KR20100116123A - Apparatus for treating substrates - Google Patents

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시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤
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Abstract

PURPOSE: The processing unit of substrate can prevent from the lower part air knife bending to downward. The positioning adjustment of the angle about the plate side of the substrate of the lower part air knife and upward and downward become possible. CONSTITUTION: The processing unit of substrate the top air knife(7), lower part air knife(8), the upper support material(25) and lower support member(26), depending piece, and the member(32) it pushes up is included. In the top air knife, the upper hook prepares in the middle class of length direction.

Description

기판의 처리 장치{APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATES}Substrate processing unit {APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATES}

본 발명은 세정 처리된 기판에 부착 잔류하는 처리액을 에어나이프로부터 분사되는 기체에 의해 건조 처리하는 기판의 처리 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate treating apparatus for drying a processing liquid adhered to a cleaned substrate by a gas injected from an air knife.

예컨대, 액정 표시 장치나 반도체 장치의 제조 공정에 있어서는, 이들 장치의 처리 대상물인 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 기판에 레지스트를 도포하고, 이 기판을 현상 처리하고 나서 에칭 처리함으로써, 기판의 표면에 회로 패턴을 정밀하게 형성한다. 기판에 회로 패턴을 형성했다면, 그 기판의 표면에 부착되어 있는 레지스트막이나 레지스트 잔사 등의 유기물을 세정액에 의해 제거하는 세정 처리가 행해진다.For example, in the manufacturing process of a liquid crystal display device or a semiconductor device, a resist is applied to a substrate, such as a glass substrate or a semiconductor wafer, which is a processing target of these devices, and the substrate is developed and then etched to form a circuit on the surface of the substrate. Form patterns precisely. If a circuit pattern is formed in a board | substrate, the washing process which removes organic substances, such as a resist film and a resist residue, adhering to the surface of the board | substrate with a washing | cleaning liquid is performed.

세정 처리된 기판에 세정액이 잔류하면 워터마크 등의 오염의 원인이 된다. 그래서, 세정액에 의해 세정된 기판의 상하면에 에어나이프로부터 기체를 분사하여, 기판에 부착 잔류한 세정액을 제거하는 건조 처리가 행해진다.If the cleaning liquid remains on the cleaned substrate, it may cause contamination such as watermarks. Therefore, a drying process is performed in which gas is blown from the air knife onto the upper and lower surfaces of the substrate cleaned with the cleaning liquid to remove the cleaning liquid remaining on the substrate.

상기 건조 처리는, 기판을 처리 장치의 챔버 안으로 수평 반송하고, 이 기판의 상하면에 상하 한 쌍의 에어나이프에 의해 기체를 분사하여, 그 기체에 의해 기판에 부착된 세정액을 제거하도록 하고 있다.The said drying process conveys a board | substrate horizontally in the chamber of a processing apparatus, and injects a gas into the upper and lower surfaces of this board | substrate by a pair of upper and lower air knives, and removes the washing | cleaning liquid adhered to a board | substrate by this gas.

한 쌍의 에어나이프를 이용하여 기판을 건조 처리하는 경우, 기판의 판면(板面)을 얼룩 없이 균일하게, 또한 효율적으로 확실히 건조 처리하는 것이 요구된다. 이 때문에, 상하 한 쌍의 에어나이프와 기판의 판면과의 간격을 에어나이프의 길이방향 전체 길이에 걸쳐 정밀도 좋게 균일하게 설정하는 것이 중요해진다.When drying a board | substrate using a pair of air knives, it is required to dry-process reliably uniformly and efficiently the board surface of a board | substrate without smudge. For this reason, it becomes important to set the space | interval between a pair of top and bottom air knives and the board surface of a board | substrate to be uniform and precise over the whole length of the air knife longitudinal direction.

최근에는 기판이 대형화하는 경향이 있다. 이 경우, 에어나이프는 기판의 폭치수보다 길게 할 필요가 있기 때문에, 예컨대 3 m 이상의 길이의 것이 이용되는 경우가 있다. 길이를 길게 한 에어나이프를, 챔버 내에 기판의 반송 방향과 교차하는 방향을 따라 가설(架設)하면, 기판의 상방의 에어나이프는 자중(自重)에 의해 하방으로 휘어져 길이방향의 중도부가 양단부에 비해서 기판의 상면에 접근하게 된다. 또한, 하방의 에어나이프는 마찬가지로 자중에 의해 하방으로 휘어져 길이방향의 중도부가 양단부에 비해서 기판의 하면과의 간격이 커진다.In recent years, the substrate tends to be enlarged. In this case, since the air knife needs to be longer than the width dimension of a board | substrate, the thing of length 3m or more may be used, for example. When the length of the air knife is hypothesized along the direction crossing the substrate conveyance direction in the chamber, the air knife above the substrate is bent downward due to its own weight, and the midway portion in the longitudinal direction is lower than both ends. The upper surface of the substrate is approached. In addition, the lower air knife is bent downward due to its own weight, and the distance from the lower surface of the substrate is increased as compared with both ends of the middle portion in the longitudinal direction.

이와 같이, 기판의 상면 및 하면에 대하여 에어나이프와의 대향 간격이 불균일해지면, 에어나이프의 길이방향에 있어서 기판의 판면이 받는 기체의 속도가 일정해지지 않기 때문에, 기판을 폭방향 전체 길이에 걸쳐 균일하게 건조 처리할 수 없게 되는 경우가 있다.In this way, if the gap between the upper and lower surfaces of the substrate becomes uneven with the air knife, the velocity of the gas received by the plate surface of the substrate does not become constant in the longitudinal direction of the air knife, so that the substrate is uniform over the entire length of the width direction. It may become impossible to dry process easily.

그래서, 에어나이프를 자중에 의해 휘어짐이 발생하지 않는 강성을 구비한 두꺼운 재료로 구성하는 것이 행해지고 있다. 그러나, 이 경우, 에어나이프가 고중량화되기 때문에, 조립 작업 등의 취급이 불편해질 뿐만 아니라, 에어나이프는 스테인레스강 등의 고가의 재료가 이용되기 때문에, 비용이 비싸지는 경우가 있다.Thus, the air knife is made of a thick material having rigidity that does not cause warping by its own weight. However, in this case, since the air knife becomes high in weight, handling of assembly work or the like becomes inconvenient, and since the air knife uses expensive materials such as stainless steel, the cost may be high.

그래서, 특허 문헌 1에 개시된 바와 같이 에어나이프의 길이를 길게 한 경우라도, 에어나이프 자체의 강성을 높이지 않고서, 휘어짐이 발생하지 않도록 하는 것이 제안되어 있다. 즉, 특허 문헌 1의 도 8에 도시된 바와 같이 에어나이프의 길이방향의 중도부에 지지구를 장착하고, 이 지지구에 연결 부재의 일단을 연결한다. 이 연결 부재의 타단은, 상기 에어나이프와 평행하게 배치된 급기관(給氣管)에 연결된다. 이 급기관과 에어나이프는 튜브에 의해 접속되어, 에어나이프에 기체를 공급할 수 있도록 되어 있다.Therefore, even when the length of an air knife is lengthened as disclosed in patent document 1, it is proposed that bending does not occur, without raising the rigidity of an air knife itself. That is, as shown in FIG. 8 of patent document 1, a support tool is attached to the intermediate part of the longitudinal direction of an air knife, and one end of a connection member is connected to this support tool. The other end of this connecting member is connected to an air supply pipe arranged in parallel with the air knife. The air supply pipe and the air knife are connected by a tube so that gas can be supplied to the air knife.

(특허 문헌 1) 일본 특허 공개 제2006-245328호 공보(Patent Document 1) Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2006-245328 특허 문헌 1에 개시된 에어나이프의 지지 구조에 따르면, 연결 부재의 일단에 에어나이프에 장착되는 지지구가 연결 고정되어 있고, 상기 연결 부재의 타단은 급기관에 연결 고정되어 있다. 이 때문에, 급기관에 휘어짐이 발생한 경우, 이 급기관의 휘어짐을 흡수할 수 없기 때문에, 급기관과 함께 에어나이프에도 휘어짐이 발생해 버리는 경우가 있다.According to the support structure of the air knife disclosed in patent document 1, the support tool attached to an air knife is fixed to one end of a connection member, and the other end of this connection member is fixed to a supply pipe. For this reason, when the bending occurs in the air supply pipe, the bending of the air supply pipe cannot be absorbed, so that the air knife may also be bent along with the air supply pipe. 또한, 에어나이프는 기판의 판면에 대하여 높이 및 경사 각도를 조정하는 것이 요구된다. 그러나, 특허 문헌 1에 개시된 바와 같이, 에어나이프에 휘어짐이 발생하지 않도록 하기 위해서, 연결 부재를 통해 급기관에 연결 고정된 지지구에 에어나이프를 장착하는 구성에서는, 상기 에어나이프의 높이나 기울기를 조정할 수 없는 경우가 있다.In addition, the air knife is required to adjust the height and the inclination angle with respect to the plate surface of the substrate. However, as disclosed in Patent Literature 1, in order to prevent the warping from occurring in the air knife, in the configuration in which the air knife is attached to the support fixed to the supply pipe via the connecting member, the height and inclination of the air knife are adjusted. You may not be able to.

본 발명은, 에어나이프의 강성을 높이지 않고, 휘어짐이 발생하는 것을 방지할 수 있도록 하고, 또한 기판의 판면에 대하여 에어나이프의 높이나 기울기를 조정할 수 있도록 한 기판의 처리 장치를 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a substrate processing apparatus capable of preventing warpage from occurring without increasing the rigidity of the air knife and adjusting the height and inclination of the air knife with respect to the plate surface of the substrate.

상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명은, 챔버 내에서 수평 반송되는 기판의 상면과 하면에 기체를 분사하여 그 기판을 건조 처리하는 처리 장치로서,MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, this invention is a processing apparatus which injects gas into the upper surface and lower surface of the board | substrate horizontally conveyed in a chamber, and dry-processes the board | substrate,

상기 챔버 내에서 반송되는 상기 기판의 상면에 대향하여 배치되어 이 기판의 상면에 기체를 소정의 경사 각도로 분사하고, 길이방향 중도부에 상부 후크가 마련된 상부 에어나이프와,An upper air knife disposed opposite the upper surface of the substrate to be conveyed in the chamber, injecting gas into the upper surface of the substrate at a predetermined inclination angle, and having an upper hook provided in the longitudinal middle part;

상기 기판의 하면에 대향하여 배치되어 이 기판의 하면에 기체를 소정의 경사 각도로 분사하고, 길이방향 중도부에 하부 후크가 마련된 하부 에어나이프와,A lower air knife disposed to face the lower surface of the substrate and having a lower hook formed therein, the lower air knife having a lower hook formed therein;

상기 상부 에어나이프의 상방과 상기 하부 에어나이프의 하방 각각에 각 에어나이프와 동일한 방향을 따라 평행하게 마련된 상부 지지 부재 및 하부 지지 부재와,An upper support member and a lower support member provided in parallel with each air knife above and above the upper air knife, respectively;

상기 상부 지지 부재의 길이방향의 중도부에 수직 방향으로 위치 결정 가능하게 마련되고 하단에 상기 상부 후크가 요동 가능하게 결합되는 상부 걸림부를 갖는 현수 부재와,A suspending member provided to be positioned in a vertical direction in the longitudinal direction of the upper support member in a vertical direction and having an upper locking portion coupled to the upper hook so as to be swingable at a lower end thereof;

상기 하부 지지 부재의 길이방향의 중도부에 수직 방향으로 위치 결정 가능하게 마련되고 상단에 상기 하부 후크가 요동 가능하게 결합되는 하부 걸림부를 갖는 밀어올림 부재A push-up member having a lower locking portion that is provided to be positioned in a vertical direction in the longitudinal direction of the lower support member in a vertical direction and has a lower locking portion coupled to the lower hook so as to be swingable at an upper end thereof.

를 구비한 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치를 제공하는 것에 있다.It is providing the processing apparatus of the board | substrate characterized by the above-mentioned.

본 발명에 따르면, 상부 에어나이프에 마련된 상부 후크가 현수 부재의 상부 걸림부에 요동 가능하게 결합되고, 또한 상부 지지 부재에 대하여 수직 방향으로 위치 결정 가능하게 되어 있기 때문에, 상부 에어나이프가 하방으로 휘어지는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 상부 에어나이프의 기판의 판면(板面)에 대한 각도 및 상하 방향의 위치 결정 조정이 가능해진다.According to the present invention, since the upper hook provided in the upper air knife is pivotably coupled to the upper locking portion of the suspension member, and the upper hook is positioned vertically with respect to the upper support member, the upper air knife is bent downward. Not only can it be prevented, but also the angle adjustment with respect to the plate surface of the board | substrate of an upper air knife, and positioning adjustment of an up-down direction becomes possible.

또한, 하부 에어나이프에 마련된 하부 후크가 밀어올림 부재의 하부 걸림부에 요동 가능하게 결합되고, 또한 하부 지지 부재에 대하여 수직 방향으로 위치 결정 가능하게 되어 있기 때문에, 하부 에어나이프가 하방으로 휘어지는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 하부 에어나이프의 기판의 판면에 대한 각도 및 상하 방향의 위치 결정 조정이 가능해진다.In addition, since the lower hook provided in the lower air knife is pivotably coupled to the lower engaging portion of the pushing member, and the lower hook is positioned vertically with respect to the lower supporting member, the lower air knife is prevented from being bent downward. Not only can this be done, but also the angle adjustment with respect to the board surface of the board | substrate of a lower air knife, and positioning of an up-down direction becomes possible.

도 1은 본 발명의 일 실시형태를 도시하는 챔버의 길이방향을 따르는 종단면도이다.
도 2는 에어나이프 유닛의 일부를 생략한 정면도이다.
도 3은 에어나이프 유닛의 일단부의 사시도이다.
도 4는 상부 에어나이프와 하부 에어나이프의 휘어짐을 방지하는 기구를 도시하는 측면도이다.
도 5는 상부 에어나이프의 휘어짐을 측정한 그래프이다.
도 6은 하부 에어나이프의 휘어짐을 측정한 그래프이다.
도 7a는 상부 에어나이프의 휘어짐이 교정되어 있지 않을 때의 기판 상에 있어서의 기체의 풍속을 측정한 그래프이다.
도 7b는 상부 에어나이프의 휘어짐을 교정했을 때의 기판 상에 있어서의 기체의 풍속을 측정한 그래프이다.
도 7c는 기판 상의 풍속을 측정할 때의 조건을 도시한 도면이다.1 is a longitudinal cross-sectional view along a longitudinal direction of a chamber, showing an embodiment of the present invention.
2 is a front view in which a part of the air knife unit is omitted.
3 is a perspective view of one end of the air knife unit.
4 is a side view illustrating a mechanism for preventing the upper air knife and the lower air knife from bending.
5 is a graph measuring the bending of the upper air knife.
6 is a graph measuring the bending of the lower air knife.
It is a graph which measured the wind speed of the gas on a board | substrate when the curvature of an upper air knife is not correct | amended.
It is a graph which measured the wind speed of the gas on a board | substrate at the time of correct | amending the curvature of an upper air knife.
7C is a diagram illustrating conditions when measuring wind speed on a substrate.

