JP2010211095A - Photosensitive coverlay - Google Patents

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JP2010211095A
JP2010211095A JP2009059135A JP2009059135A JP2010211095A JP 2010211095 A JP2010211095 A JP 2010211095A JP 2009059135 A JP2009059135 A JP 2009059135A JP 2009059135 A JP2009059135 A JP 2009059135A JP 2010211095 A JP2010211095 A JP 2010211095A
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soluble polyimide
photosensitive
diamine
average molecular
molecular weight
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Akira Shimada
彰 嶋田
Nobuo Matsumura
宣夫 松村
Keiko Yamanaka
啓子 山中
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive coverlay which has high resolution in alkali aqueous solution, and is curable at a low temperature of 200°C or lower, and is excellent in bendability with minimized warping of a laminate with a flexible printed board after cured. <P>SOLUTION: The photosensitive coverlay contains (A) a soluble polyimide having a weight average molecular weight of 10,000 to 30,000, and has a tensile elastic modulus of 2.5 GPa or less and a tensile elongation of 5% or more after heating for 1 hour at 200°C. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、感光性カバーレイに関する。より詳しくは、フレキシブルプリント基板の保護膜として好適に用いられる感光性カバーレイに関する。   The present invention relates to a photosensitive coverlay. More specifically, the present invention relates to a photosensitive cover lay suitably used as a protective film for a flexible printed circuit board.

近年、電子機器の高性能化、高機能化、軽少短薄化がますます進んでおり、これに伴いフレキシブルプリント基板のさらなる高密度配線化と薄膜化が進んでいる。これまでフレキシブルプリント基板配線の保護膜として、ポリイミドフィルムと接着剤から構成されるカバーレイが使用されていたが、フォトリソグラフィー法による微細な加工および位置精度の向上に対応することが可能であって、より保護膜の厚みを薄くすることができる感光性カバーレイの要求が多くなっている。   In recent years, higher performance, higher functionality, lighter and shorter thicknesses of electronic devices have been increasingly advanced, and accordingly, higher-density wiring and thinning of flexible printed circuit boards have been advanced. Up to now, coverlays composed of polyimide film and adhesive have been used as protective films for flexible printed circuit boards, but it is possible to cope with fine processing by photolithography and improvement of positional accuracy. Therefore, there is an increasing demand for a photosensitive cover lay that can further reduce the thickness of the protective film.

感光性カバーレイに用いられる材料として、エポキシ樹脂(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)との付加生成物と無水コハク酸(c)との反応生成物である不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(A)、光重合開始剤(B)、希釈剤(C)および硬化成分(D)を含有するフレキシブルプリント配線板用レジストインキ組成物が提案されている(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、かかる組成物は耐熱性や折曲性に乏しく、高温でのはんだ耐熱温度が必要とされる部位や折り曲げて加工する部位には使用できないという課題があった。これに対し、(A)ポリアミド酸、(B)少なくとも2つ以上の光重合可能なC=C不飽和2重結合を有する(メタ)アクリレート、(C)光重合開始剤および(D)難燃剤を含有する感光性樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献2参照)。しかしながら、かかる組成物はポリアミド酸をイミド化するために250℃以上の高温で熱硬化する必要があり、フレキシブルプリント基板の導体部分である銅箔が酸化する課題があった。一方、(A)末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマー、(B)ジアミノ化合物、(C)感光性樹脂、(D)光重合開始剤および(E)熱硬化性樹脂を含有する感光性樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献3参照)。かかる組成物は低温で硬化させることができるものの、硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りが大きくなる課題があった。   As a material used for the photosensitive coverlay, an unsaturated group-containing polyisocyanate which is a reaction product of an addition product of an epoxy resin (a) and an unsaturated group-containing monocarboxylic acid (b) and succinic anhydride (c). A resist ink composition for flexible printed wiring boards containing a carboxylic acid resin (A), a photopolymerization initiator (B), a diluent (C) and a curing component (D) has been proposed (see, for example, Patent Document 1). ). However, such a composition is poor in heat resistance and bendability, and there is a problem that it cannot be used for a part that requires a high solder heat resistance temperature or a part that is processed by bending. On the other hand, (A) polyamic acid, (B) (meth) acrylate having at least two photopolymerizable C═C unsaturated double bonds, (C) photopolymerization initiator, and (D) flame retardant Has been proposed (for example, see Patent Document 2). However, such a composition needs to be thermally cured at a high temperature of 250 ° C. or higher in order to imidize the polyamic acid, and there is a problem that the copper foil which is a conductor portion of the flexible printed board is oxidized. On the other hand, a photosensitive resin composition containing (A) terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer, (B) diamino compound, (C) photosensitive resin, (D) photopolymerization initiator, and (E) thermosetting resin. It has been proposed (see, for example, Patent Document 3). Although such a composition can be cured at a low temperature, there has been a problem that warpage of the laminate with the flexible printed circuit board after curing becomes large.

また、アルカリ水溶液で現像可能で、硬化物の初期弾性率1〜100kgf/mm、5%重量減少率が275℃以上、熱分解温度が350℃以上である感光性カバーレイフィルム(例えば、特許文献4参照)、シロキサンジアミンを原料として得られる可溶性ポリイミドを含有する感光性カバーレイフィルム用組成物(例えば、特許文献5参照)、熱に曝すと2GPa未満のモデュラスを有する硬化したポリイミドを形成するポリアミック酸、エチレン不飽和感光性モノマー混合物、光開始剤および増感剤を含み、水性炭酸塩中で現像可能である低温硬化型感光性組成物(例えば、特許文献6参照)が提案されている。しかしながら、かかる組成物は、径が100μmより小さいビアを現像することが困難であったり、折曲性が不十分であるなどの課題があり、高い解像度と硬化後の折曲性を両立する感光性カバーレイが必要とされていた。 In addition, a photosensitive coverlay film that can be developed with an alkaline aqueous solution, has an initial elastic modulus of 1 to 100 kgf / mm 2 , a 5% weight reduction rate of 275 ° C. or higher, and a thermal decomposition temperature of 350 ° C. or higher (for example, patents) Reference 4), a composition for a photosensitive coverlay film containing a soluble polyimide obtained from siloxane diamine as a raw material (see, for example, Patent Document 5), and forms a cured polyimide having a modulus of less than 2 GPa when exposed to heat. A low-temperature curable photosensitive composition (see, for example, Patent Document 6) that contains polyamic acid, an ethylenically unsaturated photosensitive monomer mixture, a photoinitiator, and a sensitizer and that can be developed in aqueous carbonate has been proposed. . However, such a composition has problems such as difficulty in developing a via having a diameter of less than 100 μm and insufficient bendability, and is a photosensitive material that achieves both high resolution and bendability after curing. A sex coverlay was needed.

特開平7−207211号公報JP-A-7-207211 特開2004−29702号公報JP 2004-29702 A 特開2008−197546号公報JP 2008-197546 A 特開2002−174896号公報JP 2002-174896 A 特開2002−162740号公報JP 2002-162740 A 特開2006−146244号公報JP 2006-146244 A

そこで本発明は、アルカリ水溶液で高い解像度を有し、200℃以下の低温で硬化することが可能であり、硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りが小さく、折曲性に優れた感光性カバーレイを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has a high resolution with an alkaline aqueous solution, can be cured at a low temperature of 200 ° C. or less, has a small warpage of the laminate with the cured flexible printed circuit board, and has excellent bending properties. The purpose is to provide sex coverlay.

上記課題を解決するため、本発明は、(A)重量平均分子量が10,000以上30,000の可溶性ポリイミドを含有し、200℃で1時間熱処理した後の引張弾性率が2.5GPa以下であり、引張伸びが5%以上であることを特徴とする感光性カバーレイである。   In order to solve the above problems, the present invention includes (A) a soluble polyimide having a weight average molecular weight of 10,000 or more and 30,000, and has a tensile modulus of 2.5 GPa or less after heat treatment at 200 ° C. for 1 hour. The photosensitive cover lay has a tensile elongation of 5% or more.

本発明によれば、アルカリ水溶液で高い解像度を有し、200℃以下の低温で硬化することが可能であり、硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りが小さく、折曲性に優れた感光性カバーレイを得ることができる。   According to the present invention, it has high resolution with an alkaline aqueous solution, can be cured at a low temperature of 200 ° C. or less, has low warpage of the laminate with the flexible printed circuit board after curing, and has excellent bendability. A photosensitive coverlay can be obtained.

本発明の感光性カバーレイは、重量平均分子量が10,000以上30,000の以下の可溶性ポリイミドを含有する感光性カバーレイであって、200℃で1時間熱処理した後の引張弾性率が2.5GPa以下であり、引張伸びが5%以上であることを特徴とする。本発明において、カバーレイとはフレキシブルプリント基板配線を保護する材料を指し、硬化させて保護膜として使用される。硬化前の形状は限定されず、例えば、ワニス状やフィルム状などが挙げられる。   The photosensitive cover lay of the present invention is a photosensitive cover lay containing a soluble polyimide having a weight average molecular weight of 10,000 or more and 30,000 or less, and has a tensile modulus of 2 after heat treatment at 200 ° C. for 1 hour. .5 GPa or less, and the tensile elongation is 5% or more. In the present invention, the coverlay refers to a material that protects the flexible printed circuit board wiring, and is cured and used as a protective film. The shape before curing is not limited, and examples thereof include a varnish shape and a film shape.

上記のフレキシブルプリント基板とは、絶縁樹脂フィルム層に導体配線が形成されたものである。例えば、ポリイミドフィルムと銅箔が、直接またはエポキシ樹脂等接着剤を介して積層され、銅箔が回路加工された基板が挙げられるが、これらに限定されるものではない。   Said flexible printed circuit board is one in which conductor wiring is formed on an insulating resin film layer. For example, although the board | substrate with which the polyimide film and copper foil were laminated | stacked directly or via adhesives, such as an epoxy resin, and the copper foil was circuit-processed is mentioned, it is not limited to these.

本発明の感光性カバーレイは、200℃で1時間熱処理した後の引張弾性率が2.5GPa以下であり、引張伸びが5%以上であることを特徴とする。200℃で1時間熱処理した後、すなわち硬化後の引張弾性率が2.5GPaを超えると、フレキシブルプリント基板との積層体の反りが大きくなる場合がある。硬化後のタック性を低減する観点から、0.1GPa以上が好ましい。硬化後の引張弾性率を2.5GPa以下にする手段としては、例えば、一般式(1)で表されるジアミンや化学式(2)で表されるジアミンの残基を有することが挙げられる。また、硬化後の引張伸びが5%未満になると、感光性カバーレイの脆性が著しく低下し、折曲性が低下する場合がある。硬化後の引張伸びを5%以上にする手段としては、例えば、重量平均分子量が10,000以上の可溶性ポリイミドを含有することが挙げられる。   The photosensitive cover lay of the present invention is characterized in that the tensile modulus after heat treatment at 200 ° C. for 1 hour is 2.5 GPa or less and the tensile elongation is 5% or more. After heat treatment at 200 ° C. for 1 hour, that is, when the tensile elastic modulus after curing exceeds 2.5 GPa, the warpage of the laminate with the flexible printed board may increase. From the viewpoint of reducing tackiness after curing, 0.1 GPa or more is preferable. Examples of the means for setting the tensile elastic modulus after curing to 2.5 GPa or less include a diamine represented by the general formula (1) and a diamine residue represented by the chemical formula (2). On the other hand, when the tensile elongation after curing is less than 5%, the brittleness of the photosensitive cover lay is remarkably lowered, and the bending property may be lowered. Examples of means for setting the tensile elongation after curing to 5% or more include containing a soluble polyimide having a weight average molecular weight of 10,000 or more.

なお、本発明における感光性カバーレイの硬化後の引張弾性率と引張伸びは、JISK7127(1999)(当該規格において引用するJISK7161(1994)を含む)に準じて測定した値を指す。測定は10mm×150mmの短冊状試験片で、温度23℃、湿度50%RHの環境下において引っ張り速度100mm/分で行う。   In addition, the tensile elasticity modulus and tensile elongation after hardening of the photosensitive coverlay in this invention point out the value measured according to JISK7127 (1999) (including JISK7161 (1994) quoted in the said specification). The measurement is performed using a strip-shaped test piece of 10 mm × 150 mm at a pulling speed of 100 mm / min in an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 50% RH.

本発明の感光性カバーレイは、重量平均分子量が10,000以上30,000の可溶性ポリイミドを含有する。可溶性ポリイミドを用いることにより、アルカリ水溶液による現像性が向上して高い解像度が得られ、また、200℃以下での低温で硬化することが可能となる。ここで、本発明における可溶性ポリイミドとは、N−メチルピロリドン、N−ビニルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアミド系溶媒、γ−ブチルラクトン、メチルモノグライム、メチルジグライム、メチルトリグライム、エチルモノグライム、エチルジグライム、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテルなどのエーテル系溶媒のいずれかの有機溶媒100gに対して、25℃で1g以上溶解するものを指す。   The photosensitive coverlay of the present invention contains a soluble polyimide having a weight average molecular weight of 10,000 or more and 30,000. By using soluble polyimide, developability with an aqueous alkali solution is improved, high resolution is obtained, and curing at a low temperature of 200 ° C. or lower is possible. Here, the soluble polyimide in the present invention includes N-methylpyrrolidone, N-vinylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide and the like. Amide solvents, γ-butyl lactone, methyl monoglyme, methyl diglyme, methyl triglyme, ethyl monoglyme, ethyl diglyme, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether , 1 g or more dissolved at 25 ° C. with respect to 100 g of an organic solvent such as ethylene glycol dimethyl ether or ethylene glycol diethyl ether.

本発明において、可溶性ポリイミドの重量平均分子量は、10,000以上30,000以下であることが重要である。可溶性ポリイミドを2種以上含有する場合、そのうちの少なくとも1種の重量平均分子量が上記範囲であればよい。重量平均分子量が10,000未満では、感光性カバーレイの引張伸びが著しく低くなる場合があり、その結果、感光性カバーレイの脆性が著しく低下し、折曲性が低下する場合がある。好ましくは12,000以上である。一方、重量平均分子量が30,000を超えると、アルカリ水溶液での現像性が低下して現像残渣が発生する場合がある。好ましくは25,000以下である。   In the present invention, it is important that the weight average molecular weight of the soluble polyimide is 10,000 or more and 30,000 or less. When two or more types of soluble polyimide are contained, at least one of the weight average molecular weights may be in the above range. When the weight average molecular weight is less than 10,000, the tensile elongation of the photosensitive cover lay may be remarkably lowered. As a result, the brittleness of the photosensitive cover lay may be remarkably lowered and the bendability may be lowered. Preferably it is 12,000 or more. On the other hand, if the weight average molecular weight exceeds 30,000, developability with an alkaline aqueous solution may be deteriorated to generate a development residue. Preferably it is 25,000 or less.

なお、本発明における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC法)によって測定しポリスチレン換算で算出する。   In addition, the weight average molecular weight in this invention is measured by the gel permeation chromatography method (GPC method), and is computed by polystyrene conversion.

可溶性ポリイミドは、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとの反応により得られ、テトラカルボン酸二無水物の残基とジアミンの残基を有する。本発明において、テトラカルボン酸二無水物の残基とジアミンの残基は、1)ベンゼン環が少ない、2)分子量が大きく嵩高い、3)エーテル結合などの屈曲部位が多い構造が好ましい。このような構造を有することにより分子鎖間の相互作用が弱くなり、可溶性ポリイミドの有機溶媒における溶解性が向上する。   The soluble polyimide is obtained by the reaction of tetracarboxylic dianhydride and diamine, and has a residue of tetracarboxylic dianhydride and a residue of diamine. In the present invention, the residue of tetracarboxylic dianhydride and the residue of diamine are preferably 1) a structure having a small number of benzene rings, 2) a large molecular weight and a bulky structure, and 3) a structure having many bending sites such as an ether bond. By having such a structure, the interaction between molecular chains is weakened, and the solubility of soluble polyimide in an organic solvent is improved.

本発明において、可溶性ポリイミドは、ジアミン残基として下記一般式(1)に示すジアミンの残基を含むことが好ましい。かかるジアミン残基を有することにより、可溶性ポリイミドの有機溶媒に対する溶解性が向上し、アルカリ水溶液による現像性がより向上するため、高い解像度が得られる。また、エーテル結合によってポリイミド骨格に柔軟性が付与され、感光性カバーレイの硬化後の引張弾性率を容易に2.5GPa以下に調整することができる。また、硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りが低減する。   In the present invention, the soluble polyimide preferably contains a diamine residue represented by the following general formula (1) as a diamine residue. By having such a diamine residue, the solubility of the soluble polyimide in an organic solvent is improved, and the developability with an alkaline aqueous solution is further improved, so that high resolution is obtained. In addition, flexibility is imparted to the polyimide skeleton by an ether bond, and the tensile elastic modulus after curing of the photosensitive coverlay can be easily adjusted to 2.5 GPa or less. Moreover, the curvature of the laminated body with the flexible printed circuit board after hardening reduces.

Figure 2010211095
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上記一般式(1)におけるnは、3〜10の範囲である。nが3以上であれば、エーテル結合による柔軟化効果が向上し、硬化後の引張弾性率をより低減し、硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りをより低減することができる。より好ましくは4以上である。一方、nが10以下であれば、イミド基間の分子鎖長が適切な範囲となり分子鎖の規則性が向上し、硬化後の耐薬品性や耐熱性を向上させることができる。より好ましくは7以下である。アルカリ水溶液による現像性をより向上させて解像度を向上させ、硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りをより低減する観点から、前記一般式(1)で示されるジアミンの残基を全ジアミン中30mol%以上含有することが好ましい。また、硬化後のタック性を低減する観点から、60mol%以下が好ましい。   In the general formula (1), n is in the range of 3 to 10. When n is 3 or more, the softening effect by the ether bond is improved, the tensile modulus after curing is further reduced, and the warpage of the laminate with the flexible printed board after curing can be further reduced. More preferably, it is 4 or more. On the other hand, if n is 10 or less, the molecular chain length between imide groups is in an appropriate range, the regularity of the molecular chain is improved, and the chemical resistance and heat resistance after curing can be improved. More preferably, it is 7 or less. From the standpoint of further improving developability with an aqueous alkali solution to improve resolution and further reducing the warpage of the laminate with the cured flexible printed board, the residue of the diamine represented by the general formula (1) is all diamines. It is preferable to contain 30 mol% or more. Moreover, 60 mol% or less is preferable from a viewpoint of reducing the tackiness after hardening.

