KR102425478B1 - Assembly for supplying lubricant and Apparatus for transferring a substrate having the same - Google Patents

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Abstract

예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리는 공급 라인 및 배출부를 포함할 수 있다. 상기 공급 라인은 서로 접촉하는 접촉 부분에서 발생하는 마찰력을 감소시키기 위하여 상기 접촉 부분에 윤활제를 공급하는 공급할 수 있다. 상기 배출부는 상기 공급 라인으로 공급되는 상기 윤활제의 공급 압력을 조정함에 의해 상기 윤활제가 일정 시간마다 일정량만이 단속적으로 상기 접촉 부분으로 배출되도록 하는 크기를 갖는 구멍이 상기 공급 라인에 형성될 수 있다.A lubricant treatment assembly according to exemplary embodiments may include a supply line and a discharge portion. The supply line may supply a lubricant to the contact portions in order to reduce frictional force generated at the contact portions in contact with each other. The discharge unit may have a hole in the supply line having a size such that only a certain amount of the lubricant is intermittently discharged to the contact portion at a predetermined time by adjusting a supply pressure of the lubricant supplied to the supply line.

Description

윤활제 처리 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 이송 장치{Assembly for supplying lubricant and Apparatus for transferring a substrate having the same}Assembly for supplying lubricant and Apparatus for transferring a substrate having the same

본 발명은 윤활제 처리 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 서로 접촉하는 접촉 부분에 윤활제를 공급하기 위한 윤활제 처리 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a lubricant processing assembly and a substrate transport apparatus including the same. More particularly, it relates to a lubricant processing assembly for supplying lubricant to contact parts in contact with each other, and a substrate transport apparatus including the same.

반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판의 이송이 빈번하게 이루어진다. 이에, 집적회로 소자의 제조에서는 샤프트, 롤러 등으로 이루어지는 기판 이송 장치를 사용하여 기판을 이송하고 있다. 기판 이송 장치는 샤프트에 롤러가 끼워지는 구조를 갖고, 롤러를 보다 원활하게 회전시키기 위하여 샤프트와 롤러 사이에 베어링 등과 같은 회전 조력부가 배치될 수 있다.BACKGROUND ART In the manufacture of integrated circuit devices such as semiconductor devices and display devices, a substrate for manufacturing the integrated circuit devices is frequently transferred. Accordingly, in the manufacture of an integrated circuit device, a substrate is transported using a substrate transport device including a shaft and a roller. The substrate transport apparatus has a structure in which a roller is fitted to a shaft, and a rotation aid such as a bearing may be disposed between the shaft and the roller in order to rotate the roller more smoothly.

언급한 기판 이송 장치를 사용하는 기판의 이송에서는 계속적인 사용에 따라 회전 조력부를 포함하는 부분에서 마찰에 의한 인한 갈림 현상이 일어날 수 있고, 이로 인해 파티클 등이 생성되어 공정에 영향을 끼칠 수도 있다.In the transfer of a substrate using the aforementioned substrate transfer device, a grinding phenomenon due to friction may occur in a portion including a rotational aid according to continuous use, and thus particles may be generated and affect the process.

이에, 회전 조력부를 포함하는 부분에 윤활제를 공급하여 마찰력을 감소시켜 갈림 현상을 억제하고 있다. 그리고 회전 조력부를 포함하는 부분 각각에 공급되는 윤활제는 공급 균일도를 유지해야 하는데, 공급 균일도는 주로 윤활제의 공급량에 의존하고 있다.Accordingly, the frictional force is reduced by supplying a lubricant to the portion including the rotating aid to suppress the grinding phenomenon. In addition, the lubricant supplied to each of the parts including the rotating aid must maintain uniformity of supply, and the uniformity of supply mainly depends on the amount of lubricant supplied.

그러나 윤활제의 공급량을 확대할 경우에는 윤활제가 많이 공급됨으로 인하여 기판 상면으로 윤활제가 리바운딩되는 상황이 발생할 수 있는 문제점이 있다. 아울러, 윤활제의 공급량 확대로 인한 비용적 손실도 감수해야 하는 문제점이 있다. 또한, 윤활제의 공급량을 감소시킬 경우에는 공급 균일도를 유지하지 못하는 상황이 발생하는 문제점이 있다.However, when the supply amount of the lubricant is increased, there is a problem that a situation in which the lubricant is rebounded to the upper surface of the substrate may occur due to the supply of a large amount of lubricant. In addition, there is a problem in that the cost loss due to the expansion of the supply amount of the lubricant has to be endured. In addition, when the supply amount of the lubricant is reduced, there is a problem in that the supply uniformity cannot be maintained.

본 발명의 일 과제는 윤활제의 공급량을 감소시킴에도 불구하고 윤활제가 공급되는 공급 균일도를 충분하게 유지할 수 있는 윤활제 처리 어셈블리를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a lubricant processing assembly capable of sufficiently maintaining the uniformity of supply of lubricant despite reducing the amount of lubricant supplied.

본 발명은 다른 과제는 언급한 윤활제 처리 어셈블리를 포함하는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a substrate transport apparatus comprising the aforementioned lubricant treatment assembly.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리는 공급 라인 및 배출부를 포함할 수 있다. 상기 공급 라인은 서로 접촉하는 접촉 부분에서 발생하는 마찰력을 감소시키기 위하여 상기 접촉 부분에 윤활제를 공급하는 공급할 수 있다. 상기 배출부는 상기 공급 라인으로 공급되는 상기 윤활제의 공급 압력을 조정함에 의해 상기 윤활제가 일정 시간마다 일정량만이 단속적으로 상기 접촉 부분으로 배출되도록 하는 크기를 갖는 구멍이 상기 공급 라인에 형성될 수 있다.The lubricant processing assembly according to exemplary embodiments for achieving the object of the present invention may include a supply line and a discharge unit. The supply line may supply a lubricant to the contact portions in order to reduce frictional force generated at the contact portions in contact with each other. The discharge unit may have a hole in the supply line having a size such that only a certain amount of the lubricant is intermittently discharged to the contact portion at a predetermined time by adjusting a supply pressure of the lubricant supplied to the supply line.

예시적일 실시예들에 있어서, 상기 배출부의 구멍은 1.0 내지 2.5초 마다 0.033 내지 0.050㎖가 배출되는 크기를 갖도록 형성될 수 있다.In exemplary embodiments, the hole of the discharge part may be formed to have a size in which 0.033 to 0.050 ml is discharged every 1.0 to 2.5 seconds.

예시적일 실시예들에 있어서, 상기 배출부의 구멍은 0.10 내지 0.20mm의 크기를 갖도록 형성될 수 있다.In some exemplary embodiments, the hole of the discharge part may be formed to have a size of 0.10 to 0.20 mm.

예시적일 실시예들에 있어서, 상기 배출부는 상기 구멍으로부터 배출되는 상기 윤활제가 상기 접촉 부분의 근방까지 안내되게 상기 배출부의 구멍이 형성되는 상기 공급 라인으로부터 상기 접촉 부분의 근방까지 연장되는 구조를 갖도록 형성되는 안내 라인을 더 포함할 수 있다.In one exemplary embodiment, the discharge portion is formed to have a structure extending from the supply line in which the hole of the discharge portion is formed to the vicinity of the contact portion so that the lubricant discharged from the hole is guided to the vicinity of the contact portion. It may further include a guide line to be.

예시적일 실시예들에 있어서, 상기 공급 라인 및 상기 안내 라인은 PFA 재질로 이루어지고, 상기 공급 라인 및 상기 안내 라인은 융착에 의해 결합될 수 있다.In exemplary embodiments, the supply line and the guide line may be made of a PFA material, and the supply line and the guide line may be coupled by fusion.

상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 롤러, 회전 조력부 및 윤활제 처리부를 포함할 수 있다. 상기 롤러는 기판과 접촉하여 회전함에 의해 상기 기판을 이송시킬 수 있다. 상기 회전 조력부는 상기 롤러가 원활하게 회전하도록 구비될 수 있다. 상기 윤활제 처리부는 공급 라인과 배출부로 이루어질 수 있는 것으로써, 상기 공급 라인은 상기 회전 조력부에서 발생하는 마찰력을 감소시키기 위하여 상기 회전 조력부를 포함하는 부분에 윤활제를 공급할 수 있고, 상기 배출부는 상기 공급 라인으로 공급되는 상기 윤활제의 공급 압력을 조정함에 의해 상기 윤활제가 일정 시간마다 일정량만이 단속적으로 상기 회전 조력부 부분으로 배출되도록 하는 크기를 갖는 구멍이 상기 공급 라인에 형성될 수 있다.A substrate transport apparatus according to exemplary embodiments for achieving another object of the present invention may include a roller, a rotation aid unit, and a lubricant processing unit. The roller may move the substrate by rotating in contact with the substrate. The rotation aid may be provided so that the roller rotates smoothly. The lubricant processing unit may be composed of a supply line and a discharge unit, and the supply line may supply a lubricant to a portion including the rotating aid unit in order to reduce frictional force generated in the rotating aid unit, and the discharge unit may include the supply line. By adjusting the supply pressure of the lubricant supplied to the line, a hole having a size such that only a certain amount of the lubricant is intermittently discharged to the rotational aid part at a predetermined time may be formed in the supply line.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 배출부의 구멍은 1.0 내지 2.5초 마다 0.033 내지 0.050㎖가 배출되는 크기를 갖도록 형성될 수 있다.In exemplary embodiments, the hole of the discharge unit may be formed to have a size in which 0.033 to 0.050 ml is discharged every 1.0 to 2.5 seconds.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 배출부의 구멍은 0.10 내지 0.20mm의 크기를 갖도록 형성될 수 있다.In exemplary embodiments, the hole of the discharge part may be formed to have a size of 0.10 to 0.20 mm.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 배출부는 상기 구멍으로부터 배출되는 상기 윤활제가 상기 접촉 부분의 근방까지 안내되게 상기 배출부의 구멍이 형성되는 상기 공급 라인으로부터 상기 접촉 부분의 근방까지 연장되는 구조를 갖도록 형성되는 안내 라인을 더 포함할 수 있다.In exemplary embodiments, the discharge portion is formed to have a structure extending from the supply line in which the hole of the discharge portion is formed to the vicinity of the contact portion so that the lubricant discharged from the hole is guided to the vicinity of the contact portion. It may further include a guide line to be.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 공급 라인 및 상기 안내 라인은 PFA 재질로 이루어지고, 상기 공급 라인 및 상기 안내 라인은 융착에 의해 결합될 수 있다.In exemplary embodiments, the supply line and the guide line may be made of a PFA material, and the supply line and the guide line may be coupled by fusion.

