KR20160081144A - Apparatus and Method for Optically Inspecting Surface of Plate Member - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 강판 등과 같은 판재의 표면을 검사하는 광학식 판재 표면검사장치 및 판재 표면검사방법에 관한 것이다.The present invention relates to an optical plate surface inspection apparatus and a plate surface inspection method for inspecting the surface of a plate such as a steel plate.
표면 검사장치는 강판 등과 같은 판재의 표면에 색차 결함, 깊이 결함 등이 존재하는지 여부를 검사하는 것이다. 색차 결함은 얼룩 등과 같이 색상 차이로 인해 발생하는 결함이다. 깊이 결함은 스크레치, 크랙 등과 같은 물리적 손상으로 인해 발생하는 결함이다.The surface inspection apparatus is to check whether or not color difference defects, depth defects, etc. exist on the surface of a plate material such as a steel sheet or the like. A color difference defect is a defect caused by a color difference such as a stain. Deep defects are defects caused by physical damage such as scratches, cracks, and the like.
도 1은 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치의 개략적인 구성도이다.1 is a schematic diagram of a plate surface inspection apparatus according to the prior art.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치(100)는 판재(10)에 대한 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사부(110), 및 상기 판재(10)에 대한 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사부(120)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a plate
상기 제1검사부(110)는 상기 판재(10)에 백색의 검사광을 조사하는 제1조명기구(111), 및 상기 제1조명기구(111)가 방출한 검사광을 이용하여 상기 판재(10)의 표면을 촬영하는 제1비젼기구(112)를 포함한다. 상기 제1검사부(110)는 상기 제1비젼기구(112)가 획득한 검사영상을 이용하여 상기 판재(10)에 대한 색차 결함을 검출한다. 이를 위해, 상기 제1조명기구(111)가 방출한 검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도, 및 상기 제1비젼기구(112)가 상기 판재(10)를 촬영하는 촬영각도는 동일하게 구성된다.The
상기 제2검사부(120)는 상기 판재(10)에 백색의 검사광을 조사하는 제2조명기구(121), 및 상기 제2조명기구(121)가 방출한 검사광을 이용하여 상기 판재(10)의 표면을 촬영하는 제2비젼기구(122)를 포함한다. 상기 제2검사부(120)는 상기 제2비젼기구(122)가 획득한 검사영상을 이용하여 상기 판재(10)에 대한 깊이 결함을 검출한다. 이를 위해, 상기 제2조명기구(121)가 방출한 검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도, 및 상기 제2비젼기구(122)가 상기 판재(10)를 촬영하는 촬영각도는 서로 다르게 구성된다. 이 경우, 상기 제2조명기구(121) 및 상기 제1조명기구(111) 각각이 방출한 검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도가 서로 다르게 구성된다.The
여기서, 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치(100)는 상기 제1조명기구(111) 및 상기 제2조명기구(121)가 동시에 상기 판재(10)에 대해 동일한 검사영역에 검사광을 방출하면, 검사광이 서로 간섭됨에 따라 표면검사에 대한 정확성이 저하된다. 이를 해결하기 위해, 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치(100)는 상기 제1검사부(110) 및 상기 제2검사부(120)가 서로 소정 거리 이격된 위치에 설치되도록 구현된다.When the first
따라서, 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치(100)는 상기 제1검사부(110) 및 상기 제2검사부(120)가 서로 소정 거리 이격된 위치에 설치되므로, 설치공간이 증대됨에 따라 공간 활용도가 저하되는 문제가 있다. 또한, 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치(100)에 있어서, 상기 제1비젼기구(112)가 상기 판재(10)에 대한 소정의 검사영역을 촬영한 후에, 상기 제2비젼기구(122)가 상기 제1비젼기구(112)가 촬영한 검사영역을 촬영하여야 한다. 그러나, 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치(100)는 설치 환경에 따라 상기 제1검사부(110) 및 상기 제2검사부(120)가 서로 이격된 거리가 증대되는 경우, 상기 제2비젼기구(122)가 상기 제1비젼기구(112)가 촬영한 검사영역과 동일한 검사영역을 촬영하도록 구현하기 어렵고, 상기 제1비젼기구(112)가 촬영한 검사영역을 추적 및 관리해야 하는 부담이 있는 문제가 있다.Accordingly, since the
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 협소한 설치공간에서도 판재에 대한 색차 결함, 깊이 결함 등과 같은 이종(異種)의 검사를 수행할 수 있는 광학식 판재 표면검사장치 및 판재 표면검사방법을 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide an optical plate surface inspection apparatus and a plate surface inspection apparatus capable of performing different types of inspection such as color difference defects, depth defects, Method.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the above problems, the present invention may include the following configuration.
본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치는 판재에 가시광선을 조사하기 위한 제1조명기구; 상기 판재에서 상기 제1조명기구가 방출한 가시광선이 조사되는 제1검사영역에 적외선을 조사하기 위한 제2조명기구; 상기 제1검사영역을 촬영하여 상기 제1검사영역에 대한 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득하는 제1비젼기구; 상기 제1검사영역을 촬영하여 상기 제1검사영역에 대한 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득하는 제2비젼기구; 상기 판재와 상기 제1비젼기구 사이에 위치하여 가시광선을 통과시킴과 동시에 적외선을 차단하는 제1필터부; 및 상기 판재와 상기 제2비젼기구 사이에 위치하여 적외선을 통과시킴과 동시에 가시광선을 차단하는 제2필터부를 포함할 수 있다.An optical plate surface inspection apparatus according to the present invention includes: a first lighting device for irradiating a visible light to a plate material; A second illuminating device for irradiating infrared rays to a first inspection area irradiated with visible light emitted from the first illuminating device in the plate material; A first vision device for acquiring a first inspection image for inspecting a color difference defect for the first inspection area by photographing the first inspection area; A second vision mechanism for acquiring a second inspection image for photographing the first inspection area and inspecting a depth defect for the first inspection area; A first filter unit positioned between the plate material and the first vision device to pass visible light and block infrared rays; And a second filter unit positioned between the plate member and the second vision mechanism for passing infrared rays and shielding visible light.
본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치는 판재의 일면에 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하여 상기 판재의 일면에서 제1검사영역에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제1검사부; 상기 판재의 일면에 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사하여 상기 제1검사영역에 대한 제2검사이미지를 획득하는 제2검사부; 상기 판재의 일면 및 상기 제1검사부 사이에 위치하여 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 제1필터부; 및 상기 판재의 일면 및 상기 제2검사부 사이에 위치하여 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 제2필터부를 포함할 수 있다.A first inspection unit for irradiating a first inspection light belonging to a first wavelength band to one surface of a plate material to obtain a first inspection image for a first inspection area on one side of the plate material; A second inspection unit irradiating a first inspection light belonging to a second wavelength band different from the first wavelength band to one surface of the plate material to obtain a second inspection image for the first inspection area; A first filter unit positioned between one surface of the plate material and the first inspection unit and passing the first inspection light and blocking the second inspection light; And a second filter unit positioned between one side of the plate and the second inspection unit to pass the second inspection light and block the first inspection light.
본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치는 판재의 상측에 위치하고 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 이용하여 상기 판재의 일면에서 제1검사영역에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제1비젼기구; 상기 제1비젼기구의 양측에 위치하고, 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 이용하여 상기 판재의 일면에서 상기 제1검사영역에 대한 제2검사이미지를 획득하는 N개(N은 1보다 큰 정수)의 제2비젼기구; 상기 판재의 일면 및 상기 제1비젼기구 사이에 위치하여 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 제1필터부; 및 상기 판재의 일면 및 상기 복수개의 제2비젼기구 사이에 위치하여 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 제2필터부를 포함할 수 있다.The apparatus for inspecting an optical plate surface according to the present invention includes a first vision device for acquiring a first inspection image for a first inspection area on one side of the plate using a first inspection light located on an upper side of a plate and belonging to a first wavelength band, ; And a second inspection unit that is disposed on both sides of the first vision unit and uses a second inspection light belonging to a second wavelength band different from the first wavelength band to acquire a second inspection image for the first inspection area on one side of the plate material, A second vision device (N is an integer greater than 1); A first filter unit positioned between one surface of the plate member and the first vision unit to pass the first inspection light and block the second inspection light; And a second filter unit positioned between one surface of the plate member and the plurality of second vision mechanisms for passing the second inspection light and blocking the first inspection light.
본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 판재에 제1검사영역에 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하고, 상기 판재에 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사하는 단계; 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 조사되는 판재에 대해 상기 판재에 반사된 제1검사광만을 이용하여 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득하는 단계; 및 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 조사되는 판재에 대해 상기 판재에 반사된 제2검사광만을 이용하여 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 제1검사이미지를 획득하는 단계 및 상기 제2검사이미지를 획득하는 단계는 병행하여 이루어질 수 있다.A method for inspecting an optical plate surface according to the present invention comprises irradiating a plate with first inspection light belonging to a first wavelength band to a first inspection area and irradiating a second inspection light belonging to a second wavelength band different from the first wavelength band Irradiating light; Obtaining a first inspection image for inspecting a color difference defect using only the first inspection light reflected on the plate with respect to the plate to which the first inspection light and the second inspection light are irradiated; And acquiring a second inspection image for inspecting the depth defect using only the second inspection light reflected on the plate with respect to the plate to which the first inspection light and the second inspection light are irradiated. The step of acquiring the first inspection image and the step of acquiring the second inspection image may be performed in parallel.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.According to the present invention, the following effects can be achieved.
본 발명은 전체적인 크기를 감소시켜서 공간활용도를 향상시킬 수 있도록 구현됨으로써, 협소한 설치공간에서도 판재에 대한 이종(異種)의 검사를 수행할 수 있고, 판재에 대한 이종의 검사를 수행하는 작업의 용이성을 향상시킬 수 있다.The present invention can reduce the overall size and improve the space utilization, so that it is possible to perform different kinds of inspection on the plate material even in a narrow installation space, and to facilitate the work of performing different kinds of inspection on the plate material Can be improved.
본 발명은 판재에 대한 이종의 검사를 수행하는 과정에서 검사광에 대해 충반한 노출시간이 확보되도록 구현됨으로써, 구축비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 영상 처리 부하를 감소시킬 수 있다.The present invention is implemented so as to secure a sufficient exposure time for the inspection light in the process of performing different types of inspection on the plate, thereby reducing the construction cost and the image processing load.
도 1은 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치의 개략적인 구성도
도 2는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 측면 구성도
도 3은 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치를 도 2에 도시된 것과 반대되는 방향에서 바라본 모습을 나타낸 개략적인 측면 구성도
도 4는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 정면 구성도
도 5 및 도 6은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 측면 구성도
도 7은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치를 도 6에 도시된 것과 반대되는 방향에서 바라본 모습을 나타낸 개략적인 측면 구성도
도 8은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 정면 구성도
도 9는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법의 개략적인 순서도1 is a schematic diagram of a plate surface inspection apparatus according to the prior art;
Fig. 2 is a schematic side view of an optical plate surface inspection apparatus according to the present invention
Fig. 3 is a schematic side view showing a state in which the optical plate surface inspection apparatus according to the present invention is viewed from a direction opposite to that shown in Fig. 2
4 is a schematic front view of an optical plate surface inspection apparatus according to the present invention
FIGS. 5 and 6 are schematic side views of an optical plate surface inspection apparatus according to a modified embodiment of the present invention
FIG. 7 is a schematic side view showing the optical sheet surface inspection apparatus according to a modified embodiment of the present invention as viewed from a direction opposite to that shown in FIG. 6
8 is a schematic front view of an optical plate surface inspection apparatus according to a modified embodiment of the present invention
9 is a schematic flowchart of a method of inspecting an optical plate surface according to the present invention
이하에서는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of an optical plate surface inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 측면 구성도, 도 3은 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치를 도 2에 도시된 것과 반대되는 방향에서 바라본 모습을 나타낸 개략적인 측면 구성도, 도 4는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 정면 구성도, 도 5 및 도 6은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 측면 구성도, 도 7은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치를 도 6에 도시된 것과 반대되는 방향에서 바라본 모습을 나타낸 개략적인 측면 구성도, 도 8은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 정면 구성도이다.FIG. 2 is a schematic side view of the optical plate surface inspection apparatus according to the present invention. FIG. 3 is a schematic side view showing the optical plate surface inspection apparatus according to the present invention in a direction opposite to that shown in FIG. Fig. 4 is a schematic front structural view of an optical plate surface inspection apparatus according to the present invention, Figs. 5 and 6 are schematic side construction views of an optical plate surface inspection apparatus according to a modified embodiment of the present invention, Fig. FIG. 8 is a schematic side view showing the optical sheet surface inspection apparatus according to a modified embodiment of the present invention in a direction opposite to that shown in FIG. 6, and FIG. 8 is a schematic side view of the optical sheet member according to a modified embodiment of the present invention. Fig. 3 is a schematic front view of the surface inspection apparatus. Fig.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 강판 등과 같은 판재(10)를 검사하는 것이다. 2 to 4, the optical plate
본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 판재(10)에 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하여 제1검사영역(IA1)에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제1검사부(2), 상기 판재(10)에 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사하여 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제2검사이미지를 획득하는 제2검사부(3), 상기 판재(10)와 상기 제1검사부(2) 사이에 위치하는 제1필터부(4), 및 상기 판재(10)와 상기 제2검사부(3) 사이에 위치하는 제2필터부(5)를 포함한다.The optical plate
상기 제1필터부(4)는 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단한다. 이에 따라, 상기 제1필터부(4)는 상기 제1검사부(2)에 상기 제1검사광만 입사되도록 한다. 상기 제2필터부(5)는 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단한다. 이에 따라, 상기 제2필터부(5)는 상기 제2검사부(3)에 상기 제2검사광만 입사되도록 한다.The
따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1검사영역(IA1)에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사되더라도, 상기 제1검사부(2)가 상기 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득하고, 상기 제2검사부(3)가 상기 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득하도록 구현된다.Therefore, in the optical plate
이에 따라, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.Accordingly, the optical plate
첫째, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1검사부(2) 및 상기 제2검사부(3)가 동일한 제1검사영역(IA1)에 대해 검사이미지를 획득하는 작업을 병행하여 수행하도록 구현됨으로써, 상기 제1검사부(2) 및 상기 제2검사부(3)가 서로 이격된 거리를 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 전체적인 크기를 감소시켜서 공간활용도를 향상시킬 수 있으므로, 협소한 설치공간에서도 상기 판재(10)에 대한 이종(異種)의 검사를 수행할 수 있다.First, in the optical plate
둘째, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1검사부(2) 또는 상기 제2검사부(3)가 촬영한 검사영역을 추적 및 관리하지 않고도, 상기 제1검사부(2) 및 상기 제2검사부(3)가 동일한 제1검사영역(IA1)에 대해 검사이미지를 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 판재(10)에 대한 이종의 검사를 수행하는 작업의 용이성을 향상시킬 수 있다.Secondly, the optical plate
이하에서는 상기 제1검사부(2), 상기 제2검사부(3), 상기 제1필터부(4), 및 상기 제2필터부(5)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제1검사부(2)는 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제1검사이미지를 획득한다. 상기 제1검사영역(IA1)은 상기 판재(10)의 일면(11)으로, 상기 일면(11)의 일부 또는 전부일 수 있다. 상기 제1검사부(2)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 상기 제1검사광을 조사하고, 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제1검사광을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득할 수 있다. 상기 제1검사광은 제1파장대역에 속하는 것으로, 예컨대 가시광선(Visible Light)일 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 4, the
상기 제1검사부(2)는 획득한 제1검사이미지로부터 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 색차 결함을 검사할 수 있다. 색차 결함은 얼룩 등과 같이 색상 차이로 인해 발생하는 결함이다. 상기 제1검사부(2)는 획득한 제1검사이미지 및 제1기준이미지를 비교함으로써, 상기 판재(10)에서 상기 제1검사영역(IA1)에 속하는 부분에 색차 결함이 있는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제1기준이미지는 색차 결함이 없는 판재(10)에 대한 이미지이다. 상기 제1검사부(2)에는 상기 제1기준이미지가 미리 저장되어 있다.The
상기 제1검사부(2)는 제1조명기구(21), 및 제1비젼기구(22)를 포함할 수 있다.The
상기 제1조명기구(21)는 상기 판재(10)에 상기 제1검사광을 조사한다. 상기 제1조명기구(21)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 상기 제1검사광을 조사할 수 있다. 이 경우, 상기 제1조명기구(21)는 상기 판재(10)의 일면(11)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제1조명기구(21)는 상기 제1검사영역(IA1)에 상기 제1검사광을 조사한다. 상기 제1조명기구(21)는 상기 제1검사영역(IA1) 및 상기 제1검사영역(IA1)의 주변에 위치한 부분을 포함한 영역에 상기 제1검사광을 조사할 수도 있다. 상기 제1조명기구(21)는 상기 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사할 수 있다. 상기 제1검사광은 가시광선일 수 있다.The first illuminator (21) irradiates the plate material (10) with the first inspection light. The first illuminating
상기 제1비젼기구(22)는 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영하여 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득한다. 상기 제1비젼기구(22)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제1검사광을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영할 수 있다. 상기 제1비젼기구(22)는 CCD 카메라를 포함할 수 있다. 상기 제1비젼기구(22)는 카메라 및 판재 사이에 위치하는 복수의 렌즈군을 더 포함할 수도 있다.The
상기 제1비젼기구(22)는 상기 판재(10)의 일면(11)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제1비젼기구(22)는 상기 판재(10)에 대해 소정 각도(22a)로 기울어지게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1조명기구(21)는 상기 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도(22a)와 동일한 각도(21a)로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된다. 이에 따라, 상기 제1조명기구(21)가 방출한 제1검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도(21a), 및 상기 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)를 촬영하는 촬영각도(22a)는 서로 동일하게 구성된다. 즉, 상기 제1검사부(2)는 색차 결함을 검사하는데 효과적인 전반사 광학계로 구현된다.The
상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제1조명기구(21)는 상기 판재(10)의 일면(11) 측에서 상기 제1검사영역(IA1)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제1조명기구(21)는 제1검사본체(미도시)에 설치될 수 있다. 상기 제1검사본체는 상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제1조명기구(21)가 상기 판재(10)의 일면(11)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 위치되도록 상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제1조명기구(21)를 지지할 수 있다.The
상기 제1비젼기구(22)는 상기 판재(10)의 상측에 위치하고, 상기 검사광을 이용하여 상기 판재(10)의 일면에서 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제1검사이미지를 획득할 수 있다.The
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제2검사부(3)는 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제2검사이미지를 획득한다. 상기 제2검사부(3)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 상기 제2검사광을 조사하고, 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제2검사광을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득할 수 있다. 상기 제2검사광은 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 것으로, 예컨대 적외선(IR, Infrared Ray)일 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 4, the
상기 제2검사부(3)는 획득한 제2검사이미지로부터 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 깊이 결함을 검사할 수 있다. 깊이 결함은 스크레치, 크랙 등과 같은 물리적 손상으로 인해 발생하는 결함이다. 상기 제2검사부(3)는 획득한 제2검사이미지 및 제2기준이미지를 비교함으로써, 상기 판재(10)에서 상기 제1검사영역(IA1)에 속하는 부분에 깊이 결함이 있는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제2기준이미지는 깊이 결함이 없는 판재(10)에 대한 이미지이다. 상기 제2검사부(3)에는 상기 제2기준이미지가 미리 저장되어 있다.The
상기 제2검사부(3)는 제2조명기구(31), 및 제2비젼기구(32)를 포함할 수 있다.The
상기 제2조명기구(31)는 상기 판재(10)에 상기 제2검사광을 조사한다. 상기 제2조명기구(31)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 상기 제2검사광을 조사할 수 있다. 이 경우, 상기 제2조명기구(31)는 상기 판재(10)의 일면(11)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제2조명기구(31)는 상기 제1검사영역(IA1)에 상기 제2검사광을 조사한다. 상기 제2조명기구(31)는 상기 제1검사영역(IA1) 및 상기 제1검사영역(IA1)의 주변에 위치한 부분을 포함한 영역에 상기 제2검사광을 조사할 수도 있다. 상기 제2조명기구(31)는 상기 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사할 수 있다. 상기 제2검사광은 적외선일 수 있다.The second illuminating device (31) irradiates the plate material (10) with the second inspection light. The second illuminating
상기 제2비젼기구(32)는 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영하여 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득한다. 상기 제2비젼기구(32)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제2검사광을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영할 수 있다. 상기 제2비젼기구(32)는 CCD 카메라를 포함할 수 있다. 상기 제2비젼기구(32)는 카메라 및 판재 사이에 위치하는 복수의 렌즈군을 더 포함할 수도 있다.The
상기 제2비젼기구(32)는 상기 판재(10)의 일면(11)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제2비젼기구(32)는 상기 판재(10)에 대해 소정 각도(32a)로 기울어지게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2조명기구(31)는 상기 제2비젼기구(32)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도(32a)와 다른 각도(31a)로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된다. 이에 따라, 상기 제2조명기구(31)가 방출한 제2검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도(31a), 및 상기 제2비젼기구(32)가 상기 판재(10)를 촬영하는 촬영각도(32a)는 서로 다르게 구성된다. 즉, 상기 제2검사부(3)는 깊이 결함을 검사하는데 효과적인 다크필드 광학계로 구현된다. 상기 제2조명기구(31)는 상기 제2비젼기구(32)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도(32a)에 비해 더 작은 각도(31a)로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치될 수 있다.The
상기 제2비젼기구(32) 및 상기 제2조명기구(31)는 상기 판재(10)의 일면(11) 측에서 상기 제1검사영역(IA1)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제2비젼기구(32) 및 상기 제2조명기구(31)는 제2검사본체(미도시)에 설치될 수 있다. 상기 제2검사본체는 상기 제2비젼기구(32) 및 상기 제2조명기구(31)가 상기 판재(10)의 일면(11)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 위치되도록 상기 제2비젼기구(32) 및 상기 제2조명기구(31)를 지지할 수 있다.The
상기 제2검사부(3)는 상기 제2비젼기구(32)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제2비젼기구(32)들 사이에 위치되게 설치된다. 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제2비젼기구(32)들 각각에 비해 더 큰 시야각(FOV: Field of View)을 갖도록 구현된다. 이에 따라, 상기 제1검사부(2)는 하나의 제1비젼기구(22)로 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영하고, 상기 제2검사부(3)는 복수개의 제2비젼기구(32)로 상기 제1검사영역(IA1)을 나누어 촬영할 수 있다. 이 경우, 상기 제2검사부(3)는 상기 제1검사부(2)에 비해 더 높은 해상도로 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.The
첫째, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1비젼기구(22)가 상기 제2비젼기구(32)에 비해 더 큰 시야각을 가지면서 상기 제2비젼기구(32)에 비해 더 낮은 해상도로 제1검사이미지를 획득하도록 구현된다. 색차 결함은 깊이 결함에 비해 상대적으로 더 크고, 낮은 해상도에서도 검출이 용이하게 때문이다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 시야각 확대를 통해 색차 결함을 검사하기 위한 제1비젼기구(22)의 개수를 줄일 수 있고, 해상도 조절을 통해 색차 결함을 검사하기 위한 제1비젼기구(22)가 불필요하게 높은 해상도로 제1검사이미지를 획득하지 않도록 구현됨으로써, 구축 비용을 절감할 수 있다.First, in the optical plate
둘째, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 제2비젼기구(32)가 상기 제1비젼기구(22)에 비해 더 작은 시야각을 가지면서 상기 제1비젼기구(22)에 비해 더 높은 해상도로 제2검사이미지를 획득하도록 구현된다. 깊이 결함은 색차 결함에 비해 미세하여 낮은 해상도에서 검출이 어렵기 때문이다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 시야각 축소를 통해 깊이 결함을 검사하기 위한 제2비젼기구(32)의 해상도를 높임과 동시에 분할 촬영을 통해 제1검사영역(IA1) 전체에 대한 제2검사이미지를 획득하도록 구현됨으로써, 깊이 결함에 대한 검사의 정확성을 향상시킬 수 있다.Secondly, in the optical plate
예컨대, 상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제2비젼기구(32)는 시야각 및 해상도가 2배 차이가 나도록 구현될 수 있다. 상기 제1비젼기구(22)의 시야각이 상기 제2비젼기구(32)의 시야각에 비해 2배 크고, 상기 제2비젼기구(32)의 해상도가 상기 제1비젼기구(22)의 해상도에 비해 2배 높게 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 제1비젼기구(22)는 2개의 제2비젼기구(32)들 사이에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제2비젼기구(32)들에 비해 상기 판재(10)로부터 더 먼 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제2비젼기구(32)들은 각각의 시야각이 일부 중첩되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2비젼기구(32)들이 상기 제1검사영역(IA1)을 분할 촬영하는 과정에서 상기 판재(10)에서 촬영되지 않는 부분이 발생하는 것을 방지할 수 있다.For example, the
도 4에는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)가 2개의 제2비젼기구(32) 및 1개의 제1비젼기구(22)를 포함하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1비젼기구(22)의 개수를 줄이면서 상기 제2비젼기구(32)가 충분한 해상도를 갖는 제2검사이미지를 획득할 수 있으면 상기 제2비젼기구(32) 및 상기 제1비젼기구(22) 각각의 개수는 다양하게 조합될 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1검사영역(IA1)을 나누어 촬영하도록 N개(N은 1보다 큰 정수)의 제2비젼기구(32)를 포함하고, 상기 제2비젼기구(32)에 비해 시야각이 더 큰 M개(M은 0보다 크고 N보다 작은 정수)의 제1비젼기구(22)를 포함할 수 있다. 4, the optical sheet
상기 제2비젼기구(32)들은 상기 제1비젼기구(22)의 양측에 위치하고, 상기 제2검사광을 이용하여 상기 판재(10)의 일면에서 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제2검사이미지를 획득할 수 있다. The
상기 제2비젼기구(32) 및 상기 제1비젼기구(22)는 동일한 분해능을 가질 수 있다. 이 경우, 상기 제2비젼기구(32)가 N개이고, 상기 제1비젼기구(22)가 하나이면, 상기 제2비젼기구(32)는 상기 제1비젼기구(22)의 시야각(FOV) 보다 1/N의 시야각을 가질 수 있다. 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제2비젼기구(22) 보다 상기 판재(10)로부터 더 높은 상측에 위치할 수 있다.The
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제1필터부(4)는 상기 판재(10)와 상기 제1검사부(2) 사이에 위치한다. 상기 제1필터부(4)는 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단한다. 이에 따라, 상기 제1필터부(4)는 상기 제1검사영역(IA1)에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사되더라도, 상기 제1검사부(2)가 상기 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득하도록 한다. 상기 제1검사광이 가시광선이고 상기 제2검사광이 적외선인 경우, 상기 제1필터부(4)는 가시광선을 통과시킴과 동시에 적외선을 차단할 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 4, the
상기 제1필터부(4)는 상기 판재(10)의 일면(11) 및 상기 제1비젼기구(22) 사이에 위치하도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1필터부(4)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제1검사광과 제2검사광 중에서 상기 제1검사광만을 통과시킴으로써, 상기 제1비젼기구(22)에 상기 제1검사광만이 입사되도록 한다. 상기 제1필터부(4)는 상기 제1검사본체에 설치될 수 있다. 상기 제1검사부(2)가 상기 제1비젼기구(22)를 복수개 포함하는 경우, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1필터부(4)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1비젼기구(22)와 동일한 개수의 제1필터부(4)를 포함할 수 있다.The
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제2필터부(5)는 상기 판재(10)와 상기 제2검사부(3) 사이에 위치한다. 상기 제2필터부(5)는 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단한다. 이에 따라, 상기 제2필터부(5)는 상기 제1검사영역(IA1)에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사되더라도, 상기 제2검사부(3)가 상기 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득하도록 한다. 상기 제1검사광이 가시광선이고 상기 제2검사광이 적외선인 경우, 상기 제2필터부(5)는 적외선을 통과시킴과 동시에 가시광선을 차단할 수 있다.2 to 4, the
상기 제2필터부(5)는 상기 판재(10)의 일면(11) 및 상기 제2비젼기구(32) 사이에 위치하도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2필터부(5)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제1검사광과 제2검사광 중에서 상기 제2검사광만을 통과시킴으로써, 상기 제2비젼기구(32)에 상기 제2검사광만이 입사되도록 한다. 상기 제2필터부(5)는 상기 제2검사본체에 설치될 수 있다. 상기 제2검사부(3)가 상기 제2비젼기구(32)를 복수개 포함하는 경우, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제2필터부(5)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제2비젼기구(32)와 동일한 개수의 제2필터부(5)를 포함할 수 있다.The
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1검사영역(IA1)에 제1검사광 및 제2검사광이 동시에 조사되고 있는 상태에서, 상기 제1검사부(2) 및 상기 제2검사부(3)가 각각 상기 제1필터부(4) 및 상기 제2필터부(5)를 통해 선택적으로 입사된 검사광만을 이용하여 제1검사이미지 및 제2검사이미지를 병행하여 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 시간 분할 타입으로 구현되는 비교예와 대비할 때, 다음과 같은 장점을 갖는다.As described above, in the optical plate
우선, 시간 분할 타입으로 구현되는 실시예는 하나의 카메라 및 2개의 조명을 이용하여 판재(10)에 대한 색차 결함 및 깊이 결함을 검사하는 것이다. 비교예에 있어서, 2개의 조명 중에서 어느 하나인 제1조명은 상기 카메라가 판재를 촬영하는 촬영각도와 동일한 투사각도로 백색의 검사광을 조사하여 상기 카메라와 전반사 광학계를 구성하고, 2개의 조명 중에서 다른 하나인 제2조명은 상기 카메라가 판재를 촬영하는 촬영각도와 다른 투사각도로 백색의 검사광을 조사하여 상기 카메라와 다크필드 광학계를 구성한다.First, an embodiment implemented as a time division type is to inspect color difference defects and depth defects for the
이와 같이 구성되는 비교예는 상기 카메라가 판재를 촬영하는 시야각에, 상기 제1조명이 일부 시간 동안 판재에 백색의 검사광을 조사한 후에 제2조명이 남은 시간 동안 판재에 백색의 검사광을 조사한다. 그 후, 비교예는 상기 카메라가 획득한 검사이미지를 영상처리작업을 통해 2개의 검사이미지로 분리함으로써, 각 검사이미지를 통해 색차 결함 및 깊이 결함을 검사한다.In the comparative example configured as described above, the first illumination illuminates the inspection light of white on the plate for a certain period of time, and the inspection light of white is then applied to the plate during the remaining time of the second illumination, at the viewing angle at which the camera photographs the plate . Thereafter, in the comparative example, the inspection image obtained by the camera is divided into two inspection images through an image processing operation, and color difference defects and depth defects are inspected through each inspection image.
이러한 비교예는 첫째로, 카메라가 판재를 촬영하는 시간을 분할하여 제1조명과 제2조명이 번갈아서 판재에 백색의 검사광을 조사하므로, 광량 확보가 어려운 문제가 있다. 제1조명과 제2조명이 카메라가 판재를 촬영하는 시간을 분할하여 백색의 검사광을 조사하므로, 제1조명과 제2조명 각각에 대한 노출시간이 짧아지기 때문이다. 이를 해결하기 위해서 비교예는, 짧은 노출시간에도 충분한 광량을 확보하기 위해 강한 세기의 검사광을 조사할 수 있는 고가의 조명을 사용하거나, 카메라가 판재를 촬영하는 시간을 늘려야 한다.In this comparison example, there is a problem that it is difficult to secure the amount of light since the first illumination and the second illumination alternately irradiate white inspection light to the plate by dividing the time taken by the camera to photograph the plate. This is because the first illumination and the second illumination divide the time taken by the camera to photograph the plate material and irradiate white inspection light, thereby shortening the exposure time for each of the first illumination and the second illumination. In order to solve this problem, in the comparative example, it is necessary to use expensive lighting capable of irradiating a strong intensity inspection light or to increase the time for the camera to photograph the plate material in order to secure a sufficient amount of light even in a short exposure time.
이와 달리, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1조명기구(21) 및 상기 제2조명기구(22)가 상기 제1검사영역(IA1)에 제1검사광 및 제2검사광을 동시에 조사하고, 상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제2비젼기구(23)가 상기 제1검사이미지 및 상기 제2검사이미지를 병행하여 획득하도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 비교예와 대비할 때 저가의 제1조명기구(21) 및 제2조명기구(22)를 이용하더라도, 충분한 노출시간을 확보할 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 비교예와 대비할 때 구축비용을 절감할 수 있고, 상기 제1검사이미지와 상기 제2검사이미지를 획득하는데 걸리는 시간을 단축할 수 있다.Alternatively, in the optical plate
둘째, 비교예는 하나의 카메라를 이용하므로, 깊이 결함을 검사하기 위해 분해능이 높은 카메라를 이용하여야 한다. 이에 따라, 비교예는 높은 분해능이 요구되지 않는 색차 결함을 검사함에 있어서도 분해능이 높은 카메라를 이용하게 된다. 따라서, 비교예는 색차 결함을 검사하기 위한 검사이미지 또한 큰 용량을 갖게 되므로, 영상처리작업을 통해 2개의 검사이미지로 분리함에 있어서 영상 처리 부하가 증대되는 문제가 있다.Second, since the comparative example uses one camera, it is necessary to use a camera with high resolution in order to inspect the depth defect. Accordingly, the comparative example uses a camera having high resolution even in the inspection of color difference defects for which high resolution is not required. Therefore, the comparative example also has a large capacity for the inspection image for checking the color difference defects, so there is a problem that the image processing load is increased in separating into two inspection images through the image processing operation.
이와 달리, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 색차 결함을 검사하기 위한 제1비젼기구(22) 및 깊이 결함을 검사하기 위한 제2비젼기구(32)가 별도로 구비되므로, 상기 제1비젼기구(22)가 상기 제2비젼기구(32)에 비해 낮은 분해능을 갖도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1비젼기구(22)가 불필요하게 높은 해상도로 제1검사이미지를 획득하지 않도록 구현됨으로써, 구축 비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 영상 처리 부하를 감소시킬 수 있다.Alternatively, in the optical plate
또한, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제2비젼기구(32)가 별도로 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지 및 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이지미를 획득하므로, 비교예와 같이 획득한 검사이미지를 2개의 검사이미지로 분리하는 작업이 요구되지 않는다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 영상 처리 부하를 더 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 검사이미지를 분리하는 작업을 생략함으로써 검사 시간을 더 단축시킬 수 있는 장점을 갖는다.In the optical plate
도 5를 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 제3검사부(6)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 5, the optical sheet
상기 제3검사부(6)는 상기 판재(10)에 상기 제1검사광을 조사하는 제3조명기구(61)를 포함한다. The
상기 제3조명기구(61)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 상기 제1검사광을 조사한다. 상기 판재(10)의 타면(12)은 상기 일면(11)에 대해 반대되는 면이다. 예컨대, 상기 판재(10)의 일면(11)이 윗면인 경우, 상기 판재(10)의 타면(12)은 밑면일 수 있다. 상기 제3조명기구(61)는 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제3조명기구(61) 및 상기 제1조명기구(21)는 상기 판재(10)에 서로 동일한 파장대역에 속하는 제1검사광을 조사할 수 있다. 상기 제3조명기구(61) 및 상기 제1조명기구(21)는 상기 판재(10)에 가시광선을 조사할 수 있다.The third illuminating
여기서, 상기 제1검사부(2)는 상기 제3검사부(6)가 방출한 제1검사광을 이용하여 상기 판재(10)에 대한 홀 결함을 검사하기 위한 제3검사이미지를 획득할 수 있다. 홀 결함은 판재(10)에 구멍이 뚫림에 따라 발생하는 결함이다. 이에 따라, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 판재(10)에 대한 색차 결함 및 깊이 결함뿐만 아니라 홀 결함도 검사할 수 있도록 구현된다. Here, the
이 경우, 상기 제1검사부(2)의 제1비젼기구(22)는, 상기 제3검사부(6)의 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광을 이용하여 상기 제3검사이미지를 획득할 수 있다. 상기 판재(10)에 홀 결함이 있는 경우, 상기 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광은 상기 판재(10)를 통과하여 상기 제1검사부(2)에 입사하게 된다. 반면, 상기 판재(10)에 홀 결함이 없는 경우, 상기 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광은 상기 판재(10)를 통과하지 못하므로 상기 제1검사부(2)에 입사하지 못한다. 이러한 차이를 이용하여, 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광을 이용하여 홀 결함을 검사하기 위한 제3검사이미지를 획득할 수 있다. 상기 제1검사부(2)는 획득한 제3검사이미지 및 제3기준이미지를 비교함으로써, 상기 판재(10)에서 상기 제1검사영역(IA1)에 속하는 부분에 홀 결함이 있는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제3기준이미지는 홀 결함이 없는 판재(10)에 대한 이미지이다. 상기 제1검사부(2)에는 상기 제3기준이미지가 미리 저장되어 있다.In this case, the
상기 제3조명기구(61)는 상기 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도(22a)와 동일한 각도(61a)로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제3조명기구(61) 및 상기 제1비젼기구(22)는 서로 마주보게 설치된다. 이에 따라, 상기 제3조명기구(61) 및 상기 제1비젼기구(22)는 동일선 상에 위치하도록 설치될 수 있다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 판재(10)에 미세한 홀 결합이 있는 경우에도 상기 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광이 상기 제1비젼기구(22)에 입사되도록 구현됨으로써, 상기 판재(10)에 대한 홀 결함 검사의 정확성을 향상시킬 수 있다. 상기 제3조명기구(61)는 제3검사본체(미도시)에 설치될 수 있다. 상기 제3검사본체는 상기 제3조명기구(61)가 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 위치하도록 상기 제3조명기구(61)를 지지할 수 있다.The third illuminating
도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 제3검사부(6)는 상기 판재(10)의 타면(12)을 검사할 수 있도록 구현될 수 있다. Referring to FIGS. 5 and 6, the
이 경우, 상기 제3검사부(6)는 제2검사영역(IA2)에 대한 제1검사이미지를 획득한다. 상기 제2검사영역(IA2)은 상기 판재(10)의 타면(12)으로, 상기 타면(12)의 일부 또는 전부일 수 있다. 상기 제3검사부(6)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 상기 제1검사광을 조사하고, 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제1검사광을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득할 수 있다. 상기 제1검사광은 제1파장대역에 속하는 것으로, 예컨대 가시광선(Visible Light)일 수 있다.In this case, the
여기서, 상기 제1검사이미지는, 상기 제3검사부(6) 및 상기 제1검사부(2)가 각각 상기 판재(10)에 대해 소정의 검사를 수행하기 위해 상기 판재(10)를 촬영하여 획득한 검사이미지를 의미한다. 상기 제3검사부(6) 및 상기 제1검사부(2)가 상기 판재(10)에 대해 동일한 종류의 검사를 수행하도록 구현되므로, 동일하게 제1검사이미지를 획득하는 것으로 기재한 것이며, 상기 제3검사부(6) 및 상기 제1검사부(2)는 각각 개별적으로 제1검사이미지를 획득한다. 한편, 상기 제2검사영역(IA2)은 상기 제1검사영역(IA1)에 대해 대칭되는 위치일 수 있다.Here, the first inspection image is obtained by photographing and acquiring the
상기 제3검사부(6)는 획득한 제1검사이미지로부터 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 색차 결함을 검사할 수 있다. 상기 제3검사부(6)는 획득한 제1검사이미지 및 상기 제1기준이미지를 비교함으로써, 상기 판재(10)에서 상기 제2검사영역(IA2)에 속하는 부분에 색차 결함이 있는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제3검사부(6)에는 상기 제1기준이미지가 미리 저장되어 있다.The
상기 제3검사부(6)는 제3비젼기구(62)를 더 포함할 수 있다.The
상기 제3비젼기구(62)는 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영하여 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득한다. 상기 제3비젼기구(62)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제1검사광을 이용하여 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영할 수 있다. 상기 제3비젼기구(62)는 CCD 카메라일 수 있다.The
상기 제3비젼기구(62)는 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제3비젼기구(62)는 상기 판재(10)에 대해 소정 각도로 기울어지게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제3조명기구(61)는 상기 제3비젼기구(62)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도와 동일한 각도(61a)로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된다. 이에 따라, 상기 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도(61a), 및 상기 제3비젼기구(62)가 상기 판재(10)를 촬영하는 촬영각도는 서로 동일하게 구성된다. 즉, 상기 제3검사부(6)는 색차 결함을 검사하는데 효과적인 전반사 광학계로 구현된다.The
상기 제3비젼기구(62) 및 상기 제3조명기구(61)는 상기 판재(10)의 타면(12) 측에서 상기 제2검사영역(IA2)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제3비젼기구(62) 및 상기 제3조명기구(61)는 상기 제3검사본체에 설치될 수 있다. 상기 제3검사본체는 상기 제3비젼기구(62) 및 상기 제3조명기구(61)가 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 위치되도록 상기 제3비젼기구(62) 및 상기 제3조명기구(61)를 지지할 수 있다.The
도 5 내지 도 8을 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 다른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 제4검사부(7, 도 7에 도시됨), 제3필터부(8, 도 6에 도시됨), 및 제4필터부(9, 도 7에 도시됨)를 포함할 수 있다.5 to 8, an optical plate
상기 제4검사부(7)는 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 제2검사이미지를 획득한다. 상기 제4검사부(7)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 상기 제2검사광을 조사하고, 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제2검사광을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득할 수 있다. 상기 제2검사광은 상기 제2파장대역에 속하는 것으로, 예컨대 적외선(IR, Infrared Ray)일 수 있다.The
여기서, 상기 제2검사이미지는, 상기 제4검사부(7) 및 상기 제2검사부(3)가 각각 상기 판재(10)에 대해 소정의 검사를 수행하기 위해 상기 판재(10)를 촬영하여 획득한 검사이미지를 의미한다. 상기 제4검사부(7) 및 상기 제2검사부(3)가 상기 판재(10)에 대해 동일한 종류의 검사를 수행하도록 구현되므로, 동일하게 제2검사이미지를 획득하는 것으로 기재한 것이며, 상기 제4검사부(7) 및 상기 제2검사부(3)는 각각 개별적으로 제2검사이미지를 획득한다.Here, the second inspection image may be obtained when the
상기 제4검사부(7)는 획득한 제2검사이미지로부터 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 깊이 결함을 검사할 수 있다. 상기 제4검사부(7)는 획득한 제2검사이미지 및 제2기준이미지를 비교함으로써, 상기 판재(10)에서 상기 제2검사영역(IA2)에 속하는 부분에 깊이 결함이 있는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제4검사부(7)에는 상기 제2기준이미지가 미리 저장되어 있다.The
상기 제4검사부(7)는 제4조명기구(71), 및 제4비젼기구(72)를 포함할 수 있다.The
상기 제4조명기구(71)는 상기 판재(10)에 상기 제2검사광을 조사한다. 상기 제4조명기구(71)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 상기 제2검사광을 조사할 수 있다. 이 경우, 상기 제4조명기구(71)는 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제4조명기구(71)는 상기 제2검사영역(IA2)에 상기 제2검사광을 조사한다. 상기 제4조명기구(71)는 상기 제2검사영역(IA2) 및 상기 제2검사영역(IA2)의 주변에 위치한 부분을 포함한 영역에 상기 제2검사광을 조사할 수도 있다. 상기 제4조명기구(71)는 상기 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사할 수 있다. 상기 제2검사광은 적외선일 수 있다.The fourth illuminating device (71) irradiates the plate material (10) with the second inspection light. The fourth illuminating
상기 제4비젼기구(72)는 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영하여 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득한다. 상기 제4비젼기구(72)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제2검사광을 이용하여 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영할 수 있다. 상기 제4비젼기구(72)는 CCD 카메라일 수 있다.The
상기 제4비젼기구(72)는 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제4비젼기구(72)는 상기 판재(10)에 대해 소정 각도로 기울어지게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제4조명기구(71)는 상기 제4비젼기구(72)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도와 다른 각도로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된다. 이에 따라, 상기 제4조명기구(71)가 방출한 제2검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도, 및 상기 제4비젼기구(72)가 상기 판재(10)를 촬영하는 촬영각도는 서로 다르게 구성된다. 즉, 상기 제4검사부(7)는 깊이 결함을 검사하는데 효과적인 다크필드 광학계로 구현된다. 상기 제4조명기구(71)는 상기 제4비젼기구(72)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도에 비해 더 작은 각도로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치될 수 있다.The
상기 제4비젼기구(72) 및 상기 제4조명기구(71)는 상기 판재(10)의 타면(12) 측에서 상기 제2검사영역(IA2)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제4비젼기구(72) 및 상기 제4조명기구(71)는 제2검사본체(미도시)에 설치될 수 있다. 상기 제2검사본체는 상기 제4비젼기구(72) 및 상기 제4조명기구(71)가 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 위치되도록 상기 제4비젼기구(72) 및 상기 제4조명기구(71)를 지지할 수 있다.The
상기 제4검사부(7)는 상기 제4비젼기구(72)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제3비젼기구(62)는 상기 제4비젼기구(72)들 사이에 위치되게 설치된다. 상기 제3비젼기구(62)는 상기 제4비젼기구(72)들 각각에 비해 더 큰 시야각(Field of View)을 갖도록 구현된다. 이에 따라, 상기 제3검사부(6)는 하나의 제3비젼기구(62)로 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영하고, 상기 제4검사부(7)는 복수개의 제4비젼기구(72)로 상기 제2검사영역(IA2)을 나누어 촬영할 수 있다. 이 경우, 상기 제4검사부(7)는 상기 제3검사부(6)에 비해 더 높은 해상도로 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영할 수 있다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.The
첫째, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제3비젼기구(62)가 상기 제4비젼기구(72)에 비해 더 큰 시야각을 가지면서 상기 제4비젼기구(72)에 비해 더 낮은 해상도로 제1검사이미지를 획득하도록 구현된다. 색차 결함은 깊이 결함에 비해 상대적으로 더 크고, 낮은 해상도에서도 검출이 용이하게 때문이다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 시야각 확대를 통해 색차 결함을 검사하기 위한 제3비젼기구(62)의 개수를 줄일 수 있고, 해상도 조절을 통해 색차 결함을 검사하기 위한 제3비젼기구(62)가 불필요하게 높은 해상도로 제1검사이미지를 획득하지 않도록 구현됨으로써, 구축 비용을 절감할 수 있다.First, in the optical plate
둘째, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 제4비젼기구(72)가 상기 제3비젼기구(62)에 비해 더 작은 시야각을 가지면서 상기 제3비젼기구(62)에 비해 더 높은 해상도로 제2검사이미지를 획득하도록 구현된다. 깊이 결함은 색차 결함에 비해 미세하여 낮은 해상도에서 검출이 어렵기 때문이다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 시야각 축소를 통해 깊이 결함을 검사하기 위한 제4비젼기구(72)의 해상도를 높임과 동시에 분할 촬영을 통해 제2검사영역(IA2) 전체에 대한 제2검사이미지를 획득하도록 구현됨으로써, 깊이 결함에 대한 검사의 정확성을 향상시킬 수 있다.Secondly, the optical plate
예컨대, 상기 제3비젼기구(62) 및 상기 제4비젼기구(72)는 시야각 및 해상도가 2배 차이가 나도록 구현될 수 있다. 상기 제3비젼기구(62)의 시야각이 상기 제4비젼기구(72)의 시야각에 비해 2배 크고, 상기 제4비젼기구(72)의 해상도가 상기 제1비젼기구(22)의 해상도에 비해 2배 높게 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 제3비젼기구(62)는 2개의 제4비젼기구(72)들 사이에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제3비젼기구(62)는 상기 제4비젼기구(72)들에 비해 상기 판재(10)로부터 더 먼 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제4비젼기구(72)들은 각각의 시야각이 일부 중첩되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제4비젼기구(72)들이 상기 제2검사영역(IA2)을 분할 촬영하는 과정에서 상기 판재(10)에서 촬영되지 않는 부분이 발생하는 것을 방지할 수 있다.For example, the
도 8에는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)가 2개의 제4비젼기구(72) 및 1개의 제3비젼기구(62)를 포함하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제3비젼기구(62)의 개수를 줄이면서 상기 제4비젼기구(72)가 충분한 해상도를 갖는 제2검사이미지를 획득할 수 있으면 상기 제4비젼기구(72) 및 상기 제1비젼기구(22) 각각의 개수는 다양하게 조합될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제2검사영역(IA2)을 나누어 촬영하도록 N개의 제4비젼기구(72)를 포함하고, 상기 제4비젼기구(72)에 비해 시야각이 더 큰 M개의 제3비젼기구(62)를 포함할 수 있다. 8, the optical sheet
도 6 내지 도 8을 참고하면, 상기 제3필터부(8)는 상기 판재(10)와 상기 제3검사부(6) 사이에 위치한다. 상기 제3필터부(8)는 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단한다. 이에 따라, 상기 제3필터부(8)는 상기 제2검사영역(IA2)에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사되더라도, 상기 제3검사부(6)가 상기 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득하도록 한다. 상기 제1검사광이 가시광선이고 상기 제2검사광이 적외선인 경우, 상기 제3필터부(8)는 가시광선을 통과시킴과 동시에 적외선을 차단할 수 있다.6 to 8, the
상기 제3필터부(8)는 상기 판재(10)의 타면(12) 및 상기 제3비젼기구(62) 사이에 위치하도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제3필터부(8)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제1검사광과 제2검사광 중에서 상기 제1검사광만을 통과시킴으로써, 상기 제3비젼기구(62)에 상기 제1검사광만이 입사되도록 한다. 상기 제3필터부(8)는 상기 제3검사본체에 설치될 수 있다. 상기 제3검사부(6)가 상기 제3비젼기구(62)를 복수개 포함하는 경우, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제3필터부(8)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제3비젼기구(62)와 동일한 개수의 제3필터부(8)를 포함할 수 있다.The
도 6 내지 도 8을 참고하면, 상기 제4필터부(9)는 상기 판재(10)와 상기 제4검사부(7) 사이에 위치한다. 상기 제4필터부(9)는 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단한다. 이에 따라, 상기 제4필터부(9)는 상기 제2검사영역(IA2)에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사되더라도, 상기 제4검사부(7)가 상기 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득하도록 한다. 상기 제1검사광이 가시광선이고 상기 제2검사광이 적외선인 경우, 상기 제4필터부(9)는 적외선을 통과시킴과 동시에 가시광선을 차단할 수 있다.6 to 8, the
상기 제4필터부(9)는 상기 판재(10)의 타면(12) 및 상기 제4비젼기구(72) 사이에 위치하도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제4필터부(9)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제1검사광과 제2검사광 중에서 상기 제2검사광만을 통과시킴으로써, 상기 제4비젼기구(72)에 상기 제2검사광만이 입사되도록 한다. 상기 제4필터부(9)는 상기 제4검사본체에 설치될 수 있다. 상기 제4검사부(7)가 상기 제4비젼기구(72)를 복수개 포함하는 경우, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제4필터부(9)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제4비젼기구(72)와 동일한 개수의 제4필터부(9)를 포함할 수 있다.The
이하에서는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of an optical plate surface inspection method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 9는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법의 개략적인 순서도이다.9 is a schematic flow chart of a method of inspecting an optical plate surface according to the present invention.
도 2 내지 도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 강판 등과 같은 판재(10)를 검사하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 상술한 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)에 의해 수행될 수 있다. 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.2 to 9, the optical plate surface inspection method according to the present invention is for inspecting a
우선, 상기 판재(10)에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광을 조사한다(S100). 이러한 공정(S100)은, 상기 제1조명기구(21)가 상기 판재(10)에 상기 제1검사광을 조사하고, 상기 제2조명기구(31)가 상기 판재(10)에 상기 제2검사광을 조사함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 판재(10)에는 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사될 수 있다.First, the first inspection light and the second inspection light are irradiated to the plate material 10 (S100). In this step S100, the first illuminating
다음, 상기 제1검사이미지를 획득한다(S200). 이러한 공정(S200)은, 상기 제1비젼기구(22)가 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 조사되는 제1검사영역(IA1)에 대해 상기 판재(10)에 반사된 제1검사광만을 이용하여 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득함으로써 이루어질 수 있다.Next, the first inspection image is acquired (S200). In this step S200, the
상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S200)은, 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 공정(S210), 및 상기 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S220)을 포함할 수 있다.(S200) of obtaining the first inspection image includes a step (S210) of passing the first inspection light and cutting off the second inspection light, and a step (S210) of using only the first inspection light And acquiring an image (S220).
상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 공정(S210)은, 상기 판재(10)와 상기 제1비젼기구(22) 사이에 위치한 제1필터부(4)가, 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단함으로써 이루어질 수 있다.(S210) of passing the first inspection light and blocking the second inspection light is performed by a first filter unit (4) positioned between the plate material (10) and the first vision unit (22) And passing the first inspection light and shutting off the second inspection light.
상기 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S220)은, 상기 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)에 반사되어 상기 제1필터부(4)를 통과한 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제1검사이미지를 획득할 수 있다.The step S220 of obtaining the first inspection image using only the first inspection light is performed when the
다음, 상기 제2검사이미지를 획득한다(S300). 이러한 공정(S300)은, 상기 제2비젼기구(32)가 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 조사되는 제1검사영역(IA1)에 대해 상기 판재(10)에 반사된 제2검사광만을 이용하여 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득함으로써 이루어질 수 있다.Next, the second inspection image is acquired (S300). In this step S300, the
상기 제2검사이미지를 획득하는 공정(S300)은, 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 공정(S310), 및 상기 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득하는 공정(S320)을 포함할 수 있다.(S300) of obtaining the second inspection image includes a step (S310) of passing the second inspection light and cutting off the first inspection light, and a step (S310) of using only the second inspection light to perform the second inspection And acquiring an image (S320).
상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 공정(S310)은, 상기 판재(10)와 상기 제2비젼기구(32) 사이에 위치한 제2필터부(5)가, 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단함으로써 이루어질 수 있다.(S310) of passing the second inspection light and blocking the first inspection light, the second filter unit (5) positioned between the plate material (10) and the second vision mechanism (32) And passing the second inspection light and blocking the first inspection light.
상기 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득하는 공정(S320)은, 상기 제2비젼기구(32)가 상기 판재(10)에 반사되어 상기 제2필터부(5)를 통과한 제2검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 제2비젼기구(32)는 상기 제2검사이미지를 획득할 수 있다.(S320) of obtaining the second inspection image using only the second inspection light is performed when the second vision mechanism (32) is reflected by the plate material (10) and passes through the second filter unit And taking the first inspection area IA1 using only the second inspection light. Accordingly, the
상기 제2검사이미지를 획득하는 공정(S300) 및 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S200)은 병행하여 이루어질 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.The step of acquiring the second inspection image (S300) and the step of acquiring the first inspection image (S200) may be performed in parallel. Accordingly, the optical plate surface inspection method according to the present invention can achieve the following operational effects.
첫째, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 상기 제2검사이미지를 획득하기 위한 구성 및 상기 제1검사이미지를 획득하기 위한 구성이 서로 이격된 거리를 감소시킬 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 협소한 설치공간에서도 상기 판재(10)에 대한 이종(異種)의 검사를 수행할 수 있다.First, the optical plate surface inspection method according to the present invention is implemented so as to reduce a distance between the configuration for acquiring the second inspection image and the configuration for acquiring the first inspection image. Therefore, the optical plate surface inspection method according to the present invention can perform different types of inspection for the
둘째, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 동일한 제1검사영역(IA1)에 대해 제1검사이미지 및 제2검사이미지를 획득할 수 있도록 구현됨으로써, 상기 판재(10)에 대한 이종의 검사를 수행하는 작업의 용이성을 향상시킬 수 있다.Secondly, the optical plate surface inspection method according to the present invention is realized so as to obtain the first inspection image and the second inspection image for the same first inspection area IA1, so that the different inspection of the
도 2 내지 도 9를 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 표면검사방법은 제3검사이미지를 획득하는 공정(S400)을 더 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 9, the surface inspection method according to the modified embodiment of the present invention may further include a step (S400) of acquiring a third inspection image.
상기 제3검사이미지를 획득하는 공정(S400)은 상기 판재(10)를 통과한 제1검사광을 이용하여 홀 결함을 검사하기 위한 제3검사이미지를 획득하는 것이다. 이러한 공정(S400)은, 상기 판재(10)의 일면(11) 쪽에 위치한 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)의 타면(12) 쪽에 위치한 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광을 이용하여 상기 제3검사이미지를 획득함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 상기 판재(10)에 대한 색차 결함 및 깊이 결함뿐만 아니라 홀 결함도 검사할 수 있도록 구현된다.The step of acquiring the third inspection image (S400) acquires a third inspection image for inspecting the hole defect using the first inspection light passed through the plate material (10). In this step S400, the
상기 제3검사이미지를 획득하는 공정(S400)이 수행되는 경우, 상기 제1조명기구(21) 및 상기 제2조명기구(31)는 각각 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광을 방출하지 않도록 제어될 수 있다. 상기 제3검사이미지를 획득하는 공정(S400)은 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S200)이 수행된 이후 또는 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S200)이 수행되기 이전에 수행될 수 있다.When the step of acquiring the third inspection image (S400) is performed, the first illuminator (21) and the second illuminator (31) emit the first inspection light and the second inspection light, respectively . The step of acquiring the third inspection image (S400) may be performed after the step of obtaining the first inspection image (S200) or before the step (S200) of acquiring the first inspection image is performed have.
여기서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사방법은, 상기 판재(10)의 일면(11) 및 상기 판재(10)의 타면(12)에 대해 각각 상기 제1검사이미지 및 상기 제2검사이미지를 획득하도록 구현될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 다음과 같이 구현될 수 있다.A method for inspecting an optical plate surface according to a modified embodiment of the present invention is a method for inspecting a surface of a
우선, 상기 판재에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광을 조사하는 공정(S100)은, 상기 제1조명기구(21)가 상기 판재(10)의 일면(11)에 상기 제1검사광을 조사, 상기 제2조명기구(31)가 상기 판재(10)의 일면(11)에 상기 제2검사광을 조사, 상기 제3조명기구(61)가 상기 판재(10)의 타면(12)에 상기 제1검사광을 조사, 상기 제4조명기구(71)가 상기 판재(10)의 타면(12)에 상기 제2검사광을 조사함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 판재(10)의 일면(11) 및 타면(12)에는 각각 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사될 수 있다.(S100) of irradiating the plate material with the first inspection light and the second inspection light is performed when the first illumination device (21) irradiates the one surface (11) of the plate material (10) The second illuminating
다음, 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S200)은, 상기 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제1검사이미지를 획득하고, 상기 제3비젼기구(62)가 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제1검사광만을 이용하여 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 제1검사이미지를 획득함으로써 이루어질 수 있다.Next, the step of obtaining the first inspection image (S200) may be performed by the first vision device (22) using only the first inspection light reflected on one surface (11) of the plate material (10) And the
이 경우, 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 공정(S210)은, 상기 판재(10)의 일면(11) 및 상기 제1비젼기구(22) 사이에 위치한 제1필터부(4)가 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하고, 상기 판재(10)의 타면(12) 및 상기 제3비젼기구(62) 사이에 위치한 제3필터부(8)가 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단함으로써 이루어질 수 있다.In this case, the step (S210) of passing the first inspection light and blocking the second inspection light may include the step (S210) of separating the
상기 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S220)은, 상기 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사되어 상기 제1필터부(4)를 통과한 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영하고, 상기 제3비젼기구(62)가 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사되어 상기 제3필터부(8)를 통과한 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제1검사이미지를 획득하고, 상기 제3비젼기구(62)는 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 제1검사이미지를 획득할 수 있다.The step S220 of obtaining the first inspection image using only the first inspection light may be performed when the
다음, 상기 제2검사이미지를 획득하는 공정(S300)은, 상기 제2비젼기구(32)가 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제2검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제2검사이미지를 획득하고, 상기 제4비젼기구(72)가 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 제2검사이미지를 획득함으로써 이루어질 수 있다.Next, in the step S300 of obtaining the second inspection image, the
이 경우, 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 공정(S310)은, 상기 판재(10)의 일면(11) 및 상기 제2비젼기구(32) 사이에 위치한 제2필터부(5)가 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하고, 상기 판재(10)의 타면(12) 및 상기 제4비젼기구(72) 사이에 위치한 제4필터부(9)가 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단함으로써 이루어질 수 있다.In this case, the step of passing the second inspection light and blocking the first inspection light (S310) may include the step of stopping the first inspection light (S310), which is located between the one
상기 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득하는 공정(S320)은, 상기 제2비젼기구(32)가 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사되어 상기 제2필터부(5)를 통과한 제2검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영하고, 상기 제4비젼기구(72)가 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사되어 상기 제4필터부(9)를 통과한 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 제2비젼기구(32)는 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제2검사이미지를 획득하고, 상기 제4비젼기구(72)는 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 제2검사이미지를 획득할 수 있다.The step of obtaining the second inspection image using only the second inspection light may include the step of reflecting the
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 예컨대, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1) 및 광학식 판재 표면검사방법은 강판 외에 금속, 유리, 플라스틱 또는 종이 등으로 제조된 판재(10)에 대해서도 검사를 수행할 수 있다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of. For example, in the optical plate material
1 : 광학식 판재 표면검사장치
2 : 제1검사부
3 : 제2검사부
4 : 제1필터부
5 : 제2필터부
6 : 제3검사부
7 : 제4검사부
8 : 제3필터부
9 : 제4필터부
10 : 판재
21 : 제1조명기구
22 : 제1비젼기구
31 : 제2조명기구
32 : 제2비젼기구
61 : 제3조명기구
62 : 제3비젼기구
71 : 제4조명기구
72 : 제4비젼기구1: Optical plate surface inspection apparatus 2: First inspection section
3: second inspection part 4: first filter part
5: second filter unit 6: third inspection unit
7: fourth inspection part 8: third filter part
9: fourth filter part 10: plate material
21: first lighting device 22: first vision device
31: second lighting device 32: second vision device
61: third lighting device 62: third vision device
71: Fourth lighting device 72: Fourth vision device
Claims (14)
상기 판재에서 상기 제1조명기구가 방출한 가시광선이 조사되는 제1검사영역에 적외선을 조사하기 위한 제2조명기구;
상기 제1검사영역을 촬영하여 상기 제1검사영역에 대한 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득하는 제1비젼기구;
상기 제1검사영역을 촬영하여 상기 제1검사영역에 대한 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득하는 제2비젼기구;
상기 판재와 상기 제1비젼기구 사이에 위치하여 가시광선을 통과시킴과 동시에 적외선을 차단하는 제1필터부; 및
상기 판재와 상기 제2비젼기구 사이에 위치하여 적외선을 통과시킴과 동시에 가시광선을 차단하는 제2필터부를 포함하는 광학식 판재 표면검사장치.A first illuminator for illuminating the plate material with visible light;
A second illuminating device for irradiating infrared rays to a first inspection area irradiated with visible light emitted from the first illuminating device in the plate material;
A first vision device for acquiring a first inspection image for inspecting a color difference defect for the first inspection area by photographing the first inspection area;
A second vision mechanism for acquiring a second inspection image for photographing the first inspection area and inspecting a depth defect for the first inspection area;
A first filter unit positioned between the plate material and the first vision device to pass visible light and block infrared rays; And
And a second filter unit positioned between the plate material and the second vision mechanism for passing infrared light and blocking visible light.
상기 제1검사영역을 나누어 촬영하도록 N개(N은 1보다 큰 정수)의 제2비젼기구가 구비되고,
상기 제1비젼기구는 M개(M은 0보다 크고 N보다 작은 정수)가 구비되되, 상기 제2비젼기구에 비해 시야각(FOV: Field of View)이 더 큰 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.The method according to claim 1,
There is provided a second vision mechanism of N (N is an integer greater than 1) to divide and photograph the first inspection region,
Wherein the first vision device has M (M is an integer larger than 0 and smaller than N), and the field of view (FOV) is larger than that of the second vision device .
상기 제1조명기구가 방출한 가시광선이 조사되는 판재의 일면에 대해 반대되는 판재의 타면에 가시광선을 조사하기 위한 제3조명기구를 포함하고,
상기 제1비젼기구는 상기 제3조명기구가 방출한 가시광선을 이용하여 상기 판재에 대한 홀 결함을 검사하기 위한 제3검사이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.The method according to claim 1,
And a third illuminating device for irradiating visible light on the other surface of the plate material opposite to one surface of the plate material irradiated with the visible light emitted from the first illuminating device,
Wherein the first vision device obtains a third inspection image for inspecting a hole defect with respect to the plate using the visible light emitted from the third lighting device.
상기 제1조명기구가 방출한 가시광선이 조사되는 판재의 일면에 대해 반대되는 판재의 타면에 가시광선을 조사하기 위한 제3조명기구를 포함하고,
상기 제3조명기구는 상기 제1비젼기구가 상기 판재에 대해 기울어지게 설치된 각도와 동일한 각도로 상기 판재에 대해 기울어지게 설치되며,
상기 제1비젼기구는 상기 제3조명기구와 마주보게 설치되는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.The method according to claim 1,
And a third illuminating device for irradiating visible light on the other surface of the plate material opposite to one surface of the plate material irradiated with the visible light emitted from the first illuminating device,
The third illuminating device is installed so as to be inclined with respect to the plate material at an angle equal to an angle at which the first vision device is inclined relative to the plate material,
Wherein the first vision device is installed so as to face the third illumination device.
상기 제1조명기구가 방출한 가시광선이 조사되는 판재의 일면에 대해 반대되는 판재의 타면에 가시광선을 조사하기 위한 제3조명기구;
상기 판재의 타면에서 상기 제3조명기구가 방출한 가시광선이 조사되는 제2검사영역에 적외선을 조사하기 위한 제4조명기구;
상기 제2검사영역을 촬영하여 상기 제2검사영역에 대한 색차 결함을 검사하는 제3비젼기구;
상기 제2검사영역을 촬영하여 상기 제2검사영역에 대한 깊이 결함을 검사하는 제4비젼기구;
상기 판재와 상기 제3비젼기구 사이에 위치하여 가시광선을 통과시킴과 동시에 적외선을 차단하는 제3필터부; 및
상기 판재와 상기 제4비젼기구 사이에 위치하여 적외선을 통과시킴과 동시에 가시광선을 차단하는 제4필터부를 포함하는 광학식 판재 표면검사장치.The method according to claim 1,
A third illuminating device for irradiating a visible ray to the other surface of the plate material opposite to one surface of the plate material irradiated with the visible light emitted from the first illuminating device;
A fourth illuminating device for irradiating infrared rays to a second inspection area irradiated with visible light emitted from the third illuminating device on the other surface of the plate material;
A third vision mechanism for photographing the second inspection region and inspecting a color difference defect for the second inspection region;
A fourth vision mechanism for photographing the second inspection region and inspecting a depth defect for the second inspection region;
A third filter unit positioned between the plate material and the third vision mechanism to pass visible light and block infrared rays; And
And a fourth filter unit positioned between the plate member and the fourth vision mechanism for passing infrared light and blocking visible light.
상기 판재의 일면에 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사하여 상기 제1검사영역에 대한 제2검사이미지를 획득하는 제2검사부;
상기 판재의 일면 및 상기 제1검사부 사이에 위치하여 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 제1필터부; 및
상기 판재의 일면 및 상기 제2검사부 사이에 위치하여 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 제2필터부를 포함하는 광학식 판재 표면검사장치.A first inspection unit for irradiating a first inspection light belonging to a first wavelength band to one surface of a plate material to obtain a first inspection image for a first inspection area on one side of the plate material;
A second inspection unit irradiating a first inspection light belonging to a second wavelength band different from the first wavelength band to one surface of the plate material to obtain a second inspection image for the first inspection area;
A first filter unit positioned between one surface of the plate material and the first inspection unit and passing the first inspection light and blocking the second inspection light; And
And a second filter unit positioned between one surface of the plate material and the second inspection unit for passing the second inspection light and blocking the first inspection light.
상기 판재의 타면에 상기 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하여 상기 판재의 타면에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제3검사부;
상기 판재의 타면에 상기 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사하여 상기 판재의 타면에 대한 제2검사이미지를 획득하는 제4검사부;
상기 판재의 타면 및 상기 제3검사부 사이에 위치하여 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 제3필터부; 및
상기 판재의 타면 및 상기 제4검사부 사이에 위치하여 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 제4필터부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.The method according to claim 6,
A third inspection unit for irradiating a first inspection light belonging to the first wavelength band on the other surface of the plate material to obtain a first inspection image for the other surface of the plate material;
A fourth inspection unit for irradiating a second inspection light belonging to the second wavelength band on the other surface of the plate material to obtain a second inspection image for the other surface of the plate material;
A third filter unit positioned between the other surface of the plate and the third inspection unit to pass the first inspection light and shut off the second inspection light; And
And a fourth filter unit positioned between the other surface of the plate and the fourth inspection unit to pass the second inspection light and block the first inspection light.
상기 판재의 타면에 상기 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하여 상기 판재의 타면에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제3검사부를 포함하고;
상기 제1검사부는 상기 제3검사부가 방출한 제1검사광을 이용하여 상기 판재에 대한 홀 결함을 검사하기 위한 제3검사이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.The method according to claim 6,
And a third inspection unit for irradiating a first inspection light belonging to the first wavelength band on the other surface of the plate material to obtain a first inspection image for the other surface of the plate material;
Wherein the first inspection unit acquires a third inspection image for inspecting a hole defect in the plate using the first inspection light emitted by the third inspection unit.
상기 제1검사부는 상기 제1검사영역을 촬영하여 상기 제1검사영역에 대한 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득하는 제1비젼기구를 포함하고;
상기 제2검사부는 상기 제1검사영역을 나누어 촬영하여 상기 제1검사영역에 대한 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득하는 복수개의 제2비젼기구를 포함하며;
상기 제1비젼기구는 상기 제2비젼기구들 사이에 위치하도록 설치되되, 상기 제2비젼기구들 각각에 비해 시야각(FOV)이 더 큰 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.The method according to claim 6,
Wherein the first inspection unit includes a first vision mechanism for acquiring a first inspection image for photographing the first inspection area and inspecting a color difference defect for the first inspection area;
Wherein the second inspection unit includes a plurality of second vision mechanisms for acquiring a second inspection image for dividing the first inspection region and inspecting the depth defect for the first inspection region;
Wherein the first vision mechanism is installed to be positioned between the second vision mechanisms and has a larger viewing angle (FOV) than each of the second vision mechanisms.
상기 제1비젼기구의 양측에 위치하고, 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 이용하여 상기 판재의 일면에서 상기 제1검사영역에 대한 제2검사이미지를 획득하는 N개(N은 1보다 큰 정수)의 제2비젼기구;
상기 판재의 일면 및 상기 제1비젼기구 사이에 위치하여 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 제1필터부; 및
상기 판재의 일면 및 상기 복수개의 제2비젼기구 사이에 위치하여 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 제2필터부를 포함하는 광학식 판재 표면검사장치.A first vision device for acquiring a first inspection image for a first inspection area on one side of the plate using a first inspection light located on an upper side of the plate and belonging to a first wavelength band;
And a second inspection unit that is disposed on both sides of the first vision unit and uses a second inspection light belonging to a second wavelength band different from the first wavelength band to acquire a second inspection image for the first inspection area on one side of the plate material, A second vision device (N is an integer greater than 1);
A first filter unit positioned between one surface of the plate member and the first vision unit to pass the first inspection light and block the second inspection light; And
And a second filter unit positioned between one side of the plate material and the plurality of second vision mechanisms for passing the second inspection light and blocking the first inspection light.
상기 제1비젼기구와 상기 제2비젼기구는 동일한 분해능을 가지고,
상기 제2비젼기구는 상기 제1비젼기구의 시약각(FOV) 보다 1/N의 시야각을 가지는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.11. The method of claim 10,
The first vision device and the second vision device have the same resolution,
Wherein the second vision device has a viewing angle of 1 / N that is smaller than a reagent angle (FOV) of the first vision device.
상기 제1비젼기구는 상기 제2비젼기구 보다 상기 판재로부터 더 높은 상측에 위치하는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.11. The method of claim 10,
Wherein the first vision mechanism is positioned higher than the second vision mechanism on the upper side of the plate member.
상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 조사되는 판재의 상기 제1검사영역에 대해 상기 판재에 반사된 제1검사광만을 이용하여 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득하는 단계; 및
상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 조사되는 판재의 상기 제1검사영역에 대해 상기 판재에 반사된 제2검사광만을 이용하여 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득하는 단계를 포함하고,
상기 제1검사이미지를 획득하는 단계 및 상기 제2검사이미지를 획득하는 단계는 병행하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사방법.Irradiating the plate with first inspection light in a first wavelength band and irradiating the plate with second inspection light in a second wavelength band different from the first wavelength band;
Obtaining a first inspection image for inspecting a color difference defect using only the first inspection light reflected on the plate material with respect to the first inspection area of the plate material irradiated with the first inspection light and the second inspection light; And
Acquiring a second inspection image for inspecting a depth defect using only the second inspection light reflected on the plate material with respect to the first inspection area of the plate material irradiated with the first inspection light and the second inspection light, Including,
Wherein the step of acquiring the first inspection image and the step of acquiring the second inspection image are performed in parallel.
상기 판재를 통과한 제1검사광을 이용하여 홀 결함을 검사하기 위한 제3검사이미지를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사방법.14. The method of claim 13,
And obtaining a third inspection image for inspecting a hole defect using the first inspection light passed through the plate material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140194469A KR101745764B1 (en) | 2014-12-30 | 2014-12-30 | Apparatus and Method for Optically Inspecting Surface of Plate Member |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140194469A KR101745764B1 (en) | 2014-12-30 | 2014-12-30 | Apparatus and Method for Optically Inspecting Surface of Plate Member |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20160081144A true KR20160081144A (en) | 2016-07-08 |
| KR101745764B1 KR101745764B1 (en) | 2017-06-12 |
Family
ID=56503414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020140194469A KR101745764B1 (en) | 2014-12-30 | 2014-12-30 | Apparatus and Method for Optically Inspecting Surface of Plate Member |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101745764B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112710675A (en) * | 2019-12-25 | 2021-04-27 | 上野精机株式会社 | Electronic component handling apparatus |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102196114B1 (en) | 2018-12-28 | 2020-12-29 | 주식회사 포스코아이씨티 | Apparatus and method for inspecting steel products |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4618501B2 (en) | 2005-07-11 | 2011-01-26 | 株式会社Ｉｈｉ | Fluorescence flaw detector and fluorescent flaw detection method |
| FR2923006B1 (en) | 2007-10-29 | 2010-05-14 | Signoptic Technologies | OPTICAL DEVICE FOR OBSERVING MILLIMETRIC OR SUBMILLIMETRIC STRUCTURAL DETAILS OF A SPECULAR BEHAVIOR OBJECT |
| JP2011123019A (en) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Olympus Corp | Image inspection apparatus |
-
2014
- 2014-12-30 KR KR1020140194469A patent/KR101745764B1/en active IP Right Grant
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112710675A (en) * | 2019-12-25 | 2021-04-27 | 上野精机株式会社 | Electronic component handling apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR101745764B1 (en) | 2017-06-12 |
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