JP2011017898A - Photosensitive cover lay - Google Patents

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Keiko Yamanaka
啓子 山中
Akira Shimada
彰 嶋田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive cover lay capable of suppressing warpage of a laminate with a flexible printed board after curing.SOLUTION: The photosensitive cover lay comprises at least (A) an epoxy compound represented by general formula (1), (B) a soluble polyimide, (C) a photopolymerizable compound, and (D) a photopolymerization initiator, wherein X denotes a divalent linking group, and n and m each denote 1-10, provided that n+m≥4.

Description

本発明は感光性カバーレイに関する。   The present invention relates to a photosensitive coverlay.

従来、フレキシブルプリント基板の保護膜や絶縁膜として、ポリイミドフィルムなどの成形体に接着剤を塗布して得られるカバーレイフィルムなどが用いられてきた。カバーレイフィルムをパターン加工する方法として、パンチングによる孔空け加工が一般的に用いられていた。しかし近年、配線の微細化、フレキシブルプリント基板に搭載されるチップ部品の小型化により、かかる加工では微細化に対応することが困難となっている。そこで、微細パターン加工を実現するため、フォトグラフィック技術を活用した感光性カバーレイが求められている。   Conventionally, a coverlay film obtained by applying an adhesive to a molded body such as a polyimide film has been used as a protective film or an insulating film of a flexible printed circuit board. As a method for patterning a coverlay film, punching by punching has been generally used. However, in recent years, miniaturization of wiring and miniaturization of chip parts mounted on a flexible printed circuit board make it difficult to cope with the miniaturization by such processing. Therefore, in order to realize fine pattern processing, there is a demand for a photosensitive cover lay utilizing photographic technology.

現像性に優れる感光性材料としてアクリル樹脂が挙げられるが、耐熱性や絶縁性が不十分であり、半導体素子やフレキシブル配線基板、リジット基板、集積回路等の保護膜や絶縁膜等の電気・電子用途には適していない。そこで、電気特性や耐薬品性、耐熱性に優れるポリイミド系樹脂を用いた感光性カバーレイが検討されている。   Acrylic resin is listed as a photosensitive material with excellent developability. However, heat resistance and insulation are insufficient, and electrical / electronics such as protective films and insulating films for semiconductor elements, flexible wiring boards, rigid boards, integrated circuits, etc. Not suitable for use. Therefore, a photosensitive cover lay using a polyimide resin having excellent electrical characteristics, chemical resistance, and heat resistance has been studied.

アルカリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物として、例えば、水酸基を含有するポリイミド樹脂に炭素−炭素二重結合を有する化合物を反応させて得られる感光性ポリイミド樹脂と、(メタ)アクリル系化合物と、光反応開始剤および/または増感剤を含有する感光性樹脂組成物や(例えば、特許文献1参照)、プリント配線板表面に塗工・乾燥・露光・アルカリ現像後、硬化する感光性樹脂組成物において、アルカリ現像工程において0.8重量%以下の炭酸ナトリウム水溶液で現像可能である感光性樹脂組成物(例えば、特許文献2参照)が提案されている。しかしながら、これらの感光性樹脂組成物は硬化後の反りが大きい課題があった。   As a photosensitive resin composition that can be developed with an alkaline aqueous solution, for example, a photosensitive polyimide resin obtained by reacting a polyimide resin containing a hydroxyl group with a compound having a carbon-carbon double bond, and a (meth) acrylic compound, , A photosensitive resin composition containing a photoreaction initiator and / or a sensitizer (see, for example, Patent Document 1), a photosensitive resin that cures after coating, drying, exposure, and alkali development on the surface of a printed wiring board In the composition, a photosensitive resin composition (see, for example, Patent Document 2) that can be developed with an aqueous sodium carbonate solution of 0.8% by weight or less in an alkali development step has been proposed. However, these photosensitive resin compositions have a problem of large warpage after curing.

一方、接着剤組成物として、カルボキシル基および/または水酸基を有する熱可塑性樹脂、分子内にオキサゾリン基を有する化合物および熱硬化性樹脂を含有する接着剤組成物や(例えば、特許文献3参照)、側鎖にカルボキシル基を有するポリイミド樹脂、光硬化性樹脂、光重合開始剤および多官能エポキシ化合物を含有する接着剤組成物(例えば、特許文献4参照)が提案されている。しかしながら、これらの接着剤組成物を硬化して得られる接着シートもまた、反りが大きいという課題があった。   On the other hand, as an adhesive composition, an adhesive composition containing a thermoplastic resin having a carboxyl group and / or a hydroxyl group, a compound having an oxazoline group in the molecule and a thermosetting resin (see, for example, Patent Document 3), An adhesive composition containing a polyimide resin having a carboxyl group in the side chain, a photocurable resin, a photopolymerization initiator, and a polyfunctional epoxy compound (see, for example, Patent Document 4) has been proposed. However, the adhesive sheet obtained by curing these adhesive compositions also has a problem of large warpage.

特開2004−325616号公報JP 2004-325616 A 特開2008−197544号公報JP 2008-197544 A 特開2008−260907号公報JP 2008-260907 A 特開2008−274269号公報JP 2008-274269 A

本発明は、硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りを低減することができる感光性カバーレイを提供することを課題とする。   This invention makes it a subject to provide the photosensitive coverlay which can reduce the curvature of a laminated body with the flexible printed circuit board after hardening.

本発明は、少なくとも(A)下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物、(B)可溶性ポリイミド、(C)光重合性化合物および(D)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性カバーレイである。   The present invention comprises at least (A) an epoxy compound represented by the following general formula (1), (B) a soluble polyimide, (C) a photopolymerizable compound, and (D) a photopolymerization initiator. It is a photosensitive coverlay.

Figure 2011017898
Figure 2011017898

上記一般式(1)中、Xは2価の連結基を示す。nおよびmはそれぞれ1〜10の範囲を示す。ただし、n+m≧4である。   In the general formula (1), X represents a divalent linking group. n and m each represent a range of 1 to 10. However, n + m ≧ 4.

本発明により、硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りが小さい感光性カバーレイを得ることができる。   By this invention, the photosensitive coverlay with a small curvature of the laminated body with the flexible printed circuit board after hardening can be obtained.

本発明の感光性カバーレイは、(A)前記一般式(1)で表されるエポキシ化合物、(B)可溶性ポリイミド、(C)光重合性化合物および(D)光重合開始剤を含む。なお、本発明におけるカバーレイとは、フレキシブルプリント基板の配線を保護する材料を指し、硬化させて保護膜として使用される。硬化前の形状は限定されず、例えば、ワニス状やフィルム状などが挙げられる。前記フレキシブルプリント基板とは、絶縁樹脂フィルム層に導体配線が形成されたものである。例えば、ポリイミドフィルムと銅箔が、直接またはエポキシ樹脂やポリイミド樹脂などの接着剤を介して積層され、銅箔が回路加工された基板が挙げられるが、これらに限定されるものではない。   The photosensitive coverlay of the present invention comprises (A) an epoxy compound represented by the general formula (1), (B) a soluble polyimide, (C) a photopolymerizable compound, and (D) a photopolymerization initiator. In addition, the coverlay in this invention points out the material which protects the wiring of a flexible printed circuit board, it hardens and is used as a protective film. The shape before curing is not limited, and examples thereof include a varnish shape and a film shape. The flexible printed circuit board is one in which conductor wiring is formed on an insulating resin film layer. For example, although the board | substrate with which the polyimide film and copper foil were laminated | stacked directly or via adhesives, such as an epoxy resin and a polyimide resin, and the copper foil was circuit-processed is mentioned, it is not limited to these.

本発明における(A)下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物は、分子内に2個のエポキシ基と、4個以上のプロピレンオキサイド(−CO−)を有する化合物である。このようなエポキシ化合物として、“アデカレジン(登録商標)”EP−4003S((株)アデカ製)、PG207GS(東都化成(株)製)などを挙げることができる。 The epoxy compound (A) represented by the following general formula (1) in the present invention is a compound having two epoxy groups and four or more propylene oxides (—C 3 H 6 O—) in the molecule. . As such an epoxy compound, “Adeka Resin (registered trademark)” EP-4003S (manufactured by Adeka Co., Ltd.), PG207GS (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.) and the like can be mentioned.

Figure 2011017898
Figure 2011017898

上記一般式(1)中、Xは2価の連結基を示す。nおよびmはそれぞれ1〜10の範囲を示す。ただし、n+m≧4である。   In the general formula (1), X represents a divalent linking group. n and m each represent a range of 1 to 10. However, n + m ≧ 4.

エポキシ基を有することにより、感光性カバーレイの硬化後の半田耐熱性を向上させることができ、また、フレキシブルプリント基板との接着性を向上させることができる。さらに、n+m≧4とすること、すなわち、プロピレンオキサイド(−CO−)骨格を4個以上有することにより、感光性カバーレイの硬化後の弾性率を低減し、フレキシブルプリント基板との積層体の反りを低減することができる。プロピレンオキサイド骨格に類似するエチレンオキサイド(−CO−)骨格では、かかる反りの低減効果は得られない。また、プロピレンオキサイド骨格の数が4個未満の場合にも、かかる反りの低減効果は得られない。プロピレン基は分岐していることが好ましく、n+mの値は5以上が好ましい。このような化合物を含有することにより、硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りをより低減することができ、また、アルカリ水溶液に対する現像性を向上させることができる。 By having an epoxy group, the solder heat resistance after curing of the photosensitive coverlay can be improved, and the adhesion to the flexible printed circuit board can be improved. Furthermore, by setting n + m ≧ 4, that is, by having four or more propylene oxide (—C 3 H 6 O—) skeletons, the elastic modulus after curing of the photosensitive coverlay is reduced, and The warpage of the laminate can be reduced. In the ethylene oxide (—C 2 H 4 O—) skeleton similar to the propylene oxide skeleton, such a warp reduction effect cannot be obtained. Further, even when the number of propylene oxide skeletons is less than 4, such a warp reduction effect cannot be obtained. The propylene group is preferably branched, and the value of n + m is preferably 5 or more. By containing such a compound, the curvature of the laminated body with the flexible printed circuit board after hardening can be reduced more, and the developability with respect to alkaline aqueous solution can be improved.