이하, 본 발명의 일 실시형태를 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one Embodiment of this invention is described, referring drawings.

도 1은 기판의 처리 장치의 길이방향을 따르는 종단면도로서, 이 처리 장치는 챔버(1)를 구비하고 있다. 이 챔버(1) 내에는 도시하지 않은 구동 기구에 의해 회전 구동되는 복수의 반송 롤러(2)가 상기 길이방향을 따라 소정 간격으로 배치되어 있다.1 is a longitudinal sectional view along a longitudinal direction of a substrate processing apparatus, which includes a chamber 1. In this chamber 1, the some conveyance roller 2 rotationally driven by the drive mechanism not shown is arrange | positioned at predetermined intervals along the said longitudinal direction.

상기 챔버(1)의 길이방향 일단에는 반입구(3)가 개구 형성되고, 타단에는 반출구(4)가 개구 형성되어 있다. 이전 공정에서 세정 처리된 기판(W)이, 상기 반입구(3)로부터 챔버(1) 안으로 공급된다. 챔버(1) 내에 공급된 기판(W)은 상기 반송 롤러(2)에 의해 화살표로 나타내는 방향으로 수평 반송되어 상기 반출구(4)로부터 반출된다. 그리고, 상기 기판(W)은, 상기 챔버(1) 내에서 반송되는 동안에, 에어나이프 유닛(6)에 의해 상하면에 부착 잔류한 세정액이 제거되는 건조 처리가 행해진다.An opening 3 is formed at one end in the longitudinal direction of the chamber 1, and an opening 4 is formed at the other end of the chamber 1. The substrate W cleaned in the previous process is fed into the chamber 1 from the inlet 3. The board | substrate W supplied in the chamber 1 is horizontally conveyed by the said conveying roller 2 in the direction shown by the arrow, and is carried out from the said discharge opening 4. And while the said board | substrate W is conveyed in the said chamber 1, the drying process which removes the washing | cleaning liquid which adhered to the upper and lower surfaces by the air knife unit 6 is performed.

상기 에어나이프 유닛(6)은, 도 2와 도 3에 도시하는 바와 같이 선단면에 기체의 분출 구멍(7a, 8a)이 길이방향의 대략 전체 길이에 걸쳐 형성된 상부 에어나이프(7)와 하부 에어나이프(8)를 갖는다. 이들 각 에어나이프(7, 8)는 스테인레스강판 등의 내식성을 갖는 2장의 판재(板材)를 중첩시켜 형성되어 있다.As shown in FIGS. 2 and 3, the air knife unit 6 has an upper air knife 7 and a lower air in which gas blowing holes 7a and 8a are formed over the entire length of the longitudinal direction. It has a knife 8. Each of these air knifes 7 and 8 is formed by superimposing two sheets of corrosion resistant materials such as stainless steel sheets.

도 3에 도시하는 바와 같이 각 에어나이프(7, 8)의 길이방향의 일단과 타단의 측면(한쪽만 도시)에는, 폭방향의 일단부에 한 쌍의 긴 구멍(11)이 형성된 직사각형 판 형상의 높이 조정 부재(12)가 상기 긴 구멍(11)을 통해 한 쌍의 부착 나사(13)에 의해 연결되어 있다.As shown in FIG. 3, the rectangular plate shape in which the pair of long holes 11 were formed in the one end of the longitudinal direction and the other end side (only one side) of each air knife 7 and 8 at the one end of the width direction is formed. The height adjusting member 12 is connected by a pair of attachment screws 13 through the long hole 11.

또한, 각 에어나이프(7, 8)의 측면에는, 상기 분출 구멍(7a, 8a)으로부터 분출되는 압축 공기 등의 기체를 공급하는 기체 공급부에 튜브(모두 도시하지 않음)를 통해 접속되는 복수의 기체 공급구체(7b, 8b)가 마련되어 있다.In addition, a plurality of gases connected to the side surfaces of each air knife 7 and 8 through a tube (all not shown) to a gas supply unit for supplying gas such as compressed air ejected from the ejection holes 7a and 8a. Supply spheres 7b and 8b are provided.

상기 높이 조정 부재(12)의 폭방향의 일단에는 돌출부(14)가 마련되어 있다. 이 돌출부(14)는, 상기 각 에어나이프(7, 8)의 후단부면에 마련된 부착편(15)에 나사 결합된 높이 조정 나사(16)에 의해 압박되도록 되어 있다.The protrusion 14 is provided at one end in the width direction of the height adjustment member 12. The protruding portion 14 is pressed by the height adjusting screw 16 screwed to the attachment piece 15 provided on the rear end face of each of the air knifes 7 and 8.

상기 한 쌍의 부착 나사(13)를 느슨하게 한 상태에서, 상기 높이 조정 나사(16)에 의해 상기 돌출부(14)를 압박하면, 상기 높이 조정 부재(12)에 대하여 각 에어나이프(7, 8)를 각 측면의 높이 방향, 즉 상하 방향을 따라 이동시킬 수 있도록 되어 있다.When the pair of mounting screws 13 are loosened and the protrusions 14 are pressed by the height adjusting screws 16, the air knives 7 and 8 are applied to the height adjusting members 12. It can be moved along the height direction of each side surface, ie, the up-down direction.

상기 높이 조정 부재(12)의 폭방향의 타단부에는 띠판 형상의 각도 조정 부재(18)의 단부면이 한 쌍의 고정 나사(19)에 의해 부착 고정되어 있다. 상기 각도 조정 부재(18)는 일단부가 각 에어나이프(7, 8)의 선단면으로부터 돌출되어 있다. 한 쌍의 각도 조정 부재(18)의 일단부는 중첩되어 있고, 그 중첩 부분은 측면 형상이 コ자형인 연결 부재(21)의 중도부에 각도 조정 나사(22)에 의해 회동 가능하게 또한 소정의 회동 각도로 고정 가능하게 부착되어 있다.The end face of the strip | belt-shaped angle adjustment member 18 is attached and fixed to the other end part of the width direction of the said height adjustment member 12 with a pair of fixing screw 19. As shown in FIG. One end portion of the angle adjusting member 18 protrudes from a front end surface of each air knife 7, 8. One end of the pair of angle adjusting members 18 is superimposed, and the overlapping portion thereof is pivotally rotatable by the angle adjusting screw 22 at a middle portion of the connecting member 21 having a U-shape in a side shape. It is attached to be fixed at an angle.

따라서, 상부 에어나이프(7)와 하부 에어나이프(8)는, 상기 연결 부재(21)에 대하여, 상기 각도 조정 부재(18)를 통해 상기 각도 조정 나사(22)에 의해 각도 조정 가능하고, 상기 높이 조정 부재(12)를 통해 상기 높이 조정 나사(16)에 의해 높이 조정 가능하게 되어 있다.Therefore, the upper air knife 7 and the lower air knife 8 are angle-adjustable with the said angle adjusting screw 22 with respect to the said connection member 21 via the said angle adjusting member 18, and the said The height adjustment screw 16 makes it possible to adjust the height via the height adjustment member 12.

그리고, 도 2에 도시하는 바와 같이 상부 에어나이프(7)와 하부 에어나이프(8)의 길이방향의 일단과 타단에 마련된 한 쌍의 연결 부재(21)의 상변에는 상부 지지 부재(25)의 길이방향의 일단부와 타단부가 부착 고정되고, 하변에는 하부 지지 부재(26)의 길이방향의 일단부와 타단부가 부착 고정되어 있다.As shown in FIG. 2, the length of the upper support member 25 is provided on the upper side of the pair of connecting members 21 provided at one end and the other end in the longitudinal direction of the upper air knife 7 and the lower air knife 8. One end portion and the other end portion in the direction are attached and fixed, and one end portion and the other end portion in the longitudinal direction of the lower support member 26 are attached and fixed to the lower side.

상기 상부 지지 부재(25)와 하부 지지 부재(26)는 하중에 대하여 비교적 휘어짐이 발생하기 어려운 형상의 부재, 예컨대 앵글 부재가 이용되고 있다. 상부 지지 부재(25)의 길이방향 중도부의 2부위에는 볼트로 이루어지는 현수 부재(27)가 마련되어 있다.As for the upper support member 25 and the lower support member 26, a member of a shape such as an angle member, which is relatively hard to bend with respect to a load, is used. Suspension members 27 made of bolts are provided at two portions in the longitudinal middle portion of the upper support member 25.

도 4에 도시하는 바와 같이, 상기 현수 부재(27)의 중도부에는 상기 상부 지지 부재(25)의 한 변을 사이에 두고 한 쌍의 고정 너트(28)가 나사 결합되어 있다. 이에 따라, 상기 현수 부재(27)는 상기 상부 지지 부재(25)에 대하여 상하 방향으로 위치 결정 조정 가능하게 되어 있다.As shown in FIG. 4, a pair of fixing nuts 28 are screwed into the middle portion of the suspension member 27 with one side of the upper support member 25 interposed therebetween. As a result, the suspension member 27 is capable of positioning adjustment in the vertical direction with respect to the upper support member 25.

상기 현수 부재(27)의 하단에는, 원기둥 형상의 상부 걸림부(29)가 축선을 현수 부재(27)의 축선과 직교시켜 마련되어 있다.At the lower end of the suspension member 27, a cylindrical upper locking portion 29 is provided so that the axis is orthogonal to the axis of the suspension member 27.

상기 상부 에어나이프(7)의 길이방향 중도부의 후단부면에 일단이 부착 고정된 상부 후크(31)는, 그 타단에 형성된 결합부로서의 L자형의 갈고리부(31a)가, 상기 상부 걸림부(29)의 원호 형상의 외주면에 결합되어 있다. 즉, 상기 갈고리부(31a)는 상기 상부 걸림부(29)에 대하여 요동 가능하게 결합되어 있다. 또한, 상기 갈고리부(31a)에는 홈부(31b)가 형성되고, 이 홈부(31b)를 상기 현수 부재(27)가 지나가게 되어 있다.The upper hook 31, one end of which is fixed to the rear end surface of the longitudinal middle portion of the upper air knife 7, has an L-shaped hook portion 31a serving as an engaging portion formed at the other end thereof. ) Is coupled to the outer circumferential surface of the arc shape. That is, the hook portion 31a is pivotally coupled to the upper locking portion 29. Moreover, the groove part 31b is formed in the said hook part 31a, and the said suspension member 27 passes through this groove part 31b.

이에 따라, 상기 상부 지지 부재(25)에 대한 상기 현수 부재(27)의 상하 방향의 위치를 한 쌍의 고정 너트(28)에 의해 조정하면, 이 현수 부재(27)의 하단에 마련된 상부 걸림부(29)와, 상기 상부 에어나이프(7)에 마련된 상부 후크(31)의 결합에 의해 상기 상부 에어나이프(7)의 하방으로의 휘어짐을 제거할 수 있도록 되어 있다.Accordingly, when the vertical position of the suspension member 27 with respect to the upper support member 25 is adjusted by a pair of fixing nuts 28, an upper locking portion provided at the lower end of the suspension member 27 is provided. (29) and the upper hook 31 provided in the upper air knife 7 can remove the warp below the upper air knife 7.

상기 상부 에어나이프(7)의 각도를 상기 각도 조정 나사(22)를 느슨하게 하여 상기 각도 조정 부재(18)를 회동시켜 조정하면, 상부 에어나이프(7)의 회동에 따라 상부 후크(31)의 갈고리부(31a)가 상부 걸림부(29)에 대하여 상부 에어나이프(7)의 길이방향과 교차하는 방향으로 요동하기 때문에, 상부 에어나이프(7)의 각도를 변경할 수 있다.When the angle of the upper air knife 7 is adjusted by loosening the angle adjusting screw 22 and rotating the angle adjusting member 18, the hook of the upper hook 31 is rotated in accordance with the rotation of the upper air knife 7. Since the part 31a oscillates with respect to the upper locking part 29 in the direction which cross | intersects the longitudinal direction of the upper air knife 7, the angle of the upper air knife 7 can be changed.

도 2에 도시하는 바와 같이, 상기 하부 지지 부재(26)의 길이방향 중도부의 2부위에는 볼트로 이루어지는 밀어올림 부재(32)가 마련되어 있다. 이 밀어올림 부재(32)의 중도부에는 도 4에 도시하는 바와 같이 상기 하부 지지 부재(26)의 한 변을 사이에 두고 한 쌍의 고정 너트(33)가 나사 결합되어 있다. 이에 따라, 상기 밀어올림 부재(32)는 상기 하부 지지 부재(26)에 대하여 상하 방향으로 위치 결정 조정 가능하게 되어 있다.As shown in FIG. 2, the pushing member 32 which consists of a bolt is provided in 2 parts of the longitudinal middle part of the said lower support member 26. As shown in FIG. As shown in FIG. 4, a pair of fixing nuts 33 are screwed into the intermediate portion of the pushing member 32 with one side of the lower support member 26 interposed therebetween. Accordingly, the pushing member 32 is capable of positioning adjustment in the vertical direction with respect to the lower support member 26.

상기 밀어올림 부재(32)의 상단에는, 원기둥 형상의 하부 걸림부(34)가 축선을 밀어올림 부재(32)의 축선과 직교시켜 마련되어 있다. 상기 하부 에어나이프(8)의 길이방향 중도부의 후단부면에 일단이 부착 고정된 하부 후크(35)는, 그 타단에 형성된 결합부로서의 L자형의 갈고리부(35a)가, 상기 하부 걸림부(34)의 원호 형상의 외주면에 결합되어 있다. 즉, 상기 갈고리부(35a)는 상기 하부 걸림부(34)에 대하여 상기 하부 에어나이프(8)의 길이방향과 교차하는 방향에 대하여 요동 가능하게 결합되어 있다.At the upper end of the pushing member 32, a cylindrical lower locking portion 34 is provided to orthogonally cross the axis of the pushing member 32. The lower hook 35 having one end fixed to the rear end surface of the longitudinal middle portion of the lower air knife 8 has an L-shaped hook portion 35a serving as an engaging portion formed at the other end thereof. ) Is coupled to the outer circumferential surface of the arc shape. That is, the hook portion 35a is coupled to the lower locking portion 34 so as to be swingable in a direction crossing the longitudinal direction of the lower air knife 8.

이에 따라, 상기 하부 지지 부재(26)에 대한 상기 밀어올림 부재(32)의 상하 방향의 위치를 한 쌍의 고정 너트(33)에 의해 조정하면, 이 밀어올림 부재(32)의 상단에 마련된 하부 걸림부(34)와, 상기 하부 에어나이프(8)에 마련된 하부 후크(35)의 결합에 의해 상기 하부 에어나이프(8)의 하방으로의 휘어짐을 제거할 수 있도록 되어 있다.Accordingly, when the position in the vertical direction of the pushing member 32 with respect to the lower supporting member 26 is adjusted by a pair of fixing nuts 33, the lower portion provided at the upper end of the pushing member 32 is provided. The engagement of the catching part 34 and the lower hook 35 provided in the lower air knife 8 makes it possible to remove the warp downward of the lower air knife 8.

또한, 하부 에어나이프(8)의 각도를 상기 연결 부재(21)에 나사 결합된 각도 조정 나사(22)를 느슨하게 하여 상기 각도 조정 부재(18)를 회동시켜 조정하면, 하부 에어나이프(8)의 회동에 따라 하부 후크(35)의 갈고리부(35a)가 하부 걸림부(34)에 대하여 요동하기 때문에, 하부 에어나이프(8)의 각도를 변경할 수 있다.Further, when the angle of the lower air knife 8 is loosened by adjusting the angle adjusting screw 22 screwed to the connecting member 21 and the angle adjusting member 18 is rotated to adjust the angle of the lower air knife 8 Since the hook portion 35a of the lower hook 35 swings with respect to the lower locking portion 34 in accordance with the rotation, the angle of the lower air knife 8 can be changed.

상기 상부 에어나이프(7), 하부 에어나이프(8), 상부 지지 부재(25) 및 하부 지지 부재(26)는, 이들 한 쌍의 에어나이프(7, 8)의 양단부에 마련된 한 쌍의 연결 부재(21)에 의해 일체화된 상기 에어나이프 유닛(6)으로 되어 있다.The upper air knife 7, the lower air knife 8, the upper support member 25 and the lower support member 26 are a pair of connecting members provided at both ends of the pair of air knifes 7 and 8. The air knife unit 6 integrated by 21 is used.

이렇게 하여 구성된 에어나이프 유닛(6)은 챔버(1) 내에 설치된다. 즉, 도 2에 도시하는 바와 같이 상기 챔버(1)의 상기 기판(W)의 반송 방향에 대하여 교차하는 방향의 폭방향 양단부의 외방에는, L자형의 지지 부재(37)가 수평 부분의 선단부가 상기 챔버(1) 내로 돌출되어 마련되어 있다.The air knife unit 6 constructed in this way is installed in the chamber 1. That is, as shown in FIG. 2, the L-shaped support member 37 has the front end portion of the horizontal portion outside the widthwise both ends in the direction intersecting the conveying direction of the substrate W of the chamber 1. It protrudes into the chamber 1 and is provided.

상기 지지 부재(37)의 수직부의 하단은, 챔버(1)가 배치되는 가대(架臺) 등의 고정부(38)에 고정되어 있다. 그리고, 좌우 한 쌍의 지지 부재(37)의 수평 부분의 선단부에, 상기 에어나이프 유닛(6)의 연결 부재(21)의 중간부의 외면에 마련된 부착부(21a)가 연결 고정된다.The lower end of the vertical part of the said support member 37 is being fixed to the fixing part 38, such as a mount in which the chamber 1 is arrange | positioned. And the attachment part 21a provided in the outer surface of the intermediate part of the connection member 21 of the said air knife unit 6 is connected and fixed to the front-end | tip of the horizontal part of the pair of left and right support members 37.

또한, 상기 에어나이프 유닛(6)의 상하 한 쌍의 에어나이프(7, 8)는, 이들의 분출 구멍(7a, 8a)이 기판(W)의 반송 방향 상류측을 향하도록 수직 방향에 대하여 소정의 각도, 예컨대 55도의 각도로 경사지고, 또한 기판(W)의 반송 방향과는 직교하는 폭방향과 평행한 수평 방향에 대하여 소정의 각도로 경사져 배치되어 있다. 즉, 기판(W)의 폭방향에 대하여 경사져 있다. 또한, 상하 한 쌍의 에어나이프(7, 8)는, 이들의 분출 구멍(7a, 8a)이 개구된 선단면 사이에 상기 기판(W)이 통과하는 높이가 형성되도록, 상기 한 쌍의 지지 부재(37)에 부착 고정되어 있다.In addition, the upper and lower pairs of the air knifes 7 and 8 of the air knife unit 6 are predetermined with respect to the vertical direction so that their blow holes 7a and 8a face the upstream side of the substrate W in the conveying direction. Is inclined at an angle of, for example, 55 degrees, and is inclined at a predetermined angle with respect to the horizontal direction parallel to the width direction perpendicular to the conveyance direction of the substrate W. That is, it inclines with respect to the width direction of the board | substrate W. As shown in FIG. In addition, the pair of upper and lower air knives 7 and 8 support the pair of supporting members such that a height at which the substrate W passes is formed between the front end surfaces of the ejection holes 7a and 8a. It is attached and fixed to 37.

이와 같이 구성된 처리 장치에 따르면, 상부 에어나이프(7)와 하부 에어나이프(8)를, 두꺼운 판재를 이용하지 않고 형성하면, 충분한 강성이 얻어지지 않기 때문에, 상부 에어나이프(7)는 도 4에 화살표 D1로 나타내는 경사 하방을 향하여 휘어지려고 하고, 하부 에어나이프(8)는 도 4에 화살표 D2로 나타내는 경사 하방을 향하여 휘어지려고 한다.According to the processing apparatus comprised in this way, when the upper air knife 7 and the lower air knife 8 are formed without using a thick board | plate material, sufficient rigidity will not be obtained, and the upper air knife 7 is not shown in FIG. The lower air knife 8 is going to be bent toward the inclination downward indicated by the arrow D1, and the lower air knife 8 is bent toward the inclination downward indicated by the arrow D2 in FIG.

그러나, 상부 에어나이프(7)는 길이방향의 중도부의 2부위에 상부 후크(31)가 마련되고, 이들 상부 후크(31)가 현수 부재(27)의 하단에 마련된 상부 걸림부(29)에 요동 가능하게 결합되어 있다. 따라서, 상기 상부 후크(31)와 상기 상부 걸림부(29)의 결합에 의해 상부 에어나이프(7)가 화살표 D1로 나타내는 경사 하방을 향하여 휘어지는 것이 저지되게 된다.However, the upper air knife 7 is provided with upper hooks 31 at two portions in the midway portion in the longitudinal direction, and these upper hooks 31 swing at the upper locking portions 29 provided at the lower end of the hanging member 27. Possibly combined. Therefore, the upper air knife 7 is prevented from bowing downward in the inclination indicated by arrow D1 by the coupling of the upper hook 31 and the upper locking portion 29.

상기 현수 부재(27)는 상부 지지 부재(25)에 부착되어 있기 때문에, 상기 상부 지지 부재(25)에 상기 현수 부재(27)를 통해 상부 에어나이프(7)의 중량이 가해짐으로써, 상부 지지 부재(25)와 함께 상부 에어나이프(7)가 휘어질 우려가 있다.Since the suspension member 27 is attached to the upper support member 25, the upper support member 25 is subjected to the weight of the upper air knife 7 by the weight of the upper air knife 7 through the suspension member 27. The upper air knife 7 may be bent together with the member 25.

그러나, 상기 현수 부재(27)는 상부 지지 부재(25)에 대하여 상하 방향의 부착 위치를 조정할 수 있기 때문에, 상부 지지 부재(25)에 하방으로의 휘어짐이 발생한 경우에는, 그만큼 현수 부재(27)의 상부 지지 부재(25)에 대한 부착 위치를 상방으로 옮기면, 상부 에어나이프(7)의 휘어짐을 제거할 수 있다.However, since the suspending member 27 can adjust the attachment position in the up-down direction with respect to the upper support member 25, when the upper support member 25 is bent downward, the suspension member 27 is that much. When the attachment position with respect to the upper support member 25 of is moved upward, the curvature of the upper air knife 7 can be removed.

상부 에어나이프(7)는 화살표 D1로 나타내는 바와 같이 경사 하방을 향하여 휘어짐이 발생한다. 그에 대하여 현수 부재(27)는 수직 방향으로 상하 이동한다. 그러나, 상부 에어나이프(7)에 마련된 상부 후크(31)의 갈고리부(31a)는 현수 부재(27)의 하단에 마련된 상부 걸림부(29)에 대하여 요동 가능하게 결합되어 있다.As shown by the arrow D1, the upper air knife 7 bends downward. The suspension member 27 moves up and down in the vertical direction. However, the hook portion 31a of the upper hook 31 provided on the upper air knife 7 is pivotally coupled to the upper locking portion 29 provided on the lower end of the suspension member 27.

그 때문에, 상부 에어나이프(7)의 휘어짐 방향(D1)에 대하여 현수 부재(27)의 상승 방향이 동일 직선상에 위치하는 반대 방향이 되지 않아도, 상기 현수 부재(27)를 상부 에어나이프(7)의 휘어짐량에 따라 상승시킴으로써, 이 상부 에어나이프(7)의 휘어짐을 확실하게 제거할 수 있다.Therefore, even if the upward direction of the suspension member 27 with respect to the bending direction D1 of the upper air knife 7 does not become the opposite direction located on the same straight line, the suspension member 27 is replaced by the upper air knife 7. By raising according to the amount of warp of), the warp of this upper air knife 7 can be reliably removed.

또한, 연결 부재(21)에 대한 각도 조정 부재(18)의 부착 각도를 변경하여 기판(W)의 판면에 대한 상부 에어나이프(7)의 경사 각도를 변경하는 경우, 상부 에어나이프(7)에 마련된 상부 후크(31)의 갈고리부(31a)가 현수 부재(27)의 하단에 마련된 상부 걸림부(29)에 대하여 요동하기 때문에, 그 각도 변경을 확실하게 행할 수 있다.In addition, when changing the inclination angle of the upper air knife 7 with respect to the board surface of the board | substrate W by changing the attachment angle of the angle adjusting member 18 with respect to the connection member 21, Since the hook part 31a of the provided upper hook 31 swings with respect to the upper locking part 29 provided in the lower end of the suspension member 27, the angle change can be reliably performed.

즉, 상부 에어나이프(7)의 휘어짐을 제거하기 위해서, 종래와 같이 상부 에어나이프(7)에 마련된 상부 후크(31)와 상부 지지 부재(25)를 연결 고정하지 않아도 된다. 그 때문에, 상부 지지 부재(25)에 대한 현수 부재(27)의 부착 위치를 조정하여 상부 에어나이프(7)의 휘어짐을 제거할 수 있을 뿐만 아니라, 상부 에어나이프(7)의 각도 설정도 행하는 것이 가능해진다.That is, in order to remove the bending of the upper air knife 7, it is not necessary to connect and fix the upper hook 31 and the upper support member 25 provided in the upper air knife 7 as in the prior art. Therefore, not only the bending of the upper air knife 7 can be removed by adjusting the attachment position of the hanging member 27 to the upper support member 25, but also the angle setting of the upper air knife 7 is performed. It becomes possible.

상부 에어나이프(7)와 마찬가지로, 하부 에어나이프(8)의 길이방향의 중도부의 2부위에는 하부 후크(35)가 마련되고, 이들 하부 후크(35)가 밀어올림 부재(32)의 상단에 마련된 하부 걸림부(34)에 요동 가능하게 결합되어 있다.Like the upper air knife 7, the lower hook 35 is provided at two portions of the midway portion in the longitudinal direction of the lower air knife 8, and the lower hook 35 is provided on the upper end of the pushing member 32. It is coupled to the lower locking portion 34 so as to be swingable.

따라서, 하부 에어나이프(8)가 도 4에 화살표 D2로 나타내는 경사 하방으로 휘어져도, 그 휘어짐량에 따라 밀어올림 부재(32)를 수직 방향으로 상승시켜 위치 결정하면, 하부 에어나이프(8)의 경사 하방으로의 휘어짐을 제거할 수 있다. 또한, 하부 후크(35)가 밀어올림 부재(32)의 상단에 마련된 하부 걸림부(34)에 요동 가능하게 결합되어 있기 때문에, 하부 에어나이프(8)의 각도 설정도 가능하다.Therefore, even if the lower air knife 8 is bent downward in the inclination indicated by the arrow D2 in FIG. 4, when the lifting member 32 is raised in the vertical direction and positioned according to the amount of warpage, the lower air knife 8 is positioned. The warping down the slope can be eliminated. In addition, since the lower hook 35 is pivotably coupled to the lower locking portion 34 provided at the upper end of the pushing member 32, the angle setting of the lower air knife 8 is also possible.

도 5의 그래프에 있어서, 꺾은선 A는 상부 에어나이프(7)가 현수 부재(27)에 의해 지지되어 있지 않을 때의 휘어짐량을 측정한 그래프이고, 꺾은선 B는 상부 에어나이프(7)의 길이방향 중도부를 하나의 현수 부재(27)로 지지했을 때의 휘어짐량을 측정한 그래프이며, 꺾은선 C는 길이방향 중도부를 2개의 현수 부재(27)로 지지했을 때의 휘어짐량을 측정한 그래프이다. 또한, 도 5의 그래프의 세로축은 휘어짐량(㎜)이고, 가로축은 상부 에어나이프(7)의 길이방향을 11등분한 위치를 나타낸다.In the graph of FIG. 5, the broken line A is a graph which measured the amount of curvature when the upper air knife 7 is not supported by the hanging member 27, and the broken line B is a graph of the upper air knife 7 of FIG. It is a graph which measured the amount of deflection when the longitudinal middle part was supported by one suspension member 27, and the broken line C is the graph which measured the amount of deflection when the longitudinal middle part is supported by the two suspension members 27. to be. In addition, the vertical axis | shaft of the graph of FIG. 5 is a deflection amount (mm), and the horizontal axis | shaft shows the position which divided 11 lengthwise directions of the upper air knife 7. As shown in FIG.

이 그래프 A∼C로부터 명백하듯이, 상부 에어나이프(7)를 현수 부재(27)로 지지함으로써, 휘어짐량이 크게 감소하는 것을 알 수 있다. 또한, 상부 에어나이프(7)는 길이가 3 m이고, 재질은 스테인레스강판으로 만들어진 것이다.As apparent from these graphs A to C, it can be seen that the amount of warpage is greatly reduced by supporting the upper air knife 7 with the hanging member 27. In addition, the upper air knife (7) is 3 m in length, the material is made of stainless steel sheet.

도 6의 그래프에 있어서, 꺾은선 D는 하부 에어나이프(8)가 밀어올림 부재(32)에 의해 지지되어 있지 않을 때의 휘어짐량을 측정한 그래프이고, 꺾은선 E는 하부 에어나이프(8)의 길이방향 중도부를 하나의 밀어올림 부재(32)로 지지했을 때의 휘어짐량을 측정한 그래프이며, 꺾은선 F는 길이방향 중도부를 2개의 밀어올림 부재(32)로 지지했을 때의 휘어짐량을 측정한 그래프이다.In the graph of FIG. 6, the broken line D is a graph which measured the amount of curvature when the lower air knife 8 is not supported by the pushing member 32, and the broken line E is the lower air knife 8 Is a graph measuring the amount of deflection when the longitudinal midway portion is supported by one pushing member 32, and the broken line F is the amount of bending when the longitudinal midway portion is supported by the two pushing members 32. FIG. It is a graph measured.

이 그래프 D∼F로부터 명백하듯이, 하부 에어나이프(8)를 밀어올림 부재(32)로 지지함으로써, 휘어짐량이 크게 감소하는 것을 알 수 있다. 또한, 하부 에어나이프(8)는 상부 에어나이프(7)와 마찬가지로, 길이가 3 m이고, 재질은 스테인레스강판이다. 도 6의 그래프의 세로축은 휘어짐량(㎜)이고, 가로축은 하부 에어나이프(8)의 길이방향을 11등분한 위치를 나타낸다.As is apparent from these graphs D to F, it can be seen that the amount of warpage is greatly reduced by supporting the lower air knife 8 with the lifting member 32. In addition, the lower air knife 8, like the upper air knife 7, is 3 m in length and is made of stainless steel. The vertical axis | shaft of the graph of FIG. 6 is a deflection amount (mm), and the horizontal axis | shaft shows the position which divided the longitudinal direction of the lower air knife 8 into 11 equal parts.

또한, 하부 에어나이프(8)는 상부 에어나이프(7)와 비교하면, 휘어짐 방향이 도 4에 D1과 D2로 나타내는 바와 같이 기판(W)의 반송 방향에 대하여 상부 에어나이프(7)의 휘어짐 방향과는 반대 방향이 된다. 따라서, 상부 에어나이프(7)의 하방으로의 휘어짐량을 마이너스로 나타내고, 하부 에어나이프(8)의 하방으로의 휘어짐량을 플러스로 나타내고 있다.In addition, the lower air knife 8 has a bending direction in the bending direction of the upper air knife 7 with respect to the conveying direction of the substrate W as shown in FIG. 4 as the bending direction is indicated by D1 and D2 in FIG. 4. Is in the opposite direction. Therefore, the amount of warpage downward of the upper air knife 7 is shown as minus, and the amount of warpage below the lower air knife 8 is shown as plus.

도 7a는 상부 에어나이프(7)의 휘어짐을 교정하지 않고서, 그 상부 에어나이프(7)에 압축 기체를 3000 NL/min으로 공급했을 때의 기판(W)의 판면에 있어서의 기체의 속도를 길이방향의 38부위에서 측정한 그래프이다. 상부 에어나이프(7)는, 도 7c에 도시하는 바와 같이 기판(W)의 판면에 대한 경사 각도(θ)는 55도이고, 또한 상부 에어나이프(7)의 길이방향 중심에서의 하단과 기판(W)의 판면과의 간격(d)은 5 ㎜가 되도록 배치하였다.FIG. 7A shows the velocity of the gas on the plate surface of the substrate W when compressed gas is supplied at 3000 NL / min to the upper air knife 7 without correcting the warp of the upper air knife 7. FIG. This is the graph measured at 38 points in the direction. As shown in FIG. 7C, the inclination angle θ of the upper air knife 7 with respect to the plate surface of the substrate W is 55 degrees, and the lower end of the upper air knife 7 in the longitudinal center of the upper air knife 7 and the substrate ( The space | interval d with the plate surface of W) was arrange | positioned so that it might become 5 mm.

즉, 상부 에어나이프(7)의 휘어짐이 교정되지 않은 상태이면, 상부 에어나이프(7)의 길이방향 중심에서는 그 선단으로부터 기판(W)까지 거리가 5 ㎜이지만, 양단으로 감에 따라 그 거리가 커진다. 즉, 상부 에어나이프(7)의 선단과 기판(W)의 상면과의 거리가 일정하게 되어 있지 않다.That is, if the warp of the upper air knife 7 is not corrected, the distance from the front end to the substrate W is 5 mm in the longitudinal center of the upper air knife 7, but the distance is increased as it goes to both ends. Gets bigger In other words, the distance between the tip of the upper air knife 7 and the upper surface of the substrate W is not constant.

상부 에어나이프(7)의 선단과 기판(W)의 상면과의 거리가 일정하지 않으면, 도 7a에 도시하는 바와 같이 상부 에어나이프(7)의 길이방향에 있어서, 기판(W)의 상면에서의 기체의 유속이 상부 에어나이프(7)의 선단과 기판(W)과의 거리에 따라 차이가 발생한다. 즉, 거리가 커짐에 따라 유속이 낮아진다. 이에 따라, 기판(W)의 폭방향의 건조 처리를 균일하게 행할 수 없게 되기 때문에, 건조 불균일이 발생하게 된다.If the distance between the tip of the upper air knife 7 and the upper surface of the substrate W is not constant, as shown in FIG. 7A, the upper surface of the upper surface of the substrate W in the longitudinal direction of the upper air knife 7 is shown. The flow rate of the gas varies depending on the distance between the tip of the upper air knife 7 and the substrate W. FIG. In other words, as the distance increases, the flow velocity decreases. Thereby, since it becomes impossible to uniformly perform the drying process of the width direction of the board | substrate W, dry unevenness arises.

도 7b는 상부 에어나이프(7)의 휘어짐을 교정하고, 그 상부 에어나이프(7)에 압축 기체를 3000 NL/min으로 공급했을 때의 기판(W)의 판면에 있어서의 기체의 속도를 길이방향의 38부위에서 측정한 그래프이다. 또한, 기판(W)의 판면에 대한 상부 에어나이프(7)의 배치는, 도 7c에 도시하는 바와 같이 55도의 각도로 경사지고, 길이방향 중앙에서의 선단과 기판(W)의 상면과의 거리가 5 ㎜가 되도록 설정하였다.7B corrects the warping of the upper air knife 7, and measures the velocity of the gas on the plate surface of the substrate W when the compressed air is supplied to the upper air knife 7 at 3000 NL / min. This is the graph measured at 38 points. Further, the arrangement of the upper air knife 7 with respect to the plate surface of the substrate W is inclined at an angle of 55 degrees, as shown in FIG. 7C, and the distance between the front end of the substrate W and the upper surface of the substrate W in the longitudinal center. Was set to 5 mm.

도 7b로부터 알 수 있듯이, 상부 에어나이프(7)의 휘어짐이 교정되면, 이 상부 에어나이프(7)의 길이방향에 있어서, 기판(W)의 상면에서의 기체의 유속에 거의 차이가 발생하지 않게 된다. 이에 따라, 기판(W)의 폭방향의 건조 처리가 균일하게 행해지기 때문에, 건조 불균일이 발생하는 일도 없어진다.As can be seen from FIG. 7B, when the deflection of the upper air knife 7 is corrected, there is little difference in the flow velocity of the gas on the upper surface of the substrate W in the longitudinal direction of the upper air knife 7. do. Thereby, since the drying process of the width direction of the board | substrate W is performed uniformly, drying nonuniformity does not arise.

도 7a, 도 7b의 그래프에 있어서, 세로축은 기판(W)의 상면에 있어서의 풍속이고, 가로축은 상부 에어나이프(7)의 길이방향에 있어서의 측정 위치를 나타내고 있다.In the graphs of FIGS. 7A and 7B, the vertical axis represents the wind speed on the upper surface of the substrate W, and the horizontal axis represents the measurement position in the longitudinal direction of the upper air knife 7.

또한, 상기 일 실시형태에서는 상부 및 하부의 에어나이프의 길이방향 중도부의 2부위를 현수 부재 및 밀어올림 부재로 유지하도록 하였으나, 각 에어나이프를 유지하는 부위는 2부위에 한정되지 않고, 1부위 혹은 3부위 이상이어도 지장이 없다.In addition, in the above-described embodiment, two portions of the upper and lower air knives in the longitudinal direction are kept as a suspension member and a pushing member, but the portions for holding each air knife are not limited to two portions, but one portion or There is no problem even if more than three parts.

1: 챔버
6: 에어나이프 유닛
7: 상부 에어나이프
8: 하부 에어나이프
12: 높이 조정 부재
16: 높이 조정 나사
18: 각도 조정 부재
25: 상부 지지 부재
26: 하부 지지 부재
27: 현수 부재
29: 상부 걸림부
31: 상부 후크
32: 밀어올림 부재
34: 하부 걸림부
35: 하부 후크
37: 지지 부재1: chamber
6: air knife unit
7: upper air knife
8: lower air knife
12: height adjustment member
16: height adjustment screw
18: angle adjustment member
25: upper support member
26: lower support member
27: No suspension
29: upper locking portion
31: upper hook
32: lifting member
34: lower locking portion
35: lower hook
37: support member

Claims (4)

챔버 내에서 수평 반송되는 기판의 상면과 하면에 기체를 분사하여 이 기판을 건조 처리하는 처리 장치로서,
상기 챔버 내에서 반송되는 상기 기판의 상면에 대향하여 배치되어 이 기판의 상면에 기체를 미리 정해놓은 경사 각도로 분사하고, 길이방향 중도부에 상부 후크가 마련된 상부 에어나이프와,
상기 기판의 하면에 대향하여 배치되어 이 기판의 하면에 기체를 미리 정해놓은 경사 각도로 분사하고, 길이방향 중도부에 하부 후크가 마련된 하부 에어나이프와,
상기 상부 에어나이프의 상방과 상기 하부 에어나이프의 하방 각각에 각 에어나이프와 동일한 방향을 따라 평행하게 마련된 상부 지지 부재 및 하부 지지 부재와,
상기 상부 지지 부재의 길이방향의 중도부에 수직 방향으로 위치 결정 가능하게 마련되고 하단에 상기 상부 후크가 요동 가능하게 결합되는 상부 걸림부를 갖는 현수 부재와,
상기 하부 지지 부재의 길이방향의 중도부에 수직 방향으로 위치 결정 가능하게 마련되고 상단에 상기 하부 후크가 요동 가능하게 결합되는 하부 걸림부를 갖는 밀어올림 부재
를 구비한 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치. A processing apparatus for drying a substrate by spraying gas onto the upper and lower surfaces of a substrate to be horizontally conveyed in a chamber,
An upper air knife disposed opposite to an upper surface of the substrate to be conveyed in the chamber, injecting a gas to the upper surface of the substrate at a predetermined inclination angle, and having an upper hook in the longitudinal middle part;
A lower air knife disposed opposite to the lower surface of the substrate and spraying a gas on the lower surface of the substrate at a predetermined inclination angle, and having a lower hook in the longitudinal middle portion;
An upper support member and a lower support member provided in parallel with each air knife above and above the upper air knife, respectively;
A suspending member provided to be positioned in a vertical direction in the longitudinal direction of the upper support member in a vertical direction and having an upper locking portion coupled to the upper hook so as to be swingable at a lower end thereof;
A push-up member having a lower locking portion that is provided to be positioned in a vertical direction in the longitudinal direction of the lower support member in a vertical direction and has a lower locking portion coupled to the lower hook so as to be swingable at an upper end thereof.
The substrate processing apparatus characterized by the above-mentioned. 제1항에 있어서, 상기 상부 걸림부와 하부 걸림부는 원기둥 형상이고,
상기 상부 후크와 하부 후크는, 일단이 상기 상부 에어나이프 및 하부 에어나이프에 각각 고정되고, 타단이 상기 상부 걸림부 및 하부 걸림부에 각각 결합되는 결합부로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치.The method of claim 1, wherein the upper locking portion and the lower locking portion has a cylindrical shape,
The upper hook and the lower hook, one end is fixed to the upper air knife and the lower air knife, respectively, the other end is formed with a coupling portion coupled to the upper engaging portion and the lower engaging portion, respectively, substrate processing apparatus, characterized in that . 제1항에 있어서, 상기 상부 에어나이프와 상기 하부 에어나이프의 길이방향의 일단과 타단은, 한 쌍의 연결 부재의 상하 방향의 중도부에 각각 경사 각도 및 상하 방향의 위치 결정이 가능하게 부착되어 있고,
상기 상부 지지 부재와 상기 하부 지지 부재의 길이방향의 일단부와 타단부는, 상기 한 쌍의 연결 부재의 상단과 하단에 각각 연결 고정되는 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치.According to claim 1, wherein the one end and the other end in the longitudinal direction of the upper air knife and the lower air knife is attached to the middle portion of the vertical direction of the pair of connecting members so as to enable positioning of the inclination angle and the vertical direction, respectively. And
One end portion and the other end portion in the longitudinal direction of the upper support member and the lower support member are connected to and fixed to the upper end and the lower end of the pair of connecting members, respectively. 제1항에 있어서, 상기 상부 지지 부재의 길이방향의 중도부에는 복수의 상기 현수 부재가 마련되어 있고, 상기 하부 지지 부재의 길이방향의 중도부에는 복수의 상기 밀어올림 부재가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치.

2. The plurality of said suspending members are provided in the middle part of the longitudinal direction of the said upper support member, and the said several pushing member is provided in the middle part of the longitudinal direction of the said lower support member, It is characterized by the above-mentioned. Substrate processing apparatus.

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