KR102194435B1

KR102194435B1 - A Precise driving Stage for testing device

Info

Publication number: KR102194435B1
Application number: KR1020190034672A
Authority: KR
Inventors: 이길준; 김영덕
Original assignee: (주)멘토티앤씨
Priority date: 2019-03-26
Filing date: 2019-03-26
Publication date: 2020-12-23
Also published as: KR20200113865A

Abstract

본 발명은 검사장비용 정밀구동 스테이지에 관한 것으로서, 하부스테이지(100); 상부스테이지(200); 상기 하부스테이지(100)와 상부스테이지(200) 사이에 배치되어 상기 상부스테이지(200)를 전후진 이동시키는 XY축 이동조절수단(300); 및 상기 XY축 이동조절수단(300)과 연동되어 이동하며, 상기 하부스테이지(100)및 상기 상부스테이지(200)와 각각 연결되어 상기 상부스테이지(200)의 틸팅각을 조절하는 틸팅각 조절수단(400);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하며, 본 발명은 간단한 조작으로 스테이지의 평면상에서의 이동위치와 틸팅각을 별개로 또는 동시에 정밀하게 미세 조정하여 실시간으로 대응하여 위치 결정을 제어할 수 있고, 스테이지의 크기를 감소시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a precision driving stage for inspection equipment, the lower stage 100; Upper stage 200; An XY axis movement control means (300) disposed between the lower stage (100) and the upper stage (200) to move the upper stage (200) forward and backward; And a tilting angle adjusting means for moving in conjunction with the XY axis movement adjusting means 300, and being connected to the lower stage 100 and the upper stage 200 respectively to adjust the tilting angle of the upper stage 200 ( 400); characterized in that it comprises, and the present invention can control the positioning in real time by precisely finely adjusting the moving position and the tilting angle on the plane of the stage separately or at the same time with a simple operation, and , It has the effect of reducing the size of the stage.

Description

Precision driving stage for inspection equipment {A Precise driving Stage for testing device}

본 발명은 검사장비용 스테이지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 간단한 조작으로 스테이지의 평면상에서의 XY축 이동위치와 Z축 틸팅각을 별개로 또는 동시에 정밀하게 미세 조정하여 위치 결정을 제어하도록 함으로써, 피검사체의 검사에 대한 신뢰성을 높이고 공간절약화를 실현할 수 있는 검사장비용 정밀구동 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to a stage for inspection equipment, and more particularly, by controlling the positioning by precisely finely adjusting the XY-axis moving position and the Z-axis tilting angle on the plane of the stage separately or simultaneously with a simple operation, It relates to a precision driving stage for inspection equipment that can increase the reliability of the inspection of the vehicle and realize space saving.

일반적으로, 정밀구동 스테이지는 리드 프레임이나 마스크, 반도체 회로 등의 반도체 부품뿐만 아니라, 광학기기, 전기/전자기기, 각종 기계요소에 대해 틸팅각이나 이동위치를 정밀하게 미세 조정하여 위치 결정을 제어하는 장치이다. 특히 반도체의 고집적화 및 기기들의 소형화에 따라 관련되는 리드 프레임이나 마스크, 회로 또는 부품들이 점차 미세화되어 피검사체를 고배율로 확대하여 검사하는 현미경이 널리 사용되고 있다.In general, precision driving stages control positioning by precisely fine-tuning tilting angles and moving positions for optical devices, electrical/electronic devices, and various mechanical elements, as well as semiconductor components such as lead frames, masks, and semiconductor circuits. Device. In particular, as semiconductors are highly integrated and devices are miniaturized, lead frames, masks, circuits, or parts related to them are gradually miniaturized, and a microscope that enlarges and inspects an object to be inspected at a high magnification is widely used.

한편, 현미경의 고배율화에 따라 한번에 검사할 수 있는 시야가 보다 좁아짐에 따라 피검사체를 현미경의 초점에 맞추어서 자유롭게 이동시킬 필요가 있으며, 또한 피검사체는 매우 얇거나 미세한 패턴이 형성되어 있어 쉽게 손상될 수 있으므로 피검사체를 캐리어 플레이트위에 적재시키고 이 캐리어 플레이트를 정밀구동 스테이지 위에 올려 놓은 다음 노브를 조작하여 피검사체를 원하는 위치로 정밀하게 이동시키고 있다. 이렇게 정밀구동 스테이지는 기구적 마찰에 의한 위치 오차를 최소화하고 미소한 위치이동을 가능하도록 하며, 주위의 환경변화에 관계없이 고정밀의 위치제어를 가능하게 해야 한다.On the other hand, as the field of view that can be inspected at one time becomes narrower with the higher magnification of the microscope, it is necessary to freely move the subject to focus on the microscope. Also, the subject is easily damaged because it has a very thin or fine pattern. Therefore, the subject is loaded on the carrier plate, the carrier plate is placed on the precision driving stage, and then the subject is precisely moved to the desired position by operating the knob. In this way, the precision driving stage should minimize positional errors due to mechanical friction, enable minute positional movement, and enable high-precision position control regardless of changes in the surrounding environment.

통상, 정밀구동 스테이지는 하부 스테이지 몸체와, 상부 스테이지 몸체, 하부 스테이지 몸체를 상부 스테이지몸체 상에서 직선방향으로 이동시키기 위한 마이크로 미터로 구성되며, 스테이지의 면접촉에 따른 마모를 최대한 방지하여 수명을 연장하기 위해 크로스 롤러 가이드가 각각 구비되어 교차방향으로 슬라이딩 이동할때 롤러의 구름동작에 의해 정밀한 위치이동을 가능하게 하며, 스테이지 몸체의 마모가 발생하지 않게 한다.In general, a precision driving stage is composed of a lower stage body, an upper stage body, and a micrometer to move the lower stage body in a linear direction on the upper stage body, and it prevents abrasion due to surface contact of the stage as much as possible to extend the lifespan. For this purpose, each cross roller guide is provided to enable precise position movement by rolling motion of the rollers when sliding in the cross direction, and to prevent wear of the stage body.

또한, 이동통신 단말기 성능 검사유닛과 이동통신 단말기 접속시 안정적인 결합 및 자동화의 구현을 위해 검사 지그가 개발되었으며, 종래기술에 따른 검사 지그는, 그 상단 중앙에서 소정 각도로 경사지게 형성된 스토퍼부, 스토퍼부의 전단에 돌출 형성되되 그 상단면이 개방된 수용공간을 형성하는 제1노출부, 및 제1노출부에 다각 형상으로 마련된 제1평탄면이 구비된 제1본체와, 제1본체의 상단에 위치하도록 제1노출부의 상단면에 끼워져 제1노출부의 수용공간을 폐쇄하는 제2노출부, 제1본체의 후단에 위치하도록 제2노출부에서 연장 형성되되 길이방향으로 접속단자가 안착되는 다수의 수용홈이 형성된 덮개부, 및 제2노출부에 마련되어 제1평탄면에 결합되는 제2평탄면이 구비된 제2본체를 포함한다.In addition, a test jig has been developed for stable coupling and automation when a mobile communication terminal performance test unit is connected to a mobile communication terminal, and a test jig according to the prior art includes a stopper part and a stopper part formed to be inclined at a predetermined angle from the upper center of the test jig. A first body provided with a first exposed portion protruding from the front end to form an accommodation space with an open top surface, and a first flat surface provided in a polygonal shape on the first exposed portion, and located at the top of the first body The second exposed part is inserted into the upper surface of the first exposed part to close the receiving space of the first exposed part, and a plurality of accommodations extending from the second exposed part to be located at the rear end of the first body, and the connection terminals are seated in the longitudinal direction. And a second body provided with a cover portion in which a groove is formed, and a second flat surface provided on the second exposed portion and coupled to the first flat surface.

그러나, 종래기술에 따른 검사 지그는, 단말기가 안착되는 본체의 상면 각도를 다양하게 변경하기 어렵고, 본체의 상면을 다양한 방향으로 이동시키거나 회전시키기 어렵기 때문에 다양한 단말기의 검사에 활용할 수 없고 검사장비의 구조적 특징에 호환되는 본체 상면의 각도를 제공하기 어려운 문제점이 있다.However, the inspection jig according to the prior art cannot be used for inspection of various terminals because it is difficult to variously change the angle of the top surface of the body on which the terminal is mounted, and it is difficult to move or rotate the top surface of the body in various directions. There is a problem in that it is difficult to provide an angle of the upper surface of the body that is compatible with the structural features of.

또한, 종래기술에 따른 검사 지그는, 다양한 각도를 조절하기 위해 다수 개의 기술구성이 추가되므로 스테이지의 크기와 높이가 현저하게 증가되어 검사장비를 설치 공간이 커지는 문제점이 있다.In addition, the conventional inspection jig has a problem in that the size and height of the stage are remarkably increased because a plurality of technical configurations are added to adjust various angles, thereby increasing the installation space of the inspection equipment.

등록특허 제10-1906180호에는 내부에서 회전되는 회전축이 형성된 베이스블록, 베이스블록 상부에서 회전축과 연결되고, 중심부에 전진영역 및 후진영역으로 구분되는 슬라이딩홈이 형성되며, 슬라이딩홈과 인접하여 일부가 상부로 돌출되는 로테이션블록, 슬라이딩홈상에서 이동되는 크로스유닛 및 크로스유닛에 회전 가능하게 결합되고, 일부가 승강파트와 접촉되면서 회전되는 각도가 조절되는 검사 장치용 블록스테이지장치를 개시하고 있다.Registered Patent No. 10-1906180 discloses a base block having a rotating shaft rotating inside, a sliding groove connected to the rotating shaft at the top of the base block, and divided into a forward area and a reverse area in the center, and partly adjacent to the sliding groove. Disclosed is a block stage device for an inspection device that is rotatably coupled to a rotation block protruding upward, a cross unit moving on a sliding groove, and a cross unit, and in which a rotation angle is adjusted while a part of it is in contact with an elevating part.

그러나, 무빙블록의 슬라이딩 이동이 수동조작에 의한 것일 뿐만 아니라, 어느 일방향으로 형성된 슬라이딩홈에 의해 무빙블록의 슬라이딩 이동이 X축 방향 또는 Y축 방향 중 어느 한 방향으로만 가능한 구조이다. 또한, 회전 틸팅각을 주기 위한 승강파트는 구조가 복잡할 뿐만 아니라, 승강파트가 슬라이딩홈을 기준으로 양측에 상하이동가능하도록만 형성되어 있어 무빙블록의 틸팅 각도의 미세 조정이 불가능하여 무빙블록의 위치 정밀조절에 실시간으로 대응할 수 없는 문제가 있다.However, the sliding movement of the moving block is not only due to manual operation, but also the sliding movement of the moving block is possible only in either the X-axis direction or the Y-axis direction by a sliding groove formed in one direction. In addition, the elevating part for giving the rotational tilting angle is not only complex in structure, and the elevating part is formed so that it can move upwards and downwards on both sides based on the sliding groove, so fine adjustment of the tilting angle of the moving block is impossible. There is a problem that it cannot respond in real time to precise positioning.

특허등록 제10-1906180호Patent Registration No. 10-1906180 대한민국 공개특허 10-2006-0133657호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2006-0133657

본 발명은 이와 같은 종래 스테이지의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 간단한 조작으로 스테이지의 평면상에서의 이동위치와 틸팅각을 별개로 또는 동시에 정밀하게 미세 조정하여 실시간으로 위치 결정을 제어할 수 있고, 스테이지의 크기를 감소시킬 수 있는 검사장비용 정밀구동 스테이지를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was conceived to solve the problems of such a conventional stage, and an object of the present invention is to precisely adjust the moving position and the tilting angle on the plane of the stage separately or at the same time with a simple operation to determine the position in real time. An object thereof is to provide a precision driving stage for inspection equipment that can be controlled and can reduce the size of the stage.

상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 검사장비용 정밀구동 스테이지는, In order to solve the above problems, the precision driving stage for inspection equipment according to the present invention,

하부스테이지(100);Lower stage 100;

상부스테이지(200);Upper stage 200;

상기 하부스테이지(100)와 상부스테이지(200) 사이에 배치되어 상기 상부스테이지(200)를 전후진 이동시키는 XY축 이동조절수단(300); 및 An XY axis movement control means (300) disposed between the lower stage (100) and the upper stage (200) to move the upper stage (200) forward and backward; And

상기 XY축 이동조절수단(300)과 연동되어 이동하며, 상기 하부스테이지(100)및 상기 상부스테이지(200)와 각각 연결되어 상기 상부스테이지(200)의 틸팅각을 조절하는 틸팅각 조절수단(400);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.A tilting angle adjustment means 400 that moves in conjunction with the XY axis movement control means 300 and is connected to the lower stage 100 and the upper stage 200 respectively to adjust the tilting angle of the upper stage 200 ); characterized in that it is configured to include.

또한, 본 발명에 따른 검사장비용 정밀구동 스테이지에서,In addition, in the precision driving stage for inspection equipment according to the present invention,

상기 하부스테이지(100)는, 중심을 지나는 축선상의 양측 테두리 소정위치에는 결합홀이 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.The lower stage 100 is characterized in that coupling holes are formed at predetermined positions on both sides of the axial line passing through the center.

상기 상부스테이지(200)는, 전면 중앙위치에 제1결합부(210)가 수직 하방향으로 일체로 또는 별개로 형성되어 고정되며,The upper stage 200, the first coupling portion 210 is formed integrally or separately in the vertical downward direction at the front central position and fixed,

상기 제1결합부(210)에는 관통홀이 상기 상부스테이지와 평행하게 형성되고, 상기 제1결합부(210)의 하단에는 제1볼지지대(412)를 안착시켜 고정하는 결합구가 형성되는 것을 특징으로 한다.The first coupling portion 210 has a through hole formed parallel to the upper stage, and a coupling hole for mounting and fixing the first ball support 412 is formed at the lower end of the first coupling portion 210 It is characterized.

상기 상부스테이지(200)의 중심을 지나는 축선상의 양측 테두리 소정위치에는 결합홀이 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that coupling holes are formed at predetermined positions on both sides of the axial line passing through the center of the upper stage 200.

상기 XY축 이동조절수단(300)은, The XY axis movement control means 300,

평면상에서 X축으로 전후진 이동하는 X축 조절부(310);An X-axis adjusting unit 310 moving forward and backward in the X-axis on a plane;

평면상에서 Y축으로 전후진 이동하는 Y축 조절부(320); 및 Y-axis adjustment unit 320 moving forward and backward in the Y-axis on the plane; And

상기 X축 조절부(310) 및 Y축 조절부(320)와 연결되어 X축 또는 Y축으로 전후진 이동하는 크로스유닛(330);으로 구성되는 것을 특징으로 한다.It characterized in that it consists of; a cross unit 330 which is connected to the X-axis adjustment unit 310 and the Y-axis adjustment unit 320 and moves back and forth in the X-axis or Y-axis.

상기 X축 조절부(310)는, The X-axis adjustment unit 310,

상기 상부스테이지(200)의 X축 평면상에서 전후진 이동거리를 조정하는 X축 마이크로헤드(311);An X-axis microhead 311 for adjusting a moving distance forward and backward on the X-axis plane of the upper stage 200;

상기 X축 마이크로헤드(311)에 전단이 연결되고 상기 크로스유닛(330)에 후단이 연결되어 전후진하며 상기 크로스유닛(330)을 이동시키는 X축 밀링바(312); 및An X-axis milling bar 312 for moving the cross unit 330 forward and backward by connecting the front end to the X-axis microhead 311 and the rear end to the cross unit 330; And

상기 크로스유닛(330)에 전단이 연결되고 후단에 스프링(S)이 연결된 X축 연동바(313);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.It characterized in that it comprises a; X-axis linkage bar 313; the front end is connected to the cross unit 330 and the spring (S) is connected to the rear end.

상기 X축 조절부(310)는,The X-axis adjustment unit 310,

상기 X축 마이크로헤드(311)를 지지하는 제1 보조지지부(316)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.It characterized in that it further comprises a first auxiliary support portion 316 for supporting the X-axis microhead 311.

상기 Y축 조절부(320)는,The Y-axis adjustment unit 320,

상기 상부스테이지(200)를 Y축 평면상에서 전후진 이동거리를 조정하는 Y축 마이크로헤드(321);A Y-axis microhead 321 for adjusting the moving distance of the upper stage 200 forward and backward on the Y-axis plane;

상기 Y축 마이크로헤드(321)에 전단이 연결되고 상기 크로스유닛(330)에 후단이 연결되어 전후진하며 상기 크로스유닛(330)을 이동시키는 Y축 밀링바(322); 및A Y-axis milling bar 322 for moving the cross unit 330 forward and backward by connecting the front end to the Y-axis microhead 321 and the rear end to the cross unit 330; And

상기 크로스유닛(330)에 전단이 연결되고 후단에 스프링(S)이 연결된 Y축 연동바(323);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.It characterized in that it comprises a; Y-axis linkage bar 323 connected to the front end is connected to the cross unit 330 and a spring (S) is connected to the rear end.

상기 Y축 조절부(320)는,The Y-axis adjustment unit 320,

상기 Y축 마이크로헤드(321)를 지지하는 제2 보조지지부(326); 및 상기 제2 보조지지부(326)가 고정되는 제2결합부(324);를 더 포함하고,A second auxiliary support part 326 supporting the Y-axis microhead 321; And a second coupling part 324 to which the second auxiliary support part 326 is fixed; further comprising,

상기 제2결합부(324)에는 상기 Y축 밀링바(322)가 결합하는 관통홀이 Y축 조절부(320)와 평행하게 형성되어 있고, 상기 제2결합부(324)의 상부면에는 제2볼지지대(422)를 안착시켜 고정하는 결합구가 형성되는 것을 특징으로 한다.In the second coupling part 324, a through hole to which the Y-axis milling bar 322 is coupled is formed in parallel with the Y-axis adjusting part 320, and the upper surface of the second coupling part 324 is It is characterized in that a coupling hole for mounting and fixing the 2 ball support 422 is formed.

상기 크로스유닛(330)은,The cross unit 330,

상기 X축 조절부(310)의 X축 밀링바(312)의 후단과 X축 연동바(313)의 전단 및 상기 Y축 조절부(320)의 Y축 밀링바(322)의 후단과 Y축 연동바(323)의 전단이 결합되고, 상부스테이지(200)와 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.The rear end of the X-axis milling bar 312 of the X-axis adjusting part 310 and the front end of the X-axis linking bar 313 and the rear end of the Y-axis milling bar 322 of the Y-axis adjusting part 320 and the Y-axis It characterized in that the front end of the interlocking bar 323 is coupled, and is connected to the upper stage 200.

상기 틸팅각 조절수단(400)은,The tilting angle adjusting means 400,

상기 상부스테이지(200)가 중심점을 지나는 X축 선을 기준으로 각 양측면이 Z축 상하로 회전할 수 있도록 하는 X축 틸팅각 조절부(400a); 및An X-axis tilt angle adjustment unit 400a that allows the upper stage 200 to rotate up and down the Z-axis with respect to the X-axis line passing through the center point; And

상기 상부스테이지(200)가 중심점을 지나는 Y축 선을 기준으로 각 양측면이 Z축 상하로 회전할 수 있도록 하는 Y축 틸팅각 조절부(400b);로 구성되는 것을 특징으로 한다.It characterized in that it comprises a; Y-axis tilt angle adjustment unit (400b) that allows each side of the upper stage 200 to rotate up and down the Z-axis with respect to the Y-axis line passing through the center point.

상기 X축 틸팅각 조절부(400a)는,The X-axis tilt angle adjustment unit 400a,

상기 X축 조절부(310) 및 상기 하부스테이지(100)와 결합되어, X축 기준 상부스테이지(200)의 Z축으로의 틸팅각을 조절하는 것을 특징으로 한다.It is combined with the X-axis adjustment unit 310 and the lower stage 100 to adjust a tilting angle of the upper stage 200 relative to the X-axis in the Z-axis.

제1구동기어(410); 상기 제1구동기어(410)의 하부중심에 일체로 형성된 반구형의 제1볼(411); A first driving gear 410; A hemispherical first ball 411 integrally formed at the lower center of the first driving gear 410;

상기 제1볼(411)의 회전유동을 지지하며, 상기 상부스테이지(200)의 제1결합부(210)의 하부면에 고정결합된 제1볼지지대(412); A first ball support 412 fixedly coupled to a lower surface of the first coupling portion 210 of the upper stage 200 and supporting the rotational flow of the first ball 411;

상기 제1구동기어(410)의 상부중심에 일체로 형성된 제1스크류(413); 및 A first screw 413 integrally formed at the upper center of the first driving gear 410; And

상기 제1스크류(413)가 나사결합하며 상기 하부스테이지(100)에 고정되는 제1암나사(414);로 구성되는 것을 특징으로 한다.The first screw 413 is screwed and a first female screw 414 fixed to the lower stage 100;

상기 Y축 틸팅각 조절부(400b)는,The Y-axis tilt angle adjustment unit 400b,

상기 Y축 조절부(320) 및 상기 상부스테이지(200)와 결합되어, Y축 기준 상부스테이지(200)의 Z축으로의 틸팅각을 조절하는 것을 특징으로 한다.It is combined with the Y-axis adjusting unit 320 and the upper stage 200, and is characterized in that the tilting angle of the upper stage 200 based on the Y-axis in the Z-axis is adjusted.

제2구동기어(420);A second driving gear 420;

상기 제2구동기어(420)의 하부중심에 일체로 형성된 반구형의 제2볼(421);A hemispherical second ball 421 integrally formed at the lower center of the second driving gear 420;

상기 제2볼(421)의 회전유동을 지지하며, 상기 Y축 조절부(320)의 제2결합부(324)의 상부면에 고정결합된 제2볼지지대(422);A second ball support 422 that supports the rotational flow of the second ball 421 and is fixedly coupled to an upper surface of the second coupling part 324 of the Y-axis adjusting part 320;

상기 제2구동기어(420)의 상부중심에 일체로 형성된 제2스크류(423); 및A second screw 423 integrally formed at the upper center of the second driving gear 420; And

상기 제2스크류(423)가 나사결합하며 상기 상부스테이지(200)에 고정되는 제2암나사(424);로 구성되는 것을 특징으로 한다.The second screw 423 is screwed and a second female screw 424 fixed to the upper stage 200; characterized in that it consists of.

본 발명의 검사장비용 정밀구동 스테이지에 의하면, 간단한 조작으로 스테이지의 평면상에서의 이동위치와 틸팅각을 별개로 또는 동시에 정밀하게 미세 조정하여 실시간으로 대응하여 위치 결정을 제어할 수 있고, 스테이지의 크기를 감소시킬 수 있는 효과가 있다According to the precision driving stage for inspection equipment of the present invention, it is possible to control positioning in real time by precisely fine-tuning the moving position and the tilting angle on the plane of the stage separately or at the same time with a simple operation, and adjusting the size of the stage. There is an effect that can reduce

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 검사장비용 정밀구동 스테이지의 내부구조를 도식화한 개략적인 사시도,
도 2는 도 1의 사시도,
도 3은 도 1의 상부스테이지 및 하부스테이지의 일부를 절단한 도면,
도 4는 도 1의 일부를 절단한 도면,
도 5는 도 1의 AA 단면도,
도 6은 도 1의 BB 단면도,
도 7은 본 발명에 따른 검사장비용 정밀구동 스테이지에서 상부스테이지의 X축 전후진 이동을 보여주는 상태도,
도 8은 본 발명에 따른 검사장비용 정밀구동 스테이지에서 상부스테이지의 회전 중심을 기준으로 Y축에서의 상하틸팅을 보여주는 상태도.1 is a schematic perspective view schematically illustrating the internal structure of a precision driving stage for inspection equipment according to an embodiment of the present invention,
Figure 2 is a perspective view of Figure 1,
FIG. 3 is a partially cutaway view of the upper stage and the lower stage of FIG. 1;
Figure 4 is a view cut through a part of Figure 1;
5 is an AA cross-sectional view of FIG. 1,
6 is a cross-sectional view taken along BB of FIG. 1;
7 is a state diagram showing the X-axis forward and backward movement of the upper stage in the precision driving stage for inspection equipment according to the present invention,
8 is a state diagram showing the vertical tilting in the Y axis based on the rotation center of the upper stage in the precision driving stage for inspection equipment according to the present invention.

이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. In the present invention, various modifications may be made and various forms may be applied, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals have been used for similar elements.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 검사장비용 정밀구동 스테이지의 내부구조를 도식화한 개략적인 사시도, 도 2는 도 1의 사시도, 도 3은 도 1의 상부스테이지 및 하부스테이지의 일부를 절단한 도면, 도 4는 도 1의 일부를 절단한 도면, 도 5는 도 1의 AA 단면도, 도 6은 도 1의 BB 단면도, 도 7의 (a),(b)는 본 발명에 따른 검사장비용 정밀구동 스테이지에서 상부스테이지의 Y축 전후진 이동을 보여주는 상태도, 도 8의 (a),(b)는 본 발명에 따른 검사장비용 정밀구동 스테이지에서 상부스테이지의 회전 중심을 기준으로 Y축에서의 상하틸팅을 보여주는 상태도이다.
1 is a schematic perspective view schematically illustrating the internal structure of a precision driving stage for inspection equipment according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of FIG. 1, and FIG. 3 is a partial cut-away view of the upper stage and the lower stage of FIG. Figures, Figure 4 is a view cut through a part of Figure 1, Figure 5 is a cross-sectional view AA of Figure 1, Figure 6 is a cross-sectional view BB of Figure 1, Figure 7 (a), (b) is a precision inspection equipment according to the present invention A state diagram showing the Y-axis forward and backward movement of the upper stage in the driving stage, Fig. 8(a) and (b) are vertical in the Y-axis based on the rotation center of the upper stage in the precision driving stage for inspection equipment according to the present invention. It is a state diagram showing tilting.

도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 실시예에 의한 검사장비용 정밀구동 스테이지(1)는, 하부스테이지(100), 상부스테이지(200), XY축 이동조절수단(300), 및 틸팅각 조절수단(400)을 포함하여 구성된다.
1 to 8, the precision driving stage 1 for inspection equipment according to the present embodiment includes a lower stage 100, an upper stage 200, an XY-axis movement adjusting means 300, and a tilting angle adjusting means It consists of 400, including.

하부스테이지(100)는, 바닥에 고정되어 정밀검사를 수행할 수 있도록 하는 지지판으로, 네개의 모서리에는 각각 지지대(110)가 구비되며, 중심을 지나는 X축선상의 양측 테두리 소정위치에는 소정크기의 결합홀이 각각 형성된다.The lower stage 100 is a support plate that is fixed to the floor so as to perform a detailed inspection, and supports 110 are provided at each of the four corners, and a predetermined size is combined at predetermined positions on both sides of the X-axis passing through the center. Each hole is formed.

이 결합홀은 후술하는 제1 암나사(414)가 끼워져 고정되도록 하기 위함이다.This coupling hole is intended to be fixed by fitting the first female screw 414 to be described later.

또한, 각각의 지지대는 서로 이격되게 구비되어야 하는 것으로, 이는 후술하는 X축 조절부(310)의 작동시 크로스유닛 및 상부스테이지와 함께 동시에 X축상에서 전후진하는 Y축 조절부(320)가 이동할 수 있는 공간적 거리를 확보하도록 하고, 마찬가지로 Y축 조절부(320)의 작동시 크로스유닛 및 상부스테이지와 함께 동시에 Y축상에서 전후진하는 X축 조절부(310)가 이동할 수 있는 공간적 거리를 확보하여야 하기 때문이다.
In addition, each support is to be provided to be spaced apart from each other, which is the Y-axis adjusting unit 320 moving forward and backward on the X-axis simultaneously with the cross unit and the upper stage when the X-axis adjusting unit 310 described later is operated. In the same way, when the Y-axis adjusting part 320 is operated, the X-axis adjusting part 310 moving forward and backward on the Y-axis simultaneously with the cross unit and the upper stage must be secured. Because it does.

상부스테이지(200)는 피검사체가 안착되는 플레이트로서, 크로스유닛(330)과 연결되어 X축 조절부(310) 또는 Y축 조절부(320)의 제어에 따라 XY축 평면상에서 전후진 이동할 수 있게 되며, X축 조절부(310)와 결합된 X축 틸팅각 조절부(400a) 또는 Y축 틸팅각 조절부(400b)의 제어에 따라 크로스유닛(330)의 중심점을 지나는 XY축 선을 기준으로 각각 양측면이 상하로 회전이동할 수 있게 된다.The upper stage 200 is a plate on which the object to be tested is seated, and is connected to the cross unit 330 so that it can be moved back and forth on the XY axis plane under the control of the X axis adjustment unit 310 or the Y axis adjustment unit 320. And, based on the XY-axis line passing through the center point of the cross unit 330 under the control of the X-axis tilting angle adjustment unit 400a coupled with the X-axis adjustment unit 310 or the Y-axis tilting angle adjustment unit 400b. Each side can rotate up and down.

상부스테이지(200)의 전면 중앙위치(X축 중심선상의 위치)에는 제1결합부(210)가 상부스테이지(200)에 수직한 상태로 하방향으로 일체로 또는 별개로 형성되어 고정된 상태로 형성된다. 제1결합부(210)에는 X축 밀링바(312)가 끼워지는 관통홀이 상부스테이지와 평행하게 형성되고, 제1결합부(210)의 하단에는 제1볼지지대(412)를 안착시켜 고정하는 결합구가 형성된다.At the front central position of the upper stage 200 (position on the X-axis center line), the first coupling portion 210 is formed integrally or separately in a downward direction in a state perpendicular to the upper stage 200 and fixed. Is formed. A through hole into which the X-axis milling bar 312 is inserted is formed in the first coupling part 210 in parallel with the upper stage, and a first ball support 412 is mounted at the lower end of the first coupling part 210 to be fixed. A coupler is formed.

또한, 상부스테이지(200)의 중심을 지나는 Y축선상의 양측 테두리 소정위치에는 소정크기의 결합홀이 각각 형성된다. 이 결합홀은 후술하는 제2 암나사(424)가 끼워져 고정되도록 하기 위함이다.
In addition, coupling holes having a predetermined size are formed at predetermined positions on both sides of the Y axis passing through the center of the upper stage 200. This coupling hole is intended to be fixed by fitting a second female screw 424 to be described later.

XY축 이동조절수단(300)은 하부스테이지(100)와 상부스테이지(200) 사이에 배치되어 상부스테이지(200)가 XY축 평면상에서 전후진 이동할 수 있도록 하기 위한 것으로, X축 조절부(310), Y축 조절부(320) 및 크로스유닛(330)으로 구성된다.The XY-axis movement control means 300 is disposed between the lower stage 100 and the upper stage 200 to allow the upper stage 200 to move back and forth on the XY-axis plane, and the X-axis adjustment unit 310 It consists of a Y-axis adjustment unit 320 and a cross unit 330.

X축 조절부(310)는 상부스테이지(200)를 X축 평면상에서 전후진 이동할 수 있도록 미세조정하는 장치로서, 전후진 이동거리를 조정하는 X축 마이크로헤드(311), X축 마이크로헤드(311)에 전단이 연결되고 크로스유닛(330)에 후단이 연결되어 X축 마이크로헤드(311)의 조정에 따라 전후진하며 크로스유닛(330)을 이동시키는 X축 밀링바(312), 크로스유닛(330)에 전단이 연결되고 후단에 스프링(S)이 연결된 X축 연동바(313)로 구성된다. 여기서, X축 마이크로헤드(311)는 제1 보조지지부(316)에 의해 지지된다.The X-axis adjustment unit 310 is a device that finely adjusts the upper stage 200 to move backward and forward on the X-axis plane, and the X-axis microhead 311 and the X-axis microhead 311 adjust the forward and backward movement distance. ), the front end is connected to the cross unit 330 and the rear end is connected to the X-axis milling bar 312, cross unit 330 that moves forward and backward according to the adjustment of the X-axis microhead 311 and moves the cross unit 330 It consists of an X-axis interlocking bar 313 connected to the front end and the spring (S) at the rear end. Here, the X-axis microhead 311 is supported by the first auxiliary support part 316.

X축 마이크로헤드(311)의 조정에 따라 X축 밀링바(312)가 전진이동하게 되면, 크로스유닛(330)이 연동되어 전진이동하면서 X축 밀링바(312)에 의해 스프링(S)은 압축되게 되고, 상부스테이지(200)는 X축에서 전진이동하게 된다. 압축된 스프링(S)의 탄성복원력에 의해 상부스테이지(200)는 후진이동도 가능함은 물론이다.
When the X-axis milling bar 312 moves forward according to the adjustment of the X-axis microhead 311, the cross unit 330 is interlocked and moves forward, and the spring S is compressed by the X-axis milling bar 312. The upper stage 200 moves forward in the X axis. It goes without saying that the upper stage 200 can also be moved backward by the elastic restoring force of the compressed spring S.

Y축 조절부(320)는 상부스테이지(200)를 Y축 평면상에서 전후진 이동할 수 있도록 미세조정하는 장치로서, 전후진 이동거리를 조정하는 Y축 마이크로헤드(321), Y축 마이크로헤드(321)에 전단이 연결되고 크로스유닛(330)에 후단이 연결되어 Y축 마이크로헤드(321)의 조정에 따라 전후진하며 크로스유닛(330)을 이동시키는 Y축 밀링바(322), 크로스유닛(330)에 전단이 연결되고 후단에 스프링(S)이 연결된 Y축 연동바(323)로 구성된다. The Y-axis adjustment unit 320 is a device that finely adjusts the upper stage 200 to move forward and backward on the Y-axis plane, and the Y-axis microhead 321 and the Y-axis microhead 321 for adjusting the forward and backward movement distance ), the front end is connected to the cross unit 330 and the rear end is connected to the Y-axis milling bar 322, which moves the cross unit 330 while moving forward and backward according to the adjustment of the Y-axis microhead 321, the cross unit 330 It consists of a Y-axis interlocking bar 323 connected to the front end and the spring (S) at the rear end.

여기서, Y축 마이크로헤드(321)는 제2 보조지지부(326)에 의해 지지되며, 제2 보조지지부(326)는 제2결합부(324)에 고정되고, 제2결합부(324)에는 Y축 밀링바(322)가 결합하는 관통홀이 Y축 조절부(320)와 평행하게 형성되어 있고 제2결합부(324)의 상부면에는 제2볼지지대(422)를 안착시켜 고정하는 결합구가 형성된다.Here, the Y-axis microhead 321 is supported by the second auxiliary support 326, the second auxiliary support 326 is fixed to the second coupling part 324, and the second coupling part 324 has Y A through hole to which the shaft milling bar 322 is coupled is formed in parallel with the Y-axis adjusting part 320, and a coupling hole for mounting and fixing the second ball support 422 on the upper surface of the second coupling part 324 Is formed.

Y축 마이크로헤드(321)의 조정에 따라 Y축 밀링바(322)가 전진이동하게 되면, 크로스유닛(330)이 연동되어 전진이동하면서 Y축 밀링바(322)에 의해 스프링(S)은 압축되게 되고, 상부스테이지(200)는 Y축에서 전진이동하게 된다. 압축된 스프링(S)의 탄성복원력에 의해 상부스테이지(200)는 후진이동도 가능함은 물론이다.
When the Y-axis milling bar 322 moves forward according to the adjustment of the Y-axis microhead 321, the cross unit 330 is interlocked and moves forward, while the spring S is compressed by the Y-axis milling bar 322. The upper stage 200 moves forward in the Y axis. It goes without saying that the upper stage 200 can also be moved backward by the elastic restoring force of the compressed spring S.

크로스유닛(330)은 ＋자 형으로 구멍이 형성된 정육면체로서, X축 밀링바(312)의 후단과 X축 연동바(313)의 전단, Y축 밀링바(322)의 후단과 Y축 연동바(323)의 전단이 끼움결합되고, 상부스테이지(200)와 연결되어 있다.The cross unit 330 is a regular cube with a hole formed in a + shape, and the rear end of the X-axis milling bar 312 and the front end of the X-axis linking bar 313, the rear end of the Y-axis milling bar 322 and the Y-axis linking bar The front end of 323 is fitted and connected to the upper stage 200.

크로스유닛(330)은 X축 밀링바(312)의 전진이동에 따라 X축으로 이동하고 스프링의 복원력에 따라 X축 연동바(313)에 의해 후진하며, Y축 밀링바(322)의 전진이동에 따라 Y축으로 이동하고 스프링의 복원력에 따라 Y축 연동바(323)에 의해 후진이동하며, 상부스테이지(200)를 XY축 평면상에서 전후진 이동시킨다.The cross unit 330 moves in the X-axis according to the forward movement of the X-axis milling bar 312, and moves backward by the X-axis interlocking bar 313 according to the restoring force of the spring, and the Y-axis milling bar 322 moves forward. It moves to the Y axis according to the spring, and moves backward by the Y axis linkage bar 323 according to the restoring force of the spring, and moves the upper stage 200 back and forth on the XY axis plane.

본발명에서는 크로스유닛(330)을 ＋자 형으로 구멍이 형성된 정육면체를 예시하였으나, 이에 국한되는 것은 아니며, 서로 대응되는 네개의 면을 가진 형태면 어떤 형상이든 가능함은 물론이다.
In the present invention, the cross unit 330 is exemplified as a cube in which a hole is formed in a + shape, but the present invention is not limited thereto, and any shape having four surfaces corresponding to each other is of course possible.

틸팅각 조절수단(400)은 상부스테이지(200)가 중심점을 지나는 XY축 선을 기준으로 각 양측면이 Z축 상하로 회전할 수 있도록 하기 위한 것으로, XY축 이동조절수단(300)과 연동되어 이동하며, 하부스테이지(100) 및 상부스테이지(200)와 각각 연결되어 상부스테이지(200)의 틸팅각을 조절하며, X축 틸팅각 조절부(400a)와 Y축 틸팅각 조절부(400b)로 구성된다.The tilting angle adjustment means 400 is to allow the upper stage 200 to rotate up and down the Z axis based on the XY axis line passing through the center point, and is moved in conjunction with the XY axis movement control unit 300 It is connected to the lower stage 100 and the upper stage 200, respectively, to adjust the tilting angle of the upper stage 200, and consists of an X-axis tilting angle adjusting part 400a and a Y-axis tilting angle adjusting part 400b. do.

X축 틸팅각 조절부(400a)는 X축 조절부(310) 및 하부스테이지(100)와 결합되어, 상부스테이지(200)의 틸팅각을 조절하기 위한 것으로, 측면에 나사산이 형성된 제1구동기어(410), 제1구동기어(410)의 하부중심에 일체로 형성된 반구형의 제1볼(411), 제1볼(411)의 회전유동을 지지하며, 상부스테이지(200)의 제1결합부(210)의 하부면에 고정결합된 제1볼지지대(412), 제1구동기어(410)의 상부중심에 일체로 형성된 제1스크류(413), 제1스크류(413)가 나사결합하며 하부스테이지(100)의 결합홀에 끼워 고정되는 제1암나사(414)로 구성된다.The X-axis tilt angle adjustment unit 400a is combined with the X-axis adjustment unit 310 and the lower stage 100 to adjust the tilt angle of the upper stage 200, and a first driving gear having a screw thread on the side surface 410, a hemispherical first ball 411 integrally formed in the lower center of the first driving gear 410, supports the rotational flow of the first ball 411, and the first coupling portion of the upper stage 200 The first ball support 412 fixedly coupled to the lower surface of the 210, the first screw 413 integrally formed in the upper center of the first driving gear 410, and the first screw 413 are screwed and lower It consists of a first female screw 414 that is fitted and fixed to the coupling hole of the stage 100.

X축 틸팅각 조절부(400a)는 안정적 정밀검사를 위하여 2개 구성되는 것이 바람직하나, 1개만 구비하여도 무방하다.The X-axis tilting angle adjustment unit 400a is preferably composed of two for a stable detailed inspection, but it is also possible to have only one.

여기서, 제1구동기어(410)에 미도시된 회전구동원에 의해 회전구동력이 주어지면, 제1스크류(413)가 나사결합한 제1암나사(414)에 대해 상대적으로 회동하며 상하 결합거리가 조절되게 된다. 이때, 2개의 X축 틸팅각 조절부(400a)의 회동방향을 다르게 하여, 어느 하나는 제1스크류(413)가 제1암나사(414)로부터 풀려 상부스테이지(200)와 연결된 X축 조절부(310)를 상방향으로 이동시키고, 동시에 다른 하나는 제1스크류(413)가 제1암나사(414)에 더 조여져 X축 조절부(310)를 하방향으로 이동시킬 수 있다.이와 같이 하여 X축 기준 Z축으로의 틸팅각이 조절되게 된다.
Here, when a rotation driving force is given to the first driving gear 410 by a rotation driving source not shown, the first screw 413 rotates relatively with respect to the screwed first female screw 414 so that the vertical coupling distance is adjusted. do. At this time, the two X-axis tilting angle adjusting parts 400a are rotated in different directions, so that the first screw 413 is released from the first female screw 414 and connected to the upper stage 200. 310) is moved upward, and at the same time, the first screw 413 is further tightened to the first female screw 414 to move the X-axis adjusting unit 310 downward. In this way, the X-axis The tilt angle to the reference Z axis is adjusted.

Y축 틸팅각 조절부(400b)는 Y축 조절부(320) 및 상부스테이지(200)와 결합되어, 상부스테이지(200)의 틸팅각을 조절하기 위한 것으로, 측면에 나사산이 형성된 제2구동기어(420), 제2구동기어(420)의 하부중심에 일체로 형성된 반구형의 제2볼(421), 제2볼(421)의 회전유동을 지지하며, Y축 조절부(320)의 제2결합부(324)의 상부면에 고정결합된 제2볼지지대(422), 제2구동기어(420)의 상부중심에 일체로 형성된 제2스크류(423), 제2스크류(423)가 나사결합하며 상부스테이지(200)의 결합홀에 끼워 고정되는 제2암나사(424)로 구성된다.The Y-axis tilt angle adjustment unit 400b is combined with the Y-axis adjustment unit 320 and the upper stage 200 to adjust the tilting angle of the upper stage 200, and a second driving gear having a thread on the side 420, supporting the rotational flow of the hemispherical second ball 421 and the second ball 421 integrally formed in the lower center of the second driving gear 420, and the second of the Y-axis adjusting unit 320 A second ball support 422 fixedly coupled to the upper surface of the coupling portion 324, a second screw 423 integrally formed in the upper center of the second driving gear 420, and a second screw 423 are screwed together. And it is composed of a second female screw 424 inserted into the coupling hole of the upper stage 200 and fixed.

Y축 틸팅각 조절부(400b)는 안정적 정밀검사를 위하여 2개 구성되는 것이 바람직하나, 1개만 구비하여도 무방하다.Y-axis tilting angle adjustment unit (400b) is preferably composed of two for a stable detailed inspection, but may be provided with only one.

여기서, 제2구동기어(420)에 미도시된 회전구동원에 의해 회전력이 주어지면, 제2스크류(423)가 나사결합한 제2암나사(424)에 대해 상대적으로 회동하며 상하 결합거리가 조절되게 된다. 이때, 2개의 Y축 틸팅각 조절부(400b)의 회동방향을 다르게 하여, 어느 하나는 제2스크류(423)가 제2암나사(424)로부터 풀려 상부스테이지(200)를 상방향으로 이동시키고, 동시에 다른 하나는 제2스크류(423)가 제2암나사(424)에 더 조여져 상부스테이지(200)를 하방향으로 이동시킬 수 있다.이와 같이 하여 Y축 기준 Z축으로의 틸팅각이 조절되게 된다.
Here, when a rotational force is applied to the second driving gear 420 by a rotation driving source (not shown), the second screw 423 rotates relative to the second female screw 424 screwed and the vertical coupling distance is adjusted. . At this time, by making the rotation directions of the two Y-axis tilting angle adjustment units 400b different, one of the second screws 423 is released from the second female screw 424 to move the upper stage 200 upward, At the same time, the second screw 423 is further fastened to the second female screw 424 to move the upper stage 200 downward. In this way, the tilting angle to the Z axis based on the Y axis is adjusted. .

이하, 도 7 및 도 8을 참고하여, 연동되는 XY축 이동조절수단(300) 및 틸팅각 조절수단(400)에 의해 상부스테이지(200)가 XY축 평면상에서 전후진이동 및 X축 기준 및 Y축 기준 Z축으로의 틸팅각이 조절되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
Hereinafter, with reference to FIGS. 7 and 8, the upper stage 200 moves forward and backward on the XY-axis plane by the interlocking XY-axis movement control means 300 and the tilting angle control means 400, and the X-axis reference and Y The process of adjusting the tilting angle to the Z axis based on the axis will be described as follows.

XY축 이동조절수단(300)의 X축 조절부(310)를 구동시키는 경우,When driving the X-axis control unit 310 of the XY-axis movement control means 300,

X축으로의 전후진 이동거리를 미세조정하기 위해 X축 마이크로헤드(311)를 작동시키면, X축 마이크로헤드(311)의 조정에 따라 전후진하는 X축 밀링바(312)에 의해 크로스유닛(330)이 연동되어 전진이동하면서 X축 연동바(313)에 의해 스프링(S)은 압축되게 되고, 상부스테이지(200)는 X축에서 전진/후진이동하게 된다. When the X-axis microhead 311 is operated to finely adjust the forward and backward movement distance to the X-axis, the cross unit ( As 330 is interlocked and moves forward, the spring S is compressed by the X-axis linkage bar 313, and the upper stage 200 moves forward/reverse in the X-axis.

이때, 전후진이동하는 X축 조절부(310)에 따라, 하부스테이지(100)와 결합되어 있는 X축 틸팅각 조절부(400a)의 제1볼(411)은 X축 조절부(310)의 제1볼지지대(412)위에서 전후진 이동하게 되므로, 상부스테이지(200)의 X축상에서 전후진이동은 방해하지 않고 원할하게 수행된다.
At this time, the first ball 411 of the X-axis tilting angle adjusting part 400a coupled to the lower stage 100 according to the X-axis adjusting part 310 moving backwards and forwards is of the X-axis adjusting part 310 Since it moves back and forth on the first ball support 412, the forward and backward movement on the X-axis of the upper stage 200 is smoothly performed without interfering.

XY축 이동조절수단(300)의 Y축 조절부(320)를 구동시키는 경우,When driving the Y-axis control unit 320 of the XY-axis movement control means 300,

Y축으로의 전후진 이동거리를 미세조정하기 위해 Y축 마이크로헤드(321)를 작동시키면, Y축 마이크로헤드(321)의 조정에 따라 전후진하는 Y축 밀링바(322)에 의해 크로스유닛(330)이 연동되어 전진이동하면서 이동시키는 Y축 밀링바(322)에 의해 스프링(S)은 압축되게 되고, 상부스테이지(200)는 Y축에서 전진/후진이동하게 된다. When the Y-axis microhead 321 is operated to finely adjust the moving distance forward and backward to the Y-axis, the cross unit ( The spring (S) is compressed by the Y-axis milling bar 322 that moves while 330 is interlocked and moves forward, and the upper stage 200 moves forward/backward in the Y-axis.

이때, 전후진이동하는 Y축 조절부(320)에 따라, 상부스테이지(200)와 결합되어 있는 Y축 틸팅각 조절부(400b)의 제2볼(421)은 Y축 조절부(320)의 제2결합부(324)에 고정된 제2볼지지대(422)위에서 전후진 이동하게 되므로, 상부스테이지(200)의 Y축상에서의 전후진이동은 방해하지 않고 원할하게 수행된다.
At this time, the second ball 421 of the Y-axis tilting angle adjustment part 400b coupled with the upper stage 200 according to the Y-axis adjusting part 320 moving backward and forward is formed of the Y-axis adjusting part 320 Since it moves back and forth on the second ball support 422 fixed to the second coupling part 324, the forward and backward movement of the upper stage 200 on the Y-axis is smoothly performed without disturbing.

틸팅각 조절수단(400)의 X축 틸팅각 조절부(400a)와 Y축 틸팅각 조절부(400b)에 회전구동력이 인가되면, 상부스테이지(200)가 중심점을 지나는 XY축 선을 기준으로 각 양측면이 Z축 상하로 회전하게 되며, X축 기준 또는 Y축 기준 Z축으로의 틸팅각이 조절되게 되는 것이다.
When the rotational driving force is applied to the X-axis tilting angle adjusting unit 400a and the Y-axis tilting angle adjusting unit 400b of the tilting angle adjusting means 400, the upper stage 200 is angled based on the XY-axis line passing through the center point. Both sides rotate up and down the Z-axis, and the tilt angle to the Z-axis based on the X-axis or the Y-axis is adjusted.

본 발명에 따른 연동되는 XY축 이동조절수단(300) 및 틸팅각 조절수단(400)의 구조에 의해 상부스테이지(200)가 XY축 평면상에서 전후진이동, 및 X축 기준 Z축으로의 틸팅각 및 Y축 기준 Z축으로의 틸팅각이 정밀하게 조절되며, 스테이지의 치수가 컴팩트하게 되는 장점이 있다.
The upper stage 200 moves forward and backward on the XY-axis plane, and the tilting angle to the Z-axis based on the X-axis by the structure of the interlocking XY-axis movement control means 300 and the tilting angle control means 400 according to the present invention. And the tilting angle to the Z axis based on the Y axis is precisely controlled, and the size of the stage is compact.

본 발명에서는 비록 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the present invention has been described with reference to embodiments, it is understood that those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You can understand.

100: 하부스테이지 110: 지지대
200: 상부스테이지 210: 제1결합부
300: XY축 이동조절수단
310: X축 조절부
311: X축 마이크로헤드 312: X축 밀링바
313: X축 연동바 316: 제1 보조지지부
320: Y축 조절부
321: Y축 마이크로헤드 322: Y축 밀링바
323: Y축 연동바 326: 제2 보조지지부
324: 제2결합부
330: 크로스유닛
400: 틸팅각 조절수단
400a: X축 틸팅각 조절부 400b: Y축 틸팅각 조절부
410: 제1구동기어 411: 제1볼
412: 제1볼지지대 413: 제1스크류
414: 제1암나사
420: 제2구동기어 421: 제2볼
422: 제2볼지지대 423: 제2스크류
424: 제2암나사
S: 스프링100: lower stage 110: support
200: upper stage 210: first coupling portion
300: XY axis movement control means
310: X-axis adjustment unit
311: X-axis microhead 312: X-axis milling bar
313: X-axis interlocking bar 316: first auxiliary support
320: Y-axis adjustment unit
321: Y-axis microhead 322: Y-axis milling bar
323: Y-axis interlocking bar 326: second auxiliary support
324: second coupling portion
330: cross unit
400: tilting angle adjustment means
400a: X-axis tilt angle adjustment unit 400b: Y-axis tilt angle adjustment unit
410: first driving gear 411: first ball
412: first ball support 413: first screw
414: first female screw
420: second driving gear 421: second ball
422: second ball support 423: second screw
424: second female thread
S: spring

Claims

Lower stage 100;
Upper stage 200;
An XY axis movement control means (300) disposed between the lower stage (100) and the upper stage (200) to move the upper stage (200) forward and backward; And
A tilting angle adjustment means 400 that moves in conjunction with the XY axis movement control means 300 and is connected to the lower stage 100 and the upper stage 200 respectively to adjust the tilting angle of the upper stage 200 ); consists of,
The upper stage 200,
The first coupling part 210 is formed integrally or separately in the vertical downward direction at the front central position, and a through hole is formed in the first coupling part 210 in parallel with the upper stage, and the first A precision driving stage for inspection equipment, characterized in that a coupling hole for mounting and fixing the first ball support 412 is formed at the lower end of the coupling part 210.

The method of claim 1,
The lower stage 100 is a precision driving stage for inspection equipment, characterized in that the coupling holes are formed at predetermined positions on both sides of the axial line passing through the center.

delete

The method of claim 1,
A precision driving stage for inspection equipment, characterized in that coupling holes are formed at predetermined positions on both sides of the axial line passing through the center of the upper stage 200, respectively.

The method of claim 1, wherein the XY axis movement control means (300),
An X-axis adjusting unit 310 moving forward and backward in the X-axis on a plane;
Y-axis adjustment unit 320 moving forward and backward in the Y-axis on the plane; And
A precision driving stage for inspection equipment, comprising: a cross unit 330 connected to the X-axis adjusting unit 310 and the Y-axis adjusting unit 320 and moving backward and forward in the X-axis or Y-axis.

The method of claim 5, wherein the X-axis adjustment unit 310,
An X-axis microhead 311 for adjusting a moving distance forward and backward on the X-axis plane of the upper stage 200;
An X-axis milling bar 312 for moving the cross unit 330 forward and backward by connecting the front end to the X-axis microhead 311 and the rear end to the cross unit 330; And
A precision driving stage for inspection equipment comprising: an X-axis linkage bar 313 connected to the cross unit 330 and connected to the front end and connected to the spring (S) at the rear end.

The method of claim 6, wherein the X-axis adjustment unit 310,
Precision driving stage for inspection equipment, characterized in that it further comprises a first auxiliary support (316) for supporting the X-axis microhead (311).

The method of claim 5, wherein the Y-axis adjustment unit 320,
A Y-axis microhead 321 for adjusting the moving distance of the upper stage 200 forward and backward on the Y-axis plane;
A Y-axis milling bar 322 for moving the cross unit 330 forward and backward by connecting the front end to the Y-axis microhead 321 and the rear end to the cross unit 330; And
A precision driving stage for inspection equipment comprising a; Y-axis linkage bar 323 connected to the front end and the spring (S) connected to the cross unit (330).

The method of claim 8, wherein the Y-axis adjustment unit 320,
A second auxiliary support part 326 supporting the Y-axis microhead 321; And a second coupling part 324 to which the second auxiliary support part 326 is fixed; further comprising,
In the second coupling part 324, a through hole to which the Y-axis milling bar 322 is coupled is formed in parallel with the Y-axis adjusting part 320, and the upper surface of the second coupling part 324 is 2 Precision driving stage for inspection equipment, characterized in that a coupling hole for mounting and fixing the ball support 422 is formed.

The method of claim 5, wherein the cross unit (330),
The rear end of the X-axis milling bar 312 of the X-axis adjusting part 310 and the front end of the X-axis linking bar 313 and the rear end of the Y-axis milling bar 322 of the Y-axis adjusting part 320 and the Y-axis A precision driving stage for inspection equipment, characterized in that the front end of the interlocking bar 323 is coupled and connected to the upper stage 200.

The method of claim 1, wherein the tilting angle adjusting means 400,
An X-axis tilt angle adjustment unit 400a that allows the upper stage 200 to rotate up and down the Z-axis with respect to the X-axis line passing through the center point; And
Precision driving stage for inspection equipment, characterized in that consisting of; Y-axis tilt angle adjustment unit (400b) that allows the upper stage 200 to rotate up and down the Z-axis with respect to the Y-axis line passing through the center point .

The method of claim 11, wherein the X-axis tilt angle adjustment unit 400a,
It is combined with the X-axis adjusting unit 310 and the lower stage 100 of the XY-axis movement adjusting means 300, and adjusting the tilting angle of the upper stage 200 to the Z-axis based on the X-axis. Precision driving stage for inspection equipment.

The method of claim 12, wherein the X-axis tilt angle adjustment unit 400a,
A first driving gear 410; A hemispherical first ball 411 integrally formed at the lower center of the first driving gear 410;
A first ball support 412 fixedly coupled to a lower surface of the first coupling portion 210 of the upper stage 200 and supporting the rotational flow of the first ball 411;
A first screw 413 integrally formed at the upper center of the first driving gear 410; And
A precision driving stage for inspection equipment, characterized in that consisting of; a first female screw (414), wherein the first screw (413) is screwed and fixed to the lower stage (100).

The method of claim 11, wherein the Y-axis tilt angle adjustment unit 400b,
It is combined with the Y-axis adjusting unit 320 of the XY-axis movement adjusting means 300 and the upper stage 200, characterized in that the tilting angle of the upper stage 200 relative to the Y-axis to the Z axis is adjusted. Precision driving stage for inspection equipment.

The method of claim 14, wherein the Y-axis tilt angle adjustment unit (400b),
A second driving gear 420;
A hemispherical second ball 421 integrally formed at the lower center of the second driving gear 420;
A second ball support 422 that supports the rotational flow of the second ball 421 and is fixedly coupled to an upper surface of the second coupling part 324 of the Y-axis adjusting part 320;
A second screw 423 integrally formed at the upper center of the second driving gear 420; And
The second screw (423) is screwed to the second female screw (424) fixed to the upper stage (200); precision driving stage for inspection equipment, characterized in that consisting of.