KR102225541B1 - Array Unit Capable Of Adjusting Probe Pin Minutely - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 프로브핀 미세정렬식 어레이유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프로브핀과 프로브핀블록을 고정하여 지지하는 프로브핀블록 지지체의 종방향 및 횡방향 편차와, 요잉(yawing) 방향의 각도 편차를 미세하면서도 정확하게 조정하여 보정할 수 있도록 함으로써, 프로브핀블록 및 프로브핀의 정렬 정확도 및 편리성을 개선한 프로브핀 미세정렬식 어레이유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a probe pin micro-aligned array unit, and more particularly, longitudinal and lateral deviations of a probe pin block support for fixing and supporting a probe pin and a probe pin block, and an angular deviation in the yawing direction. The present invention relates to a probe pin micro-aligned array unit that improves alignment accuracy and convenience of a probe pin block and a probe pin by making it possible to finely and accurately adjust and compensate.
일반적으로 LCD나 LED 패널 또는 휴대폰 기판을 제조하는 과정에는 검사대상물의 이상 유무를 확인하기 위한 각종 테스트가 반드시 필요하며, 최근 들어 회로의 집적도가 높아지고, 화질의 선명도가 높아짐에 따라 검사대상물의 접촉단은 물론, 검사를 위해 이들 접촉단과 접촉하는 검사장비 즉, 프로브핀블록의 프로브핀 또한 위치 및 각도의 정밀한 조정이 요구되고 있다.In general, in the process of manufacturing an LCD, LED panel, or mobile phone substrate, various tests to check the presence or absence of an object to be inspected are indispensable. Of course, it is required to precisely adjust the position and angle of the inspection equipment, that is, the probe pin of the probe pin block that contacts these contact ends for inspection.
그 하나의 예로서, 도 1에 도시된 오토 프로브핀 유니트(공개특허 제10-2009-0026638호)는 검사할 LCD 패널 등의 모델에 따라 유닛플레이트(100)에 구축되는 점등검사부(200)의 각종 프로브핀블록(210,220)를 자동 조정하여 검사가 가능하도록 함으로써, 장치의 범용성과 빠른 모델 변경에 대한 적응성 및 검사시간 단축 등을 구현할 수 있게 된다.As an example, the auto probe pin unit shown in FIG. 1 (Public Patent No. 10-2009-0026638) is a
그런데, 위와 같은 종래의 오토 프로브 유니트는 검사대상물의 모델 변경에 맞추어, 각종 프로브블록(210,220) 각각을 유닛플레이트(100)에 대해 횡방향으로 이동시킬 수 있을 뿐으로, 예컨대, 각각의 프로브블록(210,220)이 정위치에서 벗어나 있거나, 정확한 각도로 배치되어 있지 않을 경우, 정위치 또는 정각도에 정밀하게 정렬시킬 수 없는 문제점이 있다.However, the conventional auto probe unit as described above can only move each of the
또한, 프로브블록(210,220)을 수동으로 미세하게 이동시킬 수 있다고 하더라도, 프로브블록(210,220)의 이동 거리를 미세하게 할 수 있을 뿐, 손의 감각에 의존하므로, 이동 거리의 최소 단위를 설정하여 이동 거리의 증감을 일정하게 유지할 수 없고, 따라서 이동 거리를 최소 단위의 배수로 수치화하여 정량화시킬 수 없으며, 결과적으로 프로브블록(210,220)의 거리나 각도를 정확하면서도 간단하고 편리하게 조정할 수 없는 문제점이 있다.In addition, even if the
본 발명은 위와 같은 종래의 프로브 유니트가 가지고 있는 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 검사대상물과 접촉하는 어레이 유닛의 프로브핀 배치를 간단하고 편리하면서도 정밀하고 정확하게 보정할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the problems of the conventional probe unit as described above, and an object of the present invention is to make it possible to correct the arrangement of probe pins of the array unit in contact with the object to be inspected simply, conveniently, and precisely and accurately. .
또한, 본 발명은 프로브핀블록의 배치길이 편차를 최소 길이단위로 정밀하게 보정할 수 있도록 함으로써, 프로브핀블록의 배치길이 편차를 보정하기 위해 조정하는 거리 즉, 보정 거리를 수치화할 수 있도록 하여, 편차 보정 작업의 편리성과 정확성을 향상시키고자 하는 데 다른 목적이 있다.In addition, the present invention allows the deviation of the arrangement length of the probe pin block to be accurately corrected in units of the minimum length, so that the distance adjusted to correct the deviation of the arrangement length of the probe pin block, that is, the correction distance, can be quantified, Another purpose is to improve the convenience and accuracy of the deviation correction operation.
또한, 본 발명은 위 보정 거리를 단위길이화하기 위한 구조를 프로브핀블록 지지체에 간단하게 구현할 수 있도록 함으로써, 어레이 유닛의 경량화와 그에 따른 가성비 향상을 도모하고자 하는 데 또 다른 목적이 있다.In addition, another object of the present invention is to reduce the weight of the array unit and improve the cost-performance ratio accordingly, by simply implementing a structure for reducing the correction distance to the unit length on the probe pin block support.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 몸체를 이루는 베이스프레임; 상기 베이스프레임 상에 검사대상물의 모서리를 따라 위치이동이 가능하게 장착되어, 상기 검사대상물의 복수의 접촉단에 프로브핀을 접촉시켜 상기 검사대상물을 검사하는 복수의 프로브핀블록; 및 상기 각각의 프로브핀블록을 상기 베이스프레임 모서리를 따라 위치이동이 가능하게 지지하면서, 상기 베이스프레임과 상기 프로브핀블록을 연결하는 프로브핀블록 지지체;를 포함하여 이루어지되, 상기 프로브핀블록 지지체는 상기 프로브핀블록을 상기 검사대상물의 모서리를 따르는 횡방향으로, 또는 상기 검사대상물의 모서리와 직교하는 종방향으로 미세 이동시킬 수 있게 되어 있는 프로브핀 미세정렬식 어레이유닛을 제공한다.The present invention to achieve this object is a base frame constituting the body; A plurality of probe pin blocks mounted on the base frame so as to be movable along the edge of the object to be inspected, and for inspecting the object to be inspected by contacting the probe pins with a plurality of contact ends of the object to be inspected; And a probe pin block support that connects the base frame and the probe pin block while supporting each of the probe pin blocks so as to be movable along the edge of the base frame, wherein the probe pin block support body includes It provides a probe pin micro-aligned array unit capable of finely moving the probe pin block in a transverse direction along an edge of the inspection object or in a longitudinal direction orthogonal to the edge of the inspection object.
또한, 상기 프로브핀블록 지지체는 상기 프로브핀블록의 종이송을 미세하게 조정하는 세로정렬뭉치를 포함하되, 상기 세로정렬뭉치는, 상기 베이스프레임의 모서리 부분에 고정되는 세로틀; 상기 세로틀에 대해 종방향으로 상대 이동이 가능하도록 일단이 상기 세로틀에 장착되고, 타단이 상기 프로브핀블록을 지지하는 종이송블록; 및 일단이 상기 세로틀을 관통하여 상기 종이송블록의 암나사공에 나사 결합된 종이송스크류의 타단에 연결된 세로다이얼을 정역회전시켜, 상기 종이송블록을 상기 세로틀에 대해 종방향으로 상대 이동시키는 종이송수단;을 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the probe pin block support includes a vertical alignment bundle for finely adjusting the paper feed of the probe pin block, wherein the vertical alignment bundle includes a vertical frame fixed to a corner portion of the base frame; A paper feed block having one end mounted on the vertical frame and the other end supporting the probe pin block so as to allow relative movement in the longitudinal direction with respect to the vertical frame; And by rotating the vertical dial connected to the other end of the paper feed screw screwed to the female screw hole of the paper feed block through the vertical frame, by rotating the paper feed block relative to the longitudinal direction in the longitudinal direction. It is preferable to include; paper conveying means.
상기 종이송수단은, 상기 종이송스크류의 둘레에 원주방향으로 형성된 톱니바퀴; 상기 톱니바퀴의 톱니 사이에 스냅식으로 삽탈을 반복하도록 상기 세로틀 일측에 장착되어, 상기 종이송스크류의 1 회전을 상기 톱니바퀴의 톱니 수만큼의 구간으로 분할하는 멈춤돌기;를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.The paper conveying means may include a toothed wheel formed in a circumferential direction around the paper conveying screw; And a stopping protrusion which is mounted on one side of the vertical frame so as to repeat the insertion and removal of the cogwheel between the teeth of the cogwheel, and divides one rotation of the paper feed screw into a section equal to the number of teeth of the cogwheel. desirable.
또한, 상기 프로브핀블록 지지체는 상기 프로브핀블록의 횡이송을 미세하게 조정하는 가로정렬뭉치를 포함하되, 상기 가로정렬뭉치는, 상기 베이스프레임의 모서리 부분에 고정되는 가로틀; 상기 가로틀에 대해 횡방향으로 상대 이동이 가능하도록 일단이 상기 가로틀에 횡이송 가능하게 장착되고, 타단이 상기 프로브핀블록을 지지하는 횡이송블록; 및 일단이 상기 가로틀을 관통하여 상기 횡이송블록의 암나사공에 나사 결합되고 타단이 가로다이얼에 연결된 횡이송스크류를 정역회전시켜, 상기 횡이송블록이 상기 가로틀에 대해 횡방향으로 상대 이동되게 하는 횡이송수단;을 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the probe pin block support includes a horizontal alignment bundle for finely adjusting the transverse transfer of the probe pin block, wherein the horizontal alignment assembly includes a horizontal frame fixed to a corner portion of the base frame; A transverse transfer block having one end mounted to be transversely transferred to the transverse frame and the other end supporting the probe pin block to enable relative movement in the transverse direction with respect to the transverse frame; And a transverse transfer screw having one end passing through the transverse frame and screwed into the female thread of the transverse transfer block and the other end connected to the transverse dial is rotated forward and backward, so that the transverse transfer block is relatively moved in the transverse direction with respect to the transverse frame. It is preferable that it comprises a; transverse transfer means.
또한, 상기 횡이송수단은, 상기 횡이송스크류의 둘레에 원주방향으로 형성된 톱니바퀴; 상기 톱니바퀴의 톱니 사이에 스냅식으로 삽탈을 반복하도록 상기 가로틀 일측에 장착되어, 상기 횡이송스크류의 1 회전을 상기 톱니바퀴의 톱니 수만큼의 구간으로 분할하는 멈춤돌기;를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the transverse transfer means may include a cogwheel formed in a circumferential direction around the transverse transfer screw; And a stopping protrusion which is mounted on one side of the horizontal frame so as to repeat the insertion/detaching between the teeth of the cogwheel, and divides one rotation of the lateral transfer screw into a section equal to the number of teeth of the cogwheel. desirable.
본 발명의 프로브핀 미세정렬식 어레이유닛에 따르면, 프로브핀블록의 배치에 따른 길이나 각도 편차를 세로정렬뭉치, 가로정렬뭉치, 또는 각도정렬뭉치에 의해 간단하고 편리하면서도 정밀하고 정확하게 보정할 수 있게 된다.According to the probe pin micro-aligned array unit of the present invention, the length or angle deviation according to the arrangement of the probe pin blocks can be corrected simply, conveniently, precisely and accurately by vertical alignment bundles, horizontal alignment bundles, or angle alignment bundles. do.
또한, 종이송수단 또는 횡이송수단에 의해 프로브핀블록의 배치길이 편차를 최소 길이단위로 정밀하게 보정할 수 있으므로, 프로브핀블록의 배치길이 편차를 보정하는 보정 거리를 수치화할 수 있고, 따라서 편차 보정 작업의 편리성과 정확성을 향상시킬 수 있게 된다.In addition, since the deviation of the arrangement length of the probe pin block can be accurately corrected in the unit of the minimum length by the paper transport means or the lateral transport means, the correction distance for correcting the deviation of the arrangement length of the probe pin block can be quantified, and thus the deviation It is possible to improve the convenience and accuracy of correction work.
또한, 위 보정 거리를 단위길이화하기 위한 구조를 종이송수단 또는 횡이송수단의 톱니바퀴와 멈춤돌기에 의해 프로브핀블록 지지체에 간단하게 구현할 수 있으므로, 어레이 유닛의 경량화와 가성비 향상을 도모할 수 있게 된다.In addition, since the structure for reducing the above correction distance to the unit length can be easily implemented on the probe pin block support by the gears and stopping protrusions of the paper conveying means or the lateral conveying means, it is possible to reduce the weight of the array unit and improve the cost-effectiveness ratio. You will be able to.
도 1은 종래의 프로브핀블록을 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브핀 미세정렬식 어레이유닛의 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 프로브핀블록과 프로브핀블록 지지체를 도시한 사시도.
도 4a는 도 3의 측면도.
도 4b는 도 4a의 가로정렬뭉치를 상세 도시한 측면도.
도 5는 도 3의 각도정렬뭉치를 발췌 도시한 평면도.
도 6은 도 3의 세로정렬뭉치를 일부 분해하여 도시한 사시도.
도 7은 도 4b의 가로정렬뭉치를 상세 도시한 평면도.
도 8은 도 3의 세로정렬뭉치를 일부 분해하여 도시한 사시도.
도 9는 도 3의 세로정렬뭉치의 작동상태를 설명하는 부분 사시도.
도 10은 도 3의 가로정렬뭉치의 작동상태를 설명하는 부분 사시도.1 is a perspective view showing a conventional probe pin block.
2 is a perspective view of a probe pin micro-aligned array unit according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view showing the probe pin block and the probe pin block support shown in FIG. 2.
Figure 4a is a side view of Figure 3;
Figure 4b is a side view showing in detail the horizontal alignment bundle of Figure 4a.
Figure 5 is a plan view showing an excerpt of the angle alignment bundle of Figure 3;
6 is a perspective view showing a partial exploded view of the vertical alignment bundle of FIG. 3.
7 is a plan view showing in detail the horizontal alignment bundle of FIG. 4B.
Figure 8 is a perspective view showing a partial exploded view of the vertical alignment bundle of Figure 3;
9 is a partial perspective view illustrating an operating state of the vertical alignment bundle of FIG. 3.
10 is a partial perspective view illustrating an operating state of the horizontal alignment bundle of FIG. 3.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브핀 미세정렬식 어레이유닛을 첨부 도면을 참조로 상세히 설명한다.Hereinafter, a probe pin micro-aligned array unit according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 어레이 유닛은 도 2에 도면부호 1로 도시된 바와 같이, 크게 베이스프레임(3), 프로브핀블록(5), 및 프로브핀블록 지지체(7)를 포함하여 이루어진다.The array unit of the present invention comprises a
여기에서, 베이스프레임(3)은 어레이 유닛(1)의 몸체를 이루는 부분으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 검사대상물(P)을 따라 횡방향으로 길게 연장되는 장방형의 박스 형태로 되어 있다.Here, the
상기 복수의 프로브핀블록(5)은 검사대상물(P)을 직접 접촉하여 검사하는 부분으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 베이스프레임(3)의 선단에 횡방향으로 나란히 배치되는 바, 도 2, 도 4a, 도 4b에 도시된 것처럼 선단에 구비된 다수의 프로브핀(C)이 LCD나 LED 또는 휴대폰의 기판 패널과 같은 검사대상물(P)의 전극 단자와 같은 접촉단(T)에 접촉함으로써, 검사대상물(P)을 검사하도록 한다. 이를 위해, 각각의 프로브핀블록(5)은 검사 시 검사대상물(P)의 복수의 접촉단(T) 중 대응하는 접촉단(T)에 프로브핀을 접촉하기 알맞도록 베이스프레임(3) 선단에 배치, 장착되는 바, 검사대상물(P)의 모서리를 따라 위치이동이 가능하도록 베이스프레임(3) 전면의 조정판(9) 상에 착탈 가능하게 장착된다.The plurality of
상기 프로브핀블록 지지체(7)는 베이스프레임(3) 즉, 어레이 유닛(1) 전체에 대해 프로브핀블록(5)을 지지하는 부분으로, 도 2 내지 도 4b에 도시된 바와 같이, 각각의 프로브핀블록(5)을 베이스프레임(3) 모서리를 따라 위치이동이 가능하게 장착함으로써 베이스프레임(3)과 프로브핀블록(5)을 연결하는 동시에, 일단 베이스프레임(3)에 장착, 고정된 이후에는 프로브핀블록(5)의 위치를 미세 조정할 수 있도록 한다.The probe
이를 위해, 각각의 프로브핀블록 지지체(7)는 세로정렬뭉치(11), 가로정렬뭉치(113), 및 각도정렬뭉치(215)를 포함하여 이루어진다.To this end, each probe
이때, 상기 세로정렬뭉치(11)는 프로브핀블록(5)의 종이송을 미세하게 조정하는 수단으로, 도 3, 도 4a, 도 4b, 및 도 6에 도시된 바와 같이, 다시 세로틀(21). 종이송블록(23), 및 종이송수단(25)을 포함하여 이루어진다.At this time, the
여기에서, 상기 세로틀(21)은 도 3, 도 4a, 도 4b, 및 도 6에 도시된 바와 같이, 세로정렬뭉치(11)의 몸체를 이루는 부분으로, 조정판(9) 상면의 선단에 볼트공(27) 등을 통해 착탈 가능하게 고정되도록, T자 모양의 평면 형태를 가지고 있으며, LM 가이드 등과 같은 후술하는 종이송안내부(38)을 통해 종이송블록(23)을 종방향 즉, 프로브핀블록(5)의 이동방향과 직각을 이루는 방향으로 이동 가능하게 지지하는 받침대(31)와, 이 받침대(31)와 함께 ㄷ자 모양의 종단면 형상을 이루도록 받침대(31) 상면의 후단에 나사 등으로 결합되는 종단면 ㄱ자 모양의 거치대(33)로 이루어진다.Here, the
또한, 상기 종이송블록(23)은 세로틀(21)을 따라 종방향으로 이동함으로써 실질적으로 프로브핀블록(5)의 종방향 이동을 일으키는 부분으로, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 후방 부분이 세로틀(21)의 ㄷ자 모양 오목부 안으로 끼워져 저면에 결합된 종이송안내부(38)을 따라 슬라이딩 전후진하는 바, 세로틀(21)에 대해 종방향으로 상대 이동이 가능하도록 되어 있다. 또, 종이송블록(23)은 전방 부분이 가로정렬뭉치(113) 후단에 연결됨으로써, 가로정렬뭉치(113)를 통해 프로브핀블록(5)을 지지한다. 다만, 종이송블록(23)은 도 4a 및 도 4b 등에 도시된 것처럼, 거치대(33) 상단에 관통되는 고정나사(35)의 승강에 따라 고정나사(35)에 의해 고정된 때는 종방향으로 이동한 위치에 고정되고, 고정나사(35)로부터 해제된 때는 종방향으로 이동이 가능하게 된다.In addition, the
끝으로, 상기 종이송수단(25)은 사용자의 조작에 의해 종이송블록(23)을 세로틀(21)을 따라 종방향으로 이동시키는 수단으로, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 종이송블록(23)를 나사 이송하는 종이송스크류부(37)와, 종이송블록(23)의 전후진을 안내하는 종이송안내부(38), 그리고 종이송스크류부(37)의 회전 운동을 종이송블록(23)의 직선운동으로 변환시키는 종이송탄발부(39)를 포함하여 이루어진다.Finally, the paper conveying means 25 is a means for moving the
여기에서, 먼저 상기 종이송스크류부(37)는 종이송블록(23) 즉, 프로브핀블록(5)을 전후진시키기 위해, 사용자에 의해 직접적으로 조작되는 부분으로, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 종이송스크류(41)와 종이송너트공(43)으로 이루어지는 바, 상기 종이송스크류(41)는 일단 즉, 내측단이 세로틀(21)을 관통하여 종이송블록(23)의 종이송너트공(43)에 나사 결합되며, 타단 즉, 외측단에는 직경이 종이송스크류(41)보다 더 큰 세로다이얼(45)이 동축 상으로 연결된다. 또, 상기 종이송너트공(43)은 종이송스크류(41)와 나사 결합되도록 종이송블록(23) 후면에 형성되는 바, 종이송스크류(41)가 사용자에 의해 회전할 때 상대 운동을 일으켜 종이송블록(23)을 전후진시킨다.Here, first, the paper
또한, 상기 종이송안내부(38)은 위와 같은 종이송블록(23)의 종방향 이동 즉, 전후진을 안내하는 부분으로, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 받침대(31) 상면에 부착된 가이드블록(47)과, 이 가이드블록(47)을 안내하도록 종이송블록(23) 저면에 종방향으로 부착된 가이드레일(49)을 포함하여 이루어진다. 따라서, 종이송블록(23)은 종이송스크류부(37)가 작동하여 종이송스크류(41)가 회전할 때 종이송안내부(38)에 의해 회전이 저지되므로, 종이송안내부(38)을 따라 전후진하게 된다.In addition, the paper
또한, 상기 종이송탄발부(39)는 종이송스크류(41)와 종이송너트공(43)의 상대 회전을 종이송블록(23)의 종방향 직선운동으로 변환시키는 역할을 하는 것으로, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 거치대(33)와 종이송블록(23) 사이에 압축된 상태로 개재되는 압축스프링 등으로 이루어지는 바, 종이송스크류(41)를 둘러싸도록 종이송너트공(43)과 연이어진 스프링공(63)에 선단이 끼워지며, 스프링공(63)과 마주보도록 거치대(33)에 오목하게 형성된 안착홈(65)에 후단이 지지된다.In addition, the
따라서, 예컨대, 종이송스크류(41)를 오른나사라고 하면, 세로다이얼(45)을 시계방향으로 회전시킬 때, 종이송블록(23)의 회전이 종이송안내부(38)에 의해 저지되므로, 세로다이얼(45)과 종이송너트공(43)은 간격이 좁혀지려고 한다. 이때, 종이송스크류(41)는 후술하는 톱니바퀴(51)가 거치대(33) 안착구멍(57)에 걸려 전진이 저지되므로, 종이송블록(23)이 종이송탄발부(39) 스프링을 압축하면서 후진하게 된다. 반대로, 세로다이얼(45)을 반시계방향으로 회전시키면, 세로다이얼(45)과 종이송너트공(43)의 간격은 벌어지려 하므로, 종이송탄발부(39)에 가압되어 있던 종이송블록(23)이 전진을 하게 된다.Thus, for example, suppose that the
더욱이, 종이송수단(25)은 세로다이얼(45)의 회전량을 정량화하기 위한 수단으로서, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 톱니바퀴(51)와 멈춤돌기(53)를 더 포함한다.Moreover, the
여기에서, 상기 톱니바퀴(51)는 세로다이얼(45) 안쪽에서 종이송스크류(41)의 둘레에 원주방향으로 형성되는 바, 세로다이얼(45) 즉, 종이송스크류(41)와 동기하여 회전하도록 되어 있으며, 외주면을 따라 일정한 형태를 갖는 다수의 톱니(55)가 원주방향으로 나란히 형성된다. 또, 상기 멈춤돌기(53)는 위 톱니바퀴(51)가 톱니(55) 하나씩 단절적으로 회전하도록 하는 수단으로, 거치대(33)의 안착구멍(57) 내주면에서 돌출하도록, 안착구멍(57)의 법선방향으로 거치대(33) 내부에 형성된 돌기공(59)에 삽입되며, 돌기공(59) 내에 삽입되어 마개(62)로 지지된 반동스프링(61)에 의해 가압되어, 톱니(55) 사이의 골에 탄력적으로 끼워진다. 따라서, 멈춤돌기(53)는 톱니바퀴(51) 즉, 세로다이얼(45)이 회전할 때, 톱니(55) 사이의 골에 스냅식으로 삽탈을 반복함으로써, 톱니(55)의 원주방향 이동 즉, 톱니바퀴(51)의 회전을 단속하는 바, 종이송스크류(41)의 1 회전을 톱니(55) 수만큼의 구간으로 분할함으로써, 세로다이얼(45)의 회전에 의한 종이송블록(23)의 전후진을 미세 조정을 가능하게 한다.Here, the
상기 가로정렬뭉치(113)는 프로브핀블록(5)의 횡이송을 미세하게 조정하는 수단으로, 이동 방향이 종방향에서 횡방향으로 변경되는 것 이외에는 세로정렬뭉치(11)와 동일한 바, 도 3, 도 4a, 도 4b, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 가로틀(121). 횡이송블록(123), 및 횡이송수단(125)을 포함하여 이루어진다.The
여기에서, 상기 가로틀(121)은 가로정렬뭉치(113)의 몸체를 이루는 부분으로, 도 3, 도 4a, 도 4b, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 세로정렬뭉치(11)를 통해 베이스프레임(3)의 모서리 부분에 고정되도록, 종이송블록(23)의 선단에 고정되며, 하단에 프로브핀블록(5)을 횡이송 가능하게 지지한다. 이를 위해, 가로틀(121)은 다시 도 3, 도 4a, 도 4b, 도 7 및 도 8에 도시된 것처럼, 종이송블록(23) 선단에 승강 가능하게 연결되는 승강블록(131)과, 이 승강블록(131)의 저면에 볼팅 등으로 연결되는 거치블록(133)으로 이루어진다. 이때, 거치블록(133)은 LM 가이드 등과 같은 후술하는 횡이송안내부(138)을 통해 횡이송블록(123)을 횡방향 즉, 프로브핀블록(5)의 이동방향과 나란한 방향으로 이동 가능하게 지지한다.Here, the
또한, 상기 횡이송블록(123)은 가로틀(121)을 따라 횡방향으로 이동함으로써 실질적으로 프로브핀블록(5)의 횡방향 이동을 일으키는 부분으로, 도 3, 도 4a, 도 4b, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 일단 즉, 상단이 가로틀(121)의 거치블록(133) 저면에 횡이송 가능하게 장착되고, 타단 즉, 하단이 프로브핀블록(5)을 지지하는 바, 가로틀(121)에 대해 횡방향으로 상대 이동이 가능하도록 되어 있다. 이를 위해, 횡이송블록(123)은 전체적으로 종단면 ㄷ자 모양의 거치블록(133) 저면에 횡이송안내부(138)을 통해 장착되는 바, 횡이송안내부(138)을 따라 좌우로 슬라이딩 가능하게 되어 있다. 그러나, 거치블록(133)의 좌우 날개로 인해 좌우 이동범위는 제한된다. 또, 횡이송블록(123)은 저면이 프로브핀블록(5)의 상단에 연결됨으로써, 가로정렬뭉치(113)를 통해 프로브핀블록(5)을 지지한다. 다만, 횡이송블록(123)은 도 4a 및 도 4b 등에 도시된 것처럼, 거치블록(133)을 관통하여 결합된 고정나사(135)의 승강에 따라 고정나사(135)에 의해 고정된 때는 횡이송한 위치에 고정되고, 고정나사(135)로부터 해제된 때는 횡방향 이동이 가능하게 된다.In addition, the
끝으로, 상기 횡이송수단(125)은 사용자의 조작에 의해 횡이송블록(123)을 가로틀(121)을 따라 횡방향으로 이동시키는 수단으로, 도 3, 도 4a, 도 4b, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 횡이송블록(123)를 나사 이송하는 횡이송스크류부(137)와, 횡이송블록(123)의 좌우 이동을 안내하는 횡이송안내부(138), 그리고 횡이송스크류부(137)의 회전 운동을 횡이송블록(123)의 직선운동으로 변환시키는 횡이송탄발부(139)를 포함하여 이루어진다.Finally, the transverse transfer means 125 is a means for moving the
여기에서, 먼저 상기 횡이송스크류부(137)은 횡이송블록(123) 즉, 프로브핀블록(5)을 좌우 이동시키도록 사용자에 의해 직접 조작되는 부분으로, 도 3, 도 4a, 도 4b, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 횡이송스크류(141)와 횡이송너트공(143)으로 이루어지는 바, 상기 횡이송스크류(141)은 일단 즉, 내측단이 거치블록(133)을 관통하여 횡이송블록(123)의 횡이송너트공(143)에 나사 결합되며, 타단 즉, 외측단에는 직경이 횡이송스크류(141)보다 더 큰 가로다이얼(145)이 동축 상으로 연결된다. 또, 상기 횡이송너트공(143)은 횡이송스크류(141)과 나사 결합되도록 횡이송블록(123)의 도면 상 우측면에 쌍을 이루어 형성되는 바, 횡이송스크류(141)이 사용자에 의해 회전할 때 상대 운동을 일으켜 횡이송블록(123)을 좌우 이동시킨다.Here, first, the transverse
또한, 상기 횡이송안내부(138)은 위와 같은 횡이송블록(123)의 횡방향 이동 즉, 좌우 이동을 안내하는 부분으로, 도 3, 도 4a, 도 4b, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 횡이송블록(123) 상면에 부착된 가이드블록(147)과, 이 가이드블록(147)을 안내하도록 거치블록(133) 저면에 횡방향으로 부착된 가이드레일(149)을 포함하여 이루어진다. 따라서, 횡이송블록(123)은 횡이송스크류부(137)이 작동하여 횡이송스크류(141)이 회전할 때 횡이송안내부(138)에 의해 회전이 저지되므로, 횡이송안내부(138)을 따라 좌우 이동한다.In addition, the lateral
또한, 상기 탄발부(139)는 횡이송스크류(141)와 횡이송너트공(143)의 상대 회전을 횡이송블록(123)의 횡방향 직선운동으로 변환시키는 역할을 하는 것으로, 도 4a, 도 4b, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 거치블록(133)과 횡이송블록(123) 사이에 압축된 상태로 개재되는 압축스프링 등으로 이루어지는 바, 횡이송스크류(141) 좌우에 배치된 스프링공(163)에 내측단이 끼워지고, 이 스프링공(163)과 마주보도록 거치블록(133) 날개 내측면에 돌출된 안착돌기(165)에 외측단이 지지된다.In addition, the
따라서, 예컨대, 종이송스크류(41)와 마찬가지로 횡이송스크류(141)을 오른나사라고 하면, 가로다이얼(145)를 시계방향으로 회전시킬 때, 횡이송블록(123)의 회전이 횡이송안내부(138)에 의해 저지되므로, 횡이송스크류(141)은 후술하는 톱니바퀴(151)가 거치블록(133) 안착구멍(157)에 걸려 좌측 이동이 저지되므로, 횡이송블록(123)이 탄발부(139) 스프링을 압축하면서 우측으로 이동하게 된다. 반대로, 가로다이얼(145)를 반시계방향으로 회전시키면, 가로다이얼(145)와 횡이송너트공(143)의 간격은 벌어지려 하므로, 탄발부(139)에 가압되어 있던 횡이송블록(123)이 좌측으로 이동하게 된다.Thus, for example, assuming that the
더욱이, 횡이송수단(125)도 가로다이얼(145)의 회전량을 정량화하기 위한 수단으로서, 도 3, 도 4a, 도 4b, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 톱니바퀴(151)와 멈춤돌기(153)를 더 포함한다.Moreover, the lateral transfer means 125 is also a means for quantifying the amount of rotation of the
여기에서, 상기 톱니바퀴(151)는 가로다이얼(145) 안쪽에서 횡이송스크류(141)의 둘레에 원주방향으로 형성되는 바, 가로다이얼(145) 즉, 횡이송스크류(141)과 동기하여 회전하도록 되어 있으며, 외주면을 따라 일정한 형태를 갖는 다수의 톱니(155)가 원주방향으로 나란히 형성된다. 또, 상기 멈춤돌기(153)는 위 톱니바퀴(151)가 톱니(155) 하나씩 단절적으로 회전하도록 하는 수단으로, 거치블록(133)의 안착구멍(157) 내주면에서 돌출하도록, 안착구멍(157)의 법선방향으로 거치블록(133) 내부에 형성된 돌기공(159)에 삽입되며, 돌기공(159) 내에 삽입되어 마개(162)로 지지된 반동스프링(161)에 의해 가압되어, 톱니(155) 사이의 골에 탄력적으로 끼워진다. 따라서, 멈춤돌기(153)는 톱니바퀴(151) 즉, 세로다이얼(45)이 회전할 때, 톱니(155) 사이의 골에 스냅식으로 삽탈을 반복함으로써, 톱니(155)의 원주방향 이동 즉, 톱니바퀴(151)의 회전을 단속하며, 횡이송스크류(141)의 1 회전을 톱니(155) 수만큼의 구간으로 분할함으로써, 가로다이얼(145)의 회전에 의한 횡이송블록(123)의 좌우 이동을 미세 조정할 수 있도록 한다.Here, the
상기 각도정렬뭉치(215)는 프로브핀블록(5)의 배치각도를 미세하게 조정하는 수단으로, 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 회동중심축(221) 및 회동수단(223)을 포함하여 이루어지며, 회동수단(223)은 다시 한 쌍의 지지기둥(231)과 조절볼트(233)를 포함하여 이루어진다.The
여기에서, 먼저 상기 회동중심축(221)은 도 4a 내지 도 6에 도시된 것처럼, 세로정렬뭉치(11), 가로정렬뭉치(113), 그리고 프로브핀블록(5) 모두를 베이스프레임(3)에 대해 피벗 회전 가능하게 지지하는 것으로, 도 4a, 도 4b 및 도 5에 도시된 바와 같이, 조정판(9) 위로 돌출하도록 조정판(9) 모서리 부분에 삽입, 장착되어, 받침대(31) 저면 선단에 삽입됨으로써, 받침대(31) 및 그 위에 위치하는 부품들을 조정판(9)에 대해 피벗 회전 가능하게 지지한다.Here, first, as shown in Figs. 4A to 6, the
또한, 상기 회동수단(223)은 세로정렬뭉치(11), 가로정렬뭉치(113), 그리고 프로브핀블록(5)을 회동중심축(221) 중심으로 피벗 회전시키는 수단으로, 다양한 형태로 구성될 수 있으나, 도 3 내지 도 6에 도시된 것처럼, 한 쌍의 지지기둥(231)과 조절볼트(233)를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. 여기에서, 상기 한 쌍의 지지기둥(231)은 도 3 등에 도시된 것처럼, 베이스프레임(3) 즉, 조정판(9)의 선단 모서리에 위치하도록, 세로틀(21) 및 받침대(31)의 좌우에서 조정판(9) 상면에 위쪽으로 돌출하여 서로 마주보면서 고정된다. 또한, 상기 조절볼트(233)는 도 3, 도 5 및 도 6에 상세히 도시된 것처럼, 볼트 형태의 가압수단으로서, 나사 가공된 선단이 종이송블록(23) 측면에 접촉할 수 있도록 나사공(234)을 통해 지지기둥(231)을 관통하여 나사 결합되며, 타단의 머리 부분이 회동다이얼(235)로 된다.In addition, the rotation means 223 is a means for pivoting the
따라서, 조절볼트(233)는 오른나사로 나사 가공된 경우, 예컨대 도 5의 우측에 배치된 것을 시계방향 즉, 도면 상 화살표(A) 방향으로 회전시킨 때 화살표(B) 방향으로 전진하여 종이송블록(23)의 우측에 접촉하게 되며, 이때 종이송블록(23)의 좌측면은 좌측에 배치된 조절볼트(233)와 이격된 상태를 유지해야 한다. 이에 따라, 종이송블록(23)은 조절볼트(233)와 접촉된 좌측에서 접촉되지 않은 우측으로 가압하게 되며, 결과적으로, 종이송블록(23)은 물론, 세로정렬뭉치(11), 더 나아가 프로브핀블록 지지체(7)는 회동중심축(221)을 중심으로 화살표(C) 방향으로 피벗 회동하는 바, 이와 같은 방식으로 프로브핀블록 지지체(7)의 설치각도 편차를 보정할 수 있게 된다.Therefore, when the
이제, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브핀 미세정렬식 어레이유닛의 작용을 설명하면 다음과 같다. Now, the operation of the probe pin micro-aligned array unit according to a preferred embodiment of the present invention will be described as follows.
본 발명의 프로브핀 미세정렬식 어레이유닛(1)에 따르면, 먼저, 도 4a 및 도 9에 도시된 것처럼, 오른나사로 된 종이송스크류(41)를 세로다이얼(45)에 의해 시계방향으로 회전시킨 때, 세로다이얼(45)과 종이송너트공(43)은 간격이 좁혀지려 한다. 그러나, 종이송스크류(41)는 톱니바퀴(51)가 거치대(33) 안착구멍(57)에 걸려 전진이 저지되므로, 종이송블록(23)이 종이송탄발부(39) 스프링을 압축하면서 후진하게 된다. 반대로, 세로다이얼(45)을 반시계방향으로 회전시키면, 세로다이얼(45)과 종이송너트공(43)의 간격은 벌어지려 하므로, 종이송탄발부(39)에 가압되어 있던 종이송블록(23)이 전진을 하게 된다. 이렇게 해서 종이송블록(23)을 전후진시킴으로써, 프로브핀블록(5)을 전후진시킬 수 있게 된다.According to the probe pin micro-aligned array unit 1 of the present invention, first, as shown in Figs. 4A and 9, a
다만, 멈춤돌기(53)에 의해 톱니바퀴(51)의 톱니(55)가 하나씩 단절적으로 회전하므로, 세로다이얼(45)이 회전할 때, 종이송스크류(41)의 1 회전을 톱니(55) 수만큼의 구간으로 분할함으로써, 세로다이얼(45)의 회전에 의한 종이송블록(23)의 전후진을 미세 조정할 수 있게 된다. 이는 톱니바퀴(151)를 갖는 하기 가로다이얼(145)의 경우에도 마찬가지이다.However, since the
한편, 도 3, 도 4a, 도 4b, 및 도 7에 도시된 것처럼, 오른나사로 된 횡이송스크류(141)을 가로다이얼(145)에 의해 시계방향으로 회전시킨 때, 횡이송스크류(141)은 톱니바퀴(151)가 거치블록(133) 안착구멍(157)에 걸려 좌측 이동이 저지되므로, 횡이송블록(123)이 탄발부(139) 스프링을 압축하면서 우측으로 이동하게 된다. 반대로, 가로다이얼(145)를 반시계방향으로 회전시키면, 가로다이얼(145)와 횡이송너트공(143)의 간격은 벌어지려 하므로, 탄발부(139)에 가압되어 있던 횡이송블록(123)이 좌측으로 이동하게 된다. 이렇게 해서 횡이송블록(123)을 좌우로 이동시킴으로써, 프로브핀블록(5)을 좌우로 횡이동시킬 수 있게 된다.On the other hand, as shown in Figs. 3, 4a, 4b, and 7, when the
끝으로, 도 3 및 도 5에 도시된 것처럼, 오른나사로 된 조절볼트(233) 중 우측에 배치된 것을 시계방향 즉, 도면 상 화살표(A) 방향으로 회전시키는 동시에, 좌측의 조절볼트(233)를 반시계방향으로 회전시키면, 우측 조절볼트(233)가 종이송블록(23)을 회동중심축(221)을 중심으로 하여 화살표(C) 방향으로 회동시키며, 좌우 조절볼트(233)의 회전방향을 반대로 바꾸면, 종이송블록(23)을 화살표(C) 반대방향으로 회동시킬 수 있게 된다. 이와 같이, 종이송블록(23)은 물론, 세로정렬뭉치(11), 더 나아가 프로브핀블록 지지체(7)는 좌우측 조절볼트(233)를 동시에 회전시킴으로써, 수평면 상에서 발생한 프로브핀블록(5)의 각도 편차를 보정할 수 있게 된다.Finally, as shown in Figs. 3 and 5, one of the right-
1 : 어레이 유닛 3 : 베이스프레임
5 : 프로브핀블록 7 : 프로브핀블록 지지체
9 : 조정판 11 : 세로정렬뭉치
21 : 세로틀 23 : 종이송블록
25 : 종이송수단 31 : 받침대
33 : 거치대 35, 135 : 고정나사
37 : 종이송스크류부 38, 138 : 종이송안내부
39 : 종이송탄발부 41 : 종이송스크류
43 : 종이송너트공 45 : 세로다이얼
47, 147 : 가이드블록 49, 149 : 가이드레일
51, 151 : 톱니바퀴 53, 153 : 멈춤돌기
55, 155 : 톱니 57, 157 : 안착구멍
59, 159 : 돌기공 61, 161 : 반동스프링
63, 163 : 스프링공 65 : 안착홈
113 : 가로정렬뭉치 121 : 가로틀
123 : 횡이송블록 125 : 횡이송수단
131 : 승강블록 133 : 거치블록
137 : 횡이송스크류부 139 : 횡이송탄발부
141 : 횡이송스크류 143 : 횡이송너트공
145 : 가로다이얼 165 : 안착돌기
215 : 각도정렬뭉치 221 : 회동중심축
223 : 회동수단 231 : 지지기둥
233 : 조절볼트 P : 검사대상물
T : 접촉단1: array unit 3: base frame
5: probe pin block 7: probe pin block support
9: control plate 11: vertical alignment bundle
21: vertical frame 23: paper pine block
25: paper transport means 31: pedestal
33:
37: paper
39: paper feeder part 41: paper feed screw
43: paper song nut ball 45: vertical dial
47, 147: guide
51, 151:
55, 155:
59, 159: protruding
63, 163: spring ball 65: seating groove
113: horizontal alignment bundle 121: horizontal frame
123: lateral transfer block 125: lateral transfer means
131: elevating block 133: mounting block
137: transverse feed screw part 139: transverse feed bullet foot
141: transverse feed screw 143: transverse feed nut hole
145: horizontal dial 165: seating protrusion
215: angle alignment bundle 221: rotation center axis
223: rotation means 231: support column
233: adjustment bolt P: inspection object
T: contact end
Claims (5)
상기 베이스프레임(3) 상에 검사대상물(P)의 모서리를 따라 위치이동이 가능하게 장착되어, 상기 검사대상물(P)의 복수의 접촉단(T)에 프로브핀을 접촉시켜 상기 검사대상물(P)을 검사하는 복수의 프로브핀블록(5); 및
상기 각각의 프로브핀블록(5)을 상기 베이스프레임(3) 모서리를 따라 위치이동이 가능하게 지지하면서, 상기 베이스프레임(3)과 상기 프로브핀블록(5)을 연결하는 프로브핀블록 지지체(7);를 포함하여 이루어지되,
상기 프로브핀블록 지지체(7)는 상기 프로브핀블록(5)을 상기 검사대상물(P)의 모서리를 따르는 횡방향으로, 또는 상기 검사대상물(P)의 모서리와 직교하는 종방향으로 미세 이동시킬 수 있게 되어 있고,
상기 프로브핀블록 지지체(7)는 상기 프로브핀블록(5)의 종이송을 미세하게 조정하는 세로정렬뭉치(11)를 포함하되,
상기 세로정렬뭉치(11)는,
상기 베이스프레임(3)의 모서리 부분에 고정되는 세로틀(21);
상기 세로틀(21)에 대해 종방향으로 상대 이동이 가능하도록 일단이 상기 세로틀(21)에 장착되고, 타단이 상기 프로브핀블록(5)을 지지하는 종이송블록(23); 및
일단이 상기 세로틀(21)을 관통하여 상기 종이송블록(23)의 종이송너트공(43)에 나사 결합된 종이송스크류(41)의 타단에 연결된 세로다이얼(45)을 정역회전시켜, 상기 종이송블록(23)을 상기 세로틀(21)에 대해 종방향으로 상대 이동시키는 종이송수단(25);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브핀 미세정렬식 어레이유닛.A base frame (3) constituting the body;
It is mounted on the base frame 3 so that the position can be moved along the edge of the inspection object P, and the probe pins are brought into contact with the plurality of contact ends T of the inspection object P. ) A plurality of probe pin blocks (5) to check; And
A probe pin block support (7) that connects the base frame (3) and the probe pin block (5) while supporting each of the probe pin blocks (5) in a position movable along the edge of the base frame (3). ); including,
The probe pin block support 7 may finely move the probe pin block 5 in a transverse direction along the edge of the inspection object P or in a longitudinal direction orthogonal to the edge of the inspection object P. Is supposed to be,
The probe pin block support (7) includes a vertical alignment bundle (11) for finely adjusting the paper feed of the probe pin block (5),
The vertical alignment bundle 11,
A vertical frame 21 fixed to a corner portion of the base frame 3;
A paper feed block 23 having one end mounted on the vertical frame 21 and the other end supporting the probe pin block 5 so that relative movement in the longitudinal direction with respect to the vertical frame 21 is possible; And
One end of the vertical dial 45 connected to the other end of the paper feed screw 41 which is screwed to the paper feed nut hole 43 of the paper feed block 23 through the vertical frame 21 is rotated forward and backward, And a paper conveying means (25) for moving the paper conveying block (23) relative to the vertical frame (21) in a longitudinal direction.
상기 종이송수단(25)은,
상기 종이송스크류(41)의 둘레에 원주방향으로 형성된 톱니바퀴(51);
상기 톱니바퀴(51)의 톱니(55) 사이에 스냅식으로 삽탈을 반복하도록 상기 세로틀(21) 일측에 장착되어, 상기 종이송스크류(41)의 1 회전을 상기 톱니바퀴(51)의 톱니(55) 수 만큼의 구간으로 분할하는 멈춤돌기(53);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브핀 미세정렬식 어레이유닛.The method according to claim 2,
The paper transport means 25,
A cogwheel 51 formed in a circumferential direction around the paper feed screw 41;
It is mounted on one side of the vertical frame 21 so as to repeat insertion and removal in a snap-type between the teeth 55 of the cogwheel 51, so that one rotation of the paper feed screw 41 is performed by the cogwheel 51 (55) A probe pin micro-aligned array unit comprising: a stopping protrusion (53) divided into a number of sections.
상기 베이스프레임(3) 상에 검사대상물(P)의 모서리를 따라 위치이동이 가능하게 장착되어, 상기 검사대상물(P)의 복수의 접촉단(T)에 프로브핀을 접촉시켜 상기 검사대상물(P)을 검사하는 복수의 프로브핀블록(5); 및
상기 각각의 프로브핀블록(5)을 상기 베이스프레임(3) 모서리를 따라 위치이동이 가능하게 지지하면서, 상기 베이스프레임(3)과 상기 프로브핀블록(5)을 연결하는 프로브핀블록 지지체(7);를 포함하여 이루어지되,
상기 프로브핀블록 지지체(7)는 상기 프로브핀블록(5)을 상기 검사대상물(P)의 모서리를 따르는 횡방향으로, 또는 상기 검사대상물(P)의 모서리와 직교하는 종방향으로 미세 이동시킬 수 있게 되어 있고,
상기 프로브핀블록 지지체(7)는 상기 프로브핀블록(5)의 횡이송을 미세하게 조정하는 가로정렬뭉치(113)를 포함하되,
상기 가로정렬뭉치(113)는,
상기 베이스프레임(3)의 모서리 부분에 고정되는 가로틀(121);
상기 가로틀(121)에 대해 횡방향으로 상대 이동이 가능하도록 일단이 상기 가로틀(121)에 횡이송 가능하게 장착되고, 타단이 상기 프로브핀블록(5)을 지지하는 횡이송블록(123); 및
일단이 상기 가로틀(121)을 관통하여 상기 횡이송블록(123)의 횡이송너트공(143)에 나사 결합되고 타단이 가로다이얼(145)에 연결된 횡이송스크류(141)을 정역회전시켜, 상기 횡이송블록(123)이 상기 가로틀(121)에 대해 횡방향으로 상대 이동되게 하는 횡이송수단(125);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브핀 미세정렬식 어레이유닛.A base frame (3) constituting the body;
It is mounted on the base frame 3 so that the position can be moved along the edge of the inspection object P, and the probe pins are brought into contact with the plurality of contact ends T of the inspection object P. ) A plurality of probe pin blocks (5) to check; And
A probe pin block support (7) that connects the base frame (3) and the probe pin block (5) while supporting each of the probe pin blocks (5) in a position movable along the edge of the base frame (3). ); including,
The probe pin block support 7 may finely move the probe pin block 5 in a transverse direction along the edge of the inspection object P or in a longitudinal direction orthogonal to the edge of the inspection object P. Is supposed to be,
The probe pin block support 7 includes a horizontal alignment bundle 113 for finely adjusting the transverse transfer of the probe pin block 5,
The horizontal alignment bundle 113,
A horizontal frame 121 fixed to a corner portion of the base frame 3;
A transverse transfer block 123 having one end mounted to be transversely transferred to the transverse frame 121 and the other end supporting the probe pin block 5 to enable relative movement in the transverse direction with respect to the transverse frame 121 ; And
One end is screwed to the lateral transfer nut hole 143 of the lateral transfer block 123 through the transverse frame 121 and the other end is rotated forward and backward through the lateral transfer screw 141 connected to the transverse dial 145, A probe pin micro-aligned array unit comprising: a transverse transfer means (125) for allowing the transverse transfer block (123) to move relative to the transverse frame (121) in a transverse direction.
상기 횡이송수단(125)은,
상기 횡이송스크류(141)의 둘레에 원주방향으로 형성된 톱니바퀴(151);
상기 톱니바퀴(151)의 톱니(155) 사이에 스냅식으로 삽탈을 반복하도록 상기 가로틀(121) 일측에 장착되어, 상기 횡이송스크류(141)의 1 회전을 상기 톱니바퀴(151)의 톱니(155) 수 만큼의 구간으로 분할하는 멈춤돌기(153);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브핀 미세정렬식 어레이유닛.The method of claim 4,
The transverse transfer means 125,
A cogwheel 151 formed in a circumferential direction around the lateral transfer screw 141;
It is mounted on one side of the horizontal frame 121 to repeat insertion and removal in a snap-type between the teeth 155 of the cogwheel 151, and one rotation of the transverse transfer screw 141 is performed by the cogwheel 151 (155) Probe pin micro-aligned array unit, comprising: a stopping protrusion 153 divided into a number of sections.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116626347A (en) * | 2023-07-24 | 2023-08-22 | 山东经天电力工程有限公司 | Portable insulation resistance testing device for power engineering |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006098121A (en) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Micronics Japan Co Ltd | Probe unit |
KR20090026638A (en) | 2007-09-10 | 2009-03-13 | 주식회사 프로텍 | Auto probe unit |
KR20090108254A (en) * | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 티에스씨멤시스(주) | Unit for supporting a flat panel and stage for inspecting a flat panel having the unit |
KR20090108273A (en) * | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 티에스씨멤시스(주) | Unit for supporting a flat panel and stage for inspecting a flat panel having the unit |
KR20100051269A (en) * | 2008-11-07 | 2010-05-17 | 주식회사 크라또 | Probe unit being capable of delicate adjustment of probe |
KR20100118780A (en) * | 2009-04-29 | 2010-11-08 | 주식회사 크라또 | Probe unit including manupulator and probe-block for visual test |
KR101378997B1 (en) * | 2012-12-14 | 2014-03-27 | (주) 루켄테크놀러지스 | Intergrated testing appatus for panel and method of aligning testing appatus for panel |
KR20160035726A (en) * | 2014-09-24 | 2016-04-01 | 주식회사 디이엔티 | Test Apparatus of Liquid Crystal Display Panel and Control Method Thereof |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100439899B1 (en) * | 2001-10-23 | 2004-07-14 | 미래산업 주식회사 | Clamp for test tray in handler for testing semiconductor |
US7468611B2 (en) * | 2006-10-20 | 2008-12-23 | Photon Dynamics, Inc. | Continuous linear scanning of large flat panel media |
KR101064553B1 (en) * | 2009-12-23 | 2011-09-14 | 양 전자시스템 주식회사 | Probe driving apparatus capable of automatically compensating location of probe pin |
KR101223584B1 (en) * | 2011-06-01 | 2013-01-17 | 에이엘티 세미콘(주) | Alignment apparatus of probe card |
KR20170049690A (en) * | 2015-10-27 | 2017-05-11 | 세메스 주식회사 | Apparatus for connecting a semiconductor of test handler |
KR102194435B1 (en) * | 2019-03-26 | 2020-12-23 | (주)멘토티앤씨 | A Precise driving Stage for testing device |
-
2020
- 2020-10-28 KR KR1020200141290A patent/KR102225541B1/en active IP Right Grant
-
2021
- 2021-01-26 KR KR1020210010878A patent/KR102337246B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006098121A (en) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Micronics Japan Co Ltd | Probe unit |
KR20090026638A (en) | 2007-09-10 | 2009-03-13 | 주식회사 프로텍 | Auto probe unit |
KR20090108254A (en) * | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 티에스씨멤시스(주) | Unit for supporting a flat panel and stage for inspecting a flat panel having the unit |
KR20090108273A (en) * | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 티에스씨멤시스(주) | Unit for supporting a flat panel and stage for inspecting a flat panel having the unit |
KR20100051269A (en) * | 2008-11-07 | 2010-05-17 | 주식회사 크라또 | Probe unit being capable of delicate adjustment of probe |
KR20100118780A (en) * | 2009-04-29 | 2010-11-08 | 주식회사 크라또 | Probe unit including manupulator and probe-block for visual test |
KR101378997B1 (en) * | 2012-12-14 | 2014-03-27 | (주) 루켄테크놀러지스 | Intergrated testing appatus for panel and method of aligning testing appatus for panel |
KR20160035726A (en) * | 2014-09-24 | 2016-04-01 | 주식회사 디이엔티 | Test Apparatus of Liquid Crystal Display Panel and Control Method Thereof |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116626347A (en) * | 2023-07-24 | 2023-08-22 | 山东经天电力工程有限公司 | Portable insulation resistance testing device for power engineering |
CN116626347B (en) * | 2023-07-24 | 2023-09-26 | 山东经天电力工程有限公司 | Portable insulation resistance testing device for power engineering |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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