JP6050180B2 - Laminated structure and flexible printed wiring board - Google Patents

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JP6050180B2 JP2013107519A JP2013107519A JP6050180B2 JP 6050180 B2 JP6050180 B2 JP 6050180B2 JP 2013107519 A JP2013107519 A JP 2013107519A JP 2013107519 A JP2013107519 A JP 2013107519A JP 6050180 B2 JP6050180 B2 JP 6050180B2
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本発明は、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜として有用な積層構造体およびフレキシブルプリント配線板に関する。   The present invention relates to a laminated structure useful as an insulating film of a flexible printed wiring board and a flexible printed wiring board.

近年、スマートフォンやタブレット端末の普及による電子機器の小型薄型により、回路基板の小スペース化が必要となってきている。そのため、折り曲げて収納できるフレキシブルプリントは配線板の用途が拡大し、かかるフレキシブルプリントは配線板に対する信頼性もこれまで以上に高いものが求められている。   In recent years, it has become necessary to reduce the space of circuit boards due to the small size and thinness of electronic devices due to the spread of smartphones and tablet terminals. For this reason, flexible prints that can be folded and stored have expanded uses of wiring boards, and such flexible prints are required to have higher reliability than ever before.

これに対し現在、フレキシブルプリント配線板の絶縁信頼性を確保するための絶縁膜として、折り曲げ部(屈曲部)には、耐熱性および屈曲性などの機械的特性に優れたポリイミドをベースとしたカバーレイが用いられ(例えば、特許文献1,2参照)、実装部(非屈曲部)には、電気絶縁性やはんだ耐熱性などに優れ微細加工が可能な感光性樹脂組成物を用いた混載プロセスが広く採用されている。   On the other hand, as an insulating film to ensure the insulation reliability of flexible printed wiring boards, a cover based on polyimide with excellent mechanical properties such as heat resistance and flexibility is used for the bent part (bent part). Lay is used (for example, see Patent Documents 1 and 2), and the mounting part (non-bent part) uses a photosensitive resin composition that is excellent in electrical insulation and solder heat resistance and can be finely processed. Is widely adopted.

すなわち、耐熱性および屈曲性などの機械的特性に優れるポリイミドをベースとしたカバーレイでは、金型打ち抜きによる加工を必要とするため、微細配線には不向きである。そのため、微細配線が必要となるチップ実装部には、フォトリソグラフィーによる加工ができるアルカリ現像型の感光性樹脂組成物(ソルダーレジスト)を部分的に併用する必要があった。   That is, a polyimide-based coverlay having excellent mechanical properties such as heat resistance and flexibility is not suitable for fine wiring because it requires processing by die punching. Therefore, it is necessary to partially use an alkali developing type photosensitive resin composition (solder resist) that can be processed by photolithography in a chip mounting portion that requires fine wiring.

特開昭62−263692号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-263692 特開昭63−110224号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-110224

このように、フレキシブルプリントは配線板の製造工程では、カバーレイを張り合わせる工程とソルダーレジストを形成する工程の混載プロセスを採用せざるを得なく、コストと作業性に劣るという問題があった。   As described above, the flexible print has a problem in that it is inferior in cost and workability in the manufacturing process of the wiring board, because it has to employ a mixed mounting process of a process of attaching a cover lay and a process of forming a solder resist.

このような混載プロセスに対し、従来、ソルダーレジストとしての絶縁膜をフレキシブルプリント配線板のカバーレイとして適用する提案がなされている。しかしながら、かかるソルダーレジスト用の樹脂組成物では、カバーレイとしての耐衝撃性や屈曲性などの信頼性が不十分であり、折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)の一括形成プロセスの実用化には至っていない。また、ソルダーレジスト用の樹脂組成物では、アクリル系の光重合による硬化収縮も伴うため、フレキシブル配線板の反りなど寸法安定性にも課題があった。   Conventionally, it has been proposed to apply an insulating film as a solder resist as a coverlay of a flexible printed wiring board for such a mixed mounting process. However, such a resin composition for a solder resist has insufficient reliability such as impact resistance and flexibility as a cover lay, and a process for collectively forming a bent portion (bent portion) and a mounting portion (non-bent portion). Has not yet been put to practical use. In addition, since the resin composition for solder resist is accompanied by curing shrinkage due to acrylic photopolymerization, there is a problem in dimensional stability such as warping of a flexible wiring board.

これに対し、アルカリ溶解性と機械特性が両立できる感光性ポリイミドとして従来、ポリイミド前駆体を利用し、パターニングした後に熱閉環する方法も提案されている。しかしながら、高温処理を必要とするなど配線板製造の作業性には課題が残り、依然として実用化には至っていない。   On the other hand, as a photosensitive polyimide capable of achieving both alkali solubility and mechanical properties, a method of thermally ring-closing after patterning using a polyimide precursor has been proposed. However, problems remain in the workability of wiring board manufacture, such as requiring high-temperature treatment, and it has not yet been put into practical use.

また、カバーレイとしての絶縁膜をフレキシブルプリント配線板のソルダーレジストとして適用することも考えられるが、かかるカバーレイ用のフィルムでは、パターン形成に煩雑な工程を必要とし、またパンチングによる孔空けなどの加工精度が低いことや熱圧着時の樹脂の滲み出しにより、微細パターンの形成に対応しにくいという問題があった。   In addition, it is conceivable to apply an insulating film as a coverlay as a solder resist for a flexible printed wiring board. However, such a coverlay film requires a complicated process for pattern formation, and is not suitable for punching holes by punching. There is a problem that it is difficult to cope with the formation of a fine pattern due to low processing accuracy and oozing of the resin during thermocompression bonding.

そこで本発明の目的は、耐衝撃性や屈曲性、低反り性などの信頼性と加工精度に優れ、かつ作業性に優れたフレキシブルプリント配線板用の絶縁膜、特に折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)の一括形成プロセスに適した積層構造体と、その硬化物を保護膜、例えば、カバーレイまたはソルダーレジストとして有する、耐衝撃性や屈曲性などの信頼性に優れるフレキシブルプリント配線板を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an insulating film for a flexible printed wiring board that is excellent in reliability and processing accuracy such as impact resistance, bendability, and low warpage, and has excellent workability. Laminated structure suitable for the batch formation process of mounting parts (non-bent parts) and flexible prints that have a cured product as a protective film, such as a coverlay or solder resist, with excellent reliability such as impact resistance and flexibility It is to provide a wiring board.

発明者らは、上記目的の実現に向け鋭意研究した結果、以下の内容を要旨とする本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明の積層構造体は、アルカリ現像型樹脂組成物からなる樹脂層(A)と、該樹脂層(A)を介してフレキシブルプリント配線板に積層される樹脂層(B)と、を有する積層構造体であって、前記樹脂層(B)が、イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂と光塩基発生剤と熱反応性化合物を含む感光性熱硬化性樹脂組成物からなることを特徴とするものである。
As a result of intensive research aimed at realizing the above object, the inventors have completed the present invention having the following contents.
That is, the laminated structure of the present invention comprises a resin layer (A) made of an alkali developing resin composition, and a resin layer (B) laminated on a flexible printed wiring board via the resin layer (A). The resin layer (B) is composed of a photosensitive thermosetting resin composition containing an alkali-soluble resin having an imide ring, a photobase generator, and a heat-reactive compound. To do.

本発明の積層構造体は、前記樹脂層(A)と前記樹脂層(B)が共に、光照射によりパターニングが可能であることが好ましい。   In the laminated structure of the present invention, it is preferable that both the resin layer (A) and the resin layer (B) can be patterned by light irradiation.

さらに、本発明の積層構造体は、フレキシブルプリント配線板の屈曲部および非屈曲部のうちの少なくともいずれか一方に用いることができ、また、フレキシブルプリント配線板のカバーレイ、ソルダーレジストおよび層間絶縁材料のうちの少なくともいずれか1つの用途として用いることができる。   Furthermore, the laminated structure of the present invention can be used for at least one of a bent portion and a non-bent portion of the flexible printed wiring board. Also, the cover lay of the flexible printed wiring board, the solder resist, and the interlayer insulating material Can be used as at least one of the applications.

本発明のドライフィルムは、前記積層構造体の少なくとも片面が、フィルムで支持または保護されていることを特徴とするものである。   The dry film of the present invention is characterized in that at least one surface of the laminated structure is supported or protected by a film.

本発明のフレキシブルプリント配線板は、フレキシブルプリント配線板上に前記積層構造体の層を形成し、光照射によりパターニングし、現像液にてパターンを一括して形成してなる絶縁膜を有することを特徴とするものである。
本発明のフレキシブルプリント配線板は、本発明にかかる積層構造体を使用せずに、樹脂層(A)と樹脂層(B)を順次に形成し、その後に、光照射によりパターニングし、現像液にてパターンを一括して形成してもよい。
なお、本発明において「パターン」とはパターン状の硬化物、すなわち絶縁膜を意味する。
The flexible printed wiring board of the present invention has an insulating film formed by forming a layer of the laminated structure on the flexible printed wiring board, patterning by light irradiation, and forming the pattern in a batch with a developer. It is a feature.
The flexible printed wiring board of the present invention is formed by sequentially forming the resin layer (A) and the resin layer (B) without using the laminated structure according to the present invention, and then patterning by light irradiation. The pattern may be formed in a lump.
In the present invention, the “pattern” means a patterned cured product, that is, an insulating film.

本発明によれば、耐衝撃性や屈曲性、低反り性などの信頼性と加工精度に優れ、かつ作業性に優れたフレキシブルプリント配線板用の絶縁膜、特に折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)の一括形成プロセスに適した積層構造体と、その硬化物を絶縁膜、例えば、カバーレイやソルダーレジスト、層間絶縁層として有する、耐衝撃性や屈曲性などの信頼性に優れるフレキシブルプリント配線板を提供することができる。   According to the present invention, an insulating film for a flexible printed wiring board having excellent reliability and processing accuracy such as impact resistance, bendability, and low warpage, and excellent workability, particularly a bent portion (bend portion) and mounting. A laminated structure suitable for the batch formation process of parts (non-bent parts) and its cured product as an insulating film, for example, a cover lay, solder resist, or interlayer insulating layer, for reliability such as impact resistance and flexibility An excellent flexible printed wiring board can be provided.

本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法の一例を模式的に示す工程図である。It is process drawing which shows typically an example of the manufacturing method of the flexible printed wiring board of this invention.

以下、本発明の実施の形態について詳述する。
(積層構造体)
本発明の積層構造体は、アルカリ現像型樹脂組成物からなる樹脂層(A)と、該樹脂層(A)を介してフレキシブルプリント配線板に積層される樹脂層(B)とを有する積層構造体であって、前記樹脂層(B)が、イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂と光塩基発生剤と熱反応性化合物を含む感光性熱硬化性樹脂組成物からなることを特徴とするものである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
(Laminated structure)
The laminated structure of the present invention has a laminated structure having a resin layer (A) made of an alkali developing resin composition and a resin layer (B) laminated on a flexible printed wiring board via the resin layer (A). The resin layer (B) is composed of a photosensitive thermosetting resin composition containing an alkali-soluble resin having an imide ring, a photobase generator, and a heat-reactive compound. is there.

このような本発明の積層構造体は、フレキシブルプリント配線板上に積層可能で、かつ、フレキシブルプリント配線板上で光照射によりパターニングが可能であり、現像によりパターンを一括して形成することが可能となる。   Such a laminated structure of the present invention can be laminated on a flexible printed wiring board, and can be patterned by light irradiation on the flexible printed wiring board, and patterns can be collectively formed by development. It becomes.

このような本発明の積層構造体によれば、樹脂層(B)として、(1)イミド環が分子中に存在する樹脂を用いたこと、(2)アルカリ溶解性樹脂と熱反応性化合物との付加反応を利用した組成物を用いたことにより、この層が強化層として機能し、従前のソルダーレジスト組成物や層間絶縁材料からなる樹脂層(A)を用いても、耐衝撃性や屈曲性、低反り性などの信頼性と加工精度に優れ、かつ作業性に優れたフレキシブルプリント配線板用の絶縁膜を提供することができる。   According to such a laminated structure of the present invention, (1) a resin having an imide ring in the molecule is used as the resin layer (B), and (2) an alkali-soluble resin and a thermally reactive compound are used. This layer functions as a reinforcing layer by using a composition utilizing the addition reaction, and even if a resin layer (A) made of a conventional solder resist composition or an interlayer insulating material is used, impact resistance and bending It is possible to provide an insulating film for a flexible printed wiring board that is excellent in reliability such as reliability and low warpage and processing accuracy and excellent in workability.

本発明の積層構造体は、フレキシブル基板に銅回路が形成されたフレキシブルプリント配線板上に、樹脂層(A)と樹脂層(B)とを順に有し、少なくとも樹脂層(B)が光照射によりパターニングが可能であり、かつ、樹脂層(A)と樹脂層(B)とが現像によりパターンを一括形成することが可能なものである。   The laminated structure of the present invention has a resin layer (A) and a resin layer (B) in order on a flexible printed wiring board in which a copper circuit is formed on a flexible substrate, and at least the resin layer (B) is irradiated with light. Can be patterned, and the resin layer (A) and the resin layer (B) can collectively form a pattern by development.

(積層構造体を構成する樹脂層(A))
(樹脂層(A)を構成するアルカリ現像型樹脂組成物)
樹脂層(A)を構成するアルカリ現像性樹脂組成物としては、フェノール性水酸基、チオール基およびカルボキシル基のうち1種以上の官能基を含有し、アルカリ溶液で現像可能な樹脂を含む組成物であれば良く、光硬化性樹脂組成物でも熱硬化性樹脂組成物でも用いることができる。好ましくはフェノール性水酸基を2個以上有する化合物、カルボキシル基含有樹脂、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有する化合物、チオール基を2個以上有する化合物を含む樹脂組成物が挙げられ、公知慣用のものが用いられる。
(Resin layer (A) constituting the laminated structure)
(Alkali developable resin composition constituting the resin layer (A))
The alkali-developable resin composition constituting the resin layer (A) is a composition containing a resin that contains one or more functional groups among phenolic hydroxyl groups, thiol groups, and carboxyl groups and that can be developed with an alkaline solution. Any photocurable resin composition or thermosetting resin composition may be used. Preferred examples include a resin composition containing a compound having two or more phenolic hydroxyl groups, a carboxyl group-containing resin, a compound having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group, and a compound having two or more thiol groups. It is done.

例えば、従来からソルダーレジスト組成物として用いられている、カルボキシル基含有樹脂またはカルボキシル基含有感光性樹脂と、エチレン性不飽和結合を有する化合物と、光重合開始剤と、熱反応性化合物を含む光硬化性熱硬化性樹脂組成物が挙げられる。   For example, a light containing a carboxyl group-containing resin or a carboxyl group-containing photosensitive resin, a compound having an ethylenically unsaturated bond, a photopolymerization initiator, and a heat-reactive compound conventionally used as a solder resist composition A curable thermosetting resin composition is mentioned.

ここで、カルボキシル基含有樹脂またはカルボキシル基含有感光性樹脂、エチレン性不飽和結合を有する化合物、光重合開始剤、熱反応性化合物としては、公知慣用のものが用いられる。   Here, as the carboxyl group-containing resin or the carboxyl group-containing photosensitive resin, the compound having an ethylenically unsaturated bond, the photopolymerization initiator, and the heat-reactive compound, known and commonly used ones are used.

(積層構造体を構成する樹脂層(B))
(樹脂層(B)を構成する感光性熱硬化性樹脂組成物)
樹脂層(B)を構成する感光性熱硬化性樹脂組成物は、イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂と光塩基発生剤と熱反応性化合物を含む。
(Resin layer (B) constituting the laminated structure)
(Photosensitive thermosetting resin composition constituting the resin layer (B))
The photosensitive thermosetting resin composition constituting the resin layer (B) includes an alkali-soluble resin having an imide ring, a photobase generator, and a heat-reactive compound.

(イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂)
本発明において、イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂は、カルボキシル基や酸無水物基などのアルカリ溶解性基とイミド環を有するものである。このアルカリ溶解性樹脂へのイミド環の導入には公知慣用の手法を用いることができる。例えば、カルボン酸無水物成分とアミン成分及び/又はイソシアネート成分とを反応させて得られる樹脂が挙げられる。イミド化は熱イミド化で行っても、化学イミド化で行ってもよく、またこれらを併用して製造することができる。
(Alkali-soluble resin having an imide ring)
In the present invention, the alkali-soluble resin having an imide ring is one having an alkali-soluble group such as a carboxyl group or an acid anhydride group and an imide ring. For introducing the imide ring into the alkali-soluble resin, a known and usual method can be used. For example, the resin obtained by making a carboxylic anhydride component react with an amine component and / or an isocyanate component is mentioned. The imidization may be performed by thermal imidization or chemical imidization, and these can be used in combination.

ここで、カルボン酸無水物成分としては、テトラカルボン酸無水物やトリカルボン酸無水物などが挙げられるが、これらの酸無水物に限定されるものではなく、アミノ基やイソシアネート基と反応する酸無水物基およびカルボキシル基を有する化合物であれば、その誘導体を含め用いることができる。また、これらのカルボン酸無水物成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。   Here, examples of the carboxylic acid anhydride component include tetracarboxylic acid anhydrides and tricarboxylic acid anhydrides, but are not limited to these acid anhydrides, and acid anhydrides that react with amino groups or isocyanate groups. Any compound having a physical group and a carboxyl group can be used, including derivatives thereof. These carboxylic anhydride components may be used alone or in combination.

テトラカルボン酸無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3−フルオロピロメリット酸二無水物、3,6−ジフルオロピロメリット酸二無水物、3,6−ビス(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、2,2’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、および2,2’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,3”,4,4”−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’”,4,4’”−クァテルフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3””,4,4””−キンクフェニルテトラカルボン酸二無水物、メチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1−エチニリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、2,2−プロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,2−エチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,3−トリメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,4−テトラメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,5−ペンタメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−へキサフルオロプロパン二無水物、ジフルオロメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2−テトラフルオロ−1,2−エチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3−ヘキサフルオロ−1,3−トリメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3,4,4−オクタフルオロ−1,4−テトラメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3,4,4,5,5−デカフルオロ−1,5−ペンタメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、チオ−4,4’−ジフタル酸二無水物、スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,3,3−テトラメチルシロキサン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ベンゼン二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ベンゼン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,3−ビス〔2−(3,4−ジカルボキシフェニル)−2−プロピル〕ベンゼン二無水物、1,4−ビス〔2−(3,4−ジカルボキシフェニル)−2−プロピル〕ベンゼン二無水物、ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕メタン二無水物、ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕メタンニ無水物、2,2−ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、2,2−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、2,2−ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジメチルシラン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−1,2,4,5−テトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物、カルボニル−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、メチレン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,2−エチレン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,1−エチニリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、2,2−プロピリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2,2−プロピリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、オキシ−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、チオ−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、スルホニル−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、3,3’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、9−フェニル−9−(トリフルオロメチル)キサンテン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス(トリフルオロメチル)キサンテン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、ビシクロ〔2,2,2〕オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシ)フェニル〕フルオレン二無水物、9,9−ビス〔4−(2,3−ジカルボキシ)フェニル〕フルオレン二無水物、エチレングリコールビストリメリテート二無水物、1,2−(エチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,3−(トリメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,4−(テトラメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,5−(ペンタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,6−(ヘキサメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,7−(ヘプタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,8−(オクタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,9−(ノナメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,10−(デカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,12−(ドデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,16−(ヘキサデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,18−(オクタデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)などが挙げられる。   Examples of the tetracarboxylic acid anhydride include pyromellitic dianhydride, 3-fluoropyromellitic dianhydride, 3,6-difluoropyromellitic dianhydride, 3,6-bis (trifluoromethyl) pyro Merit acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic acid Anhydride, 2,2′-difluoro-3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5′-difluoro-3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid Anhydride, 6,6′-difluoro-3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexafluoro-3,3 ′ , 4,4'-biphenyltet Carboxylic dianhydride, 2,2′-bis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) -3, 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 6,6′-bis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′ , 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -3, 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride , And 2,2 ', 5,5', 6,6 -Hexakis (trifluoromethyl) -3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ", 4,4 "-Terphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 '", 4,4' "-quaterphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3" ", 4,4" "-kinkphenyltetracarboxylic acid Dianhydride, methylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,1-ethynylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 2,2-propylidene-4,4′-diphthalic dianhydride 1,2-ethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,3-trimethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,4-tetramethylene-4,4′-diphthalic acid Anhydride, 1,5-pentamethylene-4,4'-diph Talic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, difluoromethylene-4,4′-diphthal Acid dianhydride, 1,1,2,2-tetrafluoro-1,2-ethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2,3,3-hexafluoro-1, 3-trimethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluoro-1,4-tetramethylene-4,4′-diphthalic dianhydride 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5-decafluoro-1,5-pentamethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, thio-4,4′- Diphthalic dianhydride, sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphene) ) -1,1,3,3-tetramethylsiloxane dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenyl) benzene dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ) Benzene dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,3-bis [ 2- (3,4-Dicarboxyphenyl) -2-propyl] benzene dianhydride, 1,4-bis [2- (3,4-dicarboxyphenyl) -2-propyl] benzene dianhydride, bis [ 3- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] methane dianhydride, bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] methane dianhydride, 2,2-bis [3- (3,4- Dicarboxyphenoxy Phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis [3- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, bis (3,4- Dicarboxyphenoxy) dimethylsilane dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) -1,1,3,3-tetramethyldisiloxane dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene Tetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic Acid dianhydride, 1,2,7,8-phenanthrenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid Anhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, cyclohexane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, cyclohexane-1,2,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′ , 4,4′-bicyclohexyltetracarboxylic dianhydride, carbonyl-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, methylene-4,4′-bis (cyclohexane-1, 2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,2-ethylene-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,1-ethynylidene-4,4′-bis (cyclohexane) San-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 2,2-propylidene-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,1,1,3,3,3 -Hexafluoro-2,2-propylidene-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, oxy-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride Thio-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, sulfonyl-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 3,3 ′ -Difluorooxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-difluorooxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-difluorooxy-4,4'-diphthalic acid Anhydride, 3, 3 ', 5, 5', 6 6′-hexafluorooxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-bis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-bis (tri Fluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-bis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5′- Tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 5, 5 ', 6,6'-tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3', 5,5 ', 6,6'-hexakis (trifluoromethyl) oxy- 4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3'-diflu Orosulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-difluorosulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-difluorosulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride 3,3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexafluorosulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′- Diphthalic dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic acid Dianhydride, 3,3 ′, 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl -4,4'-diphthalate Dianhydride, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexakis ( Trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-difluoro -2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 3, 3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexafluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-bis (trifluoromethyl) -2, 2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalate Acid dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-difluoro-2,2-perfluoro Propylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride 3,3 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis ( Trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexakis (trifluoromethyl) -2,2 -Perfluoropropylidene-4,4'-diph Talic dianhydride, 9-phenyl-9- (trifluoromethyl) xanthene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 9,9-bis (trifluoromethyl) xanthene-2,3 6,7-tetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2,2,2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 9,9-bis [4- (3 , 4-Dicarboxy) phenyl] fluorene dianhydride, 9,9-bis [4- (2,3-dicarboxy) phenyl] fluorene dianhydride, ethylene glycol bistrimellitic dianhydride, 1,2- ( Ethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,3- (trimethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,4- (tetramethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,5- (pentamethylene) bis (trimetic anhydride) Retate anhydride), 1,6- (hexamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,7- (heptamethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,8- (octamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,9- (nonamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,10- (decamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,12- (dodecamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,16- (hexadeca) Methylene) bis (trimellitate anhydride), 1,18- (octadecamethylene) bis (trimellitate anhydride), and the like.

トリカルボン酸無水物としては、例えば、トリメリット酸無水物や核水添トリメリット酸無水物などが挙げられる。   Examples of the tricarboxylic acid anhydride include trimellitic acid anhydride and nuclear hydrogenated trimellitic acid anhydride.

アミン成分としては、脂肪族ジアミンや芳香族ジアミンなどのジアミン、脂肪族ポリエーテルアミンなどの多価アミンを用いることができるが、これらのアミンに限定されるものではない。また、これらのアミン成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。   Examples of the amine component include diamines such as aliphatic diamines and aromatic diamines, and polyvalent amines such as aliphatic polyether amines, but are not limited to these amines. These amine components may be used alone or in combination.

ジアミンとしては、例えば、p−フェニレンジアミン(PPD)、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−トルエンジアミン、2,5−トルエンジアミン、2,6−トルエンジアミン、3,5−ジアミノ安息香酸、2,5−ジアミノ安息香酸、3,4−ジアミノ安息香酸などのベンゼン核1つのジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルなどのジアミノジフェニルエーテル類、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、4,4’−ジアミノベンズアニリド、3,3’−ジクロロベンジジン、3,3’−ジメチルベンジジン(o−トリジン)、2,2’−ジメチルベンジジン(m−トリジン)、3,3’−ジメトキシベンジジン、2,2’−ジメトキシベンジジン、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジメトキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルホンなどのベンゼン核2つのジアミン、1,3−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)−4−トリフルオロメチルベンゼン、3,3’−ジアミノ−4−(4−フェニル)フェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジ(4−フェニルフェノキシ)ベンゾフェノン、1,3−ビス(3−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,3−ビス〔2−(4−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,4−ビス〔2−(3−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,4−ビス〔2−(4−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)ベンゼンなどのベンゼン核3つのジアミン、3,3’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,3’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、2,2−ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパンなどのベンゼン核4つのジアミンなどの芳香族ジアミン、1,2−ジアミノエタン、1,3−ジアミノプロパン、1,4−ジアミノブタン、1,5−ジアミノペンタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,7−ジアミノヘプタン、1,8−ジアミノオクタン、1,9−ジアミノノナン、1,10−ジアミノデカン、1,11−ジアミノウンデカン、1,12−ジアミノドデカン、1,2−ジアミノシクロヘキサン等の脂肪族ジアミンが挙げられ、脂肪族ポリエーテルアミンとしては、エチレングリコール及び/又はプロピレングリコール系の多価アミン等が挙げられる。   Examples of the diamine include p-phenylenediamine (PPD), 1,3-diaminobenzene, 2,4-toluenediamine, 2,5-toluenediamine, 2,6-toluenediamine, 3,5-diaminobenzoic acid, One diamine nucleus diamine such as 2,5-diaminobenzoic acid and 3,4-diaminobenzoic acid, diaminodiphenyl ether such as 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, and 3,4′-diaminodiphenyl ether 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 2,2′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 2,2′-bis (trifluoromethyl ) -4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiph Nilmethane, 3,3′-dicarboxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, bis (4-aminophenyl) sulfide, 4, 4'-diaminobenzanilide, 3,3'-dichlorobenzidine, 3,3'-dimethylbenzidine (o-tolidine), 2,2'-dimethylbenzidine (m-tolidine), 3,3'-dimethoxybenzidine, 2 , 2'-dimethoxybenzidine, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4 , 4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyls Hong, 3,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminobenzophenone, 3,3′-diamino-4,4′-dichlorobenzophenone, 3,3′-diamino- 4,4′-dimethoxybenzophenone, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis (3-aminophenyl) propane, 2,2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2-bis (3-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis (4-aminophenyl) -1, 1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 3,3′-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,4′-diaminodiphenyl sulfone Xoxide, 4,4′-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,3′-dicarboxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane, 3,3 ′ -Two diamine diamines such as diamino-4,4'-dihydroxydiphenylsulfone, 1,3-bis (3-aminophenyl) benzene, 1,3-bis (4-aminophenyl) benzene, 1,4-bis (3-aminophenyl) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4 -Bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) -4-trifluoromethylbenzene, 3,3 -Diamino-4- (4-phenyl) phenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4,4'-di (4-phenylphenoxy) benzophenone, 1,3-bis (3-aminophenyl sulfide) benzene, 1, 3-bis (4-aminophenyl sulfide) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl sulfide) benzene, 1,3-bis (3-aminophenylsulfone) benzene, 1,3-bis (4-aminophenyl) Sulfone) benzene, 1,4-bis (4-aminophenylsulfone) benzene, 1,3-bis [2- (4-aminophenyl) isopropyl] benzene, 1,4-bis [2- (3-aminophenyl) Isopropyl] benzene, 1,4-bis [2- (4-aminophenyl) isopropyl] benzene, 1,3-bis (4-amino) (3-hydroxyphenoxy) benzene and other benzene nucleus three diamines, 3,3′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 3,3′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis ( 3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [3- (4-aminophenoxy) ) Phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophen Noxy) phenyl] ketone, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [ 4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) Phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (3-Aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] Tan, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-amino Phenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3 , 3-hexafluoropropane, 2,2-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (3 -Aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3 3-hexafluoropropane, etc. Aromatic diamine such as four diamines of benzene nucleus, 1,2-diaminoethane, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6-diaminohexane, 1,7- Examples include aliphatic diamines such as diaminoheptane, 1,8-diaminooctane, 1,9-diaminononane, 1,10-diaminodecane, 1,11-diaminoundecane, 1,12-diaminododecane, and 1,2-diaminocyclohexane. Examples of the aliphatic polyether amine include ethylene glycol and / or propylene glycol-based polyvalent amine.

イソシアネート成分としては、芳香族ジイソシアネート及びその異性体や多量体、脂肪族ジイソシアネート類、脂環式ジイソシアネート類及びその異性体などのジイソシアネートやその他汎用のジイソシアネート類を用いることができるが、これらのイソシアネートに限定されるものではない。また、これらのイソシアネート成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。
ジイソシアネートとして、例えば4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ビフェニルジイソシアネート、ジフェニルスルホンジイソシアネート、ジフェニルエーテルジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネート及びその異性体、多量体、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、キシシレンジイソシアネートなどの脂肪族ジイソシアネート類、
あるいは前記芳香族ジイソシアネートを水添した脂環式ジイソシアネート類及び異性体、もしくはその他汎用のジイソシアネート類が挙げられる。
Diisocyanates such as aromatic diisocyanates and isomers and multimers, aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and isomers thereof, and other general-purpose diisocyanates can be used as the isocyanate component. It is not limited. These isocyanate components may be used alone or in combination.
Examples of diisocyanates include aromatic diisocyanates such as 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, tolylene diisocyanate, naphthalene diisocyanate, xylylene diisocyanate, biphenyl diisocyanate, diphenyl sulfone diisocyanate, diphenyl ether diisocyanate, and isomers, multimers, hexamethylene diisocyanate, isophorone. Aliphatic diisocyanates such as diisocyanate, dicyclohexylmethane diisocyanate, and xylylene diisocyanate,
Or the alicyclic diisocyanates and isomers which hydrogenated the said aromatic diisocyanate, or other general purpose diisocyanates are mentioned.

以上説明したようなイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂はアミド結合を有していてもよい。これはイソシアネートとカルボン酸を反応させて得られるアミド結合であってもよく、それ以外の反応によるものでもよい。さらにその他の付加および縮合からなる結合を有していてもよい。   The alkali-soluble resin having an imide ring as described above may have an amide bond. This may be an amide bond obtained by reacting an isocyanate and a carboxylic acid, or may be caused by other reaction. Furthermore, you may have the coupling | bonding which consists of another addition and condensation.

また、このアルカリ溶解性樹脂へのイミド環の導入には、公知慣用のカルボキシル基及び/又は酸無水物基を有するアルカリ溶解性ポリマー、オリゴマー、モノマーを用いてもよく、例えばこれらの公知慣用のアルカリ溶解性樹脂類を単独でもしくは上記のカルボン酸無水物成分と組み合わせて、上記のアミン/イソシアネート類と反応させて得られる樹脂であってもよい。   In addition, for the introduction of the imide ring into the alkali-soluble resin, a known and commonly used alkali-soluble polymer, oligomer or monomer having a carboxyl group and / or an acid anhydride group may be used. It may be a resin obtained by reacting an alkali-soluble resin alone or in combination with the above carboxylic anhydride component and reacting with the above amine / isocyanate.

このようなアルカリ溶解性基とイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂の合成においては、公知慣用の有機溶剤を用いることができる。かかる有機溶媒としては、原料であるカルボン酸無水物類、アミン類、イソシアネート類と反応せず、かつこれら原料が溶解する溶媒であれば問題はなく、特にその構造は限定されない。具体的に例示すると、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド溶媒、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、δ−バレロラクトン、γ−カプロラクトン、ε−カプロラクトン、α−メチル−γ−ブチロラクトン等の環状エステル溶媒、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート溶媒、カプロラクタム等のラクタム溶媒、ジオキサン等のエーテル系溶媒、トリエチレングリコール等のグリコール系溶媒、m−クレゾール、p−クレゾール、3−クロロフェノ−ル、4−クロロフェノ−ル、4−メトキシフェノール、2,6−ジメチルフェノール等のフェノール系溶媒、アセトフェノン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、スルホラン、ジメチルスルホキシド、テトラメチルウレアなどが挙げられる。さらに、その他の一般的な有機溶剤、即ちフェノール、o−クレゾール、酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸イソブチル、プロピレングリコールメチルアセテート、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、2−メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、テトラヒドロフラン、ジメトキシエタン、ジエトキシエタン、ジブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、メチルイソブチルケトン、ジイソブチルケトン、シクロへキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、ブタノール、エタノール、キシレン、トルエン、クロルベンゼン、ターペン、ミネラルスピリット、石油ナフサ系溶媒なども添加して使用することができる。なかでも原料の溶解性が高いことから、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン等の非プロトン性溶媒が好ましい。   In the synthesis of such an alkali-soluble resin having an alkali-soluble group and an imide ring, a known and commonly used organic solvent can be used. Such an organic solvent is not particularly limited as long as it is a solvent that does not react with the carboxylic acid anhydrides, amines, and isocyanates that are raw materials and that dissolves these raw materials, and the structure is not particularly limited. Specifically, amide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, γ-butyrolactone, γ-valerolactone, δ-valerolactone, γ-caprolactone, ε-caprolactone , Cyclic ester solvents such as α-methyl-γ-butyrolactone, carbonate solvents such as ethylene carbonate and propylene carbonate, lactam solvents such as caprolactam, ether solvents such as dioxane, glycol solvents such as triethylene glycol, m-cresol, Phenolic solvents such as p-cresol, 3-chlorophenol, 4-chlorophenol, 4-methoxyphenol, 2,6-dimethylphenol, acetophenone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, sulfolane, dimethyl Sulfo Sid, such as tetramethylurea. Furthermore, other common organic solvents such as phenol, o-cresol, butyl acetate, ethyl acetate, isobutyl acetate, propylene glycol methyl acetate, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, 2-methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, tetrahydrofuran , Dimethoxyethane, diethoxyethane, dibutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, methyl isobutyl ketone, diisobutyl ketone, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, butanol, ethanol, xylene, toluene, chlorobenzene, terpene, mineral spirit, petroleum naphtha solvents, etc. Can also be used. Of these, aprotic solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethyl sulfoxide, and γ-butyrolactone are preferred because of the high solubility of the raw materials.

以上説明したようなカルボキシル基又は酸無水物基などのアルカリ溶解性基とイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂は、フォトリソグラフィー工程に対応するために、その酸価が20〜200mgKOH/gであることが好ましく、より好適には60〜150mgKOH/gであることが好ましい。この酸価が20mgKOH/g以上の場合、アルカリに対する溶解性が増加し、現像性が良好となり、さらには、光照射後の熱硬化成分との架橋度が高くなるため、十分な現像コントラストを得ることができる。また、この酸価が200mgKOH/g以下の場合には、後述する光照射後のPEB(POST EXPOSURE BAKE)工程でのいわゆる熱かぶりを抑制でき、プロセスマージンが大きくなる。   The alkali-soluble resin having an alkali-soluble group such as a carboxyl group or an acid anhydride group and an imide ring as described above has an acid value of 20 to 200 mgKOH / g in order to cope with the photolithography process. Is more preferable, and 60 to 150 mgKOH / g is more preferable. When the acid value is 20 mgKOH / g or more, the solubility in alkali increases, the developability becomes good, and further, the degree of crosslinking with the thermosetting component after light irradiation becomes high, so that sufficient development contrast is obtained. be able to. When the acid value is 200 mgKOH / g or less, so-called heat fogging in a PEB (POST EXPOSURE BAKE) step after light irradiation described later can be suppressed, and the process margin is increased.

また、このアルカリ溶解性樹脂の分子量は、現像性と硬化塗膜特性を考慮すると、質量平均分子量1,000〜100,000が好ましく、さらに2,000〜50,000がより好ましい。
この分子量が1,000以上の場合、露光・PEB後に十分な耐現像性と硬化物性を得ることができる。また、分子量が100,000以下の場合、アルカリ溶解性が増加し、現像性が向上する。
The molecular weight of the alkali-soluble resin is preferably from 1,000 to 100,000, more preferably from 2,000 to 50,000, considering developability and cured coating properties.
When the molecular weight is 1,000 or more, sufficient development resistance and cured properties can be obtained after exposure and PEB. On the other hand, when the molecular weight is 100,000 or less, alkali solubility increases and developability improves.

(光塩基発生剤)
樹脂層(B)において用いる光塩基発生剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、後述する熱反応性化合物の重合反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質として、例えば2級アミン、3級アミンが挙げられる。
光塩基発生剤として、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基,N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。なかでも、オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン化合物が好ましい。α−アミノアセトフェノン化合物としては、特に、2つ以上の窒素原子を有するものが好ましい。
(Photobase generator)
The photobase generator used in the resin layer (B) is used as a catalyst for the polymerization reaction of a thermoreactive compound, which will be described later, when the molecular structure is changed by light irradiation such as ultraviolet light or visible light, or the molecule is cleaved. It is a compound that produces one or more basic substances that can function. Examples of basic substances include secondary amines and tertiary amines.
Examples of photobase generators include α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, N-acylated aromatic amino groups, nitrobenzyl carbamate groups, and alkoxyoxybenzyl carbamates. And compounds having a substituent such as a group. Of these, oxime ester compounds and α-aminoacetophenone compounds are preferred. As the α-aminoacetophenone compound, those having two or more nitrogen atoms are particularly preferable.

その他の光塩基発生剤として、WPBG-018(商品名:9-anthrylmethylN,N’-diethylcarbamate),WPBG-027(商品名:(E)-1-[3-(2-hydroxyphenyl)-2-propenoyl]piperidine),WPBG-082(商品名:guanidinium2-(3-benzoylphenyl)propionate), WPBG-140 (商品名:1-(anthraquinon-2-yl)ethyl imidazolecarboxylate)等を使用することもできる。   Other photobase generators include WPBG-018 (trade name: 9-anthrylmethylN, N'-diethylcarbamate), WPBG-027 (trade name: (E) -1- [3- (2-hydroxyphenyl) -2-propenoyl ] piperidine), WPBG-082 (trade name: guanidinium2- (3-benzoylphenyl) propionate), WPBG-140 (trade name: 1- (anthraquinon-2-yl) ethyl imidazolecarboxylate), and the like can also be used.

α―アミノアセトフェノン化合物は、分子中にベンゾインエーテル結合を有し、光照射を受けると分子内で開裂が起こり、硬化触媒作用を奏する塩基性物質(アミン)が生成する。α−アミノアセトフェノン化合物の具体例としては、(4−モルホリノベンゾイル)−1−ベンジル−1−ジメチルアミノプロパン(イルガキュア369、商品名、BASFジャパン社製)や4−(メチルチオベンゾイル)−1−メチル−1−モルホリノエタン(イルガキュア907、商品名、BASFジャパン社製)、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン(イルガキュア379、商品名、BASFジャパン社製)などの市販の化合物またはその溶液を用いることができる。   The α-aminoacetophenone compound has a benzoin ether bond in the molecule, and when irradiated with light, cleavage occurs in the molecule to produce a basic substance (amine) that exhibits a curing catalytic action. Specific examples of the α-aminoacetophenone compound include (4-morpholinobenzoyl) -1-benzyl-1-dimethylaminopropane (Irgacure 369, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) and 4- (methylthiobenzoyl) -1-methyl. -1-morpholinoethane (Irgacure 907, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.), 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl]- A commercially available compound such as 1-butanone (Irgacure 379, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) or a solution thereof can be used.

オキシムエステル化合物としては、光照射により塩基性物質を生成する化合物であればいずれをも使用することができる。かかるオキシムエステル化合物としては、市販品として、BASFジャパン社製のCGI−325、イルガキュアーOXE01、イルガキュアーOXE02、アデカ社製N−1919、NCI−831などが挙げられる。また、特許第4344400号公報に記載された、分子内に2個のオキシムエステル基を有する化合物も好適に用いることができる。   Any oxime ester compound can be used as long as it is a compound that generates a basic substance by light irradiation. Examples of such oxime ester compounds include CGI-325, Irgacure OXE01, Irgacure OXE02 manufactured by BASF Japan, N-1919, and NCI-831 manufactured by Adeka. Moreover, the compound which has two oxime ester groups in the molecule | numerator described in the patent 4344400 gazette can also be used suitably.

その他、特開2004−359639号公報、特開2005−097141号公報、特開2005−220097号公報、特開2006−160634号公報、特開2008−094770号公報、特表2008−509967号公報、特表2009−040762号公報、特開2011−80036号公報記載のカルバゾールオキシムエステル化合物等を挙げることができる。   In addition, JP-A-2004-359639, JP-A-2005-097141, JP-A-2005-220097, JP-A-2006-160634, JP-A-2008-094770, JP-A-2008-509967, Specific examples include carbazole oxime ester compounds described in JP2009-040762A and JP2011-80036A.

このような光塩基発生剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。熱硬化性樹脂組成物中の光塩基発生剤の配合量は、好ましくは熱反応性化合物100質量部に対して0.1〜40質量部であり、さらに好ましくは、0.1〜30質量部である。0.1質量部以上の場合、光照射部/未照射部の耐現像性のコントラストを良好に得ることができる。また、40質量部以下の場合、硬化物特性が向上する。   Such a photobase generator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. The blending amount of the photobase generator in the thermosetting resin composition is preferably 0.1 to 40 parts by mass, more preferably 0.1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermoreactive compound. It is. In the case of 0.1 parts by mass or more, the development resistance contrast of the light irradiated part / non-irradiated part can be favorably obtained. Moreover, in 40 mass parts or less, hardened | cured material characteristic improves.

(熱反応性化合物)
樹脂層(B)において用いる熱反応性化合物は、熱による硬化反応が可能な官能基を有する樹脂である。エポキシ樹脂、多官能オキセタン化合物等が挙げられる。
(Thermo-reactive compound)
The heat-reactive compound used in the resin layer (B) is a resin having a functional group that can be cured by heat. An epoxy resin, a polyfunctional oxetane compound, etc. are mentioned.

上記エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する樹脂であり、公知のものをいずれも使用できる。分子中にエポキシ基を2個有する2官能性エポキシ樹脂、分子中にエポキシ基を多数有する多官能エポキシ樹脂等が挙げられる。なお、水素添加された2官能エポキシ化合物であってもよい。   The epoxy resin is a resin having an epoxy group, and any known one can be used. Examples thereof include a bifunctional epoxy resin having two epoxy groups in the molecule, and a polyfunctional epoxy resin having many epoxy groups in the molecule. In addition, a hydrogenated bifunctional epoxy compound may be used.

多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物;ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂、CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられる。   Polyfunctional epoxy compounds include bisphenol A type epoxy resin, brominated epoxy resin, novolac type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, hydantoin type epoxy resin, alicyclic ring Epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bixylenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; bisphenol S type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin, heterocyclic epoxy Resin, diglycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin, epoxy resin having dicyclopentadiene skeleton, glycidyl meta Acrylate copolymer epoxy resins, copolymerized epoxy resins of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate, and a CTBN modified epoxy resin.

その他の液状2官能性エポキシ樹脂としては、ビニルシクロヘキセンジエポキシド、(3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、(3’,4’−エポキシ−6’−メチルシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート等の脂環族エポキシ樹脂を挙げることができる。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   Other liquid bifunctional epoxy resins include vinylcyclohexene diepoxide, (3 ′, 4′-epoxycyclohexylmethyl) -3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, and (3 ′, 4′-epoxy-6′-methyl). And alicyclic epoxy resins such as (cyclohexylmethyl) -3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate. These epoxy resins may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

上記多官能オキセタン化合物としては、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマー又は共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、又はシルセスキオキサンなどの水酸基を有する樹脂とのエーテル化物などが挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。   Examples of the polyfunctional oxetane compound include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1,4-bis [(3-methyl -3-Oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) In addition to polyfunctional oxetanes such as methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate and oligomers or copolymers thereof, oxetane alcohol and novolak resin, Poly (p-hydroxystyrene), cardo-type bisphenol Le ethers, calixarenes, calix resorcin arenes, or the like ethers of a resin having a hydroxyl group such as silsesquioxane and the like. In addition, a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate is also included.

上記熱反応性化合物の配合量としては、アルカリ溶解性樹脂との当量比(カルボキシル基などのアルカリ溶解性基:エポキシ基などの熱反応性基)が1:0.1〜1:10であることが好ましい。このような配合比の範囲とすることにより、現像が良好となり、容易に微細パターンを形成できる。上記当量比は、1:0.2〜1:5であることがさらに好ましい。   As a compounding quantity of the said thermoreactive compound, equivalent ratio (alkali-soluble groups, such as a carboxyl group: thermal-reactive groups, such as an epoxy group) with alkali-soluble resin is 1: 0.1 to 1:10. It is preferable. By setting the blending ratio in such a range, development becomes favorable and a fine pattern can be easily formed. The equivalent ratio is more preferably 1: 0.2 to 1: 5.

(高分子樹脂)
以上説明したような樹脂層(A)および樹脂層(B)において用いる樹脂組成物には、得られる硬化物の可撓性、指触乾燥性の向上を目的に公知慣用の高分子樹脂を配合することができる。このような高分子樹脂としてはセルロース系、ポリエステル系、フェノキシ樹脂系ポリマー、ポリビニルアセタール系、ポリビニルブチラール系、ポリアミド系、ポリアミドイミド系バインダーポリマー、ブロック共重合体、エラストマー等が挙げられる。
この高分子樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
(Polymer resin)
The resin composition used in the resin layer (A) and the resin layer (B) as described above is blended with a known and commonly used polymer resin for the purpose of improving the flexibility and dryness of the cured product obtained. can do. Examples of such polymer resins include cellulose-based, polyester-based, phenoxy-resin-based polymers, polyvinyl acetal-based, polyvinyl butyral-based, polyamide-based, polyamide-imide-based binder polymers, block copolymers, and elastomers.
This polymer resin may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

(無機充填剤)
また、樹脂層(A)および樹脂層(B)において用いる樹脂組成物には、硬化物の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性を向上させるために、無機充填剤を配合することができる。このような無機充填剤としては、例えば、硫酸バリウム、無定形シリカ、溶融シリカ、球状シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ノイブルグシリシャスアース等が挙げられる。
(Inorganic filler)
In addition, the resin composition used in the resin layer (A) and the resin layer (B) is blended with an inorganic filler in order to suppress curing shrinkage of the cured product and improve properties such as adhesion and hardness. Can do. Examples of such inorganic fillers include barium sulfate, amorphous silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, Neuburg Sicilius Earth etc. are mentioned.

(着色剤)
さらに、樹脂層(A)および樹脂層(B)において用いる樹脂組成物には、公知慣用の着色剤を配合することができる。
従来、プリント配線板における銅回路のエッジ部では、パターン層の着色力が不十分な場合、パターン層の形成後の熱履歴において、銅が変色し、外観上、薄い部分だけ変色して見える。代表的な熱履歴としてはマーキングの熱硬化、反り直し、実装前の予備加熱、実装などがある。
このため、従来はパターン層に着色剤を多く配合して着色力を高めることにより、銅回路のエッジ部分だけ変色して見えるという問題を解消していた。
しかし、着色剤は、光吸収性を有するため、光が深部にまで透過することを阻害してしまう。その結果、着色剤を含有する組成物では、アンダーカットが生じやすいため、十分な密着性を得ることが難しい。
(Coloring agent)
Furthermore, a well-known and usual colorant can be mix | blended with the resin composition used in the resin layer (A) and the resin layer (B).
Conventionally, at the edge portion of a copper circuit in a printed wiring board, when the coloring power of the pattern layer is insufficient, copper is discolored in the heat history after the formation of the pattern layer, and only a thin portion appears discolored in appearance. Typical thermal history includes marking thermosetting, warping, preheating before mounting, mounting, and the like.
For this reason, conventionally, a problem has been solved that only the edge portion of the copper circuit looks discolored by adding a large amount of colorant to the pattern layer to enhance the coloring power.
However, since the colorant has light absorptivity, it prevents light from penetrating to the deep part. As a result, in a composition containing a colorant, undercut is likely to occur, and it is difficult to obtain sufficient adhesion.

これに対して、本発明で用いる樹脂組成物では、深部まで塩基が化学的に増殖することにより、樹脂層の深部まで十分硬化できる。
従って、本発明において用いる樹脂組成物によれば、着色剤を含有する場合でも、銅回路の隠蔽性に優れ、かつ、密着性に優れたパターン層を形成できる。
On the other hand, in the resin composition used in the present invention, the base can be sufficiently cured to the deep part of the resin layer by the chemical growth of the base to the deep part.
Therefore, according to the resin composition used in the present invention, even when a colorant is contained, a pattern layer having excellent copper circuit concealing property and excellent adhesion can be formed.

(有機溶剤)
樹脂層(A)および樹脂層(B)において用いる樹脂組成物には、樹脂組成物の調製のためや、基材やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のために、有機溶剤を使用することができる。
このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などを挙げることができる。このような有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。
(Organic solvent)
For the resin composition used in the resin layer (A) and the resin layer (B), an organic solvent should be used for preparing the resin composition and adjusting the viscosity for application to a substrate or carrier film. Can do.
Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like. Such an organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as a 2 or more types of mixture.

(その他の任意成分)
樹脂層(A)および樹脂層(B)において用いる樹脂組成物には、必要に応じてさらに、メルカプト化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知慣用のものを用いることができる。また、微粉シリカ、ハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤及び/又はレベリング剤、シランカップリング剤、防錆剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。
(Other optional ingredients)
The resin composition used in the resin layer (A) and the resin layer (B) can further contain components such as a mercapto compound, an adhesion promoter, an antioxidant, and an ultraviolet absorber as necessary. As these, those commonly used in the field of electronic materials can be used. In addition, known and commonly used thickeners such as finely divided silica, hydrotalcite, organic bentonite, montmorillonite, defoamers and / or leveling agents such as silicones, fluorines and polymers, silane coupling agents, rust inhibitors Known and conventional additives such as can be blended.

(製造方法)
次に、本発明の積層構造体から本発明のフレキシブルプリント配線板を製造する方法について図1の工程図に基づき説明する。
図1の積層工程は、カルボキシル基含有樹脂などを含むアルカリ現像型樹脂組成物からなる樹脂層3と、樹脂層3上の、1分子中に1個以上のイミド環と1個以上のカルボキシル基とを有するアルカリ溶解性樹脂と、光塩基発生剤と、熱反応性化合物と、を含むアルカリ現像型の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層4とからなる積層構造体が、銅回路2が形成されたフレキシブルプリント配線基材1に形成されている状態を示す。
(Production method)
Next, a method for producing the flexible printed wiring board of the present invention from the laminated structure of the present invention will be described based on the process diagram of FIG.
1 includes a resin layer 3 made of an alkali developing resin composition containing a carboxyl group-containing resin and the like, one or more imide rings and one or more carboxyl groups in one molecule on the resin layer 3. A laminated structure comprising a resin layer 4 made of an alkali-developable photosensitive thermosetting resin composition containing an alkali-soluble resin having a photobase generator and a heat-reactive compound. The state currently formed in the flexible printed wiring base material 1 in which 2 was formed is shown.

これまでのソルダーレジスト層のみの樹脂層では、耐衝撃性と耐屈曲性などの機械的特性が悪かったが、本発明の積層構造体によれば、樹脂層4として、(1)イミド環が分子中に存在する樹脂を用いたこと、(2)アルカリ溶解性樹脂と熱反応性化合物との付加反応を利用した組成物を用いたことにより、この層が強化層として機能し、従前のソルダーレジスト組成物からなる樹脂層3を用いても、耐衝撃性や屈曲性、低反り性などの信頼性と加工精度に優れ、かつ作業性に優れたフレキシブルプリント配線板用の絶縁膜を提供することができる。   The conventional resin layer of only the solder resist layer has poor mechanical properties such as impact resistance and flex resistance. However, according to the laminated structure of the present invention, (1) an imide ring is formed as the resin layer 4. By using a resin present in the molecule, and (2) using a composition utilizing an addition reaction between an alkali-soluble resin and a heat-reactive compound, this layer functions as a reinforcing layer. Provided is an insulating film for a flexible printed wiring board that is excellent in reliability and processing accuracy such as impact resistance, flexibility, low warpage and the like, and excellent in workability even when the resin layer 3 made of a resist composition is used. be able to.

図1の光照射工程は、樹脂層4上にマスク5を配置し、ネガ型のパターン状に光照射することにより、熱硬化性樹脂組成物に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化する工程を示す。この工程では、光塩基発生剤から塩基性物質(以下、「塩基」と略記する場合がある。)が発生し、この発生した塩基によって光塩基発生剤が不安定化して、さらに塩基が発生する。このようにして塩基が発生することにより樹脂層の深部まで化学的に増殖することにより、樹脂層の深部まで十分に硬化することができると考えられる。その後の熱硬化の際には、この塩基がアルカリ現像性樹脂と熱反応性化合物との付加反応の触媒として作用しながら、付加反応が進行するため、光照射部では、深部まで樹脂層が十分に硬化する。このように、本発明における硬化性樹脂組成物の硬化は、例えば、熱反応によるエポキシの開環反応であるため、光反応で進行する場合と比べてひずみや硬化収縮を抑えることができる。   In the light irradiation step of FIG. 1, a mask 5 is disposed on the resin layer 4 and light irradiation is performed in a negative pattern, thereby activating the photobase generator contained in the thermosetting resin composition to perform light irradiation. The process of hardening a part is shown. In this step, a basic substance (hereinafter sometimes abbreviated as “base”) is generated from the photobase generator, the photobase generator is destabilized by the generated base, and further a base is generated. . Thus, it is thought that it can fully harden to the deep part of a resin layer by chemically growing to the deep part of a resin layer by generating a base. In subsequent thermosetting, this base acts as a catalyst for the addition reaction between the alkali-developable resin and the heat-reactive compound, and the addition reaction proceeds. Therefore, in the light irradiation part, the resin layer is sufficiently deep. To harden. Thus, since hardening of the curable resin composition in this invention is a ring-opening reaction of the epoxy by thermal reaction, distortion and hardening shrinkage | contraction can be suppressed compared with the case where it progresses by photoreaction.

図1の加熱工程は、光照射工程の後、樹脂層を加熱することにより、光照射部を硬化する工程を示す。これにより、光照射工程で発生した塩基にて樹脂層を深部まで十分に硬化して、硬化特性に優れたパターン層を得ることができる。   The heating process of FIG. 1 shows the process of hardening a light irradiation part by heating a resin layer after a light irradiation process. Thereby, the resin layer can be sufficiently cured to a deep portion with the base generated in the light irradiation step, and a pattern layer having excellent curing characteristics can be obtained.

図1の現像工程は、アルカリ性水溶液によって現像することにより、未照射部が除去され、ネガ型のパターン層を形成する工程を示す。
さらに、図1の第2光照射工程は、残った光塩基発生剤を活性化して塩基を発生させるために、所望に応じて紫外線を照射する工程を示す。
さらにまた、図1の熱硬化工程は、パターン層を十分に熱硬化させるために、必要に応じて熱硬化(ポストキュア)を行う工程を示す。
以下、各工程について詳細に説明する。
The developing process of FIG. 1 shows a process of forming a negative pattern layer by removing an unirradiated part by developing with an alkaline aqueous solution.
Furthermore, the 2nd light irradiation process of FIG. 1 shows the process of irradiating an ultraviolet-ray as needed in order to activate the remaining photobase generator and to generate a base.
Furthermore, the thermosetting process of FIG. 1 shows the process of performing thermosetting (post-cure) as needed in order to fully thermoset the pattern layer.
Hereinafter, each step will be described in detail.

[積層工程]
積層工程は、基材に、本発明の積層構造体を形成する工程である。ここで、積層構造体を構成する各樹脂層は、例えば、樹脂層3、4を構成する樹脂組成物を、順次、基材に塗布及び乾燥することにより樹脂層3、4を形成するか、あるいは、樹脂層3、4を構成する樹脂組成物をそれぞれドライフィルムの形態にしたものを基材に順次にラミネートする方法により形成することができる。また、2層構造のドライフィルム形態にしたものを基材にラミネートする方法により形成してもよい。
[Lamination process]
A lamination process is a process of forming the laminated structure of the present invention on a substrate. Here, each resin layer constituting the laminated structure is formed by, for example, sequentially applying the resin composition constituting the resin layers 3 and 4 to the substrate and drying the resin layers 3 and 4. Or it can form by the method of laminating | stacking the thing which made the resin composition which comprises the resin layers 3 and 4 each in the form of the dry film on a base material one by one. Moreover, you may form by the method of laminating what was made into the dry film form of 2 layer structure on a base material.

樹脂組成物の基材への塗布方法は、ブレードコーター、リップコーター、コンマコーター、フィルムコーター等の公知の方法でよい。また、乾燥方法は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等、蒸気による加熱方式の熱源を備えたものを用い、乾燥機内の熱風を向流接触させる方法、およびノズルより支持体に吹き付ける方法等、公知の方法でよい。   The application method of the resin composition to the substrate may be a known method such as a blade coater, a lip coater, a comma coater, or a film coater. Also, the drying method is a method using a hot-air circulation type drying furnace, IR furnace, hot plate, convection oven, etc., equipped with a heat source of the heating method by steam, and the hot air in the dryer is counter-contacted and supported by the nozzle A known method such as a method of spraying on the body may be used.

なお、ここで基材としては、予め回路形成されたフレキシブルプリント配線基材である。
また、樹脂層3と樹脂層4との間に、所期の効果に加え更に別な効果を得るために更なる層を設けてもよい。
In addition, as a base material here, it is the flexible printed wiring base material by which the circuit was formed previously.
In addition to the desired effect, a further layer may be provided between the resin layer 3 and the resin layer 4 in order to obtain another effect.

また、本発明においては、樹脂層3は、銅回路への追従性の観点より樹脂層4よりも厚い方が好ましい。また、本発明の積層構造体は、その特性から、フレキシブルプリント配線板の屈曲部および非屈曲部のうちの少なくともいずれか一方に用いることができ、さらに、フレキシブルプリント配線板のカバーレイ、ソルダーレジストおよび層間絶縁材料のうちの少なくともいずれか1つの用途として用いることができる。   In the present invention, the resin layer 3 is preferably thicker than the resin layer 4 from the viewpoint of followability to a copper circuit. Moreover, the laminated structure of the present invention can be used for at least one of a bent portion and a non-bent portion of the flexible printed wiring board because of its characteristics. And at least one of the interlayer insulating materials.

[光照射工程]
光照射工程は、ネガ型のパターン状に光照射にて熱硬化性樹脂組成物に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化する工程である。光照射工程では、光照射部で発生した塩基により、光塩基発生剤が不安定化し、塩基が化学的に増殖することにより、樹脂層の深部まで十分硬化できる。
[Light irradiation process]
The light irradiation step is a step of activating the photobase generator contained in the thermosetting resin composition by light irradiation in a negative pattern to cure the light irradiation portion. In the light irradiation step, the base generated in the light irradiation portion destabilizes the photobase generator, and the base is chemically proliferated, so that the resin layer can be sufficiently hardened.

光照射に用いられる光照射機としては、直接描画装置(例えばコンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)、メタルハライドランプを搭載した光照射機、(超)高圧水銀ランプを搭載した光照射機、水銀ショートアークランプを搭載した光照射機、もしくは(超)高圧水銀ランプ等の紫外線ランプを使用した直接描画装置を用いることができる。パターン状の光照射用のマスクは、ネガ型のマスクである。   As the light irradiator used for light irradiation, a direct drawing device (for example, a laser direct imaging device that directly draws an image with a laser using CAD data from a computer), a light irradiator equipped with a metal halide lamp, and an (ultra) high pressure mercury lamp It is possible to use an on-board light irradiation machine, a light irradiation machine equipped with a mercury short arc lamp, or a direct drawing apparatus using an ultraviolet lamp such as a (super) high pressure mercury lamp. The patterned light irradiation mask is a negative mask.

活性エネルギー線としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるレーザー光又は散乱光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、効率よく光塩基発生剤を活性化させることができる。この範囲のレーザー光を用いていればガスレーザー、固体レーザーのいずれでもよい。また、その光照射量は膜厚等によって異なるが、一般には100〜1500mJ/cm、好ましくは300〜1500mJ/cmの範囲内とすることができる。 As the active energy ray, it is preferable to use laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm. By setting the maximum wavelength within this range, the photobase generator can be activated efficiently. If a laser beam in this range is used, either a gas laser or a solid laser may be used. Moreover, the light irradiation amount varies depending on the film thickness, etc., generally 100~1500mJ / cm 2, preferably be in the range of 300~1500mJ / cm 2.

[加熱工程]
加熱工程は、加熱により光照射部を硬化する。加熱工程は、光照射工程で発生した塩基により深部まで硬化できる。この工程は、いわゆるPEB(POST EXPOSURE BAKE)工程と言われる工程である。
加熱温度は、熱硬化性樹脂組成物のうち光照射部は熱硬化するが、未照射部は熱硬化しない温度であることが好ましい。
例えば、加熱工程は、未照射の熱硬化性樹脂組成物の発熱開始温度または発熱ピーク温度よりも低く、かつ、光照射した熱硬化性樹脂組成物の発熱開始温度または発熱ピーク温度よりも高い温度で加熱することが好ましい。このように加熱することにより、光照射部のみを選択的に硬化することができる。
[Heating process]
In the heating step, the light irradiation part is cured by heating. The heating process can be cured to a deep part by the base generated in the light irradiation process. This process is a so-called PEB (POST EXPOSURE BAKE) process.
The heating temperature is preferably a temperature at which the light-irradiated portion of the thermosetting resin composition is thermally cured, but the non-irradiated portion is not thermally cured.
For example, the heating step is a temperature lower than the heat generation start temperature or the heat generation peak temperature of the unirradiated thermosetting resin composition and higher than the heat generation start temperature or the heat generation peak temperature of the light irradiated thermosetting resin composition. It is preferable to heat with. By heating in this way, only the light irradiation part can be selectively cured.

ここで、加熱温度は、例えば、80〜140℃である。加熱温度を80℃以上とすることにより、光照射部を十分に硬化できる。一方、加熱温度を140℃以下とすることにより、光照射部のみを選択的に硬化できる。加熱時間は、例えば、10〜100分である。加熱方法は、上記乾燥方法と同様である。
なお、未照射部では、光塩基発生剤から塩基が発生しないため、熱硬化が抑制される。
Here, the heating temperature is, for example, 80 to 140 ° C. By setting the heating temperature to 80 ° C. or higher, the light irradiation part can be sufficiently cured. On the other hand, by setting the heating temperature to 140 ° C. or lower, only the light irradiation part can be selectively cured. The heating time is, for example, 10 to 100 minutes. The heating method is the same as the drying method.
In the unirradiated portion, no base is generated from the photobase generator, so that thermosetting is suppressed.

[現像工程]
現像工程は、アルカリ現像により、未照射部を除去して、ネガ型のパターン層を形成する。
現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等公知の方法によることができる。また、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、エタノールアミンなどのアミン類、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)等のアルカリ水溶液またはこれらの混合液を用いることができる。
[Development process]
In the development step, the unirradiated portion is removed by alkali development to form a negative pattern layer.
As a developing method, a known method such as a dipping method, a shower method, a spray method, or a brush method can be used. Developers include potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, amines such as ethanolamine, and alkali such as tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH). An aqueous solution or a mixed solution thereof can be used.

[第2光照射工程]
現像工程の後に、さらに、紫外線照射第2光照射工程を含むことが好ましい。
この第2光照射工程は、光照射工程のパターン層内で活性化せずに残った光塩基発生剤を活性化して、塩基を発生させる。
第2光照射工程における紫外線の波長および光照射量(露光量)は、工程(B)と同じであってもよく、異なっていてもよい。光照射量(露光量)は、例えば、150〜2000mJ/cmである。
[Second light irradiation step]
It is preferable that an ultraviolet irradiation second light irradiation step is further included after the development step.
In the second light irradiation step, the photobase generator remaining without being activated in the pattern layer of the light irradiation step is activated to generate a base.
The wavelength of ultraviolet rays and the light irradiation amount (exposure amount) in the second light irradiation step may be the same as or different from those in the step (B). The light irradiation amount (exposure amount) is, for example, 150 to 2000 mJ / cm 2 .

[熱硬化工程]
現像工程の後に、さらに、熱硬化(ポストキュア)熱硬化工程を含むことが好ましい。
現像工程の後に第2光照射工程と熱硬化工程をともに行う場合、熱硬化工程は、第2光照射工程の後に行うことが好ましい。
この熱硬化工程は、光照射工程、または光照射工程および第2光照射工程により光塩基発生剤から発生した塩基により、パターン層を十分に熱硬化させる。熱硬化工程の時点では、未照射部を既に除去しているため、熱硬化工程は、未照射の熱硬化性樹脂組成物の硬化反応開始温度以上の温度で行うことができる。これにより、パターン層を十分に熱硬化させることができる。加熱温度は、例えば、150℃以上である。
[Thermosetting process]
It is preferable to further include a thermosetting (post-cure) thermosetting step after the developing step.
When performing both a 2nd light irradiation process and a thermosetting process after a image development process, it is preferable to perform a thermosetting process after a 2nd light irradiation process.
In this thermosetting step, the pattern layer is sufficiently thermoset by the light irradiation step or the base generated from the photobase generator in the light irradiation step and the second light irradiation step. Since the unirradiated part has already been removed at the time of the thermosetting process, the thermosetting process can be performed at a temperature equal to or higher than the curing reaction start temperature of the unirradiated thermosetting resin composition. Thereby, a pattern layer can fully be thermosetted. The heating temperature is, for example, 150 ° C. or higher.

以下、実施例、比較例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例、比較例によって制限されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not restrict | limited by these Examples and a comparative example.

(実施例1、2、比較例1)
合成例:<イミド環・カルボキシル基含有樹脂の合成>
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル3つ口フラスコに、3,5−ジアミノ安息香酸を12.2g、2,2’−ビス[4―(4―アミノフェノキシ)フェニル]プロパン8.2g、NMPを30g、γ−ブチロラクトンを30g、4,4’−オキシジフタル酸無水物を27.9g、トリメリット酸無水物を3.8g加え、窒素雰囲気下、室温、100rpmで4時間撹拌した。次いで、トルエンを20g加え、シリコン浴温度180℃、150rpmでトルエンおよび水を留去しながら4時間撹拌してポリイミド溶液を得た。
<各樹脂層を構成する樹脂組成物の調製>
下記表1に記載の配合に従って、実施例および比較例に記載の材料をそれぞれ配合、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルにて混練し、各樹脂層を構成する樹脂組成物を調製した。表中の値は、特に断りが無い限り、質量部である。
(Examples 1 and 2 and Comparative Example 1)
Synthesis example: <Synthesis of imide ring / carboxyl group-containing resin>
In a separable three-necked flask equipped with a stirrer, nitrogen inlet tube, fractional ring, and cooling ring, 12.2 g of 3,5-diaminobenzoic acid, 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) Phenyl] propane 8.2 g, NMP 30 g, γ-butyrolactone 30 g, 4,4′-oxydiphthalic anhydride 27.9 g, trimellitic anhydride 3.8 g were added at room temperature under a nitrogen atmosphere at 100 rpm. Stir for 4 hours. Next, 20 g of toluene was added and stirred for 4 hours while distilling off toluene and water at a silicon bath temperature of 180 ° C. and 150 rpm to obtain a polyimide solution.
<Preparation of resin composition constituting each resin layer>
In accordance with the formulation shown in Table 1 below, the materials described in Examples and Comparative Examples were respectively blended, premixed with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to prepare resin compositions constituting each resin layer. . The values in the table are parts by mass unless otherwise specified.

<樹脂層(A)の形成>
銅厚18μmの回路が形成されているフレキシブルプリント配線基材を用意し、メック社CZ−8100を使用して、前処理を行った。その後、前記前処理を行ったフレキシブルプリント配線基材に、実施例1、2および比較例1の樹脂組成物を夫々表1に示すコーティング方法にて乾燥後で膜厚が25μmになるようにコーティングを行った。その後、熱風循環式乾燥炉にて90℃/30分にて乾燥し、樹脂組成物からなる樹脂層(A)を形成した。
<Formation of resin layer (A)>
A flexible printed wiring board on which a circuit with a copper thickness of 18 μm was formed was prepared, and pretreated using MEC CZ-8100. Thereafter, the pre-treated flexible printed wiring board was coated with the resin compositions of Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 by a coating method shown in Table 1 so that the film thickness would be 25 μm after drying. Went. Then, it dried at 90 degreeC / 30 minutes with the hot-air circulation type drying furnace, and formed the resin layer (A) which consists of a resin composition.

<樹脂層(B)の形成>
上記で形成された樹脂層(A)上に実施例1および2の樹脂組成物を表1に示すコーティング方法にて乾燥後で10μmになるようにコーティングを行った。その後、熱風循環式乾燥炉にて90℃/30分にて乾燥し、樹脂組成物からなる樹脂層(B)を形成した。なお、比較例1には、樹脂層(B)の形成は行わなかった。
<Formation of resin layer (B)>
On the resin layer (A) formed as described above, the resin compositions of Examples 1 and 2 were coated by the coating method shown in Table 1 so as to be 10 μm after drying. Then, it dried at 90 degreeC / 30 minutes with the hot-air circulation type drying furnace, and formed the resin layer (B) which consists of a resin composition. In Comparative Example 1, the resin layer (B) was not formed.

<現像性(パターニング)、硬化特性評価>
上記で得られた樹脂層を備える基材に対して、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて表1に示す露光量でネガ型のパターン状に光照射した。次いで90℃で60分間加熱処理を行った。その後、30℃の、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液中に基材を浸漬して3分間現像を行い、現像性の可否を評価した。得られた結果を表1に示す。
<Developability (patterning) and evaluation of curing characteristics>
The base material provided with the resin layer obtained above was irradiated with a negative pattern with an exposure amount shown in Table 1 by ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). Next, heat treatment was performed at 90 ° C. for 60 minutes. Thereafter, the substrate was immersed in a 1% by mass sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. and developed for 3 minutes to evaluate the developability. The obtained results are shown in Table 1.

次いで、熱風循環式乾燥炉を用いて150℃/60分間熱処理を行い、パターン状の硬化塗膜を得た。得られた硬化塗膜に対し、MIT試験(R=0.38mm/宇部興産(株)製ユーピレックス12.5μmの基材使用)および表面硬度試験(鉛筆硬度試験)を実施し、屈曲性及び表面硬度を評価した。得られた結果を下記の表1に示す。   Next, heat treatment was performed at 150 ° C./60 minutes using a hot air circulation drying oven to obtain a patterned cured coating film. An MIT test (R = 0.38 mm / Upilex 12.5 μm base material used) and a surface hardness test (pencil hardness test) were conducted on the obtained cured coating film, and the flexibility and surface Hardness was evaluated. The obtained results are shown in Table 1 below.

Figure 0006050180
*1酸価86mgKOH/g Mw:10000
*2ビスフェノールA型エポキシ樹脂(分子量:380)(三菱化学(株)製)
*3オキシム型光重合開始剤(BASF社製)
*4ビスフェノールF型エポキシアクリレート(日本化薬(株)製)
*5トリメチロールプロパンEO変性トリアクリレート(東亞合成(株)製)
*6ビスフェノールA型エポキシ樹脂(分子量:900)(三菱化学(株)製)
*7ビスフェノールA型エポキシ樹脂(分子量:500)(三菱化学(株)製)
*8アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤 (BASF社製)
Figure 0006050180
* 1 Acid value 86 mg KOH / g Mw: 10,000
* 2 Bisphenol A type epoxy resin (Molecular weight: 380) (Mitsubishi Chemical Corporation)
* 3 Oxime-type photopolymerization initiator (BASF)
* 4 Bisphenol F epoxy acrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
* 5 Trimethylolpropane EO-modified triacrylate (manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
* 6 Bisphenol A epoxy resin (Molecular weight: 900) (Mitsubishi Chemical Corporation)
* 7 Bisphenol A type epoxy resin (Molecular weight: 500) (Mitsubishi Chemical Corporation)
* 8 Acylphosphine oxide photopolymerization initiator (BASF)

表1に示す評価結果から明らかなように、実施例1および2のフレキシブルプリント配線板は、比較例1のフレキシブルプリント配線板と同様に現像することができ、屈曲性及び表面硬度については大幅に優れていることが分かる。   As is clear from the evaluation results shown in Table 1, the flexible printed wiring boards of Examples 1 and 2 can be developed in the same manner as the flexible printed wiring board of Comparative Example 1, and the flexibility and surface hardness are greatly increased. It turns out that it is excellent.

1 フレキシブルプリント配線基材
2 銅回路
3 樹脂層
4 樹脂層
5 マスク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flexible printed wiring board 2 Copper circuit 3 Resin layer 4 Resin layer 5 Mask

Claims (6)

アルカリ可溶性ポリイミドを含まないアルカリ現像型樹脂組成物からなる樹脂層(A)と、
該樹脂層(A)を介してフレキシブルプリント配線板に積層される樹脂層(B)と、
を有する積層構造体であって、
前記樹脂層(B)が、イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂と光塩基発生剤と熱反応性化合物を含む感光性熱硬化性樹脂組成物からなることを特徴とする積層構造体。
A resin layer (A) comprising an alkali-developable resin composition not containing an alkali-soluble polyimide ;
A resin layer (B) laminated on the flexible printed wiring board via the resin layer (A);
A laminated structure comprising:
The said resin layer (B) consists of a photosensitive thermosetting resin composition containing the alkali-soluble resin which has an imide ring, a photobase generator, and a thermoreactive compound, The laminated structure characterized by the above-mentioned.
前記樹脂層(A)と前記樹脂層(B)が共に、光照射によりパターニングが可能である請求項1に記載の積層構造体。   The laminated structure according to claim 1, wherein both the resin layer (A) and the resin layer (B) can be patterned by light irradiation. フレキシブルプリント配線板の屈曲部および非屈曲部のうちの少なくともいずれか一方に用いられる請求項1または2に記載の積層構造体。   The laminated structure according to claim 1 or 2, which is used for at least one of a bent portion and a non-bent portion of the flexible printed wiring board. フレキシブルプリント配線板のカバーレイ、ソルダーレジストおよび層間絶縁材料のうちの少なくともいずれか1つの用途として用いられる請求項1〜3のいずれかに記載の積層構造体。   The laminated structure according to any one of claims 1 to 3, which is used as at least one of a cover lay, a solder resist, and an interlayer insulating material of a flexible printed wiring board. 請求項1〜4のうちいずれか一項に記載の積層構造体の少なくとも片面が、フィルムで支持または保護されていることを特徴とするドライフィルム。   A dry film, wherein at least one surface of the laminated structure according to any one of claims 1 to 4 is supported or protected by a film. フレキシブルプリント配線板上に請求項1〜4のうちいずれか一項に記載の積層構造体の硬化物の絶縁膜を有することを特徴とするフレキシブルプリント配線板。   It has an insulating film of the hardened | cured material of the laminated structure as described in any one of Claims 1-4 on a flexible printed wiring board, The flexible printed wiring board characterized by the above-mentioned.
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