KR20160035726A - Test Apparatus of Liquid Crystal Display Panel and Control Method Thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 액정표시패널의 검사장치 및 그 제어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛을 이동시키고자 하는 방향으로 자유로이 이동시킴은 물론 이들 프로브 유닛에 설치된 다수의 프로브를 액정표시패널의 크기에 따라 선택적으로 사용할 수 있도록 이동되면서 각각의 프로브 유닛에 설치되어 있는 프로브를 액정표시패널의 원하는 위치로 미세 조정할 수 있는 액정표시패널 검사장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.
More particularly, the present invention relates to an apparatus and method for inspecting a liquid crystal display panel, and more particularly, to a method and apparatus for moving a data probe unit and a gate probe unit in a direction to move the probe unit, And more particularly, to a liquid crystal display panel inspection apparatus and a control method thereof, which can finely adjust a probe installed in each probe unit to a desired position on a liquid crystal display panel while being selectively used according to the size of a display panel.
일반적으로 액정표시패널의 검사장치는 액정표시패널(액정 또는 평판 디스플레이 등을 포함한다)이 불량품인지 양품인지를 육안상으로 용이하게 검사할 수 있도록 작업자가 위치한 지점까지 디스플레이 패널을 고정하는 프로브 유닛을 액정표시패널의 크기에 따라 적합한 크기의 검사장치를 사용하여 검사하기 위한 것이다.2. Description of the Related Art Generally, an inspection apparatus for a liquid crystal display panel is provided with a probe unit for fixing a display panel to a point where an operator is located so that a liquid crystal display panel (including a liquid crystal display or a flat panel display) And to inspect using an inspection device of a suitable size according to the size of the liquid crystal display panel.
평판 디스플레이(flat panel display)의 주력제품인 액정표시패널(TFT-LCD)는 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화가 급속도로 진전되어 노트북 컴퓨터(computer)뿐만 아니라 대형 모니터(monitor) 제품으로도 개발되어 기존의 CRT(cathode ray tube) 제품을 대체하고 있어 디스플레이 산업에서의 그 비중이 점차 증대되고 있다.Liquid crystal display panels (TFT-LCD), which is the flagship product of flat panel displays, are rapidly becoming large-sized and high-resolution with the achievement of mass production technology and research and development, Has been developed and replacing existing CRT (cathode ray tube) products, and its proportion in the display industry is gradually increasing.
최근의 정보화 사회에서 디스플레이는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있고, 특히 모든 전자제품의 경, 박, 단, 소 추세에 따라 저소비 전력화, 박형화, 경량화, 고화질, 휴대성의 중요성이 더 한층 높아지고 있다.In recent information society, display has become more important as a visual information delivery medium. Especially, the importance of low power consumption, thinning, light weight, high image quality and portability It is getting higher.
액정표시패널은 평판 디스플레이의 이러한 조건들을 만족시킬 수 있는 성능뿐만 아니라 양산성까지 갖춘 디스플레이 장치이기 때문에 이를 이용한 각종 신제품 창출이 급속도로 이루어지고 있으며, 전자산업계에서 반도체 이상으로 그 비중이 폭발적으로 증가하는 차세대 주력 기술로서 부각되고 있다.Since liquid crystal display panels are not only capable of satisfying these conditions of a flat panel display but also have a mass production capability, various new products using the same are rapidly being developed, and the proportion of the electronic industry is more than that of semiconductors It is emerging as a next-generation mainstream technology.
이와 같은 액정표시패널은 제조라인 최종 단계에서 점등 검사를 수행하게 되는데, 이는 특정한 검사 설비에서 프로브 유닛을 이용해 액정표시패널의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상검사 그리고 현미경 등을 이용한 육안검사 등을 실시하고 있다.Such a liquid crystal display panel is subjected to a lighting test at the final stage of the manufacturing line, which uses a probe unit in a specific inspection facility to perform disconnection inspection and color inspection for each of the data lines and gate lines of the liquid crystal display panel, And so on.
한편 액정표시패널은 현재 30인치, 40인치, 46인치, 52인치, 57인치 등 다양한 크기(size)로서 제공되고 있으며, 이런 다양한 크기의 액정표시패널을 모두 검사할 수 있도록 하기 위한 검사 장비가 현재 이미 제공되고 있다.Meanwhile, liquid crystal display panels are currently being offered in various sizes such as 30 inches, 40 inches, 46 inches, 52 inches, and 57 inches. In order to inspect all of these various sizes of liquid crystal display panels, It is already available.
하지만 다양한 크기의 액정표시패널을 하나의 장비에서 검사가 이루어지게 하기 위해서는 액정표시패널의 크기 변경에 따른 장비 내에서의 구조적 변경이 불가피하다.However, structural changes in the equipment due to the size change of the liquid crystal display panel are inevitable in order to inspect liquid crystal display panels of various sizes in one equipment.
특히 검사하고자 하는 액정표시패널의 크기가 변경되면 그에 따라 액정표시패널이 놓여지는 워크 스테이지 및 액정표시패널에 접촉되는 프로브 유닛 등을 교체해주어야 하는 불편함이 있었다.In particular, when the size of a liquid crystal display panel to be inspected is changed, there is an inconvenience that a work stage on which the liquid crystal display panel is placed and a probe unit which is in contact with the liquid crystal display panel have to be replaced.
즉, 액정표시패널이 40인치인 경우, 프로브 유닛 또한 40인치에 해당되는 프로브 유닛으로 교체해 주어야 하며, 52인치 또는 57인치인 경우에도 각각의 액정표시패널에 맞는 프로브 유닛으로 교체해야 되는 번거로움이 있었다.That is, if the liquid crystal display panel is 40 inches, the probe unit should be replaced with a probe unit corresponding to 40 inches, and even if it is 52 inches or 57 inches, it is troublesome to replace it with a probe unit corresponding to each liquid crystal display panel there was.
또한 액정표시패널이 워크 스테이지의 정확한 위치에 놓이지 않고서 다소 비틀어지거나 틀어진 위치에 놓인 경우 프로브 유닛에 설치되어 있는 프로브를 이동시켜 액정표시패널의 정확한 위치에 조정할 수 없는 문제점이 있었다.In addition, when the liquid crystal display panel is placed at a wrong position or somewhat distorted without being positioned at the precise position of the workpiece stage, the probe installed in the probe unit can not be moved and adjusted to the precise position of the liquid crystal display panel.
한편 근래 들어서는 보다 고해상도의 제품을 생산하는데 있어, 보다 조밀한 간격의 패턴(fine pitch)에 보다 정밀하게 접촉(Contact) 되어야 하는데, X, Y 위치의 오차, 프로브의 검사 접촉위치(Contact Point)에서의 높이 차로 인한 접촉력(Contact force)의 부족으로 접촉 불량(Pin Miss) 등의 오류가 발생하여 검사 불량율이 높고 검사를 실행하지 못하는 경우가 발생하고 있다.On the other hand, in recent years, in order to produce a high-resolution product, it is necessary to make a more precise contact with a finer pitch (fine pitch). In the case of errors in X and Y positions, A defect such as a pin failure occurs due to a lack of a contact force due to a difference in height between the electrodes.
이에 기구적으로 관리할 수 있는 부분의 한계를 극복하여 프로브 각각의 위치 정보를 확인 후 각각 개별적인 프로브 또는 프로브 유닛(Probe Unit)이 개별적으로 동작하여 최적의 성능(Performance)이 요구되고 있다.In order to overcome the limit of the mechanism that can be managed, each probe or probe unit individually operates after confirming the position information of each probe, and optimal performance is required.
액정표시패널로는 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 사용되고 있으며, 이들 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 검사(LCD CELL TESTER) 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 등 다양한 형태의 검사 공정이 이루어질 수 있는데, 이들 각각의 공정에 따른 검사장비를 구비해야 되며, 이들 고가의 장비가 매우 제한적으로 사용되고 있다.
As a liquid crystal display panel, an LCD (Liquid Crystal Display), an OLED (Organic Light Emitting Diode) and the like are used. As an inspection process of these liquid crystal display panels, an LCD cell tester or an OLED panel TESTER) can be performed. It is necessary to have inspection equipment according to each of these processes, and these expensive equipments are being used very limitedly.
예를 들어, 하기 특허문헌 1에는 '액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치'가 개시되어 있다.For example, the following Patent Document 1 discloses an 'auto-probe apparatus for inspecting a liquid crystal panel'.
하기 특허문헌 1에 따른 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치는 액정패널을 검사하기 위한 워크 테이블, 상기 액정패널의 상부에 편광판을 지지하는 편광판 홀더, 상기 편광판 홀더와 연결되며, 상기 워크 테이블의 일측에 고정되어 있고 상기 편광판을 상기 액정패널과 접근 및 이격 시키는 고도조절장치를 포함하고 있다.An autocropping apparatus for inspecting a liquid crystal panel according to Patent Document 1 described below includes a work table for inspecting a liquid crystal panel, a polarizer holder for supporting a polarizer on the liquid crystal panel, a polarizer holder connected to the polarizer holder, And a height adjustment device which is fixed to the liquid crystal panel and makes the polarizer plate approach and separate from the liquid crystal panel.
상기 고도조절장치는 상기 워크 테이블에 고정되는 견착대를 포함하며, 상기 견착대 양측의 상부에 돌출되는 제 1 지지대 및 제 2 지지대, 상기 제 1 지지대 및 상기 제 2 지지대의 각각에 결합되는 제 1 하부 연장부 및 제 2 하부 연장부, 상기 제 1 하부 연장부 및 상기 제 2 하부 연장부의 각각에 결합되는 제 1 상부 연장부 및 제 2 상부 연장부, 상기 제 1 상부 연장부 및 상기 제 2 상부 연장부와 결합하는 이동 홀더가 개시되어 있다.
Wherein the height adjustment device includes a cradle fixed to the work table, a first support and a second support protruding from upper portions of both sides of the cradle, a first support coupled to each of the first support and the second support, A first upper extension and a second upper extension coupled to each of the lower extension and the second lower extension, the first lower extension and the second lower extension, A movement holder for engagement with an extension is disclosed.
