JP6549848B2 - Laminated structure - Google Patents

Laminated structure Download PDF

Info

Publication number
JP6549848B2
JP6549848B2 JP2015007939A JP2015007939A JP6549848B2 JP 6549848 B2 JP6549848 B2 JP 6549848B2 JP 2015007939 A JP2015007939 A JP 2015007939A JP 2015007939 A JP2015007939 A JP 2015007939A JP 6549848 B2 JP6549848 B2 JP 6549848B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bis
dianhydride
laminated structure
printed wiring
flexible printed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015007939A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2015155199A (en
Inventor
宮部 英和
英和 宮部
亮 林
亮 林
横山 裕
裕 横山
直之 小池
直之 小池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Ink Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Ink Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Ink Manufacturing Co Ltd filed Critical Taiyo Ink Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2015007939A priority Critical patent/JP6549848B2/en
Publication of JP2015155199A publication Critical patent/JP2015155199A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6549848B2 publication Critical patent/JP6549848B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、積層構造体に関し、特には、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜として有用な積層構造体、ドライフィルムおよびフレキシブルプリント配線板に関する。   The present invention relates to a laminated structure, and more particularly to a laminated structure useful as an insulating film of a flexible printed wiring board, a dry film and a flexible printed wiring board.

近年、スマートフォンやタブレット端末の普及による電子機器の小型薄型化により、回路基板の小スペース化が必要となってきている。そのため、折り曲げて収納できるフレキシブルプリントは配線板の用途が拡大し、かかるフレキシブルプリント配線板についても、これまで以上に高い信頼性を有するものが求められている。   2. Description of the Related Art In recent years, the downsizing of electronic devices by the spread of smartphones and tablet terminals has made it necessary to reduce the space of circuit boards. Therefore, the flexible print which can be bent and stored is expanding the application of the wiring board, and the flexible printed wiring board is also required to have higher reliability than ever.

これに対し現在、フレキシブルプリント配線板の絶縁信頼性を確保するための絶縁膜として、折り曲げ部(屈曲部)には、耐熱性および屈曲性などの機械的特性に優れたポリイミドをベースとしたカバーレイを用い(例えば、特許文献1,2参照)、実装部(非屈曲部)には、電気絶縁性やはんだ耐熱性などに優れ微細加工が可能な感光性樹脂組成物を用いた混載プロセスが広く採用されている。   On the other hand, at present, as an insulating film for securing the insulation reliability of a flexible printed wiring board, a cover based on polyimide excellent in mechanical characteristics such as heat resistance and flexibility in a bent portion (bent portion) There is a hybrid process using a photosensitive resin composition that is excellent in electrical insulation and solder heat resistance, etc., and capable of microfabrication in the mounting portion (non-bending portion) using a ray (for example, see Patent Documents 1 and 2). It is widely adopted.

すなわち、耐熱性および屈曲性などの機械的特性に優れるポリイミドをベースとしたカバーレイは、金型打ち抜きによる加工を必要とするため、微細配線には不向きである。そのため、微細配線が必要となるチップ実装部には、フォトリソグラフィーによる加工ができるアルカリ現像型の感光性樹脂組成物(ソルダーレジスト)を部分的に併用する必要があった。   That is, a coverlay based on polyimide excellent in mechanical properties such as heat resistance and flexibility is not suitable for fine wiring because it requires processing by die punching. Therefore, it has been necessary to partially use an alkali-developable photosensitive resin composition (solder resist) which can be processed by photolithography in a chip mounting portion where fine wiring is required.

特開昭62−263692号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-263692 特開昭63−110224号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-110224

このように、フレキシブルプリント配線板の製造工程では、カバーレイを張り合わせる工程とソルダーレジストを形成する工程との混載プロセスを採用せざるを得ず、コスト性と作業性に劣るという問題があった。   As described above, in the manufacturing process of the flexible printed wiring board, there is no choice but to adopt a mixed process of the process of bonding the cover lay and the process of forming the solder resist, and there was a problem of inferiority in cost performance and workability. .

これに対し、ソルダーレジストとしての絶縁膜またはカバーレイとしての絶縁膜を、フレキシブルプリント配線板のソルダーレジストおよびカバーレイの双方に適用することが検討されているが、双方の要求性能を十分満足できる材料は、未だ実用化には至っていなかった。特に、フレキシブルプリント配線板においては、折り曲げに対する耐久性が最も重要な特性の一つであるため、フレキシブルプリント配線板のソルダーレジストおよびカバーレイとして適用可能であって、折り曲げに対する耐久性に優れた素材の実現が求められていた。   On the other hand, application of an insulating film as a solder resist or an insulating film as a coverlay to both the solder resist and the coverlay of a flexible printed wiring board has been studied, but both performance requirements can be sufficiently satisfied. The material has not been put to practical use yet. In particular, in a flexible printed wiring board, durability against bending is one of the most important characteristics, and therefore, a material that is applicable as a solder resist and a cover lay of a flexible printed wiring board and has excellent durability against bending The realization of was required.

そこで本発明の目的は、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜としての要求性能を満足し、折り曲げ部と実装部との一括形成プロセスにも適した構造体を提供することにあり、また、その硬化物を保護膜、例えば、カバーレイまたはソルダーレジストとして有するフレキシブルプリント配線板を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide a structure that satisfies the required performance as an insulating film of a flexible printed wiring board and is also suitable for a batch formation process of a bent portion and a mounting portion, and a cured product thereof It is to provide a flexible printed wiring board having as a protective film, for example, a cover lay or a solder resist.

本発明者らは鋭意検討した結果、アルカリ現像性を有する接着層と、この接着層を介してフレキシブルプリント配線板に積層される保護層とを積層して構造体を形成するとともに、保護層の伸び率を所定範囲とすることで、上記課題を解決できることを見出して、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive investigations by the present inventors, it is possible to form a structure by laminating an adhesive layer having alkali developability and a protective layer laminated on a flexible printed wiring board via this adhesive layer, and By making elongation rate into a predetermined range, it finds out that the above-mentioned subject can be solved and came to complete the present invention.

すなわち、本発明は、アルカリ現像性樹脂組成物からなる接着層(A)と、該接着層(A)を介してフレキシブルプリント配線板に積層される保護層(B)と、を備える積層構造体であって、前記保護層(B)の、硬化被膜としての室温での伸び率が2.5%以上であることを特徴とするものである。   That is, the present invention is a laminated structure comprising an adhesive layer (A) comprising an alkali-developable resin composition, and a protective layer (B) laminated to a flexible printed wiring board via the adhesive layer (A). And the elongation at room temperature of the protective layer (B) as a cured film is 2.5% or more.

本発明の積層構造体においては、前記接着層(A)と前記保護層(B)とが、いずれも光照射によりパターニング可能であることが好ましい。また、本発明の積層構造体においては、前記保護層(B)が、イミド環またはイミド前駆体骨格を有するアルカリ溶解性樹脂を含む樹脂組成物からなることが好ましい。本発明の積層構造体は、フレキシブルプリント配線板の屈曲部および非屈曲部のうち少なくともいずれか一方に好適に用いることができ、具体的には、フレキシブルプリント配線板のカバーレイ、ソルダーレジストおよび層間絶縁材料のうち少なくともいずれか1つの用途に用いることが有用である。   In the laminated structure of the present invention, it is preferable that both the adhesive layer (A) and the protective layer (B) can be patterned by light irradiation. Further, in the laminated structure of the present invention, the protective layer (B) is preferably made of a resin composition containing an alkali-soluble resin having an imide ring or an imide precursor skeleton. The laminated structure of the present invention can be suitably used for at least one of a bent portion and a non-bent portion of a flexible printed wiring board, and specifically, a cover lay of a flexible printed wiring board, a solder resist, and an interlayer It is useful to use at least any one application of the insulating material.

また、本発明のドライフィルムは、上記本発明の積層構造体の少なくとも片面が、フィルムで支持または保護されてなることを特徴とするものである。   The dry film of the present invention is characterized in that at least one surface of the above-mentioned laminated structure of the present invention is supported or protected by a film.

さらに、本発明のフレキシブルプリント配線板は、フレキシブルプリント配線基材上に、上記本発明の積層構造体の層を直接形成するか、または、上記本発明のドライフィルムを介して積層構造体の層を形成し、光照射によりパターニングして、現像液によりパターンを一括して形成してなる絶縁膜を備えることを特徴とするものである。
なお、本発明において「パターン」とは、パターン状の硬化物、すなわち、絶縁膜を意味する。
Furthermore, in the flexible printed wiring board of the present invention, the layer of the laminated structure of the present invention is directly formed on a flexible printed wiring substrate, or the layer of the laminated structure is formed via the dry film of the present invention. And patterning by irradiation of light, and an insulating film formed by collectively forming a pattern with a developing solution.
In the present invention, "pattern" means a cured product in a pattern, that is, an insulating film.

本発明によれば、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜としての要求性能を満足し、折り曲げ部と実装部との一括形成プロセスにも適した積層構造体、ドライフィルムおよびフレキシブルプリント配線板を実現することが可能となった。   According to the present invention, a laminated structure, a dry film, and a flexible printed wiring board are realized that satisfy the required performance of the flexible printed wiring board as an insulating film and are also suitable for the batch formation process of the bent portion and the mounting portion. It became possible.

本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法の一例を模式的に示す工程図である。It is process drawing which shows typically an example of the manufacturing method of the flexible printed wiring board of this invention.

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。
(積層構造体)
本発明の積層構造体は、アルカリ現像性樹脂組成物からなる接着層(A)と、この接着層(A)を介してフレキシブルプリント配線板に積層される保護層(B)と、を備え、保護層(B)の、硬化被膜としての室温での伸び率が2.5%以上である点に特徴を有する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
(Laminated structure)
The laminated structure of the present invention comprises an adhesive layer (A) made of an alkali-developable resin composition, and a protective layer (B) laminated to a flexible printed wiring board via the adhesive layer (A), It is characterized in that the elongation at room temperature as a cured film of the protective layer (B) is 2.5% or more.

フレキシブルプリント配線板において、特に屈曲部に使用する材料については、十分な伸びを有することが必要であり、例えば、硬化被膜として、室温で20%程度の伸び率を有することが要求される。これに対し、本発明においては、フレキシブルプリント配線板に適用される材料として、接着層(A)と保護層(B)とを積層してなる積層構造体を用いるものとしたことで、保護層(B)単独の伸び率としては、単層の構造体を用いた場合と比較して低い2.5%以上程度の値を有するものであれば、屈曲部に適用するために十分な性能が得られることを見出したものである。   In a flexible printed wiring board, particularly for a material used for a bent portion, it is necessary to have sufficient elongation, and for example, as a cured film, it is required to have an elongation of about 20% at room temperature. On the other hand, in the present invention, as a material applied to a flexible printed wiring board, a protective layer is formed by using a laminated structure in which an adhesive layer (A) and a protective layer (B) are laminated. (B) As the single elongation rate, if it has a low value of about 2.5% or more compared to the case of using a single layer structure, sufficient performance for applying to the bent portion is obtained. It is found that it can be obtained.

(保護層(B))
保護層(B)は、硬化被膜としての、室温での伸び率が、2.5%以上であることが必要であり、好適には4.0%以上であって、高いほど好ましい。保護層(B)の伸び率を2.5%以上とすることで、フレキシブルプリント配線板の屈曲部に適用した場合に、屈曲に良好に追従することができ、割れなどの不良を生ずることがない。
(Protective layer (B))
The protective layer (B) needs to have an elongation at room temperature of 2.5% or more as a cured film, preferably 4.0% or more, and the higher, the more preferable. By setting the elongation percentage of the protective layer (B) to 2.5% or more, when applied to the bent portion of the flexible printed wiring board, the bending can be favorably followed, and defects such as cracking may occur. Absent.