また、一般式(1)におけるXは2価の連結基を示し、単結合でもよい。芳香族環を有することが好ましく、アルカリ溶液、特に1重量%炭酸ナトリウムによる現像性が向上する。2以上の芳香族環を−CH−、−C(CH−、−O−、−CO−、−SO−、−S−、−NHCO−、−C(CF−または−COO−で連結したものがより好ましく、一般式(1)で表されるエポキシ化合物がビスフェノールA骨格を有することがより好ましい。このような化合物を含有することにより、感光性カバーレイの硬化後の弾性率を低減し、フレキシブルプリント基板との積層体の反りをより低減することができる。また、1重量%炭酸ナトリウム水溶液に対する現像性を向上させることができる。 X in the general formula (1) represents a divalent linking group and may be a single bond. It preferably has an aromatic ring, and developability with an alkali solution, particularly 1 wt% sodium carbonate is improved. Two or more aromatic rings are represented by —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, —O—, —CO—, —SO 2 —, —S—, —NHCO—, —C (CF 3 ) 2 —. Or the thing connected by -COO- is more preferable, and it is more preferable that the epoxy compound represented by General formula (1) has a bisphenol A frame | skeleton. By containing such a compound, the elasticity modulus after hardening of a photosensitive coverlay can be reduced, and the curvature of a laminated body with a flexible printed circuit board can be reduced more. Moreover, the developability with respect to the 1 wt% sodium carbonate aqueous solution can be improved.

本発明における(B)可溶性ポリイミドとは、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−ビニルピロリドン、N,N−ジエチルホルムアミドなどのアミド系溶媒、γ−ブチロラクトン、メチルモノグライム、メチルジグライム、メチルトリグライム、エチルモノグライム、エチルジグライム、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテルなどのエーテル系溶媒のいずれかの有機溶媒100gに対して、25℃で1g以上溶解するものを指す。   The (B) soluble polyimide in the present invention is an amide solvent such as N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N-vinylpyrrolidone, N, N-diethylformamide, γ-butyrolactone, methyl monoglyme, methyl diglyme, methyl triglyme, ethyl monoglyme, ethyl diglyme, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, This refers to those that dissolve 1 g or more at 25 ° C. with respect to 100 g of any organic solvent such as ethylene glycol diethyl ether.

(B)可溶性ポリイミドは、酸無水物残基とジアミン残基を有する。本発明においては、ピロメリット酸二無水物残基を全酸二無水物残基中10mol%以上有することが好ましい。これにより、1重量%炭酸ナトリウム水溶液に対する現像性を向上させることができる。30mol%以上がより好ましく、50mol%以上がより好ましい。   (B) The soluble polyimide has an acid anhydride residue and a diamine residue. In the present invention, it is preferable that the pyromellitic dianhydride residue has 10 mol% or more of the total acid dianhydride residue. Thereby, the developability with respect to the 1 wt% sodium carbonate aqueous solution can be improved. 30 mol% or more is more preferable, and 50 mol% or more is more preferable.

(B)可溶性ポリイミドは、ピロメリット酸二無水物残基に加えて、またはピロメリット酸二無水物残基にかえて、他の酸無水物残基を有してもよい。他の酸無水物残基を構成する酸無水物としては、例えば、2,2’−ヘキサフルオロプロピリデンジフタル酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシルフェニル)エタン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシルフェニル)エタン二無水物、2,2−ビス(3,3−カルボキシルフェニル)エタン二無水物、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、2,3,5,6−ピリジンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などを挙げることができる。これらを2種以上用いてもよい。特に好ましくは、4,4’−オキシジフタル酸無水物である。   (B) The soluble polyimide may have other acid anhydride residues in addition to the pyromellitic dianhydride residue or in place of the pyromellitic dianhydride residue. Examples of acid anhydrides constituting other acid anhydride residues include 2,2′-hexafluoropropylidenediphthalic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, 3,3 ′, 4. , 4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic anhydride, 1,4,5,8 Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxylphenyl) ethane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxylphenyl) ethane dianhydride, 2,2 -Bis (3,3-carboxylphenyl) ethane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyl Ether tetraca Boronic acid dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 2,3,5,6-pyridinetetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, 3, 4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, etc. Can be mentioned. Two or more of these may be used. Particularly preferred is 4,4'-oxydiphthalic anhydride.

本発明における(B)可溶性ポリイミドのジアミン残基は特に限定されないが、下記一般式(2)または(3)で表されるジアミンの残基が好ましい。これらを2種以上有してもよい。   Although the diamine residue of (B) soluble polyimide in this invention is not specifically limited, The residue of the diamine represented by the following general formula (2) or (3) is preferable. You may have 2 or more types of these.

Figure 2011017898
Figure 2011017898

上記一般式(2)中、aは3〜10の範囲を示す。上記一般式(3)中、Yは−CH−、−C(CH−、−O−、−CO−、−SO−、−S−、−NHCO−、−C(CF−、−COO−または単結合を示す。 In said general formula (2), a shows the range of 3-10. In the general formula (3), Y represents —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, —O—, —CO—, —SO 2 —, —S—, —NHCO—, —C (CF 3 ) 2- , -COO- or a single bond.

上記一般式(2)で表されるジアミン(ポリオキシプロピレンジアミン)は、1重量%炭酸ナトリウム水溶液に対する現像性を向上させることができる。また、感光性カバーレイの硬化後の弾性率をより低減し、フレキシブルプリント基板との積層体の反りをより低減することができる。一般式(2)で表されるジアミンの残基を全ジアミン残基中5mol%以上有することが好ましく、20mol%以上がより好ましく、30mol%以上がより好ましい。また、現像パターンの精度の観点から、60mol%以下が好ましい。   The diamine (polyoxypropylene diamine) represented by the general formula (2) can improve developability with respect to a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution. Moreover, the elasticity modulus after hardening of a photosensitive coverlay can be reduced more, and the curvature of a laminated body with a flexible printed circuit board can be reduced more. The diamine residue represented by the general formula (2) is preferably 5 mol% or more of all diamine residues, more preferably 20 mol% or more, and more preferably 30 mol% or more. Further, from the viewpoint of the accuracy of the development pattern, 60 mol% or less is preferable.

上記一般式(3)で表されるジアミンはカルボキシル基を有するため、1重量%炭酸ナトリウム水溶液による現像性をより向上させることができる。また、(A)成分のエポキシ化合物との反応架橋点を有することから、硬化後の耐折れ性を向上させることができる。一般式(3)で表されるジアミンの残基を全ジアミン残基中10mol%以上有することが好ましく、20mol%以上がより好ましい。一方、現像時の膜減りを低減する観点から、60mol%以下が好ましい。   Since the diamine represented by the general formula (3) has a carboxyl group, the developability with a 1 wt% aqueous sodium carbonate solution can be further improved. Moreover, since it has a reactive cross-linking point with the epoxy compound of component (A), it is possible to improve the folding resistance after curing. The diamine residue represented by the general formula (3) is preferably 10 mol% or more, more preferably 20 mol% or more of all diamine residues. On the other hand, 60 mol% or less is preferable from the viewpoint of reducing film loss during development.

上記一般式(3)で表されるジアミンとしては、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシビフェニル、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルメタン、3,3’−ジアミノ−5,5’−ジカルボキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルメタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルスルフォンなどが挙げられる。   Examples of the diamine represented by the general formula (3) include 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxybiphenyl, 4,4′-diamino-3,3′-dicarboxybiphenyl, and 4,4 ′. -Diamino-2,2'-dicarboxybiphenyl, 3,3'-diamino-4,4'-dicarboxydiphenylmethane, 3,3'-diamino-5,5'-dicarboxydiphenylmethane, 4,4'-diamino -2,2'-dicarboxydiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-dicarboxydiphenylmethane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [4 -Amino-3-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] hexafluoropropane, 3,3′-diamino-4,4 -Dicarboxydiphenyl ether, 4,4'-diamino-3,3'-dicarboxydiphenyl ether, 4,4'-diamino-2,2'-dicarboxydiphenyl ether, 3,3'-diamino-4,4'-di Examples thereof include carboxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dicarboxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-2,2′-dicarboxydiphenyl sulfone and the like.

(B)可溶性ポリイミドは、上記のジアミン残基に加えて、または、上記のジアミン残基にかえて、下記一般式(4)で表されるジアミン(シロキサンジアミン)の残基を有してもよい。かかるジアミン残基を有することにより、感光性カバーレイの硬化後の弾性率をより低減し、フレキシブルプリント基板との積層体の反りをより低減することができる。一般式(4)で表されるジアミンの残基を全ジアミン残基中5mol%以上有することが好ましく、より好ましくは10mol%以上である。一方、1重量%炭酸ナトリウム水溶液による現像性を向上させる観点から、30mol%以下が好ましい。   (B) The soluble polyimide may have a residue of diamine (siloxane diamine) represented by the following general formula (4) in addition to the above diamine residue or instead of the above diamine residue. Good. By having such a diamine residue, the elastic modulus after curing of the photosensitive coverlay can be further reduced, and the warpage of the laminate with the flexible printed board can be further reduced. The diamine residue represented by the general formula (4) is preferably 5 mol% or more, more preferably 10 mol% or more of all diamine residues. On the other hand, 30 mol% or less is preferable from the viewpoint of improving developability with a 1 wt% aqueous sodium carbonate solution.

Figure 2011017898
Figure 2011017898

上記一般式(4)中、R〜Rは炭素数1〜3のアルキル基またはアリール基を表す。iおよびjは1〜6の整数、kは1〜10の整数を表す。kが2以上の場合、複数のR〜Rはそれぞれ同じでも異なってもよい。 In the general formula (4), R 1 ~R 4 represents an alkyl group or an aryl group having 1 to 3 carbon atoms. i and j represent an integer of 1 to 6, and k represents an integer of 1 to 10. When k is 2 or more, the plurality of R 1 to R 4 may be the same or different.

