KR100990157B1 - 단열 히팅 자켓 및 그 제조방법 - Google Patents

단열 히팅 자켓 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 열전달효율 및 단열효과를 증가시킬 수 있도록 하고, 공정을 단축하여 제조원가 및 제조시간을 절감할 수 있도록 한 단열 히팅 자켓 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 가스배출관의 외부형상과 동일한 내부형상을 가지는 보온 재료로 형성된 부재로서, 내부 공간이 비어있는 둥근 원기둥형상이며, 슬롯에서 일단과 타단이 접하도록 형성된 히팅 자켓에 있어서, 상기 히팅 자켓은 가스배출관을 감싸는 절연시트; 상기 절연시트의 외면에 패턴 배열된 상태로 고정되는 열선; 상기 열선이 고정된 절연시트의 외면에 합봉되는 단열재; 상기 단열재의 외면에 코팅되는 보호막을 포함하여 구성된다.
반도체, 가스배출관, 히팅 자켓, 제조방법, 열전달효율, 단열효과

Description

단열 히팅 자켓 및 그 제조방법{HEATING JACKET AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 단열 히팅 자켓 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조 공정, 화학 공정, 플라스틱 생산 공정 등에서 액체 또는 가스가 특정 온도로 수송될 필요가 있는 경우 사용되는 단열 히팅 자켓 및 그 제조방법에 관한 것이다.
반도체 장치 제조, 화학 공정, 플라스틱 생산, 상업적인 음식물 가공, 장비 제조, 및 다른 제조산업 등에서 특히 액체 또는 가스가 제한된 가열 또는 냉각으로 특정온도에서 수송될 필요가 있거나, 증발성 재료의 고화를 막고 이러한 재료가 파이프, 튜브, 밸브 몸체, 및 다른 콘딧(이하, 편의상 "가스배출관"이라 칭한다.)의 내부 표면상에 증발성 재료의 고화의 결과로서 침착되는 것을 방지할 필요가 있다. 이 경우, 상기 가스배출관을 가열하거나 단열시키기 위해서 단열 히터가 종종 이용된다.
예를 들어, 일반적으로 반도체 제조공정은 전 공정과 후 공정으로 구분되며, 전 공정은 반도체칩을 제조하기 위해 웨이퍼(wafer) 상에 박막을 증착하고 식각하 는 물리/화학적 공정을 의미하며, 후 공정은 전 공정에서 제작된 웨이퍼를 특정의 규격으로 절단하여 별도 제작된 리드프레임에 얹고 와이어 본딩 후 몰딩하는 패키지(package) 제작공정을 의미한다.
상기 과정에서 전 공정은 공정이 수행되기 위한 공간을 제공하는 프로세스 챔버의 내부에 웨이퍼를 투입하고, 웨이퍼 상에 박막의 증착, 식각을 수행하기 위해 작업분위기를 형성하는 실란(silane), 아르신(arsine), 염화붕소 등과 가스를 챔버 내부로 주입한 후 칩 제조 프로세스를 수행하게 된다.
이때 상기 전 공정이 수행되는 동안 프로세스 챔버의 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유한 유해가스가 다량 발생되며, 이 유해가스를 정화하여 방출하기 위해 반도체 설비에는 반드시 스크루버(scrubber : 가스세정기)가 설치된다.
이와 같은 스크루버는 단지 가스형태의 반응부산물 만을 정화처리하기 때문에, 반응부산물이 프로세스 챔버의 외부로 진행되어 파우더의 형태로 고형화되면, 배기라인에 고착됨에 따른 배기압력 상승, 진공펌프로 유입되어 펌프의 고장유발, 프로세스 챔버로 유해가스가 역류하여 웨이퍼를 오염시키는 등의 문제점이 노출되었다.
따라서 도 1에서와 같이 파우더의 고형화를 방지하기 위해 가스배출관(P)의 온도를 일정온도 이상으로 유지시킴으로써 고형 파우더의 발생을 극소화하기 위한 반도체 공정 부산물의 가스배출관(P)을 가열하는 가스배출관용 히팅 자켓(1)이 사용되고 있다.