保護層(B)は、硬化被膜としての室温での伸び率が2.5%以上の条件を満足するものであれば、いかなる組成よりなるものであってもよく、例えば、従来からソルダーレジスト組成物として使用される、カルボキシル基含有樹脂またはカルボキシル基含有感光性樹脂、エチレン性不飽和結合を有する化合物、光重合開始剤および熱反応性化合物を含む光硬化性熱硬化性樹脂組成物や、カルボキシル基含有樹脂、光塩基発生剤および熱反応性化合物を含む感光性熱硬化性樹脂組成物を使用することができる。   The protective layer (B) may be composed of any composition as long as the cured film has an elongation of 2.5% or more at room temperature, for example, a solder resist composition conventionally Group-containing resin or carboxyl group-containing photosensitive resin, a compound having an ethylenically unsaturated bond, a photocurable thermosetting resin composition containing a photopolymerization initiator and a thermally reactive compound, or carboxyl used A photosensitive thermosetting resin composition containing a group-containing resin, a photobase generator and a thermally reactive compound can be used.

中でも、保護層(B)は、イミド環またはイミド前駆体骨格を有するアルカリ溶解性樹脂を含む樹脂組成物からなるものとすることが好ましい。   Among them, the protective layer (B) is preferably made of a resin composition containing an alkali-soluble resin having an imide ring or an imide precursor skeleton.

本発明において、イミド環またはイミド前駆体骨格を有するアルカリ溶解性樹脂とは、カルボキシル基や酸無水物基などのアルカリ溶解性基と、イミド環またはイミド前駆体骨格とを有するものである。このアルカリ溶解性樹脂へのイミド環またはイミド前駆体骨格の導入には、公知慣用の手法を用いることができる。例えば、カルボン酸無水物成分と、アミン成分およびイソシアネート成分のいずれか一方または双方とを反応させて得られる樹脂が挙げられる。イミド化は熱イミド化で行っても、化学イミド化で行ってもよく、またこれらを併用して製造することもできる。   In the present invention, the alkali-soluble resin having an imide ring or an imide precursor skeleton is one having an alkali-soluble group such as a carboxyl group or an acid anhydride group, and an imide ring or an imide precursor skeleton. For introducing the imide ring or imide precursor skeleton into the alkali-soluble resin, known and commonly used techniques can be used. For example, there may be mentioned resins obtained by reacting a carboxylic anhydride component with either or both of an amine component and an isocyanate component. The imidization may be carried out by thermal imidization or chemical imidization, or may be produced by using these in combination.

ここで、カルボン酸無水物成分としては、テトラカルボン酸無水物やトリカルボン酸無水物などが挙げられるが、これらの酸無水物に限定されるものではなく、アミノ基やイソシアネート基と反応する酸無水物基およびカルボキシル基を有する化合物であれば、その誘導体を含めて用いることができる。また、これらのカルボン酸無水物成分は、単独で、または、組み合わせて使用することができる。   Here, examples of the carboxylic acid anhydride component include tetracarboxylic acid anhydride and tricarboxylic acid anhydride, but the acid anhydride is not limited to these acid anhydrides, and is an acid anhydride that reacts with an amino group or an isocyanate group As long as it is a compound having a substance group and a carboxyl group, it can be used including its derivatives. Also, these carboxylic acid anhydride components can be used alone or in combination.

テトラカルボン酸無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3−フルオロピロメリット酸二無水物、3,6−ジフルオロピロメリット酸二無水物、3,6−ビス(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、2,2’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、および2,2’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,3”,4,4”−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’”,4,4’”−クァテルフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3””,4,4””−キンクフェニルテトラカルボン酸二無水物、メチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1−エチニリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、2,2−プロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,2−エチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,3−トリメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,4−テトラメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,5−ペンタメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−へキサフルオロプロパン二無水物、ジフルオロメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2−テトラフルオロ−1,2−エチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3−ヘキサフルオロ−1,3−トリメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3,4,4−オクタフルオロ−1,4−テトラメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3,4,4,5,5−デカフルオロ−1,5−ペンタメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、チオ−4,4’−ジフタル酸二無水物、スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,3,3−テトラメチルシロキサン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ベンゼン二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ベンゼン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,3−ビス〔2−(3,4−ジカルボキシフェニル)−2−プロピル〕ベンゼン二無水物、1,4−ビス〔2−(3,4−ジカルボキシフェニル)−2−プロピル〕ベンゼン二無水物、ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕メタン二無水物、ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕メタン二無水物、2,2−ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、2,2−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、2,2−ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジメチルシラン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−1,2,4,5−テトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物、カルボニル−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、メチレン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,2−エチレン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,1−エチニリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、2,2−プロピリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2,2−プロピリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、オキシ−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、チオ−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、スルホニル−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、3,3’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、9−フェニル−9−(トリフルオロメチル)キサンテン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス(トリフルオロメチル)キサンテン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、ビシクロ〔2,2,2〕オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシ)フェニル〕フルオレン二無水物、9,9−ビス〔4−(2,3−ジカルボキシ)フェニル〕フルオレン二無水物、エチレングリコールビストリメリテート二無水物、1,2−(エチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,3−(トリメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,4−(テトラメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,5−(ペンタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,6−(ヘキサメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,7−(ヘプタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,8−(オクタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,9−(ノナメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,10−(デカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,12−(ドデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,16−(ヘキサデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,18−(オクタデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)などが挙げられる。   As a tetracarboxylic acid anhydride, for example, pyromellitic dianhydride, 3-fluoro pyromellitic dianhydride, 3, 6- difluoro pyromellitic dianhydride, 3, 6-bis (trifluoromethyl) piro Mellitic acid dianhydride, 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic acid Anhydride, 2,2'-difluoro-3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 5,5'-difluoro-3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid Anhydride, 6,6'-difluoro-3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2,2', 5,5 ', 6,6'-hexafluoro-3,3' , 4,4'-biphenyltet Carboxylic acid dianhydride, 2,2′-bis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) -3, 3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 6,6'-bis (trifluoromethyl) -3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2,2 ' 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2,2 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -3, 3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 5,5', 6,6'-tetrakis (trifluoromethyl) -3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride , And 2,2 ', 5,5', 6,6 Hexakis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ′ ′, 4,4 “-Terphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ′ ′, 4,4 ′ ′ ′-quaterphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ′ ′ ′, 4,4 ′ ′ ′-quinkphenyltetracarboxylic acid Dianhydride, methylene-4,4'-diphthalic acid dianhydride, 1,1-ethynylidene-4,4'-diphthalic acid dianhydride, 2,2-propylidene-4,4'-diphthalic acid dianhydride 1,2-ethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,3-trimethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,4-tetramethylene-4,4'-diphthalic acid Anhydride, 1,5-pentamethylene-4,4'-di-f Tarric acid dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, difluoromethylene-4,4'-diphthalic acid Acid dianhydride, 1,1,2,2-tetrafluoro-1,2-ethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2,3,3-hexafluoro-1, 3-trimethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluoro-1,4-tetramethylene-4,4'-diphthalic anhydride , 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5-decafluoro-1,5-pentamethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, thio-4,4'- Diphthalic dianhydride, sulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenyl) 1) 1,1,3,3-Tetramethylsiloxane dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenyl) benzene dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ) Benzene dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,3-bis [ 2- (3,4-dicarboxyphenyl) -2-propyl] benzene dianhydride, 1,4-bis [2- (3,4-dicarboxyphenyl) -2-propyl] benzene dianhydride, bis [ 3- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] methane dianhydride, bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] methane dianhydride, 2,2-bis [3- (3,4) -Dicarboxyphenoxy Phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis [3- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, bis (3,4- Dicarboxyphenoxy) dimethylsilane dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) -1,1,3,3-tetramethyldisiloxane dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene Tetracarboxylic acid dianhydride, 1,2,5,6-naphthalene tetracarboxylic acid dianhydride, 3,4,9,10-perylene tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,6,7-anthracene tetracarboxylic acid Acid dianhydride, 1,2,7,8-phenanthrene tetracarboxylic acid dianhydride, 1,2,3,4-butane tetracarboxylic acid dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutane tetracarboxylic acid Anhydride, cyclopentane tetracarboxylic acid dianhydride, cyclohexane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid dianhydride, cyclohexane-1,2,4,5-tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ′ 1,4,4'-bicyclohexyltetracarboxylic acid dianhydride, carbonyl-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, methylene-4,4'-bis (cyclohexane-1, 2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,2-ethylene-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,1-ethynylidene-4,4'-bis (cyclohexyl) San-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 2,2-propylidene-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,1,1,3,3,3 Hexafluoro-2,2-propylidene-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, oxy-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride , Thio-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, sulfonyl-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 3,3 ' -Difluorooxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-difluorooxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-difluorooxy-4,4'-diphthalic acid di- Anhydride, 3,3 ', 5,5', 6 6'-hexafluorooxy-4,4'-diphthalic acid dianhydride, 3,3'-bis (trifluoromethyl) oxy-4,4'-diphthalic acid dianhydride, 5,5'-bis (tri acid dianhydride Fluoromethyl) oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-bis (trifluoromethyl) oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3 ', 5,5'- Tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3 ', 6,6'-tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5, 5 ', 6,6'-tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3', 5,5 ', 6,6'-hexakis (trifluoromethyl) oxy- 4,4'-Diphthalic dianhydride, 3,3'-diful Orosulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-difluorosulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-difluorosulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride , 3,3 ', 5,5', 6,6'-hexafluorosulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3'-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4'- Diphthalic dianhydride, 5,5'-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4'-diphthalic acid Dianhydride, 3,3 ', 5,5'-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3', 6,6'-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl -4,4'- diphthalic Dianhydride, 5,5 ', 6,6'-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3', 5,5 ', 6,6'-hexakis ( Trifluoromethyl) sulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3'-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-difluoro 2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic acid dianhydride, 6,6'-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic acid dianhydride 3, 3 ', 5,5', 6,6'-hexafluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3'-bis (trifluoromethyl) -2, 2-perfluoropropylidene-4,4'-difta Acid dianhydride, 5,5'-bis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-difluoro-2,2-perfluoro Propylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3 ', 5,5'-tetrakis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride 3,3 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis ( Trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3 ', 5,5', 6,6'-hexakis (trifluoromethyl) -2,2 -Perfluoropropylidene-4,4'- dif Tar acid dianhydride, 9-phenyl-9- (trifluoromethyl) xanthene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid dianhydride, 9,9-bis (trifluoromethyl) xanthene-2,3, 6,7-tetracarboxylic acid dianhydride, bicyclo [2,2,2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic acid dianhydride, 9,9-bis [4- (3) , 4-Dicarboxy) phenyl] fluorene dianhydride, 9,9-bis [4- (2,3-dicarboxy) phenyl] fluorene dianhydride, ethylene glycol bis trimellitate dianhydride, 1,2- ( Ethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,3- (trimethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,4- (tetramethylene) bis (trimellitate anhydride), 1, 5- (pentamethylene) bis (trimelate) Lytate anhydride), 1,6- (hexamethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,7- (heptamethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,8- (octamethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,9- (nonamethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,10- (decamethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,12- (dodecamethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,16- (hexadeca) Methylene) bis (trimellitate anhydride), 1, 18- (octadecamethylene) bis (trimellitate anhydride), etc. may be mentioned.

トリカルボン酸無水物としては、例えば、トリメリット酸無水物や核水添トリメリット酸無水物などが挙げられる。   Examples of tricarboxylic acid anhydrides include trimellitic acid anhydride and nuclear hydrogenated trimellitic acid anhydride.

アミン成分としては、脂肪族ジアミンや芳香族ジアミンなどのジアミン、脂肪族ポリエーテルアミンなどの多価アミンを用いることができるが、これらのアミンに限定されるものではない。また、これらのアミン成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。   As the amine component, diamines such as aliphatic diamines and aromatic diamines and polyhydric amines such as aliphatic polyether amines can be used, but the amine components are not limited to these amines. Also, these amine components may be used alone or in combination.

ジアミンとしては、例えば、p−フェニレンジアミン(PPD)、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−トルエンジアミン、2,5−トルエンジアミン、2,6−トルエンジアミンなどのベンゼン核1つのジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルなどのジアミノジフェニルエーテル類、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、4,4’−ジアミノベンズアニリド、3,3’−ジクロロベンジジン、3,3’−ジメチルベンジジン(o−トリジン)、2,2’−ジメチルベンジジン(m−トリジン)、3,3’−ジメトキシベンジジン、2,2’−ジメトキシベンジジン、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジメトキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタンなどのベンゼン核2つのジアミン、1,3−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)−4−トリフルオロメチルベンゼン、3,3’−ジアミノ−4−(4−フェニル)フェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジ(4−フェニルフェノキシ)ベンゾフェノン、1,3−ビス(3−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,3−ビス〔2−(4−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,4−ビス〔2−(3−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,4−ビス〔2−(4−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼンなどのベンゼン核3つのジアミン、3,3’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,3’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、2,2−ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパンなどのベンゼン核4つのジアミンなどの芳香族ジアミン、1,2−ジアミノエタン、1,3−ジアミノプロパン、1,4−ジアミノブタン、1,5−ジアミノペンタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,7−ジアミノヘプタン、1,8−ジアミノオクタン、1,9−ジアミノノナン、1,10−ジアミノデカン、1,11−ジアミノウンデカン、1,12−ジアミノドデカン、1,2−ジアミノシクロヘキサン等の脂肪族ジアミンが挙げられ、脂肪族ポリエーテルアミンとしては、エチレングリコール及び/又はプロピレングリコール系の多価アミン等が挙げられる。また、下記のように、カルボキシル基を有するアミンを用いることもできる。   Examples of the diamine include diamines having one benzene nucleus such as p-phenylenediamine (PPD), 1,3-diaminobenzene, 2,4-toluenediamine, 2,5-toluenediamine, 2,6-toluenediamine, and the like. Diaminodiphenyl ethers such as 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl 2,2,2'-Dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2'-bis (trifluoromethyl) -4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane 3,3 ', 5,5'-tetramethyl-4,4'-diaminodiphenyl ester , Bis (4-aminophenyl) sulfide, 4,4'-diaminobenzanilide, 3,3'-dichlorobenzidine, 3,3'-dimethylbenzidine (o-tolidine), 2,2'-dimethylbenzidine (m -Tolidine), 3,3'-dimethoxybenzidine, 2,2'-dimethoxybenzidine, 3,3'-diaminodiphenylether, 3,4'-diaminodiphenylether, 4,4'-diaminodiphenylether, 3,3'-diamino Diphenyl sulfide, 3,4′-diaminodiphenyl sulfide, 4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 3,4′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 3, 3'-diaminobenzophenone, 3,3'-diamino- 4,4'-dichlorobenzophenone, 3,3'-diamino-4,4'-dimethoxybenzophenone, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,2- Bis (3-aminophenyl) propane, 2,2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2-bis (3-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis (4-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 3,3'-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfoxide, 4,4 ' -Diamines of benzene nuclei such as -diaminodiphenyl sulfoxide, 3,3'-dicarboxy-4,4'-diaminodiphenylmethane, etc. 1,3-bis (3-aminophenyl) benzene, 1,3-bis (4-aminophenyl) benzene, 1,4-bis (3-aminophenyl) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl) ) Benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3- (3) Aminophenoxy) -4-trifluoromethylbenzene, 3,3'-diamino-4- (4-phenyl) phenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4,4'-di (4-phenylphenoxy) benzophenone, 1 , 3-bis (3-aminophenyl sulfide) benzene, 1,3-bis (4-aminophenyl sulfide) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl) (Lufide) benzene, 1,3-bis (3-aminophenylsulfone) benzene, 1,3-bis (4-aminophenylsulfone) benzene, 1,4-bis (4-aminophenylsulfone) benzene, 1,3- Bis [2- (4-aminophenyl) isopropyl] benzene, 1,4-bis [2- (3-aminophenyl) isopropyl] benzene, 1,4-bis [2- (4-aminophenyl) isopropyl] benzene and the like Benzene nucleus three diamines, 3,3'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 3,3'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4 4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [3- ( -Aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, Bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [3- (3-amino) Phenoxy) phenyl] sulfide, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [ 3- (3-Aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [3- (4-aminophenoxy) ) Phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [3 -(4-Aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 2,2-bis [3- (3- Aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4 -(4-Aminophenoxy) phenyl] propane and 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3- Subfluoropropane, 2,2-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) ) Phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexa Aromatic diamines such as 4-benzene nuclei such as fluoropropane, 1,2-diaminoethane, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6-diaminohexane, 1,7-diaminoheptane, 1,8-diaminooctane, 1,9-diaminononane, 1,10-diaminodecane, 1,11-diaminoundecane, 1,12-diaminododecane, 1 It includes aliphatic diamines of 2-diaminocyclohexane, etc., the aliphatic polyether amines, polyvalent amines ethylene glycol and / or propylene glycol and the like. Further, as described below, amines having a carboxyl group can also be used.

カルボキシル基を有するアミンとしては、3,5−ジアミノ安息香酸、2,5−ジアミノ安息香酸、3,4−ジアミノ安息香酸等のジアミノ安息香酸類、3,5−ビス(3−アミノフェノキシ)安息香酸、3,5−ビス(4−アミノフェノキシ)安息香酸等のアミノフェノキシ安息香酸類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラカルボキシビフェニル等のカルボキシビフェニル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルメタン、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラカルボキシジフェニルメタン等のカルボキシジフェニルメタン等のカルボキシジフェニルアルカン類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラカルボキシジフェニルエーテル等のカルボキシジフェニルエーテル化合物、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラカルボキシジフェニルスルフォン等のジフェニルスルフォン化合物、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−カルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン等のビス[(カルボキシフェニル)フェニル]アルカン化合物類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−カルボキシフェノキシ)フェニル]スルフォン等のビス[(カルボキシフェノキシ)フェニル]スルフォン化合物等を挙げることができる。   Examples of amines having a carboxyl group include diaminobenzoic acids such as 3,5-diaminobenzoic acid, 2,5-diaminobenzoic acid and 3,4-diaminobenzoic acid, and 3,5-bis (3-aminophenoxy) benzoic acid Aminophenoxybenzoic acids such as 3,5-bis (4-aminophenoxy) benzoic acid, 3,3'-diamino-4,4'-dicarboxybiphenyl, 4,4'-diamino-3,3'-di Carboxybiphenyl compounds such as carboxybiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-dicarboxybiphenyl, 4,4'-diamino-2,2 ', 5,5'-tetracarboxybiphenyl, 3,3' -Diamino-4,4'-dicarboxydiphenylmethane, 3,3'-dicarboxy-4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [3-amino 4-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] hexafluoropropane, 4,4'-diamino- Carboxy diphenyl alkanes, such as carboxy diphenyl methane etc., such as 2,2 ', 5,5'- tetracarboxy diphenylmethane, 3,3'- diamino-4,4'- dicarboxy diphenyl ether, 4,4'- diamino-3, 3 Carboxydiphenylether compounds such as '-dicarboxydiphenylether, 4,4'-diamino-2,2'-dicarboxydiphenylether, 4,4'-diamino-2,2', 5,5'-tetracarboxydiphenylether, 3, 3'-Diamino-4,4'-dicarboxydiphenylsulf 4,4'-diamino-3,3'-dicarboxydiphenylsulfone, 4,4'-diamino-2,2'-dicarboxydiphenylsulfone, 4,4'-diamino-2,2 ', 5, Diphenylsulfone compounds such as 5'-tetracarboxydiphenylsulfone, and bis [(carboxyphenyl) phenyl] alkane compounds such as 2,2-bis [4- (4-amino-3-carboxyphenoxy) phenyl] propane, 2, Examples include bis [(carboxyphenoxy) phenyl] sulfone compounds such as 2-bis [4- (4-amino-3-carboxyphenoxy) phenyl] sulfone and the like.

イソシアネート成分としては、芳香族ジイソシアネートおよびその異性体や多量体、脂肪族ジイソシアネート類、脂環式ジイソシアネート類およびその異性体などのジイソシアネートやその他汎用のジイソシアネート類を用いることができるが、これらのイソシアネートに限定されるものではない。また、これらのイソシアネート成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。   As the isocyanate component, diisocyanates such as aromatic diisocyanates and their isomers or oligomers, aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and their isomers, and other general-purpose diisocyanates can be used. It is not limited. Also, these isocyanate components may be used alone or in combination.

ジイソシアネートとしては、例えば、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ビフェニルジイソシアネート、ジフェニルスルホンジイソシアネート、ジフェニルエーテルジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネートおよびその異性体、多量体、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、キシシレンジイソシアネートなどの脂肪族ジイソシアネート類、あるいは芳香族ジイソシアネートを水添した脂環式ジイソシアネート類および異性体、もしくはその他汎用のジイソシアネート類が挙げられる。   Examples of diisocyanates include aromatic diisocyanates such as 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, tolylene diisocyanate, naphthalene diisocyanate, xylylene diisocyanate, biphenyl diisocyanate, diphenyl sulfone diisocyanate, diphenyl ether diisocyanate, and isomers thereof, polymers, hexamethylene diisocyanate And aliphatic diisocyanates such as isophorone diisocyanate, dicyclohexylmethane diisocyanate and xylylene diisocyanate, or alicyclic diisocyanates and isomers obtained by hydrogenating aromatic diisocyanate, or diisocyanates for other general purpose.

以上説明したようなイミド環またはイミド前駆体骨格を有するアルカリ溶解性樹脂は、アミド結合を有していてもよい。これは、イソシアネートとカルボン酸とを反応させて得られるアミド結合であってもよく、それ以外の反応によるものでもよい。さらに、その他の付加および縮合からなる結合を有していてもよい。   The alkali-soluble resin having an imide ring or an imide precursor skeleton as described above may have an amide bond. This may be an amide bond obtained by reacting an isocyanate and a carboxylic acid, or may be another reaction. Furthermore, it may have a bond consisting of other additions and condensations.

また、このアルカリ溶解性樹脂へのイミド環またはイミド前駆体骨格の導入には、公知慣用の、カルボキシル基および酸無水物基のうちのいずれか一方または双方を有するアルカリ溶解性ポリマー、オリゴマー、モノマーを用いてもよく、例えば、これらの公知慣用のアルカリ溶解性樹脂類を、単独で、もしくは、上記のカルボン酸無水物成分と組み合わせて、上記のアミン/イソシアネート類と反応させて得られる樹脂であってもよい。   In addition, for the introduction of the imide ring or imide precursor skeleton into this alkali-soluble resin, known alkali-soluble polymers, oligomers, monomers having one or both of a carboxyl group and an acid anhydride group are commonly used. For example, a resin obtained by reacting these known and commonly used alkali-soluble resins alone or in combination with the above-mentioned carboxylic anhydride component with the above-mentioned amines / isocyanates It may be.

このようなアルカリ溶解性基とイミド環またはイミド前駆体骨格を有するアルカリ溶解性樹脂の合成においては、公知慣用の有機溶剤を用いることができる。かかる有機溶媒としては、原料であるカルボン酸無水物類、アミン類、イソシアネート類と反応せず、かつこれら原料が溶解する溶媒であれば問題はなく、その構造は特に限定されない。具体的に例示すると、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド溶媒、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、δ−バレロラクトン、γ−カプロラクトン、ε−カプロラクトン、α−メチル−γ−ブチロラクトン等の環状エステル溶媒、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート溶媒、カプロラクタム等のラクタム溶媒、ジオキサン等のエーテル系溶媒、トリエチレングリコール等のグリコール系溶媒、m−クレゾール、p−クレゾール、3−クロロフェノ−ル、4−クロロフェノ−ル、4−メトキシフェノール、2,6−ジメチルフェノール等のフェノール系溶媒、アセトフェノン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、スルホラン、ジメチルスルホキシド、テトラメチルウレアなどが挙げられる。さらに、その他の一般的な有機溶剤、すなわち、フェノール、o−クレゾール、酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸イソブチル、プロピレングリコールメチルアセテート、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、2−メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、テトラヒドロフラン、ジメトキシエタン、ジエトキシエタン、ジブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、メチルイソブチルケトン、ジイソブチルケトン、シクロへキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、ブタノール、エタノール、キシレン、トルエン、クロルベンゼン、ターペン、ミネラルスピリット、石油ナフサ系溶媒なども添加して使用することができる。中でも、原料の溶解性が高いことから、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン等の非プロトン性溶媒が好ましい。   In the synthesis of an alkali-soluble resin having such an alkali-soluble group and an imide ring or an imide precursor skeleton, known organic solvents can be used. There is no problem as long as the organic solvent is a solvent which does not react with the raw material carboxylic acid anhydrides, amines, and isocyanates and in which these raw materials are dissolved, and the structure is not particularly limited. Specific examples thereof include amide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, γ-butyrolactone, γ-valerolactone, δ-valerolactone, γ-caprolactone, ε-caprolactone Cyclic ester solvents such as α-methyl-γ-butyrolactone, carbonate solvents such as ethylene carbonate and propylene carbonate, lactam solvents such as caprolactam, ether solvents such as dioxane, glycol solvents such as triethylene glycol, m-cresol, Phenolic solvents such as p-cresol, 3-chlorophenol, 4-chlorophenol, 4-methoxyphenol, 2,6-dimethylphenol, acetophenone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, sulfolane, dimethyl Sulfo Sid, such as tetramethylurea. Furthermore, other common organic solvents, namely, phenol, o-cresol, butyl acetate, ethyl acetate, isobutyl acetate, propylene glycol methyl acetate, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, 2-methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, Tetrahydrofuran, dimethoxyethane, diethoxyethane, dibutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, methyl isobutyl ketone, diisobutyl ketone, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, butanol, ethanol, xylene, toluene, chlorobenzene, turpent, mineral spirit, petroleum naphtha solvent Etc. can also be added and used. Among them, aprotic solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylsulfoxide and γ-butyrolactone are preferable because of high solubility of the raw material.

以上説明したようなカルボキシル基または酸無水物基などのアルカリ溶解性基とイミド環またはイミド前駆体骨格を有するアルカリ溶解性樹脂は、フォトリソグラフィー工程に対応するために、その酸価が20〜200mgKOH/gであることが好ましく、60〜150mgKOH/gであることがより好ましい。この酸価が20mgKOH/g以上の場合、アルカリに対する溶解性が増加し、現像性が良好となり、さらには、光照射後の熱硬化成分との架橋度が高くなるため、十分な現像コントラストを得ることができる。また、この酸価が200mgKOH/g以下の場合には、後述する光照射後のPEB(POST EXPOSURE BAKE)工程でのいわゆる熱かぶりを抑制でき、プロセスマージンが大きくなる。   The alkali-soluble resin having an alkali-soluble group such as a carboxyl group or an acid anhydride group as described above and an imide ring or imide precursor skeleton has an acid value of 20 to 200 mg KOH in order to correspond to a photolithography process. / G is preferable, and 60 to 150 mg KOH / g is more preferable. When the acid value is 20 mg KOH / g or more, the solubility in alkali increases and the developability becomes good, and furthermore, the degree of cross-linking with the thermosetting component after light irradiation becomes high, so a sufficient development contrast is obtained be able to. In addition, when the acid value is 200 mg KOH / g or less, so-called heat fogging in the PEB (POST EXPOSURE BAKE) process after light irradiation described later can be suppressed, and the process margin becomes large.

また、このアルカリ溶解性樹脂の分子量は、現像性および硬化塗膜特性を考慮すると、質量平均分子量1,000〜100,000が好ましく、2,000〜50,000がより好ましい。この分子量が1,000以上の場合、露光・PEB後に十分な耐現像性および硬化物性を得ることができる。また、分子量が100,000以下の場合、アルカリ溶解性が増加し、現像性が向上する。   Moreover, the molecular weight of the alkali-soluble resin is preferably 1,000 to 100,000, and more preferably 2,000 to 50,000, in view of developability and cured coating characteristics. When this molecular weight is 1,000 or more, sufficient development resistance and cured physical properties can be obtained after exposure and PEB. When the molecular weight is 100,000 or less, the alkali solubility is increased and the developability is improved.

イミド環またはイミド前駆体骨格を有するアルカリ溶解性樹脂を含む樹脂組成物は、光塩基発生剤を使用する場合は、通常、アルカリ溶解性樹脂に加えて、光塩基発生剤および熱反応性化合物を含有し、光重合開始剤を使用する場合は、アルカリ可溶性樹脂に加えて、光重合開始剤およびエチレン性不飽和結合を有する化合物を含有する。また、樹脂成分として、カルボキシル基含有ウレタン樹脂、カルボキシル基含有ノボラック樹脂などを併用してもよい。   When a photobase generator is used, a resin composition containing an alkali-soluble resin having an imide ring or an imide precursor skeleton usually has, in addition to the alkali-soluble resin, a photobase generator and a thermally reactive compound. When it contains and a photoinitiator is used, in addition to alkali-soluble resin, the compound which has a photoinitiator and an ethylenically unsaturated bond is contained. Moreover, you may use together a carboxyl group-containing urethane resin, a carboxyl group-containing novolak resin etc. as a resin component.

光塩基発生剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、後述する熱反応性化合物の重合反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質としては、例えば、2級アミン、3級アミンが挙げられる。   The photobase generator is one or more species that can function as a catalyst for the polymerization reaction of the heat-reactive compound described later, when the molecular structure is changed by irradiation with light such as ultraviolet light or visible light, or the molecule is cleaved. It is a compound that produces a basic substance. Examples of the basic substance include secondary amines and tertiary amines.

光塩基発生剤としては、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基,N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。中でも、オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン化合物が好ましい。α−アミノアセトフェノン化合物としては、特に、2つ以上の窒素原子を有するものが好ましい。   As the photo base generator, for example, α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, N-acylated aromatic amino groups, nitrobenzyl carbamate groups, alcooxybenzyls The compound etc. which have substituents, such as a carbamate group, are mentioned. Among them, oxime ester compounds and α-aminoacetophenone compounds are preferable. As the α-aminoacetophenone compound, one having two or more nitrogen atoms is particularly preferable.

その他の光塩基発生剤としては、WPBG−018(商品名:9−anthrylmethyl N,N’−diethylcarbamate),WPBG−027(商品名:(E)−1−[3−(2−hydroxyphenyl)−2−propenoyl]piperidine),WPBG−082(商品名:guanidinium 2−(3−benzoylphenyl)propionate),WPBG−140(商品名:1−(anthraquinon−2−yl)ethyl imidazolecarboxylate)等を使用することができる。   Other photobase generators include WPBG-018 (trade name: 9-anthrylmethyl N, N'-diethylcarbamate), WPBG-027 (trade name: (E) -1- [3- (2-hydroxyphenyl) -2 -Propenoyl] piperidine, WPBG-082 (trade name: guanidinium 2- (3-benzoylphenyl) propionate), WPBG-140 (trade name: 1- (anthraquinon-2-yl) ethyl imidazole carboxylate), etc. can be used. .

α−アミノアセトフェノン化合物は、分子中にベンゾインエーテル結合を有し、光照射を受けると分子内で開裂が起こって、硬化触媒作用を奏する塩基性物質(アミン)が生成する。α−アミノアセトフェノン化合物の具体例としては、(4−モルホリノベンゾイル)−1−ベンジル−1−ジメチルアミノプロパン(イルガキュア369、商品名、BASFジャパン社製)や4−(メチルチオベンゾイル)−1−メチル−1−モルホリノエタン(イルガキュア907、商品名、BASFジャパン社製)、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン(イルガキュア379、商品名、BASFジャパン社製)などの市販の化合物またはその溶液を用いることができる。   The α-aminoacetophenone compound has a benzoin ether bond in the molecule, and when irradiated with light, cleavage occurs in the molecule to form a basic substance (amine) that exerts a curing catalytic action. Specific examples of the α-aminoacetophenone compound include (4-morpholinobenzoyl) -1-benzyl-1-dimethylaminopropane (IRGACURE 369, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) and 4- (methylthiobenzoyl) -1-methyl. -1-morpholinoethane (IRGACURE 907, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.), 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl]- A commercially available compound such as 1-butanone (IRGACURE 379, trade name, manufactured by BASF Japan) or a solution thereof can be used.

オキシムエステル化合物としては、光照射により塩基性物質を生成する化合物であればいずれをも使用することができる。かかるオキシムエステル化合物としては、市販品として、BASFジャパン社製のCGI−325、イルガキュアーOXE01、イルガキュアーOXE02、アデカ社製N−1919、NCI−831などが挙げられる。また、特許第4344400号公報に記載された、分子内に2個のオキシムエステル基を有する化合物も好適に用いることができる。   As the oxime ester compound, any compound can be used as long as it produces a basic substance by light irradiation. As such oxime ester compounds, commercially available products include CGI-325 manufactured by BASF Japan Ltd., Irgacure OXE01, Irgacure OXE02, N-1919 manufactured by Adeka Corporation, NCI-831 and the like. Moreover, the compound which has two oxime ester groups in the molecule | numerator described in the patent 4344400 can also be used suitably.

その他、特開2004−359639号公報、特開2005−097141号公報、特開2005−220097号公報、特開2006−160634号公報、特開2008−094770号公報、特表2008−509967号公報、特表2009−040762号公報、特開2011−80036号公報に記載のカルバゾールオキシムエステル化合物等を挙げることができる。   In addition, JP-A-2004-359639, JP-A-2005-097141, JP-A-2005-220097, JP-A-2006-160634, JP-A 2008-094770, JP-A-2008-509967, The carbazole oxime ester compounds described in JP-A-2009-040762 and JP-A-2011-80036 can be exemplified.

このような光塩基発生剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。樹脂組成物中の光塩基発生剤の配合量は、好ましくは熱反応性化合物100質量部に対して0.1〜40質量部であり、より好ましくは、0.1〜30質量部である。0.1質量部以上の場合、光照射部/未照射部の耐現像性のコントラストを良好に得ることができる。また、40質量部以下の場合、硬化物特性が向上する。   As such photobase generators, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. The compounding amount of the photobase generator in the resin composition is preferably 0.1 to 40 parts by mass, and more preferably 0.1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the heat-reactive compound. In the case of 0.1 mass part or more, the contrast of development resistance of a light irradiation part / unirradiated part can be obtained favorably. When the amount is 40 parts by mass or less, the cured product properties are improved.

熱反応性化合物は、熱による硬化反応が可能な官能基を有する樹脂であり、エポキシ樹脂、多官能オキセタン化合物等が挙げられる。   The heat-reactive compound is a resin having a functional group capable of curing by heat, and includes an epoxy resin, a polyfunctional oxetane compound, and the like.

上記エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する樹脂であり、公知のものをいずれも使用できる。具体的には、分子中にエポキシ基を2個有する2官能性エポキシ樹脂、および、分子中にエポキシ基を多数有する多官能エポキシ樹脂等が挙げられる。なお、水素添加された2官能エポキシ化合物であってもよい。   The epoxy resin is a resin having an epoxy group, and any known epoxy resin can be used. Specific examples thereof include bifunctional epoxy resins having two epoxy groups in the molecule, and polyfunctional epoxy resins having a large number of epoxy groups in the molecule. In addition, the hydrogenated bifunctional epoxy compound may be sufficient.

