KR20160088722A - 박막증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박막증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증착물질을 증발시켜 기판 표면에 박막을 증착하는 박막증착장치에 관한 것이다.
기판에 박막을 증착하기 위한 처리공간이 형성된 공정챔버와; 상기 공정챔버의 내부에 설치되어 상기 기판에 박막을 증착시킬 수 있도록 증착물질을 증발시키는 증발모듈과; 상기 증발모듈의 증발률을 측정하기 위한 2개 이상의 센서부들과, 상기 공정챔버 내에서 상기 2개 이상의 센서부들을 상하방향으로 이동시켜 증발률측정위치에 순차적으로 위치시키는 센서이동부를 포함하는 센서모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치를 개시한다.

Description

박막증착장치 {Thin Film Deposition Apparatus}
본 발명은 박막증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증착물질을 증발시켜 기판 표면에 박막을 증착하는 박막증착장치에 관한 것이다.
평판표시소자(Flat Panel Display)는 액정표시소자 (Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이소자(Plasma Display Panel), 유기발광소자 (Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다.
이 중에서 유기발광소자는 빠른 응답속도, 기존의 액정표시소자보다 낮은 소비 전력, 고휘도, 경량성 등의 특성이 있으며, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어 초박형으로 만들 수 있는 점 등의 장점을 지니고 있는바, 차세대 디스플레이 소자로서 각광받고 있다.
한편, 평판표시소자의 기판에 박막을 형성하는 일반적인 방법으로는, 증발증착법(Evaporation)과, 이온 플레이팅법(Ion-plating) 및 스퍼터링법(Sputtering)과 같은 물리증착법(PVD)과, 가스반응에 의한 화학기상증착법(CVD) 등이 있다. 이 중에서, 유기발광소자의 유기물층, 무기물층 등과 같은 박막형성에 증발증착법이 사용될 수 있다.
평판표시소자의 기판에 박막을 형성하는 방법 중 증발증착법은 밀폐된 처리공간을 형성하는 진공챔버와, 진공챔버의 하부에 설치되어 증착될 물질이 증발되는 증발원을 포함하는 박막증착장치에 의하여 수행된다.
여기서 종래의 박막증착장치는, 기판의 폭에 대응되는 길이를 가지는 선형증발원을 구비하여 기판에 대한 상대이동에 의하여 기판에 박막을 형성할 수 있다.
그리고 상기 선형증발원의 양단 중 적어도 어느 하나에는, 선형증발원의 노즐을 통한 증발율을 측정하기 위한 증발률센서가 설치되어 기판에 대한 균일한 박막증착 형성을 위하여 선형증발원의 증발률을 제어할 수 있게 된다.
이때, 상기 증발률센서의 내부에는, 기판에 증착되는 박막의 두께의 두께를 측정하기 위한 크리스탈 센서가 설치되는데, 센서의 표면에 성막된 막의 두께가 소정의 값에 이르면 센서는 더 이상 정상적인 동작을 할 수 없게 되며, 새로운 센서로 교체하여야 한다.
그리고 센서 교체를 위해서는, 박막증착장치를 포함하는 시스템의 가동을 멈추고, 기판처리 환경을 위하여 형성된 챔버 내부의 진공상태를 파기해야 하므로 오랜 시간동안 증착 공정을 진행하기 어려우며, 센서의 교체 주기는 기판의 생산성에 직결된다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 증착률 측정을 위한 증발률 센서의 교체 주기를 증가시켜 기판의 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 박막증착장치를 제공하는데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 기판에 박막을 증착하기 위한 처리공간이 형성된 공정챔버와; 상기 공정챔버의 내부에 설치되어 상기 기판에 박막을 증착시킬 수 있도록 증착물질을 증발시키는 증발모듈과; 상기 증발모듈의 증발률을 측정하기 위한 2개 이상의 센서부들과, 상기 공정챔버 내에서 상기 2개 이상의 센서부들을 상하방향으로 이동시켜 증발률측정위치에 순차적으로 위치시키는 센서이동부를 포함하는 센서모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치를 개시한다.
상기 센서부는, 복수개의 센서들이 설치된 센서헤드부와; 상기 복수개의 센서들이 순차적으로 증발률감지위치로 위치될 수 있도록 상기 센서헤드부를 회전시키는 센서회전구동부를 포함할 수 있다.
상기 센서헤드부는, 측면에 상기 복수의 센서들이 원주방향을 따라서 설치된 절두뿔구조, 측면에 상기 복수의 센서들이 원주방향을 따라서 설치된 기둥구조, 및 상면에 원주방향을 따라서 상기 복수의 센서들이 설치된 기둥구조 중 어느 하나의 구조를 가지며, 상기 복수의 센서들 중 상기 증발률감지위치에 위치된 센서가 상기 증발모듈을 향할 수 있다.
상기 2개 이상의 센서부는 상하방향으로 배치될 수 있다.
상기 센서이동부는, 상기 공정챔버에 설치되어 상기 센서부의 상하이동을 가이드하는 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따른 상기 센서부의 상하이동을 구동하는 상하이동구동부를 포함할 수 있다.
상기 상하이동구동부는, 상기 센서부가 결합되어 회전에 의하여 상기 가이드레일을 따라서 상기 센서부를 상하이동시키는 스크류부와, 상기 스크류부를 회전시키는 스크류회전구동부를 포함할 수 있다.
상기 2개 이상의 센서부들은 상기 스크류부에 상하방향으로 결합되며, 상기 스크류부의 회전에 의하여 상기 2개 이상의 센서부들이 상하방향으로 이동되어 증발률측정위치에 순차적으로 위치될 수 있다.
상기 가이드레일 및 상기 스크류부는, 상기 증발모듈에서 증발된 증발물질이 증착되는 것을 방지하도록 하우징 내에 설치될 수 있다.
상기 하우징은, 상기 센서부가 외부로 노출되고 상하방향으로 이동하도록 개구가 형성되며, 상기 개구는, 상기 센서부와 고정결합되며 상기 센서부의 상하이동이 가능하도록 상하방향 신축이 가능한 신축부재에 의하여 차폐될 수 있다.
상기 증발률측정위치에서 위치된 센서부만 상기 증발모듈에 노출되도록 나머지 센서부로 증발물질이 증발되는 것을 차단하는 실드가 추가로 설치될 수 있다.
상기 센서모듈은, 상기 증발모듈을 중심으로 대칭을 이루어 2개 이상으로 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 박막증착장치는, 상하이동이 가능한 2개 이상의 센서부들을 구비하고, 2개 이상의 센서부들을 증발률측정위치에 순차적으로 위치시킴으로써 증착률 측정을 위한 센서모듈의 교체 주기를 증가시켜 기판의 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
특히 본 발명에 따른 박막증착장치는, 상하이동이 가능한 2개 이상의 센서부들을 구비하고, 2개 이상의 센서부들을 증발률측정위치에 순차적으로 위치시키도록 구성됨으로써 센서들의 사용시간을 현저히 증가시켜, 센서들의 교체를 위한 장치의 가동중단 주기를 증가시켜 기판에 대한 생산성을 현저히 높일 수 있는 이점이 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 박막증착장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는, 본 발명에 따른 센서모듈 및 센서이동부를 보여주는 단면도이다.
도 3은, 도 2의 센서모듈을 측면에서 본 측면도이다.
도 4는, 본 발명에 따른 센서헤드부의 다른 실시예를 보여주는 단면도이다.
이하 본 발명에 따른 박막증착장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 박막증착장치는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 기판에 박막을 증착하기 위한 처리공간이 형성된 공정챔버(100)와; 상기 공정챔버(100)의 내부에 설치되어 상기 기판(10)에 박막을 증착시킬 수 있도록 증착물질을 증발시키는 증발모듈(200)과; 상기 증발모듈(200)의 증발률을 측정하기 위한 2개 이상의 센서부(310)와, 상기 공정챔버(100) 내에서 상기 2개 이상의 센서부(310)들을 상하방향으로 이동시켜 증발률측정위치에 순차적으로 위치시키는 센서이동부(320)를 포함하는 센서모듈(300)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 공정챔버(100)는, 기판(10)에 박막을 증착하기 위한 처리공간이 하나 이상으로 형성될 수 있는 구성이면 어떠한 구성이든 가능하다.
이때, 상기 공정챔버(100)의 내부는 상기 기판(10)에 박막을 증착하기 위한 공정이 진행되는 동안 진공상태로 유지되는 것이 바람직하다.
일예로서, 상기 공정챔버(100)는 하나 이상의 게이트가 형성될 수 있으며, 상기 하나 이상의 게이트들은 상기 공정챔버(100)의 내부를 밀봉할 수 있도록 밀봉부재가 추가로 설치될 수 있다.
그리고 상기 공정챔버(100)는 처리공간(S)에서 기판(10)처리의 조건에 맞춰 압력유지 및 배기를 위한 배기관(미도시), 처리공간(S) 내로 가스를 공급하는 가스공급부(미도시), 기판(10)의 고정을 위한 클램핑장치, 기판(10)의 이동을 가이드하는 상하이동구동부재 등 기판(10)처리의 종류에 따라서 다양한 부재, 모듈 등이 설치될 수 있다.
또한 상기 공정챔버(100)는 기판(10)에 패턴화된 증착공정을 수행하는 경우 마스크(미도시)가 설치될 수 있으며, 마스크와 기판(10)을 얼라인하는 얼라인모듈 등 다양한 모듈이 설치될 수 있다.
상기 증발모듈(200)은, 상기 공정챔버(100)의 내부에 설치되어 상기 기판(10)에 박막을 증착시킬 수 있도록 증착물질을 증발시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
일예로, 상기 증발모듈(200)은, 증착물질을 가열에 의하여 증발시키기 위한 구성으로서, 증착물질이 담기는 도가니와, 도가니 주변에 설치되어 도가니에 담긴 증착물질을 가열하는 히터를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고 상기 증발모듈(200)은, 증착공정에 따라서 하나 이상으로 설치되어 포인트소스, 라인소스, 면소스 등을 구성할 수 있으며, 기판(10)에 대하여 고정된 상태를 유지하거나 기판(10)에 대하여 상대이동되는 등 다양하게 구성될 수 있다.
상기 센서모듈(300)은, 상기 증발모듈(200)의 증발률을 측정하기 위한 구성으로서 상기 증발모듈(300)을 중심으로 선대칭, 점대칭 등, 대칭을 이루어 2개 이상으로 설치되는 구성이면 어떠한 구성이든 가능하다.
상기 센서모듈(300)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 증발모듈(200)의 증발률을 측정하기 위한 2개 이상의 센서부(310)와, 상기 공정챔버(100) 내에서 상기 2개 이상의 센서부(310)들을 상하방향으로 이동시켜 증발률측정위치에 순차적으로 위치시키는 센서이동부(320)를 포함한다.
상기 센서부(310)는, 상기 증발모듈(200)의 증발률을 측정하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 상기 센서부(310)는, 복수개의 센서(312)들이 설치된 센서헤드부(311)와; 상기 복수개의 센서(312)들이 순차적으로 증발률감지위치로 위치될 수 있도록 상기 센서헤드부(311)를 회전시키는 센서회전구동부(313)를 포함할 수 있다.
상기 센서헤드부(311)는, 복수개의 센서(312)들 중 상기 증발률감지위치에 위치된 센서(312)가 상기 증발모듈(200)을 향하는 구성이면 어떠한 구성이든 가능하다.
예로서, 상기 센서헤드부(311)는, 측면에 상기 복수의 센서(312)들이 원주방향을 따라서 설치된 절두뿔구조, 측면에 상기 복수의 센서(312)들이 원주방향을 따라서 설치된 기둥구조, 및 상면에 원주방향을 따라서 상기 복수의 센서(312)들이 원주방향을 따라서 설치된 기둥구조 중 어느 하나의 구조를 가질 수 있다.
이때, 상기 복수개 설치된 센서(312)들은, 일정 시간동안 박막증착공정 진행시 센서(312)의 표면에 성막된 막의 두께가 소정의 값에 이르면서 더 이상 정상적인 동작을 할 수 없게 된다.
따라서, 상기 복수개의 센서(312)들 중 어느 하나로 박막을 측정하여 센서(312)들을 교체하며 지속적으로 박막을 측정하기 위해, 상기 센서헤드부(311)를 증착물질로부터 보호할 수 있도록 센서커버부(315)가 추가로 설치되는 것이 바람직하다.
이때, 상기 센서커버부(315)에는 상기 복수개의 센서(312)들 중 어느 하나, 즉 상기 증발률감지위치에 위치된 센서(312)가 외부로 노출될 수 있도록 증발모듈(200)의 방향으로 형성된 관통홀(316)이 형성된다.
상기 각각의 센서(312)는 신호전달선, 전원공급선 등이 설치된 유틸리티라인(Utility line; 미도시)으로 연결되어 작동되며, 상기 유틸리티라인은 센서헤드부(311)가 최상측에 도달했을 때를 기준으로 형성된다.
이때, 상기 복수개의 유틸리티라인을 증착물질로 부터 보호할 수 있도록 밸로우즈(bellows)와 같이 탄성력이 있는 재질 속으로 연결되는 것이 바람직하다.
상기 밸로우즈는, 물질의 탄성을 이용하여 요구되는 기능을 수행하는 종래 탄성 부재의 한 종류로서, 이러한 부재의 형상과 사이즈는 외부 부하(external load)가 가해지면 변형되고 부하가 제거되면 원상태로 복귀되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 센서헤드부(311)는, 상기 센서헤드부(311)에 복수개 설치되는 센서(312)들의 위치를 감지할 수 있도록 위치감지센서가 내장될 수 있다.
한편, 상기 센서회전구동부(313)는, 상기 복수개의 센서(312)들이 순차적으로 증발률감지위치로 위치될 수 있도록 상기 센서헤드부(311)를 회전시키는 구성으로서 상기 센서헤드부(311)의 형태에 따라 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 센서헤드부(311)가 측면에 상기 복수의 센서(312)들이 원주방향을 따라서 설치된 절두뿔구조일 경우 상기 센서회전구동부(313)의 회전축은 증발모듈(200) 방향을 향하도록 설치될 수 있다.
한편, 상기 센서회전구동부(313)의 일측면에는 후술하는 스크류부(322)와 결합하여 상기 센서부(310)를 상하 이동시킬 수 있도록 상하 관통공이 형성되는 가이드블록(314)이 추가로 설치되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 센서부(310)는, 2개 이상으로 설치되어 센서이동부(320)에 의하여 상하방향으로 이동됨으로써 증발률측정위치에 순차적으로 위치됨을 특징으로 하는바, 2개 이상의 센서부(310)들은 상하방향으로 순차적으로 배치됨이 바람직하다.
이때 후술하는 상기 센서이동부(320)는, 2개 이상의 센서부(310)들이 순차적으로 결합됨으로써 2개 이상의 센서부(310)들을 증발률측정위치에 순차적으로 위치시키게 된다.
상기 센서이동부(320)는, 상기 공정챔버(100) 내에서 상기 2개 이상의 센서부(310)들을 상하방향으로 이동시켜 증발률측정위치에 순차적으로 위치시키는 구성이면 어떠한 구성이든 가능하다.
일예로서, 상기 센서이동부(320)는, 상기 센서부(310)가 결합되어 회전에 의하여 상기 가이드레일(323)을 따라서 상기 센서부(310)를 상하이동시키는 스크류부(322)와, 상기 스크류부(322)를 회전시키는 스크류회전구동부(321)를 포함할 수 있다.
상기 스크류부회전구동부(321)는, 상기 센서이동부(320)에 회전력을 발생시키는 회전모터이다.
그리고 상기 스크류부(322)는 ,상기 공정챔버(100)의 길이방향으로 형성되어 상기 스크류부회전구동부(321)의 회전축과 결합하여 회전되며, 그 회전에 의하여 결하된 상기 센서부(310)가 상하이동 할 수 있도록 설치되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 스크류부(322)에는, 2개 이상의 센서부(310)들, 특히 가이드블록(314)이 상하방향으로 순차적으로 결합되며, 스크류부(322)가 회전되면 스크류부(322)에 결합된 2개 이상의 센서부(310)들이 상하방향으로 이동되고, 2개 이상의 센서부(310)들은 스크류부(322)에 의하여 증발률측정위치에 순차적으로 위치된다.
이때, 상기 스크류부회전구동부(321)와 스크류부(322)의 사이에는, 상기 스크류부회전구동부(321)로부터 상기 스크류부(322)에 회전력을 전달하기 위한 회전력전달부(미도시)가 추가로 설치되는 것이 바람직하다.
상기 회전력전달부는, 길이방향의 길이 변형을 흡수할 수 있도록 치형구조를 이뤄 회전력을 전달하면서 서로 간격을 두고 결합되는 한 쌍의 커플러일 수 있다.
한편, 상기 가이드레일(323) 및 상기 스크류부(322)를 포함하는 센서이동부(320)는, 공정챔버(100) 내부에 설치되어 상기 증발모듈(200)에서 증발된 증발물질들이 증착되는 것을 방지하기 위한 하우징(330) 내에 설치되는 것이 바람직하다.
이때, 상기 하우징(330)은, 상기 센서부(310)가 외부로 노출되고 상하방향으로 이동할 수 있는 구성이면 어떠한 구성이든 가능하다.
일예로서, 상기 하우징(330)은 상기 센서부(310)가 외부로 노출되고 상하방향으로 이동하도록 개구(331)가 형성되며, 상기 개구(331)는 상기 센서부(310)와 고정결합되어 상기 센서부(310)의 상하이동에 따라 상하방향으로 신축이 가능한 신축부재(332)에 의하여 차폐될 수 있다.
상기 신축부재(332)는, 상기 센서부(310)와 고정결합되어 상기 센서부(310)의 상하이동에 따라 상하방향으로 신축됨으로써 개구(331)를 차폐하는 구성으로 자바라 구조 등 다양한 구조를 가질 수 있다.
도 2 및 도 4에 도시된 신축부재(332)는, 센서부(310)가 상하방향으로 충분하게 이동할 수 있도록 신축가능한 부재로서 편의상 과장하여 도시되었다.
한편, 상기 공정챔버(100)는, 상기 증발률측정위치 ①에서 위치된 센서부(310)만 상기 증발모듈(200)에 노출되고 나머지 센서부(310)로 증착물질이 증발되는 것을 방지하는 실드(500)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 실드(500)는, 상기 증발률측정위치 ①에서 위치된 센서부(310)만 상기 증발모듈(200)에 노출되고 나머지 센서부(310)로 증착물질이 증발되는 것을 방지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 실드(500)는, 상기 증발률측정위치 ①에서 위치된 센서부(310)만 상기 증발모듈(200)에 노출되도록 상기 증발률측정위치 ①에 대응되어 개구부(510)가 형성되며 나머지 부분은 모두 차폐하도록 구성될 수 있다. 이때 상기 실드(500)는, 상기 센서이동부(320)를 증착물질로부터 보호할 수 있다.
이때, 상기 개구부(510)는, 증발모듈(200)의 증발률을 측정하기 위한 센서부(310)가 증발모듈(200)을 향하여 수직으로 노출될 수 있도록 증착물질의 확산방향으로 관통되어 형성되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 실드(500)의 상측에는, 복수개의 센서(312)들이 사용 완료된 센서부(310)가 상측으로 이동하여 보관될 수 있도록, 일정공간이 형성되는 것이 바람직하다.
한편 상기 증발모듈(200)에서 증발되는 증착물질의 증발방향이 직진성을 가지는바, 실드(500)는, 상기 증발률측정위치 ①에 위치되지 않은 나머지 센서부(310)가 증발모듈(200)을 향하는 부분만 차폐하도록 설치될 수 있다.
즉, 상기 실드(500)는, 나머지 부분은 개방된 상태에서, 상기 증발률측정위치 ①에 위치되지 않은 나머지 센서부(310)와 증발모듈(200) 사이를 차폐하도록 설치될 수 있다.
상기와 같은 구조를 가지는 실드(500)에 의하여, 2개 이상의 센서부(310)들을 증발률측정위치에만 증발모듈(200)에 노출시키고 나머지는 증발모듈(200)에 노출되는 것을 방지하게 된다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
100: 공정챔버 200: 증발모듈
300: 센서모듈 310: 센서부
320: 센서이동부 500: 실드

Claims (11)

  1. 기판에 박막을 증착하기 위한 처리공간이 형성된 공정챔버와;
    상기 공정챔버의 내부에 설치되어 상기 기판에 박막을 증착시킬 수 있도록 증착물질을 증발시키는 증발모듈과;
    상기 증발모듈의 증발률을 측정하기 위한 2개 이상의 센서부들과, 상기 공정챔버 내에서 상기 2개 이상의 센서부들을 상하방향으로 이동시켜 증발률측정위치에 순차적으로 위치시키는 센서이동부를 포함하는 센서모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 센서부는,
    복수개의 센서들이 설치된 센서헤드부와;
    상기 복수개의 센서들이 순차적으로 증발률감지위치로 위치될 수 있도록 상기 센서헤드부를 회전시키는 센서회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 센서헤드부는,
    측면에 상기 복수의 센서들이 원주방향을 따라서 설치된 절두뿔구조, 측면에 상기 복수의 센서들이 원주방향을 따라서 설치된 기둥구조, 및 상면에 원주방향을 따라서 상기 복수의 센서들이 설치된 기둥구조 중 어느 하나의 구조를 가지며,
    상기 복수의 센서들 중 상기 증발률감지위치에 위치된 센서가 상기 증발모듈을 향하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 2개 이상의 센서부는 상하방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 센서이동부는,
    상기 공정챔버에 설치되어 상기 센서부의 상하이동을 가이드하는 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따른 상기 센서부의 상하이동을 구동하는 상하이동구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 상하이동구동부는,
    상기 센서부가 결합되어 회전에 의하여 상기 가이드레일을 따라서 상기 센서부를 상하이동시키는 스크류부와,
    상기 스크류부를 회전시키는 스크류회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 2개 이상의 센서부들은 상기 스크류부에 상하방향으로 결합되며, 상기 스크류부의 회전에 의하여 상기 2개 이상의 센서부들이 상하방향으로 이동되어 증발률측정위치에 순차적으로 위치되는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 가이드레일 및 상기 스크류부는, 상기 증발모듈에서 증발된 증발물질이 증착되는 것을 방지하도록 하우징 내에 설치된 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 하우징은, 상기 센서부가 외부로 노출되고 상하방향으로 이동하도록 개구가 형성되며,
    상기 개구는, 상기 센서부와 고정결합되며 상기 센서부의 상하이동이 가능하도록 상하방향 신축이 가능한 신축부재에 의하여 차폐되는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  10. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 증발률측정위치에서 위치된 센서부만 상기 증발모듈에 노출되도록 나머지 센서부로 증발물질이 증발되는 것을 차단하는 실드가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  11. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 센서모듈은, 상기 증발모듈을 중심으로 대칭을 이루어 2개 이상으로 설치된 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
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KR20140077453A (ko) * 2012-12-14 2014-06-24 주식회사 원익아이피에스 기판 처리 장치

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