本発明において、可溶性ポリイミドは、さらに下記化学式(2)で示されるジアミンの残基を有することが好ましい。かかるジアミン残基を有することによって、可溶性ポリイミドの有機溶媒に対する溶解性が向上し、アルカリ水溶液による現像性がより向上するため、高い解像度が得られる。また、シロキサン結合によってポリイミド骨格に柔軟性が付与され、感光性カバーレイの硬化後の引張弾性率を容易に2.5GPa以下に調整することができる。また、感光性カバーレイと基板との密着性を向上させることが期待される。   In the present invention, the soluble polyimide preferably further has a diamine residue represented by the following chemical formula (2). By having such a diamine residue, the solubility of the soluble polyimide in an organic solvent is improved, and the developability with an alkaline aqueous solution is further improved, so that high resolution is obtained. In addition, flexibility is imparted to the polyimide skeleton by the siloxane bond, and the tensile modulus after curing of the photosensitive coverlay can be easily adjusted to 2.5 GPa or less. It is also expected to improve the adhesion between the photosensitive coverlay and the substrate.

Figure 2010211095
Figure 2010211095

前記化学式(2)で示されるジアミンの残基の含有量は、全ジアミン残基中5mol%以上が好ましく、ポリイミドに柔軟性が付与されて、硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りをより低減することができる。一方、15mol%以下が好ましく、適度な疎水性が付与されて、アルカリ水溶液における現像性をより向上させることができる。
前記一般式(1)で示されるジアミンの残基と前記化学式(2)で示されるジアミンの残基の合計含有量は、全ジアミン残基中50mol%以上が好ましく、硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りをより低減することができる。
The content of the diamine residue represented by the chemical formula (2) is preferably 5 mol% or more in the total diamine residues, and the flexibility is imparted to the polyimide, and the warpage of the laminate with the flexible printed circuit board after curing is caused. It can be further reduced. On the other hand, 15 mol% or less is preferable, moderate hydrophobicity is imparted, and developability in an alkaline aqueous solution can be further improved.
The total content of the diamine residue represented by the general formula (1) and the diamine residue represented by the chemical formula (2) is preferably 50 mol% or more in the total diamine residues, The warpage of the laminate can be further reduced.

可溶性ポリイミドは、アルカリ水溶液で現像するためにアルカリ可溶性の官能基を有することが望ましい。アルカリ可溶性の官能基とは酸性を有する官能基であり、具体的には、フェノール性水酸基、カルボキシル基などが挙げられる。これらアルカリ可溶性基をポリイミドに導入するためには、下記一般式(3)で示されるジアミンの残基を含有することが好ましい。   The soluble polyimide preferably has an alkali-soluble functional group for development with an aqueous alkali solution. The alkali-soluble functional group is a functional group having acidity, and specific examples include a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group. In order to introduce these alkali-soluble groups into the polyimide, it is preferable to contain a diamine residue represented by the following general formula (3).

Figure 2010211095
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上記一般式(3)中、Yは、−CO−、−SO−、−O−、−S−、−CH−、−NHCO−、−C(CH−、−C(CF−、−COO−または単結合を表し、MおよびNは水酸基またはカルボキシル基を表す。 In the general formula (3), Y represents —CO—, —SO 2 —, —O—, —S—, —CH 2 —, —NHCO—, —C (CH 3 ) 2 —, —C (CF 3 ) 2- , -COO- or a single bond is represented, and M and N represent a hydroxyl group or a carboxyl group.

一般式(3)で示されるジアミン化合物としては、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシビフェニルなどのヒドロキシビフェニル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルメタン、2,2−ビス〔3−アミノ−4−ハイドロキシフェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−アミノ−3−ハイドロキシフェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−アミノ−4−ハイドロキシフェニル〕ヘキサフルオロプロパンなどのヒドロキシジフェニルアルカン化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルエーテルなどのヒドロキシジフェニルエーテル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルスルホンなどのヒドロキシジフェニルスルホン化合物類などの分子中にフェノール性水酸基を有するジアミン化合物、あるいは3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタンなどのカルボキシル基を分子中に含むジアミン化合物を挙げることができる。   Examples of the diamine compound represented by the general formula (3) include 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxybiphenyl, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxybiphenyl, and 4,4′-. Hydroxybiphenyl compounds such as diamino-2,2′-dihydroxybiphenyl, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylmethane, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenylmethane, 4 , 4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenylmethane, 2,2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-hydroxyphenyl] propane, 2, , 2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] hexafluoropropane and other hydroxydiphenylalkanes Compounds, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxy Hydroxydiphenyl ether compounds such as diphenyl ether, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-2 A diamine compound having a phenolic hydroxyl group in a molecule such as hydroxydiphenylsulfone compounds such as 2,2'-dihydroxydiphenylsulfone, or a carboxyl group such as 3,3'-dicarboxy-4,4'-diaminodiphenylmethane The diamine compound contained in can be mentioned

本発明における可溶性ポリイミドは、上記ジアミン残基の他に、本発明の効果を損なわない程度に他のジアミン残基を含有していてもよい。例えば、1,4−ジアミノベンゼン、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−ジアミノトルエン、1,4−ジアミノ−2,5−ジハロゲノベンゼンなどのベンゼン環1個を含むジアミン類、ビス(4−アミノフェニル)エ−テル、ビス(3−アミノフェニル)エ−テル、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)メタン、ビス(3−アミノフェニル)メタン、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノフェニル)スルフィド、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、o−ジアニシジン、o−トリジン、トリジンスルホン酸類などのベンゼン環2個を含むジアミン類、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、α,α’−ビス(4−アミノフェニル)−1,4−ジイソプロピルベンゼン、α,α’−ビス(4−アミノフェニル)−1,3−ジイソプロピルベンゼンなどのベンゼン環3個を含むジアミン類、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、4,4’−(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、5,10−ビス(4−アミノフェニル)アントラセンなどのベンゼン環4個以上を含むジアミン類などのジアミン化合物の残基が挙げられる。   The soluble polyimide in the present invention may contain other diamine residues in addition to the above diamine residues to the extent that the effects of the present invention are not impaired. For example, diamines containing one benzene ring such as 1,4-diaminobenzene, 1,3-diaminobenzene, 2,4-diaminotoluene, 1,4-diamino-2,5-dihalogenobenzene, bis (4 -Aminophenyl) ether, bis (3-aminophenyl) ether, bis (4-aminophenyl) sulfone, bis (3-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) methane, bis (3- Aminophenyl) methane, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (3-aminophenyl) sulfide, 2,2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2-bis (3-aminophenyl) propane, 2 , 2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, o-dianisidine, o-tolidine, tolidinesulfonic acids and the like Diamines containing two rings, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl) benzene, 1,4 -Bis (3-aminophenyl) benzene, α, α'-bis (4-aminophenyl) -1,4-diisopropylbenzene, α, α'-bis (4-aminophenyl) -1,3-diisopropylbenzene, etc. Diamines containing three benzene rings, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2, 2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 4,4 ′-(4-aminophenoxy) biphenyl, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluore And residues of diamine compounds such as diamines containing 4 or more benzene rings such as 5,10-bis (4-aminophenyl) anthracene.

本発明における可溶性ポリイミドは、上記に例示したようなジアミンと、テトラカルボン酸二無水物の反応により得られる。テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、無水ピロメリット酸(PMDA)、オキシジフタル酸二無水物(ODPA)、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物(DSDA)、4,4’−(ヘキサフロロイソプロピリデン)ジフタル酸二無水物(6FDA)、2,2’−ビス[(ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物(BSAA)などの化合物が挙げられる。   The soluble polyimide in the present invention can be obtained by the reaction of a diamine as exemplified above with tetracarboxylic dianhydride. Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic anhydride (PMDA), oxydiphthalic dianhydride (ODPA), 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA), 3 , 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride (DSDA), 4,4 ′-(hexafluoro And isopropylidene) diphthalic dianhydride (6FDA) and 2,2′-bis [(dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride (BSAA).