上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂、CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられる。   As said epoxy compound, bisphenol A type epoxy resin, brominated epoxy resin, novolak type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, hydantoin type epoxy resin, alicyclic Epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bixylenol type or biphenol type epoxy resin or mixture thereof; bisphenol S type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, tetraphenylol ethane type epoxy resin, heterocyclic epoxy resin , Diglycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin, epoxy resin having dicyclopentadiene skeleton, glycidyl meta Acrylate copolymer epoxy resins, copolymerized epoxy resins of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate, and a CTBN modified epoxy resin.

その他の液状2官能性エポキシ樹脂としては、ビニルシクロヘキセンジエポキシド、(3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、(3’,4’−エポキシ−6’−メチルシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート等の脂環族エポキシ樹脂を挙げることができる。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   Other liquid bifunctional epoxy resins include vinylcyclohexene diepoxide, (3 ′, 4′-epoxycyclohexylmethyl) -3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, (3 ′, 4′-epoxy-6′-methyl Mention may be made of cycloaliphatic epoxy resins such as cyclohexylmethyl) -3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate. One of these epoxy resins may be used alone, or two or more thereof may be used in combination.

上記多官能オキセタン化合物としては、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマーまたは共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、またはシルセスキオキサンなどの水酸基を有する樹脂とのエーテル化物などが挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。   Examples of the polyfunctional oxetane compounds include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, and 1,4-bis [(3-methyl] -3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) ) Multi-functional oxetanes such as methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate and their oligomers or copolymers, as well as oxetane alcohol and novolac resin, Poly (p-hydroxystyrene), cardo type bis fe Lumpur acids, calixarenes, calix resorcin arenes, or the like ethers of a resin having a hydroxyl group such as silsesquioxane and the like. In addition, copolymers of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate are also included.

上記熱反応性化合物の配合量としては、アルカリ溶解性樹脂との当量比(カルボキシル基などのアルカリ溶解性基:エポキシ基などの熱反応性基)が1:0.1〜1:10であることが好ましい。このような配合比の範囲とすることにより、現像が良好となり、微細パターンを容易に形成することができるものとなる。上記当量比は、1:0.2〜1:5であることがより好ましい。   As a compounding quantity of the said heat-reactive compound, equivalent ratio (alkali-soluble group such as a carboxyl group: heat-reactive group such as an epoxy group) with the alkali-soluble resin is 1: 0.1 to 1:10. Is preferred. By setting it as such a compounding ratio range, development becomes favorable and a fine pattern can be formed easily. The equivalent ratio is more preferably 1: 0.2 to 1: 5.

光重合開始剤としては、公知の光重合開始剤を用いることができ、例えば、α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、ベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、3級アミン化合物およびキサントン化合物などが挙げられる。   As the photopolymerization initiator, known photopolymerization initiators can be used. For example, α-aminoacetophenone photopolymerization initiator, acyl phosphine oxide photopolymerization initiator, benzoin compound, acetophenone compound, anthraquinone compound, thioxanthone Compounds, ketal compounds, benzophenone compounds, tertiary amine compounds, xanthone compounds and the like can be mentioned.

また、エチレン性不飽和結合を有する化合物としては、公知のものを用いることができ、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート類;エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのモノ又はジアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコール又はこれらのエチレオキサイド付加物若しくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、およびこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物若しくはプロピレンオキサイド付加物などのアクリレート類などがある。   In addition, as compounds having an ethylenically unsaturated bond, known compounds can be used, and hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, etc .; ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol Mono- or di-acrylates of glycols such as propylene glycol; polyhydric alcohols such as hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanurate or their ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts And other polyhydric acrylates; phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and ethylene oxide of these phenols Side adduct or propylene oxide adduct and the like acrylates such.

(接着層(A))
接着層(A)を構成するアルカリ現像性樹脂組成物としては、フェノール性水酸基、チオール基およびカルボキシル基のうち1種以上の官能基を含有し、アルカリ溶液で現像可能な樹脂を含む組成物であればよく、光硬化性樹脂組成物でも熱硬化性樹脂組成物でも用いることができる。好ましくは、フェノール性水酸基を2個以上有する化合物、カルボキシル基含有樹脂、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有する化合物、チオール基を2個以上有する化合物を含む樹脂組成物が挙げられ、公知慣用のものが用いられる。
(Adhesive layer (A))
The alkali-developable resin composition constituting the adhesive layer (A) is a composition containing one or more functional groups among phenolic hydroxyl group, thiol group and carboxyl group and containing a resin developable with an alkaline solution. Any photocurable resin composition or thermosetting resin composition may be used. Preferably, a resin composition containing a compound having two or more phenolic hydroxyl groups, a carboxyl group-containing resin, a compound having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group, and a compound having two or more thiol groups is exemplified. Used.

具体的には例えば、従来からソルダーレジスト組成物として用いられている、カルボキシル基含有樹脂またはカルボキシル基含有感光性樹脂と、エチレン性不飽和結合を有する化合物と、光重合開始剤と、熱反応性化合物とを含む光硬化性熱硬化性樹脂組成物が挙げられる。また、カルボキシル基含有ウレタン樹脂、カルボキシル基を有する樹脂、光塩基発生剤および熱硬化成分を含む樹脂組成物を用いることもできる。かかる樹脂組成物は、光塩基発生剤から生じる塩基を触媒として、カルボキシル基を有するウレタン樹脂と熱硬化成分とを露光後の加熱によって付加反応させ、未露光部分をアルカリ溶液によって除去することによって現像が可能となるものである。   Specifically, for example, a carboxyl group-containing resin or a carboxyl group-containing photosensitive resin, which is conventionally used as a solder resist composition, a compound having an ethylenically unsaturated bond, a photopolymerization initiator, and heat reactivity. The photocurable thermosetting resin composition containing a compound is mentioned. Further, a resin composition containing a carboxyl group-containing urethane resin, a resin having a carboxyl group, a photobase generator and a thermosetting component can also be used. Such a resin composition is developed by causing an addition reaction between a urethane resin having a carboxyl group and a thermosetting component by heating after exposure using a base generated from a photobase generator as a catalyst, and removing an unexposed part by an alkaline solution. Is possible.

接着層(A)に用いる樹脂組成物を構成する各材料としては、公知慣用のものが用いられる他、上記保護層(B)において使用されるものも、同様に用いることができる。   As each material which comprises the resin composition used for a contact bonding layer (A), in addition to a well-known and commonly used thing, the thing used in the said protective layer (B) can be used similarly.

本発明において、接着層(A)については伸び率は特に制限されず、高いほど好ましいが、硬化被膜として、室温において、好ましくは1〜50%、より好ましくは2〜40%である。   In the present invention, the elongation percentage of the adhesive layer (A) is not particularly limited and is preferably as high as possible, but it is preferably 1 to 50%, more preferably 2 to 40% at room temperature as a cured film.

上記接着層(A)および保護層(B)において用いる樹脂組成物には、得られる硬化物の可撓性や指触乾燥性の向上を目的に、公知慣用の高分子樹脂を配合することができる。このような高分子樹脂としては、セルロース系、ポリエステル系、フェノキシ樹脂系ポリマー、ポリビニルアセタール系、ポリビニルブチラール系、ポリアミド系、ポリアミドイミド系バインダーポリマー、ブロック共重合体、エラストマー等が挙げられる。この高分子樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。   In the resin composition used in the adhesive layer (A) and the protective layer (B), a conventional and commonly used polymer resin may be blended for the purpose of improving the flexibility and the touch-drying property of the cured product obtained. it can. Examples of such polymer resins include cellulose-based, polyester-based, phenoxy resin-based polymers, polyvinyl acetal-based, polyvinyl butyral-based, polyamide-based, polyamideimide-based binder polymers, block copolymers, and elastomers. The polymer resin may be used alone or in combination of two or more.

また、接着層(A)および保護層(B)において用いる樹脂組成物には、硬化物の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性を向上させるために、無機充填剤を配合することができる。このような無機充填剤としては、例えば、硫酸バリウム、無定形シリカ、溶融シリカ、球状シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ノイブルグシリシャスアース等が挙げられる。   In addition, in the resin composition used in the adhesive layer (A) and the protective layer (B), in order to suppress the cure shrinkage of the cured product and improve the properties such as adhesion and hardness, an inorganic filler should be blended. Can. As such an inorganic filler, for example, barium sulfate, amorphous silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, Neuburg-Silichas Earth etc. may be mentioned.

さらに、接着層(A)および保護層(B)において用いる樹脂組成物には、公知慣用の着色剤を配合することができる。従来、プリント配線板における銅回路のエッジ部では、パターン層の着色力が不十分な場合、パターン層形成後の熱履歴において銅が変色し、外観上、薄い部分だけ変色して見える。代表的な熱履歴としては、マーキングの熱硬化、反り直し、実装前の予備加熱、実装などがある。このため、従来はパターン層に着色剤を多く配合して着色力を高めることにより、銅回路のエッジ部分だけ変色して見えるという問題を解消していた。しかし、着色剤は、光吸収性を有するため、光が深部にまで透過することを阻害してしまう。その結果、着色剤を含有する組成物では、アンダーカットが生じやすいため、十分な密着性を得ることが難しい。   Furthermore, a well-known and usual coloring agent can be mix | blended with the resin composition used in an adhesive layer (A) and a protective layer (B). Conventionally, at the edge portion of a copper circuit in a printed wiring board, when the coloring power of the pattern layer is insufficient, copper discolors in the heat history after forming the pattern layer, and only a thin portion appears to discolor in appearance. Typical thermal histories include thermal curing of marking, recursion, preheating before mounting, mounting, and the like. For this reason, conventionally, the problem that only the edge portion of the copper circuit appears discolored appears to be solved by blending a large amount of colorant in the pattern layer to enhance the coloring power. However, since the coloring agent has light absorbability, it prevents the light from transmitting to the deep part. As a result, in the composition containing a coloring agent, it is difficult to obtain sufficient adhesion because an undercut easily occurs.

これに対し、樹脂組成物が光塩基発生剤を含む場合、各層の深部まで塩基が化学的に増殖することにより、各層の深部まで十分硬化できるので、着色剤を含有する場合でも、銅回路の隠蔽性に優れ、かつ、密着性に優れたパターン層を形成できる。   On the other hand, when the resin composition contains a photobase generator, the base can be chemically grown to the deep part of each layer, so that the resin can be sufficiently cured to the deep part of each layer. It is possible to form a pattern layer which is excellent in concealability and excellent in adhesion.

接着層(A)および保護層(B)において用いる樹脂組成物には、樹脂組成物の調製のためや、基材やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のために、有機溶剤を使用することができる。このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などを挙げることができる。このような有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。   In the resin composition used in the adhesive layer (A) and the protective layer (B), an organic solvent is used for preparation of the resin composition, and for viscosity adjustment for coating on a substrate or carrier film Can. As such an organic solvent, ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents and the like can be mentioned. Such an organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as 2 or more types of mixtures.

接着層(A)および保護層(B)において用いる樹脂組成物には、必要に応じてさらに、メルカプト化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知慣用のものを用いることができる。また、微粉シリカ、ハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤やレベリング剤、シランカップリング剤、防錆剤などのような公知慣用の添加剤類を適宜配合することができる。   The resin composition used in the adhesive layer (A) and the protective layer (B) may further contain components such as a mercapto compound, an adhesion promoter, an antioxidant, and an ultraviolet light absorber, if necessary. As these, conventional ones known in the field of electronic materials can be used. In addition, known conventional thickeners such as fine powder silica, hydrotalcite, organic bentonite and montmorillonite, antifoaming agents and leveling agents such as silicone type, fluorine type and polymer type, silane coupling agents, antirust agents, etc. Such known and commonly used additives can be suitably blended.

本発明の積層構造体において、接着層3は、銅回路への追従性の観点より、保護層4よりも厚い方が好ましい。   In the laminated structure of the present invention, the adhesive layer 3 is preferably thicker than the protective layer 4 from the viewpoint of the ability to follow a copper circuit.

本発明の積層構造体は、フレキシブルプリント配線板の屈曲部および非屈曲部のうち少なくともいずれか一方、好適には双方に用いることができ、これにより、折り曲げに対する十分な耐久性を備えるフレキシブルプリント配線板を、コスト性および作業性を向上しつつ得ることができる。具体的には、本発明の積層構造体は、フレキシブルプリント配線板のカバーレイ、ソルダーレジストおよび層間絶縁材料のうち少なくともいずれか1つの用途に用いることができる。   The laminated structure of the present invention can be used for at least one of bent portions and non-bent portions of a flexible printed wiring board, preferably both, and thereby flexible printed wiring having sufficient durability against bending. A board can be obtained while improving cost and workability. Specifically, the laminated structure of the present invention can be used for at least any one of a coverlay of a flexible printed wiring board, a solder resist, and an interlayer insulating material.

(フレキシブルプリント配線板の製造方法)
本発明においては、フレキシブルプリント配線基板上に、上記積層構造体の層を直接またはドライフィルムを介して形成し、光照射によりパターニングして、現像液によりパターンを一括して形成して絶縁膜を形成することで、フレキシブルプリント配線板を得ることができる。従来のソルダーレジスト層の単層では屈曲性などの特性が悪かったが、本発明によれば、接着層3と保護層4とからなる積層構造体とし、保護層4として、硬化被膜としての室温での伸び率が2.5%以上であるものを用いたことで、コスト性および作業性を向上しつつ、折り曲げに対する十分な耐久性を備えるフレキシブルプリント配線板用の絶縁膜を提供することが可能となった。
(Method of manufacturing flexible printed wiring board)
In the present invention, the layer of the above laminated structure is formed directly or via a dry film on a flexible printed wiring substrate, patterned by light irradiation, and patterns are collectively formed by a developer to form an insulating film. By forming, a flexible printed wiring board can be obtained. In the single layer of the conventional solder resist layer, the properties such as flexibility are poor, but according to the present invention, the laminated structure comprising the adhesive layer 3 and the protective layer 4 is used, and the protective layer 4 is a room temperature as a cured film. To provide an insulating film for a flexible printed wiring board having sufficient durability against bending while improving cost performance and workability by using a material having an elongation percentage of at least 2.5%. It has become possible.

以下に、本発明の積層構造体から本発明のフレキシブルプリント配線板を製造する方法の一例について、接着層3および保護層4の双方について、光塩基発生剤および熱反応性化合物を含有する樹脂組成物を用いた場合に関し、図1に示す工程図に基づき説明する。なお、従来からソルダーレジスト組成物として使用されている、カルボキシル基含有樹脂またはカルボキシル基含有感光性樹脂と、エチレン性不飽和結合を有する化合物と、光重合開始剤と、熱反応性化合物とを含む光硬化性熱硬化性樹脂組成物を使用する場合には、ソルダーレジストと同様の工程をとることができる。   Below, about an example of the method of manufacturing the flexible printed wiring board of this invention from the laminated structure of this invention, a resin composition containing a photobase generator and a heat-reactive compound about both the contact bonding layer 3 and the protective layer 4 The case where an object is used will be described based on the process chart shown in FIG. It contains a carboxyl group-containing resin or a carboxyl group-containing photosensitive resin, a compound having an ethylenically unsaturated bond, a photopolymerization initiator, and a thermally reactive compound, which are conventionally used as a solder resist composition. When using a photocurable thermosetting resin composition, the same process as a solder resist can be taken.

[積層工程]
積層工程は、基材上に、本発明の積層構造体を形成する工程である。図1中の積層工程は、銅回路2が形成されたフレキシブルプリント配線基材1上に、アルカリ現像型樹脂組成物からなる接着層3と、保護層4とからなる積層構造体が形成されている状態を示す。
[Lamination process]
The laminating step is a step of forming the laminated structure of the present invention on a substrate. In the laminating step in FIG. 1, a laminated structure including an adhesive layer 3 made of an alkali-developable resin composition and a protective layer 4 is formed on the flexible printed wiring substrate 1 on which the copper circuit 2 is formed. Show the condition.

ここで、積層構造体を構成する各層は、例えば、接着層3および保護層4を構成する樹脂組成物を、順次、基材上に塗布、乾燥することにより、接着層3および保護層4を直接形成するか、または、接着層3および保護層4を構成する樹脂組成物をそれぞれドライフィルムの形態にしたものを基材に順次にラミネートする方法により形成することができる。また、2層構造のドライフィルム形態にした積層構造体を、基材にラミネートする方法により形成してもよい。この場合、積層構造体の少なくとも片面を、フィルムで支持または保護することもできる。使用するフィルムとしては、積層構造体から剥離可能なプラスチックフィルムを用いることができる。フィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。塗膜強度の観点から、各層間の界面は、馴染んでいてもよい。   Here, each layer constituting the laminated structure is formed by, for example, sequentially applying and drying the resin composition constituting the adhesive layer 3 and the protective layer 4 on the base material. It can form directly by laminating the thing which made the form of a dry film the resin composition which forms adhesion layer 3 and protective layer 4 into a dry film one by one to a substrate one by one. Moreover, you may form by the method of laminating the laminated structure made into the dry film form of 2 layer structure on a base material. In this case, at least one side of the laminated structure can be supported or protected by a film. As a film to be used, a plastic film which can be peeled off from the laminated structure can be used. Although there is no restriction | limiting in particular about the thickness of a film, Generally, it selects suitably in 10-150 micrometers. From the viewpoint of coating film strength, the interface between each layer may be compatible.

樹脂組成物の基材への塗布方法は、ブレードコーター、リップコーター、コンマコーター、フィルムコーター等の公知の方法でよい。また、乾燥方法は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等、蒸気による加熱方式の熱源を備えたものを用い、乾燥機内の熱風を向流接触させる方法、および、ノズルより支持体に吹き付ける方法等、公知の方法でよい。   The method for applying the resin composition to the substrate may be a known method such as a blade coater, a lip coater, a comma coater, or a film coater. In addition, the drying method is a method of making the hot air in the dryer countercurrently contact, using a hot air circulation type drying furnace, an IR furnace, a hot plate, a convection oven, or the like provided with a heat source of heating by steam. A known method such as a method of spraying on a support may be used.

ここで、基材としては、あらかじめ回路形成されたフレキシブルプリント配線基材である。また、接着層3と保護層4との間に、所期の効果に加え、さらに他の効果を得るために、さらなる層を設けてもよい。   Here, the substrate is a flexible printed wiring substrate on which a circuit is formed in advance. In addition to the intended effect, an additional layer may be provided between the adhesive layer 3 and the protective layer 4 in order to obtain other effects.

[光照射工程]
光照射工程は、ネガ型のパターン状に、光照射にて樹脂組成物中に含まれる光塩基発生剤を活性化して、光照射部を硬化する工程である。この光照射工程では、保護層4上にマスク5を配置し、ネガ型のパターン状に光照射することにより、樹脂組成物に含まれる光塩基発生剤を活性化して、光照射部を硬化する。
[Light irradiation process]
The light irradiation step is a step of activating the photobase generator contained in the resin composition by light irradiation in a negative pattern, and curing the light irradiation portion. In this light irradiation step, the mask 5 is disposed on the protective layer 4 and light is irradiated in a negative pattern to activate the photo base generator contained in the resin composition and cure the light irradiation portion. .

この工程では、光照射部で発生した塩基により、光塩基発生剤が不安定化して、光塩基発生剤から塩基性物質(以下、「塩基」と略記する場合がある)が発生し、この発生した塩基によって光塩基発生剤が不安定化して、さらに塩基が発生する。このようにして塩基が発生して各層の深部まで化学的に増殖することにより、各層の深部まで十分に硬化することができると考えられる。その後の熱硬化の際には、この塩基がアルカリ現像性樹脂と熱反応性化合物との付加反応の触媒として作用しながら、付加反応が進行するため、光照射部では、各層が深部まで十分に熱硬化する。この場合の樹脂組成物の硬化は、例えば、熱反応によるエポキシの開環反応であるため、光反応で進行する場合と比べてひずみや硬化収縮を抑えることができる。   In this step, the photobase generator is destabilized by the base generated in the light irradiation part, and a basic substance (hereinafter sometimes abbreviated as "base") is generated from the photobase generator, and this generation occurs. The photobase generator is destabilized by the base to further generate a base. Thus, it is considered that the base can be sufficiently cured to the deep part of each layer by generating and chemically propagating to the deep part of each layer. In the subsequent heat curing, the addition reaction proceeds while the base acts as a catalyst for the addition reaction between the alkali developable resin and the thermally reactive compound, so that in the light irradiation section, each layer is sufficiently deep Thermoset. Curing of the resin composition in this case is, for example, a ring-opening reaction of epoxy by thermal reaction, so that distortion and curing shrinkage can be suppressed as compared with the case of proceeding by photo reaction.

光照射に用いられる光照射機としては、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)、メタルハライドランプを搭載した光照射機、(超)高圧水銀ランプを搭載した光照射機、水銀ショートアークランプを搭載した光照射機、または、(超)高圧水銀ランプ等の紫外線ランプを使用した直接描画装置を用いることができる。パターン状の光照射用のマスクは、ネガ型のマスクである。   As a light irradiator used for light irradiation, a direct drawing device (for example, a laser direct imaging device that draws an image directly by a laser according to CAD data from a computer), a light irradiator equipped with a metal halide lamp, (ultra) high pressure mercury lamp A light irradiator equipped with a mercury irradiator, a light irradiator equipped with a mercury short arc lamp, or a direct drawing apparatus using an ultraviolet lamp such as a (super) high pressure mercury lamp can be used. The pattern-like light irradiation mask is a negative mask.

活性エネルギー線としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるレーザー光または散乱光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、効率良く光塩基発生剤を活性化させることができる。この範囲のレーザー光を用いるものであれば、レーザーの種類は、ガスレーザーおよび固体レーザーのいずれでもよい。また、その光照射量は膜厚等によって異なるが、一般には100〜1500mJ/cm、好ましくは300〜1500mJ/cmの範囲内とすることができる。 As active energy rays, it is preferable to use laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm. By setting the maximum wavelength in this range, the photobase generator can be efficiently activated. As long as a laser beam within this range is used, the type of laser may be either a gas laser or a solid laser. The amount of light irradiation varies depending on the film thickness and the like, but can generally be in the range of 100 to 1,500 mJ / cm 2 , preferably 300 to 1,500 mJ / cm 2 .

[加熱工程]
加熱工程は、加熱により光照射部を硬化するものであり、光照射工程で発生した塩基により、深部まで硬化させることができる。この加熱工程は、光照射工程の後、接着層3および保護層4を加熱することにより、光照射部を硬化する工程であり、いわゆるPEB(POST EXPOSURE BAKE)工程と言われる工程である。これにより、光照射工程で発生した塩基にて各層を深部まで十分に硬化して、硬化特性に優れたパターン層を得ることができる。
[Heating process]
A heating process hardens a light irradiation part by heating, and can be hardened to a deep part with a base generated at a light irradiation process. This heating process is a process of curing the light irradiation part by heating the adhesive layer 3 and the protective layer 4 after the light irradiation process, and is a process called a so-called PEB (POST EXPOSURE BAKE) process. Thus, each layer can be sufficiently cured to the deep portion with the base generated in the light irradiation step, and a pattern layer having excellent curing characteristics can be obtained.

