KR101077485B1 - Idle roller device for substrate transferring - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 건조 장비에 설치된 에어 나이프의 전후 위치에서 디스플레이 기판의 이송을 원활히 하는 아이들 롤러 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an idle roller device that facilitates the transfer of the display substrate at the front and rear positions of the air knife installed in the substrate drying equipment.

본 발명은, 에어 나이프의 경사 각도와 일치하도록 기판 건조 장비에 경사지게 설치되는 샤프트와, 상기 샤프트의 외주면과 결합될 수 있도록 상기 샤프트가 삽입 결합되는 결합 호울을 구비한 부시와, 상기 부시의 외주면에 구비되어 상기 기판의 이송 방향으로 회전 지지력을 발하는 베어링 및, 상기 베어링에 결합되어 상기 기판의 이송 방향으로 회전하게 되는 아이들 롤러를 포함하여 이루어진다.The present invention is a bush having a shaft installed inclined to the substrate drying equipment to match the inclination angle of the air knife, a bush having a coupling hole into which the shaft is inserted and coupled to be coupled to the outer peripheral surface of the shaft, and the outer peripheral surface of the bush And an idle roller coupled to the bearing to rotate in the conveying direction of the substrate.

상기와 같이 구성된 본 발명은, 종래의 아이들 롤러 장치에 비해 그 구조와 구성이 간단하고 기판 건조 장비에서의 설치 작업이 단순화됨으로써 생산성과 작업성이 향상되는 효과가 있으며, 소요 비용도 절감할 수 있는 효과가 있다.The present invention configured as described above has the effect of improving the productivity and workability by simplifying the structure and configuration of the conventional idle roller device and the installation work in the substrate drying equipment, and can reduce the required cost It works.

기판, 건조, 이송, 아이들 롤러, 샤프트, 부시, 베어링 Board, Dry, Transfer, Idle Roller, Shaft, Bush, Bearing

Description

기판 이송용 아이들 롤러 장치{Idle roller device for substrate transferring}Idle roller device for substrate transferring

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 특히 기판 건조 장비에 설치된 에어 나이프의 전후 위치에서 디스플레이 기판의 이송을 원활히 하는 아이들 롤러 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate conveying apparatus, and more particularly, to an idle roller apparatus for smoothly conveying a display substrate at a front and rear position of an air knife installed in a substrate drying equipment.

평판 디스플레이(Flat Panel Display : FPD)의 기판 등을 제조할 때에, 제반 공정을 거치는 과정에서 기판의 표면은 외부로부터 유입되는 이물질이나 기판 자체에서 발생하는 파티클 등의 오염물질에 의해 오염이 된다. 따라서, 기판 표면의 각종 오염물질을 제거하기 위하여 일부 제조공정의 전/후로 세정공정이 수행된다. 예를 들어, 세정공정은 약액처리공정과 린스공정으로 이루어지고, 이들 공정 후에 건조공정이 수행됨으로써 기판 표면의 잔류물이나 세정액이 제거된다.When manufacturing a substrate of a flat panel display (FPD), the surface of the substrate is contaminated by contaminants such as foreign substances introduced from the outside or particles generated from the substrate itself in the course of the various processes. Therefore, cleaning processes are performed before and after some manufacturing processes to remove various contaminants on the substrate surface. For example, the cleaning process includes a chemical liquid treatment process and a rinse process, and a drying process is performed after these processes to remove residues or cleaning liquid on the substrate surface.

일반적으로 기판의 건조공정에서는 기판의 표면에 건조공기(Clean Dry Air : CDA)를 가압 분사하는 에어 나이프(Air Knife)가 이용되고 있다. 에어 나이프는, 경사 반송되는 기판을 상대로 좌우 및 상하로 경사지게 설치된 상태에서 기판의 표면에 CDA를 분사함으로써 기판의 표면에 존재하는 세정액을 건조하게 된다.In general, in the drying process of the substrate, an air knife that pressurizes and ejects dry air (CDA) to the surface of the substrate is used. The air knife dries the cleaning liquid present on the surface of the substrate by injecting CDA onto the surface of the substrate in a state in which the air knife is inclined upward and downward and up and down relative to the substrate to be inclined.

한편, 기판을 에어 나이프가 설치된 기판 건조 위치로 이송하는 이송장치로는 일반적으로 롤러 장치가 사용되고 있는데, 첨부도면 도 1 및 도 2는 종래 기판 이송용 롤러 장치의 예를 보여주고 있다. 상기 도면에 도시된 기판 이송용 롤러 장치는, 이송되는 기판(S)의 표면에 잔류하는 세정액을 기판 이송 방향의 측방으로 밀어내면서 건조할 수 있도록 경사지게 배치된 에어 나이프(10)와 함께 기판 건조 장비를 구성하고 있다. 이렇게 에어 나이프(10)가 경사지게 배치되기 때문에, 상기 기판 이송용 롤러 장치는 에어 나이프(10)를 상대로 길이가 다른 장축과 단축의 이송축(21,22)들을 구비하고 있다. 그리고, 각각의 이송축(21,22)에는 기판(S)의 표면과 접촉하여 회전하면서 기판(S)을 이송하는 다수의 이송 롤러(30)들이 장착되어 있다. 또, 에어 나이프(10)로부터는 CDA가 고압으로 분사되기 때문에 이송중인 기판(S)에 진동 혹은 유동이 유발되어 기판(S)이 손상될 우려가 있는데, 이를 방지할 수 있도록 에어 나이프(10)의 전·후 위치에 아이들 롤러(40)가 배치됨으로써 기판(S)의 진동 혹은 유동을 완화하게 된다.On the other hand, a roller device is generally used as a transfer device for transferring a substrate to a substrate drying position where an air knife is installed. The attached drawings 1 and 2 show an example of a conventional substrate transfer roller device. The substrate conveying roller apparatus shown in the figure is a substrate drying equipment together with the air knife 10 arranged to be inclined so as to dry while pushing the cleaning liquid remaining on the surface of the substrate (S) to be transported to the side of the substrate conveying direction. It consists of. Since the air knife 10 is disposed in such a manner as to be inclined, the substrate conveying roller device is provided with the feed shafts 21 and 22 of the long axis and the short axis different in length from the air knife 10. Each of the transfer shafts 21 and 22 is equipped with a plurality of transfer rollers 30 for feeding the substrate S while rotating in contact with the surface of the substrate S. In addition, since the CDA is injected from the air knife 10 at a high pressure, vibration or flow may be caused to the substrate S being transported, and thus the substrate S may be damaged. The air knife 10 may be prevented. By placing the idle roller 40 at the front and rear positions of the vibration, the vibration or flow of the substrate S is alleviated.

특히 상기 아이들 롤러(40)는, 에어 나이프(10)의 배치 방향과 일치하도록 사선으로 경사지게 배치된 지지패널(50) 상에 일정한 간격으로 다수 설치된 브래킷(60)에 기판(S)의 이송방향을 따라 회전할 수 있게 하나씩 구비된다. 하지만, 이렇게 아이들 롤러(40)를 설치하는 데에는 각각의 아이들 롤러(40)마다 브래킷(60)이 필요하고, 이 브래킷(60)을 지지패널(50) 상의 정확한 위치에 상향 돌출되도록 장착하여야 하기 때문에, 설계 및 설치 작업이 용이하지 않다. 따라서, 아이들 롤러(40)의 설치 위치에 이상이 있거나 아이들 롤러(40)의 설치 간격이 고르지 않을 경우에는 기판(S)의 진동이나 유동을 완화하는 효과가 저하되는 문제가 발생한다. 또한, 지지패널(50)에 다수의 브래킷(60)이 설치되어야 하므로 장치의 제작 비용이 증가하고, 설치 작업에 많은 시간이 걸리는 등의 문제가 있다.In particular, the idle roller 40, the conveying direction of the substrate (S) to the brackets 60, which are provided at a plurality of regular intervals on the support panel 50 inclined diagonally so as to match the arrangement direction of the air knife 10. It is provided one by one so as to rotate along. However, in order to install the idle roller 40, the bracket 60 is required for each idle roller 40, and the bracket 60 must be mounted so as to protrude upward at the correct position on the support panel 50. , Design and installation work is not easy. Therefore, when there is an abnormality in the installation position of the idle roller 40 or the installation interval of the idle roller 40 is uneven, the problem that the effect which dampens the vibration and the flow of the board | substrate S arises arises. In addition, since a plurality of brackets 60 are to be installed on the support panel 50, manufacturing cost of the device increases, and a lot of time is required for installation work.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위한 것으로서, 그 목적은, 구조와 설치 작업이 단순화됨과 아울러 소요 비용을 절감할 수 있는 기판 이송용 아이들 롤러 장치를 제공하는 데에 있다.The present invention is to improve the conventional problems as described above, the object of the present invention is to provide an idle roller device for transporting the substrate that can simplify the structure and installation work, as well as the required cost.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 에어 나이프의 경사 각도와 일치하도록 기판 건조 장비에 경사지게 설치되는 샤프트와, 상기 샤프트의 외주면과 결합될 수 있도록 상기 샤프트가 삽입 결합되는 결합 호울을 구비한 부시와, 상기 부시의 외주면에 구비되어 상기 기판의 이송 방향으로 회전 지지력을 발하는 베어링 및, 상기 베어링에 결합되어 상기 기판의 이송 방향으로 회전하게 되는 아이들 롤러를 포함하여 이루어진다.The present invention for achieving the above object, a bush having a shaft that is installed inclined to the substrate drying equipment to match the inclination angle of the air knife, and the bush having a coupling hole into which the shaft is inserted to be coupled to the outer peripheral surface of the shaft And a bearing provided on an outer circumferential surface of the bush and exerting a rotational support force in the conveying direction of the substrate, and an idle roller coupled to the bearing to rotate in the conveying direction of the substrate.

특히, 상기 부시의 결합 호울은 상기 샤프트의 경사 각도와 일치하는 경사 각도로 형성되는 것이 바람직하다.In particular, the coupling hole of the bush is preferably formed at an inclination angle coinciding with the inclination angle of the shaft.

상기와 같이 구성된 본 발명은, 종래의 아이들 롤러 장치에 비해 그 구조와 구성이 간단하고 기판 건조 장비에서의 설치 작업이 단순화됨으로써 생산성과 작업성이 향상되는 효과가 있으며, 소요 비용도 절감할 수 있는 효과가 있다.The present invention configured as described above has the effect of improving the productivity and workability by simplifying the structure and configuration of the conventional idle roller device and the installation work in the substrate drying equipment, and can reduce the required cost It works.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. However, the following embodiments are provided to those skilled in the art to fully understand the present invention, and may be modified in various forms, and the scope of the present invention is limited to the embodiments described below. It doesn't happen.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송용 아이들 롤러 장치가 적용된 기판 건조 장비를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 아이들 롤러 장치에 대한 단면도이다.3 is a perspective view illustrating a substrate drying apparatus to which an idle roller device for transferring a substrate according to an embodiment of the present invention is applied, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the idle roller device of FIG. 3.

먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 건조 장비는, 기판(S)의 표면에 건조공기를 가압 분사하여 기판(S)의 표면을 건조하는 에어 나이프(110)와, 이 에어 나이프(110)로 기판(S)이 통과할 수 있도록 기판(S)을 이송하는 이송축(121,122) 및 이송 롤러(130)들, 그리고 에어 나이프(110)의 전방 및 후방 측에 각각 위치하는 이송 롤러(130)들 사이에 설치된 아이들 롤러 장치(140)를 포함한 구성으로 이루어져 있다.First, as shown in FIG. 3, the substrate drying equipment includes an air knife 110 for drying the surface of the substrate S by pressurizing and spraying dry air onto the surface of the substrate S, and the air knife 110. The transfer shafts 121 and 122 and the transfer rollers 130 for transferring the substrate S to pass through the furnace substrate S, and the transfer rollers 130 positioned on the front and rear sides of the air knife 110, respectively. It consists of a configuration including an idle roller device 140 installed between them.

상기 에어 나이프(110)는, 예컨대 소정 각도로 경사 반송(이송)되는 기판(S)의 이송 방향을 기준으로 하였을 때, 좌우 및 상하로 경사진 상태로 기판 건조 장비에 배치됨으로써, 기판(S)의 표면에 잔류하는 세정액을 기판 이송 방향의 측방으로 밀어내면서 건조하게 된다.The air knife 110 is disposed on the substrate drying equipment in a state inclined left and right and up and down, for example, based on the transfer direction of the substrate S inclined conveyance (transfer) at a predetermined angle. The cleaning liquid remaining on the surface of the substrate is dried while pushing the cleaning liquid toward the side of the substrate transfer direction.

이렇게 기판 건조 장비에서 에어 나이프(110)가 경사지게 배치되어 있기 때문에, 에어 나이프(110)로 기판(S)을 이송하는 이송 장치를 구성하는 이송축(121,122)은 에어 나이프(110)의 위치를 상대로 장축의 이송축(121)과 단축의 이송축(122)이 사용된다. 즉, 기판(S)의 초입부 또는 에어 나이프(110)를 완전히 통과한 위치에서는 장축으로 이루어진 이송축(121)들이 사용되며, 에어 나이프(110)의 직전 및 직후 위치에서는 단축으로 이루어진 이송축(122)들이 사용된다. 특히, 단축의 이송축(122)들은, 에어 나이프(110)가 기판(S)의 이송 방향을 기준으로 좌우 경사져 있는 각도에 맞추어 설치될 수 있도록, 에어 나이프(110)의 좌우 및 상하 경사진 각도와 일치하는 각도로 경사지게 배치된 지지패널(150) 상에서 지지 블록(160)에 의해 지지된 구조로 설치되어 있다.Since the air knife 110 is disposed to be inclined in the substrate drying equipment as described above, the transfer shafts 121 and 122 constituting the transfer device for transferring the substrate S to the air knife 110 are disposed with respect to the position of the air knife 110. The long axis feed shaft 121 and the short axis feed shaft 122 are used. That is, the feed shaft 121 made of a long axis is used in the position that completely passed through the initial portion or the air knife 110 of the substrate (S), and the feed shaft made of a short axis in positions immediately before and immediately after the air knife 110 ( 122) are used. In particular, the short axis of the feed shaft 122, the angle of the left and right and up and down tilt of the air knife 110 so that the air knife 110 can be installed in accordance with the angle inclined left and right relative to the transport direction of the substrate (S). It is installed in a structure supported by the support block 160 on the support panel 150 inclined at an angle corresponding to the.

상기와 같은 이송축(121,122)들은 그 측단부가 구동장치(도시되지 않음)와 연결됨으로써, 일정한 속도로 회전 구동되어 기판(S)을 건조 장비 영역 내에서 이송하게 된다.As the transfer shafts 121 and 122 are connected to a driving device (not shown), the transfer shafts 121 and 122 are driven to rotate at a constant speed to transfer the substrate S in the drying equipment region.

한편, 상기 아이들 롤러 장치(140)는 상기 지지패널(150)과 마찬가지로 에어 나이프(110)의 좌우 및 상하 경사진 각도와 일치하는 각도로 경사지게 배치된 상태에서 기판 건조 장비에 설치된다. 즉, 도 3과 도 4를 함께 참조하여 보면, 아이들 롤러 장치(140)는, 에어 나이프(110)의 경사 각도와 일치하도록 기판 건조 장비의 좌우 측단에 양단부가 고정되는 샤프트(141)와, 이 샤프트(141)의 외주면과 결합되는 부시(142)와, 이 부시(142)의 외주면에 구비되는 베어링(143), 그리고 이 베어링(143)에 결합되는 아이들 롤러(144)로 이루어져 있다. 특히, 상기 부시(142)는 샤프트(141)의 경사 각도와 일치하는 경사 각도로 형성된 결합 호울(142a)을 구비함으로써, 이 결합 호울(142a)을 통해 샤프트(141)가 삽입 결합이 된다. 부시(142)의 결합 호울(142a)은 원형이나 각형의 단면 구조로 이루어질 수 있으며, 샤프트(141)의 단면 구조는 이러한 결합 호울(142a)의 단면 구조와 일치하게 형성된 것이 사용된다. 또, 상기 베어링(143)은 예를 들어 볼 베어링으로 구성되어 상기 기판의 이송 방향으로 회전 지지력을 발하는데, 이러한 베어링(143)의 외측에 상기 아이들 롤러(144)가 결합됨으로써 상기 이송축(121,122)들에 구비된 이송 롤러(130)들과 동일하게 아이들 롤러(144)가 기판(S)의 이송 방향으로 회전할 수 있게 된다.On the other hand, the idle roller device 140 is installed in the substrate drying equipment in a state inclined at an angle corresponding to the left and right and up and down inclination angle of the air knife 110, similar to the support panel 150. That is, referring to FIGS. 3 and 4 together, the idle roller device 140 includes a shaft 141 having both ends fixed to left and right sides of the substrate drying equipment so as to coincide with the inclination angle of the air knife 110. It consists of a bush 142 coupled to the outer circumferential surface of the shaft 141, a bearing 143 provided on the outer circumferential surface of the bush 142, and an idle roller 144 coupled to the bearing 143. In particular, the bush 142 has a coupling hole 142a formed at an inclination angle coinciding with the inclination angle of the shaft 141, whereby the shaft 141 is inserted and coupled through the coupling hole 142a. The coupling hole 142a of the bush 142 may have a circular or rectangular cross-sectional structure, and the cross-sectional structure of the shaft 141 may be formed to match the cross-sectional structure of the coupling hole 142a. In addition, the bearing 143 is composed of, for example, a ball bearing to exert a rotational support force in the conveying direction of the substrate, the idler roller 144 is coupled to the outside of the bearing 143 by the feed shaft (121, 122) The idle roller 144 can be rotated in the conveying direction of the substrate (S) in the same manner as the conveying roller 130 provided in the).

상기와 같이 구성된 본 발명의 아이들 롤러 장치(140)를 구비한 기판 건조 장비의 기판 이송 장치는 기판(S)을 에어 나이프(110)로 통과시키면서 기판(S)의 표면에 잔류하는 세정액을 건조하게 되며, 이때 상기 아이들 롤러 장치(140)는 에어 나이프(110)로부터 가압 분사되는 건조공기(Clean Dry Air : CDA)에 의해 기판(S)이 진동 또는 유동되는 것을 완화시킨다.The substrate transfer apparatus of the substrate drying equipment provided with the idle roller device 140 of the present invention configured as described above allows the cleaning solution remaining on the surface of the substrate S to dry while passing the substrate S through the air knife 110. At this time, the idle roller device 140 is to mitigate the vibration or flow of the substrate (S) by the dry air (Clean Dry Air (CDA)) is pressurized from the air knife 110.

즉, 이송 롤러(130)들을 구비한 이송축(121,122)들이 기판(S)의 이송 방향을 따라 일정한 간격으로 배열된 기판 건조 장비에서, 에어 나이프(110)는 기판(S)의 이송 방향을 기준으로 하였을 때 좌우로 경사지게 설치되어 있다. 그리고, 이 에어 나이프(110)의 전·후 측에 각각 본 발명의 아이들 롤러 장치(140)가 설치되어 있는데, 이 아이들 롤러 장치(140)를 구성하는 샤프트(141)는 에어 나이프(110)의 좌 우 경사 각도와 동일한 각도로 배치되어 있다. 또, 샤프트(141)에 설치된 부시(142)는 샤프트(141)가 경사진 상태로 결합될 수 있도록 경사진 결합 호울(142a)을 구비하고 있기 때문에, 부시(142) 자체는 그 원주(圓周) 방향이 상기 이송축(121,122)들에 설치된 이송 롤러(130)들과 동일한 방향성을 갖게 된다. 따라서, 부시(142)에 베어링(143)을 매개로 결합된 아이들 롤러(144)가 상기 이송 롤러(130)와 동일한 각도 및 방향으로 회전할 수 있게 되며, 기판(S)이 에어 나이프(110)를 통과할 때 기판(S)의 저면부와 접촉하여 회전하면서 기판(S)의 진동 혹은 유동을 완화하게 된다.That is, in the substrate drying equipment in which the conveying shafts 121 and 122 having the conveying rollers 130 are arranged at regular intervals along the conveying direction of the substrate S, the air knife 110 refers to the conveying direction of the substrate S. When it is set to be inclined from side to side. And the idle roller apparatus 140 of this invention is provided in the front and back sides of this air knife 110, The shaft 141 which comprises this idle roller apparatus 140 is the It is arranged at the same angle as the left and right tilt angles. In addition, since the bush 142 provided on the shaft 141 includes an inclined coupling hole 142a so that the shaft 141 can be coupled in an inclined state, the bush 142 itself is circumferential. The direction has the same direction as the feed rollers 130 provided on the feed shafts (121, 122). Accordingly, the idle roller 144 coupled to the bush 142 via the bearing 143 may rotate at the same angle and direction as the transfer roller 130, and the substrate S may have the air knife 110. When passing through it, the vibration and flow of the substrate S are alleviated while rotating in contact with the bottom portion of the substrate S. FIG.

이와 같은 본 발명의 아이들 롤러 장치(140)는, 예컨대 부시(142)와 베어링(143) 및 아이들 롤러(144)가 하나의 조립체로 구성된 상태에서 샤프트(141)의 외주면에 억지끼움방식으로 조립이 된다. 따라서, 종래의 아이들 롤러 장치에서는 다수의 브래킷이 필요하고 각각의 브래킷을 지지패널 상에 체결부재 등을 이용하여 일정한 간격으로 고정한 상태에서 각각의 브래킷마다 아이들 롤러를 개별적으로 결합시켜야 하는 경우와 비교하면, 그 구조와 설치 작업이 단순화되고, 소요 비용도 절감할 수 있게 된다.Such an idle roller device 140 of the present invention, for example, the bush 142, the bearing 143 and the idle roller 144 in the state of being composed of a single assembly is assembled by the interference fit method on the outer peripheral surface of the shaft 141. do. Therefore, in the conventional idle roller apparatus, a plurality of brackets are required and compared to the case where the idle rollers are individually coupled to each bracket in a state where each bracket is fixed at regular intervals using a fastening member or the like on the support panel. The construction and installation work can be simplified and the required cost can be reduced.

이상에서는 본 발명을 바람직한 실시예에 의거하여 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.In the above described the present invention based on the preferred embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment, various modifications by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention This is possible.

도 1은 종래의 기판 이송용 롤러 장치가 적용된 기판 건조 장비를 나타낸 평면도이다.1 is a plan view showing a substrate drying equipment to which a conventional substrate transfer roller device is applied.

도 2는 도 1의 기판 이송용 롤러 장치에 대한 사시도 및 부분 확대도이다.FIG. 2 is a perspective view and a partially enlarged view of the roller apparatus for transferring a substrate of FIG. 1. FIG.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송용 아이들 롤러 장치가 적용된 기판 건조 장비를 나타낸 사시도 및 부분 확대도이다.3 is a perspective view and a partially enlarged view showing a substrate drying equipment to which an idle roller device for transferring a substrate according to an embodiment of the present invention is applied.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 아이들 롤러 장치의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of an idle roller device according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

110 : 에어 나이프 121,122 : 이송축110: air knife 121,122: feed shaft

130 : 이송 롤러 140 : 아이들 롤러 장치130: feed roller 140: idle roller device

141 : 샤프트 142 : 부시141: shaft 142: bush

142a : 결합 호울 143 : 베어링142a: coupling hole 143: bearing

144 : 아이들 롤러 150 : 지지패널144: idle roller 150: support panel

160 : 지지블록 S : 기판160: support block S: substrate

Claims (2)

에어 나이프의 경사 각도와 일치하도록 기판 건조 장비에 경사지게 설치되는 샤프트;A shaft installed obliquely to the substrate drying equipment to match the inclination angle of the air knife; 상기 샤프트의 외주면과 결합될 수 있도록 상기 샤프트가 삽입 결합되는 결합 호울을 구비한 부시;A bush having a coupling hole into which the shaft is inserted and coupled to be coupled to an outer circumferential surface of the shaft; 상기 부시의 외주면에 구비되어 기판의 이송 방향으로 회전 지지력을 발하는 베어링;A bearing which is provided on an outer circumferential surface of the bush and exerts a rotational support force in a transfer direction of the substrate; 상기 베어링에 결합되어 상기 기판의 이송 방향으로 회전하게 되는 아이들 롤러를 포함하여 이루어진 기판 이송용 아이들 롤러 장치.And an idle roller coupled to the bearing to rotate in a transfer direction of the substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 부시의 결합 호울은 상기 샤프트의 경사 각도와 일치하는 경사 각도로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 아이들 롤러 장치.Coupling hole of the bush is substrate roller idle roller device, characterized in that formed at an inclination angle corresponding to the inclination angle of the shaft.
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