JP2002148216A - Sample table apparatus - Google Patents

Sample table apparatus

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JP2002148216A
JP2002148216A JP2000340879A JP2000340879A JP2002148216A JP 2002148216 A JP2002148216 A JP 2002148216A JP 2000340879 A JP2000340879 A JP 2000340879A JP 2000340879 A JP2000340879 A JP 2000340879A JP 2002148216 A JP2002148216 A JP 2002148216A
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Japan
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axis
base
bearing
plane
self
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Application number
JP2000340879A
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Japanese (ja)
Inventor
Tomoo Hagiwara
友郎 萩原
Ukyo Kaminaga
宇享 神長
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Mac Science Co Ltd
Original Assignee
Mac Science Co Ltd
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate the danger that a table separates up and eliminate the use of a strong tension spring. SOLUTION: There is provided a sample table apparatus which includes a table 22, a base 21, an oscillation bearing for supporting the table in a manner to freely oscillate about an X axis and a Y axis centering an intersection of the X axis and the Y axis as an oscillation center O, a spring 15 for urging the table in one direction about each of the X axis and the Y axis, and an adjusting screw 8 for oscillating the table in the other direction about each of the X axis and the Y axis against the spring thereby adjusting an oscillation angle of the table. The oscillation bearing is constituted of a self-aligning ball bearing 24. An outer ring 24a of the self-aligning ball bearing 24 is fixed to the table 22, and moreover an inner ring 24c is fixed to a support shaft 25 erect to the base 21. A hitting point of a leading end ball 9 of the adjusting screw 8 to the table 22 is set on an X-Y plane to be equal in height to the oscillation center O.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、X線回折装置など
に利用される試料テーブル装置(試料台)に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample table device (sample table) used for an X-ray diffraction device or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】図3はこの種の試料テーブル装置の外観
を示している。この試料テーブル装置には、例えば試料
の表面を水平に調整(あおり調整)するための調整機構
が組み込まれている。この場合、試料3を載せたテーブ
ル2を、直交する2軸、即ちX軸とY軸の回りにそれぞ
れ±2度程度回転できるようにする必要ある。
2. Description of the Related Art FIG. 3 shows the appearance of a sample table apparatus of this kind. The sample table device incorporates, for example, an adjustment mechanism for adjusting the surface of the sample horizontally (adjustment). In this case, it is necessary that the table 2 on which the sample 3 is placed can be rotated about ± 2 degrees about two orthogonal axes, that is, about the X axis and the Y axis.

【0003】図3の装置において、1はベースであり、
このベース1の上に、試料3を載せるテーブル2が配置
されている。テーブル2はX−Y平面内にあり、X軸と
Y軸の交点を揺動中心として、X軸回りとY軸回りにそ
れぞれ揺動可能に支持されている。そして、Y軸の位置
に配した調整ネジ8’を回すことで、テーブル2をX軸
回りに回転させることができ、X軸の位置に配した調整
ネジ8を回すことで、テーブル2をY軸回りに回転させ
ることができるようになっている。なお、テーブル2
は、2組のガイド板11とガイドピン12により、右に
も左にも回り止めされている。また、17は、あおり調
整後にテーブル2を安定に固定するためのクランプネジ
である。
In the apparatus of FIG. 3, 1 is a base,
A table 2 on which a sample 3 is placed is arranged on the base 1. The table 2 is in the XY plane, and is swingably supported around the X axis and the Y axis with the intersection of the X axis and the Y axis as the swing center. Then, the table 2 can be rotated around the X axis by turning the adjustment screw 8 'arranged at the position of the Y axis, and the table 2 can be rotated Y by rotating the adjustment screw 8 arranged at the position of the X axis. It can be rotated around its axis. Table 2
Is prevented from turning to the right or left by two sets of guide plates 11 and guide pins 12. Reference numeral 17 denotes a clamp screw for stably fixing the table 2 after the tilt adjustment.

【0004】図4は、従来の試料テーブル装置の揺動支
持機構の詳細を示す断面図である。この試料テーブル装
置においては、テーブル2の揺動中心に、ピボット式の
揺動軸受が設けられている。即ち、揺動中心に球体4が
配され、この球体4をベース1側の受座5の円錐面5a
と、テーブル2側の受座6の円錐面6aとで挟んだ構造
の軸受が配されている。また、テーブル2の揺動角度を
調整する手段として、X軸とY軸のそれぞれについて、
引張バネ15と調整ネジ8の組が設けられている。
FIG. 4 is a sectional view showing details of a swing support mechanism of a conventional sample table apparatus. In this sample table device, a pivot type swing bearing is provided at the swing center of the table 2. That is, the spherical body 4 is arranged at the center of swinging, and this spherical body 4 is conical surface 5a of the seat 5 on the base 1 side.
And a bearing having a structure sandwiched between the conical surface 6a of the seat 6 on the table 2 side. As means for adjusting the swing angle of the table 2, for each of the X axis and the Y axis,
A set of a tension spring 15 and an adjusting screw 8 is provided.

【0005】引張バネ15と調整ネジ8はテーブル2と
ベース1の間に設けられており、引張バネ15は、図4
においてテーブル2を右回りに付勢し、調整ネジ8はバ
ネ15に抗してテーブル2を左回りに揺動させて、テー
ブル2の揺動角度を調整するようになっている。この場
合、調整ネジ8は、基端部を揺動中心から離れた位置で
ベース1側のネジ孔7に螺合することにより、先端球9
の高さを調整できるようになっており、その先端球9を
テーブル1側の当接部10に押圧接触させることで、先
端球9の高さに応じてテーブル2を適当な角度だけバネ
15に抗して揺動させることができるようになってい
る。なお、調整ネジ8はテーブル2の外周縁よりも内側
に入り込んだ位置にあるので、外側から回転操作できる
ように、ロレット付きの円板8aを備えている。
A tension spring 15 and an adjusting screw 8 are provided between the table 2 and the base 1.
In the above, the table 2 is urged clockwise, and the adjusting screw 8 swings the table 2 counterclockwise against the spring 15 to adjust the swing angle of the table 2. In this case, the adjusting screw 8 is screwed into the screw hole 7 on the base 1 side at a position away from the center of swinging of the base end, so that the tip ball 9
The height of the tip 2 can be adjusted, and the tip ball 9 is pressed into contact with the contact portion 10 on the table 1 side, so that the table 2 can be moved by an appropriate angle according to the height of the tip ball 9. It can be swung against Since the adjustment screw 8 is located at a position inside the outer peripheral edge of the table 2, the adjusting screw 8 is provided with a disk 8 a with a knurl so that it can be rotated from the outside.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
試料テーブル装置では、ピボット軸受によりテーブル2
を支持しているので、テーブル2に上向き力がかかる
と、簡単にテーブル2が外れてしまうという問題があっ
た。また、テーブル2を下向きにした場合には、テーブ
ル2自身の重量と試料3の重量が引張バネ15に作用す
るため、強力な引張バネ15を使用する必要があった。
In the above-mentioned conventional sample table apparatus, the table 2 is provided by a pivot bearing.
Therefore, there is a problem that when an upward force is applied to the table 2, the table 2 easily comes off. Further, when the table 2 is turned downward, the weight of the table 2 itself and the weight of the sample 3 act on the tension spring 15, so that it is necessary to use a strong tension spring 15.

【0007】本発明は、上記事情を考慮し、テーブルが
外れるおそれを無くすと共に、強力な引張バネを使用し
ないでも済むようにした試料テーブル装置を提供するこ
とを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a sample table apparatus which eliminates the possibility of the table coming off and eliminates the need for using a strong tension spring.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、互い
に直交する2軸をX軸とY軸とし、X軸とY軸を共に含
む平面をX−Y平面とした場合、X−Y平面内に配され
たテーブルと、このテーブルの下方に配されたベース
と、該ベースとテーブルの間に設けられ、テーブルをX
軸とY軸の交点を揺動中心としてX軸回り及びY軸回り
にそれぞれ揺動自在に支持する揺動軸受と、X軸回り及
びY軸回りの各一方向に前記テーブルを付勢するバネ
と、該バネに抗して前記テーブルをX軸回り及びY軸回
りの各他方向へ揺動させてテーブルの揺動角度を調整す
る調整ネジと、を備えた試料テーブル装置において、前
記揺動軸受を、自身の回転軸線をX−Y平面と直交する
方向に向けた自動調心軸受で構成し、該自動調心軸受の
外輪と内輪を前記テーブルとベースにそれぞれ固定した
ことを特徴とする。
According to the first aspect of the present invention, when two axes orthogonal to each other are an X axis and a Y axis and a plane including both the X axis and the Y axis is an XY plane, A table disposed in a plane, a base disposed below the table, and a table provided between the base and the table.
A rocking bearing that supports the table so that it can swing about the X axis and the Y axis around the intersection of the axis and the Y axis, and a spring that biases the table in one direction about the X axis and about the Y axis. And an adjusting screw for adjusting the swing angle of the table by swinging the table in the other directions around the X axis and the Y axis against the spring. The bearing is constituted by a self-aligning bearing whose rotation axis is oriented in a direction orthogonal to the XY plane, and an outer ring and an inner ring of the self-aligning bearing are fixed to the table and the base, respectively. .

【0009】この試料テーブル装置では、揺動軸受とし
て自動調心軸受を使用し、その外輪と内輪をテーブルと
ベースにそれぞれ固定しているので、テーブルを確実に
支持することができ、上向き力がかかってもテーブルが
外れることがない。また、テーブルと試料の重さを自動
調心軸受で受け持つので、バネには、調整ネジに対する
反力を与えるだけの強さを与えておけばよい。
In this sample table apparatus, a self-aligning bearing is used as the oscillating bearing, and the outer ring and the inner ring are fixed to the table and the base, respectively, so that the table can be reliably supported and the upward force can be reduced. The table does not come off even if it hangs. In addition, since the weight of the table and the sample is handled by the self-aligning bearing, the spring may be given a strength sufficient to give a reaction force to the adjusting screw.

【0010】請求項2の発明は、請求項1において、前
記調整ネジの基端部を前記揺動中心から離れた位置でベ
ース側のネジ孔に螺合することで、調整ネジの先端球の
高さを調整可能とし、その先端球をテーブル側の当接面
に押圧接触させることで、先端球の高さに応じてテーブ
ルを揺動可能とし、且つ、前記先端球の接する当接面の
高さを、前記揺動中心と同じX−Y平面上に設定したこ
とを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the base end of the adjusting screw is screwed into a screw hole on the base side at a position distant from the swing center, so that the distal end ball of the adjusting screw is screwed. The height can be adjusted, and the tip sphere is brought into press contact with the contact surface on the table side, so that the table can be swung according to the height of the tip sphere, and the contact surface with which the tip sphere contacts. The height is set on the same XY plane as the swing center.

【0011】この試料テーブル装置では、一方の軸につ
いて揺動調整を行ったとき、他方の軸にその影響が出な
くなる。従って、各軸の調整が容易になり、精度よく迅
速な調整が可能となる。
In this sample table apparatus, when the swing adjustment is performed on one axis, the influence is not exerted on the other axis. Therefore, adjustment of each axis is facilitated, and quick and accurate adjustment is possible.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図1は実施形態の試料テーブル装置
の要部断面図である。なお、全体の外観は図3のものと
同じであるので、図3の装置と同一構成要素には同符号
を付して説明を省略する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a main part of a sample table apparatus according to an embodiment. Since the overall appearance is the same as that of FIG. 3, the same components as those of the apparatus of FIG.

【0013】図1において、21はベース、22はその
上のテーブルである。テーブル22は、図3にて示した
ように、互いに直交する2軸をX軸とY軸とし、X軸と
Y軸を共に含む平面をX−Y平面とした場合、X−Y平
面内に配されている。テーブル22は、X軸とY軸の交
点を揺動中心としてX軸回り及びY軸回りにそれぞれ揺
動自在に支持されており、そのようにテーブル22を揺
動自在に支持する揺動軸受として、±3度程度の揺動が
可能な市販品の自動調心玉軸受24が採用されている。
従って、テーブル22の揺動中心(X軸とY軸の交点)
と自動調心玉軸受24の揺動中心Oは一致している。な
お、自動調心ころ軸受でも原理的には代用可能である
が、汎用品として小型のものが手に入りにくいことか
ら、ここでは自動調心玉軸受が使用されている。なお、
このような目的に通常用いられる球面軸承は、高精度の
ものがなく、高精度を要するX線回折装置用のテーブル
に使用することは困難である。
In FIG. 1, 21 is a base, and 22 is a table thereon. As shown in FIG. 3, the table 22 has two axes orthogonal to each other as an X axis and a Y axis, and a plane including both the X axis and the Y axis as an XY plane. Are arranged. The table 22 is supported so as to be swingable around the X axis and the Y axis around the intersection of the X axis and the Y axis as a swing center, and as a swing bearing for swingably supporting the table 22 as described above. A commercially available self-aligning ball bearing 24 capable of swinging about ± 3 degrees is employed.
Therefore, the swing center of the table 22 (the intersection of the X axis and the Y axis)
And the swing center O of the self-aligning ball bearing 24 coincides. It should be noted that although a self-aligning roller bearing can be used in principle, a small-sized general-purpose product is difficult to obtain, so a self-aligning ball bearing is used here. In addition,
Spherical bearings usually used for such purposes do not have high precision, and it is difficult to use them for tables for X-ray diffraction devices that require high precision.

【0014】テーブル22の中心部には軸受装着孔23
が設けられており、その軸受装着孔23に自動調心玉軸
受24の外輪24aが嵌合固定されている。ベース21
の中心部には支持軸25が立設されており、その上端に
自動調心玉軸受24の内輪24cが嵌合固定されてい
る。これにより、テーブル22がベース21に立設した
支持軸25に、自動調心玉軸受24を介して確実に支持
されている。自動調心玉軸受24は、外輪24aの軌道
面が球面で、内輪24cと玉24bと保持器(図示略)
が、外輪24aに対して自由に傾くことができるもので
あり、上記のように取り付けられることで、自身の回転
軸線をX−Y平面と直交する方向に向けた状態で、テー
ブル22を揺動自在に支持している。
In the center of the table 22, a bearing mounting hole 23 is provided.
The outer ring 24a of the self-aligning ball bearing 24 is fitted and fixed in the bearing mounting hole 23. Base 21
A support shaft 25 is provided upright at the center of the shaft, and an inner ring 24c of a self-aligning ball bearing 24 is fitted and fixed to an upper end thereof. Thus, the table 22 is securely supported by the support shaft 25 erected on the base 21 via the self-aligning ball bearing 24. In the self-aligning ball bearing 24, the raceway surface of the outer ring 24a is spherical, the inner ring 24c, the ball 24b, and a cage (not shown).
Can be freely tilted with respect to the outer ring 24a. By being attached as described above, the table 22 is swung while its own rotation axis is directed in a direction orthogonal to the XY plane. It is freely supported.

【0015】また、テーブル22の揺動角度を調整する
手段として、X軸とY軸のそれぞれについて、引張バネ
15と調整ネジ8の組が設けられている。引張バネ15
と調整ネジ8はテーブル22とベース21の間に設けら
れており、引張バネ15は、図1においてテーブル22
を右回りに付勢し、調整ネジ8はバネ15に抗してテー
ブル22を左回りに揺動させてテーブル22の揺動角度
を調整するようになっている。この場合、調整ネジ8
は、その基端部を揺動中心から離れた位置でベース21
側のネジ孔7に螺合することにより、先端球9の高さを
調整できるようになっており、その先端球9を、テーブ
ル21側の当接部10に押圧接触させることで、先端球
9の高さに応じてテーブル22を適当な角度だけ、バネ
15に抗して揺動させることができるようになってい
る。なお、引張バネ15の代わりに、圧縮バネ35でテ
ーブル22を右回りに付勢してもよい。
As means for adjusting the swing angle of the table 22, a set of a tension spring 15 and an adjusting screw 8 is provided for each of the X axis and the Y axis. Tension spring 15
1 and the adjusting screw 8 are provided between the table 22 and the base 21.
Is adjusted clockwise, and the adjustment screw 8 swings the table 22 counterclockwise against the spring 15 to adjust the swing angle of the table 22. In this case, the adjusting screw 8
The base 21 at a position away from the center of swing
The height of the tip ball 9 can be adjusted by screwing the tip ball 9 into the screw hole 7 on the side of the table 21. According to the height of the table 9, the table 22 can be swung by an appropriate angle against the spring 15. Note that the table 22 may be urged clockwise by the compression spring 35 instead of the extension spring 15.

【0016】ここで重要なことは、調整ネジ8の先端球
9と当接部10の接触点の高さが、自動調心玉軸受24
の揺動中心Oと同じX−Y平面上に設定されていること
である。つまり、図1に示すX−Y平面内の直線Lの上
に、先端球9と当接部10の接触点と、自動調心玉軸受
24の揺動中心Oとが載っていることである。
What is important here is that the height of the contact point between the tip ball 9 of the adjusting screw 8 and the abutting portion 10 is adjusted by the self-aligning ball bearing 24.
Is set on the same XY plane as the swing center O. That is, the contact point between the tip ball 9 and the contact portion 10 and the swing center O of the self-aligning ball bearing 24 are on the straight line L in the XY plane shown in FIG. .

【0017】次に作用を述べる。この試料テーブル装置
では、従来の装置と同様に、Y軸の位置に配した調整ネ
ジ8を回すことで、テーブル22をX軸回りに回転させ
ることができ、X軸の位置に配した調整ネジ8を回すこ
とで、テーブル22をY軸回りに回転させることができ
る。その際、調整ネジ8の先端球9と当接部10の接触
点の高さを、自動調心玉軸受24の揺動中心Oの高さと
等しく設定しているので、一方の軸について揺動調整を
行ったときに、他方の軸の調整にその影響が出なくな
る。その点を図2を用いて解説する。
Next, the operation will be described. In this sample table apparatus, similarly to the conventional apparatus, the table 22 can be rotated around the X-axis by turning the adjustment screw 8 disposed at the Y-axis position, and the adjustment screw disposed at the X-axis position. By turning 8, the table 22 can be rotated around the Y axis. At this time, the height of the contact point between the tip ball 9 of the adjusting screw 8 and the contact portion 10 is set to be equal to the height of the swing center O of the self-aligning ball bearing 24. When the adjustment is made, the adjustment of the other axis is not affected. This point will be described with reference to FIG.

【0018】図2(a)は本実施形態の試料テーブル装
置の調整原理を示す図である。この場合は、揺動中心で
あるO点を通るX、Yの2軸の回りに回転可能な板P
(テーブル22に相当)を、X軸とY軸上のSx、Sy
の2点で押すことになる。
FIG. 2A is a view showing the principle of adjustment of the sample table apparatus of the present embodiment. In this case, a plate P rotatable about two axes X and Y passing through point O which is a swing center.
(Corresponding to the table 22) by Sx and Sy on the X axis and the Y axis.
Will be pressed at two points.

【0019】まず、Sx点を押すと、板PはY軸の回り
に回転して傾く。しかしY軸とSy点の関係は変わらな
いので、次にSy点を押しても、板PはX軸の回りに回
転するだけで、Y軸に関しては動かない。
First, when the point Sx is pressed, the plate P rotates around the Y axis and tilts. However, since the relationship between the Y axis and the Sy point does not change, the next time the Sy point is pressed, the plate P only rotates around the X axis and does not move with respect to the Y axis.

【0020】一方、板Pに厚みtがあって、Sx、Sy
点がX−Y平面からtだけ離れている場合を考えてみ
る。その場合は、Sx点を押して板Pをθだけ傾ける
と、Sy点もθだけ回転してSy’とならなければなら
ない。ところが、元のSy点で押せば、Y軸に対してX
aだけ左側を押すことになるので、板PはX軸の回りに
回転すると同時に、Y軸の回りにも回転する。このよう
に、押し上げる点Sx、Syと揺動中心Oの高さに差
(この例では板の厚みtが相当)があると、X軸につい
て調整した場合にY軸に影響が出るという不具合が生じ
ることが分かる。
On the other hand, when the thickness of the plate P is t, Sx, Sy
Consider the case where the point is separated from the XY plane by t. In this case, if the plate P is tilted by θ by pressing the Sx point, the Sy point must also be rotated by θ to become Sy ′. However, if it is pushed at the original Sy point, X
Since the left side is pushed by a, the plate P rotates about the X axis and also rotates about the Y axis. As described above, if there is a difference between the points Sx and Sy to be pushed up and the height of the swing center O (the thickness t of the plate is equivalent in this example), the adjustment on the X axis will affect the Y axis. It can be seen that it occurs.

【0021】これに対し、押し上げ点(調整ネジ8の先
端球9と当接部10の接触点)の高さを、自動調心玉軸
受24の揺動中心Oと同じX−Y平面上に設定した本実
施形態の装置の場合は、他の軸に影響を与えずに、テー
ブル22の傾きを各軸ごとに調整することができる。従
って、調整が容易であり、精度よく迅速に調整すること
ができる。
On the other hand, the height of the push-up point (the point of contact between the tip ball 9 of the adjusting screw 8 and the contact portion 10) is set on the same XY plane as the swing center O of the self-aligning ball bearing 24. In the case of the apparatus according to this embodiment, the tilt of the table 22 can be adjusted for each axis without affecting other axes. Therefore, the adjustment is easy, and the adjustment can be quickly and accurately performed.

【0022】また、この試料テーブル装置の場合、自動
調芯玉軸受24でテーブル22を支持しているので、テ
ーブル22に上向き力が働いても、テーブル22が上に
外れることがなく、取り扱いやすい。また、テーブル2
2や試料の荷重はすべて自動調心玉軸受22で受けるの
で、横向きや下向きの使用も可能であり、引張バネ15
として強力なものを採用する必要がなくなる。場合によ
っては、圧縮バネ35の使用も可能である。
Further, in the case of this sample table apparatus, since the table 22 is supported by the self-aligning ball bearing 24, even if an upward force acts on the table 22, the table 22 does not come off and is easy to handle. . Table 2
2 and the load of the sample are all received by the self-aligning ball bearings 22, so that they can be used sideways or downwards.
There is no need to adopt a powerful one. In some cases, the use of a compression spring 35 is also possible.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よれば、テーブルを揺動可能に支持する軸受として自動
調心軸受を用いているので、上向き力が働いてもテーブ
ルが上に簡単に外れる心配がなく、テーブルを横向きや
下向きにして使用することも可能となる。また、テーブ
ルを支持する力は自動調心玉軸受で負担するので、引張
バネにテーブルを支持する力を期待する必要はなく、引
張バネとして強力なものを採用する必要がなくなる。ま
た、引張バネに代えて、圧縮バネの使用も可能となる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, since the self-aligning bearing is used as the bearing for swingably supporting the table, the table can be raised even when an upward force acts. There is no need to worry about the table coming off easily, and the table can be used sideways or down. Further, since the force for supporting the table is borne by the self-aligning ball bearing, there is no need to expect the force for supporting the table from the tension spring, and it is not necessary to employ a strong tension spring. Further, a compression spring can be used instead of the tension spring.

【0024】請求項2の発明によれば、調整ネジでテー
ブルを押し上げる点とテーブルの揺動中心の高さを一致
させたので、一方の軸に対する調整を行ったときに他方
の軸への影響が出なくなり、調節が容易・正確・迅速に
行える。
According to the second aspect of the present invention, the point at which the table is pushed up by the adjustment screw and the height of the swing center of the table are made to coincide with each other, so that when one axis is adjusted, the other axis is affected. And adjustment can be done easily, accurately and quickly.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態の試料テーブル装置の要部断
面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a main part of a sample table device according to an embodiment of the present invention.

【図2】(a)は同実施形態の試料テーブル装置の調整
原理説明図、(b)はその比較例を示す図である。
FIG. 2A is a diagram illustrating the principle of adjustment of the sample table device according to the embodiment, and FIG. 2B is a diagram illustrating a comparative example thereof.

【図3】この種の試料テーブル装置の外観斜視図であ
る。
FIG. 3 is an external perspective view of this type of sample table device.

【図4】従来の試料テーブル装置の要部構成を示す断面
図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a main part configuration of a conventional sample table device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

O 揺動中心 8 調整ネジ 9 先端球 15 引張バネ 21 ベース 22 テーブル 24 自動調心玉軸受 35 圧縮バネ O Oscillating center 8 Adjusting screw 9 Tip ball 15 Extension spring 21 Base 22 Table 24 Self-aligning ball bearing 35 Compression spring

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Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 互いに直交する2軸をX軸とY軸とし、
X軸とY軸を共に含む平面をX−Y平面とした場合、X
−Y平面内に配されたテーブルと、このテーブルの下方
に配されたベースと、該ベースとテーブルの間に設けら
れ、テーブルをX軸とY軸の交点を揺動中心としてX軸
回り及びY軸回りにそれぞれ揺動自在に支持する揺動軸
受と、X軸回り及びY軸回りの各一方向に前記テーブル
を付勢するバネと、該バネに抗して前記テーブルをX軸
回り及びY軸回りの各他方向へ揺動させてテーブルの揺
動角度を調整する調整ネジと、を備えた試料テーブル装
置において、 前記揺動軸受を、自身の回転軸線をX−Y平面と直交す
る方向に向けた自動調心軸受で構成し、該自動調心軸受
の外輪と内輪を前記テーブルとベースにそれぞれ固定し
たことを特徴とする試料テーブル装置。
1. An X-axis and a Y-axis, which are two axes orthogonal to each other,
When a plane including both the X axis and the Y axis is an XY plane, X
A table disposed in the Y plane, a base disposed below the table, and a base provided between the base and the table. A rocking bearing that supports the table so as to be swingable about the Y axis, a spring that urges the table in each direction about the X axis and about the Y axis, and a table that rotates the table around the X axis against the spring; And an adjusting screw for adjusting the swing angle of the table by swinging in each of the other directions around the Y axis. In the sample table apparatus, the swing bearing has its own rotation axis orthogonal to the XY plane. A sample table device comprising a self-aligning bearing oriented in a direction, wherein an outer ring and an inner ring of the self-aligning bearing are fixed to the table and the base, respectively.
【請求項2】 前記調整ネジの基端部を前記揺動中心か
ら離れた位置でベース側のネジ孔に螺合することで、調
整ネジの先端球の高さを調整可能とし、その先端球をテ
ーブル側の当接面に押圧接触させることで、先端球の高
さに応じてテーブルを揺動可能とし、且つ、前記先端球
の接する当接面の高さを、前記揺動中心と同じX−Y平
面上に設定したことを特徴とする請求項1記載の試料テ
ーブル装置。
2. The height of the tip ball of the adjusting screw can be adjusted by screwing the base end of the adjusting screw into a screw hole on the base side at a position distant from the swing center. Is brought into press contact with the contact surface on the table side, so that the table can be swung according to the height of the tip sphere, and the height of the abutment surface that the tip sphere contacts is the same as the swing center. 2. The sample table apparatus according to claim 1, wherein the sample table apparatus is set on an XY plane.
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