例えば、加熱工程は、未照射の樹脂組成物の発熱開始温度または発熱ピーク温度よりも低く、かつ、光照射した樹脂組成物の発熱開始温度または発熱ピーク温度よりも高い温度で加熱することが好ましい。このように加熱することにより、光照射部のみを選択的に硬化することができる。   For example, the heating step is preferably performed at a temperature lower than the heat generation start temperature or heat generation peak temperature of the non-irradiated resin composition and higher than the heat generation start temperature or heat generation peak temperature of the light irradiated resin composition. . By heating in this manner, only the light irradiation part can be selectively cured.

ここで、この際の加熱温度は、樹脂組成物のうち光照射部は熱硬化するが、未照射部は熱硬化しない温度であることが好ましい。加熱温度は、例えば、80〜140℃である。加熱温度を80℃以上とすることにより、光照射部を十分に硬化できる。一方、加熱温度を140℃以下とすることにより、光照射部のみを選択的に硬化できる。加熱時間は、例えば、10〜100分である。加熱方法は、上記乾燥方法と同様である。なお、未照射部では、光塩基発生剤から塩基が発生しないため、熱硬化が抑制される。   Here, it is preferable that the heating temperature at this time is a temperature at which the light irradiated portion of the resin composition is thermally cured but the non-irradiated portion is not thermally cured. The heating temperature is, for example, 80 to 140 ° C. By setting the heating temperature to 80 ° C. or more, the light irradiation part can be sufficiently cured. On the other hand, by setting the heating temperature to 140 ° C. or less, only the light irradiation portion can be selectively cured. The heating time is, for example, 10 to 100 minutes. The heating method is the same as the above-mentioned drying method. In the non-irradiated part, since the photobase generator does not generate a base, the thermal curing is suppressed.

[現像工程]
現像工程は、アルカリ現像により、未照射部を除去して、ネガ型のパターン層を形成するものである。図1中の現像工程は、接着層3および保護層4をアルカリ性水溶液によって現像することにより、未照射部が除去され、ネガ型のパターン層を形成する工程を示す。現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等公知の方法によることができる。また、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、エタノールアミンなどのアミン類、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)等のアルカリ水溶液またはこれらの混合液を用いることができる。
[Development process]
In the development step, the non-irradiated part is removed by alkali development to form a negative pattern layer. The developing step in FIG. 1 shows a step of developing the adhesive layer 3 and the protective layer 4 with an alkaline aqueous solution to remove the non-irradiated part, thereby forming a negative pattern layer. The developing method may be a known method such as a dipping method, a shower method, a spray method or a brush method. Further, as a developer, amines such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, sodium silicate, ammonia, ethanolamine and the like, alkalis such as aqueous solution of tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH) An aqueous solution or a mixture thereof can be used.

[第2光照射工程]
現像工程の後には、第2光照射工程を含むことが好ましい。この第2光照射工程は、光照射工程のパターン層内で活性化せずに残った光塩基発生剤を活性化して、塩基を発生させるために、所望に応じて紫外線を照射する工程である。第2光照射工程における紫外線の波長および光照射量(露光量)は、上記光照射工程と同じであってもよく、異なっていてもよい。光照射量(露光量)は、例えば、150〜2000mJ/cmである。
[Second light irradiation process]
After the developing step, it is preferable to include a second light irradiation step. The second light irradiation step is a step of irradiating ultraviolet light as desired in order to generate a base by activating the photobase generator remaining without being activated in the pattern layer of the light irradiation step. . The wavelength of the ultraviolet light and the light irradiation amount (exposure amount) in the second light irradiation step may be the same as or different from the light irradiation step. The light irradiation amount (exposure amount) is, for example, 150 to 2000 mJ / cm 2 .

[熱硬化工程]
現像工程の後には、さらに、熱硬化(ポストキュア)熱硬化工程を含むことが好ましい。この熱硬化工程は、パターン層を十分に熱硬化させるために、必要に応じて熱硬化(ポストキュア)を行う工程である。現像工程の後に、第2光照射工程と熱硬化工程とをともに行う場合、熱硬化工程は、第2光照射工程の後に行うことが好ましい。
[Thermosetting process]
After the development step, it is preferable to further include a heat curing (post curing) heat curing step. The heat curing step is a step of performing heat curing (post curing) as necessary in order to heat cure the pattern layer sufficiently. When the second light irradiation step and the heat curing step are both performed after the development step, the heat curing step is preferably performed after the second light irradiation step.

この熱硬化工程は、光照射工程、または、光照射工程および第2光照射工程によって光塩基発生剤から発生した塩基により、パターン層を十分に熱硬化させる。熱硬化工程の時点では、未照射部を既に除去しているため、熱硬化工程は、未照射の樹脂組成物の硬化反応開始温度以上の温度で行うことができる。これにより、パターン層を十分に熱硬化させることができる。加熱温度は、例えば、150℃以上である。   In this heat curing step, the pattern layer is sufficiently heat cured by the base generated from the photobase generator in the light irradiation step or the light irradiation step and the second light irradiation step. At the time of the heat curing step, since the non-irradiated part has already been removed, the heat curing step can be performed at a temperature higher than the curing reaction start temperature of the non-irradiated resin composition. Thereby, the pattern layer can be sufficiently thermally cured. The heating temperature is, for example, 150 ° C. or more.

以下、本発明を、実施例を用いてより詳細に説明する。
(合成例1)
<イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂の合成>
撹拌機、窒素導入管、分留環および冷却環を取り付けたセパラブル3つ口フラスコに、3,5−ジアミノ安息香酸を12.2g、2,2’−ビス[4―(4―アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを8.2g、NMPを30g、γ−ブチロラクトンを30g、4,4’−オキシジフタル酸無水物を27.9g、トリメリット酸無水物を3.8g加え、窒素雰囲気下、室温、100rpmで4時間撹拌した。次いで、トルエンを20g加え、シリコン浴温度180℃、150rpmでトルエンおよび水を留去しながら4時間撹拌して、イミド環含有アルカリ溶解性樹脂溶液を得た。その後、固形分が30質量%となるようにγ−ブチロラクトンを添加した。得られた樹脂溶液は、固形分酸価86mgKOH/g、Mw10000であった。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail using examples.
Synthesis Example 1
<Synthesis of Alkali-Soluble Resin Having Imide Ring>
In a separable 3-neck flask equipped with a stirrer, a nitrogen inlet tube, a fractional ring and a cooling ring, 12.2 g of 3,5-diaminobenzoic acid, 2,2'-bis [4- (4-aminophenoxy) Add 8.2 g of phenyl] propane, 30 g of NMP, 30 g of γ-butyrolactone, 27.9 g of 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 3.8 g of trimellitic anhydride, and add 100 rpm under a nitrogen atmosphere at room temperature. Stir for 4 hours. Next, 20 g of toluene was added, and stirring was carried out for 4 hours while distilling off toluene and water at a silicon bath temperature of 180 ° C. and 150 rpm to obtain an imide ring-containing alkali-soluble resin solution. Then, (gamma) -butyrolactone was added so that solid content might be 30 mass%. The obtained resin solution had a solid content acid value of 86 mg KOH / g and a Mw of 10000.

(合成例2)
<カルボキシル基含有ウレタン樹脂>
撹拌装置、温度計およびコンデンサーを備えた反応容器に、1,5−ペンタンジオールと1,6−ヘキサンジオールから誘導されるポリカーボネートジオール(旭化成ケミカルズ(株)製、T5650J、数平均分子量800)を2400g(3モル)、ジメチロールプロピオン酸を603g(4.5モル)、および、モノヒドロキシル化合物として2−ヒドロキシエチルアクリレートを238g(2.6モル)投入した。次いで、ポリイソシアネートとしてイソホロンジイソシアネート1887g(8.5モル)を投入し、撹拌しながら60℃まで加熱して停止し、反応容器内の温度が低下し始めた時点で再度加熱して80℃で撹拌を続け、赤外線吸収スペクトルでイソシアネート基の吸収スペクトル(2280cm−1)が消失したことを確認して、反応を終了した。その後、固形分が50質量%となるようにカルビトールアセテートを添加した。得られたカルボキシル基含有樹脂の固形分の酸価は、50mgKOH/gであった。
(Composition example 2)
<Carboxyl group-containing urethane resin>
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer and a condenser, 2400 g of polycarbonate diol (Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd. T5650 J, number average molecular weight 800) derived from 1,5-pentanediol and 1,6-hexanediol (3 moles), 603 g (4.5 moles) of dimethylol propionic acid, and 238 g (2.6 moles) of 2-hydroxyethyl acrylate as a monohydroxyl compound were charged. Next, 1887 g (8.5 mol) of isophorone diisocyanate as polyisocyanate is added, heating to 60 ° C. with stirring and stopping, and when the temperature in the reaction vessel starts to decrease, it is heated again and stirred at 80 ° C. The reaction was terminated after confirming that the absorption spectrum (2280 cm −1 ) of the isocyanate group disappeared in the infrared absorption spectrum. Then, carbitol acetate was added so that solid content might be 50 mass%. The acid value of the solid content of the obtained carboxyl group-containing resin was 50 mg KOH / g.

<各層を構成する樹脂組成物の調製>
下記表1,2に記載の配合に従って、実施例および比較例に記載の材料をそれぞれ配合、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルにて混練し、接着層および保護層を構成する樹脂組成物を調製した。表中の値は、特に断りが無い限り、質量部である。
<Preparation of Resin Composition Constituting Each Layer>
According to the composition described in Tables 1 and 2 below, the materials described in the Examples and Comparative Examples are respectively compounded, pre-mixed by a stirrer, and then kneaded by a three-roll mill to form an adhesive layer and a protective layer. Prepared. The values in the table are parts by mass unless otherwise specified.

<接着層(A)の形成>
銅厚18μmの回路が形成されたフレキシブルプリント配線基材を用意し、メック社製のCZ−8100を使用して、前処理を行った。その後、前処理を行ったフレキシブルプリント配線基材に、各接着層用の樹脂組成物を、乾燥後の膜厚が25μmになるように塗布した。その後、熱風循環式乾燥炉にて90℃/30分にて乾燥し、樹脂組成物からなる接着層(A)を形成した。なお、比較例2,3については、接着層を形成しなかった。
<Formation of Adhesive Layer (A)>
A flexible printed wiring substrate on which a circuit with a copper thickness of 18 μm was formed was prepared, and was pretreated using CZ-8100 manufactured by MEC Corporation. Then, the resin composition for each adhesive layer was apply | coated so that the film thickness after drying might be set to 25 micrometers to the flexible printed wiring base material which pre-processed. Then, it dried at 90 degreeC / 30 minutes in a hot-air circulation type drying furnace, and formed the contact bonding layer (A) which consists of a resin composition. In Comparative Examples 2 and 3, no adhesive layer was formed.

<保護層(B)の形成>
上記接着層(A)上に、各保護層用の樹脂組成物を、乾燥後の膜厚が10μmになるように塗布した。その後、熱風循環式乾燥炉にて90℃/30分にて乾燥し、樹脂組成物からなる保護層(B)を形成した。なお、比較例4については、保護層(B)を形成しなかった。
<Formation of Protective Layer (B)>
The resin composition for each protective layer was apply | coated so that the film thickness after drying might be set to 10 micrometers on the said contact bonding layer (A). Then, it dried at 90 degreeC / 30 minutes in a hot-air circulation type drying furnace, and formed the protective layer (B) which consists of resin compositions. In Comparative Example 4, the protective layer (B) was not formed.

各接着層(A)および保護層(B)の硬化被膜について、引張試験機(島津製作所(株)製,AGS−G100W)を用い、JIS K 7127に準拠して、引張速度1.0mm/分、23℃の条件で、伸び率(引張破壊伸び)を測定した。   The cured film of each adhesive layer (A) and the protective layer (B) was subjected to a tensile rate of 1.0 mm / min according to JIS K 7127 using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, AGS-G100W). Elongation (tensile fracture elongation) was measured at 23 ° C.

