KR101853798B1 - Substrate transferring apparatus - Google Patents
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Abstract
기판 이송 장치는 이송 롤러, 이송 샤프트, 가이드 롤러 및 프리 롤러를 포함한다. 이송 롤러는 기판의 하면과 접촉하여 회전함으로써 기판을 이송한다. 이송 샤프트는 기판이 이송되는 방향과 수직한 방향을 따라 연장하고, 이송 샤프트에는 이송 롤러가 설치되며, 외부로부터 구동력을 수신하여 회전한다. 가이드 롤러는 기판의 일측면에 접촉하여 회전함으로써 기판의 이탈을 방지한다. 프리 롤러는 이송 샤프트와 단절되어 기판의 하면과 접촉함으로써 기판을 지지한다. 따라서, 기판 이송 장치의 제조 비용을 절감할 수 있다.The substrate transfer apparatus includes a conveying roller, a conveying shaft, a guide roller, and a free roller. The transport roller contacts the lower surface of the substrate and rotates to transport the substrate. The conveying shaft extends along a direction perpendicular to a direction in which the substrate is conveyed, and a conveying roller is provided on the conveying shaft, and receives the driving force from the outside to rotate. The guide roller rotates in contact with one side surface of the substrate to prevent the substrate from escaping. The free rollers are disconnected from the transport shaft to support the substrate by contacting the lower surface of the substrate. Therefore, the manufacturing cost of the substrate transfer apparatus can be reduced.
Description
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 롤러를 이용하여 기판을 이송하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus for transferring a substrate using a roller.
표시 장치 또는 반도체 장치의 제조에 이용되는 기판 상에 패턴을 형성하기 위해, 기판 상에 증착, 베이킹, 세정 및 건조 등의 공정을 수행한다.In order to form a pattern on a substrate used for manufacturing a display device or a semiconductor device, processes such as deposition, baking, cleaning, and drying are performed on the substrate.
상기 기판 상에 증착, 베이킹, 세정 및 건조 등의 공정은 챔버 내에서 상기 기판을 이송하면서 수행된다. A process such as deposition, baking, cleaning, and drying on the substrate is performed while transferring the substrate in the chamber.
상기 기판을 이송하는 기판 이송 장치는 상기 기판의 하면에 접촉하여 회전함으로써 상기 기판을 이송하는 롤러들, 및 상기 롤러들이 설치되며 회전하는 샤프트를 포함한다.The substrate transfer apparatus for transferring the substrate includes rollers for transferring the substrate by rotating in contact with a lower surface of the substrate, and a shaft to which the rollers are installed and rotated.
상기 롤러들 및 상기 샤프트는 상기 기판의 전체 면적에 걸쳐 배치되고, 상기 기판의 면적이 커질수록 상기 샤프트의 길이가 증가하고, 상기 샤프트 및 롤러들을 결합하는 결합 부재의 개수가 증가한다. 따라서, 상기 기판 이송 장치의 제조 비용이 증가하는 문제점이 있다.The rollers and the shaft are disposed over the entire area of the substrate, and as the area of the substrate increases, the length of the shaft increases and the number of engaging members that engage the shaft and rollers increases. Therefore, the manufacturing cost of the substrate transfer apparatus is increased.
이에, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 본 발명의 목적은 기판 이송 장치의 제조 비용을 절감하는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus that reduces the manufacturing cost of the substrate transfer apparatus.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 이송 롤러, 이송 샤프트, 가이드 롤러 및 프리 롤러를 포함한다. 상기 이송 롤러는 기판의 하면과 접촉하여 회전함으로써 상기 기판을 이송한다. 상기 이송 샤프트는 상기 기판이 이송되는 방향과 수직한 방향을 따라 연장하고, 상기 이송 샤프트에는 상기 이송 롤러가 설치되며, 외부로부터 구동력을 수신하여 회전한다. 상기 가이드 롤러는 상기 기판의 일측면에 접촉하여 회전함으로써 상기 기판의 이탈을 방지한다. 상기 프리 롤러는 상기 이송 샤프트와 단절되어 상기 기판의 하면과 접촉함으로써 상기 기판을 지지한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus including a transfer roller, a transfer shaft, a guide roller, and a free roller. The transfer roller contacts the lower surface of the substrate and rotates to transfer the substrate. The transporting shaft extends along a direction perpendicular to a direction in which the substrate is transported. The transporting shaft is provided with the transporting roller, and receives driving force from the outside to rotate. The guide roller rotates in contact with one side of the substrate to prevent the substrate from being separated. The free rollers are disconnected from the transport shaft to support the substrate by contacting the lower surface of the substrate.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 기판은 지면에 대해 경사를 가질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the substrate may have an inclination relative to the ground.
이와 같은 기판 이송 장치에 따르면, 이송 롤러가 샤프트와 연결되어 기판을 이송하고, 프리 롤러가 샤프트와 단절되어 기판을 지지하므로, 샤프트의 길이를 감소시켜 샤프트의 비용을 절감할 수 있다.According to such a substrate transfer apparatus, the transfer roller is connected to the shaft to transfer the substrate, and since the free roller is disconnected from the shaft to support the substrate, the length of the shaft can be reduced to reduce the cost of the shaft.
또한, 프리 롤러는 샤프트와 결합되지 않으므로, 샤프트 및 롤러를 서로 결합하는 결합 부재의 비용을 절감할 수 있다. 따라서, 기판 이송 장치의 제조 비용을 절감할 수 있다.Further, since the free rollers do not engage with the shaft, the cost of the engaging member for coupling the shaft and the roller to each other can be reduced. Therefore, the manufacturing cost of the substrate transfer apparatus can be reduced.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 기판 이송 장치를 나타내는 측면도이다.1 is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view showing the substrate transfer apparatus of FIG.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiment, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 평면도이고, 도 2는 도 1의 기판 이송 장치를 나타내는 측면도이다.FIG. 1 is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view showing the substrate transfer apparatus of FIG.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 이송 롤러(110), 이송 샤프트(120), 가이드 롤러(130), 가이드 샤프트(140), 프리 롤러(150) 및 브라켓(160)을 포함한다.1 and 2, the
상기 이송 롤러(110)는 기판(200)의 하면과 접촉하여 회전함으로써 상기 기판(200)을 일 방향으로 이송한다. 상기 이송 롤러(110)들은 서로 이격되어 상기 이송 샤프트(120)에 설치된다. The
상기 기판(200)은 지면과 평행한 상태로 이송될 수 있다. 이와 달리, 상기 기판(200)을 처리하는 처리액이 상기 기판(200)에 분산되기 위해, 상기 기판(200)은 지면에 대해 경사를 가지고 이송될 수 있다. The
상기 이송 샤프트(120)는 상기 기판(200)이 이송되는 방향과 수직한 방향을 따라 연장하고, 외부에 설치된 모터와 같은 구동부로부터 구동력을 수신하여 회전한다. 따라서, 상기 이송 롤러가 회전한다. 상기 이송 샤프트(120)들은 상기 기판(200)의 이송 방향을 따라 서로 이격될 수 있다.The
상기 가이드 롤러(130)는 상기 기판(200)의 일측면에 접촉하여 회전함으로써 상기 기판(200)의 이탈을 방지한다. 예를 들면, 상기 가이드 롤러(130)에는 상기 기판(200)의 측면과 접촉하는 측면에 홈이 형성될 수 있고, 상기 홈은 V자 형태를 가질 수 있다.The
상기 가이드 샤프트(140)는 상기 가이드 롤러(130)와 연결되어 상기 가이드 롤러(130)가 회전하는 구동력을 전달한다.The
상기 프리 롤러(150)는 상기 이송 샤프트(120)와 단절되어 상기 기판(200)의 하면과 접촉함으로써 상기 기판(200)을 지지한다. 즉, 상기 프리 롤러(150)는 상기 기판(200)이 휘는 현상을 방지한다. 상기 프리 롤러(150)는 상기 기판(200)이 상기 이송 롤러(110)에 의해 이송될 때, 상기 기판(200)의 이송에 따라 회전한다. The
상기 브라켓(160)은 상기 프리 롤러(150)를 지지한다. 실시예에 따라, 상기 브라켓(160)은 복수의 프리 롤러(150)들에 연결될 수 있다.The
본 실시예에 따르면, 상기 프리 롤러(150)가 상기 이송 샤프트(110)와 단절되어 상기 기판(200)을 지지하므로, 상기 이송 샤프트(110)의 길이를 감소시켜 롤러가 설치되는 샤프트의 비용을 절감할 수 있다.According to this embodiment, since the
또한, 상기 프리 롤러(150)는 상기 이송 샤프트(110)와 결합되지 않으므로, 샤프트 및 롤러를 서로 결합하는 결합 부재의 비용을 절감할 수 있다. 따라서, 상기 기판 이송 장치(100)의 제조 비용을 절감할 수 있다.In addition, since the
이상에서는 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. You will understand.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는 이송 롤러가 샤프트와 연결되어 기판을 이송하고, 프리 롤러가 샤프트와 단절되어 기판을 지지하므로, 샤프트의 길이를 감소시켜 샤프트의 비용을 절감할 수 있다.The substrate transfer apparatus according to the present invention can reduce the length of the shaft by reducing the length of the shaft by reducing the length of the shaft because the transfer roller is connected to the shaft to transfer the substrate and the free roller is disconnected from the shaft to support the substrate.
또한, 프리 롤러는 샤프트와 결합되지 않으므로, 샤프트 및 롤러를 서로 결합하는 결합 부재의 비용을 절감할 수 있다. 따라서, 기판 이송 장치의 제조 비용을 절감할 수 있다.Further, since the free rollers do not engage with the shaft, the cost of the engaging member for coupling the shaft and the roller to each other can be reduced. Therefore, the manufacturing cost of the substrate transfer apparatus can be reduced.
100: 기판 이송 장치 110: 이송 롤러
120: 이송 샤프트 130: 가이드 롤러
140: 가이드 샤프트 150: 프리 롤러
160: 브라켓 200: 기판
100: substrate conveying device 110: conveying roller
120: Feed shaft 130: Guide roller
140: guide shaft 150: free roller
160: bracket 200: substrate
Claims (4)
상기 기판이 이송되는 방향과 수직한 방향을 따라 연장하고, 상기 이송 롤러가 설치되며, 외부로부터 구동력을 수신하여 회전하는 이송 샤프트;
상기 기판의 일측면에 접촉하여 회전함으로써 상기 기판의 이탈을 방지하는 가이드 롤러; 및
상기 이송 샤프트와 단절되어 상기 기판의 하면과 접촉함으로써 상기 기판을 지지하는 프리 롤러를 포함하고,
상기 기판의 측면과 접촉하는 상기 가이드 롤러의 측면에는 V 자 형태를 갖는 홈이 형성되고,
상기 프리 롤러는 상기 이송 샤프트를 따라 마지막에 배치되는 상기 이송 롤러의 후단에 적어도 두 개가 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.A transfer roller for transferring the substrate by rotating in contact with a lower surface of the substrate;
A transfer shaft extending along a direction perpendicular to a direction in which the substrate is conveyed and provided with the conveying roller and receiving a driving force from the outside to rotate;
A guide roller for preventing separation of the substrate by rotating in contact with one side surface of the substrate; And
And a free roller which is disconnected from the conveying shaft and supports the substrate by contacting the lower surface of the substrate,
A V-shaped groove is formed in a side surface of the guide roller which is in contact with a side surface of the substrate,
Wherein the free rollers are provided so that at least two of the free rollers are disposed at the rear end of the conveying roller disposed at the end along the conveying shaft.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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