JP2011095355A - Photosensitive resin composition - Google Patents

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Akira Shimada
彰 嶋田
Keiko Yamanaka
啓子 山中
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition having high resolution and showing high flame retardancy after curing. <P>SOLUTION: The photosensitive resin composition comprises (A) a soluble polyimide having a polyoxypropylenediamine residue, (B) a chain or cyclic phosphazene compound having two or more acryloyloxy groups, methacryloyloxy groups or alkenyl groups in a molecule and having a repeating number of 1-20 as a photopolymerizable compound, and (C) a photoinitiator. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は感光性樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition.

従来、フレキシブルプリント基板の保護膜や絶縁膜として、ポリイミドフィルムなどの成形体に接着剤を塗布して得られるカバーレイフィルムなどが用いられてきた。カバーレイフィルムをパターン加工する方法として、パンチングによる孔空け加工が一般的に用いられていた。しかし近年、配線の微細化、フレキシブルプリント基板に搭載されるチップ部品の小型化により、かかる加工では微細化に対応することが困難となっている。そこで、微細パターン加工を実現するため、フォトグラフィック技術を活用した感光性カバーレイが求められている。   Conventionally, a coverlay film obtained by applying an adhesive to a molded body such as a polyimide film has been used as a protective film or an insulating film of a flexible printed circuit board. As a method for patterning a coverlay film, punching by punching has been generally used. However, in recent years, miniaturization of wiring and miniaturization of chip parts mounted on a flexible printed circuit board make it difficult to cope with the miniaturization by such processing. Therefore, in order to realize fine pattern processing, there is a demand for a photosensitive cover lay utilizing photographic technology.

現像性に優れる感光性材料としてアクリル樹脂が挙げられるが、難燃性、耐熱性や絶縁性が不十分であり、半導体素子やフレキシブル配線基板、リジット基板、集積回路などの保護膜や絶縁膜などの電気・電子用途には適していない。そこで、電気特性や耐薬品性、難燃性、耐熱性に優れるポリイミド系樹脂を用いた感光性カバーレイが検討されている。   Acrylic resin is listed as a photosensitive material with excellent developability, but it has insufficient flame retardancy, heat resistance, and insulation properties, and protective films and insulation films for semiconductor elements, flexible wiring boards, rigid boards, integrated circuits, etc. It is not suitable for electrical and electronic applications. Therefore, a photosensitive cover lay using a polyimide resin excellent in electrical characteristics, chemical resistance, flame retardancy, and heat resistance has been studied.

ポリイミド系樹脂を用いた感光性樹脂組成物として、例えば、(A)カルボキシル基を有する高分子バインダー、(B)(メタ)アクリル系化合物、(C)単官能のエポキシ化合物および(D)光反応開始剤を含有する感光性樹脂組成物(例えば、特許文献1参照)、(A)側鎖にカルボキシル基を有するポリイミド樹脂、(B)光硬化性樹脂、(C)光重合開始剤、(D−1)室温で液状の多官能エポキシ化合物および(D2)室温で固体状であって、単量体または二量体構造を有する多官能エポキシ化合物を含有する感光性接着剤組成物(例えば、特許文献2参照)が提案されている。これらの材料は、耐熱性および現像性に優れているものの、なお難燃性が不十分であった。そこで難燃性の高い材料として、(A)可溶性ポリイミド、(B)10%重量損失温度が300℃以上500℃以下である化合物であって1分子中にリン原子および窒素原子を含む化合物(ホスファゼン化合物など)、(C)(メタ)アクリル系化合物を含有する感光性樹脂組成物(例えば、特許文献3参照)、a)分子中に、ビニル基、アリル基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基から選ばれる重合性官能基を少なくとも1個有するホスファゼン化合物、b)可溶性ポリイミドを必須成分とする感光性樹脂組成物(例えば、特許文献4参照)が提案されている。   Examples of the photosensitive resin composition using a polyimide resin include (A) a polymer binder having a carboxyl group, (B) a (meth) acrylic compound, (C) a monofunctional epoxy compound, and (D) a photoreaction. A photosensitive resin composition containing an initiator (see, for example, Patent Document 1), (A) a polyimide resin having a carboxyl group in the side chain, (B) a photocurable resin, (C) a photopolymerization initiator, (D 1) a photosensitive adhesive composition containing a polyfunctional epoxy compound which is liquid at room temperature and (D2) a polyfunctional epoxy compound which is solid at room temperature and has a monomer or dimer structure (for example, patents) Document 2) has been proposed. Although these materials are excellent in heat resistance and developability, the flame retardancy is still insufficient. Therefore, as a highly flame-retardant material, (A) soluble polyimide, (B) a compound having a 10% weight loss temperature of 300 ° C. or more and 500 ° C. or less and containing a phosphorus atom and a nitrogen atom in one molecule (phosphazene) Compound), (C) a photosensitive resin composition containing a (meth) acrylic compound (see, for example, Patent Document 3), a) in the molecule, vinyl group, allyl group, acryloyloxy group, methacryloyloxy group, A photosensitive resin composition (see, for example, Patent Document 4) containing a phosphazene compound having at least one polymerizable functional group selected from an acryloyl group and a methacryloyl group and b) a soluble polyimide as an essential component has been proposed.

特開2005−055545号公報JP 2005-055545 A 特開2008−274269号公報JP 2008-274269 A 特開2003−177515号公報JP 2003-177515 A 特開2003−302751号公報JP 2003-302751 A

しかしながら、これらの材料は難燃性に優れているものの、ホスファゼン化合物のアルカリ溶解性が低いため、現像性が低く解像度が不十分である課題があった。そこで本発明は、高い解像度を有し、硬化後の難燃性が高い感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。   However, although these materials are excellent in flame retardancy, since the alkali solubility of the phosphazene compound is low, there is a problem that the developability is low and the resolution is insufficient. Therefore, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having high resolution and high flame retardancy after curing.

本発明は、(A)下記一般式(1)で示されるジアミンの残基を有する可溶性ポリイミド、(B)下記一般式(2)で示される光重合性化合物および(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。   The present invention comprises (A) a soluble polyimide having a diamine residue represented by the following general formula (1), (B) a photopolymerizable compound represented by the following general formula (2), and (C) a photopolymerization initiator. It is a photosensitive resin composition characterized by containing.

Figure 2011095355
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上記一般式(1)中、aは1以上10以下の範囲を示す。   In said general formula (1), a shows the range of 1-10.

Figure 2011095355
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上記一般式(2)中、bは1以上20以下の範囲を示す。RおよびRはそれぞれ独立に、アクリロイルオキシフェニル基、炭素数4以上20以下のアクリロイルオキシアルキル基、メタクリロイルオキシフェニル基、炭素数5以上20以下のメタクリロイルオキシアルキル基、炭素数3以上20以下のアルケニル基または炭素数8以上30以下のアルケニルアリール基を示す。bが2以上の場合、複数のRおよびRはそれぞれ同じでも異なってもよい。 In said general formula (2), b shows the range of 1-20. R 1 and R 2 are each independently acryloyloxyphenyl group, acryloyloxyalkyl group having 4 to 20 carbon atoms, methacryloyloxyphenyl group, methacryloyloxyalkyl group having 5 to 20 carbon atoms, and 3 to 20 carbon atoms. Or an alkenylaryl group having 8 to 30 carbon atoms. When b is 2 or more, the plurality of R 1 and R 2 may be the same or different.

本発明により、高い解像度を有し、硬化後の難燃性が高い感光性樹脂組成物を得ることができる。   According to the present invention, a photosensitive resin composition having high resolution and high flame retardancy after curing can be obtained.

本発明の感光性樹脂組成物は、(A)上記一般式(1)で表されるジアミンの残基を有する可溶性ポリイミド、(B)上記一般式(2)で表される光重合性化合物および(C)光重合開始剤を含有する。   The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) a soluble polyimide having a diamine residue represented by the general formula (1), (B) a photopolymerizable compound represented by the general formula (2), and (C) A photopolymerization initiator is contained.

本発明における(A)可溶性ポリイミドとは、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−ビニルピロリドン、N,N−ジエチルホルムアミドなどのアミド系溶媒、γ−ブチロラクトン、メチルモノグライム、メチルジグライム、メチルトリグライム、エチルモノグライム、エチルジグライム、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテルなどのエーテル系溶媒のいずれかの有機溶媒100gに対して、25℃で1g以上溶解するポリイミドを指す。   The (A) soluble polyimide in the present invention is an amide solvent such as N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N-vinylpyrrolidone, N, N-diethylformamide, γ-butyrolactone, methyl monoglyme, methyl diglyme, methyl triglyme, ethyl monoglyme, ethyl diglyme, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, It refers to a polyimide that dissolves 1 g or more at 25 ° C. with respect to 100 g of any organic solvent such as ethylene glycol diethyl ether.

本発明における(A)可溶性ポリイミドは、酸無水物残基とジアミン残基を有し、下記一般式(1)で示されるジアミンからアミノ基の水素原子を除いた残基を有することを特徴とする。これにより、アルカリ溶解性の低い(B)上記一般式(2)で表される光重合性化合物を含む感光性樹脂組成物のアルカリ水溶液に対する現像性が向上して、解像度を高くすることができる。また、屈曲性の構造を有することから(A)可溶性ポリイミドの弾性率を低減し、硬化後の熱応力を低減することにより、保護膜として用いる際に積層体の反りを低減することができる。   The (A) soluble polyimide in the present invention has an acid anhydride residue and a diamine residue, and has a residue obtained by removing a hydrogen atom of an amino group from a diamine represented by the following general formula (1). To do. Thereby, the developability with respect to the aqueous alkali solution of the photosensitive resin composition containing the photopolymerizable compound represented by the general formula (2) having a low alkali solubility is improved, and the resolution can be increased. . Moreover, since it has a flexible structure, the curvature of a laminated body can be reduced when it uses as a protective film by reducing the elastic modulus of (A) soluble polyimide and reducing the thermal stress after hardening.

Figure 2011095355
Figure 2011095355

上記一般式(1)中、aは1以上10以下の範囲を示す。   In said general formula (1), a shows the range of 1-10.

上記一般式(1)で示されるジアミンとして、例えば、D−230(一般式(1)のa=2.3)やD−400(一般式(1)のa=5.6)(BASF社製)などが挙げられる。   Examples of the diamine represented by the general formula (1) include D-230 (a = 2.3 in the general formula (1)) and D-400 (a = 5.6 in the general formula (1)) (BASF Corporation). Manufactured).

本発明における(A)可溶性ポリイミドは、上記一般式(1)で示されるジアミンの残基を全ジアミン残基中20mol%以上有することが好ましい。かかるジアミン残基を20mol%以上有することにより、解像度をより向上させることができる。さらに、屈曲性の構造により、保護膜として用いる際に積層体の反りをより低減することができる。積層体の反りをより低減する観点からは、30mol%以上がより好ましい。一方、硬化後の耐薬品性の観点から、70mol%以下が好ましい。   The (A) soluble polyimide in the present invention preferably has 20 mol% or more of the diamine residues represented by the general formula (1) in the total diamine residues. By having 20 mol% or more of such diamine residues, the resolution can be further improved. In addition, the flexible structure can further reduce the warpage of the stacked body when used as a protective film. From the viewpoint of further reducing the warp of the laminate, 30 mol% or more is more preferable. On the other hand, 70 mol% or less is preferable from the viewpoint of chemical resistance after curing.

本発明における(A)可溶性ポリイミドは、さらに下記化学式(4)で示されるジアミンからアミノ基の水素原子を除いた残基を有することが好ましい。かかるジアミン残基を有することによって、(A)可溶性ポリイミドの有機溶媒に対する溶解性が向上する。その結果、可溶性ポリイミドの分子間力低減により親水性が向上することから、アルカリ水溶液に対する現像性をより向上させ、解像度をより向上させることができる。また、シロキサン結合によってポリイミド骨格に柔軟性が付与されることから、保護膜として用いる際に基板との密着性を向上させることが期待される。   The (A) soluble polyimide in the present invention preferably further has a residue obtained by removing a hydrogen atom of an amino group from a diamine represented by the following chemical formula (4). By having such a diamine residue, the solubility of (A) soluble polyimide in an organic solvent is improved. As a result, the hydrophilicity is improved by reducing the intermolecular force of the soluble polyimide, so that the developability with respect to the alkaline aqueous solution can be further improved and the resolution can be further improved. Further, since flexibility is imparted to the polyimide skeleton by the siloxane bond, it is expected to improve the adhesion to the substrate when used as a protective film.

Figure 2011095355
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本発明における(A)可溶性ポリイミドにおいて、前記化学式(4)で示されるジアミンの残基の含有量は、全ジアミン残基中5mol%以上が好ましい。かかるジアミン残基を5mol%以上有することにより、(A)可溶性ポリイミドに柔軟性が付与されて、保護膜として用いる際に硬化後の積層体の反りを低減することができる。一方、30mol%以下が好ましく、適度な疎水性が付与されて、アルカリ水溶液に対する現像性をより向上させ、解像度をより高くすることができる。   In the soluble polyimide (A) in the present invention, the content of the diamine residue represented by the chemical formula (4) is preferably 5 mol% or more in the total diamine residues. By having 5 mol% or more of such diamine residues, flexibility is imparted to (A) the soluble polyimide, and the warpage of the laminate after curing can be reduced when used as a protective film. On the other hand, 30 mol% or less is preferable, moderate hydrophobicity is imparted, the developability with respect to the alkaline aqueous solution can be further improved, and the resolution can be further increased.

本発明における(A)可溶性ポリイミドは、アルカリ水溶液で現像するためにアルカリ可溶性の官能基を有することが好ましい。アルカリ可溶性の官能基とは、酸性を有する官能基であり、具体的には、フェノール性水酸基、カルボキシル基などが挙げられる。これらアルカリ可溶性基を(A)可溶性ポリイミドに導入するためには、下記一般式(5)で示されるジアミンの残基を含有することが好ましい。   The (A) soluble polyimide in the present invention preferably has an alkali-soluble functional group for development with an aqueous alkali solution. The alkali-soluble functional group is a functional group having acidity, and specific examples include a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group. In order to introduce these alkali-soluble groups into the (A) soluble polyimide, it is preferable to contain a diamine residue represented by the following general formula (5).

Figure 2011095355
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上記一般式(5)中、Yは、−CO−、−SO−、−O−、−S−、−CH−、−NHCO−、−C(CH−、−C(CF−、−COO−または単結合を示す。DおよびEはそれぞれ独立に、水酸基またはカルボキシル基を示す。 In the general formula (5), Y represents —CO—, —SO 2 —, —O—, —S—, —CH 2 —, —NHCO—, —C (CH 3 ) 2 —, —C (CF 3 ) 2- , -COO- or a single bond is shown. D and E each independently represent a hydroxyl group or a carboxyl group.

一般式(5)で示されるジアミンとしては、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシビフェニルなどのヒドロキシビフェニル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルメタン、2,2−ビス〔3−アミノ−4−ハイドロキシフェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−アミノ−3−ハイドロキシフェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−アミノ−4−ハイドロキシフェニル〕ヘキサフルオロプロパンなどのヒドロキシジフェニルアルカン化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルエーテルなどのヒドロキシジフェニルエーテル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルスルホンなどのヒドロキシジフェニルスルホン化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシジフェニルチオエーテル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルチオエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルチオエーテルなどのヒドロキシジフェニルチオエーテル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシジフェニルケトン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルケトン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルケトンなどのヒドロキシジフェニルケトン化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシジフェニルアミド、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルアミド、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルアミドなどのヒドロキシジフェニルアミド化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシジフェニルベンゾエート、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルベンゾエート、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルベンゾエートなどのヒドロキシジフェニルエステル化合物類などのフェノール性水酸基を有するジアミン、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタンなどのカルボキシル基を有するジアミンなどを挙げることができる。   Examples of the diamine represented by the general formula (5) include 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxybiphenyl, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxybiphenyl, and 4,4′-diamino. Hydroxybiphenyl compounds such as -2,2'-dihydroxybiphenyl, 3,3'-diamino-4,4'-dihydroxydiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-dihydroxydiphenylmethane, 4, 4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenylmethane, 2,2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-hydroxyphenyl] propane, 2, Hydroxydiphenylalkane compounds such as 2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] hexafluoropropane 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenyl ether, etc. Hydroxydiphenyl ether compounds, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylsulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenylsulfone, 4,4′-diamino-2,2 ′ -Hydroxydiphenylsulfone compounds such as dihydroxydiphenylsulfone, 3,3'-diamino-4,4'-dihydroxydiphenylthioether, 4,4'-diamino-3,3'-dihydroxydiphenylthioether, 4,4 '-Diamino-2,2'-dihydroxydiphenylthio Hydroxydiphenyl thioether compounds such as ether, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl ketone, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl ketone, 4,4′-diamino- Hydroxydiphenyl ketone compounds such as 2,2'-dihydroxydiphenyl ketone, 3,3'-diamino-4,4'-dihydroxydiphenylamide, 4,4'-diamino-3,3'-dihydroxydiphenylamide Hydroxydiphenylamide compounds such as 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenylamide, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylbenzoate, 4,4′-diamino-3 , 3′-dihydroxydiphenylbenzoate, 4,4′-diamino-2, Examples include diamines having a phenolic hydroxyl group such as hydroxydiphenyl ester compounds such as 2'-dihydroxydiphenylbenzoate, and diamines having a carboxyl group such as 3,3'-dicarboxy-4,4'-diaminodiphenylmethane. it can.

上記一般式(5)で示されるジアミンの残基の含有量は、アルカリ水溶液に対する現像性をより向上させ、解像度をより向上させる観点から、全ジアミン残基中5mol%以上が好ましく、10mol%以上がより好ましい。一方、現像による膜減りを低減する観点から、80mol%以下が好ましく、50mol%以下がより好ましい。   The content of the diamine residue represented by the general formula (5) is preferably 5 mol% or more, and preferably 10 mol% or more in the total diamine residues from the viewpoint of further improving the developability with respect to the alkaline aqueous solution and further improving the resolution. Is more preferable. On the other hand, from the viewpoint of reducing film loss due to development, it is preferably at most 80 mol%, more preferably at most 50 mol%.

本発明における(A)可溶性ポリイミドは、上記ジアミン残基の他に、本発明の効果を損なわない程度に他のジアミン残基を含有していてもよい。例えば、1,4−ジアミノベンゼン、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−ジアミノトルエン、1,4−ジアミノ−2,5−ジハロゲノベンゼンなどのベンゼン環1個を含むジアミン類、ビス(4−アミノフェニル)エ−テル、ビス(3−アミノフェニル)エ−テル、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)メタン、ビス(3−アミノフェニル)メタン、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノフェニル)スルフィド、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、o−ジアニシジン、o−トリジン、トリジンスルホン酸類などのベンゼン環2個を含むジアミン類、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、α,α’−ビス(4−アミノフェニル)−1,4−ジイソプロピルベンゼン、α,α’−ビス(4−アミノフェニル)−1,3−ジイソプロピルベンゼンなどのベンゼン環3個を含むジアミン類、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、4,4’−(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、5,10−ビス(4−アミノフェニル)アントラセンなどのベンゼン環4個以上を含むジアミン類などの残基が挙げられる。   The (A) soluble polyimide in the present invention may contain other diamine residues to the extent that the effects of the present invention are not impaired in addition to the above diamine residues. For example, diamines containing one benzene ring such as 1,4-diaminobenzene, 1,3-diaminobenzene, 2,4-diaminotoluene, 1,4-diamino-2,5-dihalogenobenzene, bis (4 -Aminophenyl) ether, bis (3-aminophenyl) ether, bis (4-aminophenyl) sulfone, bis (3-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) methane, bis (3- Aminophenyl) methane, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (3-aminophenyl) sulfide, 2,2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2-bis (3-aminophenyl) propane, 2 , 2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, o-dianisidine, o-tolidine, tolidinesulfonic acids and the like Diamines containing two rings, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl) benzene, 1,4 -Bis (3-aminophenyl) benzene, α, α'-bis (4-aminophenyl) -1,4-diisopropylbenzene, α, α'-bis (4-aminophenyl) -1,3-diisopropylbenzene, etc. Diamines containing three benzene rings, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2, 2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 4,4 ′-(4-aminophenoxy) biphenyl, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluore And residues such as diamines containing 4 or more benzene rings such as 5,10-bis (4-aminophenyl) anthracene.

(A)可溶性ポリイミドにおける各ジアミン残基の構造と含有量は、フーリエ変換赤外分光光度計による分析や、ポリイミドを酸や塩基で分解してガスクロマトグラフ質量分析計で分析するなどの公知の方法により、ポリイミドの繰り返し単位構造を分析することにより求めることができる。   (A) The structure and content of each diamine residue in the soluble polyimide are known methods such as analysis with a Fourier transform infrared spectrophotometer, or analysis with a gas chromatograph mass spectrometer after decomposing polyimide with an acid or base. Can be obtained by analyzing the repeating unit structure of polyimide.

本発明における(A)可溶性ポリイミドの酸無水物残基を構成するテトラカルボン酸二無水物としては、例えば、無水ピロメリット酸(PMDA)、オキシジフタル酸二無水物(ODPA)、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物(DSDA)、4,4’−(ヘキサフロロイソプロピリデン)ジフタル酸二無水物(6FDA)、2,2’−ビス[(ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物(BSAA)などが挙げられる。   Examples of the tetracarboxylic dianhydride constituting the acid anhydride residue of the soluble polyimide (A) in the present invention include, for example, pyromellitic anhydride (PMDA), oxydiphthalic dianhydride (ODPA), 3, 3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA), 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetra Carboxylic dianhydride (DSDA), 4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic dianhydride (6FDA), 2,2′-bis [(dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride (BSAA) Etc.

また、(A)可溶性ポリイミドの末端の少なくとも一部がアニリン誘導体またはジカルボン酸無水物で封止されていることが好ましい。これにより(A)可溶性ポリイミドの重量平均分子量を適切な範囲に容易に調整することができる。また、末端官能基の架橋による粘度の向上を抑制することが期待される。アニリン誘導体としては、2−アミノ安息香酸、3−アミノ安息香酸、4−アミノ安息香酸、4−アミノサリチル酸、5−アミノサリチル酸、6−アミノサリチル酸、2−アミノベンゼンスルホン酸、3−アミノベンゼンスルホン酸、4−アミノベンゼンスルホン酸、2−アミノフェノール、3−アミノフェノール、4−アミノフェノール、2−アミノチオフェノール、3−アミノチオフェノール、4−アミノチオフェノール等が好ましい。ジカルボン酸無水物としては、マレイン酸無水物、フタル酸無水物、ナジック酸無水物、シクロヘキサンジカルボン酸無水物、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物、1,2−ジカルボキシナフタレン無水物、3−ヒドロキシフタル酸無水物などが好ましい。   Moreover, it is preferable that (A) at least a part of the terminal of the soluble polyimide is sealed with an aniline derivative or a dicarboxylic acid anhydride. Thereby, the weight average molecular weight of (A) soluble polyimide can be easily adjusted to an appropriate range. In addition, it is expected to suppress an increase in viscosity due to crosslinking of the terminal functional group. Examples of aniline derivatives include 2-aminobenzoic acid, 3-aminobenzoic acid, 4-aminobenzoic acid, 4-aminosalicylic acid, 5-aminosalicylic acid, 6-aminosalicylic acid, 2-aminobenzenesulfonic acid, 3-aminobenzenesulfone. Acid, 4-aminobenzenesulfonic acid, 2-aminophenol, 3-aminophenol, 4-aminophenol, 2-aminothiophenol, 3-aminothiophenol, 4-aminothiophenol and the like are preferable. As dicarboxylic acid anhydride, maleic acid anhydride, phthalic acid anhydride, nadic acid anhydride, cyclohexane dicarboxylic acid anhydride, 5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid anhydride, 1,2-dicarboxynaphthalene anhydride , 3-hydroxyphthalic anhydride and the like are preferable.

本発明に用いられる(A)可溶性ポリイミドの合成方法は特に限定されず、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物を用いて、公知の方法で合成される。例えば、低温中でテトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物(一部をアニリン誘導体に置換してもよい)を反応させる方法、テトラカルボン酸二無水物とアルコールとの反応によりジエステルを得、その後縮合剤の存在下でジアミン(一部をアニリン誘導体に置換してもよい)と反応させる方法、テトラカルボン酸二無水物とアルコールとの反応によりジエステルを得、その後残りの2つのカルボキシル基を酸クロリド化し、ジアミン(一部をアニリン誘導体に置換してもよい)と反応させる方法などを利用して、ポリイミド前駆体を得る。得られたポリイミド前駆体を、公知の方法を用いてイミド閉環することにより、ポリイミドを得ることができる。   The method for synthesizing the soluble polyimide (A) used in the present invention is not particularly limited, and is synthesized by a known method using diamine and tetracarboxylic dianhydride. For example, a method of reacting a tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound (some of which may be substituted with an aniline derivative) at low temperature, a diester obtained by reaction of a tetracarboxylic dianhydride and an alcohol, and then condensation By reacting with diamine (partially substituted with aniline derivative) in the presence of an agent, reaction with tetracarboxylic dianhydride and alcohol to obtain a diester, and then converting the remaining two carboxyl groups to acid chloride And a polyimide precursor is obtained using a method of reacting with diamine (a part of which may be substituted with an aniline derivative). A polyimide can be obtained by carrying out imide ring closure of the obtained polyimide precursor using a well-known method.

本発明の感光性樹脂組成物は、(B)下記一般式(2)で示される光重合性化合物を含有する。かかる光重合性化合物は、分子中に2個以上のアクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基またはアルケニル基を有する繰り返し数1〜20の鎖状または環状のホスファゼン化合物である。ホスファゼン基を有することにより、硬化後の感光性樹脂組成物の難燃性を飛躍的に向上させることができる。   The photosensitive resin composition of the present invention contains (B) a photopolymerizable compound represented by the following general formula (2). Such a photopolymerizable compound is a linear or cyclic phosphazene compound having 1 to 20 repeating units having two or more acryloyloxy groups, methacryloyloxy groups or alkenyl groups in the molecule. By having a phosphazene group, the flame retardancy of the cured photosensitive resin composition can be dramatically improved.

Figure 2011095355
Figure 2011095355

上記一般式(2)中、bは1以上20以下の範囲を示す。繰り返し数bは2以上が好ましく、リン濃度を高くして硬化後の難燃性をより向上させることができる。3以上がより好ましい。また、アルカリ水溶液に対する現像性をより向上させ、解像度をより向上させる観点からは20以下であり、10以下が好ましい。   In said general formula (2), b shows the range of 1-20. The number of repetitions b is preferably 2 or more. The flame retardancy after curing can be further improved by increasing the phosphorus concentration. 3 or more is more preferable. Moreover, it is 20 or less from a viewpoint which improves the developability with respect to aqueous alkali solution, and improves the resolution more, and 10 or less is preferable.

上記一般式(2)中、RおよびRはそれぞれ独立に、アクリロイルオキシフェニル基、炭素数4以上20以下のアクリロイルオキシアルキル基、メタクリロイルオキシフェニル基、炭素数5以上20以下のメタクリロイルオキシアルキル基、炭素数3以上20以下のアルケニル基または炭素数8以上30以下のアルケニルアリール基を示す。なお、アクリロイルオキシアルキル基およびメタクリロイルオキシアルキル基の炭素数は、アクリロイルオキシ基またはメタクリロイルオキシ基とアルキル基の総炭素数を指す。bが2以上の場合、複数のRおよびRはそれぞれ同じでも異なってもよい。 In the general formula (2), R 1 and R 2 are each independently an acryloyloxyphenyl group, an acryloyloxyalkyl group having 4 to 20 carbon atoms, a methacryloyloxyphenyl group, and a methacryloyloxyalkyl group having 5 to 20 carbon atoms. Group, an alkenyl group having 3 to 20 carbon atoms or an alkenyl aryl group having 8 to 30 carbon atoms. In addition, the carbon number of an acryloyloxyalkyl group and a methacryloyloxyalkyl group refers to the total carbon number of an acryloyloxy group or a methacryloyloxy group and an alkyl group. When b is 2 or more, the plurality of R 1 and R 2 may be the same or different.

炭素数3以上20以下のアルケニル基としては、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、ペンチニル基、ヘキシニル基などが挙げられる。炭素数8以上30以下のアルケニルアリール基としては、フェニルプロペニル基、フェニルブテニル基、フェニルペンチニル基やトリルプロペニル基、トリルブテニル基、トリルペンチニル基などが挙げられる。アルカリ水溶液に対する現像性をより向上させ、解像度をより向上させる観点から、炭素数4以上20以下のアクリロイルオキシアルキル基および炭素数5以上20以下のメタクリロイルオキシアルキル基が好ましい。   Examples of the alkenyl group having 3 to 20 carbon atoms include a propenyl group, an isopropenyl group, a butenyl group, a pentynyl group, and a hexynyl group. Examples of the alkenylaryl group having 8 to 30 carbon atoms include phenylpropenyl group, phenylbutenyl group, phenylpentynyl group, tolylpropenyl group, tolylbutenyl group, and tolylpentynyl group. From the viewpoint of further improving developability for an aqueous alkali solution and further improving resolution, an acryloyloxyalkyl group having 4 to 20 carbon atoms and a methacryloyloxyalkyl group having 5 to 20 carbon atoms are preferable.

(B)上記一般式(2)で示される光重合性化合物として、アクリロイルオキシ基を有するPPZ(共栄社化学(株)製)が挙げられる。   (B) Examples of the photopolymerizable compound represented by the general formula (2) include PPZ having an acryloyloxy group (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.).

本発明の感光性樹脂組成物において、(B)上記一般式(2)で表される光重合性化合物の含有量は、リン濃度を高くして難燃性をより向上させる観点から、(A)可溶性ポリイミド100重量部に対して5重量部以上が好ましい。また、アルカリ水溶液に対する現像性をより向上させ、解像度をより向上させる観点から、50重量部以下が好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, (B) the content of the photopolymerizable compound represented by the general formula (2) is (A) from the viewpoint of further improving the flame retardancy by increasing the phosphorus concentration. ) 5 parts by weight or more is preferable with respect to 100 parts by weight of the soluble polyimide. Moreover, 50 weight part or less is preferable from a viewpoint of improving the developability with respect to aqueous alkali solution, and improving the resolution more.

また、本発明の感光性樹脂組成物は、前記(B)以外の光重合性化合物を含有してもよい。光重合性化合物は、分子内に不飽和二重結合を少なくとも1つ有する化合物が好ましい。例えば、ビニル基、(メタ)アクリロイル基を有する化合物が挙げられる。ここで、(メタ)アクリロイル基とは、アクリロイル基とメタクリロイル基の総称を示す。   Moreover, the photosensitive resin composition of this invention may contain photopolymerizable compounds other than the said (B). The photopolymerizable compound is preferably a compound having at least one unsaturated double bond in the molecule. For example, the compound which has a vinyl group and a (meth) acryloyl group is mentioned. Here, the (meth) acryloyl group is a generic name for an acryloyl group and a methacryloyl group.

前記(B)以外の光重合性化合物として、例えば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、1,2−プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジ(1,2−プロピレングリコール)ジ(メタ)アクリレート、トリ(1,2−プロピレングリコール)ジ(メタ)アクリレート、テトラ(1,2−プロピレングリコール)ジ(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、ジエチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、1,3−(メタ)アクリロイルオキシ−2−ヒドロキシプロパン、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリロイルフォスフェート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミド、エチレングリコールモノアクリレート、ジプロピレングリコールモノアクリレート、N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、エポキシ変性(メタ)アクリル樹脂、ウレタン変性(メタ)アクリル樹脂、ポリエステル変性(メタ)アクリル樹脂などが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。   Examples of photopolymerizable compounds other than (B) include ethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, Methylolpropane tri (meth) acrylate, 1,2-propylene glycol di (meth) acrylate, di (1,2-propylene glycol) di (meth) acrylate, tri (1,2-propylene glycol) di (meth) acrylate, Tetra (1,2-propylene glycol) di (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, diethylaminoethyl (meth) acrylate, dimethylaminopropyl (meth) acrylate, diethylaminopropyl (meth) Acrylate, urethane (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 1 , 3- (meth) acryloyloxy-2-hydroxypropane, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tetramethylolpropane tetra (meth) acrylate, 2 -Hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, 2-hydroxyethyl (meth) acryloyl phosphate, (meth) acrylamide, -Methylol (meth) acrylamide, N-methoxymethyl acrylamide, N-ethoxymethyl acrylamide, ethylene glycol monoacrylate, dipropylene glycol monoacrylate, N, N-dimethylaminoethyl acrylate, epoxy-modified (meth) acrylic resin, urethane-modified ( Examples thereof include a (meth) acrylic resin and a polyester-modified (meth) acrylic resin. Two or more of these may be contained.