本発明における(B)可溶性ポリイミドのジアミン残基を構成するジアミン成分として、前記一般式(2)で表されるジアミン/前記一般式(3)で表されるジアミン/前記一般式(4)で表されるジアミンの組み合わせがより好ましい。   As the diamine component constituting the diamine residue of the soluble polyimide (B) in the present invention, the diamine represented by the general formula (2) / the diamine represented by the general formula (3) / the general formula (4) The diamine combination represented is more preferred.

(B)可溶性ポリイミドは、上記一般式(2)〜(4)以外のジアミンの残基を有してもよい。他のジアミンとしては、例えば、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラメチルジフェニルメタン,4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエチル−5,5’−ジメチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニル−2,2’−プロパン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノベンズアニリド、4,4’−ジアミノベンズアニリド、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジエトキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4,−ジアミノジフェニルプロパン、3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、3、3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノジフェニルスルフォン、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、3,3’−ジエトキシ−4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’,5,5’−テトラエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス[3−(アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ポリプロピレングリコールジアミン、ポリエチレングリコールジアミンなどが挙げられる。これらの中でも、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス[3−(アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼン、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニルなどが好ましい。これらを2種以上用いてもよい。   (B) The soluble polyimide may have diamine residues other than the above general formulas (2) to (4). Examples of other diamines include 3,3′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3 ′, 5,5′-tetramethyldiphenylmethane, 4,4′-diamino-3,3′-diethyl. -5,5'-dimethyldiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenyl-2,2'-propane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminobenzanilide, 3,3′-diaminobenzophenone, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,3′-diethyl-4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diethoxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3 ′ -Dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-4,4, -diaminodiphenylpropane, 3,3′-diethyl-4,4′-diaminodiphenylpropane, 3,3′-dimethyl-5,5′-diethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diamino Diphenyl ether, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminodiphenylpropane, 3 , 3′-diethoxy-4,4′-diaminodiphenylpropane, 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3 ′, 5,5′-tetraethyl-4, 4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biff Nyl, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis [3- ( Aminophenoxy) phenoxy] benzene, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, polypropylene glycol diamine, polyethylene glycol diamine, and the like. It is done. Among these, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis [3- (aminophenoxy) phenoxy] benzene, 4,4 ′ -Bis (3-aminophenoxy) biphenyl and the like are preferable. Two or more of these may be used.

本発明における(B)可溶性ポリイミドは、末端封止剤により末端封止されていてもよい。末端封止剤としては例えば、アニリン、o−トルイジン、m−トルイジン、p−トルイジン、2,3−キシリジン、2,6−キシリジン、3,4−キシリジン、3,5−キシリジン、o−クロロアニリン、m−クロロアニリン、p−クロロアニリン、o−ブロモアニリン、m−ブロモアニリン、p−ブロモアニリン、o−ニトロアニリン、p−ニトロアニリン、m−ニトロアニリン、o−アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール、o−アニシジン、m−アニシジン、p−アニシジン、o−フェネチジン、m−フェネチジン、p−フェネチジン、o−アミノベンズアルデヒド、p−アミノベンズアルデヒド、m−アミノベンズアルデヒド、o−アミノベンズニトリル、p−アミノベンズニトリル、m−アミノベンズニトリル、2−アミノビフェニル、3−アミノビフェニル、4−アミノビフェニル、2−アミノフェニルフェニルエーテル、3−アミノフェニルフェニルエーテル、4−アミノフェニルフェニルエーテル、2−アミノベンゾフェノン、3−アミノベンゾフェノン、4−アミノベンゾフェノン、2−アミノフェニルフェニルスルフィド、3−アミノフェニルフェニルスルフィド、4−アミノフェニルフェニルスルフィド、2−アミノフェニルフェニルスルホン、3−アミノフェニルフェニルスルホン、4−アミノフェニルフェニルスルホン、α−ナフチルアミン、β−ナフチルアミン、1−アミノ−2−ナフトール、5−アミノ−1−ナフトール、2−アミノ−1−ナフトール、4−アミノ−1−ナフトール、5−アミノ−2−ナフトール、7−アミノ−2−ナフトール、8−アミノ−1−ナフトール、8−アミノ−2−ナフトール、1−アミノアントラセン、2−アミノアントラセン、9−アミノアントラセンなどの芳香族モノアミンを挙げることができる。この中でもm−アミノフェノールが好ましい。また、これらを2種以上用いてもよい。   The soluble polyimide (B) in the present invention may be end-capped with a terminal capping agent. Examples of end-capping agents include aniline, o-toluidine, m-toluidine, p-toluidine, 2,3-xylidine, 2,6-xylidine, 3,4-xylidine, 3,5-xylidine, o-chloroaniline. , M-chloroaniline, p-chloroaniline, o-bromoaniline, m-bromoaniline, p-bromoaniline, o-nitroaniline, p-nitroaniline, m-nitroaniline, o-aminophenol, m-aminophenol P-aminophenol, o-anisidine, m-anisidine, p-anisidine, o-phenetidine, m-phenetidine, p-phenetidine, o-aminobenzaldehyde, p-aminobenzaldehyde, m-aminobenzaldehyde, o-aminobenzonitrile , P-aminobenzonitrile, m-aminobenzuni Ril, 2-aminobiphenyl, 3-aminobiphenyl, 4-aminobiphenyl, 2-aminophenylphenyl ether, 3-aminophenylphenyl ether, 4-aminophenylphenyl ether, 2-aminobenzophenone, 3-aminobenzophenone, 4- Aminobenzophenone, 2-aminophenyl phenyl sulfide, 3-aminophenyl phenyl sulfide, 4-aminophenyl phenyl sulfide, 2-aminophenyl phenyl sulfone, 3-aminophenyl phenyl sulfone, 4-aminophenyl phenyl sulfone, α-naphthylamine, β -Naphthylamine, 1-amino-2-naphthol, 5-amino-1-naphthol, 2-amino-1-naphthol, 4-amino-1-naphthol, 5-amino-2-naphthol, 7-a Roh-2-naphthol, 8-amino-1-naphthol, 8-amino-2-naphthol, 1-aminoanthracene, 2-aminoanthracene, and aromatic monoamines such as 9-amino-anthracene. Among these, m-aminophenol is preferable. Two or more of these may be used.

本発明における(B)可溶性ポリイミドは、重量平均分子量10,000以上30,000以下であることが好ましい。重量平均分子量を10,000以上とすることにより、硬化後の耐折れ性を向上させることができる。一方、重量平均分子量を30,000以下とすることにより、1重量%炭酸ナトリウム水溶液による現像性を向上させることができる。20,000以下がより好ましく、15,000以下がより好ましい。また、可溶性ポリイミドを2種以上含有する場合、少なくとも1種の重量平均分子量が上記範囲であればよい。   The soluble polyimide (B) in the present invention preferably has a weight average molecular weight of 10,000 or more and 30,000 or less. By setting the weight average molecular weight to 10,000 or more, the folding resistance after curing can be improved. On the other hand, when the weight average molecular weight is 30,000 or less, the developability with a 1 wt% aqueous sodium carbonate solution can be improved. 20,000 or less is more preferable, and 15,000 or less is more preferable. Moreover, when 2 or more types of soluble polyimides are contained, at least 1 type of weight average molecular weight should just be the said range.

(B)可溶性ポリイミドの重量平均分子量は、次の方法により求めることができる。可溶性ポリイミドをN−メチルピロリドン(NMP)に溶解した固形分濃度0.1重量%のポリイミド溶液を用い、GPC装置Waters2690(Waters(株)製)によりポリスチレン換算の重量平均分子量を算出する。GPC測定条件は、移動層をLiClとリン酸をそれぞれ濃度0.05mol/Lで溶解したNMPとし、展開速度を0.4ml/分とする。使用するGPC装置として、例えば、
検出器:Waters996
システムコントローラー:Waters2690
カラムオーブン:Waters HTR−B
サーモコントローラー:Waters TCM
カラム:TOSOH grard comn
カラム:THSOH TSK−GEL α−4000
カラム:TOSOH TSK−GEL α−2500などが挙げられる。
(B) The weight average molecular weight of the soluble polyimide can be determined by the following method. Using a polyimide solution having a solid concentration of 0.1% by weight in which soluble polyimide is dissolved in N-methylpyrrolidone (NMP), the weight average molecular weight in terms of polystyrene is calculated by GPC apparatus Waters 2690 (manufactured by Waters Co., Ltd.). GPC measurement conditions are such that the moving bed is NMP in which LiCl and phosphoric acid are dissolved at a concentration of 0.05 mol / L, and the development rate is 0.4 ml / min. As a GPC device to be used, for example,
Detector: Waters 996
System controller: Waters 2690
Column oven: Waters HTR-B
Thermo Controller: Waters TCM
Column: TOSOH grand comn
Column: THSOH TSK-GEL α-4000
Column: TOSOH TSK-GEL α-2500 and the like.

(B)可溶性ポリイミドは、酸無水物とジアミン、必要により末端封止剤を、好ましくは溶媒中で反応させてポリイミド前駆体を得て、熱または適当な触媒により、閉環させることにより得ることができる。得られた反応液を、そのままポリイミドワニスとして感光性カバーレイの調製に用いてもよい。ポリイミドの重合に使用される溶媒としては、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、ジメチスルホキシド、テトラメチル尿素、ヘキサンメチルリン酸トリアミド、γ−ブチロラクトンなどの極性溶媒や、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、蓚酸ジエチル、炭酸ジメチル、マロン酸ジエチルなどのエステル類、ジエチルエーテル、イソプロピルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル類、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ベンゼン、トルエン、キシレンなど炭化水素類が挙げられる。これらの中でもN−メチル−2−ピロリドンが好ましい。また、これらを2種以上用いてもよい。   (B) A soluble polyimide can be obtained by reacting an acid anhydride, a diamine, and optionally a terminal blocking agent, preferably in a solvent, to obtain a polyimide precursor, and ring-closing with heat or a suitable catalyst. it can. You may use the obtained reaction liquid as a polyimide varnish for preparation of a photosensitive coverlay as it is. Solvents used for polymerization of polyimide include N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-diethylacetamide, N, N-diethylformamide, dimethylsulfoxide, tetramethylurea, hexanemethylphosphoric triamide, γ-butyrolactone, etc. Polar solvents, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, esters such as methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, diethyl oxalate, dimethyl carbonate, diethyl malonate, diethyl ether, isopropyl ether, ethylene glycol Examples include ethers such as dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, and tetrahydrofuran, and hydrocarbons such as hexane, heptane, octane, benzene, toluene, and xylene. Among these, N-methyl-2-pyrrolidone is preferable. Two or more of these may be used.