<アルカリ現像性(パターニング)および折り曲げ性評価>
上記で得られた接着層および保護層を備える基材に対し、ORC社製のHMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて、露光量500mJ/cmで、ネガ型のパターン状に光照射した。次いで、90℃で60分間加熱処理を行った。その後、30℃・1質量%の炭酸ナトリウム水溶液中に基材を浸漬して3分間現像を行い、アルカリ現像性の可否を評価した。
<Alkali developability (patterning) and bendability evaluation>
The substrate provided with the adhesive layer and the protective layer obtained above was irradiated with a negative pattern at a dose of 500 mJ / cm 2 with HMW 680 GW (a metal halide lamp, scattered light) manufactured by ORC. Then, heat treatment was performed at 90 ° C. for 60 minutes. Thereafter, the substrate was immersed in an aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. and 1% by mass, and development was performed for 3 minutes to evaluate the alkali developability.

次いで、熱風循環式乾燥炉を用いて150℃/60分間熱処理を行い、パターン状の硬化塗膜を得た。得られた硬化塗膜に対し、MIT試験(R=0.38mm/宇部興産(株)製ユーピレックス12.5μmの基材使用)を実施し、屈曲性を評価した。120cycle以上程度であれば、フレキシブルプリント配線板としての屈曲性を満足できる。   Next, heat treatment was carried out at 150 ° C./60 minutes using a hot air circulation type drying furnace to obtain a cured film in the form of a pattern. The obtained cured coating film was subjected to MIT test (R = 0.38 mm / using UPILEX 12.5 μm substrate manufactured by Ube Industries, Ltd.) to evaluate flexibility. If it is about 120 cycles or more, the flexibility as a flexible printed wiring board can be satisfied.

また、得られた硬化塗膜を用いてはぜ折りを行い、クラックの入る手前の回数を記録した。3回以上折り曲げられた場合を○、折り曲げ回数が2回以下であった場合を×とした。   In addition, the obtained cured coating was used for cold folding, and the number of times before the crack was entered was recorded. The case where the sheet was bent three times or more is represented by ○, and the case where the number of bendings is two or less is represented by x.

得られた結果を、下記の表1,2中に示す。   The obtained results are shown in Tables 1 and 2 below.

Figure 0006549848
※1:合成例1の樹脂
※2:合成例2の樹脂
※3:カルボキシル基含有ノボラック樹脂(酸価104mgKOH/g,Bis A/フェノールノボラック樹脂)
※4:トリメチロールプロパンEO変性トリアクリレート(東亞合成(株)製)
※5:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(分子量900)(三菱化学(株)製)
※6:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(分子量400)(三菱化学(株)製)
※7:オキシム型光重合開始剤(BASFジャパン社製)
※8:アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤(BASFジャパン社製)
※9:ビスフェノールF型変性エポキシアクリレート(日本化薬(株)製)
Figure 0006549848
* 1: Resin of Synthesis Example 1 * 2: Resin of Synthesis Example 2 * 3: Carboxyl group-containing novolak resin (acid value: 104 mg KOH / g, Bis A / phenol novolac resin)
* 4: Trimethylolpropane EO modified triacrylate (manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
* 5: Bisphenol A epoxy resin (molecular weight 900) (Mitsubishi Chemical Corporation)
※ 6: Bisphenol A epoxy resin (molecular weight 400) (Mitsubishi Chemical Corporation)
* 7: Oxime type photopolymerization initiator (manufactured by BASF Japan Ltd.)
* 8: Acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (manufactured by BASF Japan Ltd.)
※ 9: Bisphenol F type modified epoxy acrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

Figure 0006549848
Figure 0006549848

上記表1,2に示す評価結果から明らかなように、アルカリ現像性樹脂組成物からなる接着層(A)と、硬化被膜としての室温での伸び率が2.5%以上である保護層(B)とを積層した積層構造体を用いた各実施例および参考例のフレキシブルプリント配線板は、良好な現像性を有するとともに、伸び率の条件を満足しない比較例1、および、接着層または保護層のいずれか一方のみの単層からなる比較例2〜4のフレキシブルプリント配線板と比較して、MIT試験およびはぜ折り試験の双方において優れていることが確認された。また、実施例1と比較例2との対比から、同じ5%の伸び率であっても、単層ではなく積層の構造体とすることで、屈曲性が大幅に向上するとともに、はぜ折り性能が良化していることがわかる。   As apparent from the evaluation results shown in Tables 1 and 2 above, an adhesive layer (A) comprising an alkali-developable resin composition, and a protective layer having an elongation of 2.5% or more at room temperature as a cured film ( The flexible printed wiring board of each of the examples and reference examples using the laminated structure obtained by laminating B) has good developability and Comparative Example 1 which does not satisfy the condition of elongation, and an adhesive layer or protection As compared with the flexible printed wiring boards of Comparative Examples 2 to 4 comprising single layers of only one of the layers, it was confirmed to be excellent in both the MIT test and the fold test. Further, from the comparison between Example 1 and Comparative Example 2, even if the elongation rate is the same 5%, by using a laminated structure instead of a single layer, the flexibility is significantly improved, and the wire is folded It can be seen that the performance is improving.

1 フレキシブルプリント配線基材
2 銅回路
3 接着層
4 保護層
5 マスク
1 flexible printed wiring substrate 2 copper circuit 3 adhesive layer 4 protective layer 5 mask

Claims (6)

アルカリ現像性樹脂組成物からなる接着層(A)と、該接着層(A)を介してフレキシブルプリント配線板に積層される保護層(B)と、を備える積層構造体であって、
前記保護層(B)が、イミド環またはイミド前駆体骨格を有するアルカリ溶解性樹脂と、光塩基発生剤と、熱反応性化合物とを含む樹脂組成物からなり、
前記接着層(A)の、硬化被膜としての室温での伸び率が2%以上40%以下であり、前記保護層(B)の、硬化被膜としての室温での伸び率が2.5%以上40%以下であることを特徴とする積層構造体。
A laminated structure comprising: an adhesive layer (A) comprising an alkali-developable resin composition; and a protective layer (B) laminated to a flexible printed wiring board via the adhesive layer (A),
The protective layer (B) is composed of a resin composition containing an alkali-soluble resin having an imide ring or an imide precursor skeleton, a photobase generator, and a thermally reactive compound.
The elongation of the adhesive layer (A) at room temperature as a cured film is 2% or more and 40% or less, and the elongation of the protective layer (B) as a cured film at room temperature is 2.5% or more Laminated structure characterized by being 40% or less .
前記接着層(A)と前記保護層(B)とが、いずれも光照射によりパターニング可能である請求項1記載の積層構造体。   The laminated structure according to claim 1, wherein both the adhesive layer (A) and the protective layer (B) can be patterned by light irradiation. フレキシブルプリント配線板の屈曲部および非屈曲部のうち少なくともいずれか一方に用いられる請求項1または2記載の積層構造体。 The laminated structure according to claim 1 or 2, which is used in at least one of a bent portion and a non-bent portion of a flexible printed wiring board. フレキシブルプリント配線板のカバーレイ、ソルダーレジストおよび層間絶縁材料のうち少なくともいずれか1つの用途に用いられる請求項1〜のうちいずれか一項記載の積層構造体。 The laminated structure according to any one of claims 1 to 3 , which is used for at least one application among a coverlay of a flexible printed wiring board, a solder resist, and an interlayer insulating material. 請求項1〜のうちいずれか一項記載の積層構造体の少なくとも片面が、フィルムで支持または保護されてなることを特徴とするドライフィルム。 A dry film characterized in that at least one surface of the laminated structure according to any one of claims 1 to 4 is supported or protected by a film. フレキシブルプリント配線基板上に、請求項1〜のうちいずれか一項記載の積層構造体の層を直接形成するか、または、請求項記載のドライフィルムを介して積層構造体の層を形成し、光照射によりパターニングして、現像液によりパターンを一括して形成してなる絶縁膜を備えることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。 The layer of the laminated structure according to any one of claims 1 to 4 is directly formed on the flexible printed wiring board, or the layer of the laminated structure is formed through the dry film according to claim 5 What is claimed is: 1. A flexible printed wiring board comprising: an insulating film formed by patterning a pattern by light irradiation and collectively forming a pattern with a developing solution.
JP2015007939A 2014-01-17 2015-01-19 Laminated structure Active JP6549848B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015007939A JP6549848B2 (en) 2014-01-17 2015-01-19 Laminated structure

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014007157 2014-01-17
JP2014007157 2014-01-17
JP2015007939A JP6549848B2 (en) 2014-01-17 2015-01-19 Laminated structure

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015155199A JP2015155199A (en) 2015-08-27
JP6549848B2 true JP6549848B2 (en) 2019-07-24

Family

ID=54774830

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015007939A Active JP6549848B2 (en) 2014-01-17 2015-01-19 Laminated structure

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6549848B2 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106796400B (en) * 2014-10-14 2020-11-03 太阳油墨制造株式会社 Laminated structure
JP6578295B2 (en) * 2014-10-16 2019-09-18 太陽インキ製造株式会社 Laminated structure, dry film and flexible printed wiring board
KR102646304B1 (en) 2017-02-23 2024-03-11 에이치디 마이크로시스템즈 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition, method for producing a cured pattern, cured product, interlayer insulating film, cover coat layer, surface protective film, and electronic components
JP6387444B1 (en) * 2017-07-10 2018-09-05 太陽インキ製造株式会社 Laminated structure, dry film and flexible printed wiring board
KR102173182B1 (en) * 2018-11-06 2020-11-02 (주)이녹스첨단소재 flexible photo imageable coverlay film and manufacturing method thereof
CN111182735B (en) * 2020-02-26 2024-01-26 东莞市天晖电子材料科技有限公司 High-transmission single panel for LED lamp strip and preparation method thereof

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3781381B2 (en) * 1995-01-17 2006-05-31 新日鐵化学株式会社 Laminated body and wiring board using the same
JP2006108269A (en) * 2004-10-04 2006-04-20 Shinko Seisakusho:Kk Flexible printed wiring board and its manufacturing method
JP2007279489A (en) * 2006-04-10 2007-10-25 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition, method for producing resist pattern, flexible substrate and electronic component
JP4781158B2 (en) * 2006-04-25 2011-09-28 三井化学株式会社 Dry film for forming protective film and processed product using the same
JP2008304849A (en) * 2007-06-11 2008-12-18 Kaneka Corp Photosensitive dry film resist, printed wiring board using same and method for producing printed wiring board
JP2011017898A (en) * 2009-07-09 2011-01-27 Toray Ind Inc Photosensitive cover lay

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015155199A (en) 2015-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI614571B (en) Laminated structure, flexible printed wiring board and method of manufacturing same
JP6578295B2 (en) Laminated structure, dry film and flexible printed wiring board
JP6549848B2 (en) Laminated structure
JP6306296B2 (en) Photosensitive thermosetting resin composition and flexible printed wiring board
JP6568715B2 (en) Photosensitive thermosetting resin composition, dry film and printed wiring board
TWI658324B (en) Photosensitive thermosetting resin composition and flexible printed circuit board
TWI654250B (en) Photosensitive thermosetting resin composition and flexible printed wiring board
JP6372988B2 (en) Photosensitive thermosetting resin composition and flexible printed wiring board
KR101959648B1 (en) Laminate structure
JP6050180B2 (en) Laminated structure and flexible printed wiring board
JP6547025B2 (en) Photosensitive thermosetting resin composition and flexible printed wiring board
JP6050181B2 (en) Method for manufacturing flexible printed wiring board and flexible printed wiring board
KR20170070134A (en) Dry film and flexible printed wiring board
JP6383525B2 (en) Pattern formation method, photosensitive thermosetting resin composition, dry film, and flexible printed wiring board
WO2022181764A1 (en) Multilayer structure and flexible printed wiring board

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20171213

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180816

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180904

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20181102

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181227

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190604

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190628

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6549848

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250