KR20170037238A - 전기변색소자의 제조방법 - Google Patents

전기변색소자의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전기변색소자의 제조방법으로, 본 발명의 일 측면에 따르면, 전기 변색층 상에 고체 전해질을 포함하는 이온 전도체층을 증착시키는 증착 단계 및 상기 증착 단계가 완료된 이후에, 증착 후 계면 특성을 변경시키기 위하여 전기 변색층과 이온 전도체층의 계면(interface)에 레이저를 조사하는 조사 단계를 포함하는 전기변색소자의 제조방법이 제공된다.

Description

전기변색소자의 제조방법{Method for manufacturing Electrochromic device}
본 발명은 전기변색소자의 제조방법에 관한 것이다.
전기변색(electrochromism)은 전극 물질에 전기화학적으로 산화 또는 환원 반응을 일으킬 때 가역적으로 색 변화가 일어나는 현상이다. 유기 또는 무기 전기변색 물질로 이루어진 소자는 기존의 음극선과(CRT), 액정 디스플레이(LCD), 발광다이오드(LED)에 비교하여 응답속도는 느리지만 적은 비용으로 넓은 면적의 소자로 제작될 수 있고, 소비전력이 낮기 때문에 스마트 윈도우, 스마트 거울, 전자종이 등 많은 분야에 응용될 수 있다.
특히 전기변색을 이용한 스마트 윈도우/필름의 개발은 대체에너지 활용을 통한 화석연료 배출가스의 배출량을 감소시키고, 에너지를 절약시키며, 나아가 환경 보전에도 공헌을 할 수 있기 때문에, 외부 광원에 의한 빛과 채광 효과 및 열 투과 등의 능동적 기능 조절이 가능한 신개념의 윈도우 개발은 주거 문화 및 사무 환경 개선을 통해 삶의 질을 향상시킬 수 있다.
한편, 스마트 윈도우 타입의 경우, 패시브(passive) 타입과 액티브(active) 타입으로 구분될 수 있으며, 액티브 타입은 구동 방식에 따라 PDLC, SPD/DPS, EC의 3가지 방법으로 구분될 수 있다. 여기서, 구동 방식(소모 전력, 스위칭 시간 등) 및 원가 측면에서는 타 방법에 비해 EC 방법이 장점을 가질 수 있다.
현재 ECD(Electrichromic device)에 쓰이고 있으며, 상용화된 전해질(Electrolyte)의 경우 대부분 액상 또는 겔(Gel) 타입으로서 근원적인 내구성 문제를 가지고 있고, 재조합(Recombination)에 의한 지속적인 전류 소모로 대면적화에 어려우며,, 이를 극복하기 위한 방안으로 제품 소자 전체를 고체 상태(solid state)로 만들려는 시도가 있으나, 고체 전해질 적용시 구동 안정성(내구성, 착탈색, 스위칭 시간 등)의 문제가 있어, 이를 해결하기 위한 방법이 요구된다.
본 발명은 전기변색소자에서 증착된 인접 요소들의 계면 특성을 변화시킬 수 있는 전기변색소자의 제조방법을 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.
상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 전기 변색층 상에 고체 전해질을 포함하는 이온 전도체층을 증착시키는 증착 단계 및 상기 증착 단계가 완료된 이후에, 증착 후 계면 특성을 변경시키기 위하여 전기 변색층과 이온 전도체층의 계면(interface)에 레이저를 조사하는 조사 단계를 포함하는 전기변색소자의 제조방법이 제공된다.
또한, 조사 단계에서, 레이저는 전기 변색층과 이온 전도체층 중 어느 하나의 층을 투과하여 상기 계면에 도달하도록 조사될 수 있다.
또한, 레이저는 이온 전도체층을 투과하여 상기 계면에 도달하도록 조사될 수 있다.
또한, 전기 변색층과 이온 전도체층은 상기 계면에서 투과율이 서로 상이할 수 있다.
또한, 상기 고체 전해질은 무기 고체 전해질 또는 겔-고분자 전해질(GPE)일 수 있다. 여기서, 무기 고체 전해질은 LiPON 또는 Ta2O5을 포함할 수 있다. 또한, 무기 고체 전해질은 LiPON 또는 Ta2O5에 B, S, W와 같은 성분이 일부 첨가된 것일 수 있다.
또한, 조사 단계에서, 레이저는 193 내지 1064nm의 파장으로 조사될 수 있다.
또한, 조사 단계에서, 레이저는 1Hz 이상의 주파수(Repeatition rate)와, 1mm/s 이상의 스캔 속도 및 0.1W 이상의 파워로 조사될 수 있다. 예를 들어, 레이저는 30kHz의 주파수와, 100mm/s의 스캔 속도 및 0.1 내지 0.5W의 파워로 조사될 수 있다.
또한, 상기 전기변색소자의 제조방법은, 증착이 완료된 후 조사 단계 이전에, 계면에서 투과율이 차이가 커지도록 상기 전기 변색층을 착색시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 전극 상에 이온 스토리지층 및 이온 전도체층을 차례로 증착시키는 증착 단계 및 상기 증착 단계가 완료된 이후에, 증착 후 계면 특성을 변경시키기 위하여 이온 스토리지층과 이온 전도체층의 계면(interface)에 레이저를 조사하는 조사 단계를 포함하는 전기변색소자의 제조방법이 제공된다.
또한, 조사 단계에서, 레이저는 이온 스토리지층과 이온 전도체층 중 어느 하나의 층을 투과하여 상기 계면에 도달하도록 조사될 수 있다.
또한, 레이저는 이온 전도체층을 투과하여 상기 계면에 도달하도록 조사될 수 있다.
또한, 이온 스토리지층과 이온 전도체층은 상기 계면에서 투과율이 서로 상이할 수 있다.
또한, 상기 고체 전해질은 무기 고체 전해질 또는 겔-고분자 전해질(GPE)일 수 있다.
또한, 전기변색소자의 제조방법은, 증착이 완료된 후 조사 단계 이전에, 계면에서 투과율이 차이가 커지도록 상기 이온 스토리지층을 착색시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 제1 전극 상에 전기 변색층을 마련하는 단계와 전기 변색층 상에 고체 전해질을 포함하는 이온 전도체층을 증착시키는 제1 증착 단계와 이온 전도체층 상에 이온 스토리지층을 증착시키는 제2 증착 단계와 이온 스토리지층 상에 제2 전극을 마련하는 단계 및 제1 및 제2 증착단계 이후에, 전기 변색층과 이온 전도체층의 계면(interface) 또는 이온 전도체층과 이온 스토리지층의 계면에 레이저를 조사하는 조사 단계를 포함하는 전기변색소자의 제조방법이 제공된다.
또한, 전기 변색층과 이온 전도체층의 계면에 레이저를 조사하는 경우, 레이저가 이온 전도체층을 투과하여 계면에 도달하도록 조사될 수 있다.
또한, 이온 전도체층과 이온 스토리지층의 계면에 레이저를 조사하는 경우, 레이저가 이온 전도체층을 투과하여 계면에 도달하도록 조사될 수 있다.
또한, 전기변색소자의 제조방법은, 증착이 완료된 후 조사 단계 이전에, 계면에서 투과율이 차이가 커지도록 이온 스토리지층 및 전기변색층을 착색 또는 탈색시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
또한, 상기 고체 전해질은 무기 고체 전해질 또는 겔-고분자 전해질(GPE)일 수 있다.
또한, 조사 단계에서, 레이저는 193 내지 1064nm의 파장과, 1Hz 이상의 주파수와, 1mm/s 이상의 스캔 속도 및 0.1W 이상의 파워로 조사될 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 적어도 일 실시예와 관련된 전기변색소자의 제조방법은 다음과 같은 효과를 갖는다.
증착 공정 이후에, 전기 변색층과 이온 전도체층의 계면(interface) 및/또는 이온 전도체층과 이온 스토리지층의 계면에 레이저를 조사하여, 각각의 계면의 특성을 변경시킬 수 있다. 특히, 계면에서의 접합(contact)을 증가시킬 수 있고, 증착 공정 시 및/또는 증착 공정 완료 시 계면에 발생한 결함 또는 잔류 스트레스(stress)를 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명과 관련된 전기변색소자를 나타내는 단면도이다.
도 2는 전기변색소자의 계면에서의 결함을 나타내는 사진이다.
도 3은 본 발명과 관련된 전기변색소자의 제조방법에 사용되는 레이저 조사장치를 설명하기 위한 요부 사시도이다.
도 4는 레이저 조사장치의 일 작동상태를 설명하기 위한 개념도이다.
도 5 및 도 6은 레이저의 조사방향에 따른 전기변색소자의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 전기변색소자의 제조방법을 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.
또한, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응되는 구성요소는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 하며, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.
도 1은 본 발명과 관련된 전기변색소자(100)를 나타내는 단면도이고, 도 2는 전기변색소자의 계면에서의 결함(A)을 나타내는 사진이다.
또한, 도 3은 본 발명과 관련된 전기변색소자의 제조방법에 사용되는 레이저 조사장치를 설명하기 위한 요부 사시도이고, 도 4는 레이저 조사장치의 일 작동상태를 설명하기 위한 개념도이다.
또한, 도 5 및 도 6은 레이저의 조사방향에 따른 전기변색소자의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 1을 참조하면, 일 실시태양으로, 전기변색소자(100)는 제1 전극(110)과 제1 전극(110) 상에 마련된 전기 변색층(120)과 전기 변색층 상에 마련된 이온 전도체층(130)와 이온 전도체층 상에 마련된 이온 스토리지(storage)층 (140) 및 이온 스토리지층(140) 상에 마련된 제2 전극(150)을 포함한다. 또한, 전기변색소자(100)에서, 제1 전극(110)은 제1 기판 상에 마련될 수 있고, 제2 전극(150) 상에 제2 기판이 마련될 수 있다. 제1 및 제2 기판은 유리 또는 수지 재질로 형성될 수 있다.
한편, 상기 제1 전극(110)과 상기 제2 전극(150)은 ITO, OMO 등의 투명전극으로 각각 형성될 수 있다. 또한, 제1 전극(110)은 전기 변색층(120)에 전하를 공급할 수 있다. 또한, 상기 전기 변색층(120)은 전기신호에 따라 색이 변하는 전기변색물질로 형성될 수 있으며, 예를 들어, WO3, MoO3 등으로 형성될 수 있다. 또한, 이온 전도체층(130)에는 전기변색 반응에 관여하는 이온이 포함되고, 상기 이온 전도체층(130)는 고체 전해질을 포함할 수 있으며, 상기 고체 전해질은 무기 고체 전해질 또는 겔-고분자 전해질(GPE)일 수 있다. 여기서, 상기 무기 고체 전해질은 LiPON 또는 Ta2O5을 포함할 수 있다. 또한, 상기 무기 고체 전해질은 LiPON 또는 Ta2O5에 B, S, W와 같은 성분이 일부 첨가된 것일 수 있다.
또한, 이온 스토리지층(140)는 전기변색 반응에 관여하는 이온과 반대 극성의 이온을 모으는 기능을 수행할 수 있으며, LiNiO, NiO, V2O5 등으로 형성될 수 있다. 상기와 같은 구조에서, 예를 들어, 상기 제1 전극(110)과 상기 제2 전극(150)에 전압이 인가되어 이온 스토리지층(140)에서 전기 변색층(120)으로 전류가 흐르면, 전기 변색층(120)이 착색되고, 반대방향으로 전류가 흐르면, 전기 변색층(120)이 탈색된다.
본 발명의 일 측면과 관련된 전기변색소자(100)의 제조방법은, 전기 변색층(120) 상에 고체 전해질을 포함하는 이온 전도체층(130)을 증착시키는 증착 단계 및 상기 증착 단계가 완료된 이후에, 증착 후 계면 특성을 변경시키기 위하여 전기 변색층(120)과 이온 전도체층(130)의 계면(interface)에 레이저를 조사하는 조사 단계를 포함한다.
일반적으로, 고체 전해질(예: LiPON)을 포함하는 고체 스택 구조는 웨트 코팅(wet coating) 방법으로 구현되기 어렵고, 통상 진공 증착 방법이 사용된다. 여기서 진공 증착 방식은, 웨트 코팅 공정보다 균일한 박막을 구현할 수 있지만, 증착 공정 조건에 따라 박막 특성의 변화가 다양하게 나타날 수 있다. 또한, 연속된 박막의 증착시에는 하부 박막의 경우, 상부 박막의 증착 조건에 따라 손상이 가해져 결함이 발생할 수 있다. 도 2를 참조하면, A는 전기 변색층(120)과 이온 전도체층(130) 사이 계면에 발생한 결함(예를 들어, 들뜸)을 나타낸다. 이와 같은, 결함(A)은 이온 통과 시 생길 수도 있으며, 상/하부에 이종 물질을 증착하는 경우, 계면(interface)에서의 포텐셜 차이로 인하여, 계면 저항이 증가될 수 있고, 결론적으로 전극/고체 전해질 계면에서의 이온(예를 들어, Li 이온)의 이동을 방해하는 요인이 될 수 있다.
따라서, 증착 이후에, 계면에 레이저를 조사함으로써, 증착 시 계면에서 나타날 수 있는 미세 결함(A)을 줄이는 한편, 이종 물질로 구성된 전극과 고체전해질 증착 시 전극과 고체 전해질 계면에서 나타날 수 있는 계면 저항을 감소시킴으로써 계면에서의 이온의 이동을 향상시킬 수 있으며, 궁극적으로 이온 전도도를 증가시킬 수 있다.
도 3을 참조하면, 전기변색소자의 제조방법을 수행하기 위한 레이저 조사장치(200)는 레이저(B)가 조사되는 조사부(210)와 전기변색소자(S)가 안착되는 안착부(220) 및 안착부(220)와 조사부(210)를 정렬시키기 위한 정렬부(230)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 조사 단계에서, 레이저(B)는 다음과 같이 설정될 수 있다.
구체적으로, 조사 단계에서, 레이저(B)는 193 내지 1064nm의 파장으로 조사될 수 있다. 레이저의 파장은 해당 층을 구성하는 물질의 투과율과 흡수율을 고려하여 결정될 수 있다. 또한, 조사 단계에서, 레이저(B)는 1Hz 이상의 주파수와, 1mm/s 이상의 스캔 속도 및 0.1W 이상의 파워로 조사될 수 있다. 예를 들어, 조사 단계에서, 레이저는 300 내지 1064nm의 파장으로 조사될 수 있고, 레이저는 30kHz의 주파수와, 100mm/s의 스캔 속도 및 0.1 내지 0.5W의 파워로 조사될 수 있다.
도 4 및 도 6을 참조하면, 조사 단계에서, 레이저(B)는 전기 변색층(120)과 이온 전도체층(130) 중 어느 하나의 층을 투과하여 상기 계면에 도달하도록 조사될 수 있다. 예를 들어, 레이저(B)는 이온 전도체층(130)을 투과하여 상기 계면에 도달하도록 조사될 수 있다. 또한, 전기 변색층(120)과 이온 전도체층(130)는 상기 계면에서 투과율이 서로 상이할 수 있다.
조사단계에서, 계면에 레이저가 조사되도록 포커싱(focusing)하는 단계가 이루어질 수 있다. 아울러, 계면에서의 레이저 에너지 흡수를 위하여 계면에서 증착 물질 간 투과율의 차이가 필요하다. 예를 들어, 레이저가 투과되는 부분은 상대적으로 투과도가 높은 투명한 물질인 것이 바람직하고, 흡수되는 부분은 색상을 갖는 물질이어야 선택적인 에너지 흡수에 유리한다. 따라서, 레이저 조사 시 투과율 및 물질 특성에 따라 상부 또는 하부 조사(조사방향) 선택이 필요하다. 상기 투과율 차이를 통해 계면에서의 레이저의 집중을 도모할 수 있다.
한편, 투과율 차이를 높이기 위하여, 상기 전기변색소자의 제조방법은, 증착이 완료된 후 조사 단계 이전에, 계면에서 투과율이 차이가 커지도록 상기 전기 변색층(120)을 착색시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
지금까지는 전기 변색층(120)과 이온 전도체층(130)의 계면에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 전극(150)(제2 전극) 상에 이온 스토리지층(140) 및 이온 전도체층(130)을 차례로 증착시키는 증착 단계 및 상기 증착 단계가 완료된 이후에, 증착 후 계면 특성을 변경시키기 위하여 이온 스토리지층(140)와 이온 전도체층(130)의 계면(interface)에 레이저(B)를 조사하는 조사 단계를 포함하는 전기변색소자의 제조방법이 제공된다.
도 5를 참조하면, 조사 단계에서, 레이저는 이온 스토리지층과 이온 전도체층 중 어느 하나의 층을 투과하여 상기 계면에 도달하도록 조사될 수 있다.
또한, 레이저(B)는 이온 전도체층(130)을 투과하여 상기 계면에 도달하도록 조사될 수 있고, 또한, 이온 스토리지층(140)와 이온 전도체층(130)는 상기 계면에서 투과율이 서로 상이할 수 있다.
또한, 전기변색소자의 제조방법은, 증착이 완료된 후 조사 단계 이전에, 계면에서 투과율이 차이가 커지도록 상기 이온 스토리지층(140)를 착색시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예와 관련된 전기변색소자의 제조방법을 통해, 전기변색소자(100)의 제조가 완료된 후, 특정 계면에 레이저를 조사하여 계면 특성을 변경시킬 수도 있다. 아울러, 전기변색소자(100)의 일부 층만을 증착시킨 후, 해당 계면에 레이저를 조사하여 계면 특성을 변경시킬 수도 있다.
구체적으로, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 제1 전극(110) 상에 전기 변색층(120)을 마련하는 단계와 전기 변색층(120) 상에 고체 전해질을 포함하는 이온 전도체층(130)을 증착시키는 제1 증착 단계와 이온 전도체층(130) 상에 이온 스토리지층(140)를 증착시키는 제2 증착 단계와 이온 스토리지층(140) 상에 제2 전극(150)을 마련하는 단계 및 제1 및 제2 증착단계 이후에, 전기 변색층(120)과 이온 전도체층(130)의 계면(interface) 또는 이온 전도체층(130)와 이온 스토리지층(140)의 계면에 레이저를 조사하는 조사 단계를 포함하는 전기변색소자의 제조방법이 제공된다.
전술한 바와 같이, 전기 변색층(120)과 이온 전도체층(130)의 계면에 레이저를 조사하는 경우, 레이저가 이온 전도체층(130)을 투과하여 계면에 도달하도록 조사될 수 있다(도 6 참조). 이와는 다르게, 이온 전도체층(130)와 이온 스토리지층(140)의 계면에 레이저를 조사하는 경우, 레이저가 이온 전도체층(130)을 투과하여 계면에 도달하도록 조사될 수 있다(도 5 참조).
또한, 전기변색소자의 제조방법은, 증착이 완료된 후 조사 단계 이전에, 계면에서 투과율이 차이가 커지도록 이온 스토리지층 및 전기변색층을 착색 또는 탈색시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
위에서 설명된 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
100: 전기변색소자
110: 제1 전극
120: 전기 변색층
130: 이온 전도체층
140: 이온 스토리지층(storage)
150: 제2 전극
200: 레이저 조사장치
210: 조사부
220: 안착부
230: 정렬부
A: 결함
B: 레이저

Claims (20)

  1. 전기 변색층 상에 고체 전해질을 포함하는 이온 전도체층을 증착시키는 증착 단계; 및
    상기 증착 단계가 완료된 이후에, 증착 후 계면 특성을 변경시키기 위하여 전기 변색층과 이온 전도체층의 계면(interface)에 레이저를 조사하는 조사 단계를 포함하는 전기변색소자의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    조사 단계에서, 레이저는 전기 변색층과 이온 전도체층 중 어느 하나의 층을 투과하여 상기 계면에 도달하도록 조사되는 전기변색소자의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    레이저는 이온 전도체층을 투과하여 상기 계면에 도달하도록 조사되는 전기변색소자의 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    전기 변색층과 이온 전도체층은 상기 계면에서 투과율이 서로 상이한 전기변색소자의 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 고체 전해질은 무기 고체 전해질 또는 겔-고분자 전해질(GPE)인 전기변색소자의 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    조사 단계에서, 레이저는 193 내지 1064nm의 파장으로 조사되는 전기변색소자의 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    조사 단계에서, 레이저는 1Hz 이상의 주파수(Repeatition rate)와, 1mm/s 이상의 스캔 속도 및 0.1W 이상의 파워로 조사되는 전기변색소자의 제조방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    증착이 완료된 후 조사 단계 이전에, 계면에서 투과율이 차이가 커지도록 상기 전기 변색층을 착색시키는 단계를 추가로 포함하는 전기변색소자의 제조방법.
  9. 전극 상에 이온 스토리지층 및 이온 전도체층을 차례로 증착시키는 증착 단계; 및
    상기 증착 단계가 완료된 이후에, 증착 후 계면 특성을 변경시키기 위하여 이온 스토리지층과 이온 전도체층의 계면(interface)에 레이저를 조사하는 조사 단계를 포함하는 전기변색소자의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    조사 단계에서, 레이저는 이온 스토리지층과 이온 전도체층 중 어느 하나의 층을 투과하여 상기 계면에 도달하도록 조사되는 전기변색소자의 제조방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    레이저는 이온 전도체층을 투과하여 상기 계면에 도달하도록 조사되는 전기변색소자의 제조방법.
  12. 제 9 항에 있어서,
    이온 스토리지층과 이온 전도체층은 상기 계면에서 투과율이 서로 상이한 전기변색소자의 제조방법.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 고체 전해질은 무기 고체 전해질 또는 겔-고분자 전해질(GPE)인 전기변색소자의 제조방법.
  14. 제 9 항에 있어서,
    증착이 완료된 후 조사 단계 이전에, 계면에서 투과율이 차이가 커지도록 상기 이온 스토리지층을 착색시키는 단계를 추가로 포함하는 전기변색소자의 제조방법.
  15. 제1 전극 상에 전기 변색층을 마련하는 단계;
    전기 변색층 상에 고체 전해질을 포함하는 이온 전도체층을 증착시키는 제1 증착 단계;
    이온 전도체층 상에 이온 스토리지층을 증착시키는 제2 증착 단계;
    이온 스토리지층 상에 제2 전극을 마련하는 단계; 및
    제1 및 제2 증착단계 이후에, 전기 변색층과 이온 전도체층의 계면(interface) 또는 이온 전도체층과 이온 스토리지층의 계면에 레이저를 조사하는 조사 단계를 포함하는 전기변색소자의 제조방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    전기 변색층과 이온 전도체층의 계면에 레이저를 조사하는 경우, 레이저가 이온 전도체층을 투과하여 계면에 도달하도록 조사되는 전기변색소자의 제조방법.
  17. 제 15 항에 있어서,
    이온 전도체층과 이온 스토리지층의 계면에 레이저를 조사하는 경우, 레이저가 이온 전도체층을 투과하여 계면에 도달하도록 조사되는 전기변색소자의 제조방법.
  18. 제 15 항에 있어서,
    증착이 완료된 후 조사 단계 이전에, 계면에서 투과율이 차이가 커지도록 이온 스토리지층 및 전기변색층을 착색 또는 탈색시키는 단계를 추가로 포함하는 전기변색소자의 제조방법
  19. 제 15 항에 있어서,
    상기 고체 전해질은 무기 고체 전해질 또는 겔-고분자 전해질(GPE)인 전기변색소자의 제조방법.
  20. 제 15 항에 있어서,
    조사 단계에서, 레이저는 193 내지 1064nm의 파장과, 1Hz 이상의 주파수와, 1mm/s 이상의 스캔 속도 및 0.1W 이상의 파워로 조사되는 전기변색소자의 제조방법.
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