KR20170000772A - 탄성파 장치 - Google Patents

탄성파 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20170000772A
KR20170000772A KR1020160072563A KR20160072563A KR20170000772A KR 20170000772 A KR20170000772 A KR 20170000772A KR 1020160072563 A KR1020160072563 A KR 1020160072563A KR 20160072563 A KR20160072563 A KR 20160072563A KR 20170000772 A KR20170000772 A KR 20170000772A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
idt
piezoelectric substrate
idt electrode
land
Prior art date
Application number
KR1020160072563A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101900145B1 (ko
Inventor
준페이 야스다
Original Assignee
가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 filed Critical 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Publication of KR20170000772A publication Critical patent/KR20170000772A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101900145B1 publication Critical patent/KR101900145B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
    • H03H9/02559—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6403—Programmable filters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)

Abstract

압전 기판에 있어서 분극 반전이 발생하기 어려워, 삽입 손실의 증대를 억제할 수 있는 탄성파 장치를 제공한다. 탄성파 장치(1)는 압전 기판(2)과, 압전 기판(2)의 제1 주면(2a) 상에 형성되어 있는 제1, 제2 IDT 전극(3A, 3B)과, 제1, 제2 IDT 전극(3A, 3B)에 각각 접속되어 있는 복수의 전극 랜드를 구비한다. 압전 기판(2)의 제1, 제2 변 부분(2a1, 2a2)은 압전 기판(2)의 법선 방향 및 분극축 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 제2 변 부분(2a2)에 있어서의 압전 기판(2)의 분극축 방향을 따르는 길이보다 제1 변 부분(2a1)에 있어서의 상기 길이쪽이 짧다. 제1 IDT 전극(3A)은 제2 IDT 전극(3B)보다도 제1 변 부분(2a1)에 가까운 위치에 배치되어 있다. 복수의 전극 랜드는 제1 IDT 전극(3A)의 제1 버스 바에 제2 IDT 전극(3B)을 개재하지 않고 접속되어 있는 제1 전극 랜드(4A)와, 제1 버스 바와 동일 전위인 제2 전극 랜드(4B)를 갖는다.

Description

탄성파 장치{ELASTIC WAVE DEVICE}
본 발명은 탄성파 장치에 관한 것이다.
종래, 탄성파 장치는 휴대 전화기 등에 널리 사용되고 있다. 예를 들어, 하기의 특허문헌 1에서는, IDT 전극을 갖는 탄성파 장치의 일례가 개시되어 있다. 탄성파 장치의 압전 기판 상에는, 압전 기판의 한쪽 주면의 변 부분을 따라서, 복수의 패드가 형성되어 있다.
일본 특허 공개 제2015-002511호 공보
특허문헌 1에 기재된 바와 같은 탄성파 장치의 압전 기판에 있어서는, 압전 효과나 초전 효과에 의한 전하의 발생에 의해, 분극 반전이 발생하기 쉬웠다. 그것에 의해, 압전 특성이 열화되어, 탄성파 장치의 삽입 손실이 커지는 경우가 있었다.
본 발명의 목적은, 압전 기판에 있어서 분극 반전이 발생하기 어려워, 삽입 손실의 증대를 억제할 수 있는 탄성파 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 따른 탄성파 장치는, 서로 대향하고 있는 제1, 제2 주면과, 상기 제1 주면측에 있어서 서로 대향하고 있는 제1, 제2 변 부분을 갖고, 또한 상기 제1 주면의 법선 방향으로부터 경사진 분극축 방향을 갖는 압전 기판과, 상기 압전 기판의 상기 제1 주면 상에 형성되어 있으며, 서로 대향하고 있는 제1, 제2 버스 바와, 상기 제1 버스 바에 일단이 접속되어 있는 복수개의 제1 전극 핑거와, 상기 제2 버스 바에 일단이 접속되어 있는 복수개의 제2 전극 핑거를 각각 갖는 제1 IDT 전극 및 제2 IDT 전극과, 상기 압전 기판의 상기 제1 주면 상에 형성되어 있으며, 상기 제1 IDT 전극 및 제2 IDT 전극 중 어느 하나에 각각 전기적으로 접속되어 있는 복수의 전극 랜드를 구비하고, 상기 압전 기판의 상기 제1, 제2 변 부분이, 상기 압전 기판의 상기 법선 방향 및 상기 분극축 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있고, 상기 제2 변 부분에 있어서의 상기 압전 기판의 상기 분극축 방향을 따르는 길이보다도, 상기 제1 변 부분에 있어서의 상기 압전 기판의 상기 분극축 방향을 따르는 길이쪽이 짧고, 상기 제1 IDT 전극이, 그 제1 IDT 전극의 상기 복수개의 제1, 제2 전극 핑거가 연장되는 방향에 있어서 상기 제2 IDT 전극보다도 상기 제1 변 부분에 가까운 위치에 배치되어 있고, 상기 복수의 전극 랜드가, 상기 제1 IDT 전극의 상기 제1 버스 바에 상기 제2 IDT 전극을 개재하지 않고 접속되어 있는 제1 전극 랜드와, 그 제1 전극 랜드와는 상이한 전극 랜드이며, 또한 상기 제1 IDT 전극의 상기 제1 버스 바와 동일 전위인 제2 전극 랜드를 갖는다.
