JP6568715B2 - Photosensitive thermosetting resin composition, dry film and printed wiring board - Google Patents

Photosensitive thermosetting resin composition, dry film and printed wiring board Download PDF

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Description

本発明は、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜として有用な感光性熱硬化性樹脂組成物、ドライフィルムおよびプリント配線板に関する。   The present invention relates to a photosensitive thermosetting resin composition useful as an insulating film of a flexible printed wiring board, a dry film, and a printed wiring board.

近年、スマートフォンやタブレット端末の普及による電子機器の小型薄型化により、回路基板の小スペース化が必要となってきている。そのため、折り曲げて収納できるフレキシブルプリントは配線板の用途が拡大し、フレキシブルプリント配線板についても、これまで以上に高い信頼性を有するものが求められている。   In recent years, as electronic devices have become smaller and thinner due to the spread of smartphones and tablet terminals, it has become necessary to reduce the space of circuit boards. For this reason, flexible printed circuits that can be folded and stored have expanded the uses of wiring boards, and flexible printed wiring boards are required to have higher reliability than ever.

これに対し現在、フレキシブルプリント配線板の絶縁信頼性を確保するための絶縁膜として、折り曲げ部(屈曲部)には、耐熱性および屈曲性などの機械的特性に優れたポリイミドをベースとしたカバーレイを用い(例えば、特許文献1,2参照)、実装部(非屈曲部)には、電気絶縁性やはんだ耐熱性などに優れ微細加工が可能な感光性樹脂組成物を用いた混載プロセスが広く採用されている。   On the other hand, as an insulating film to ensure the insulation reliability of flexible printed wiring boards, a cover based on polyimide with excellent mechanical properties such as heat resistance and flexibility is used for the bent part (bent part). Using a lay (see, for example, Patent Documents 1 and 2), the mounting part (non-bent part) has a mixed mounting process using a photosensitive resin composition that is excellent in electrical insulation and solder heat resistance and can be finely processed. Widely adopted.

すなわち、ポリイミドをベースとしたカバーレイは、金型打ち抜きによる加工を必要とするため、微細配線には不向きである。そのため、微細配線が必要となるチップ実装部には、フォトリソグラフィーによる加工ができるアルカリ現像型の感光性樹脂組成物(ソルダーレジスト)を部分的に併用する必要があった。   That is, a cover lay based on polyimide is not suitable for fine wiring because it requires processing by die punching. Therefore, it is necessary to partially use an alkali developing type photosensitive resin composition (solder resist) that can be processed by photolithography in a chip mounting portion that requires fine wiring.

特開昭62−263692号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-263692 特開昭63−110224号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-110224

このように、従来のフレキシブルプリント配線板の製造工程では、カバーレイを張り合わせる工程とソルダーレジストを形成する工程の混載プロセスを採用せざるを得ず、コスト性と作業性に劣るという問題があった。   As described above, the conventional flexible printed wiring board manufacturing process has to employ a mixed mounting process of bonding the coverlay and forming the solder resist, which is inferior in cost and workability. It was.

これに対し、従来、ソルダーレジストとしての絶縁膜またはカバーレイとしての絶縁膜を、フレキシブルプリント配線板のソルダーレジストおよびカバーレイとして適用することが検討されているが、双方の要求性能を十分満足できる材料は、未だ実用化には至っていなかった。特に、フレキシブルプリント配線板においては、折り曲げに対する耐久性が最も重要となるため、フレキシブルプリント配線板のソルダーレジストおよびカバーレイとして適用可能であって、折り曲げに対する耐久性に優れた素材の実現が求められていた。   On the other hand, in the past, it has been studied to apply an insulating film as a solder resist or an insulating film as a coverlay as a solder resist and a coverlay of a flexible printed wiring board. The material has not yet been put to practical use. Especially for flexible printed circuit boards, durability against bending is the most important, so it is applicable to solder resists and coverlays for flexible printed circuit boards, and the realization of materials with excellent durability against bending is required. It was.

そこで本発明の目的は、屈曲性に優れ、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜、特に折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)との一括形成プロセスに好適な感光性熱硬化性樹脂組成物を提供することにあり、また、その硬化物を保護膜、例えば、カバーレイまたはソルダーレジストとして有するプリント配線板を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is a photosensitive thermosetting resin composition that has excellent flexibility and is suitable for a batch forming process of an insulating film of a flexible printed wiring board, particularly a bent portion (bent portion) and a mounting portion (non-bent portion). It is to provide a printed wiring board having the cured product as a protective film, for example, a cover lay or a solder resist.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、特定のポリアミドイミド樹脂、光塩基発生剤および熱硬化成分を含む樹脂組成物により、上記課題を解決できることを見出して、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that the above problems can be solved by a resin composition containing a specific polyamideimide resin, a photobase generator, and a thermosetting component. It came to be completed.

すなわち、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有ジアミンを含む少なくとも1種のジアミンとトリカルボン酸無水物を含む酸無水物(a1)とを反応させて得られるイミド化物と、ジイソシアネート化合物と、を含む反応原料を反応させて得られるポリアミドイミド樹脂、(B)光塩基発生剤、および、(C)熱硬化成分を含むことを特徴とするものである。   That is, the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is an imide obtained by reacting (A) at least one diamine containing a carboxyl group-containing diamine with an acid anhydride (a1) containing a tricarboxylic acid anhydride. A polyamideimide resin obtained by reacting a reaction raw material containing a chemical compound with a diisocyanate compound, (B) a photobase generator, and (C) a thermosetting component.

本発明においては、前記酸無水物(a1)が、トリメリット酸無水物およびシクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物のうちのいずれか一方または双方を含むことが好ましい。また、前記反応原料が、トリカルボン酸無水物(a2)をさらに含むことが好ましい。さらに、前記酸無水物(a2)が、トリメリット酸無水物およびシクロヘキサン‐1,2,4‐トリカルボン酸‐1,2‐無水物のうちのいずれか一方または双方を含むことが好ましい。さらにまた、前記(A)ポリアミドイミド樹脂が、さらに、脂肪族構造およびエーテル結合を有することが好ましい。この場合、前記(A)ポリアミドイミド樹脂の脂肪族構造は、好適にはヘキサンまたはシクロヘキサンである。また、この場合、前記(A)ポリアミドイミド樹脂のエーテル結合が、エーテル結合を有するジアミン由来のポリエーテル構造であって、かつ、該エーテル結合を有するジアミンの分子量が200以上であることが好ましい。   In the present invention, the acid anhydride (a1) preferably contains one or both of trimellitic acid anhydride and cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride. . Moreover, it is preferable that the said reaction raw material further contains a tricarboxylic acid anhydride (a2). Further, the acid anhydride (a2) preferably contains either one or both of trimellitic anhydride and cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride. Furthermore, it is preferable that the (A) polyamideimide resin further has an aliphatic structure and an ether bond. In this case, the aliphatic structure of the (A) polyamideimide resin is preferably hexane or cyclohexane. In this case, it is preferable that the ether bond of the (A) polyamideimide resin is a polyether structure derived from a diamine having an ether bond, and the molecular weight of the diamine having an ether bond is 200 or more.

さらに、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、さらに、(D)イミド環およびフェノール性水酸基を有するポリイミド樹脂を含むことが好ましく、この場合、前記(D)ポリイミド樹脂が、さらに、カルボキシル基を有することがより好ましい。さらにまた、本発明においては、前記(C)熱硬化成分が環状エーテル化合物であることが好ましい。本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、フレキシブルプリント配線板に好適に用いることができる。   Furthermore, the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention preferably further comprises (D) a polyimide resin having an imide ring and a phenolic hydroxyl group. In this case, the (D) polyimide resin further contains a carboxyl resin. It is more preferable to have a group. Furthermore, in the present invention, the (C) thermosetting component is preferably a cyclic ether compound. The photosensitive thermosetting resin composition of this invention can be used suitably for a flexible printed wiring board.

また、本発明のドライフィルムは、上記本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有することを特徴とするものである。さらに、本発明のプリント配線板は、上記本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物、または、上記本発明のドライフィルムを用いて形成される硬化物を備えることを特徴とするものである。   Moreover, the dry film of this invention has a resin layer which consists of the said photosensitive thermosetting resin composition of this invention, It is characterized by the above-mentioned. Furthermore, the printed wiring board of the present invention is characterized by comprising a cured product formed using the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention or the dry film of the present invention.

本発明によれば、屈曲性に優れ、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜、特に折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)との一括形成プロセスに好適な感光性熱硬化性樹脂組成物、および、その硬化物を保護膜として有するプリント配線板を実現することが可能となった。   According to the present invention, a photosensitive thermosetting resin composition that is excellent in flexibility and suitable for a batch forming process of an insulating film of a flexible printed wiring board, particularly a bent portion (bent portion) and a mounting portion (non-bent portion). And a printed wiring board having the cured product as a protective film can be realized.

本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法の一例を模式的に示す工程図である。It is process drawing which shows typically an example of the manufacturing method of the flexible printed wiring board of this invention.

以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有ジアミンを含む少なくとも1種のジアミンとトリカルボン酸無水物を含む酸無水物(a1)とを反応させて得られるイミド化物と、ジイソシアネート化合物と、を含む反応原料を反応させて得られるポリアミドイミド樹脂、(B)光塩基発生剤、および、(C)熱硬化成分を含むことを特徴とするものである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention comprises (A) an imidized product obtained by reacting (A) at least one diamine containing a carboxyl group-containing diamine with an acid anhydride (a1) containing a tricarboxylic acid anhydride. And a polyamideimide resin obtained by reacting a reaction raw material containing a diisocyanate compound, (B) a photobase generator, and (C) a thermosetting component.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物においては、光照射によって光塩基発生剤が活性化し、発生した塩基を触媒として、カルボキシル基を有するポリアミドイミド樹脂と熱硬化成分とを加熱によって付加反応させることにより、未露光部分のみをアルカリ溶液によって除去することが可能となるものであり、これにより、アルカリ現像による微細加工が可能となる一方、信頼性に優れた硬化物を得ることが期待できる。本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、屈曲性に優れるとともに、良好な現像性および解像性を有するので、フレキシブルプリント配線板の樹脂絶縁層、例えば、カバーレイやソルダーレジストに好適である。
以下、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物を構成する各成分について詳述する。
In the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention, a photobase generator is activated by light irradiation, and a polyamideimide resin having a carboxyl group and a thermosetting component are subjected to an addition reaction by heating using the generated base as a catalyst. As a result, it is possible to remove only the unexposed portion with an alkali solution, and this enables fine processing by alkali development, while it can be expected to obtain a cured product having excellent reliability. Since the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention has excellent flexibility and good developability and resolution, it is suitable for resin insulating layers of flexible printed wiring boards, such as coverlays and solder resists. is there.
Hereinafter, each component which comprises the photosensitive thermosetting resin composition of this invention is explained in full detail.

[(A)ポリアミドイミド樹脂]
本発明に用いる(A)ポリアミドイミド樹脂は、カルボキシル基含有ジアミンを含む少なくとも1種のジアミンとトリカルボン酸無水物を含む酸無水物(a1)とを反応させてイミド化物を得た後、得られたイミド化物とジイソシアネート化合物とを含む反応原料を、さらに反応させて得られるものである。上記反応原料には、後述するように、上記イミド化物およびジイソシアネート化合物に加えてさらに、トリカルボン酸無水物(a2)を、含有させることが好ましい。
[(A) Polyamideimide resin]
The (A) polyamideimide resin used in the present invention is obtained after reacting at least one diamine containing a carboxyl group-containing diamine with an acid anhydride (a1) containing a tricarboxylic acid anhydride to obtain an imidized product. The reaction raw material containing the imidized product and the diisocyanate compound is further reacted. As will be described later, the reaction raw material preferably further contains a tricarboxylic acid anhydride (a2) in addition to the imidized product and the diisocyanate compound.

(ジアミン)
カルボキシル基含有ジアミンとしては、例えば、3,5−ジアミノ安息香酸、2,5−ジアミノ安息香酸、3,4−ジアミノ安息香酸等のジアミノ安息香酸類、3,5−ビス(3−アミノフェノキシ)安息香酸、3,5−ビス(4−アミノフェノキシ)安息香酸等のアミノフェノキシ安息香酸類、3,3’‐メチレンビス(6‐アミノ安息香酸)、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラカルボキシビフェニル等のカルボキシビフェニル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルメタン、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラカルボキシジフェニルメタン等のカルボキシジフェニルメタン等のカルボキシジフェニルアルカン類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラカルボキシジフェニルエーテル等のカルボキシジフェニルエーテル化合物、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラカルボキシジフェニルスルフォン等のジフェニルスルフォン化合物、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−カルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン等のビス[(カルボキシフェニル)フェニル]アルカン化合物類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−カルボキシフェノキシ)フェニル]スルフォン等のビス[(カルボキシフェノキシ)フェニル]スルフォン化合物等を挙げることができ、これらを単独でまたは適宜組み合わせて使用することができる。
(Diamine)
Examples of the carboxyl group-containing diamine include 3,5-diaminobenzoic acid, 2,5-diaminobenzoic acid, diaminobenzoic acids such as 3,4-diaminobenzoic acid, and 3,5-bis (3-aminophenoxy) benzoic acid. Acid, aminophenoxybenzoic acids such as 3,5-bis (4-aminophenoxy) benzoic acid, 3,3′-methylenebis (6-aminobenzoic acid), 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxyl Biphenyl, 4,4′-diamino-3,3′-dicarboxybiphenyl, 4,4′-diamino-2,2′-dicarboxybiphenyl, 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5 ′ Carboxyphenyl compounds such as tetracarboxybiphenyl, 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxydiphenylmethane, 3,3′-dicarboxy-4,4′-diaminodipheny Methane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] ] Hexafluoropropane, carboxydiphenylalkanes such as carboxydiphenylmethane such as 4,4'-diamino-2,2 ', 5,5'-tetracarboxydiphenylmethane, 3,3'-diamino-4,4'-dicarboxy Diphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3′-dicarboxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-2,2′-dicarboxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5 ′ -Carboxydiphenyl ether compounds such as tetracarboxydiphenyl ether, 3,3'-diamino-4,4'-dicarboxydi Enylsulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dicarboxydiphenylsulfone, 4,4′-diamino-2,2′-dicarboxydiphenylsulfone, 4,4′-diamino-2,2 ′, 5 , 5′-tetracarboxydiphenylsulfone and other diphenylsulfone compounds, and bis [(carboxyphenyl) phenyl] alkane compounds such as 2,2-bis [4- (4-amino-3-carboxyphenoxy) phenyl] propane, Bis [(carboxyphenoxy) phenyl] sulfone compounds such as 2-bis [4- (4-amino-3-carboxyphenoxy) phenyl] sulfone, etc., and these may be used alone or in appropriate combination. Can do.

本発明においては、ジアミンとして、カルボキシル基含有ジアミンを用いることが必要であるが、カルボキシル基を有しないものを併用してもよい。併用可能な他のジアミンとしては、汎用の脂肪族ジアミンや芳香族ジアミンなどを、単独でまたは適宜組み合わせて使用することができる。具体的には、他のジアミンとしては、例えば、p−フェニレンジアミン(PPD)、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−トルエンジアミン、2,5−トルエンジアミン、2,6−トルエンジアミンなどのベンゼン核1つのジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルなどのジアミノジフェニルエーテル類、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、4,4’−ジアミノベンズアニリド、3,3’−ジクロロベンジジン、3,3’−ジメチルベンジジン(o−トリジン)、2,2’−ジメチルベンジジン(m−トリジン)、3,3’−ジメトキシベンジジン、2,2’−ジメトキシベンジジン、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジメトキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタンなどのベンゼン核2つのジアミン、1,3−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)−4−トリフルオロメチルベンゼン、3,3’−ジアミノ−4−(4−フェニル)フェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジ(4−フェニルフェノキシ)ベンゾフェノン、1,3−ビス(3−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,3−ビス〔2−(4−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,4−ビス〔2−(3−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,4−ビス〔2−(4−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼンなどのベンゼン核3つのジアミン、3,3’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,3’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、2,2−ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパンなどのベンゼン核4つのジアミンなどの芳香族ジアミン、1,2−ジアミノエタン、1,3−ジアミノプロパン、1,4−ジアミノブタン、1,5−ジアミノペンタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,7−ジアミノヘプタン、1,8−ジアミノオクタン、1,9−ジアミノノナン、1,10−ジアミノデカン、1,11−ジアミノウンデカン、1,12−ジアミノドデカン、1,2−ジアミノシクロヘキサン等の脂肪族ジアミンが挙げられる。
また、エーテル結合を有するジアミンとしては、ポリオキシアルキレンジアミンとして、ポリオキシエチレンジアミン、ポリオキシプロピレンジアミン、ポリオキシブチレンジアミンなどが挙げられる。市販品としては、米国ハンツマン社製のジェファーミンEDR−148、EDR−176、ジェファーミンD−230、D−400、D−2000、D−4000、ジェファーミンED−600、ED−900、ED−2003、ジェファーミンXTJ−542などが挙げられる。エーテル結合を有するジアミンの分子量は、200以上であることが好ましく、200〜3000であることがより好ましく、400〜2000であることがさらに好ましい。
また、アミノ変性シリコーンとして、東レ・ダウコーニング社製のBY16−205、FZ−3760、BY16−871、BY16−853Uなどが挙げられる。
In the present invention, it is necessary to use a carboxyl group-containing diamine as the diamine, but those having no carboxyl group may be used in combination. As other diamines that can be used in combination, general-purpose aliphatic diamines and aromatic diamines can be used alone or in appropriate combination. Specifically, examples of other diamines include p-phenylenediamine (PPD), 1,3-diaminobenzene, 2,4-toluenediamine, 2,5-toluenediamine, and 2,6-toluenediamine. Benzene nucleus 1 diamine, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, diaminodiphenyl ethers such as 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethyl- 4,4′-diaminobiphenyl, 2,2′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 2,2′-bis (trifluoromethyl) -4,4′-diaminobiphenyl, 3,3′-dimethyl- 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane Bis (4-aminophenyl) sulfide, 4,4′-diaminobenzanilide, 3,3′-dichlorobenzidine, 3,3′-dimethylbenzidine (o-tolidine), 2,2′-dimethylbenzidine (m-tolidine) ), 3,3′-dimethoxybenzidine, 2,2′-dimethoxybenzidine, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl sulfide 3,4′-diaminodiphenylsulfide, 4,4′-diaminodiphenylsulfide, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 3,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3 ′ -Diaminobenzophenone, 3,3'-diamino-4,4'-dichlorobenzofe 3,3′-diamino-4,4′-dimethoxybenzophenone, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis (3-amino Phenyl) propane, 2,2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2-bis (3-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis (4-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 3,3′-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,4′-diaminodiphenyl sulfoxide, 4,4′-diaminodiphenyl sulfoxide, Two diamine diamines such as 3,3′-dicarboxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, 1,3-bis (3-aminophenyl) ben 1,3-bis (4-aminophenyl) benzene, 1,4-bis (3-aminophenyl) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl) benzene, 1,3-bis (4-amino) Phenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) -4-trifluoromethylbenzene, 3 , 3′-Diamino-4- (4-phenyl) phenoxybenzophenone, 3,3′-diamino-4,4′-di (4-phenylphenoxy) benzophenone, 1,3-bis (3-aminophenyl sulfide) benzene 1,3-bis (4-aminophenyl sulfide) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl sulfide) benzene, 1,3-bis (3-amino) Phenylsulfone) benzene, 1,3-bis (4-aminophenylsulfone) benzene, 1,4-bis (4-aminophenylsulfone) benzene, 1,3-bis [2- (4-aminophenyl) isopropyl] benzene Three diamine diamines such as 1,4-bis [2- (3-aminophenyl) isopropyl] benzene, 1,4-bis [2- (4-aminophenyl) isopropyl] benzene, 3,3′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 3,3′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, Bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] Ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [3- (4 -Aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, Bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminopheno Cis) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [ 4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [ 3- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2, 2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [3- (4-amino Phenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3- Aromatic diamines such as hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, etc. , 2-diaminoethane, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6-diaminohexane, 1,7-diaminoheptane, 1,8-diaminooctane, 1, Aliphatic diamines such as 9-diaminononane, 1,10-diaminodecane, 1,11-diaminoundecane, 1,12-diaminododecane, 1,2-diaminocyclohexane It is done.
Examples of the diamine having an ether bond include polyoxyalkylene diamines such as polyoxyethylene diamine, polyoxypropylene diamine, and polyoxybutylene diamine. Commercially available products include Jeffermin EDR-148, EDR-176, Jeffermin D-230, D-400, D-2000, D-4000, Jeffermin ED-600, ED-900, ED- 2003, Jeffamine XTJ-542, and the like. The molecular weight of the diamine having an ether bond is preferably 200 or more, more preferably 200 to 3000, and still more preferably 400 to 2000.
Examples of the amino-modified silicone include BY16-205, FZ-3760, BY16-871, BY16-853U manufactured by Toray Dow Corning.