また、可溶性ポリイミドの末端の少なくとも一部がアニリン誘導体またはジカルボン酸無水物で封止されていることが好ましい。これにより可溶性ポリイミドの重量平均分子量を適切な範囲に容易に調整することができる。また、末端官能基の架橋による粘度の向上を抑制することが期待される。アニリン誘導体としては、2−アミノ安息香酸、3−アミノ安息香酸、4−アミノ安息香酸、4−アミノサリチル酸、5−アミノサリチル酸、6−アミノサリチル酸、2−アミノベンゼンスルホン酸、3−アミノベンゼンスルホン酸、4−アミノベンゼンスルホン酸、2−アミノフェノール、3−アミノフェノール、4−アミノフェノール、2−アミノチオフェノール、3−アミノチオフェノール、4−アミノチオフェノール等が好ましい。ジカルボン酸無水物としては、マレイン酸無水物、フタル酸無水物、ナジック酸無水物、シクロヘキサンジカルボン酸無水物、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物、1,2−ジカルボキシナフタレン無水物、3−ヒドロキシフタル酸無水物などが好ましい。   Moreover, it is preferable that at least a part of the terminal of the soluble polyimide is sealed with an aniline derivative or a dicarboxylic acid anhydride. Thereby, the weight average molecular weight of soluble polyimide can be easily adjusted to an appropriate range. In addition, it is expected to suppress an increase in viscosity due to crosslinking of the terminal functional group. Examples of aniline derivatives include 2-aminobenzoic acid, 3-aminobenzoic acid, 4-aminobenzoic acid, 4-aminosalicylic acid, 5-aminosalicylic acid, 6-aminosalicylic acid, 2-aminobenzenesulfonic acid, 3-aminobenzenesulfone. Acid, 4-aminobenzenesulfonic acid, 2-aminophenol, 3-aminophenol, 4-aminophenol, 2-aminothiophenol, 3-aminothiophenol, 4-aminothiophenol and the like are preferable. Dicarboxylic acid anhydrides include maleic acid anhydride, phthalic acid anhydride, nadic acid anhydride, cyclohexanedicarboxylic acid anhydride, 5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid anhydride, 1,2-dicarboxynaphthalene anhydride. , 3-hydroxyphthalic anhydride and the like are preferable.

本発明に用いられる可溶性ポリイミドの合成方法は特に限定されず、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物を用いて、公知の方法で合成される。例えば、低温中でテトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物(一部をアニリン誘導体に置換してもよい)を反応させる方法、テトラカルボン酸二無水物とアルコールとの反応によりジエステルを得、その後ジアミン(一部をアニリン誘導体に置換してもよい)と縮合剤の存在下で反応させる方法、テトラカルボン酸二無水物とアルコールとの反応によりジエステルを得、その後残りの2つのカルボキシル基を酸クロリド化し、ジアミン(一部をアニリン誘導体に置換してもよい)と反応させる方法などの方法を利用して、ポリイミド前駆体を得、これを、公知のイミド化方法を利用して合成することができる。   The method for synthesizing the soluble polyimide used in the present invention is not particularly limited, and is synthesized by a known method using diamine and tetracarboxylic dianhydride. For example, a method of reacting a tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound (some of which may be substituted with an aniline derivative) at low temperature, a diester obtained by reacting a tetracarboxylic dianhydride and an alcohol, and then a diamine A method of reacting (partially with an aniline derivative) in the presence of a condensing agent, a diester is obtained by reaction of tetracarboxylic dianhydride and alcohol, and then the remaining two carboxyl groups are converted to acid chloride To obtain a polyimide precursor using a method such as a method of reacting with a diamine (a part of which may be substituted with an aniline derivative), and synthesizing it using a known imidization method. it can.

本発明の感光性カバーレイは、前記(A)重量平均分子量が10,000以上30,000以下の可溶性ポリイミドに加えて、(B)光重合性基を有する化合物を含有することが好ましい。これにより、感度や架橋密度および硬化物の靭性を向上させる効果が期待される。光重合性基としては、アクリル基、メタアクリロイル基、ビニル基などが挙げられる。(B)重合性基を有する化合物としては、特に限定されず一般的に感光性樹脂に用いられる多価アルコールのアクリル酸エステル化合物やメタクリル酸エステル化合物など、いわゆる多官能(メタ)アクリルモノマーが利用可能である。ここで、(メタ)アクリルとは、アクリルおよびメタクリルの総称を示す。多官能(メタ)アクリルモノマーとしては、アリル化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、メトキシ化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリグリセロールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールA−エチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールA−プロピレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。   The photosensitive coverlay of the present invention preferably contains (B) a compound having a photopolymerizable group in addition to (A) the soluble polyimide having a weight average molecular weight of 10,000 to 30,000. Thereby, the effect which improves a sensitivity, a crosslinking density, and the toughness of hardened | cured material is anticipated. Examples of the photopolymerizable group include an acrylic group, a methacryloyl group, and a vinyl group. (B) The compound having a polymerizable group is not particularly limited, and so-called polyfunctional (meth) acrylic monomers such as polyhydric alcohol acrylic ester compounds and methacrylic ester compounds generally used for photosensitive resins are used. Is possible. Here, (meth) acrylic is a generic name for acrylic and methacrylic. Polyfunctional (meth) acrylic monomers include allylated cyclohexyl di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,3-butylene glycol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate , Diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol monohydroxypenta (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra ( (Meth) acrylate, glycerol di (meth) acrylate, methoxylated cyclohexyl di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, propylene Recall di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, triglycerol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, bisphenol A di (meth) acrylate, di (meta) of bisphenol A-ethylene oxide adduct ) Acrylate, di (meth) acrylate of bisphenol A-propylene oxide adduct, and the like. Two or more of these may be contained.

これらの中でも、柔軟な骨格を有する多官能(メタ)アクリルモノマーが好ましく、感光性カバーレイの硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りをより低減することができる。そのようなモノマーとしては、アルキレングリコール構造を有するものが挙げられる。具体的には、長鎖アルキレングリコールの両末端を(メタ)アクリル酸でエステル化したアルキレングリコール(メタ)アクリレート、長鎖アルキレングリコールで変性したエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート、長鎖アルキレングリコールとイソシアナートを反応させたウレタン化合物を(メタ)アクリル酸でエステル化したウレタン(メタ)アクリレートなどが挙げられる。   Among these, a polyfunctional (meth) acrylic monomer having a flexible skeleton is preferable, and the warpage of the laminate with the flexible printed circuit board after curing of the photosensitive coverlay can be further reduced. Examples of such a monomer include those having an alkylene glycol structure. Specifically, alkylene glycol (meth) acrylate esterified with (meth) acrylic acid at both ends of long-chain alkylene glycol, epoxy acrylate obtained by reacting epoxy compound modified with long-chain alkylene glycol and (meth) acrylic acid And urethane (meth) acrylate obtained by esterifying a urethane compound obtained by reacting a long-chain alkylene glycol and isocyanate with (meth) acrylic acid.

本発明の感光性カバーレイは、さらに(C)光重合開始剤を含有することが好ましい。(C)光重合開始剤としては、長波長まで感度を有するものが好ましく、感度を向上させることができる。また、波長が長いほど吸収や散乱の影響を受けにくいため、厚膜の内部まで硬化させることが容易となる。通常、露光には水銀灯が用いられるために、水銀灯の長波長輝線スペクトルのg線である436nmの波長まで感度を有することが好ましい。また、短波長にしか感度を有さない光重合開始剤を増感剤と組み合わせることでg線感度を持たせた複合開始剤も好適に使用できる。   The photosensitive coverlay of the present invention preferably further contains (C) a photopolymerization initiator. (C) As a photoinitiator, what has a sensitivity to a long wavelength is preferable, and a sensitivity can be improved. In addition, since the longer the wavelength, the harder it is to be affected by absorption and scattering, it is easy to cure the thick film. Usually, since a mercury lamp is used for exposure, it is preferable to have sensitivity up to a wavelength of 436 nm which is g line of the long wavelength emission line spectrum of the mercury lamp. Moreover, the composite initiator which gave g line sensitivity by combining the photoinitiator which has a sensitivity only in a short wavelength with a sensitizer can also be used conveniently.

例えば、g線に感度を有する開始剤としては、ベンゾフェノン誘導体、アセトフェノン誘導体、チオキサントン誘導体、ベンジル誘導体、ベンゾイン誘導体、オキシム系化合物、α−ヒドロキシケトン系化合物、α−アミノアルキルフェノン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物等が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、光感度の点で、オキシム系化合物が望ましい。例えばエタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)(アデカ社製 オプトマーN1919)が挙げられる。   For example, initiators having sensitivity to g-line include benzophenone derivatives, acetophenone derivatives, thioxanthone derivatives, benzyl derivatives, benzoin derivatives, oxime compounds, α-hydroxyketone compounds, α-aminoalkylphenone compounds, phosphine oxides. System compounds and the like. Two or more of these may be contained. Among these, oxime compounds are desirable in terms of photosensitivity. Examples thereof include ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) (Optomer N1919, manufactured by Adeka Corporation).

本発明の感光性カバーレイは、有機溶媒を含有してもよい。有機溶媒は、感光性カバーレイに含まれる成分を溶解するものであればよく、特に限定されない。具体的には、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等のエーテル類、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピルアセテート、ブチルアセテート、イソブチルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル等のアセテート類、アセチルアセトン、メチルプロピルケトン、メチルブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、2−ヘプタノン等のケトン類、ブチルアルコール、イソブチルアルコール、ペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、3−メチル−2−ブタノール、3−メチル−3−メトキシブタノール、ジアセトンアルコール等のアルコール類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、その他、γ−ブチロラクトン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシドなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。   The photosensitive coverlay of the present invention may contain an organic solvent. The organic solvent is not particularly limited as long as it dissolves components contained in the photosensitive coverlay. Specifically, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol dibutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl Ethers such as ethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propyl acetate, butyl acetate, isobutyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate , Lactic acid Acetates such as chill, acetylacetone, methyl propyl ketone, methyl butyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclopentanone, ketones such as 2-heptanone, butyl alcohol, isobutyl alcohol, pentanol, 4-methyl-2-pentanol, Alcohols such as 3-methyl-2-butanol, 3-methyl-3-methoxybutanol and diacetone alcohol, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, and others, γ-butyrolactone, N-methylpyrrolidone, N, N -Dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethylsulfoxide and the like. Two or more of these may be contained.

