KR20160052530A - Release sheet and backing sheet laminate including same - Google Patents

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리에 마쯔이
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세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 백킹 시트 적층체에 강성을 부여하여, 백킹 시트 적층체의 취급성을 향상시킬 수 있고 또한 백킹 시트 적층체의 권회 시에 있어서도 백킹 시트의 표면에 백킹 시트 적층체의 권회 시단부에 의한 오목부를 발생시키지 않는 이형 시트를 제공한다. 본 발명의 이형 시트는 피연마물과 정반과의 사이에 개재시켜 사용되는 백킹 시트 상에 적층 일체화된 점착제층 상에 박리 가능하게 배치하여 사용되는 이형 시트이며, 두께가 10 내지 60μm인 폴리에스테르계 수지 필름 및 상기 폴리에스테르계 수지 필름 상에 적층 일체화된 종이 기재를 포함하는 시트 본체와, 상기 시트 본체의 양면에 적층 일체화된 이형제층을 포함하고, 직사각 형상이고 또한 폭이 2.4m 이상, 전체의 두께가 190μm 이하인 것을 특징으로 한다.The present invention provides rigidity to the backing sheet laminate to improve the handling properties of the backing sheet laminate and also to improve the handling property of the backing sheet laminate by winding the backing sheet laminate on the surface of the backing sheet A release sheet which does not generate a concave portion is provided. The release sheet of the present invention is a release sheet which is releasably used on a pressure-sensitive adhesive layer laminated and integrated on a backing sheet used to be interposed between an object to be polished and a platen, and is a polyester resin having a thickness of 10 to 60 탆 And a releasing agent layer laminated and integrated on both sides of the sheet body, wherein the releasing agent layer has a rectangular shape and a width of 2.4 m or more and a total thickness Is 190 占 퐉 or less.

Description

이형 시트 및 이를 이용한 백킹 시트 적층체{RELEASE SHEET AND BACKING SHEET LAMINATE INCLUDING SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a release sheet and a backing sheet using the same,

본 발명은 반도체 웨이퍼나 액정용 유리 등의 피연마물을 연마하는 연마 장치의 정반 상에 피연마물을 고정시키기 위한 백킹 시트의 이면에 일체적으로 설치된 점착제층에 박리 가능하게 적층되는 이형 시트 및 이를 이용한 백킹 시트 적층체에 관한 것이다.The present invention relates to a release sheet which is peelably laminated on a pressure-sensitive adhesive layer integrally provided on a back surface of a backing sheet for fixing an object to be polished on a surface of a polishing apparatus for polishing an object to be polished such as a semiconductor wafer or liquid crystal glass, Backing sheet laminate.

반도체 집적 회로의 고밀도화를 목적으로 하여 배선의 미세화가 진행되고 있는 데 수반하여, 반도체 웨이퍼나 액정용 유리 기반 등의 표면의 요철을 가능한 한 평탄화할 필요가 있다. 피연마물은 액정의 대형 화면화나 제조 비용의 삭감을 위해 피연마물의 대면적화가 진행되고 있고, 피연마물의 대면적화에 수반하여, 피연마물을 정반 상에 고정하기 위한 백킹 시트도 대면적화되고 있어, 단변 또는 한 변의 길이가 2.4m 이상인 직사각 형상의 백킹 시트도 사용되게 되었다.It is necessary to flatten the irregularities of the surface of the semiconductor wafer or the glass base for liquid crystal as much as possible in order to miniaturize the wiring for the purpose of increasing the density of the semiconductor integrated circuit. As for the objects to be polished, a larger area of the object to be polished is progressing in order to make a large screen of liquid crystals or to reduce the manufacturing cost, and a backing sheet for fixing the object to be polished on the surface of the object is also made large, A rectangular backing sheet having a short side or a side length of 2.4 m or more is also used.

백킹 시트는 통상적으로 발포 시트 등의 탄성을 갖는 재료로 형성되고, 피연마물을 적재, 고정시켜 사용하는 것이기 때문에, 백킹 시트의 표면에 요철이 발생되어 있으면, 피연마물을 안정적으로 적재, 고정할 수 없어, 피연마물의 표면의 연마를 고정밀도로 행할 수 없다는 문제점이 발생한다.Since the backing sheet is usually formed of a material having elasticity such as a foam sheet and is used to load and fix the object to be polished, if unevenness is generated on the surface of the backing sheet, the object to be polished can be stably stacked and fixed There arises a problem that polishing of the surface of the object to be polished can not be performed with high accuracy.

이에, 백킹 시트는 그의 수송 시에 있어서 그의 한 면에 적층 일체화된 점착제층 상에 박리 가능하게 이형 시트를 적층하여 백킹 시트 적층체로 된 후에, 권회축 등에 강하게 권회시킨 상태로 하지 않고, 표면에 요철을 발생시키지 않도록, 도 5에 도시한 바와 같이 백킹 시트를 내측으로 하여 1회 또는 몇 회만 느슨하게 감은 상태로 한 후에 가로로 눕힌 상태로 된다.Thus, the backing sheet can be obtained by laminating a release sheet such that it can be peeled off on a pressure-sensitive adhesive layer laminated and integrated on one surface of the backing sheet during transportation thereof, As shown in Fig. 5, the backing sheet is inwardly relaxed only once or several times so as to be laid horizontally.

또한, 백킹 시트의 사용 시에는 백킹 시트 적층체로부터 이형 시트를 박리하면서 백킹 시트를 그의 한 면에 적층 일체화시킨 점착제층에 의해 하측의 정반 상에 고정되지만, 백킹 시트는 상술한 바와 같이 발포 시트 등의 탄성을 갖는 재료로 형성되어 있는 점에서 강성이 약하여, 정반으로의 배치 및 고정시에 백킹 시트에 주름이 발생하기 쉽고, 백킹 시트에 주름이 발생하면, 백킹 시트 상에 피연마물을 안정적으로 적재, 고정시킬 수 없어, 피연마물의 연마를 안정적으로 고정밀도로 행할 수 없다.When the backing sheet is used, the backing sheet is fixed on the lower platen by the pressure-sensitive adhesive layer in which the backing sheet is laminated and integrated on one surface thereof while peeling off the release sheet from the backing sheet laminate. However, The wrinkles tend to occur on the backing sheet when the wafers are arranged and fixed on the base, and wrinkles are generated on the backing sheet. When wrinkles occur on the backing sheet, the wafers are stably stacked on the backing sheet So that the polishing can not be stably performed with high accuracy.

백킹 시트 적층체에는 상술한 바와 같이 이형 시트가 박리 가능하게 적층되어 있고, 이 이형 시트의 존재에 의해 백킹 시트에 어느 정도의 강성이 부여되어 있다.As described above, the release sheet is peelably laminated on the backing sheet laminate, and a certain degree of rigidity is imparted to the backing sheet by the presence of the release sheet.

한편, 백킹 시트에 사용되는 이형 시트로서는 특허문헌 1의 단락 번호 〔0030〕에 기재된 바와 같이, 통상적으로 코어재로서 폴리에틸렌 필름이 사용되고 있다.On the other hand, as a release sheet used for a backing sheet, a polyethylene film is usually used as a core material as described in paragraph [0030] of Patent Document 1. [

일본 특허 공개 제2003-64327호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-64327

그러나, 폴리에틸렌 필름은 강성이 약하기 때문에, 백킹 시트 적층체로부터 이형 시트를 박리하여 백킹 시트를 하측의 정반 상에 고정시키는 작업 중에 있어서 백킹 시트 적층체의 강성이 불충분한 점에서, 백킹 시트 적층체를 안정적으로 보유 지지할 수 없고, 그 결과, 백킹 시트에 주름이 발생한다는 문제가 발생한다.However, since the polyethylene film has a low rigidity, the backing sheet laminate is inferior in rigidity during the operation of peeling the release sheet from the backing sheet laminate to fix the backing sheet on the lower back plate, It can not be stably retained. As a result, there arises a problem that wrinkles are generated on the backing sheet.

