KR20170060902A - 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 유기 절연막 - Google Patents

감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 유기 절연막 Download PDF

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KR20170060902A KR1020150165646A KR20150165646A KR20170060902A KR 20170060902 A KR20170060902 A KR 20170060902A KR 1020150165646 A KR1020150165646 A KR 1020150165646A KR 20150165646 A KR20150165646 A KR 20150165646A KR 20170060902 A KR20170060902 A KR 20170060902A
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롬엔드하스전자재료코리아유한회사
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Abstract

본 발명은 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 유기 절연막에 관한 것으로, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 해상도, 감도, 잔막율 등의 측면에서 우수한 물성을 유지하면서도 고형분 함량의 변화 없이 점도를 조절할 수 있어 균일한 도포가 가능하므로, 균일한 두께를 갖는 액정표시장치용 유기 절연막의 형성에 유용하게 사용될 수 있다.

Description

감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 유기 절연막{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND ORGANIC INSULATING FILM USING SAME}
본 발명은 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 유기 절연막에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도막 형성시 감도, 잔막율, 해상도 등을 우수하게 유지하면서도 고형분 함량 변화 없이 점도를 조절하여 균일한 두께의 경화막을 형성할 수 있는 네거티브형 감광성 수지 조성물, 및 이로부터 제조된 유기 절연막에 관한 것이다.
박막트랜지스터(TFT)형 액정표시장치 등의 디스플레이 장치에 있어서 TFT 회로를 보호하고 절연시키기 위한 목적으로 유기 절연막이 사용되고 있는데, 최근 유기 절연막은 해상도, 감도, 잔막율 등의 측면에서 우수한 물성을 유지하면서 균일한 두께(평탄성)를 가질 것이 요구되고 있다.
상기 유기 절연막은 광중합성 화합물, 바인더 등을 포함하는 감광성 수지 조성물로부터 제조되는데, 어떤 특정 물성을 구현하기 위해, 바인더의 분자량을 낮추거나 광중합성 화합물의 함량을 높여 조성물의 점도를 조절하는 등 일반적으로 조성물의 고형분 함량(total solid contents)을 조절하여 공정조건에 맞도록 조성물의 점도를 조절한다.
그러나 상기와 같이 고형분의 함량 변화를 통해 조성물의 점도를 조절할 경우 막형성 시 휘발성이나 도포 균일성 등의 성능도 고려하여 동시에 만족시켜야 한다는 문제가 발생하였다.
상기와 같은 문제를 해결하기 위하여, 대한민국 등록특허 제10-1536357호는 막 두께가 균일하고 불균일이 없는 도막을 슬릿 다이 코터법으로 형성하기에 바람직한 2종 이상의 혼합용매를 포함하는 감방사선성 수지 조성물을 개시한다. 그러나 상기 특허는 이로부터 제조된 도막의 도포성 결과만을 제시할 뿐 특정 용매 사용을 통한 점도 조절이나 해상도, 감도, 잔막율 등의 특성에 대해서는 전혀 개시하고 있지 않다.
나아가, 대한민국 공개특허 제10-2010-0056384호는 평탄화도를 향상시키기 위해 3종의 특정 혼합 용매를 사용한 조성물을 개시하고 있으나, 상기 공개특허에 개시된 조성물은 광중합 개시제가 사용되지 않은 열경화성 수지 조성물이어서 본원발명처럼 패턴을 형성하는 것에 대해서는 전혀 개시하고 않고 있다.
이에, 해상도, 감도, 잔막율 등의 측면에서 우수한 물성을 유지하면서 균일하게 도포되어 균일한 두께의 경화막을 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 유기 절연막에 대한 연구가 절실히 필요하다.
대한민국 등록특허 제10-1536357호 대한민국 공개특허 제10-2010-0056384호
따라서, 본 발명의 목적은 해상도, 감도, 잔막율 등의 측면에서 우수한 물성을 유지하면서 균일한 두께의 경화막을 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 유기 절연막을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은
(A) (A-1) 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물 또는 이들의 혼합물로부터 유도되는 구성단위; 및 (A-2) 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위를 포함하는 공중합체;
(B) 광중합성 화합물;
(C) 광중합 개시제; 및
(D) 용매를 포함하고,
상기 (D) 용매는 하기 화학식 1로 표시되는 용매(D-1)를 포함하는, 감광성 수지 조성물을 제공한다:
[화학식 1]
Figure pat00001
상기 화학식 1에서,
R1은 탄소수 1 내지 4의 알킬기이다.
본 발명의 감광성 수지 조성물은 해상도, 감도, 잔막율 등의 측면에서 우수한 물성을 유지하면서도 고형분 함량의 변화 없이 점도를 조절할 수 있어 균일한 도포가 가능하므로, 균일한 두께를 갖는 액정표시장치용 유기 절연막의 형성에 유용하게 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은, (A) (A-1) 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물 또는 이들의 혼합물로부터 유도되는 구성단위; 및 (A-2) 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위를 포함하는 공중합체; (B) 광중합성 화합물; (C) 광중합 개시제; 및 (D) 용매를 포함하고, 추가적으로 (E) 계면활성제, (F) 접착보조제 등의 기타 첨가제를 포함할 수 있다.
상기 (D) 용매는 하기 화학식 1로 표시되는 용매(D-1)를 포함할 수 있다:
[화학식 1]
Figure pat00002
상기 화학식 1에서,
R1은 탄소수 1 내지 4의 알킬기이다.
