WO2011102308A1 - Conveying roller and substrate conveying apparatus - Google Patents
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Definitions
- a force acts in a direction in which the substrate P is lifted from the lower side by the compressed air, and the bending generated in the substrate between the transport rollers 100 can be suppressed to a small value.
- the weight of the liquid agent in addition to the weight of the substrate P acts on the substrate P between the transport rollers 100.
- a force acts in a direction in which the substrate P is lifted by the compressed air. Therefore, the bending of the substrate between the transport rollers 100 can be suppressed by the weight of the liquid agent in addition to the weight of the substrate P.
Abstract
Disclosed is a conveying roller (100) comprising a hollow shaft (102), a compressor (104) supplying compressed air to one end of the hollow shaft (102), an air discharge aperture (122) which provides one-way openings in a circumferential direction to the outside from within the hollow interior (121) of the hollow shaft (102), and a roller (106) rotatably mounted to the hollow shaft (102) with a gap in the axial direction thereof interposed therebetween.
Description
本発明は搬送ローラ及び基板搬送装置に関する。
The present invention relates to a conveyance roller and a substrate conveyance device.
液晶ディスプレイ装置等のフラットパネルディスプレイ装置や半導体装置の製造工程では、パネル基板や半導体ウェーハ等の基板上にカラーフィルタや回路パターン等を形成するため、現像、エッチング、剥離等の薬液処理が行われる。そして、薬液処理の後には、薬液処理を止め、薬液を基板から除去するために、基板の洗浄が行われる。基板の薬液処理及び洗浄を含む一連の処理では、例えば、ローラコンベアを備えた基板搬送機構が用いられて、基板を移動させながら行われることがある。
In the manufacturing process of flat panel display devices such as liquid crystal display devices and semiconductor devices, chemical processing such as development, etching, and peeling is performed to form color filters, circuit patterns, etc. on substrates such as panel substrates and semiconductor wafers. . Then, after the chemical treatment, the substrate is cleaned in order to stop the chemical treatment and remove the chemical from the substrate. In a series of processing including chemical solution processing and cleaning of a substrate, for example, a substrate transport mechanism provided with a roller conveyor may be used to move the substrate.
一般に、基板を移動させながら行われる薬液処理は、現像液、エッチング液、剥離液等の薬液を、例えば、スプレーによって基板の表面へ供給することによって行われている。また、基板を移動させながらの洗浄も、例えば、純水等の洗浄液を、スプレーによって基板の表面へ供給することによって行われている。薬液処理後、洗浄液を基板へ供給することによって、基板の表面の薬液が、洗浄液で洗い流されて除去され、洗浄液と置換されて薬液処理が止まる。
Generally, chemical processing performed while moving the substrate is performed by supplying a chemical solution such as a developer, an etching solution, and a stripping solution to the surface of the substrate by spraying, for example. In addition, cleaning while moving the substrate is performed by supplying a cleaning liquid such as pure water to the surface of the substrate by spraying, for example. By supplying the cleaning liquid to the substrate after the chemical liquid treatment, the chemical liquid on the surface of the substrate is washed away with the cleaning liquid and replaced with the cleaning liquid, and the chemical liquid processing stops.
かかる基板処理装置では、例えば、軸線を水平にして配置された搬送ローラによって基板を水平にして、処理液を噴射する処理チャンバ、洗浄液に洗浄する洗浄チャンバ、及び、エアーナイフによって乾燥する乾燥チャンバの順に順次搬送する。
In such a substrate processing apparatus, for example, a processing chamber for spraying a processing liquid, a cleaning chamber for cleaning with a cleaning liquid, and a drying chamber for drying with an air knife are set by a transport roller arranged with its axis horizontal. Transport sequentially.
しかしながら、例えば、液晶表示装置に用いられるマザーガラス基板は、生産性を向上させるため、さらには軽量化を図るため、大型化及び薄型化する傾向にある。このため水平にした状態で搬送された基板上に処理液や洗浄液が供給されると、基板の重みに加えてそれらの液剤の重みによって、搬送ローラ間で基板の撓みが大きくなる。
However, for example, a mother glass substrate used in a liquid crystal display device tends to be larger and thinner in order to improve productivity and further reduce weight. For this reason, when the processing liquid and the cleaning liquid are supplied onto the substrate transported in a horizontal state, the substrate bends between the transport rollers due to the weight of the liquid agent in addition to the weight of the substrate.
そこで、基板を傾斜させて搬送した装置（例えば、特開２００６－２８９２４０号公報：特許文献１）が提案されている。かかる装置では、基板を傾斜させて搬送されるので、基板に供給された処理液が基板から円滑に流れ落ちる。このため、搬送ローラ間における基板の撓みを小さくできる。
Therefore, an apparatus (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-289240: Patent Document 1) that conveys the substrate while inclining has been proposed. In such an apparatus, the substrate is conveyed while being inclined, so that the processing liquid supplied to the substrate smoothly flows down from the substrate. For this reason, the bending of the board | substrate between conveyance rollers can be made small.
搬送される基板上に処理液や洗浄液が供給されると、基板の重みに加えてそれらの液剤の重みによって、搬送ローラ間で基板の撓みが大きくなる。本発明は、かかる問題を緩和できる新規な搬送ローラを提案するとともに、かかる搬送ローラを採用した新規な基板搬送装置を提案する。
When the processing liquid or the cleaning liquid is supplied onto the substrate to be transported, the substrate bends between the transport rollers due to the weight of the liquid material in addition to the weight of the substrate. The present invention proposes a new transport roller that can alleviate such a problem, and also proposes a new substrate transport apparatus that employs such a transport roller.
本発明に係る搬送ローラは、中空シャフト；中空シャフトの一端に圧縮空気を供給するコンプレッサ；中空シャフトの中空部分から外周に周方向の一方向に向けて開口した空気吐出穴；及び、中空シャフトの軸方向に間隔を空けて回転自在に取り付けられたローラ；を備えている。かかる搬送ローラによれば、中空シャフトの外周において周方向の一方向に向けて開口した空気吐出穴から圧縮空気を吐出することができる。
The conveyance roller according to the present invention includes: a hollow shaft; a compressor that supplies compressed air to one end of the hollow shaft; an air discharge hole that opens from the hollow portion of the hollow shaft toward the outer periphery in one circumferential direction; A roller rotatably mounted at an interval in the axial direction. According to such a conveyance roller, compressed air can be discharged from an air discharge hole opened in one circumferential direction on the outer periphery of the hollow shaft.
本発明に係る基板搬送装置は、上記搬送ローラが基板の搬送経路に沿って複数配置されており、搬送ローラの空気吐出穴が中空シャフトの中空部分から上向きに開口している。かかる基板搬送装置によれば、搬送経路に沿って搬送される基板に向けて、搬送ローラの空気吐出穴から圧縮空気が吐出される。かかる圧縮空気の作用により、基板を持ち上げる方向に力が作用する。このため、重力の作用によって基板から搬送ローラに作用する力が緩和される。
In the substrate transport apparatus according to the present invention, a plurality of the transport rollers are arranged along the transport path of the substrate, and the air discharge holes of the transport rollers are opened upward from the hollow portion of the hollow shaft. According to such a substrate transport apparatus, compressed air is discharged from the air discharge hole of the transport roller toward the substrate transported along the transport path. Due to the action of the compressed air, a force acts in the direction of lifting the substrate. For this reason, the force which acts on a conveyance roller from a board | substrate by the effect | action of gravity is relieve | moderated.
この場合、搬送ローラの空気吐出穴は、中空シャフトの中空部分から上向き、かつ、搬送経路の前方又は後方に向けて斜めに開口していてもよい。この場合、搬送ローラによって支持される部位の前又は後において、圧縮空気によって基板を持ち上げる方向に力が作用する。このため、搬送ローラ間で基板が撓むのを小さく抑えることができる。
In this case, the air discharge hole of the transport roller may be opened obliquely upward from the hollow portion of the hollow shaft and toward the front or rear of the transport path. In this case, a force acts in a direction of lifting the substrate by the compressed air before or after the portion supported by the transport roller. For this reason, it is possible to suppress the substrate from being bent between the transport rollers.
また、基板搬送装置は、搬送ローラに作用する荷重を検知する荷重センサ；及び、荷重センサの検知信号に基づいて、中空シャフトの一端に供給する圧縮空気の空気圧を制御する第１制御部；を備えていてもよい。この場合、搬送ローラに作用する荷重に応じて、中空シャフトの一端に供給する圧縮空気の空気圧を制御することができる。例えば、搬送ローラに作用する荷重が大きくなった場合に中空シャフトの一端に供給する圧縮空気の空気圧を大きくし、また、搬送ローラに作用する荷重が小さくなった場合に中空シャフトの一端に供給する圧縮空気の空気圧を小さくすることができる。
Further, the substrate transfer device includes: a load sensor that detects a load acting on the transfer roller; and a first control unit that controls an air pressure of the compressed air supplied to one end of the hollow shaft based on a detection signal of the load sensor. You may have. In this case, the air pressure of the compressed air supplied to one end of the hollow shaft can be controlled according to the load acting on the transport roller. For example, the air pressure of the compressed air supplied to one end of the hollow shaft is increased when the load acting on the conveying roller is increased, and the air pressure is supplied to one end of the hollow shaft when the load acting on the conveying roller is decreased. The air pressure of the compressed air can be reduced.
また、基板搬送装置は、搬送経路を搬送される基板を検知する基板検知センサ；及び、基板検知センサの検知信号に基づいて、中空シャフトへの圧縮空気の供給を制御する第２制御部；を備えていてもよい。この場合、搬送経路を搬送される基板を検知して、適時に、中空シャフトへの圧縮空気を供給することができる。例えば、搬送経路を搬送される基板を搬送ローラが直接支持していないような場合には、当該搬送ローラには、圧縮空気を供給するのを停止し、搬送経路を搬送される基板を搬送ローラが直接支持するときに、圧縮空気を供給するように制御することができる。
In addition, the substrate transfer device includes: a substrate detection sensor that detects a substrate transferred along the transfer path; and a second control unit that controls supply of compressed air to the hollow shaft based on a detection signal of the substrate detection sensor. You may have. In this case, it is possible to detect the substrate transported through the transport path and supply compressed air to the hollow shaft at an appropriate time. For example, when the transport roller does not directly support the substrate transported through the transport path, supply of compressed air to the transport roller is stopped, and the substrate transported through the transport path is transported to the transport roller. Can be controlled to supply compressed air when directly supporting.
以下、本発明の一実施形態に係る搬送ローラ及び基板搬送装置を図面に基づいて説明する。なお、同じ作用を奏する部材又は部位には適宜に同じ符号を付している。
Hereinafter, a transport roller and a substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected suitably to the member or site | part which has the same effect | action.
図１は、搬送ローラ１００の軸方向断面図である。この搬送ローラ１００は、図１に示すように、中空シャフト１０２と、コンプレッサ１０４と、ローラ１０６とを備えている。
FIG. 1 is an axial sectional view of the transport roller 100. As shown in FIG. 1, the transport roller 100 includes a hollow shaft 102, a compressor 104, and a roller 106.
中空シャフト１０２は、かかる搬送ローラ１００の軸になるシャフトである。中空シャフト１０２には、中空部分１２１から外周に周方向の一方向に向けて開口した空気吐出穴１２２が設けられている。さらに、ローラ１０６は、中空シャフト１０２の軸方向に間隔を空けて回転自在に取り付けられている。
The hollow shaft 102 is a shaft that becomes the axis of the transport roller 100. The hollow shaft 102 is provided with an air discharge hole 122 opened from the hollow portion 121 to the outer periphery in one circumferential direction. Furthermore, the roller 106 is rotatably attached with a space in the axial direction of the hollow shaft 102.
この実施形態では、中空シャフト１０２の中空部分１２１の一端は栓１２４で気密に塞がれている。また、中空シャフト１０２の中空部分１２１の他端には、コンプレッサ１０４に接続されるコネクタ１２６が取り付けられている。コネクタ１２６は、中空シャフト１０２の中空部分１２１の他端を塞ぐとともに、中空部分１２１に連通した連通孔１２６ａを有している。コンプレッサ１０４は、かかるコネクタ１２６の連通孔１２６ａに連結されている。
In this embodiment, one end of the hollow portion 121 of the hollow shaft 102 is airtightly closed with a plug 124. A connector 126 connected to the compressor 104 is attached to the other end of the hollow portion 121 of the hollow shaft 102. The connector 126 closes the other end of the hollow portion 121 of the hollow shaft 102 and has a communication hole 126 a communicating with the hollow portion 121. The compressor 104 is connected to the communication hole 126 a of the connector 126.
また、この実施形態では、空気吐出穴１２２は、中空シャフト１０２の中空部分１２１に連通している。空気吐出穴１２２は、中空シャフト１０２の周方向において、一方向に向けて開口している。この実施形態では、空気吐出穴１２２は、中空シャフト１０２の軸方向において、ローラ１０６が取り付けられる部分を除く部分に複数設けられている。図２は、搬送ローラ１００のローラ１０６を示す図である。
In this embodiment, the air discharge hole 122 communicates with the hollow portion 121 of the hollow shaft 102. The air discharge hole 122 opens in one direction in the circumferential direction of the hollow shaft 102. In this embodiment, a plurality of air discharge holes 122 are provided in a portion excluding the portion to which the roller 106 is attached in the axial direction of the hollow shaft 102. FIG. 2 is a diagram illustrating the roller 106 of the transport roller 100.
また、この実施形態では、ローラ１０６は、図１及び図２に示すように、中空シャフト１０２に回転自在に設けられている。ここで、ローラ１０６には、軌道輪１６１、１６２（例えば、内輪、と外輪）と、転動体１６３（玉又はころ）と、保持器１６４とを備えた転がり軸受が用いられている。かかる軸受としては、搬送ローラ１００に作用する負荷、搬送ローラ１００が配置される環境を考慮して適当な構造の軸受を採用するとよい。図１に示す例では、軌道輪１６１、１６２のうち内輪１６１は、中空シャフト１０２に固定されており、転動体１６３を介して外輪１６２は周方向に回転自在に取り付けられている。
In this embodiment, the roller 106 is rotatably provided on the hollow shaft 102 as shown in FIGS. Here, a rolling bearing provided with raceways 161 and 162 (for example, inner ring and outer ring), rolling elements 163 (balls or rollers), and a cage 164 is used for the roller 106. As such a bearing, a bearing having an appropriate structure may be employed in consideration of a load acting on the transport roller 100 and an environment in which the transport roller 100 is disposed. In the example shown in FIG. 1, the inner ring 161 of the races 161 and 162 is fixed to the hollow shaft 102, and the outer ring 162 is attached via a rolling element 163 so as to be rotatable in the circumferential direction.
また、この実施形態では、複数のローラ１０６が、中空シャフト１０２の軸方向に間隔を空けて配置されている。複数のローラ１０６は、間に介在したスペーサ１０８によって位置決めされている。図３は、かかる搬送ローラ１００の中空シャフト１０２の軸に直交する縦断面を示している。ここでは、図３は、図２中のＩＩＩ－ＩＩＩ断面である。スペーサ１０８は、図３に示すように、中空シャフト１０２の外周に装着される略円筒形状の部材であり、ローラ１０６を位置決めするために、所定の長さを有している。スペーサ１０８には、軸方向にスリット１０８ａが形成されている。かかるスリット１０８ａは、図３に示すように、空気吐出穴１２２に位置が合うように周方向に位置を合わせ、ビス１８２で中空シャフト１０２に固定されている。
Further, in this embodiment, the plurality of rollers 106 are arranged at intervals in the axial direction of the hollow shaft 102. The plurality of rollers 106 are positioned by spacers 108 interposed therebetween. FIG. 3 shows a longitudinal section orthogonal to the axis of the hollow shaft 102 of the transport roller 100. Here, FIG. 3 is a III-III cross section in FIG. As shown in FIG. 3, the spacer 108 is a substantially cylindrical member attached to the outer periphery of the hollow shaft 102, and has a predetermined length for positioning the roller 106. A slit 108a is formed in the spacer 108 in the axial direction. As shown in FIG. 3, the slit 108 a is positioned in the circumferential direction so as to be aligned with the air discharge hole 122, and is fixed to the hollow shaft 102 with a screw 182.
コンプレッサ１０４は、圧縮空気を供給する装置である。この実施形態では、圧縮空気は、図１に示すように、中空シャフト１０２の端部に設けられたコネクタ１２６に形成された連通孔１２６ａを通じて、中空シャフト１０２の中空部分１２１に供給されている。より詳しくは、圧縮空気は、供給経路１０４ａを通じて、コンプレッサ１０４から中空シャフト１０２の中空部分１２１に供給される。中空シャフト１０２の中空部分１２１に供給された圧縮空気は、中空シャフト１０２の外周において周方向の一方向に向けて開口した空気吐出穴１２２から吐出される。
The compressor 104 is a device that supplies compressed air. In this embodiment, as shown in FIG. 1, the compressed air is supplied to the hollow portion 121 of the hollow shaft 102 through a communication hole 126 a formed in the connector 126 provided at the end of the hollow shaft 102. More specifically, the compressed air is supplied from the compressor 104 to the hollow portion 121 of the hollow shaft 102 through the supply path 104a. The compressed air supplied to the hollow portion 121 of the hollow shaft 102 is discharged from an air discharge hole 122 opened in one circumferential direction on the outer periphery of the hollow shaft 102.
図４は、かかる搬送ローラ１００が配置された基板搬送装置２００を示している。この基板搬送装置２００では、搬送ローラ１００は基板Ｐの搬送経路に沿って複数配置されている。また、この実施形態では、ローラ１０６が基板Ｐの搬送経路に沿って回転するように、中空シャフト１０２は搬送経路を横断している。さらに、搬送ローラ１００の空気吐出穴１２２は、中空シャフト１０２の中空部分１２１から上向きに開口している。かかる基板搬送装置２００によれば、図１に示すように、搬送経路に沿って搬送される基板Ｐに向けて、搬送ローラ１００の空気吐出穴１２２から圧縮空気が吐出される。かかる圧縮空気の作用により、基板Ｐを持ち上げる方向に力が作用する。このため、重力の作用によって基板Ｐから搬送ローラ１００に作用する力を緩和できる。
FIG. 4 shows a substrate transfer apparatus 200 in which such a transfer roller 100 is arranged. In this substrate transport apparatus 200, a plurality of transport rollers 100 are arranged along the transport path of the substrate P. In this embodiment, the hollow shaft 102 traverses the transport path so that the roller 106 rotates along the transport path of the substrate P. Further, the air discharge hole 122 of the transport roller 100 is opened upward from the hollow portion 121 of the hollow shaft 102. According to the substrate transport apparatus 200, as shown in FIG. 1, compressed air is discharged from the air discharge holes 122 of the transport roller 100 toward the substrate P transported along the transport path. Due to the action of the compressed air, a force acts in the direction of lifting the substrate P. For this reason, the force which acts on the conveyance roller 100 from the board | substrate P by the effect | action of gravity can be relieve | moderated.
このため、圧縮空気によって基板Ｐを下側から持ち上げる方向に力が作用し、搬送ローラ１００間で基板に生じる撓みを小さく抑えることができる。特に、搬送される基板Ｐ上に処理液や洗浄液が供給されている場合には、基板Ｐの重みに加えて液剤の重みが、搬送ローラ１００間で基板Ｐに作用する。この際、圧縮空気によって基板Ｐを持ち上げる方向に力が作用するので、基板Ｐの重みに加えて液剤の重みによって、搬送ローラ１００間で基板に生じる撓みを小さく抑えることができる。
For this reason, a force acts in a direction in which the substrate P is lifted from the lower side by the compressed air, and the bending generated in the substrate between the transport rollers 100 can be suppressed to a small value. In particular, when the processing liquid and the cleaning liquid are supplied onto the substrate P to be transported, the weight of the liquid agent in addition to the weight of the substrate P acts on the substrate P between the transport rollers 100. At this time, a force acts in a direction in which the substrate P is lifted by the compressed air. Therefore, the bending of the substrate between the transport rollers 100 can be suppressed by the weight of the liquid agent in addition to the weight of the substrate P.
なお、この実施形態では、基板搬送装置２００は、図４に示すように、基板Ｐの搬送経路に沿って搬送ローラ１００と駆動ローラ３００とをそれぞれ複数備えている。駆動ローラ３００は、駆動制御部３１０に接続されており、当該駆動制御部３１０によって、それぞれ最適な回転駆動を行うように制御されている。ここでは、駆動ローラ３００と搬送ローラ１００は、基板Ｐの搬送経路に沿って所定の順番に配設されている。基板Ｐは、搬送経路上では駆動ローラ３００と搬送ローラ１００に支持されており、駆動ローラ３００を回転駆動させることによって搬送される。
In this embodiment, the substrate transport apparatus 200 includes a plurality of transport rollers 100 and drive rollers 300 along the transport path of the substrate P, as shown in FIG. The drive roller 300 is connected to a drive control unit 310, and is controlled by the drive control unit 310 so as to perform optimum rotational driving. Here, the driving roller 300 and the transport roller 100 are arranged in a predetermined order along the transport path of the substrate P. The substrate P is supported by the driving roller 300 and the conveying roller 100 on the conveying path, and is conveyed by rotating the driving roller 300.
以上、本発明の一実施形態に係る搬送ローラ及び基板搬送装置を説明したが、本発明に係る搬送ローラ及び基板搬送装置は、上述した実施形態に限定されない。特に、搬送ローラ１００及び基板搬送装置２００の構造は、本発明の一実施形態を示すに過ぎず、種々の変更が可能である。
The transport roller and the substrate transport apparatus according to one embodiment of the present invention have been described above, but the transport roller and the substrate transport apparatus according to the present invention are not limited to the above-described embodiment. In particular, the structures of the transport roller 100 and the substrate transport apparatus 200 only show one embodiment of the present invention, and various modifications are possible.
例えば、搬送ローラの構造は、上述した実施形態に限定されない。特に、ローラの構造、中空シャフトに対するローラの位置決め、スペーサの有無なども上記に限定されない。
For example, the structure of the transport roller is not limited to the above-described embodiment. In particular, the structure of the roller, the positioning of the roller with respect to the hollow shaft, the presence or absence of a spacer, and the like are not limited to the above.
また、例えば、図１に示す実施形態では、搬送ローラ１００の複数のローラ１０６の間には、スペーサ１０８が介在している。そして、当該スペーサ１０８には、空気吐出穴１２２を塞がないように、スリット１０８ａが形成されている。かかるスペーサ１０８は、空気吐出穴１２２を塞がない構造を備えているとよい。
Further, for example, in the embodiment shown in FIG. 1, spacers 108 are interposed between the plurality of rollers 106 of the transport roller 100. A slit 108 a is formed in the spacer 108 so as not to block the air discharge hole 122. The spacer 108 may have a structure that does not block the air discharge hole 122.
図５は、他の実施形態に係る搬送ローラ１００Ａを示している。かかる搬送ローラ１００Ａは、図５に示すように、空気吐出穴１２２を塞がないように、スペーサ１０８の適当な位置に穴１０８ｂが空けられている。また、図１に示す実施形態では、スペーサ１０８は、ローラ１０６の間隔を維持するために設けられている。この場合、中空シャフト１０２に対するローラ１０６の位置決めが、他の固定手段などで行われている場合には、スペーサ１０８は必ずしも必要ではない。中空シャフト１０２に対してローラ１０６を位置決めする他の固定手段としては、例えば、ビス止めや、中空シャフト１０２に対してローラ１０６を圧入することなどが挙げられる。
FIG. 5 shows a conveying roller 100A according to another embodiment. As shown in FIG. 5, the transport roller 100 </ b> A has a hole 108 b at an appropriate position of the spacer 108 so as not to block the air discharge hole 122. In the embodiment shown in FIG. 1, the spacer 108 is provided to maintain the distance between the rollers 106. In this case, when the roller 106 is positioned with respect to the hollow shaft 102 by other fixing means or the like, the spacer 108 is not necessarily required. Other fixing means for positioning the roller 106 with respect to the hollow shaft 102 include, for example, screwing or press-fitting the roller 106 with respect to the hollow shaft 102.
図６は、他の実施形態に係る搬送ローラ１００Ｂを示している。この搬送ローラ１００Ｂは、図６に示すように、中空シャフト１０２に配置されるローラ１０６の両側に対応する位置において、中空シャフト１０２の外周面に溝２１２が設けられている。そして、当該溝２１２にリング２１４を嵌めることによって、ローラ１０６が固定されている。この場合、例えば、中空シャフト１０２の所定位置にローラ１０６を挿入した後で、当該溝２１２にリング２１４を嵌めるとよい。この実施形態では、当該リング２１４によってローラ１０６が固定されている。このように、スペーサ１０８（図１又は図５参照）を用いずに、中空シャフト１０２に対してローラ１０６を位置決めすることができる。
FIG. 6 shows a conveyance roller 100B according to another embodiment. As shown in FIG. 6, the conveying roller 100 </ b> B is provided with grooves 212 on the outer peripheral surface of the hollow shaft 102 at positions corresponding to both sides of the roller 106 disposed on the hollow shaft 102. The roller 106 is fixed by fitting the ring 214 into the groove 212. In this case, for example, the ring 214 may be fitted into the groove 212 after the roller 106 is inserted into a predetermined position of the hollow shaft 102. In this embodiment, the roller 106 is fixed by the ring 214. In this way, the roller 106 can be positioned with respect to the hollow shaft 102 without using the spacer 108 (see FIG. 1 or FIG. 5).
また、基板搬送装置は、基板の搬送経路に沿って配置される搬送ローラを全て、本発明に係る搬送ローラにしてもよい。また、基板搬送装置は、基板の搬送経路に沿って配置される搬送ローラのうち、いくつかの搬送ローラに本発明に係る搬送ローラを採用してもよい。
Further, in the substrate transport apparatus, all the transport rollers arranged along the substrate transport path may be the transport rollers according to the present invention. The substrate transport apparatus may employ the transport rollers according to the present invention for some of the transport rollers arranged along the transport path of the substrate.
また、上述した実施形態では、図１に示すように、基板搬送装置２００は、搬送ローラ１００の空気吐出穴１２２が中空シャフト１０２の中空部分から上向きに開口している。空気吐出穴１２２の向きはかかる向きに限定されない。図７は、他の実施形態に係る基板搬送装置２００Ａを示している。この基板搬送装置２００Ａでは、例えば、図７に示すように、搬送ローラ１００Ｃの空気吐出穴１２２は、中空シャフト１０２の中空部分から上向き、かつ、搬送経路の前方又は後方に向けて斜めに開口していてもよい。この場合、搬送ローラ１００Ｃの間において、基板Ｐの下側に圧縮空気をより直接的に供給することができる。このため、搬送ローラ１００Ｃの間において基板に生じる撓みを小さく抑えることができる。
In the above-described embodiment, as shown in FIG. 1, in the substrate transport apparatus 200, the air discharge hole 122 of the transport roller 100 opens upward from the hollow portion of the hollow shaft 102. The direction of the air discharge hole 122 is not limited to this direction. FIG. 7 shows a substrate transfer apparatus 200A according to another embodiment. In this substrate transport apparatus 200A, for example, as shown in FIG. 7, the air discharge hole 122 of the transport roller 100C opens obliquely upward from the hollow portion of the hollow shaft 102 and toward the front or rear of the transport path. It may be. In this case, the compressed air can be more directly supplied to the lower side of the substrate P between the transport rollers 100C. For this reason, the bending which arises in a board | substrate between the conveyance rollers 100C can be restrained small.
また、中空シャフト１０２から供給される圧縮空気を適当に制御してもよい。図８はかかる制御装置を備えた実施形態を示している。
Further, the compressed air supplied from the hollow shaft 102 may be appropriately controlled. FIG. 8 shows an embodiment provided with such a control device.
例えば、基板搬送装置２００Ｂは、図８に示すように、搬送ローラ１００に作用する荷重を検知する荷重センサ２２２を備えている。また、この基板搬送装置２００Ｂは、さらに荷重センサ２２２の検知信号に基づいて、中空シャフト１０２の一端に供給する圧縮空気の空気圧を制御する第１制御部２２４を備えている。この実施形態では、第１制御部２２４は、荷重センサ２２２の検知信号に基づいて、コンプレッサ１０４から中空シャフト１０２への圧縮空気の供給経路１０４ａに設けられた圧力制御弁２２６を操作する。
For example, the substrate transport apparatus 200B includes a load sensor 222 that detects a load acting on the transport roller 100 as shown in FIG. The substrate transport apparatus 200B further includes a first control unit 224 that controls the air pressure of the compressed air supplied to one end of the hollow shaft 102 based on the detection signal of the load sensor 222. In this embodiment, the first control unit 224 operates the pressure control valve 226 provided in the compressed air supply path 104 a from the compressor 104 to the hollow shaft 102 based on the detection signal of the load sensor 222.
この基板搬送装置２００Ｂによれば、搬送ローラ１００に作用する荷重に応じて、中空シャフト１０２の一端に供給する圧縮空気の空気圧を制御することができる。例えば、搬送ローラ１００に作用する荷重が大きくなった場合に中空シャフト１０２の一端に供給する圧縮空気の空気圧を大きくし、また、搬送ローラ１００に作用する荷重が小さくなった場合に中空シャフト１０２の一端に供給する圧縮空気の空気圧を小さくすることができる。これにより、搬送ローラ１００に作用する荷重に応じて、中空シャフト１０２から適当な圧力の圧縮空気を基板Ｐに吹き付けることができる。これにより、基板搬送装置２００Ｂは、適当な荷重を安定的に搬送ローラ１００に作用させることができる。これにより、基板搬送装置２００Ｂは、基板Ｐをスムーズに搬送することができる。
According to this substrate transport apparatus 200B, the air pressure of the compressed air supplied to one end of the hollow shaft 102 can be controlled according to the load acting on the transport roller 100. For example, the air pressure of the compressed air supplied to one end of the hollow shaft 102 is increased when the load acting on the transport roller 100 increases, and the load of the hollow shaft 102 is decreased when the load acting on the transport roller 100 is decreased. The air pressure of the compressed air supplied to one end can be reduced. Accordingly, compressed air having an appropriate pressure can be blown from the hollow shaft 102 to the substrate P in accordance with the load acting on the transport roller 100. Thereby, the substrate transport apparatus 200B can apply an appropriate load to the transport roller 100 stably. Thereby, the board | substrate conveyance apparatus 200B can convey the board | substrate P smoothly.
また、この基板搬送装置２００Ｂは、搬送経路を搬送される基板を検知する基板検知センサ２４２を備えている。また、この基板搬送装置２００Ｂは、さらに基板検知センサ２４２の検知信号に基づいて、中空シャフト１０２への圧縮空気の供給を制御する第２制御部２４４を備えている。この実施形態では、第２制御部２４４は、基板検知センサ２４２の検知信号に基づいて、コンプレッサ１０４から中空シャフト１０２への圧縮空気の供給経路１０４ａに設けられたスイッチ弁２４６を操作する。スイッチ弁２４６は、コンプレッサ１０４から中空シャフト１０２への圧縮空気の供給経路１０４ａを開閉する。
The substrate transport apparatus 200B includes a substrate detection sensor 242 that detects a substrate transported along the transport path. The substrate transport apparatus 200B further includes a second control unit 244 that controls the supply of compressed air to the hollow shaft 102 based on the detection signal of the substrate detection sensor 242. In this embodiment, the second controller 244 operates the switch valve 246 provided in the compressed air supply path 104 a from the compressor 104 to the hollow shaft 102 based on the detection signal of the substrate detection sensor 242. The switch valve 246 opens and closes a compressed air supply path 104 a from the compressor 104 to the hollow shaft 102.
この基板搬送装置２００Ｂによれば、搬送経路を搬送される基板Ｐを検知して、適時に、中空シャフト１０２への圧縮空気を供給することができる。例えば、搬送経路を搬送される基板Ｐを搬送ローラ１００が直接支持していないような場合には、当該搬送ローラ１００には、圧縮空気を供給するのを停止する。そして、搬送経路を搬送される基板Ｐを当該搬送ローラ１００が直接支持するときに、スイッチ弁２４６を開けて圧縮空気を供給するように制御することができる。これにより、搬送ローラ１００が基板Ｐを支持する適当なタイミングで、中空シャフト１０２から圧縮空気を基板Ｐに吹き付けることができる。かかる基板搬送装置２００Ｂによれば、効率的に圧縮空気を使用でき、使用される圧縮空気を少なく抑えることができるから、省力化を図ることができる。
According to this substrate transport apparatus 200B, it is possible to detect the substrate P transported along the transport path and supply the compressed air to the hollow shaft 102 in a timely manner. For example, when the transport roller 100 does not directly support the substrate P transported through the transport path, the supply of compressed air to the transport roller 100 is stopped. And when the said conveyance roller 100 directly supports the board | substrate P conveyed by the conveyance path | route, it can control to open the switch valve 246 and supply compressed air. Accordingly, compressed air can be blown from the hollow shaft 102 to the substrate P at an appropriate timing when the transport roller 100 supports the substrate P. According to the substrate transport apparatus 200B, compressed air can be used efficiently, and the amount of compressed air used can be suppressed to a low level, so that labor can be saved.
なお、図８に示す基板搬送装置２００Ｂは、荷重センサ２２２の検知信号に基づいて供給する圧縮空気の空気圧を制御する第１制御部２２４と、基板検知センサ２４２の検知信号に基づいて圧縮空気の供給を制御する第２制御部２４４との両方を備えている。基板搬送装置は、荷重センサ２２２の検知信号に基づいて供給する圧縮空気の空気圧を制御する第１制御部２２４のみを備えていてもよいし、基板検知センサ２４２の検知信号に基づいて圧縮空気の供給を制御する第２制御部２４４のみを備えていてもよい。
In addition, the board | substrate conveyance apparatus 200B shown in FIG. 8 controls the air pressure of the compressed air supplied based on the detection signal of the load sensor 222, and the compressed air based on the detection signal of the board | substrate detection sensor 242. Both are provided with the 2nd control part 244 which controls supply. The substrate transfer device may include only the first control unit 224 that controls the air pressure of the compressed air supplied based on the detection signal of the load sensor 222, or You may provide only the 2nd control part 244 which controls supply.
以上、搬送ローラ及び基板搬送装置について、種々の変形例を例示したが、本発明に係る搬送ローラ及び基板搬送装置は、上記の変形例にも限定されない。
As described above, various modified examples of the transport roller and the substrate transport apparatus have been illustrated, but the transport roller and the substrate transport apparatus according to the present invention are not limited to the above-described modified examples.
１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ 搬送ローラ
１０２ 中空シャフト
１０４ コンプレッサ
１０４ａ 圧縮空気の供給経路
１０６ ローラ
１０８ スペーサ
１０８ａ スリット
１０８ｂ 穴
１２１ 中空部分
１２２ 空気吐出穴
１２４ 栓
１２６ コネクタ
１２６ａ 連通孔
１６１ 内輪（軌道輪）
１６２ 外輪（軌道輪）
１６３ 転動体
１６４ 保持器
１８２ ビス
２００、２００Ａ、２００Ｂ 基板搬送装置
２１２ 溝
２１４ リング
２２２ 荷重センサ
２２４ 第１制御部
２２６ 圧力制御弁
２４２ 基板検知センサ
２４４ 第２制御部
２４６ スイッチ弁
３００ 駆動ローラ
３１０ 駆動制御部 100, 100A, 100B,100C Conveying roller 102 Hollow shaft 104 Compressor 104a Compressed air supply path 106 Roller 108 Spacer 108a Slit 108b Hole 121 Hollow portion 122 Air discharge hole 124 Plug 126 Connector 126a Communication hole 161 Inner ring (Raceway ring)
162 Outer ring (Raceway)
163Rolling body 164 Cage 182 Screw 200, 200A, 200B Substrate transport device 212 Groove 214 Ring 222 Load sensor 224 First control unit 226 Pressure control valve 242 Substrate detection sensor 244 Second control unit 246 Switch valve 300 Drive roller 310 Drive control Part
１０２ 中空シャフト
１０４ コンプレッサ
１０４ａ 圧縮空気の供給経路
１０６ ローラ
１０８ スペーサ
１０８ａ スリット
１０８ｂ 穴
１２１ 中空部分
１２２ 空気吐出穴
１２４ 栓
１２６ コネクタ
１２６ａ 連通孔
１６１ 内輪（軌道輪）
１６２ 外輪（軌道輪）
１６３ 転動体
１６４ 保持器
１８２ ビス
２００、２００Ａ、２００Ｂ 基板搬送装置
２１２ 溝
２１４ リング
２２２ 荷重センサ
２２４ 第１制御部
２２６ 圧力制御弁
２４２ 基板検知センサ
２４４ 第２制御部
２４６ スイッチ弁
３００ 駆動ローラ
３１０ 駆動制御部 100, 100A, 100B,
162 Outer ring (Raceway)
163
Claims (5)
- 中空シャフト；
前記中空シャフトの一端に圧縮空気を供給するコンプレッサ；
前記中空シャフトの中空部分から外周に周方向の一方向に向けて開口した空気吐出穴；及び、
前記中空シャフトの軸方向に間隔を空けて回転自在に取り付けられたローラ；
を備えた搬送ローラ。 Hollow shaft;
A compressor for supplying compressed air to one end of the hollow shaft;
An air discharge hole opened from the hollow portion of the hollow shaft to the outer periphery in one circumferential direction; and
A roller rotatably mounted at an interval in the axial direction of the hollow shaft;
Conveying roller with - 請求項１に記載された搬送ローラが基板の搬送経路に沿って複数配置されており、
前記搬送ローラの前記空気吐出穴は前記中空シャフトの中空部分から上向きに開口した、基板搬送装置。 A plurality of transport rollers according to claim 1 are arranged along the transport path of the substrate,
The substrate transfer apparatus, wherein the air discharge hole of the transfer roller is opened upward from a hollow portion of the hollow shaft. - 前記搬送ローラの前記空気吐出穴が、前記中空シャフトの中空部分から上向き、かつ、前記搬送経路の前方又は後方に向けて斜めに開口した、請求項２に記載された基板搬送装置。 3. The substrate transfer apparatus according to claim 2, wherein the air discharge hole of the transfer roller is opened obliquely upward from the hollow portion of the hollow shaft and toward the front or the rear of the transfer path.
- 前記搬送ローラに作用する荷重を検知する荷重センサ；及び、
前記荷重センサの検知信号に基づいて、前記中空シャフトの一端に供給する圧縮空気の空気圧を制御する第１制御部；を備えた、請求項２又は３に記載された基板搬送装置。 A load sensor for detecting a load acting on the transport roller; and
4. The substrate transfer device according to claim 2, further comprising: a first control unit configured to control an air pressure of compressed air supplied to one end of the hollow shaft based on a detection signal of the load sensor. - 前記搬送経路を搬送される基板を検知する基板検知センサ；及び、
前記基板検知センサの検知信号に基づいて、前記中空シャフトへの圧縮空気の供給を制御する第２制御部；を備えた、請求項２から４までの何れか一項に記載された基板搬送装置。 A substrate detection sensor for detecting a substrate conveyed along the conveyance path; and
5. The substrate transfer device according to claim 2, further comprising: a second control unit that controls supply of compressed air to the hollow shaft based on a detection signal of the substrate detection sensor. .
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2011
- 2011-02-14 WO PCT/JP2011/052994 patent/WO2011102308A1/en active Application Filing
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