이에, 백킹 시트 적층체의 강성을 강하게 하는 것을 목적으로 하여 이형 시트의 강성을 강하게 하기 위해, 이형 시트의 코어재로서 사용되고 있는 폴리에틸렌 필름의 두께를 두껍게 하는 것을 고려할 수 있다.In order to strengthen the rigidity of the release sheet for the purpose of strengthening the rigidity of the backing sheet laminate, it is conceivable to increase the thickness of the polyethylene film used as the core material of the release sheet.

그러면, 이형 시트의 무게가 무거워지고, 그 결과, 백킹 시트 적층체의 전체 중량도 무거워져, 백킹 시트 적층체를 수송하기 위해 백킹 시트 적층체를 권회 상태로 하여 가로로 눕힌 상태로 했을 때에, 백킹 시트의 권회 시단부가, 백킹 시트 적층체의 자중에 의해, 권회 시단부의 외측에 권회되는 백킹 시트 적층체의 내면에 강하게 가압되고, 그 결과, 백킹 시트의 표면에 백킹 시트 적층체의 권회 시단부에 의한 오목부가 발생하게 되어, 백킹 시트의 표면 평활성이 손상되게 된다는 다른 문제가 발생한다.As a result, the weight of the release sheet becomes heavy, and as a result, the total weight of the backing sheet laminate becomes heavy, and when the backing sheet laminate is wound and laid down laterally to transport the backing sheet laminate, The winding start end portion of the sheet is strongly pressed against the inner surface of the backing sheet laminate which is wound on the outer side of the winding start end portion due to the self weight of the backing sheet laminate body so that the surface of the backing sheet is wound on the winding start end portion of the backing sheet laminate Which causes a problem that the surface smoothness of the backing sheet is damaged.

본 발명은 백킹 시트 상(제1면)에 적층 일체화된 점착제층에 박리 가능하게 적층시켜 사용되고, 백킹 시트 적층체에 강성을 부여하여, 백킹 시트 적층체의 취급성을 향상시킬 수 있고 또한 백킹 시트 적층체의 권회 시에 있어서도 백킹 시트의 표면에 백킹 시트 적층체의 권회 시단부에 의한 오목부를 발생시키지 않는 이형 시트 및 이 이형 시트를 사용한 백킹 시트 적층체를 제공한다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used to peelably laminate a pressure-sensitive adhesive layer laminated and integrated on a backing sheet (first side), to impart rigidity to the backing sheet laminate, to improve handling properties of the backing sheet laminate, A release sheet which does not cause a concave portion due to the winding start end portion of the backing sheet laminate on the surface of the backing sheet even when the laminate is wound, and a backing sheet laminate using the release sheet.

본 발명은 피연마물과 정반과의 사이에 개재시켜 사용되는 백킹 시트 상에 적층 일체화된 점착제층 상에 박리 가능하게 배치하여 사용되는 이형 시트이며, 두께가 10 내지 60μm인 폴리에스테르계 수지 필름 및 상기 폴리에스테르계 수지 필름 상에 적층 일체화된 종이 기재를 포함하는 시트 본체와, 상기 시트 본체의 양면에 적층 일체화된 이형제층을 포함하고, 직사각 형상이고 또한 폭이 2.4m 이상, 전체의 두께가 190μm 이하인 것을 특징으로 한다.A polyester-based resin film having a thickness of 10 to 60 占 퐉 and a polyester-based resin film having a thickness of 10 to 60 占 The pressure- And a releasing agent layer laminated and integrated on both sides of the sheet body, wherein the sheet body has a rectangular shape and a width of 2.4 m or more and a total thickness of 190 m or less .

백킹 시트(1)로서는 반도체 웨이퍼나 액정용 유리 기반 등의 피연마물을 안정적으로 받아내고, 표면에 피연마물을 안정적으로 적재, 고정시켜 피연마물의 연마를 행할 수 있으면 되고, 범용의 백킹 시트가 사용된다. 백킹 시트로서는, 예를 들어 표면에 기포 단면이 노출되어 이루어지는 폴리우레탄계 수지 발포 시트, 표면에 기포 단면이 노출되어 이루어지는 아크릴계 수지 발포 시트 등을 들 수 있다.As the backing sheet 1, it is possible to stably receive an object such as a semiconductor wafer or a glass base for a liquid crystal, to stably load and fix an object to be polished on the surface to polish the object to be polished and to use a general backing sheet do. Examples of the backing sheet include a polyurethane-based resin foam sheet in which a bubble end face is exposed on the surface, and an acrylic resin foam sheet in which a bubble end face is exposed on the surface.

백킹 시트(1)는 후술하는 이형 시트(4)와 마찬가지로 직사각 형상으로 형성되어 있고, 그의 폭은 2.4m 이상이 바람직하고, 2.4 내지 2.6m가 보다 바람직하다. 백킹 시트(1)가 직사각형 형상인 경우에는 그의 단변이 2.4m 이상인 것이 바람직하고, 2.4 내지 2.6m인 것이 보다 바람직하다. 백킹 시트(1)가 정사각 형상인 경우에는 그의 한 변이 2.4m 이상인 것이 바람직하고, 2.4 내지 2.6m인 것이 보다 바람직하다.The backing sheet 1 is formed in a rectangular shape like the later-described release sheet 4, and its width is preferably 2.4 m or more, more preferably 2.4 to 2.6 m. When the backing sheet 1 has a rectangular shape, its short side is preferably 2.4 m or more, more preferably 2.4 to 2.6 m. When the backing sheet 1 has a square shape, one side of the backing sheet 1 is preferably 2.4 m or more, more preferably 2.4 to 2.6 m.

그리고, 도 1에 도시한 바와 같이, 백킹 시트(1)의 한 면(제1면)의 전체면에는 점착제층(2)이 적층 일체화되어 있다. 백킹 시트(1)의 한 면에 적층 일체화되는 점착제층(2)으로서는, 백킹 시트(1)를 정반 상에 박리 가능하게 고정할 수 있으면 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 아크릴계 점착제, 고무계 점착제, 실리콘계 점착제, 우레탄계 점착제 등을 들 수 있다.1, the pressure-sensitive adhesive layer 2 is laminated and integrated on the entire surface of one side (first side) of the backing sheet 1. The pressure- The pressure-sensitive adhesive layer 2 laminated and integrated on one surface of the backing sheet 1 is not particularly limited as long as it can peelably fix the backing sheet 1 on a surface of the backing sheet 1, and examples thereof include acrylic pressure-sensitive adhesives, A pressure-sensitive adhesive, and a urethane-based pressure-sensitive adhesive.

백킹 시트(1)의 한 면에 점착제층(2)을 적층 일체화하기 위해서는 백킹 시트(1)의 한 면에 직접 점착제층(2)을 적층 일체화시킬 수도 있지만, 도 2에 도시한 바와 같이, 백킹 시트(1)의 한 면에 양면 점착 테이프(3)를 적층 일체화시킴으로써 백킹 시트(1)의 한 면에 점착제층(2)을 적층 일체화시킬 수도 있다. 또한, 백킹 시트(1)의 한 면에 직접 점착제층(2)을 적층 일체화시키는 방법으로서는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 표면에 이형 처리가 실시된 합성 수지 필름 상에, 점착제를 함유하는 점착제 용액을 소정 두께로 도포, 건조시킴으로써 합성 수지 필름 상에 점착제층을 형성하고, 이 점착제층을 백킹 시트(1)의 한 면에 전사, 일체화시키는 방법 등을 들 수 있다.The pressure-sensitive adhesive layer 2 may be integrally laminated directly on one side of the backing sheet 1 in order to integrally laminate the pressure-sensitive adhesive layer 2 on one side of the backing sheet 1. However, as shown in Fig. 2, The pressure-sensitive adhesive layer 2 may be laminated and integrated on one side of the backing sheet 1 by integrally laminating the double-faced pressure-sensitive adhesive tape 3 on one side of the sheet 1. [ The method for directly laminating the pressure-sensitive adhesive layer 2 on one surface of the backing sheet 1 is not particularly limited, and for example, a pressure-sensitive adhesive solution containing a pressure-sensitive adhesive may be applied on a synthetic resin film, A method in which a pressure-sensitive adhesive layer is formed on a synthetic resin film by coating and drying the pressure-sensitive adhesive layer to a predetermined thickness, and the pressure-sensitive adhesive layer is transferred and integrated onto one side of the backing sheet 1.

양면 점착 테이프(3)는 테이프 기재(31)의 양면이 점착제층(32, 32)이 적층 일체화되어 이루어진다. 양면 점착 테이프(3)의 점착제층(32, 32) 중, 외측으로 노출된 점착제층(32)이 점착제층(2)이 된다. 테이프 기재(31)로서는, 합성 수지 필름, 부직포, 직포, 코팅지, 캐스트 코팅지 등을 들 수 있다. 합성 수지 필름을 구성하고 있는 합성 수지로서는, 예를 들어 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀계 수지, 연질 폴리염화비닐, 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 폴리에스테르계 수지 등을 들 수 있다.The double-faced pressure-sensitive adhesive tape 3 is formed by laminating the pressure-sensitive adhesive layers 32 and 32 on both sides of the tape base 31 in an integrated manner. The pressure sensitive adhesive layer 32 exposed outward from the pressure sensitive adhesive layers 32 and 32 of the double-faced pressure sensitive adhesive tape 3 becomes the pressure sensitive adhesive layer 2. [ Examples of the tape base material 31 include a synthetic resin film, a nonwoven fabric, a woven fabric, a coated paper, and a cast coated paper. Examples of the synthetic resin constituting the synthetic resin film include polyolefin-based resins such as polyethylene and polypropylene, and polyester-based resins such as flexible polyvinyl chloride and polyethylene terephthalate.

또한, 테이프 기재(31)의 양면에 적층 일체화된 점착제층(32, 32)을 구성하고 있는 점착제로서는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 아크릴계 점착제, 고무계 점착제, 실리콘계 점착제, 우레탄계 점착제 등을 들 수 있다.The pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layers 32 and 32 laminated and integrated on both sides of the tape base 31 is not particularly limited and examples thereof include an acrylic pressure-sensitive adhesive, a rubber pressure-sensitive adhesive, a silicone pressure-sensitive adhesive and a urethane pressure- .

본 발명의 이형 시트(4)는 백킹 시트(1) 상(백킹 시트(1)의 제1면)에 적층 일체화된 점착제층(2)의 전체면에 박리 가능하게 배치시켜 이용된다. 이형 시트(4)는 도 3에 도시한 바와 같이, 폴리에스테르계 수지 필름(41) 및 폴리에스테르계 수지 필름(41)의 한 면(제1면) 상에 적층 일체화된 종이 기재(42)를 포함하는 시트 본체(4a)와, 시트 본체(4a)의 양면에 적층 일체화된 이형제층(43, 43)을 포함한다.The release sheet 4 of the present invention is used by releasably disposed on the entire surface of the pressure-sensitive adhesive layer 2 laminated and integrated on the backing sheet 1 (the first surface of the backing sheet 1). 3, the release sheet 4 includes a paper base material 42 laminated and integrated on one side (first side) of the polyester base resin film 41 and the polyester base resin film 41 And release agent layers 43 and 43 laminated and integrated on both sides of the sheet main body 4a.

이형 시트(4)는 그의 일부에 두께가 10 내지 60μm인 폴리에스테르계 수지 필름(41)을 갖고 있다. 폴리에스테르계 수지 필름(41)은 비발포 필름이다. 폴리에스테르계 수지 필름은 두께가 10 내지 60μm로 얇아도 충분한 강성을 갖고 있다. 따라서, 이형 시트(4)는 충분한 강성의 강도를 갖고 있으며, 이형 시트(4)에 의해 백킹 시트 적층체에 충분한 강성의 강도를 부여할 수 있고, 따라서, 백킹 시트 적층체의 취급성을 향상시켜, 백킹 시트에 주름을 발생시키지 않고 백킹 시트(1)를 정반 상에 배치, 고정할 수 있다.The release sheet 4 has a polyester resin film 41 having a thickness of 10 to 60 占 퐉 on a part thereof. The polyester-based resin film 41 is a non-foaming film. The polyester-based resin film has sufficient rigidity even if the thickness is as small as 10 to 60 탆. Therefore, the release sheet 4 has a sufficient rigidity, and the release sheet 4 can impart sufficient rigidity to the backing sheet laminate, thereby improving the handling properties of the backing sheet laminate , The backing sheet 1 can be arranged and fixed on the surface of the backing sheet without generating wrinkles on the backing sheet.

또한, 백킹 시트 적층체는 그의 수송 시에 있어서, 도 5에 도시한 바와 같이, 백킹 시트를 내측으로 하여 1회 또는 몇 회만 느슨하게 감은 상태로 한 후에 가로로 눕힌 상태로 된다. 또한, 도 5에 있어서, 백킹 시트 적층체의 층 구성은 생략한다.Further, as shown in Fig. 5, the backing sheet laminate is in a state of being laid down horizontally after it is loosely wound once or several times with the backing sheet inward. In Fig. 5, the layer structure of the backing sheet laminate is omitted.

한편, 이형 시트(4)는 그 폴리에스테르계 수지 필름의 두께가 10 내지 60μm가 되고 또한 이형 시트 전체의 두께도 190μm 이하로 되어, 이형 시트(4) 자체의 중량이 가볍게 되어 있고, 그 결과, 백킹 시트 적층체 A의 전체 중량도 가볍게 되어 있다. 따라서, 백킹 시트 적층체 A의 권회 시단부 A1이 그의 외측에 권회되는 백킹 시트 적층체의 내면(백킹 시트(1))을 강하게 가압하는 일은 없고, 따라서, 백킹 시트(1)의 표면에 백킹 시트 적층체 A의 권회 시단부 A1에 의한 오목부가 발생하는 것과 같은 일은 없다.On the other hand, in the release sheet 4, the thickness of the polyester-based resin film is 10 to 60 占 퐉 and the thickness of the entirety of the release sheet is 190 占 퐉 or less. Thus, the release sheet 4 itself is light in weight, The total weight of the backing sheet laminate A is also light. Therefore, the inner surface (backing sheet 1) of the backing sheet laminate body in which the leading end portion A1 of the backing sheet laminate body A is wound on its outer side is not strongly pressed, There is no possibility that the concave portion due to the winding starting end A1 of the laminate A is generated.

상기 폴리에스테르계 수지 필름을 구성하고 있는 폴리에스테르계 수지란, 방향족 디카르복실산과, 디올이 축합 반응을 일으켜 얻어진 고분자량의 선상 폴리에스테르이다.The polyester-based resin constituting the polyester-based resin film is a high molecular weight linear polyester obtained by causing a condensation reaction between an aromatic dicarboxylic acid and a diol.

방향족 디카르복실산으로서는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 테레프탈산, 이소프탈산, 나프탈렌디카르복실산, 디페닐에테르디카르복실산, 디페닐술폰디카르복실산, 디페녹시에탄디카르복실산 등을 사용할 수 있다.The aromatic dicarboxylic acid is not particularly limited and includes, for example, terephthalic acid, isophthalic acid, naphthalene dicarboxylic acid, diphenyl ether dicarboxylic acid, diphenylsulfone dicarboxylic acid, diphenoxyethanedicarboxylic acid, etc. Can be used.

또한, 디올로서는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 에틸렌글리콜, 트리메틸렌글리콜, 테트라메틸렌글리콜, 네오펜틸렌글리콜, 헥사메틸렌글리콜, 시클로헥산디메틸올, 트리시클로데칸디메틸올, 2,2-비스(4-β-히드록시에톡시페닐)프로판, 4,4'-비스(β-히드록시에톡시)디페닐술폰, 디에틸렌글리콜 등을 들 수 있다.The diol is not particularly limited and includes, for example, ethylene glycol, trimethylene glycol, tetramethylene glycol, neopentylene glycol, hexamethylene glycol, cyclohexanedimethanol, tricyclodecane dimethylol, 2,2-bis (? -hydroxyethoxyphenyl) propane, 4,4'-bis (? -hydroxyethoxy) diphenylsulfone, diethylene glycol and the like.

폴리에스테르계 수지로서는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트 엘라스토머, 비결정성 폴리에스테르, 폴리시클로헥산테레프탈레이트 등을 들 수 있고, 폴리에틸렌테레프탈레이트가 바람직하다. 또한, 폴리에스테르계 수지는 단독으로 사용될 수도 있고 2종 이상이 병용될 수도 있다.The polyester resin is not particularly limited, and examples thereof include polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polybutylene terephthalate elastomer, amorphous polyester, and polycyclohexane terephthalate, and polyethylene terephthalate desirable. The polyester-based resin may be used alone or in combination of two or more.

폴리에스테르계 수지 필름(41)은 평면 직사각 형상으로 형성되어 있다. 폴리에스테르계 수지 필름(41)의 두께는, 얇으면 이형 시트의 강성이 약해지고, 백킹 시트 적층체의 강성이 약해져서 취급성이 저하되어, 백킹 시트를 정반 상에 배치할 때에 백킹 시트에 주름이 발생할 우려가 있고, 두꺼우면, 이형 시트의 무게가 무거워져서 백킹 시트 적층체의 전체 중량이 무거워지고, 그 결과, 백킹 시트 적층체를 권회 상태로 했을 때에 백킹 시트 적층체의 권회 시단부가 백킹 시트의 표면에 강하게 가압되어, 백킹 시트의 표면에 오목부가 발생하므로, 10 내지 60μm이고, 12 내지 38m가 바람직하고, 15 내지 38μm가 보다 바람직하고, 20 내지 37μm가 특히 바람직하다.The polyester-based resin film 41 is formed in a flat rectangular shape. When the thickness of the polyester-based resin film 41 is thin, the rigidity of the release sheet is weakened, the rigidity of the backing sheet laminate is weakened, and the handling property is deteriorated. When the backing sheet is arranged on the surface of the platen, The weight of the release sheet becomes heavy and the total weight of the backing sheet laminate becomes heavy. As a result, when the backing sheet laminate is in a wound state, when the leading end of the backing sheet laminate is wound on the backing sheet surface It is preferably 10 to 60 占 퐉, more preferably 12 to 38 m, even more preferably 15 to 38 占 퐉, and particularly preferably 20 to 37 占 퐉, because a concave portion is generated on the surface of the backing sheet.

폴리에스테르계 수지 필름(41)의 한 면(제1면)에는 종이 기재(42)가 적층 일체화되어 시트 본체(4a)가 구성되어 있다. 시트 본체(4a)의 일부에 종이 기재를 갖고 있음으로써, 시트 본체와 동일 두께를 갖는 합성 수지 필름보다도 유연해진다. 종이 기재로서는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 글라신지, 상질지, 크라프트지 등을 들 수 있다. 종이 기재(42) 상에는 눈메움층(클레이층)이 적층 일체화되어 있을 수도 있다.On one side (first side) of the polyester-based resin film 41, a paper base material 42 is laminated and integrated to form a sheet main body 4a. Since the paper base material is provided on a part of the sheet main body 4a, it is more flexible than a synthetic resin film having the same thickness as the sheet main body. The paper substrate is not particularly limited, and examples thereof include a gloss paper, a top paper, and a kraft paper. On the paper base material 42, an eye-filling layer (clay layer) may be laminated and integrated.

폴리에스테르계 수지 필름(41)의 한 면에 종이 기재(42)를 적층 일체화하는 방법으로서는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 폴리에스테르계 수지 필름(41)과 종이 기재(42)를 점착제에 의해 적층 일체화하는 방법 등을 들 수 있다.The method of laminating and integrating the paper base material 42 on one side of the polyester based resin film 41 is not particularly limited and a method of laminating the polyester base resin film 41 and the paper base material 42 with a pressure- And a method of integrating them.

시트 본체(4a)의 양면에는 이형제층(43, 43)이 적층 일체화되어 이형 시트(4)가 구성되어 있다. 이형제층(43)을 구성하고 있는 이형제로서는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 실리콘계 이형제, 불소계 이형제, 폴리올레핀계 이형제 등을 들 수 있다. 또한, 시트 본체(4a)의 양측의 이형제층(43, 43)은 동일 또는 상이할 수도 있다.On both sides of the sheet main body 4a, release agent layers 43 and 43 are laminated and integrated to form a release sheet 4. [ The releasing agent constituting the releasing agent layer 43 is not particularly limited, and examples thereof include silicone releasing agents, fluorine releasing agents and polyolefin releasing agents. The release agent layers 43 and 43 on both sides of the sheet main body 4a may be the same or different.

시트 본체(4a)의 양면에 이형제층(43, 43)을 형성하는 방법으로서는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 시트 본체(4a)의 양면에, 이형제를 포함하는 이형제 용액을 도포하고, 건조시킴으로써 시트 본체(4a)의 양면에 이형제층을 적층 일체화하는 방법 등을 들 수 있다.The method of forming the release agent layers 43 and 43 on both surfaces of the sheet main body 4a is not particularly limited. For example, a release agent solution containing a release agent is applied to both surfaces of the sheet main body 4a, And a method of laminating and integrating the release agent layer on both sides of the main body 4a.

또한, 이형 시트(4)에 있어서의 종이 기재(42) 상에 적층 일체화된 이형제층(43)의 표면에는 요철 가공이 실시되어 있을 수도 있다. 이형 시트(4)의 이형제층(43)의 표면에 요철 가공이 실시되어 있음으로써, 백킹 시트 적층체 A를 권회할 때에 이형 시트(4)의 이형제층(43)과, 백킹 시트 적층체 A의 백킹 시트(1)와의 사이의 마찰력이 작아져, 백킹 시트 적층체 A를 느슨하게 권회할 때에 도 6에 도시한 바와 같이, 백킹 시트 적층체 A가 비스듬하게 가거나 또는 사행하여 중심 어긋남이 발생한 경우에 있어서도, 백킹 시트 적층체 A를 그의 폭 방향(권회 방향과 직교하는 방향)으로 손으로 누름으로써 용이하게 중심 어긋남을 교정하여, 백킹 시트 적층체 A를 용이하게 정확한 권회 상태로 할 수 있다. 또한, 이형제층(43)의 표면에 요철 가공을 실시하는 방법으로서는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 종이 기재(42)의 표면에 요철 가공을 실시해 두고, 종이 기재(42)의 표면의 요철 가공이 소실되지 않도록, 종이 기재(42)의 표면을 따라 이형제층(43)을 형성하는 방법을 들 수 있다.The surface of the release agent layer 43, which is laminated and integrated on the paper base material 42 in the release sheet 4, may be subjected to surface irregularities. The releasing agent layer 43 of the release sheet 4 and the release agent layer 43 of the backing sheet laminate A are formed when the backing sheet laminate A is wound when the surface of the release agent layer 43 of the release sheet 4 is subjected to concave- When the backing sheet laminate A is loosely wound because the frictional force between the backing sheet laminate A and the backing sheet 1 is reduced and the backing sheet laminate A is sloped or center-shifted as shown in Fig. 6 , The center shift can be easily corrected by manually pressing the backing sheet laminate A in the width direction thereof (the direction perpendicular to the winding direction), so that the backing sheet laminate A can be easily brought into the correct winding state. The surface of the release agent layer 43 is not particularly limited. For example, the surface of the paper base member 42 may be subjected to surface irregularities so that the surface of the paper base member 42 is subjected to surface irregularities The release agent layer 43 is formed along the surface of the paper base material 42 so as not to be lost.

이형 시트(4)는 직사각 형상으로 형성되고, 백킹 시트(1)와 평면에서 보아 동일 형상이고 또한 동일 크기로 형성되어 있고, 그의 폭은 2.4m 이상, 바람직하게는 2.4 내지 2.6m로 되어 있어, 대면적으로 형성되어 있다. 이형 시트(4)가 직사각 형상인 경우에는 그의 단변이 2.4m 이상인 것이 바람직하고, 2.4 내지 2.6m인 것이 보다 바람직하다. 이형 시트(4)가 정사각 형상인 경우에는 그의 한 변이 2.4m 이상인 것이 바람직하고, 2.4 내지 2.6m인 것이 보다 바람직하다.The release sheet 4 is formed in a rectangular shape and has the same shape and the same size as the backing sheet 1 in plan view and has a width of 2.4 m or more, preferably 2.4 to 2.6 m, And is formed in a large area. When the release sheet 4 has a rectangular shape, its short side is preferably 2.4 m or more, more preferably 2.4 to 2.6 m. When the release sheet 4 has a square shape, one side of the release sheet 4 is preferably 2.4 m or more, more preferably 2.4 to 2.6 m.

이형 시트(4)의 두께는, 두꺼우면, 백킹 시트 적층체의 무게가 무거워져서, 백킹 시트 적층체의 권회 시단부 A1이, 그의 외측에 권회되는 백킹 시트 적층체의 내면(백킹 시트(1))을 강하게 가압하여, 백킹 시트(1)의 표면에 백킹 시트 적층체 A의 권회 시단부 A1에 의한 오목부가 발생한다는 문제점이 발생할 수 있으므로, 190μm 이하이고, 80 내지 180μm가 바람직하고, 80 내지 170μm가 보다 바람직하고, 80 내지 160μm가 특히 바람직하고, 90 내지 140μm가 가장 바람직하다.When the thickness of the release sheet 4 is large, the weight of the backing sheet laminate becomes heavy, so that the leading end portion A1 of the backing sheet laminate is wound on the inner surface of the backing sheet laminate (the backing sheet 1) ) Is strongly pressed to cause a problem that a concave portion due to the winding starting end portion A1 of the backing sheet laminate A is formed on the surface of the backing sheet 1. Therefore, it is preferably 190 占 퐉 or less, preferably 80 to 180 占 퐉, More preferably from 80 to 160 탆, and most preferably from 90 to 140 탆.

이어서, 본 발명의 이형 시트(4)의 사용 요령에 대하여 설명한다. 본 발명의 이형 시트(4)는 도 4에 도시한 바와 같이, 폴리에스테르계 수지 필름(41) 상의 이형제층(43)을 백킹 시트(1)의 점착제층(2) 상에 박리 가능하게 적층되어 사용된다. 또한, 이형 시트(4)는 점착제층(2)의 표면 평활성을 유지하기 위해, 폴리에스테르계 수지 필름(41)이 백킹 시트(1)측이 되도록 백킹 시트(1)의 점착제층(2) 상에 박리 가능하게 적층된다.Next, the use of the release sheet 4 of the present invention will be described. 4, the releasing agent layer 43 on the polyester-based resin film 41 is peelably laminated on the pressure-sensitive adhesive layer 2 of the backing sheet 1 Is used. The release sheet 4 is formed on the pressure-sensitive adhesive layer 2 of the backing sheet 1 so that the polyester-based resin film 41 is on the backing sheet 1 side in order to maintain the surface smoothness of the pressure- As shown in Fig.

그리고, 도 4에 도시한 바와 같이, 백킹 시트(1)의 점착제층(2) 상에 이형 시트(4)가 박리 가능하게 적층되어 형성된 백킹 시트 적층체 A는 그의 수송 시에 있어서, 도 5에 도시한 바와 같이, 백킹 시트(1)를 내측으로 하여 1회 또는 몇 회만 느슨하게 감은 상태로 한 후에 가로로 눕힌 상태로 된다. 도 5에서는 백킹 시트 적층체 A를 1회만 느슨하게 감은 상태를 나타내었다.4, the backing sheet laminate A, in which the release sheet 4 is peelably laminated on the pressure-sensitive adhesive layer 2 of the backing sheet 1, As shown in the drawing, the backing sheet 1 is inwardly pulled into a loosely wound state once or several times, and then laid down horizontally. 5 shows a state in which the backing sheet laminate A is loosely wound only once.

한편, 이형 시트(4)는 그의 전체 두께가 190μm 이하로 되어 있음과 함께 폴리에스테르계 수지 필름의 두께도 10 내지 60μm로 되어 있는 점에서, 이형 시트(4) 자체의 중량이 가볍게 되어 있고, 백킹 시트 적층체 A의 전체 중량도 가볍게 되어 있다. 따라서, 백킹 시트 적층체 A의 권회 시단부 A1이, 백킹 시트 적층체 A의 자중에 의해, 그의 외측에 권회되는 백킹 시트 적층체 A의 내면(백킹 시트(1))을 강하게 가압하는 일은 없고, 따라서, 백킹 시트(1)의 표면에 백킹 시트 적층체 A의 권회 시단부 A1에 의한 오목부가 발생하는 것과 같은 일은 없다.On the other hand, since the total thickness of the release sheet 4 is 190 占 퐉 or less and the thickness of the polyester resin film is 10 to 60 占 퐉, the release sheet 4 itself is light in weight, The total weight of the sheet stacked body A is also lightened. Therefore, the winding start end portion A1 of the backing sheet laminate A does not strongly press the inner surface (backing sheet 1) of the backing sheet laminate A wound around the outer periphery thereof due to the self weight of the backing sheet laminate A, Therefore, there is no case in which the concave portion due to the winding starting end A1 of the backing sheet laminate A is formed on the surface of the backing sheet 1.

또한, 백킹 시트 적층체 A를 그의 백킹 시트(1)를 내측으로 하여 1회 또는 몇 회만 느슨하게 감은 상태로 함에 있어서, 이형 시트(4)는 그의 일부에 폴리에스테르계 수지 필름(41)을 갖고 있는 점에서, 적당한 강성을 갖고 있다.When the backing sheet laminate A is loosely wound once or several times with its backing sheet 1 inward, the release sheet 4 has a polyester-based resin film 41 on a part thereof , It has a suitable rigidity.

따라서, 백킹 시트 적층체 A를 권회함에 있어서, 도 6에 도시한 바와 같이 백킹 시트 적층체 A가 비스듬하게 가거나 또는 사행함에 따른 중심 어긋남을 대략 발생시키지 않고, 백킹 시트 적층체 A를 안정적으로 또한 원활하게 권회할 수 있다.Therefore, when the backing sheet laminate A is wound, it is possible to stably and smoothly smooth the backing sheet laminate A without causing substantial center shifts as the backing sheet laminate A slants or meanders as shown in Fig. .

이어서, 백킹 시트 적층체 A의 사용 요령에 대하여 설명한다. 백킹 시트 적층체 A는 상술한 바와 같이 느슨하게 감긴 상태에 있을 때에는 평면 직사각 형상의 전개 상태로 한다.Next, how to use the backing sheet laminate A will be described. When the backing sheet laminate A is loosely wound as described above, the backing sheet laminate A is in a flat rectangular shape.

도 7에 도시한 바와 같이, 백킹 시트(1)는 그의 한 면(제1면)에 적층 일체화된 점착제층(2)에 의해 연마 장치의 하측의 정반 B 상에 박리 가능하게 고정된 상태로 사용된다. 백킹 시트(1)를 하측의 정반 B 상에 고정하기 위해서는, 우선 백킹 시트 적층체 A를 그의 이형 시트(4)가 하측의 정반 B에 대향한 상태로 하여 하측의 정반 B의 상방에 위치시킨다.As shown in Fig. 7, the backing sheet 1 is used in a state in which the backing sheet 1 is peelably fixed on the base B on the lower side of the polishing apparatus by a pressure-sensitive adhesive layer 2 laminated and integrated on one surface (first surface) do. In order to fix the backing sheet 1 on the lower surface plate B, first, the backing sheet laminate A is placed above the lower surface plate B with its release sheet 4 facing the lower surface plate B.

그 후, 백킹 시트 적층체 A의 이형 시트(4)를 그의 임의의 단부, 바람직하게는 단변측의 단부로부터 서서히 박리하여 백킹 시트(1)의 한 면에 적층 일체화한 점착제층(2)을 순차적으로 노출시킨다. 이 노출시킨 점착제층(2)을 백킹 시트(1)의 단부로부터 순차적으로 하측의 정반 B 상에 박리 가능하게 접착시켜 간다.Thereafter, the release sheet 4 of the backing sheet laminate A is gradually peeled from any end, preferably the end on the side of the short side, so that the pressure-sensitive adhesive layer 2, which is laminated and integrated on one surface of the backing sheet 1, Lt; / RTI > Sensitive adhesive layer 2 is peelably adhered on the lower surface of the base plate B sequentially from the end of the backing sheet 1. [

이때, 백킹 시트 적층체 A에 있어서, 점착제층(2) 위로부터 이형 시트(4)를 박리한 부분 이외의 부분에는 점착제층(2) 상에 이형 시트(4)가 박리 가능하게 적층되어 있는 점에서, 백킹 시트 적층체 A는 적당한 강성을 갖고 있고, 백킹 시트 적층체 A를 안정적으로 보유 지지하면서, 백킹 시트(1)를 하측의 정반 B 상에 안정적으로 접착, 고정시킬 수 있다.At this time, in the backing sheet laminate A, the release sheet 4 is peelably laminated on the pressure-sensitive adhesive layer 2 at a portion other than the portion where the release sheet 4 is peeled from above the pressure-sensitive adhesive layer 2 The backing sheet laminate A has an appropriate rigidity and can stably adhere and fix the backing sheet 1 on the lower backing plate B while stably holding the backing sheet laminate A. [

그리고, 연마 장치의 하측의 정반 B 상에 백킹 시트(1)를 박리 가능하게 접착, 고정한 후, 이 백킹 시트(1) 상에 피연마물 C를 적재, 고정한다. 이어서, 피연마물 C 상에 연마 슬러리를 적하하면서, 하측의 정반 B를 회전시켜 피연마물 C를 회전시킨다. 또한, 연마 장치의 상측의 정반 D에 연마포 E를 고정시킨다. 상측의 정반 D를 하측의 정반 B와 반대 방향으로 회전시키면서, 연마포 E를 피연마물 C에 가압함으로써, 피연마물 C의 표면을 연마포 E로 연마한다.After the backing sheet 1 is peelably adhered and fixed on the base plate B on the lower side of the polishing apparatus, the object C is placed on the backing sheet 1 and fixed. Subsequently, while the polishing slurry is dropped onto the object C, the object B is rotated to rotate the object C to be processed. Further, the polishing cloth E is fixed to the base plate D on the upper side of the polishing apparatus. The surface of the object C to be polished is polished with the polishing cloth E while the upper surface plate D is rotated in the direction opposite to the lower surface plate B while the polishing cloth E is pressed against the object C to be polished.

백킹 시트(1)의 표면에는 그의 수송시 또는 보관 시에 있어서, 1회 또는 몇 회만 느슨하게 감은 상태로 되어 있었을 경우에 있어서도 백킹 시트(1)의 표면에 요철은 발생하지 않고, 백킹 시트(1) 상에 피연마물 C를 안정적으로 적재, 고정시킬 수 있고, 피연마물 C를 연마포 E에 의해 안정적으로 또한 고정밀도로 연마할 수 있다.Even when the backing sheet 1 is loosely wrapped once or several times during transportation or storage thereof, unevenness does not occur on the surface of the backing sheet 1, It is possible to stably load and fix the object C to be polished on the polishing cloth E and polish the object C stably and with high accuracy by the polishing cloth E.

본 발명의 이형 시트는 상술한 바와 같은 구성을 갖고 있고, 그의 일부에 두께가 10 내지 60μm인 폴리에스테르계 수지 필름을 갖고 있는 점에서, 중량이 가벼움에도 불구하고 적당한 강성을 갖고 있다.The release sheet of the present invention has the above-described structure and has a suitable rigidity in spite of its light weight because it has a polyester resin film having a thickness of 10 to 60 탆 in a part thereof.

따라서, 본원 발명의 이형 시트를 사용하여 얻어진 백킹 시트 적층체는 그의 중량을 가볍게 할 수 있다. 백킹 시트 적층체를 1회 또는 몇 회만 느슨하게 권회시켜 가로로 눕힌 상태로 한 경우에 있어서도, 백킹 시트 적층체의 권회 시단부가, 그의 외측에 권회되는 백킹 시트 적층체의 백킹 시트의 표면에 백킹 시트 적층체 자체의 자중에 의해 강하게 가압되는 것과 같은 일은 없고, 백킹 시트의 표면에 요철이 예측치 않게 발생하는 것과 같은 일은 없다.Therefore, the backing sheet laminate obtained using the release sheet of the present invention can lighten its weight. Even when the backing sheet laminated body is loosely wound once or several times, the back end of the backing sheet laminate is wound on the outside of the back end of the backing sheet laminate, There is no such thing as being strongly pressed by the weight of the sieve itself, and there is no case that unevenness is unexpectedly generated on the surface of the backing sheet.

따라서, 표면이 평활한 백킹 시트 상에 피연마물을 안정적으로 적재시킬 수 있어, 피연마물의 연마를 안정적으로 또한 고정밀도로 행할 수 있다.Therefore, it is possible to stably load the object to be polished on the backing sheet having a smooth surface, and to polish the object to be polished stably and with high accuracy.

또한, 상기 이형 시트에 있어서, 종이 기재 상에 형성된 이형제층의 표면에 요철 가공이 실시되어 있는 경우에는 백킹 시트 적층체를 권회했을 때에, 백킹 시트와 이형 시트의 이형제층과의 마찰을 저감할 수 있다. 따라서, 백킹 시트 적층체를 권회했을 때에, 백킹 시트 적층체에 중심 어긋남이 발생한 경우에 있어서도, 백킹 시트 적층체를 그의 권회 방향에 직교하는 방향으로 손으로 가압함으로써, 백킹 시트 적층체의 중심 어긋남을 용이하게 교정하여, 백킹 시트 적층체를 용이하게 정확한 상태로 권회할 수 있다.In the case where the surface of the release agent layer formed on the paper base material is subjected to unevenness processing in the release sheet, the friction between the backing sheet and the release agent layer of the release sheet can be reduced when the backing sheet laminate is wound have. Therefore, even when a center shift occurs in the backing sheet laminate when the backing sheet laminate is wound, the backing sheet laminate is manually pressed in the direction orthogonal to the winding direction of the backing sheet laminate so that the center shift of the backing sheet laminate So that the backing sheet laminate can be easily wound in an accurate state.

도 1은 백킹 시트와 이 백킹 시트의 한 면(제1면)에 적층 일체화된 점착제층을 나타낸 단면도이다.
도 2는 백킹 시트와 이 백킹 시트의 한 면(제1면)에 적층 일체화된 점착제층의 다른 일례를 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 이형 시트를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 백킹 시트 적층체를 나타낸 단면도이다.
도 5는 백킹 시트 적층체의 권회 상태를 나타낸 사시도이다.
도 6은 백킹 시트 적층체에 중심 어긋남을 발생시킨 상태를 나타낸 사시도이다.
도 7은 백킹 시트의 사용 상태를 나타낸 모식 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a backing sheet and a pressure-sensitive adhesive layer laminated and integrated on one surface (first surface) of the backing sheet.
2 is a cross-sectional view showing another example of a backing sheet and a pressure-sensitive adhesive layer laminated and integrated on one surface (first surface) of the backing sheet.
3 is a sectional view showing a release sheet of the present invention.
4 is a cross-sectional view showing the backing sheet laminate of the present invention.
5 is a perspective view showing the winding state of the backing sheet laminate.
6 is a perspective view showing a state in which a center shift is generated in the backing sheet laminate.
7 is a schematic sectional view showing the use state of the backing sheet.

이하에, 본 발명을 그의 구체적인 실시예를 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은 이하의 실시예로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to specific examples thereof. The present invention is not limited to the following examples.

(실시예 1 내지 11, 비교예 1 내지 3)(Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 3)

표면에 기포의 단면이 노출되어 이루어지는 폴리우레탄계 수지 발포 시트로 구성된 백킹재(두께: 800μm)로부터 한 변이 3500mm인 평면 정사각 형상의 백킹 시트(1)를 잘라내었다.A backsheet 1 having a square square shape with a side length of 3,500 mm was cut out from a backing material (thickness: 800 mu m) composed of a polyurethane resin foam sheet in which a cross section of bubbles was exposed on the surface.

한 변이 3500mm인 평면 정사각 형상이고 또한 두께가 75μm인 폴리에스테르계 수지 필름(도요보사제 상품명 「E5200」)의 양면에 코로나 방전 처리를 실시한 후, 폴리에스테르계 수지 필름의 양면에, 아크릴계 점착제를 함유하는 점착제 용액을 도포하여 건조시켜, 폴리에스테르계 수지 필름의 양면에 두께가 50μm인 아크릴계 점착제층(32, 32)이 적층 일체화되어 이루어지는 양면 점착 테이프(3)를 제조하였다.A polyester resin film (E5200, trade name, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a flat square shape with a side length of 3500 mm and a thickness of 75 탆 was subjected to corona discharge treatment on both sides of the polyester resin film, Sensitive adhesive solution was applied and dried to produce a double-faced pressure-sensitive adhesive tape (3) in which acrylic pressure-sensitive adhesive layers (32, 32) having a thickness of 50 m were laminated and integrated on both sides of a polyester-

양면에 코로나 방전 처리가 실시되고 또한 표 1에 나타낸 두께를 갖는 한 변이 3500mm인 평면 정사각 형상의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(41)의 한 면(제1면)에, 아크릴계 점착제를 함유하는 점착제 용액을 도포하고, 건조시켜 표 1에 나타낸 두께의 점착제층을 형성하였다. 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(41)은 비발포 필름이었다. 이 점착제층 상에, 표 1에 나타낸 두께를 갖는 글라신지를 중첩하여, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(41)의 한 면(제1면)에 글라신지를 적층 일체화하여 표 1에 나타낸 두께를 갖는 시트 본체(4a)를 제조하였다. 또한, 표 1에 있어서, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 「PET 필름」이라 표기하였다.A pressure sensitive adhesive solution containing an acrylic pressure-sensitive adhesive was applied to one surface (first surface) of a flat square-shaped polyethylene terephthalate film 41 having corona discharge treatment on both sides and having a thickness of 3500 mm and a thickness shown in Table 1 And dried to form a pressure-sensitive adhesive layer having a thickness shown in Table 1. The polyethylene terephthalate film 41 was a non-foaming film. Glue paper having a thickness shown in Table 1 was superimposed on this pressure-sensitive adhesive layer to laminate and integrate a glue paper on one surface (first surface) of the polyethylene terephthalate film 41 to obtain a sheet body (4a). In Table 1, the polyethylene terephthalate film is referred to as " PET film ".

이어서, 시트 본체(4a)의 양면에, 이형제 용액(신에츠 가가쿠사제 상품명 「KS-847T」)을 도포하고, 건조시켜서, 시트 본체(4a)의 양면에 표 1에 나타낸 두께를 갖는 이형제층을 적층 일체화하여, 표 1에 나타낸 두께를 갖는 이형 시트(4)를 제조하였다.Subsequently, a releasing agent solution (trade name " KS-847T " manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was applied to both surfaces of the sheet main body 4a and dried to form a release agent layer having a thickness shown in Table 1 on both surfaces of the sheet main body 4a Thereby obtaining a release sheet (4) having the thickness shown in Table 1.

상기 양면 점착 테이프(3)의 한쪽 점착제층(32) 상에 이형 시트(4)를 그의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(41)이 양면 점착 테이프(3)측이 되도록 박리 가능하게 적층시킨 후, 양면 점착 테이프(3)의 다른 쪽 점착제층(32)을 백킹 시트(1)의 한 면(제1면)에 접착 일체화시켜서 백킹 시트 적층체 A를 제조하였다.The release sheet 4 was laminated on one adhesive layer 32 of the double-faced pressure-sensitive adhesive tape 3 in such a manner that the polyethylene terephthalate film 41 thereof could be peeled from the double-faced pressure-sensitive adhesive tape 3, The other pressure-sensitive adhesive layer 32 of the backing sheet 3 was adhered and integrated to one surface (first surface) of the backing sheet 1 to prepare a backing sheet laminate A.

얻어진 백킹 시트 적층체 A에 대하여, 요철의 발생 및 휨을 다음의 요령으로 측정하고, 그 결과를 표 1에 나타내었다.With respect to the obtained backing sheet laminate A, the occurrence and warpage of the unevenness were measured by the following measures, and the results are shown in Table 1. [

〔요철의 발생(1회 권취)〕[Occurrence of unevenness (once wound)]

얻어진 백킹 시트 적층체 A를 도 5에 도시한 바와 같이 느슨하게 한 바퀴만 권회시켰다. 백킹 시트 적층체의 권회 시단부 A1이, 그의 외측에 권회된 백킹 시트 적층체의 백킹 시트의 표면에 접촉한 상태로 되어 있었다. 백킹 시트 적층체 A의 권회 시단부 A1이 최하방에 위치한 가로로 눕힌 상태에서 72시간에 걸쳐 방치하였다.As shown in Fig. 5, the obtained backing sheet laminate A was wound only once in a loosened manner. The starting end portion A1 of the backing sheet laminate was brought into contact with the surface of the backing sheet of the backing sheet laminated body wound on the outside thereof. The starting end A1 of the backing sheet laminate A was left standing for 72 hours in a state where it was laid horizontally at the lowest position.

이어서, 백킹 시트 적층체 A를 전개하여 백킹 시트의 표면을 육안 관찰하고, 백킹 시트의 표면에, 백킹 시트 적층체의 권회 시단부에 의한 요철이 발생했는지의 여부를 확인하고, 하기 기준에 기초하여 평가하였다.Subsequently, the backing sheet laminate A was opened to visually observe the surface of the backing sheet, and it was confirmed on the surface of the backing sheet whether irregularities due to the winding start portion of the backing sheet laminate occurred or not. Based on the following criteria Respectively.

A… 백킹 시트의 표면에 백킹 시트 적층체의 권회 시단부에 의한 요철이 발생하지 않았다.A ... The surface of the backing sheet did not have irregularities due to the winding start portion of the backing sheet laminate.

B… 백킹 시트의 표면에 백킹 시트 적층체의 권회 시단부에 의한 요철이 발생하였다.B ... Irregularities due to the winding start portion of the backing sheet laminate occurred on the surface of the backing sheet.

〔요철의 발생(3회 권취)〕[Occurrence of unevenness (3 times of winding)]

요철의 발생(1회 권취)에 있어서 평가가 「A」가 된 백킹 적층체에 대하여 가혹한 조건으로 설정한 다음의 평가를 행하였다. 백킹 시트 적층체 A를 느슨하게 3중으로 권회하였다. 백킹 시트 적층체의 권회 시단부 A1이, 그의 외측에 권회된 백킹 시트 적층체의 백킹 시트의 표면에 접촉한 상태로 되어 있었다. 백킹 시트 적층체 A의 권회 시단부 A1이 최하방에 위치한 가로로 눕힌 상태에서 72시간에 걸쳐 방치하였다.A backing laminate whose evaluation was " A " in the generation of unevenness (once wound) was set to a severe condition and then evaluated. The backing sheet laminate A was wound loosely in triplicate. The starting end portion A1 of the backing sheet laminate was brought into contact with the surface of the backing sheet of the backing sheet laminated body wound on the outside thereof. The starting end A1 of the backing sheet laminate A was left standing for 72 hours in a state where it was laid horizontally at the lowest position.

이어서, 백킹 시트 적층체 A를 전개하여 백킹 시트의 표면을 육안 관찰하고, 백킹 시트의 표면에, 백킹 시트 적층체의 권회 시단부에 의한 요철이 발생했는지의 여부를 확인하고, 하기 기준에 기초하여 평가하였다.Subsequently, the backing sheet laminate A was opened to visually observe the surface of the backing sheet, and it was confirmed on the surface of the backing sheet whether irregularities due to the winding start portion of the backing sheet laminate occurred or not. Based on the following criteria Respectively.

A… 백킹 시트의 표면에 백킹 시트 적층체의 권회 시단부에 의한 요철이 발생하지 않았다.A ... The surface of the backing sheet did not have irregularities due to the winding start portion of the backing sheet laminate.

B… 백킹 시트의 표면에 백킹 시트 적층체의 권회 시단부에 의한 요철이 발생하였다.B ... Irregularities due to the winding start portion of the backing sheet laminate occurred on the surface of the backing sheet.

〔휨〕〔warp〕

A… 가로로 눕힌 상태의 백킹 시트 적층체 A를 안아서 이동시켰을 때에 백킹 시트 적층체 A가 휘는 일없이 보유 지지할 수 있어, 정반 상에 용이하게 고정할 수 있었다. 또한, 백킹 시트를 이동시킨 것에 수반되는 주름은 관찰되지 않았다.A ... The backing sheet laminate A can be held without being warped when the backing sheet laminate A in a transversely laid state is held while being moved, and can be easily fixed on the surface of the back sheet. Further, wrinkles accompanying the movement of the backing sheet were not observed.

B… 가로로 눕힌 상태의 백킹 시트 적층체 A를 안아서 이동시켰을 때에 백킹 시트 적층체 A가 전체적으로 휘는 일은 있지만, 적어도 보유 지지할 수 있어, 정반 상에 고정할 수 있었다. 또한, 백킹 시트를 이동시킨 것에 수반되는 주름은 관찰되지 않았다.B ... When the backing sheet laminate A in a transversely laid state was held and moved, although the backing sheet laminate A was warped as a whole, at least the backing sheet laminate A could be held and can be fixed on the base plate. Further, wrinkles accompanying the movement of the backing sheet were not observed.

Figure pct00001
Figure pct00001

(관련 출원의 상호 참조)(Cross reference of related application)

본 출원은 2013년 9월 5일에 출원된 일본 특허 출원 제2013-184388호에 기초한 우선권을 주장하고, 이 출원의 개시는 이들 전체를 참조함으로써 본 명세서에 도입된다.The present application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2013-184388 filed on September 5, 2013, the disclosure of which is incorporated herein by reference in its entirety.

본 발명의 이형 시트는 연마 장치의 피연마물과 정반과의 사이에 개재시켜 사용되는 백킹 시트 상에 적층 일체화된 점착제층을 보호하기 위해 사용된다.The release sheet of the present invention is used for protecting a laminated and integrated pressure-sensitive adhesive layer on a backing sheet used to be interposed between an object to be polished and a surface of a polishing apparatus.

1: 백킹 시트
2: 점착제층
3: 양면 점착 테이프
4: 이형 시트
4a: 시트 본체
31: 테이프 기재
32: 점착제층
41: 폴리에스테르계 수지 필름
42: 종이 기재
43: 이형제층
A: 백킹 시트 적층체
A1: 권회 시단부
B: 정반
C: 피연마물
D: 정반
E: 연마포1: backing sheet
2: Pressure-sensitive adhesive layer
3: Double-sided adhesive tape
4: Release sheet
4a:
31: tape substrate
32: pressure-sensitive adhesive layer
41: Polyester-based resin film
42: paper substrate
43: Release agent layer
A: Backing sheet laminate
A1:
B: Plate
C:
D: Plate
E: abrasive cloth

Claims (4)

피연마물과 정반과의 사이에 개재시켜 사용되는 백킹 시트 상에 적층 일체화된 점착제층 상에 박리 가능하게 배치하여 사용되는 이형 시트이며, 두께가 10 내지 60μm인 폴리에스테르계 수지 필름 및 상기 폴리에스테르계 수지 필름 상에 적층 일체화된 종이 기재를 포함하는 시트 본체와, 상기 시트 본체의 양면에 적층 일체화된 이형제층을 포함하고, 직사각 형상이고 또한 폭이 2.4m 이상, 전체의 두께가 190μm 이하인 것을 특징으로 하는 이형 시트.A polyester-based resin film having a thickness of 10 to 60 占 퐉 and a polyester-based resin film having a thickness of 10 to 60 占 퐉 and a polyester-based resin film having a thickness of 10 to 60 占 퐉, And a release agent layer laminated and integrated on both surfaces of the sheet main body, wherein the release agent layer has a rectangular shape and a width of 2.4 m or more and a total thickness of 190 m or less Release sheet. 제1항에 있어서, 폴리에스테르계 수지 필름이 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 이형 시트.The release sheet according to claim 1, wherein the polyester-based resin film comprises a polyethylene terephthalate film. 제1항 또는 제2항에 있어서, 종이 기재 상에 형성된 이형제층의 표면에 요철 가공이 실시되어 있는 것을 특징으로 하는 이형 시트.The release sheet according to claim 1 or 2, wherein the surface of the release agent layer formed on the paper substrate is subjected to a roughening treatment. 피연마물과 정반과의 사이에 개재시켜 사용되는 백킹 시트와, 상기 백킹 시트 상에 적층 일체화된 점착제층과, 상기 점착제층 상에 박리 가능하게 적층된 이형 시트를 포함하고, 상기 이형 시트는 두께가 10 내지 60μm인 폴리에스테르계 수지 필름 및 상기 폴리에스테르계 수지 필름 상에 적층 일체화된 종이 기재를 포함하는 시트 본체와, 상기 시트 본체의 양면에 적층 일체화된 이형제층을 포함하고, 상기 이형 시트는 직사각 형상이고 또한 폭이 2.4m 이상, 전체의 두께가 190μm 이하인 것을 특징으로 하는 백킹 시트 적층체.A backing sheet used interposed between the object to be polished and a platen; a pressure-sensitive adhesive layer laminated and integrated on the backing sheet; and a release sheet laminated on the pressure-sensitive adhesive layer so as to be able to be peeled off, And a releasing agent layer laminated and integrated on both surfaces of the sheet body, wherein the releasing agent sheet has a rectangular shape with a rectangular shape And a width of 2.4 m or more and a total thickness of 190 m or less.
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