なお、本発明における(B)可溶性ポリイミドとは、イミド化率90%以上のものを指す。99%以上が好ましく、100%がより好ましい。   In addition, the (B) soluble polyimide in this invention points out an imidation rate 90% or more. 99% or more is preferable, and 100% is more preferable.

本発明の感光性カバーレイは、(C)光重合性化合物および(D)光重合開始剤を含有する。(C)光重合性化合物は、分子内に不飽和二重結合を少なくとも1つ有する化合物が好ましい。例えば、ビニル基、(メタ)アクリロイル基を有する化合物が挙げられる。ここで、(メタ)アクリロイル基とは、アクリロイル基とメタクリロイル基の総称を示す。   The photosensitive coverlay of the present invention contains (C) a photopolymerizable compound and (D) a photopolymerization initiator. (C) The photopolymerizable compound is preferably a compound having at least one unsaturated double bond in the molecule. For example, the compound which has a vinyl group and a (meth) acryloyl group is mentioned. Here, the (meth) acryloyl group is a generic name for an acryloyl group and a methacryloyl group.

(C)光重合性化合物として、例えば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、1,2−プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジ(1,2−プロピレングリコール)ジ(メタ)アクリレート、トリ(1,2−プロピレングリコール)ジ(メタ)アクリレート、テトラ(1,2−プロピレングリコール)ジ(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、ジエチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、1,3−(メタ)アクリロイルオキシ−2−ヒドロキシプロパン、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリロイルフォスフェート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミド、エチレングリコールモノアクリレート、ジプロピレングリコールモノアクリレート、N,N−ジメチルアミノエチルアクリレートなどが挙げられる。また、エポキシ変性(メタ)アクリル樹脂やウレタン変性(メタ)アクリル樹脂、ポリエステル変性(メタ)アクリル樹脂なども挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。   (C) As a photopolymerizable compound, for example, ethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (Meth) acrylate, 1,2-propylene glycol di (meth) acrylate, di (1,2-propylene glycol) di (meth) acrylate, tri (1,2-propylene glycol) di (meth) acrylate, tetra (1 , 2-propylene glycol) di (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, diethylaminoethyl (meth) acrylate, dimethylaminopropyl (meth) acrylate, diethylaminopropyl (meth) acrylate , Urethane (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 1, 3- (meth) acryloyloxy-2-hydroxypropane, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tetramethylolpropane tetra (meth) acrylate, 2- Hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, 2-hydroxyethyl (meth) acryloyl phosphate, (meth) acrylamide, N-methylo Le (meth) acrylamide, N- methoxymethyl acrylamide, N- ethoxymethyl acrylamide, ethylene glycol monoacrylate, dipropylene glycol monoacrylate, N, etc. N- dimethylaminoethyl acrylate. Moreover, an epoxy-modified (meth) acrylic resin, a urethane-modified (meth) acrylic resin, a polyester-modified (meth) acrylic resin, and the like are also included. Two or more of these may be contained.

これらの中でも、ポリエチレングリコールジアクリレートとウレタンアクリレートが好ましい。ポリエチレングリコールジアクリレートは、炭酸ナトリウム水溶液による現像性をより向上させることができる。ウレタンアクリレートは、硬化後の応力と弾性率をより低減することができる。   Among these, polyethylene glycol diacrylate and urethane acrylate are preferable. Polyethylene glycol diacrylate can further improve developability with an aqueous sodium carbonate solution. Urethane acrylate can further reduce stress and elastic modulus after curing.

ポリエチレングリコールジアクリレートとしては、例えば、“アロニックス(登録商標)”M−245、M315、M450(以上、商品名、東亞合成(株)製)などがあり、ウレタンアクリレートとしては、例えば、CN981、CN982E75、CN982P90、CN966J75、CN9001(以上、商品名、巴工業(株)製)などが挙げられる。   Examples of the polyethylene glycol diacrylate include “Aronix (registered trademark)” M-245, M315, and M450 (above, trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.). Examples of the urethane acrylate include CN981 and CN982E75. CN982P90, CN966J75, CN9001 (trade name, manufactured by Sakai Kogyo Co., Ltd.), and the like.

(D)光重合開始剤としては、例えば、ミヒラーズケトン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’,4”−トリス(ジメチルアミノ)トリフェニルメタン、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ジイミダゾール、アセトフェノン、ベンゾイン、2−メチルベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2−t−ブチルアントラキノン、1,2−ベンゾ−9,10−アントラキノン、メチルアントラキノン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ジアセチルベンジル、ベンジルジメチルケタール、ベンジルジエチルケタール、2(2’−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2[2’(5”−メチルフリル)エチリデン]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、4,4’−ジアジドカルコン、ジ(テトラアルキルアンモニウム)−4,4’−ジアジドスチルベン−2,2’−ジスルフォネート、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−ケトン、ビス(n5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、1,2−オクタンジオン、1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、ヨードニウム、(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]−ヘキサフルオロフォスフェート(1−)、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−エチルヘキシル−4−ジメチルアミノベンゾエート、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)などが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、OXE−02(チバ・ジャパン製)、“オプトマー(登録商標)”N1919、NCI−831((株)アデカ製)が好ましい。   (D) Examples of the photopolymerization initiator include Michler's ketone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4 ′, 4 ″ -tris (dimethylamino) triphenylmethane, 2,2′-bis (2 -Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-diimidazole, acetophenone, benzoin, 2-methylbenzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-t-butylanthraquinone, 1,2-benzo-9,10-anthraquinone, methylanthraquinone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, diacetylbenzyl, Dildimethyl ketal, benzyl diethyl ketal, 2 (2′-furylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 [2 ′ (5 ″ -methylfuryl) ethylidene] -4,6-bis (Trichloromethyl) -S-triazine, 2 (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-methylcyclohexanone, 4,4 '-Diazidochalcone, di (tetraalkylammonium) -4,4'-diazidostilbene-2,2'-disulfonate, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 1-hydroxy- Cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2 Hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2- Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2, 4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-ketone, bis (n5-2, 4-cyclopentadien-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -fur Enyl) titanium, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], iodonium, (4-methylphenyl) [4- (2-methylpropyl) phenyl] -Hexafluorophosphate (1-), ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl-4-dimethylaminobenzoate, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole- 3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and the like. Two or more of these may be contained. Among these, OXE-02 (manufactured by Ciba Japan), “Optomer (registered trademark)” N1919, and NCI-831 (manufactured by Adeka Corporation) are preferable.

本発明の感光性カバーレイにおいて、(A)一般式(1)で表されるエポキシ化合物の含有量は、(B)可溶性ポリイミド100重量部に対して10〜30重量部が好ましい。また、(C)光重合性化合物の含有量は、(B)可溶性ポリイミド100重量部に対して50〜70重量部が好ましく、(D)光重合開始剤の含有量は、(B)可溶性ポリイミド100重量部に対して1〜10重量部が好ましい。(C)光重合性化合物および(D)光重合開始剤の含有量を上記範囲とすることにより、光硬化反応を適度に効率良く進めることができる。   In the photosensitive cover lay of the present invention, the content of the epoxy compound represented by (A) the general formula (1) is preferably 10 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (B) soluble polyimide. Further, the content of (C) the photopolymerizable compound is preferably 50 to 70 parts by weight with respect to 100 parts by weight of (B) the soluble polyimide, and the content of (D) the photopolymerization initiator is (B) the soluble polyimide. 1-10 weight part is preferable with respect to 100 weight part. By setting the contents of (C) the photopolymerizable compound and (D) the photopolymerization initiator within the above ranges, the photocuring reaction can be appropriately advanced efficiently.

本発明の感光性カバーレイは、必要に応じて難燃剤、消泡剤、充填剤、レベリング剤、重合禁止剤等の各種添加剤を含有してもよい。   The photosensitive coverlay of this invention may contain various additives, such as a flame retardant, an antifoamer, a filler, a leveling agent, a polymerization inhibitor, as needed.

充填剤としては、シリカ、タルク、硫酸バリウム、ワラストナイト、炭酸カルシウムなどの無機充填剤、有機ポリマー充填剤などを挙げることができる。具体的には、SOE2、SOE3(以上、商品名、(株)アドマテックス製)、HE5(商品名、竹原化学工業(株)製)、SG95、D−1000、D−800、D−600(以上、商品名、日本タルク(株)製)、B−30、B−35、BF21、BF40(以上、商品名、堺化学工業(株)製)などが挙げられる。充填剤の含有量は、(B)可溶性ポリイミドを100重量部に対して20〜40重量部が好ましい。   Examples of the filler include inorganic fillers such as silica, talc, barium sulfate, wollastonite, and calcium carbonate, and organic polymer fillers. Specifically, SOE2, SOE3 (above, trade names, manufactured by Admatechs Co., Ltd.), HE5 (trade names, manufactured by Takehara Chemical Industry Co., Ltd.), SG95, D-1000, D-800, D-600 ( As mentioned above, trade names, manufactured by Nippon Talc Co., Ltd., B-30, B-35, BF21, BF40 (above, trade names, manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.) and the like can be mentioned. As for content of a filler, 20-40 weight part is preferable with respect to 100 weight part of (B) soluble polyimide.

本発明の感光性カバーレイは、溶媒を含有することが好ましい。溶媒としては、N−メチルピロリドン(NMP)、γ−ブチロラクトン(γ−BL)、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシドなどが挙げられる。   The photosensitive coverlay of the present invention preferably contains a solvent. Examples of the solvent include N-methylpyrrolidone (NMP), γ-butyrolactone (γ-BL), N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide and the like.

本発明の感光性カバーレイは、1重量%炭酸ナトリウム水溶液で現像可能であることが好ましい。ここで、1重量%炭酸ナトリウム水溶液で現像可能とは、感光性カバーレイを20μmの膜厚になるように銅箔に塗布したものを、ネガ型フォトマスクを配して、i線の積算露光量測定値で100mJ/cm露光し、液温30〜35℃の1重量%炭酸ナトリウム水溶液で、吐出圧0.05〜0.1MPaの条件で現像した場合、未露光部の1重量%炭酸ナトリウム水溶液に対する溶解時間が4分以下であり、光学顕微鏡で200倍に拡大して観察した際にφ50μmのビア底部に溶解残渣がなく、かつ、未露光部が完全に溶解したときの露光部の残膜率が80%以上であることを意味する。 The photosensitive coverlay of the present invention is preferably developable with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution. Here, development with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution means that a photosensitive coverlay applied to a copper foil so as to have a film thickness of 20 μm is provided with a negative photomask and an i-line integrated exposure. When exposed to 100 mJ / cm 2 in quantity measurement, developed with a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at a liquid temperature of 30 to 35 ° C. under a discharge pressure of 0.05 to 0.1 MPa, 1 wt% carbonic acid in the unexposed area The dissolution time in an aqueous sodium solution is 4 minutes or less, and there is no dissolution residue at the bottom of the φ50 μm via when observed with an optical microscope at 200 times magnification, and the unexposed area is completely dissolved. It means that the remaining film rate is 80% or more.

本発明の感光性カバーレイは、前記(A)〜(D)および必要によりその他の成分を混合することにより得ることができる。混合方法としては、例えば、3本ロール、ビーズミル装置等の一般的な混練装置により混練する方法や、一般的な撹拌装置により撹拌する方法を挙げることができる。   The photosensitive coverlay of this invention can be obtained by mixing said (A)-(D) and another component as needed. Examples of the mixing method include a method of kneading with a general kneading device such as a three roll or bead mill device, and a method of stirring with a general stirring device.

次に、本発明の感光性カバーレイを用いて、硬化膜を形成する方法について説明する。   Next, a method for forming a cured film using the photosensitive cover lay of the present invention will be described.

まず、感光性カバーレイをスクリーン印刷、カーテンロール、リバースロール、スプレーコーティング、スピンナーを利用した回転塗布等により基材表面に塗布し、乾燥する。塗布膜の厚みは5μm〜100μmが好ましく、10μm〜50μmがより好ましい。塗布膜の乾燥方法としては、120℃以下の温度で加熱することが好ましく、50〜100℃の温度で加熱することがより好ましい。なお、乾燥を速やかに行うため、熱風を送風することが好ましい。   First, the photosensitive cover lay is applied to the substrate surface by screen printing, curtain roll, reverse roll, spray coating, spin coating using a spinner or the like, and dried. The thickness of the coating film is preferably 5 μm to 100 μm, more preferably 10 μm to 50 μm. As a drying method of a coating film, it is preferable to heat at the temperature of 120 degrees C or less, and it is more preferable to heat at the temperature of 50-100 degreeC. In addition, in order to dry quickly, it is preferable to blow hot air.

次に、露光およびアルカリ現像を行い、パターンを形成する。例えば、乾燥塗布膜にネガ型のフォトマスクを置き、紫外線、可視光線、電子線、レーザー光線などの活性光線を照射する。露光量は50〜1000mJ/cmが好ましく、50〜400mJ/cmがより好ましい。露光は窒素下で行ってもよく、減圧下で行うことが好ましい。なお、光照射部をより硬化させるため、露光後に加熱処理を施してもよい。アルカリ現像とは、シャワー、パドル、浸漬または超音波等の方法により露光後の塗布膜にアルカリ溶液を接触させ、未硬化部を除去することである。アルカリ現像によって形成したパターンを、リンス処理して不要な残分を除去することが好ましい。リンス液としては、水や酸性水溶液などが挙げられる。 Next, exposure and alkali development are performed to form a pattern. For example, a negative photomask is placed on the dry coating film and irradiated with actinic rays such as ultraviolet rays, visible rays, electron beams, and laser beams. Exposure is preferably 50~1000mJ / cm 2, more preferably 50~400mJ / cm 2. The exposure may be performed under nitrogen and is preferably performed under reduced pressure. In addition, in order to harden a light irradiation part more, you may heat-process after exposure. Alkali development is to remove an uncured portion by bringing an alkaline solution into contact with the coating film after exposure by a method such as shower, paddle, immersion, or ultrasonic wave. It is preferable to remove unnecessary residues by rinsing the pattern formed by alkali development. Examples of the rinsing liquid include water and acidic aqueous solutions.

アルカリ溶液としては、0.01〜3重量%の炭酸ナトリウム水溶液が好ましく、0.5〜1重量%の炭酸ナトリウム水溶液がより好ましい。本発明の感光性カバーレイはアルカリ溶解性が高く、1重量%の炭酸ナトリウム水溶液により50μmφのビアパターンを容易に形成することができる。アルカリ溶液の温度は10〜40℃が好ましく、20〜35℃がより好ましい。また、エッチング液の噴霧圧力は0.05〜3.0MPsが好ましく、特に好ましくは、0.1〜2MPsである。   As an alkaline solution, 0.01 to 3 weight% sodium carbonate aqueous solution is preferable, and 0.5 to 1 weight% sodium carbonate aqueous solution is more preferable. The photosensitive coverlay of the present invention has high alkali solubility, and a 50 μmφ via pattern can be easily formed with a 1 wt% aqueous sodium carbonate solution. The temperature of the alkaline solution is preferably 10 to 40 ° C, and more preferably 20 to 35 ° C. Further, the spray pressure of the etching solution is preferably 0.05 to 3.0 MPs, particularly preferably 0.1 to 2 MPs.

次に、加熱処理を行うことにより、形成したパターンを硬化させる。加熱処理の温度は、硬化をより効率的に進める観点から、100℃以上が好ましく、120℃以上がより好ましい。一方、フレキシブルプリント基板の保護膜として用いる場合には、配線の酸化劣化を抑制する観点から、250℃以下が好ましく、200℃以下がより好ましい。また、加熱処理をアルゴン、窒素、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気下で行ってもよく、酸素による酸化劣化を抑制することができる。   Next, the formed pattern is cured by heat treatment. The temperature of the heat treatment is preferably 100 ° C. or higher, more preferably 120 ° C. or higher, from the viewpoint of more efficiently proceeding curing. On the other hand, when used as a protective film of a flexible printed circuit board, from the viewpoint of suppressing oxidative deterioration of the wiring, 250 ° C. or lower is preferable, and 200 ° C. or lower is more preferable. Further, the heat treatment may be performed in an inert gas atmosphere such as argon, nitrogen, helium, or the like, and oxidation deterioration due to oxygen can be suppressed.

本発明の感光性カバーレイから得られる硬化膜は、フレキシブルプリント基板の保護膜として好ましく用いることができる。一例として、本発明の感光性カバーレイを用いてフレキシブルプリント基板配線の保護膜を形成する方法について説明する。まず、感光性カバーレイを基材上に塗布し、乾燥する。通常、フレキシブルプリント基板の基材には、銅などの金属配線パターンが形成されたポリイミドフィルムが用いられる。塗布方法はスクリーン印刷法が好ましい。感光性カバーレイの乾燥後の膜厚は、フレキシブルプリント基板の配線パターンの厚み以上、配線パターンの2倍以下程度が一般的である。配線パターンの厚みは通常9〜18μmであり、配線保護膜の厚みは10〜20μmが好ましい。   The cured film obtained from the photosensitive coverlay of this invention can be preferably used as a protective film of a flexible printed circuit board. As an example, a method of forming a protective film for flexible printed circuit board wiring using the photosensitive coverlay of the present invention will be described. First, a photosensitive coverlay is applied on a substrate and dried. Usually, a polyimide film on which a metal wiring pattern such as copper is formed is used as a base material of a flexible printed board. The coating method is preferably a screen printing method. The film thickness after drying of the photosensitive cover lay is generally not less than the thickness of the wiring pattern of the flexible printed board and not more than twice the wiring pattern. The thickness of the wiring pattern is usually 9 to 18 μm, and the thickness of the wiring protective film is preferably 10 to 20 μm.

次に、所定のパターンのマスクを介して露光する。露光には超高圧水銀灯が好ましく用いられる。さらに、現像、硬化処理を行い、配線保護膜を得る。   Next, it exposes through the mask of a predetermined pattern. An ultrahigh pressure mercury lamp is preferably used for exposure. Further, development and curing are performed to obtain a wiring protective film.

以下本発明を実施例により具体的に説明するが本発明にはこれらの実施例により限定されるものではない。なお、各実施例において略号で示した原料の詳細を以下に示す。
<ポリイミド合成原料>
PMDA:無水ピロメリット酸無水物(ダイセル化学(株)製)
OPDA:4,4’−オキシジフタル酸二無水物(マナック(株)製)
SiDA:ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(信越化学(株)製)
MBAA:[ビス(4−アミノ−3−カルボキシ)フェニル]メタン(和歌山精化工業(株)製)
D−400:ポリオキシプロピレンジアミン(BASF社製、商品名“D−400” 一般式(2)のa=5.6)
3Ap:3−アミノフェノール(東京化成(株)製)
<光重合性化合物>
CN981:ウレタンアクリレートオリゴマー(サートマー・ジャパン(株)製)
M−245:ポリエチレングリコールジアクリレート(東亞合成(株)製、商品名“アロニックス(登録商標)”M−245)
<光重合開始剤>
N1919:光ラジカル重合開始剤((株)アデカ製、商品名“オプトマー(登録商標)”N1919)
NCI−831;光ラジカル重合開始剤((株)アデカ製、商品名“アデカアークルズ(登録商標)”NCI−831)
<エポキシ化合物>
850−S:Bis(ビスフェノール)A型エポキシ樹脂(DIC(株)製、商品名“EPICLON(登録商標)850−S)
EP−4000S:プロピレンオキサイド変性BisA型エポキシ樹脂((株)アデカ製、商品名“アデカレジン(登録商標)”EP−4000S、下記一般式(5)におけるn+m=2)
EP−4003S:プロピレンオキサイド変性BisA型エポキシ樹脂((株)アデカ製、商品名“アデカレジン(登録商標)”EP−4003S、下記一般式(5)におけるn+m=5〜6)
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In addition, the detail of the raw material shown by the abbreviation in each Example is shown below.
<Polyimide synthetic raw material>
PMDA: pyromellitic anhydride (manufactured by Daicel Chemical Industries)
OPDA: 4,4′-oxydiphthalic dianhydride (manac)
SiDA: Bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
MBAA: [Bis (4-amino-3-carboxy) phenyl] methane (manufactured by Wakayama Seika Kogyo Co., Ltd.)
D-400: polyoxypropylene diamine (manufactured by BASF, trade name “D-400” a = 5.6 in the general formula (2))
3Ap: 3-aminophenol (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
<Photopolymerizable compound>
CN981: Urethane acrylate oligomer (manufactured by Sartomer Japan, Inc.)
M-245: Polyethylene glycol diacrylate (trade name “Aronix (registered trademark)” M-245, manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
<Photopolymerization initiator>
N1919: Photoradical polymerization initiator (trade name “Optomer (registered trademark)” N1919, manufactured by Adeka Co., Ltd.)
NCI-831; photoradical polymerization initiator (manufactured by Adeka Co., Ltd., trade name "Adeka Arcles (registered trademark)" NCI-831)
<Epoxy compound>
850-S: Bis (bisphenol) type A epoxy resin (manufactured by DIC Corporation, trade name “EPICLON (registered trademark) 850-S)
EP-4000S: Propylene oxide modified BisA type epoxy resin (manufactured by Adeka Co., Ltd., trade name “Adeka Resin (registered trademark)” EP-4000S, n + m = 2 in the following general formula (5))
EP-4003S: Propylene oxide modified BisA type epoxy resin (manufactured by Adeka Co., Ltd., trade name “Adeka Resin (registered trademark)” EP-4003S, n + m = 5-6 in the following general formula (5))

Figure 2011017898
Figure 2011017898

PG207GS:プロピレンオキサイド変性エポキシ樹脂(東都化成(株)製)、下記一般式(6)におけるl=4〜6 PG207GS: Propylene oxide modified epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), l = 4 to 6 in the following general formula (6)

Figure 2011017898
Figure 2011017898

BEO−60E:エチレンオキサイド変性BisA型エポキシ樹脂(新日本理化(株)製、商品名リカレジンBEO−60E))
<熱重合禁止剤>
HQME:ヒドロキノンモノメチルエーテル
<無機充填剤>
SG−95:タルク微粒子 平均粒子径2.5μm(日本タルク(株)製)
<界面活性剤>
L1983:“ディスパロン(登録商標)”L1983(楠本化成(株)製)
<着色剤>
PB4920:青色顔料
<溶媒>
NMP:N−メチルピロリドン
γ−BL:γ−ブチロラクトン 。
BEO-60E: Ethylene oxide modified BisA type epoxy resin (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd., trade name Rikaresin BEO-60E))
<Thermal polymerization inhibitor>
HQME: Hydroquinone monomethyl ether <Inorganic filler>
SG-95: Talc fine particles Average particle size 2.5 μm (Nippon Talc Co., Ltd.)
<Surfactant>
L1983: "Disparon (registered trademark)" L1983 (manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd.)
<Colorant>
PB4920: Blue pigment <solvent>
NMP: N-methylpyrrolidone γ-BL: γ-butyrolactone.

各実施例・比較例における評価方法を次に示す。   The evaluation method in each example and comparative example is shown below.

(1)重量平均分子量測定
ポリイミドをNMPに溶解した固形分濃度0.1重量%の溶液を用い、下に示す構成のGPC装置Waters2690(Waters(株)製)によりポリスチレン換算の重量平均分子量を算出した。GPC測定条件は、移動層をLiClとリン酸をそれぞれ濃度0.05mol/Lで溶解したNMPとし、展開速度を0.4ml/分とした。
検出器:Waters996
システムコントローラー:Waters2690
カラムオーブン:Waters HTR−B
サーモコントローラー:Waters TCM
カラム:TOSOH grard comn
カラム:THSOH TSK−GEL α−4000
カラム:TOSOH TSK−GEL α−2500 。
(1) Measurement of weight average molecular weight Using a solution having a solid content concentration of 0.1% by weight obtained by dissolving polyimide in NMP, a weight average molecular weight in terms of polystyrene is calculated by a GPC apparatus Waters 2690 (manufactured by Waters Co., Ltd.) having the configuration shown below. did. GPC measurement conditions were such that the moving bed was NMP in which LiCl and phosphoric acid were each dissolved at a concentration of 0.05 mol / L, and the development rate was 0.4 ml / min.
Detector: Waters 996
System controller: Waters 2690
Column oven: Waters HTR-B
Thermo Controller: Waters TCM
Column: TOSOH grand comn
Column: THSOH TSK-GEL α-4000
Column: TOSOH TSK-GEL α-2500.

(2)イミド化率測定
ポリイミドをγ−BLに溶解した固形分濃度40〜25重量%の溶液を調製し、シリコンウエハーに膜厚3〜5μmになるようにスピンナーで塗布後、120℃で3分間熱処理した。その半分を、ホットプレートを用いて280℃で5分間熱処理し、完全にイミド基を閉環させた。120℃、280℃で熱処理したもののそれぞれについて、FT−IR(HORIBA製 FT−720)分析を行い、イミド基由来の吸収が現れる1366cm−1のピークの差によりイミド化率を算出した。
(2) Imidization rate measurement A solution having a solid concentration of 40 to 25% by weight obtained by dissolving polyimide in γ-BL was prepared and applied to a silicon wafer with a spinner so as to have a film thickness of 3 to 5 μm. Heat treated for minutes. Half of this was heat-treated at 280 ° C. for 5 minutes using a hot plate to completely close the imide group. About each of what heat-processed at 120 degreeC and 280 degreeC, the FT-IR (FT-720 made from HORIBA) analysis was performed, and the imidation ratio was computed by the difference of the peak of 1366cm < -1 > in which absorption derived from an imide group appears.

(3)可溶性評価
ポリイミド1gを25℃のNMP100g中に添加して撹拌し、溶解したものを可溶性と判断した。
(3) Solubility evaluation 1 g of polyimide was added to 100 g of NMP at 25 ° C. and stirred, and the dissolved one was judged to be soluble.

(4)硬化膜作製
スクリーン印刷機MEC−2400(三谷電子工業(株)製)、SUS製200メッシュ、乳剤厚さ20μm、50mm×50mmのスクリーン版を用いて、厚み15μmの銅箔(NA−VLP:三井金属製)上に、感光性カバーレイを乾燥後の膜厚が20μmとなるように塗布した。ついで、熱風オーブンINH−21CD(光洋サーモシステム(株)製)を用いて、100℃で30分間熱処理を行った。その後、50×50mmの面積で50〜100μmのビアが100μmピッチで並んだネガ型フォトマスクを配して、i線の積算露光量測定値で100mJ/cm露光した。その後、現像装置AD−1200(ミカサ製)を用い、液温30℃の1重量%炭酸ナトリウム水溶液を現像液として0.1MPaの吐出圧で1分毎に4分間、水洗30秒で現像を行った。ついで、熱風オーブンINH−21CD(光洋サーモシステム(株)製)を用いて、180℃で60分間熱処理を行い、感光性カバーレイを完全に硬化させて硬化膜を得た。
(4) Preparation of cured film Screen printing machine MEC-2400 (manufactured by Mitani Electronics Co., Ltd.), SUS 200 mesh, emulsion thickness 20 μm, 50 mm × 50 mm screen plate, 15 μm thick copper foil (NA- A photosensitive cover lay was applied on the VLP (made by Mitsui Kinzoku) so that the film thickness after drying was 20 μm. Subsequently, heat treatment was performed at 100 ° C. for 30 minutes using a hot air oven INH-21CD (manufactured by Koyo Thermo System Co., Ltd.). Then, a negative photomask in which vias of 50 to 100 μm were arranged at a pitch of 100 μm with an area of 50 × 50 mm was exposed, and 100 mJ / cm 2 exposure was performed with an integrated exposure dose measurement value of i-line. Then, using a developing device AD-1200 (manufactured by Mikasa), development is performed with a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at a liquid temperature of 30 ° C. as a developing solution at a discharge pressure of 0.1 MPa for 4 minutes every minute for 30 seconds with water. It was. Subsequently, using a hot air oven INH-21CD (manufactured by Koyo Thermo System Co., Ltd.), heat treatment was performed at 180 ° C. for 60 minutes to completely cure the photosensitive coverlay to obtain a cured film.

(5)単膜フィルム作製
#24〜28のバーコーターを使用して厚み12μmの銅箔(NA−DFF:三井金属製)に感光性カバーレイを乾燥後の膜厚が20μmになるように塗布し、熱風オーブンINH−21CD(光洋サーモシステム(株)製)を用いて、100℃で30分間熱処理を行った。その後、i線の積算露光量測定値で100mJ/cm全面露光した。ついで、熱風オーブンINH−21CD(光洋サーモシステム(株)製)を用いて、180℃で60分間熱処理を行い、感光性カバーレイを完全に硬化させて硬化膜を得た。銅付きの硬化膜を銅エッチング液(塩化第二鉄水溶液)に浸漬し、銅箔を完全に溶解させて水洗を行い、感光性カバーレイの単膜フィルムを得た。
(5) Preparation of single film film Using a bar coater of # 24 to 28, a 12 μm thick copper foil (NA-DFF: made by Mitsui Kinzoku) was coated so that the film thickness after drying was 20 μm. Then, heat treatment was performed at 100 ° C. for 30 minutes using a hot air oven INH-21CD (manufactured by Koyo Thermo System Co., Ltd.). Then, 100 mJ / cm < 2 > whole surface exposure was carried out by the integrated exposure amount measured value of i line | wire. Subsequently, using a hot air oven INH-21CD (manufactured by Koyo Thermo System Co., Ltd.), heat treatment was performed at 180 ° C. for 60 minutes to completely cure the photosensitive coverlay to obtain a cured film. The cured film with copper was immersed in a copper etching solution (ferric chloride aqueous solution), and the copper foil was completely dissolved and washed with water to obtain a single film film of a photosensitive coverlay.

(6)現像性評価
前記(4)記載の方法で得られた現像時間1分間〜4分間の各硬化膜の表面を光学顕微鏡で200倍に拡大して観察し、下記基準により評価した。
○:50μmφの感光パターンのビアが確実に空いており、ビア底部に溶解残渣がないもの。
△:50μmφの感光パターンのビアが空いているが、ビア底部に少々溶解残渣が見られるもの。
×:50μmφの感光パターンのビアが全く空いていないもの。
−:50μmφの感光パターンが歪み、剥がれが生じているもの。
(6) Evaluation of developability The surface of each cured film having a development time of 1 minute to 4 minutes obtained by the method described in (4) above was observed 200 times with an optical microscope, and evaluated according to the following criteria.
○: A via having a photosensitive pattern of 50 μmφ is surely vacant and there is no dissolved residue at the bottom of the via.
Δ: A via having a photosensitive pattern of 50 μmφ is vacant, but a dissolved residue is slightly seen at the bottom of the via.
X: 50 μmφ photosensitive pattern with no vias at all.
-: A photosensitive pattern of 50 μmφ is distorted and peeled off.

また、前記(4)記載の方法により得られた硬化膜の残膜率を測定した。未露光部と露光部の膜厚をAMBiOS XP−1((株)テックサイエンス製)によって測定し、次式で表される残膜率を算出した。なお、残膜率の測定には、上記硬化膜の表面観察において○と評価されたものを使用した。○と評価されたサンプルが複数ある場合には、それらすべての膜厚を測定し、数平均値を算出した。
残膜率=((未露光部膜厚−露光部膜厚)/未露光部膜厚)×100%
現像時間4分以内に上記硬化膜表面の評価結果が○となり、残膜率が80%以上となった場合、現像可能と判定した。
Moreover, the residual film rate of the cured film obtained by the method of said (4) description was measured. The film thickness of the unexposed part and the exposed part was measured by AMBiOS XP-1 (manufactured by Tech Science Co., Ltd.), and the remaining film ratio represented by the following formula was calculated. In addition, what was evaluated as (circle) in the surface observation of the said cured film was used for the measurement of the remaining film rate. When there were a plurality of samples evaluated as “good”, the film thicknesses of all of them were measured, and the number average value was calculated.
Residual film ratio = ((unexposed part film thickness−exposed part film thickness) / unexposed part film thickness) × 100%
When the evaluation result on the surface of the cured film becomes ◯ within a development time of 4 minutes and the remaining film ratio is 80% or more, it is determined that development is possible.

(7)耐折れ性評価
厚み25μmのポリイミドフィルム“カプトン(登録商標)”100EN(東レ・デュポン(株)製)を50mm×50mmのサイズにカットし、この上に感光性樹脂組成物を乾燥後厚みが20μmになるように塗布して100℃で30分間乾燥した。ついで、超高圧水銀灯で100mJ/cm露光し、熱風オーブンを用いて180℃で60分間熱処理して、硬化膜とポリイミドフィルムとの積層体を得た。得られた積層体を幅10mm×長さ50mmの短冊に切り出し、長さ25mmのところで180°に10回折り曲げて、目視でクラックの有無を観察した。10回折り曲げてもクラックが発生しない場合は○と評価し、クラックが観察された場合は、その時の折り曲げ回数を耐折れ性とした。
(7) Folding resistance evaluation A polyimide film “Kapton (registered trademark)” 100EN (manufactured by Toray DuPont Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm is cut into a size of 50 mm × 50 mm, and the photosensitive resin composition is dried on this. The film was applied to a thickness of 20 μm and dried at 100 ° C. for 30 minutes. Subsequently, 100 mJ / cm < 2 > exposure was carried out with the ultrahigh pressure mercury lamp, and it heat-processed for 60 minutes at 180 degreeC using hot air oven, and obtained the laminated body of the cured film and the polyimide film. The obtained laminate was cut into a strip having a width of 10 mm and a length of 50 mm, bent 10 times at 180 ° at a length of 25 mm, and visually observed for cracks. When cracks did not occur even after bending 10 times, it was evaluated as ◯, and when cracks were observed, the number of bendings at that time was regarded as folding resistance.

(8)反り評価
硬化後の感光性カバーレイとフレキシブルプリント基板との積層体の反りをモデル的に評価するため、硬化後の感光性カバーレイとポリイミドフィルムとの積層体の反りを評価した。前記(7)に記載の方法により得られた硬化膜とポリイミドフィルムとの積層体を、平坦な場所に上が凸になるように置き、凸部の高さを測定した。凸部の高さが10mm以下である場合、反りは小さいと評価できる。
(8) Warpage evaluation In order to modelly evaluate the warpage of the laminate of the cured cover layer and the flexible printed board, the warpage of the laminate of the cured cover layer and the polyimide film was evaluated. The laminate of the cured film and the polyimide film obtained by the method described in (7) above was placed on a flat place so that the top was convex, and the height of the convex portion was measured. When the height of the convex portion is 10 mm or less, it can be evaluated that the warpage is small.

(9)半田耐熱性評価
上記(4)に記載の方法により得られた硬化膜を温度23℃、湿度50%RHの雰囲気下で24時間放置した後、300℃で完全に溶解しているはんだ浴に10秒間浸漬した。その後引き上げたサンプルを目視観察した。クラックや剥がれ、膨れが発生しているものを×、いずれも発生していないものを○と評価した。
(9) Solder heat resistance evaluation After the cured film obtained by the method described in (4) above is allowed to stand for 24 hours in an atmosphere at a temperature of 23 ° C. and a humidity of 50% RH, the solder completely dissolved at 300 ° C. Immerse in the bath for 10 seconds. Thereafter, the sample pulled up was visually observed. The case where cracks, peeling and swelling occurred was evaluated as x, and the case where none occurred was evaluated as o.

(10)膜物性測定(強伸度測定)
上記(5)に記載の方法により得られた感光性カバーレイの単膜フィルムを1cm×15cmの短冊状に片刃で切り、試験片数が5以上になるようにサンプルを用意した。
使用するテンシロン:オリエンテックテンシロンRTA−100
レンジ(100kgN):10〜20%
引っ張り速度(mm/分):300mm/分
測定長(mm):50(mm)
以上の条件で膜物性試験を行い、感光性カバーレイの伸度(%)、応力(MPa)、弾性率(MPa)を測定した。
(10) Measurement of film physical properties (strength measurement)
A single film of a photosensitive coverlay obtained by the method described in (5) above was cut into a 1 cm × 15 cm strip shape with a single blade, and a sample was prepared so that the number of test pieces was 5 or more.
Tensilon to be used: Orientec Tensilon RTA-100
Range (100kgN): 10-20%
Pulling speed (mm / min): 300 mm / min Measuring length (mm): 50 (mm)
Film physical property tests were performed under the above conditions, and the elongation (%), stress (MPa), and elastic modulus (MPa) of the photosensitive coverlay were measured.

合成例1 ポリイミドの合成
乾燥窒素気流下で500mlの4つ口フラスコにMBAAを12.1g(31.2mol)、D−400を29.4g(50.0mol)、SiDAを6.30g(18.8mol)、NMPを85.1g仕込み、オイルバス中60℃で撹拌し、末端封止剤として3Apを3.27g添加して溶解させた。溶液が均一となったら、PMDA29.4g(90.0mol)とODPA4.65g(10.0mol)を添加して1時間反応させた。その後オイルバスの温度を170〜180℃に上げ、留出水を除去しながら2時間反応させた。その後室温まで放冷し、固形分50重量%のポリイミド溶液Aを得た。得られたポリイミドは可溶性であり、重量平均分子量は14732であり、イミド化率は100%であった。
Synthesis Example 1 Synthesis of Polyimide 12.1 g (31.2 mol) of MBAA, 29.4 g (50.0 mol) of D-400, 6.30 g of SiDA (18. 8mol), 85.1g of NMP was charged, stirred in an oil bath at 60 ° C, and 3.27g of 3Ap was added and dissolved as an end-capping agent. When the solution became uniform, 29.4 g (90.0 mol) of PMDA and 4.65 g (10.0 mol) of ODPA were added and reacted for 1 hour. Thereafter, the temperature of the oil bath was raised to 170 to 180 ° C., and the reaction was carried out for 2 hours while removing distilled water. Thereafter, it was allowed to cool to room temperature to obtain a polyimide solution A having a solid content of 50% by weight. The obtained polyimide was soluble, the weight average molecular weight was 14732, and the imidation ratio was 100%.

合成例2 ポリイミドの合成
NMPを85.1gから88.7gに、PMDAを29.4gから0gに、ODPAを4.65gから46.5g(100mol)に変更した以外は合成例1と同様にして、固形分50重量%のポリイミド溶液Bを得た。得られたポリイミドは可溶性であり、重量平均分子量は15225であり、イミド化率は100%であった。
Synthesis Example 2 Synthesis of Polyimide Same as Synthesis Example 1 except that NMP was changed from 85.1 g to 88.7 g, PMDA was changed from 29.4 g to 0 g, and ODPA was changed from 4.65 g to 46.5 g (100 mol). A polyimide solution B having a solid content of 50% by weight was obtained. The obtained polyimide was soluble, the weight average molecular weight was 15225, and the imidation ratio was 100%.

合成例3 ポリイミドの合成
NMPを85.1gから73.5gに、MBAAを12.1gから19.3g(50mol)に、D−400を29.4gから0gに、SiDAを6.30gから16.7g(50.0mol)に変更した以外は合成例1と同様にして、固形分50重量%のポリイミド溶液Cを得た。得られたポリイミドは可溶性であり、重量平均分子量は13521であり、イミド化率は100%であった。
Synthesis Example 3 Synthesis of polyimide NMP from 85.1 g to 73.5 g, MBAA from 12.1 g to 19.3 g (50 mol), D-400 from 29.4 g to 0 g, and SiDA from 6.30 g to 16. A polyimide solution C having a solid content of 50% by weight was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the amount was changed to 7 g (50.0 mol). The obtained polyimide was soluble, the weight average molecular weight was 13521, and the imidization ratio was 100%.

合成例4 ポリイミドの合成
NMPを85.1gから85.0gに、MBAAを12.1gから1.93g(5.0mol)に、D−400を29.4gから32.3g(55.0mol)に、SiDAを6.30gから13.4g(40.0mol)に変更した以外は合成例1と同様にして、固形分50重量%のポリイミド溶液Dを得た。得られたポリイミドは可溶性であり、重量平均分子量は12423であり、イミド化率は100%であった。
Synthesis Example 4 Synthesis of polyimide NMP from 85.1 g to 85.0 g, MBAA from 12.1 g to 1.93 g (5.0 mol), and D-400 from 29.4 g to 32.3 g (55.0 mol). A polyimide solution D having a solid content of 50% by weight was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that SiDA was changed from 6.30 g to 13.4 g (40.0 mol). The obtained polyimide was soluble, the weight average molecular weight was 12423, and the imidization ratio was 100%.

合成例5 ポリイミドの合成
NMPを85.1gから73.6gに、MBAAを12.1gから4.77g(11.1mol)に、D−400を29.4gから7.24g(11.1mol)に、SiDAを6.30gから29.0g(77.8mol)に変更した以外は合成例1と同様にして、固形分50重量%のポリイミド溶液Eを得た。得られたポリイミドは可溶性であり、重量平均分子量は12041であり、イミド化率は100%であった。
Synthesis Example 5 Synthesis of polyimide NMP from 85.1 g to 73.6 g, MBAA from 12.1 g to 4.77 g (11.1 mol), and D-400 from 29.4 g to 7.24 g (11.1 mol). A polyimide solution E having a solid content of 50% by weight was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that SiDA was changed from 6.30 g to 29.0 g (77.8 mol). The obtained polyimide was soluble, the weight average molecular weight was 12041, and the imidation ratio was 100%.

実施例1
合成例1記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液A8gに、CN981を1.9g、M−245を0.6g、NCI−831を0.15g、EP−4003Sを0.8g、L1983を0.08g、HQMEを0.02g、SG−95を1.4g、PB4920を0.02g添加し、混合撹拌後、3本ロールに5回通し、粘性液体である感光性カバーレイAを得た。
Example 1
To the soluble polyimide solution A8 g obtained by the method described in Synthesis Example 1, 1.9 g of CN981, 0.6 g of M-245, 0.15 g of NCI-831, 0.8 g of EP4003S, and 0.83 of L1983. 08 g, 0.02 g of HQME, 1.4 g of SG-95, and 0.02 g of PB4920 were added, mixed and stirred, and passed through 3 rolls 5 times to obtain photosensitive coverlay A which was a viscous liquid.

実施例2
EP−4003S 0.8gにかえてPG207GS 0.8gを加えた以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性カバーレイBを得た。
Example 2
A photosensitive coverlay B, which is a viscous liquid, was obtained in the same manner as in Example 1 except that 0.8 g of PG207GS was added instead of 0.8 g of EP-4003S.

実施例3
可溶性ポリイミド溶液Aにかえて上記合成例2記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液Bを使用した以外は実施例1と同様にして粘性液体である感光性カバーレイCを得た。
Example 3
A photosensitive coverlay C, which is a viscous liquid, was obtained in the same manner as in Example 1 except that the soluble polyimide solution B obtained by the method described in Synthesis Example 2 was used instead of the soluble polyimide solution A.

実施例4
可溶性ポリイミド溶液Aにかえて上記合成例3記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液Cを使用した以外は実施例1と同様にして粘性液体である感光性カバーレイDを得た。
Example 4
A photosensitive coverlay D, which is a viscous liquid, was obtained in the same manner as in Example 1 except that the soluble polyimide solution C obtained by the method described in Synthesis Example 3 was used instead of the soluble polyimide solution A.

実施例5
可溶性ポリイミド溶液Aにかえて上記合成例4記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液Dを使用した以外は実施例1と同様にして粘性液体である感光性カバーレイEを得た。
Example 5
A photosensitive coverlay E, which is a viscous liquid, was obtained in the same manner as in Example 1 except that the soluble polyimide solution D obtained by the method described in Synthesis Example 4 was used instead of the soluble polyimide solution A.

比較例1
EP−4003S 0.8gにかえてEP−4000S 0.8gを用いた以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性カバーレイFを得た。
Comparative Example 1
A photosensitive coverlay F, which is a viscous liquid, was obtained in the same manner as in Example 1 except that 0.8 g of EP-4000S was used instead of 0.8 g of EP-4003.

比較例2
EP−4003S 0.8gにかえて850−S 0.8gを用いた以外は実施例1と同様にして粘性液体である感光性カバーレイGを得た。
Comparative Example 2
A photosensitive coverlay G, which is a viscous liquid, was obtained in the same manner as in Example 1 except that 0.8g of 850-S was used instead of 0.8g of EP-4003S.

比較例3
EP−4003S 0.8gにかえてBEO−60E 0.8gを用いた以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性カバーレイHを得た。
Comparative Example 3
A photosensitive coverlay H, which is a viscous liquid, was obtained in the same manner as in Example 1 except that 0.8 g of BEO-60E was used instead of 0.8 g of EP-4003S.

比較例4
合成例5記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液E8gに、CN981を1.9g、M−245を0.6g、NCI−831を0.15g、L1983を0.08g、HQMEを0.02g、SG−95を1.4g、PB4920を0.02g添加し、混合撹拌後、3本ロールに5回通し、粘性液体である感光性カバーレイIを得た。
Comparative Example 4
To soluble polyimide solution E8g obtained by the method described in Synthesis Example 5, CN981 1.9g, M-245 0.6g, NCI-831 0.15g, L1983 0.08g, HQME 0.02g, SG-95 (1.4 g) and PB4920 (0.02 g) were added, and after mixing and stirring, the mixture was passed through 3 rolls 5 times to obtain photosensitive coverlay I as a viscous liquid.

各実施例および比較例で得られた感光性カバーレイの組成を表1、評価結果を表2に示す。   Table 1 shows the composition of the photosensitive coverlay obtained in each Example and Comparative Example, and Table 2 shows the evaluation results.

Figure 2011017898
Figure 2011017898

Figure 2011017898
Figure 2011017898

Claims (6)

少なくとも(A)下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物、(B)可溶性ポリイミド、(C)光重合性化合物および(D)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性カバーレイ。
Figure 2011017898
(上記一般式(1)中、Xは2価の連結基を示す。nおよびmはそれぞれ1〜10の範囲を示す。ただし、n+m≧4である。)
A photosensitive cover lay comprising at least (A) an epoxy compound represented by the following general formula (1), (B) a soluble polyimide, (C) a photopolymerizable compound, and (D) a photopolymerization initiator. .
Figure 2011017898
(In the general formula (1), X represents a divalent linking group. N and m each represent a range of 1 to 10, provided that n + m ≧ 4.)
前記(B)可溶性ポリイミドが酸二無水物残基とジアミン残基を有し、ピロメリット酸二無水物残基を全酸二無水物残基中10mol%以上有することを特徴とする請求項1記載の感光性カバーレイ。 The soluble polyimide (B) has an acid dianhydride residue and a diamine residue, and has pyromellitic dianhydride residue of 10 mol% or more in the total acid dianhydride residue. The photosensitive coverlay as described. 前記(B)可溶性ポリイミドが酸二無水物残基とジアミン残基を有し、下記一般式(2)で示されるジアミンの残基を全ジアミン残基中5mol%以上60mol%以下有することを特徴とする請求項1または2記載の感光性カバーレイ。
Figure 2011017898
(上記一般式(2)中、aは3〜10の範囲を示す。)
The (B) soluble polyimide has an acid dianhydride residue and a diamine residue, and has a diamine residue represented by the following general formula (2) in an amount of 5 mol% to 60 mol% in all diamine residues. The photosensitive cover lay according to claim 1 or 2.
Figure 2011017898
(In the general formula (2), a represents a range of 3 to 10.)
前記(B)可溶性ポリイミドが酸二無水物残基とジアミン残基を有し、下記一般式(3)で示されるジアミンの残基を全ジアミン残基中10mol%以上60mol%以下有することを特徴とする請求項1〜3いずれか記載の感光性カバーレイ。
Figure 2011017898
(上記一般式(3)中、Yは−CH−、−C(CH−、−O−、−CO−、−SO−、−S−、−NHCO−、−C(CF−、−COO−または単結合を示す。)
The (B) soluble polyimide has an acid dianhydride residue and a diamine residue, and has a diamine residue represented by the following general formula (3) in a range of 10 mol% to 60 mol% in all diamine residues. The photosensitive coverlay according to any one of claims 1 to 3.
Figure 2011017898
(In the general formula (3), Y represents —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, —O—, —CO—, —SO 2 —, —S—, —NHCO—, —C (CF 3 ) 2- , -COO- or a single bond is shown.)
1重量%炭酸ナトリウム水溶液で現像が可能であることを特徴とする請求項1〜4いずれか記載の感光性カバーレイ。 The photosensitive coverlay according to any one of claims 1 to 4, which can be developed with a 1 wt% aqueous sodium carbonate solution. フレキシブルプリント基板上に請求項1〜5いずれかに記載の感光性カバーレイを硬化させてなる保護膜を有する積層体。 The laminated body which has a protective film formed by hardening | curing the photosensitive coverlay in any one of Claims 1-5 on a flexible printed circuit board.
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