KR20170027384A - 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓은 배관을 가열하면서 감싸는 히팅 재킷으로서, 미리 지정된 패턴으로 열선이 고정 배치되는 내피부재와, 상기 내피부재의 외부에 배치되는 외피부재와, 상기 내피부재와 외피부재 사이에 배치되는 단열부재와, 상기 내피부재와 외피부재 사이에 배치되는 흠음부재를 포함한다.
본 발명에 의해, 배관을 가열하면서 이로부터 발생되는 진동과 소음을 흡수할 수 있으므로, 장시간 사용의 경우에도 히팅 자켓의 고장을 방지할 수 있다.
또한, 히팅 자켓의 내열 온도가 상승되도록 구성되어 보다 높은 작동 온도의 배관에 이용될 수 있으며, 다양한 형상의 배관에 부합되도록 제작되어 설치가 용이해진다.

Description

흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓{HEATING JACKET COMPRISING SOUND ABSORPTION MEMBER}
본 발명은 배관용 히팅자켓에 관한 발명으로서, 보다 상세하게는 반도체 또는 엘시디 제조 공정에 이용되는 배관에 설치되어 배관을 가열하고 공정 시 발생되는 소음을 흡수할 수 있도록 구성되는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓에 관한 발명이다.
일반적으로, 반도체 또는 엘시디를 제조하기 위한 공정장치들은 다양한 공정 가스들을 사용한다.
예를 들면, 화학기상증착(CVD: Chemical Vapor Deposition) 또는 건식 식각 공정에서 포스핀(PH3), 실란(SiH4), 디클로로 실란(SiH2Cl2), 암모니아(NH3) 및 산화질소(N2O) 등의 가스를 사용한다.
상기와 같은 반도체 또는 엘시디 가공 공정의 경우, 상기 공정이 완료되면 배기 라인을 통해 공정 챔버로부터 암모니아 클로라이드 가스(NH4Cl) 등과 같은 반응 부산물이 배출된다.
여기서, 상기 반응 부산물을 수송하는 배기 라인을 상온으로 그대로 유지하는 경우에는, 상기 암모니아 클로라이드 가스는 고화 침전되어 상기 배관의 내면에 들러붙어 고착이 진행될 수 있다.
상기와 같은 배관 내벽의 가스 고착은 배관 내부가 좁아지는 원인이 되어 생산 공정의 효율 저하를 초래한다.
따라서, 상기 배관의 온도를 일정하게 유지시켜 배관 내부가 좁아지는 것을 방지하기 위하여 상기 배관 외면을 감싸면서 가열하는 히팅 자켓을 이용하고 있다.
그런데, 기존 배관을 감싸는 히팅 자켓의 경우 배관을 가열하는 제한적인 기능을 제공하도록 구성되어, 배관에 연결된 펌프로부터 발생되는 소음과 진동에는 취약한 측면이 있다.
특히, 펌프로부터 발생되는 진동으로 인해 히팅 자켓 내에 설치되는 열선에 스트레스가 가해지게 되며, 이러한 장시간의 스트레스는 열선의 탈리 및 히팅 자켓 내에 포함되는 단열부재의 비산 원인이 된다.
또한, 배관으로부터 발생되는 장시간의 소음은 작업자의 스트레스를 증가시켜 생산 효율의 저하 및 안전사고의 원인이 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 배관을 가열하고 이로부터 발생되는 진동과 소음을 흡수할 수 있도록 구성되는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 히팅 자켓의 소음 및 진동 흡수 성능이 상승되도록 구성되는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 다양한 형상의 배관에 부합되면서도 용이하게 설치가 가능하도록 구성되는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓은 배관을 가열하면서 감싸는 히팅 자켓으로서, 미리 지정된 패턴으로 열선이 고정 배치되는 내피부재와, 상기 내피부재의 외부에 배치되는 외피부재와, 상기 내피부재와 외피부재 사이에 배치되는 단열부재와, 상기 내피부재와 외피부재 사이에 배치되는 흠음부재를 포함한다.
바람직하게는, 상기 흡음부재는 부틸 또는 부타디엔 성분을 포함하는 시트로 형성된다.
또한, 상기 내피부재는 유리섬유에 실리콘 코팅이 된 시트 또는 유리섬유에 티피에프이(TPFE) 코팅이 된 시트 또는 티피에프이 섬유 시트로 형성될 수 있다.
또한, 상기 외피부재는 유리섬유에 실리콘 코팅이 된 시트 또는 유리섬유에 티피에프이(TPFE) 코팅이 된 시트 또는 티피에프이 섬유 시트로 형성될 수 있다.
여기서, 상기 단열부재는 실리카 메트 또는 유리섬유 메트로 형성될 수 있다.
또한, 상기 흡음부재는 상기 단열부재를 대면하는 상기 내피부재의 표면에 코팅되어 형성될 수 있다.
또는, 상기 흡음부재는 상기 단열부재를 대면하는 상기 외피부재의 표면에 코팅되어 형성될 수 있다.
또한, 상기 외피부재의 내면에는 실리콘 코팅층이 형성될 수 있다.
한편, 상기 내피부재와 외피부재와 단열부재와 흡음부재는 직사각 형상으로 형성되고, 측부에는 절취부가 형성될 수 있다.
여기서, 상기 외피부재는 직사각 형상의 중심부와 상기 중심부의 양측에 결합되는 환형의 측면부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 내피부재는 직사각 형상으로 형성되되, 일정한 피치 간격으로 접혀진 주름이 형성될 수 있다.
또한, 상기 흡음부재와 단열부재는 직사각 형상으로 형성되되, 그 측부에 삼각 형상의 절취부가 형성될 수 있다.
여기서, 상기 내피부재의 측부에는 사각 단면의 절취부가 형성될 수 있다.
본 발명에 의해, 배관을 가열하면서 이로부터 발생되는 진동과 소음을 흡수할 수 있으므로, 장시간 사용의 경우에도 히팅 자켓의 고장을 방지할 수 있다.
또한, 히팅 자켓의 내열 온도가 상승되도록 구성되어 보다 높은 작동 온도의 배관에 이용될 수 있다.
또한, 다양한 형상의 배관에 부합되도록 제작되어 설치가 용이해진다.
첨부의 하기 도면들은, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.
도 1 은 본 발명에 따른 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓의 단면 사시도이며,
도 2 는 상기 히팅자켓에 포함되는 내피부재와 외피부재와 단열부재와 흡음부재의 평면 형상이며,
도 3 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 히팅자켓에 포함되는 내피부재와 외피부재와 단열부재와 흡음부재의 평면 형상이며,
도 4 는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 히팅자켓에 포함되는 내피부재와 외피부재와 단열부재와 흡음부재의 평면 형상이며,
도 5 는 상기 히팅자켓에 포함되는 내피부재의 다른 실시예의 평면도이며,
도 6 은 상기 히팅자켓에 포함되는 내피부재에 단열부재가 겹쳐 재봉되는 상태의 사시도이며,
도 7 은 상기 히팅자켓에 포함되는 외피부재가 형성된 상태의 사시도이며,
도 8 은 상기 히팅자켓에 포함되는 내피부재에 주름이 형성된 상태의 사시도이며,
도 9 는 본 발명의 일 실시예에 따른 히팅자켓의 사시도이며,
도 10 은 본 발명의 다른 실시에에 따른 히팅자켓의 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1 은 본 발명에 따른 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓의 내부 단면도이며, 도 2 는 상기 히팅자켓에 포함되는 내피부재(a)와 외피부재(d)와 단열부재(b)와 흡음부재(c)의 평면 형상이며, 도 3 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 히팅자켓에 포함되는 내피부재(a)와 외피부재(d)와 단열부재(b)와 흡음부재(c)의 평면 형상이며, 도 4 는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 히팅자켓에 포함되는 내피부재(a)와 외피부재(d)와 단열부재(b)와 흡음부재(c)의 평면 형상이며, 도 5 는 상기 히팅자켓에 포함되는 내피부재의 다른 실시예의 평면도이며, 도 6 은 상기 히팅자켓에 포함되는 내피부재에 단열부재가 겹쳐 재봉되는 상태의 사시도이며, 도 7 은 상기 히팅자켓에 포함되는 외피부재가 형성된 상태의 사시도이며, 도 8 은 상기 히팅자켓에 포함되는 내피부재에 주름이 형성된 상태의 사시도이며, 도 9 는 본 발명의 일 실시예에 따른 히팅자켓의 사시도이며, 도 10 은 본 발명의 다른 실시에에 따른 히팅자켓의 사시도이다.
도 1 내지 10 을 참조하면, 본 발명에 따른 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓은 배관을 가열하면서 감싸는 히팅 자켓으로서, 미리 지정된 패턴으로 열선(14)이 고정 배치되는 내피부재(10)와, 상기 내피부재(10)의 외부에 배치되는 외피부재(20)와, 상기 내피부재(10)와 외피부재(20) 사이에 배치되는 단열부재(30)와, 상기 내피부재(10)와 외피부재(20) 사이에 배치되는 흠음부재(40)를 포함한다.
여기서, 본 발명에 따른 히팅 자켓은, 상기 열선(12)이 봉제 고정된 내피부재(10)와 단열부재(30)와 흡음부재(40)와 외피부재(20)가 순차적으로 적층되어 형성된다.
상기와 같이 내피부재(10)와 단열부재(30) 등이 적층 형성된 상태에서, 반도체 또는 엘시디 생산 라인에 설치되는 배관 외면에 결합되어, 상기 배관을 가열하면서 온도를 일정하게 유지시키는 역할을 수행한다.
여기서, 상기 내피부재(10)는 열전도율과 내열성이 뛰어난 가요성 원단으로 마련되는 구성요소로서, 상기 내피부재(10)를 구성하는 시트 기재(12)에 열선(14)이 소정 패턴으로 배치 고정된다.
그리하여, 전력 공급에 의해 상기 열선(14)으로부터 발생되는 열을 상기 배관에 전달시킨다.
여기서, 상기 시트 기재(12)는 피티에프이(PTFE: 폴리테트라 플루오르에틸렌) 수지 또는 실리콘이 코팅된 유리섬유 또는 피티에프이가 코팅된 유리섬유 시트로 형성된다.
상기 피티에프이는 불소수지로서 테프론(듀퐁사), 플루온(ICI사) 등의 상품명이 있다.
상기 시트 기재(12)에 실리콘 코팅되는 경우, 그렇지 않은 경우에 배해 최대 50 도 정도 내열 온도가 상승된다.
상기 열선(14)은 열선고정부재(15)를 통해 시트 기재(12)에 고정 배치된다.
상기 열선고정부재(15)는 합성수지재 또는 직물재로 구성되어 봉제 또는 접착제에 의해 상기 시트 기재(12)에 고정될 수 있다.
한편, 상기 단열부재(30)는 열전도율이 낮은 실리카 메트 또는 유리섬유 메트로 구성될 수 있으며, 상기 내피부재(10)와 외피부재(20) 사이에 배치되어 상기 열선(12)으로부터 발생된 열이 외부로 발산되는 것을 방지하는 역할을 수행한다.
상기 단열부재(30)와 외피부재(20) 사이에는 부틸(Butyle) 또는 부타디엔성분을 포함하는 시트 형태의 흡음부재(40)가 배치된다.
상기 흡음부재(40)를 이루는 시트는 부틸 고무, 또는 부타디엔스티렌 고무 또는 부타디엔아크릴로니트릴 고무와 같은 부타디엔 고무 등이 이용될 수 있다.
상기 흡음부재(40)를 통해 배관으로부터 발생되는 소음과 진동을 감쇄시키도록 구성된다.
여기서, 상기 흡음부재(40)는 상기와 같이 별개의 시트로 형성되어, 상기 단열부재(30)와 외피부재(20) 사이에 배치될 수도 있지만, 상기 내피부재(10)를 구성하기 위한 기재(12)에서 상기 단열부재(30)를 대면하는 측 표면에 코팅의 형태로 형성될 수도 있다.
또는 상기 외피부재(20)에서 상기 단열부재(30)를 대면하는 측 표면에 코팅의 형태로 형성될 수도 있다.
즉, 상기 내피부재(10)를 이루는 기재(12) 또는 상기 외피부재(20)의 표면에 부틸 또는 부타디엔 성분을 포함하는 코팅제를 코팅하여 소음을 감쇄하도록 구성될 수도 있다.
상기 외피부재(20)는 본 발명에 따른 히팅 재킷의 최외부에 배치되는 구성요소로써, 피티에프이(PTFE: 폴리테트라 플루오르에틸렌) 수지 또는 실리콘이 코팅된 유리섬유 또는 피티에프이가 코팅된 유리섬유 시트로 형성된다.
그리하여, 상기 외피부재(20)는 상기 단열부재(30)를 통과한 열이 외부로 발산되는 것을 방지하며, 또한 상기 흡음부재(40)에 의해 감쇄된 소음과 진동이 외부로 방출되는 것을 차단하도록 구성된다.
또한, 상기 외피부재(20)는 본 발명에 따른 히팅 재킷을 상기 배관에 결합시키기 위한 벨크로(25) 또는 단추 등의 결합수단을 포함할 수 있다.
상기 결합수단은 배관 외부에 권취되는 상기 외피부재(20)의 일측과 타측을 상호 결합시키기 위한 다양한 결합수단으로 마련될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 내피부재(10)를 구성하는 시트 기재(12)와 상기 외피부재(20)와 단열부재(30)와 흡음부재(40)는 시트의 형태로 구성된 상태에서 도 2 에서와 같이 직사각 형상으로 형성될 수 있다.
상기와 같이 시트 기재(12) 등이 모두 직사각 형상으로 형성된 상태에서, 상기 외피부재(20)에 벨트로 등의 결합수단이 부착되어, 직선 배관의 외면에 설치될 수 있다.
한편, 도 3 에 도시된 실시예에서는, 상기 내피부재(10)를 구성하는 시트 기재(12)와 외피부재(20)와 단열부재(30)와 흡음부재(40)가 모두 직사각 형상으로 형성된 상태에서, 측부에 대략 반타원 형상의 절취부(13, 23, 33, 43)가 형성된다.
상기와 같이 절취부(12-5, 22-5, 32-5, 42-5)가 형성된 내피부재(10)로부터 외피부재(20)까지의 구성들을 겹친 상태에서 상기 절취부(13, 23, 33, 43)가 서로 맞닿게 하여, 상기 절취부(13, 23, 33, 43)를 포함한 상기 내피부재(10)와 외피부재(20) 등의 테두리 부분을 봉재하는 경우에, 최종적으로 도 10 과 같은 형태로 형성된다.
그리고, 상기 외피부재(20)에 벨크로(25)가 고정되어, 상기 외피부재(20)의 단부들이 상호 연결 고정될 수 있도록 구성된다.
상기 도 3 에 도시된 실시예에 의해 완성되는 도 10 의 히팅 자켓은 "ㄱ" 자 형의 엘보우(Elbow) 배관 외부를 감싸도록 형성된다.
한편, 도 4 에 도시된 실시예에서는 상기 내피부재(10)와 단열부재(30) 및 흡음부재(40)가 직사각 형상으로 형성된 상태에서, 상기 단열부재(30)와 흡음부재(40)의 측부에 삼각 형상의 절취부(34, 44)가 형성된다.
도 4(a)에 도시된 내피부재(10)에는 접음 기준선(12-1)이 표시되어, 최종적으로는 도 8 과 같이 주름(12-9)이 형성되도록 일정한 피치 간격으로 접혀진다.
이때, 상기 내피부재(10)가 일정 간격으로 접혀지는 경우에도 상기 내피부재(10)의 양 측부 두께 증가를 최소화하기 위해, 상기 내피부재(10)의 측부에 도 5 에 도시되는 바와 같은 사각 형상의 절취부(12-7)가 형성될 수도 있다.
그리하여, 도 6 에서와 같이, 주름(12-9)이 형성되도록 접혀진 상기 내피부재(10) 상에 상기 단열부재(30)와 흡음부재(40)를 배치시키고, 상기 내피부재(10)와 단열부재(30)와 흡음부재(40)의 가장자리 부분(12-3, 32, 42)들을 상호 고정 봉재한다.
이때, 상기 단열부재(30)와 흡음부재(40)에서 절취부(34, 44)들은 서로 맞닿도록 위치가 조절될 뿐이며, 상기 가장자리부분(12-3, 32, 42)들만이 봉재 고정된다.
그리하면, 상기 단열부재(30) 및 흡음부재(40)는 양 측 가장자리부분(32, 42)의 길이에 비해 중심부분 길이가 길여져 상기 중심부분에는 주름이 형성된다.
한편, 상기 외피부재(20)는 도 4(d)에 도시되는 바와 같이, 직사각 형상의 중심부(24) 양 측에 환형의 측면부(22)가 한쌍 결합되도록 구성되어, 상기 중심부(24)의 테두리 부분(24-1)과 상기 측면부(22)의 외부 테두리 부분(23-1)을 상호 봉재 고정하여 도 7 과 같은 형상이 되도록 구성된다.
상기와 같이 형성된 외피부재(20) 내부에 상호 고정 봉재된 상기 내피부재(10)와 단열부재(30) 및 흡음부재(40)를 배치하여, 상기 내피부재(10)와 단열부재(30) 및 흡음부재(40)의 양측 가장자리 부분(12-3, 32, 42)을 상기 외피부재(20)의 측면부 내부 가장자리부분(23)에 맞추어 봉재 고정하면, 도 9 에 도시되는 바와 같은 형상이 된다.
상기 도 9 에 도시된 실시예와 같이 형성되는 히팅 자켓은 배관에 포함되는 원형의 플렌지(Flange) 외부에 용이하게 씌워져 결합될 수 있다.
이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.
10: 내피부재
14: 열선
15: 고정부재
20: 외피부재
25: 벨크로
30: 단열부재
40: 흡음부재

Claims (13)

  1. 배관을 가열하면서 감싸는 히팅 자켓으로서,
    미리 지정된 패턴으로 열선이 고정 배치되는 내피부재와;
    상기 내피부재의 외부에 배치되는 외피부재와;
    상기 내피부재와 외피부재 사이에 배치되는 단열부재와;
    상기 내피부재와 외피부재 사이에 배치되는 흠음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡음부재는 부틸 또는 부타디엔 성분을 포함하는 시트로 형성되는 것을 특징으로 하는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 내피부재는 유리섬유에 실리콘 코팅이 된 시트 또는 유리섬유에 티피에프이(TPFE) 코팅이 된 시트 또는 티피에프이 섬유 시트로 형성되는 것을 특징으로 하는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 외피부재는 유리섬유에 실리콘 코팅이 된 시트 또는 유리섬유에 티피에프이(TPFE) 코팅이 된 시트 또는 티피에프이 섬유 시트로 형성되는 것을 특징으로 하는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 단열부재는 실리카 메트 또는 유리섬유 메트로 형성되는 것을 특징으로 하는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡음부재는 상기 단열부재를 대면하는 상기 내피부재의 표면에 코팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡음부재는 상기 단열부재를 대면하는 상기 외피부재의 표면에 코팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 외피부재의 내면에는 실리콘 코팅층이 형성되는 것을 특징으로 하는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 내피부재와 외피부재와 단열부재와 흡음부재는 직사각 형상으로 형성되고, 측부에는 절취부가 형성되는 것을 특징으로 하는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 외피부재는 직사각 형상의 중심부와 상기 중심부의 양측에 결합되는 환형의 측면부를 포함하는 것을 특징으로 하는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 내피부재는 직사각 형상으로 형성되되, 일정한 피치 간격으로 접혀진 주름이 형성되는 것을 특징으로 하는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 흡음부재와 단열부재는 직사각 형상으로 형성되되, 그 측부에 삼각 형상의 절취부가 형성되는 것을 특징으로 하는 흡음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 내피부재의 측부에는 사각 단면의 절취부가 형성되는 것을 특징으로 하는 흠음부재를 포함하는 배관용 히팅자켓.
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