이하, 상기 감광성 수지 조성물에 대해 구성 성분별로 구체적으로 설명한다.
본 명세서에서, "(메트)아크릴"은 "아크릴" 및/또는 "메타크릴"을 의미하고, "(메트)아크릴레이트"는 "아크릴레이트" 및/또는 "메타크릴레이트"를 의미한다.
(A) 공중합체(알칼리 가용성 수지)
본 발명의 감광성 수지 조성물은 공중합체를 포함하며, 상기 공중합체는 랜덤 공중합체일 수 있다.
상기 공중합체는 (A-1) 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물, 또는 이들의 혼합물로부터 유도되는 구성단위 및 (A-2) 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위를 포함할 수 있고, 선택적으로 (A-3) 상기 (A-1) 및 (A-2)와 상이한 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위를 포함한다. 상기 공중합체는 현상단계에서는 현상성을 구현하는 알칼리 가용성 수지이면서, 또한 코팅 후 도막을 형성하는 기저 역할 및 최종 패턴을 구현하는 구조물 역할을 할 수 있다.
(A-1) 에틸렌성 불포화 카복실산 , 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물, 또는 이들의 혼합물로부터 유도되는 구성단위
본 발명에서 구성단위 (A-1)은 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물, 또는 이들의 혼합물로부터 유도되며, 상기 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물, 또는 이들의 혼합물은 분자에 하나 이상의 카복실기가 있는 중합가능한 불포화 단량체로서, (메트)아크릴산, 크로톤산, 알파-클로로아크릴산 및 신남산 같은 불포화 모노카복실산; 말레인산, 말레인산 무수물, 푸마르산, 이타콘산, 이타콘산 무수물, 시트라콘산, 시트라콘산 무수물 및 메사콘산과 같은 불포화 디카복실산 및 이의 무수물; 3가 이상의 불포화 폴리카복실산 및 이의 무수물; 및 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]숙시네이트 및 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]프탈레이트와 같은 2가 이상의 폴리카복실산의 모노[(메트)아크릴로일옥시알킬]에스테르 중에서 선택되는 적어도 1종 이상일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 이 중에서 특히 현상성 측면에서 바람직하게는 (메트)아크릴산일 수 있다.
상기 (A-1) 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물, 또는 이들의 혼합물로부터 유도되는 구성단위의 함량은 공중합체를 구성하는 구성단위의 총 몰수에 대하여 5 내지 98 몰%일 수 있고, 양호한 현상성을 유지하기 위하여 바람직하게는 15 내지 50 몰%일 수 있다.
(A-2) 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위
본 발명에서 구성단위 (A-2)는 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되며, 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물은 페닐(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 2-페녹시에틸(메트)아크릴레이트, 페녹시디에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, p-노닐페녹시폴리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, p-노닐페녹시폴리프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 트리브로모페닐(메트)아크릴레이트; 스티렌; 메틸스티렌, 디메틸스티렌, 트리메틸스티렌, 에틸스티렌, 디에틸스티렌, 트리에틸스티렌, 프로필스티렌, 부틸스티렌, 헥실스티렌, 헵틸스티렌, 옥틸스티렌 등의 알킬 치환기를 갖는 스티렌; 플루오로스티렌, 클로로스티렌, 브로모스티렌, 요오도스티렌 등의 할로겐을 갖는 스티렌; 메톡시스티렌, 에톡시스티렌, 프로폭시스티렌 등의 알콕시 치환기를 갖는 스티렌; 4-히드록시스티렌, p-히드록시-α-메틸스티렌, 아세틸스티렌; 비닐톨루엔, 디비닐벤젠, 비닐페놀, o-비닐벤질메틸에테르, m-비닐벤질메틸에테르, p-비닐벤질메틸에테르, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종 이상일 수 있고, 특히 중합성 측면에서 바람직하게는 스티렌계 화합물일 수 있다.
상기 (A-2) 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위의 함량은 공중합체를 구성하는 구성단위의 총 몰수에 대하여 2 내지 95 몰%일 수 있고, 내화학성 측면에서 바람직하게는 10 내지 60 몰%일 수 있다.
본 발명의 공중합체는 구성단위 (A-3)으로서 상기 (A-1) 및 (A-2)와는 상이한 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위를 추가로 포함할 수 있다.
