KR101694469B1 - A Board Loading and Transport Device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 (회로)기판을 운송하고 이를 하나씩 공정 내로 이송시키는데 사용되는 기판 적재운송기에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기를 통해 이루어질 수 있게 하여 옮기는 과정에서의 긁힘과 찍힘 등과 같은 불량을 방지할 수 있으며, 또한 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 공정과정에서도 기판의 긁힘이나 찍힘 등의 손상을 최소화하는 기판 적재운송기에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate loading carrier used to transport a substrate (circuit) and transfer it one by one into a process, more particularly, to a substrate loading carrier, The present invention also relates to a substrate loading carrier that minimizes damage such as scratches or peeling of a substrate even during a process of loading or unloading the substrate.

Description

기판 적재운송기{A Board Loading and Transport Device}[0001] The present invention relates to a board loading /

본 발명은 (회로)기판을 운송하고 이를 하나씩 공정 내로 이송시키는데 사용되는 기판 적재운송기에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기를 통해 이루어질 수 있게 하여 옮기는 과정에서의 긁힘과 찍힘 등과 같은 불량을 방지할 수 있으며, 또한 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 공정과정에서도 기판의 긁힘이나 찍힘 등의 손상을 최소화하는 기판 적재운송기에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate loading carrier used to transport a substrate (circuit) and transfer it one by one into a process, more particularly, to a substrate loading carrier, The present invention also relates to a substrate loading carrier that minimizes damage such as scratches or sticking of a substrate even in a process of loading or unloading the substrate.

기판, 일반적으로는 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)은 기판 자체를 공장에서 생산한 이후, 이를 각각의 사용 용도에 맞도록 처리공정을 거치게 되는데, 이때 제작된 기판을 각각의 공정 단계에 공급하기 위해 기판을 적재, 운송하는 과정을 거치게 되는데, 이때 적용되는 방식은, 수십 또는 수백 장의 기판을 운송 전용으로 제작된 대차에 쌓아 운송한 후, 이를 다시 'L랙'이라고 부르는 L자형 적재부에 적재하여 바퀴가 달린 대차에 싣고 처리과정이 이루어지는 라인의 이송시스템까지 운송하는 방식을 사용하게 된다. In general, PCBs (Printed Circuit Boards) are processed in the factory after they are manufactured in the factory. Then, the processed substrates are supplied to the respective process steps In this case, several hundreds or hundreds of substrates are stacked on a truck made for transportation and then transported to an L-shaped loading section called "L rack". The truck is loaded on a wheeled vehicle and transported to a transfer system on the line where the process is carried out.

그러나, 이와 같은 종래의 방식은, 공장에서 차량의 운송용 대차에 기판을 적재하여 운송하는 과정, 기판을 L랙으로 옮기거나 보관용 대차로 옮기는 과정, L랙에 옮겨진 상태에서 이송시스템까지 이동하고 기계에 로딩시키는 과정 등 여러 단계의 복잡한 적재/운송 과정을 거쳐야 하므로 적재 및 운송 과정에서만 많은 작업시간과 비용이 소요됨은 물론, 스크래치나 긁힘, 찍힘 등으로 인한 기판 불량이 다량 발생되는 문제를 안게 된다. However, such a conventional method involves a process in which a substrate is loaded on a truck for transporting a vehicle at a factory, a substrate is moved to an L rack or a bogie for storage, a process in which the substrate is transferred from the rack to a transfer system, It is necessary to carry out a complicated loading / transporting process such as a loading process and a loading process on the substrate. Therefore, it takes a lot of work time and expense only in the loading and transportation process, and there is a problem that a large number of substrate defects are caused due to scratches, scratches,

(특허 문헌)(Patent Literature)

등록실용신안공보 제20-0200838호(2000. 10. 16. 공고) "기판의 자동 로딩장치" Registered utility model publication No. 20-0200838 (October 20, 2000) "Automatic loading device for substrate"

상기 (특허 문헌)에 개시된 종래기술의 경우에도, 도 1에 도시된 바와 같이 기판(2)을 별도의 L자형 랙(3)에 따로 적재하여 대차(6)를 통해 운송하는 방식으로, L자형 랙(3)에의 적재 및 운송과정이 복잡함은 물론 이송시스템의 랙 이송용 로울러(4)에 다시 대차(6)로부터 L자형 랙(3)을 옮겨야 하는 번거로움은 그대로 나타나고 있는바, 이와 같은 수작업으로 옮기는 과정에서 기스나 스크래치로 인한 기판 불량이 다량 발생하게 된다. 특히, 상기 (특허 문헌)에 개시된 종래기술의 경우, 도 2에 도시된 바와 같이 L자형 랙(3)에 적재된 기판(2)을 하나씩 기판 이송용 로울러(5)로 옮기는 과정은 도그(10)의 대략 90도 정도의 회전 왕복운동에 의해 이루어지고 있는데, 이와 같은 종래의 방식에서는 로딩과정에서 기판(2)이 기판 이송용 로울러(5)를 통해 완전히 도그(10)에서 벗어나 이후에야 비로소 다시 도그(10)는 랙(3)을 향해 회전을 할 수 있기 때문에, 그만큼 도그(10)의 왕복 회전운동의 간격이 커질 수밖에 없고 이로 인해 기판의 로딩(또는 언로딩) 작업시간이 지체되게 되는 구조적 문제를 안게 된다. In the case of the conventional technique disclosed in the above patent document, as shown in Fig. 1, the substrate 2 is separately loaded in a separate L-shaped rack 3 and is transported through the bogie 6, The process of loading and transporting the rack 3 into the rack 3 is complicated and the troubles of transferring the L-shaped rack 3 from the rack 6 to the rack transfer rollers 4 of the transfer system are intact. A large amount of substrate defects due to scratches or scratches are generated. 2, the process of transferring the substrates 2 stacked in the L-shaped rack 3 one by one to the substrate transferring rollers 5 is performed by the dog 10 (see FIG. 2) ). In this conventional method, the substrate 2 is completely removed from the dog 10 through the substrate transferring rollers 5, Since the dog 10 is able to rotate toward the rack 3, the interval of the reciprocating rotational motion of the dog 10 must be increased correspondingly, and the time for loading (or unloading) the substrate is delayed. I have a problem.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems,

본 발명의 목적은 종래 기판의 운송을 위해 기판을 적재하는 L랙과 적재된 L랙을 탑재하여 이동시키는 대차가 각각 별개로 운용되어 적재와 운송이 번거로웠던 문제점을 개선하여, 기판을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기를 통해 이루어질 수 있게 되므로 기존 수작업으로 대차에서 L랙으로 옮기는 과정에서 기스나 찍힘 등으로 발생하는 기판 불량 문제를 해결할 수 있음은 물론, 물류공정을 단축시킬 수 있는 기판 적재운송기를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the problem that the L rack for loading a substrate and the L rack for loading and transporting a loaded L rack are separately operated for transportation of the substrate, It is possible to solve the problem of the substrate failure caused by the transfer of the substrate from the bogie to the L rack by the manual operation, And a substrate loading carrier capable of shortening the process.

본 발명의 다른 목적은 기판의 운송과정에서 기판을 견고하게 고정시킬 수 있는 구조를 갖는 기판 적재운송기를 제공하는 것이다. It is another object of the present invention to provide a substrate loading carrier having a structure capable of firmly fixing a substrate during transportation of the substrate.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 기판 적재운송기는 다음과 같은 구성을 포함한다. The above and other objects, features, aspects and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description when read in conjunction with the accompanying drawings.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재운송기는 기판이 적재되는 적재부; 및 기판이 적재된 상기 적재부를 이동시키는 이동부;를 포함하여, 상기 적재부에 기판을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기를 통해 이루어질 수 있게 되므로 기존 수작업으로 대차에서 L랙으로 옮기는 반복 과정에서 발생하는 기판의 기스나 찍힘 등으로 인한 손상을 최소화하고, 물류공정을 단축시키는 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate loading carrier including: a loading unit on which a substrate is loaded; And a moving part for moving the loading part on which the substrate is loaded. Since movement from the loading part to the transportation and transportation system can be performed through the single substrate loading carrier in a state that the substrate is loaded on the loading part, To minimize the damage caused by substrate gushing or dropping occurring in the repetitive process of transferring from the L-rack to the L-rack, and shortening the logistics process.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 적재운송기에 있어서 상기 적재부는 적재되는 기판의 배면과 접촉하는 배면접촉부와, 적재되는 기판의 밑면과 접촉하는 밑면접촉부를 포함하며, 상기 배면접촉부는 기판이 배면접촉부쪽으로 쏠리도록 기울어져 형성되고 상기 밑면접촉부 역시 전면에서 후면으로 갈수록 기울어지게 형성되는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate loading carrier according to the present invention, the loading section includes a bottom contact portion contacting the back surface of the substrate to be loaded and a bottom surface contacting portion contacting the bottom surface of the substrate to be loaded, Is formed such that the substrate is tilted toward the back contact portion and the bottom contact portion is inclined from the front to the back.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 적재운송기에 있어서 상기 적재부는 일정 간격으로 상기 밑면접촉부의 전면에서 후면까지 연장되어 관통형성되는 슬릿부와, 상기 슬릿부 사이에 위치하는 중간접촉부를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate loading conveyor according to the present invention, the stacking portion includes a slit portion extending from a front surface to a rear surface of the bottom surface contacting portion at predetermined intervals and formed to pass through the slit portion, And a contact portion.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 적재운송기에 있어서 상기 이동부는 기판 적재운송기의 운송과정에서 전후로 배열되는 기판 적재운송기끼리의 결합고정을 위해 전면에 형성되는 돌부와, 후면에 형성되는 홈부를 포함하여, 앞쪽에 위치한 기판 적재운송기의 홈부에 뒤쪽에 위치한 기판 적재운송기의 돌부가 삽입되어 결합고정되는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate loading carrier according to the present invention, the moving unit includes a protrusion formed on the front surface of the substrate loading carrier for fixing the substrate loading carriers arranged back and forth in the transportation process of the substrate loading carrier, And the protruding portion of the substrate loading conveyor located at the rear side of the substrate loading conveyor is positioned and coupled to the groove portion of the substrate loading conveyor located at the front side.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 적재운송기에 있어서 상기 이동부는 기판 적재운송기의 운송과정에서 적재된 기판을 묶는 로프가 걸려 고정되는 밴딩부을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate loading conveyor according to the present invention, the moving unit further includes a bending portion to which a rope for binding the substrate loaded in the transportation process of the substrate loading carrier is fixed by hanging.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 적재운송기에 있어서 상기 이동부는 기판 적재운송기가 이송시스템에 위치된 상태에서 이동부의 이동을 방지하고 견고하게 고정시킬 수 있도록 이송시스템의 고정수단이 체결결합되는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate loading conveyor according to the present invention, the moving unit is provided with fixing means for fixing the conveying system so as to prevent movement of the moving unit and firmly fix the moving unit, And a fixing portion that is fastened and coupled.

본 발명은 앞서 본 실시예와 하기에 설명할 구성과 결합, 사용관계에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. The present invention can obtain the following effects by the above-described embodiment, the constitution described below, the combination, and the use relationship.

본 발명은 종래 기판의 운송을 위해 기판을 적재하는 L랙과 적재된 L랙을 탑재하여 이동시키는 대차가 각각 별개로 운용되어 적재와 운송이 번거로웠던 문제점을 개선하여, 기판을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기를 통해 이루어질 수 있게 되므로 기존 수작업으로 대차에서 L랙으로 옮기는 과정에서 기스나 찍힘 등으로 발생하는 기판 불량 문제를 해결할 수 있음은 물론, 물류공정을 단축시킬 수 있는 효과를 갖는다. The present invention improves the problem that the L rack for loading the substrate and the L rack for loading and moving the loaded L rack are separately operated for the transportation of the substrate and the troublesome loading and transportation are carried out. Since the transportation to the transportation and transportation system can be performed through a single board carrying truck, it is possible to solve the problem of the substrate failure caused by the gas or the shooting in the process of moving from the truck to the L rack by the conventional manual operation, It is possible to shorten the length of time.

본 발명은 기판의 운송과정에서 기판을 견고하게 고정시킬 수 있는 효과를 갖는다. The present invention has the effect of firmly fixing the substrate in the transportation of the substrate.

도 1은 종래 대차와 L랙을 도시한 참고도
도 2는 종래 L랙을 이용한 이송시스템의 구조도
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재운송기의 측면도
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재운송기의 평면도
도 5는 운송과정에서 기판 적재운송기가 연결된 상태를 도시한 참고도
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송시스템의 측면도
도 7은 도 6에 사용되는 로딩/언로딩부의 측면도
도 8은 로딩/언로딩부의 평면도
도 9는 도 7의 회전이동부의 상세도
도 10은 도 7의 회전이동부의 다른 예를 도시한 상세도
도 11은 도 6에 사용되는 이송롤러의 평면도
도 12는 로딩 과정에서 기판이 회전이동부로 이동하는 상태를 도시한 참고도
도 13은 로딩 과정에서 기판이 이송롤러로 로딩된 상태를 도시한 참고도
도 14는 로딩 과정에서 기판이 이송롤러에 로딩된 직후 회전이동부가 이동하는 상태를 도시한 참고도
도 15는 언로딩 과정에서 이송롤러로 이송된 기판을 언로딩하기 위해 회전이동부가 이동하는 상태를 도시한 참고도
도 16은 언로딩 과정에서 기판이 회전이동부에서 적재부로 이동하는 상태를 도시한 참고도
도 17은 적재운송기 가이드부를 도시한 참고도
도 18은 버퍼가 이동하여 버퍼에 기판이 적재되는 상태를 도시한 참고도
도 19는 버퍼에 적재된 기판이 적재부로 이동하는 상태를 도시한 참고도
도 20은 이매(2매)감지유닛을 도시한 상세도
도 21은 회전이동부의 측면에서의 세부 구성을 도시한 상세도
도 22는 회전이동부의 정면에서의 세부 구성을 도시한 상세도
도 23은 로딩 또는 언로딩 작업의 반복에 따라 적재부에 기판이 흐트러진 상태를 도시한 참고도
도 24는 회전이동부위치제어모듈의 제어하에 회전이동부가 후진 후 회동하는 상태를 도시한 참고도
도 25는 회전이동부가 들어 올려진 후 다시 내려와 2매 이상의 기판 여부를 확인하는 과정을 도시한 참고도
도 26은 기판정렬부가 적재부 기판을 정렬하는 상태를 도시한 참고도1 is a view showing a conventional truck and an L rack,
2 is a structural diagram of a conveying system using a conventional L rack
3 is a side view of a substrate loading carrier according to an embodiment of the present invention;
4 is a plan view of a substrate loading and conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing a state in which a substrate loading carrier is connected in a transportation process;
Figure 6 is a side view of a substrate transfer system according to an embodiment of the present invention.
Fig. 7 is a side view of the loading / unloading portion used in Fig.
8 is a plan view of the loading /
Fig. 9 is a detailed view of the rotating part of Fig. 7
Fig. 10 is a detailed view showing another example of the rotating portion of Fig. 7
Fig. 11 is a plan view of the conveying roller used in Fig. 6
12 is a view showing a state in which the substrate is moved to the rotating portion during the loading process;
13 is a reference view showing a state in which the substrate is loaded onto the transport roller in the loading process
Fig. 14 is a reference view showing a state in which the rotating portion moves after the substrate is loaded on the transporting roller in the loading process
15 is a view showing a state in which the rotary moving part is moved to unload the substrate conveyed to the conveying roller in the unloading process
16 is a view showing a state in which the substrate is moved from the rotating portion to the loading portion in the unloading process;
Fig. 17 is a view showing a loading carrier guide portion
18 is a reference diagram showing a state in which a buffer is moved and a substrate is loaded on a buffer
19 is a view showing a state in which the substrate loaded in the buffer moves to the loading section;
FIG. 20 is a detailed view showing the double sheet detecting unit
21 is a detailed view showing a detailed configuration on the side of the rotating portion
22 is a detailed view showing a detailed configuration on the front face of the rotating portion
23 is a reference view showing a state in which the substrate is disturbed in the loading section according to the repetition of the loading or unloading operation
24 is a reference view showing a state in which the rotating portion moves backward under the control of the rotational movement position control module
25 is a view showing a process of ascertaining whether two or more substrates are coming down after the rotating portion is lifted.
26 is a reference view showing a state in which the substrate aligning section aligns the stacking section substrate

이하에서는 본 발명에 따른 기판 적재운송기(및 추가로 이를 포함하는 이송시스템)의 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하도록 한다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a substrate loading carrier (and a transfer system including the same) according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. Throughout the specification, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements, rather than excluding other elements, unless specifically stated otherwise.

인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)은 기판 자체를 공장에서 생산한 이후, 이를 각각의 사용 용도에 맞도록 처리공정을 거치게 되는데, 이때 제작된 기판을 각각의 공정 단계에 공급하기 위해 기판을 적재, 운송하는 과정을 거치게 되는데, 본 발명은 이에 사용되는 기판 적재운송기 및 이를 포함하는 이송시스템에 관한 것이다. A printed circuit board (PCB) is produced in a factory, and then processed in accordance with the intended use. At this time, a substrate is loaded to supply the manufactured substrate to each process step. The present invention relates to a substrate loading carrier used therefor and a transfer system including the same.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재운송기(30)는 기판(80)이 적재되는 적재부(310); 및 기판(80)이 적재된 상기 적재부(310)를 이동시키는 이동부(320);를 포함하여, 상기 적재부(310)에 기판(80)을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기(30)를 통해 이루어질 수 있게 되므로 물류공정을 단축시키는 것을 특징으로 한다. 3 to 5, a substrate loading carrier 30 according to an embodiment of the present invention includes a loading unit 310 on which a substrate 80 is loaded; And a moving part 320 for moving the loading part 310 on which the substrate 80 is loaded so that the moving part 320 moves to the transportation and transfer system in a state that the substrate 80 is loaded on the loading part 310. [ Can be performed through the single substrate loading carrier (30), thereby shortening the logistics process.

앞서, 종래기술의 문제점으로 언급한 바와 같이, 도 1을 참조하면, 수십 장의 기판을 별도의 운송용 대차에 따로 적재하여 운송하다가, 운송 후 기판을 'L랙(3)'이라고 부르는 L자형 적재부에 옮기거나 또는 별도의 보관용 대차로 옮기게 되고, 다시 L랙(3)을 이송시스템에 로딩하여 사용하는 과정을 반복하는 종래의 방식은, 공장에서 운송, 그리고 다시 L랙(3)에 기판을 옮겨 적재하는 과정, L랙(3)을 처리과정이 이루어지는 이송시스템으로 옮겨 시스템에 위치시키는 과정(일 예로, L랙(3)을 대차(6)에 결합하거나 옮겨놓는 과정(도 2 참조)) 등 여러 단계의 복잡한 적재/운송 과정을 거쳐야 하므로 적재 및 운송 과정에서만 많은 작업시간과 비용이 소요되는 문제를 안게 된다. As mentioned above, referring to FIG. 1, several tens of substrates are separately loaded on a separate transportation bogie, and then the L-shaped stacking unit, which is referred to as an 'L rack (3) The conventional method of repeating the process of loading the L rack 3 into the transport system and repeating the use of the L rack 3 is carried out at the factory and then transferred to the L rack 3 again The process of transferring the L rack 3 to the transfer system in which the processing is performed and placing the L rack 3 in the system (for example, the process of coupling or transferring the L rack 3 to the bogie 6 (see FIG. 2) And so on. Therefore, it takes a lot of work time and money only in the loading and transportation process.

이러한 문제를 근본적으로 해결할 수 있도록, 본 발명에 따른 기판 적재운송기(30)는 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(80)이 정렬,적재되는 적재부(310)와 기판(80)이 적재된 상기 적재부(310)를 목적하는 장소로 이동시키는 이동부(320)가 일체로 형성된 기판 적재운송기(30)를 통해, 공장에서의 기판 적재 및 출하에서부터 하나의 기판 적재운송기(30)를 통해 적재에서부터 운송까지 이루어지고 더욱이 기판의 처리과정이 이루어지는 이송시스템에까지 이동부(320)가 포함된 하나의 기판 적재운송기(30)를 이용하여 기판을 이동시킬 수 있게 됨으로써 물류공정을 단축시킬 수 있게 된다. 즉, 종래와 같이 운송용 대차에서 L랙으로 옮기고 이를 다시 대차에 올려 결합시키고 마지막에는 이송시스템으로 여러 차례 다시 L랙을 옮기는 복잡한 과정을 생략하고, 처음부터 마지막까지 하나의 기판 적재운송기(30)를 통해 일련의 적재 및 운송과정이 이루어지므로 적재 및 운송에 소요되던 시간과 비용(노동력)을 획기적으로 절감시키게 된다. 3, the substrate loading conveyer 30 according to the present invention includes a loading portion 310 on which the substrate 80 is aligned and loaded, and a loading portion 310 on which the substrate 80 is loaded Through the substrate loading conveyor 30 integrally formed with the moving unit 320 for moving the loading unit 310 to a desired place, the loading and unloading operations can be carried out through the single substrate loading carrier 30 The substrate can be moved by using one substrate loading carrier 30 including the moving unit 320 up to the transfer system where the substrate processing process is performed from the transferring process to the transferring process. In other words, a complicated process of transferring the L rack from the transport truck to the L rack, combining it with the truck again, and finally transferring the L rack again and again to the transport system is omitted, and one substrate loading carrier 30 A series of loading and shipping processes are carried out, which dramatically reduces the time and cost (labor) required for loading and transportation.

한편, 상기 적재부(310)는 적재되는 기판(80)의 배면과 접촉하는 배면접촉부(311)와, 적재되는 기판(80)의 밑면과 접촉하는 밑면접촉부(312)와, 일정 간격으로 상기 밑면접촉부(312)의 전면에서 후면까지 연장되어 관통형성되는 슬릿부(313)와, 상기 슬릿부(313) 사이에 위치하는 중간접촉부(314)를 포함할 수 있다. The loading unit 310 includes a bottom contact portion 311 contacting the backside of the substrate 80 to be loaded, a bottom contact portion 312 contacting the bottom side of the loaded substrate 80, A slit portion 313 extending from the front surface to the rear surface of the contact portion 312 so as to pass therethrough and an intermediate contact portion 314 positioned between the slit portion 313.

이때, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 배면접촉부(311)는 적재되는 기판(80)이 배면접촉부(311)쪽으로 쏠리도록 기울어져 형성되고, 아울러 상기 밑면접촉부(312) 역시 전면(바깥쪽)에서 후면(안쪽)으로 갈수록 기울어지게 형성됨으로써, 운송과정에서도 기판(80)이 안정적으로 적재될 수 있게 함은 물론(또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 적재된 기판(80)이 경사짐으로 인해 전후로 배열된 기판 적재운송기(30) 사이에 형성된 공간에 별도의 보호부재(326)를 가로질러 배치할 수도 있게 된다. 이때, 보호부재(326)의 배치를 위해 도 5에 도시된 바와 같이 별도의 받침대나 턱이 형성될 수 있다), 후술할 회전이동부(410)를 이용한 로딩 또는 언로딩 과정에서도 흡착부(415)를 이용해 기판(80)을 한 장씩 흡착하여 옮기는데에도 유리하게 된다. 한편, 적재된 기판(80)이 경사짐으로 인해 안정적으로 적재될 수 있으나, 혹시 경사진 부분을 이동함에 있어 기판 적재운송기(30)가 뒤로 쏠려 넘어지는 것을 방지하기 위한 추가적 구성으로, 도 3 등에 도시된 바와 같이, 전복방지보조바퀴(327)를 추가로 포함할 수 있는데, 이는 기판 적재운송기(30)의 배면측에서 이동을 위한 기존 바퀴보다 약간 지면에서 뜨도록 위치하여, 평상시에는 지면과 닿지 않다가 경사진 부분을 오르거나 또는 기판 적재운송기(30)가 뒤로 넘어가려고 하는 경우에 지면과 닿아 기판 적재운송기(30)가 안정적으로 경사진 부분을 오르게 하거나 또는 전복되는 것을 방지하게 된다. 3, the bottom surface contact portion 311 is inclined so that the mounted substrate 80 is tilted toward the back surface contact portion 311, and the bottom surface contact portion 312 is also formed on the front surface (outside surface) The substrate 80 can be stably stacked in the course of transportation (or, as shown in FIG. 5, the loaded substrate 80 can be inclined as shown in FIG. 5) It is also possible to arrange a separate protective member 326 in a space formed between the front and rear arranged substrate loading carriers 30. In order to arrange the protective member 326, It is also advantageous to adsorb and transfer the substrate 80 one by one using the adsorption unit 415 even in a process of loading or unloading using the rotation unit 410 to be described later. In addition, although the loaded substrate 80 can be stably loaded due to inclination, it is possible to prevent the substrate loading carrier 30 from being tilted backward when the inclined portion is moved, As shown, it may further include a rollover protection wheel 327, which is positioned to float on a slightly smaller surface than the existing wheel for movement on the back side of the substrate loading carrier 30, Or when the substrate loading carrier 30 tries to move backward, the substrate loading carrier 30 prevents the substrate loading carrier 30 from climbing steeply or overturning.

또한, 후술할 바와 같이, 로딩 또는 언로딩 과정에서 작동하는 회전이동부(410)의 밑면지지부(411)나 전면지지부(412)의 구성 등이 회전이동 과정에서 상기 적재부(310)와 간섭되지 않고 원활하게 이동할 수 있게 하기 위해, 일정 간격으로 상기 밑면접촉부(312)의 전면에서 후면까지 연장되어 관통형성되는 슬릿부(313)를 포함하는데, 그 작용과정에 대해서는 후술하도록 한다. 또한, 상기 슬릿부(313) 사이에는 별도의 중간접촉부(314)가 위치할 수 있는데, 이는 상대적으로 작은 크기의 기판(80)인 경우 상기 슬릿부(313)보다 작게 되면 적재부(310)에 적재시 문제될 수 있으므로 이를 방지하기 위해 작은 크기의 기판(80)을 적재할 수 있도록 형성되는 구성이다. As described later, the bottom support portion 411 or the front support portion 412 of the rotary movement portion 410, which operates in the loading or unloading process, does not interfere with the loading portion 310 during the rotation movement And a slit portion 313 extending from the front surface to the rear surface of the bottom surface contact portion 312 at regular intervals to allow smooth movement of the slit portion 313. The operation of the slit portion 313 will be described later. A separate intermediate contact portion 314 may be disposed between the slit portions 313. This is because when the substrate 80 is relatively small in size, when the slit portion 313 becomes smaller than the slit portion 313, It is possible to load a substrate 80 having a small size in order to prevent such a problem.

한편, 상기 이동부(320)는 기판 적재운송기(30)의 운송과정에서 도 5에 도시된 바와 같이, 전후로 배열되는 기판 적재운송기(30)끼리의 결합고정을 위해, 기판 적재운송기(30)의 전면(전방)에 형성되는 돌부(321)와, 그와 대향되는 후면(후방)에 형성되는 홈부(322)를 포함하여, 기판 적재운송기(30)들의 전후로 배열시 앞쪽에 위치한 기판 적재운송기(30)의 홈부(322)에 뒤쪽에 위치한 기판 적재운송기(30)의 돌부(321)가 삽입되어 기판 적재운송기(30)들간 결합고정되는 특징을 갖게 된다. 5, during the transportation of the substrate loading conveyor 30, the moving unit 320 may be configured to move the substrate loading conveyors 30 in the forward and backward directions, The substrate loading conveyor 30 includes a protruding portion 321 formed on a front side (front side) and a groove portion 322 formed on a rear side (rear side) The protrusions 321 of the substrate loading conveyor 30 positioned at the rear side of the groove portions 322 of the substrate loading conveyors 30 are inserted and fixed between the substrate loading conveyors 30.

또한, 상기 이동부(320)는 기판 적재운송기(30)의 운송과정에서 적재된 기판(80)을 묶는 로프(324)가 걸려 고정되는 밴딩부(323)을 추가로 포함함으로써, 기판(80)을 묶는 로프(324)가 운송 과정에서 위치를 이탈하는 등의 경우를 방지할 수 있으며, 추가적으로 기판 적재운송기(30)가 이송시스템에 위치된 상태에서 이동부(320)의 이동을 방지하고 견고하게 고정될 수 있도록 후술할 이송시스템의 고정수단(730)이 체결결합되는 부위인 고정부(325)를 포함함으로써, 기판 적재운송기(30)이 이송시스템 내에 견고히 고정된 상태에서 기판(80)의 로딩 또는 언로딩 과정이 수행될 수 있도록 한다. 이때, 추가적으로 도 6 및 17에 도시된 바와 같이, 상기 이동부(320)에는 정위치돌부(328)가, 후술할 적재운송기 가이드부(70)에는 정위치홈부(740)가 형성되어, 기판 적재운송기(30)가 이송시스템에 위치하는 과정에서 상기 정위치돌부(328)가 정위치홈부(740)에 정확히 끼워지는 원리는 통해 기판 적재운송기(30)를 정확한 위치에 위치시킬 수 있게 함은 물론, 기판 적재운송기(30)의 정위치과정에서 충격이 이송시스템에 전달되는 것을 상기 정위치홈부(740)를 통해 완충시킬 수 있게 할 수 있다. The moving part 320 may further include a bending part 323 to which the rope 324 that binds the loaded substrate 80 is hooked and fixed during the transportation of the substrate loading carrier 30, It is possible to prevent the moving of the moving part 320 in the state where the substrate loading carrier 30 is placed in the transfer system and to securely move the moving part 320 in a stable state The substrate loading conveyor 30 is fixed in the conveying system so that the loading of the substrate 80 can be performed in a state in which the substrate loading conveyor 30 is firmly fixed in the conveying system by including the fixing portion 325 which is a portion where the fixing means 730 of the conveying system, Or the unloading process can be performed. 6 and 17, the moving part 320 is provided with the right positioning part 328 and the loading carrier guide part 70 to be described later is formed with the right positioning groove part 740, The principle that the correct positioning portion 328 is accurately fitted into the right groove portion 740 in the process of positioning the transporting device 30 in the transporting system allows the substrate loading carrier 30 to be positioned at an accurate position , It is possible to buffer the impact of the impact to the transfer system during the correct positioning of the substrate loading conveyor 30 through the predetermined position groove 740.

한편, 도 6 내지 도 26을 참조하면, 앞서 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재운송기(30)를 포함하는(가 적용되는) 기판 이송시스템은, 기판(80)이 적재되는 적재부(310) 및 기판(80)이 적재된 상기 적재부(310)를 이동시키는 이동부(320)를 포함하는 기판 적재운송기(30); 상기 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)에 적재된 기판(80)을 하나씩 이송롤러(50)에 로딩(loading)시키거나 또는 이송롤러(50)로부터 이송되어 오는 기판(80)을 하나씩 상기 적재부(310)에 언로딩(unloading)시키는 로딩/언로딩부(40); 상기 로딩/언로딩부(40)를 통해 로딩된 기판(80)을 기판공정 자동화라인으로 이송시키거나 또는 기판공정 자동화라인으로부터 기판(80)을 언로딩시키기 위해 상기 로딩/언로딩부(40)로 이송시키는 이송롤러(50); 상기 로딩/언로딩부(40)와 이송롤러(50)의 동작을 제어하는 제어부(60); 및 상기 로딩/언로딩부(40) 앞에 상기 기판 적재운송기(30)가 정확히 위치될 수 있도록 가이드하는 적재운송기 가이드부(70);를 포함할 수 있다. 상기 기판 적재운송기(30)는 앞서 설명한 것과 동일한 구성이므로, 이하에서는 구체적 설명은 생략토록 한다. 6 to 26, a substrate transfer system (to which the substrate transfer carrier 30 according to the embodiment of the present invention is applied) includes a loading unit 310) and a moving part (320) for moving the loading part (310) on which the substrate (80) is loaded. The substrate 80 loaded on the stacking unit 310 of the substrate stacking carrier 30 is loaded one by one on the transporting rollers 50 or the substrate 80 transported from the transporting rollers 50 is transported one by one A loading / unloading unit 40 for unloading the loading unit 310; Unloading unit 40 to transfer the loaded substrate 80 through the loading / unloading unit 40 to the substrate process automation line or to unload the substrate 80 from the substrate process automation line. A conveying roller (50) A control unit 60 for controlling the operation of the loading / unloading unit 40 and the conveying roller 50; And a loading carrier guiding part 70 for guiding the substrate loading carrier 30 to be accurately positioned before the loading / unloading part 40. [ The substrate loading / unloading carrier 30 has the same configuration as that described above, so that a detailed description thereof will be omitted.

먼저, 상기 기판 적재운송기(30)를 이송시스템 내에 위치시킬 수 있도록 가이드 및 고정하는 상기 적재운송기 가이드부(70)는, 도 17을 참조하면, 상기 로딩/언로딩부(40)가 정상 작동상태가 아니거나 또는 진입하는 기판 적재운송기(30)와 로딩/언로딩부(40) 간 충돌 위험이 있는 경우 상기 기판 적재운송기(30)의 진입을 차단하는 진입차단기(710)와, 진입하는 기판 적재운송기(30)의 측면과의 마찰을 최소화하는 마찰저감부(720)와, 정위치된 기판 적재운송기(30)의 고정을 위해 상기 기판 적재운송기(30)의 고정부(325)에 체결 결합되는 고정수단(730)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 17, the loading / unloading unit 40, which guides and fixes the substrate loading / unloading carrier 30 to be positioned in the transfer system, An entry breaker 710 that blocks entry of the substrate loading carrier 30 when there is a risk of collision between the substrate loading carrier 30 and the loading / unloading unit 40, A friction reducing portion 720 for minimizing the friction with the side surface of the conveyor 30 and a fastening portion 325 fastened to the fixing portion 325 of the substrate loading conveyor 30 for fastening the positioned substrate loading conveyor 30 And may include fastening means 730.

상기 진입차단기(710)는 기판 적재운송기(30)를 이송시스템 내에 위치시키기 위해 진입하는 과정에서 상기 로딩/언로딩부(40)가 정상 작동상태가 아니거나 또는 진입하는 기판 적재운송기(30)와 로딩/언로딩부(40) 간 충돌 위험이 있는 경우 상기 기판 적재운송기(30)의 진입을 차단할 수 있도록 적재운송기 가이드부(70) 상에 형성되는 구성으로, 기판 적재운송기(30)의 진입을 차단해야 하는 경우 (상기 제어부(60)의 제어 하에)적재운송기 가이드부(70)의 공간 내로 돌출되어 기판 적재운송기(30)의 이동부(320)가 더 이상 적재운송기 가이드부(70) 내부 공간으로 진입하지 못하도록 한다. The entry breaker 710 is connected to the substrate loading carrier 30 where the loading / unloading unit 40 is not in the normal operation state or enters the substrate loading carrier 30 in the process of entering the substrate loading carrier 30 in the transfer system The loading and unloading unit 40 is formed on the loading carrier guide unit 70 so as to block entry of the substrate loading carrier 30 when there is a risk of collision between the loading / The moving part 320 of the board loading and unloading carrier 30 is no longer projected into the space of the loading carrier guiding part 70 .

상기 마찰저감부(720)는 진입하는 기판 적재운송기(30)의 측면과의 마찰을 최소화하는 구성으로, 일 예로 도 17에 도시된 바와 같은 볼베어링 등이 적용될 수 있으며, 다른 예로는 회전롤러 등도 활용될 수 있다. The friction reducing portion 720 is configured to minimize friction with the side surface of the board loading conveyor 30 that is approaching. For example, a ball bearing or the like as shown in FIG. 17 may be applied. .

상기 고정수단(730)은 이송시스템 내 정위치된 기판 적재운송기(30)의 고정을 위해 상기 기판 적재운송기(30)의 고정부(325)에 체결 결합되는 구성으로, 일 예로 상기 고정부(325)가 환봉 등으로 형성되는 경우 그에 따라 상기 고정수단(730)은 환봉에 체결되는 클램프 등이 활용될 수 있다. 또한, 진입하는 기판 적재운송기(30)가 정위치에 위치하는 것을 감지하는 센서수단 등이 정위치 감지신호를 보냄에 따라 해당 신호에 맞게 상기 제어부(60)가 상기 고정수단(730)을 동작시킬 수 있다. The fixing means 730 is fastened to the fixing portion 325 of the substrate loading carrier 30 for fixing the substrate loading carrier 30 positioned in the transfer system, The fixing means 730 may be a clamp or the like fastened to the round bar. In addition, as the sensor means for sensing that the board loading carrier 30 is positioned in the correct position, the controller 60 operates the fixing means 730 in accordance with the signal. .

한편, 본 발명에서 상기 적재운송기 가이드부(70)는 상기 기판 적재운송기(30)와 적재운송기 가이드부(70) 간의 충돌시 그 충격이 상기 로딩/언로딩부(40) 내지 이송롤러(50)로 전달되는 것을 방지할 수 있도록, 적재운송기 가이드부(70)를 상기 로딩/언로딩부(40) 및 이송롤러(50)가 장착되는 본체프레임과 분리되어 완전히 독립된 구조로 바닥에 (일 예로, 앵커 등을 사용하여)고정되는 구조를 취하게 된다. 또한, 추가적으로 앞서 설명한 바와 같이, 별도의 정위치홈부(740) 구성을 통해 충격을 완충할 수 있게 할 수도 있다. In the meantime, in the present invention, when the impact between the board loading conveyor 30 and the load conveyor guide unit 70 occurs during the loading / unloading unit 40 to the conveying roller 50, Unloading portion 40 and the conveying roller 50 are separated from the main body frame so as to be completely separated from the main body frame on which the loading / unloading portion 40 and the conveying roller 50 are mounted (for example, Anchor or the like). In addition, as described above, it is also possible to make the shock absorbing function possible through the constitution of the separate stationary groove 740.

상기 로딩/언로딩부(40)는 상기 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)에 적재된 기판(80)을 하나씩 이송롤러(50)에 로딩(loading)시키거나 이송롤러(50)로부터 이송되어 오는 기판(80)을 하나씩 상기 적재부(310)에 언로딩(unloading)시키기 위해 도 6에 도시된 바와 같이, 기판 적재운송기(30)와 이송롤러(50) 사이에 위치하게 되는 구성이다. The loading / unloading unit 40 loads the substrate 80 loaded on the loading unit 310 of the substrate loading / unloading carrier 30 one by one to the transferring roller 50, 6, the substrate transfer unit 30 is positioned between the transfer roller 50 and the substrate loading carrier 30 in order to unload the transferred substrate 80 one by one to the loading unit 310 .

이를 위해 상기 로딩/언로딩부(40)는, 도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 로딩 또는 언로딩을 위해 적재부(310)와 이송롤러(50) 사이에서 기판(80)을 하나씩 회전이동시키는 회전이동부(410) 및 로딩 또는 언로딩 과정에서 상기 적재부(310)에 적재된 기판(80)의 적재량이 변화함에 따라 로딩/언로딩부(40)의 위치를 조절하는 간격조절부(420)를 포함할 수 있다. 7 to 10, the loading / unloading unit 40 rotates the substrate 80 one by one between the loading unit 310 and the transporting roller 50 for loading or unloading, Unloading unit 40 as the loading amount of the substrate 80 loaded on the loading unit 310 changes during the loading / unloading process of the loading / unloading unit 40, (420).

상기 간격조절부(420)는, 상기 회전이동부(410)의 전후방향 이동을 가이드하는 전후가이드부(421)와, 상기 회전이동부(410)의 상하방향 이동을 가이드하는 상하가이드부(422)와, 상기 회전이동부(410)를 전후방향으로 구동시키는 전후구동부(423)와, 상기 회전이동부(410)를 상하방향 구동시키는 상하구동부(424)를 포함할 수 있다. The gap adjusting part 420 includes a front and rear guide part 421 for guiding the forward and backward movement of the rotary part 410 and a vertical guide part 422 for guiding the upward and downward movement of the rotary part 410 A forward and backward driving unit 423 for driving the rotary movement unit 410 in the forward and backward directions and a vertical movement unit 424 for driving the rotary movement unit 410 in the vertical direction.

즉, 상기 전후구동부(423)는 상기 전후가이드부(421)를 따라 상기 회전이동부(410) 전체를 전후방향으로 이동시키게 되며, 상기 상하구동부(424)는 상기 상하가이드부(422)를 따라 상기 회전이동부(410)를 상하방향으로 이동시키게 된다. 이와 같은 상기 회전이동부(410)의 전후 및 상하방향 이동과 함께 후술할 바와 같은 회전이동부(410)의 밑면지지부(411)와 전면지지부(412)의 회전축을 중심으로 한 회전이동이 병행되면, 상기 로딩/언로딩부(40)는 적재부(310)와 이송롤러(50) 사이에서 적재된 기판(80)의 적재량의 변화 내지 이송롤러(50)의 높이 변화에 능동적으로 대응하면서 기판(80) 하나하나를 로딩 또는 언로딩 시킬 수 있는 특징을 갖게 된다. That is, the front-rear drive unit 423 moves the entire rotational movement unit 410 in the front-rear direction along the front-rear guide unit 421, and the up-and-down driving unit 424 moves along the vertical guide unit 422 So that the rotational movement unit 410 is moved up and down. When the rotational movement of the rotational movement unit 410 along with the rotational movement of the bottom support unit 411 and the front support unit 412 is performed concurrently with the forward and rearward movement and the vertical movement of the rotary movement unit 410 , The loading / unloading portion 40 is configured to move the substrate (80) corresponding to the change of the stacking amount of the substrate (80) stacked between the stacking portion (310) 80) can be loaded or unloaded one by one.

상기 회전이동부(410)는 로딩 또는 언로딩을 위해 적재부(310)와 이송롤러(50) 사이에서 기판(80)을 하나씩 잡고 회전이동시켜 적재부(310)에서 이송롤러(50)로 또는 이송롤러(50)에서 적재부(310)로 옮기는 구성으로, 이를 위해 보다 구체적으로 도 7 및 도 9를 참조하면, 상기 회전이동부(410)는 로딩 또는 언로딩 대상이 되는 기판(80)의 밑면을 지지하는 밑면지지부(411)와, 상기 밑면지지부(411)에 밑면이 지지된 기판(80)의 전면을 지지하는 전면지지부(412)와, 상기 밑면지지부(411)와 전면지지부(412)를 포함하는 회전이동부(410)를 회전축을 중심으로 회전이동시키는 회전모터(414)를 포함할 수 있다. The rotary movement unit 410 rotates the substrate 80 one by one between the stacking unit 310 and the transporting roller 50 for loading or unloading and moves the stacking unit 310 from the stacking unit 310 to the transporting roller 50 7 and 9, the rotary movement unit 410 is configured to move the substrate 80, which is to be loaded or unloaded, from the transfer roller 50 to the loading unit 310, A front supporting part 412 for supporting a front surface of the substrate 80 on which a bottom surface is supported by the bottom supporting part 411 and a front supporting part 412 for supporting the bottom supporting part 411 and the front supporting part 412, And a rotary motor 414 for rotating the rotary part 410 including the rotary part 410 about the rotary shaft.

즉, 상기 밑면지지부(411)와 전면지지부(412)는 '」'형태로 형성되어 로딩 또는 언로딩 대상이 되는 기판(80)의 밑면과 전면을 각각 지지하게 되는데, 이때 상기 회전이동부(410)는 로딩을 위해 상기 적재부(310)에 적재된 기판(80)을 상기 밑면지지부(411)쪽으로 당기는 흡착부(415) 구성을 포함하여, 상기 적재부(310)의 슬릿부(313)에 상기 밑면지지부(411)와 전면지지부(412)를 위치시킨 상태에서 상기 흡착부(415)를 적재부(310)에 적재된 기판(80)의 전면에 부착하여 기판(80) 한 장을 흡착하여 상기 밑면지지부(411)쪽으로 당겨 이동시킨 후 상기 회전이동부(410)를 회동시켜 이송롤러(50)에 기판(80)을 로딩시키게 된다. 상기 흡측부(415)는 여러 개의 흡착부(415)가 병렬적으로 배열되는 형태로 형성될 수 있는데, 이 경우 복수 개의 각 흡착부(415)마다 기판을 당기는 흡착량(흡착력)을 조절할 수 있도록 하여 만약 기판에 회로 형성을 위한 홀이 천공되어 있고 이 홀이 형성된 부위에 맞닿아 흡착하는 흡착부에서는 상대적으로 흡착력을 약하게 하여 홀을 통해 그 뒤편의 기판까지 흡착되어 딸려오는 경우를 방지할 수 있게 한다. 한편, 로딩을 위한 상기 회전이동부(410)의 회동 과정에서 상기 밑면지지부(411)와 전면지지부(412)에 위치한 기판(80)이 떨어지는 경우를 방지할 수 있도록 도 10에 도시된 바와 같이, 밑면지지부(411)의 타단(상기 전면지지부(412)가 형성되는 단의 반대측 단)에 기판(80)의 배면을 지지하는 배면지지부(413)를 추가로 포함하거나 또는 밑면지지부(411)에 기판(80)의 저면이 삽입될 수 있도록 함입형성되는 별도의 홈부(미도시)를 형성할 수 있다. That is, the bottom surface supporting portion 411 and the front surface supporting portion 412 are formed in the shape of '' 'to support the bottom surface and the front surface of the substrate 80 to be loaded or unloaded, respectively. At this time, Includes a suction part 415 for pulling the substrate 80 mounted on the loading part 310 for loading to the bottom surface supporting part 411 so that the slit part 313 of the loading part 310 The adsorption unit 415 is attached to the front surface of the substrate 80 mounted on the loading unit 310 with the bottom surface supporting unit 411 and the front surface supporting unit 412 positioned, And then the substrate is pulled toward the bottom surface supporting portion 411 and then the rotating portion 410 is rotated to load the substrate 80 on the transporting roller 50. The suction unit 415 may be formed in such a manner that a plurality of suction units 415 are arranged in parallel. In this case, the suction amount (suction force) for pulling the substrate for each of the plurality of suction units 415 can be adjusted A hole for forming a circuit is formed in the substrate, and the adsorbing portion which abuts on the portion where the hole is formed is weakened in the adsorbing portion relatively to the adsorbing portion, do. As shown in FIG. 10, in order to prevent the substrate 80 located on the bottom surface supporting portion 411 and the front surface supporting portion 412 from falling off during the rotation of the rotary portion 410 for loading, The bottom surface supporting portion 411 may further include a back surface supporting portion 413 for supporting the back surface of the substrate 80 at the other end of the bottom surface supporting portion 411 (the end opposite to the end where the front surface supporting portion 412 is formed) A separate groove (not shown) may be formed so as to be inserted into the bottom surface of the base 80 to be inserted.

한편, 상기 흡착부(415)를 통해 적재부(310)에 적재된 기판(80)을 정확히 한 장씩만 옮겼는지를 정확히 하기 위한 추가적 구성들을 포함할 수 있는데, 이를 위해 상기 회전이동부(410)는 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 흡착부(415)를 통해 밑면지지부(411)쪽으로 이동한 기판(80)의 전면을 압박하여 움직이지 못하도록 하는 푸시부(416)와, 상기 푸시부(416)가 기판(80)의 전면을 압박한 상태에서 회전이동부(410)와 기판(80) 사이의 거리를 측정하는 거리측정부(417)를 포함하고, 상기 제어부(60)는 상기 거리측정부(417)를 통해 측정된 회전이동부(410)와 기판(80) 사이의 거리를 바탕으로 2장 이상의 기판(80)이 상기 밑면지지부(411)쪽으로 이동되었는지 여부를 판단하게 된다. 상기 구성을 도 21 및 도 22를 참조하여 보다 구체적으로 설명하면, 상기 푸시부(416)는 도 21에 도시된 바와 같이 상기 흡착부(415)를 통해 밑면지지부(411)쪽으로 이동한 기판(80)과 거의 수직을 이룰 수 있도록 약간 경사지게 배치된 상태에서 작동시 전방으로 돌출되어 기판(80)의 전면을 압박하게 된다. 기판(80)의 전면이 상기 푸시부(416)에 의해 압박된 상태 즉, 휘어지지 못하도록 고정된 상태에서, 상기 거리측정부(417) 일 예로, 거리 측정 레이저센서는 상기 기판(80) 전면까지의 거리를 측정하여 1매가 아닌 2매 이상의 기판(80)이 상기 흡착부(415)를 통해 밑면지지부(411)쪽으로 이동되었는지 여부를 판별하게 된다. 이때, 상기 거리측정부(417) 레이저센서는 도 22에 도시된 바와 같이 상기 전면지지부(412)(또는 밑면지지부(411))쪽에 가장 근접하여 양측에 2개 형성될 수 있는데, 이는 한쪽에서 측정하는 것에 비해 양측에서 측정하여 정확성을 높일 수 있게 함(또한, 기판(80)의 어느 일측만이 밑면지지부(411)쪽으로 당겨 온 경우 같은 상황에서도 측정의 정확성을 높일 수 있음)은 물론, 가능한 한 후술할 배면지지부(413)(또는 밑면지지부(411)에 형성된 홈부)에 걸리게 되는 기판(80) 부위에 가장 가까운 부위 즉, 가장 변형이 안되는 부분에 대한 거리 측정을 통해 측정의 정확성을 높여 두께가 아주 얇은 기판(80)인 경우에도 2매 여부를 정확히 판별할 수 있도록 하기 위함이다. 즉, 상기 푸시부(416)를 통해 기판(80)의 전면을 압박하여 정확히 고정시킨 상태에서 거리측정부(417) 레이저센서를 활용하여 회전이동부(410)와 기판(80) 사이의 거리를 측정(이때, 상기 레이저센서는 기판(80)의 저면으로부터 20mm이내의 높이에서 측정하는 것이 바람직한데, 이는 기판(80)에서의 회로 형성에 따른 천공이 보통 저면으로부터 20mm이내에는 없기 때문에 정확도를 높일 수 있기 때문임)하여 흡착부(415)를 통해 밑면지지부(411)쪽으로 이동된 기판(80)이 한 장인지 아니면 2장 이상인지를 (제어부(60)를 통해)판별하게 되고, 한 장인 경우에는 회전이동부(410)를 회동시켜 로딩 과정을 진행하게 되지만, 2장 이상인 경우에는 상기 흡착부(415)를 통해 기판(80)을 다시 적재부(310)쪽으로 민 다음, 다시 흡착부(415)를 이용해 기판(80) 한 장을 밑면지지부(411)쪽으로 이동시키는 작업을 수행하게 된다. 또한, 기판(80)의 두께가 아주 얇은 경우 등에 있어서는 보다 정확성을 높일 수 있도록, 제어부(60)의 제어하에 로딩을 위해 상기 흡착부(415)를 통해 기판(80)이 밑면지지부(411)쪽으로 옮겨지면 일단 상기 회전이동부(410)를 일정 정도 상향 회동시킨 다음 다시 하향 회동시켜 상기 거리측정부(417) 레이저센서와 기판(80)이 이루는 각이 최적화되도록 한 상태에서, 상기 거리측정부(417)가 복수 개의 상기 밑면지지부(411)마다 근접한 위치에서 기판(80)과의 거리를 측정하도록 함으로써 2장 이상의 기판(80)이 상기 밑면지지부(411)쪽으로 이동되었는지 여부를 정확히 판별할 수 있도록 한다. 즉, 기판(80)의 두께가 아주 얇은 경우에 있어서는 측정의 정확성이 더욱 요구되는바, 레이저 센서와 기판이 이루는 각 자체도 최적화한 다음 측정이 이루어질 수 있도록 하기 위해 상기 회전이동부(410)를 움직여 측정대상 기판(80)을 최적화 위치로 옮기는 공정을 선행토록 하는 것이다. 또한, 도 21 및 도 22에 도시된 바와 같이, 상기 흡착부(415) 아래쪽에는 상기 흡착부(415)에 의해 당겨오거나 밀어지는 기판(80)의 저면과 접촉되는 분리용롤러(415-1)를 추가로 포함할 수 있는데, 상기 분리용롤러(415-1)에는 원웨이베어링(미도시)이 설치되어 상기 흡착부(415)가 기판(80)을 당기는 과정에서는 기판(80)의 저면과 접촉하게 되는 상기 분리용롤러(415-1)가 회전하지 않으면서 상기 흡착부(415)에 의해 혹시 2매 이상의 기판(80)이 딸려올 시에 상기 분리용롤러(415-1)에 걸려 1매만이 이동될 수 있게 하는 역할을 수행하며, 반대로 상기 흡착부(415)가 기판(80)을 미는 과정에서는 기판(80)의 저면과 접촉하는 상기 분리용롤러(415-1)가 회동하여 기판(80)이 원활하게 기판 적재운송기(30)쪽으로 이동될 수 있게 한다. 그리고, 분리용롤러(415-1)의 하부에는 별도로 분리용롤러(415-1)상을 지나는 기판(80)의 무게에 따라 분리용롤러(415-1)가 상하로 유동가능케하는 탄성수단(미도시)을 추가로 포함하여, 분리용롤러(415-1)가 기판(80)들의 다양한 무게에 따라 위치를 조절하여 2매 이상의 기판(80) 분리작용의 효율성을 높일 수 있게 한다. The rotation unit 410 may include additional components for precisely determining whether the substrate 80 mounted on the loading unit 310 has been moved by exactly one sheet through the suction unit 415. For this purpose, A push portion 416 for pressing the entire surface of the substrate 80 moved toward the bottom surface supporting portion 411 through the suction portion 415 to prevent the pushing portion 416 from moving, And a distance measuring unit 417 for measuring the distance between the rotary movement unit 410 and the substrate 80 in a state in which the upper surface of the substrate 80 presses the entire surface of the substrate 80, It is determined whether or not two or more substrates 80 have been moved toward the bottom surface supporting portion 411 based on the distance between the rotation unit 410 and the substrate 80 measured through the rotation unit 417. 21 and 22, the push portion 416 is disposed on the substrate 80 (see FIG. 21) that has moved toward the bottom surface supporting portion 411 through the suction portion 415, as shown in FIG. 21, So that the front surface of the substrate 80 is pressed. The distance measurement laser sensor may be disposed on the front surface of the substrate 80 in a state where the front surface of the substrate 80 is pressed by the push portion 416, And it is determined whether two or more substrates 80 are moved to the bottom surface supporting portion 411 through the adsorption portion 415. [ At this time, as shown in FIG. 22, the distance measuring unit 417 may be provided with two laser sensors on both sides nearest to the front supporting unit 412 (or the bottom supporting unit 411) (Accuracy of measurement can be increased even in the same situation when only one side of the substrate 80 is pulled toward the bottom surface supporting portion 411), as well as the measurement accuracy The accuracy of the measurement is increased by measuring the distance to the portion closest to the portion of the substrate 80 that is caught by the back surface supporting portion 413 (or the groove portion formed in the bottom surface supporting portion 411) Even if the substrate 80 is a very thin substrate, it is possible to accurately discriminate whether or not two substrates are present. That is, the distance between the rotational movement unit 410 and the substrate 80 is measured by using the laser sensor of the distance measuring unit 417 while pressing the front surface of the substrate 80 through the push portion 416, The laser sensor is preferably measured at a height of 20 mm or less from the bottom of the substrate 80 because the perforation due to circuit formation on the substrate 80 is not usually within 20 mm from the bottom surface, (Through the control unit 60) whether the number of the substrates 80 moved to the bottom surface supporting portion 411 through the adsorption unit 415 is one or two or more, The substrate 80 is moved back to the loading part 310 via the suction part 415 and then the suction part 415 To one side of the base support portion 411 And performs a moving operation. In order to improve accuracy in the case where the thickness of the substrate 80 is very thin, the substrate 80 is moved toward the bottom surface support portion 411 through the suction portion 415 for loading under the control of the controller 60 The distance measuring unit 417 and the substrate 80 are rotated so that the angle between the laser sensor of the distance measuring unit 417 and the substrate 80 is optimized, So that the distance between the base 80 and the base 80 can be accurately determined by measuring the distance between the base 80 and the bottom 801 at a position close to each of the base supports 411. [ do. That is, in the case where the thickness of the substrate 80 is very thin, the accuracy of measurement is further required. In order to make the measurement itself possible after the angle between the laser sensor and the substrate itself is also optimized, And moves the measurement target substrate 80 to the optimization position. 21 and 22, a separating roller 415-1 which contacts the bottom surface of the substrate 80 pulled or pushed by the suction unit 415 is provided below the suction unit 415, Way bearing may be installed in the separating roller 415-1 so that the bottom surface of the substrate 80 and the bottom surface of the separating roller 415-1 are separated from each other during the process of pulling the substrate 80 by the suction unit 415. [ When the two or more substrates 80 are brought in by the suction unit 415 without rotating the separation roller 415-1 to be brought into contact with the separation roller 415-1, The separating roller 415-1 which is in contact with the bottom surface of the substrate 80 rotates while the suction unit 415 pushes the substrate 80, (80) can be smoothly moved toward the substrate loading carrier (30). The separating roller 415-1 is provided under the separating roller 415-1 with elastic means for allowing the separating roller 415-1 to vertically move according to the weight of the substrate 80 passing over the separating roller 415-1 The separation roller 415-1 adjusts the position according to various weights of the substrates 80 so as to increase the efficiency of the separation operation of two or more substrates 80. [

또한, 상기 흡착부(415)는 로딩 과정에서 적재부(310)에 적재된 기판(80)의 로딩이 완료되어 다른 기판 적재운송기(30)로의 교체가 필요한지 여부에 대한 판단을 위해 기능할 수 있다. 즉, 적재부(310)의 모든 기판(80)이 로딩이 완료된 경우, 상기 흡착부(415)는 적재부(310)의 배면접촉부(311)에 닿아 이를 당기게 되는데, 기판 적재운송기(30)는 견고하게 고정된 상태이므로 복수 회 당기는 과정을 통해 흡착부(415)를 통해 당겨오는 기판(80)이 없는 경우 이 신호를 수신한 상기 제어부(60)는 적재된 기판(80)의 로딩이 완료되어 다른 기판 적재운송기(30)로의 교체가 필요한 시점으로 판단하게 된다. 따라서, 로딩 과정에서 자동으로 기판 적재운송기(30)의 교체 시점을 판별하여 이를 통지할 수 있게 된다. The adsorption unit 415 may function to determine whether the loading of the substrate 80 loaded on the loading unit 310 is completed and replacement with another loading carrier 30 is necessary in the loading process . That is, when loading of all the substrates 80 of the loading unit 310 is completed, the suction unit 415 touches the back contact unit 311 of the loading unit 310 and pulls it. When the substrate 80 is not pulled through the suction unit 415 through the pulling process a plurality of times because it is firmly fixed, the control unit 60 receiving the signal completes the loading of the loaded substrate 80 It is judged that it is time to change to another substrate loading and unloading carrier 30. Accordingly, it is possible to automatically determine the replacement time of the substrate loading carrier 30 during the loading process and notify the replacement time.

한편, 로딩이 아닌 언로딩을 위해서는, 상기 회전이동부(410)는 이송롤러(50)로부터의 언로딩 이후 상기 밑면지지부(411)에 지지된 기판(80)을 적재부(310)쪽으로 미는 밀착부(미도시)를 추가로 포함할 수 있는데, 이때 필요에 따라서는 상기 흡착부(415)가 밀착부(미도시)의 기능까지 동시에 수행할 수도 있게 된다. In order to perform unloading instead of loading, the rotary moving part 410 is pressed against the loading part 310 by pushing the substrate 80 supported by the bottom supporting part 411 toward the loading part 310 after unloading from the conveying roller 50 (Not shown). At this time, the adsorption unit 415 may perform the function of the adhered portion (not shown) at the same time.

또한, 상기 거리측정부(417)를 활용하여 작업 공정 과정에서 기판(80)이 회전이동부(410)에 충돌이 예상되는 경우, 회전이동부(410) 전면으로부터 돌출되어 충돌이 예상되는 기판(80)을 막아 기판(80)을 보호하는 충돌방지부(418)를 추가로 포함할 수 있다. 이때, 상기 충돌방지부(418)는 기판(80)을 보호할 수 있는 연질 재질로 형성되는 것이 바람직하며, 필요시 회전이동부(410) 전면으로부터 돌출되는 구조나 또는 고정적으로 회전이동부(410) 전면에도 돌출된 구조 등을 취할 수 있다. When the substrate 80 is expected to be collided with the rotary movement part 410 during the course of the work process using the distance measurement part 417, the substrate 80, which is projected from the front surface of the rotary movement part 410, 80) to protect the substrate (80). The anti-collision portion 418 may be formed of a soft material that protects the substrate 80. If necessary, the anti-collision portion 418 may protrude from the front surface of the rotary portion 410, ) It is possible to take a structure protruding from the front.

한편, 상기 회전이동부(410)의 전후방향 이동을 가이드하는 전후가이드부(421) 역시 상기 적재부(310)의 밑면접촉부(312)의 기울어진 기울기와 동일한 기울기로 기울어지게 형성되는 것이 바람직한데, 이는 앞서 설명한 바와 같이, 로딩시 기판(80)의 한 장씩 분리시키는 과정의 효율성과 언로딩시 적재부(310)를 향해 이동한 기판(80)이 자연스럽게 적재부(310)쪽으로 향하도록 하는 것과 기타 로딩 또는 언로딩 과정에서의 작업의 편의성을 증대시키게 된다. The front and rear guide portions 421 for guiding the forward and backward movement of the rotational movement portion 410 are also formed to be inclined at the same slope as the inclined inclination of the bottom face contact portion 312 of the loading portion 310 This is because, as described above, the efficiency of the process of separating the substrate 80 one by one at the time of loading and that the substrate 80 moved toward the loading unit 310 at the time of unloading naturally face the loading unit 310 The convenience of the operation in the other loading or unloading process is increased.

또한, 도 23을 참조하면, 상기 흡착부(415)로 적재된 기판(80)을 당겨 하나씩 회전이동부(410)와 간격조절부(420)의 작용을 통해 로딩시키는 과정이 연속적으로 이루어지게 되면, 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)에 가지런히 적재되어 있던 기판(80)들 중 외곽부에 위치하던 기판(80)들은 도 23에 도시된 바와 같이 흐트러지게 되는데(상기 로딩/언로딩부(40)쪽으로 일부가 튀어나오게 되는데), 이 상태에서 그냥 단순하게 상기와 같은 회전이동부(410)와 간격조절부(420)의 동작 과정을 그대로 반복하게 되면, 회전이동부(410)의 밑면지지부(411) 내지 배면지지부(413)에 흐트러진 기판(80)(로딩 또는 언로딩되는 기판(80)의 바로 다음 순서에 있는 기판)이 긁히거나 부딪혀 손상되는 문제가 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위해 상기 제어부(60)는 별도의 회전이동부위치제어모듈(미도시)을 통해, 도 24에 도시된 바와 같이, 상기 흡착부(415)를 통해 흡착하여 당겨온 기판(80)을 밑면지지부(411) 및/또는 배면지지부(413)에 안착시킨 회전이동부(410)를 먼저 일정 간격 후진시킨(①방향) 다음, 로딩을 위해 회동시킴(②방향)으로써, 회전이동부(410)의 밑면지지부(411) 내지 배면지지부(413)에 흐트러진 기판(80)(로딩 또는 언로딩되는 기판(80)의 바로 다음 순서에 있는 기판)이 긁히거나 부딪혀 손상되는 것을 방지할 수 있도록 한다. 한편, 상기 회전이동부(410)를 통해 로딩하고자 하는 기판(80)을 들어올린 상태에서 밑면지지부(411) 및/또는 배면지지부(413)에 안착된 기판(80)이 1매인지 2매 이상인지를 판별하여야 하는 경우, 도 25에 도시된 바와 같이, 상기 회전이동부(410)로 기판(80)을 약간 들어올린 상태에서 상기 푸시부(416)를 통해 기판(80)을 압박한 후 거리측정부(417)로 측정하여 판별하게 되는데, 이때에 상기 회전이동부위치제어모듈(미도시)을 통해 회전이동부(410)를 먼저 일정 간격 후진시킨 다음 회전이동부(410)를 약간 들어올리거나 또는 회전이동부(410)를 먼저 일정 간격 후진시킨 후 회전이동부(410)를 좀 더 들어올리고 이후 다시 약간 아래로 내려놓는 방식을 취함으로써, 역시 회전이동부(410)의 밑면지지부(411) 내지 배면지지부(413)에 흐트러진 기판(80)(로딩 또는 언로딩되는 기판(80)의 바로 다음 순서에 있는 기판)이 긁히거나 부딪혀 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다. 측정 결과 2매 이상의 기판(80)이 밑면지지부(411) 및/또는 배면지지부(413)에 안착된 경우, 제어부(60)는 (필요에 따라 후술할 기판정렬부(416-1)를 통해 기판(80)들을 푸시하여 먼저 약간의 충격을 가한 이후)상기 회전이동부(410)를 다소 빠르게 내려놓아 기판(80)의 무게를 이용하여 기판(80)의 밑면이 적재부(310)에 다소 강하게 충돌하여 접합된 2매 이상의 기판(80)들이 분리될 수 있도록 하며, 이후 다시 후술할 기판정렬부(416-1)를 통해 기판(80)들을 푸시하거나 또는 분리용롤러(415-1) 하단에 위치하는 블로워(417-1)를 통해 고압의 공기를 분사하여 접합된 2매 이상의 기판(80)들이 분리될 수 있도록 한다. 23, when the substrate 80 loaded on the suction unit 415 is pulled and loaded one by one through the action of the rotation unit 410 and the gap controller 420, , The substrates 80 which are located on the outer side among the substrates 80 that are equally stacked on the loading unit 310 of the substrate loading carrier 30 are disturbed as shown in FIG. 23 (the loading / If the rotation movement unit 410 and the gap adjustment unit 420 are repeatedly operated in the same manner as described above, There may arise a problem that the substrate 80 (the substrate in the immediately following order of the substrate 80 to be loaded or unloaded) that is disturbed by the bottom supporting portion 411 to the back supporting portion 413 of the substrate supporting member 411 is damaged by being scratched or struck. In order to prevent this, the control unit 60 is connected to the substrate 80 pulled up through the suction unit 415 by a separate rotary motion position control module (not shown) The rotary moving part 410 which is seated on the bottom supporting part 411 and / or the back supporting part 413 is first moved backward by a predetermined distance (① direction) and then rotated (② direction) The substrate 80 (the substrate in the immediately following order of the substrate 80 to be loaded or unloaded) is prevented from being scratched or struck by the bottom supporting portion 411 to the rear supporting portion 413. On the other hand, when the substrate 80 to be loaded is lifted through the rotary movement part 410, the number of the substrates 80 mounted on the bottom supporting part 411 and / or the back supporting part 413 is one, The substrate 80 is pressed through the push portion 416 in a state where the substrate 80 is slightly lifted by the rotational movement portion 410 as shown in FIG. The rotation unit 410 may be moved backward by a predetermined distance, and then the rotation unit 410 may be lifted up a little Or the rotational movement unit 410 is first moved backward by a predetermined distance and then the rotational movement unit 410 is lifted up and then slightly lowered again so that the bottom support unit 411 of the rotational movement unit 410 is rotated, Or the substrate 80 (which is loaded or unloaded) on the rear surface supporting portion 413 Immediately substrate in the following order of the plate 80) can be prevented from being scratched and damaged hit. As a result of the measurement, when two or more substrates 80 are mounted on the bottom surface supporting portion 411 and / or the rear surface supporting portion 413, the controller 60 (if necessary, The bottom surface of the substrate 80 is slightly more strongly pressed against the loading part 310 by using the weight of the substrate 80 after the rotary moving part 410 is lowered somewhat faster The substrate 80 can be pushed through the substrate aligning portion 416-1 to be described later, or the substrate 80 can be pushed to the lower side of the separating roller 415-1 Pressure air is injected through the blower 417-1 positioned so that two or more bonded substrates 80 can be separated.

한편, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 흡착부(415)로 적재된 기판(80)을 당겨 하나씩 회전이동부(410)와 간격조절부(420)의 작용을 통해 로딩시키는 과정이 연속적으로 이루어지게 되면, 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)에 가지런히 적재되어 있던 기판(80)들 중 외곽부에 위치하던 기판(80)들은 도 23에 도시된 바와 같이 흐트러지게 되는데(상기 로딩/언로딩부(40)쪽으로 일부가 튀어나오게 되는데), 이 상태에서 상기 흡착부(415)를 통해 기판(80)을 당기게 되면 2매 이상의 기판(80)들이 따라올 가능성이 커지고 또는 기판(80)의 좌우가 불균형하게 딸려와 상기 밑면지지부(411)에 기판(80)의 좌측 또는 우측이 걸리지 않게 되는 상황도 발생하게 된다. 따라서, 이를 방지하기 위한 구성으로, 상기 회전이동부(410)는 추가적으로 좌우 양측에서 적재부(310)에 흐트러져 있는 기판(80)의 좌우측을 밀어 기판(80)들을 정위치시키는 기판정렬부(416-1)를 추가로 포함할 수 있다. 상기 기판정렬부(416-1)는 도 22에 도시된 바와 같이, 기판(80)의 좌우 가장자리 근처를 압박할 수 있도록 좌우로 일정 간격 이격되어 위치하며 도 21에 도시된 바와 같이, 적재부(310)에 적재된 기판(80)의 하부를 압박할 수 있는 높이에 형성되는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 흡착부(415)를 통해 기판(80)을 흡착하여 당기기 전, 먼저 도 26에 도시된 바와 같이, 상기 기판정렬부(416-1)를 이용하여 적재부(310)의 기판(80)들의 하부를 가압하여 기판(80)을 정렬시킴으로써, 2매 이상의 기판(80)이 로딩되는 것 내지 기판(80)의 좌측 또는 우측 중 어느 하나가 밑면지지부(411)에 걸리지 않게 되는 상황을 미연에 방지할 수 있게 된다. 또한, 상기 기판정렬부(416-1)는 후술할 바와 같이 언로딩 과정에서는 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)에 언로딩되는 기판(80)들의 양쪽 좌우측을 밀어주면서 간격 없이 촘촘히 적재될 수 있도록 작용한다. As described above, when the substrate 80 loaded on the suction unit 415 is pulled and loaded one by one through the action of the rotary part 410 and the gap adjusting part 420, The substrates 80 which are located on the outer side of the substrates 80 that are equally stacked on the loading part 310 of the substrate loading carrier 30 are disturbed as shown in FIG. 23 (the loading / unloading If the substrate 80 is pulled through the suction unit 415 in this state, there is a high possibility that two or more substrates 80 come along along the left and right sides of the substrate 80, There is a possibility that the left or right side of the substrate 80 is not caught by the bottom surface supporting portion 411. In order to prevent this, the rotational movement unit 410 further includes a substrate aligning unit 416 for pushing the left and right sides of the substrate 80 disturbed by the stacking unit 310 from both the left and right sides to position the substrates 80 -1). ≪ / RTI > As shown in FIG. 22, the substrate alignment unit 416-1 is spaced apart from the left and right sides by a predetermined distance so as to press near the left and right edges of the substrate 80. As shown in FIG. 21, 310 so that the lower portion of the substrate 80 can be pressed. 26, before the substrate 80 is sucked and attracted through the adsorption unit 415, the substrate 80 (FIG. 26) of the stacking unit 310 is aligned with the substrate alignment unit 416-1 A state in which two or more substrates 80 are loaded or one of the left and right sides of the substrate 80 is not caught by the bottom surface supporting portion 411 can be obtained by aligning the substrate 80 by pressing the lower portion of the substrate 80 . ≪ / RTI > In the unloading process, the substrate aligning unit 416-1 may be mounted on the stacking unit 310 of the substrate stacking carrier 30 such that the left and right sides of the substrates 80 are unloaded, .

상기 이송롤러(50)는 상기 로딩/언로딩부(40)를 통해 로딩된 기판(80)을 기판공정 자동화라인으로 이송시키거나 또는 기판공정 자동화라인으로부터 기판(80)을 언로딩시키기 위해 상기 로딩/언로딩부(40)로 이송시키는 구성으로, 이를 위해 상기 이송롤러는, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 회전이동부(410)의 복수 개의 상기 전면지지부(412)가 이송롤러(50)와 간섭되지 않도록 전면지지부(412)가 지나가는 일정 공간을 형성하는 간섭방지슬릿(520)과, 상기 간섭방지슬릿(520)을 중심으로 간섭방지슬릿(520) 좌우 양측과 전방에 각각 위치하는 주이송롤러(510)와, 상기 주이송롤러(510)를 회동시키는 회동모터(540)와, 상기 간섭방지슬릿(520) 사이에서 기판(80)의 원활한 이송을 위해 형성되는 보조롤러(530)와, 이송롤러(50) 위를 이동하는 기판의 배열을 정렬시키는 기판어레이부(550)를 이송롤러의 좌우측에 각각 포함할 수 있다. The transfer roller 50 transfers the loaded substrate 80 to the substrate process automation line through the loading / unloading unit 40 or the loading / unloading unit 40 to unload the substrate 80 from the substrate process automation line. 11, a plurality of the front supporting portions 412 of the rotary movement portion 410 are connected to the conveying roller 50, as shown in FIG. 11, The interference prevention slit 520 forms a predetermined space through which the front support part 412 is passed so as not to interfere with the interference prevention slit 520. The interference prevention slit 520 is formed on the left and right sides of the interference prevention slit 520, A rotation motor 540 for rotating the main transfer roller 510 and an auxiliary roller 530 for smooth transfer of the substrate 80 between the interference prevention slits 520, A substrate table (not shown) for aligning the array of the substrates moving on the conveying roller 50 The chin 550 may include each of the right and left sides of the transport roller.

상기 간섭방지슬릿(520)은 적재부(310)와 이송롤러(50) 사이에서 회전이동하면서 기판(80)을 이동시키는 상기 회전이동부(410)의 복수 개의 상기 전면지지부(412)가 이송롤러(50)와 간섭되지 않도록 이송롤러(50)상에 전면지지부(412)가 지나가는 일정 공간을 형성하는 구성으로, 상기 전면지지부(412)가 이송롤러(50)를 통과하게 되는 부위의 길이와 폭을 고려하여 형성될 수 있다. The interference prevention slit 520 is provided between a plurality of the front supporting portions 412 of the rotary portion 410 for moving the substrate 80 while rotating between the stacking portion 310 and the conveying roller 50, The front supporting portion 412 is formed to have a predetermined space through which the front supporting portion 412 passes on the conveying roller 50 so as not to interfere with the conveying roller 50. The length and width of the portion where the front supporting portion 412 passes through the conveying roller 50 . ≪ / RTI >

본 발명의 기판 이송시스템은 상기 회전이동부(410)의 상하/좌우로의 이동가능한 구조와 함께 회전이동부(410)의 복수 개의 전면지지부(412)가 이송롤러(50)상을 통과할 수 있도록 하는 상기 간섭방지슬릿(520)의 구성을 통해, 앞서 설명한 바와 같이 기판(80)을 이송롤러(50) 상에 로딩시킨 직후 바로 회전이동부(410)의 전면지지부(412)가 하측으로 이동하여 적재부(310)를 향해 되돌아가거나 또는 로딩시킨 직후 바로 아래 방향으로 360도 회전하여 적재부(310)를 향해 되돌아갈 수 있게 되므로, 종래와 같이 기판(80)을 이송롤러에 로딩시킨 다음 이송롤러에서 기판(80)이 이동될 때까지 대기한 다음 다시 원래 왔던 궤적과 동일한 궤적으로 방향만 반대방향으로 되돌아가는 싸이클에 따라 기판(80)을 로딩시키는 작업공정에 비해, 한 싸이클의 공정시간을 대폭 단축시킬 수 있게 된다. The substrate transfer system of the present invention may be configured such that a plurality of front support portions 412 of the rotary transfer portion 410 can pass on the transfer roller 50 together with the vertically / horizontally movable structure of the rotary transfer portion 410 The front support portion 412 of the rotary movement portion 410 is moved downward immediately after the substrate 80 is loaded on the conveying roller 50 as described above through the structure of the interference preventing slit 520, So that the substrate 80 can be rotated 360 degrees in the downward direction immediately after being returned or loaded toward the loading unit 310 and can be returned toward the loading unit 310. Thus, Compared to the process of waiting for the substrate 80 to move in the roller and then loading the substrate 80 in accordance with the cycle of returning in the opposite direction only to the same locus as the original trajectory, At a greatly reduced speed It can be so.

이때, 상기 회전이동부(410)는 로딩 과정에서 기판(80)이 상기 밑면지지부(411)로부터 벗어나 이송롤러(50)상에서 이송을 시작하였는지를 탐지하는 제1탐지부(419)를 포함하고, 상기 제어부(60)는 상기 제1탐지부(419)의 정보를 바탕으로 기판(80)을 로딩시킨 직후(즉, 기판(80)이 상기 밑면지지부(411)로부터 벗어나 이송롤러(50)상에서 이송을 시작한 직후) 상기 전면지지부(412)를 상기 간섭방지슬릿(520)을 통해 아래로 이동시켜 다시 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)쪽으로 회전이동시킴으로써 보다 정확하게 상기 동작과정이 이루어져 공정 시간을 최대한 단축시킬 수 있게 한다. 또한, 상기 제1탐지부(419)는 언로딩 과정에서는 기판(80)이 상기 이송롤러(50)로부터 상기 밑면지지부(411)까지 완전히 이송되었는지를 탐지하는 기능으로 작동할 수 있다. The rotary movement unit 410 includes a first detection unit 419 for detecting whether the substrate 80 starts to be transported on the transport roller 50 after the substrate 80 is removed from the bottom surface support unit 411, The control unit 60 controls the conveyance of the substrate 80 immediately after the substrate 80 is loaded on the basis of the information of the first detection unit 419 By moving the front support part 412 downward through the interference prevention slit 520 and rotating the front support part 412 toward the loading part 310 of the substrate loading carrier 30, the operation is performed more accurately, So that it can be shortened as much as possible. The first detection unit 419 may operate to detect whether the substrate 80 has been completely transferred from the transport roller 50 to the bottom surface support unit 411 during the unloading process.

상기 주이송롤러(510)는 상기 간섭방지슬릿(520)을 중심으로 간섭방지슬릿(520) 좌우 양측과 필요에 따라 전방에도 각각 위치하여 롤러들의 회전작용에 따라 그 상부의 기판(80)을 소정의 위치로 이동시키는 구성으로, 상기 주이송롤러(510)의 회전을 위한 구동력은 주이송롤러(510)에 연결된 회동모터(540)로부터 전달된다. The main transfer roller 510 is positioned on the left and right sides of the interference preventing slit 520 and on the front side thereof as necessary with respect to the interference preventing slit 520, The driving force for rotating the main feed roller 510 is transmitted from the rotating motor 540 connected to the main feed roller 510. [

상기 보조롤러(530)는 상기 간섭방지슬릿(520) 사이에서 기판(80)의 원활한 이송을 위해 형성되는 구성으로, 필요에 따라 상기 보조롤러(530)의 롤러로 구동력을 받아 회전할 수 있도록 형성할 수 있는데, 이를 위해, 일 예로, 상기 보조롤러(530)를 상기 주이송롤러(510)의 회동에 연동하여 회동시키는 회동연결부재(560)를 추가로 포함할 수 있다. 상기 회동연결부재(560)는 도 11에 도시된 바와 같이 상기 주이송롤러(510)와 보조롤러(530)를 연결시켜 주이송롤러(510)의 회전력을 그대로 보조롤러(530)에 전달시켜 보조롤러(530)도 연동하여 회전할 수 있게 하는 구성으로, 주이송롤러(510)와 보조롤러(530) 사이 그리고 보조롤로()와 보조롤러(530) 사이에 각각 연결될 수 있다. The auxiliary roller 530 is configured to smoothly transfer the substrate 80 between the interference preventing slits 520 and may be rotated to receive the driving force by the roller of the auxiliary roller 530 For example, the auxiliary connecting roller 560 may include a pivotal connection member 560 that rotates the auxiliary roller 530 in conjunction with the rotation of the main transfer roller 510. 11, the rotation linking member 560 connects the main transfer roller 510 and the auxiliary roller 530 to transfer the rotational force of the main transfer roller 510 to the auxiliary roller 530 as it is, The roller 530 can also be rotated between the main conveyance roller 510 and the auxiliary roller 530 and between the auxiliary roller 5 and the auxiliary roller 530, respectively.

상기 기판어레이부(550)는 이송롤러(50) 위를 이동하는 기판(80)의 배열을 정렬시키기 위해 이송롤러 좌우측에서 각각 푸시 형태로 돌출되어 기판(80)을 정렬시키는 구성으로, 상기 이송롤러(50) 상을 이동하는 기판이 정렬되어 이동되도록 이송롤러(50)의 좌우측에서 각각 위치하고 있다가 일정 시간 간격으로 이송롤러(50)의 중앙부를 향해 푸시 형태로 돌출되면서 이송롤러(50)를 지나는 기판의 양측을 동시에 밀어 기판(80)을 이송롤러(50)의 중앙부에 위치하도록 맞추게 된다. 이때, 상기 이송롤러(50)에는 좌우 양측에 각각 2개, 총 4개 정도의 센서(미도시)가 일정 간격으로 배열되어 기판(80)의 일측으로의 쏠림에 따라 기판어레이부(550)의 좌우측 푸시속도를 달리 조절할 수 있게도 한다. 한편, 상기 기판어레이부(550)는 불량 기판(80)을 구분지을 수 있게 하는 작업도 수행할 수 있는데, 일 예로, 기판공정 자동화라인에서 불량 기판(80)으로 판명된 불량 기판(80)이 언로딩되는 경우에 있어, 상기 제어부(60)는 불량 기판(80)이 위치하는 순서에 대한 정보를 수신한 후, 불량 기판(80)이 이송롤러(50) 상을 지나게 되는 경우 이송롤러(50)의 좌우측에 위치하는 상기 기판어레이부(550)의 좌측 또는 우측 중 어느 한쪽만 작동되도록 하거나 또는 어느 한쪽과 다른 한쪽의 푸시 속도의 차이를 두어 불량 기판(80)만 이송롤러(50)의 중앙부가 아닌 한쪽 측면으로 몰아, 향후 언로딩되어 기판 적재운송기(30)에 적재된 기판(80)들 중 한쪽으로 치우져 적재된 것들만을 불량 기판(80)으로 쉽게 구별할 수 있게 되는 것이다. 이때, 상기 이송롤러(50)에는 평상시에는 하측에 위치하고 있다가, 기판(80)의 센터링 정렬 내지 불량 기판(80)에 대한 좌측 또는 우측으로의 이송시에만 돌출되면서, 좌우방향으로 회전하는 롤러들로 이루어진 좌우롤러부(미도시)를 추가로 포함하여, 기판(80)의 센터링 정렬 내지 불량 기판(80)에 대한 좌측 또는 우측으로의 이송시 기판(80)이 용이하게 좌 또는 우 방향으로 이동할 수 있도록 보조할 수 있다. The substrate array unit 550 has a configuration in which the substrate 80 protrudes from the left and right sides of the conveying rollers in order to align the arrangement of the substrates 80 moving on the conveying rollers 50 to align the substrates 80, (50) are arranged at the left and right sides of the conveying roller (50) so as to be aligned and moved, and are projected in the form of a push toward the center of the conveying roller (50) Both sides of the substrate are simultaneously pushed to align the substrate 80 so as to be positioned at the center of the conveying roller 50. At this time, about two (4) sensors (not shown) are arranged at a predetermined interval on the left and right sides of the conveying roller 50, and as the substrate 80 is tilted toward one side of the substrate 80, It is also possible to adjust the left and right push speeds differently. Meanwhile, the substrate array unit 550 can perform the operation of dividing the defective substrate 80. For example, when the defective substrate 80, which is determined as the defective substrate 80 in the substrate process automation line, The controller 60 receives information on the order in which the defective substrate 80 is positioned and then moves the defective substrate 80 on the conveying roller 50 when the defective substrate 80 passes over the conveying roller 50. [ Or only one of the left and right sides of the substrate array part 550 located at the right and left sides of the conveying roller 50 is operated, It is possible to easily distinguish only the unloaded substrates from the substrates 80 loaded on the substrate loading conveyor 30 by the defective substrate 80 in the future. At this time, the conveying roller 50 is normally positioned at the lower side and protrudes only when the substrate 80 is aligned with the centering or transferred to the left or right side with respect to the defective substrate 80, The substrate 80 can be easily moved leftward or rightward during centering alignment of the substrate 80 or transfer to the left or right of the defective substrate 80 You can help.

한편, 기판(80)의 로딩 과정에서 이송롤러(50)에 로딩된 기판(80)이 아직 이송롤러(50)를 빠져나가지 않은 상태에서 추가로 다른 기판(80)이 이송롤러(50)에 로딩되는 경우가 발생하는 것을 방지하기 위한 추가적 구성을 포함하는데, 이를 위해 상기 이송롤러(50)는 로딩 과정에서 기판(80)이 이송롤러(50)상에서 기판(80)의 크기 이상만큼의 거리를 이송하였는지를 탐지하는 제2탐지부(570)(일 예로, 레이저 센서 등)를 포함하고, 상기 제어부(60)는 상기 제2탐지부(570)의 정보를 바탕으로 기판(80)이 이송롤러(50)상에서 기판(80)의 크기 이상만큼의 거리를 이송하지 않은 상태에서 다른 기판(80)이 이송롤러(50)상에 로딩되는 것을 방지하게 된다. 즉, 앞서 상기 제1탐지부(419)로부터 기판(80)의 크기 정도 이격된 거리에 상기 제2탐지부(570)가 위치하게 되면, 상기 제1탐지부(419)로부터 탐지된 기판(80)이 아직 제2탐지부(570)를 완전히 지나가지 않은 상태를 상기 제어부(60)는 기판(80)이 이송롤러(50)상에서 기판(80)의 크기 이상만큼의 거리를 이송하지 않은 상태로 판단하게 되고, 이때 다른 기판(80)이 이송롤러(50)에 로딩되는 경우에는 이를 방지하게 하고, 기판(80)이 상기 제2탐지부(570)를 완전히 지난 후 로딩 과정이 재게되도록 한다. In the process of loading the substrate 80, another substrate 80 is loaded on the conveying roller 50 in a state in which the substrate 80 loaded on the conveying roller 50 has not yet passed through the conveying roller 50 For this purpose, the transporting roller 50 transports the substrate 80 on the transporting roller 50 by a distance equal to or greater than the size of the substrate 80 during the loading process, The controller 60 includes a second detecting unit 570 for detecting whether the substrate 80 is conveyed by the conveying roller 50 (for example, a laser sensor or the like) based on the information of the second detecting unit 570, The other substrate 80 is prevented from being loaded on the conveying roller 50 without conveying a distance equal to or greater than the size of the substrate 80 on the conveying roller 50. [ That is, when the second detection unit 570 is located at a distance of about the size of the substrate 80 from the first detection unit 419, the substrate 80 detected from the first detection unit 419 The control unit 60 determines that the substrate 80 does not yet pass the second detection unit 570 so that the substrate 80 does not transfer a distance equal to or larger than the size of the substrate 80 on the conveying roller 50 At this time, if another substrate 80 is loaded on the conveying roller 50, this is prevented and the substrate 80 is completely passed through the second detecting unit 570, so that the loading process is resumed.

또한, 상기 이송롤러(50) 상에서 추가적으로 2매 이상의 기판(80)이 로딩 또는 언로딩 되고 있는지를 최종적으로 감지하는 이매(2매)감지유닛(580)을 추가로 포함할 수 있다. 상기 이매(2매)감지유닛(580)은, 도 20 등에 도시된 바와 같이 이송롤러(50)상에서 이송롤러(50)를 따라 로딩 또는 언로딩을 위해 이동하는 기판(80)의 두께를 감지하여 기판(80)이 1매인지 2매 이상인지를 감지하게 된다. 이를 위해, 상기 이매(2매)감지유닛(580)은 도 20에 도시된 바와 같이, 이송롤러(50)를 지나는 기판(80)의 상면을 터치하는 감지롤러(581)와, 상기 감지롤러(581)의 상하이동에 연동하여 상하이동하는 롤러프레임(582)과, 상기 롤러프레임(582)에 일단이 연결되며 지렛대 원리로 회전축(584)을 중심으로 타단이 상기 일단보다 더 크게 회동하게 되는 편심회동부(583)와, 상기 편심회동부(583) 타단의 움직인 거리를 측정,감지하는 리미트센서(585)를 포함할 수 있다. 이와 같은 구조를 통해, 도 20에 도시된 바와 같이, 만약 상기 감지롤러(581)에 2매 이상의 기판(80)이 지나가게 되면 감지롤러(581) 및 그에 연동하는 롤러프레임(582)이 기판(80)이 1매일때보다 더 높이 상승하게 되고, 이때 상기 편심회동부(583)는 지렛대 원리를 통해 롤러프레임(582)에 연결된 일단보다 타단의 회동이 증폭되어 나타나게 되고, 이를 상기 리미트센서(585)를 통해 정확히 감지할 수 있게 되므로, 기판(80)의 두께가 얇은 경우에 있어서도 상기와 같은 증폭감지를 통해 정확히 2매 이상의 기판(80)이 로딩 또는 언로딩 되고 있는지 여부를 정확하게 판별할 수 있게 되므로, 2매 이상의 기판(80)이 동시에 로딩 또는 언로딩됨으로 인해 발생하는 문제를 미연에 방지할 수 있게 한다. 이때, 상기 이매감지유닛(580)에는 상기 감지롤러(581)의 위치를 기판(80)의 두께에 맞춰 조정할 수 있게 하는 제2손잡이(587)와, 상기 리미트센서(585)의 위치를 기판(80)의 두께에 맞춰 조정할 수 있게 하는 손잡이(586)를 추가로 포함하여 다양한 기판(80)의 두께에 대응할 수 있도록 할 수 있다. 즉, 먼저 상기 제2손잡이(587)를 통해 상기 감지롤러(581)가 기판(80)의 두께에 맞춰 기판(80) 1장이 통과시에는 움직이지 않도록 하고(즉, 1장 통과시 기판(80)의 상면과 접촉하지 않도록 하여 정상적인 1장의 기판(80) 통과시에는 기판의 상면에 기스 등이 발생하지 않도록 하며) 2장 이상의 기판(80)이 통과하는 경우에만 감지롤러(581)가 기판과 접촉하여 상향 이동할 수 있도록 셋팅하고, 상기 손잡이(586)를 통해서는 역시 기판(80)의 두께에 맞춰 기판(80)이 2장 이상 통과시 상기 감지롤러(581)가 상향이동하고 그에 따라 상기 편심회동부(583)의 타단의 회동이 증폭되어 움직이는 거리를 상기 리미트센서(585)가 감지할 수 있도록 리미트센서(585)의 위치를 셋팅하게 되면, 다양한 두께의 기판(80)이 사용되는 경우에도 정확하게 2매 이상의 기판(80) 여부를 감지할 수 있게 된다. Further, it may further include a double-sheet detecting unit 580 that finally detects whether two or more substrates 80 are being loaded or unloaded on the conveying roller 50. The two-piece detection unit 580 detects the thickness of the moving substrate 80 for loading or unloading along the conveying roller 50 on the conveying roller 50 as shown in FIG. 20 and the like It is detected whether the number of the substrates 80 is two or more. 20, the double-sheet detection unit 580 includes a detection roller 581 for touching the upper surface of the substrate 80 passing through the conveyance roller 50, A roller frame 582 having one end connected to the roller frame 582 and connected to the eccentric shaft 581 in such a manner that the other end of the roller frame 582 is rotated about the rotary shaft 584 with respect to the rotary shaft 584, And a limit sensor 585 for measuring and sensing the moving distance of the other end of the eccentric rotation portion 583. 20, when two or more substrates 80 pass through the sensing roller 581, the sensing roller 581 and the roller frame 582 interlocking with the sensing roller 581 are separated from the substrate (not shown) The eccentric rotation part 583 is amplified at the other end than the one end connected to the roller frame 582 through the leverage principle, and the rotation of the eccentric rotation part 583 is detected by the limit sensor 585 Even when the substrate 80 is thin, it is possible to accurately determine whether two or more substrates 80 are correctly loaded or unloaded through the amplification detection as described above Therefore, it is possible to prevent a problem caused by simultaneous loading or unloading of two or more substrates 80 at the same time. The second sensing unit 580 includes a second knob 587 for adjusting the position of the sensing roller 581 to match the thickness of the substrate 80 and a second knob 587 for adjusting the position of the limit sensor 585 to the substrate 80 so as to correspond to the thickness of the various substrates 80. In addition, That is, the sensing roller 581 is moved to the thickness of the substrate 80 through the second handle 587 to prevent the substrate 80 from moving when the substrate 80 passes therethrough The sensing roller 581 is not contacted with the substrate 80 only when two or more substrates 80 pass through the substrate 80 so that no gas or the like is generated on the upper surface of the substrate when the normal substrate 80 passes through the substrate 80. [ The sensing roller 581 moves upwards when the substrate 80 passes through two or more sheets of the substrate 80 in accordance with the thickness of the substrate 80 through the handle 586, If the position of the limit sensor 585 is set so that the limit sensor 585 can sense the distance that the rotation of the other end of the swing unit 583 is amplified and moved, It is possible to accurately detect whether or not two or more substrates 80 are present It is.

이하에서는, 도 12 내지 도 16을 참조하여, 본 발명의 기판 이송시스템을 이용한 기판(80)의 로딩과 언로딩 과정에 대해 설명하도록 한다. Hereinafter, the loading and unloading process of the substrate 80 using the substrate transfer system of the present invention will be described with reference to FIGS. 12 to 16. FIG.

먼저, 도 12 내지 도 14를 참조하여 로딩 과정을 설명하면, 기판(80)을 적재한 기판 적재운송기(30)가 적재운송기 가이드부(70)를 통해 이송시스템 내 정위치 고정된 상태에서, 도 12에 도시된 바와 같이, 로딩/언로딩부(40)의 회전이동부(410)는 적재부(310)쪽으로 먼저 회전이동하여 적재된 기판(80)들 중 맨 앞에 있는 기판(80) 하나를 상기 흡착부(415)를 사용하여 밑면지지부(411)쪽으로 당겨 이동시키게 된다. 이때, 상기 밑면지지부(411)는 적재부(310)의 슬릿부(313)를 활용하여 밑면접촉부(312)보다 아래에 위치한 상태이다. 이후, 앞서 설명한 바와 같이 상기 푸시부(416)와 거리측정부(417)를 통해 밑면지지부(411)쪽으로 당겨 이동된 기판(80)이 1장인지를 확인한 후, 1장으로 확인되면 상기 간격조절부(420) 및 회전모터(414)의 동시 작용을 통해 상기 회전이동부(410)는 회전이동하면서 도 13에 도시된 바와 같이, 기판(80)을 이송롤러(50)로 로딩시키게 된다. 기판(80)이 이송롤러(50)에 로딩된 직후, 상기 제1탐지부(419)를 통해 로딩된 기판이 이송롤러(50)상에서 이송되어 상기 밑면지지부(411)로부터 이탈된 것이 확인되면, 도 14에 도시된 바와 같이 상기 간격조절부(420)는 상기 밑면지지부(411)와 전면지지부(412)를 하측 방향으로 이동시킨 후 다시 로딩시 방향과 반대방향 궤적으로 회전이동부(410)를 회전이동시켜 적재부(310)를 향하도록 하거나, 다른 예로는 로딩시 방향 그대로 회전이동부(410)를 360도 회전이동시켜 적재부(310)를 향하도록 하게 된다. 12 to 14, in a state in which the substrate loading carrier 30 on which the substrate 80 is mounted is fixed in position in the transfer system through the loading carrier guide portion 70, 12, the rotating part 410 of the loading / unloading part 40 first rotates toward the loading part 310 and moves one of the frontmost substrates 80 among the stacked substrates 80 And is pulled toward the bottom surface supporting portion 411 using the suction portion 415. At this time, the bottom surface supporting portion 411 is positioned below the bottom surface contacting portion 312 by utilizing the slit portion 313 of the loading portion 310. After confirming that the substrate 80 is pulled toward the bottom surface supporting portion 411 through the push portion 416 and the distance measuring portion 417 as described above, The rotary movement unit 410 rotates and moves the substrate 80 to the conveying roller 50 as shown in FIG. 13 through the simultaneous action of the rotary motor 420 and the rotary motor 414. If it is confirmed that the substrate loaded through the first detection unit 419 is transferred on the transfer roller 50 and separated from the bottom surface support unit 411 immediately after the substrate 80 is loaded on the transfer roller 50, 14, the gap adjusting part 420 moves the bottom supporting part 411 and the front supporting part 412 in the downward direction, and then rotates the moving part 410 in a trajectory opposite to the loading direction The rotary unit 410 may be rotated 360 degrees so as to be directed to the loading unit 310. In other words,

또한, 도 15 및 도 16을 참조하여 언로딩 과정을 설명하면, 기판공정 자동화라인으로부터 상기 이송롤러(50)로 기판(80)의 이송이 이루어지고 있는 상태에서도(즉, 종래에는 기판(80)을 언로딩시키기 위해서는 본 발명의 회전이동부(410)의 전면지지부(412)와 같은 구성이 먼저 이송롤러(50) 상에 위치된 상태에서라야 이송롤러(50)로의 기판(80)의 이송이 이루어지게 되는 것과 차이가 있음), 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 간격조절부(420) 및 회전모터(414)는 회전이동부(410)를 회전이동과 함께 상기 이송롤러(50)의 하측으로부터 이송롤러(50)의 간섭방지슬릿(520)을 통해 이송롤러(50)상으로 이동할 수 있게 함으로써, 언로딩 공정 시간을 단축할 수 있게 된다. 이후, 이송롤러(50)로의 이송이 완료된 기판(80)을 상기 회전이동부(410)가 상기 전면지지부(412) 및 밑면지지부(411)(필요에 따라 배면지지부(413)도 추가됨)로 지지한 상태에서 회전이동하여 적재부(310)까지 언로딩시키게 된다. 이후에는, 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 밀착부(미도시)를 이용해 적재부(310)쪽으로 언로딩된 기판(80)을 밀어 적재부(310)에 적재된 다른 기판(80)들에 밀착되도록 이동시키게 되고, 이후 다시 상기 회전이동부(410)는 언로딩시 방향과 반대방향 궤적으로 이송롤러(50)를 향해 회전이동하거나 다른 예로는 언로딩시 방향 그대로 360도 회전하여 이송롤러(50)를 향해 회전이동하게 된다. 한편, 언로딩시 기판의 적재부(310)에 적재되는 기판(80)이 밀착되지 못하여 하나의 기판 적재운송기(30)에 정해진 적재물량을 다 적재하지 못하는 문제가 발생하게 되는바, 본 발명에서는, 상기 기판정렬부(416-1)를 활용하여 이를 방지하게 되는데, 구체적으로 상기 회전이동부(410)을 통해 하나의 기판(80)을 적재부(310)에 적재시키기 전 먼저 상기 기판정렬부(416-1)로 적재부(310)에 기 적재된 기판(80)들을 가압하여 밀착시키고 이후 회전이동부(410)를 통해 하나의 기판(80)을 언로딩시킨 후 다시 한 번 기판정렬부(416-1)로 적재부(310)에 기 적재된 기판(80)들을 가압하여 밀착시키는 과정을 반복함으로써, 상기 기판정렬부(416-1)를 이용해 하나의 기판 적재운송기(30)에 정해진 적재물량을 정확히 채울 수 있게 한다. The unloading process will be described with reference to FIGS. 15 and 16. Even in a state where the transfer of the substrate 80 from the substrate process automation line to the transfer roller 50 is performed (that is, The transfer of the substrate 80 to the transfer roller 50 is performed only when the same configuration as that of the front support portion 412 of the rotary transfer portion 410 of the present invention is first placed on the transfer roller 50 15, the gap adjusting unit 420 and the rotation motor 414 move the rotary movement unit 410 from the lower side of the conveyance roller 50 with the rotation movement, as shown in FIG. 15, It is possible to move onto the conveying roller 50 through the interference preventing slit 520 of the conveying roller 50, thereby shortening the unloading process time. Thereafter, the substrate 80 on which the transfer to the transfer roller 50 has been completed is transferred by the rotary transfer part 410 to the front supporting part 412 and the bottom supporting part 411 (with the back supporting part 413 being added as needed) And is unloaded to the loading unit 310. [0050] Thereafter, as shown in FIG. 16, the unloaded substrate 80 is pushed toward the stacking unit 310 by using the tight contact unit (not shown), and the stacked substrates are stacked on the other substrates 80 mounted on the stacking unit 310 And then the rotary part 410 is rotated in a direction opposite to the unloading direction to the conveying roller 50, or in other instance, it is rotated 360 degrees in the direction of unloading, 50). On the other hand, when unloading, the substrate 80 mounted on the loading unit 310 of the substrate is not brought into close contact with the substrate loading conveyor 30, The substrate aligning unit 416-1 is used to prevent the substrate aligning unit 416-1 from rotating the substrate aligning unit 416-1. The substrates 80 mounted on the loading unit 310 are pressed and adhered to each other by the moving unit 416-1 and then one substrate 80 is unloaded through the rotating unit 410, The process of pressing and adhering the substrates 80 mounted on the stacking unit 310 to the substrate stacking unit 416-1 by using the substrate aligning unit 416-1 is repeated, Allows you to fill the load accurately.

한편, 본 발명에 따른 상기 기판 이송시스템은, 도 18 및 도 19에 도시된 바와 같이, 언로딩 과정에서 기판(80)의 적재가 완료된 상기 기판 적재운송기(30)를 빈 기판 적재운송기(30)로 교체하는 과정 동안 기판(80)이 임시로 적재될 수 있게 하는 버퍼(90);를 추가로 포함하여 기판 적재운송기(30)를 교체하는 과정 동안에도 언로딩 공정이 연속적으로 수행될 수 있게 할 수 있다. 18 and 19, the substrate transfer system 30 according to the present invention is configured such that the substrate loading carrier 30, on which the substrate 80 is loaded in the unloading process, is transferred to the empty substrate loading carrier 30, And a buffer 90 that allows the substrate 80 to be temporarily loaded during the process of replacing the substrate loading carrier 30 so that the unloading process can be performed continuously during the process of replacing the substrate loading carrier 30. [ .

언로딩 과정에서, 상기 버퍼(90)는 상기 기판 적재운송기(30)와 로딩/언로딩부(40) 사이에서 상기 기판 적재운송기(30)를 교체시에만 버퍼판(910)이 이동하여 기판 적재운송기(30)를 교체하는 과정에서 적재부(310)에 적재될 기판(80)을 상기 버퍼판(910)에 임시로 적재할 수 있도록 하는데, 이를 위해 일 예로, 상기 적재운송기 가이드부(70)쪽에 위치한 상기 버퍼판(910)은 이를 내측 또는 외측으로 이동시키는 내외 구동부(930)의 작동에 의해, 적재가 완료된 기판 적재운송기(30)의 교체가 필요한 경우 상기 버퍼판(910)이 내측으로 이동하여, 도 18에 도시된 바와 같이, 이후에 언로딩되는 기판(80)부터는 상기 버퍼판(910)에 적재가 이루어지게 되고, 적재부(310)가 빈 기판 적재운송기(30)로의 교체가 완료된 이후에는 다시 상기 버퍼판(910)이 외측으로 이동하면서 도 19에 도시된 바와 같이, 버퍼판(910)에 적재되어 있던 기판(80)들이 적재부(310)에 (이동)적재되면서 이후에는 원래대로 언로딩되는 기판(80)이 적재부(310)에 적재되게 된다. 이때, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)가 경사지게 기울어져 배치되어 있기 때문에, 적재부(310)의 상대적으로 높은 말단 부위에 상기 버퍼판(910)이 간섭되는 경우가 발생할 수 있는바, 이를 방지하기 위해 별도로 상기 버퍼판(910)을 상하로 이동시키는 상하구동부(미도시)를 구비하여, 기판 적재운송기(30)의 진입 또는 진출시에는 상기 버퍼판(910)을 상향 이동시켜 적재부(310) 말단과 간섭되는 것을 방지하고, 기판 적재운송기(30)가 완전히 완전히 빠져나간 이후에는 다시 버퍼판(910)을 하향 이동시켜 버퍼판(910)을 이용한 연속적인 언로딩 작업이 수행되도록 한다. In the unloading process, the buffer 90 moves the buffer plate 910 only when the substrate loading carrier 30 is exchanged between the substrate loading carrier 30 and the loading / unloading portion 40, The board 80 to be loaded on the loading unit 310 may be temporarily loaded on the buffer board 910 in the process of replacing the carrier 30. For this purpose, The buffer plate 910 located on the side of the buffer plate 910 moves inward or outward to move the buffer plate 910 inward when the loading operation of the substrate loading carrier 30 is completed 18, the substrate 80 to be unloaded thereafter is loaded on the buffer plate 910, and when the loading unit 310 is completely replaced with the empty substrate loading carrier 30 Thereafter, the buffer plate 910 moves to the outside again, The substrates 80 loaded on the buffer plate 910 are loaded on the loading unit 310 and then the unloaded substrate 80 is loaded on the loading unit 310 . As described above, since the loading unit 310 of the substrate loading carrier 30 is inclined and disposed, the buffer plate 910 is interfered with the relatively high end portion of the loading unit 310 (Not shown) for vertically moving the buffer plate 910 in order to prevent the occurrence of such a case. When the substrate loading conveyor 30 enters or advances, the buffer plate 910 The buffer plate 910 is moved downward to completely interfere with the end of the loading unit 310 and the buffer plate 910 is moved downwardly after the substrate loading conveyor 30 is completely completely removed, So that the unloading operation is performed.

이때, 상기 버퍼판(910)에는 회전롤러(920)를 포함하여, 버퍼판(910)에 적재되어 있던 기판(80)이 교체된 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)로 이동하는 과정에서 버퍼판(910)과 기판(80)과의 마찰을 최소화하여 기판(80)을 보호할 수 있도록 한다. At this time, the buffer plate 910 includes a rotating roller 920 and moves to the loading unit 310 of the substrate loading carrier 30 in which the substrate 80 loaded on the buffer plate 910 is replaced The friction between the buffer plate 910 and the substrate 80 can be minimized and the substrate 80 can be protected.

이상에서, 출원인은 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명하였지만, 이와 같은 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 일 실시예일 뿐이며 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 한 어떠한 변경예 또는 수정예도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, Should be interpreted as belonging to the scope.

30: 기판 적재운송기 310: 적재부
311: 배면접촉부 312: 밑면접촉부
313: 슬릿부 314: 중간접촉부
320: 이동부 321: 돌부
322: 홈부 323: 밴딩부
324: 로프 325: 고정부
326: 보호부재 327: 전복방지보조바퀴
328: 정위치돌부
40: 로딩/언로딩부 410: 회전이동부
411: 밑면지지부 412: 전면지지부
413: 배면지지부 414: 회전모터
415: 흡착부 415-1: 분리용롤러
416: 푸시부 416-1: 기판정렬부
417: 거리측정부 418: 충돌방지부
419: 제1탐지부 420: 간격조절부
421: 전후가이드부 422: 상하가이드부
423: 전후구동부 424: 상하구동부
50: 이송롤러 510: 주이송롤러
520: 간섭방지슬릿 530: 보조롤러
540: 회동모터 550: 기판어레이부
560: 회동연결부재 570: 제2탐지부
580: 이매(2매)감지유닛 581: 감지롤러
582: 롤러프레임 583: 편심회동부
584: 회전축 585: 리미트센서
586: 손잡이 587: 제2손잡이
60: 제어부
70: 적재운송기 가이드부 710: 진입차단기
720: 마찰저감부 730: 고정수단
740: 정위치홈부 80: 기판
90: 버퍼 910: 버퍼판
920: 회전롤러 930: 내외 구동부
*종래기술에 관련된 부호
2: 기판 3: L자형 랙
4: 랙이송용 로울러 5: 기판이송용 로울러
6: 대차 10: 도그30: Substrate loader 310: Loader
311: back contact portion 312: bottom contact portion
313: slit part 314: intermediate contact part
320: moving part 321:
322: groove portion 323:
324: rope 325:
326: protective member 327: anti-rollover assistant wheel
328:
40: loading / unloading unit 410:
411: bottom support portion 412: front support portion
413: rear surface supporting portion 414: rotation motor
415: suction part 415-1: separation roller
416: push portion 416-1: substrate alignment portion
417: distance measuring unit 418:
419: first detection unit 420:
421: front and rear guide portion 422: upper and lower guide portion
423: front and rear driving unit 424:
50: Feed roller 510: Main feed roller
520: interference prevention slit 530: auxiliary roller
540: rotation motor 550: substrate array part
560: rotation connecting member 570: second detecting unit
580: double sheet detection unit 581: detection roller
582: roller frame 583: eccentric rotation part
584: rotation shaft 585: limit sensor
586: handle 587: second handle
60:
70: Loading conveyor guide portion 710: Inlet breaker
720: friction reducing portion 730: fixing means
740: Positional groove portion 80:
90: buffer 910: buffer plate
920: rotating roller 930: inner / outer driving part
* Prior art related codes
2: substrate 3: L-shaped rack
4: Rack transferring roller 5: Substrate transferring roller
6: Truck 10: Dog

Claims (6)

기판이 적재되는 적재부; 및
기판이 적재된 상기 적재부를 이동시키는 이동부;를 포함하여,
상기 적재부에 기판을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기를 통해 이루어질 수 있게 되므로 물류공정을 단축시키며,
상기 적재부는 적재되는 기판의 배면과 접촉하는 배면접촉부와, 적재되는 기판의 밑면과 접촉하는 밑면접촉부를 포함하며, 상기 배면접촉부는 기판이 배면접촉부쪽으로 쏠리도록 기울어져 형성되고 상기 밑면접촉부 역시 전면에서 후면으로 갈수록 기울어지게 형성되고, 일정 간격으로 상기 밑면접촉부의 전면에서 후면까지 연장되어 관통형성되는 슬릿부와, 상기 슬릿부 사이에 위치하는 중간접촉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재운송기. A loading part on which the substrate is loaded; And
And a moving part for moving the loading part on which the substrate is loaded,
Since the transportation to the transporting and transporting system can be performed through one substrate stacking carrier in a state where the substrate is loaded on the stacking unit,
Wherein the mounting portion includes a bottom contact portion that is in contact with a back surface of a substrate to be loaded and a bottom surface contact portion that is in contact with a bottom surface of the substrate to be loaded, the bottom contact portion is formed by tilting the substrate toward the back contact portion, And a slit part formed to extend from the front surface to the rear surface of the bottom surface contact part at regular intervals and to be formed between the slit part and the intermediate contact part. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 이동부는 기판 적재운송기의 운송과정에서 전후로 배열되는 기판 적재운송기끼리의 결합고정을 위해 전면에 형성되는 돌부와, 후면에 형성되는 홈부를 포함하여, 앞쪽에 위치한 기판 적재운송기의 홈부에 뒤쪽에 위치한 기판 적재운송기의 돌부가 삽입되어 결합고정되는 것을 특징으로 하는 기판 적재운송기. The method according to claim 1,
The moving unit includes a protrusion formed on the front surface and a groove formed on the rear surface of the substrate loading carrier for fixing the substrate loading carriers arranged forward and backward in the transportation process of the substrate loading carrier, Wherein a protruding portion of the substrate loading carrier is inserted and fixed. 제 4 항에 있어서,
상기 이동부는 기판 적재운송기의 운송과정에서 적재된 기판을 묶는 로프가 걸려 고정되는 밴딩부을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재운송기. 5. The method of claim 4,
Wherein the moving unit further comprises a banding portion to which a rope for binding the substrate loaded during the transportation of the substrate loading carrier is hooked and fixed. 제 4 항에 있어서,
상기 이동부는 기판 적재운송기가 이송시스템에 위치된 상태에서 이동부의 이동을 방지하고 견고하게 고정시킬 수 있도록 이송시스템의 고정수단이 체결결합되는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재운송기. 5. The method of claim 4,
Wherein the moving unit includes a fixing unit to which the fixing means of the transfer system is fastened so that the movement of the moving unit can be prevented and firmly fixed while the substrate loading carrier is positioned in the transfer system.
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