a negative mask having openings of about 2 mm to 5 mm in diameter formed on copper using an exposure apparatus (HMW-680-GW20) equipped with a metal halide lamp. Then, Examples 3 to 6 and Comparative Example 3, and then carried out for 30 minutes at 90 ℃ PEB step for 4, subjected to developing for 60 seconds (30 ℃, 0.2㎫, 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution), 150 C for 60 minutes to obtain a cured laminated structure. The obtained cured laminated structure was immersed in a solder tank heated to 260 占 폚 and 280 占 폚 to carry out a heat resistance test. The surface coated with the resin composition was allowed to stand in the bath for 5 seconds so as to come in contact with the solder, and then recovered and cooled to evaluate the occurrence of lifting and peeling of the resin composition. And when the peeling occurred at 280 占 폚, no peeling occurred. The peeling occurred at 260 占 폚. No peeling occurred. The peeling occurred at 280 占 폚. When peeling occurred, the peeling occurred at 260 占 폚. .

그 평가 결과를, 하기의 표 안에 모두 나타낸다.The evaluation results are all shown in the following table.

Figure pct00001
Figure pct00001

*1) ZFR-1401H: 산변성 비스페놀 F형 에폭시아크릴레이트, 산가 98㎎KOH/g(닛본 가야꾸(주) 제조)* 1) ZFR-1401H: acid-modified bisphenol F type epoxy acrylate, acid value 98 mgKOH / g (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

*2) PAI-1: 합성예 1의 폴리아미드이미드 수지* 2) PAI-1: Polyamideimide resin of Synthesis Example 1

*3) PI-1: 합성예 2의 폴리이미드 수지* 3) PI-1: The polyimide resin of Synthesis Example 2

*4) BPE-900: 에톡시화 비스페놀 A 디메타크릴레이트(신나카무라 가가꾸(주) 제조)* 4) BPE-900: ethoxylated bisphenol A dimethacrylate (manufactured by Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.)

*5) E1001: 비스페놀 A형 에폭시 수지, 에폭시 당량 450 내지 500(미쯔비시 가가꾸(주) 제조)* 5) E1001: bisphenol A type epoxy resin, epoxy equivalent 450 to 500 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)

*6) E834: 비스페놀 A형 에폭시 수지, 에폭시 당량 230 내지 270(미쯔비시 가가꾸(주) 제조)* 6) E834: bisphenol A type epoxy resin, epoxy equivalent 230 to 270 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)

*7) IRGACURE OXE02: 옥심계 광중합 개시제(바스프사 제조)* 7) IRGACURE OXE02: Oxime photopolymerization initiator (BASF)

*8) IRGACURE 379: 알킬 페논계 광중합 개시제(바스프사 제조)* 8) IRGACURE 379: alkylphenon-based photopolymerization initiator (BASF)

*9) 카르복실기 함유 우레탄 수지: 합성예 3의 수지* 9) urethane resin containing carboxyl group: Resin of Synthesis Example 3

*10) E828: 비스페놀 A형 에폭시 수지, 에폭시 당량 190, 질량 평균 분자량 380(미쯔비시 가가꾸(주) 제조)* 10) E828: bisphenol A type epoxy resin, epoxy equivalent 190, mass average molecular weight 380 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)

Figure pct00002
Figure pct00002

상기 표 안에 나타내는 평가 결과에서 명백해진 바와 같이, 각 실시예의 적층 구조체는, 각 비교예의 적층 구조체와 비교하여, 감도가 우수함과 함께, 심부 경화성도 우수한 것이 명백하다. 이에 반해, 수지층 (A)가 광중합 개시제를 포함하고 있는 각 비교예에서는, 광중합 개시제가 광을 흡수함으로써 심부 경화성이 얻어지지 않아, 미세한 라인은 현상 시에 탈락해버린다.As is evident from the evaluation results shown in the above table, it is clear that the laminated structures of the respective Examples are superior in sensitivity as well as deep-part curing property as compared with the laminated structures of the respective Comparative Examples. On the other hand, in each of the comparative examples in which the resin layer (A) contains a photopolymerization initiator, the photopolymerization initiator absorbs light, so that the deep curing property is not obtained, and the fine line is dropped at the time of development.

(실시예 7 내지 12, 비교예 5)(Examples 7 to 12, Comparative Example 5)

하기 표 안에 기재된 배합에 따라, 실시예 및 비교예에 기재된 재료를 각각 배합, 교반기로 예비 혼합한 후, 3개 롤밀로 혼련함으로써, 각 수지층을 구성하는 수지 조성물을 제조하고, 상기 실시예 1 등과 마찬가지로 해서, 수지층 (A) 및 수지층 (B)의 형성을 행하였다. 표 안의 값은, 특별히 언급이 없는 한, 고형분의 질량부이다.The resin compositions constituting each resin layer were prepared by mixing the materials described in the examples and the comparative examples respectively in accordance with the blend described in the following table, preliminarily mixing them with a stirrer, and kneading them with a three roll mill, , The resin layer (A) and the resin layer (B) were formed. The values in the table are parts by mass of solids, unless otherwise noted.

<해상성(개구 사이즈 및 최소 잔존 라인폭)>&Lt; Resolution (aperture size and minimum remaining line width) >

얻어진 각 적층 구조체를, 메탈 할라이드 램프 탑재의 노광 장치(HMW-680-GW20)를 사용하여, 500mJ/㎠로 노광했다. 노광 패턴은, 폭 30/40/50/60/70/80/90/100㎛의 라인을 그리는 패턴 및 300㎛의 개구를 개방하는 패턴으로 하였다. 그 후, 90℃에서 30분간 PEB 공정을 행하고 나서, 현상(30℃, 0.2㎫, 1질량% Na2CO3 수용액)을 60초로 행하여 패턴을 그리고, 150℃×60분으로 열경화함으로써 경화 도막을 얻었다. 얻어진 경화 도막에 대해서, 200배로 조정한 광학 현미경을 사용하여, 최소 잔존 라인폭을 카운트하고, 개구 사이즈(설계값 300㎛)를 측정함과 함께, 개구 형상을 사진 촬영하였다. 최소 잔존 라인폭이 작을수록, 심부 경화성이 양호하다. 그 결과를, 하기의 표 안 및 도 3의 (a) 내지 (i)에 각각 나타낸다.Each laminated structure thus obtained was exposed at 500 mJ / cm 2 using an exposure apparatus (HMW-680-GW20) equipped with a metal halide lamp. The exposure pattern was a pattern for drawing a line having a width of 30/40/50/60/70/80/90/100 μm and a pattern for opening an opening of 300 μm. Then, after performing PEB for 30 minutes at 90 ℃ step, developing (30 ℃, 0.2㎫, 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution) the cured by heat curing the pattern subjected to 60 seconds and a, 150 ℃ × 60 bun film &Lt; / RTI &gt; The obtained cured coating film was counted by using an optical microscope adjusted to 200 times the minimum remaining line width, and the opening size (design value 300 mu m) was measured, and the opening shape was photographed. The smaller the minimum remaining line width is, the better the deep curing property is. The results are shown in the following table and Figs. 3 (a) to 3 (i), respectively.

<내약품성(무전해 금도금 내성)><Chemical resistance (electroless gold plating resistance)>

상기 기재 위의 경화 도막에 대하여, 시판되는 무전해 금 도금욕을 사용하여, 니켈 0.5㎛, 금 0.03㎛의 조건으로 도금을 행하여, 도금된 평가 기판에 있어서, 도금이 스며드는지의 유무를 평가한 후, 테이프 필링에 의해 레지스트층의 박리의 유무를 평가했다. 판정 기준은 이하와 같다. 얻어진 결과를 하기 표 안에 나타낸다.A commercially available electroless gold plating bath was used to coat the cured coating film on the substrate under the conditions of nickel 0.5 mu m and gold 0.03 mu m to evaluate whether or not the plating was impregnated on the plated evaluation substrate , And the presence or absence of peeling of the resist layer was evaluated by tape peeling. The criteria are as follows. The obtained results are shown in the following table.

○: 스며듦, 박리가 보이지 않는다.○: Seeping and peeling are not seen.

△: 도금 후에 조금 스며듦이 확인되지만, 테이프 필링 후의 박리는 보이지 않는다.?: A little seeping was confirmed after plating, but peeling after tape peeling was not observed.

×: 테이프 필링 후의 박리가 있다.X: There is peeling after tape peeling.

Figure pct00003
Figure pct00003

*11) LUCIRIN TPO(아실포스핀옥사이드계 광중합 개시제, 바스프 재팬사 제조)* 11) LUCIRIN TPO (acylphosphine oxide photopolymerization initiator, BASF Japan)

*12) QS-30: 4-메톡시-1-나프톨(가와사끼 가세이 고교(주) 제조)* 12) QS-30: 4-methoxy-1-naphthol (Kawasaki Kasei Kogyo Co., Ltd.)

*13) HCA-HQ: 페놀성 수산기 함유 인 화합물(산코(주) 제조)* 13) HCA-HQ: phenolic hydroxyl group-containing phosphorus compound (manufactured by Sankyo Co., Ltd.)

수지층 (A)에 중합 금지제를 배합하고 있는 실시예 7 내지 12의 적층 구조체는, 할레이션이 적어 개구 형상이 안정되어 있고, 최소 잔존 라인폭도 30㎛로 양호했다. 한편, 중합 금지제를 배합하지 않는 것 이외에는 실시예 12와 동일한 배합인 실시예 6에 대해서도, 개구 사이즈 및 금도금 내성의 평가를 행한바, 최소 잔존 라인폭은 30㎛로 양호하기는 하지만, 할레이션이 있고, 개구 사이즈가 240㎛로 약간 작아지고 있었다. 또한, 비교예 5에서는, 수지층 (A)에 광중합 개시제를 사용하고 있어, 어느 정도 할레이션이 방지되고 있지만, 내금도금성이 떨어지고, 최소 라인폭도, 개구 사이즈에 대해서도 충분한 것은 아니었다.The laminated structures of Examples 7 to 12, in which the resin layer (A) was blended with a polymerization inhibitor, had a stable opening shape with a small degree of halation and a minimum remaining line width of 30 탆. On the other hand, in Example 6, which was the same as Example 12 except that no polymerization inhibitor was added, the aperture size and gold plating resistance were evaluated. The minimum remaining line width was 30 占 퐉, And the aperture size was slightly reduced to 240 탆. Further, in Comparative Example 5, a photopolymerization initiator was used for the resin layer (A), so that the halation was prevented to some extent, but the gold plating resistance was poor, and the minimum line width and opening size were not sufficient.

1 : 플렉시블 프린트 배선 기판
2 : 도체 회로
3 : 수지층
4 : 수지층
5 : 마스크
1: Flexible printed wiring board
2: conductor circuit
3: Resin layer
4: Resin layer
5: Mask

Claims (6)

수지층 (A)와, 해당 수지층 (A)를 개재해서 플렉시블 프린트 배선판에 적층되는 수지층 (B)를 갖는 적층 구조체이며,
상기 수지층 (B)가, 알칼리 용해성 수지와 광중합 개시제와 열반응성 화합물을 포함하는 감광성 열경화성 수지 조성물을 포함하고, 또한 상기 수지층 (A)가, 알칼리 용해성 수지와 열반응성 화합물을 포함하고, 광중합 개시제를 포함하지 않는 알칼리 현상형 수지 조성물을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 구조체.
A laminated structure having a resin layer (A) and a resin layer (B) laminated on a flexible printed wiring board via the resin layer (A)
Wherein the resin layer (B) comprises a photosensitive thermosetting resin composition comprising an alkali soluble resin, a photopolymerization initiator and a thermoreactive compound, and the resin layer (A) comprises an alkali soluble resin and a thermoreactive compound, An alkali-developable resin composition containing no initiator.
제1항에 있어서, 상기 수지층 (A)가, 중합 금지제를 더 포함하는 수지 조성물을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 구조체.The laminated structure according to claim 1, wherein the resin layer (A) comprises a resin composition further comprising a polymerization inhibitor. 제1항에 있어서, 플렉시블 프린트 배선판의 굴곡부 및 비굴곡부 중 적어도 어느 한쪽에 사용되는 적층 구조체.The laminated structure according to claim 1, which is used for at least one of a bent portion and a non-bent portion of a flexible printed wiring board. 제1항에 있어서, 플렉시블 프린트 배선판의 커버 레이, 솔더 레지스트 및 층간 절연 재료 중 적어도 어느 하나의 용도에 사용되는 적층 구조체.The laminated structure according to claim 1, wherein the laminated structure is used for the use of at least one of a coverlay, a solder resist and an interlayer insulating material of a flexible printed wiring board. 제1항에 기재된 적층 구조체의 적어도 편면이, 필름으로 지지 또는 보호되어 있는 것을 특징으로 하는 드라이 필름.The dry film according to claim 1, wherein at least one side of the laminated structure is supported or protected by a film. 플렉시블 프린트 배선판 위에, 제1항에 기재된 적층 구조체의 층을 형성하고, 광조사에 의해 패터닝하고, 현상액으로 패턴을 일괄하여 형성하여 이루어지는 절연막을 갖는 것을 특징으로 하는 플렉시블 프린트 배선판.A flexible printed wiring board characterized by comprising a flexible printed wiring board having an insulating film formed by forming a layer of the laminated structure according to claim 1 and patterning it by light irradiation and collectively forming patterns with a developer.
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