본 발명의 탄성파 장치의 어느 특정한 국면에서는, 상기 제2 전극 랜드가, 상기 제1 IDT 전극의 상기 제1 버스 바에 상기 제2 IDT 전극을 개재하지 않고 접속되어 있다. 이 경우에는, 압전 기판의 제1 변 부분 부근에 있어서 발생한 전하를 외부로 보다 한층 더 용이하게 이동시킬 수 있다. 따라서, 압전 기판에 있어서 분극 반전이 보다 한층 더 발생하기 어려워, 삽입 손실의 증대를 보다 한층 더 억제할 수 있다.
본 발명의 탄성파 장치의 다른 특정한 국면에서는, 상기 제1 전극 랜드 및 상기 제2 전극 랜드가, 상기 제1 IDT 전극의 신호 전위에 접속된다.
본 발명의 탄성파 장치의 또 다른 특정한 국면에서는, 상기 제2 전극 랜드가, 상기 제1 IDT 전극의 상기 제1 버스 바에 직접 접속되어 있지 않다.
본 발명의 탄성파 장치의 다른 특정한 국면에서는, 상기 제1 전극 랜드 및 상기 제2 전극 랜드가 접지 전위에 접속된다.
본 발명의 탄성파 장치의 또 다른 특정한 국면에서는, 상기 제1 IDT 전극의 상기 제1 버스 바가, 상기 제1 IDT 전극의 상기 복수개의 제1, 제2 전극 핑거와 상기 압전 기판의 상기 제1 변 부분 사이에 배치되어 있다. 이 경우에는, 제1 변 부분 부근에 있어서 발생한 전하는, 제1 IDT 전극의 제1, 제2 전극 핑거가 형성되어 있는 부분에 도달하기 어렵다. 따라서, 제1 IDT 전극의 탄성파를 여진하는 부분에 있어서의 압전 특성의 열화가 발생하기 어려워, 삽입 손실의 증대를 효과적으로 억제할 수 있다.
본 발명의 탄성파 장치의 또 다른 특정한 국면에서는, 상기 제1, 제2 IDT 전극과 상기 복수의 전극 랜드를 접속하고 있는 복수의 접속 배선을 더 구비하고, 그 복수의 접속 배선 중에서, 상기 제1 IDT 전극의 상기 제1 버스 바와 상기 제1 전극 랜드를 접속하고 있는 접속 배선이, 상기 압전 기판의 상기 제1 변 부분에 가장 가까운 위치에 배치되어 있다. 이 경우에는, 제1 변 부분에 있어서 발생한 전하를 외부로 보다 한층 더 용이하게 이동시킬 수 있다.
본 발명의 탄성파 장치의 또 다른 특정한 국면에서는, 상기 복수의 전극 랜드 상에 각각 형성되어 있는 복수의 범프가 더 구비되어 있다. 이 경우에는, 복수의 범프를 통해 탄성파 장치를 외부에 전기적으로 접속할 수 있다.
본 발명에 따르면, 압전 기판에 있어서 분극 반전이 발생하기 어려워, 삽입 손실의 증대를 억제할 수 있는 탄성파 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 탄성파 장치의 약도적 평면도.
도 2는 본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 압전 기판의 사시도.
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 제1 IDT 전극의 전극 구조를 도시하는 부분 절결 평면도.
도 4는 비교예의 탄성파 장치의 약도적 평면도.
도 5는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 탄성파 장치의 약도적 평면도.
도 6은 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 탄성파 장치의 약도적 평면도.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 구체적인 실시 형태를 설명함으로써, 본 발명을 명확하게 한다.
또한, 본 명세서에 기재된 각 실시 형태는 예시적인 것이며, 상이한 실시 형태간에 있어서, 구성의 부분적인 치환 또는 조합이 가능한 것을 지적해 둔다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 탄성파 장치의 약도적 평면도이다.
탄성파 장치(1)는 압전 기판(2)을 갖는다. 압전 기판(2)은 서로 대향하고 있는 직사각형 형상의 제1 주면(2a) 및 제2 주면을 갖는다. 제1 주면(2a)은 제1∼ 제4 변 부분(2a1∼2a4)을 갖는다. 압전 기판(2)은 LiNbO3나 LiTaO3 등의 압전 단결정을 포함한다. 또한, 압전 기판(2)은 압전 세라믹스 등을 포함하고 있어도 된다.
도 2는 압전 기판(2)의 사시도이다. 압전 기판(2)은 제1 주면(2a)의 법선 방향에 평행한 두께 방향 Z를 갖는다. 압전 기판(2)은 제1 주면(2a)의 법선 방향으로부터 경사진 분극축 방향 C도 갖는다. 압전 기판(2)의 제1 변 부분(2a1) 및 제2 변 부분(2a2)은 두께 방향 Z 및 분극축 방향 C에 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 압전 기판(2)의 두께 방향 Z를 따르는 길이는, 제1 주면(2a)에 있어서의 어느 위치에 있어서도 동일하다. 한편, 상세는 후술하지만, 분극축 방향 C를 따르는 압전 기판(2)의 길이를 길이 L이라 하였을 때에, 제1 변 부분(2a1)에 있어서의 길이 L은 제2 변 부분(2a2)에 있어서의 길이 L보다도 짧다.
도 1로 되돌아가서, 압전 기판(2)의 제1 주면(2a) 상에는, 제1 IDT 전극(3A) 및 복수의 제2 IDT 전극(3B)이 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 복수의 제2 IDT 전극(3B)은, 제1 주면(2a) 상에 형성되어 있는 제1 IDT 전극(3A) 이외의 모든 IDT 전극이다. 이하에 나타내는 도 3에 의해, 제1 IDT 전극(3A)의 상세를 설명한다.
도 3은 제1 실시 형태에 있어서의 제1 IDT 전극(3A)의 전극 구조를 도시하는 부분 절결 평면도이다. 또한, 도 3에 있어서는, 제1 IDT 전극(3A)에 접속되어 있는 배선 등은 생략되어 있다.
도 1에서는 직사각형에 대각선을 그은 약도로 도시되어 있었지만, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 IDT 전극(3A)은 서로 대향하고 있는 제1, 제2 버스 바(3Aa1, 3Aa2)를 갖는다. 제1 IDT 전극(3A)은 복수개의 제1, 제2 전극 핑거(3Ab1, 3Ab2)도 갖는다. 복수개의 제1 전극 핑거(3Ab1)는 제1 버스 바(3Aa1)에 각각 일단이 접속되어 있다. 복수개의 제2 전극 핑거(3Ab2)는, 제2 버스 바(3Aa2)에 각각 일단이 접속되어 있다. 복수개의 제1 전극 핑거(3Ab1)와 복수개의 제2 전극 핑거(3Ab2)는 서로 사이에 끼워져 있다. 제1 버스 바(3Aa1)는 복수개의 제1, 제2 전극 핑거(3Ab1, 3Ab2)와, 도 1에 도시한 압전 기판(2)의 제1 변 부분(2a1) 사이에 배치되어 있다.
제1 IDT 전극(3A)에 전압을 인가함으로써, 탄성파가 여진된다. 제1 IDT 전극(3A)의 탄성파 전파 방향의 양측에는 반사기가 설치되어 있어도 된다. 그것에 의해, 1포트형의 탄성파 공진자를 구성할 수 있다.
제1 IDT 전극(3A)과 마찬가지로, 각 제2 IDT 전극도 제1, 제2 버스 바 및 복수개의 제1, 제2 전극 핑거를 각각 갖는다. 또한, 후술하는 도 4∼도 6에서도, 제1 IDT 전극 및 복수의 제2 IDT 전극은, 직사각형이나 직사각형 이외의 다각형에 대각선을 그은 약도에 의해 나타낸다.
도 1로 되돌아가서, 제1 IDT 전극(3A)은, 제1 IDT 전극(3A)의 복수개의 제1, 제2 전극 핑거가 연장되는 방향에 있어서, 복수의 제2 IDT 전극(3B)보다도 압전 기판(2)의 제1 변 부분(2a1)에 가까운 위치에 배치되어 있다.
압전 기판(2)의 제1 주면(2a) 상에는, 복수의 전극 랜드가 형성되어 있다. 복수의 전극 랜드에는, 제1 IDT 전극(3A) 및 제2 IDT 전극(3B) 중 어느 하나가 각각 전기적으로 접속되어 있다. 복수의 전극 랜드는, 제1 전극 랜드(4A)와, 제1 전극 랜드(4A)와는 상이한 전극 랜드인 제2 전극 랜드(4B)를 갖는다. 제1, 제2 전극 랜드(4A, 4B)는 압전 기판(2)의 제1 변 부분(2a1)을 따르도록 형성되어 있다.
제1 전극 랜드(4A)는 제1 IDT 전극(3A)의 제1 버스 바에, 제2 IDT 전극(3B)을 개재하지 않고 접속되어 있다. 본 실시 형태에서는, 제2 전극 랜드(4B)도, 제1 IDT 전극(3A)의 제1 버스 바에, 제2 IDT 전극(3B)을 개재하지 않고 접속되어 있다.
압전 기판(2)의 제1 주면(2a) 상에는, 복수의 접속 배선(6A, 6B)이 형성되어 있다. 복수의 접속 배선(6A, 6B)은, 제1, 제2 IDT 전극(3A, 3B)과 복수의 전극 랜드를 각각 접속하고 있다.
또한, 제1, 제2 전극 랜드는, 제1 IDT 전극의, 제1 변 부분으로부터 먼 쪽의 버스 바인 제2 버스 바에 접속되어 있어도 된다.
본 실시 형태에서는, 제1, 제2 전극 랜드(4A, 4B)는, 제1 IDT 전극(3A)의 신호 전위에 접속된다. 또한, 제1, 제2 전극 랜드는 접지 전위에 접속되어도 된다.
제1 전극 랜드(4A) 상 및 제2 전극 랜드(4B) 상에는, 범프(5A) 및 범프(5B)가 각각 형성되어 있다. 다른 복수의 전극 랜드 상에도, 각각 복수의 범프가 형성되어 있다. 탄성파 장치(1)는 복수의 범프를 통해 외부에 전기적으로 접속된다. 또한, 탄성파 장치는, 범프 이외에 의해 외부에 접속되어도 된다.
본 실시 형태의 특징은, 1) 길이 L이 짧은 제1 변 부분(2a1)에 가까운 위치에 제1 IDT 전극(3A)이 배치되어 있는 것에 있다. 또한, 본 실시 형태의 특징은, 2) 제1 IDT 전극(3A)에 접속되어 있는 제1 전극 랜드(4A)와, 제1 IDT 전극(3A)의 제1 버스 바와 동일 전위의 제2 전극 랜드(4B)를 갖는 것에 있다. 그것에 의해, 압전 기판(2)에 있어서 분극 반전이 발생하기 어려워, 삽입 손실의 증대를 억제할 수 있다. 이것을, 이하에 있어서 비교예를 사용하여 설명한다.
도 4는 비교예의 탄성파 장치의 약도적 평면도이다.
탄성파 장치(101)에 있어서의 제1 IDT 전극(3A)의 제1 버스 바는, 제1 전극 랜드(104A)에 접속되어 있다. 제1 버스 바와 동일 전위의 전극 랜드는, 제1 전극 랜드(104A)만이다. 상기의 점 이외에 있어서는, 탄성파 장치(101)는 제1 실시 형태의 탄성파 장치(1)와 마찬가지의 구성을 갖는다.
그런데, 압전체에 작용하는 전계, 응력, 열이 큰 경우, 분극 반전은 용이하게 발생한다. 압전 기판에 있어서는, 압전 효과나 초전 효과 등에 의해 전하가 발생한다. 이때, 그 전하에 의해, 압전 기판에 분극축 방향과는 반대 방향의 전계가 가해지는 경우가 있다. 이 전계 강도가, 전계가 가해진 부분에 있어서의 항전계를 초과한 경우, 분극 반전이 발생한다.
압전 기판의 항전계는, 분극축 방향을 따르는 압전 기판의 길이 L이 짧을수록 작아진다. 여기서, 비교예 및 본 실시 형태에 있어서 길이 L이 가장 짧은 부분에 대하여, 도 2를 사용하여 설명한다. 또한, 상술한 바와 같이, 비교예에 있어서의 압전 기판(2)도, 본 실시 형태와 마찬가지의 구성을 갖는다.
도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 압전 기판(2)은 제1, 제2 변 부분(2a1, 2a2)으로부터 두께 방향 Z로 각각 연장되어 있는 제1, 제2 측면(2c, 2d)을 갖는다. 또한, 압전 기판(2)의 제2 주면(2b)은 두께 방향 Z에 있어서 제1 변 부분(2a1)에 대향하고 있는 제5 변 부분(2b1)을 갖는다.
도 2에 있어서는, 파선의 화살표에 의해 압전 기판(2)의 분극축을 나타낸다. 본 실시 형태에서는, 분극축의 기단이 제1 주면(2a)측에 위치하고, 종단이 제2 주면(2b)측에 위치하고 있다. 또한, 분극축 방향 C는, 제1 주면(2a)의 법선 방향으로부터 경사져 있으면, 특별히 한정되지 않는다.
여기서, 압전 기판(2)에 있어서, 분극축의 기단이 제1 주면(2a)에 위치하고, 또한 종단이 제2 주면(2b)에 위치하는 부분에서는, 상기 길이 L은 가장 길다. 따라서, 제2 변 부분(2a2)에 있어서의 상기 길이 L은 가장 길다. 제2 변 부분(2a2)에 있어서의 상기 길이 L을 길이 L1이라 한다.
한편, 압전 기판(2)에 있어서, 분극축의 기단이 제1 주면(2a)에 위치하고, 또한 종단이 제1 측면(2c)에 위치하는 부분에서는, 제5 변 부분(2b1)으로부터 제1 변 부분(2a1)측에 가까워질수록, 길이 L은 짧아진다. 따라서, 분극축의 종단이 제1 측면(2c)의 제5 변 부분(2b1) 이외에 위치하는 부분의 길이 L을 길이 L2라 하였을 때, 길이 L2는 길이 L1보다도 짧다. 길이 L2는, 분극축의 종단이, 제1 변 부분(2a1)에 가까워질수록 짧아진다. 압전 기판(2)이 이상적인 직육면체 형상을 갖고 있는 경우에는, 제1 변 부분(2a1)에 있어서의 상기 길이 L은 0으로 된다. 그렇다고는 하지만, 제1 변 부분(2a1) 근방에서는, 길이 L2는 거의 0에 가깝다. 제1 변 부분(2a1)에 있어서의 길이 L은 이상적으로는 0이지만, 실제로는 0에 거의 가까운 치수인 경우도 있다. 따라서, 본 발명에 있어서, 길이 L1과 비교되는, 제1 변 부분에 있어서의 압전 기판의 분극축 방향을 따르는 길이란, 상기 0의 경우도 포함하는 것으로 한다. 따라서, 길이 L은 제1 변 부분(2a1)에 있어서 가장 짧다.
도 2에 도시한 바와 같이 압전 기판(2)이 직육면체인 경우, 제1 주면(2a)을 향하여 압전 기판(2)을 보아, 제1 주면(2a)에 분극축 방향 C를 투영한 방향을 분극축 투영 방향 F라 하고, 제1 주면(2a) 중에 있어서 분극축 투영 방향 F에 직교하는 방향을 직교 투영 방향 G라 한다. 제1 변 및 제2 변은, 직교 투영 방향 G에 대략 평행한 방향을 따라서 연장되어 있다. 즉, 제1 변 부분(2a1) 및 제2 변 부분(2a2)은 직교 투영 방향 G에 반드시 평행일 필요는 없고, 평행한 방향으로부터 어긋나 있어도 된다. 보다 구체적으로는, 제1 및 제2 변 부분(2a1, 2a2)의 직교 투영 방향 G로부터의 기울기가 ±5° 이내이면 된다.
또한, 상기한 바와 같이 제1, 제2 변 부분(2a1, 2a2)이 직교 투영 방향 G에 대하여 기울어져 있는 경우, 분극축 방향을 따르는 상기 길이 L을 고려하는 경우, 제1 변 부분(2a1)과 제2 변 부분(2a2)을 연결하는 방향을 길이 방향으로 한 경우, 상기 길이 L의 길이 방향 성분의 치수를, 상기 길이 L1이나 L2로 하면 된다.
분극축이 짧은 압전체의 부분은, 분극축이 긴 압전체의 부분에 비해, 분극 반전이 발생하기 쉽다. 그 때문에, 제1 변 부분(2a1)에 있어서는 항전계가 작다. 따라서, 탄성파 장치(101)에 있어서는, 제1 변 부분(2a1)에 있어서 분극 반전이 발생하기 쉬웠다. 마찬가지로, 제1 주면(2a)에 있어서의 제1 변 부분(2a1) 부근에 있어서도 항전계가 작아, 분극 반전이 발생하기 쉬웠다. 제1 변 부분(2a1)을 기점으로 하여, 압전 기판(2)에 있어서 제1 IDT 전극(3A)이 형성되어 있는 부분에 있어서도, 분극 반전이 발생하는 경우가 있었다. 그것에 의해, 제2 IDT 전극(3B)에 비해 제1 변 부분(2a1)의 근처에 위치하는 제1 IDT 전극(3A)이 형성되어 있는 부분의 압전 특성이 열화되어, 탄성파 장치(101)의 삽입 손실이 커지는 경우가 있었다. 특히, 압전 기판의 단부는 응력, 열의 영향을 받기 쉽다.
이에 반해, 도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 탄성파 장치(1)는 제1, 제2 전극 랜드(4A, 4B)를 갖는다. 제1, 제2 전극 랜드(4A, 4B)는, 각각 범프(5A, 5B)를 개재하여, 제1 IDT 전극(3A)의 신호 전위에 서로 병렬로 접속되어 있다. 그 때문에, 제1 IDT 전극(3A)의 제1 버스 바와 신호 전위 사이의 전기 저항은 작아, 압전 기판(2)의 제1 IDT 전극(3A)이 형성되어 있는 부분 부근에 있어서 발생한 전하가 외부로 이동하기 쉽다. 게다가, 방열성을 높일 수도 있기 때문에, 초전 효과에 의한 전하의 발생도 발생하기 어렵다. 따라서, 압전 기판(2)의 제1 IDT 전극(3A)이 형성되어 있는 부분에 있어서, 분극 반전이 발생하기 어렵다. 따라서, 압전 특성의 열화도 발생하기 어려워, 삽입 손실의 증대를 억제할 수 있다.
또한, 제1 전극 랜드(4A)에 접속되어 있는 제1 IDT 전극(3A)의 제1 버스 바는, 제1 IDT 전극(3A)의 제1, 제2 전극 핑거와 압전 기판(2)의 제1 변 부분(2a1) 사이에 배치되어 있다. 제1 버스 바는 접속 배선(6A)에 의해 제1 전극 랜드(4A)에 접속되어 있다.
그 때문에, 제1 변 부분(2a1) 부근에 있어서 발생한 전하는, 제1, 제2 전극 핑거보다도 제1 변 부분(2a1)에 가까운, 제1 버스 바 및 접속 배선(6A)을 통해 외부로 이동한다. 따라서, 제1 변 부분(2a1) 부근에 있어서 발생한 전하는, 제1, 제2 전극 핑거가 형성되어 있는 부분에 도달하기 어렵다. 따라서, 제1 IDT 전극(3A)의 탄성파를 여진하는 부분에 있어서의 압전 특성의 열화가 발생하기 어려워, 삽입 손실의 증대를 효과적으로 억제할 수 있다.
이와 같이, 삽입 손실의 증대를 초래하지 않고 제1 IDT 전극(3A)을 제1 변 부분(2a1)에 가까워지게 할 수 있기 때문에, 탄성파 장치(1)를 소형으로 할 수도 있다.
또한, 복수의 제2 IDT 전극(3B)은, 제1 IDT 전극(3A)보다도 제1 변 부분(2a1)으로부터 먼 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 압전 기판(2)의 복수의 제2 IDT 전극(3B)이 형성되어 있는 부분에 있어서는, 분극 반전은 발생하기 어렵다.
본 실시 형태에서는, 제1 IDT 전극(3A)의 제1 버스 바에 접속되어 있는 제2 전극 랜드(4B)는 1개이다. 또한, 상기 제1 버스 바에 제2 IDT 전극을 개재하지 않고 접속되어 있는 제2 전극 랜드를 복수 갖고 있어도 된다. 이 경우에는, 압전 기판의 제1 변 부분(2a1)에 있어서, 분극 반전이 보다 한층 더 발생하기 어렵다.
도 5는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 탄성파 장치의 약도적 평면도이다.
탄성파 장치(11)는 제2 전극 랜드(14B)를 복수 갖는 점 및 제1, 제2 전극 랜드(14A, 14B)가 접지 전위에 접속되어 있는 점에 있어서, 제1 실시 형태와 상이하다. 제1 전극 랜드(14A)와 제1 IDT 전극(3A)을 접속하고 있는 접속 배선(16A)이, 압전 기판(2)의 제1 변 부분(2a1)에 가장 가까운 위치에 배치된 접속 배선인 점도 상이하다. 또한, 탄성파 장치(11)의 상기 이외의 전극 구조도, 제1 실시 형태와는 상이하다.
보다 구체적으로는, 제2 IDT 전극(13B)의 개수 및 배치가 제1 실시 형태와는 상이하다. 복수의 전극 랜드의 배치도, 제1 실시 형태와는 상이하다. 복수의 제2 전극 랜드(14B)는, 제1 IDT 전극(3A)의 제1 버스 바에 직접 접속되어 있지 않다. 복수의 제2 전극 랜드(14B)는, 복수의 제2 IDT 전극(13B)의 버스 바에 각각 접속되어 있다. 또한, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 제1 IDT 전극(3A)은, 제1 IDT 전극(3A)의 복수개의 제1, 제2 전극 핑거가 연장되는 방향에 있어서, 복수의 제2 IDT 전극(13B)보다도 압전 기판(2)의 제1 변 부분(2a1)에 가까운 위치에 배치되어 있다.
상술한 바와 같이, 제1, 제2 전극 랜드(14A, 14B)는, 접지 전위에 접속되어 있다. 따라서, 제1, 제2 전극 랜드(14A, 14B)는, 외부에 서로 병렬로 접속되어 있다. 그 때문에, 제1 전극 랜드(14A)와 접지 전위 사이의 전기 저항은 작다. 따라서, 제1 변 부분(2a1) 부근에서 발생한 전하를 외부로 용이하게 이동시킬 수 있다. 따라서, 압전 기판(2)의 제1 IDT 전극(3A)이 형성되어 있는 부분에 있어서 분극 반전이 발생하기 어려워, 삽입 손실의 증대를 억제할 수 있다.
게다가, 복수의 접속 배선(16A, 6B) 중, 접속 배선(16A)은, 압전 기판(2)의 제1 변 부분(2a1)에 가장 가까운 위치에 배치되어 있다. 따라서, 제1 변 부분(2a1) 부근에 있어서 발생한 전하는, 제1, 제2 전극 핑거가 형성되어 있는 부분에 보다 한층 더 도달하기 어렵다. 따라서, 삽입 손실의 증대를 보다 한층 더 억제할 수 있다.
도 6은 제3 실시 형태에 따른 탄성파 장치의 약도적 평면도이다.
탄성파 장치(21)에 있어서는, 복수의 제2 전극 랜드(14B) 중 1개가, 제1 IDT 전극(3A)의 제1 버스 바에 제2 IDT 전극(13B)을 개재하지 않고 접속되어 있는 점에서 제2 실시 형태와 상이하다. 상기의 점 이외에 있어서는, 탄성파 장치(21)는 제2 실시 형태의 탄성파 장치(11)와 마찬가지의 구성을 갖는다.
제1 전극 랜드(14A) 및 제2 전극 랜드(14B)는, 접속 배선(26A)에 의해 제1 IDT 전극(3A)의 제1 버스 바에 접속되어 있다. 본 실시 형태에서는, 제1 전극 랜드(14A) 외에, 제2 전극 랜드(14B)와 접지 전위 사이의 전기 저항도 작다. 따라서, 압전 기판의 제1 변 부분 부근에 있어서 발생한 전하를 외부로 보다 한층 더 용이하게 이동시킬 수 있다. 따라서, 압전 기판(2)의 제1 IDT 전극(3A)이 형성되어 있는 부분에 있어서 분극 반전이 보다 한층 더 발생하기 어렵다.
1 : 탄성파 장치
2 : 압전 기판
2a, 2b : 제1, 제2 주면
2a1∼2a4 : 제1∼제4 변 부분
2b1 : 제5 변 부분
2c, 2d : 제1, 제2 측면
3A, 3B : 제1, 제2 IDT 전극
3Aa1, 3Aa2 : 제1, 제2 버스 바
3Ab1, 3Ab2 : 제1, 제2 전극 핑거
4A, 4B : 제1, 제2 전극 랜드
5A, 5B : 범프
6A, 6B : 접속 배선
11 : 탄성파 장치
13B : 제2 IDT 전극
14A, 14B : 제1, 제2 전극 랜드
16A : 접속 배선
21 : 탄성파 장치
26A : 접속 배선
101 : 탄성파 장치
104A : 제1 전극 랜드

Claims (8)

  1. 서로 대향하고 있는 제1, 제2 주면과, 상기 제1 주면측에 있어서 서로 대향하고 있는 제1, 제2 변 부분을 갖고, 또한 상기 제1 주면의 법선 방향으로부터 경사진 분극축 방향을 갖는 압전 기판과,
    상기 압전 기판의 상기 제1 주면 상에 형성되어 있으며, 서로 대향하고 있는 제1, 제2 버스 바와, 상기 제1 버스 바에 일단이 접속되어 있는 복수개의 제1 전극 핑거와, 상기 제2 버스 바에 일단이 접속되어 있는 복수개의 제2 전극 핑거를 각각 갖는 제1 IDT 전극 및 제2 IDT 전극과,
    상기 압전 기판의 상기 제1 주면 상에 형성되어 있으며, 상기 제1 IDT 전극 및 제2 IDT 전극 중 어느 하나에 각각 전기적으로 접속되어 있는 복수의 전극 랜드를 구비하고,
    상기 압전 기판의 상기 제1, 제2 변 부분이, 상기 압전 기판의 상기 법선 방향 및 상기 분극축 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있고, 상기 제2 변 부분에 있어서의 상기 압전 기판의 상기 분극축 방향을 따르는 길이보다도, 상기 제1 변 부분에 있어서의 상기 압전 기판의 상기 분극축 방향을 따르는 길이 쪽이 짧고,
    상기 제1 IDT 전극이, 그 제1 IDT 전극의 상기 복수개의 제1, 제2 전극 핑거가 연장되는 방향에 있어서 상기 제2 IDT 전극보다도 상기 제1 변 부분에 가까운 위치에 배치되어 있고,
    상기 복수의 전극 랜드가, 상기 제1 IDT 전극의 상기 제1 버스 바에 상기 제2 IDT 전극을 개재하지 않고 접속되어 있는 제1 전극 랜드와, 그 제1 전극 랜드와는 상이한 전극 랜드이며, 또한 상기 제1 IDT 전극의 상기 제1 버스 바와 동일 전위인 제2 전극 랜드를 갖는 탄성파 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2 전극 랜드가, 상기 제1 IDT 전극의 상기 제1 버스 바에 상기 제2 IDT 전극을 개재하지 않고 접속되어 있는 탄성파 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 전극 랜드 및 상기 제2 전극 랜드가, 상기 제1 IDT 전극의 신호 전위에 접속되는 탄성파 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 전극 랜드가, 상기 제1 IDT 전극의 상기 제1 버스 바에 직접 접속되어 있지 않은 탄성파 장치.
  5. 제1항, 제2항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 전극 랜드 및 상기 제2 전극 랜드가 접지 전위에 접속되는 탄성파 장치.
  6. 제1항, 제2항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 IDT 전극의 상기 제1 버스 바가, 상기 제1 IDT 전극의 상기 복수개의 제1, 제2 전극 핑거와 상기 압전 기판의 상기 제1 변 부분 사이에 배치되어 있는 탄성파 장치.
  7. 제1항, 제2항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1, 제2 IDT 전극과 상기 복수의 전극 랜드를 접속하고 있는 복수의 접속 배선을 더 구비하고,
    상기 복수의 접속 배선 중에서, 상기 제1 IDT 전극의 상기 제1 버스 바와 상기 제1 전극 랜드를 접속하고 있는 접속 배선이, 상기 압전 기판의 상기 제1 변 부분에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 탄성파 장치.
  8. 제1항, 제2항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 전극 랜드 상에 각각 형성되어 있는 복수의 범프를 더 구비하는 탄성파 장치.
KR1020160072563A 2015-06-24 2016-06-10 탄성파 장치 KR101900145B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015126491A JP6365436B2 (ja) 2015-06-24 2015-06-24 弾性波装置
JPJP-P-2015-126491 2015-06-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170000772A true KR20170000772A (ko) 2017-01-03
KR101900145B1 KR101900145B1 (ko) 2018-09-18

Family

ID=57601463

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160072563A KR101900145B1 (ko) 2015-06-24 2016-06-10 탄성파 장치

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10250221B2 (ko)
JP (1) JP6365436B2 (ko)
KR (1) KR101900145B1 (ko)
CN (1) CN106301278B (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6365435B2 (ja) * 2015-06-24 2018-08-01 株式会社村田製作所 弾性波装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015002511A (ja) 2013-06-18 2015-01-05 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3206285B2 (ja) * 1994-03-25 2001-09-10 株式会社村田製作所 端面反射型表面波共振子
JPH1070430A (ja) * 1996-08-28 1998-03-10 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置
JP2000059165A (ja) * 1998-08-06 2000-02-25 Toshiba Corp 弾性表面波装置およびその製造方法
JP2001257555A (ja) * 2000-03-10 2001-09-21 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波素子
JP2002141771A (ja) * 2000-08-21 2002-05-17 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波フィルタ装置
JP2002324864A (ja) * 2001-02-20 2002-11-08 Toshiba Corp 電子部品装置
JP2005203889A (ja) * 2004-01-13 2005-07-28 Fujitsu Media Device Kk 弾性表面波デバイス
JP4535286B2 (ja) * 2006-03-31 2010-09-01 Ｔｄｋ株式会社 弾性表面波素子および当該素子を備えた弾性表面波装置
JP2014017537A (ja) * 2010-11-09 2014-01-30 Murata Mfg Co Ltd 弾性波フィルタ装置
JP5660197B2 (ja) 2011-03-09 2015-01-28 株式会社村田製作所 電子部品
JP6029829B2 (ja) * 2012-01-11 2016-11-24 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス
JP5825444B2 (ja) 2012-09-28 2015-12-02 株式会社村田製作所 弾性波装置及びその製造方法
WO2015033892A1 (ja) * 2013-09-06 2015-03-12 株式会社村田製作所 弾性波共振子、弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ
JP6115645B2 (ja) * 2013-09-06 2017-04-19 株式会社村田製作所 弾性波共振子、弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015002511A (ja) 2013-06-18 2015-01-05 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
CN106301278B (zh) 2019-07-05
US10250221B2 (en) 2019-04-02
JP6365436B2 (ja) 2018-08-01
US20160380613A1 (en) 2016-12-29
CN106301278A (zh) 2017-01-04
JP2017011559A (ja) 2017-01-12
KR101900145B1 (ko) 2018-09-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105684308A (zh) 弹性波元件、滤波器元件以及通信装置
JP2009005022A (ja) 音叉型振動子、発振器
KR101835219B1 (ko) 탄성파 장치
JP4244057B2 (ja) バランスフィルタおよび分波器
KR101900145B1 (ko) 탄성파 장치
WO2018079574A1 (ja) 弾性波素子
WO2022211056A1 (ja) 弾性波装置
US5548256A (en) Saw filter having electrodes for relaxation of electric field concentration
KR20230146602A (ko) 탄성파 장치
JPWO2018030170A1 (ja) 弾性波装置及びラダー型フィルタ
KR101948688B1 (ko) 탄성파 장치
CN115485974A (zh) 电容元件以及弹性波装置
CN115315899A (zh) 弹性波装置
WO2023112652A1 (ja) 弾性波装置
US9799819B2 (en) Elastic wave device
JP5625787B2 (ja) 弾性波素子及びラダー型フィルタ
US20220247380A1 (en) Acoustic wave device
WO2024038831A1 (ja) 弾性波装置
WO2023190655A1 (ja) 弾性波装置
WO2023190370A1 (ja) 弾性波装置
WO2022210859A1 (ja) 弾性波装置
WO2023219167A1 (ja) 弾性波装置
JP2006311627A (ja) 弾性表面波素子および弾性表面波装置
JP2008270986A (ja) エッジモード水晶振動片
JPH1168506A (ja) タップ付ｓａｗ遅延線装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant