JP5398376B2

JP5398376B2 - Holding pad

Info

Publication number: JP5398376B2
Application number: JP2009149097A
Authority: JP
Inventors: 吉見望月; 栄利兵頭; 貴宏久米
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd; Fujibo Holdins Inc
Current assignee: Fujibo Holdins Inc; AGC Inc
Priority date: 2009-06-23
Filing date: 2009-06-23
Publication date: 2014-01-29
Anticipated expiration: 2029-06-23
Also published as: CN102802873B; KR20120109994A; TW201100202A; JP2011005562A; WO2010150326A1; CN102802873A; KR101585706B1; TWI450795B

Description

本発明は保持パッドに係り、特に、被研磨物を保持するための樹脂製のシート材を備えた保持パッドに関する。 The present invention relates to a holding pad, and more particularly to a holding pad provided with a resin sheet material for holding an object to be polished.

従来、レンズ、平行平面板、反射ミラー等の光学材料、シリコンウェハ、ハードディスク用基板や液晶ディスプレイ用ガラス基板等の材料では、高精度な平坦性が要求されているため、研磨パッドを使用した研磨加工が行われている。通常、研磨加工には、被研磨物の両面を同時に研磨加工する両面研磨機や被研磨物を片面ずつ研磨加工する片面研磨機等が使用されている。両面研磨機では、表面が平坦な上下定盤にそれぞれ貼付した研磨パッドに被研磨物の両面を当接させ研磨粒子等を含む研磨液を供給しながら研磨加工が行われる。一方、片面研磨機では、保持定盤に装着された保持パッドに被研磨物の一面側を保持させて、研磨定盤に貼付した研磨パッドにより、研磨液を供給しながら被研磨物の他面側に研磨加工が行われる。このとき、保持パッドで保持された被研磨物が研磨加工中に移動し、加工表面の平坦性が損なわれることがある。被研磨物の移動を防止するため、型枠（テンプレート）等に被研磨物を挿入して研磨加工が行われている。 Conventionally, optical materials such as lenses, plane-parallel plates, reflection mirrors, and materials such as silicon wafers, hard disk substrates, and glass substrates for liquid crystal displays have been required to have high precision flatness. Processing is in progress. In general, a double-side polishing machine that simultaneously polishes both surfaces of an object to be polished, a single-side polishing machine that polishes an object to be polished one side at a time, and the like are used for polishing. In the double-side polishing machine, the polishing process is performed while supplying both the surfaces of the object to be polished to a polishing pad affixed to an upper and lower surface plate having a flat surface and supplying a polishing liquid containing abrasive particles and the like. On the other hand, in a single-side polishing machine, one side of the object to be polished is held by a holding pad mounted on a holding surface plate, and the other surface of the object to be polished is supplied with the polishing liquid by the polishing pad attached to the polishing surface plate. Polishing is performed on the side. At this time, the object to be polished held by the holding pad may move during the polishing process, and the flatness of the processed surface may be impaired. In order to prevent the movement of the object to be polished, polishing is performed by inserting the object to be polished into a mold (template) or the like.

被研磨物、特に液晶ディスプレイ用ガラス基板では、液晶ディスプレイの大型化に伴い、ガラス基板が大型化する傾向にある。例えば、板厚１ｍｍ、外寸１．５ｍ×１．８ｍのガラス基板が研磨加工されるため、ガラス基板等の被研磨物を型枠に挿入することが難しい。そのため、型枠を用いることなく被研磨物を保持することができ平坦性の高い大型の保持パッドが求められている。また、シリコンウェハでは、研磨加工の効率向上を目的として、複数の材料を同時に研磨加工する技術が進められている。この場合でも、研磨加工に使用する保持パッドを大型化することが必要とされている。例えば、１辺の長さが２０００ｍｍを超える矩形状や直径２０００ｍｍを超える円形状の保持パッドが開発されている。 In an object to be polished, particularly a glass substrate for a liquid crystal display, the glass substrate tends to increase in size as the liquid crystal display increases in size. For example, since a glass substrate having a plate thickness of 1 mm and an outer dimension of 1.5 m × 1.8 m is polished, it is difficult to insert an object to be polished such as a glass substrate into a mold. Therefore, there is a demand for a large holding pad that can hold an object to be polished without using a mold and has high flatness. For silicon wafers, a technique for simultaneously polishing a plurality of materials is being promoted for the purpose of improving the efficiency of the polishing process. Even in this case, it is necessary to increase the size of the holding pad used for polishing. For example, a rectangular holding pad having a side length exceeding 2000 mm and a circular holding pad exceeding 2000 mm has been developed.

通常、保持パッドには、保持定盤に装着するために、基材を有する両面テープが用いられている。ところが、一枚の両面テープで保持パッドを保持定盤に貼着すると、保持パッドと保持定盤の間の空気の噛み込みやしわ等が形成されるおそれがある。また、保持パッドは保持定盤の正確な位置に貼着される必要があり、再度貼り直すことができないため、貼着作業は非常に困難である。保持パッドの大型化に対応するため、１辺の長さや直径が２０００ｍを超えるような一枚の大型の両面テープが求められている。この大型の両面テープで保持パッドを保持定盤に貼着すると、貼着作業はますます困難となる。そこで、現状では複数の両面テープを並列して貼り合わせ、それぞれの両面テープを順番に貼り合わせることで大型化に対応している。 Usually, a double-sided tape having a base material is used for the holding pad in order to attach it to the holding surface plate. However, if the holding pad is adhered to the holding surface plate with a single double-sided tape, there is a possibility that air entrainment or wrinkles between the holding pad and the holding surface plate may be formed. In addition, the holding pad needs to be attached to an accurate position of the holding surface plate and cannot be attached again, so that the attaching work is very difficult. In order to cope with an increase in the size of the holding pad, there is a demand for a single large-sized double-sided tape whose side length and diameter exceed 2000 m. When the holding pad is attached to the holding surface plate with this large double-sided tape, the attaching operation becomes more difficult. Therefore, at present, a plurality of double-sided tapes are bonded in parallel, and each double-sided tape is sequentially bonded to cope with an increase in size.

一方、保持パッドは、被研磨物を保持するための樹脂製のシート材を備えている。樹脂製シート材は、ポリウレタン樹脂を水混和性の有機溶媒に溶解させた樹脂溶液をシート状の成膜基材に塗布後、水系凝固液中で樹脂を凝固再生させること（湿式成膜法）で製造される。製造されたシート材の表面には緻密な微多孔が形成された厚さ数μｍ程度の表面層（スキン層）が形成される。緻密に形成された微多孔のため、スキン層の表面はミクロな平坦性を有している。このスキン層が被研磨物との接触性に優れるため、被研磨物の保持が可能となる。すなわち、スキン層の表面が被研磨物を保持するための保持面となる。ところが、湿式成膜法では、樹脂溶液が粘性を有するため、成膜基材への塗布時に厚さバラツキが生じると共に、凝固再生時に有機溶媒と水系凝固液との置換により厚さバラツキが生じやすい。このため、シート材自体の表面のマクロな平坦性が損なわれる（大きく波打った表面となる）。そのため、スキン層のミクロな平坦性を残したまま、厚さバラツキを減少させてマクロな平坦性を向上させることが重要である。スキン層を残したまま、厚さバラツキを低減するために、例えば、シート材の保持面の背面側にバフ処理を施す技術が開示されている（特許文献１参照）。 On the other hand, the holding pad includes a resin sheet material for holding an object to be polished. For resin sheet materials, a resin solution in which a polyurethane resin is dissolved in a water-miscible organic solvent is applied to a sheet-like film-forming substrate, and then the resin is coagulated and regenerated in an aqueous coagulation liquid (wet film-forming method). Manufactured by. On the surface of the manufactured sheet material, a surface layer (skin layer) having a thickness of about several μm on which fine micropores are formed is formed. Due to the fine pores formed densely, the surface of the skin layer has micro flatness. Since this skin layer is excellent in contact with the object to be polished, the object to be polished can be held. That is, the surface of the skin layer becomes a holding surface for holding the object to be polished. However, in the wet film formation method, since the resin solution has viscosity, thickness variation occurs during application to the film formation substrate, and thickness variation easily occurs due to replacement of the organic solvent and the aqueous coagulation liquid during solidification regeneration. . For this reason, the macro flatness of the surface of the sheet material itself is impaired (the surface becomes greatly wavy). Therefore, it is important to improve the macro flatness by reducing the thickness variation while maintaining the micro flatness of the skin layer. In order to reduce the thickness variation while leaving the skin layer, for example, a technique for buffing the back side of the holding surface of the sheet material is disclosed (see Patent Document 1).

特開２００６−６２０５９号公報JP 2006-62059 A

しかしながら、特許文献１の技術では、シート材の保持面の背面側をバフ処理することで、スキン層を残したまま、シート材の厚みをほぼ一様にすることができるものの、保持パットの大型化への対応については言及されていない。現状では、保持パッドの大型化への対応として、保持パッドを保持定盤に貼着しやすくするために、基材を有する複数の両面テープを並べて貼り合わせている。これでは、運搬時等にそれぞれ基材を有する両面テープの途切れ目部分で折れ曲がり、シート材にキズ等が生じる可能性がある。また、保持定盤への装着時には、両面テープ等の途切れ目部分でシート材が伸ばされることがあり、シート材の両面にしわや窪みが形成されて凹凸が生じることとなる。このような凹凸が生じた状態の保持パッドを用いて研磨加工を行うと、被研磨物に段差が転写されてスジ等が生じるため、被研磨物の表面を平坦化することが難しくなる。 However, in the technique of Patent Document 1, although the thickness of the sheet material can be made almost uniform while leaving the skin layer by buffing the back side of the holding surface of the sheet material, the size of the holding pad is large. There is no mention of how to deal with it. At present, in order to cope with an increase in the size of the holding pad, a plurality of double-sided tapes having a base material are aligned and bonded together so that the holding pad can be easily attached to the holding surface plate. In this case, the double-sided tape having the base material may be bent at the discontinuous portions during transportation, and scratches may occur on the sheet material. Further, at the time of mounting on the holding surface plate, the sheet material may be stretched at a discontinuous portion such as a double-sided tape, and wrinkles and dents are formed on both surfaces of the sheet material, resulting in unevenness. When polishing is performed using a holding pad having such unevenness, a level difference is transferred to the object to be polished and streaks or the like are generated, making it difficult to flatten the surface of the object to be polished.

本発明は上記事案に鑑み、大型化しても平坦性を確保しつつ全面を保持定盤に装着することができる保持パッドを提供することを課題とする。 An object of the present invention is to provide a holding pad capable of mounting the entire surface on a holding surface plate while ensuring flatness even when the size is increased.

上記課題を解決するために、本発明は、被研磨物を保持するための保持面を有する樹脂製のシート材と、前記シート材の保持面の背面側に貼り合わされた一面を有しており、粘着性を有する複数の第１の粘着部材が隣接するように配された第１の粘着層と、定盤に装着するための一面を有しており、粘着性を有する複数の第２の粘着部材が隣接するように配された第２の粘着層と、前記第１の粘着層と第２の粘着層との間に介在し、一面が前記第１の粘着層の他面に貼り合わされ、他面が前記第２の粘着層の他面に貼り合わされた樹脂基材と、を備え、前記第１の粘着部材および前記第２の粘着部材は、粘着剤のみで構成され対向する２辺の長さが１０００ｍｍ以上のノンサポート型粘着テープであり、前記樹脂基材は、前記一面および他面がそれぞれ連続した面であることを特徴とする保持パッドである。 In order to solve the above-described problems, the present invention has a resin sheet material having a holding surface for holding an object to be polished, and one surface bonded to the back side of the holding surface of the sheet material. The first adhesive layer arranged so that the plurality of first adhesive members having adhesiveness are adjacent to each other, and one surface for mounting on the surface plate, and the plurality of second adhesive layers having adhesiveness A second adhesive layer disposed so that the adhesive members are adjacent to each other, and the first adhesive layer and the second adhesive layer are interposed, and one surface is bonded to the other surface of the first adhesive layer. A resin base material bonded to the other surface of the second pressure-sensitive adhesive layer, and the first pressure-sensitive adhesive member and the second pressure-sensitive adhesive member are composed of only a pressure-sensitive adhesive and face each other. of a non-support type adhesive tape over 1000mm in length, wherein the resin substrate, the one surface and the other surface A holding pad, characterized in that each is continuous surface.

本発明では、第１の粘着層を複数の第１の粘着部材で構成し、第２の粘着層を複数の第２の粘着部材で構成したことで、シート材が大型化しても全面で定盤に装着することができると共に、第１の粘着層と第２の粘着層との間に、一面および他面がそれぞれ連続した面の樹脂基材を介在させたことで、樹脂基材がシート材を全面で支持する機能を果たし、搬送時や定盤への装着時の折れ曲がりや、保持面のしわ形成が抑制され、第１の粘着部材および第２の粘着部材を、粘着剤のみで構成され対向する２辺の長さが１０００ｍｍ以上のノンサポート型粘着テープとしたことで、粘着部材の境界と粘着部材との剛性差や段差が低減されるため、保持面の平坦性を確保することができる。 In the present invention, the first pressure-sensitive adhesive layer is composed of a plurality of first pressure-sensitive adhesive members, and the second pressure-sensitive adhesive layer is composed of a plurality of second pressure-sensitive adhesive members. The resin base material can be mounted on a board, and the resin base material is a sheet by interposing a resin base material having a continuous surface on one side and the other side between the first adhesive layer and the second adhesive layer. It functions to support the entire surface, suppresses bending and wrinkle formation on the holding surface during transportation and mounting on the surface plate, and the first adhesive member and the second adhesive member are composed of only the adhesive. by two sides the length of the opposing been set to more non-support type adhesive tape 1000 mm, to ensure because the reduced stiffness difference and level difference between the boundary and the adhesion member of the adhesive member, the flatness of the holding surface Can do.

この場合において、粘着剤は、アクリル系、ウレタン系、エポキシ系の粘着剤から選択される少なくとも１種を用いることができる。第２の粘着層の一面側は、複数の第２の粘着部材の表面が、それぞれ剥離可能なセパレータで覆われていることが好ましい。このような保持パッドは、シート材および樹脂基材が合同な形状であり、対向する２辺の長さが２０００ｍｍ以上の矩形状または直径が２０００ｍｍ以上の円形状でも対応可能である。保持パッドは、第１の粘着層と、樹脂基材と、第２の粘着層とが予め貼り合わされたものであることが好適である。また、複数の第２の粘着部材の境界部分同士が、複数の第１の粘着部材の境界部分同士と樹脂基材を介して厚さ方向と交差する方向で同じ位置に配されていてもよい。 In this case, viscosity Chakuzai can be used at least one selected from acrylic, urethane, epoxy-based adhesive. As for the one surface side of the 2nd adhesion layer, it is preferred that the surface of a plurality of 2nd adhesion members is each covered with a peelable separator. Such a holding pad has a congruent shape of the sheet material and the resin base material, and can be applied to a rectangular shape having a length of two opposing sides of 2000 mm or more or a circular shape having a diameter of 2000 mm or more. The holding pad is preferably one in which the first adhesive layer, the resin base material, and the second adhesive layer are bonded together in advance. Further, the boundary portions of the plurality of second adhesive members may be arranged at the same position in the direction intersecting the thickness direction via the resin base material with the boundary portions of the plurality of first adhesive members. .

