KR20100078253A - Align system of roll and plate - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An align system of roll and plate is provided to sense/revise not only the height difference between the rall and the plate but also the straight line motion of the plate. CONSTITUTION: A first sensors(30a) measures the distance between a roll and a plate(20). A second sensors(40a,40b,40a'40b') is installed in front and rear side of the plate. A driving unit drives the plate. Through input of a first and a second sensor, a control unit controls the driving unit. A second senor is comprised of light emitting sensor and a light receiving sensor which is installed in front and rear side of the plate.

Description

롤과 플레이트의 정렬 시스템{align system of roll and plate}Align system of roll and plate

본 발명은 롤과 플레이트 사이의 거리를 측정할 뿐만 아니라 플레이트의 일직선 운동을 측정하여 롤과 플레이트의 기구적인 결함을 보정하여 일정한 공정을 유도하는 롤과 플레이트의 정렬 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a roll and plate alignment system that not only measures the distance between the roll and the plate, but also measures the linear motion of the plate to correct mechanical defects of the roll and the plate to induce a constant process.

종래 롤과 플레이트 사이의 거리를 측정하는 장치로서, 예컨대 한국공개특허 제2005-68511호의 공보에 개시된 것이 제안되어 있다. As an apparatus for measuring the distance between a conventional roll and a plate, for example, the one disclosed in Korean Unexamined Patent Publication No. 2005-68511 has been proposed.

도 5에 도시한 바와 같이, 종래의 러빙 장치는 러빙을 수행하는 러빙 롤(rubbing roll)(410)과, 러빙 롤(410)을 구동하는 스핀들(420)과, 스핀들(420)을 지지하는 지지대(430)와, 러빙하고자 하는 기판을 안착하여 이동하는 스테이지(440)와, 스핀들(420)의 양쪽에 구비되어 러빙 롤(410)과 스테이지(440) 사이의 간격을 연속적으로 측정하는 센서(450)로 구성한다. As shown in FIG. 5, the conventional rubbing device includes a rubbing roll 410 for performing rubbing, a spindle 420 for driving the rubbing roll 410, and a support for supporting the spindle 420. 430, a stage 440 for seating and moving the substrate to be rubbed, and a sensor 450 provided at both sides of the spindle 420 to continuously measure a distance between the rubbing roll 410 and the stage 440. ).

러빙 롤(410)의 편심이 발생할 경우 러빙이 균일하지 못하므로, 러빙 롤의 편심이 발생하지 않도록 하기 위한 것이 중요하다. 따라서, 스핀들(420)의 양쪽에 구비된 센서에 의해 상기 스테이지(440)와 상기 러빙 롤(410)사이의 간격을 연속적으로 측정하여 그 간격을 일정하게 유지하면서 러빙을 진행하게 된다. Since the rubbing is not uniform when the eccentricity of the rubbing roll 410 occurs, it is important to prevent the eccentricity of the rubbing roll from occurring. Therefore, the distance between the stage 440 and the rubbing roll 410 is continuously measured by the sensors provided on both sides of the spindle 420, and the rubbing proceeds while maintaining the constant interval.

즉, 센서(450)는 스테이지(440)와 러빙 롤(410) 사이의 갭을 측정하게 되며, 스테이지(440)와 러빙 롤(410)사이의 갭은 미리 계산된 값으로 설정한 후, 그 설정된 값을 유지하면서 러빙 공정을 진행하는지 여부를 측정하게 된다. That is, the sensor 450 measures the gap between the stage 440 and the rubbing roll 410, and sets the gap between the stage 440 and the rubbing roll 410 to a pre-calculated value and then sets the gap. It is measured whether the rubbing process proceeds while maintaining the value.

따라서, 상기와 같이 스핀들에 센서를 구비함으로써 러빙 공정을 진행하면서 모든 영역에 대한 스테이지(440)와 러빙 롤(410)사이의 간격을 측정하여 일정한 러빙 밀도로 러빙함으로써 러빙 불량을 방지할 수 있다. Therefore, by providing a sensor on the spindle as described above, it is possible to prevent rubbing defects by measuring the distance between the stage 440 and the rubbing roll 410 for all regions while rubbing at a constant rubbing density.

그러나, 스테이지(440)와 러빙 롤(410)사이의 간격만을 측정하여 상하를 보정하기 때문에, 스테이지의 롤링(rolling) 또는 러빙 롤의 피칭(pitching)에 따른 틀어짐은 보정되지 않아 일정한 공정을 유도할 수 없다. However, since only the gap between the stage 440 and the rubbing roll 410 is measured to correct the top and bottom, the distortion due to the rolling of the stage or the pitching of the rubbing roll is not corrected to induce a constant process. Can't.

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 롤과 플레이트 간의 기구학적 결함을 전방위로 정렬하여 일정한 공정을 유도할 수 있는 롤과 플레이트의 정렬 시스템을 제공함에 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide an alignment system of a roll and a plate capable of inducing a uniform process by aligning the kinematic defects between the roll and the plate in all directions.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 청구항 1에 기재된 롤과 플레이트의 정렬 시스템은, In order to achieve the above object, the roll and plate alignment system of claim 1 of the present invention,

롤; 플레이트; 상기 롤과 상기 플레이트 간의 거리를 측정하는 제1센서; 상기 플레이트의 전후방에 설치되는 제2센서; 상기 플레이트를 구동하는 구동부; 상기 제1센서 및 제2센서로부터 입력받아 상기 구동부를 제어하는 제어부를 포함한다. role; plate; A first sensor measuring a distance between the roll and the plate; Second sensors installed in front and rear of the plate; A driving unit for driving the plate; It includes a control unit for receiving the input from the first sensor and the second sensor to control the drive unit.

이 구성에 의하면, 롤과 플레이트 사이의 상하 거리를 측정 보정할 뿐 아니라 롤과 플레이트간의 엇갈림을 측정 보정하여 일정한 공정 결과를 유도할 수 있다. According to this configuration, not only the vertical distance between the roll and the plate can be measured and corrected, but the gap between the roll and the plate can be measured and corrected to induce a constant process result.

본 발명의 청구항 2에 기재된 롤과 플레이트의 정렬 시스템은, The alignment system of the roll and plate of Claim 2 of this invention,

상기 제2센서는 상기 플레이트의 전방과 후방에 설치되는 발광센서와 수광센서로 이루어진다. The second sensor includes a light emitting sensor and a light receiving sensor installed at the front and the rear of the plate.

이 구성에 의하면, 플레이트의 전후방간의 일직선을 측정하여 롤에 대해 플 레이트의 뒤틀림을 간편하게 센싱할 수 있다. According to this structure, the distortion of the plate with respect to a roll can be easily sensed by measuring the straight line between front and rear of a plate.

본 발명의 청구항 3에 기재된 롤과 플레이트의 정렬 시스템은, The alignment system of the roll and plate of Claim 3 of this invention,

상기 제2센서는 상기 플레이트의 좌측 전후방에 설치되는 제2좌측센서와, 상기 플레이트의 우측 전후방에 설치되는 제2우측센서로 구성되되, 상기 제2좌측센서와 상기 제2우측센서 사이에 상기 롤의 좌우측이 배치되는 것이 바람직하다. The second sensor is composed of a second left sensor installed in the front left and right of the plate, and a second right sensor installed in the right front and rear of the plate, the roll between the second left sensor and the second right sensor It is preferable that the left and right sides of are arranged.

이 구성에 의하면, 롤의 뒤틀림도 동시에 센싱할 수 있다. According to this structure, the distortion of a roll can also be sensed simultaneously.

이상의 설명으로부터 명백하듯이, 본 발명의 실시예에 의하면 다음과 같은 효과가 있다. As is apparent from the above description, the embodiment of the present invention has the following effects.

롤과 플레이트간의 상하 높이 차이 뿐만 아니라 플레이트의 일직선 운동도 센싱하여 보정할 수 있어, 일정한 공정결과를 유도할 수 있다. Not only the height difference between the roll and the plate, but also the linear motion of the plate can be sensed and corrected, resulting in a certain process result.

또한, 발광센서와 수광센서를 이용하여 플레이트의 일직선 이동에서 어긋남을 간편하게 센싱할 수 있다. In addition, by using the light emitting sensor and the light receiving sensor, it is possible to easily sense the deviation in the linear movement of the plate.

제2좌측센서와 상기 제2우측센서 사이에 롤의 좌우측이 배치됨으로써, 플레이트의 일직선 엇그남 뿐만 아니라 롤의 엇갈림도 동시에 센싱할 수 있어 롤과 플레이트의 기구적인 결함을 신속히 보완할 수 있다. By arranging the left and right sides of the roll between the second left sensor and the second right sensor, not only the straight misalignment of the plates but also the misalignment of the rolls can be sensed at the same time, so that the mechanical defects of the roll and the plate can be quickly compensated.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

또한, 본 발명의 명세서와 청구범위에서 기재한 플레이트는 스테이지 또는 기판을 포함하는 것으로 정의한다. In addition, the plate described in the specification and claims of the present invention is defined to include a stage or a substrate.

또한, 본 발명의 명세서, 청구범위 및 도면에 기재한 X축은 플레이트의 전후방향, Y축은 플레이트의 좌우방향, Z축은 플레이트의 상하방향, θ은 Z축의 회전방향(Yawing)으로 정의한다. In addition, X-axis described in the specification, claims and drawings of the present invention is defined as the front and rear direction of the plate, Y axis is the left and right direction of the plate, Z axis is the vertical direction of the plate, θ is defined as the rotation direction (Yawing) of the Z axis.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤과 플레이트의 정렬 시스템을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 배면도이고, 도 3은 도 1의 평면도이고, 도 4는 도 1의 측면도이다. 1 is a perspective view schematically showing an alignment system of a roll and a plate according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 2 is a rear view of FIG. 1, FIG. 3 is a plan view of FIG. 1, and FIG. 4 is of FIG. 1. Side view.

도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 실시예의 롤과 플레이트의 정렬 시스템은 롤(10)과, 플레이트(20)와, 롤(10)과 플레이트(20) 사이의 거리를 측정하는 제1센서(30a)(30b)와, 플레이트(20)의 전후방에 설치되는 제2센서(40a,40b)(40a',40b')와, 플레이트(20)를 구동하는 구동부(50)와, 제1센서(30a)(30b) 및 제2센서(40a,40b)(40a',40b')로부터 입력받아 구동부(50)를 제어하는 제어부(60)로 구성하여 있다. As shown in Figures 1 to 4, the roll and plate alignment system of this embodiment is a first measuring the distance between the roll 10, the plate 20, and the roll 10 and the plate 20 Sensors 30a and 30b, second sensors 40a and 40b (40a 'and 40b') provided in front and rear of the plate 20, a drive unit 50 for driving the plate 20, and a first The control unit 60 receives the input from the sensors 30a and 30b and the second sensors 40a and 40b and 40a 'and 40b' and controls the drive unit 50.

롤(10)은 패턴이 코팅되는 원통형의 롤 바디(11)와 샤프트(13)로 구성하여 있다. Roll 10 is composed of a cylindrical roll body 11 and the shaft 13 is coated with a pattern.

플레이트(20)는 스테이지 또는 기판으로 구현될 수 있다. The plate 20 may be implemented as a stage or a substrate.

플레이트(20)는 X축방향을 따라 직선운동을 하면서 롤(10)의 회전에 따라 원하는 패턴을 기판에 전사한다. The plate 20 transfers a desired pattern to the substrate as the roll 10 rotates while linearly moving along the X-axis direction.

제1센서(30a)(30b)는 플레이트(20)의 좌우 아래에 배치하는 것이 바람직하 다. Preferably, the first sensors 30a and 30b are disposed below the left and right sides of the plate 20.

즉 제1좌측센서(30a)는 좌측 샤프트(11)와 좌측 플레이트(20) 사이의 거리(h1)를 측정하고, 제1우측센서(30b)는 우측 샤프트(11)와 우측 플레이트(20) 사이의 거리(h2)를 측정한다. That is, the first left sensor 30a measures the distance h1 between the left shaft 11 and the left plate 20, and the first right sensor 30b is between the right shaft 11 and the right plate 20. Measure the distance (h2) of.

제어부(60)는 좌측 거리(h1)와 우측 거리(h2)를 입력받아 상하높이 차이가 생길 경우(α1 또는 α2) 구동부(50)를 구동 제어한다. The controller 60 receives the left distance h1 and the right distance h2 and controls the driving unit 50 when there is a difference in height between the upper and lower heights (α1 or α2).

그러면 구동부(50)는 플레이트(20)를 Z축(상하)방향으로 좌우측을 정밀하게 이동시켜 롤(10)과 플레이트(20)의 상하 높이차를 보정한다. Then, the driving unit 50 corrects the vertical height difference between the roll 10 and the plate 20 by precisely moving the left and right sides of the plate 20 in the Z-axis (up and down) direction.

제2센서는 제2좌측센서(40a,40b) 또는 제2우측센서(40a',40b')로 구현되는 것이 바람직하다. The second sensor is preferably implemented by second left sensors 40a and 40b or second right sensors 40a 'and 40b'.

제2좌측센서(40a,40b)가 플레이트(20)의 좌측 전후단에 설치되는 경우, 플레이트(20)의 X축방향에 대해 뒤틀리지 않고 일직선으로 이동하는지 감지할 수 있다. When the second left sensors 40a and 40b are installed at the front left and right ends of the plate 20, the second left sensors 40a and 40b may be detected to move in a straight line without being twisted with respect to the X-axis direction of the plate 20.

제2좌측센서(40a,40b)는 제2좌측발광센서(40a)와 제2좌측수광센서(40b)로 구현되는 것이 바람직하다. The second left sensor 40a, 40b is preferably implemented with a second left light emitting sensor 40a and a second left light receiving sensor 40b.

제2좌측발광센서(40a)에서 나오는 빛이 제2좌측수광센서(40b)에서 받아들이면 플레이트(20)가 일직선 이동을 하고 있는 것이고, 그렇지 않으면 θ방향으로 플레이트(20)가 β2와 같이 뒤틀려서 이동하는 것이다. When the light emitted from the second left light emitting sensor 40a is received by the second left light receiving sensor 40b, the plate 20 is moving in a straight line. Otherwise, the plate 20 is twisted in the θ direction such as β2. To move.

플레이트(20)가 β2로 뒤틀리면, 구동부(50)는 θ각도로 구동하여 보정한다. When the plate 20 is warped by β2, the driving unit 50 drives at an angle θ to correct it.

마찬가지로 제2우측센서(40a'40b')가 플레이트(20)의 우측 전후단에 설치되는 경우, 플레이트(20)의 X축방향에 대해 뒤틀리지 않고 일직선으로 이동하는지 더 욱 정밀하게 감지할 수 있다. Similarly, when the second right sensor 40a'40b 'is installed at the right front and rear ends of the plate 20, the second right sensor 40a'40b' can be detected more precisely in a straight line without being twisted with respect to the X-axis direction of the plate 20. .

특히 제2좌측센서(40a,40b)와 제2우측센서(40a',40b') 모두를 사용할 경우 그 사이에 롤 바디(11)가 배치되게 하여, 롤 바디(11)의 좌우 양단도 함께 센싱하도록 하면 좋다. In particular, when both the second left sensor 40a and 40b and the second right sensor 40a 'and 40b' are used, the roll body 11 is disposed therebetween, so that both ends of the roll body 11 are sensed together. You can do it.

이 경우에는 도 3에 도시한 바와 같이, 플레이트(20)가 β2로 뒤틀린 것 뿐만 아니라, 롤(10)이 β1으로 뒤틀린 것까지 동시에 측정할 수 있어, 신속하고 더욱 정밀한 보정을 통해 시스템의 가동효율을 높일 수 있다. In this case, as shown in FIG. 3, not only the plate 20 is twisted to β2, but also the roll 10 to be warped to β1 can be measured at the same time. Can increase.

이상과 같이, 롤과 플레이트 간의 오차를 신속 정확하게 측정하여 보정함으로써, 일정한 공정결과를 얻을 수 있다. As described above, a constant process result can be obtained by quickly and accurately measuring and correcting an error between the roll and the plate.

전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변경 또는 변형하여 실시할 수 있음은 해당기술분야의 당업자라면 자명하다 할 것이다.As described above, although described with reference to a preferred embodiment of the present invention, the present invention can be variously modified or modified without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims Those skilled in the art will appreciate.

본 발명은 롤과 롤 시스템의 정렬에 적용 가능하다. The invention is applicable to the alignment of rolls and roll systems.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤과 플레이트 정렬 시스템을 개략적으로 도시한 사시도. 1 is a perspective view schematically showing a roll and plate alignment system according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 배면도. 2 is a rear view of FIG. 1.

도 3은 도 1의 평면도. 3 is a plan view of FIG.

도 4는 도 1의 측면도. 4 is a side view of FIG. 1;

도 5는 종래 러빙 장치의 구조를 개략적으로 도시한 정면도. Figure 5 is a front view schematically showing the structure of a conventional rubbing device.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 롤 11 : 롤 바디10: roll 11: roll body

13 : 샤프트 20 : 플레이트13: shaft 20: plate

30a,30b : 제1센서 40a,40b;40a',40b' : 제2센서30a, 30b: first sensor 40a, 40b; 40a ', 40b': second sensor

40a,40a' : 발광센서 40b,40b' : 수광센서40a, 40a ': Light emitting sensor 40b, 40b': Light receiving sensor

Claims (3)

롤; role; 플레이트; plate; 상기 롤과 상기 플레이트 간의 거리를 측정하는 제1센서; A first sensor measuring a distance between the roll and the plate; 상기 플레이트의 전후방에 설치되는 제2센서; Second sensors installed in front and rear of the plate; 상기 플레이트를 구동하는 구동부; A driving unit for driving the plate; 상기 제1센서 및 제2센서로부터 입력받아 상기 구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 롤과 플레이트의 정렬 시스템. Roll and plate alignment system including a control unit for receiving the input from the first sensor and the second sensor to control the drive unit. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제2센서는 상기 플레이트의 전방과 후방에 설치되는 발광센서와 수광센서로 이루어진 롤과 플레이트의 정렬 시스템. The second sensor is a roll and plate alignment system consisting of a light emitting sensor and a light receiving sensor installed in front and rear of the plate. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 제2센서는 상기 플레이트의 좌측 전후방에 설치되는 제2좌측센서와, 상기 플레이트의 우측 전후방에 설치되는 제2우측센서로 구성되되, The second sensor is composed of a second left sensor installed in the front left and right of the plate, and a second right sensor installed in the right front and rear of the plate, 상기 제2좌측센서와 상기 제2우측센서 사이에 상기 롤의 좌우측이 배치되는 롤과 플레이트의 정렬 시스템. The roll and plate alignment system of which the left and right sides of the roll is disposed between the second left sensor and the second right sensor.
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