これらの中でも、ポリエチレングリコールジアクリレートとウレタンアクリレートが好ましい。ポリエチレングリコールジアクリレートは、アルカリ水溶液に対する現像性をより向上させ、解像度をより高くすることができる。ウレタンアクリレートは、硬化後の応力をより低減することができる。   Among these, polyethylene glycol diacrylate and urethane acrylate are preferable. Polyethylene glycol diacrylate can further improve developability with respect to an alkaline aqueous solution, and can further increase the resolution. Urethane acrylate can further reduce the stress after curing.

ポリエチレングリコールジアクリレートとしては、例えば、“アロニックス(登録商標)”M−245、M315、M450(以上、商品名、東亞合成(株)製)などが挙げられる。ウレタンアクリレートとしては、例えば、CN981、CN982E75、CN982P90、CN966J75、CN9001(以上、商品名、巴工業(株)製)などが挙げられる。   Examples of the polyethylene glycol diacrylate include “Aronix (registered trademark)” M-245, M315, and M450 (above, trade names, manufactured by Toagosei Co., Ltd.). Examples of the urethane acrylate include CN981, CN982E75, CN982P90, CN966J75, CN9001 (trade name, manufactured by Sakai Kogyo Co., Ltd.).

上記(B)以外の光重合性化合物の含有量は、現像による膜減りを低減する観点から、(A)可溶性ポリイミド100重量部に対して5重量部以上が好ましく、20重量部以上がより好ましい。一方、硬化後の耐熱性を向上させる観点から、150重量部以下が好ましく、100重量部以下がより好ましい。   The content of the photopolymerizable compound other than the above (B) is preferably 5 parts by weight or more, more preferably 20 parts by weight or more with respect to 100 parts by weight of the soluble polyimide (A) from the viewpoint of reducing film loss due to development. . On the other hand, from the viewpoint of improving the heat resistance after curing, 150 parts by weight or less is preferable, and 100 parts by weight or less is more preferable.

本発明の感光性樹脂組成物は、(C)光重合開始剤を含有する。(C)光重合開始剤としては、例えば、ミヒラーズケトン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’,4”−トリス(ジメチルアミノ)トリフェニルメタン、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ジイミダゾール、アセトフェノン、ベンゾイン、2−メチルベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2−t−ブチルアントラキノン、1,2−ベンゾ−9,10−アントラキノン、メチルアントラキノン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ジアセチルベンジル、ベンジルジメチルケタール、ベンジルジエチルケタール、2(2’−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2[2’(5”−メチルフリル)エチリデン]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、4,4’−ジアジドカルコン、ジ(テトラアルキルアンモニウム)−4,4’−ジアジドスチルベン−2,2’−ジスルフォネート、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−ケトン、ビス(n5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、1,2−オクタンジオン、1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、ヨードニウム、(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]−ヘキサフルオロフォスフェート(1−)、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−エチルヘキシル−4−ジメチルアミノベンゾエート、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)などが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、光感度の点で、オキシム系化合物が好ましい。例えば、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−ベンゾイル)オキシム、ビス(α−イソニトロソプロピオフェノンオキシム)イソフタル、“オプトマー(登録商標)”N1919(商品名、アデカ社製)、OXE02(商品名、チバスペシャリティケミカルズ社製)およびNCI−831(商品名、アデカ社製)などが挙げられ、OXE−02(チバ・ジャパン製)、“オプトマー”N1919、NCI−831((株)アデカ製)が好ましい。   The photosensitive resin composition of the present invention contains (C) a photopolymerization initiator. (C) Examples of the photopolymerization initiator include Michler's ketone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4 ′, 4 ″ -tris (dimethylamino) triphenylmethane, 2,2′-bis (2 -Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-diimidazole, acetophenone, benzoin, 2-methylbenzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-t-butylanthraquinone, 1,2-benzo-9,10-anthraquinone, methylanthraquinone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, diacetylbenzyl, Dildimethyl ketal, benzyl diethyl ketal, 2 (2′-furylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 [2 ′ (5 ″ -methylfuryl) ethylidene] -4,6-bis (Trichloromethyl) -S-triazine, 2 (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-methylcyclohexanone, 4,4 '-Diazidochalcone, di (tetraalkylammonium) -4,4'-diazidostilbene-2,2'-disulfonate, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 1-hydroxy- Cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2 Hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2- Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2, 4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-ketone, bis (n5-2, 4-cyclopentadien-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -fur Enyl) titanium, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], iodonium, (4-methylphenyl) [4- (2-methylpropyl) phenyl] -Hexafluorophosphate (1-), ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl-4-dimethylaminobenzoate, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole- 3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and the like. Two or more of these may be contained. Among these, oxime compounds are preferable in terms of photosensitivity. For example, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), 1-phenyl-1,2-propanedione- 2- (o-benzoyl) oxime, bis (α-isonitrosopropiophenone oxime) isophthal, “Optomer (registered trademark)” N1919 (trade name, manufactured by Adeka), OXE02 (trade name, manufactured by Ciba Specialty Chemicals) And NCI-831 (trade name, manufactured by Adeka) and the like, OXE-02 (manufactured by Ciba Japan), “Optomer” N1919, and NCI-831 (manufactured by Adeka) are preferable.

本発明の感光性樹脂組成物において、(C)光重合開始剤光重合開始剤の含有量は、(A)可溶性ポリイミド100重量部に対して0.1〜40重量部が好ましい。光重合開始剤を2種以上含有する場合は、その総量がこの範囲であることが好ましい。前記範囲内で、選択する光重合開始剤の種類に応じてその含有量を適宜選択することができる。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the content of the (C) photopolymerization initiator photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 40 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (A) soluble polyimide. When two or more photopolymerization initiators are contained, the total amount is preferably within this range. Within the above range, the content can be appropriately selected according to the type of photopolymerization initiator to be selected.

本発明の感光性樹脂組成物は、さらに(D)熱硬化剤を含むことが好ましい。これにより感光性樹脂組成物の硬化後の靭性を向上させ、耐折れ性を向上させることができる。(D)熱硬化剤としては、エポキシ化合物、ビスマレイミド化合物、イソシアネート化合物およびブロックイソシアネート化合物などが挙げられる。これらの中でも、架橋反応による靭性向上の観点から、エポキシ化合物が好ましい。解像度をより向上させ、さらに保護膜として用いる際に積層体の反りを低減する観点から、下記一般式(3)で示される化合物がより好ましい。   The photosensitive resin composition of the present invention preferably further contains (D) a thermosetting agent. Thereby, the toughness after hardening of the photosensitive resin composition can be improved, and folding resistance can be improved. (D) As a thermosetting agent, an epoxy compound, a bismaleimide compound, an isocyanate compound, a block isocyanate compound, etc. are mentioned. Among these, an epoxy compound is preferable from the viewpoint of improving toughness by a crosslinking reaction. From the viewpoint of further improving the resolution and reducing the warpage of the laminate when used as a protective film, a compound represented by the following general formula (3) is more preferable.

Figure 2011095355
Figure 2011095355

上記一般式(3)中、nおよびmはそれぞれ独立に、0以上の整数を示す。ただし、1≦n+m≦10である。xは1以上5以下の整数を示す。   In the general formula (3), n and m each independently represent an integer of 0 or more. However, 1 ≦ n + m ≦ 10. x represents an integer of 1 to 5.

上記一般式(4)で表されるエポキシ化合物は、分子内に2個のエポキシ基と、アルキレンオキサイド(−C2xO−)を有する化合物である。エポキシ基を有することにより、感光性樹脂組成物の硬化後の架橋密度を向上させることができ、靭性が向上して耐折れ性を向上させることができる。さらに、アルキレンオキサイド(−C2xO−)を有することにより、親水性が向上してアルカリ水溶液に対する現像性がより向上し、解像度がより向上する。アルキレンオキサイドの繰り返し数m+nは3以上が好ましい。また、硬化後の架橋密度をより向上させ、耐折れ性を向上させる観点から、m+nは10以下であり、7以下が好ましい。アルキレンオキサイドとしては、(−CHCHO−)で表されるエチレンオキサイド、(−OCHCH(CH)−)や(−CHCHCHO−)で表されるプロピレンオキサイドなどを挙げることができる。前記一般式(3)で示されるエポキシ化合物として、“アデカレジン(登録商標)”EP−4000S、EP−4003S((株)アデカ製)、BEO−60E、BPO−20E(新日本理化(株)製)などを挙げることができる。これらを2種以上含有してもよい。 The epoxy compound represented by the general formula (4) is a compound having two epoxy groups and alkylene oxide (—C x H 2x O—) in the molecule. By having an epoxy group, the crosslinking density after hardening of the photosensitive resin composition can be improved, toughness can be improved, and folding resistance can be improved. Further, by having an alkylene oxide (-C x H 2x O-), with improved hydrophilicity and improved developability in an alkali aqueous solution, the resolution is further improved. The repeating number m + n of alkylene oxide is preferably 3 or more. Moreover, m + n is 10 or less, and 7 or less is preferable from a viewpoint of improving the crosslinking density after hardening more and improving folding resistance. The alkylene oxide, - ethylene oxide represented by (CH 2 CH 2 O-), (- OCH 2 CH (CH 3) -) and propylene oxide represented by (-CH 2 CH 2 CH 2 O- ) And so on. As the epoxy compound represented by the general formula (3), “ADEKA RESIN (registered trademark)” EP-4000S, EP-4003S (manufactured by ADEKA Corporation), BEO-60E, BPO-20E (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.) ) And the like. Two or more of these may be contained.

(D)熱硬化剤として、上記一般式(3)以外のエポキシ化合物を含有してもよい。例えば、商品名エピコート828、834、1001、1002、1003、1004、1005、1007、1010、1100L(油化シェル(株))等のビスフェノールA型エポキシ化合物、商品名エピコートESCN−220L、220F、220H、220HH、180H65(油化シェル(株))等のo−クレゾールノボラック型エポキシ化合物、商品名エピコート1032H60(油化シェル(株))やEPPN−502H(日本化薬(株))等のノボラック型エポキシ化合物、商品名ESN−375、ESN−185(新日鉄化学(株))等のナフタレンアラルキルノボラック型エポキシ化合物、商品名YX4000H(油化シェル(株))等のビフェノール型エポキシ化合物、ビスフェノールAグリシジルエーテル型エポキシ化合物、ビスフェノールFグリシジルエーテル型エポキシ化合物、ノボラックグリシジルエーテル型エポキシ化合物、グリシジルエステル型エポキシ化合物、グリシジルアミン型エポキシ化合物、環状脂肪族エポキシ化合物、芳香族型エポキシ化合物などを挙げることができる。   (D) As a thermosetting agent, you may contain epoxy compounds other than the said General formula (3). For example, bisphenol A type epoxy compounds such as trade name Epicoat 828, 834, 1001, 1002, 1003, 1004, 1005, 1007, 1010, 1100L (Oka Shell Co., Ltd.), trade name Epicoat ESCN-220L, 220F, 220H , 220HH, 180H65 (Oka Shell Co., Ltd.) and other o-cresol novolak type epoxy compounds, trade names such as Epicoat 1032H60 (Oka Chemical Shell Co., Ltd.) and EPPN-502H (Nippon Kayaku Co., Ltd.) Epoxy compounds, naphthalene aralkyl novolak type epoxy compounds such as trade names ESN-375 and ESN-185 (Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), biphenol type epoxy compounds such as trade name YX4000H (Oilized Shell Co., Ltd.), bisphenol A glycidyl ether Type epoch Shi compounds, bisphenol F glycidyl ether type epoxy compounds, novolak glycidyl ether type epoxy compounds, glycidyl ester type epoxy compounds, glycidyl amine type epoxy compounds, cycloaliphatic epoxy compounds, and the like aromatic epoxy compound.

(D)熱硬化剤の含有量は、(A)可溶性ポリイミド100重量部に対して0.1重量部以上が好ましい。耐折れ性をより向上させる観点から、5重量部以上がより好ましい。また、100重量部以下が好ましく、アルカリ水溶液に対する現像性をより向上させ、解像度をより向上させる観点から、50重量以下がより好ましい。   (D) As for content of a thermosetting agent, 0.1 weight part or more is preferable with respect to 100 weight part of (A) soluble polyimide. From the viewpoint of further improving the folding resistance, 5 parts by weight or more is more preferable. Moreover, 100 weight part or less is preferable and 50 weight or less is more preferable from a viewpoint which improves the developability with respect to alkaline aqueous solution, and improves a resolution more.

本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて難燃剤、消泡剤、充填剤、レベリング剤、重合禁止剤等の各種添加剤を含有してもよい。充填剤としては、シリカ、タルク、硫酸バリウム、ワラストナイト、炭酸カルシウムなどの無機充填剤、有機ポリマー充填剤などを挙げることができる。具体的には、SOE2、SOE3(以上、商品名、(株)アドマテックス製)、HE5(商品名、竹原化学工業(株)製)、SG−95、D−1000、D−800、D−600(以上、商品名、日本タルク(株)製)、B−30、B−35、BF21、BF40(以上、商品名、堺化学工業(株)製)などが挙げられる。充填剤の含有量は、(A)可溶性ポリイミド100重量部に対して10〜40重量部が好ましい。   The photosensitive resin composition of this invention may contain various additives, such as a flame retardant, an antifoamer, a filler, a leveling agent, a polymerization inhibitor, as needed. Examples of the filler include inorganic fillers such as silica, talc, barium sulfate, wollastonite, and calcium carbonate, and organic polymer fillers. Specifically, SOE2, SOE3 (above, trade name, manufactured by Admatechs Co., Ltd.), HE5 (trade name, manufactured by Takehara Chemical Industry Co., Ltd.), SG-95, D-1000, D-800, D- 600 (above, trade name, manufactured by Nippon Talc Co., Ltd.), B-30, B-35, BF21, BF40 (above, trade name, manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.). As for content of a filler, 10-40 weight part is preferable with respect to 100 weight part of (A) soluble polyimide.

本発明の感光性樹脂組成物は、溶媒を含有することが好ましい。溶媒としては、N−メチルピロリドン(NMP)、γ−ブチロラクトン(γ−BL)、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシドなどが挙げられる。   The photosensitive resin composition of the present invention preferably contains a solvent. Examples of the solvent include N-methylpyrrolidone (NMP), γ-butyrolactone (γ-BL), N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide and the like.

本発明の感光性樹脂組成物は、前記(A)〜(C)および必要によりその他の成分を混合することにより得ることができる。混合方法としては、例えば、3本ロール、ビーズミル装置等の一般的な混練装置により混練する方法や、一般的な撹拌装置により撹拌する方法を挙げることができる。   The photosensitive resin composition of this invention can be obtained by mixing said (A)-(C) and another component as needed. Examples of the mixing method include a method of kneading with a general kneading device such as a three roll or bead mill device, and a method of stirring with a general stirring device.

次に、本発明の感光性樹脂組成物を用いて、硬化膜を形成する方法について例を挙げて説明する。   Next, an example is given and demonstrated about the method of forming a cured film using the photosensitive resin composition of this invention.

まず、感光性樹脂組成物をスクリーン印刷、カーテンロール、リバースロール、スプレーコーティング、スピンナーを利用した回転塗布等により基材表面に塗布し、乾燥する。塗布膜の厚みは5μm〜100μmが好ましく、10μm〜50μmがより好ましい。塗布膜の乾燥方法としては、120℃以下の温度で加熱することが好ましく、50〜100℃の温度で加熱することがより好ましい。なお、乾燥を速やかに行うため、熱風を送風することが好ましい。   First, the photosensitive resin composition is applied to the substrate surface by screen printing, curtain roll, reverse roll, spray coating, spin coating using a spinner, and the like, and dried. The thickness of the coating film is preferably 5 μm to 100 μm, more preferably 10 μm to 50 μm. As a drying method of a coating film, it is preferable to heat at the temperature of 120 degrees C or less, and it is more preferable to heat at the temperature of 50-100 degreeC. In addition, in order to dry quickly, it is preferable to blow hot air.

次に、露光およびアルカリ現像を行い、パターンを形成する。例えば、乾燥塗布膜にネガ型のフォトマスクを置き、紫外線、可視光線、電子線、レーザー光線などの活性光線を照射する。露光量は50〜1000mJ/cmが好ましく、50〜400mJ/cmがより好ましい。露光は窒素下で行ってもよく、減圧下で行うことが好ましい。なお、光照射部をより硬化させるため、露光後に加熱処理を施してもよい。アルカリ現像とは、シャワー、パドル、浸漬または超音波等の方法により露光後の塗布膜にアルカリ溶液を接触させ、未硬化部を除去することである。アルカリ現像によって形成したパターンを、リンス処理して不要な残分を除去することが好ましい。リンス液としては、水や酸性水溶液などが挙げられる。 Next, exposure and alkali development are performed to form a pattern. For example, a negative photomask is placed on the dry coating film and irradiated with actinic rays such as ultraviolet rays, visible rays, electron beams, and laser beams. Exposure is preferably 50~1000mJ / cm 2, more preferably 50~400mJ / cm 2. The exposure may be performed under nitrogen and is preferably performed under reduced pressure. In addition, in order to harden a light irradiation part more, you may heat-process after exposure. Alkali development is to remove an uncured portion by bringing an alkaline solution into contact with the coating film after exposure by a method such as shower, paddle, immersion, or ultrasonic wave. It is preferable to remove unnecessary residues by rinsing the pattern formed by alkali development. Examples of the rinsing liquid include water and acidic aqueous solutions.

アルカリ水溶液としては、炭酸ナトリウム水溶液やテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)水溶液などが好ましく用いられる。アルカリ溶液の温度は10〜40℃が好ましく、20〜35℃がより好ましい。また、エッチング液の噴霧圧力は0.05〜3.0MPaが好ましく、特に好ましくは、0.1〜2MPaである。   As the alkaline aqueous solution, a sodium carbonate aqueous solution or a tetramethylammonium hydroxide (TMAH) aqueous solution is preferably used. The temperature of the alkaline solution is preferably 10 to 40 ° C, and more preferably 20 to 35 ° C. Further, the spray pressure of the etching solution is preferably 0.05 to 3.0 MPa, particularly preferably 0.1 to 2 MPa.

次に、加熱処理を行うことにより、形成したパターンを硬化させる。加熱処理の温度は、硬化をより効率的に進める観点から、100℃以上が好ましく、120℃以上がより好ましい。一方、フレキシブルプリント基板の保護膜として用いる場合には、配線の酸化劣化を抑制する観点から、250℃以下が好ましく、200℃以下がより好ましい。また、加熱処理をアルゴン、窒素、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気下で行ってもよく、酸素による酸化劣化を抑制することができる。   Next, the formed pattern is cured by heat treatment. The temperature of the heat treatment is preferably 100 ° C. or higher, more preferably 120 ° C. or higher, from the viewpoint of more efficiently proceeding curing. On the other hand, when used as a protective film of a flexible printed circuit board, from the viewpoint of suppressing oxidative deterioration of wiring, 250 ° C. or lower is preferable, and 200 ° C. or lower is more preferable. Further, the heat treatment may be performed in an inert gas atmosphere such as argon, nitrogen, helium, or the like, and oxidation deterioration due to oxygen can be suppressed.

本発明の感光性樹脂組成物は、感光性カバーレイとして好ましく用いられる。本発明の感光性樹脂組成物を感光性カバーレイとして用いる例として、フレキシブルプリント基板上に本発明の感光性樹脂組成物を硬化させてなる保護膜を有する積層体について説明する。フレキシブルプリント基板の基材としては、銅などの金属配線パターンが形成されたポリイミドフィルムが一般的に用いられる。金属配線パターンの厚みは、9〜18μmが一般的である。保護膜の厚みは、フレキシブルプリント基板の配線パターンの厚み以上、配線パターンの2倍以下程度が一般的であり、10〜20μmが好ましい。   The photosensitive resin composition of the present invention is preferably used as a photosensitive coverlay. As an example of using the photosensitive resin composition of the present invention as a photosensitive coverlay, a laminate having a protective film formed by curing the photosensitive resin composition of the present invention on a flexible printed board will be described. As the base material of the flexible printed board, a polyimide film on which a metal wiring pattern such as copper is formed is generally used. As for the thickness of a metal wiring pattern, 9-18 micrometers is common. The thickness of the protective film is generally not less than the thickness of the wiring pattern of the flexible printed board and not more than twice the thickness of the wiring pattern, preferably 10 to 20 μm.

次に、本発明の積層体の製造方法について、例を挙げて説明する。まず、感光性樹脂組成物をフレキシブルプリント基板上に塗布し、乾燥する。塗布方法はスクリーン印刷法が好ましい。次に、所定のパターンのマスクを介して露光する。露光には超高圧水銀灯が好ましく用いられる。さらに、現像、硬化処理を行うことにより、配線保護膜を有する積層体を得ることができる。   Next, an example is given and demonstrated about the manufacturing method of the laminated body of this invention. First, the photosensitive resin composition is applied on a flexible printed board and dried. The coating method is preferably a screen printing method. Next, it exposes through the mask of a predetermined pattern. An ultrahigh pressure mercury lamp is preferably used for exposure. Furthermore, the laminated body which has a wiring protective film can be obtained by developing and hardening processing.

以下本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明にはこれらの実施例により限定されるものではない。なお、各実施例において略号で示した原料の詳細を以下に示す。
<ポリイミド合成原料>
PMDA:無水ピロメリット酸無水物(ダイセル化学(株)製)
OPDA:4,4’−オキシジフタル酸二無水物(マナック(株)製)
MBAA:3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン(和歌山精化工業(株)製)
D−400:ポリオキシプロピレンジアミン(BASF社製、商品名“D−400” 一般式(2)のa=5.6)
SiDA:ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(信越化学(株)製)
ABPS:3,3’−ジアミノ−4,4’−ジハイドロキシジフェニルスルホン(AZエレクトロニックマテリアルズ(株)製)
3Ap:3−アミノフェノール(東京化成(株)製)
<光重合性化合物>
PPZ:2,2,4,4,6,6−ヘキサ(2−(メタクリロイルオキシ)−エトキシ)−1,3,5−トリアザ−2,4,6−トリホスホリン(共栄社化学(株)製)
CN981:ウレタンアクリレートオリゴマー(サートマー・ジャパン(株)製)
M−245:ポリエチレングリコールジアクリレート(東亞合成(株)製、商品名“アロニックス(登録商標)”M−245)
<光重合開始剤>
NCI−831;光ラジカル重合開始剤((株)アデカ製、商品名“アデカアークルズ(登録商標)”NCI−831)
<エポキシ化合物>
EP−4003S:プロピレンオキサイド変性BisA型エポキシ樹脂((株)アデカ製、商品名“アデカレジン(登録商標)”EP−4003S、一般式(3)におけるm+n=5〜6、x=3)
EP−4000S:プロピレンオキサイド変性BisA型エポキシ樹脂((株)アデカ製、商品名“アデカレジン(登録商標)”EP−4000S、一般式(3)におけるm+n=1〜2、x=3)
850S:BisA型エポキシ樹脂(DIC(株)製、商品名“EPICLON(登録商標)”850S、一般式(3)におけるm+n=0)
<熱重合禁止剤>
HQME:ヒドロキノンモノメチルエーテル
<無機充填剤>
SG−95:タルク微粒子 平均粒子径2.5μm(日本タルク(株)製)
<レベリング剤>
L1983:“ディスパロン(登録商標)”L1983(楠本化成(株)製)
<難燃剤>
SPR−100:シクロホスファゼンオリゴマー難燃剤(大塚化学(株)製、商品名“SPR−100”)
<着色剤>
PB4920:青色顔料
<溶媒>
γ−BL:γ−ブチロラクトン 。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In addition, the detail of the raw material shown by the abbreviation in each Example is shown below.
<Polyimide synthetic raw material>
PMDA: pyromellitic anhydride (manufactured by Daicel Chemical Industries)
OPDA: 4,4′-oxydiphthalic dianhydride (manac)
MBAA: 3,3′-dicarboxy-4,4′-diaminodiphenylmethane (manufactured by Wakayama Seika Kogyo Co., Ltd.)
D-400: polyoxypropylene diamine (manufactured by BASF, trade name “D-400” a = 5.6 in the general formula (2))
SiDA: Bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
ABPS: 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl sulfone (manufactured by AZ Electronic Materials Co., Ltd.)
3Ap: 3-aminophenol (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
<Photopolymerizable compound>
PPZ: 2,2,4,4,6,6-hexa (2- (methacryloyloxy) -ethoxy) -1,3,5-triaza-2,4,6-triphosphorin (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)
CN981: Urethane acrylate oligomer (manufactured by Sartomer Japan, Inc.)
M-245: Polyethylene glycol diacrylate (trade name “Aronix (registered trademark)” M-245, manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
<Photopolymerization initiator>
NCI-831; photoradical polymerization initiator (manufactured by Adeka Co., Ltd., trade name "Adeka Arcles (registered trademark)" NCI-831)
<Epoxy compound>
EP-4003S: Propylene oxide modified BisA type epoxy resin (manufactured by Adeka Co., Ltd., trade name “Adeka Resin (registered trademark)” EP-4003S, m + n = 5-6 in general formula (3), x = 3)
EP-4000S: Propylene oxide-modified BisA type epoxy resin (manufactured by Adeka Co., Ltd., trade name “Adeka Resin (registered trademark)” EP-4000S, m + n = 1 to 2, x = 3 in the general formula (3))
850S: BisA type epoxy resin (manufactured by DIC Corporation, trade name “EPICLON (registered trademark)” 850S, m + n = 0 in the general formula (3))
<Thermal polymerization inhibitor>
HQME: Hydroquinone monomethyl ether <Inorganic filler>
SG-95: Talc fine particles Average particle size 2.5 μm (Nippon Talc Co., Ltd.)
<Leveling agent>
L1983: "Disparon (registered trademark)" L1983 (manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd.)
<Flame Retardant>
SPR-100: Cyclophosphazene oligomer flame retardant (trade name “SPR-100” manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd.)
<Colorant>
PB4920: Blue pigment <solvent>
γ-BL: γ-butyrolactone.

各実施例・比較例における評価方法を次に示す。   The evaluation method in each example and comparative example is shown below.

(1)重量平均分子量測定
ポリイミドをNMPに溶解した固形分濃度0.1重量%の溶液を用い、下に示す構成のGPC装置Waters2690(Waters(株)製)によりポリスチレン換算の重量平均分子量を算出した。GPC測定条件は、移動層をLiClとリン酸をそれぞれ濃度0.05mol/Lで溶解したNMPとし、展開速度を0.4ml/分とした。
検出器:Waters996
システムコントローラー:Waters2690
カラムオーブン:Waters HTR−B
サーモコントローラー:Waters TCM
カラム:TOSOH grard comn
カラム:THSOH TSK−GEL α−4000
カラム:TOSOH TSK−GEL α−2500 。
(1) Measurement of weight average molecular weight Using a solution having a solid content concentration of 0.1% by weight in which polyimide is dissolved in NMP, a weight average molecular weight in terms of polystyrene is calculated by a GPC apparatus Waters 2690 (manufactured by Waters Co., Ltd.) having the configuration shown below. did. GPC measurement conditions were such that the moving bed was NMP in which LiCl and phosphoric acid were each dissolved at a concentration of 0.05 mol / L, and the development rate was 0.4 ml / min.
Detector: Waters 996
System controller: Waters 2690
Column oven: Waters HTR-B
Thermo Controller: Waters TCM
Column: TOSOH grand comn
Column: THSOH TSK-GEL α-4000
Column: TOSOH TSK-GEL α-2500.

(2)イミド化率測定
ポリイミドをγ−BLに溶解した固形分濃度40〜25重量%の溶液を調製し、シリコンウエハーに膜厚3〜5μmになるようにスピンナーで塗布後、120℃で3分間熱処理した。その半分を、ホットプレートを用いて280℃で5分間熱処理し、完全にイミド基を閉環させた。120℃、280℃で熱処理したもののそれぞれについて、FT−IR(HORIBA製 FT−720)分析を行い、イミド基由来の吸収が現れる1366cm−1のピークの差によりイミド化率を算出した。
(2) Imidization rate measurement A solution having a solid concentration of 40 to 25% by weight obtained by dissolving polyimide in γ-BL was prepared and applied to a silicon wafer with a spinner so as to have a film thickness of 3 to 5 μm. Heat treated for minutes. Half of this was heat-treated at 280 ° C. for 5 minutes using a hot plate to completely close the imide group. About each of what heat-processed at 120 degreeC and 280 degreeC, the FT-IR (FT-720 made from HORIBA) analysis was performed, and the imidation ratio was computed by the difference of the peak of 1366cm < -1 > in which absorption derived from an imide group appears.

(3)硬化膜作製
スクリーン印刷機MEC−2400(三谷電子工業(株)製)、SUS製200メッシュ、乳剤厚さ20μm、50mm×50mmのスクリーン版を用いて、厚み15μmの銅箔(NA−VLP:三井金属製)上に、感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が20μmとなるように塗布した。ついで、熱風オーブンINH−21CD(光洋サーモシステム(株)製)を用いて、100℃で30分間熱処理を行った。その後、50×50mmの面積で50〜100μmのビアが100μmピッチで並んだネガ型フォトマスクを配して、超高圧水銀灯露光装置“PEM−6M”(ユニオン光学(株)製)を用いて、i線の積算露光量測定値で100mJ/cm全線露光した。その後、現像装置AD−1200(ミカサ製)を用い、液温30℃の1重量%炭酸ナトリウム水溶液を現像液として0.1MPaの吐出圧で2分間現像し、30秒間水洗した。ついで、熱風オーブンINH−21CD(光洋サーモシステム(株)製)を用いて、180℃で60分間熱処理を行い、感光性樹脂組成物を完全に硬化させて硬化膜を得た。
(3) Preparation of cured film Screen printing machine MEC-2400 (manufactured by Mitani Electronics Co., Ltd.), SUS 200 mesh, emulsion thickness 20 μm, 50 mm × 50 mm screen plate, 15 μm thick copper foil (NA- The photosensitive resin composition was applied onto VLP (made by Mitsui Kinzoku) so that the film thickness after drying was 20 μm. Subsequently, heat treatment was performed at 100 ° C. for 30 minutes using a hot air oven INH-21CD (manufactured by Koyo Thermo System Co., Ltd.). Thereafter, a negative photomask in which 50 to 50 μm vias with an area of 50 × 50 mm are arranged at a pitch of 100 μm is arranged, and an ultrahigh pressure mercury lamp exposure apparatus “PEM-6M” (manufactured by Union Optics) is used. 100 mJ / cm 2 full-line exposure was performed using the i-line integrated exposure dose measurement. Thereafter, using a developing device AD-1200 (manufactured by Mikasa), development was performed for 2 minutes at a discharge pressure of 0.1 MPa using a 1 wt% aqueous sodium carbonate solution having a liquid temperature of 30 ° C. as a developing solution, and washed with water for 30 seconds. Next, using a hot air oven INH-21CD (manufactured by Koyo Thermo System Co., Ltd.), heat treatment was performed at 180 ° C. for 60 minutes to completely cure the photosensitive resin composition to obtain a cured film.

(4)解像度評価
上記(3)記載の方法により得られた硬化膜の表面を光学顕微鏡で100倍に拡大して観察し、表面にくっきりとしたパターンが描けており、ビア底部に現像残りがない最小のビア径を解像度とした。100μm径ビアでも現像残りがある場合は×とした。
(4) Resolution evaluation The surface of the cured film obtained by the method described in (3) above is observed by magnifying it 100 times with an optical microscope, and a clear pattern is drawn on the surface. The smallest minimum via diameter was taken as the resolution. Even if a 100 μm diameter via is left undeveloped, it was marked as x.

(5)難燃性評価
難燃試験はUL94 V−0、V−1の試験規格にそって行った。厚み25μmのポリイミドフィルム“カプトン(登録商標)”100EN(東レ・デュポン(株)製)の両面に、感光性樹脂組成物を乾燥後厚みが各20μmになるように塗布して100℃で30分間乾燥した。ついで、超高圧水銀灯で100mJ/cm露光し、熱風オーブンを用いて180℃で60分間熱処理して、ポリイミドフィルムの両面に硬化膜を積層したサンプルを得た。このサンプルを長さ125mm×幅13mmにカットした試験片を5本用意した。これらの試験片を温度23℃、湿度50%RHで48時間放置した後、燃焼試験を実施した。試験片上部を6mmのところでクランプで止めて垂直に固定し、試験片下部にバーナーの炎を10秒間近づけて接炎した。10秒間経過したらバーナーの炎を遠ざけて、試験片の炎や燃焼が何秒後に消えるかを測定した。燃焼が30秒以内で止まった場合は、さらに試験片下部にバーナーの炎を10秒間接炎して、バーナーの炎を遠ざけた後、試験片の炎や燃焼が何秒後に消えるかを測定した。(i)試験片からバーナーの炎を遠ざけた後、10秒以上燃焼を続ける試料がない、(ii)5個の試験片に対する10回の接炎に対する総燃焼時間が50秒を超えない、(iii)クランプの位置まで燃焼する試験片がない、(iv)燃焼する粒子を落下させる試験片がない、(v)2回目の接炎の後、30秒以上赤熱を続ける試験片がない、の全てに該当した場合V−0とした。また、(vi)いずれの接炎の後も、30秒以上燃焼を続ける試験片がない、(vii)5個の試験片に対する10回の接炎に対する総燃焼時間が250秒を超えない、(iii)クランプの位置まで燃焼する試験片がない、(iv)燃焼する粒子を落下させる試験片がない、(viii)2回目の接炎の後、60秒以上赤熱を続ける試験片がない、の全てに該当した場合V−1とした。一方、30秒以上燃焼したり、クランプの位置まで燃焼した場合は不合格とした。
(5) Flame retardancy evaluation The flame retardancy test was performed in accordance with UL94 V-0 and V-1 test standards. The photosensitive resin composition was applied to both sides of a 25 μm-thick polyimide film “Kapton (registered trademark)” 100EN (manufactured by Toray DuPont Co., Ltd.) so that the thickness would be 20 μm after drying, and 30 minutes at 100 ° C. Dried. Subsequently, 100 mJ / cm < 2 > exposure was carried out with the ultra high pressure mercury lamp, and it heat-processed for 60 minutes at 180 degreeC using the hot air oven, and obtained the sample which laminated | stacked the cured film on both surfaces of the polyimide film. Five test pieces were prepared by cutting this sample into a length of 125 mm and a width of 13 mm. These test pieces were allowed to stand for 48 hours at a temperature of 23 ° C. and a humidity of 50% RH, and then a combustion test was performed. The upper part of the test piece was clamped at 6 mm and fixed vertically, and the flame of the burner was brought close to the lower part of the test piece for 10 seconds to make contact with the flame. After 10 seconds, the flame of the burner was moved away, and the number of seconds after which the flame or burning of the test piece disappeared was measured. When the combustion stopped within 30 seconds, the flame of the burner was further indirectly flamed for 10 seconds at the bottom of the test piece, and the burner flame was moved away, and then the number of seconds after which the flame or combustion of the test piece disappeared was measured. . (I) There is no sample that continues to burn for more than 10 seconds after the burner flame is moved away from the test piece, (ii) the total burning time for 10 flame contact with 5 test pieces does not exceed 50 seconds, ( iii) No test piece that burns to the position of the clamp, (iv) No test piece that drops burning particles, (v) No test piece that continues red heat for more than 30 seconds after the second flame contact V-0 was applied in all cases. Also, (vi) after any flame contact, there is no specimen that continues to burn for 30 seconds or more, (vii) the total combustion time for 10 flames for 5 specimens does not exceed 250 seconds, iii) no test piece that burns to the position of the clamp, (iv) no test piece that drops burning particles, (viii) no test piece that continues red heat for more than 60 seconds after the second flame contact. In all cases, V-1 was set. On the other hand, when it burned for 30 seconds or more, or it burned to the position of a clamp, it was set as the rejection.

(6)耐折れ性評価
厚み25μmのポリイミドフィルム“カプトン(登録商標)”100EN(東レ・デュポン(株)製)を50mm×50mmのサイズにカットし、この上に感光性樹脂組成物を乾燥後厚みが20μmになるように塗布して100℃で30分間乾燥した。ついで、超高圧水銀灯で100mJ/cm露光し、熱風オーブンを用いて180℃で60分間熱処理して、硬化膜とポリイミドフィルムとの積層体を得た。得られた積層体を幅10mm×長さ50mmの短冊に切り出し、長さ25mmのところで180°に折り曲げて、目視でクラックの有無を観察した。折り曲げを10回行い、クラックが観察された場合は、その時の折り曲げ回数を耐折れ性とした。
(6) Folding resistance evaluation A polyimide film “Kapton (registered trademark)” 100EN (manufactured by Toray DuPont Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm is cut into a size of 50 mm × 50 mm, and the photosensitive resin composition is dried on this. The film was applied to a thickness of 20 μm and dried at 100 ° C. for 30 minutes. Subsequently, 100 mJ / cm < 2 > exposure was carried out with the ultrahigh pressure mercury lamp, and it heat-processed for 60 minutes at 180 degreeC using hot air oven, and obtained the laminated body of the cured film and the polyimide film. The obtained laminate was cut into a strip having a width of 10 mm and a length of 50 mm, bent at 180 ° at a length of 25 mm, and visually observed for cracks. When bending was performed 10 times and a crack was observed, the number of bending at that time was regarded as folding resistance.

(7)反り評価
保護膜とフレキシブルプリント基板との積層体の反りをモデル的に評価するため、硬化後の感光性樹脂組成物とポリイミドフィルムとの積層体の反りを評価した。前記(6)に記載の方法により得られた硬化膜とポリイミドフィルムとの積層体を、平坦な場所に上が凸になるように置き、凸部の高さを測定した。凸部の高さは10mm以下が好ましく、5mm以下である場合、反りは極めて小さいと評価できる。
(7) Warpage Evaluation In order to modelly evaluate the warpage of the laminate of the protective film and the flexible printed board, the warpage of the laminate of the cured photosensitive resin composition and the polyimide film was evaluated. The laminate of the cured film and the polyimide film obtained by the method described in (6) above was placed on a flat place so that the top was convex, and the height of the convex part was measured. The height of the convex portion is preferably 10 mm or less, and when it is 5 mm or less, it can be evaluated that the warpage is extremely small.

(8)半田耐熱性評価
上記(3)に記載の方法により得られた硬化膜を温度23℃、湿度50%RHの雰囲気下で24時間放置した後、220℃、230℃、240℃、250℃、260℃、270℃、280℃、290℃、300℃の完全に溶解しているはんだ浴に10秒間浸漬した。その後引き上げたサンプルを目視観察した。クラックや剥がれ、膨れが発生したときの最低温度を半田耐熱温度とした。
(8) Solder heat resistance evaluation The cured film obtained by the method described in (3) above is allowed to stand for 24 hours in an atmosphere at a temperature of 23 ° C. and a humidity of 50% RH, and then 220 ° C., 230 ° C., 240 ° C., 250 C., 260.degree. C., 270.degree. C., 280.degree. C., 290.degree. C., and 300.degree. C. were immersed in a completely dissolved solder bath for 10 seconds. Thereafter, the sample pulled up was visually observed. The lowest temperature when cracking, peeling, and swelling occurred was defined as the solder heat resistance temperature.

合成例1
乾燥窒素気流下で500mlの4つ口フラスコにMBAAを10.74g(25.0mol%)、D−400を32.63g(50.0mol%)、SiDAを5.59g(15.0mol%)、γ−BLを86.3g仕込み、オイルバス中60℃で撹拌し、末端封止剤として3Apを3.27g(20.0mol%)添加して溶解させた。溶液が均一となったら、PMDA29.4g(90.0mol%)とODPA4.65g(10.0mol%)を添加して1時間反応させた。その後オイルバスの温度を170〜180℃に上げ、留出水を除去しながら2時間反応させた。その後25℃まで放冷し、固形分50重量%のポリイミド溶液Aを得た。得られたポリイミドは可溶性であり、重量平均分子量は17500であり、イミド化率は99%であった。
Synthesis example 1
In a 500 ml four-necked flask under a dry nitrogen stream, 10.74 g (25.0 mol%) of MBAA, 32.63 g (50.0 mol%) of D-400, 5.59 g (15.0 mol%) of SiDA, 86.3 g of γ-BL was charged, stirred at 60 ° C. in an oil bath, and 3.27 g (20.0 mol%) of 3Ap was added as an end-capping agent and dissolved. When the solution became uniform, 29.4 g (90.0 mol%) of PMDA and 4.65 g (10.0 mol%) of ODPA were added and reacted for 1 hour. Thereafter, the temperature of the oil bath was raised to 170 to 180 ° C., and the reaction was carried out for 2 hours while removing distilled water. Thereafter, it was allowed to cool to 25 ° C. to obtain a polyimide solution A having a solid content of 50% by weight. The obtained polyimide was soluble, the weight average molecular weight was 17,500, and the imidation ratio was 99%.

合成例2
γ−BLを86.3gから88.7gに、D−400を32.63gから26.10g(40.0mol%)に、SiDAを5.59gから9.32g(25.0mol%)に変更した以外は合成例1と同様にして、固形分50重量%のポリイミド溶液Bを得た。得られたポリイミドは可溶性であり、重量平均分子量は17200であり、イミド化率は98%であった。
Synthesis example 2
γ-BL was changed from 86.3 g to 88.7 g, D-400 was changed from 32.63 g to 26.10 g (40.0 mol%), and SiDA was changed from 5.59 g to 9.32 g (25.0 mol%). Except for the above, a polyimide solution B having a solid content of 50% by weight was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1. The obtained polyimide was soluble, the weight average molecular weight was 17,200, and the imidation ratio was 98%.

合成例3
γ−BLを88.7gから83.3gに、MBAA10.74gをABPS10.51g(25.0mol%)に変更した以外は合成例2と同様にして、固形分50重量%のポリイミド溶液Cを得た。得られたポリイミドは可溶性であり、重量平均分子量は16400であり、イミド化率は100%であった。
Synthesis example 3
A polyimide solution C having a solid content of 50% by weight was obtained in the same manner as in Synthesis Example 2 except that γ-BL was changed from 88.7 g to 83.3 g and MBAA 10.74 g was changed to ABPS 10.51 g (25.0 mol%). It was. The obtained polyimide was soluble, the weight average molecular weight was 16,400, and the imidization ratio was 100%.

合成例4
γ−BLを83.3gから78.7gに、D−400を26.10gから13.05g(20.0mol)に、SiDAを9.32gから16.77g(45.0mol)に変更した以外は合成例3と同様にして、固形分50重量%のポリイミド溶液Dを得た。得られたポリイミドは可溶性であり、重量平均分子量は16800であり、イミド化率は99%であった。
Synthesis example 4
Except for changing γ-BL from 83.3 g to 78.7 g, D-400 from 26.10 g to 13.05 g (20.0 mol), and SiDA from 9.32 g to 16.77 g (45.0 mol). In the same manner as in Synthesis Example 3, a polyimide solution D having a solid content of 50% by weight was obtained. The obtained polyimide was soluble, the weight average molecular weight was 16,800, and the imidization ratio was 99%.

合成例5
γ−BLを86.3gから90.52gに、D−400を32.63gから42.41g(65.0mol%)に変更し、SiDAを添加しない以外は合成例1と同様にして、固形分50重量%のポリイミド溶液Eを得た。得られたポリイミドは可溶性であり、重量平均分子量は14400であり、イミド化率は100%であった。
Synthesis example 5
In the same manner as in Synthesis Example 1 except that γ-BL was changed from 86.3 g to 90.52 g, D-400 was changed from 32.63 g to 42.41 g (65.0 mol%), and SiDA was not added. A 50 wt% polyimide solution E was obtained. The obtained polyimide was soluble, the weight average molecular weight was 14400, and the imidation ratio was 100%.

合成例6
γ−BLを78.7gから72.11gに、SiDAを16.77gから24.23g(65.0mol%)に変更し、D−400を添加しない以外は合成例4と同様にして、固形分50重量%のポリイミド溶液Fを得た。得られたポリイミドは可溶性であり、重量平均分子量は16600であり、イミド化率は100%であった。
Synthesis Example 6
γ-BL was changed from 78.7 g to 72.11 g, SiDA was changed from 16.77 g to 24.23 g (65.0 mol%), and D-400 was not added. A 50 wt% polyimide solution F was obtained. The obtained polyimide was soluble, the weight average molecular weight was 16,600, and the imidization ratio was 100%.

合成例1〜6の組成を表1に示す。なお、表中の各成分量(mol%)は、ポリイミド合成原料の添加量から算出した。   The compositions of Synthesis Examples 1 to 6 are shown in Table 1. In addition, each component amount (mol%) in a table | surface was computed from the addition amount of a polyimide synthesis raw material.

Figure 2011095355
Figure 2011095355

実施例1
合成例1記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液A8gに、CN981を1.3g、M−245を0.6g、PPZを0.6g、NCI−831を0.15g、EP−4003Sを0.8g、L1983を0.08g、HQMEを0.02g、SG−95を1.4g、PB4920を0.02g添加し、混合撹拌後、3本ロールに5回通し、粘性液体である感光性樹脂組成物Aを得た。
Example 1
To the soluble polyimide solution A8 g obtained by the method described in Synthesis Example 1, 1.3 g of CN981, 0.6 g of M-245, 0.6 g of PPZ, 0.15 g of NCI-831, and 0.004 of EP-4003S. 8 g, 0.08 g of L1983, 0.02 g of HQME, 1.4 g of SG-95 and 0.02 g of PB4920 are added, and after mixing and stirring, the photosensitive resin composition which is a viscous liquid is passed 5 times through 3 rolls. Product A was obtained.

実施例2
合成例1記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液A8gに、CN981を1.9g、PPZを0.6g、NCI−831を0.15g、EP−4003Sを0.8g、L1983を0.08g、HQMEを0.02g、SG−95を1.4g、PB4920を0.02g添加し、混合撹拌後、3本ロールに5回通し、粘性液体である感光性樹脂組成物Bを得た。
Example 2
To the soluble polyimide solution A8 g obtained by the method described in Synthesis Example 1, 1.9 g of CN981, 0.6 g of PPZ, 0.15 g of NCI-831, 0.8 g of EP-4003, 0.08 g of L1983, 0.02 g of HQME, 1.4 g of SG-95, and 0.02 g of PB4920 were added, and after mixing and stirring, the mixture was passed through 3 rolls 5 times to obtain a photosensitive resin composition B that was a viscous liquid.

実施例3
可溶性ポリイミド溶液Aにかえて合成例2記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液Bを使用した以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物Cを得た。
Example 3
A photosensitive resin composition C which is a viscous liquid was obtained in the same manner as in Example 1 except that the soluble polyimide solution B obtained by the method described in Synthesis Example 2 was used instead of the soluble polyimide solution A.

実施例4
可溶性ポリイミド溶液Aにかえて合成例3記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液Cを使用した以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物Dを得た。
Example 4
A photosensitive resin composition D, which is a viscous liquid, was obtained in the same manner as in Example 1 except that the soluble polyimide solution C obtained by the method described in Synthesis Example 3 was used instead of the soluble polyimide solution A.

実施例5
可溶性ポリイミド溶液Aにかえて合成例4記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液Dを使用した以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物Eを得た。
Example 5
A photosensitive resin composition E, which is a viscous liquid, was obtained in the same manner as in Example 1 except that the soluble polyimide solution D obtained by the method described in Synthesis Example 4 was used instead of the soluble polyimide solution A.

実施例6
可溶性ポリイミド溶液Aにかえて上記合成例5記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液Eを使用した以外は実施例1と同様にして粘性液体である感光性樹脂組成物Fを得た。
Example 6
A photosensitive resin composition F that is a viscous liquid was obtained in the same manner as in Example 1 except that the soluble polyimide solution E obtained by the method described in Synthesis Example 5 was used instead of the soluble polyimide solution A.

実施例7
EP−4003S 0.8gにかえてEP−4000S 0.8gを使用した以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物Gを得た。
Example 7
A photosensitive resin composition G that is a viscous liquid was obtained in the same manner as in Example 1 except that 0.8 g of EP-4000S was used instead of 0.8 g of EP-4003.

実施例8
EP−4003S 0.8gにかえて850S 0.8gを使用した以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物Hを得た。
Example 8
A photosensitive resin composition H, which is a viscous liquid, was obtained in the same manner as in Example 1 except that 0.8 g of 850S was used instead of 0.8 g of EP-4003.

実施例9
EP−4003S 0.8gを使用しない以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物Iを得た。
Example 9
A photosensitive resin composition I which is a viscous liquid was obtained in the same manner as in Example 1 except that 0.8 g of EP-4003S was not used.

実施例10
M−245を0.6gから0.3g、PPZを0.6gから0.9gにかえた以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物Jを得た。
Example 10
A photosensitive resin composition J, which is a viscous liquid, was obtained in the same manner as in Example 1 except that M-245 was changed from 0.6 g to 0.3 g and PPZ was changed from 0.6 g to 0.9 g.

実施例11
CN981を1.3gから1.6g、PPZを0.6gから0.3gにかえた以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物Kを得た。
Example 11
A photosensitive resin composition K that is a viscous liquid was obtained in the same manner as in Example 1, except that CN981 was changed from 1.3 g to 1.6 g and PPZ was changed from 0.6 g to 0.3 g.

比較例1
合成例1記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液A8gに、CN981を1.9g、M−245を0.6g、NCI−831を0.15g、EP−4003Sを0.8g、L1983を0.08g、HQMEを0.02g、SG−95を1.4g、PB4920を0.02g添加し、混合撹拌後、3本ロールに5回通し、粘性液体である感光性樹脂組成物Lを得た。
Comparative Example 1
To the soluble polyimide solution A8 g obtained by the method described in Synthesis Example 1, 1.9 g of CN981, 0.6 g of M-245, 0.15 g of NCI-831, 0.8 g of EP4003S, and 0.83 of L1983. 08 g, 0.02 g of HQME, 1.4 g of SG-95, and 0.02 g of PB4920 were added. After mixing and stirring, the mixture was passed through 3 rolls 5 times to obtain a photosensitive resin composition L which was a viscous liquid.

比較例2
可溶性ポリイミド溶液Aにかえて合成例6記載の方法により得られた可溶性ポリイミド溶液Fを使用した以外は実施例1と同様にして、粘性液体である感光性樹脂組成物Mを得た。
Comparative Example 2
A photosensitive resin composition M, which is a viscous liquid, was obtained in the same manner as in Example 1 except that the soluble polyimide solution F obtained by the method described in Synthesis Example 6 was used instead of the soluble polyimide solution A.

各実施例および比較例で得られた感光性樹脂組成物の組成を表2、評価結果を表3に示す。   Table 2 shows the composition of the photosensitive resin composition obtained in each Example and Comparative Example, and Table 3 shows the evaluation results.

Figure 2011095355
Figure 2011095355

Figure 2011095355
Figure 2011095355

Claims (5)

(A)下記一般式(1)で示されるジアミンの残基を有する可溶性ポリイミド、(B)下記一般式(2)で示される光重合性化合物および(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
Figure 2011095355
(上記一般式(1)中、aは1以上10以下の範囲を示す。)
Figure 2011095355
(上記一般式(2)中、bは1以上20以下の範囲を示す。RおよびRはそれぞれ独立に、アクリロイルオキシフェニル基、炭素数4以上20以下のアクリロイルオキシアルキル基、メタクリロイルオキシフェニル基、炭素数5以上20以下のメタクリロイルオキシアルキル基、炭素数3以上20以下のアルケニル基または炭素数8以上30以下のアルケニルアリール基を示す。bが2以上の場合、複数のRおよびRはそれぞれ同じでも異なってもよい。)
(A) a soluble polyimide having a diamine residue represented by the following general formula (1), (B) a photopolymerizable compound represented by the following general formula (2), and (C) a photopolymerization initiator. A photosensitive resin composition.
Figure 2011095355
(In the general formula (1), a represents a range of 1 or more and 10 or less.)
Figure 2011095355
(In the general formula (2), b represents a range of 1 or more and 20 or less. R 1 and R 2 each independently represents an acryloyloxyphenyl group, an acryloyloxyalkyl group having 4 to 20 carbon atoms, or a methacryloyloxyphenyl. Group, a methacryloyloxyalkyl group having 5 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 3 to 20 carbon atoms, or an alkenyl aryl group having 8 to 30 carbon atoms, and when b is 2 or more, a plurality of R 1 and R 2 may be the same or different.
さらに(D)熱硬化剤を含有することを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 Furthermore, (D) a thermosetting agent is contained, The photosensitive resin composition of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記(D)熱硬化剤が下記一般式(3)で示されるエポキシ化合物を含有することを特徴とする請求項2に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2011095355
(上記一般式(3)中、nおよびmはそれぞれ独立に、0以上の整数を示す。ただし、1≦m+n≦10である。xは1以上5以下の整数を示す。)
The said (D) thermosetting agent contains the epoxy compound shown by following General formula (3), The photosensitive resin composition of Claim 2 characterized by the above-mentioned.
Figure 2011095355
(In the general formula (3), n and m each independently represent an integer of 0 or more. However, 1 ≦ m + n ≦ 10. X represents an integer of 1 to 5.)
前記(A)可溶性ポリイミドが、さらに下記化学式(4)で示されるジアミンの残基を全ジアミン残基中5mol%以上30mol%以下含有することを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2011095355
The said (A) soluble polyimide further contains 5 mol% or more and 30 mol% or less of the diamine residue shown by following Chemical formula (4) in all the diamine residues. Photosensitive resin composition.
Figure 2011095355
フレキシブルプリント基板上に請求項1〜4いずれかに記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなる保護膜を有する積層体。 The laminated body which has a protective film formed by hardening the photosensitive resin composition in any one of Claims 1-4 on a flexible printed circuit board.
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