종래의 가스배출관용 히팅 자켓(1)은 도 2에 도시된 바와 같이, 가스배출관(P)의 외부형상과 동일한 내부형상을 가지는 보온 재료로 형성된 부재로서, 내부 공간(1a)이 비어있는 둥근 원기둥형상이며, 슬롯(1b)에서 일단과 타단이 접하도록 형성된 히팅 자켓(1)에 있어서, 상기 히팅 자켓(1)은 가스배출관(P)을 감싸는 제1절연시트(2), 상기 제1절연시트(2)의 외면에 지그재그로 배열된 상태로 배열되는 열선(3), 상기 열선(3)이 배열된 제1절연시트(2)의 외면에 부착되는 제2절연시트(4), 상기 제2절연시트(4)의 외면에 부착되는 단열재(5)로 구성되었다.
그러나 이와 같이 구성된 종래의 히팅 자켓(1)은 제1절연시트(2)와 제2절연시트(4) 사이에 열선(3)을 매입하여 고정하였고, 제2절연시트(4)의 외면에 단순히 단열재(5)를 부착하였기 때문에, 구조적으로 히팅 자켓(1)의 열전달효율 및 단열효과가 떨어지는 문제점이 있었으며, 또한 제1절연시트(2)와 제2절연시트(4) 사이에 열선(3)을 매입하여 고정하는 작업이 쉽지 않고 제조공정이 까다로워 제조원가 및 제조시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 상기에서와 같은 종래의 결점을 해소하기 위해 발명한 것으로, 단열 히팅 자켓의 구조를 개선하여 열전달효율 및 단열효과를 한층 더 증가시킬 수 있도록 하고, 또한 히팅 자켓의 제조공정을 단축하여 제조원가 및 제조시간을 절감할 수 있도록 한 단열 히팅 자켓 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 단열 히팅 자켓에 따르면, 가스배출관의 외부형상과 동일한 내부형상을 가지는 보온 재료로 형성된 부재로서, 내부 공간이 비어있는 둥근 원기둥형상이며, 슬롯에서 일단과 타단이 접하도록 형성된 히팅 자켓에 있어서, 상기 가스배출관을 절연시트가 감싸도록 하고, 상기 절연시트의 외면에 열선을 지그재그로 배열된 상태로 고정하고, 상기 열선이 고정된 절연시트의 외면에 단열재를 합봉하고, 상기 단열재의 외면에 보호막을 코팅한 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 단열 히팅 자켓 제조방법에 따르면, 절연시트의 외면에 열선을 지그재그로 배열하여 고정시키고, 상기 열선이 고정된 절연시트와 단열재를 재단하고, 상기 절연시트의 외면에 단열재를 맞대어 미싱으로 합봉하고, 상기 절연시트가 합봉된 단열재를 자켓금형에 넣고 실리콘을 주입하고, 상기 실리콘이 주입된 자켓금형을 오븐에서 열처리하여 보호막을 형성하고, 상기 열처리된 자켓금형에서 제조된 히팅 자켓을 탈리한 것이다.
본 발명의 또 다른 단열 히팅 제조방법은, 절연시트의 내면 또는 외면에 열 선을 고정시키는 단계, 단열재의 단위 단열 시트를 마름질하는 단계, 절연시트의 외면에 단위 단열 시트를 맞대어 미싱으로 합봉하는 단계, 상기 절연 시트 외면에 합봉된 단위 단열 시트 상에 바인더를 코팅하고, 다른 단열 시트를 상기 바인더와 결합시키는 과정을 적어도 한 번 이상 하는 단계, 상기 단열재 외부에 실리콘 재질의 보호막을 코팅하는 단계 및 상기 보호막 코팅된 제품을 금형에 삽입 후 드라이 오븐에서 열처리하는 단계를 포함한다.
본 발명의 단열 히팅 자켓 및 그 제조방법에 따르면, 구조적으로 히팅 자켓의 열전달효율 및 단열효과를 증가시킬 수 있으며, 또한 열선의 고정공정이 간단하고 히팅 자켓의 제조공정이 단축되기 때문에 제조원가 및 제조시간을 절감할 수 있는 효과가 있다.
이하 첨부된 도면에 따라서 본 발명의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 단열 히팅 자켓은 도 3에 도시된 바와 같이, 가스배출관(P)의 외부형상에 대응되는 내부형상을 가지는 보온 재료로 형성된 부재로서, 상기 가스배출관을 감싸도록 내부 공간(11)이 형성된 형상이다. 이 경우, 상기 히팅 자켓은 그 일단과 타단 사이에 슬롯(12)이 형성되어 있다.
상기 히팅 자켓(10)은, 가스배출관(P)을 감싸는 절연시트(20); 상기 절연시트(20)의 외면에 일정 패턴으로 배열된 상태로 고정되는 열선(30); 상기 열선(30) 이 고정된 절연시트(20)의 외면에 합봉되는 단열재(40); 상기 단열재(40)의 외면에 코팅되는 보호막(50)을 포함하여 구성된다.
상기 히팅 자켓(10)의 일예로서 주지된 바와 같이 파우더의 고형화를 방지하기 위해 가스배출관(P)의 온도를 일정온도 이상으로 유지시킴으로써 고형 파우더의 발생을 극소화하기 위한 반도체 공정 부산물의 가스배출관(P)을 가열하는 것일 수 있다. 이러한 히팅 자켓(1)에는 가스배출관(P)의 외부형상과 실질적으로 동일한 공간(11)이 형성되고, 히팅 자켓(10)의 일측에는 가스배출관(P)에 용이하게 끼울 수 있도록 개구된 슬롯(12)이 길이방향으로 길게 형성된다.
상기 절연시트(20)는 가스배출관(P)을 감싸는 것으로, 이러한 절연시트(20)는 실리콘코팅 화이바 그라스, 테프론코팅 화이바 그라스, 고아텍스 등의 절연성이 우수한 소재로 이루어진다.
상기 열선(30)은 절연시트(20)의 외면에 일정 패턴, 예를 들어서 지그 재그로 배열된 상태로 고정되는 것으로, 이러한 열선(30)은 파우더의 고형화를 방지하기 위해 가스배출관(P)을 일정온도 이상으로 가열시킨다. 상기 열선의 재질은 스테인리스 스틸, 구리, 카본, 아라미드, 화이바얀 등의 도전성 재질이며, 전류를 공급받아서 열을 낼 수 있다.
이때, 상기 열선(30)은 절연시트(20)상에 미싱으로 고정될 수 있다. 이를 위하여, 상기 열선(30)의 직경이 0.1mm 내지 0.7mm 일 수 있으며, 미싱에서 윗실 및 밑실 중 하나일 수 있다.
상기 열선(30)은 피복이 되지 않는 것이 바람직하다. 상기 피복은 열선의 소 트 현상을 방지하기 위하여 형성되는 것으로 발열성에 있어서는 저항의 개념이 된다. 본 발명에 따르면, 상기 열선이 미싱처리되어서, 윗실 또는 밑실에 의하여 단단히 고정되기 때문에, 열선을 피복할 필요가 없다.
한편, 상기 단열재(40)는 열선(30)이 고정된 절연시트(20)의 외면에 형성된다. 이러한 단열재(40)는 화이바 매트, 캐블라 매트, 노맥스 매트, 에어로겔, 카본 매트 등의 단열성이 우수한 소재로 이루어진다.
상기 단열재(40) 소재는 종래의 실리콘 재질의 단열재에 비하여, 단열성이 보다 우수하다. 또한, 상기 단열재(40) 소재는 탄성이 작고, 경도가 높지 않다.
상기 단열재(40)는 복수의 단열 시트들이 적층되어서 형성된 구조일 수 있다.
이 경우, 상기 복수의 단열 시트 사이에는 바인더가 개재되어서, 상기 바인더에 의하여 상기 복수의 단열 시트가 합착될 수 있다. 상기 바인더는 실리콘 바인더, 우레탄 바인더, 및 무기질 바인더 등의 접착제일 수 있다.
또한, 상기 복수의 단열 시트들은 바늘이 관통하기 쉬운 소재로 제작 가능하므로, 절연시트(20)와 미싱 처리하여 서로 결합될 수도 있다.
이 경우, 상기 바인더 및 미싱처리 중 적어도 하나를 선택 또는 모두를 적용하여 단열 시트 사이를 결합시킬 수 있다.
상기 단열재(40)는 히팅 자켓(10)에 인체가 접촉할 경우 화상위험을 예방하는 역할을 수행한다.
보호막(50)은 상기 단열재(40)의 외면에 코팅되는 것으로, 이러한 보호 막(50)은 실리콘으로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 보호막(50)은 외부의 스크래치에 대하여 열화인 단열재(40)가 손상되는 것을 방지하는 역할을 수행하고, 또한 보다 탄성이 우수하여 히팅 자켓(10)에 복원력을 부여하는 역할을 수행한다.
상기 절연시트(20), 열선(30), 단열재(40) 및 보호막(50)은 상기 가스배출관의 형상에 맞추어서 장착될 수 있도록, 그 끝부분이 연결되지 않은 형태로 제조된 후에 이들을 상기 가스배출관에 말도록 형성되며, 이에 따라서 슬롯이 발생한다.
이 경우, 본 발명은 보호막(50) 외측에 외피를 포함할 수 있다. 상기 외피는 상기 절연시트(20), 열선(30), 단열재(40) 및 보호막(50)이 상기 가스배출관에 밀착되도록 고정시키면서 상기 슬롯의 폭을 최소화하는 기능을 할 수 있다. 이 경우, 상기 외피는 테프론 코팅 화이바그라스, 고아텍스 등의 소재로 이루어질 수 있다.
이 경우, 상기 외피의 일측 및 타측에 각각 버튼 및 버튼 수용부가 있어서 버튼 조립될 수도 있고, 벨크로 결합될 수도 있으며, 이와 다른 결합 수단에 의하여 결합될 수도 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 절연시트(20)와 단열재(40)를 감싸도록 절연시트(20)와 단열재(40)에 끼워지는 절연튜브(60)가 더 구비되고, 상기 보호막(50)은 절연튜브(60)의 외면에 코팅되는 것을 특징으로 한다.
상기 절연튜브(60)는 절연시트(20)와 단열재(40)를 감싸는 것으로, 이러한 절연시트(60)는 화이바 그라스 등의 절연성이 우수한 소재로 이루어진다. 상기 절연튜브(60)는, 그 단면이 폐쇄된 형상일 수 있다. 이와 달리 상기 절연튜브(60)는 그 단면이 개방되어서, 일단 및 타단이 형성된 형상을 수도 있다. 상기 절연튜브(60)의 단면이 개방된 경우에는 상기 절연시트(20) 및 단열재(40)를 삽입시키기에 간편해진다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면 도 5에 도시된 바와 같이, 가스배출관(P)의 외부형상과 대응되는 내부형상을 가지는 보온 재료로 형성된 부재로서, 내부 공간(11)이 비어있는 둥근 원기둥형상이며, 슬롯(12)에서 일단과 타단이 접하도록 형성된 히팅 자켓(10)에 있어서, 상기 히팅 자켓(10)은 절연시트(20)의 내면에 지그재그로 배열된 상태로 고정되는 열선(30); 상기 열선(30)이 고정된 절연시트(20)의 외면에 합봉되는 단열재(40); 상기 열선(30)과 단열재(40)를 감싸도록 열선(30)과 단열재(40)에 끼워진 상태에서 가스배출관(P)을 감싸는 절연튜브(60); 상기 절연튜브(60)의 외면에 코팅되는 보호막(50)을 포함하는 구성된다.
이와 같이 구성된 본 발명 단열 히팅 자켓 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 단열 히팅 자켓 제조방법은, 절연시트(20)의 외면에 열선(30)을 일정패턴, 예를 들어 지그재그로 배열하여 고정시키는 고정공정; 열선(30)이 고정된 절연시트(20)와 단열재(40)를 마름질하는 재단공정; 절연시트(20)의 외면에 단열재(40)를 맞대어 미싱으로 합봉하는 합봉공정; 절연시트(20)가 합봉된 단열재(40)를 자켓금형에 넣고 실리콘을 주입하는 주입공정; 실리콘이 주입된 자켓금형을 오븐에서 열처리하여 보호막(50)을 형성하는 코팅공정; 열처리된 자켓금형에서 제조된 히팅 자켓(10)을 탈착하는 탈형공정으로 이루어진다.
상기 고정공정은 절연시트(20)의 외면에 열선(30)을 일정 패턴으로 배열하여 고정시키는 공정으로, 이러한 고정공정에서는 절연시트(20)의 외면에 열선(30)을 일정 패턴, 에를 들어 지그재그로 배열한 후, 미싱으로 봉제하여 열선(30)을 절연시트(20)에 간단하게 고정시킨다.
이 경우, 상기 열선의 재질은 스테인리스 스틸, 구리, 카본, 아라미드, 화이바얀 등의 도전성 재질이며, 직경이 0.1mm 내지 0.7mm 일 수 있으며, 미싱에서 윗실 및 밑실 중 하나일 수 있다. 상기 열선은 피복이 되지 않는 것이 바람직하다.
상기 재단공정은 열선(30)이 고정된 절연시트(20)와 단열재(40)를 마름질하는 공정으로, 이러한 재단공정에서는 절연시트(20)와 단열재(40)를 가스배출관(P)에 맞추어 적정한 사이즈로 재단한다.
상기 합봉공정은 절연시트(20)의 외면에 단열재(40)를 맞대어 미싱으로 합봉하는 공정으로, 이러한 합봉공정에서는 재단된 절연시트(20)와 단열재(30)가 분리되지 않도록 서로 맞댄 상태에서 미싱으로 봉제하여 일체로 합봉시킨다.
한편, 상기 단열재(40)는 열선(30)이 고정된 절연시트(20)의 외면에 형성된다. 이러한 단열재(40)는 화이바 매트, 캐블라 매트, 노맥스 매트, 에어로겔, 카본 매트 등의 단열성이 우수한 소재로서, 탄성이 작고, 경도가 높지 않으며, 바늘이 관통하기 쉽게 얇은 시트 형상으로 제작될 수 있다. 이 경우, 상기 단열재(40)는 얇은 천 형상의 복수의 단열 시트들이 적층되어서 형성된 구조일 수 있다.
상기 주입공정은 절연시트(20)가 합봉된 단열재(40)를 자켓금형에 넣고 실리콘을 주입하는 공정으로, 이러한 주입공정에서는 가스배출관(P)의 외부형상과 동일 한 내부형상을 가지는 공간(11)이 비어있는 형상으로 히팅 자켓(10)이 성형되도록 하는 역할과, 히팅 자켓(10)에 슬롯(12)이 형성되도록 하는 역할, 및 단열재(40)의 외면에 보호막(50)을 코팅할 수 있도록 실리콘을 주입하는 역할을 수행한다.
상기 코팅공정은 실리콘이 주입된 자켓금형을 오븐에서 열처리하여 보호막(50)을 형성하는 공정으로, 이러한 코팅공정에서는 단열재(40)의 외면에 보호막(50)을 코팅시킨다.
상기 탈형공정은 열처리된 자켓금형에서 제조된 히팅 자켓(10)을 탈리하는 공정으로, 이러한 탈형공정에서는 자켓금형으로부터 히팅 자켓(10)을 탈리시켜 제품을 완성시킨다.
본 발명 제조방법의 다른 실시예에 따르면, 상기 합봉공정과 주입공정 사이에 절연튜브(60)의 내부로 절연시트(20)와 단열재(40)를 끼워 넣는 삽입공정이 추가된다. 즉, 합봉공정 후 절연튜브(60)의 내부로 절연시트(20)와 단열재(40)를 끼워 넣는 삽입공정이 추가되고, 이러한 삽입공정 후 주입공정을 실시한다.
상기 삽입공정에서 상기 절연튜브(60)는 그 단면이 폐쇄된 형상일 수 있다. 이와 달리 상기 절연튜브(60)는 그 단면이 개방되어서, 일단 및 타단이 형성된 형상을 수도 있다. 상기 절연튜브(60)의 단면이 개방된 경우에는 상기 절연시트(20) 및 단열재(40)를 삽입시키기에 간편해진다.
본 발명 제조방법의 또 다른 실시예에 따르면, 히트 매트의 내면에 열선(30)을 지그재그로 배열하여 고정시키는 고정공정; 열선(30)이 고정된 히트 매트와 단열재(40)를 마름질하는 재단공정; 히트 매트의 외면에 단열재(40)를 맞대어 미싱으 로 합봉하는 합봉공정; 히트 매트가 합봉된 단열재(40)를 절연튜브(60)의 내부로 끼워 넣는 삽입공정; 단열재(40)가 끼어진 절연튜브(60)를 자켓금형에 넣고 실리콘을 주입하는 주입공정; 실리콘이 주입된 자켓금형을 오븐에서 열처리하여 보호막(50)을 형성하는 코팅공정; 열처리된 자켓금형에서 제조된 히팅 자켓(10)을 탈리하는 탈형공정으로 이루어진다.
이 경우, 상기 히트 매트는 절연 시트(20)이거나, 단열재의 단위 단열 시트일 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 히팅 자켓 제조방법은, 히트 매트의 내면 또는 외면에 열선(30)을 고정시키는 단계와, 단열재(40)의 단위 단열 시트를 마름질하는 단계와, 절연시트(20)의 외면에 단위 단열 시트를 맞대어 미싱으로 합봉하는 단계와, 상기 절연 시트 외면에 합봉된 단위 단열 시트 상에 바인더를 코팅하고, 다른 단열 시트를 상기 바인더와 결합시키는 과정을 적어도 한 번 이상 하는 단계와, 상기 단열재 외부에 실리콘 재질의 보호막(50)을 코팅하는 단계와, 상기 보호막 코팅된 제품을 금형에 삽입후 드라이 오번에서 열처리하는 단계를 포함한다.
이 경우, 상기 절연시트 외면에 단위 단열 시트를 맞대어 합봉하는 단계와, 상기 바인더를 코팅하는 단계 사이에는, 외면에 단위 단열 시트가 합봉된 절연시트를 히팅 대상물에 고정시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
이 경우, 상기 히트 매트는 절연 시트이거나, 단위 단열 시트일 수 있다. 상기 열선이 히트 매트의 내면에 고정된다면, 상기 히트 매트는 단열 시트인 것이 바 람직하다. 또한, 상기 열선이 히트 매트의 외면에 고정된다면, 상기 히트 매트는 절연 시트인 것이 더 바람직하다.
이와 같이 다양한 실시예로 이루어지는 본 발명 단열 히팅 자켓 및 그 제조방법에 따르면, 구조적으로 히팅 자켓(10)의 열전달효율 및 단열효과를 증가시킬 수 있는 장점이 있으며, 또한 절연시트(20)에 열선(30)을 고정하는 공정이 간단하고 히팅 자켓(10)의 제조공정이 단축되기 때문에 제조원가 및 제조시간을 절감할 수 있는 장점이 있다.
이상 본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일실시예를 참고로 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
도 1은 히팅 자켓의 설치상태를 보인 사시도.
도 2는 종래 히팅 자켓의 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 히팅 자켓의 구조를 보인 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 히팅 자켓의 다른 실시예를 보인 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 히팅 자켓의 또 다른 실시에를 보인 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호설명>
10 : 히팅 자켓 11 : 공간
12 : 슬롯 20 : 절연시트
30 : 열선 40 : 단열재
50 : 보호막 60 : 절연튜브
P : 가스배출관

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 가스배출관(P)의 외부형상과 대응되는 내부형상을 가지는 보온재료로 형성된 부재로서, 상기 가스 배출관을 감싸도록 내부 공간(11)이 비어있는 형상이며, 슬롯(12)에서 일단과 타단이 접하도록 형성된 히팅 자켓(10)에 있어서,
    상기 히팅 자켓(10)은:
    가스배출관(P)을 감싸는 절연시트(20);
    상기 절연시트(20)의 외면에 배열된 상태로 고정되는 열선(30);
    상기 열선(30)이 고정된 절연시트(20)의 외면에 결합되는 단열재(40);
    상기 단열재(40)의 외면에 코팅되는 보호막(50); 및
    상기 절연시트(20)와 단열재(40)를 감싸도록 절연시트(20)와 단열재(40)에 끼워지는 절연튜브(60);를 포함하고,
    상기 보호막(50)은 절연튜브(60)의 외면에 코팅되는 것을 특징으로 하는 단열 히팅 자켓.
  3. 가스배출관(P)의 외부형상과 대응되는 내부형상을 가져서 상기 가스배출관을 감싸며 보온재료로 형성된 부재로서, 슬롯(12)에서 일단과 타단이 접하도록 형성된 히팅 자켓(10)에 있어서,
    상기 히팅 자켓(10)은 절연시트(20)의 내면에 고정되는 열선(30);
    상기 열선(30)이 고정된 절연시트(20)의 외면에 합봉되는 단열재(40);
    상기 열선(30)과 단열재(40)를 감싸도록 열선(30)과 단열재(40)에 끼워진 상태에서 가스배출관(P)을 감싸는 절연튜브(60); 및
    상기 절연튜브(60)의 외면에 코팅되는 보호막(50)을 포함하는 단열 히팅 자켓.
  4. 제 2 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 열선의 재질은 스테인리스 스틸, 구리, 카본, 아라미드 및 화이바얀으로 이루어진 군 중에서 선택된 적어도 하나이며, 상기 열선의 직경은 0.1mm 내지 0.7mm인 것을 특징으로 하는 단열 히팅 자켓.
  5. 제 2 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 단열재의 소재는 화이바 매트, 캐블라 매트, 노맥스 매트, 에어로겔, 카본 매트 중 어느 하나로서, 얇은 천 형상의 복수의 단열 시트들이 적층되어서 형성된 것을 특징으로 하는 단열 히팅 자켓.
  6. 절연시트(20)의 외면에 열선(30)을 고정시키는 고정공정;
    열선(30)이 고정된 절연시트(20)와 단열재(40)를 마름질하는 재단공정;
    절연시트(20)의 외면에 단열재(40)를 맞대어 합봉하는 합봉공정;
    절연시트(20)가 합봉된 단열재(40)를 자켓금형에 넣고 실리콘을 주입하는 주 입공정;
    실리콘이 주입된 자켓금형을 오븐에서 열처리하여 보호막(50)을 형성하는 코팅공정;
    열처리된 자켓금형에서 제조된 히팅 자켓(10)을 탈리하는 탈형공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 단열 히팅 자켓 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 합봉공정과 주입공정 사이에 절연튜브(60)의 내부로 절연시트(20)와 단열재(40)를 끼워 넣는 삽입공정이 추가되는 것을 특징으로 하는 단열 히팅 자켓 제조방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 고정 공정은 상기 열선을 상기 절연시트에 미싱처리하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 단열 히팅 자켓 제조방법.
  9. 절연시트(20)의 내면에 열선(30)을 지그재그로 배열하여 고정시키는 고정공정;
    열선(30)이 고정된 절연시트(20)와 단열재(40)를 마름질하는 재단공정;
    절연시트(20)의 외면에 단열재(40)를 맞대어 미싱으로 합봉하는 합봉공정; 절연시트(20)가 합봉된 단열재(40)를 절연튜브(60)의 내부로 끼워 넣는 삽입공정;
    단열재(40)가 끼어진 절연튜브(60)를 자켓금형에 넣고 실리콘을 주입하는 주입공정;
    실리콘이 주입된 자켓금형을 오븐에서 열처리하여 보호막(50)을 형성하는 코팅공정;
    열처리된 자켓금형에서 제조된 히팅 자켓(10)을 탈리하는 탈형공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 단열 히팅 자켓 제조방법.
  10. 절연시트(20)의 내면 또는 외면에 열선(30)을 고정시키는 단계;
    단열재(40)의 단위 단열 시트를 마름질하는 단계;
    절연시트(20)의 외면에 단위 단열 시트를 맞대어 미싱으로 합봉하는 단계;
    상기 절연 시트 외면에 합봉된 단위 단열 시트 상에 바인더를 코팅하고, 다른 단열 시트를 상기 바인더와 결합시키는 과정을 적어도 한 번 이상 하는 단계;
    상기 단열재 외부에 실리콘 재질의 보호막을 코팅하는 단계; 및
    상기 보호막 코팅된 제품을 금형에 삽입 후 드라이 오븐에서 열처리하는 단계;
    를 포함하는 단열 히팅 자켓 제조방법.
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