(A-3) 상기 (A-1) 및 (A-2)와는 상이한 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위
본 발명에서 구성단위 (A-3)은 상기 (A-1) 및 (A-2)와는 상이한 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되며, 상기 (A-1) 및 (A-2)와는 상이한 에틸렌성 불포화 화합물은 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 부틸(메트)아크릴레이트, 디메틸아미노에틸(메트)아크릴레이트, 이소부틸(메트)아크릴레이트, t-부틸(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 에틸헥실(메트)아크릴레이트, 테트라히드로퍼프릴(메트)아크릴레이트, 히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 2-히드록시-3-클로로프로필(메트)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 글리세롤(메트)아크릴레이트, 메틸-α-히드록시메틸아크릴레이트, 에틸-α-히드록시메틸아크릴레이트, 프로필-α-히드록시메틸아크릴레이트, 부틸-α-히드록시메틸아크릴레이트, 2-메톡시에틸(메트)아크릴레이트, 3-메톡시부틸(메트)아크릴레이트, 에톡시디에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시트리프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 폴리(에틸렌글리콜)메틸에테르(메트)아크릴레이트, 테트라플루오로프로필(메트)아크릴레이트, 1,1,1,3,3,3-헥사플루오로이소프로필(메트)아크릴레이트, 옥타플루오로펜틸(메트)아크릴레이트, 헵타데카플루오로데실(메트)아크릴레이트, 이소보닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트 등의 불포화 카복실산 에스테르류; 글리시딜(메트)아크릴레이트, 3,4-에폭시부틸(메트)아크릴레이트, 4,5-에폭시펜틸(메트)아크릴레이트, 5,6-에폭시헥실(메트)아크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸(메트)아크릴레이트, 2,3-에폭시시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트 등의 에폭시기를 갖는 에틸렌성 불포화 화합물; N-비닐피롤리돈, N-비닐카바졸, N-비닐모폴린 등의 N-비닐을 갖는 삼차아민류; 비닐메틸에테르, 비닐에틸에테르 등의 불포화 에테르류; 알릴글리시딜에테르, 2-메틸알릴글리시딜에테르 등의 에폭시기를 갖는 불포화 에테르류; 말레이미드, N-페닐말레이미드, N-(4-클로로페닐)말레이미드, N-(4-히드록시페닐)말레이미드, N-시클로헥실말레이미드를 포함하는 불포화 이미드류로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종 이상일 수 있고, 특히, 공중합성 및 절연막의 강도 향상 측면에서 에폭시기를 포함하는 에틸렌성 불포화 화합물일 수 있으며, 바람직하게는 글리시딜(메트)아크릴레이트, 4-히드록시부틸아크릴레이트글리시딜에테르 및 3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트일 수 있다. 내화학성 및 잔막율 특성의 측면에서 보다 바람직하게는, 3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트일 수 있다.
상기 (A-3), 즉 상기 (A-1) 및 (A-2)와는 상이한 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위의 함량은 공중합체를 구성하는 구성단위의 총 몰수에 대하여 0 내지 75 몰%, 바람직하게는 10 내지 65 몰%일 수 있다. 상기 범위에서 조성물의 저장안정성이 유지되고, 잔막율이 향상된다.
상기 공중합체(A)는 예를 들면, (메트)아크릴산/스티렌 공중합체, (메트)아크릴산/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/글리시딜메타크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/4-히드록시부틸아크릴레이트글리시딜에테르 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/글리시딜메타크릴레이트/3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/4-히드록시부틸아크릴레이트글리시딜에테르/3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/글리시딜메타크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/글리시딜메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/n-부틸(메트)아크릴레이트/글리시딜메타크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, 또는 이들의 혼합물 등을 들 수 있다. 상기 공중합체는 감광성 수지 조성물에 적어도 1종 이상 함유될 수 있다.
상기 공중합체(A)는 분자량 조절제, 라디칼 중합 개시제, 용매, 및 상기 구성단위 (A-1), (A-2) 및 (A-3) 각각을 제공하는 화합물을 넣고 질소를 투입한 후, 서서히 교반하면서 중합시켜 제조될 수 있다. 상기 공중합체(A)는 랜덤 공중합체로 제조될 수 있다.
상기 분자량 조절제는 특별히 한정되지 않으나, 부틸메캅탄, 옥틸메캅탄 등의 메캅탄 화합물 또는 α-메틸스티렌다이머일 수 있다.
상기 라디칼 중합 개시제는 특별히 한정되지 않으나, 2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 2,2'-아조비스(4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴) 등의 아조 화합물이거나, 벤조일퍼옥사이드, 라우릴퍼옥사이드, t-부틸퍼옥시피발레이트, 1,1-비스(t-부틸퍼옥시)시클로헥산 등으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종 이상이 사용될 수 있다.
또한, 상기 용매는 공중합체의 제조에 사용되는 것이면 어느 것이나 사용 가능하며, 예를 들어, 3-메톡시프로피온산메틸 또는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA)일 수 있다.
상기 공중합체(A)의 함량은 잔부량의 용매를 제외한 감광성 수지 조성물 전체 중량에 대하여 5 내지 80중량%이고, 바람직하게는 30 내지 70중량%이다. 상기의 범위이면 현상후의 패턴 현상이 양호한 도막을 형성할 수 있다.
겔투과 크로마토그래피(GPC; 테트라히드로퓨란을 용출 용매로 함)로 측정한 상기 공중합체(A)의 폴리스티렌 환산의 중량평균분자량(Mw)은 3,000 내지 10,000, 바람직하게는 5,000 내지 7,500일 수 있다. 상기 범위 내에서, 현상 후 패턴 현상이 보다 양호할 수 있다.
(B) 광중합성 화합물
본 발명의 감광성 수지 조성물은 광중합성 화합물을 포함한다.
상기 광중합성 화합물은 광중합 개시제의 작용으로 중합될 수 있는 화합물로서, 적어도 1개의 에틸렌성 불포화기를 가지는 아크릴산 또는 메타크릴산의 단관능 또는 다관능 에스테르 화합물일 수 있으며, 내화학성 측면에서 바람직하게는 2관능 이상의 다관능성 화합물일 수 있다.
상기 광중합성 화합물은 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 글리세린트리(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트와 숙신산의 모노에스테르화물, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트와 숙신산의 모노에스테르화물, 카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트헥사메틸렌디이소시아네이트(펜타에리트리톨트리아크릴레이트와 헥사메틸렌디이소시아네이트의 반응물), 트리펜타에리트리톨헵타(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨옥타(메트)아크릴레이트, 비스페놀 A 에폭시아크릴레이트 및 에틸렌글리콜모노메틸에테르아크릴레이트로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종 이상일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
또한, 이외에도 직쇄 알킬렌기 및 지환식 구조를 갖고 2개 이상의 이소시아네이트기를 갖는 화합물과, 분자 내에 1개 이상의 히드록실기를 갖고 3개, 4개 또는 5개의 아크릴로일옥시기 및/또는 메타크릴로일옥시기를 갖는 화합물을 반응시켜 얻어지는 다관능 우레탄아크릴레이트 화합물 등을 들 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
상업적으로 구매 가능한 광중합성 화합물은, (i) 단관능 (메트)아크릴레이트의 시판품으로서, 도아고세이사의 아로닉스 M-101, M-111 및 M-114, 닛본가야꾸사의 KAYARAD T4-110S 및 T4-120S, 오사카유끼 가가꾸고교사의 V-158 및 V-2311 등이 있고; (ii) 2관능 (메트)아크릴레이트의 시판품으로서, 도아 고세이사의 아로닉스 M-210, M-240 및 M-6200, 닛본가야꾸사의 KAYARAD HDDA, HX-220 및 R-604, 오사카유끼 가가꾸고교사의 V-260, V-312 및 V-335 HP 등이 있으며; (iii) 3관능 이상의 (메트)아크릴레이트의 시판품으로서, 도아고세이사의 아로닉스 M-309, M-400, M-403, M-405, M-450, M-7100, M-8030, M-8060 및 TO-1382, 닛본가야꾸사의 KAYARAD TMPTA, DPHA, DPHA-40H, DPCA-20, DPCA-30, DPCA-60 및 DPC1-120, 오사카유끼 가가꾸고교사의 V-295, V-300, V-360, V-GPT, V-3PA, V-400 및 V-802 등을 들 수 있다.
상기 광중합성 화합물(B)은 적어도 1종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.
상기 광중합성 화합물(B)은 용매를 제외한 고형분을 기준으로, 상기 공중합체(A) 100 중량부에 대하여 1 내지 300 중량부, 바람직하게는 150 내지 250 중량부의 양으로 사용될 수 있다. 상기의 함량 범위에서 패턴 형성이 용이하며 컨택 홀의 형상이 우수하다.
(C) 광중합 개시제
본 발명에 사용되는 광중합 개시제는 가시광선, 자외선, 심자외선(deep-ultraviolet radiation) 등에 의하여 경화될 수 있는 단량체들의 중합 반응을 개시하는 역할을 한다.
상기 광중합 개시제는 라디칼 개시제일 수 있고, 그 종류는 특별히 한정되지 않으나, 아세토페논계, 벤조페논계, 벤조인계, 벤조일계, 크산톤계, 트리아진계, 할로메틸옥사디아졸계 및 로핀다이머계 광중합 개시제로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상이 사용될 수 있다.
상기 광중합 개시제의 구체적인 예로는, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 2,2'-아조비스(4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴), 벤조일퍼옥사이드, 라우릴퍼옥사이드, t-부틸퍼옥시피발레이트, 1,1-비스(t-부틸퍼옥시)시클로헥산, p-디메틸아미노아세토페논, 2-벤질-2-(디메틸아미노)-1-[4-(4-모포리닐)페닐]-1-부탄온, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온, 벤질디메틸케탈, 벤조페논, 벤조인프로필에테르, 디에틸티옥산톤, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-p-메톡시페닐-s-트리아진, 2-트리클로로메틸-5-스티릴-1,3,4-옥소디아졸, 9-페닐아크리딘, 3-메틸-5-아미노-((s-트리아진-2-일)아미노)-3-페닐쿠마린, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 이량체, 1-페닐-1,2-프로판디온-2-(o-에톡시카르보닐)옥심, 1-[4-(페닐티오)페닐]-옥탄-1,2-디온-2-(O-벤조일옥심), o-벤조일-4'-(벤즈머캅토)벤조일-헥실-케톡심, 2,4,6-트리메틸페닐카르보닐-디페닐포스포닐옥사이드, 헥사플루오로포스포로-트리알킬페닐술포늄염, 2-머캅토벤즈이미다졸, 2,2'-벤조티아조릴디설파이드 및 이들의 혼합물을 들 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
다른 예로서, 상기 광중합 개시제는 적어도 1종의 옥심계 화합물을 포함할 수 있다.
상기 옥심계 화합물은 옥심 구조를 포함하는 라디칼 개시제라면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들어 옥심 에스테르계 화합물일 수 있다.
상기 옥심계 화합물은 대한민국 공개특허공보 제2004-0007700호, 제2005-0084149호, 제2008-0083650호, 제2008-0080208호, 제2007-0044062호, 제2007-0091110호, 제2007-0044753호, 제2009-0009991호, 제2009-0093933호, 제2010-0097658호, 제2011-0059525호, 제2011-0091742호, 제2011-0026467호 및 제2011-0015683호, 및 국제공개특허 WO 2010/102502호 및 WO 2010/133077호에 기재된 옥심계 화합물 중의 1종 이상을 사용하는 것이 고감도의 측면에서 바람직하다. 이들의 상품명으로는 OXE-01(BASF), OXE-02(BASF), OXE-03(BASF), N-1919(ADEKA), NCI-930(ADEKA), NCI-831(ADEKA) 등을 들 수 있다.
상기 광중합 개시제(C)는 공중합체(A) 100 중량부(고형분 함량 기준)에 대하여 0.1 내지 40 중량부, 바람직하게는 10 내지 20 중량부의 양으로 사용될 수 있다. 상기 함량 범위 내에서, 고감도이면서 우수한 현상 및 도막 특성을 얻을 수 있다.
(D) 용매
본 발명의 감광성 수지 조성물의 용매(D)는 하기 화학식 1로 표시되는 용매(D-1)를 포함한다:
[화학식 1]
Figure pat00003

상기 화학식 1에서,
R1은 탄소수 1 내지 4의 알킬기이다.
상기 화학식 1로 표시되는 용매(D-1)로는, 2-하이드록시이소부티르산 메틸 에스테르, 2-하이드록시이소부티르산 에틸 에스테르 또는 이들의 혼합물을 사용할 수 있고, 용해도 및 점도 조절 측면에서 2-하이드록시이소부티르산 메틸 에스테르를 사용하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명의 용매(D)는 상기 용매(D-1) 이외의 다른 용매(D-2)를 추가로 포함할 수 있다. 상기 용매(D-2)로는, 메탄올, 에탄올, 테트라하이드로퓨란, 디옥산, 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 에틸아세토아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜디메틸에테르, 에틸렌글리콜디에틸에테르, 프로필렌글리콜디메틸에테르, 프로필렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노프로필에테르, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디프로필렌글리콜디에틸에테르, 에틸렌글리콜메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜프로필에테르아세테이트, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜프로필에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜부틸에테르아세테이트, 3-메톡시 부틸 아세테이트, 톨루엔, 크실렌, 메틸에틸케톤, 4-하이드록시-4-메틸-2-펜타논, 시클로펜타논, 시클로헥사논, 2-헵타논, γ-부티로락톤, 에톡시초산에틸, 히드록시초산에틸, 2-히드록시-3-메틸부탄산메틸, 2-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 피루빈산메틸, 피루빈산에틸, 초산에틸, 초산부틸, 젖산에틸, 젖산부틸, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈 등을 사용할 수 있다.
이들 중에서, 에틸렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 디에틸렌글리콜류, 프로필렌글리콜모노알킬에테르류, 프로필렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 케톤류 등을 사용하는 것이 바람직하고, 특히, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디프로필렌글리콜디에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 3-메톡시 부틸 아세테이트, 2-메톡시프로피온산메틸, γ-부티로락톤, 4-하이드록시-4-메틸-2-펜타논 등을 사용하는 것이 보다 바람직하며, 다른 구성성분과의 상용성 면에서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 사용할 수 있다.
상기 예시한 용매들은 단독으로 또는 2종 이상 배합하여 사용될 수 있다.
상기 화학식 1로 표시되는 용매(D-1)는 용매(D) 전체 중량에 대하여 10 내지 90 중량%, 바람직하게는 10 내지 50 중량%의 양으로 사용될 수 있다. 상기 범위에서 고형분 함량의 변화없이 조성물의 점도를 원하는 수준으로 조절하는 것이 용이하고, 도막 형성시 막의 도포 균일성(coating uniformity)을 구현할 수 있다.
(E) 계면활성제
본 발명의 감광성 수지 조성물은 필요에 따라, 코팅성 향상 및 결점 생성 방지 효과를 위해 계면활성제를 추가로 포함할 수 있다.
상기 계면활성제의 종류는 특별히 한정되지 않으나, 바람직하게는 불소계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제, 비이온계 계면활성제 및 그 밖의 계면활성제를 들 수 있다.
상기 계면활성제의 예로는 BM CHEMIE사의 BM-1000 및 BM-1100, 다이닛뽄잉크 가가꾸고교사의 메가팩 6-142 D, 6-172, 6-173, 6-183, F-470, F-471, F-475, F-482 및 F-489, 스미또모 쓰리엠사의 플로라드 F4-135, F4-170 C, FC-430 및 FC-431, 아사히 가라스사의 서프론 S-112, S-113, S-131, S-141, S-145, S-382, S4-101, S4-102, S4-103, S4-104, S4-105 및 S4-106, 신아끼따 가세이사의 에프톱 EF301, EF303 및 EF352, 도레이 실리콘사의 SH-28 PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57 및 D4-190, 다우코닝도레이 실리콘사의 DC3PA, DC7PA, SH11PA, SH21PA, SH8400, FZ-2100, FZ-2110, FZ-2122, FZ-2222 및 FZ-2233, GE 도시바 실리콘사의 TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460 및 TSF-4452, BYK사의 BYK-333 등의 불소계 및 실리콘계 계면활성제; 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르 및 폴리옥시에틸렌올레일에테르와 같은 폴리옥시에틸렌알킬에테르류, 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에테르 및 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르와 같은 폴리옥시에틸렌아릴에테르류, 폴리옥시에틸렌디라우레이트 및 폴리옥시에틸렌디스테아레이트와 같은 폴리옥시에틸렌디알킬에스테르류 등의 비이온계 계면활성제; 오르가노실록산 폴리머 KP341(신에쓰 가가꾸고교사), (메트)아크릴산계 공중합체 폴리플로우 No. 57 및 95(교에이샤 유지 가가꾸고사) 등을 들 수 있다.
