KR20160005851A - Apparatus for carrying a substrate - Google Patents

Apparatus for carrying a substrate Download PDF

Info

Publication number
KR20160005851A
KR20160005851A KR1020140084637A KR20140084637A KR20160005851A KR 20160005851 A KR20160005851 A KR 20160005851A KR 1020140084637 A KR1020140084637 A KR 1020140084637A KR 20140084637 A KR20140084637 A KR 20140084637A KR 20160005851 A KR20160005851 A KR 20160005851A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
roller
adsorption pad
adsorption
chamber
Prior art date
Application number
KR1020140084637A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
신재윤
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020140084637A priority Critical patent/KR20160005851A/en
Publication of KR20160005851A publication Critical patent/KR20160005851A/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G13/00—Roller-ways
    • B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/02—Belt- or chain-engaging elements
    • B65G23/18—Suction or magnetic elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors 
    • B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
    • H01L2224/757—Means for aligning
    • H01L2224/75743—Suction holding means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

The present invention provides a substrate transfer device. The substrate transfer device comprises: a plurality of shafts arranged in a first direction and having a lengthwise direction arranged in a second direction; a plurality of rollers provided in the second direction and fixated and coupled to the outside of the shaft; and a driving unit rotating the shafts. The roller comprises: a cylindrical body unit; and an adsorption pad mounted on an outer circumferential surface of the body unit.

Description

기판 반송 장치 {Apparatus for carrying a substrate}[0001] Apparatus for carrying a substrate [0002]

본 발명은 기판을 반송하는 기판 반송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transport apparatus for transporting a substrate.

평판형 디스플레이 장치를 제조하기 위해서는 다양한 공정들이 수행된다. 평판형 디스플레이 장치의 제조에 사용되는 기판은 반송 유닛을 통해 각각의 공정들이 수행되는 챔버로 이송된다. 일반적인 반송 유닛은 나란하게 배치되어 회전하는 샤프트들과, 각각의 샤프트들에 설치되어 기판의 하면에 접촉되는 롤러들을 포함한다. 그러나 저항력이 과다하게 발생되는 구간에서 기판의 반송이 이루어지는 동안 기판은 미끄러질 수 있다. 이를 방지하기 위해, 기판의 상부에도 롤러를 설치하여 기판을 반송한다. 그러나, 기판 상부에 롤러를 설치함으로 인해 비용이 추가로 발생하게 되고, 반송 유닛의 설비가 복잡해 진다.Various processes are performed to manufacture a flat display device. The substrate used for manufacturing the flat panel display device is transported through the transport unit to the chamber in which the respective processes are performed. A common conveying unit includes shafts arranged in parallel and rotating, and rollers mounted on the respective shafts and contacting the lower surface of the substrate. However, the substrate may slide while the substrate is being conveyed in a region where the resistance is excessively generated. To prevent this, a roller is also provided on the top of the substrate to carry the substrate. However, by installing the rollers on the substrate, additional costs are incurred, and the facilities of the transport unit are complicated.

본 발명의 일 기술적 과제는 기판을 효율적으로 반송하는 기판 반송 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate transport apparatus for efficiently transporting a substrate.

본 발명의 일 기술적 과제는 롤러를 이용하여 기판 반송시 기판이 미끄러지는 것을 방지할 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus capable of preventing a substrate from slipping during substrate transfer using a roller.

본 발명은 기판 반송 장치를 제공한다. 기판 반송 장치는 제 1 방향을 따라 배열되고 그 길이 방향이 제 2 방향으로 제공되는 복수개의 샤프트, 상기 제 2 방향을 따라 복수개 제공되고 상기 샤프트 외부에 고정 결합되는 복수개의 롤러 및 상기 샤프트들을 회전시키는 구동부를 포함하되, 상기 롤러는 원통 형상의 바디부 및 상기 바디부의 외주면에 장착되는 흡착패드를 가진다.The present invention provides a substrate transport apparatus. The substrate transfer apparatus includes a plurality of shafts arranged along a first direction and provided with a longitudinal direction in a second direction, a plurality of rollers provided along the second direction and fixedly coupled to the outside of the shaft, And the roller has a cylindrical body portion and an adsorption pad mounted on an outer peripheral surface of the body portion.

일 예에 의하여, 상기 흡착패드는, 상기 롤러의 바디부에서 돌출되는 제 1 부분, 및 상기 제 1 부분과 연결되고 상기 제 1 부분보다 면적이 크고 상기 기판을 흡착하는 흡착면을 가지는 제 2 부분을 포함한다.According to one example, the adsorption pad includes a first portion protruding from a body portion of the roller, and a second portion connected to the first portion and having an area larger than that of the first portion and having an adsorption surface for adsorbing the substrate, .

일 예에 의하여, 상기 흡착패드는 탄성체이고, 상기 탄성체의 재질은 고무재질일 수 있다.According to an example, the adsorption pad may be an elastic body, and the material of the elastic body may be a rubber material.

일 예에 의하여, 상기 흡착패드의 흡착면에는 오목부가 형성되고, 상기 오목부는 반구의 형태를 가질 수 있다.According to an example, the suction surface of the adsorption pad has a concave portion, and the concave portion may have a hemispherical shape.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 기판 하부의 롤러만으로 기판을 효율적으로 반송할 수 있다. According to the embodiment of the present invention, the substrate can be efficiently transported only by the roller under the substrate.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 롤러를 이용하여 기판 반송시 기판이 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it is possible to prevent the substrate from slipping during substrate transportation by using rollers.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1의 기판 반송 장치의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 2의 롤러의 일 예를 보여주는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 롤러를 나타내는 사시도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view showing an example of the substrate transfer apparatus of FIG.
3 is a perspective view showing an example of the roller of FIG. 2. FIG.
4 is a perspective view showing a roller according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and how to accomplish them, will become apparent by reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치(1)를 보여주는 단면도이다. 도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 공정 챔버(100) 및 기판 반송 장치(200)를 포함한다. 1 is a sectional view showing a substrate processing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, the substrate processing apparatus 1 includes a process chamber 100 and a substrate transfer apparatus 200.

공정 챔버(100)는 기판(S)을 처리하기 위한 공간을 제공한다. 일 예로, 공정 챔버(100)는 에칭 챔버(102), 세정 챔버(104) 및 건조 챔버(106)를 포함할 수 있다. 에칭 챔버(102), 세정 챔버(104) 및 건조 챔버(106)는 제 1 방향(12)을 따라 순차적으로 배열된다. 제 1 방향(12)은 기판(S)의 이동방향으로 정의한다. 에칭 챔버(102)는 기판(S)에 케미컬을 공급하여 식각 공정을 진행한다. 에칭 챔버(102)는 식각 가스를 배출하는 분사부재를 포함한다. 세정 챔버(104)는 에칭 공정이 완료된 기판(S) 상에 순수를 공급하여 케미컬을 제거한다. 세정 챔버(104)는 순수를 분사하는 분사부재를 포함한다. 건조 챔버(106)는 기판(S)에 건조 가스를 분사하여 기판(S) 표면에 잔류하는 케미컬 또는 순수를 건조시킨다. 건조 챔버(106)는 건조 가스를 배출하는 분사부재를 포함한다.The process chamber 100 provides a space for processing the substrate S. [ In one example, the process chamber 100 may include an etch chamber 102, a cleaning chamber 104, and a drying chamber 106. The etching chamber 102, the cleaning chamber 104, and the drying chamber 106 are sequentially arranged along the first direction 12. The first direction 12 defines the direction of movement of the substrate S. The etching chamber 102 supplies a chemical to the substrate S and proceeds the etching process. The etching chamber 102 includes a jetting member for discharging the etching gas. The cleaning chamber 104 removes the chemical by supplying pure water onto the substrate S having been subjected to the etching process. The cleaning chamber 104 includes a jetting member for jetting pure water. The drying chamber 106 blows dry gas onto the substrate S to dry the chemical or pure water remaining on the surface of the substrate S. The drying chamber 106 includes a jetting member for discharging the drying gas.

에칭 챔버(102), 세정 챔버(104) 및 건조 챔버(106) 각각에는 기판 유입구(110) 및 기판 유출구(120)가 제공된다. 에칭 챔버(102), 세정 챔버(104) 및 건조 챔버(106)의 분사부재는 기판 반송 장치(200) 상에 존재한다.
Each of the etching chamber 102, the cleaning chamber 104, and the drying chamber 106 is provided with a substrate inlet 110 and a substrate outlet 120. The etching member 102, the cleaning chamber 104, and the jetting member of the drying chamber 106 are present on the substrate transport apparatus 200.

도 2는 도 1의 기판 반송 장치(200)의 일 예를 보여주는 평면도이다.2 is a plan view showing an example of the substrate transport apparatus 200 of FIG.

도 2를 참조하면, 기판 반송 장치(200)는 챔버 내에서 또는 챔버들 간에 기판(S)을 제 1 방향(12)으로 반송한다. 기판 반송 장치(200)는 에칭 챔버(102), 세정 챔버(104) 및 건조 챔버(106) 각각에 제공될 수 있다. 기판 반송 장치(200)는 샤프트(220), 롤러(240) 및 구동부(260)를 포함한다. 복수의 샤프트들(220)은 제1방향(12)을 따라 배열된다. 각각의 샤프트(220)는 그 길이 방향이 제2방향(16)으로 제공된다. 제 2 방향(16)은 챔버(100) 상부에서 본 경우 제 1 방향(12)과 수직한다. 샤프트들(220)은 서로 나란하게 배치된다. 각각의 샤프트(220)에는 그 길이방향을 따라 복수의 롤러들(240)이 고정 결합된다. 롤러(240)는 바디부(241)와 흡착패드(245)를 포함한다. 샤프트들(220)은 그 중심축을 기준으로 구동부(260)에 의해 회전된다. 구동부(260)는 풀리들(262), 벨트들(264), 그리고 모터(266)를 가진다. 풀리들(262)은 각각의 샤프트(220)의 양단에 각각 결합된다. 서로 인접하게 배치된 풀리들(262)은 벨트(264)에 의해 서로 연결된다. 풀리들(262) 중 어느 하나에는 이를 회전시키는 모터(266)가 결합된다. 상술한, 풀리(262), 벨트(264), 그리고 모터(266)의 조립체에 의해 샤프트들(220)과 롤러들(240)이 회전되고, 기판(S)은 그 하면이 롤러에 접촉된 상태로 샤프트들(220)을 따라 직선 이동된다. 각각의 샤프트(220)는 수평으로 배치되어 기판(S)은 수평 상태로 이송될 수 있다.
Referring to FIG. 2, the substrate transfer apparatus 200 transports the substrate S in the first direction 12 in the chamber or between the chambers. The substrate transfer apparatus 200 may be provided in each of the etching chamber 102, the cleaning chamber 104, and the drying chamber 106. The substrate transport apparatus 200 includes a shaft 220, a roller 240, and a driving unit 260. A plurality of shafts (220) are arranged along the first direction (12). Each shaft 220 is provided with its longitudinal direction in a second direction 16. The second direction 16 is perpendicular to the first direction 12 when viewed from above the chamber 100. The shafts 220 are disposed side by side. A plurality of rollers 240 are fixedly coupled to the respective shafts 220 along the longitudinal direction thereof. The roller 240 includes a body portion 241 and a suction pad 245. The shafts 220 are rotated by the driving unit 260 about the center axis thereof. The drive portion 260 has pulleys 262, belts 264, and a motor 266. The pulleys 262 are coupled to both ends of the respective shafts 220, respectively. The pulleys 262 disposed adjacent to each other are connected to each other by a belt 264. [ One of the pulleys 262 is coupled to a motor 266 for rotating it. The shaft 220 and the rollers 240 are rotated by the assembly of the pulley 262, the belt 264 and the motor 266 described above and the substrate S is in contact with the roller As shown in FIG. Each shaft 220 is horizontally disposed and the substrate S can be transported in a horizontal state.

도 3은 도 2의 롤러(240)의 일 예를 보여주는 사시도이다.3 is a perspective view showing an example of the roller 240 of FIG.

도 3을 참조하면, 롤러는(240) 바디부(241) 및 흡착패드(245)를 포함한다. 흡착패드(245)는 기판(S) 반송시 롤러(240)를 기판(S)에 밀착시킨다. 흡착패드(245)는 복수개 제공될 수 있다. 흡착패드(245)는 일정한 간격으로 롤러(240)의 외주면을 따라 제공될 수 있다. 예를 들어, 흡착패드(245)는 일렬로 제공될 수 있다. 선택적으로, 흡착패드(245)는 복수의 열로 제공될 수 있다. 도 4의 경우처럼, 하나의 롤러(1240)의 바디부(1241)에 두 열로 흡착패드(1245)가 제공될 수도 있다. Referring to FIG. 3, the roller includes a body portion 241 and an adsorption pad 245 (240). The adsorption pad 245 adheres the roller 240 to the substrate S when the substrate S is transported. A plurality of adsorption pads 245 may be provided. The adsorption pads 245 may be provided along the outer circumferential surface of the roller 240 at regular intervals. For example, the adsorption pads 245 may be provided in a line. Alternatively, the adsorption pads 245 may be provided in a plurality of rows. As in the case of FIG. 4, the adsorption pad 1245 may be provided in two rows in the body portion 1241 of one roller 1240.

흡착패드(245)는 제 1 부분(242)과 제 2 부분(244)을 포함한다. 제 1 부분(242)은 롤러(240)의 바디부(241)에서 돌출된다. 예를 들어, 제 1 부분(242)은 원통형일 수 있다. 제 2 부분(244)은 제 1 부분(242)과 연결되고, 기판(S)을 흡착할 수 있는 오목부의 형태를 가진다. 예를 들어, 오목부는 반구의 형태를 가질 수 있다. 오목부는 탄성체일 수 있다. 예를 들어, 탄성체의 재질은 고무재질일 수 있다. 흡착된 흡착패드(245)는 기판(S)과 롤러(240) 사이의 마찰력을 증가시키고 기판(S)은 미끌림없이 반송될 수 있다.
The adsorption pad 245 includes a first portion 242 and a second portion 244. The first portion 242 protrudes from the body portion 241 of the roller 240. For example, the first portion 242 may be cylindrical. The second portion 244 is connected to the first portion 242 and has the form of a recess capable of adsorbing the substrate S. [ For example, the recess may have the shape of a hemisphere. The concave portion may be an elastic body. For example, the material of the elastic body may be a rubber material. The adsorbed adsorption pad 245 increases the frictional force between the substrate S and the roller 240 and the substrate S can be transported without slippage.

Claims (6)

기판 반송 장치에 있어서,
제 1 방향을 따라 배열되고 그 길이 방향이 제 2 방향으로 제공되는 복수개의 샤프트;
상기 제 2 방향을 따라 복수개 제공되고 상기 샤프트 외부에 고정 결합되는 복수개의 롤러; 및
상기 샤프트들을 회전시키는 구동부를 포함하되,
상기 롤러는 원통 형상의 바디부 및 상기 바디부의 외주면에 장착되는 흡착패드를 가지는 기판 반송 장치.In the substrate transfer apparatus,
A plurality of shafts arranged along a first direction and having a longitudinal direction provided in a second direction;
A plurality of rollers provided along the second direction and fixedly coupled to the outside of the shaft; And
And a driving unit for rotating the shafts,
Wherein the roller has a cylindrical body portion and an adsorption pad mounted on an outer peripheral surface of the body portion. 제 1 항에 있어서,
상기 흡착패드는,
상기 롤러의 바디부에서 돌출되는 제 1 부분; 및
상기 제 1 부분과 연결되고, 상기 제 1 부분보다 면적이 크고, 상기 기판을 흡착하는 흡착면을 가지는 제 2 부분을 포함하는 기판 반송 장치.The method according to claim 1,
The adsorption pad
A first portion protruding from a body portion of the roller; And
And a second portion connected to the first portion and having an area larger than that of the first portion and having an adsorption surface for adsorbing the substrate. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 흡착패드는 탄성체인 기판 반송 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the adsorption pad is an elastic body. 제 3 항에 있어서,
상기 탄성체의 재질은 고무재질인 기판 반송 장치.The method of claim 3,
Wherein the elastic material is made of a rubber material. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 흡착패드의 흡착면에는 오목부가 형성되어 있는 기판 반송 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
And a concave portion is formed on an adsorption surface of the adsorption pad. 제 5 항에 있어서,
상기 오목부는 반구의 형태를 가지는 기판 반송 장치.
6. The method of claim 5,
Wherein the concave portion has a hemispherical shape.
KR1020140084637A 2014-07-07 2014-07-07 Apparatus for carrying a substrate KR20160005851A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140084637A KR20160005851A (en) 2014-07-07 2014-07-07 Apparatus for carrying a substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140084637A KR20160005851A (en) 2014-07-07 2014-07-07 Apparatus for carrying a substrate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160005851A true KR20160005851A (en) 2016-01-18

Family

ID=55305586

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140084637A KR20160005851A (en) 2014-07-07 2014-07-07 Apparatus for carrying a substrate

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20160005851A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102168135B1 (en) * 2020-07-24 2020-10-20 황상현 Automatic process system for paper pipe
KR102168136B1 (en) * 2020-07-24 2020-10-21 황상현 Automatic process system for paper pipe
KR102177334B1 (en) * 2020-07-27 2020-11-10 강국환 Printed circuit board with multi via hole

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102168135B1 (en) * 2020-07-24 2020-10-20 황상현 Automatic process system for paper pipe
KR102168136B1 (en) * 2020-07-24 2020-10-21 황상현 Automatic process system for paper pipe
KR102177334B1 (en) * 2020-07-27 2020-11-10 강국환 Printed circuit board with multi via hole

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20160005851A (en) Apparatus for carrying a substrate
US20190150571A1 (en) Transport Apparatus for Conveying Shoe Sole
JP5997203B2 (en) Single-wafer workpiece dust remover
KR100730742B1 (en) Roller for conveyer of glass substrate
KR20200056922A (en) Substrate transfer apparatus
WO2017130395A1 (en) Conveyance device and washing device
KR101116654B1 (en) Module for transferring a substrate and apparatus for processing a substrate including the same
JP2016064357A (en) Substrate cleaning device and substrate cleaning method
KR101334770B1 (en) Transferring guide device for display susbstrate
KR20160006357A (en) Apparatus for carrying a substrate
KR102156742B1 (en) Transporting unit, substrate treating apparatus and substrate treating method
KR102278073B1 (en) Apparatus for treating substrate
KR101224905B1 (en) Device for transferring large scale substrate
KR20120009349A (en) Apparatus for Transferring Substrate
US20130277180A1 (en) Belt conveyer
KR200295028Y1 (en) Apparatus for transferring a panel
KR20160005852A (en) Apparatus for processing substrate
KR102160935B1 (en) Transporting unit and substrate treating apparatus
KR102202465B1 (en) Unit for conveying substrate and apparatus for treating substrate with the unit and substrate conveying method
WO2023013412A1 (en) Conveyance belt and conveyance apparatus
KR101590903B1 (en) Substrate treating apparatus and substrate treating method
KR101121200B1 (en) Apparatus for conveying substrate
CN210113229U (en) Non-contact silicon chip conveyer
KR102089350B1 (en) Apparatus for transferring substrate and Apparatus for processing substrate having the same
KR102232662B1 (en) Apparatus for treating substrate and Shaft assembly

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application