하기 특허문헌 2에는 '프로브 검사장치'가 개시되어 있다.The following Patent Document 2 discloses a " probe inspection apparatus ".
하기 특허문헌 2에 따른 프로브 검사장치는 다수 개의 관통부가 행렬(matrix)을 이루어 형성되는 프레임, 상기 프레임의 관통부를 관통하여 양단부가 접촉하는 핀, 상기 핀의 중앙영역에 형성되어 관통부에 삽입되는 돌출부를 포함하는 프로브 핀 및 상기 관통부의 내부로 삽입되어 상기 프로브 핀으로 인가되는 충격을 완화시키는 탄성 수단이 개시되어 있다.
A probe inspection apparatus according to the following Patent Document 2 includes a frame having a plurality of perforated portions formed in a matrix, a pin penetrating through the perforations of the frame and having both ends in contact with each other, A probe pin including a protruding portion, and an elastic means inserted into the penetrating portion to relieve an impact applied to the probe pin.
그러나 종래기술에 따른 액정표시패널의 검사장치는 각각의 액정표시패널에 해당되는 프로브 유닛을 구비해야 되며, 검사하고 있던 액정표시패널의 크기가 변경됨에 따라 액정표시패널에 접촉되는 프로브 유닛을 교체해야 되는 번거로움이 있고, 프로브 유닛에 설치되어 있는 프로브의 위치를 조절할 수 없는 문제점이 있었다.
However, the inspection apparatus of the liquid crystal display panel according to the related art has to have a probe unit corresponding to each liquid crystal display panel, and the size of the liquid crystal display panel being inspected is changed, And there is a problem that the position of the probe installed in the probe unit can not be adjusted.
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 검사하고자 하는 액정표시패널의 크기가 변경되더라도 액정표시패널의 크기에 따라 프로브 유닛을 변경 또는 교체하지 않고서 곧바로 액정표시패널을 검사할 수 있는 액정표시패널의 검사장치 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a liquid crystal display panel capable of directly inspecting a liquid crystal display panel without changing or replacing the probe unit according to the size of the liquid crystal display panel even if the size of the liquid crystal display panel to be inspected is changed. And a method of controlling the liquid crystal display panel.
본 발명의 다른 목적은 액정표시패널에 접촉되는 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛을 다축(X, Y, Z축) 방향으로 이동시킬 수 있는 액정표시패널의 검사장치 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an inspection apparatus and method for a liquid crystal display panel capable of moving a data probe unit and a gate probe unit in contact with a liquid crystal display panel in a multi-axis (X, Y, Z axis) direction.
본 발명의 또 다른 목적은 각각의 프로브 유닛에 설치되어 있는 프로브를 다축(X, Y, Z축)으로 이동시켜 액정표시패널의 접촉 위치에 정확하게 접촉시킬 수 있는 액정표시패널의 검사장치 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide an inspection apparatus and a control method therefor of a liquid crystal display panel capable of accurately moving a probe installed in each probe unit in a multi-axis (X, Y, Z axis) Method.
본 발명의 또 다른 목적은 고해상도의 제품에 대한 위치 정밀도를 높이면서 액정표시패널과 프로브 또는 프로브 유닛의 접촉력(Contact Force)를 각각의 프로브 또는 프로브 유닛(Probe Unit) 별로 조절하여 접촉 불량(Pin Miss)를 줄여 보다 높은 검사 정밀도를 높일 수 있는 액정표시패널의 검사장치 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to improve the positional accuracy of a high-resolution product and adjust the contact force between the liquid crystal display panel and the probe or the probe unit for each probe or probe unit, ) Of the liquid crystal display panel can be reduced and the inspection accuracy of the liquid crystal display panel can be increased.
본 발명의 또 다른 목적은 프로브 유닛의 교체방식으로 인한 교체 시간, 교체하고자 하는 유닛을 추가하지 않고서도 액정표시패널의 모델 변경에 대응할 수 있는 액정표시패널의 검사장치 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide an inspection apparatus for a liquid crystal display panel and a control method therefor which can cope with replacement of a liquid crystal display panel without adding a replacement time due to a replacement method of the probe unit .
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치는 액정표시패널의 일면에 대응되는 데이터 프로브 유닛 및 상기 액정표시패널의 양면에 대응되는 게이트 프로브 유닛, 상기 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛의 각각에 서로 교차되는 방향으로 이동되는 데이터측 이동부 및 게이트측 이동부, 상기 각각의 이동부에 의해 이동되며 다수 설치된 프로브블록을 액정표시패널의 크기에 따라 상기 프로브블록을 개별적으로 이동시키는 프로브 자동교체부, 상기 프로브 자동교체부에 이동 가능하게 설치되며 상기 액정표시패널에 접촉되도록 다축으로 이동되는 프로브블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a liquid crystal display panel including a data probe unit corresponding to one surface of a liquid crystal display panel, a gate probe unit corresponding to both surfaces of the liquid crystal display panel, A data side moving unit and a gate side moving unit which are moved in directions intersecting with each other of the gate probe unit and the gate probe unit, and a plurality of probe blocks moved by the respective moving units, And a probe block which is movably installed in the probe automatic replacement part and is moved in multiple axes so as to be in contact with the liquid crystal display panel.
상기 데이터측 이동부는 일정 크기를 갖는 플레이트, 상기 플레이트의 저면에 일정한 간격으로 배열된 다수의 가이드 블록을 따라 직선 이동되게 결합되는 리니어 가이드, 상기 리니어 가이드가 이동되도록 회전되는 데이터측 동력전달부, 상기 동력전달부가 회전되도록 회전력을 발생시키는 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.The data-side moving unit includes a plate having a predetermined size, a linear guide coupled to be linearly moved along a plurality of guide blocks arranged at regular intervals on the bottom surface of the plate, a data-side power transmitting unit rotated to move the linear guide, And driving means for generating a rotational force to rotate the power transmitting portion.
상기 게이트측 이동부는 일정 크기를 갖는 제1 플레이트, 상기 제1 플레이트의 저면에 길이 방향으로 설치된 다수의 하부 블록을 따라 직선 이동되게 결합되는 제1 리니어 가이드, 상기 제1 플레이트 상면에 상기 제1 리니어 가이드와 교차되는 방향으로 이동되게 설치된 다수의 상부 블록을 따라 직선 이동되도록 결합되는 제2 리니어 가이드, 상기 제2 리니어 가이드가 이동되도록 회전되는 게이트측 동력전달부, 상기 제2 리니어 가이드의 상면에 장착되며 상기 게이트측 동력전달부의 구동에 의해 상기 제1 플레이트와 교차되는 방향으로 이동되는 제2 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다. Wherein the gate side moving part includes a first plate having a predetermined size, a first linear guide coupled to the first plate so as to be linearly moved along a plurality of lower blocks provided in the longitudinal direction on the bottom surface of the first plate, A second linear guide coupled to be linearly moved along a plurality of upper blocks provided to move in a direction intersecting with the guide, a gate side power transmission portion rotated to move the second linear guide, And a second plate which is moved in a direction intersecting with the first plate by driving the gate-side power transmission portion.
상기 프로브 자동교체부는 상기 데이터 이동부에 설치되는 데이터측 자동교체부 및 상기 게이트 이동부에 설치되는 게이트측 자동교체부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The probe automatic replacement unit includes a data side automatic replacement unit installed in the data movement unit and a gate side automatic replacement unit provided in the gate movement unit.
상기 데이터측 자동교체부는 상기 플레이트 상면에 일정 간격으로 설치되는 다수의 프레임, 상기 플레이트의 일측에 상기 플레이트의 길이 방향으로 설치되며 상기 데이터 프로브 유닛의 프로브블록을 개별적으로 이동시키는 프로브 이동블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.The data-side automatic replacing unit includes a plurality of frames arranged at regular intervals on the upper surface of the plate, and a probe moving block installed on one side of the plate to longitudinally move the probe blocks of the data probe unit .
상기 프로브 이동블록은 좌우 양측에 각각 마련되는 구동수단, 상기 구동수단에 의해 회전되도록 설치되는 회전축, 상기 회전축을 따라 이동되며 상기 프로브블록을 서로 교차되는 방향으로 이동시키는 프로브 이송부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Wherein the probe moving block includes driving means provided on both sides of the probe moving block, a rotating shaft provided to be rotated by the driving means, and a probe transporting portion moving along the rotating shaft and moving the probe blocks in a direction crossing each other. do.
상기 게이트측 자동교체부는 일정 크기를 갖는 제2 플레이트, 상기 제2 플레이트의 상면에 일정 간격으로 설치되는 다수의 프레임, 상기 플레이트의 일측에 상기 플레이트의 길이 방향으로 설치되며 구동수단으로 회전되는 회전축에 이동 가능하게 결합되는 프로브 이송부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The gate side automatic replacement unit may include a second plate having a predetermined size, a plurality of frames provided at regular intervals on the upper surface of the second plate, a rotation shaft installed on one side of the plate in the longitudinal direction of the plate, And a probe transferring portion that is movably coupled.
상기 데이터측 이동부에는 상기 플레이트의 양측에 설치된 모터의 회전축에 소정의 길이만큼 이동되도록 결합되는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다.And the data side moving unit includes a camera coupled to the rotation axis of the motor installed on both sides of the plate so as to be moved by a predetermined length.
상기 프로브블록은 제1 모터의 회전에 의해 일 방향으로 이동되는 제1 위치조절부, 제2 모터의 회전에 의해 상기 제1 위치조절부의 이동 방향이 전환되도록 상기 제1 위치조절부의 하측에 설치되는 제2 위치조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The probe block includes a first position adjuster which is moved in one direction by the rotation of the first motor and a probe which is installed below the first position adjuster so that the moving direction of the first position adjuster is switched by the rotation of the second motor And a second position adjusting unit.
상기 프로브블록 각각에는 상기 액정표시패널의 접촉 위치를 파악할 수 있는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다.Each of the probe blocks includes a camera capable of detecting a contact position of the liquid crystal display panel.
상기 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛의 이동 위치 및 상기 액정표시패널에 접촉되는 프로브블록의 이동 위치를 파악하는 촬영수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus further comprises photographing means for grasping a moving position of the data probe unit and the gate probe unit and a moving position of the probe block contacting the liquid crystal display panel.
상기 촬영수단은 소정 거리만큼 이격되는 설치되는 제1 프레임 및 제2 프레임, 상기 제1 프레임과 제2 프레임의 일면에 설치되는 제3 프레임, 상기 제3 프레임의 길이방향으로 이동 가능하게 설치됨과 함께 카메라가 상기 액정표시패널을 향해 이동 가능하게 설치되는 제4 프레임을 포함하는 것을 특징으로 한다.The photographing unit is installed to be movable in the longitudinal direction of the first frame and the second frame, the third frame being installed on one side of the first frame and the third frame, And a fourth frame in which a camera is movably installed toward the liquid crystal display panel.
상기 제3 프레임은 구동모터의 회전력을 전달하는 전달축, 상기 전달축의 양단에 각각 상기 제1 프레임 및 제2 프레임의 내측으로 설치된 회전축을 따라 제4 프레임과 카메라를 이동시키는 것을 특징으로 한다.
And the third frame moves the fourth frame and the camera along a rotation shaft provided inside the first frame and the second frame at both ends of the transmission shaft, the transmission shaft transmitting rotation force of the drive motor.
또한 상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치의 제어방법은 (a) 워크 스테이지에 장착된 액정표시패널과 신호를 송수신하도록 데이터 프로브 유닛을 이동시키는 단계, (b) 상기 워크 스테이지에 장착된 상기 액정표시패널과 신호를 송수신하도록 게이트 프로브 유닛을 이동시키는 단계, (c) 상기 데이터 프로브 유닛 및 상기 게이트 프로브 유닛에 설치된 프로브 블록을 상기 액정표시패널에 접촉되도록 프로브블록을 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of controlling an inspection apparatus for a liquid crystal display panel, including: (a) moving a data probe unit to transmit and receive signals to and from a liquid crystal display panel mounted on a workpiece; (b) moving a gate probe unit to transmit and receive signals to and from the liquid crystal display panel mounted on the workpiece stage, (c) moving a probe block provided in the data probe unit and the gate probe unit, And moving the block.
상기 (a) 단계에서, 상기 데이터 프로브 유닛은 상기 액정표시패널에 대응되도록 이동된 후 상기 액정표시패널의 크기에 따라 대응되지 않는 상기 프로브블록을 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the step (a), the data probe unit is moved to correspond to the liquid crystal display panel, and then moving the probe block that does not correspond to the size of the liquid crystal display panel.
상기 (b) 단계에서, 상기 게이트 프로브 유닛은 상기 액정표시패널에 대응되도록 이동된 후 상기 액정표시패널의 크기에 따라 대응되지 않는 상기 프로브블록을 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the step (b), the gate probe unit is moved to correspond to the liquid crystal display panel, and then moving the probe block that is not matched to the size of the liquid crystal display panel.
상기 (c) 단계에서, 상기 프로브블록은 상기 액정표시패널에 정확하게 접촉되도록 X, Y, Z축 방향으로 위치 이동되는 것을 특징으로 한다.
In the step (c), the probe block is moved in X, Y, and Z axial directions so as to precisely contact the liquid crystal display panel.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치 및 그 제어방법에 의하면, 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛에 설치되어 있는 다수의 프로브블록을 액정표시패널의 크기에 따라 이동시킬 수 있으며, 이로 인해 검사 대상물인 액정표시패널의 크기가 달라지게 되더라도 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛을 교체 또는 변경하지 않고도 검사할 수 있고, 검사 대상이 변경되더라도 각각 프로브 유닛의 교체 또는 변경에 따른 작업시간을 줄일 수 있다는 효과가 얻어진다.As described above, according to the inspection apparatus and control method for a liquid crystal display panel according to the present invention, a plurality of probe blocks provided in the data probe unit and the gate probe unit can be moved according to the size of the liquid crystal display panel, This makes it possible to inspect the data probe unit and the gate probe unit without changing or changing the size even if the size of the liquid crystal display panel to be inspected is changed. Even if the inspection object is changed, Can be obtained.
본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치 및 그 제어방법에 의하면, 프로브블록 자체적으로 다축 방향으로 이동될 수 있어 액정표시패널의 접촉 위치에 정확하게 접촉될 수 있고, 프로브블록이 액정표시패널에 정확하게 접촉됨에 따라 액정표시패널의 파손 또는 접촉 불량에 의한 손상을 줄일 수 있으며, 액정표시패널에 가해지는 가압력(또는 접촉력)을 조절할 수 있고, 고해상도의 기판 또는 셀(cell) 등의 제품을 다품종 소량 생산할 수 있는 경제적·시간적·품질적 혜택을 얻을 수 있다는 효과가 얻어진다.According to the inspection apparatus and control method of the liquid crystal display panel according to the present invention, the probe block itself can be moved in the direction of the multi-axis, so that the probe block can be accurately brought into contact with the contact position of the liquid crystal display panel, (Or contact force) applied to the liquid crystal display panel can be controlled, and it is possible to produce a small number of products such as a high-resolution substrate or cell, etc. The economic, temporal, and quality benefits can be obtained.
본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치 및 그 제어방법에 의하면, 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 검사(LCD CELL TESTER) 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 등 다양한 형태의 검사 공정을 하나의 검사장치로 수행할 수 있다는 효과가 얻어진다.According to the inspection apparatus and method for controlling a liquid crystal display panel according to the present invention, it is possible to perform various inspection processes such as an LCD cell tester or an OLED panel tester in an inspection process of a liquid crystal display panel Can be performed by one inspection apparatus.
본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치 및 그 제어방법에 의하면, 각각의 개별적인 프로브 블록의 접촉력을 조절할 수 있어 액정표시패널의 특정 위치 검사(LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY), 아우터 리드 본딩(OLB: OUTER LEAD BONDING) 또는 아이씨 본딩(IC BONDING) 등의 작업 공정에도 사용할 수 있다는 효과가 얻어진다.
According to the inspection apparatus and the control method of the liquid crystal display panel according to the present invention, the contact force of each individual probe block can be adjusted, so that the LCD ARRAY TEST, the OLED ARRAY, the OLB, OUTER LEAD BONDING) or IC BONDING, and the like.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널의 검사장치를 보인 입체도,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 데이터 프로브 유닛을 보인 분해 입체도,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 게이트 프로브 유닛을 보인 분해 입체도,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 결합된 상태를 보인 단면도,
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 프로브블록을 보인 정면도,
도 6은 본 발명의 바람직한 다른 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 촬영수단을 보인 입체도,
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 이동부 및 자동교체부를 보인 평면 입체도,
도 8은 본 발명의 바람직한 실시 예에 다른 액정표시패널 검사장치의 이동부 및 자동교체부를 보인 저면 입체도,
도 9는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 제어방법을 단계별로 설명하는 공정도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a test apparatus for a liquid crystal display panel according to a preferred embodiment of the present invention;
2 is an exploded perspective view showing a data probe unit of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention,
FIG. 3 is an exploded perspective view showing a gate probe unit of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention,
FIG. 4 is a sectional view showing a combined state of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention,
5 is a front view showing a probe block of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a perspective view illustrating a stereoscopic view showing a photographing means of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to another preferred embodiment of the present invention,
FIG. 7 is a plan view of a moving part and an automatic replacement part of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention,
8 is a bottom perspective view showing a moving part and an automatic replacing part of another liquid crystal display panel testing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention,
9 is a process diagram for explaining a control method of an apparatus for inspecting a liquid crystal display panel according to a preferred embodiment of the present invention.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널의 검사장치 및 그 제어방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an apparatus and method for testing a liquid crystal display panel according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널의 검사장치를 보인 입체도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 데이터 프로브 유닛을 보인 분해 입체도이며, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 게이트 프로브 유닛을 보인 분해 입체도이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 결합된 상태를 보인 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view showing an inspection apparatus for a liquid crystal display panel according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view showing a data probe unit of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 3 is an exploded perspective view showing a gate probe unit of an apparatus for inspecting a liquid crystal display panel according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a sectional view showing a combined state of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention to be.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널의 검사장치(10)는 액정표시패널(11)의 일면에 대응되는 데이터 프로브 유닛(100) 및 상기 액정표시패널(11)의 양면에 대응되는 게이트 프로브 유닛(300), 상기 데이터 프로브 유닛(100) 및 게이트 프로브 유닛(300)의 각각에 서로 교차되는 방향으로 이동되는 데이터측 이동부(110) 및 게이트측 이동부(310), 상기 각각의 이동부(110, 310)에 의해 이동되며 다수 설치된 프로브블록을 액정표시패널의 크기에 따라 상기 프로브블록(500)을 개별적으로 이동시키는 프로브 자동교체부(150, 350), 상기 프로브 자동교체부(150, 350)에 이동 가능하게 설치되며 상기 액정표시패널(11)에 접촉되도록 다축으로 이동되는 프로브블록(500)을 포함할 수 있다.The
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 검사장치(10)는 액정표시패널(11)의 일면에 접촉되는 데이터 프로브 유닛(100)과 액정표시패널(11)의 양면에 각각 접촉되는 게이트 프로브 유닛(300)을 포함할 수 있다.1 to 3, an
본 발명에서 액정표시패널(11)은 엘시디(LCD: Liquid Crystal Display), 엘이디(LED: Light Emitting Diode), 유기발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 것으로 설명한다. 즉, 액정표시패널(11)은 설명의 편의를 위하여 액정표시장치 또는 액정디스플레이, 발광다이오드, 유기발광다이오드 등을 총칭하는 명칭으로 사용하기로 한다.In the present invention, the liquid
상기 프로브 유닛(100, 300)은 액정표시패널(11)의 크기에 따라 프로브 유닛(100, 300)에 설치되어 있는 프로브블록(500)을 각각 개별적으로 이동시켜 액정표시패널(11)의 접촉 위치에 정확하게 접촉되도록 하는 것이다.The
액정표시패널(11)은 30인치에서부터 57인치의 크기를 가질 뿐만 아니라 액정표시패널(11)의 대형화에 따라 60인치 이상의 크기로 이루어질 수 있다. 이에 본 발명의 액정표시패널의 검사장치(10)는 액정표시패널(10)의 크기에 따라 각각의 프로브 유닛(100, 300)에 설치된 프로브블록(500)을 하나씩 개별적으로 이동시켜 프로브 유닛(100, 300)을 교체 또는 변경하지 않고서 액정표시패널(11)을 검사할 수 있도록 한다.The liquid
본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치(10)는 액정표시패널(11) 중에서 40인치 내지 57인치의 크기를 갖는 액정표시패널(11)을 선택적으로 검사할 수 있도록 하며, 액정표시패널(11) 중에서 30인치 내지 40인치의 크기를 갖는 액정표시패널(11)을 선택적으로 검사할 수 있도록 하고, 60인치 내지 80인치 또는 80인치 이상의 크기를 갖는 액정표시패널(11)을 선택적으로 검사할 수 있는 것으로 마련될 수 있다.The
즉, 유사한 크기를 갖는 액정표시패널(11)을 검사할 수 있도록 하는 것으로, 유사한 인치의 크기를 갖는 액정표시패널(11)을 검사하고자 할 때 프로브 유닛(100, 300)을 교체 또는 변경하지 않고서 액정표시패널(11)의 크기에 따라 사용되지 않는 프로브블록(500)을 일측으로 이동시킨 액정표시패널(11)에 접촉되는 다수의 프로브블록(500)에 의해 검사가 이루어지도록 할 수 있는 것이다.That is, by inspecting the liquid
도 1, 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 데이터 프로브 유닛(100)은 액정표시패널(11)을 향해 다축 방향으로 이동되는 것으로, 액정표시패널(11)을 향해 일 방향으로 이동되는 데이터측 이동부(110)와 일정 간격으로 다수 설치되어 있는 프로브블록(500)을 액정표시패널(11)의 크기에 따라 액정표시패널(11)에 접촉되게 이동시킴과 함께 액정표시패널(11)에 접촉되지 않는 프로브블록(500)을 이동시키는 데이터측 자동교체부(150)를 포함할 수 있다.1, 2 and 4, the
즉, 데이터 프로브 유닛(100)은 데이터측 이동부(110)에 의해 액정표시패널(11)을 향해 데이터측 자동교체부(150) 및 상기 데이터측 자동교체부(150)에 일정 간격으로 다수 설치되어 있는 프로브블록(500)을 일체로 이동시키는 것이다.That is, the
상기 데이터측 이동부(110)는 일정 크기를 갖는 플레이트(111), 상기 플레이트(111)의 저면에 일정한 간격으로 배열되어 있는 다수의 가이드 블록(112)을 따라 직선 이동되게 결합되는 리니어 가이드(113), 상기 리니어 가이드(113)가 이동되도록 회전되는 동력전달부(114), 상기 동력전달부(114)가 회전되도록 회전력을 발생시키는 구동수단(미도시)을 포함할 수 있다.The data
플레이트(111)는 데이터측 이동부(110)와 데이터측 이동교체부(150)를 지지하는 것으로, 그 저면에는 일정한 간격으로 다수의 가이드 블록(112)이 설치될 수 있다.The
상기 가이드 블록(112)에는 일정 길이를 갖는 리니어 가이드(113)가 이동 가능하게 결합될 수 있으며, 리니어 가이드(113)는 가이드 블록(112)을 따라 직선 이동되도록 결합될 수 있다.A
또한 플레이트(111)의 저면 일측에는 동력전달부(114)가 설치될 수 있다. 동력전달부(114)는 도시되지 않은 구동수단에 의해 회전되는 것으로, 구동수단의 회전력을 전달받아 플레이트(111)를 일 방향으로 이동시킬 수 있도록 한다.A
즉, 동력전달부(114)에 의해 전달된 회전력은 플레이트(111)를 가이드 블록(112)과 리니어 가이드(113)에 의해 일방향으로 직선 이동되게 한다.That is, the rotational force transmitted by the
아울러 플레이트(111) 상면에는 데이터측 자동교체부(150)가 설치될 수 있으며, 상기 데이터측 자동교체부(150)는 플레이트(111)의 길이 방향을 따라 일정 간격으로 설치되는 다수의 프레임(151), 플레이트(111)의 일측에 설치되는 프로브 이동부(160)를 포함할 수 있다.The data side automatic replacing
상기 프로브 이동부(160)는 플레이트(111) 상면에 설치되어 프로브블록(500)을 액정표시패널(11) 쪽으로 이동시킬 수 있는 것으로, 프로브 이동부(160)에는 플레이트(111)의 양측에 각각 설치되는 2개의 구동수단(161), 구동수단(161)에 의해 회전되는 회전축(162) 및 상기 회전축(162)을 따라 이동되면서 프로브블록(500)을 이동시키는 프로브 이동블록(163)을 포함할 수 있다.The
상기 프로브 이동블록(163)은 데이터 프로브 유닛(100)이 액정표시패널(11)을 향해 이동된 상태에서 액정표시패널(11)의 크기에 따라 액정표시패널(11)에 접촉되는 프로브블록(500)과 액정표시패널(11)에 접촉되지 않는 프로브블록(500)을 구분하여 액정표시패널(11)에 접촉되지 않는 프로브블록(500)을 이동시키는 것이다.The
즉, 프로브 이동블록(163)은 액정표시패널(11)이 40인치일 경우 액정표시패널(11)에 접촉되지 않는 다수의 프로브블록(500)을 도 2의 도면상 플레이트(111)의 좌우 양측으로 이동시킬 수 있다.That is, the
또한 액정표시패널(11)이 57인치일 경우 데이터 프로브 유닛(100)의 프로브블록(500)이 모두 사용될 수 있으므로, 각각의 프로브블록(500)을 액정표시패널(11)에 정확하게 위치되도록 각각의 프로브블록(500)을 이동시킬 수 있다.The
한편 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 데이터 프로브 유닛(100)의 좌우 양측에는 각각 촬영수단이 구비될 수 있다. 이러한 촬영수단은 카메라(170)일 수 있으며, 카메라(170) 외에 액정표시패널(11)의 위치를 감지 또는 파악할 수 있는 것이면 충분하다.On the other hand, as shown in FIGS. 1 and 4, the
상기 카메라(170)는 액정표시패널(11)이 정 위치에 정확하게 장착되었는지를 파악할 수 있도록 함은 물론 액정표시패널(11)과 프로브블록(500)의 접촉을 보다 정확하게 접촉되도록 하기 위하여 데이터 프로브 유닛(100)에 고정된 레일(미도시)을 따라 이동 가능하게 설치될 수 있다.The
도 1, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 게이트 프로브 유닛(300)은 액정표시패널(11)을 향해 다축 방향으로 이동되는 것으로, 액정표시패널(11)을 향해 일 방향으로 이동되는 게이트측 이동부(310)와 일정 간격으로 다수 설치되어 있는 프로브블록(500)을 액정표시패널(11)의 크기에 따라 액정표시패널(11)에 접촉되게 이동시킴과 함께 액정표시패널(11)에 접촉되지 않는 프로브블록(500)을 이동시키는 게이트측 자동교체부(350)를 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 1, 3 and 4, the
즉, 게이트 프로브 유닛(300)은 게이트측 이동부(310)에 의해 액정표시패널(11)을 향해 데이터측 자동교체부(350) 및 상기 게이트측 자동교체부(350)에 일정 간격으로 다수 설치되어 있는 프로브블록(500)을 일체로 이동시키는 것이다.That is, the
상기 게이트측 이동부(310)는 일정 크기를 갖는 제1 플레이트(311), 상기 제1 플레이트(311)의 저면에 길이 방향으로 설치된 다수의 하부 블록(312)을 따라 직선 이동되게 결합되는 제1 리니어 가이드(313), 상기 제1 플레이트(311) 상면에 상기 제1 리니어 가이드(313)와 교차되는 방향으로 이동되게 설치된 다수의 상부 블록(314)을 따라 직선 이동되도록 결합되는 제2 리니어 가이드(315), 상기 제2 리니어 가이드(315)가 이동되도록 회전되는 게이트측 동력전달부(316), 상기 제2 리니어 가이드(315)의 상면에 장착되며 상기 게이트측 동력전달부(316)의 구동에 의해 상기 제1 플레이트(311)와 교차되는 방향으로 이동되는 제2 플레이트(320)를 포함할 수 있다.The gate
상기 게이트측 이동부(310)는 게이트 프로브 유닛(300)을 일체로 이동시키는 것으로, 제1 플레이트(311)를 일 방향으로 이동시킴에 따라 게이트 프로브 유닛(300) 일체를 이동시킬 수 있을 뿐만 아니라 게이트 프로브 유닛(300)에 일정한 간격으로 설치되어 있는 프로브블록(500)을 제1 플레이트(311)의 이동 방향과 교차되는 방향으로 이동시킬 수 있는 제2 플레이트(320)를 포함할 수 있다.The gate
상기 제1 플레이트(311)는 일정 크기로 이루어질 수 있으며, 제1 플레이트(311) 저면에는 길이 방향으로 다수의 하부 블록(312)이 설치될 수 있고, 하부 블록(312)에는 일정 길이를 갖는 제1 리니어 가이드(313)가 이동 가능하게 결합될 수 있다.The
또한 제1 플레이트(311) 상면에는 하부 블록(312) 및 제1 리니어 가이드(313)와 교차되는 방향으로 상부 블록(314) 및 제2 리니어 가이드(315)가 설치될 수 있다.An
상기 상부 블록(314)의 상면에는 제1 플레이트(313)와 동일한 크기를 갖는 제2 플레이트(320)가 설치될 수 있으며, 상부 블록(314)에는 제2 리니어 가이드(315)가 이동 가능하게 결합될 수 있다.A
또 제1 플레이트(311) 일측에는 제2 플레이트(315)를 이동시킬 수 있는 게이트측 동력전달부(316)가 설치될 수 있고, 게이트측 동력전달부(316)는 제2 플레이트(320)를 제1 리니어 가이드(312)와 교차되는 방향으로 이동시킬 수 있도록 한다.A gate side
또한 제2 플레이트(320) 상면에는 제2 플레이트(320)의 길이 방향을 따라 이동되는 게이트측 자동교체부(350)가 설치될 수 있으며, 게이트측 자동교체부(350)는 제2 플레이트(320) 상부에 일정 간격으로 설치되어 있는 프로브블록(500)을 이동시킬 수 있도록 한다.The gate side
상기 게이트측 자동교체부(350)는 제2 플레이트(320) 상면에 일정 간격으로 다수 설치되는 프레임(351), 제2 플레이트(320)의 길이 방향을 따라 왕복 이동되는 프로브 이동부(360)를 포함할 수 있다.The gate side automatic replacing
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 프로브블록을 보인 정면도이다.5 is a front view showing a probe block of an apparatus for inspecting a liquid crystal display panel according to a preferred embodiment of the present invention.
도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이, 프로브블록(500)은 데이터 프로브 유닛(100) 및 게이트 프로브 유닛(300)에 의해 각각 일체로 이동되면서 데이트측 자동교체부(150) 및 게이트측 자동교체부(350)에 의해 액정표시패널(11)과 접촉되는 프로브블록(500)과 액정표시패널(11)에 접촉되지 않는 프로브블록(500)으로 구분되어 이동될 수 있다.1 and 5, the
이와 함께 프로브블록(500)은 그 자체로 다축(X, Y, Z축) 방향으로 이동될 수 있는 것으로, 데이터 프로브 유닛(100) 및 게이트 프로브 유닛(300)에 일정한 간격으로 다수 설치될 수 있다.In addition, the
상기 프로브블록(500)은 데이터 프로브 유닛(100)의 플레이트(111) 상면에 설치됨과 함께 게이트 프로브 유닛(300)의 제2 플레이트(320) 상면에 이동 가능하게 설치될 수 있다.The
이러한 프로브블록(500)은 플레이트(111) 또는 제2 플레이트(320)에 설치되는 제1 위치조절부(510)와 상기 제1 위치조절부(510)에 의해 제1 위치조절부(510)와 교차되는 방향으로 이동되는 제2 위치조절부(550)를 포함할 수 있다.The
상기 제1 위치조절부(510)는 정역 회전되는 제1 모터(520), 제1 모터(520)에 의해 회전되는 회전축(530) 및 상기 회전축(530)의 회전으로 직선 이동되면서 회전축(530)과 교차되는 방향으로 슬라이딩 이동되는 슬라이딩 블록(540)을 포함할 수 있다.The
또 제2 위치조절부(550)는 정역 회전되는 제2 모터(560), 제2 모터(560)에 결합된 회전축(미도시)의 회전으로 승강되는 고정프레임(570), 상기 고정프레임(570)에 의해 승강됨에 따라 액정표시패널(11)에 접촉되는 리드프레임(580)을 포함할 수 있다.The
이러한 프로브블록(500)은 데이터 프로브 유닛(100) 또는 게이트 프로브 유닛(300)에 의해 액정표시패널(11)과 인접한 위치로 이동된 다음 프로브블록(500)의 제1 위치조절부(510) 및 제2 위치조절부(550)에 의해 액정표시패널(11)의 접촉 위치에 정확하게 접촉되도록 위치 조절이 이루어질 수 있다.The
상기 프로브블록(500)은 액정표시패널(11)에 접촉 시 제2 위치조절부(550)에 의해 리드프레임(580)이 승강(도 1의 도면상 Z축 방향)되므로, 리드프레임(580)은 액접표시패널(11)에 접촉 시 적정한 압력(또는 힘)으로 접촉되도록 가압력이 조정될 수 있다.The
또한 프로브블록(500)에는 액정표시패널(11)의 접촉 위치에 정확하게 접촉되도록 하기 위한 카메라(590)가 장착될 수 있다. 이러한 카메라(590)는 액정표시패널(11)의 접촉 위치를 파악하여 프로브블록(500)이 제1 위치조절부(510) 및 제2 위치조절부(550)에 의해 위치 조정이 이루어지도록 한다.The
상기 카메라(590)는 각각의 프로브블록(500)이 위치 조정될 수 있도록 각각의 프로브블록(500) 설치될 수 있다.
The
도 6은 본 발명의 바람직한 다른 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 촬영수단을 보인 입체도이다.6 is a perspective view of a photographing means of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to another preferred embodiment of the present invention.
도 6에 도시된 바와 같이, 데이터 프로브 유닛(100) 및 게이트 프로브 유닛(300)의 배면에는 촬영수단이 마련될 수 있으며, 촬영수단은 액정표시패널(11)의 이상 유무를 확인함은 물론 액정표시패널(11)과 프로브블록(500)의 접촉 위치를 파악할 수 있도록 한다.6, a photographing unit may be provided on the back of the
상기 촬영수단(200)은 데이터 프로브 블록(100)의 배면에 설치되는 제1 프레임(210), 제1 프레임(210)과 동일한 방향으로 소정 거리만큼 떨어진 위치에 설치되는 제2 프레임(220), 제1 프레임(210)과 제2 프레임(220)을 따라 이동 가능하게 설치되는 제3 프레임(230), 제3 프레임(230)을 따라 이동 가능하게 설치됨과 함께 액정표시패널(11)과 카메라(250)의 거리를 조정할 수 있는 제4 프레임(240)을 포함할 수 있다.The photographing means 200 includes a
상기 제1 프레임(210)은 워크 스테이지(미도시)의 배면에 데이터 프로브 유닛(100)과 동일한 길이방향으로 설치될 수 있고, 제2 프레임(220)은 워크 스테이지의 배면에 제1 프레임(210)과 동일한 방향으로 설치될 수 있다.The
제1 프레임(210)과 제2 프레임(220)의 일면에는 제3 프레임(230)이 이동 가능하게 설치될 수 있고, 제3 프레임(230)에는 제3 프레임(230)의 길이방향으로 이동되도록 제4 프레임(240)이 설치될 수 있으며, 제4 프레임(240)에는 제4 프레임(240)을 따라 이동 가능하게 카메라(250)가 설치될 수 있다.The
상기 제1 프레임(210)과 제2 프레임(220)의 일측에는 제3 프레임(230)을 이동시킬 수 있는 구동수단이 설치될 수 있다. 즉, 제1 프레임(210)과 제2 프레임(220) 사이에는 구동모터(211)가 설치되며, 구동모터(211)의 회전력을 전달하는 2개의 전달축(212)이 회전 가능하게 설치되고, 전달축(212)의 끝단에는 제1 프레임(210) 및 제2 프레임(220)의 내측에 회전 가능하게 설치된 회전축(미도시)이 설치될 수 있다.A driving means for moving the
상기 제3 프레임(230)은 회전축을 따라 이동 가능하게 제1 프레임(210) 및 제2 프레임(220)에 설치될 수 있으며, 제3 프레임(230)의 일측에는 제4 프레임(240)을 이동시킬 수 있는 모터(231)가 설치될 수 있다.The
또 제4 프레임(240)에는 카메라(250)를 도 6의 도면상 상하로 승강시킬 수 있는 모터(241)가 설치될 수 있음은 물론이다.It is needless to say that a
상기 카메라(250)는 제3 프레임(230)이 제1 및 제2 프레임(210, 220)의 길이방향으로 이동됨은 물론 제3 프레임(230)의 길이방향으로 이동될 수 있으며, 카메라(250)는 제4 프레임(240)의 길이방향으로 이동될 수 있다.The
이에 카메라(250)는 액정표시패널(11)이 정 위치에 정확하게 장착된 상태를 파악할 수 있음은 물론 프로브블록(500)이 액정표시패널(11)의 접촉 위치에 정확하게 접촉되도록 할 수 있게 된다.Accordingly, the
이와 같은 카메라(250)는 데이터 프로브 유닛(100) 및 프로브블록(500)에 설치되는 카메라(170, 590)의 대용으로 설치되어 이들 카메라(170, 590)의 설치에 따른 비용 등을 절감할 수 있다.
Such a
다음 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널의 검사장치의 결합관계를 상세하게 설명한다.The following is a detailed description of the connection relationship of an inspection apparatus for a liquid crystal display panel according to a preferred embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 이동부 및 자동교체부를 보인 평면 입체도이고, 도 8은 본 발명의 바람직한 실시 예에 다른 액정표시패널 검사장치의 이동부 및 자동교체부를 보인 저면 입체도이다.FIG. 7 is a plan view of a moving part and an automatic replacing part of the apparatus for inspecting a liquid crystal display panel according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. It is the bottom three-dimensional figure showing the replacement part.
도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 검사장치(10)는 다양한 크기를 갖는 액정표시패널(11)의 검사 작업 시 유사한 크기를 갖는 액정표시패널(11)을 교체 또는 변경이 이루어지더라도 데이터 프로브 유닛(100) 및 게이트 프로브 유닛(300)을 교체 또는 변경하지 않고서도 검사 작업이 곧바로 이루어지도록 할 수 있다.1 to 8, an
즉, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 검사장치(10)는 40인치 액정표시패널(11)을 대상으로 검사가 완료된 상태에서 57인치 액정표시패널(11)을 검사하고자 하는 경우 데이터 프로브 유닛(100) 및 게이트 프로브 유닛(300)을 교체하지 않고서도 57인치 액정표시패널(11)을 검사할 수 있도록 하는 것이다.That is, when the
이에 데이터 프로브 유닛(100)에는 일정 간격으로 다수의 프로브블록(500)을 이동 가능하게 설치할 수 있으며, 게이트 프로브 유닛(300)에는 일정 간격으로 다수의 프로브블록(500)을 이동 가능하게 설치할 수 있다.A plurality of probe blocks 500 can be movably installed at predetermined intervals in the
상기 데이터 프로브 유닛(100)의 데이터측 이동부(110)에는 일정 크기를 갖는 플레이트(111)의 저면에 일정 간격으로 다수의 가이드 블록(112)을 설치할 수 있고, 가이드 블록(112)에는 일정 길이를 갖는 리니어 가이드(113)를 일 방향으로 이동 가능하게 결합할 수 있다.A plurality of guide blocks 112 may be provided on the bottom surface of the
또 리니어 가이드(113)에는 구동수단(미도시)에 의해 회전되는 동력전달부(114)를 설치할 수 있다. 이러한 동력전달부(114)는 구동수단의 회전력을 전달받아 플레이트(111)를 도 1의 도면상 X축 방향으로 이동시킬 수 있게 된다.The
또한 플레이트(111) 상면에는 다수 설치되어 있는 프로브블록(500)을 이동시킬 수 있는 데이터측 자동교체부(150)를 설치할 수 있다. 상기 프로브블록(500)은 데이터측 자동교체부(150)에 의해 도 1의 도면상 Y축 방향으로 이동될 수 있다.Further, a data-side automatic replacing
데이터측 자동교체부(150)는 플레이트(111) 상부에 설치되어 있는 프로브블록(500)을 하나씩 개별적으로 이동시킬 수 있는 것으로, 데이터측 자동교체부(150)는 검사 대상인 액정표시패널(11)의 크기에 따라 사용되지 않는 프로브블록(500)을 이동시킬 수 있다.The data side automatic replacing
즉, 액정표시패널(11)의 크기가 57인치 액정표시패널(11)의 검사가 완료된 이후 40인치의 액정표시패널(11)을 검사하고자 하는 경우 40인치의 길이 내에 해당되는 프로브블록(500)을 남겨두고, 그 외측에 있는 여분의 프로브블록(500)을 플레이트(111)의 좌우 양측으로 이동시켜 이들 프로브블록(500)을 사용하지 않도록 한다.That is, when the liquid
상기 데이터측 자동교체부(150)는 플레이트(111) 상면에 다수의 프레임(151)을 고정할 수 있고, 상기 프레임(151)에는 프로브블록(500)을 이동시키는 프로브 이동부(160)를 설치할 수 있다.The data side automatic replacing
상기 프로브 이동부(160)는 회전력을 발생시키는 구동수단(161)을 마련할 수 있으며, 구동수단(161)은 플레이트(111)의 좌우 양측에 각각 구비될 수 있다.The
상기 구동수단(161)에는 회전축(162)을 회전 가능하게 결합할 수 있으며, 이들 회전축(162)에는 회전축(162)을 따라 수평 이동되는 프로브 이동블록(163)을 결합할 수 있다.The driving
상기 프로브 이동블록(163)은 프로브블록(500)에 분리 또는 결합될 수 있도록 마련됨은 물론이다.The
한편 게이트 프로브 유닛(300)은 액정표시패널(11)의 좌우 양 측면에 각각 설치되는 것으로, 액정표시패널(11)을 워크 스테이지(미도시)에 장착되도록 함은 물론 전기적인 신호를 주고 받을 수 있도록 한다.The
상기 게이트 프로브 유닛(300)에는 게이트측 이동부(310)에 의해 다수의 프로브블록(500)을 일체로 이동시킬 수 있는 게이트측 이동부(310) 및 프로브블록(500)을 각각 개별적으로 이동시킬 수 있는 게이트측 자동교체부(350)를 포함할 수 있다.The gate
상기 게이트측 이동부(310)는 일정 크기를 갖는 제1 플레이트(311)의 저면에 일정 간격으로 다수의 하부 블록(312)을 설치할 수 있고, 이들 하부 블록(312)에는 일정 길이를 갖는 제1 리니어 가이드(313)를 이동 가능하게 결합할 수 있다.The gate
상기 제1 플레이트(311)는 제1 리니어 가이드(313)에 의해 도 1의 도면상 X축 방향으로 이동될 수 있다.The
또 제1 플레이트(311) 상면에는 일정 간격으로 다수의 상부 블록(314)을 설치할 수 있고, 상부 블록(314)에는 이동 가능하게 제2 리니어 가이드(315)를 결합할 수 있다.A plurality of
상기 제1 플레이트(311) 일측에는 게이트측 동력전달부(316)가 설치될 수 있고, 게이트측 동력전달부(316)는 상부 블록(314)에 결합되어 있는 제2 리니어 가이드(315)를 이동시킴으로써, 제2 플레이트(320)를 이동시킬 수 있다.A gate side
또 제2 리니어 가이드(315) 상면에는 제1 플레이트(311) 보다 큰 크기의 제2 플레이트(320)가 설치될 수 있다. 이러한 제2 리니어 가이드(315)는 게이트측 동력전달부(316)에 의해 제2 플레이트(320)를 도 1의 도면상 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다.A
상기 제2 플레이트(320) 일측에는 프로브블록(500)을 이동시킬 수 있는 게이트측 자동교체부(350)를 설치할 수 있다. 게이트측 자동교체부(350)는 제2 플레이트(320) 상면에 일정 간격으로 다수의 프레임(351)을 설치할 수 있으며, 이들 프레임(351)에는 프로브블록(500)을 이동시킬 수 있는 프로브 이동부(360)를 설치할 수 있다.A gate side
상기 프로브 이동부(360)는 제2 플레이트(320) 일측에 회전력을 발생시키는 구동수단(361)을 설치할 수 있고, 구동수단(361)에는 일정 길이를 갖는 회전축(362)이 회전 가능하게 고정될 수 있다.The
또 회전축(362)에는 제2 플레이트(320) 상부에 설치되어 있는 프로브블록(500)을 이동시키는 프로브 이동블록(363)을 이동 가능하게 설치할 수 있다.A
상기 프로브블록(500)은 상기 프로브 이동블록(363)을 도 1의 도면상 X축 방향으로 이동시킬 수 있다.The
한편 데이터 프로브 유닛(100)에 설치되는 프로브블록(500)은 데이터측 자동교체부(150)에 의해 도 1의 도면상 Y축 방향으로 이동될 수 있고, 게이트 프로브 유닛(300)에 설치되는 프로브블록(500)은 게이트측 자동교체부(350)에 의해 도 1의 도면상 X축 방향으로 이동될 수 있다.Meanwhile, the
상기 프로브블록(500)은 데이트측 자동교체부(150) 또는 게이트측 자동교체부(350)에 의해 이동될 뿐만 아니라 프로브블록(500) 자체에 의해 미세한 위지 조정될 수 있다.The
즉, 프로브블록(500)은 데이터 프로브 유닛(100) 또는 게이트 프로브 유닛(300)에서 액정표시패널(11)의 크기에 따라 위치 이동 되며, 프로브블록(500) 자체로써 액정표시패널(11)의 접촉 위치에 정확하게 접촉되도록 다축(X, Y, Z축) 방향으로 이동될 수 있다.That is, the
이러한 프로브블록(500)은 플레이트(111) 및 제2 플레이트(320) 상에 이동 가능하게 결합되는 제1 위치조절부(510)와 상기 제1 위치조절부(550)에 의해 도 1의 도면상 X축, Y축 방향으로 이동되는 제2 위치조절부(550)를 포함할 수 있다. The
아울러 제2 위치조절부(550)는 Z축 방향으로 이동될 수 있으며, 제2 위치조절부(550)에 의해 프로브블록(500)은 액정표시패널(11)에 적정한 압력으로 접촉될 수 있다.In addition, the second
상기 제1 위치조절부(510)에는 일측에 제1 모터(520)가 설치될 수 있고, 제1 모터(510)에 의해 회전되는 회전축(520)이 결합될 수 있으며, 회전축(520)에는 회전축(520)의 회전에 따라 슬라이딩 되는 슬라이딩 블록(540)이 결합될 수 있다.A
이러한 제1 위치조절부(510)는 제1 모터(520)의 회전에 의해 회전축(530)이 회전되며, 슬라이딩 블록(540)은 회전축(530)의 정역 회전에 따라 이동되면서 서로 교차되는 방향으로 결합되어 있는 슬라이딩 블록(540)에 의해 제2 위치조절부(550)를 제1 위치조절부(510)와 서로 교차되는 방향으로 이동시킬 수 있게 된다.The
상기 제2 위치조절부(550)에는 일측에 제2 모터(560)가 설치될 수 있고, 제2 모터(560)에 의해 회전되는 회전축(미도시)을 따라 이동되면서 승강되는 고정프레임(570)이 설치될 수 있다.A
또 고정프레임(570)에는 전기적인 신호를 주고 받을 수 있는 리드프레임(580)이 설치될 수 있으며, 리드프레임(580)은 고정프레임(570)의 승강에 따라 도 1의 도면상 Z축 방향으로 이동될 수 있다.The lead frames 580 may be mounted on the fixed frame 570 in such a manner that the
한편 데이터 프로브 유닛(100)의 데이터측 자동교체부(150)를 X, Y축의 이동 및 프로브블록(500)의 Z축의 이동이 가능하여 접촉 위치에 정확하게 접촉될 수 있음은 물론 액정표시패널과 적정한 가압력(또는 접촉력)을 조절할 수 있어, 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 검사(LCD CELL TESTER) 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 등 다양한 형태의 검사 공정을 하나의 검사장치로 수행할 수도 있게 된다.Meanwhile, the X-axis and Y-axis movements of the data-side
또 각각의 개별적인 프로브 블록의 접촉력을 조절할 수 있어 액정표시패널의 특정 위치 검사(LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY), 아우터 리드 본딩(OLB: OUTER LEAD BONDING) 또는 아이씨 본딩(IC BONDING) 등의 작업 공정에도 사용할 수도 있게 된다.
In addition, it is possible to control the contact force of each individual probe block, and it is also possible to perform a specific position inspection (LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY), an outer lead bonding (OLB: OUTER LEAD BONDING) It can also be used.
도 도 1 내지 도 9을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 제어방법을 단계별로 설명하는 공정도이다.1 to 9 are flowcharts for explaining a control method of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, step by step.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 제어방법을 단계별로 설명하는 공정도이다.FIG. 9 is a process diagram for explaining a control method of an apparatus for inspecting a liquid crystal display panel according to a preferred embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널 검사장치의 제어방법은 (a) 워크 스테이지(미도시)에 장착된 액정표시패널(11)과 신호를 송수신하도록 데이터 프로브 유닛(100)을 이동시키는 단계, (b) 상기 워크 스테이지에 장착된 상기 액정표시패널(11)과 신호를 송수신하도록 게이트 프로브 유닛(300)을 이동시키는 단계, (c) 상기 데이터 프로브 유닛(100) 및 상기 게이트 프로브 유닛(300)에 설치된 프로브 블록(500)을 상기 액정표시패널(11)에 접촉되도록 프로브블록(500)을 위치 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.1 to 9, a method of controlling an apparatus for inspecting a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention includes: (a) transmitting and receiving signals to and from a liquid
상기 워크 스테이지(미도시)에는 검사하고자 하는 대상의 액정표시패널(11)이 장착될 수 있으며, 워크 스테이지에 액정표시패널(11)이 장착된 상태에서 액정표시패널 검사장치(10)가 이동한다.The liquid
상기 액정표시패널 검사장치(10)의 데이터 프로브 유닛(100)이 먼저 이동되며, 데이터 프로브 유닛(100)이 이동된 후 게이트 프로브 유닛(300)이 이동된다.The
상기 데이터 프로브 유닛(100)은 상기 액정표시패널(11)에 대응되도록 이동된 후 상기 액정표시패널(11)의 크기에 따라 대응되지 않는 상기 프로브블록(500)을 이동시키는 단계를 포함할 수 있다(S10).The
상기 데이터 프로브 유닛(100)은 액정표시패널(11)에 대응되는 위치로 이동하는데, 데이터 프로브 유닛(100)의 좌우 양측에 설치되어 있는 카메라(170)에 의해 액정표시패널(11)과 대응되는 위치로 이동된다.The
이때 데이터측 이동부(110)는 동력전달부(114)에 의해 플레이트(111)가 도 1의 도면상 X축 방향으로 이동될 수 있으며, 좌우 양측에 설치되어 있는 카메라(170)에 의해 액정표시패널(11)의 위치를 감지하여 이동될 수 있다.In this case, the data-
이는 동력전달부(114)에 의해 리니어 가이드(113)는 가이드 블록(112)을 따라 이동되며, 리니어 가이드(113)가 이동됨에 따라 플레이트(111)가 이동된다. 이에 프로브블록(500)은 액정표시패널(11)과 접촉될 수 있는 위치로 이동된다.The
이렇게 데이터 프로브 유닛(100)이 액정표시패널(11)에 대응되게 이동된 상태에서 카메라(170)에 감지된 액정표시패널(11)의 크기에 따라 다수의 프로브블록(500) 중에서 사용할 프로브블록(500)과 사용하지 않을 프로브블록(500)을 구분하게 된다.When the
상기 액정표시패널(11)의 크기에 따라 프로브블록(500)은 도 1의 도면상 데이터 프로브 유닛(100)의 데이터 자동교체부(150)에 의해 이동된다.According to the size of the liquid
예시적으로 액정표시패널(11)이 40인치일 경우, 데이터측 자동교체부(150)는 데이터 프로브 유닛(100)의 좌우 양측에 있는 프로브블록(500)을 불필요한 개수의 프로브블록(500)을 이동시킨다.When the liquid
또한 액정표시패널(11)이 57인치일 경우, 데이터측 자동교체부(150)는 데이터 프로브 유닛(100)의 좌우 양측으로 이동되어 있는 프로브블록(500)을 사용할 수 있는 위치로 이동시킬 수 있음은 물론이다.When the liquid
또한 데이터 프로브 유닛(100)의 프로브블록(500)의 위치 조정이 완료된 상태에서 게이트 프로브 유닛(300)을 액정표시패널(11)의 좌우 양측에 대응되도록 이동시킬 수 있다.In addition, the position of the
상기 게이트 프로브 유닛(300)은 상기 액정표시패널(11)에 대응되도록 이동된 후 상기 액정표시패널(11)의 크기에 따라 대응되지 않는 상기 프로브블록(500)을 이동시키는 단계를 포함할 수 있다(S20).The
상기 게이트 프로브 유닛(300) 또한 게이트측 이동부(310)에 이동되며, 게이트측 이동부(310)는 제1 플레이트(311)에 설치되어 있는 하부 블록(312)에 결합된 제1 리니어 가이드(313)가 이동됨에 따라 제1 플레이트(311)가 이동된다.The
이때 제1 플레이트(311)는 도 1의 도면상 X축 방향으로 이동되어 액정표시패널(11)에 근접하게 이동된다. 또한 게이트 프로브 유닛(300)은 카메라(170)에 의해 감지된 액정표시패널(11)을 향해 도 1의 도면상 Y축 방향으로 이동된다.At this time, the
즉, 제1 플레이트(311)는 하부 블록(312) 및 제1 리니어 가이드(313)에 의해 도 1의 도면상 X축 방향으로 이동되며, 제2 플레이트(320)는 제1 플레이트(311)에 설치되어 있는 게이트측 동력전달부(316)의 구동으로 상부 블록(314) 및 제2 리니어 가이드(315)에 의해 Y축 방향으로 이동된다.1 by the
이와 같이 게이트 프로브 유닛(300)은 게이트측 이동부(310)에 의해 X축 또는 Y축 방향으로 이동된다.Thus, the
또한 게이트 프로브 유닛(300)은 제2 플레이트(320) 상부에 설치되어 있는 다수의 프로브블록(500)을 이동시키게 된다. 이는 게이트측 자동교체부(350)에 의해 각각의 프로브블록(500)을 이동시키는데, 프로브 이동부(360)의 구동수단(361)이 구동되며, 구동수단(361)에 의해 회전축(362)이 회전된다.In addition, the
상기 회전축(362)에 결합되어 있는 프로브 이동블록(363)은 회전축(362)을 따라 이동되면서 액정표시패널(11)의 크기에 따라 사용할 프로브블록(500)을 제외한 사용되지 않을 프로브블록(500)을 제2 플레이트(311)의 하측으로 이동시킨다.The
이와 같이 데이터 프로브 유닛(100) 및 게이트 프로브 유닛(300)은 각각 액정표시패널(11)을 향해 이동된 다음 액정표시패널(11)의 크기에 따라 사용되는 프로브블록(500)을 제외한 여분의 사용되지 않을 프로브블록(500)을 도 1의 도면상 플레이트(111)의 좌우 양측 또는 제2 플레이트(311)의 하측 방향으로 이동시킨다.The
상기 데이터 프로브 유닛(100) 및 게이트 프로브 유닛(300)이 액정표시패널(11)에 대응되게 위치된 상태에서 프로브블록(500)은 액정표시패널(11)의 접촉 위치에 정확하게 위치되도록 작동된다.The
상기 프로브블록(500)은 상기 액정표시패널(11)에 정확하게 접촉되도록 X, Y, Z축 방향으로 위치 이동될 수 있다(S30).The
상기 프로브블록(500)은 도 1의 도면상 Z축 방향으로 이동되어 액정표시패널(11)에 접촉된다. 이러한 프로브블록(500)은 액정표시패널(11)을 향해 도 1의 도면상 X축 또는 Y축으로 대략 0.5~5㎜의 거리만큼 이동될 수 있으며, 프로브블록(500)의 제2 위치조절부(550)는 제1 위치조절부(510)에 대하여 도 1의 도면상 X축 또는 Y축으로 대략 ±4㎜의 거리만큼 이동될 수 있다.The
이에 따라 프로브블록(500)은 액정표시패널(11)에 대하여 적정한 가압력(또는 접촉력)을 유지하면서 밀착될 수 있으며, 프로브블록(500) 각각에 설치되어 있는 카메라(미도시)를 이용하여 액정표시패널(11)의 접촉 위치에 정확하게 접촉될 수 있게 된다.The
한편 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 자체를 검사(LCD CELL TESTER)하는 공정 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 공정 등 다양한 형태의 검사 공정을 하나의 검사장치로 수행할 수도 있게 된다.Meanwhile, various inspection processes such as a process of inspecting the LCD cell itself (OLED PANEL TESTER) or a process of inspecting the OLED panel (OLED PANEL TESTER) may be performed by a single inspection apparatus .
이와 더불어 각각의 개별적인 프로브 블록의 접촉력을 조절할 수 있어 액정표시패널의 특정 위치를 검사(LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY)하는 공정, 아우터 리드 본딩(OLB: OUTER LEAD BONDING) 또는 아이씨 본딩(IC BONDING) 등의 작업 공정에도 사용할 수도 있게 된다.
In addition, it is possible to control the contact force of each individual probe block so as to inspect a specific position of the liquid crystal display panel (LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY), an outer lead bonding (OLB) or an IC bonding It is also possible to use it in a work process.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
Although the present invention has been described in detail with reference to the above embodiments, it is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.
10: 액정표시패널 검사장치 11: 액정표시패널
100: 데이터 프로브 유닛 110: 데이터측 이동부
111: 플레이트 112: 가이드 블록
113: 리니어 가이드 114: 동력전달부
150: 데이터측 자동교체부 151: 프레임
160: 프로브 이동부 161: 구동수단
162: 회전축 163: 프로브 이동블록
300: 게이트 프로브 유닛 310: 게이트측 이동부
311: 제1 플레이트 312: 하부 블록
313: 제1 리니어 가이드 314: 상부 블록
315: 제2 리니어 가이드 316: 게이트측 동력전달부
320: 제2 플레이트 350: 게이트측 자동교체부
351: 프레임 360: 프로브 이동부
500: 프로브블록 510: 제1 위치조절부
520: 제1 모터 530: 회전축
540: 슬라이딩 블록 550: 제2 위치조절부
560: 제2 모터 570: 고정프레임
580: 리드프레임10: Liquid crystal display panel inspection device 11: Liquid crystal display panel
100: Data probe unit 110: Data side moving unit
111: plate 112: guide block
113: linear guide 114: power transmission portion
150: data side automatic replacement unit 151: frame
160: probe moving unit 161: driving means
162: rotating shaft 163: probe moving block
300: gate probe unit 310: gate side moving part
311: first plate 312: bottom block
313: first linear guide 314: upper block
315: second linear guide 316: gate side power transmission portion
320: second plate 350: gate side automatic replacement part
351: frame 360: probe moving part
500: Probe block 510: First position adjusting part
520: first motor 530:
540: Sliding block 550: Second position adjusting part
560: Second motor 570: Fixed frame
580: Lead frame
Claims (17)
상기 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛의 각각에 서로 교차되는 방향으로 이동되는 데이터측 이동부 및 게이트측 이동부,
상기 각각의 이동부에 의해 이동되며 다수 설치된 프로브블록을 액정표시패널의 크기에 따라 상기 프로브블록을 개별적으로 이동시키는 프로브 자동교체부,
상기 프로브 자동교체부에 이동 가능하게 설치되며 상기 액정표시패널에 접촉되도록 다축으로 이동되는 프로브블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 검사장치.A data probe unit corresponding to one surface of the liquid crystal display panel, a gate probe unit corresponding to both surfaces of the liquid crystal display panel,
A data side moving unit and a gate side moving unit that are moved in directions intersecting with each other of the data probe unit and the gate probe unit,
A probe automatic replacement unit moving a plurality of probe blocks moved by the respective moving units individually according to the size of the liquid crystal display panel,
And a probe block movably installed on the probe automatic replacement unit and movable in multiple axes so as to be in contact with the liquid crystal display panel.
상기 데이터측 이동부는 일정 크기를 갖는 플레이트,
상기 플레이트의 저면에 일정한 간격으로 배열된 다수의 가이드 블록을 따라 직선 이동되게 결합되는 리니어 가이드,
상기 리니어 가이드가 이동되도록 회전되는 데이터측 동력전달부,
상기 동력전달부가 회전되도록 회전력을 발생시키는 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 검사장치.The method according to claim 1,
Wherein the data-side moving unit includes a plate having a predetermined size,
A linear guide which is linearly moved along a plurality of guide blocks arranged at regular intervals on a bottom surface of the plate,
A data-side power transmission portion rotated to move the linear guide,
And driving means for generating a rotational force to rotate the power transmitting portion.
상기 게이트측 이동부는 일정 크기를 갖는 제1 플레이트,
상기 제1 플레이트의 저면에 길이 방향으로 설치된 다수의 하부 블록을 따라 직선 이동되게 결합되는 제1 리니어 가이드,
상기 제1 플레이트 상면에 상기 제1 리니어 가이드와 교차되는 방향으로 이동되게 설치된 다수의 상부 블록을 따라 직선 이동되도록 결합되는 제2 리니어 가이드,
상기 제2 리니어 가이드가 이동되도록 회전되는 게이트측 동력전달부,
상기 제2 리니어 가이드의 상면에 장착되며 상기 게이트측 동력전달부의 구동에 의해 상기 제1 플레이트와 교차되는 방향으로 이동되는 제2 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.The method according to claim 1,
The gate side moving part includes a first plate having a predetermined size,
A first linear guide coupled linearly along a plurality of lower blocks provided in a longitudinal direction on a bottom surface of the first plate,
A second linear guide coupled to the upper surface of the first plate so as to be linearly moved along a plurality of upper blocks provided to move in a direction crossing the first linear guide,
A gate-side power transmission portion rotated to move the second linear guide,
And a second plate mounted on an upper surface of the second linear guide and moved in a direction intersecting with the first plate by driving the gate-side power transmission unit.
상기 프로브 자동교체부는 상기 데이터 이동부에 설치되는 데이터측 자동교체부 및 상기 게이트 이동부에 설치되는 게이트측 자동교체부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.3. The method of claim 2,
Wherein the probe automatic replacement unit includes a data side automatic replacement unit provided in the data movement unit and a gate side automatic replacement unit provided in the gate movement unit.
상기 데이터측 자동교체부는 상기 플레이트 상면에 일정 간격으로 설치되는 다수의 프레임,
상기 플레이트의 일측에 상기 플레이트의 길이 방향으로 설치되며 상기 데이터 프로브 유닛의 프로브블록을 개별적으로 이동시키는 프로브 이동블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.5. The method of claim 4,
Wherein the data-side automatic replacing unit includes a plurality of frames arranged at regular intervals on the upper surface of the plate,
And a probe moving block installed at one side of the plate in the longitudinal direction of the plate and individually moving the probe blocks of the data probe unit.
상기 프로브 이동블록은 좌우 양측에 각각 마련되는 구동수단,
상기 구동수단에 의해 회전되도록 설치되는 회전축,
상기 회전축을 따라 이동되며 상기 프로브블록을 서로 교차되는 방향으로 이동시키는 프로브 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.6. The method of claim 5,
Wherein the probe moving block includes driving means provided on both left and right sides,
A rotating shaft installed to be rotated by the driving means,
And a probe transferring part which moves along the rotation axis and moves the probe blocks in a direction crossing each other.
상기 게이트측 자동교체부는 일정 크기를 갖는 제2 플레이트,
상기 제2 플레이트의 상면에 일정 간격으로 설치되는 다수의 프레임,
상기 플레이트의 일측에 상기 플레이트의 길이 방향으로 설치되며 구동수단으로 회전되는 회전축에 이동 가능하게 결합되는 프로브 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.5. The method of claim 4,
The gate side automatic replacement portion includes a second plate having a predetermined size,
A plurality of frames provided at regular intervals on the upper surface of the second plate,
And a probe transferring part which is installed on one side of the plate so as to be movable in a longitudinal direction of the plate and which is movably coupled to a rotating shaft rotated by a driving means.
상기 데이터측 이동부에는 상기 플레이트의 양측에 설치된 모터의 회전축에 소정의 길이만큼 이동되도록 결합되는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.3. The method of claim 2,
Wherein the data side moving unit includes a camera coupled to the rotation axis of the motor provided at both sides of the plate so as to be moved by a predetermined length.
상기 프로브블록은 제1 모터의 회전에 의해 일 방향으로 이동되는 제1 위치조절부,
제2 모터의 회전에 의해 상기 제1 위치조절부의 이동 방향이 전환되도록 상기 제1 위치조절부의 하측에 설치되는 제2 위치조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.The method according to claim 1,
The probe block includes a first position adjuster which is moved in one direction by rotation of the first motor,
And a second position adjuster disposed below the first position adjuster so that the movement direction of the first position adjuster is changed by rotation of the second motor.
상기 프로브블록 각각에는 상기 액정표시패널의 접촉 위치를 파악할 수 있는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.10. The method of claim 9,
Wherein each of the probe blocks includes a camera capable of detecting a contact position of the liquid crystal display panel.
상기 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛의 이동 위치 및 상기 액정표시패널에 접촉되는 프로브블록의 이동 위치를 파악하는 촬영수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.The method according to claim 1,
Further comprising photographing means for observing a moving position of the data probe unit and the gate probe unit and a moving position of the probe block contacting the liquid crystal display panel.
상기 촬영수단은 소정 거리만큼 이격되는 설치되는 제1 프레임 및 제2 프레임,
상기 제1 프레임과 제2 프레임의 일면에 설치되는 제3 프레임,
상기 제3 프레임의 길이방향으로 이동 가능하게 설치됨과 함께 카메라가 상기 액정표시패널을 향해 이동 가능하게 설치되는 제4 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.12. The method of claim 11,
The photographing means includes a first frame and a second frame,
A third frame provided on one surface of the first frame and the second frame,
And a fourth frame movably installed in the longitudinal direction of the third frame and having a camera movably installed toward the liquid crystal display panel.
상기 제3 프레임은 구동모터의 회전력을 전달하는 전달축,
상기 전달축의 양단에 각각 상기 제1 프레임 및 제2 프레임의 내측으로 설치된 회전축을 따라 제4 프레임과 카메라를 이동시키는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.12. The method of claim 11,
The third frame includes a transmission shaft for transmitting the rotational force of the driving motor,
And the fourth frame and the camera are moved along the rotation axes provided on the inner sides of the first frame and the second frame at both ends of the transmission shaft.
(b) 상기 워크 스테이지에 장착된 상기 액정표시패널과 신호를 송수신하도록 게이트 프로브 유닛을 이동시키는 단계,
(c) 상기 데이터 프로브 유닛 및 상기 게이트 프로브 유닛에 설치된 프로브 블록을 상기 액정표시패널에 접촉되도록 프로브블록을 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 검사장치의 제어방법.(a) moving a data probe unit to transmit and receive signals to and from a liquid crystal display panel mounted on a workpiece stage,
(b) moving the gate probe unit to transmit and receive signals to and from the liquid crystal display panel mounted on the workpiece stage,
(c) moving the probe block to contact the liquid crystal display panel with the probe block installed in the data probe unit and the gate probe unit.
상기 (a) 단계에서, 상기 데이터 프로브 유닛은 상기 액정표시패널에 대응되도록 이동된 후 상기 액정표시패널의 크기에 따라 대응되지 않는 상기 프로브블록을 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 검사장치의 제어방법.15. The method of claim 14,
Wherein the data probe unit moves the probe block to correspond to the liquid crystal display panel and then moves the probe block not corresponding to the size of the liquid crystal display panel in the step (a) A method of controlling an inspection apparatus.
상기 (b) 단계에서, 상기 게이트 프로브 유닛은 상기 액정표시패널에 대응되도록 이동된 후 상기 액정표시패널의 크기에 따라 대응되지 않는 상기 프로브블록을 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 검사장치의 제어방법.15. The method of claim 14,
Wherein the gate probe unit moves the probe block to correspond to the liquid crystal display panel and then moves the probe block not corresponding to the size of the liquid crystal display panel in the step (b) A method of controlling an inspection apparatus.
상기 (c) 단계에서, 상기 프로브블록은 상기 액정표시패널에 정확하게 접촉되도록 X, Y, Z축 방향으로 위치 이동되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 검사장치의 제어방법.
15. The method of claim 14,
Wherein in the step (c), the probe block is moved in X, Y, and Z axial directions so as to precisely contact the liquid crystal display panel.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140127340A KR101682378B1 (en) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | Test Apparatus of Liquid Crystal Display Panel and Control Method Thereof |
CN201510612413.XA CN105445971B (en) | 2014-09-24 | 2015-09-23 | The check device and its control method of liquid crystal display panel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140127340A KR101682378B1 (en) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | Test Apparatus of Liquid Crystal Display Panel and Control Method Thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20160035726A true KR20160035726A (en) | 2016-04-01 |
KR101682378B1 KR101682378B1 (en) | 2016-12-07 |
Family
ID=55556342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140127340A KR101682378B1 (en) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | Test Apparatus of Liquid Crystal Display Panel and Control Method Thereof |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101682378B1 (en) |
CN (1) | CN105445971B (en) |
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