예시적인 실시예들에 있어서, 샤프트를 더 포함할 수 있고, 상기 롤러는 상기 샤프트에 끼워지는 구조를 가질 수 있고, 상기 회전 조력부는 상기 롤러와 상기 샤프트 사이에 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, it may further include a shaft, the roller may have a structure fitted to the shaft, and the rotation aid may be provided between the roller and the shaft.

예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리 및 기판 이송 장치는 윤활제를 일정 시간 마다 일정량만을 단속적으로 공급할 수 있다.The lubricant processing assembly and the substrate transport apparatus according to exemplary embodiments may intermittently supply only a certain amount of the lubricant every predetermined time.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리 및 기판 이송 장치는 윤활제의 공급량을 감소시킴에도 불구하고 윤활제가 공급되는 공급 균일도를 충분하게 유지할 수 있기 때문에 윤활제의 사용에 따른 비용적 측면의 불리함을 극복할 수 있을 것이고, 아울러 기판 상면으로 윤활제로 리바운딩되는 상황도 억제할 수 있기 때문에 공정상 발생할 수 있는 불량도 감소시킬 수 있을 것이다.Accordingly, since the lubricant processing assembly and the substrate transport apparatus according to the exemplary embodiments can sufficiently maintain the uniformity of supply of the lubricant despite reducing the amount of the lubricant supplied, there is a disadvantage in terms of cost due to the use of the lubricant. In addition, since it is possible to suppress the situation of rebounding with lubricant to the upper surface of the substrate, it will also be possible to reduce defects that may occur in the process.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리 및 기판 이송 장치는 집적회로 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 뿐만 아니라 경젝적 이득까지도 기대할 수 있을 것이다.Accordingly, in the lubricant processing assembly and the substrate transport apparatus according to the exemplary embodiments, improvement in process reliability according to the manufacturing of an integrated circuit device can be expected, and economical benefits can also be expected.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and may be variously expanded without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2 및 도 3은 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.1 is a schematic diagram for explaining a lubricant processing assembly according to exemplary embodiments.
2 and 3 are schematic views for explaining a substrate transfer apparatus according to example embodiments.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention may have various changes and may have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as "comprises" or "consisting of" are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification is present, but one or more other features It is to be understood that this does not preclude the possibility of addition or existence of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and repeated descriptions of the same components are omitted.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram for explaining a lubricant processing assembly according to exemplary embodiments.

도 1을 참조하면, 예시적일 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리(100)는 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자를 제조하기 위한 기판을 이송하는 이송 장치에 적용되는 것으로써, 서로 접촉하는 접촉 부분에서 발생하는 마찰력을 감소시키기 위하여 언급한 접촉 부분에 윤활제를 공급하도록 마련될 수 있다.Referring to FIG. 1 , a lubricant processing assembly 100 according to exemplary embodiments is applied to a transport device for transporting a substrate for manufacturing an integrated circuit device such as a semiconductor device or a flat panel display device. It may be provided to supply a lubricant to the mentioned contact portion in order to reduce frictional force generated in the contact portion.

이송 장치에서 서로 접촉하는 접촉 부분에 배치되는 부재의 예로서는 후술하는 샤프트와 롤러 사이에 구비되는 회전 조력부 등을 들 수 있다. 그리고 회전 조력부의 예로서는 샤프트와 롤러 사이에 구비되는 베어링, 기어 등을 들 수 있다.As an example of the member arrange|positioned at the contact part which contacts with each other in a conveyance apparatus, the rotation assistance part etc. provided between the shaft and the roller mentioned later are mentioned. And examples of the rotation assisting unit include a bearing, a gear, and the like provided between the shaft and the roller.

예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리(100)는 공급 라인(11), 배출부(13) 등을 포함할 수 있다.The lubricant processing assembly 100 according to example embodiments may include a supply line 11 , a discharge unit 13 , and the like.

공급 라인(11)은 서로 접촉하는 접촉 부분에서 발생하는 마찰력을 감소시키기 위하여 접촉 부분에 윤활제를 공급하도록 구비될 수 있다. 이에, 공급 라인(11)은 언급하는 접촉 부분 근방에 배치되도록 구비될 수 있다.The supply line 11 may be provided to supply lubricant to the contact portions in order to reduce frictional force generated in the contact portions in contact with each other. Accordingly, the supply line 11 may be provided to be disposed in the vicinity of the mentioned contact portion.

배출부(13)는 공급 라인(11)에 가공되는 구멍(15)으로 이루어질 수 있다. 배출부(13)는 공급 라인(11)에 일정 간격 마다 형성될 수 있는 것으로써, 공급 라인(11)에 일정 간격 마다 형성되는 구멍(15)으로 이루어질 수 있다.The discharge part 13 may be formed of a hole 15 machined in the supply line 11 . The discharge part 13 may be formed at regular intervals in the supply line 11 , and may include holes 15 formed at regular intervals in the supply line 11 .

이에, 예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리(100)는 서로 접촉하는 접촉 부분에서 발생하는 마찰력을 감소시키기 위하여 공급 라인(11)을 통하여 윤활제를 공급할 수 있고, 배출부(13)를 통하여 접촉 부분으로 윤활제를 배출시킬 수 있다.Accordingly, the lubricant processing assembly 100 according to the exemplary embodiments may supply the lubricant through the supply line 11 in order to reduce frictional force generated at the contact portions in contact with each other, and contact the discharge unit 13 through the discharge unit 13 . The part can drain the lubricant.

그리고 배출부(13)의 구멍(15)이 너무 큰 경우에는 윤활제가 계속 배출되어 윤활제의 사용량이 너무 많아지기 때문에 바람직하지 않고, 배출부(13)의 구멍(15)이 너무 작은 경우에는 윤활제의 공급 균일도에 영향을 끼치지 때문에 바람직하지 않다.And when the hole 15 of the discharge part 13 is too large, it is not preferable because the lubricant is continuously discharged and the amount of lubricant used is too large, and when the hole 15 of the discharge part 13 is too small, the lubricant This is undesirable because it does not affect the feed uniformity.

이에, 배출부(13)로 이루어지는 구멍(15)은 공급 라인(11)으로 공급되는 윤활제의 공급 압력을 조정함에 의해 윤활제가 일정 시간마다 일정량만이 단속적으로 접촉 부분으로 배출되도록 하는 크기를 갖도록 형성될 수 있다. 즉, 배출부(13)에서의 구멍(15)은 윤활제가 정해진 시간마다 방울 형태로 배출되는 크기를 갖도록 형성되어야 하는 것이다.Accordingly, the hole 15 made of the discharge part 13 is formed to have a size such that only a certain amount of the lubricant is intermittently discharged to the contact part at a predetermined time by adjusting the supply pressure of the lubricant supplied to the supply line 11 . can be That is, the hole 15 in the discharge part 13 is to be formed to have a size in which the lubricant is discharged in the form of drops every predetermined time.

실제로, 윤활제가 약 2.5초 이내에 1 방울이 배출되도록 하는 구멍(15)의 크기를 테스트해 보았다. 이때, 1 방울에 대한 배출량은 약 0.050㎖ 미만이 되도록 공급 라인(11)으로 공급되는 윤활제의 공급 압력을 조정하였다.In practice, the size of the hole 15 was tested so that a drop of lubricant was discharged in about 2.5 seconds. At this time, the supply pressure of the lubricant supplied to the supply line 11 was adjusted so that the discharge amount for one drop was less than about 0.050 ml.

확인 결과, 배출부(13)에 형성하는 구멍(15)의 크기가 약 0.71mm일 경우에는 방울이 형성되지 않고 계속적으로 배출되는 것을 알 수 있었다. 또한, 배출부(13)에 형성하는 구멍(15)의 크기가 약 0.50mm일 경우에도 방울이 형성되지 않고 계속적으로 배출되는 것을 알 수 있었다.As a result of the confirmation, when the size of the hole 15 formed in the discharge part 13 was about 0.71 mm, it was found that the droplets were continuously discharged without being formed. In addition, it was found that even when the size of the hole 15 formed in the discharge part 13 is about 0.50 mm, the droplets are not formed and are continuously discharged.

그러나 배출부(13)에 형성하는 구멍(15)의 크기가 약 0.20mm일 때 방울이 형성되어 단속적으로 배출되는 것을 확인할 수 있었다. 특히, 배출부(13)에 형성하는 구멍(15)의 크기가 약 0.17mm일 때 약 1.5초 마다 1 방울이 배출되는 것을 확인할 수 있었고, 약 0.15mm일 때 약 2.0초 마다 1 방울이 배출되는 것을 확인할 수 있었다. 그리고 0.17mm의 구멍 및 0.15mm의 구멍을 통하여 배출되는 1 방울은 약 0.040㎖임을 확인할 수 있었다.However, when the size of the hole 15 formed in the discharge part 13 was about 0.20 mm, it was confirmed that the droplets were formed and discharged intermittently. In particular, it was confirmed that 1 drop is discharged every 1.5 seconds when the size of the hole 15 formed in the discharge part 13 is about 0.17 mm, and when the size of the hole 15 is about 0.15 mm, it can be confirmed that 1 drop is discharged every 2.0 seconds could And it was confirmed that 1 drop discharged through the hole of 0.17mm and the hole of 0.15mm was about 0.040ml.

또한, 배출부(13)에 형성하는 구멍(15)의 크기가 약 0.10mm 미만일 경우에는 구멍(15)이 너무 작아서 윤활제의 배출이 원활하게 이루어지지 않음을 확인할 수 있었다In addition, when the size of the hole 15 formed in the discharge part 13 is less than about 0.10 mm, it was confirmed that the hole 15 was too small and the lubricant was not smoothly discharged.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리(100)는 배출부(13)의 구멍(15)이 약 0.10 내지 0.20mm의 크기를 갖도록 형성될 수 있다. 또한, 예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리(100)는 공급 라인(11)으로 공급되는 윤활제의 공급 압력을 고려할 경우 배출부(13)의 구멍(15)이 약 1.0 내지 2.5초 마다 약 0.033 내지 0.050㎖의 윤활제가 배출되는 크기를 갖도록 형성될 수 있다.Accordingly, in the lubricant processing assembly 100 according to exemplary embodiments, the hole 15 of the discharge part 13 may be formed to have a size of about 0.10 to 0.20 mm. In addition, in the lubricant processing assembly 100 according to the exemplary embodiments, when the supply pressure of the lubricant supplied to the supply line 11 is taken into consideration, the hole 15 of the discharge part 13 is about 0.033 every about 1.0 to 2.5 seconds. to 0.050 ml of lubricant may be formed to have a discharge size.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리(100)는 윤활제를 단속적으로 공급함에 따른 결과로서 윤활제의 공급량을 감소시킴에도 불구하고 윤활제가 공급되는 공급 균일도를 충분하게 유지할 수 있을 것이다. 또한, 윤활제의 공급량을 감소시킴으로서 윤활제가 계속적으로 공급됨에 따라 기판 상면으로 윤활제로 리바운딩되는 상황도 미연에 방지할 수 있을 것이다.Accordingly, the lubricant processing assembly 100 according to the exemplary embodiments may sufficiently maintain the uniformity of supply of the lubricant despite the decrease in the amount of lubricant supplied as a result of intermittently supplying the lubricant. In addition, by reducing the supply amount of the lubricant, it may be possible to prevent in advance the situation in which the lubricant is rebounded to the upper surface of the substrate as the lubricant is continuously supplied.

그러므로 예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리(100)는 윤활제의 사용에 따른 비용적 측면의 불리함을 극복할 수 있을 것이고, 공정상 발생할 수 있는 불량도 감소시킬 수 있을 것이다.Therefore, the lubricant treatment assembly 100 according to the exemplary embodiments may overcome disadvantages in terms of cost due to the use of lubricants, and may reduce defects that may occur in the process.

그리고 공급 라인(11) 및 배출부(13)로 이루어지는 윤활제 처리 어셈블리(100)가 이송 장치에서의 접촉 부위와 다소 이격되게 위치할 경우에는 윤활제가 배출될 때 다른 부분으로 리바운딩될 수 있고, 심할 경우에는 이송이 이루어지는 기판 상면으로도 리바운딩될 수 도 있을 것이다.In addition, if the lubricant treatment assembly 100 including the supply line 11 and the discharge unit 13 is positioned somewhat spaced apart from the contact portion in the conveying device, it may rebound to another portion when the lubricant is discharged, and in severe cases It may also be rebounded to the upper surface of the substrate on which the transfer is made.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리(100)에서의 배출부(13)는 배출부(13)의 구멍(15)이 형성되는 공급 라인(11)으로부터 접촉 부분의 근방까지 연장되는 구조를 갖도록 형성되는 안내 라인(17)을 더 포함할 수 있다. 즉, 안내 라인(17)은 배출부(13)의 구멍(15)으로부터 배출되는 윤활제가 접촉 부분의 근방까지 안내할 수 있도록 형성되는 것이다.Accordingly, the discharge part 13 in the lubricant processing assembly 100 according to the exemplary embodiments has a structure extending from the supply line 11 in which the hole 15 of the discharge part 13 is formed to the vicinity of the contact part. It may further include a guide line 17 formed to have a. That is, the guide line 17 is formed so as to guide the lubricant discharged from the hole 15 of the discharge part 13 to the vicinity of the contact part.

이와 같이, 언급한 안내 라인(17)을 형성하여 윤활제의 배출을 접촉 부분의 근방까지 안내함으로써 윤활제가 다른 부분으로 리바운딩되는 상황을 사전에 방지할 수 있다.In this way, by forming the aforementioned guide line 17 to guide the discharge of the lubricant to the vicinity of the contact portion, the situation in which the lubricant is rebounded to another portion can be prevented in advance.

특히, 예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리(100)의 경우에는 윤활제의 공급량을 감소시킴과 더불어 안내 라인(17)을 형성하기 때문에 윤활제의 리바운딩은 거의 발생하지 않을 것이다.In particular, in the case of the lubricant processing assembly 100 according to the exemplary embodiments, since the guide line 17 is formed while reducing the supply amount of the lubricant, rebounding of the lubricant will hardly occur.

그리고 공급 라인(11)은 PFA 재질로 이루어질 수 있다. 이는, 공급 라인(11)에 배출부(13)로서의 구멍(15)을 형성하기 위한 가공 용이성을 도모하기 위함이다.And the supply line 11 may be made of a PFA material. This is to facilitate processing for forming the hole 15 as the discharge portion 13 in the supply line 11 .

또한, 안내 라인(17)의 경우에는 PFA 재질로 이루어질 수 있다. 이는, 공급 라인(11)과 안내 라인(17)의 결합에 대한 가공 용이성을 도모하기 위한 것이다. 이에, PFA 재질로 이루어지는 공급 라인(11) 및 안내 라인(17)은 융착에 의해 결합될 수 있을 것이다.In addition, the guide line 17 may be made of a PFA material. This is to facilitate processing of the coupling of the supply line 11 and the guide line 17 . Accordingly, the supply line 11 and the guide line 17 made of PFA material may be coupled by fusion.

이하, 언급한 윤활제 처리 어셈블리를 포함하는 기판 이송 장치에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a substrate transport apparatus including the aforementioned lubricant processing assembly will be described.

도 2 및 도 3은 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.2 and 3 are schematic views for explaining a substrate transfer apparatus according to example embodiments.

먼저 도 2 및 도 3에서의 윤활제 처리부는 도 1에서의 윤활제 처리 어셈블리와 동일하기 때문에 동일한 구성 요소에 대해서는 동일 부호를 사용하고 상세한 설명은 생략하기로 한다.First, since the lubricant treatment unit in FIGS. 2 and 3 is the same as the lubricant treatment assembly in FIG. 1 , the same reference numerals are used for the same components and a detailed description thereof will be omitted.

도 2 및 도 3을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(300)는 롤러(21), 회전 조력부(25), 윤활제 처리부(100) 등을 포함할 수 있다.2 and 3 , the substrate transport apparatus 300 according to example embodiments may include a roller 21 , a rotation aid unit 25 , a lubricant processing unit 100 , and the like.

롤러(21)는 기판 이면과 접촉하여 회전하도록 구비되는 것으로써, 기판 이면과 접촉하여 회전함에 의해 기판을 이송시킬 수 있다.The roller 21 is provided to rotate in contact with the back surface of the substrate, and may transfer the substrate by rotating in contact with the back surface of the substrate.

회전 조력부(25)는 롤러(21)의 회전시 발생할 수 있는 마찰력을 감소시키기 위한 것으로써, 롤러(21)가 원활하게 회전하도록 구비될 수 있다. 특히, 회전 조력부(25)의 예로서는 베어링, 기어 등을 들 수 있다.The rotation assisting unit 25 is for reducing frictional force that may occur when the roller 21 rotates, and may be provided so that the roller 21 rotates smoothly. In particular, as an example of the rotation assisting part 25, a bearing, a gear, etc. are mentioned.

윤활제 처리부(100)는 도 1에서 설명한 바와 같이 공급 라인(11) 및 배출부(13)를 포함할 수 있다. 이에, 윤활제 처리부(100)는 회전 조력부(25)에서 발생하는 마찰력을 감소시키기 위한 것으로써 공급 라인(11)을 통하여 윤활제를 공급할 수 있고, 배출부(13)를 통하여 회전 조력부(25) 부분에 윤활제를 배출시킬 수 있다.The lubricant processing unit 100 may include a supply line 11 and a discharge unit 13 as described with reference to FIG. 1 . Accordingly, the lubricant processing unit 100 can supply lubricant through the supply line 11 as to reduce the frictional force generated in the rotating aid unit 25, and the rotating aid unit 25 through the discharge unit 13. Lubricant can be drained from the part.

그리고 배출부(13)로 이루어지는 구멍(15)은 공급 라인(11)으로 공급되는 윤활제의 공급 압력을 조정함에 의해 윤활제가 일정 시간마다 일정량만이 단속적으로 접촉 부분으로 배출되도록 하는 크기를 갖도록 형성될 수 있다. 즉, 배출부(13)에서의 구멍(15)은 윤활제가 정해진 시간마다 방울 형태로 배출되는 크기를 갖도록 형성되어야 하는 것이다.And the hole 15 made of the discharge part 13 is formed to have a size such that only a certain amount of lubricant is intermittently discharged to the contact part at a predetermined time by adjusting the supply pressure of the lubricant supplied to the supply line 11. can That is, the hole 15 in the discharge part 13 is to be formed to have a size in which the lubricant is discharged in the form of drops every predetermined time.

이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(300)는 윤활제를 단속적으로 공급함에 따른 결과로서 윤활제의 공급량을 감소시킴에도 불구하고 윤활제가 공급되는 공급 균일도를 충분하게 유지할 수 있을 것이다. 또한, 윤활제의 공급량을 감소시킴으로서 윤활제가 계속적으로 공급됨에 따라 기판 상면으로 윤활제로 리바운딩되는 상황도 미연에 방지할 수 있을 것이다.As such, the substrate transport apparatus 300 according to the exemplary embodiments may sufficiently maintain the uniformity of supply of the lubricant despite the decrease in the amount of the lubricant supplied as a result of intermittently supplying the lubricant. In addition, by reducing the supply amount of the lubricant, it may be possible to prevent in advance the situation in which the lubricant is rebounded to the upper surface of the substrate as the lubricant is continuously supplied.

그러므로 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(300)는 윤활제의 사용에 따른 비용적 측면의 불리함을 극복할 수 있을 것이고, 공정상 발생할 수 있는 불량도 감소시킬 수 있을 것이다.Therefore, the substrate transport apparatus 300 according to the exemplary embodiments may overcome disadvantages in terms of cost due to the use of lubricants, and may reduce defects that may occur in the process.

그리고 윤활제 처리부(100)에 있어서, 공급 라인(11)은 기판의 이송에 지장을 끼치지 않는 부분에 배치되도록 구비될 수 있다. 특히, 윤활제의 배출이 이루어지는 회전 조력부(25) 부분은 기판 이면에 배치되기 때문에 공급 라인(11) 또한 기판의 이송을 지장을 끼치지 않는 기판 이면 부분 쪽에 배치되도록 구비될 수 있을 것이다.And in the lubricant processing unit 100, the supply line 11 may be provided so as to be disposed at a portion that does not interfere with the transfer of the substrate. In particular, the supply line 11 may also be provided so as to be disposed on the back side of the substrate that does not interfere with the transfer of the substrate, since the portion of the rotation aid 25 through which the lubricant is discharged is disposed on the back surface of the substrate.

공급 라인(11) 및 배출부(13)로 이루어지는 윤활제 처리부(100)가 기판 이송 장치(300)에서의 회전 조력부(25) 부분과 다소 이격되게 위치할 경우에는 윤활제가 배출될 때 다른 부분으로 리바운딩될 수 있고, 심할 경우에는 이송이 이루어지는 기판 상면으로도 리바운딩될 수 도 있을 것이다.When the lubricant processing unit 100 including the supply line 11 and the discharge unit 13 is positioned somewhat spaced apart from the rotational aid unit 25 in the substrate transfer device 300, the lubricant is discharged to another part. It may be rebounded, and in severe cases, it may also be rebounded to the upper surface of the substrate on which the transfer is made.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(300)에서도 도 1에서와 같이 안내 라인(17)을 구비하여 배출부(13)의 구멍(15)으로부터 배출되는 윤활제가 회전 조력부(25) 부분의 근방까지 안내할 수 있도록 할 수 있다.Accordingly, in the substrate transport apparatus 300 according to the exemplary embodiments, the lubricant discharged from the hole 15 of the discharge unit 13 provided with the guide line 17 as in FIG. 1 is the rotation aid unit 25 . It can guide you to the vicinity of a part.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치의 경우에도 윤활제의 공급량을 감소시킴과 더불어 안내 라인(17)을 형성하기 때문에 윤활제의 리바운딩은 거의 발생하지 않을 것이다.Therefore, even in the case of the substrate processing apparatus according to the exemplary embodiments, since the guide line 17 is formed while reducing the supply amount of the lubricant, rebounding of the lubricant will hardly occur.

그리고 공급 라인(11)은 기판의 이송 방향과 수평하게 배치되도록 구비될 수 있고, 안내 라인(17)은 기판의 이송 방향과 수직하게 배치되도록 구비될 수 있을 것이다.In addition, the supply line 11 may be provided to be arranged horizontally with the transfer direction of the substrate, and the guide line 17 may be provided to be arranged to be perpendicular to the transfer direction of the substrate.

예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(300)에서의 롤러(21)는 샤프트(23)에 끼워지는 구조를 가질 수 있다. 그리고 회전 조력부(25)는 롤러(21)와 샤프트(23) 사이에 구비될 수 있다.The roller 21 in the substrate transport apparatus 300 according to exemplary embodiments may have a structure to be fitted to the shaft 23 . And the rotation aid 25 may be provided between the roller 21 and the shaft (23).

이에, 윤활제 처리부(100)는 롤러(21)와 샤프트(23) 사이에 구비되는 회전 조력부(25)를 포함하는 부분에 윤활제를 배출할 수 있도록 구비될 수 있다.Accordingly, the lubricant processing unit 100 may be provided to discharge the lubricant to a portion including the rotation aid unit 25 provided between the roller 21 and the shaft 23 .

예시적인 실시예들에 따른 윤활제 처리 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 이송 장치는 기판의 이송이 이루어지는 반도체 소자의 제조 라인에 적용할 수 있을 뿐만 아니라 대면적 기판을 취급하는 디스플레이 장치의 제조 라인에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.The lubricant processing assembly and the substrate transfer apparatus including the same according to the exemplary embodiments can be applied to a manufacturing line of a semiconductor device in which a substrate is transferred, and more actively to a manufacturing line of a display device handling a large-area substrate. will be applicable.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치는 스마트폰의 제조와 함께 나아가 데스크탑 PC, 태블릿 PC, 스마트 TV 등과 같은 다양한 디스플레이 장치의 제조에도 충분하게 적용할 수 있을 것이다.Therefore, the substrate transfer apparatus and the substrate processing apparatus including the same according to the exemplary embodiments may be sufficiently applied to the manufacture of various display devices such as a desktop PC, a tablet PC, a smart TV, and the like, along with the manufacture of a smart phone.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

11 : 공급 라인 13 : 배출부
15 : 구멍 17 : 안내 라인
21 : 롤러 23 : 샤프트
25 : 회전 조력부
100 : 윤활제 처리 어셈블리, 윤활제 처리부
300 : 기판 이송 장치11: supply line 13: discharge part
15: hole 17: guide line
21: roller 23: shaft
25: rotation aid unit
100: lubricant treatment assembly, lubricant treatment unit
300: substrate transfer device

Claims (12)

서로 접촉하는 접촉 부분에서 발생하는 마찰력을 감소시키기 위하여 상기 접촉 부분에 윤활제를 공급하는 공급 라인; 및
상기 공급 라인으로 공급되는 상기 윤활제의 공급 압력을 조정함에 의해 상기 윤활제가 일정 시간마다 일정량만이 단속적으로 상기 접촉 부분으로 배출되도록 하는 크기를 갖는 구멍이 상기 공급 라인에 형성되는 배출부를 포함하되,
상기 접촉 부분은 하나의 샤프트에 적어도 두 개가 일정 간격 마다 배치되는 롤러들 사이 각각에서의 회전 조력부가 구비되는 부분이고, 상기 공급 라인은 상기 샤프트 및 상기 롤러들에 의한 기판의 이송에 지장을 끼치지 않게 상기 기판의 이면 부분 쪽에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 윤활제 처리 어셈블리. a supply line for supplying lubricant to the contact portions in order to reduce frictional force generated in the contact portions in contact with each other; and
and a discharge part formed in the supply line with a hole having a size such that only a certain amount of the lubricant is intermittently discharged to the contact portion every predetermined time by adjusting the supply pressure of the lubricant supplied to the supply line,
The contact portion is a portion provided with a rotation assisting unit between each of the rollers disposed at regular intervals on one shaft, and the supply line does not interfere with the transfer of the substrate by the shaft and the rollers. The lubricant processing assembly, characterized in that it is provided to be disposed on the back side of the substrate. 제1 항에 있어서,
상기 배출부의 구멍은 상기 윤활제가 정해진 시간마다 방울 형태로 배출되는 크기를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 윤활제 처리 어셈블리. The method of claim 1,
The lubricant treatment assembly, characterized in that the hole of the discharge unit is formed to have a size in which the lubricant is discharged in the form of drops at predetermined time intervals. 제1 항에 있어서,
상기 배출부의 구멍은 1.0 내지 2.5초 마다 0.033 내지 0.050㎖가 배출되는 크기를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 윤활제 처리 어셈블리.The method of claim 1,
The lubricant treatment assembly, characterized in that the hole of the discharge unit is formed to have a size such that 0.033 to 0.050 ml is discharged every 1.0 to 2.5 seconds. 제1 항에 있어서,
상기 배출부의 구멍은 0.10 내지 0.20mm의 크기를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 윤활제 처리 어셈블리.The method of claim 1,
The lubricant treatment assembly, characterized in that the hole of the discharge part is formed to have a size of 0.10 to 0.20 mm. 제1 항에 있어서,
상기 배출부는 상기 구멍으로부터 배출되는 상기 윤활제가 상기 접촉 부분의 근방까지 안내되게 상기 배출부의 구멍이 형성되는 상기 공급 라인으로부터 상기 접촉 부분의 근방까지 연장되는 구조를 갖도록 형성되는 안내 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 윤활제 처리 어셈블리.The method of claim 1,
The discharge portion further comprises a guide line formed to have a structure extending from the supply line in which the hole of the discharge portion is formed to the vicinity of the contact portion so that the lubricant discharged from the hole is guided to the vicinity of the contact portion lubrication treatment assembly. 제5 항에 있어서,
상기 공급 라인 및 상기 안내 라인은 PFA 재질로 이루어지고, 상기 공급 라인 및 상기 안내 라인은 융착에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 윤활제 처리 어셈블리.6. The method of claim 5,
The supply line and the guide line are made of a PFA material, and the supply line and the guide line are coupled by fusion. 기판과 접촉하여 회전함에 의해 상기 기판을 이송시키는 롤러;
상기 롤러가 원활하게 회전하도록 구비되는 회전 조력부; 및
상기 회전 조력부에서 발생하는 마찰력을 감소시키기 위하여 상기 회전 조력부를 포함하는 부분에 윤활제를 공급하는 공급 라인과, 상기 공급 라인으로 공급되는 상기 윤활제의 공급 압력을 조정함에 의해 상기 윤활제가 일정 시간마다 일정량만이 단속적으로 상기 회전 조력부 부분으로 배출되도록 하는 크기를 갖는 구멍이 상기 공급 라인에 형성되는 배출부로 이루어지는 윤활제 처리부를 포함하되,
상기 롤러는 하나의 샤프트에 적어도 두 개가 일정 간격 마다 배치되어 끼워지는 구조를 갖고, 상기 회전 조력부는 상기 하나의 샤프트에 상기 적어도 두 개가 일정 간격 마다 배치되는 롤러들 사이 각각에서의 접촉 부분에 구비되고, 상기 공급 라인은 상기 샤프트 및 상기 롤러들에 의한 기판의 이송에 지장을 끼치지 않게 상기 기판의 이면 부분 쪽에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치. a roller for transferring the substrate by rotating in contact with the substrate;
a rotation aid provided so that the roller rotates smoothly; and
A supply line for supplying a lubricant to a portion including the rotational aid in order to reduce the frictional force generated in the rotating aid, and by adjusting the supply pressure of the lubricant supplied to the supply line, a certain amount of the lubricant is A lubricant processing unit comprising a discharge unit in which a hole having a size such that the bay is intermittently discharged to the rotational aid unit portion is formed in the supply line,
The roller has a structure in which at least two rollers are arranged and fitted at regular intervals on one shaft, and the rotation aid is provided at a contact portion between each of the rollers, wherein the at least two rollers are arranged at regular intervals on the one shaft, , The supply line is a substrate transport apparatus, characterized in that it is provided to be disposed on the back side of the substrate so as not to interfere with the transport of the substrate by the shaft and the rollers. 제7 항에 있어서,
상기 배출부의 구멍은 1.0 내지 2.5초 마다 0.033 내지 0.050㎖가 배출되는 크기를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.8. The method of claim 7,
The substrate transport apparatus, characterized in that the hole of the discharge unit is formed to have a size in which 0.033 to 0.050 ml is discharged every 1.0 to 2.5 seconds. 제7 항에 있어서,
상기 배출부의 구멍은 0.10 내지 0.20mm의 크기를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.8. The method of claim 7,
The substrate transport apparatus, characterized in that the hole of the discharge part is formed to have a size of 0.10 to 0.20 mm. 제7 항에 있어서,
상기 배출부는 상기 구멍으로부터 배출되는 상기 윤활제가 상기 접촉 부분의 근방까지 안내되게 상기 배출부의 구멍이 형성되는 상기 공급 라인으로부터 상기 접촉 부분의 근방까지 연장되는 구조를 갖도록 형성되는 안내 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.8. The method of claim 7,
The discharge portion further comprises a guide line formed to have a structure extending from the supply line in which the hole of the discharge portion is formed to the vicinity of the contact portion so that the lubricant discharged from the hole is guided to the vicinity of the contact portion A substrate transfer device, characterized in that. 제10 항에 있어서,
상기 공급 라인 및 상기 안내 라인은 PFA 재질로 이루어지고, 상기 공급 라인 및 상기 안내 라인은 융착에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.11. The method of claim 10,
The supply line and the guide line are made of a PFA material, and the supply line and the guide line are coupled by fusion. 삭제delete
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