KR20170006104A - Detecting Apparatus Capable of Detecting Foreign Materials on the Surface of Glass, Detect Method thereof, and Slit Coater Comprising the Detecting Apparatus - Google Patents

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Abstract

슬릿 코팅장치용 기판 상의 이물질을 감지할 수 있는 이물질 감지장치, 그 이물질 감지방법 및 그 슬릿 코팅장치가 개시된다. 본 발명의 이물질 감지장치는 슬릿 코팅장치(Slit Coater)에 장착되어 기판의 상부 또는 하부 표면에 부착된 이물질을 효과적으로 감지함으로써 슬릿 노즐 리브(Nozzle Rib)가 충돌에 의해 파손되거나 손상받는 것을 방지할 수 있다. 이를 위한 이물질 감지장치는, 슬릿 노즐로부터 이격되어 코팅진행 방향 앞쪽에 슬릿 노즐과 평행하게 배치된 센서 보드와, 센서 보드 상에 마련되어 코팅 진행에 따라 기판의 상부 또는 하부에 위치하는 이물질과의 충돌을 감지하는 센서를 구비한다. 센서로는 예컨대, 센서 보드에 발생하는 응력을 감지하는 스트레인 게이지(Strain Guage) 등이 바람직하다.Disclosed is a foreign matter sensing apparatus capable of sensing foreign matter on a substrate for a slit coating apparatus, a foreign matter sensing method thereof, and a slit coating apparatus therefor. The foreign substance sensing device of the present invention is mounted on a slit coating device to effectively detect foreign matter adhered to the upper or lower surface of the substrate, thereby preventing the slit nozzle ribs from being damaged or damaged by collision have. A sensor board disposed on the sensor board in parallel with the slit nozzle and spaced apart from the slit nozzle so as to be in parallel with the slit nozzle; And a sensor for sensing the temperature. As the sensor, for example, a strain gauge that detects the stress generated in the sensor board is preferably used.

Description

슬릿 코팅장치용 기판 상의 이물질을 감지할 수 있는 이물질 감지장치, 그 이물질 감지방법 및 그 슬릿 코팅장치{Detecting Apparatus Capable of Detecting Foreign Materials on the Surface of Glass, Detect Method thereof, and Slit Coater Comprising the Detecting Apparatus}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a foreign matter detecting apparatus capable of detecting foreign matter on a substrate for a slit coating apparatus, a foreign matter detecting method thereof, and a slit coating apparatus therefor. }

본 발명은 슬릿 코팅장치용 이물질 감지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 슬릿 코터에서 기판의 상부 또는 하부에 부착된 이물질을 감지하여 슬릿 노즐 리브(Nozzle Rib)의 파손 등을 방지할 수 있는 이물질 감지장치, 그 이물질 감지방법 및 그 슬릿 코팅장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a foreign matter sensing apparatus for a slit coating apparatus, and more particularly, to a foreign matter sensing apparatus for sensing a foreign matter adhered to an upper portion or a lower portion of a substrate in a slit coater to prevent breakage of a slit nozzle rib, And a slit coating apparatus therefor.

평판 기판에 약액을 일정한 두께로 균일하게 코팅하는 코팅장치는 다양한 분야에서 사용될 수 있으며, 엘시디(LCD)와 같은 평판 디스플레이 패널의 제조를 위하여 유리 기판 표면에 감광성 수지를 도포하는 코팅장치도 그 중에 하나이다. A coating apparatus for uniformly coating a chemical liquid on a flat substrate with a uniform thickness can be used in various fields, and a coating apparatus for coating a photosensitive resin on the surface of a glass substrate for manufacturing a flat panel display panel such as an LCD .

종래에는 회전에 의한 스핀 코팅방식이 사용되었으나, 디스플레이 기판의 크기가 대형화되면서 슬릿 노즐(Slit Nozzle)을 이용하는 슬릿 코팅방식이 사용되고 있다. 슬릿 코팅방식은 기판의 폭에 해당하는 길이를 갖는 슬릿 노즐을 기판을 따라 이송시키면서 노즐을 통해 약액을 분사하여 도포하는 방식이다. Conventionally, a spin coating method using rotation is used, but a slit coating method using a slit nozzle is used as the size of a display substrate is increased. In the slit coating method, a slit nozzle having a length corresponding to the width of a substrate is transferred along a substrate while spraying a chemical solution through a nozzle.

도 1 및 도 2를 참조하면, 슬릿 코팅장치(100)는 기판 척(102)에 기판(G)이 고정된 상태에서, 기판(G)의 폭 길이의 슬릿 노즐(110)이 이송수단(120)에 의해 기판(G)을 따라 이송하면서 약액을 도포한다. 약액은 약액 공급부(112)에 의해 대략 1회 코팅 공정에 사용될 양만큼 슬릿 노즐(110)로 공급된 다음에, 슬릿 노즐(110)을 통해 기판(G)으로 분사된다. 코터 장치(100)가 기판(G) 상에 약액을 도포하면, 기판(G)은 건조 공정으로 이송되어 건조된다. 1 and 2, a slit coating apparatus 100 includes a substrate chuck 102 having a substrate G fixed thereon, a slit nozzle 110 having a width of the substrate G, ) Along the substrate (G). The chemical liquid is supplied to the slit nozzle 110 through the slit nozzle 110 by the chemical liquid supply unit 112 approximately once for the amount to be used for the coating process, When the coater apparatus 100 applies a chemical solution onto the substrate G, the substrate G is transferred to a drying process and dried.

기판 척(102) 상의 기판(G)과 슬릿 노즐(110)의 리브(Rib)(114) 사이에는 코팅을 위하여 일정한 코팅 간격(Coating Gap)으로 이격되어 있으며 코팅 공정 중에 유지된다. 만약 슬릿 노즐(110)의 이송 경로 상에 이물질(a)이 존재하면 기판(G)의 코팅 불량이 발생할 뿐만 아니라, 코팅 간격보다 큰 사이즈의 이물질(G)이 상당히 고착화된 경우에는 노즐 리브(114)의 파손 또는 손상이 발생할 수 있다. A gap between the substrate G on the substrate chuck 102 and the rib 114 of the slit nozzle 110 is spaced at a constant coating gap for coating and is maintained during the coating process. If the foreign matter a exists on the conveyance path of the slit nozzle 110, coating failure of the substrate G may occur, and if the foreign matter G having a size larger than the coating interval is significantly fixed, the nozzle ribs 114 ) May be damaged or damaged.

기판(G)은 미리 세척과정을 거친 다음에 코팅 공정에 투입되지만, 기판(G) 상에는 언제나 이물질이 부착될 수 있으므로 이러한 이물질은 노즐 리브(114)가 닿기 전에 미리 제거되어야 한다. 경우에 따라서는 기판 척(102) 상에 이물질이 있을 수 있는데, 얇은 기판(G)이 진공으로 기판 척(102)에 흡착되기 때문에, 기판(G)의 해당 부분이 이물질에 의해 돌출되면서 노즐 리브(114)와 접촉할 수 있다. The foreign matter may be adhered to the substrate G at any time, so that the foreign matter must be removed in advance before the nozzle rib 114 touches the substrate G, although the substrate G is put in the coating process after the cleaning process in advance. Since the thin substrate G is attracted to the substrate chuck 102 in vacuum, the corresponding portion of the substrate G is protruded by the foreign substance, 0.0 > 114 < / RTI >

기판 상의 이물질을 제거하기 위한 종래의 방법으로, 특허공개번호 제10-2007-0113381호가 있다. 이 발명에서, 코팅 장치는 슬릿 노즐(110)의 전단에 슬릿 노즐(110)과 평행한 감지 선(Sensing Line)을 가지는 레이저 센서(132, 134)를 부착하여 이물질을 미리 감지하도록 하였다. 즉, 기판(G)의 양 대향측에 각각 대면하도록 광센서의 발광부와 수광부를 배치하여 슬릿 노즐(110)과 평행한 감지 선을 구축하였다. As a conventional method for removing foreign substances on a substrate, Patent Publication No. 10-2007-0113381. In the present invention, the coating apparatus is provided with laser sensors 132 and 134 having a sensing line parallel to the slit nozzle 110 at the front end of the slit nozzle 110 to detect foreign matter in advance. That is, the light emitting portion and the light receiving portion of the photosensor are arranged so as to be opposed to the both opposite sides of the substrate G, and a sensing line parallel to the slit nozzle 110 is constructed.

그러나, 이물질의 사이즈가 보통 150 ~ 200 mm 정도이고, 8세대와 같은 대형 기판의 경우 레이저 센서의 발광부와 수광부 사이의 거리는 대략 2500 mm 이상이 되므로, 레이저 센서의 감지선의 수평도가 조금만 틀어져도 이물질을 감지하지 못하는 불량이 발생할 수 있다. 레이저 센서의 수평도 불량은 코팅 장치의 자체의 진동 등에 의하여 언제든지 발생할 수 있는 고려사항이므로, 결국 종래의 코팅 장치에서는 레이저 센서를 사용하더라도 이물질에 의한 코팅 불량이나 슬릿 노즐의 파손 등이 발생하였다. However, since the size of foreign matter is usually about 150 to 200 mm, and the distance between the light emitting portion of the laser sensor and the light receiving portion of the large-sized substrate such as the eighth generation is about 2500 mm or more, Failure to detect the foreign object may occur. Since the horizontal defects of the laser sensor are considerations that may occur at any time due to vibration of the coating apparatus itself, consequently, in the conventional coating apparatus, coating defects due to foreign substances or breakage of slit nozzles have occurred.

그 밖에도, 기판을 가로질러 탄성을 가지는 와이어를 설치하고 와이어가 이물질에 접촉함에 따라 변형되는 것을 감지하는 방법(특허공개 제10-2011-0071827호)도 제시된 바 있다. In addition, a method has been proposed in which a wire having elasticity is provided across a substrate, and a strain is detected as the wire contacts the foreign matter (Patent Publication No. 10-2011-0071827).

[관련 기술 문헌][Related Technical Literature]

1. 이물질 감지 장치 및 방법(특허공개 제10-2007-0113381호)1. Apparatus and method for detecting foreign matter (Japanese Patent Laid-Open No. 10-2007-0113381)

2. 기판 코터 장치의 이물질 감지기구(특허공개 제10-2011-0071827호)
2. Foreign body detection mechanism of substrate coater apparatus (Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2011-0071827)

본 발명의 목적은, 슬릿 노즐을 구비한 슬릿 코팅장치에 장착되어 코팅될 기판의 상부 또는 하부에 부착된 이물질을 감지하여 슬릿 노즐 립(Slit Nozzle Rib)의 파손을 방지할 수 있는 이물질 감지장치, 그 이물질 감지방법 및 그 슬릿 코팅장치를 제공함에 있다.
An object of the present invention is to provide a foreign matter sensing device mounted on a slit coating apparatus provided with a slit nozzle for sensing a foreign matter adhered to an upper portion or a lower portion of a substrate to be coated to prevent breakage of a slit nozzle rib, And a slit coating apparatus therefor.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 슬릿 코팅장치는, 기판을 거치시키는 기판 스테이지와, 상기 기판 스테이지에 거치된 기판의 표면에 약액을 도포하는 슬릿 노즐과, 상기 슬릿 노즐의 코팅 진행방향 전단에 상기 슬릿 노즐과 평행하게 배치된 센서 보드와, 상기 센서 보드 상에 마련되어, 코팅 진행에 따라 상기 기판의 상부 또는 하부에 위치하는 이물질과 상기 센서 보드의 충돌을 감지하는 센서를 구비한다. 또한, 슬릿 코팅장치에는 상기 센서가 상기 이물질을 감지한 경우에 상기 코팅의 진행을 중지시키는 제어모듈이 구비된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a slit coating apparatus including a substrate stage for holding a substrate, a slit nozzle for applying a chemical solution to a surface of the substrate placed on the substrate stage, A sensor board disposed in parallel with the slit nozzle; and a sensor provided on the sensor board and detecting a collision between the sensor board and a foreign object located on the upper or lower part of the substrate in accordance with the coating progress. In addition, the slit coating apparatus is provided with a control module for stopping the progress of the coating when the sensor senses the foreign matter.

상기 센서로는 상기 센서 보드에 발생하는 응력을 감지함으로써 충돌을 감지하는 스트레인 게이지(Strain Guage)가 바람직하다.The sensor may be a strain gauge that detects a collision by sensing a stress generated in the sensor board.

상기 센서 보드는 상기 기판에 대해 수직하게 배치된 패널 형상으로 그 상단이 상기 슬릿 노즐의 측면에 고정된 형태를 가질 수 있다. 상기 센서 보드는 상기 이물질과의 충돌에 따른 응력 발생이 용이하게 발생하도록 5mm 이하의 두께로 마련되고, 상기 센서 보드의 하단부와 기판 사이의 간격은 상기 슬릿 노즐과 기판 사이의 코팅 간격(Coating Gap)보다 작거나 같게 유지되는 것이 바람직하다. The sensor board may have a panel shape vertically arranged with respect to the substrate, and an upper end thereof may be fixed to a side surface of the slit nozzle. Wherein the sensor board is provided to a thickness of 5 mm or less so as to easily generate stress due to collision with the foreign object, and a gap between the lower end of the sensor board and the substrate is a coating gap between the slit nozzle and the substrate, It is preferable to keep it equal to or less than.

실시 예에 따라, 상기 슬릿 노즐과 센서 보드 사이에 상기 기판을 가로지르는 형태로 상기 슬릿 노즐과 평행하게 배치되어 상기 기판 상의 이물질을 걷어내는 립 가드(Rip Guard)를 더 포함할 수 있다. The apparatus may further include a lip guard disposed between the slit nozzle and the sensor board so as to cross the substrate and parallel to the slit nozzle to remove foreign substances on the substrate.

본 발명의 권리는 상기 센서 보드와 센서를 구비하여 슬릿 코팅장치에 장착되는 이물질 감지장치에도 미친다. The right of the present invention also extends to the foreign substance detecting apparatus equipped with the sensor board and the sensor and mounted on the slit coating apparatus.

본 발명은 이물질 감지장치의 이물질 감지방법에도 그 권리가 미친다. 이물질 감지방법은, 상기 슬릿 노즐로부터 이격되어 상기 슬릿 노즐과 평행하게 배치된 센서 보드가 코팅진행에 따라 상기 슬릿 노즐에 앞서서 이물질과 부딪히는 단계와, 상기 센서 보드 상에 배치된 센서가 상기 센서 보드와 이물질 사이의 충돌을 감지하는 단계와, 제어모듈이 상기 센서 감지에 따라 코팅의 진행을 중지시키는 단계를 포함한다.
The present invention is also applicable to a foreign matter detection method of a foreign matter detection apparatus. A method of detecting a foreign object includes a step in which a sensor board spaced apart from the slit nozzle and arranged parallel to the slit nozzle collides with a foreign object in advance of the slit nozzle according to coating progression, Detecting a collision between foreign matter, and stopping the progress of the coating in accordance with the sensor detection by the control module.

본 발명의 슬릿 코터장치용 이물질 감지장치는 기판 폭에 해당하는 크기의 센서 보드를 구비하고, 그 센서 보드가 이물질과 직접 부딪힘에 따라 발생하는 응력을 센서가 감지하는 방법으로 이물질의 존재를 검출한다. 따라서 센서 보드가 직접 이물질과 부딪히기 때문에 이물질을 감지하지 못하는 오류가 발생하지 않고, 센서 보드의 높이 조절에 따라 감지하는 이물질의 크기를 조절할 수 있다. A foreign matter detecting apparatus for a slit coater apparatus according to the present invention includes a sensor board having a size corresponding to a width of a substrate and detects the presence of foreign matter by a method in which a sensor detects a stress generated as a result of direct contact with a foreign matter . Therefore, since the sensor board directly hits the foreign object, it is possible to control the size of the foreign object to be sensed according to the height adjustment of the sensor board without generating an error that can not detect the foreign object.

나아가, 본 발명의 슬릿 코팅장치는 센서 보드와 슬릿 코터 사이에 스테인리스 합금과 같은 강체의 립 가드(Rip Guard)를 배치함으로써, 슬릿 코터의 리브에 직접 부딪힐만한 이물질을 직접 제거할 수 있다.
Furthermore, in the slit coating apparatus of the present invention, a rigid lip guard such as a stainless steel alloy is disposed between the sensor board and the slit coater, thereby directly removing foreign matter that may directly hit the rib of the slit coater.

도 1은 종래의 이물질 감지장치를 구비한 슬릿 코팅장치를 도시한 사시도,
도 2는 도 1의 슬릿 코팅장치의 약액 도포 과정을 도시한 측단면도,
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 이물질 감지장치를 구비한 슬릿 코팅장치의 사시도,
도 4는 도 3의 이물질 감지장치의 동작을 나타내는 단면도,
도 5는 본 발명의 이물질 감지방법의 설명에 제공되는 흐름도, 그리고
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 이물질 감지장치의 동작을 나타내는 단면도이다.
[도면의 간단한 설명]
102: 기판 스테이지 110: 슬릿 노즐
112: 약액공급부 120: 이송모듈
121: 갠트리 123: 브리지드 바
125: 가이드 레일 301: 센서 보드
303: 센서 601: 립 가드1 is a perspective view showing a conventional slit coating apparatus having a foreign matter sensing device,
FIG. 2 is a side sectional view showing a chemical solution application process of the slit coating apparatus of FIG. 1,
3 is a perspective view of a slit coating apparatus having a foreign matter sensing apparatus according to an embodiment of the present invention,
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating the operation of the foreign matter sensing apparatus of FIG. 3;
5 is a flowchart provided in the description of the foreign matter detection method of the present invention, and
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating an operation of a foreign substance sensing apparatus according to another embodiment of the present invention.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig.
102: substrate stage 110: slit nozzle
112: chemical liquid supply unit 120: transfer module
121: Gantry 123: Bridged bar
125: Guide rail 301: Sensor board
303: sensor 601: lip guard

이하 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 슬릿 코팅장치(300)는, 기본적으로 기판(G)이 고정되는 기판 스테이지(102)와, 기판(G) 상에 약액을 도포하는 슬릿 노즐(110)과, 슬릿 노즐(110)에 약액을 공급하는 약액공급부(112)와, 슬릿 노즐(110)을 지지하면서 코팅 진행방향(X)을 따라 슬릿 노즐(110)을 이송할 수 있는 이송모듈(120)을 포함한다. 3 and 4, a slit coating apparatus 300 according to the present invention includes a substrate stage 102 on which a substrate G is fixed, a slit nozzle (not shown) for applying a chemical solution on the substrate G A chemical liquid supply unit 112 for supplying chemical liquid to the slit nozzle 110 and a transfer module 112 for transferring the slit nozzle 110 along the coating advancing direction X while supporting the slit nozzle 110 120).

이송모듈(120)은, 기판 스테이지(102) 양측에 각각 마련되는 한 쌍의 갠트리(Gantry)(121)와, 한 쌍의 갠트리(121)의 상부를 상호 연결하여 슬릿 노즐(110)을 지지하는 브리지드바(Bridged Bar)(123)와, 기판 스테이지(102)의 양측에 코팅 진행방향(X)으로 나란히 배치되어 갠트리(121)의 이동을 안내하는 한 쌍의 가이드레일(125)과, 갠트리 구동부(미도시)를 포함한다. 갠트리 구동부는 예컨대 자기 부상방식으로 갠트리(121)를 가이드레일(125)을 따라 왕복 운동시킬 수 있다. The transfer module 120 includes a pair of gantries 121 provided on both sides of the substrate stage 102 and a pair of gantries 121 interconnecting the upper portions of the pair of gantries 121 to support the slit nozzle 110 A pair of guide rails 125 arranged on both sides of the substrate stage 102 in parallel in the coating advancing direction X to guide the movement of the gantry 121, (Not shown). The gantry drive unit can reciprocate the gantry 121 along the guide rail 125 in a magnetic levitation manner, for example.

코팅을 위해서는 슬릿 노즐(110)과 기판(G)이 상대 이동을 할 수 있으면 충분하므로, 본 발명은 슬릿 노즐(110)이 고정된 기판(G) 위를 수평 이송되는 경우에 한정되는 것이 아니며, 기판(G)이 고정된 슬릿 노즐(110)의 밑으로 이송되는 경우에도 동일하게 적용된다. 예컨대, 코팅 장치에 따라, 별도의 기판 파지수단이 기판(G)을 파지하여 슬릿 노즐(110) 밑으로 이송시킬 수 있다. 이 경우, 이송모듈(120)은 세정 등을 위하여 슬릿 노즐(110)을 이송시키는 역할을 수행하며, 코팅 중인 슬릿 노즐(110)은 이송시키지 않고 고정 지지한다.The present invention is not limited to the case where the slit nozzle 110 is horizontally transported on the fixed substrate G, The same applies to the case where the substrate G is transported below the fixed slit nozzle 110. [ For example, according to the coating apparatus, a separate substrate holding means can grip the substrate G and transport it under the slit nozzle 110. [ In this case, the transfer module 120 serves to transfer the slit nozzle 110 for cleaning or the like, and the slit nozzle 110 during coating is fixedly supported without being transferred.

기본적인 동작은 종래 기술의 설명과 동일하다. 다시 말해, 기판 스테이지(102)에 기판(G)이 고정된 상태에서, 기판(G)의 폭 길이의 슬릿 노즐(110)이 이송모듈(120)에 의해 기판(G)을 따라 이송하면서 토출구(110b)를 통해 약액을 기판(G) 상에 도포한다. 약액은 약액 공급부(112)에 의해 대략 1회 코팅 공정에 사용될 양만큼 슬릿 노즐(110)로 공급된 다음에, 슬릿 노즐(110)을 통해 기판(G)으로 분사된다. 슬릿 코팅장치(300)가 기판(G) 상에 약액을 도포하면, 기판(G)은 다음 공정으로 이송된다. 앞서 설명한 것처럼, 기판(G)이 별도의 파지 수단에 의해 슬릿 노즐(110) 밑을 수평으로 이송하는 중에 코팅이 수행될 수 있다. The basic operation is the same as that of the prior art. In other words, while the substrate G is fixed to the substrate stage 102, the slit nozzle 110 having the width of the substrate G is transported along the substrate G by the transport module 120, 110b on the substrate (G). The chemical liquid is supplied to the slit nozzle 110 through the slit nozzle 110 by the chemical liquid supply unit 112 approximately once for the amount to be used for the coating process, When the slit coating apparatus 300 applies a chemical solution onto the substrate G, the substrate G is transferred to the next process. As described above, the coating can be performed while the substrate G is transported horizontally under the slit nozzle 110 by a separate holding means.

이에 더하여, 본 발명의 슬릿 코팅장치(300)는 기판(G)의 상부 또는 하부에 부착된 이물질(a)을 감지하여 슬릿 노즐(110)의 립(110a)의 파손을 방지하기 위한 이물질 감지장치를 더 포함한다. In addition, the slit coating apparatus 300 of the present invention includes a foreign matter sensing device (not shown) for sensing foreign matter (a) adhered to the upper portion or the lower portion of the substrate G and preventing the lip 110a of the slit nozzle 110 from being damaged, .

이물질 감지장치는 슬릿 노즐(110)로부터 이격되어 코팅진행 방향(X) 앞쪽에 슬릿 노즐과 나란하게 배치된 센서 보드(Sensor Board)(301)와, 센서 보드(301) 상에 마련되어 센서 보드(301)와 이물질(a) 사이의 충돌을 감지하는 센서(303)와, 센서(303)의 감지 정보에 따라 갠트리(121)의 운행을 정지시키는 등의 제어를 수행하는 제어모듈(310)을 포함한다. The foreign matter sensing device includes a sensor board 301 spaced apart from the slit nozzle 110 and arranged in parallel with the slit nozzle in front of the coating advancing direction X and a sensor board 301 provided on the sensor board 301, And a control module 310 for performing control such as stopping the operation of the gantry 121 in accordance with the detection information of the sensor 303 .

이물질 감지장치는 (1) 검출 대상인 이물질(a)의 크기에 맞춘 높이에 배치된 센서 보드(301)를 코팅 진행에 따라 슬릿 노즐(110)에 앞서 기판(G) 전체를 스캔하듯 진행시킴으로써, (2) 이물질(a)과의 충돌로 인해 센서 보드(301)의 변형을 센서(303)가 감지하도록 함으로써, 센서 보드(301)의 설치 높이로 정의되는 크기의 이물질(a)을 예외없이 검출할 수 있게 한 것이다.(1) The sensor board 301 arranged at a height corresponding to the size of the foreign object a to be detected is moved forward by scanning the entire substrate G in advance of the slit nozzle 110 according to the progress of the coating. 2) By detecting the deformation of the sensor board 301 due to the collision with the foreign matter a, the foreign matter a having the size defined by the installation height of the sensor board 301 is detected without exception It is possible.

따라서 센서 보드(301)는 이물질(a)과 부딪힐 때 그 변형이 크도록 설계되어야 한다. 도 3 및 도 4에 예시적으로 제시된 센서 보드(301)는 슬릿 노즐(110)과 평행하게 수직으로 배치된 패널 형상을 가지며, 그 상단 전체 또는 일부가 슬릿 노즐(10)의 측면에 고정된 형태로 설치된다. 다른 실시 예에 의하면, 센서 보드(301)는 수직으로 배치된 패널 형상을 가지며, 다만 그 상단 전체 또는 일부가 브리지드바(123)에 직접 지지되는 형태로 위치 고정될 수도 있다. Therefore, the sensor board 301 should be designed to have a large deformation when it strikes the foreign matter a. The sensor board 301 exemplarily shown in FIGS. 3 and 4 has a panel shape vertically arranged in parallel with the slit nozzle 110, and has a shape in which the entire top or a part thereof is fixed to the side surface of the slit nozzle 10 Respectively. According to another embodiment, the sensor board 301 has a vertically arranged panel shape, but may be fixed in such a manner that all or part of its upper end is directly supported by the bridge deck 123.

센서 보드(301)의 충돌에 따른 변형을 크게 하기 위해, 센서 보드(301)의 두께(d)는 좁을수록 바람직하지만, 너무 좁아 센서 보드(301)가 충돌로 인해 변형되지 않을 정도의 두께를 가질 필요는 있다. 반면에, 센서 보드(301)의 두께(d)가 너무 넓으면 이물질(a)과의 충돌에 따른 응력이 제대로 발생하지 않거나 그 전달이 지체될 수 있기 때문이다. The thickness d of the sensor board 301 is preferably as narrow as possible in order to enlarge the deformation due to the impact of the sensor board 301 but it is too narrow to have such a thickness that the sensor board 301 is not deformed due to the impact There is a need. On the other hand, if the thickness d of the sensor board 301 is too wide, the stress due to the collision with the foreign matter a may not be generated properly or may be delayed.

센서 보드(301)의 하단부의 높이는 감지 대상이 되는 이물질의 크기에 따라 정할 수 있으며, 슬릿 노즐(110)의 립(110a)을 보호한다는 측면에서 기판(G)과 슬릿 노즐(110)의 토출구(110b) 사이의 간격인 코팅 갭(Coating Gap)을 고려할 수 있다. 통상 코팅 갭 이상의 크기를 가진 이물질이 문제가 되므로, 센서 보드(301)의 하단부의 높이는 코팅 갭 정도가 바람직하다. The height of the lower end of the sensor board 301 can be determined according to the size of the foreign object to be sensed and the height of the substrate G and the slit nozzle 110 in the side of protecting the lip 110a of the slit nozzle 110 110b may be considered as a coating gap. The height of the lower end of the sensor board 301 is preferably about the coating gap, because foreign matter having a size larger than the coating gap usually becomes a problem.

센서 보드(301)와 슬릿 노즐(110) 사이의 거리는 슬릿 노즐(110)의 이송 속도에 따라 달라질 수 있다. 센서 보드(301)와 슬릿 노즐(110)을 너무 가깝게 배치하면, 센서(303)가 이물질을 감지하더라도 제어모듈(310)이 운행 중인 갠트리(121)를 적절한 시점에 정지시키지 못할 수 있다. 따라서, 센서 보드(301)와 슬릿 노즐(110) 사이의 거리는 대략 500mm 이상으로 설계되는 것이 바람직하다. 당연히, 슬릿 노즐(110)의 이송 속도에 따라 센서 보드(301)와 슬릿 노즐(110) 사이의 거리는 조정될 수 있다. The distance between the sensor board 301 and the slit nozzle 110 may vary depending on the feed speed of the slit nozzle 110. If the sensor board 301 and the slit nozzle 110 are disposed too close to each other, the control module 310 may not be able to stop the gantry 121 being operated by the sensor 303 at a proper time even if the sensor 303 senses foreign matter. Therefore, it is preferable that the distance between the sensor board 301 and the slit nozzle 110 is designed to be about 500 mm or more. Naturally, the distance between the sensor board 301 and the slit nozzle 110 can be adjusted according to the feeding speed of the slit nozzle 110.

센서(303)는 코팅 진행에 따라 기판(G)의 상부 또는 하부에 위치하는 이물질(a)과 센서 보드(301) 사이의 충돌을 감지함으로써 이물질(a)의 존재를 인식할 수 있도록 한다. The sensor 303 detects the collision between the foreign matter a and the sensor board 301 positioned on the upper or lower portion of the substrate G according to the progress of the coating, thereby recognizing the presence of the foreign matter a.

센서(303)는 센서 보드(301)가 이물질(a)과 충돌함에 따라 센서 보드(301) 상에 일어나는 여러 가지 변화(응력 변화, 진동, 압력변화 등) 중 하나를 인식할 수 있는 것이면 가능하지만, 그 중에서도 충돌에 의해 센서 보드(301)에 발생하는 응력을 감지할 수 있는 스트레인 게이지(Strain Guage)가 바람직하다. 예컨대, 코팅을 위해 슬릿 노즐(110)을 이송하는 갠트리(121)에서도 진동이 발생할 수 있으므로, 센서 보드(301)의 진동을 감지하는 진동 센서를 사용하면 감지 오류가 발생할 가능성이 있다. The sensor 303 may be any one capable of recognizing one of various changes (stress variation, vibration, pressure change, etc.) occurring on the sensor board 301 as the sensor board 301 collides with the foreign matter a A strain gauge capable of detecting a stress generated in the sensor board 301 due to a collision is preferable. For example, vibrations may also occur in the gantry 121 that transports the slit nozzle 110 for coating. Therefore, if a vibration sensor that senses the vibration of the sensor board 301 is used, there is a possibility that a detection error may occur.

센서(303)로 스트레인 게이지를 사용할 경우에, 센서 보드(301)의 두께(d)는 5mm 이하로 설계하는 것이 바람직하다. 센서 보드(301)의 두께(d)가 너무 넓으면 이물질(a)과의 충돌에 따른 응력이 제대로 발생하지 않거나 그 전달이 지체될 수 있기 때문이다. When the strain gage is used as the sensor 303, the thickness d of the sensor board 301 is preferably designed to be 5 mm or less. If the thickness d of the sensor board 301 is too wide, the stress due to the collision with the foreign matter a may not be generated properly or may be delayed.

제어모듈(310)은 통상 슬릿 코팅장치(300)의 전반적인 동작을 제어하는 것으로서, 이송모듈(120)의 운전제어, 기판(G)의 이송 등을 종합적으로 제어한다. 다만, 이러한 사항은 본 발명의 특징적 요소가 아니므로 그 설명을 생략하고 이물질 감지장치를 통한 제어를 중심으로 제어모듈(310)의 동작을 설명한다. The control module 310 generally controls the overall operation of the slit coating apparatus 300 and generally controls the operation control of the transfer module 120 and the transfer of the substrate G and the like. However, since such matters are not characteristic elements of the present invention, the description of them will be omitted and the operation of the control module 310 will be described focusing on the control through the foreign matter sensing device.

제어모듈(310)은 센서(303)로부터 센서 신호를 주기적으로 읽어오면서, 센서(303)가 센서 보드(301) 상의 응력을 감지한 경우엔 기판(G)의 상부 또는 하부에 이물질이 있는 것으로 판단하고, 경보를 발생시키고 갠트리 구동부(미도시)를 제어하여 갠트리(121)의 운행을 정지시킨다. The control module 310 reads the sensor signal periodically from the sensor 303 and judges that foreign substances are present on the upper or lower portion of the substrate G when the sensor 303 senses the stress on the sensor board 301 Generates an alarm, and controls the gantry drive unit (not shown) to stop the operation of the gantry 121.

이하에서는 제어모듈(310)의 동작을 포함하여, 이물질 감지장치의 동작을 도 5를 참조하여 설명한다. Hereinafter, the operation of the foreign matter sensing device including the operation of the control module 310 will be described with reference to FIG.

코팅이 진행됨에 따라(S501), 센서 보드(301)가 슬릿 노즐(110)에 앞에서 슬릿 노즐(110)과 동일한 속도로 기판(G)을 스캔하고, 센서(303)는 센서 보드(301)에 응력이 발생하는지를 감시한다. 만약, 기판(G)의 상부 또는 하부에 이물질(a)이 있으면, 슬릿 노즐(110)에 앞서 센서 보드(301)가 이물질(a)과 부딪히게 되고, 그에 따라 센서 보드(301)에 변형, 즉 응력이 발생하게 된다(S503). As the coating progresses (S501), the sensor board 301 scans the substrate G at the same speed as that of the slit nozzle 110 in front of the slit nozzle 110, and the sensor 303 is moved to the sensor board 301 Monitor whether stress occurs. If the foreign matter a is present on the upper or lower surface of the substrate G, the sensor board 301 hits the foreign matter a before the slit nozzle 110, That is, stress is generated (S503).

센서(303)가 센서 보드(301)에 발생한 응력을 감지하면, 센서(303)의 감지 정보(즉, 센서 신호)는 제어모듈(310)에게 제공된다(S505). 제어모듈(310)은 센서(303)의 감지가 있으면, 갠트리(121)의 운행을 중지시킴으로써 코팅의 진행을 중지시키게 된다(S507). When the sensor 303 senses the stress generated in the sensor board 301, the sensing information (i.e., sensor signal) of the sensor 303 is provided to the control module 310 (S505). The control module 310 stops the progress of the coating by stopping the operation of the gantry 121 if the sensor 303 senses it (S507).

이상의 방법으로, 본 발명의 슬릿 코팅장치(300)의 이물질 감지장치가 동작한다. In this way, the foreign matter sensing device of the slit coating apparatus 300 of the present invention operates.

<실시 예><Examples>

실시 예에 따라, 도 6에 도시된 것처럼, 슬릿 코팅장치(300)가 슬릿 노즐(110)과 나란하게 배치된 립 가드(Rip Guide)(601)를 구비한 경우에, 센서 보드(301)는 립 가드(601)의 전방에 배치될 수 있다. 립 가드(601)는 통상 스테인레스 합금로 만들어져, 코팅 진행에 따라 슬릿 노즐(110)에 앞서 이물질(a)과 부딪혀 이물질(a)을 제거하거나 부수는 역할을 한다. 따라서 센서 보드(301)가 먼저 이물질을 감지하고, 제어모듈(310)이 갠트리(121)의 운행을 정지시키는 사이에 립 가드(601)가 이물질을 직접 제거할 수 있는 것이다.
6, if the slit coating apparatus 300 has a lip guide 601 disposed in parallel with the slit nozzle 110, the sensor board 301 may be provided with And can be disposed in front of the lip guard 601. The lip guard 601 is generally made of a stainless steel alloy and collides with the foreign matter a before the slit nozzle 110 according to the progress of the coating to remove or collapse the foreign matter a. Therefore, the lip guard 601 can directly remove foreign matter while the sensor board 301 first detects the foreign substance and the control module 310 stops the operation of the gantry 121.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the scope of the invention as defined by the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention.

Claims (14)

기판을 거치시키는 기판 스테이지;
상기 기판 스테이지에 거치된 기판의 표면에 약액을 도포하는 슬릿 노즐;
상기 슬릿 노즐의 코팅 진행방향 전단에 상기 슬릿 노즐과 나란하게 배치된 센서 보드; 및
상기 센서 보드 상에 마련되어, 코팅 진행에 따라 상기 기판의 상부 또는 하부에 위치하는 이물질과 상기 센서 보드의 충돌을 감지하는 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
A substrate stage for mounting the substrate;
A slit nozzle for applying a chemical solution to a surface of a substrate placed on the substrate stage;
A sensor board disposed on a front side of the slit nozzle in a coating direction; And
And a sensor provided on the sensor board and sensing a collision between the sensor board and a foreign object located on the upper or lower surface of the substrate in accordance with progress of the coating.
제1항에 있어서,
상기 센서 보드는 상기 기판에 대해 수직하게 배치된 패널 형상으로 그 상단이 상기 슬릿 노즐의 측면에 고정된 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
The method according to claim 1,
Wherein the sensor board is in the form of a panel vertically arranged with respect to the substrate, and an upper end thereof is fixed to a side surface of the slit nozzle.
제1항에 있어서,
상기 센서는 상기 센서 보드에 발생하는 응력을 감지함으로써 충돌을 감지하는 스트레인 게이지(Strain Guage)인 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
The method according to claim 1,
Wherein the sensor is a strain gauge for detecting a collision by sensing a stress generated on the sensor board.
제3항에 있어서,
상기 센서 보드는 상기 이물질과의 충돌에 따른 응력 발생이 용이하게 발생하도록 5mm 이하의 두께로 마련되는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
The method of claim 3,
Wherein the sensor board is formed to have a thickness of 5 mm or less so as to easily generate stress due to a collision with the foreign matter.
제1항에 있어서,
상기 센서 보드의 하단부와 기판 사이의 간격은 상기 슬릿 노즐과 기판 사이의 코팅 간격(Coating Gap)보다 작거나 같게 유지되는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
The method according to claim 1,
Wherein a gap between the lower end of the sensor board and the substrate is kept smaller than or equal to a coating gap between the slit nozzle and the substrate.
제1항에 있어서,
상기 슬릿 노즐과 센서 보드 사이에 상기 기판을 가로지르는 형태로 상기 슬릿 노즐과 평행하게 배치되어 상기 기판 상의 이물질을 걷어내는 립 가드(Rip Guard)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a lip guard disposed between the slit nozzle and the sensor board in parallel with the slit nozzle so as to cross the substrate and to remove foreign substances on the substrate.
제1항에 있어서,
상기 센서가 상기 이물질을 감지한 경우에 상기 코팅의 진행을 중지시키는 제어모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a control module for stopping the progress of the coating when the sensor senses the foreign matter.
슬릿 노즐을 구비한 슬릿 코팅장치에 장착되어, 상기 슬릿 코터에 의해 코팅되는 기판의 상부 도는 하부에 존재하는 이물질을 검출할 수 있는 이물질 감지장치에 있어서,
상기 슬릿 노즐의 코팅 진행방향 전단에 상기 슬릿 노즐과 평행하게 배치된 센서 보드; 및
상기 센서 보드 상에 마련되어, 코팅 진행에 따라 상기 기판의 상부 또는 하부에 위치하는 이물질과 상기 센서 보드의 충돌을 감지하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 감지장치.
A foreign substance sensing apparatus mounted on a slit coating apparatus having a slit nozzle and capable of detecting foreign matter existing in an upper portion or a lower portion of a substrate coated by the slit coater,
A sensor board disposed in parallel with the slit nozzle at a front end of the slit nozzle in a coating direction; And
And a sensor provided on the sensor board and sensing a collision between the sensor board and a foreign object located on the upper or lower surface of the substrate in accordance with progress of the coating.
제8항에 있어서,
상기 센서 보드는 패널 형상으로 그 상단이 상기 슬릿 노즐의 측면에 고정되면서 상기 기판에 대해 수직하게 배치되는 것을 특징으로 하는 이물질 감지장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the sensor board has a panel shape and an upper end thereof is fixed to a side surface of the slit nozzle and is disposed perpendicularly to the substrate.
제8항에 있어서,
상기 센서는 상기 센서 보드에 발생하는 응력을 감지함으로써 충돌을 감지하는 스트레인 게이지(Strain Guage)인 것을 특징으로 하는 이물질 감지장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the sensor is a strain gauge that detects a collision by sensing a stress generated on the sensor board.
제10항에 있어서,
상기 센서 보드는 상기 이물질과의 충돌에 따른 응력 발생이 용이하게 발생하도록 5mm 이하의 두께로 마련되는 것을 특징으로 하는 이물질 감지장치.
11. The method of claim 10,
Wherein the sensor board is formed to a thickness of 5 mm or less so as to easily generate stress due to a collision with the foreign matter.
제8항에 있어서,
상기 센서 보드의 하단부와 기판 사이의 간격은 상기 슬릿 노즐과 기판 사이의 코팅 간격(Coating Gap)보다 작거나 같게 유지되는 것을 특징으로 하는 이물질 감지장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the gap between the lower end of the sensor board and the substrate is kept smaller than or equal to a coating gap between the slit nozzle and the substrate.
슬릿 코터의 기판 상부 또는 하부에 존재하는 이물질을 검출하기 위한 이물질 감지 방법으로서,
상기 슬릿 노즐로부터 이격되어 상기 슬릿 노즐과 평행하게 배치된 센서 보드가 코팅진행에 따라 상기 슬릿 노즐에 앞서서 이물질과 부딪히는 단계;
상기 센서 보드 상에 배치된 센서가 상기 센서 보드와 이물질 사이의 충돌을 감지하는 단계; 및
제어모듈이 상기 센서 감지에 따라 코팅의 진행을 중지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 감지방법.
A foreign substance sensing method for detecting a foreign substance existing on an upper portion or a lower portion of a substrate of a slit coater,
A sensor board spaced apart from the slit nozzle and disposed in parallel with the slit nozzle, the foreign matter striking the slit nozzle ahead of the slit nozzle as the coating progresses;
Sensing a collision between the sensor board and a foreign object disposed on the sensor board; And
And the control module stops the progress of the coating in accordance with the sensing of the sensor.
제13항에 있어서,
상기 충돌을 감지하는 단계는, 상기 센서가 상기 센서 보드에 발생하는 응력을 감지함으로써 충돌을 감지하는 것을 특징으로 하는 이물질 감지방법.
14. The method of claim 13,
Wherein the sensing of the collision includes detecting a collision by sensing stress generated on the sensor board by the sensor.
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