本発明によれば、第１の粘着層を複数の第１の粘着部材で構成し、第２の粘着層を複数の第２の粘着部材で構成したことで、シート材が大型化しても全面で定盤に装着することができると共に、第１の粘着層と第２の粘着層との間に、一面および他面がそれぞれ連続した面の樹脂基材を介在させたことで、樹脂基材がシート材を全面で支持する機能を果たし、搬送時や定盤への装着時の折れ曲がりや、保持面のしわ形成が抑制され、第１の粘着部材および第２の粘着部材を、粘着剤のみで構成され対向する２辺の長さが１０００ｍｍ以上のノンサポート型粘着テープとしたことで、粘着部材の境界と粘着部材との剛性差や段差が低減されるため、保持面の平坦性を確保することができる。 According to the present invention, the first pressure-sensitive adhesive layer is constituted by a plurality of first pressure-sensitive adhesive members, and the second pressure-sensitive adhesive layer is constituted by a plurality of second pressure-sensitive adhesive members. Can be mounted on the surface plate, and a resin base material having a surface on which one surface and the other surface are continuous is interposed between the first adhesive layer and the second adhesive layer. Fulfills the function of supporting the sheet material over its entire surface, prevents bending at the time of conveyance and mounting on the surface plate, and wrinkle formation of the holding surface, and the first adhesive member and the second adhesive member can be used only as an adhesive. by in the two sides the length of which faces the configuration is the more non-support type adhesive tape 1000 mm, ensuring order, the flatness of the holding surface rigidity difference or level difference between the boundary and the adhesion member of the adhesive member is reduced can do.

本発明を適用した実施形態の保持パッドを模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the holding pad of embodiment to which this invention is applied. 実施形態の保持パッドの作製に使用したラミネート機を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the laminating machine used for preparation of the holding pad of embodiment.

以下、図面を参照して、本発明を適用した保持パッドの実施の形態について説明する。 Hereinafter, embodiments of a holding pad to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings.

（構成）
図１に示すように、本実施形態の保持パッド１０は、略平坦な保持面Ｐを有するシート材としてのウレタンシート２と、ウレタンシート２を研磨機の保持定盤に装着するための装着シート７と、を備えている。 (Constitution)
As shown in FIG. 1, the holding pad 10 of this embodiment includes a urethane sheet 2 as a sheet material having a substantially flat holding surface P, and a mounting sheet for mounting the urethane sheet 2 on a holding surface plate of a polishing machine. 7.

ウレタンシート２は、１００％モジュラス（２倍長に引っ張る時の応力）が２０ＭＰａ以下のポリウレタン樹脂で湿式成膜法により形成されている。ウレタンシート２は、保持面Ｐの背面（反対面）側が、ウレタンシート２の厚さ（図１の縦方向の長さ）がほぼ一様となるようにバフ処理されている。ウレタンシート２は、保持面Ｐ側に不図示の緻密な微多孔が形成されたスキン層８を有している。スキン層８の表面はミクロな平坦性を有している。スキン層８より内側（ウレタンシート２の内部）には、スキン層８の微多孔より大きい孔径でウレタンシート２の厚さ方向に沿って丸みを帯びた断面三角状の大気孔３が略均等に形成されている。大気孔３の孔径は、保持面Ｐ側の大きさが、保持面Ｐと反対の面側より小さく形成されている。大気孔３同士の間のポリウレタン樹脂中では、スキン層８の微多孔より大きく大気孔３より小さい孔径の図示を省略した小気孔が形成されている。スキン層８の微多孔、大気孔３および小気孔は連通孔で網目状につながっている。すなわち、ウレタンシート２は、連続状のセル構造を有している。保持面Ｐの反対面側がバフ処理されているため、大気孔３および図示を省略した小気孔の一部が保持面Ｐの反対面側の表面で開孔している。 The urethane sheet 2 is formed of a polyurethane resin having a 100% modulus (stress when pulled twice) of 20 MPa or less by a wet film forming method. The urethane sheet 2 is buffed on the back surface (opposite surface) side of the holding surface P so that the thickness (length in the vertical direction in FIG. 1) of the urethane sheet 2 is substantially uniform. The urethane sheet 2 has a skin layer 8 in which dense micropores (not shown) are formed on the holding surface P side. The surface of the skin layer 8 has micro flatness. Inside the skin layer 8 (inside the urethane sheet 2), the air holes 3 having a triangular diameter that is rounder along the thickness direction of the urethane sheet 2 and having a larger pore diameter than the fine pores of the skin layer 8 are substantially even. Is formed. The diameter of the air hole 3 is such that the size on the holding surface P side is smaller than the surface side opposite to the holding surface P. In the polyurethane resin between the air holes 3, small pores that are larger than the fine porosity of the skin layer 8 and smaller than the air holes 3 are omitted. The fine pores, the atmospheric pores 3 and the small pores of the skin layer 8 are connected in a mesh shape with communication holes. That is, the urethane sheet 2 has a continuous cell structure. Since the opposite surface side of the holding surface P is buffed, the air holes 3 and some of the small pores (not shown) are opened on the surface on the opposite surface side of the holding surface P.

装着シート７は、一面側がウレタンシート２と貼り合わされる第１の粘着層としての粘着シート４と、保持定盤に装着するための一面を有する第２の粘着層としての粘着シート６とを有している。粘着シート４と粘着シート６との間には樹脂基材５が介在している。樹脂基材５は、一面側が粘着シート４の他面側と貼り合わされ、他面側が粘着シート６の他面側と貼り合わされている。粘着シート４は、２つのノンサポテープ４１、４２（第１の粘着部材）が境界Ｄ１で隣接するように配されている。一方、粘着シート６は、２つのノンサポテープ６１、６２（第２の粘着部材）が境界Ｄ２で隣接するように配されている。すなわち、境界Ｄ１および境界Ｄ２は、樹脂基材５を介して厚さ方向と交差する方向で同じ位置に配されている。換言すれば、保持面Ｐ側から見たときに、境界Ｄ１および境界Ｄ２が重なるように配されている。ノンサポテープ４１、４２の間に形成される間隙（境界Ｄ１の幅）およびノンサポテープ６１、６２の間に形成される間隙（境界Ｄ２の幅）は、２ｍｍ以内に設定されている。ノンサポテープ６１、６２の一面側は、それぞれセパレータ６１ａ、６２ａで覆われている。 The mounting sheet 7 has a pressure-sensitive adhesive sheet 4 as a first pressure-sensitive adhesive layer that is bonded to the urethane sheet 2 on one side, and a pressure-sensitive adhesive sheet 6 as a second pressure-sensitive adhesive layer having one surface for mounting on a holding surface plate. doing. A resin base material 5 is interposed between the pressure-sensitive adhesive sheet 4 and the pressure-sensitive adhesive sheet 6. As for the resin base material 5, the one surface side is bonded together with the other surface side of the adhesive sheet 4, and the other surface side is bonded with the other surface side of the adhesive sheet 6. The pressure-sensitive adhesive sheet 4 is arranged such that two non-support tapes 41 and 42 (first pressure-sensitive adhesive member) are adjacent to each other at a boundary D1. On the other hand, the adhesive sheet 6 is arranged so that the two non-support tapes 61 and 62 (second adhesive member) are adjacent to each other at the boundary D2. That is, the boundary D <b> 1 and the boundary D <b> 2 are arranged at the same position in the direction intersecting the thickness direction via the resin base material 5. In other words, the boundary D1 and the boundary D2 are arranged so as to overlap when viewed from the holding surface P side. The gap formed between the non-support tapes 41 and 42 (the width of the boundary D1) and the gap formed between the non-support tapes 61 and 62 (the width of the boundary D2) are set within 2 mm. One surface side of the non-support tapes 61 and 62 is covered with separators 61a and 62a, respectively.

粘着シート４を構成するノンサポテープ４１は、粘着剤のみでシート状に形成された、基材を有していないテープ（ノンサポート型粘着テープ）である。ノンサポテープ４２は、ノンサポテープ４１と同じ構成で形成されている。ノンサポテープ４１、４２には、いずれも、同質のアクリル系粘着剤が用いられている。また、ノンサポテープ４１、４２は、厚さおよび幅が同じに形成されており、同一面を形成している。粘着シート４では、一面側がウレタンシート２の保持面Ｐの背面側と貼り合わされており、他面側が樹脂基材５の一面側と貼り合わされている。 The non-support tape 41 constituting the pressure-sensitive adhesive sheet 4 is a tape (non-support type pressure-sensitive adhesive tape) that is formed in a sheet shape only with a pressure-sensitive adhesive and does not have a base material. The non-support tape 42 is formed with the same configuration as the non-support tape 41. The non-support tapes 41 and 42 are made of the same acrylic adhesive. Further, the non-support tapes 41 and 42 are formed to have the same thickness and width, and form the same surface. In the pressure-sensitive adhesive sheet 4, one surface side is bonded to the back surface side of the holding surface P of the urethane sheet 2, and the other surface side is bonded to the one surface side of the resin base material 5.

粘着シート６を構成するノンサポテープ６１は、ノンサポテープ４１と同様に、粘着剤のみでシート状に形成された、基材を有していないテープである。ノンサポテープ６１の一面側、すなわち、定盤に装着するための一面側は、保持パッド１０の保管時や搬送時にノンサポテープ６１を保護するために、セパレータ６１ａで覆われている。ノンサポテープ６２は、ノンサポテープ６１と同じ構成で形成されている。すなわち、ノンサポテープ６２は一面側がセパレータ６２ａで覆われている。ノンサポテープ６１、６２には、いずれも、同質のゴム系粘着剤が用いられている。粘着シート６は、保持パッドを定盤に固定する役割を果たし、研磨による負荷が大きいため、粘着シート４で用いたアクリル系粘着剤より強力なゴム系粘着剤が用いられる。ノンサポテープ６１、６２は、厚さおよび幅が同じに形成されており、同一面を形成している。粘着シート６では、一面側がそれぞれセパレータ６１ａ、６２ａで覆われており、他面側が樹脂基材５の他面側と貼り合わされている。セパレータ６１ａ、６２ａの境界部分は、ノンサポテープ６１、６２の境界部分と厚さ方向と交差する方向で同じ位置に配されている。 Similar to the non-support tape 41, the non-support tape 61 constituting the pressure-sensitive adhesive sheet 6 is a tape that is formed in a sheet shape using only an adhesive and does not have a base material. One side of the non-support tape 61, that is, one side for mounting on the surface plate, is covered with a separator 61a in order to protect the non-support tape 61 when the holding pad 10 is stored or transported. The non-support tape 62 is formed with the same configuration as the non-support tape 61. That is, the non-support tape 62 is covered on one side with the separator 62a. For the non-support tapes 61 and 62, the same rubber adhesive is used. The pressure-sensitive adhesive sheet 6 serves to fix the holding pad to the surface plate and has a large load due to polishing. Therefore, a rubber-based pressure-sensitive adhesive stronger than the acrylic pressure-sensitive adhesive used in the pressure-sensitive adhesive sheet 4 is used. The non-support tapes 61 and 62 are formed to have the same thickness and width, and form the same surface. In the adhesive sheet 6, one surface side is covered with separators 61 a and 62 a, and the other surface side is bonded to the other surface side of the resin base material 5. The boundary portions of the separators 61a and 62a are arranged at the same position in the direction intersecting with the boundary portions of the non-support tapes 61 and 62 and the thickness direction.

樹脂基材５は、ポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと略記する。）製の基材である。樹脂基材５は、粘着シート４と粘着シート６との間に介在している。すなわち、樹脂基材５は、一面側が粘着シート４の他面側と貼り合わされ、他面側が粘着シート６の他面側と貼り合わされている。樹脂基材５は、ウレタンシート２と同じ大きさを有する１枚のシートで形成されており、一面および他面がそれぞれ連続した略平坦面である。すなわち、樹脂基材５は、ウレタンシート２と合同な形状である。このため、樹脂基材５は、ウレタンシート２を全面で支持する働きをしている。 The resin substrate 5 is a substrate made of polyethylene terephthalate (hereinafter abbreviated as PET). The resin base material 5 is interposed between the adhesive sheet 4 and the adhesive sheet 6. That is, one side of the resin base material 5 is bonded to the other surface side of the pressure-sensitive adhesive sheet 4, and the other surface side is bonded to the other surface side of the pressure-sensitive adhesive sheet 6. The resin base material 5 is formed of one sheet having the same size as the urethane sheet 2 and is a substantially flat surface in which one surface and the other surface are continuous. That is, the resin base material 5 has a congruent shape with the urethane sheet 2. For this reason, the resin base material 5 has the function which supports the urethane sheet 2 in the whole surface.

（製造）
保持パッド１０は、ウレタンシート２および装着シート７をそれぞれ作製し、貼り合わせることで製造される。以下、ウレタンシート２の作製、装着シート７の作製、貼り合わせの順に説明する。 (Manufacturing)
The holding pad 10 is manufactured by producing and bonding the urethane sheet 2 and the mounting sheet 7 respectively. Hereinafter, the production of the urethane sheet 2, the production of the mounting sheet 7, and the bonding will be described in this order.

〈ウレタンシートの作製〉
ウレタンシート２は、樹脂溶液を調製する準備ステップ、樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液中でポリウレタン樹脂をフィルム状に凝固再生させる凝固再生ステップ、凝固再生したポリウレタン樹脂を洗浄し乾燥させてウレタンシート２を得る洗浄・乾燥ステップ、乾燥後のウレタンシート２の保持面Ｐの反対面側に厚みを均一化させるようにバフ処理を施す平滑化処理ステップを経て作製される。 <Production of urethane sheet>
The urethane sheet 2 includes a preparation step for preparing a resin solution, a coagulation regeneration step in which the resin solution is continuously applied to a film-forming substrate, and a polyurethane resin is coagulated and regenerated into a film form in an aqueous coagulation liquid. Are washed and dried to obtain a urethane sheet 2, and a smoothing process step is performed to buff the surface of the urethane sheet 2 after drying so as to make the thickness uniform on the opposite side. The

準備ステップでは、ポリウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒のＮ、Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと略記する。）および添加剤を混合してポリウレタン樹脂を溶解させる。ポリウレタン樹脂には、１００％モジュラスが２０ＭＰａ以下のポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から選択して用い、例えば、ポリウレタン樹脂が３０％となるようにＤＭＦに溶解させる。添加剤としては、大気孔３の大きさや量（個数）を制御するカーボンブラック等の顔料、発泡を促進させる親水性活性剤およびポリウレタン樹脂の凝固再生を安定化させる疎水性活性剤等を用いることができる。得られた溶液を減圧下で脱泡して樹脂溶液を調製する。 In the preparation step, the polyurethane resin is dissolved by mixing the polyurethane resin, N, N-dimethylformamide (hereinafter abbreviated as DMF), which is a water-miscible organic solvent capable of dissolving the polyurethane resin, and an additive. For the polyurethane resin, a polyester-based, polyether-based, or polycarbonate-based resin having a 100% modulus of 20 MPa or less is used. For example, the polyurethane resin is dissolved in DMF so that the polyurethane resin becomes 30%. As additives, pigments such as carbon black for controlling the size and amount (number) of the air holes 3, a hydrophilic activator for promoting foaming, and a hydrophobic activator for stabilizing the coagulation regeneration of the polyurethane resin are used. Can do. The obtained solution is degassed under reduced pressure to prepare a resin solution.

凝固再生ステップでは、準備ステップで調製した樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液中でポリウレタン樹脂をフィルム状に凝固再生させる。樹脂溶液は、塗布装置により常温下で帯状の成膜基材に略均一に塗布される。塗布装置には、本例では、ナイフコータが用いられる。このとき、ナイフコータと成膜基材との間隙（クリアランス）を調整することで、樹脂溶液の塗布厚さ（塗布量）が調整される。成膜基材には、可撓性フィルム、不織布、織布等を用いることができる。本例では、成膜基材としてＰＥＴ製フィルムが用いられる。 In the coagulation regeneration step, the resin solution prepared in the preparation step is continuously applied to the film forming substrate, and the polyurethane resin is coagulated and regenerated into a film in an aqueous coagulation solution. The resin solution is applied substantially uniformly to the belt-shaped film-forming substrate at room temperature by a coating apparatus. In this example, a knife coater is used as the coating device. At this time, the application thickness (application amount) of the resin solution is adjusted by adjusting the gap (clearance) between the knife coater and the film forming substrate. A flexible film, a nonwoven fabric, a woven fabric, etc. can be used for the film-forming substrate. In this example, a PET film is used as the film forming substrate.

成膜基材に塗布された樹脂溶液は、ポリウレタン樹脂に対して貧溶媒である水を主成分とする凝固液に浸漬される。凝固液中では、まず、塗布された樹脂溶液の表面にスキン層８を構成する微多孔が厚さ数μｍ程度にわたって形成される。その後、樹脂溶液中のＤＭＦと凝固液との置換の進行によりポリウレタン樹脂が成膜基材の片面にフィルム状に凝固再生する。ＤＭＦが樹脂溶液から脱溶媒し、ＤＭＦと凝固液とが置換することにより、スキン層８より内側のポリウレタン樹脂中には、大気孔３および小気孔が形成され、大気孔３および小気孔が網目状に連通する連通孔が形成される。このとき、成膜基材のＰＥＴ製フィルムが水を浸透させないため、樹脂溶液の表面側（スキン層８側）で脱溶媒が生じて成膜基材側が表面側より大きな大気孔３が形成される。 The resin solution applied to the film forming substrate is immersed in a coagulation liquid containing water as a main component as a poor solvent for the polyurethane resin. In the coagulation liquid, first, micropores constituting the skin layer 8 are formed on the surface of the applied resin solution over a thickness of about several μm. Thereafter, the polyurethane resin coagulates and regenerates into a film form on one surface of the film forming substrate as the substitution of the DMF in the resin solution with the coagulating liquid proceeds. When DMF is desolvated from the resin solution and DMF and the coagulating liquid are replaced, air holes 3 and small pores are formed in the polyurethane resin inside the skin layer 8, and the air holes 3 and the small pores are meshed. A communication hole communicating in a shape is formed. At this time, since the PET film of the film formation substrate does not allow water to permeate, desolvation occurs on the surface side (skin layer 8 side) of the resin solution, and air holes 3 having a film formation substrate side larger than the surface side are formed. The

洗浄・乾燥ステップでは、凝固再生した帯状（長尺状）のポリウレタン樹脂を洗浄した後乾燥させる。すなわち、ポリウレタン樹脂は、成膜基材から剥離され、水等の洗浄液中で洗浄されてポリウレタン樹脂中に残留するＤＭＦが除去される。洗浄後、ポリウレタン樹脂を乾燥機等で乾燥させる。本例では、乾燥機として、内部に熱源を有するシリンダを備えたシリンダ乾燥機が用いられる。ポリウレタン樹脂がシリンダの周面に沿って通過することで乾燥する。平滑化処理ステップでは、乾燥後のポリウレタン樹脂の厚みが均一となるように、スキン層の反対面側にバフ処理が施される。本例では、平滑化処理後、ポリウレタン樹脂が幅２０００ｍｍに裁断され、ローラで巻き取られ、ウレタンシート２が得られる。 In the washing and drying step, the coagulated and regenerated band-like (long-form) polyurethane resin is washed and then dried. That is, the polyurethane resin is peeled off from the film forming substrate and washed in a cleaning liquid such as water to remove DMF remaining in the polyurethane resin. After washing, the polyurethane resin is dried with a dryer or the like. In this example, a cylinder dryer provided with a cylinder having a heat source inside is used as the dryer. The polyurethane resin is dried by passing along the peripheral surface of the cylinder. In the smoothing treatment step, a buff treatment is performed on the opposite surface side of the skin layer so that the thickness of the polyurethane resin after drying is uniform. In this example, after the smoothing treatment, the polyurethane resin is cut into a width of 2000 mm and wound with a roller to obtain the urethane sheet 2.

〈装着シートの作製〉
装着シート７の作製では、まず、粘着シート４を構成する粘着テープ４１、４２と、粘着シート６を構成する粘着テープ６１、６２と、樹脂基材５とをそれぞれ準備する。ラミネート機（詳細後述）を用いて樹脂基材５に粘着シート６および粘着シート４を貼り合わせて作製する。 <Preparation of mounting sheet>
In producing the mounting sheet 7, first, the pressure-sensitive adhesive tapes 41 and 42 that constitute the pressure-sensitive adhesive sheet 4, the pressure-sensitive adhesive tapes 61 and 62 that constitute the pressure-sensitive adhesive sheet 6, and the resin base material 5 are prepared. The pressure-sensitive adhesive sheet 6 and the pressure-sensitive adhesive sheet 4 are bonded to the resin base material 5 using a laminating machine (described later in detail).

粘着シート４のノンサポテープ４１、４２、および、粘着シート６のノンサポテープ６１、６２は、いずれもテープ幅１０００ｍｍ、厚さ５５μｍに設定されている。ノンサポテープ４１、４２には、粘着剤の両表面側がそれぞれセパレータで覆われたものが用いられる。ノンサポテープ６１、６２には、保持定盤に装着するための一面側がセパレータ６１ａ、６２ａで、他面側がセパレータでそれぞれ覆われたものが用いられる。樹脂基材５は、幅２０００ｍｍ、厚さ７５μｍに設定されている。すなわち、樹脂基材５は、ウレタンシート２と同じ幅のものが用いられる。樹脂基材５は、一面および他面が連続した平坦面のＰＥＴ基材である。セパレータには、ＰＥＴ製樹脂シートや紙等を用いることができる。なお、セパレータに剥離しやすいように離型処理を施してもよい。 The non-support tapes 41 and 42 of the pressure-sensitive adhesive sheet 4 and the non-support tapes 61 and 62 of the pressure-sensitive adhesive sheet 6 are both set to have a tape width of 1000 mm and a thickness of 55 μm. As the non-support tapes 41 and 42, those in which both surface sides of the adhesive are respectively covered with separators are used. As the non-support tapes 61 and 62, ones whose one side for mounting on the holding surface plate is covered with separators 61a and 62a and the other side is covered with a separator are used. The resin base material 5 is set to a width of 2000 mm and a thickness of 75 μm. That is, the resin substrate 5 having the same width as the urethane sheet 2 is used. The resin base material 5 is a flat PET base material in which one surface and the other surface are continuous. A PET resin sheet, paper, or the like can be used for the separator. In addition, you may give a mold release process so that it may peel easily to a separator.

図２に示すように、ラミネート機９０は、２つのノンサポテープをそれぞれ供給するための２つのテープ供給ローラ９５と、樹脂基材５にノンサポテープを加圧して貼着するための１対の加圧ローラ９３とを備えている。すなわち、ラミネート機９０は、２つのノンサポテープをそれぞれ２つのテープ供給ローラ９５で供給可能な２軸ラミネータである。ローラ９５は、２つのノンサポテープを並べて供給するように、加圧ローラ９３の上方に配置されている。テープ供給ローラ９５の上流側には、ノンサポテープのセパレータを回収するためのローラ９１が配置され、テープ供給ローラ９５と加圧ローラ９３との間には、テープのテンションをコントロールする役割を兼ねる搬送ローラ９６が配置されている。加圧ローラ９３の上流側には、供給側として、樹脂基材５を供給する基材供給ローラ９２が配置されている。基材供給ローラ９２と加圧ローラ９３との間には、搬送ローラ９７が配置されている。加圧ローラ９３の下流側には、ノンサポテープが貼着された樹脂基材５を巻き取るためのローラ９４が配置されている。加圧ローラ９３とローラ９４との間には、搬送ローラ９８が配置されている。 As shown in FIG. 2, the laminating machine 90 includes two tape supply rollers 95 for supplying two non-support tapes, respectively, and a pair of additions for pressing and adhering the non-support tape to the resin base material 5. And a pressure roller 93. That is, the laminating machine 90 is a biaxial laminator that can supply two non-support tapes with two tape supply rollers 95 respectively. The roller 95 is disposed above the pressure roller 93 so as to supply two non-support tapes side by side. On the upstream side of the tape supply roller 95, a roller 91 for collecting the separator of the non-support tape is disposed, and between the tape supply roller 95 and the pressure roller 93, conveyance that also serves to control the tension of the tape A roller 96 is disposed. A base material supply roller 92 for supplying the resin base material 5 is disposed on the upstream side of the pressure roller 93 as a supply side. A conveyance roller 97 is disposed between the base material supply roller 92 and the pressure roller 93. On the downstream side of the pressure roller 93, a roller 94 for winding the resin base material 5 to which the non-support tape is attached is disposed. A conveying roller 98 is disposed between the pressure roller 93 and the roller 94.

ラミネータ機９０では、テープ供給ローラ９５から引き出されたノンサポテープ６１、６２が搬送ローラ９６を介して搬送される。ノンサポテープ６１、６２の他面側のセパレータが剥離され、剥離されたセパレータがローラ９１でロール状に巻き取られる。他面側のセパレータが剥離されたノンサポテープ６１、６２は、加圧ローラ９３側に搬送される。一方、樹脂基材５が基材供給ローラ９２から加圧ローラ９３側に搬送され、樹脂基材５の他面とノンサポテープ６１、６２の他面とが接触する。ノンサポテープ６１、６２および樹脂基材５が加圧ローラ９３間を通過することで加圧されて、樹脂基材５の他面にノンサポテープ６１、６２の他面が貼着される。ノンサポテープ６１、６２が貼着された樹脂基材５は、搬送ローラ９８を介して搬送されローラ９４に巻き取られる。ノンサポテープ６１、６２の間に形成される間隙（境界Ｄ２の幅）が２ｍｍ以内になるように、ノンサポテープ６１、６２の位置が赤外線レーザーで制御されている。同様にして、ノンサポテープ４１、４２を樹脂基材５の一面側に貼着し、装着シート７を作製する。このとき、ノンサポテープ４１、４２の境界Ｄ１を、樹脂基材５を介してノンサポテープ６１、６２の境界Ｄ２と厚さ方向と交差する方向で同じ位置に配されるように貼着する。 In the laminator 90, the non-support tapes 61 and 62 drawn from the tape supply roller 95 are transported via the transport roller 96. The separator on the other surface side of the non-support tapes 61 and 62 is peeled off, and the peeled separator is wound up in a roll shape by the roller 91. The non-support tapes 61 and 62 from which the separator on the other side has been peeled are conveyed to the pressure roller 93 side. On the other hand, the resin base material 5 is conveyed from the base material supply roller 92 to the pressure roller 93 side, and the other surface of the resin base material 5 and the other surfaces of the non-support tapes 61 and 62 come into contact with each other. The non-support tapes 61 and 62 and the resin base material 5 are pressed by passing between the pressure rollers 93, and the other surfaces of the non-support tapes 61 and 62 are adhered to the other surface of the resin base material 5. The resin base material 5 to which the non-support tapes 61 and 62 are adhered is conveyed through the conveyance roller 98 and wound around the roller 94. The positions of the non-support tapes 61 and 62 are controlled by an infrared laser so that the gap (the width of the boundary D2) formed between the non-support tapes 61 and 62 is within 2 mm. Similarly, the non-support tapes 41 and 42 are attached to one surface side of the resin base material 5 to produce the mounting sheet 7. At this time, the boundary D1 of the non-support tapes 41 and 42 is pasted so as to be arranged at the same position in the direction intersecting the boundary D2 of the non-support tapes 61 and 62 and the thickness direction via the resin base material 5.

〈貼り合わせ〉
作製したウレタンシート２と装着シート７とを一対の加圧ローラを備えたラミネート機を用いて貼り合わせる。すなわち、ウレタンシート２と装着シート７とがそれぞれ加圧ローラに向けて供給される。このとき装着シート７のセパレータが剥離される。加圧ローラ間を通過させることでウレタンシート２と装着シート７とを加圧して貼り合わせる。装着シート７が貼着されたウレタンシート２がロール状に巻き取られる。その後、長さ２０００ｍｍに裁断し、汚れや異物等の付着がないことを確認する等の検査を行い、長さ２０００ｍｍ、幅２０００ｍｍの大型の保持パッド１０を完成させる。 <Lamination>
The produced urethane sheet 2 and the mounting sheet 7 are bonded together using a laminating machine equipped with a pair of pressure rollers. That is, the urethane sheet 2 and the mounting sheet 7 are respectively supplied toward the pressure roller. At this time, the separator of the mounting sheet 7 is peeled off. The urethane sheet 2 and the mounting sheet 7 are pressed and bonded together by passing between the pressure rollers. The urethane sheet 2 to which the mounting sheet 7 is attached is wound up in a roll shape. Then, it is cut into a length of 2000 mm, and an inspection such as confirming that there is no adhesion of dirt or foreign matter is performed to complete a large holding pad 10 having a length of 2000 mm and a width of 2000 mm.

保持パッド１０を保持定盤に装着するときは、セパレータ６１ａ、６２ａを取り外し、露出したノンサポテープ６１、６２で保持定盤に貼着する。このとき、２枚のセパレータ６１ａ、６２ａを順次取り外して、ノンサポテープ６１、６２を１枚分ずつ順に貼着することで、位置ズレや空気の噛み込みを発生することなく正確に定盤に貼着することができる。研磨加工時には、研磨粒子を含む研磨液（スラリ）を供給しながら、保持された被研磨物が研磨される。 When the holding pad 10 is attached to the holding surface plate, the separators 61a and 62a are removed and the exposed non-support tapes 61 and 62 are attached to the holding surface plate. At this time, the two separators 61a and 62a are sequentially removed, and the non-support tapes 61 and 62 are attached one by one in order, so that they can be accurately attached to the surface plate without causing displacement or air entrapment. Can be worn. During the polishing process, the object to be polished is polished while supplying a polishing liquid (slurry) containing abrasive particles.

（作用等）
次に、本実施形態の保持パッド１０の作用等について、装着シート７の作用を中心に説明する。 (Action etc.)
Next, the operation and the like of the holding pad 10 of the present embodiment will be described focusing on the operation of the mounting sheet 7.

本実施形態の保持パッド１０では、粘着シート４が２つのノンサポテープ４１、４２で構成され、粘着シート６が２つのノンサポテープ６１、６２で構成されている。このため、保持パッド１０が大型化してもウレタンシート２と装着シート７を貼り合わせるときに、しわ等の発生を抑制することができる。また、粘着シート６を構成する２つのノンサポテープ６１、６２を順に保持定盤に貼着することで、位置ズレを生じることなく正確に保持定盤に装着することができる。 In the holding pad 10 of the present embodiment, the adhesive sheet 4 is composed of two non-support tapes 41 and 42, and the adhesive sheet 6 is composed of two non-support tapes 61 and 62. For this reason, even if the holding pad 10 is enlarged, when the urethane sheet 2 and the mounting sheet 7 are bonded together, generation of wrinkles and the like can be suppressed. Further, by attaching the two non-support tapes 61 and 62 constituting the adhesive sheet 6 to the holding surface plate in order, the adhesive sheet 6 can be accurately mounted on the holding surface plate without causing a positional shift.

また、本実施形態の保持パッド１０では、粘着シート４と粘着シート６との間に、樹脂基材５が介在している。樹脂基材５は、ウレタンシート２と同じ大きさで、一面および他面がそれぞれ連続した略平坦面であるため、樹脂基材５が、ウレタンシート２を全面で支持する機能を果たす。そのため、保持パッド１０の搬送時や定盤への装着時に、ウレタンシート２の保持面Ｐ側のしわ等の形成が抑制される。従って、保持面Ｐの平坦性が確保されるので、被研磨物を平坦に保持することができ、被研磨物の平坦性向上を図ることができる。 In the holding pad 10 of the present embodiment, the resin base material 5 is interposed between the pressure-sensitive adhesive sheet 4 and the pressure-sensitive adhesive sheet 6. Since the resin base material 5 is the same size as the urethane sheet 2 and is a substantially flat surface in which one surface and the other surface are continuous, the resin base material 5 functions to support the urethane sheet 2 over the entire surface. Therefore, formation of wrinkles on the holding surface P side of the urethane sheet 2 is suppressed when the holding pad 10 is transported or mounted on the surface plate. Therefore, since the flatness of the holding surface P is ensured, the object to be polished can be held flat, and the flatness of the object to be polished can be improved.