感光性カバーレイをフレキシブルプリント基板配線の保護膜など、スクリーン印刷で印刷し、低温で乾燥する用途に用いる場合には、有機溶剤の大気圧下における沸点は、130℃以上250℃以下が好ましい。沸点が130℃以上であればスクリーン印刷に適しており、160℃以上がより好ましい。一方、250℃未満であれば低温乾燥に適しており、220℃未満がより好ましい。   When the photosensitive cover lay is used for the purpose of printing by screen printing such as a protective film for flexible printed circuit board wiring and drying at a low temperature, the boiling point of the organic solvent under atmospheric pressure is preferably 130 ° C. or higher and 250 ° C. or lower. A boiling point of 130 ° C. or higher is suitable for screen printing, and 160 ° C. or higher is more preferable. On the other hand, if it is less than 250 degreeC, it is suitable for low temperature drying, and less than 220 degreeC is more preferable.

本発明の感光性カバーレイは、フィラーを含有していてもよい。特に本発明の感光性カバーレイをスクリーン印刷でフレキシブル基板配線上に塗布する場合には、スクリーン印刷に適切な粘度やチキソトロピー性を付与して印刷性を向上させることができる。フィラーとしては一般的に使用される物が特に制限なく使用できる。例えば、シリカ、硫酸バリウム、水酸化アルミニウム、タルクなどが挙げられる。   The photosensitive coverlay of the present invention may contain a filler. In particular, when the photosensitive cover lay of the present invention is applied onto a flexible substrate wiring by screen printing, it is possible to improve the printability by imparting appropriate viscosity and thixotropy to the screen printing. As the filler, commonly used ones can be used without particular limitation. Examples thereof include silica, barium sulfate, aluminum hydroxide, talc and the like.

本発明の感光性カバーレイは、さらに着色剤を有していてもよい。感光性カバーレイをフレキシブルプリント基板の配線保護膜として用いる場合、パターン加工の確認や、保護膜形成後の配線検査の視認性向上などのために、青色ないし緑色に着色されることが一般的である。本発明で用いられる着色剤としては、染料、熱発色性染料、無機顔料、有機顔料等があげられる。これら染料または顔料を各々2種以上含有してもよいし、染料と顔料を組み合わせて含有してもよい。   The photosensitive coverlay of the present invention may further have a colorant. When a photosensitive coverlay is used as a wiring protective film on a flexible printed circuit board, it is generally colored blue or green to confirm pattern processing and improve the visibility of wiring inspection after forming the protective film. is there. Examples of the colorant used in the present invention include dyes, thermochromic dyes, inorganic pigments, and organic pigments. Two or more of these dyes or pigments may be contained, or a combination of a dye and a pigment may be contained.

さらに、本発明の感光性カバーレイは、必要に応じて界面活性剤を含有してもよく、基板との塗れ性を向上させることができる。また、メチルメタクリロキシジメトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシランなどのシランカップリング剤、チタンキレート剤などを感光性カバーレイ中0.5〜10重量%含有してもよい。   Furthermore, the photosensitive coverlay of this invention may contain surfactant as needed, and can improve the coating property with a board | substrate. Moreover, you may contain 0.5 to 10weight% of silane coupling agents, such as methylmethacryloxy dimethoxysilane and 3-aminopropyl trimethoxysilane, a titanium chelating agent, etc. in a photosensitive coverlay.

次に、本発明の感光性カバーレイを用いて配線基板上に配線保護膜を形成する方法について説明する。まず、感光性カバーレイを基板上に塗布する。基板の材料としては、ポリイミドフィルム、エポキシ樹脂やセラミックス、シリコンウエハー、ガラス基板、ガリウムヒ素などが挙げられる。   Next, a method for forming a wiring protective film on a wiring board using the photosensitive cover lay of the present invention will be described. First, a photosensitive cover lay is applied on the substrate. Examples of the material for the substrate include polyimide films, epoxy resins and ceramics, silicon wafers, glass substrates, and gallium arsenide.

塗布方法としては、スピンナを用いた回転塗布、スプレー塗布、ロールコーティング、スクリーン印刷塗布などの方法が挙げられる。塗布膜厚は、塗布手法、感光性カバーレイの固形分濃度、粘度などによって異なるが、通常、乾燥後の膜厚が1〜150μmになるように塗布される。   Examples of the coating method include spin coating using a spinner, spray coating, roll coating, and screen printing coating. The coating film thickness varies depending on the coating method, the solid content concentration of the photosensitive coverlay, the viscosity, and the like, but is usually applied so that the film thickness after drying becomes 1 to 150 μm.

次に感光性カバーレイを塗布した基板を乾燥する。乾燥はオーブン、ホットプレート、赤外線などを使用し、50〜150℃の範囲で1分〜数時間行うことが一般的である。   Next, the substrate coated with the photosensitive coverlay is dried. Drying is generally performed using an oven, a hot plate, infrared rays, or the like at 50 to 150 ° C. for 1 minute to several hours.

次に、所定のパターンのマスクを介して露光を行う。露光には、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、水銀キセノンランプなど、紫外線を豊富に発生する輝度の高い光源を用いた露光装置が好ましく用いられる。露光量は200〜1000mJ/cmの範囲が好ましい。露光後にアルカリ水溶液を用いて現像を行う。アルカリ水溶液としては炭酸ナトリウム水溶液やテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)水溶液などが好ましく用いられる。 Next, exposure is performed through a mask having a predetermined pattern. For the exposure, an exposure apparatus using a light source with high brightness that generates abundant ultraviolet rays, such as a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultrahigh-pressure mercury lamp, or a mercury xenon lamp, is preferably used. The exposure dose is preferably in the range of 200 to 1000 mJ / cm 2 . After the exposure, development is performed using an alkaline aqueous solution. As the alkaline aqueous solution, an aqueous sodium carbonate solution or an aqueous tetramethylammonium hydroxide (TMAH) solution is preferably used.

次に、硬化処理を行い、耐熱性・機械特性に優れた配線保護膜を得る。硬化処理は150〜300℃の範囲で1分間〜数時間行うことが一般的である。加熱手段としては、ホットプレート、熱風循環炉、及び遠赤外線加熱炉等が挙げられるが特に制限はなく、基材の大きさや硬化処理量によって選択することができる。   Next, a curing treatment is performed to obtain a wiring protective film having excellent heat resistance and mechanical properties. The curing treatment is generally performed in the range of 150 to 300 ° C. for 1 minute to several hours. Examples of the heating means include a hot plate, a hot air circulating furnace, a far-infrared heating furnace, and the like, but are not particularly limited, and can be selected depending on the size of the base material and the amount of curing treatment.

一例として、本発明の感光性カバーレイを用いてフレキシブルプリント基板配線の保護膜を形成する方法について説明する。まず、感光性カバーレイを基材上に塗布し、乾燥する。通常、フレキシブルプリント基板の基材には、銅などの金属配線パターンが形成されたポリイミドフィルムが用いられる。塗布方法はスクリーン印刷法が好ましい。感光性カバーレイの乾燥後の膜厚は、フレキシブルプリント基板の配線パターンの厚み以上、配線パターンの2倍以下程度が一般的である。配線パターンの厚みは通常9〜18μmであり、配線保護膜の厚みは10〜20μmが好ましい。   As an example, a method of forming a protective film for flexible printed circuit board wiring using the photosensitive coverlay of the present invention will be described. First, a photosensitive coverlay is applied on a substrate and dried. Usually, a polyimide film on which a metal wiring pattern such as copper is formed is used as a base material of a flexible printed board. The coating method is preferably a screen printing method. The film thickness after drying of the photosensitive cover lay is generally not less than the thickness of the wiring pattern of the flexible printed board and not more than twice the wiring pattern. The thickness of the wiring pattern is usually 9 to 18 μm, and the thickness of the wiring protective film is preferably 10 to 20 μm.

次に、所定のパターンのマスクを介して露光する。露光には超高圧水銀灯が好ましく用いられる。さらに、現像、硬化処理を行い、配線保護膜を得る。   Next, it exposes through the mask of a predetermined pattern. An ultrahigh pressure mercury lamp is preferably used for exposure. Further, development and curing are performed to obtain a wiring protective film.

本発明の感光性カバーレイは、アルカリ水溶液で高い解像度を有し、200℃以下の低温で硬化することが可能である。さらに、硬化後のフレキシブルプリント基板との積層体の反りが小さく、折曲性、および耐熱性に優れているため、フレキシブルプリント基板の配線保護膜として適している。また、それ以外においても回路基板の層間絶縁膜や感光性の耐熱接着剤、半導体の保護膜等に用いられる。   The photosensitive coverlay of the present invention has a high resolution with an alkaline aqueous solution and can be cured at a low temperature of 200 ° C. or lower. Furthermore, since the curvature of the laminated body with the cured flexible printed circuit board is small, and it is excellent in bending property and heat resistance, it is suitable as a wiring protective film of a flexible printed circuit board. Other than that, it is used for an interlayer insulating film of a circuit board, a photosensitive heat-resistant adhesive, a semiconductor protective film, and the like.

以下実施例および技術をあげて本発明を説明するが、本発明はこれらの例によって限定されるものではない。なお、各実施例において略号で示した原料の詳細を以下に示す。
PMDA:無水ピロメリット酸無水物(ダイセル化学(株)製)
OPDA:4,4’−オキシジフタル酸二無水物(マナック(株)製)
SiDA:ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(信越化学(株)製)
BAPP:2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(和歌山精化工業(株)製)
DAPE:4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(和歌山精化工業(株)製)
MBAA:[ビス(4−アミノ−3−カルボキシ)フェニル]メタン(和歌山精化工業(株)製)
MAP:3−アミノフェノール(東京化成(株)製)
D−400:ポリオキシプロピレンジアミン(三井化学ファイン(株)製、商品名“ジェファーミン”D−400 一般式(1)のn=5.6)
光重合性化合物
CN981:ウレタンアクリレートオリゴマー(サートマー社製)
M−245:ポリエチレングリコールジアクリレート(東亞合成(株)製、商品名“アロニックス”M−245)
MOI−BP:2−イソシアナートエチルメタクリレートブロック体(昭和電工(株)製“カレンズ(登録商標)”MOI−BP)
EBE3708:エポキシアクリレートオリゴマー(ダイセルサイテック(株)製、商品名“EBECRYL3708”)
ATM−35E:エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート(新中村化学(株)製)
光重合開始剤
N1919:光ラジカル重合開始剤(アデカ(株)製、商品名“オプトマーN1919”)
熱重合禁止剤
HQME:ヒドロキノンモノメチルエーテル
フィラー
SG−95:タルク微粒子 平均粒子径2.5μm(日本タルク製)
界面活性剤
L1983:“ディスパロン(登録商標)”L1983(楠本化成(株)製)
着色剤
PB4920:青色顔料
溶媒
NMP:N−メチルピロリドン 。
Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples and techniques, but the present invention is not limited to these examples. In addition, the detail of the raw material shown by the abbreviation in each Example is shown below.
PMDA: pyromellitic anhydride (manufactured by Daicel Chemical Industries)
OPDA: 4,4′-oxydiphthalic dianhydride (manac)
SiDA: Bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
BAPP: 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (Wakayama Seika Kogyo Co., Ltd.)
DAPE: 4,4′-diaminodiphenyl ether (Wakayama Seika Kogyo Co., Ltd.)
MBAA: [Bis (4-amino-3-carboxy) phenyl] methane (manufactured by Wakayama Seika Kogyo Co., Ltd.)
MAP: 3-aminophenol (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
D-400: Polyoxypropylene diamine (Mitsui Chemicals Fine Co., Ltd., trade name “Jeffamine” D-400, n = 5.6 in the general formula (1))
Photopolymerizable compound CN981: Urethane acrylate oligomer (manufactured by Sartomer)
M-245: Polyethylene glycol diacrylate (trade name “Aronix” M-245, manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
MOI-BP: 2-isocyanate ethyl methacrylate block ("Karenz (registered trademark)" MOI-BP manufactured by Showa Denko KK)
EBE3708: Epoxy acrylate oligomer (manufactured by Daicel Cytec Co., Ltd., trade name “EBECRYL3708”)
ATM-35E: ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
Photopolymerization initiator N1919: Photoradical polymerization initiator (manufactured by Adeka Co., Ltd., trade name “Optomer N1919”)
Thermal polymerization inhibitor HQME: Hydroquinone monomethyl ether filler SG-95: Talc fine particles Average particle size 2.5 μm (manufactured by Nippon Talc)
Surfactant L1983: “Disparon (registered trademark)” L1983 (manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd.)
Colorant PB4920: Blue pigment solvent NMP: N-methylpyrrolidone.

各実施例・比較例における評価方法を次に示す。   The evaluation method in each example and comparative example is shown below.

(1)ポリイミドの重量平均分子量の測定
ポリイミドをNMPに溶解させ固形分濃度を0.1重量%にした液をGPC装置Waters2690(Waters(株)製)で測定してポリスチレン換算で重量平均分子量を算出した。GPC測定条件は、移動層をLiClとリン酸をそれぞれ濃度0.05mol/Lで溶解したNMPとし、展開速度を0.4ml/分とした。
(1) Measurement of weight average molecular weight of polyimide A solution in which polyimide is dissolved in NMP to a solid content concentration of 0.1% by weight is measured with a GPC apparatus Waters 2690 (manufactured by Waters Co., Ltd.), and the weight average molecular weight is calculated in terms of polystyrene. Calculated. GPC measurement conditions were such that the moving bed was NMP in which LiCl and phosphoric acid were each dissolved at a concentration of 0.05 mol / L, and the development rate was 0.4 ml / min.

(2)感光性カバーレイの解像度の評価
スクリーン印刷機MEC−2400(三谷電子工業(株)製)、SUS製200メッシュ、乳剤厚さ20μm、50mm×50mmのスクリーン版を用いて、厚み25μmのポリイミドフィルム“カプトン(登録商標)”100EN(東レ・デュポン(株)製)上に、得られた感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が20μmとなるように塗布した。ついで、熱風オーブンINH−21CD(光洋サーモシステム(株)製)を用いて、100℃で30分間熱処理を行った。その後、50×50mmの面積で50〜100μmのビアが100μmピッチで並んだネガ型フォトマスクを配して、i線の積算露光量測定値で200mJ/cm露光した。その後、現像装置AD−3000(ミカサ製)を用い、TMAH2.38重量%水溶液を現像液としてシャワー現像1分、水洗1分で現像した。ついで、熱風オーブンINH−21CD(光洋サーモシステム(株)製)を用いて、200℃で60分間熱処理を行った。
(2) Evaluation of Resolution of Photosensitive Coverlay Screen printer MEC-2400 (manufactured by Mitani Electronics Co., Ltd.), SUS 200 mesh, emulsion thickness 20 μm, 50 mm × 50 mm screen plate having a thickness of 25 μm The obtained photosensitive resin composition was applied on a polyimide film “Kapton (registered trademark)” 100EN (manufactured by Toray DuPont Co., Ltd.) so that the film thickness after drying was 20 μm. Subsequently, heat treatment was performed at 100 ° C. for 30 minutes using a hot air oven INH-21CD (manufactured by Koyo Thermo System Co., Ltd.). Then, a negative photomask in which vias of 50 to 100 μm were arranged at a pitch of 100 μm with an area of 50 × 50 mm was arranged, and exposure was performed at 200 mJ / cm 2 in terms of i-line integrated exposure measurement. Thereafter, using a developing device AD-3000 (manufactured by Mikasa), development was performed in a TMAH 2.38 wt% aqueous solution as a developing solution for 1 minute of shower development and 1 minute of washing with water. Subsequently, heat treatment was performed at 200 ° C. for 60 minutes using a hot air oven INH-21CD (manufactured by Koyo Thermo System Co., Ltd.).

上記方法で得られた感光性カバーレイの表面を光学顕微鏡で100倍に拡大して観察し、表面にくっきりとしたパターンが描けており、ビア底部に現像残りがない最小のビア径を解像度とした。100μm径ビアでも現像残りがある場合は×とした。   The surface of the photosensitive cover lay obtained by the above method is observed with an optical microscope at a magnification of 100 times, a clear pattern is drawn on the surface, and the minimum via diameter with no residual development at the bottom of the via is defined as the resolution. did. Even if a 100 μm diameter via is left undeveloped, it was marked as x.

(3)引張弾性率と引張伸びの測定
厚み12μmの銅箔NA−DFF(三井金属鉱業(株)製)上に、感光性樹脂組成物を硬化後の厚さが20μmになるように塗布した。全面を200mJ/cm露光し、熱風オーブンを用いて200℃で60分間熱処理を行った後、塩化第二鉄水溶液で銅箔をエッチング除去して、感光性カバーレイのフィルムを得た。JISK7127(1999)「プラスチックフィルム及びシートの引張試験方法」(当該規格において引用するJISK7161(1994)を含む)に準拠して引張伸び、引張弾性率を測定した。測定は10mm×150mmの短冊状試験片で、温度23℃、湿度50%RHの環境下において引っ張り速度100mm/分で行い、N=10の試験の平均値とした。
(3) Measurement of tensile elastic modulus and tensile elongation On the copper foil NA-DFF (Mitsui Metal Mining Co., Ltd.) having a thickness of 12 μm, the photosensitive resin composition was applied so that the thickness after curing was 20 μm. . The entire surface was exposed to 200 mJ / cm 2 and subjected to heat treatment at 200 ° C. for 60 minutes using a hot air oven, and then the copper foil was etched away with an aqueous ferric chloride solution to obtain a photosensitive coverlay film. Tensile elongation and tensile modulus were measured according to JIS K7127 (1999) “Plastic film and sheet tensile test method” (including JIS K7161 (1994) cited in the standard). The measurement was performed on a 10 mm × 150 mm strip test piece in an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 50% RH at a pulling rate of 100 mm / min, and the average value of N = 10 tests was used.

(4)反りの評価
硬化後の感光性カバーレイとフレキシブルプリント基板との積層体の反りをモデル的に評価するため、硬化後の感光性カバーレイとポリイミドフィルムとの積層体の反りを評価した。
(4) Evaluation of warpage In order to modelly evaluate the warpage of the laminate of the photosensitive coverlay after curing and the flexible printed circuit board, the warpage of the laminate of the photosensitive coverlay after curing and the polyimide film was evaluated. .

厚み25μmのポリイミドフィルム“カプトン”100EN(東レ・デュポン(株)製)を50mm×50mmのサイズにカットし、この上に感光性樹脂組成物を乾燥後厚みが20μmになるように塗布して100℃で30分間乾燥した。ついで、超高圧水銀灯で200mJ/cm露光し、熱風オーブンを用いて200℃で60分間熱処理した。熱処理後の積層体を、平坦な場所に上が凸になるように置き、反りの高さを測定した。反りが大きく積層体が一回転以上巻くような場合は、反りの高さを測定することなく×と評価した。 A 25 μm-thick polyimide film “Kapton” 100EN (manufactured by Toray DuPont Co., Ltd.) is cut to a size of 50 mm × 50 mm, and the photosensitive resin composition is dried on this and coated to a thickness of 20 μm. Dry at 30 ° C. for 30 minutes. Subsequently, it exposed to 200 mJ / cm < 2 > with the ultra high pressure mercury lamp, and heat-processed for 60 minutes at 200 degreeC using the hot air oven. The laminate after the heat treatment was placed on a flat place so that the top was convex, and the height of the warp was measured. In the case where the warp was large and the laminate was wound more than once, it was evaluated as x without measuring the height of the warp.

(5)耐折性の評価
上記(4)に記載の方法により、熱処理後の積層体を得た。得られた積層体を幅10mm×長さ50mmの短冊に切り出し、長さ25mmのところで180°に10回折り曲げて、目視でクラックの有無を観察した。クラックが観察された場合はその時の折り曲げ回数を耐折曲性とした。
(5) Evaluation of folding resistance A laminate after heat treatment was obtained by the method described in (4) above. The obtained laminate was cut into a strip having a width of 10 mm and a length of 50 mm, bent 10 times at 180 ° at a length of 25 mm, and visually observed for cracks. When a crack was observed, the number of bending at that time was regarded as bending resistance.

(6)はんだ耐熱性
上記(2)に記載の方法により、パターン加工と熱処理を行った感光性カバーレイを得た。温度23℃、湿度50%RHの雰囲気下で24時間放置した後、300℃で完全に溶解しているはんだ浴に10秒間浸漬した。その後引き上げたサンプルを目視観察した。感光性カバーレイにクラックや剥がれ、膨れが発生しているものを×、いずれも発生していないものを○と評価した。
(6) Solder heat resistance By the method described in (2) above, a photosensitive cover lay subjected to patterning and heat treatment was obtained. After being left for 24 hours in an atmosphere at a temperature of 23 ° C. and a humidity of 50% RH, it was immersed in a solder bath completely dissolved at 300 ° C. for 10 seconds. Thereafter, the sample pulled up was visually observed. The case where cracks, peeling, and swelling occurred on the photosensitive coverlay was evaluated as x, and the case where none occurred was evaluated as o.

実施例1
(ポリイミドの合成)
300mlの4つ口フラスコに撹拌機、温度計、窒素導入管および滴下ロートを設置して、窒素雰囲気下、NMP103.31g、ODPA34.12gを仕込み、60℃で撹拌溶解させた。その後、60℃で撹拌しながらMAP2.40g、SiDA3.06g、D−400 16.17g、MBAA10.64g、DAPE2.47gを添加して1時間撹拌した。その後180℃まで昇温させて2時間撹拌した後、室温まで冷却して可溶性ポリイミド溶液A(固形分濃度40.0重量%)を得た。サイズ排除クロマトグラフィーで可溶性ポリイミドの重量平均分子量を測定した結果、16,200であった。
Example 1
(Polyimide synthesis)
A 300 ml four-necked flask was equipped with a stirrer, thermometer, nitrogen inlet tube and dropping funnel, and under a nitrogen atmosphere, 103.31 g of NMP and 34.12 g of ODPA were charged and dissolved by stirring at 60 ° C. Then, MAP2.40g, SiDA3.06g, D-400 16.17g, MBAA 10.64g, DAPE2.47g was added and stirred for 1 hour, stirring at 60 degreeC. Thereafter, the temperature was raised to 180 ° C. and stirred for 2 hours, and then cooled to room temperature to obtain a soluble polyimide solution A (solid content concentration 40.0% by weight). As a result of measuring the weight average molecular weight of the soluble polyimide by size exclusion chromatography, it was 16,200.

(感光性樹脂組成物の合成)
上記記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液A10.3gに、CN981を1.8g、M245を0.8g、MOI−BPを0.3g、N1919を0.1g、HQMEを0.02g添加して混合撹拌し、粘性液体である感光性カバーレイ(以下、感光性樹脂組成物という)を得た。
(Synthesis of photosensitive resin composition)
To the soluble polyimide solution A10.3 g obtained by the method described above, 1.8 g of CN981, 0.8 g of M245, 0.3 g of MOI-BP, 0.1 g of N1919, and 0.02 g of HQME were added. Mixing and stirring were performed to obtain a photosensitive coverlay (hereinafter referred to as a photosensitive resin composition) which is a viscous liquid.

実施例2
実施例1で得られた可溶性ポリイミド溶液A10.3gに、EBE3708を1.5g、ATM−35Eを0.5g、MOI−BPを0.5g、N1919を.1g、HQMEを0.02g添加して混合撹拌し、粘性液体である感光性樹脂組成物を得た。
Example 2
To 10.3 g of the soluble polyimide solution A obtained in Example 1, 1.5 g of EBE3708, 0.5 g of ATM-35E, 0.5 g of MOI-BP, N1919. 1 g and 0.02 g of HQME were added and mixed and stirred to obtain a photosensitive resin composition that was a viscous liquid.

実施例3
実施例1で得られた可溶性ポリイミド溶液A10.3gに、CN981を1.8g、M245を0.8g、MOI−BPを0.3g、N1919を0.1g、HQMEを.0.02g、SG95を1.2g、L1983を0.16g、PB4920を0.02g添加して撹拌した後、3本ロールミルで5回混練し、粘性液体である感光性樹脂組成物を得た。
Example 3
To the soluble polyimide solution A10.3 g obtained in Example 1, 1.8 g of CN981, 0.8 g of M245, 0.3 g of MOI-BP, 0.1 g of N1919, and HQME. 0.02 g, 1.2 g of SG95, 0.16 g of L1983, and 0.02 g of PB4920 were added and stirred, and then kneaded five times with a three-roll mill to obtain a photosensitive resin composition that was a viscous liquid.

実施例4
NMP103.31gを107.65gに変更し、D−400 16.17gを21.53gに変更し、DAPEを添加しない以外は実施例1と同様にして、可溶性ポリイミド溶液B(固形分濃度40.0重量%)を得た。サイズ除去クロマトグラフィーで可溶性ポリイミドの重量平均分子量を測定した結果、18,550であった。可溶性ポリイミド溶液Aのかわりに可溶性ポリイミド溶液Bを用いた以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物を得た。
Example 4
Soluble polyimide solution B (solid content concentration 40.0) was changed in the same manner as in Example 1 except that 103.31 g of NMP was changed to 107.65 g, 16.17 g of D-400 was changed to 21.53 g, and DAPE was not added. % By weight). It was 18,550 as a result of measuring the weight average molecular weight of soluble polyimide by size removal chromatography. A photosensitive resin composition that is a viscous liquid was obtained in the same manner as in Example 1 except that the soluble polyimide solution B was used in place of the soluble polyimide solution A.

実施例5
NMP107.65gを145.95gに変更し、SiDA3.06gを5.47gに変更し、D−400 21.53gを11.96に変更し、MBAA10.64gを14.17gに変更した以外は実施例4と同様にして、可溶性ポリイミド溶液C(固形分濃度40.0重量%)を得た。サイズ除去クロマトグラフィーで可溶性ポリイミドの重量平均分子量を測定した結果、21800であった。可溶性ポリイミド溶液Aのかわりに可溶性ポリイミド溶液Cを用いた以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物を得た。
Example 5
Example except that NMP 107.65g was changed to 145.95g, SiDA 3.06g was changed to 5.47g, D-400 21.53g was changed to 11.96, and MBAA 10.64g was changed to 14.17g In the same manner as in Example 4, a soluble polyimide solution C (solid content concentration: 40.0% by weight) was obtained. It was 21800 as a result of measuring the weight average molecular weight of soluble polyimide by size removal chromatography. A photosensitive resin composition that is a viscous liquid was obtained in the same manner as in Example 1 except that the soluble polyimide solution C was used instead of the soluble polyimide solution A.

実施例6
実施例1で得られた可溶性ポリイミド溶液A10.3gに、EBE3708を1.5g、ATM−35Eを1.0g、N1919を0.1g、HQMEを0.02g添加して撹拌して混合撹拌し、粘性液体である感光性樹脂組成物を得た。
Example 6
To 10.3 g of the soluble polyimide solution A obtained in Example 1, 1.5 g of EBE3708, 1.0 g of ATM-35E, 0.1 g of N1919, and 0.02 g of HQME were added and stirred, mixed and stirred. A photosensitive resin composition that was a viscous liquid was obtained.

実施例7
NMP103.31gを145.95gに変更し、D−400 16.17gを10.77gに変更し、MBAA10.64gを14.17gに変更した以外は実施例1と同様にして、可溶性ポリイミド溶液D(固形分濃度40.0重量%)を得た。サイズ除去クロマトグラフィーにより可溶性ポリイミドの重量平均分子量を測定した結果、23,250であった。可溶性ポリイミド溶液Aのかわりに可溶性ポリイミド溶液Dを用いた以外は実施例6と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物を得た。
Example 7
Soluble polyimide solution D (in the same manner as in Example 1 except that NMP 103.31 g was changed to 145.95 g, D-400 16.17 g was changed to 10.77 g, and MBAA 10.64 g was changed to 14.17 g. Solid content concentration 40.0% by weight) was obtained. It was 23,250 as a result of measuring the weight average molecular weight of soluble polyimide by size removal chromatography. A photosensitive resin composition that is a viscous liquid was obtained in the same manner as in Example 6 except that the soluble polyimide solution D was used instead of the soluble polyimide solution A.

実施例8
300mlの4つ口フラスコに撹拌機、温度計、窒素導入管および滴下ロートを設置して、窒素雰囲気下、NMP145.95g、ODPA27.3g、PMDA4.8gを仕込み、60℃で撹拌溶解させた。その後、60℃で撹拌しながらMAP2.40g、SiDA6.15g、D−400 16.17g、MBAA10.64gを添加して1時間撹拌した。その後180℃まで昇温させて2時間撹拌した後、室温まで冷却して可溶性ポリイミド溶液E(固形分濃度40.0重量%)を得た。サイズ除去クロマトグラフィーで可溶性ポリイミドの重量平均分子量を測定した結果、14,865であった。可溶性ポリイミド溶液Aのかわりに可溶性ポリイミド溶液Eを用いた以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物を得た。
Example 8
A stirrer, a thermometer, a nitrogen introducing tube and a dropping funnel were placed in a 300 ml four-necked flask, and NMP145.95 g, ODPA27.3 g and PMDA4.8 g were charged in a nitrogen atmosphere and dissolved at 60 ° C. with stirring. Thereafter, 2.40 g of MAP, 6.15 g of SiDA, 16.17 g of D-400 and 10.64 g of MBAA were added while stirring at 60 ° C., and the mixture was stirred for 1 hour. Thereafter, the temperature was raised to 180 ° C. and stirred for 2 hours, followed by cooling to room temperature to obtain a soluble polyimide solution E (solid content concentration 40.0% by weight). It was 14,865 as a result of measuring the weight average molecular weight of soluble polyimide by size removal chromatography. A photosensitive resin composition that is a viscous liquid was obtained in the same manner as in Example 1 except that the soluble polyimide solution E was used instead of the soluble polyimide solution A.

比較例1
NMP103.31gを145.95gに変更し、MAP2.40gを1.20gに、SiDA3.06gを3.23gに、D−400 16.17gを17.08gに、MBAA10.64gを11.24gに、DAPE2.47gを2.60gに変更した以外は実施例1と同様にして可溶性ポリイミド溶液F(固形分濃度40.0重量%)を得た。サイズ除去クロマトグラフィーにより可溶性ポリイミドの重量平均分子量を測定した結果、35,536であった。可溶性ポリイミド溶液Aのかわりに可溶性ポリイミド溶液Fを用いた以外は実施例3と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物を得た。
Comparative Example 1
NMP 103.31g was changed to 145.95g, MAP 2.40g to 1.20g, SiDA 3.06g to 3.23g, D-400 16.17g to 17.08g, MBAA 10.64g to 11.24g, A soluble polyimide solution F (solid content concentration: 40.0% by weight) was obtained in the same manner as in Example 1 except that 2.47 g of DAPE was changed to 2.60 g. It was 35,536 as a result of measuring the weight average molecular weight of soluble polyimide by size removal chromatography. A photosensitive resin composition that is a viscous liquid was obtained in the same manner as in Example 3 except that the soluble polyimide solution F was used instead of the soluble polyimide solution A.

比較例2
NMP103.31gを101.50gに変更し、MAP2.40gを4.80gに、SiDA3.06gを2.73gに、D−400 16.17gを14.36gに、MBAA10.64gを9.45gに、DAPE2.47gを2.20gに変更した以外は実施例1と同様にして可溶性ポリイミド溶液G(固形分濃度40.0重量%)を得た。サイズ除去クロマトグラフィーにより可溶性ポリイミドの重量平均分子量を測定した結果、9,277であった。可溶性ポリイミド溶液Aのかわりに可溶性ポリイミド溶液Gを用いた以外は実施例3と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物を得た。
Comparative Example 2
NMP 103.31g was changed to 101.50g, MAP 2.40g to 4.80g, SiDA 3.06g to 2.73g, D-400 16.17g to 14.36g, MBAA 10.64g to 9.45g, A soluble polyimide solution G (solid content concentration 40.0% by weight) was obtained in the same manner as in Example 1 except that 2.47 g of DAPE was changed to 2.20 g. It was 9,277 as a result of measuring the weight average molecular weight of soluble polyimide by size removal chromatography. A photosensitive resin composition that is a viscous liquid was obtained in the same manner as in Example 3 except that the soluble polyimide solution G was used instead of the soluble polyimide solution A.

比較例3
NMP101.50gを93.69gに変更し、SiDA2.73gを10.93gに変更し、MBAA9.45gを12.60に変更し、D−400とDAPEを添加しない以外は比較例2と同様にして可溶性ポリイミド溶液H(固形分濃度40.0重量%)を得た。サイズ除去クロマトグラフィーにより可溶性ポリイミドの重量平均分子量を測定した結果、10,350であった。可溶性ポリイミド溶液Aのかわりに可溶性ポリイミド溶液Hを用いた以外は実施例2と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物を得た。
Comparative Example 3
NMP 101.50 g was changed to 93.69 g, SiDA 2.73 g was changed to 10.93 g, MBAA 9.45 g was changed to 12.60, and D-400 and DAPE were not added, and the same as Comparative Example 2 A soluble polyimide solution H (solid content concentration 40.0% by weight) was obtained. As a result of measuring the weight average molecular weight of the soluble polyimide by size removal chromatography, it was 10,350. A photosensitive resin composition that is a viscous liquid was obtained in the same manner as in Example 2 except that the soluble polyimide solution H was used instead of the soluble polyimide solution A.

実施例1〜7および比較例1〜3の組成を表1に、評価結果を表2に示す。   The compositions of Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 3 are shown in Table 1, and the evaluation results are shown in Table 2.

Figure 2010211095
Figure 2010211095

Figure 2010211095
Figure 2010211095

Claims (5)

(A)重量平均分子量が10,000以上30,000以下の可溶性ポリイミドを含有し、200℃で1時間熱処理した後の引張弾性率が2.5GPa以下であり、引張伸びが5%以上であることを特徴とする感光性カバーレイ。 (A) Contains a soluble polyimide having a weight average molecular weight of 10,000 or more and 30,000 or less, has a tensile elastic modulus of 2.5 GPa or less after heat treatment at 200 ° C. for 1 hour, and has a tensile elongation of 5% or more. A photosensitive cover lay characterized by the above. 前記(A)重量平均分子量10,000以上30,000以下の可溶性ポリイミドが、下記一般式(1)で示されるジアミンの残基を全ジアミン残基中30mol%以上含有することを特徴とする請求項1に記載の感光性カバーレイ。
Figure 2010211095
(上記一般式(1)中、nは3〜10の範囲を示す。)
The soluble polyimide (A) having a weight average molecular weight of 10,000 or more and 30,000 or less contains a diamine residue represented by the following general formula (1) in an amount of 30 mol% or more of all diamine residues. Item 2. A photosensitive cover lay according to item 1.
Figure 2010211095
(In said general formula (1), n shows the range of 3-10.)
前記(A)重量平均分子量10,000以上30,000以下の可溶性ポリイミドが、下記化学式(2)で示されるジアミンの残基を全ジアミン残基中5mol%以上15mol%以下含有することを特徴とする請求項1または2に記載の感光性カバーレイ。
Figure 2010211095
The (A) soluble polyimide having a weight average molecular weight of 10,000 or more and 30,000 or less contains a diamine residue represented by the following chemical formula (2) in an amount of 5 mol% to 15 mol% in all diamine residues. The photosensitive cover lay according to claim 1 or 2.
Figure 2010211095
前記(A)重量平均分子量10,000以上30,000以下の可溶性ポリイミドが、前記一般式(1)で示されるジアミンの残基と前記化学式(2)で示されるジアミンの残基を含有し、その合計含有量が全ジアミン残基中50mol%以上であることを特徴とする請求項2または3に記載の感光性カバーレイ。 The soluble polyimide (A) having a weight average molecular weight of 10,000 to 30,000 contains a diamine residue represented by the general formula (1) and a diamine residue represented by the chemical formula (2), The total content is 50 mol% or more in all diamine residues, The photosensitive coverlay of Claim 2 or 3 characterized by the above-mentioned. さらに(B)光重合性基を有する化合物および(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の感光性カバーレイ。 The photosensitive coverlay according to any one of claims 1 to 4, further comprising (B) a compound having a photopolymerizable group and (C) a photopolymerization initiator.
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