KR20140114947A

KR20140114947A - 증착챔버의 센서 이동장치

Info

Publication number: KR20140114947A
Application number: KR1020130028827A
Authority: KR
Inventors: 정희영; 이현성
Original assignee: 주식회사 선익시스템
Priority date: 2013-03-18
Filing date: 2013-03-18
Publication date: 2014-09-30
Also published as: KR101449447B1

Abstract

본 발명은 증착챔버에서 박막의 두께를 감지하는 센서의 교체를 용이하게 하고, 센서의 위치 재현성을 높일 수 있는 증착챔버의 센서 이동장치에 관한 것으로서, 증착챔버와, 상기 증착챔버의 증발원에서 증발되어 기판에 증착되는 증착물질의 막 두께를 감지하는 센서와, 상기 센서가 내장되고 상기 증착챔버의 지지대에 안착되는 센서헤드부와, 상기 센서헤드부와 연결되어 상기 증착챔버의 외측면에 탈부착되는 센서블록과, 상기 센서블록이 상기 증착챔버 외측면에 탈부착될 때, 상기 센서의 위치 재현성을 높여주도록 가이드 역할을 하는 가이드 축과, 상기 가이드 축에 상기 센서블록이 결합되어 상기 가이드 축 상을 이동할 수 있도록 설치되는 이동부재와, 상기 센서헤드부가 상기 증착챔버 내로 반입되도록 상기 증착챔버 측면에 형성되는 관통홀과, 상기 증착챔버에서 증발된 상기 증착물질이 상기 센서로 이동되도록 유도하는 증착물질 이동관과, 상기 센서가 상기 증착물질 이동관에 위치하도록 상기 센서헤드부가 안착 가능하고, 상기 센싱부 상단에 구비되는 지지대를 포함한다.
본 발명에 따르면 증착챔버에 가이드 축을 구비하여 센서교체를 용이하게 하고 센서교체를 위한 공간확보가 불필요하게 하며, 센서의 위치 재현성을 높일 수 있는 효과가 있다.

Description

증착챔버의 센서 이동장치{Deposition Chamber of Apparatus for Moving Sensor}

본 발명의 증착챔버의 센서 이동장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증착챔버에서 기판에 증착되는 막의 두께를 측정하는 센서가 내장되어 있는 센서블록을 증착챔버에 탈착이 쉽도록 하고, 센서블록의 탈착 시에 센서가 항시 같은 위치에 놓일 수 있도록 하는 증착챔버의 센서 이동장치에 관한 것이다.

기판에 박막을 형성하는 일반적인 방법으로는 진공증착법, 이온플래이팅법(ion-plating), 스퍼터링(sputtering)법, CVD법 등이있다. 이 중, 유기 전계 발광소자의 유기막 및 음극의 증착에는 진공증착법이 주로 사용되고 있다.

일반적으로 유기 전계 발광소자는, 기판상부에 소정패턴의 양극이 형성되어 있고, 이 양극층 상부에는 발광층이 적어도 형성되며, 발광층의 상부에는 소정 패턴의 음극이 형성되어 있다.

여기에서 발광층 외에 홀수송층 및 전자 수송층 등을 더 구비할 수 있으며 이때 발광층, 홀 수송층 및 전자 수송층은 유기 화합물로 이루어진 유기 박막이다.

이러한 유기 발광소자를 제작함에 있어서, 기판 상에 유기재료로서 내부 절연막, 양극, 음극 및 유기 발광층 등 여러 박막들을 형성하여야 한다. 이러한 박막층들은 통상 진공 챔버 내에 기판을 장착하고, 이 기판의 표면에 장착시키려는 증착재를 기화시켜, 이 기화된 증착재가 기판의 표면에서 응축해 장착되는 방식의 진공 증착법에 의해 형성된다.

상기와 같이 진공 증착법을 수행하는 증착장치는 일반적으로 증착되는 막 두께의 편차를 줄이기 위해 크리스탈 센서를 사용한다. 여기서 크리스탈 센서에 증착되어 장착되는 증착물로 인해 크리스탈 센서의 진동수가 감소하는 것을 이용하여 막 두께를 측정한다. 통상, 크리스탈 센서의 진동수가 감소할수록 막 두께는 증대되는 것으로, 이러한 반비례 관계는 선형적으로 나타난다.

한국 등록특허 제10-0762701호에는 증착물질을 증착할 때 증착물질의 증발량을 측정하는 센서를 증착챔버 내에 유기물 증착 시에 크리스탈 센서에 열충격이 가해지는 것을 방지하기 위해서 커버를 냉각코일라인으로 구성하는 크리스탈 센서 및 이를 구비한 유기 발광소자 증착장치가 개시되어 있다.

상기 문헌에서는 증착챔버 내에 유기물 증착 시에 크리스탈 센서에 열충격이 가해지는 것을 방지하는 장점이 있다.

하지만, 상기와 같은 종래 유기 발광소자의 증착장치에 있어서는 수명이 다한 크리스탈 센서를 교체하는 과정에서 크리스탈 센서를 탈부착할 때마다 센서 위치의 재현성이 떨어질 수 있는데, 이때 크리스탈 센서의 위치에 따라 막의 두께를 감지하는데 오차가 생기는 문제점이 있었다.

또한, 크리스탈 센서가 수명이 다 했을 때 크리스탈 센서를 교체하기 위해 크리스탈 센서가 장착되어 있는 센서블록을 증착챔버로부터 분리하는 작업을 하는데 있어서, 센서블록이 무게가 많이 나가므로 작업자가 크리스탈 센서를 교체하는데 어려움이 있었다.

아울러, 크리스탈 센서를 교체할 때 센서블록이 놓일 공간을 확보해야 했기 때문에 작업장소가 협소한 경우 장치의 유지 및 보수하는데 있어서 불편함을 초래하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로, 증착챔버 측면에 가이드 축을 형성함으로써 크리스탈 센서가 장착되어 있는 센서 블록이 가이드 축을 따라 이동할 수 있도록 하여 센서블록을 탈부착할 때 크리스탈 센서의 위치 재현성을 높일 수 있는 증착챔버의 센서 이동장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 증착챔버의 측면에 가이드 축을 형성함으로써 수명이 다한 크리스탈 센서를 교체할 때 무게가 많이 나가는 센서블록을 작업자가 직접 탈부착 하는데 힘을 덜 들이고 교체작업을 할 수 있어 작업의 능률을 높여주는 증착챔버의 센서 이동장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

아울러, 크리스탈 센서를 교체하기 위해 센서블록을 증착챔버에서 분리하였을 때 가이드 축에 센서블록이 결합되어 있는 상태에서 크리스탈 센서 교체작업을 할 수 있으므로 크리스탈 센서를 교체하기 위한 별도의 공간을 확보하지 않아도 됨에 따라 증착장비의 유지 및 보수가 편리한 증착챔버의 센서 이동장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 증착챔버와, 상기 증착챔버의증발원에서 증발되어 기판에 증착되는 증착 물질의 막 두께를 감지하는 센서와, 상기 센서가 내장되고 상기 증착챔버의 지지대에 안착되는 센서헤드부와, 상기 센서헤드부와 연결되어 상기 증착챔버의 외측면에 탈부착되는 센서블록과, 상기 센서블록이 상기 증착챔버 외측면에 탈부착될 때, 상기 센서의 위치 재현성을 높여주도록 가이드 역할을 하는 가이드 축과, 상기 가이드 축에 상기 센서블록이 결합되어 상기 가이드 축 상을 이동할 수 있도록 설치되는 이동부재와, 상기 센서헤드부가 상기 증착챔버 내로 반입되도록 상기 증착챔버 측면에 형성되는 관통홀과, 상기 증착챔버에서 증발된 상기 증착물질이 상기 센서로 이동되도록 유도하는 증착물질 이동관과, 상기 센서가 상기 증착물질 이동관에 위치하도록 상기 센서헤드부가 안착 가능하고, 상기 증착물질 이동관 상단에 구비되는 지지대를 포함하는 증착챔버의 센서 이동장치가 제공된다.

본 발명에서, 상기 가이드 축은 상기 증착챔버의 측면에 원형의 막대형태로 구비될 수 있다.

또한, 상기 가이드 축의 일측에는 상기 이동부재가 상기 가이드 축으로부터 이탈되지 않도록 걸림장치가 구비될 수 있다.

여기서, 상기 이동부재는 상기 가이드 축에 끼워져 이동할 수 있도록 고리형태로 상기 센서블록의 상단에 구비될 수 있다.

본 발명에서, 상기 센서헤드부에는 상기 센서헤드부가 장착되는 상기 지지대에 고정될 수 있도록 고정수단이 구비될 수 있다.

그리고, 상기 고정수단은 상기 센서헤드부의 저면에 돌출되어 핀의 형태로 형성될 수 있다.

아울러, 상기 지지대에는 상기 핀이 결합될 수 있는 홈이 형성될 수 있다.

한편, 상기 센서는 복수의 크리스탈 센서로 구비될 수 있다.

본 발명에서, 상기 센서블록의 가장자리에는 상기 증착챔버의 외벽에 결합되도록 플랜지가 형성될 수 있다.

또한, 상기 플랜지에는 상기 센서블록이 상기 증착챔버의 외벽에 결합되었을 때, 고정되도록 다수의 볼트가 구비될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 크리스탈 센서가 장착되어 있는 센서블록이 증착챔버의 외측에 구비되는 가이드 축에 결합되어 이동할 수 있도록 하여 크리스탈 센서의 위치 재현성을 높여 줄 수 있는 효과가 있다.

또한, 작업자가 크리스탈 센서를 교체하기 위해 센서블록을 증착챔버로부터 분리할 때에도 힘을 덜 들이고 작업할 수 있기 때문에 작업을 능률을 높일 수 있는 효과가 있다.

아울러, 센서블록을 증착챔버로부터 분리한 후에 센서블록이 증착챔버의 외측에 구비되는 가이드 축에 결합된 상태에서 크리스탈 센서를 교체할 수 있기 때문에 센서블록을 증착챔버로부터 분리한 후에도 센서블록이 놓일 공간을 확보를 하지 않아도 되는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 증착챔버의 센서 이동장치의 증착챔버에서 센서블록이 분리된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 증착챔버의 센서 이동장치의 증착챔버에 센서블록이 결합된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예의 증착챔버의 센서 이동장치를 나타내는 평면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 증착챔버의 센서 이동장치의 증착챔버에서 센서블록이 분리된 상태를 나타내는 단면도이고, 도 2는 본 발명의 증착챔버의 센서 이동장치의 증착챔버에 센서블록이 결합된 상태를 나타내는 단면도이고, 도 3은 본 발명의 다른 실시예의 증착챔버의 센서 이동장치를 나타내는 평면도이다.

본 발명의 실시예에 따른 증착챔버의 센서 이동장치는 증착챔버(100)와, 상기 증착챔버(100)의 증발원에서 증발되어 기판에 증착되는 증착물질의 막 두께를 감지하는센서(210)와, 상기 센서(210)가 내장되고 상기 증착챔버(100)의 지지대(130)에 안착되는 센서헤드부(200)와, 상기 센서헤드부(200)와 연결되어 상기 증착챔버(100)의 외측면에 탈부착되는 센서블록(300)과, 상기 센서블록(300)이 상기 증착챔버(100) 외측면에 탈부착될 때, 상기 센서(210)의 위치 재현성을 높여주도록 가이드 역할을 하는 가이드 축(400)과, 상기 가이드 축(400)에 상기 센서블록(300)이 결합되어 상기 가이드 축(400) 상을 이동할 수 있도록 설치되는 이동부재(310)와, 상기 센서헤드부(200)가 상기 증착챔버(100) 내로 반입되도록 상기 증착챔버(100) 측면에 형성되는 관통홀(110)과, 상기 증착챔버(100)에서 증발된 상기 증착물질이 상기 센서(210)로 이동되도록 유도하는 증착물질 이동관(120)과, 상기 센서(210)가 상기 증착물질 이동관(120)에 위치하도록 상기 센서헤드부(200)가 안착 가능하고, 상기 센싱부 상단에 구비되는 지지대(130)를 포함한다.

상기 증착챔버(100)의 하단에 위치하는 증발원(도시되지 않음)에서 가열된 증착물질이 증발하면서 상기 증착챔버(100)의 상부에 있는 기판(도시되지 않음)에 박막이 형성된다. 이때, 기판에 상기 증착물질이 증착되면서 박막이 고르게 형성되는지 확인할 수 있도록 박막의 두께를 감지하는 상기 센서(210)가 상기 증착챔버(100)의 양측 상부에 위치한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 상기 증착챔버(100)에는 증발된 상기 증착물질이 상기 센서(210)에 감지되도록 증발되는 상기 증착물질을 상기 센서(210) 쪽으로 유도하는 상기 증착물질 이동관(120)이 구비되어 있고, 상기 증착물질 이동관(120)의 상단에는 상기 센서(210)가 내장되어 있는 상기 센서헤드부(200)가 안착될 수 있도록 상기 지지대(130)가 설치된다.

여기서, 상기 지지대(130)에는 상기 센서(210)가 놓이는 위치에 상기 증착물질 이동관(120)과 관통되어 상기 센서(210)가 상기 증착물질의 이동관에 노출되도록 상기 증착물질 이동관(120)의 지름 크기로 홀(도시되지 않음)이 형성된다.

본 발명의 실시예에서, 상기 센서(210)는 12개의 로터리타입의 크리스탈 센서로 구비되는데, 크리스탈 센서에 증착되어 장착되는 증착물질로 인해 크리스탈 센서의 진동수가 감소하는 것을 이용하여 막 두께를 측정한다.

통상, 크리스탈 센서의 진동수가 감소할수록 막 두께는 증대되는 것으로, 이러한 반비례 관계는 선형적으로 나타난다.

이러한 상기 크리스탈 센서는 수명에 따라 양산일 경우 주 1회 정도의 교체작업이 불가피하다.

이때, 상기 센서헤드부(200)에 들어가는 상기 센서(210)를 교체하기 위해서는 상기 증착챔버(100)의 측면에 결합되어 있는 상기 센서블록(300)을 분리하고, 상기 센서(210)를 교체한 후에 다시 상기 센서블록(300)을 상기 증착챔버(100)의 측면에 결합시킨다.

여기서, 상기 센서블록(300)은 상기 센서 교환 신호를 출력하고, 박막 증착률을 설정 값으로 유지하도록 상기 센서(210)로부터의 전기적 신호를 입력 받는다.

도 2에 도시한 바와 같이, 상기 증착챔버(100)의 외측면에 결합되는 상기 센서블록(300) 가장자리에는 플랜지(320)가 형성되고, 상기 플랜지에는 상기 센서블록(300)이 상기 증착챔버(100)의 외벽에 결합되었을 때, 상기 증착챔버(100)에 고정되도록 다수의 볼트(322)로 조여진다.

본 발명의 실시예에서는, 상기 플랜지(320)에 동일한 간격을 두고 상기 볼트가 4개로 구비되는데, 상기 증착챔버(100)에 상기 센서블록(300)이 잘 고정되도록 상기 센서블록(300)의 무게를 고려하여 상기 플랜지(320)의 너비나 두께, 상기 볼트(322)의 수는 다르게 구비될 수 있다.

종래에는 상기와 같이 상기 증착챔버(100)에 상기 센서블록(300)을 탈착하는 작업을 하는데 있어서, 상기 센서블록(300)이 무게가 많이 나가기 때문에 작업자에게 어려움이 있었다.

또한, 상기 센서블록(300)을 상기 증착챔버(100)로부터 분리시켰을 때 상기 센서블록(300)을 놓을 별도의 공간을 마련해야 했으므로 장소가 협소한 경우에는 상기 센서(210)를 교체하는데 불편함이 있었다.

아울러, 상기 센서블록(300)을 상기 증착챔버(100)로부터 탈착하는 과정에서 상기 센서헤드부(200)가 상기 지지대(130)에 안착될 때, 상기 센서(210)의 위치 재현성이 떨어지는 경향이 있었다.

따라서, 본 발명의 실시예에서는 상기 증착챔버(100)의 외측면에 상기 센서블록(300)이 상기 증착챔버(100) 외측면에 탈부착될 때, 상기 센서(210)의 위치 재현성을 높여주도록 가이드 역할을 하는 가이드 축(400)이 구비된다.

여기서, 상기 가이드 축(400)은 상기 증착챔버(100)의 측면에 원형의 막대형태로 구비되는데, 상기 가이드 축(400)의 굵기는 상기 가이드 축(400)의 재질이나 상기 센서블록(300)의 무게를 고려하여 결정되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 가이드 축(400)에 상기 센서블록(300)이 결합되어 상기 가이드 축(400) 상을 이동할 수 있도록 이동부재(310)가 구비된다.

또한, 상기 이동부재(310)는 상기 센서블록(300)의 상단에 구비되는데 상기 가이드 축(400)에 끼워져 상기 가이드 축(400) 상을 이동할 수 있도록 고리형태로 구비되고, 상기 센서블록(300)의 상단 플랜지(320)에 결합된다.

상기 센서블록(300)이 상기 이동부재(310)를 통해 상기 가이드 축(400)에 결합되고 상기 센서블록(300)이 상기 가이드 축(400)을 따라 이동할 때, 상기 가이드 축(400)의 표면과 상기 이동부재(310)의 내면은 마찰이 적은 재질이어야 하고, 상기 가이드 축(400)을 따라 상기 이동부재(310)가 걸림없이 이동할 수 있도록 상기 가이드 축(400)과 상기 이동부재(310) 사이에는 윤활제가 도포되는 것이 바람직하다.

아울러, 상기 가이드 축(400)의 일측에는 상기 이동부재(310)가 상기 가이드 축(400)으로부터 이탈되지 않도록 상기 가이드 축(400)의 지름보다 큰 원판형태의 걸림장치(410)가 구비된다.

본 발명의 실시예에서, 상기 센서헤드부(200)는 상기 센서블록(300)과 연결되는데 상기 센서블록(300)이 상기 증착챔버(100)의 외측면에 탈부착되면서 상기 센서헤드부(200)가 상기 지지대(130)에 안착된다.

여기서, 상기 센서블록(300)이 탈부착되는 상기 증착챔버(100)의 측면에는 상기 센서헤드부(200)가 상기 증착챔버(100) 내로 반입되도록 관통홀(110)이 형성된다.

이때, 상기 관통홀(110)은 상기 센서헤드부(200)가 상기 증착챔버(100)에 반입될 수 있으면서 상기 센서블록(300)의 플랜지(320)가 상기 증착챔버(100)의 외측면과 결합될 수 있도록 상기 센서블록(300)의 직경보다 작게 형성된다.

한편, 상기 센서(210)가 상기 증착물질 이동관(120)에 위치하도록 상기 관통홀(110)을 통해 상기 센서헤드부(200)가 상기 증착물질 이동관(120)의 상단에 구비되는 상기 지지대(130)에 안착되는데, 상기 센서헤드부(200)에는 상기 센서헤드부(200)가 장착되는 상기 지지대(130)에 고정될 수 있도록 고정수단이 구비된다.

본 발명의 실시예에서, 상기 고정수단은 상기 센서헤드부(200)의 저면에 돌출되어 핀의 형태로 셋팅핀(220)이 형성되며, 상기 센서(210)가 상기 증착물질 이동관(120)의 상부에 위치하면서 상기 센서헤드부(200)가 상기 지지대(130)에 안착되도록 상기 센서(210)와 이격되어 형성된다.

또한, 상기 지지대(130)에는 상기 고정수단인 셋팅핀(220)이 결합될 수 있는 핀결합 홈(132)이 상기 고정수단이 삽입되어 결합될 수 있도록 형성된다.

이하, 이와 같은 구성을 가지는 본 발명의 증착챔버의 센서 이동장치의 동작을 설명한다.

도 1과 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 센서(210)가 내장된 상기 센서헤드부(200)는 상기 센서블록(300)에 연결되어 구비되며, 상기 센서블록(300)이 상기 증착챔버(100)의 측면에 구비되는 상기 가이드 축(400)에 상기 이동부재(310)를 통해 결합된다.

이와 같이 상기 가이드 축(400)에 결합된 상기 센서블록(300)은 상기 가이드 축(400)을 따라 직선이동하면서 상기 증착챔버(100)의 측면에 결합된다.

이와 동시에 상기 센서헤드부(200)는 상기 지지대(130)에 안착되고, 상기 센서헤드부(200)에 형성된 상기 셋팅핀(220)이 상기 지지대(130)에 형성된 상기 핀결합 홈(132)에 결합되어 상기 센서헤드부(200)는 고정된다.

도 3은 본 발명의 또 다른 실시예를 도시한 것으로, 센서가 측면부에 위치하는 상기 증착챔버(100)에 본 발명의 증착챔버의 센서 이동장치가 적용된 것으로 상기 증착챔버(100)의 양측면에서 상기 센서블록(300)이 탈부착 가능하도록 상기 가이드 축이(400)이 복수 개가 구비된다.

이때 상기 가이드 축(400)은 상기 센서블록(300)의 양쪽 가장자리에 각각 하나씩 결합되어 상기 센서블록(300)을 상기 증착챔버(100)로부터 탈착하게 된다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변형은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

100 : 증착챔버 110 : 관통홀
120 : 증착물질 이동관 130 : 지지대
132 : 핀결합 홈 200 : 센서헤드부
210 : 센서 220 : 셋팅핀
300 : 센서블록 310 : 이동부재
320 : 플랜지 322 : 볼트
400 : 가이드 축 410 : 걸림장치

Claims

증착챔버;
상기 증착챔버의 증발원에서 증발되어 기판에 증착되는 증착물질의 막 두께를 감지하는 센서;
상기 센서가 내장되고 상기 증착챔버의 지지대에 안착되는 센서헤드부;
상기 센서헤드부와 연결되어 상기 증착챔버의 외측면에 탈부착되는 센서블록;
상기 센서블록이 상기 증착챔버 외측면에 탈부착될 때, 상기 센서의 위치 재현성을 높여주도록 가이드 역할을 하는 가이드 축;
상기 가이드 축에 상기 센서블록이 결합되어 상기 가이드 축 상을 이동할 수 있도록 설치되는 이동부재;
상기 센서헤드부가상기 증착챔버 내로 반입되도록 상기 증착챔버 측면에 형성되는 관통홀;
상기 증착챔버에서 증발된 상기 증착물질이 상기 센서로 이동되도록 유도하는 증착물질 이동관; 및
상기 센서가 상기 증착물질 이동관에 위치하도록 상기 센서헤드부가 안착 가능하고, 상기 증착물질 이동관 상단에 구비되는 지지대;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버의 센서 이동장치.
청구항 1에 있어서,
상기 가이드 축은 상기 증착챔버의 측면에 원형의 막대형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 증착챔버의 센서 이동장치.
청구항 2에 있어서,
상기 가이드 축의 일측에는 상기 이동부재가 상기 가이드 축으로부터 이탈되지 않도록 걸림장치가 구비되는 것을 특징으로 하는 증착챔버의 센서 이동장치.
청구항 1에 있어서,
상기 이동부재는 상기 가이드 축에 끼워져 이동할 수 있도록 고리형태로 상기 센서블록의 상단에 구비되는 것을 특징으로 하는 증착챔버의 센서 이동장치.
청구항 1에 있어서,
상기 센서헤드부에는 상기 센서헤드부가 장착되는 상기 지지대에 고정될 수 있도록 고정수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착챔버의 센서 이동장치.
청구항 5에 있어서,
상기 고정수단은 상기 센서헤드부의 저면에 돌출되어 핀의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착챔버의 센서 이동장치.
청구항 6에 있어서,
상기 지지대에는 상기 핀이 결합될 수 있는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착챔버의 센서 이동장치.
청구항 1에 있어서,
상기 센서는 복수의 크리스탈 센서로 구비되는 것을 특징으로 하는 증착챔버의 센서 이동장치.
청구항 1에 있어서,
상기 센서블록의 가장자리에는 상기 증착챔버의 외벽에 결합되도록 플랜지가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착챔버의 센서 이동장치.
청구항 9에 있어서,
상기 플랜지에는 상기 센서블록이 상기 증착챔버의 외벽에 결합되었을 때, 고정되도록 다수의 볼트가 구비되는 것을 특징으로 하는 증착챔버의 센서 이동장치.