이들은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.
상기 계면활성제(E)는, 용매를 제외한 고형분 기준으로, 상기 공중합체(A) 100 중량부에 대하여 0.001 내지 5 중량부, 바람직하게는 0.05 내지 1 중량부의 양으로 사용할 수 있다. 상기 범위 내에서, 조성물의 코팅이 보다 원활해질 수 있다.
(F) 접착보조제
본 발명의 감광성 수지 조성물은 기판과의 접착성을 향상시키기 위해 접착보조제를 추가로 포함할 수 있다.
이와 같은 접착보조제의 종류는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 카복실기, (메트)아크릴로일기, 이소시아네이트기, 아미노기, 머캅토기, 비닐기 및 에폭시기로 이루어진 그룹에서 선택되는 적어도 1종 이상의 반응성 그룹을 갖는 실란 커플링제를 사용할 수 있다.
보다 구체적인 접착보조제의 예로서, 트리메톡시실릴벤조산, γ-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란, 비닐트리아세톡시실란, 비닐트리메톡시실란, γ-이소시아네이토프로필트리에톡시실란, γ-이소시아네이트프로필트리에톡시실란, γ-글리시독시프로필트리메톡시실란, γ-글리시독시프로필트리에톡시실란, N-페닐아미노프로필트리메톡시실란, β-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 또는 이들의 혼합물을 들 수 있으며, 더욱 구체적으로는 잔막율을 향상시키면서 기판과의 접착성이 좋은 γ-글리시독시프로필트리에톡시실란, γ-글리시독시프로필트리메톡시실란, N-페닐아미노프로필트리메톡시실란 등을 들 수 있다. 또한, 내화학성의 향상을 위해서 이소시아네이트기를 갖는 γ-이소시아네이트프로필트리에톡시실란(예: Shin-Etsu사의 KBE-9007)이 사용될 수도 있다.
상기 접착보조제(F)는, 용매를 제외한 고형분 기준으로, 상기 공중합체(A) 100 중량부에 대하여 0.001 내지 5 중량부, 바람직하게는 0.05 내지 3 중량부의 양으로 사용할 수 있다. 상기 범위에서 기판과의 접착력이 보다 양호해질 수 있다.
이 외에도, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 이의 물성을 해하지 않는 범위 내에서 산화방지제, 안정제, 라디칼 포착제 등의 기타의 첨가제를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 네거티브형 감광성 수지 조성물로서 사용될 수 있다. 특히, 상기 감광성 수지 조성물은 기재 위에 도포되고 경화되어 유기 절연막으로 제조될 수 있다.
상기 유기 절연막은 당 기술분야에 알려져 있는 방법에 의해 제조할 수 있으며, 예컨대 실리콘 기판 위에 상기 감광성 수지 조성물을 스핀 코팅 방법에 의하여 도포하고, 60 내지 130 ℃에서 60 내지 130 초간 예비경화(pre-bake)하여 용매를 제거한 후, 원하는 패턴이 형성된 포토마스크를 이용하여 노광하고, 현상액(예: 테트라메틸암모늄하이드록사이드(TMAH) 용액)으로 현상함으로써 코팅층에 패턴을 형성할 수 있다. 상기 노광은 200 내지 450 ㎚의 파장대에서 10 내지 100 mJ/㎠의 노광량으로 조사하여 수행할 수 있다. 이후 패턴화된 코팅층을 10 분 내지 5 시간 동안 150 내지 300 ℃에서 후경화(post-bake)시켜 목적하는 유기 절연막을 얻을 수 있다.
본 발명의 감광성 수지 조성물은 해상도, 감도, 잔막율 등의 측면에서 우수한 물성을 유지하면서도 고형분 함량의 변화 없이 점도를 조절할 수 있어 균일한 도포가 가능하므로, 균일한 두께를 갖는 액정표시장치용 유기 절연막의 형성에 유용하게 사용될 수 있다.
이하, 하기 실시예에 의하여 본 발명을 좀더 상세하게 설명하고자 한다. 단, 하기 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것일 뿐 본 발명의 범위가 이들만으로 한정되는 것은 아니다.
하기 제조예에 기재된 중량평균분자량은 겔 투과 크로마토그래피(GPC)에 의해 측정한 폴리스티렌 환산값이다.
제조예 1. 공중합체(a-1)의 제조
삼구 플라스크에 건조관이 달린 냉각관을 설치하고 온도 자동조절기가 달린 교반기 상에 배치한 뒤, 옥틸메캅탄 2 중량부, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트닐) 3 중량부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA) 100 중량부, 및 단량체 혼합물 100 중량부를 넣고 질소를 투입하였다. 이때 상기 단량체 혼합물은 메타크릴산(MAA) 23몰%, 글리시딜메타크릴레이트(GMA) 10몰%, 스티렌(Sty) 46.5몰% 및 메틸메타크릴레이트(MMA) 20.5몰%로 구성하였다. 이후 서서히 교반하면서 용액의 온도를 60℃로 상승시키고 이 온도를 5시간 유지하며 중합시켜, 중량평균분자량 5,000인 공중합체의 용액을 얻었다.
제조예 2 및 3. 공중합체(a-2) 및 공중합체(a-3)의 제조
중합시간을 늘려 추가로 중합을 수행한 것을 제외하고는, 상기 제조예 1과 동일한 방법으로 중합 반응을 수행하여 중량평균분자량이 7,200 및 9,500인 공중합체의 용액을 얻었다.
제조예 MAA(몰%) GMA(몰%) Sty(몰%) MMA(몰%) 중량평균분자량
제조예 1(a-1) 23 10 46.5 20.5 5,000
제조예 2(a-2) 23 10 46.5 20.5 7,200
제조예 3(a-3) 23 10 46.5 20.5 9,500
상기 제조예에서 제조된 화합물들을 이용하여, 이하의 실시예 및 비교예의 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
그 외 성분으로는 하기 화합물을 사용하였다:
광중합성 화합물(b-1) : 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트(DPHA)
광중합 개시제(c-1): OXE-01, 바스프사
광중합 개시제(c-2): OXE-02, 바스프사
용매(d-1): 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA), 켐트로닉스사
용매(d-2): 2-하이드록시이소부티르산 메틸 에스테르(HBM), TCI사
용매(d-3): 디프로필렌글리콜디메틸에테르(DPGDME)
용매(d-4): 에틸락타이드
용매(d-5): 메틸부틸아세테이트(MBA)
계면활성제(e-1): FZ-2110, 다우코닝도레이사 실리콘사
실시예 1 : 감광성 수지 조성물의 제조
고형분 중량 기준으로, 제조예 1에서 합성한 공중합체(a-1) 100 중량부, 광중합성 화합물(b-1) 200 중량부, 광중합 개시제(c-1) 16 중량부, 광중합 개시제(c-2) 3 중량부 및 계면활성제(e-1) 0.6 중량부를 배합하고, 여기에 상기 성분들의 고형분 합계 함량이 23%가 되도록 용매로서 (d-1)과 (d-2)의 50:50 중량비 혼합물을 투입한 후, 쉐이커를 이용하여 2시간 동안 혼합하여 액상의 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
실시예 2 내지 6 및 비교예 1 내지 4 : 감광성 수지 조성물의 제조
하기 표 2에 제시된 바와 같이, 구성성분의 종류 및/또는 함량을 변화시킨 것을 제외하고는, 상기 실시예 1과 동일한 공정을 수행하여 각각의 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
공중합체(A) 광중합성 화합물(B) 광중합 개시제(C) 계면활성제(E) 용매(D)
실시예1 a-1 100 b-1 200 c-1 16 c-2 3 e-1 0.6 d-1 50 d-2 50
실시예2 a-1 100 b-1 200 c-1 16 c-2 3 e-1 0.6 d-1 10 d-2 90
실시예3 a-2 100 b-1 200 c-1 16 c-2 3 e-1 0.6 d-1 50 d-2 50
실시예4 a-2 100 b-1 200 c-1 16 c-2 3 e-1 0.6 d-1 10 d-2 90
실시예5 a-3 100 b-1 200 c-1 16 c-2 3 e-1 0.6 d-1 50 d-2 50
실시예6 a-3 100 b-1 200 c-1 16 c-2 3 e-1 0.6 d-1 10 d-2 90
비교예1 a-1 100 b-1 200 c-1 16 c-2 3 e-1 0.6 d-1 100 - -
비교예2 a-1 100 b-1 200 c-1 16 c-2 3 e-1 0.6 d-1 10 d-3 90
비교예3 a-1 100 b-1 200 c-1 16 c-2 3 e-1 0.6 d-1 10 d-4 90
비교예4 a-1 100 b-1 200 c-1 16 c-2 3 e-1 0.6 d-1 10 d-5 90
상기 실시예 및 비교예에서 제조된 감광성 수지 조성물에 대하여 아래와 같이 평가하였다.
시험예 1: 점도 측정
상기 실시예 및 비교예에서 얻은 각각의 조성물을 점도계(TV-22, TOKI SANGYO)를 사용하여 25℃에서 100RPM으로 점도를 측정하고, 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다.
시험예 2: 도포 균일성(Uniformity) 평가
상기 실시예 및 비교예에서 얻은 각각의 조성물을, 유리 기판 상에 5초 동안 스핀 코팅한 후에 105℃로 유지되는 고온 플레이트 위에서 110초간 예비경화하여 예비경화막을 형성하였다. 상기 예비경화막의 정중앙 1곳, 정중앙으로부터 일정한 거리의 모서리 4곳을 3차원 표면 측정기(상품명: SIS 2000, 제조사: SNU precision)를 이용하여 측정하여, 하기 수학식 1에 따라 균일성(총 5곳 두께의 표준편차)을 계산하고, 그 결과값을 하기 표 3에 나타내었다. 두께 표준편차값이 낮을 수록 도포 균일성이 우수하다고 할 수 있다:
[수학식 1]
Figure pat00004
상기 수학식 1에서,
X i 는 측정값이고, m은 평균값이며, n은 5이다.
시험예 3: 감도 평가
상기 시험예 2에서 얻은 예비경화막에 노광량을 스플릿(split)할 때, 일정 노광량 이상을 주어도 더 이상 두께가 증가하지 않은 시점을 풀톤(F/T)이 형성되는 지점으로 판단하고, 이 때의 노광량을 측정하여 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다. F/T이 형성되는데 필요한 노광량이 적을수록 감도는 빠른 것으로 평가하였다(감도(mJ/cm2): F/T이 형성되는 최소한의 노광량).
시험예 4: 잔막율 평가
상기 실시예 및 비교예에서 얻은 각각의 조성물을 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅한 후에 105℃로 유지되는 고온플레이트 위에서 110초간 예비경화하여 두께 3um의 건조막을 형성하였다. 이 막에 200nm에서 450nm의 파장을 내는 어라이너(aligner, 모델명 MA6)를 이용하여, F/T 및 하프톤(H/T)의 패턴 마스크를 개재하고, 노광기준으로 마스크와 기판사이의 간격을 25um으로 하였다. 이후, 365nm 기준으로 21mJ/㎠이 되도록 일정시간 노광하고, 2.38 중량% 테트라메틸암모늄하이드로옥사이드 수용성 현상액으로 23℃에서 스프레이 노즐을 통해 현상하였다. 얻어진 노광막을 컨백션 오븐에서 230℃에서 30분 동안 가열하여 경화막을 얻었다. 얻어진 경화막의 두께를 막두께 평가장비(상품명 Nanospec.)로 측정하여 F/T 잔막율을 하기와 같이 산출하여 백분율(%)로 나타내었다. 그 결과값을 하기 표 3에 나타내었다. 이 때, 비교예와 비교하여 오차범위(±1%) 내이면 OK, 그렇지 못하면 NG로 표시하였다.
잔막율(%) = (후경화 후 막두께 / 예비경화 후 막두께) X 100
시험예 5: 해상도 평가
상기 실시예 및 비교예에서 얻은 각각의 조성물을 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅한 후에 105℃로 유지되는 고온플레이트 위에서 110초간 예비경화하여 두께 3 ㎛의 건조막을 형성하였다. 이 막에 200nm에서 450nm의 파장을 내는 어라이너(aligner, 상품명 MA6)를 이용하여, 다양한 사이즈의 홀 패턴 마스크를 개재하고, 노광기준으로서 마스크와 기판사이의 간격을 25um으로 하였다. 이후, 365nm를 기준으로 약 21mJ/㎠이 되도록 일정 시간 동안 노광하고, 2.38 중량% 테트라메틸암모늄하이드로옥사이드 수용성 현상액으로 23 ℃에서 스프레이 노즐을 통해 현상하였다. 얻어진 노광막을 컨백션 오븐으로 230 ℃, 30분 가열함으로써 경화막을 얻었다. 상기 현상된 미세 패턴의 형상을 통하여 현상성을 평가하고, 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다. 마스크 사이즈가 12um 패턴에서 CD(critical dimension, 선폭) 사이즈 바이어스(bias)가 2이하이면 OK, 그렇지 못하면 NG로 표시하였다.
점도(cP) 도포 균일성 감도(mJ/cm2) 잔막율(%) 해상도(um)
실시예1 4.8 1302 21 76.1/OK 1.7/OK
실시예2 6.0 1079 21 76.3/OK 1.7/OK
실시예3 5.3 1459 21 76.2/OK 1.8/OK
실시예4 6.9 1223 21 76.4/OK 1.8/OK
실시예5 5.6 1567 21 76.3/OK 1.9/OK
실시예6 7.2 1318 21 76.5/OK 1.9/OK
비교예1 3.9 2896 21 76.2/OK 1.8/OK
비교예2 3.8 5223 21 75.9/OK 1.9/OK
비교예3 4.1 2762 21 76.1/OK 1.8/OK
비교예4 3.9 8123 21 76.2/OK 1.8/OK
상기 표 3에서 보는 바와 같이, 본 발명의 범위에 속하는 실시예의 조성물들은 고형분의 함량 변화 없이 용매의 종류 및 사용량을 달리함으로써 다양한 점도를 나타내는 것으로 확인되었으며, 감도, 잔막율 및 해상도 모두 우수한 경화막을 형성하는 것으로 확인되었다. 또한, 상기 실시예의 조성물들은 우수한 도포 균일성을 가져 균일한 두께의 경화막을 형성함을 알 수 있었다. 반면, 본 발명의 범위에 속하지 않는 비교예의 조성물들은 점도 조절이 용이하지 않을 뿐 아니라 도포 균일성이 떨어짐을 확인하였다.

Claims (5)

  1. (A) (A-1) 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물 또는 이들의 혼합물로부터 유도되는 구성단위; 및 (A-2) 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위를 포함하는 공중합체;
    (B) 광중합성 화합물;
    (C) 광중합 개시제; 및
    (D) 용매를 포함하고,
    상기 (D) 용매는 하기 화학식 1로 표시되는 용매(D-1)를 포함하는, 감광성 수지 조성물:
    [화학식 1]
    Figure pat00005

    상기 화학식 1에서,
    R1은 탄소수 1 내지 4의 알킬기이다.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 화학식 1로 표시되는 용매(D-1)가 2-하이드록시이소부티르산 메틸 에스테르, 2-하이드록시이소부티르산 에틸 에스테르 또는 이들의 혼합물을 포함하는, 감광성 수지 조성물.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 화학식 1로 표시되는 용매(D-1)가 총 용매에 대하여 50 내지 90 중량%의 함량으로 포함되는, 감광성 수지 조성물.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 광중합성 화합물(B)은 상기 공중합체(A) 100 중량부(고형분 함량 기준)에 대하여 150 내지 250 중량부로 포함되는, 감광성 수지 조성물.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 유기 절연막.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021172132A1 (ja) * 2020-02-26 2021-09-02 三菱瓦斯化学株式会社 レジスト組成物、及びレジスト組成物の使用方法

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