(酸無水物(a1)および酸無水物(a2))
酸無水物(a1)および酸無水物(a2)としてはそれぞれ、トリカルボン酸無水物として、芳香族環および脂肪族環のうちの少なくともいずか一方を有するものが挙げられ、芳香族環を有するものとしてトリメリット酸無水物(ベンゼン−1,2,4−トリカルボン酸1,2−無水物,TMA)等、脂肪族環を有するものとして水素添加トリメリット酸無水物(シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物,H−TMA)等を好適に挙げることができる。これらの酸無水物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
(Acid anhydride (a1) and acid anhydride (a2))
Examples of the acid anhydride (a1) and acid anhydride (a2) include tricarboxylic acid anhydrides having at least one of an aromatic ring and an aliphatic ring, and have an aromatic ring. Trimellitic anhydride (benzene-1,2,4-tricarboxylic acid 1,2-anhydride, TMA) and the like, and hydrogenated trimellitic anhydride (cyclohexane-1,2, 4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride, H-TMA) and the like can be preferably mentioned. These acid anhydrides may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

本発明においては、酸無水物として、上記トリカルボン酸無水物を用いることが必要であるが、カルボン酸二無水物を併用してもよい。カルボン酸二無水物としては、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの、テトラカルボン酸無水物等が挙げられる。また、両末端型カルボン酸無水物変性シリコーンなどが挙げられる。   In the present invention, it is necessary to use the tricarboxylic acid anhydride as an acid anhydride, but a carboxylic acid dianhydride may be used in combination. Examples of the carboxylic dianhydride include tetracarboxylic anhydrides such as pyromellitic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride. Moreover, both terminal type carboxylic anhydride modified silicone etc. are mentioned.

(ジイソシアネート化合物)
ジイソシアネート化合物としては、芳香族ジイソシアネートおよびその異性体や多量体、脂肪族ジイソシアネート類、脂環式ジイソシアネート類およびその異性体などのジイソシアネートや、その他汎用のジイソシアネート類を用いることができるが、これらに限定されるものではない。また、これらのジイソシアネートは、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。
(Diisocyanate compound)
As the diisocyanate compound, diisocyanates such as aromatic diisocyanates and isomers and multimers thereof, aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and isomers thereof, and other general-purpose diisocyanates can be used. Is not to be done. These diisocyanates may be used alone or in combination.

ジイソシアネートとしては、具体的には例えば、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)、トリレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ビフェニルジイソシアネート、ジフェニルスルホンジイソシアネート、ジフェニルエーテルジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネートおよびその異性体、多量体、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート(IPDI)、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、キシシレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート(TMDI)などの脂肪族ジイソシアネート類、あるいは、上記芳香族ジイソシアネートを水添した脂環式ジイソシアネート類および異性体、もしくはその他汎用のジイソシアネート類が挙げられる。   Specific examples of the diisocyanate include aromatic diisocyanates such as 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI), tolylene diisocyanate, naphthalene diisocyanate, xylylene diisocyanate, biphenyl diisocyanate, diphenyl sulfone diisocyanate, diphenyl ether diisocyanate, and isomers thereof. , Aliphatic diisocyanates such as multimers, hexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate (IPDI), dicyclohexylmethane diisocyanate, xylylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate (TMDI), or alicyclic diisocyanates hydrogenated with the above aromatic diisocyanates And isomers, or other general-purpose diiso Aneto acids and the like.

上述したように、ポリアミドイミド樹脂を得るための反応原料には、上記イミド化物およびジイソシアネート化合物に加えて、イミド化物を得る際に用いたのと同様の酸無水物(a2)を、さらに含有させてもよい。この場合の反応原料中の酸無水物(a2)の含有量については、特に限定されない。ポリアミドイミド樹脂のアルカリ溶解性と、得られる硬化物の機械特性等とのバランスを良好にする観点からは、反応原料中のイミド化物を得るために使用したジアミンの量に対する、反応原料中の酸無水物(a2)の量のモル比率は、0.25以上4以下であることが好ましく、0.5以上2以下であることがより好ましく、0.6以上1.5以下であることが特に好ましい。   As described above, in addition to the imidized product and the diisocyanate compound, the reaction raw material for obtaining the polyamideimide resin further contains the same acid anhydride (a2) as used when obtaining the imidized product. May be. In this case, the content of the acid anhydride (a2) in the reaction raw material is not particularly limited. From the viewpoint of improving the balance between the alkali solubility of the polyamideimide resin and the mechanical properties of the resulting cured product, the acid in the reaction raw material relative to the amount of diamine used to obtain the imidized product in the reaction raw material. The molar ratio of the amount of anhydride (a2) is preferably 0.25 or more and 4 or less, more preferably 0.5 or more and 2 or less, and particularly preferably 0.6 or more and 1.5 or less. preferable.

反応原料中のジイソシアネート化合物の含有量についても、特に限定されない。ポリアミドイミド樹脂のアルカリ溶解性と、得られる硬化物の機械特性等とのバランスを良好にする観点からは、反応原料中のジイソシアネート化合物の量は、反応原料中のイミド化物を得るために使用したジアミンの量と必要に応じ反応原料に含有させる酸無水物(a2)の量の総和に対するモル比率として、0.3以上1.0以下とすることが好ましく、0.4以上0.95以下とすることがより好ましく、0.50以上0.90以下とすることが特に好ましい。   The content of the diisocyanate compound in the reaction raw material is not particularly limited. From the viewpoint of improving the balance between the alkali solubility of the polyamideimide resin and the mechanical properties of the resulting cured product, the amount of the diisocyanate compound in the reaction raw material was used to obtain an imidized product in the reaction raw material. The molar ratio with respect to the sum of the amount of diamine and the amount of acid anhydride (a2) contained in the reaction raw material as required is preferably 0.3 or more and 1.0 or less, and 0.4 or more and 0.95 or less. More preferably, it is more preferably 0.50 or more and 0.90 or less.

特に、エーテル結合を有するジアミンと、脂環式のトリメリット酸であるH−TMAとを用いることで、得られる(A)ポリアミドイミド樹脂において、アルカリ溶解性が高まり、現像性が向上するものとなるため、好ましい。また、同じ理由から、2段階目の反応において脂肪族のジイソシアネートを用いることも好ましい。イミド構造は、分子鎖が互いに充填されたスタッキング構造を取るため、溶剤やアルカリ水溶液への溶解性が低いが、脂肪鎖や脂環構造を導入することによりスタッキング構造が崩れて、アルカリ溶解性が高まるものと考えられる。   In particular, by using a diamine having an ether bond and H-TMA which is an alicyclic trimellitic acid, the obtained (A) polyamideimide resin has increased alkali solubility and improved developability. Therefore, it is preferable. For the same reason, it is also preferable to use an aliphatic diisocyanate in the second-stage reaction. The imide structure has a stacking structure in which molecular chains are filled with each other, so the solubility in solvents and aqueous alkali solutions is low. However, by introducing an aliphatic chain or alicyclic structure, the stacking structure collapses and the alkali solubility is low. It is thought to increase.

本発明において、上記(A)ポリアミドイミド樹脂は、脂肪族構造およびエーテル結合を有することが好ましい。この場合の脂肪族構造としては、直鎖状のヘキサンまたは環状のシクロヘキサンが挙げられる。また、上記エーテル結合は、分子量が200以上であるポリエーテル構造であることが好ましい。イミド系樹脂の多くは強アルカリ/溶剤現像性を有するが、脂肪族構造やエーテル結合、特にはポリエーテル構造を導入することで、上記(A)ポリアミドイミド樹脂が、弱アルカリ現像性、深部解像性および屈曲性を有するものとすることができる。上記脂肪族構造は、例えば、脂肪族環を有するカルボン酸一無水物を用いるか、脂肪族構造を有するイソシアネートを用いることで導入することができ、上記エーテル結合は、例えば、前述のエーテル結合を有するジアミンを用いることで、導入することができる。エーテル結合を有するジアミンとしては、分子量が200以上のジアミンが好ましい。   In the present invention, the (A) polyamideimide resin preferably has an aliphatic structure and an ether bond. Examples of the aliphatic structure in this case include linear hexane or cyclic cyclohexane. Moreover, it is preferable that the said ether bond is a polyether structure whose molecular weight is 200 or more. Many of the imide resins have strong alkali / solvent developability. However, by introducing an aliphatic structure or an ether bond, particularly a polyether structure, the above-mentioned (A) polyamideimide resin has a weak alkali developability and a deep solution. It can have imageability and flexibility. The aliphatic structure can be introduced by using, for example, a carboxylic acid monoanhydride having an aliphatic ring or an isocyanate having an aliphatic structure, and the ether bond is, for example, the above-described ether bond. It can introduce | transduce by using the diamine which has. As the diamine having an ether bond, a diamine having a molecular weight of 200 or more is preferable.

また、上記(A)ポリアミドイミド樹脂のアミド結合は、イソシアネートとカルボン酸とを反応させて得られるものであってもよく、それ以外の反応によるものであってもよい。上記(A)ポリアミドイミド樹脂は、さらにその他の付加および縮合からなる結合を有していてもよい。   In addition, the amide bond of the (A) polyamideimide resin may be obtained by reacting isocyanate and carboxylic acid, or may be caused by other reaction. The (A) polyamideimide resin may further have a bond composed of other addition and condensation.

本発明において、上記(A)ポリアミドイミド樹脂を得る際の各成分の配合比としては、上記ジアミン1モルに対して、上記酸無水物が、好適には2.0〜2.4モル、より好適には2.0〜2.2モルである。ジアミンと酸無水物とを反応させ、脱水閉環によりイミド化する際の反応温度については特に限定されないが、140℃〜200℃の範囲内であることが好ましい。上記ジアミンと上記酸無水物と反応させて得られるイミド化合物とジイソシアネート化合物との反応温度は特に限定されないが、130℃〜200℃の範囲内であることが好ましい。   In the present invention, as the compounding ratio of the respective components when obtaining the (A) polyamideimide resin, the acid anhydride is preferably 2.0 to 2.4 mol, based on 1 mol of the diamine. Preferably it is 2.0-2.2 mol. Although the reaction temperature at the time of making diamine and an acid anhydride react and imidating by dehydration ring closure is not specifically limited, It is preferable to exist in the range of 140 degreeC-200 degreeC. Although the reaction temperature of the imide compound obtained by making it react with the said diamine and the said acid anhydride and a diisocyanate compound is not specifically limited, It is preferable to exist in the range of 130 to 200 degreeC.

上記(A)ポリアミドイミド樹脂は、アルカリ現像工程に対応するために、その酸価が50mgKOH/g以上であることが好ましく、50〜200mgKOH/gであることがより好ましく、70〜130mgKOH/gであることがさらに好ましい。酸価が50mgKOH/g以上であると、アルカリに対する溶解性が増大し、現像性が良好となり、さらには、光照射後の熱硬化成分との架橋度が高くなるため、十分な現像コントラストを得ることができる。一方、酸価が200mgKOH/g以下であると、後述する光照射後のPEB(POST EXPOSURE BAKE)工程でのいわゆる熱かぶりを抑制でき、プロセスマージンが大きくなる。   In order to correspond to the alkali development step, the (A) polyamideimide resin preferably has an acid value of 50 mgKOH / g or more, more preferably 50 to 200 mgKOH / g, and 70 to 130 mgKOH / g. More preferably it is. When the acid value is 50 mgKOH / g or more, the solubility in alkali is increased, the developability is improved, and further, the degree of crosslinking with the thermosetting component after light irradiation is increased, so that sufficient development contrast is obtained. be able to. On the other hand, when the acid value is 200 mgKOH / g or less, so-called heat fogging in a PEB (POST EXPOSURE BAKE) step after light irradiation described later can be suppressed, and the process margin is increased.

また、(A)ポリアミドイミド樹脂の分子量は、現像性と硬化塗膜特性を考慮すると、質量平均分子量10,000以下であることが好ましく、1000〜8000がより好ましく、2000〜6000がさらに好ましい。分子量が10,000以下であると、未露光部のアルカリ溶解性が増加し、現像性が向上する。一方、分子量が1000以上であると、露光部において、露光・PEB後に十分な耐現像性と硬化物性を得ることができる。   The molecular weight of the (A) polyamideimide resin is preferably 10,000 or less, more preferably 1000 to 8000, and still more preferably 2000 to 6000, considering developability and cured coating film characteristics. When the molecular weight is 10,000 or less, the alkali solubility in the unexposed area is increased and the developability is improved. On the other hand, when the molecular weight is 1000 or more, sufficient development resistance and cured properties can be obtained after exposure and PEB in the exposed portion.

[(B)光塩基発生剤]
(B)光塩基発生剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、カルボキシル基を有するポリイミド樹脂と熱硬化成分との付加反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質としては、例えば、2級アミン、3級アミンが挙げられる。
[(B) Photobase generator]
(B) The photobase generator is a catalyst for an addition reaction between a polyimide resin having a carboxyl group and a thermosetting component when the molecular structure is changed by light irradiation such as ultraviolet light or visible light, or when the molecule is cleaved. Is a compound that produces one or more basic substances that can function as Examples of basic substances include secondary amines and tertiary amines.

光塩基発生剤としては、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基、N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。中でも、オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン化合物が好ましい。α−アミノアセトフェノン化合物としては、特に、2つ以上の窒素原子を有するものが好ましい。   Examples of the photobase generator include α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, N-acylated aromatic amino groups, nitrobenzyl carbamate groups, alcoholoxybenzyls. Examples thereof include compounds having a substituent such as a carbamate group. Of these, oxime ester compounds and α-aminoacetophenone compounds are preferred. As the α-aminoacetophenone compound, those having two or more nitrogen atoms are particularly preferable.

その他の光塩基発生剤として、WPBG−018(商品名:9-anthrylmethylN,N’-diethylcarbamate),WPBG−027(商品名:(E)-1-[3-(2-hydroxyphenyl)-2-propenoyl]piperidine),WPBG−082(商品名:guanidinium2-(3-benzoylphenyl)propionate),WPBG−140(商品名:1-(anthraquinon-2-yl)ethyl imidazolecarboxylate)等を使用することもできる。   Other photobase generators include WPBG-018 (trade name: 9-anthrylmethylN, N'-diethylcarbamate), WPBG-027 (trade name: (E) -1- [3- (2-hydroxyphenyl) -2-propenoyl piperidine), WPBG-082 (trade name: guanidinium2- (3-benzoylphenyl) propionate), WPBG-140 (trade name: 1- (anthraquinon-2-yl) ethyl imidazolecarboxylate), and the like.

α−アミノアセトフェノン化合物は、分子中にベンゾインエーテル結合を有し、光照射を受けると分子内で開裂が起こり、硬化触媒作用を奏する塩基性物質(アミン)が生成する。α−アミノアセトフェノン化合物の具体例としては、(4−モルホリノベンゾイル)−1−ベンジル−1−ジメチルアミノプロパン(イルガキュア369、商品名、BASFジャパン(株)製)や、4−(メチルチオベンゾイル)−1−メチル−1−モルホリノエタン(イルガキュア907、商品名、BASFジャパン(株)製)、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン(イルガキュア379、商品名、BASFジャパン(株)製)などの市販の化合物またはその溶液を用いることができる。   The α-aminoacetophenone compound has a benzoin ether bond in the molecule, and when irradiated with light, cleavage occurs in the molecule to produce a basic substance (amine) that exhibits a curing catalytic action. Specific examples of the α-aminoacetophenone compound include (4-morpholinobenzoyl) -1-benzyl-1-dimethylaminopropane (Irgacure 369, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) and 4- (methylthiobenzoyl)- 1-methyl-1-morpholinoethane (Irgacure 907, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.), 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4- A commercially available compound such as morpholinyl) phenyl] -1-butanone (Irgacure 379, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) or a solution thereof can be used.

オキシムエステル化合物としては、光照射により塩基性物質を生成する化合物であればいずれも使用することができる。かかるオキシムエステル化合物としては、市販品として、BASFジャパン(株)製のCGI−325、イルガキュアーOXE01、イルガキュアーOXE02、(株)アデカ製のN−1919、NCI−831などが挙げられる。また、特許第4344400号公報に記載された、分子内に2個のオキシムエステル基を有する化合物も好適に用いることができる。   As the oxime ester compound, any compound that generates a basic substance by light irradiation can be used. Examples of such oxime ester compounds include CGI-325, Irgacure OXE01, Irgacure OXE02 manufactured by BASF Japan, and N-1919, NCI-831 manufactured by Adeka Corporation. Moreover, the compound which has two oxime ester groups in the molecule | numerator described in the patent 4344400 gazette can also be used suitably.

その他、特開2004−359639号公報、特開2005−097141号公報、特開2005−220097号公報、特開2006−160634号公報、特開2008−094770号公報、特表2008−509967号公報、特表2009−040762号公報、特開2011−80036号公報に記載のカルバゾールオキシムエステル化合物等を挙げることができる。   In addition, JP-A-2004-359639, JP-A-2005-097141, JP-A-2005-220097, JP-A-2006-160634, JP-A-2008-094770, JP-A-2008-509967, Specific examples include carbazole oxime ester compounds described in JP-A-2009-040762 and JP-A-2011-80036.

このような光塩基発生剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。感光性熱硬化性樹脂組成物中の光塩基発生剤の配合量は、熱硬化成分100質量部に対して、好ましくは0.1〜40質量部であり、より好ましくは0.1〜30質量部である。光塩基発生剤の配合量が0.1質量部以上であると、光照射部/未照射部の耐現像性のコントラストを良好に得ることができる。また、光塩基発生剤の配合量が40質量部以下であると、硬化物の特性が向上する。   Such a photobase generator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. The blending amount of the photobase generator in the photosensitive thermosetting resin composition is preferably 0.1 to 40 parts by mass, more preferably 0.1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermosetting component. Part. When the blending amount of the photobase generator is 0.1 parts by mass or more, it is possible to satisfactorily obtain the development resistance contrast of the light irradiated part / non-irradiated part. Moreover, the characteristic of hardened | cured material improves that the compounding quantity of a photobase generator is 40 mass parts or less.

[(C)熱硬化成分]
(C)熱硬化成分は、熱によって、カルボキシル基またはフェノール性水酸基と付加反応することが可能な官能基を有するものである。熱硬化成分としては、例えば、環状(チオ)エーテル基を有する環状エーテル化合物が好ましく、エポキシ樹脂、多官能オキセタン化合物等が挙げられる。
[(C) Thermosetting component]
(C) The thermosetting component has a functional group capable of undergoing an addition reaction with a carboxyl group or a phenolic hydroxyl group by heat. As the thermosetting component, for example, a cyclic ether compound having a cyclic (thio) ether group is preferable, and examples thereof include an epoxy resin and a polyfunctional oxetane compound.

上記エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する樹脂であり、公知のものをいずれも使用することができ、分子中にエポキシ基を2個有する2官能性エポキシ樹脂や、分子中にエポキシ基を多数有する多官能エポキシ樹脂等が挙げられる。また、水素添加された2官能エポキシ化合物であってもよい。   The epoxy resin is a resin having an epoxy group, and any known one can be used, and a bifunctional epoxy resin having two epoxy groups in the molecule or a polyfunctional epoxy resin having many epoxy groups in the molecule. A functional epoxy resin etc. are mentioned. Further, a hydrogenated bifunctional epoxy compound may be used.

上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物;ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂、CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy resin, brominated epoxy resin, novolac type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, hydantoin type epoxy resin, and alicyclic type. Epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bixylenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; bisphenol S type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin, heterocyclic epoxy resin , Diglycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin, epoxy resin having dicyclopentadiene skeleton, glycidyl methacrylate Relate copolymerization system epoxy resins, copolymerized epoxy resins of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate, and a CTBN modified epoxy resin.

その他の液状2官能性エポキシ樹脂としては、ビニルシクロヘキセンジエポキシド、(3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、(3’,4’−エポキシ−6’−メチルシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート等の脂環族エポキシ樹脂を挙げることができる。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   Other liquid bifunctional epoxy resins include vinylcyclohexene diepoxide, (3 ′, 4′-epoxycyclohexylmethyl) -3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, and (3 ′, 4′-epoxy-6′-methyl). And alicyclic epoxy resins such as (cyclohexylmethyl) -3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate. These epoxy resins may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

なお、(C)熱硬化成分として、マレイミド化合物、ブロックイソシアネート化合物、アミノ樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、カルボジイミド樹脂、シクロカーボネート化合物、エピスルフィド樹脂などの公知慣用の化合物を配合してもよい。   In addition, you may mix | blend well-known and usual compounds, such as a maleimide compound, a block isocyanate compound, an amino resin, a benzoxazine resin, a carbodiimide resin, a cyclocarbonate compound, an episulfide resin, as a thermosetting component (C).

(C)熱硬化成分の配合量としては、上記(A)ポリアミドイミド樹脂との当量比(カルボキシル基:エポキシ基などの熱反応性基)が10:1〜1:10であることが好ましい。このような配合比の範囲とすることにより、現像性が良好となり、微細パターンを容易に形成することができる。上記当量比は、10:2〜2:10であることがより好ましい。   (C) As a compounding quantity of a thermosetting component, it is preferable that equivalence ratio (Thermo-reactive group, such as a carboxyl group: an epoxy group) with said (A) polyamideimide resin is 10: 1 to 1:10. By setting it as the range of such a compounding ratio, developability becomes favorable and a fine pattern can be formed easily. The equivalent ratio is more preferably 10: 2 to 2:10.

[(D)ポリイミド樹脂]
本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、さらに、(D)イミド環およびフェノール性水酸基を有するポリイミド樹脂を含むことが好ましい。フェノール性水酸基が存在すると、存在しない場合に比べて、露光後の加熱硬化反応(PEB)工程時において、同一の加熱温度下での、付加反応によりアルカリ耐性となるまでの時間を長くすることができ、また、PEB工程時加の熱温度の選択幅を広げることができる。このため、感光性熱硬化性樹脂組成物の作業性および取扱性が向上する。また、未露光部がアルカリ耐性となる、いわゆるかぶりの発生を抑制することもできる。このような(D)ポリイミド樹脂は、原料として、フェノール性水酸基を有するアミン成分やイソシアネート成分を用いることにより、合成することができる。
[(D) Polyimide resin]
The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention preferably further includes (D) a polyimide resin having an imide ring and a phenolic hydroxyl group. When a phenolic hydroxyl group is present, the time until it becomes alkali resistant by an addition reaction under the same heating temperature in the heat curing reaction (PEB) step after exposure may be increased as compared with the case where it does not exist. In addition, the selection range of the heat temperature during the PEB process can be expanded. For this reason, workability | operativity and handleability of the photosensitive thermosetting resin composition are improved. In addition, it is possible to suppress the occurrence of so-called fogging in which the unexposed part becomes resistant to alkali. Such (D) polyimide resin can be synthesized by using an amine component or an isocyanate component having a phenolic hydroxyl group as a raw material.

上記(D)ポリイミド樹脂は、イミド環として、下記式(1)で表される部分構造を有することが好ましい。式(1)中、Rが芳香環を含むものであることがより好ましい。

Figure 0006568715
上記式(1)で表される部分構造は、下記式(2)または(3)で表されるものであることが、さらに好ましい。
Figure 0006568715
Figure 0006568715
The (D) polyimide resin preferably has a partial structure represented by the following formula (1) as an imide ring. In Formula (1), it is more preferable that R contains an aromatic ring.
Figure 0006568715
The partial structure represented by the above formula (1) is more preferably represented by the following formula (2) or (3).
Figure 0006568715
Figure 0006568715

上記(D)ポリイミド樹脂は、イミド環およびフェノール性水酸基に加えて、さらに、カルボキシル基を有することが好ましく、この場合のカルボキシル基の位置は特に限定されない。上記イミド環またはそれと結合する基の置換基としてカルボキシル基が存在してもよく、後述するアミン成分やイソシアネート成分としてカルボキシル基を有するものを用いて合成を行うことによって、ポリイミド樹脂にカルボキシル基を導入してもよい。   The (D) polyimide resin preferably further has a carboxyl group in addition to the imide ring and the phenolic hydroxyl group, and the position of the carboxyl group in this case is not particularly limited. A carboxyl group may be present as a substituent of the imide ring or a group bonded thereto, and the carboxyl group is introduced into the polyimide resin by synthesis using an amine component or an isocyanate component having a carboxyl group described later. May be.

上記(D)ポリイミド樹脂の合成には、公知慣用の手法を用いることができ、例えば、カルボン酸無水物成分と、アミン成分およびイソシアネート成分のうちのいずれか一方または双方とを反応させる手法を用いることができる。イミド化は、熱イミド化で行っても、化学イミド化で行ってもよく、また、これらを併用して製造してもよい。   For the synthesis of the (D) polyimide resin, a known and commonly used technique can be used. For example, a technique of reacting a carboxylic anhydride component with one or both of an amine component and an isocyanate component is used. be able to. Imidization may be performed by thermal imidization, chemical imidization, or a combination thereof.

カルボン酸無水物成分としては、上記(A)ポリアミドイミド樹脂について挙げたカルボン酸一無水物やカルボン酸二無水物を用いることができるが、これらの酸無水物に限定されるものではなく、アミノ基やイソシアネート基と反応する酸無水物基およびカルボキシル基を有する化合物であれば、その誘導体を含め用いることができる。これらのカルボン酸無水物成分は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   As the carboxylic acid anhydride component, the carboxylic acid monoanhydrides and carboxylic dianhydrides mentioned for the (A) polyamideimide resin can be used, but the carboxylic acid anhydride components are not limited to these acid anhydrides. As long as it is a compound having an acid anhydride group and a carboxyl group that react with a group or an isocyanate group, derivatives thereof can be used. These carboxylic anhydride components may be used alone or in combination of two or more.

フェノール性水酸基を有するアミン成分としては、例えば、2,4−ジアミノフェノール等のジアミノフェノール類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラヒドロキシビフェニル等のヒドロキシビフェニル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルメタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラヒドロキシジフェニルメタン等のヒドロキシジフェニルメタン等のヒドロキシジフェニルアルカン類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラヒドロキシジフェニルエーテル等のヒドロキシジフェニルエーテル化合物、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラヒドロキシジフェニルスルフォン等のジフェニルスルフォン化合物、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニル]プロパン等のビス[(ヒドロキシフェニル)フェニル]アルカン化合物類、4,4’−ビス(4−アミノ−3−ヒドキシフェノキシ)ビフェニル等のビス(ヒドキシフェノキシ)ビフェニル化合物類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニル]スルフォン等のビス[(ヒドロキシフェノキシ)フェニル]スルフォン化合物、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルメタン等のカルボキシジフェニルアルカン類、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)ビフェニル等のビス(ヒドロキシフェノキシ)ビフェニル化合物類、1,3−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)ベンゼン等のビス(ヒドロキシフェノキシ)ベンゼン化合物類等が挙げられる。これらのアミン成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。   Examples of the amine component having a phenolic hydroxyl group include diaminophenols such as 2,4-diaminophenol, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxybiphenyl, 4,4′-diamino-3,3 ′. Hydroxybiphenyl compounds such as -dihydroxybiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-dihydroxybiphenyl, 4,4'-diamino-2,2 ', 5,5'-tetrahydroxybiphenyl, 3,3' -Diamino-4,4'-dihydroxydiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-dihydroxydiphenylmethane, 4,4'-diamino-2,2'-dihydroxydiphenylmethane, 2,2-bis [3 -Amino-4-hydroxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-hydroxyphenyl] pro 2,2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] hexafluoropropane, hydroxydiphenylalkanes such as hydroxydiphenylmethane such as 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5′-tetrahydroxydiphenylmethane 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4 Hydroxy diphenyl ether compounds such as' -diamino-2,2 ', 5,5'-tetrahydroxydiphenyl ether, 3,3'-diamino-4,4'-dihydroxydiphenyl sulfone, 4,4'-diamino-3,3' -Dihydroxydiphenylsulfone, 4,4'-diamino- , 2′-dihydroxydiphenylsulfone, 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5′-tetrahydroxydiphenylsulfone and the like, 2,2-bis [4- (4-amino-3- Bis [(hydroxyphenyl) phenyl] alkane compounds such as hydroxyphenoxy) phenyl] propane, bis (hydroxyphenoxy) biphenyl compounds such as 4,4′-bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) biphenyl, Bis [(hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone compounds such as 2,2-bis [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenylmethane, Such as 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenylmethane Bis (hydroxyphenoxy) biphenyl compounds such as ruboxidiphenylalkanes, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenylmethane, 4,4′-bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) biphenyl, Examples thereof include bis (hydroxyphenoxy) benzene compounds such as 1,3-bis (3-amino-4-hydroxyphenoxy) benzene and 1,3-bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) benzene. These amine components may be used alone or in combination.

イソシアネート成分としては、上記(A)ポリアミドイミド樹脂について挙げたジイソシアネートを、単独でまたは組み合わせて使用することができる。   As an isocyanate component, the diisocyanate mentioned about the said (A) polyamideimide resin can be used individually or in combination.

(D)ポリイミド樹脂の分子量は、露光・PEB後の現像性、耐現像性および硬化塗膜特性を考慮すると、質量平均分子量1,000〜100,000が好ましく、2,000〜50,000がより好ましい。   (D) The molecular weight of the polyimide resin is preferably from 1,000 to 100,000, more preferably from 2,000 to 50,000, considering the developability after exposure / PEB, development resistance and cured coating properties. More preferred.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物には、熱硬化触媒を配合することができる。熱硬化触媒は、(C)熱硬化成分の熱硬化特性をさらに向上させるために使用され、例えば、ジシアンジアミド、芳香族アミンなどのアミン化合物、イミダゾール類、リン化合物、酸無水物、二環式アミジン化合物などを使用できる。具体的には、イミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン、等のアミン化合物、トリフェニルホスフィン等のリン化合物、等を用いることができる。より具体的には、イミダゾール類化合物として、1B2PZ、2E4MZ、2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4MHZ(四国化成工業(株)製);ジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物として、U−CAT3503N、−3502T(サンアプロ社製);二環式アミジン化合物およびその塩として、DBU、DBN、U−CAT SA1
02、U−CAT5002(サンアプロ(株)製)等が挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、あるいは2種類以上を組み合わせて使用してもよい。
A thermosetting catalyst can be blended with the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention. The thermosetting catalyst is used to further improve the thermosetting characteristics of the thermosetting component (C), for example, amine compounds such as dicyandiamide and aromatic amines, imidazoles, phosphorus compounds, acid anhydrides, and bicyclic amidines. A compound etc. can be used. Specifically, imidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2 -Imidazoles such as phenylimidazole, 1- (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy- Amine compounds such as N, N-dimethylbenzylamine and 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine, phosphorus compounds such as triphenylphosphine, and the like can be used. More specifically, as imidazole compounds, 1B2PZ, 2E4MZ, 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4MHZ (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.); (Manufactured by San Apro); DBU, DBN, U-CAT SA1 as bicyclic amidine compounds and salts thereof
02, U-CAT5002 (manufactured by Sun Apro Co., Ltd.) and the like. These may be used singly or in combination of two or more.

熱硬化触媒の含有率は、通常の配合割合で充分であり、例えば、(C)熱硬化成分100質量部に対して、0.1質量部〜10質量部が好ましい。   For the content of the thermosetting catalyst, a normal blending ratio is sufficient. For example, 0.1 mass part to 10 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of the (C) thermosetting component.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物には、無機充填剤を配合することもできる。無機充填剤は、感光性熱硬化性樹脂組成物の硬化物の硬化収縮を抑制し、密着性や硬度などの特性を向上させるために使用される。無機充填剤としては、例えば、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、無定形シリカ、結晶性シリカ、溶融シリカ、球状シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ノイブルグシリシャスアース等が挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、あるいは2種類以上を組み合わせて使用してもよい。   An inorganic filler can also be blended with the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention. The inorganic filler is used for suppressing the curing shrinkage of the cured product of the photosensitive thermosetting resin composition and improving the properties such as adhesion and hardness. Examples of inorganic fillers include barium sulfate, barium titanate, amorphous silica, crystalline silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, and nitride. Aluminum, boron nitride, Neuburg silicon earth, etc. are mentioned. These may be used singly or in combination of two or more.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物には、着色剤を配合することもできる。着色剤としては、赤、青、緑、黄、白、黒などの慣用公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。   A coloring agent can also be mix | blended with the photosensitive thermosetting resin composition of this invention. As the colorant, conventionally known colorants such as red, blue, green, yellow, white, and black can be used, and any of pigments, dyes, and pigments may be used.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物には、得られる硬化物の可撓性、指触乾燥性の向上を目的に慣用公知の高分子樹脂を配合することができる。高分子樹脂としてはセルロース系、ポリエステル系、フェノキシ樹脂系ポリマー、ポリビニルアセタール系、ポリビニルブチラール系、ポリアミド系、ポリイミド系、ポリアミドイミド系バインダーポリマー、ブロック共重合体、エラストマー等が挙げられる。高分子樹脂は1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。   The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention can be blended with conventionally known polymer resins for the purpose of improving the flexibility and dryness of the touch of the resulting cured product. Examples of the polymer resin include cellulose-based, polyester-based, phenoxy-resin-based polymer, polyvinyl acetal-based, polyvinyl butyral-based, polyamide-based, polyimide-based, polyamide-imide-based binder polymer, block copolymer, and elastomer. One type of polymer resin may be used alone, or two or more types may be used in combination.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物には、樹脂組成物の調製のためや、基材やキャリアフィルムに塗布する際の粘度調整のために、有機溶剤を使用することができる。このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などを挙げることができる。このような有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。   In the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention, an organic solvent can be used for preparing the resin composition or adjusting the viscosity when applied to a substrate or a carrier film. Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like. Such an organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as a 2 or more types of mixture.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物には、必要に応じてさらに、光重合性モノマー、メルカプト化合物、密着促進剤(密着性付与剤)、酸化防止剤、紫外線吸収剤、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、シランカップリング剤、防錆剤等の公知慣用の成分を添加することができる。このうち増粘剤としては、例えば、微粉シリカ、ハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどが挙げられ、消泡剤としては、例えば、シリコーン系、フッ素系、高分子系などが挙げられる。なお、光重合性モノマーの配合量は、上記(A)ポリアミドイミド樹脂100質量部に対して、15質量部以下であることが好ましく、10質量部以下であることがより好ましく、0質量部である(含まない)ことが最も好ましい。   The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention may further include a photopolymerizable monomer, a mercapto compound, an adhesion promoter (adhesion imparting agent), an antioxidant, an ultraviolet absorber, a thickener, if necessary. Known and commonly used components such as an antifoaming agent, a leveling agent, a silane coupling agent, and a rust preventive agent can be added. Among these, examples of the thickener include finely divided silica, hydrotalcite, organic bentonite, and montmorillonite, and examples of the antifoaming agent include silicone, fluorine, and polymer. In addition, it is preferable that the compounding quantity of a photopolymerizable monomer is 15 mass parts or less with respect to 100 mass parts of said (A) polyamideimide resin, It is more preferable that it is 10 mass parts or less, It is 0 mass part. Most preferably (not included).

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物により得られる硬化物は、屈曲性および耐熱性に優れ、かつ、アルカリ現像により微細加工が可能であることから、本発明によれば、ポリアミドイミド樹脂に対してアルカリ現像型の感光性樹脂組成物を部分的に併用する必要がなく、フレキシブルプリント配線板の折り曲げ部および実装部のいずれにも用いることができ、折り曲げ部および実装部の一括形成プロセスに好適である。   The cured product obtained from the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is excellent in flexibility and heat resistance and can be finely processed by alkali development. On the other hand, it is not necessary to partially use the alkali development type photosensitive resin composition, and it can be used for both the bent portion and the mounting portion of the flexible printed wiring board, and is used for the batch forming process of the bent portion and the mounting portion. Is preferred.

本発明のドライフィルムは、上記本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有する点に特徴を有する。ドライフィルム化に際しては、例えば、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物を有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、コンマコーター等の公知の手法でキャリアフィルム上に均一な厚さに塗布する。その後、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥することで、キャリアフィルム上に樹脂層を形成することができる。   The dry film of the present invention is characterized in that it has a resin layer comprising the above-described photosensitive thermosetting resin composition of the present invention. In forming a dry film, for example, the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is diluted with an organic solvent to adjust to an appropriate viscosity, and a uniform thickness is formed on the carrier film by a known method such as a comma coater. Apply. Thereafter, the resin layer can be usually formed on the carrier film by drying at a temperature of 50 to 130 ° C. for 1 to 30 minutes.

キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられる。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。キャリアフィルム上に樹脂層を形成した後、さらに、樹脂層の表面に剥離可能なカバーフィルムを積層してもよい。   A plastic film is used as the carrier film. Although there is no restriction | limiting in particular about the thickness of a carrier film, Generally, it selects suitably in the range of 10-150 micrometers. After forming the resin layer on the carrier film, a peelable cover film may be further laminated on the surface of the resin layer.

また、本発明のプリント配線板は、上記本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物、または、上記本発明のドライフィルムを用いて形成される硬化物を備える点に特徴を有する。本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は屈曲性に優れるので、本発明のプリント配線板は、特に、フレキシブルプリント配線板として有用である。   Moreover, the printed wiring board of this invention has the characteristics in the point provided with the hardened | cured material formed using the photosensitive thermosetting resin composition of the said invention or the said dry film of this invention. Since the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is excellent in flexibility, the printed wiring board of the present invention is particularly useful as a flexible printed wiring board.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物を用いてプリント配線板の樹脂絶縁層を形成する場合、好適な製造方法は、下記のようになる。すなわち、プリント配線板上に本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程、樹脂層に光をパターン状に照射する工程、樹脂層を加熱する工程(PEB)、および、樹脂層をアルカリ現像して、パターンを有する樹脂絶縁層を形成する工程を含む製造方法である。また、必要に応じて、アルカリ現像後、さらなる光照射や加熱硬化(ポストキュア)を行い、樹脂組成物を完全硬化させて信頼性の高い樹脂絶縁層を得ることができる。本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物においては、光照射により(B)光塩基発生剤から生ずる塩基の触媒作用によって、加熱により、露光部において(A)ポリアミドイミド樹脂のカルボキシル基と熱硬化成分とが付加反応することで、アルカリ現像によるネガ型のパターン形成が可能となるものである。   When forming the resin insulation layer of a printed wiring board using the photosensitive thermosetting resin composition of this invention, a suitable manufacturing method is as follows. That is, a step of forming a resin layer made of the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention on a printed wiring board, a step of irradiating the resin layer with light in a pattern, a step of heating the resin layer (PEB), and The manufacturing method includes a step of alkali-developing the resin layer to form a resin insulating layer having a pattern. Further, if necessary, after the alkali development, further light irradiation or heat curing (post-cure) can be performed to completely cure the resin composition to obtain a highly reliable resin insulating layer. In the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention, (A) the carboxyl group of the polyamidoimide resin and thermosetting in the exposed part by heating due to the catalytic action of the base generated from the photobase generator (B) upon light irradiation. By addition reaction with the components, a negative pattern can be formed by alkali development.

[樹脂層形成工程]
この工程では、プリント配線板上に、上記感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を少なくとも一層形成する。樹脂層の形成方法としては、塗布法と、ラミネート法が挙げられる。塗布法の場合、スクリーン印刷等の方法により、上記感光性熱硬化性樹脂組成物をプリント配線板上に塗布し、乾燥することにより樹脂層を形成する。ラミネート法の場合、まずは、上記感光性熱硬化性樹脂組成物を有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、キャリアフィルム上に塗布、乾燥して樹脂層を有するドライフィルムを作製する。次に、ラミネーター等により、このドライフィルムをプリント配線板に、樹脂層がプリント配線板と接触するように貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥離する。
[Resin layer forming step]
In this step, at least one resin layer made of the photosensitive thermosetting resin composition is formed on the printed wiring board. Examples of the method for forming the resin layer include a coating method and a laminating method. In the case of the application method, the photosensitive thermosetting resin composition is applied onto a printed wiring board by a method such as screen printing and dried to form a resin layer. In the case of the laminating method, first, the photosensitive thermosetting resin composition is diluted with an organic solvent to have an appropriate viscosity, applied onto a carrier film, and dried to produce a dry film having a resin layer. Next, this dry film is bonded to the printed wiring board by a laminator or the like so that the resin layer is in contact with the printed wiring board, and then the carrier film is peeled off.

ここで、樹脂層とプリント配線板との間には、他の層を介在させることができる。このような他の層は、アルカリ現像型感光性樹脂組成物からなることが好ましい。アルカリ現像型感光性樹脂組成物としては、公知の組成物を使用することができ、例えば、カバーレイ用またはソルダーレジスト用の公知の組成物を使用できる。このように他の層を含めた積層構造とすることにより、さらに耐衝撃性と屈曲性に優れた硬化物を得ることができる。   Here, another layer can be interposed between the resin layer and the printed wiring board. Such other layers are preferably made of an alkali developing type photosensitive resin composition. As an alkali development type photosensitive resin composition, a well-known composition can be used, for example, the well-known composition for coverlays or a soldering resist can be used. Thus, by setting it as the laminated structure including another layer, the hardened | cured material which was further excellent in impact resistance and flexibility can be obtained.

[光照射工程]
この工程では、光照射により、ネガ型のパターン状に樹脂層に含まれる光塩基発生剤を活性化させて、光照射部を硬化する。この工程では、光照射部で発生した塩基により、光塩基発生剤が不安定化し、塩基が化学的に増殖することにより、樹脂層の深部まで十分に硬化できる。光照射機としては、直接描画装置、メタルハライドランプを搭載した光照射機などを用いることができる。パターン状の光照射用のマスクは、ネガ型のマスクである。
[Light irradiation process]
In this step, the light irradiation part is cured by activating the photobase generator contained in the resin layer in a negative pattern by light irradiation. In this step, the base generated in the light irradiation part destabilizes the photobase generator, and the base is chemically proliferated, so that the resin layer can be sufficiently hardened. As the light irradiator, a direct writer, a light irradiator equipped with a metal halide lamp, or the like can be used. The patterned light irradiation mask is a negative mask.

光照射に用いる活性エネルギー線としては、最大波長が350〜450nmの範囲にあるレーザー光または散乱光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、効率よく光塩基発生剤を活性化させることができる。この範囲のレーザー光を用いていれば、ガスレーザー、固体レーザーのいずれでもよい。また、その光照射量は膜厚等によって異なるが、一般には100〜1500mJ/cmとすることができる。 As the active energy ray used for light irradiation, it is preferable to use laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. By setting the maximum wavelength within this range, the photobase generator can be activated efficiently. As long as a laser beam in this range is used, either a gas laser or a solid laser may be used. Moreover, although the light irradiation amount changes with film thicknesses etc., it can generally be set as 100-1500 mJ / cm < 2 >.

[加熱工程]
この工程では、光照射後、樹脂層を加熱することにより、光照射部を硬化する。この工程により、光照射工程で発生した塩基によって、深部まで硬化できる。加熱温度は、例えば、80〜140℃である。加熱時間は、例えば、1〜100分である。本発明における感光性熱硬化性樹脂組成物の硬化は、例えば、熱反応によるエポキシ樹脂の開環反応であるため、光ラジカル反応で硬化が進行する場合と比べてひずみや硬化収縮を抑えることができる。
[Heating process]
In this step, the light irradiation part is cured by heating the resin layer after the light irradiation. By this process, it is possible to cure to a deep part by the base generated in the light irradiation process. The heating temperature is, for example, 80 to 140 ° C. The heating time is, for example, 1 to 100 minutes. Since the curing of the photosensitive thermosetting resin composition in the present invention is, for example, a ring-opening reaction of an epoxy resin by a thermal reaction, it can suppress distortion and curing shrinkage compared to the case where curing proceeds by a photoradical reaction. it can.

[現像工程]
この工程では、アルカリ現像により、光照射部を除去して、ネガ型のパターン状の絶縁膜、特には、カバーレイおよびソルダーレジストを形成する。現像方法としては、ディッピング等の公知の方法によることができる。また、現像液としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化カリウム、アミン類、2−メチルイミダゾール等のイミダゾール類、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)等のアルカリ水溶液、または、これらの混合液を用いることができる。なお、現像工程の後に、さらに、絶縁膜に光照射してもよい。また、例えば、150℃以上で加熱してもよい。
[Development process]
In this step, the light irradiation part is removed by alkali development to form a negative pattern insulating film, in particular, a cover lay and a solder resist. The developing method can be a known method such as dipping. As the developer, sodium carbonate, potassium carbonate, potassium hydroxide, amines, imidazoles such as 2-methylimidazole, alkaline aqueous solutions such as tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH), or a mixed solution thereof. Can be used. Note that the insulating film may be further irradiated with light after the development step. For example, you may heat at 150 degreeC or more.

次に、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物からフレキシブルプリント配線板を製造する方法の一例を、図1の工程図に基づき説明する。なお、図1では、樹脂層が積層構造である場合を示すが、1層のみからなる場合でもよい。   Next, an example of a method for producing a flexible printed wiring board from the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention will be described based on the process diagram of FIG. FIG. 1 shows a case where the resin layer has a laminated structure, but it may be composed of only one layer.

図1の積層工程では、樹脂層3と樹脂層4からなる積層構造体を、銅回路2が形成されたフレキシブルプリント配線基材1に形成する。樹脂層3は、カルボキシル基含有樹脂などを含むアルカリ現像型の感光性樹脂組成物からなる。また、樹脂層4は、上記ポリアミドイミド樹脂、光塩基発生剤および熱硬化成分を含む本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる。   In the laminating process of FIG. 1, a laminated structure composed of the resin layer 3 and the resin layer 4 is formed on the flexible printed wiring substrate 1 on which the copper circuit 2 is formed. The resin layer 3 is made of an alkali development type photosensitive resin composition containing a carboxyl group-containing resin or the like. Moreover, the resin layer 4 consists of the photosensitive thermosetting resin composition of this invention containing the said polyamidoimide resin, a photobase generator, and a thermosetting component.

図1の光照射工程は、樹脂層4上にマスク5を配置し、ネガ型のパターン状に光照射することにより、感光性熱硬化性樹脂組成物に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化する工程である。図1の加熱工程は、光照射工程の後、樹脂層を加熱することにより、光照射部を硬化する工程(PEB工程)である。図1の現像工程は、アルカリ性水溶液によって現像することにより、未照射部が除去され、ネガ型のパターン層を形成する工程である。   The light irradiation process of FIG. 1 activates the photobase generator contained in the photosensitive thermosetting resin composition by disposing a mask 5 on the resin layer 4 and irradiating light in a negative pattern. This is a step of curing the light irradiation part. The heating process of FIG. 1 is a process (PEB process) of curing the light irradiation part by heating the resin layer after the light irradiation process. The development process in FIG. 1 is a process in which an unirradiated portion is removed by developing with an alkaline aqueous solution, and a negative pattern layer is formed.

なお、図1の第2光照射工程は、必要に応じて、残った光塩基発生剤を活性化して塩基を発生させるための工程であり、熱硬化工程は、必要に応じて、パターン層を十分に熱硬化させるための工程である。   In addition, the 2nd light irradiation process of FIG. 1 is a process for activating the remaining photobase generator as needed, and generating a base, and a thermosetting process is a pattern layer as needed. This is a process for sufficient heat curing.

以下、実施例、比較例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例、比較例によって制限されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not restrict | limited by these Examples and a comparative example.

<合成例1:ポリアミドイミド樹脂溶液の合成例>
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル3つ口フラスコに、3,5−ジアミノ安息香酸を3.8g、2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを6.98g、ジェファーミンXTJ−542(ハンツマン社製、分子量1025.64)を8.21g、γ−ブチロラクトンを86.49g、室温で仕込み、溶解した。
<Synthesis Example 1: Synthesis Example of Polyamideimide Resin Solution>
3.8 g of 3,5-diaminobenzoic acid, 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) in a separable three-necked flask equipped with a stirrer, nitrogen inlet tube, fractional ring, and cooling ring 6.98 g of phenyl] propane, 8.21 g of Jeffamine XTJ-542 (manufactured by Huntsman, molecular weight 10225.64) and 86.49 g of γ-butyrolactone were charged at room temperature and dissolved.

次いで、シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物17.84gおよびトリメリット酸無水物2.88gを仕込み、室温で30分間保持した。次いで、トルエンを30g加え、160℃まで昇温して、トルエンおよび水を留去しながら3時間撹拌した後、室温まで冷却し、イミド化物溶液を得た。   Next, 17.84 g of cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride and 2.88 g of trimellitic anhydride were charged and held at room temperature for 30 minutes. Next, 30 g of toluene was added, the temperature was raised to 160 ° C., the mixture was stirred for 3 hours while distilling off toluene and water, and then cooled to room temperature to obtain an imidized product solution.

得られたイミド化物溶液に、トリメリット酸無水物9.61gおよびトリメチルヘキサメチレンジイソシアネート17.45gを仕込み、温度160℃で32時間撹拌した。こうしてカルボキシル基を有するポリアミドイミド樹脂溶液(PA−1)を得た。得られた樹脂溶液(PA−1)の固形分は40.1質量%、固形分の酸価は83.1mgKOHであった。   To the obtained imidized product solution, 9.61 g of trimellitic anhydride and 17.45 g of trimethylhexamethylene diisocyanate were charged and stirred at a temperature of 160 ° C. for 32 hours. Thus, a polyamideimide resin solution (PA-1) having a carboxyl group was obtained. The solid content of the obtained resin solution (PA-1) was 40.1% by mass, and the acid value of the solid content was 83.1 mgKOH.

<合成例2:イミド環、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂溶液の合成>
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル3つ口フラスコに、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルホン22.4g、2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを8.2g、NMPを30g、γ−ブチロラクトンを30g、4,4’−オキシジフタル酸無水物を27.9g、トリメリット酸無水物を3.8g加え、窒素雰囲気下、室温、100rpmで4時間撹拌した。次いでトルエンを20g加え、シリコン浴温度180℃、150rpmでトルエンおよび水を留去しながら4時間撹拌してイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂溶液を得た。
得られた樹脂(固形分)の酸価は18mgKOH、Mwは10000、水酸基当量は390であった。
<Synthesis Example 2: Synthesis of polyimide resin solution having imide ring, phenolic hydroxyl group and carboxyl group>
To a separable three-necked flask equipped with a stirrer, a nitrogen introduction tube, a fractionation ring, and a cooling ring, 22.4 g of 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylsulfone, 2,2′-bis [4 -(4-aminophenoxy) phenyl] propane 8.2 g, NMP 30 g, γ-butyrolactone 30 g, 4,4′-oxydiphthalic anhydride 27.9 g, trimellitic anhydride 3.8 g, The mixture was stirred at room temperature and 100 rpm for 4 hours under a nitrogen atmosphere. Next, 20 g of toluene was added and stirred for 4 hours while distilling off toluene and water at a silicon bath temperature of 180 ° C. and 150 rpm to obtain an alkali-soluble resin solution having an imide ring.
The acid value of the obtained resin (solid content) was 18 mgKOH, Mw was 10,000, and the hydroxyl group equivalent was 390.

<感光性熱硬化性樹脂組成物の調製>
下記表1に記載の配合に従って、実施例および比較例に記載の材料をそれぞれ配合、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルにて混練し、感光性熱硬化性樹脂組成物を調製した。なお、表中の配合量の値は、特に断りがない限り、固形分の質量部を示す。
<Preparation of photosensitive thermosetting resin composition>
In accordance with the formulation shown in Table 1 below, the materials described in Examples and Comparative Examples were respectively blended, premixed with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to prepare a photosensitive thermosetting resin composition. In addition, unless otherwise indicated, the value of the compounding amount in a table | surface shows the mass part of solid content.

銅厚18μmの回路が形成されたフレキシブルプリント配線基材を用意し、メック社製のメックブライトCB−801Yを使用して、前処理を行った。その後、前処理を行ったフレキシブルプリント配線基材に、各感光性熱硬化性樹脂組成物を、乾燥後の膜厚が25μmになるように塗布した。その後、熱風循環式乾燥炉にて90℃/30分にて乾燥し、感光性熱硬化性樹脂組成物からなる被膜を形成した。   A flexible printed wiring board on which a circuit having a copper thickness of 18 μm was formed was prepared, and pre-processing was performed using MEC Bright CB-801Y manufactured by MEC. Then, each photosensitive thermosetting resin composition was apply | coated to the flexible printed wiring base material which performed the pretreatment so that the film thickness after drying might be set to 25 micrometers. Then, it dried at 90 degreeC / 30 minutes with the hot-air circulation type drying furnace, and formed the film which consists of a photosensitive thermosetting resin composition.

<アルカリ現像性(パターニング)および屈曲性評価>
上記で得られた被膜を備える基材に対し、ORC社製のHMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて、露光量500mJ/cmで、ネガ型のパターン状に光照射した。次いで、90℃で60分間加熱処理を行った。その後、30℃・1質量%の炭酸ナトリウム水溶液中に基材を浸漬して3分間現像を行い、アルカリ現像性の可否を評価した。
<Alkali developability (patterning) and flexibility evaluation>
The base material provided with the coating film obtained above was irradiated with a negative pattern in an exposure amount of 500 mJ / cm 2 with an HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) manufactured by ORC. Next, heat treatment was performed at 90 ° C. for 60 minutes. Thereafter, the substrate was immersed in an aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. and 1% by mass, developed for 3 minutes, and evaluated for alkali developability.

次いで、熱風循環式乾燥炉を用いて150℃/60分間熱処理を行い、パターン状の硬化塗膜を得た。得られた硬化塗膜に対し、MIT試験(R=0.38mm/宇部興産(株)製ユーピレックス12.5μmの基材使用)を実施し、屈曲性を評価した。120cycle以上程度であれば、フレキシブルプリント配線板としての屈曲性を満足できる。   Next, heat treatment was performed at 150 ° C./60 minutes using a hot air circulation drying oven to obtain a patterned cured coating film. The obtained cured coating film was subjected to an MIT test (R = 0.38 mm / Upex 12.5 μm base material manufactured by Ube Industries, Ltd.) to evaluate the flexibility. If it is about 120 cycles or more, the flexibility as a flexible printed wiring board can be satisfied.

<解像性>
銅上に、膜厚25μmで、開口径φ200μmを有する各感光性熱硬化性樹脂組成物の硬化物パターンを形成し、SEM(走査型電子顕微鏡)により観察した。得られた開口形状を確認し、以下の基準にて評価した。
○:開口形状良好
×:開口形状不良
<Resolution>
A cured product pattern of each photosensitive thermosetting resin composition having a film thickness of 25 μm and an opening diameter of 200 μm was formed on copper and observed with an SEM (scanning electron microscope). The obtained opening shape was confirmed and evaluated according to the following criteria.
○: Opening shape is good ×: Opening shape is poor

Figure 0006568715
注:表中の配合量は固形分(質量部)で表す。
*1)ポリアミドイミド樹脂1,PA−1(合成例1の樹脂)
*2)ポリアミドイミド樹脂2(イミド環およびアミド結合を有する)、SOXR−M,ニッポン高度紙工業(株)製,酸価無し 分子量10700
*3)アルカリ現像性樹脂1、根上工業(株)製,酸価50mgKOH/g ポリウレタン
*4)アルカリ現像性樹脂2、共栄社化学(株)製,酸価47mgKOH/g ポリウレタンアクリレート
*5)アルカリ現像性樹脂3、日本化薬(株)製,酸価98mgKOH/g ビスフェノールF型アクリレート樹脂
*6)イミド樹脂(フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有する)、PI−1(合成例2の樹脂)
*7)E828,三菱化学(株)製,ビスフェノールA型エポキシ樹脂,エポキシ当量190g/eq
*8)OXE02,BASFジャパン(株)製,オキシム系光重合開始剤
Figure 0006568715
Note: The compounding amount in the table is represented by solid content (parts by mass).
* 1) Polyamideimide resin 1, PA-1 (Resin of Synthesis Example 1)
* 2) Polyamideimide resin 2 (with imide ring and amide bond), SOXR-M, manufactured by Nippon Kogyo Paper Industries Co., Ltd., no acid value, molecular weight 10700
* 3) Alkali developable resin 1, manufactured by Negami Kogyo Co., Ltd., acid value 50 mg KOH / g polyurethane * 4) Alkali developable resin 2, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., acid value 47 mg KOH / g polyurethane acrylate * 5) Alkaline development Resin 3, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., acid value 98 mg KOH / g bisphenol F type acrylate resin * 6) imide resin (having phenolic hydroxyl group and carboxyl group), PI-1 (resin of Synthesis Example 2)
* 7) E828, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, bisphenol A type epoxy resin, epoxy equivalent 190 g / eq
* 8) OXE02, manufactured by BASF Japan Ltd., oxime photopolymerization initiator

表1に示す評価結果から明らかなように、各実施例の感光性熱硬化性樹脂組成物は、現像性および解像性に優れるとともに、良好な屈曲性を有することが確かめられた。これに対し、比較例1では、カルボキシル基を有しないポリアミドイミド樹脂を用いるとともに、(C)熱硬化成分を配合しないことから、現像性および解像性が得られなかった。また、比較例2〜4の結果からは、ポリアミドイミド樹脂以外のアルカリ現像性樹脂を用いた場合、現像性および解像性は良好であるものの、屈曲性が不十分となることがわかる。   As is clear from the evaluation results shown in Table 1, it was confirmed that the photosensitive thermosetting resin composition of each example was excellent in developability and resolution and had good flexibility. On the other hand, in the comparative example 1, while using the polyamideimide resin which does not have a carboxyl group and (C) thermosetting component is not mix | blended, developability and resolution were not obtained. From the results of Comparative Examples 2 to 4, it can be seen that when an alkali-developable resin other than the polyamide-imide resin is used, the developability and resolution are good, but the flexibility is insufficient.

1 フレキシブルプリント配線板
2 銅回路
3 樹脂層
4 樹脂層
5 マスク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flexible printed wiring board 2 Copper circuit 3 Resin layer 4 Resin layer 5 Mask

Claims (13)

(A)カルボキシル基含有ジアミンを含む少なくとも1種のジアミンとトリカルボン酸無水物を含む酸無水物(a1)とを反応させて得られるイミド化物と、ジイソシアネート化合物と、を含む反応原料を反応させて得られるポリアミドイミド樹脂、
(B)光塩基発生剤、および、
(C)熱硬化成分
を含むことを特徴とする感光性熱硬化性樹脂組成物。
(A) reacting an imidized product obtained by reacting at least one diamine containing a carboxyl group-containing diamine with an acid anhydride (a1) containing a tricarboxylic acid anhydride and a diisocyanate compound; The resulting polyamideimide resin,
(B) a photobase generator, and
(C) A photosensitive thermosetting resin composition comprising a thermosetting component.
前記酸無水物(a1)が、トリメリット酸無水物およびシクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物のうちのいずれか一方または双方を含む請求項1記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   2. The photosensitive heat according to claim 1, wherein the acid anhydride (a1) includes one or both of trimellitic acid anhydride and cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride. Curable resin composition. 前記反応原料が、トリカルボン酸無水物(a2)をさらに含む請求項1または2記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting resin composition according to claim 1, wherein the reaction raw material further contains a tricarboxylic acid anhydride (a2). 前記酸無水物(a2)が、トリメリット酸無水物およびシクロヘキサン‐1,2,4‐トリカルボン酸‐1,2‐無水物のうちのいずれか一方または双方を含む請求項3記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive heat according to claim 3, wherein the acid anhydride (a2) includes one or both of trimellitic acid anhydride and cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride. Curable resin composition. 前記(A)ポリアミドイミド樹脂が、さらに、脂肪族構造およびエーテル結合を有する請求項1〜4のうちいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting resin composition according to claim 1, wherein the (A) polyamideimide resin further has an aliphatic structure and an ether bond. 前記(A)ポリアミドイミド樹脂の脂肪族構造が、ヘキサンまたはシクロヘキサンである請求項5記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting resin composition according to claim 5, wherein the aliphatic structure of the (A) polyamideimide resin is hexane or cyclohexane. 前記(A)ポリアミドイミド樹脂のエーテル結合が、エーテル結合を有するジアミン由来のポリエーテル構造であって、かつ、該エーテル結合を有するジアミンの分子量が、200以上である請求項5または6記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitivity according to claim 5 or 6, wherein the ether bond of the (A) polyamideimide resin is a polyether structure derived from a diamine having an ether bond, and the molecular weight of the diamine having an ether bond is 200 or more. Thermosetting resin composition. さらに、(D)イミド環およびフェノール性水酸基を有するポリイミド樹脂を含む請求項1〜7のうちいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   Furthermore, (D) The photosensitive thermosetting resin composition as described in any one of Claims 1-7 containing the polyimide resin which has an imide ring and a phenolic hydroxyl group. 前記(D)ポリイミド樹脂が、さらに、カルボキシル基を有する請求項8記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting resin composition according to claim 8, wherein the (D) polyimide resin further has a carboxyl group. 前記(C)熱硬化成分が環状エーテル化合物である請求項1〜9のうちいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   Said (C) thermosetting component is a cyclic ether compound, The photosensitive thermosetting resin composition as described in any one of Claims 1-9. フレキシブルプリント配線板に用いられる請求項1〜10のうちいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting resin composition as described in any one of Claims 1-10 used for a flexible printed wiring board. 請求項1〜11のうちいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。   It has a resin layer which consists of a photosensitive thermosetting resin composition as described in any one of Claims 1-11, The dry film characterized by the above-mentioned. 請求項1〜11のうちいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物、または、請求項12記載のドライフィルムを用いて形成される硬化物を備えることを特徴とするプリント配線板。   A printed wiring board comprising the photosensitive thermosetting resin composition according to claim 1 or a cured product formed using the dry film according to claim 12.
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