更に、本実施形態の保持パッド１０では、粘着シート４と粘着シート６との間に、一面および他面がそれぞれ連続した略平坦面である樹脂基材５が介在している。すなわち、樹脂基材５は、ウレタンシート２に対して合同な形状である。樹脂基材５は、弾性を有する柔軟なウレタンシート２を支持するため、搬送時や保持定盤への装着時の折れ曲がり等を抑制することができる。また、保持パッド１０を大型化しても、保持定盤への貼着作業や保持パッドの交換時の剥離作業を容易にすることができる。 Furthermore, in the holding pad 10 of this embodiment, the resin base material 5 which is a substantially flat surface in which one surface and the other surface are continuous is interposed between the pressure-sensitive adhesive sheet 4 and the pressure-sensitive adhesive sheet 6. That is, the resin base material 5 has a congruent shape with respect to the urethane sheet 2. Since the resin base material 5 supports the flexible urethane sheet 2 having elasticity, it is possible to suppress bending or the like during transportation or mounting on the holding surface plate. Moreover, even if the holding pad 10 is enlarged, the attaching operation to the holding surface plate and the peeling operation at the time of exchanging the holding pad can be facilitated.

また更に、本実施形態の保持パッド１０では、粘着シート６を構成するノンサポテープ６１、６２の境界部分Ｄ２が、粘着シート４を構成するノンサポテープ４１、４２の境界部分Ｄ１と樹脂基材５を介して厚さ方向と交差する方向で同じ位置に配されている。換言すれば、ノンサポテープ４１、４２、および、ノンサポテープ６１、６２はいずれも同じ幅と長さに設定されている。そのため、装着シート７の作製時に、粘着シート４および粘着シート６のそれぞれで、同じ幅のノンサポテープを用いればよく、部材管理を容易にすることができる。また、ノンサポテープは粘着剤のみで形成され、基材を有していない。従来の基材を有する両面テープを使用した場合、ウレタンシートの保持面に両面テープの境界に沿って凹みが形成される。これは、両面テープの基材がウレタンシートや粘着剤と比べて高い剛性を有し、また基材分の厚みが増すことにより、境界と両面テープの剛性差や段差が拡大し、ウレタンシートに転写されるためである。ノンサポテープを使用することにより、境界と両面テープの剛性差や段差が低減されることで、保持パッドの保持面の平坦性を向上させることができる。 Furthermore, in the holding pad 10 of this embodiment, the boundary part D2 of the non-support tapes 61 and 62 constituting the adhesive sheet 6 is connected to the boundary part D1 of the non-support tapes 41 and 42 constituting the adhesive sheet 4 and the resin base material 5. It is arranged at the same position in the direction crossing the thickness direction. In other words, the non-support tapes 41 and 42 and the non-support tapes 61 and 62 are all set to the same width and length. Therefore, when the mounting sheet 7 is manufactured, the non-support tape having the same width may be used for each of the pressure-sensitive adhesive sheet 4 and the pressure-sensitive adhesive sheet 6, and member management can be facilitated. Moreover, the non-support tape is formed only with an adhesive and does not have a base material. When a double-sided tape having a conventional substrate is used, a recess is formed along the boundary of the double-sided tape on the holding surface of the urethane sheet. This is because the base material of the double-sided tape has a higher rigidity than the urethane sheet and adhesive, and the thickness difference between the boundary and the double-sided tape is increased by increasing the thickness of the base material. This is because it is transferred. By using a non-support tape, the difference in rigidity between the boundary and the double-sided tape is reduced, and the flatness of the holding surface of the holding pad can be improved.

更にまた、本実施形態の保持パッド１０では、境界Ｄ１および境界Ｄ２の幅、すなわち、隣接するノンサポテープ４１、４２の間に形成された間隙、および、隣接するノンサポテープ６１、６２の間に形成された隙間は２ｍｍ以下に設定されている。境界Ｄ１および境界Ｄ２の幅が２ｍｍを超えると保持パッド１０の保持面Ｐに段差が生じ、被研磨物を平坦に保持することが難しくなる。境界Ｄ１および境界Ｄ２の幅を２ｍｍ以内に設定することで、ノンサポテープ間の段差による保持面Ｐへの影響を低減でき、被研磨物を平坦に保持することができる。境界Ｄ１および境界Ｄ２の幅を狭めることで、被研磨物の平坦性を保持できることを考慮すれば、境界Ｄ１および境界Ｄ２の幅は１ｍｍ以内とすることが好ましい。 Furthermore, in the holding pad 10 of the present embodiment, the width of the boundary D1 and the boundary D2, that is, the gap formed between the adjacent non-support tapes 41 and 42, and between the adjacent non-support tapes 61 and 62 are formed. The gap formed is set to 2 mm or less. When the width of the boundary D1 and the boundary D2 exceeds 2 mm, a step is generated on the holding surface P of the holding pad 10, and it becomes difficult to hold the object to be polished flat. By setting the width of the boundary D1 and the boundary D2 within 2 mm, the influence on the holding surface P due to the step between the non-support tapes can be reduced, and the object to be polished can be held flat. Considering that the flatness of the object to be polished can be maintained by narrowing the widths of the boundaries D1 and D2, the widths of the boundaries D1 and D2 are preferably within 1 mm.

なお、本実施形態の保持パッド１０では、装着シート７として、樹脂基材５に粘着シート４、６を貼り合わせる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、粘着シート４、６以外に更に粘着シートを積層してもよく、樹脂基材５以外に更に樹脂基材を積層してもよい。この場合、ウレタンシート２を支持する効果を向上させることが期待されるが、保持パッドの全体に占める装着シートの割合が大きくなるため、研磨加工に支障をきたす可能性もある。この点を考慮すれば、粘着シート４，６および樹脂基材５で構成された３層構造の装着シート７とすることが好ましい。 In addition, in the holding pad 10 of this embodiment, although the example which bonds the adhesive sheets 4 and 6 to the resin base material 5 as the mounting sheet 7 was shown, this invention is not limited to this. For example, an adhesive sheet may be further laminated in addition to the adhesive sheets 4 and 6, and a resin substrate may be further laminated in addition to the resin substrate 5. In this case, it is expected that the effect of supporting the urethane sheet 2 is improved, but since the ratio of the mounting sheet to the entire holding pad is increased, there is a possibility that the polishing process may be hindered. Considering this point, it is preferable that the mounting sheet 7 has a three-layer structure including the pressure-sensitive adhesive sheets 4 and 6 and the resin base material 5.

また、本実施形態の保持パッド１０では、粘着シート４を構成する粘着部材として２つのノンサポテープ４１、４２を用い、粘着シート６を構成する粘着部材として２つのノンサポテープ６１、６２を用いる例を示したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、粘着シート４および粘着シート６を３つ以上のノンサポテープで構成してもよい。換言すれば、粘着シート４、６を構成するノンサポテープの数は、ウレタンシート２（樹脂基材５も同じ。）の大きさ、ノンサポテープの幅を考慮して決定すればよい。また、粘着シート４および６をそれぞれ構成するノンサポテープの数は、粘着シート４および６で異なっていてもよい。すなわち、ノンサポテープ６１、６２の境界部分がノンサポテープ４１、４２の境界部分と樹脂基材５を介して厚さ方向と交差する方向で異なる位置に配されていてもよい。このようにしても、装着シート７の作製において不都合を生じるものではなく、上述した効果を得ることができる。 Further, in the holding pad 10 of the present embodiment, two non-support tapes 41 and 42 are used as the pressure-sensitive adhesive members constituting the pressure-sensitive adhesive sheet 4, and two non-support tapes 61 and 62 are used as the pressure-sensitive adhesive members constituting the pressure-sensitive adhesive sheet 6. Although shown, the present invention is not limited to these. For example, you may comprise the adhesive sheet 4 and the adhesive sheet 6 with three or more non-support tapes. In other words, the number of non-support tapes constituting the pressure-sensitive adhesive sheets 4 and 6 may be determined in consideration of the size of the urethane sheet 2 (the same applies to the resin base material 5) and the width of the non-support tape. Further, the number of non-support tapes constituting the adhesive sheets 4 and 6 may be different between the adhesive sheets 4 and 6. That is, the boundary portions of the non-support tapes 61 and 62 may be arranged at different positions in the direction intersecting the thickness direction via the resin base material 5 with the boundary portions of the non-support tapes 41 and 42. Even if it does in this way, inconvenience will not be produced in preparation of the mounting | wearing sheet | seat 7, but the effect mentioned above can be acquired.

更に、本実施形態の保持パッド１０では、樹脂基材５としてＰＥＴ製の基材を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、ポリプロピレンや二軸延伸ポリプロピレン（ＯＰＰ）を用いてもよい。また、ノンサポテープ４１、４２の粘着剤として、アクリル系粘着剤、ノンサポテープ６１、６２の粘着剤として、ゴム系粘着剤を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ウレタン系やエポキシ系の粘着剤を用いてもよい。ノンサポテープ４１、４２の粘着剤とノンサポテープ６１、６２の粘着剤とは同質のものを使用してもよい。接着強度やウレタンシート２の物性に及ぼす影響を考慮すれば、ノンサポテープ４１、４２の粘着剤とノンサポテープ６１、６２の粘着剤とを異なるものとし、それぞれの接着力を適正化させることが好適である。 Furthermore, in the holding pad 10 of the present embodiment, a PET base material is exemplified as the resin base material 5, but the present invention is not limited to this, and for example, polypropylene or biaxially oriented polypropylene (OPP) is used. It may be used. Moreover, although the rubber adhesive was illustrated as an acrylic adhesive as an adhesive of the non-support tapes 41 and 42 and an adhesive of the non-support tapes 61 and 62, this invention is not limited to this, It is a urethane type Alternatively, an epoxy adhesive may be used. The adhesive of the non-support tapes 41 and 42 and the adhesive of the non-support tapes 61 and 62 may be the same. Considering the influence on the adhesive strength and the physical properties of the urethane sheet 2, it is preferable that the non-support tapes 41 and 42 and the non-support tapes 61 and 62 have different adhesives and optimize their adhesive strengths. It is.

また更に、本実施形態の保持パッド１０では、ウレタンシート２の保持面Ｐの背面側にバフ処理を施した例を示したが、本発明はこれに制限されるものではない。例えば、ウレタンシート２の保持面Ｐにバフ処理を施し、大気孔３および図示を省略した気孔の一部を保持面Ｐ側で開孔させて使用してもよい。保持パッド１０の被研磨物保持性を考慮すれば、保持面Ｐの背面側をバフ処理してスキン層８を残すことが好ましい。また、粘着シート４の一面側（ウレタンシート２と貼り合わされる面側）および粘着シート６の一面側（保持定盤に貼り合わされる面側）で、粘着シート４、６を構成する粘着剤層の表面をそれぞれ覆う剥離可能なセパレータを有するようにしてもよい。このようにすれば、装着シート７を単独で保管、運搬等を行うことができ、製造管理の観点からも好ましくなる。 Furthermore, in the holding pad 10 of this embodiment, the example which performed the buff process on the back side of the holding surface P of the urethane sheet 2 was shown, but this invention is not restrict | limited to this. For example, the holding surface P of the urethane sheet 2 may be buffed so that the air holes 3 and some of the pores not shown are opened on the holding surface P side. In consideration of retention of the object to be polished by the holding pad 10, it is preferable to buff the back side of the holding surface P to leave the skin layer 8. Moreover, the adhesive layer which comprises the adhesive sheets 4 and 6 by the one surface side (surface side bonded with the urethane sheet 2) and the one surface side (surface side bonded by the holding surface plate) of the adhesive sheet 4 You may make it have a peelable separator which covers the surface of each. In this way, the mounting sheet 7 can be stored and transported alone, which is preferable from the viewpoint of manufacturing management.

更にまた、本実施形態の保持パッド１０では、樹脂製シート材として、湿式成膜されたポリウレタン樹脂製のウレタンシート２を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、イソシアネート化合物とポリオール化合物やポリアミン化合物とを反応させることで乾式成形したウレタンシートを用いることも可能である。また、ポリウレタン樹脂に代えて、ポリエチレンやポリプロピレン等の樹脂を用いるようにしてもよい。 Furthermore, in the holding pad 10 of this embodiment, the urethane sheet 2 made of polyurethane resin formed by wet film formation is exemplified as the resin sheet material, but the present invention is not limited to this. For example, it is also possible to use a urethane sheet formed by dry molding by reacting an isocyanate compound with a polyol compound or a polyamine compound. Moreover, instead of the polyurethane resin, a resin such as polyethylene or polypropylene may be used.

また、本実施形態の保持パッド１０では、長さ２０００ｍｍ、幅２０００ｍｍの矩形状とする例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、対向する２辺の長さが２０００ｍｍ以上の矩形状、直径２０００ｍｍ以上の円形状の保持パッドに対応することが可能である。 Moreover, in the holding pad 10 of this embodiment, although the example made into the rectangular shape of length 2000mm and width 2000mm was shown, this invention is not limited to this. For example, it is possible to correspond to a rectangular holding pad having a length of two opposite sides of 2000 mm or more and a circular holding pad having a diameter of 2000 mm or more.

本発明は大型化しても平坦性を確保しつつ全面を保持定盤に装着することができる保持パッドを提供するため、保持パッドの製造、販売に寄与するので、産業上の利用可能性を有する。 Since the present invention provides a holding pad that can be mounted on a holding surface plate while ensuring flatness even when the size is increased, it contributes to the manufacture and sale of the holding pad, and thus has industrial applicability. .

Ｐ保持面
２ウレタンシート（シート材）
４粘着シート（第１の粘着層）
５樹脂基材
６粘着シート（第２の粘着層）
１０保持パッド
４１、４２ノンサポテープ（第１の粘着部材）
６１、６２ノンサポテープ（第２の粘着部材） P Holding surface 2 Urethane sheet (sheet material)
4 Adhesive sheet (first adhesive layer)
5 Resin base material 6 Adhesive sheet (second adhesive layer)
10 Holding pads 41, 42 Non-support tape (first adhesive member)
61, 62 Non-support tape (second adhesive member)

Claims

A resin sheet material having a holding surface for holding an object to be polished;
A first adhesive layer having one surface bonded to the back side of the holding surface of the sheet material, and arranged so that a plurality of first adhesive members having adhesiveness are adjacent to each other;
A second adhesive layer that has one surface for mounting on a surface plate, and is arranged so that a plurality of second adhesive members having adhesiveness are adjacent to each other;
Between the first adhesive layer and the second adhesive layer, one surface was bonded to the other surface of the first adhesive layer, and the other surface was bonded to the other surface of the second adhesive layer. A resin substrate;
With
The first pressure-sensitive adhesive member and the second pressure-sensitive adhesive member are non-support type pressure-sensitive adhesive tapes composed of only a pressure-sensitive adhesive and having two opposite sides having a length of 1000 mm or more.
The holding pad according to claim 1, wherein the one side and the other side of the resin base material are continuous surfaces.

The holding pad according to claim 1 , wherein the pressure-sensitive adhesive is at least one selected from acrylic, urethane, and epoxy pressure-sensitive adhesives.

3. The holding pad according to claim 2 , wherein on one surface side of the second adhesive layer, the surfaces of the plurality of second adhesive members are each covered with a detachable separator.

The holding | maintenance of Claim 3 characterized by the above-mentioned. The said sheet | seat material and the said resin base material are congruent shapes, and are the rectangular shape whose length of 2 sides which oppose is 2000 mm or more, or circular shape whose diameter is 2000 mm or more. pad.

The holding pad according to claim 4 , wherein the first adhesive layer, the resin base material, and the second adhesive layer are pasted together.

The boundary portions of the plurality of second adhesive members are arranged at the same position in the direction intersecting the thickness direction via the resin base material with the boundary portions of the plurality of first adhesive members. The holding pad according to any one of claims 1 to 5 , wherein: