KR20150133986A

KR20150133986A - 인쇄회로기판 세정장치

Info

Publication number: KR20150133986A
Application number: KR1020140060705A
Authority: KR
Inventors: 이동기
Original assignee: 한국화학융합시험연구원
Priority date: 2014-05-21
Filing date: 2014-05-21
Publication date: 2015-12-01
Also published as: KR101589724B1

Abstract

본 발명은, 액중분사세정공정에 의해 칩과 인쇄회로기판 사이에 존재하는 이물질들이 칩과 인쇄회로기판 사이에서 용이하게 빠져나오게 되어 종래보다 인쇄회로기판의 세정효율을 증대시킬 수 있으며, 준수계 세정제로 인쇄회로기판을 세정한 후에 바로 탈수공정에 의해 발생한 준수계 세정액과 1차의 헴굼에 사용된 수계 세정액을 재생처리하지 않고 준수계폐액탱크에 저장함으로써 수계 세정제로 인쇄회로기판을 복수회 헹굼하여 오염된 헹굼수를 재활용하기 위한 여과장치에 대한 부하를 줄여 운용비용을 절감할 수 있고, 샤워헹굼탈수 및 열풍건조에서도 상기 인쇄회로기판을 뒤집은 자세에서 수행함으로써 건조효율을 증대시키는 작용효과를 제공하는 인쇄회로기판세정장치에 관한 것이다.

Description

인쇄회로기판 세정장치{PCB cleaning apparatus}

본 발명은 인쇄회로기판을 세정하는 장치에 관한 것이다.

인쇄회로기판에 각종 전기적 소자를 실장하는 데 납땜이 이용되고 있다.

이 납땜에는 용제 또는 용가재로서 플럭스가 이용되고 있으며, 이 플럭스는 남땜 작업에서 접합부를 깨끗이 하고, 접합시에 산화물이 생기는 것을 방지하며, 접합이 확실하게 이루어지게 하는 조성제이다.

따라서, 남땜을 이용하여 인쇄회로기판에 각조 전기적 소자를 실장하게 되면, 기판에 플러스 등의 이물질이 붙어 있게 되어, 인쇄회로기판의 품질을 향상시키기 위하여 가공 공정에서 사용 후 함유된 오염물을 제거하는 세정공정이 필수적으로 사용되고 있고 현재 국내외 대부분의 제조업체에서는 환경 및 인체에 대한 유해성, 작업안전성, 세정력 등을 감안할 때 오존층 파괴물질인 1,1,1-TCE(1,1,1- trichloroethane) 등 대신에 HFE NMP, 불소 및 브롬계 용제계 등이나 준수계 세정제가 가장 유망한 대체 세정제로 평가되고 있다.

준수계 세정제를 사용하는 준수계 세정시스템은 수계 세정제와 마찬가지로 세정, 헹굼, 건조 공정으로 이루어진다. 이들 공정 중에서 헹굼 공정은 준수계 세정제에 의한 세정공정을 거친 후에 피세정물에 잔류한 준수계 세정액이나 오염물을 물로 세척하는 공정으로서 피세정물의 청정도에 따라 헹굼수의 수질(초순수, 순수, 수돗물)을 결정한다. 또한 오염된 헹굼수는 정치분리(gravity separation), 활성탄공정(activated-carbon processing), 이온교환법(ion exchange process), 한외여과법(ultrafiltration), 역삼투압법(reverse osmosis) 등을 이용한 유수분리장치에 의해 헹굼수로 재활용될 수 있다.

하지만, 종래의 인쇄회로기판 세정장치는 한국특허등록 제 10-0921397호에 개시된 바와 같이, 인쇄회로기판을 회전시킨 상태에서 세정제를 분사하여 인쇄회로기판에 붙어 있는 이물질을 제거하고 있어서, 인쇄회로기판에 각종 칩들 각각이 인쇄회로기판에서 띄워진 상태에서 그들의 발들이 거미발 형상으로 인쇄회로기판에 장착된 되어 있어서, 칩과 인쇄회로기판 사이에 존재하는 이물질들이 빠져나오지 못하여 원하는 인쇄회로기판의 세정을 할 수 없다고 하는 문제점을 가진다.

또한, 준수계 세정제로 인쇄회로기판을 세정한 후에 바로 수계 세정제로 인쇄회로기판을 헹굼하여 오염된 헹굼수를 재활용하기 위한 여과장치에 많은 부하를 주게 되어 운용비용이 많이 소요된다고 하는 문제점과 그리고 기판들이 연직방향 위를 향한 자세에서 건조를 하게 되어 건조가 더디다는 문제점을 종래의 인쇄회로기판세정장치는 가진다.

본 발명은 상기된 문제점을 해결하는 것에 과제를 가진다.

본 발명은 준수계 세정제를 이용하여 인쇄회로기판을 세정할 시에 거미발 형상으로 인쇄회로기판에 선단이 고정된 칩들의 발들이 연직방향 상향을 향하게 인쇄회로기판을 뒤집어서, 준수계 세정액 중에 침지시킨 상태에서 상기 준수계 세정액을 인쇄회로기판의 밖에서 안쪽으로 인쇄회로기판에 분사시키고, 수계 세정제를 이용하여 인쇄회로기판을 세정하기에 앞서서 탈수공정에 의해 준수계 세정액을 인쇄회로기판에서 털어내고, 수계 세정액에 의해 헹굼공정을 4차에 걸쳐 수행하되, 1차의 헹굼에 사용된 수계 세정액을 재생처리하지 않고 준수계폐액탱크에 저장하고 나머지 차수의 헹굼에 사용된 수계세정액을 여과하여 재생된 수계세정액을 2차 및 3차의 헹굼에 재사용하고 상기 여과에 의해 걸러진 오염물을 농축하여 상기 준수계폐액탱크에 저장하고, 아울러 1차 내지 3차헹굼, 샤워헹굼탈수 및 열풍건조에서도 상기 인쇄회로기판을 뒤집은 자세에서 수행함으로써 상기 과제를 해결할 수 있다.

본 발명은, 인쇄회로기판이 뒤집힌 자세에서 수행되는 액중분사세정공정과 복수개의 액중분사헹굼공정 의해 칩과 인쇄회로기판 사이에 존재하는 이물질들이 칩과 인쇄회로기판 사이에서 용이하게 빠져나오게 되어 종래보다 인쇄회로기판의 세정효율을 증대시킬 수 있으며, 준수계 세정제로 인쇄회로기판을 세정한 후에 바로 탈액공정을 수행함으로써, 오염된 준수계 세정액과 1차의 헴굼에 사용되어 오염된 수계 세정액을 재생처리하지 않고 반복적으로 액중분사세정조로 이송되어 소정 기간 동안 세정액으로서 사용한 후 세정준수계폐액탱크에 저장함으로써, 수계 세정제로 인쇄회로기판을 복수회 헹굼하여 오염된 헹굼수를 재활용하기 위한 여과장치에 대한 부하를 줄여 운용비용을 절감할 수 있고, 샤워헹굼탈수 및 열풍건조에서도 상기 인쇄회로기판을 뒤집은 자세에서 수행함으로써 건조효율을 증대시키는 작용효과를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 실시예의 인쇄회로기판 세정장치의 개념도.

이하, 본 발명에 따른 실시예의 인쇄회로기판 세정장치가 도 1을 참조하여 상세히 설명될 것이다.

도 1에는 본 실시예의 인쇄회로기판 세정장치가 부호 100으로서 지시되어 있다.

상기 인쇄회로기판 세정장치(100)는 준수계세정액을 사용하여 인쇄회로기판을 세정하는 액중분사세정조(10), 세정된 인쇄회로기판에 붙어 있는 준수계세정액을 원심력에 의해 탈수하는 탈액조(20), 수계세정액으로서 순수를 사용하여 탈수된 인쇄회로기판을 1차 헹굼하는 1차액중분사헹굼조(30), 수계세정액으로서 순수를 사용하여 1차 헹굼된 인쇄회로기판을 2차 헹굼하는 2차액중분사헹굼조(40), 수계세정액으로서 순수를 사용하여 2차 헹굼된 인쇄회로기판을 3차 헹굼하는 3차액중분사헹굼조(50), 수계세정액으로서 순수를 사용하여 샤워헹굼하고 원심력에 의해 샤워헹굼된 인쇄회로기판에 붙어 있는 순수를 탈수하는 샤워헹굼 및 탈수조(60), 상기 샤워헹굼되고 탈수된 인쇄회로기판에 붙어 있는 순수를 열풍과 원심력에 의해 건조하는 열풍건조조(70), 상기 2차 및 3차액중분사헹굼조(50)에서 사용된 순수를 재생하는 재생부(80) 및 상기 액중분사세정조(10)와 상기 1차액중분사헹굼조(30)보다 낮은 위치에 배치되어 상기 액중분사세정조(10)와 상기 1차액중분사헹굼조(30)에서 사용된 준수계 세정액을 자연낙하게 의해 유입받아 저장하는 폐액탱크(90)를 포함하고 있다.

상기 액중분사세정조(10)에는 연직방향으로 이격되어 배치된 복수개의 노즐구를 가진 복수개의 노즐헤더(11)가 상기 액중분사세정조(10) 내에 장전된 복수개의 인쇄회로기판을 사이에 두고 서로 마주하게 배치되어 상기 액중분사세정조(10) 내에 기립설치되어 있고, 상기 액중분사세정조(10)에 상기 복수개의 인쇄회로기판이 침수되게 충전된 준수계세정액이 상기 액중분사세정조(10)에서 월류된 준수계세정액를 저장하는 준수계세정액월류저장조(12)가 유통가능하게 접속되어 있다.

상기 준수계세정액월류저장조(12)는 일단이 상기 준수계세정액월류저장조(12)의 천정부에 기단이 고정되고 선단이 상기 준수계세정액월류저장조(12)의 바닥에서 이격되게 기립되어 뻗어 있는 준수계세정액하등수유로벽부(13)를 포함하고 있고, 상기 준수계세정액월류저장조(12)에서 준수계세정액하등수유로벽부(13)와 상기 준수계세정액월류저장조(12)의 바닥 사이를 통과한 다음 월류된 준수계세정액하등수를 상기 폐액탱크(90)에 저장하기 위해, 상류단이 준수계세정액월류저장조(12)의 준수계세정액하등수 상부에 접속되어 있고 하류단이 상기 폐액탱크(90)의 상부에 접속된 준수계세정액하등수공급라인(L1)을 포함하고 있다.

또한, 상기 액중분사세정조(10)에 구비된 복수개의 노즐헤더(11)는 상류단이 상기 액중분사세정조(10)의 액중에 접속된 상태에서 도중에 밸브(V1-1), 펌프(P1-1) 및 이물질을 여과하는 필터(F1-1)가 개재된 준수계세정액 순환라인(L1-1)의 하류단에 접속되어 있다.

또한, 상기 액중분사세정조(10)의 하부에는 하류단이 준수계세정액하등수공급라인(L1)의 도중에 상부에 접속되고 도중에 밸브(V1-2)가 개재된 준수계세정폐액공급라인(L1-2)의 상류단이 접속되어 있다.

또한, 상기 액중분사세정조(10)의 하부에는 상류단이 상기 준수계세정액원류저장조(12)의 준수계세정액하등수에 접속되어 있고 도중에 밸브(V1-3), 펌프(P1-3) 이물질을 여과하는 필터(F1-3) 및 밸브(V1-3-1)가 개재된 준수계세정액하등수복귀라인(L1-3)의 하류단에 접속되어 있다.

또한, 상기 준수계세정액하등수유로벽부(13)보다 하류측에 위치된 상기 준수계세정액월류저장조(12)의 바닥에 하류단이 접속되고 도중에 밸브(V1-4)가 개재된 바이패스라인(L1-4)의 상류단이 상기 필터(F1-3)과 상기 밸브(V1-3-1) 사이의 준수계세정액하등수복귀라인(L1-3)의 도중에 접속되어 있다.

또한, 상기 준수계세정액하등수유로벽부(13)보다 상류측에 위치된 상기 준수계세정액월류저장조(12)의 바닥에는 하류단이 상기 준수계세정폐액공급라인(L1-2)의 도중에 접속되고 도중에 밸브(V1-5)가 개재된 제1준수계세정액드레인라인(L1-5)이 접속되어 있고, 그리고 상기 준수계세정액하등수유로벽부(13)보다 하류측에 위치된 상기 준수계세정액월류저장조(12)의 바닥에는 하류단이 준수계세정액하등수공급라인(L1)의 도중에 접속되고 도중에 밸브(V1-6)가 개제된 제2준수계세정액드레인라인(L1-6)이 접속되어 있다.

상기 탈액조(20)에는 인쇄회로기판을 장착한 지그를 회전시키는 도시되지 않은 회전수단이 구비되고, 그리고 연직방향으로 이격되어 장전된 인쇄회로기판을 향하게 배치된 복수개의 노즐구를 가진 노즐헤더(21)가 상기 액중분사세정조(10) 내에 기립설치되어 있고, 상기 노즐헤더(21)에는 상류단이 블로어(22)에 접속되어 있는 공기공급라인(L2-1)의 하류단이 접속되어 있다.

또한, 상기 탈액조(20)에는 상기 탈수조(20)의 위치보다 낮은 위치에 배치된 보조탱크(23)가 유통가능하게 접속되어 있고, 상기 보조탱크(23)는 도중에 밸브(V2-1), 펌프(P2-1) 및 밸브(V2-2)가 개재된 상태에서 하류단이 상기 액중분사세정조(10)의 하부에 접속된 탈수준수계세정액복귀라인(L2-2)의 상류단이 접속되어 있다.

상기 1차액중분사헹굼조(30) 상부에는 상기 1차액중분사헹굼조(30)의 위치보다 높은 위치에 배치된 순수저장탱크(1)의 하부에 상류단이 접속되고 도중에 밸브(2), 히터(3) 및 밸브(3)가 개재된 순수메인공급라인(L)의 하류단이 접속되어 있다.

또한, 상기 1차액중분사헹굼조(30)에는 연직방향으로 이격되어 배치된 복수개의 노즐구를 가진 복수개의 노즐헤더(31)가 상기 1차액중분사헹굼조(30) 내에 장전된 복수개의 인쇄회로기판을 사이에 두고 서로 마주하게 배치되어 상기 1차액중분사헹굼조(30) 내에 기립설치되어 있고, 상기 1차액중분사헹굼조(30)에 상기 복수개의 인쇄회로기판이 침수되게 충전된 순수인 수계세정액이 상기 액중분사세정조(30)에서 월류된 수계세정액를 저장하는 수계세정액월류저장조(32)가 유통가능하게 접속되어 있다.

상기 수계세정액월류저장조(32)는 일단이 상기 수계세정액월류저장조(32)의 천정부에 기단이 고정되고 선단이 상기 수계세정액월류저장조(32)의 바닥에서 이격되게 기립되어 뻗어 있는 수계세정액하등수유로벽부(33)를 포함하고 있고, 상기 수계세정액월류저장조(32)에서 수계세정액하등수유로벽부(33)와 상기 수계세정액월류저장조(32)의 바닥 사이를 통과한 다음 월류된 수계세정액하등수를 상기 폐액탱크(90)에 저장하기 위해, 상류단이 수계세정액월류저장조(32)의 수계세정액하등수 상부에 접속되어 있고 하류단이 상기 준수계세정액하등수공급라인(L1)의 도중에 접속된 수계세정액하등수공급라인(L3)을 포함하고 있다.

또한, 상기 1차액중분사헹굼조(30)에 구비된 복수개의 노즐헤더(11)는 상류단이 상기 1차액중분사헹굼조(30)의 액중에 접속된 상태에서 도중에 밸브(V3-1), 펌프(P3-1) 및 이물질을 여과하는 필터(F3-1)가 개재된 수계세정액 순환라인(L3-1)의 하류단에 접속되어 있다.

또한, 상기 1차액중분사헹굼조(30)의 하부에는 하류단이 수계세정액하등수공급라인(L3)의 도중에 상부에 접속되고 도중에 밸브(V3-2)가 개재된 준수계세정폐액공급라인(L3-2)의 상류단이 접속되어 있다.

또한, 상기 1차액중분사헹굼조(30)의 하부에는 상류단이 상기 수계세정액원류저장조(32)의 수계세정액하등수에 접속되어 있고 도중에 밸브(V3-3), 펌프(P3-3) 이물질을 여과하는 필터(F3-3) 및 밸브(V3-3-1)가 개재된 준수계세정액하등수복귀라인(L3-3)의 하류단에 접속되어 있다.

또한, 상기 수계세정액하등수유로벽부(33)보다 하류측에 위치된 상기 수계세정액월류저장조(32)의 바닥에 하류단이 접속되고 도중에 밸브(V3-4)가 개재된 바이패스라인(L3-4)의 상류단이 상기 필터(F3-3)과 상기 밸브(V3-3-1) 사이의 수계세정액하등수복귀라인(L3-3)의 도중에 접속되어 있다.

또한, 상기 수계세정액하등수유로벽부(33)보다 상류측에 위치된 상기 수계세정액월류저장조(32)의 바닥에는 하류단이 상기 수계세정폐액공급라인(L3-2)의 도중에 접속되고 도중에 밸브(V3-5)가 개재된 제1수계세정액드레인라인(L3-5)이 접속되어 있고, 그리고 상기 수계세정액하등수유로벽부(33)보다 하류측에 위치된 상기 수계세정액월류저장조(32)의 바닥에는 하류단이 수계세정액하등수공급라인(L3)의 도중에 접속되고 도중에 밸브(V3-6)가 개재된 제2드레인라인(L3-6)이 접속되어 있다.

또한, 상기 2차액중분사헹굼조(40)에는 연직방향으로 이격되어 배치된 복수개의 노즐구를 가진 복수개의 노즐헤더(41)가 상기 2차액중분사헹굼조(40) 내에 장전된 복수개의 인쇄회로기판을 사이에 두고 서로 마주하게 배치되어 상기 2차액중분사헹굼조(40) 내에 기립설치되어 있다.

상기 2차액중분사헹굼조(40)는 일단이 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 천정부에 기단이 고정되고 선단이 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 바닥에서 이격되게 기립되어 뻗어 있는 수계세정액하등수유로벽부(43)를 포함하고 있다.

또한, 상기 2차액중분사헹굼조(40)에 구비된 복수개의 노즐헤더(41)는 상류단이 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 액중에 접속된 상태에서 도중에 밸브(V4-1), 펌프(P4-1) 및 이물질을 여과하는 필터(F4-1)가 개재된 수계세정액 순환라인(L4-1)의 하류단에 접속되어 있다.

또한, 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 상부에는 상기 2차액중분사헹굼조(40)에서 월류하는 수계세정액상등수를 방류하는 수계세정액상등수방류라인(L4-2)이 접속되어 있고, 그리고 상기 수계세정액상등수방류라인(L4-2)의 도중에는 도중에 밸브(V4-3)가 개재된 상태에서 상류단이 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 하부에 접속되어 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 수계세정액하등수를 방류하는 수계세정액하등수방류라인(L4-3)의 하류단이 접속되어 있다.

상기 3차액중분사헹굼조(50)는 상기 순수저장탱크(1)의 위치보다 낮은 위치에 배치되어 있고, 그리고 상기 3차액중분사헹굼조(50)의 상부에는 상류단이 상기 히터(3)보다 하류측 부위인 상기 순수메인공급라인(L)의 도중에 접속되고 도중에 밸브(5)가 개재된 순수분기공급라인(L-1)의 하류단이 접속되어 있다.

또한, 상기 3차액중분사헹굼조(50)에는 연직방향으로 이격되어 배치된 복수개의 노즐구를 가진 복수개의 노즐헤더(51)가 상기 3차액중분사헹굼조(50) 내에 장전된 복수개의 인쇄회로기판을 사이에 두고 서로 마주하게 배치되어 상기 3차액중분사헹굼조(50) 내에 기립설치되어 있다.

상기 3차액중분사헹굼조(50) 상부는 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 수계세정액하등수유로벽부(43)와 상기 2차액중분헹굼조(40) 바닥 사이를 통과한 다음 월류된 수계세정액하등수를 건네어 받기 위해 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 상부와 유통가능하게 접속되어 있다.

또한, 상기 3차액중분사헹굼조(50)에 구비된 복수개의 노즐헤더(51)는 상류단이 상기 3차액중분사헹굼조(50)의 액중에 접속된 상태에서 도중에 밸브(V5-1), 펌프(P5-1) 및 이물질을 여과하는 필터(F5-1)가 개재된 수계세정액 순환라인(L5-1)의 하류단에 접속되어 있다.

또한, 상기 3차액중분사헹굼조(50)의 하부에는 도중에 밸브(V5-3)가 개재된 상태에서 상기 수계세정액상등수방류라인(L4-2)의 도중에 하류단이 접속된 수계세정액하등수방류라인(L5-3)의 상류단이 접속되어 있다.

상기 샤워헹굼 및 탈수조(60)에는 연직방향으로 이격되어 배치된 복수개의 노즐구를 가진 샤워용 노즐헤더(61)와 탈수용 노즐헤더(62)가 상기 샤워헹굼 및 탈수조(60) 내에 배치되어 기립설치되어 있다.

또한, 상기 샤워헹굼 및 탈수조(60)는 상기 순수저장탱크(1)의 위치보다 낮은 위치에 배치되어 있고, 상기 샤워용 노즐헤더(61)에는 상류단이 상기 히터(3)보다 하류측 부위인 상기 순수메인공급라인(L)의 도중에 접속되고 도중에 밸브(6)가 개재된 순수분기공급라인(L-2)의 하류단이 접속되어 있고, 그리고 상기 탈수용 노즐헤더(62)에는 상류단이 블로어(63)에 접속되어 있는 공기공급라인(L6-1)의 하류단이 접속되어 있다.

또한, 상기 샤워헹굼 및 탈수조(60)는 인쇄회로기판을 장착한 지그를 회전시키는 도시되지 않은 회전수단을 구비하고 있다.

또한, 상기 샤워헹굼 및 탈수조(60)에는 상기 샤워헹굼 및 탈수조(60)의 위치보다 낮은 위치에 배치된 보조탱크(64)가 유통가능하게 접속되어 있고, 상기 보조탱크(64)는 도중에 밸브(V6-1), 펌프(P6-1) 및 밸브(V6-2)가 개재된 상태에서 하류단이 상기 3차액중분사헹굼조(50)의 하부에 접속된 탈수수계세정액방류라인(L6-2)의 상류단이 접속되어 있다.

상기 열풍건조조(70)는 인쇄회로기판을 장착한 지그를 회전시키는 도시되지 않은 회전수단을 구비하고 있고, 그리고 연직방향으로 이격되어 배치된 복수개의 노즐구를 가진 건조용 노즐헤더(71)를 내부에 기립설치하여 구비하고 있다.

상기 노즐헤더(71)는 상류단이 블로워(72)에 접속되어 도중에 히터(73)가 개재된 열풍라인(L7)의 하류단에 접속되어 있다.

상기 2차 및 3차액중분사헹굼조(50)에서 사용된 순수를 재생하는 상기 재생부(80)는, 도중에 밸브(V8-1) 및 펌프(P8-1)를 개재한 상태에서 상류단이 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 하부에 접속된 헹굼폐액공급라인(L8-1)의 하류단에 접속된 농축액조(81); 도중에 밸브(V8-2)와 펌프(P8-2)가 개재되고 상류단이 상기 농축액조(81)의 하부에 접속된 헹굼폐액강제이송라인(L8-2)의 하류단에 접속되어 있고, 상기 헹굼폐액강제이송라인(L8-2)을 통하여 공급받은 헹굼폐액 중에서 함유된 이물질, 준수계 세정액 등의 오염물을 걸러서 그 오염물을 오염물배출라인(L8-3)을 경유하여 상기 농축액조(81)에 배출하는 필터부(82); 상류단이 상기 필터부(82)에 접속되고 도중에 밸브(V8-4) 및 펌프(P8-4)가 개재된 재생수배출라인(L8-4)의 하류단에 접속되어 상기 헹굼폐액 중에서 상기 필터부(82)에 의해 여과된 재생수를 저장하고, 하류단이 상기 2차액중분사헹굼조(40)에 접속되고 도중에 밸브(V8-5) 및 펌프(P8-5)가 개재된 재생액공급라인(L8-5)의 상류단이 접속되어 저장된 재생액을 상기 2차액중분사헹굼조(40)에 공급하는 재생액조(83); 그리고 상기 농축액조(81)에저장된 농축액을 상기 폐액탱크(90)에 배출시키기 위해 하류단이 상기 폐액탱크(90)에 접속되어 있고 도중에 밸브(V8-6) 및 펌프(P8-6)가 개재된 농축액배출라인(L8-6)을 포함하고 있다.

상기와 같이 구성된 인쇄회로기판 세정장치(100)는 다음과 같이 작동될 수 있다.

먼저, 액중분사세정조(10)와 상기 준수계세정액월류저장조(12) 각각에 준수계세정액을 소정된 레벨까지 채운다.

그리고, 상기 1차 내지 상기 3차액중분사헹굼조(30, 40, 50) 각각에, 상기 순수저장조(1)의 순수인 수계세정액을, 밸브(2, 4, 5)가 개방되고 히터(3)가 가동되고 있는 순수메인공급라인(L)과 순수분기공급라인(L-1)을 경유하여 소정 레벨까지 채운다.

그 다음, 도시되지 않은 지그에 장착된 도시되지 않은 복수개의 인쇄회로기판이 상기 액중분사세정조(10)에 장전될 시에 거미발 형상으로 인쇄회로기판에 선단이 고정된 칩들의 발들이 연직방향 상향을 향하게 하는 뒤집은 자세를 갖도록 액중분사세정조(10)의 준수계제정액 속에 침지시킨 상태에서, 밸브(V1-1)를 열고, 펌프(P1-1)를 가동하여 준수계세정액 순환라인(L1-1)을 통하여 액중분사세정조(10)의 준수계세정액을 일정 시간 동안 상기 액중분사세정조(10) 내에서 순환시키면서 필터(F1-1)에 의해 액중분사세정조(10)의 준수계세정액에 함유된 이물질을 여과하고, 밸브(V1-3, V1-3-1)를 열고, 펌프(P1-3)를 가동하여 준수계세정액하등수복귀라인(L1-3)을 통하여 상기 준수계세정액원류저장조(12)의 준수계세정액을 상기 액중분사세정조(10)에 보충시면서 필터(F1-3)에 의해 순수계세정액원류저장조(12)의 준수계세정액에 함유된 이물질을 여과하고, 상기 보충된 준수계세정액이 액중분사세정조(10)에서 일정 레벨로 보충되면 상기 액중분사세정조(10)에서 상기 준수계세정액원류저장조(12)로 월류되게 하고, 상기 월류된 준수계세정액에 함유된 부유 이물질이 상기 준수계세정액하등수유로벽부(13)에 의해 여과되고, 부유 이물질이 여과된 준수계제정액이 상기 준수계세정액하등수유로벽부(13) 밑으로 이동하게 되고, 상기 복수개의 노즐헤더(11)를 통하여 준수계세정액이 복수개의 인쇄회로기판 쪽으로 분사되어서, 인쇄회로기판에 붙어 있는 플럭스 등의 이물질을 펌프를 이용한 물리적인 준수계세정액의 분사힘과 준수계세정액의 화학적 용해력을 이용하여 유, 무기물의 이물질을 제거한다.

여기에서, 바이패스라인(L1-4)은 상기 준수계세정액원류저장조(12)의 준수계세정액이 일정 레벨까지 상기 액중분사세정조(10)에 보충되게 되면, 밸브(V1-3, V1-3-1)를 닫고, 펌프(P1-3)를 가동중지하여 준수계세정액하등수복귀라인(L1-3)을 통하여 상기 준수계세정액원류저장조(12)의 준수계세정액을 상기 액중분사세정조(10)에 보충되지 않게 하면서, 밸브(V1-4)를 열여 상기 준수계세정액원류저장조(12)에서의 준수계세정액의 액레벨을 일정하게 유지한다.

또한, 상기 준수계세정액원류저장조(12)에서 준수계세정액이 일정레벨 이상이 되면, 자연적으로 월류하여 상기 준수계세정액하등수공급라인(L1)을 경유하여 상기 폐액탱크(90)에 자연낙하에 의해 저장되게 되고, 상기 액중분사제정조(10)의 준수계세정액을 비울 경우에는 밸브(V1-2)를 열어 준수계세정폐액공급라인(L1-2)을 경유하여 상기 페액탱크(90)에 상기 액중분사제정조(10)의 준수계세정액이 자연낙하에 의해 이동되게 하고, 상기 준수계세정액원류저장조(12)의 준수계세정액을 비울 경우에는 밸브(V1-5) 또는 밸브(V1-6)를 열어 제1준수계세정액드레인라인(L1-5) 또는 제2준수계세정액드레인라인(L1-6)을 통하여 상기 폐액탱크(90)에 상기 준수계세정액원류저장조(12)의 준수계세정액을 자연낙하에 의해 이동되게 한다.

그 다음, 상기 복수개의 인쇄회로기판이 장착된 지그를 상기 액중분사세정조(10)에서 꺼내어 상기 탈액조(20) 내에 마련된 도시되지 않은 회전수단에 인쇄회로기판의 뒤집은 자세를 유지하면서 장착하여 상기 탈액조(20)에 장전한다.

그 다음, 일정 시간 동안 블로워(22)를 가동하면서 상기 지그가 장착되어 있는 회전수단을 가동하여 노즐헤더(21)를 통하여 공기를 분사시켜, 회전수단의 원심력과 공기의 분사력에 의해 뒤집힌 자세의 인쇄회로기판에 붙어 있는 준수계세정액을 털어낸다. 이때에 인쇄회로기판이 뒤집힌 자세에 있기 때문에, 칩과 인쇄회로기판 사이에 존재하는 준수계세정액과 이물질이 함께 용이하게 밖으로 빠져나오게 된다.

여기에서, 상기 보조탱크(23)에 탈수된 준수계세정액이 일정 레벨까지 충전되게 되면, 일정 시간 동안 밸브(V2-1, V2-2)를 열고, 펌프(P2-1)를 가동하여 상기 보조탱크(23)의 탈수된 준수계세정액을 상기 탈수준수계세정액복귀라인(L2-2)을 경유하여 상기 액중분사세정조(10)로 이송시킨다.

그 다음, 상기 복수개의 인쇄회로기판이 장착된 지그를 상기 탈액조(20)에서 꺼내어 인쇄회로기판의 뒤집은 자세를 유지하면서 상기 1차액중분사헹굼조(30)에 장전한다.

그 다음, 밸브(V3-1)를 열고, 펌프(P3-1)를 가동하여 수계세정액 순환라인(L3-1)을 통하여 1차액중분사헹굼조(30)의 수계세정액을 일정 시간 동안 상기 1차액중분사헹굼조(30) 내에서 순환시키면서 필터(F3-1)에 의해 1차액중분사헹굼조(30)의 수계세정액에 함유된 이물질을 여과하고, 밸브(V3-3, V3-3-1)를 열고, 펌프(P3-3)를 가동하여 수계세정액하등수복귀라인(L3-3)을 통하여 상기 수계세정액원류저장조(32)의 수계세정액을 상기 1차액중분사헹굼조(30)에 보충시면서 필터(F3-3)에 의해 수계세정액원류저장조(32)의 수계세정액에 함유된 이물질을 여과하고, 상기 보충된 수계세정액이 1차액중분사헹굼조(10)에서 일정 레벨로 보충되면 상기 1차액중분사헹굼조(30)에서 상기 수계세정액원류저장조(32)로 월류되게 하고, 상기 월류된 수계세정액에 함유된 부유 이물질이 상기 수계세정액하등수유로벽부(33)에 의해 여과되고, 부유 이물질이 여과된 수계제정액이 상기 수계세정액하등수유로벽부(33) 밑으로 이동하게 되고, 상기 복수개의 노즐헤더(31)를 통하여 수계세정액이 복수개의 인쇄회로기판 쪽으로 분사되어서, 인쇄회로기판에 붙어 있는 준수계세정액 성분을 펌프를 이용한 물리적인 수계세정액의 분사힘으로 제거한다.

이때에 인쇄회로기판이 뒤집힌 자세에 있기 때문에, 칩과 인쇄회로기판 사이에 존재하는 준수계세정액, 수계세정액 및 이물질이 함께 용이하게 밖으로 빠져나오게 된다.

여기에서, 바이패스라인(L3-4)은 상기 수계세정액원류저장조(32)의 수계세정액이 일정 레벨까지 상기 1차액중분사헹굼조(30)에 보충되게 되면, 밸브(V3-3, V3-3-1)를 닫고, 펌프(P3-3)를 가동중지하여 수계세정액하등수복귀라인(L3-3)을 통하여 상기 수계세정액원류저장조(32)의 수계세정액을 상기 1차액중분사헹굼조(30)에 보충되지 않게 하면서, 밸브(V3-4)를 열여 상기 수계세정액원류저장조(32)에서의 수계세정액의 액레벨을 일정하게 유지한다.

또한, 상기 수계세정액원류저장조(32)에서 준계세정액이 일정레벨 이상이 되면, 자연적으로 월류하여 상기 수계세정액하등수공급라인(L3)을 경유하여 상기 폐액탱크(90)에 자연낙하에 의해 저장되게 되고, 상기 1차액중분사헹굼조(30)의 수계세정액을 비울 경우에는 밸브(V3-2)를 열어 수계세정폐액공급라인(L3-2)을 경유하여 상기 폐액탱크(90)에 상기 1차액중분사헹굼조(30)의 수계세정액이 자연낙하에 의해 이동되게 하고, 상기 수계세정액원류저장조(32)의 수계세정액을 비울 경우에는 밸브(V3-5) 또는 밸브(V3-6)를 열어 제1수계세정액드레인라인(L3-5) 또는 제2수계세정액드레인라인(L3-6)을 통하여 상기 폐액탱크(90)에 상기 수계세정액원류저장조(32)의 수계세정액을 자연낙하에 의해 이동되게 한다.

그 다음, 상기 복수개의 인쇄회로기판이 장착된 지그를 상기 1차액중분사헹굼조(30)에서 꺼내어 인쇄회로기판의 뒤집은 자세를 유지하면서 상기 2차액중분사헹굼조(40)에 장전한다.

그 다음, 밸브(V4-1)를 열고, 펌프(P4-1)를 가동하여 수계세정액 순환라인(L4-1)을 통하여 2차액중분사헹굼조(40)의 수계세정액을 일정 시간 동안 상기 2차액중분사헹굼조(40) 내에서 순환시키면서 필터(F4-1)에 의해 2차액중분사헹굼조(40)의 수계세정액에 함유된 이물질을 여과하고, 상기 2차액중분사헹굼조(40)에서 상기 수계세정액이 일정 레벨 이상으로 보충되면 상기 2차액중분사헹굼조(40)에서 수계세정액상등수방류라인(L4-2)을 경유하여 방류되고, 상기 복수개의 노즐헤더(41)를 통하여 수계세정액이 복수개의 인쇄회로기판 쪽으로 분사되어서, 인쇄회로기판에 붙어 있는 준수계세정액 성분을 펌프를 이용한 물리적인 수계세정액의 분사힘으로 제거한다.

이때에 인쇄회로기판이 뒤집힌 자세에 있기 때문에, 칩과 인쇄회로기판 사이에 존재하는 수계세정액, 준수계세정액 및 이물질이 함께 용이하게 밖으로 빠져나오게 된다.

여기에서, 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 수계세정액을 비울 경우에는 밸브(V4-3)를 열어 수계세정액하등수방류라인(L4-3)을 경유하여 방류하게 된다.

그 다음, 상기 복수개의 인쇄회로기판이 장착된 지그를 상기 2차액중분사헹굼조(40)에서 꺼내어 인쇄회로기판의 뒤집은 자세를 유지하면서 상기 3차액중분사헹굼조(50)에 장전한다.

그 다음, 밸브(V5-1)를 열고, 펌프(P5-1)를 가동하여 수계세정액 순환라인(L5-1)을 통하여 3차액중분사헹굼조(50)의 수계세정액을 일정 시간 동안 상기 3차액중분사헹굼조(50) 내에서 순환시키면서 필터(F5-1)에 의해 3차액중분사헹굼조(50)의 수계세정액에 함유된 이물질을 여과하고, 상기 3차액중분사헹굼조(50)에서 상기 수계세정액이 일정 레벨 이상으로 보충되면 상기 3차액중분사헹굼조(50)에서 상기 2차액중분사헹굼조(40)로 월류되고, 상기 월류된 수계세정액에 함유된 부유 이물질이 상기 수계세정액하등수유로벽부(43)에 의해 여과되고, 부유 이물질이 여과된 수계제정액이 상기 수계세정액하등수유로벽부(33) 밑으로 이동하게 되고, 상기 복수개의 노즐헤더(51)를 통하여 수계세정액이 복수개의 인쇄회로기판 쪽으로 분사되어서, 인쇄회로기판에 붙어 있는 준수계세정액 성분을 펌프를 이용한 물리적인 수계세정액의 분사힘으로 제거한다.

이때에 인쇄회로기판이 뒤집힌 자세에 있기 때문에, 칩과 인쇄회로기판 사이에 존재하는 준수계세정액, 수계제성액 및 이물질이 용이하게 밖으로 빠져나오게 된다.

여기에서, 상기 3차액중분사헹굼조(50)의 수계세정액을 비울 경우에는 밸브(V5-3)를 열어 수계세정액하등수방류라인(L5-3)을 경유하여 방류하게 된다.

그 다음, 상기 복수개의 인쇄회로기판이 장착된 지그를 상기 3차액중분사헹굼조(50)에서 꺼내어 상기 샤워헹굼 및 탈수조(60) 내에 마련된 도시되지 않은 회전수단에 인쇄회로기판의 뒤집은 자세를 유지하면서 장착하여 상기 샤워헹굼 및 탈수조(60)에 장전한다.

그 다음, 밸브(6)를 열어 상기 순수저장탱크(1)의 순수가 샤워용 노즐헤더(61)를 통하여 자연낙하력에 의해 인쇄회로기판에 분사되게 하여 인쇄회로기판에 붙어 있는 준수계세정액 성분을 1차로 씻어 내리고, 그 다음, 일정 시간 동안 블로워(63)를 가동하면서 상기 지그가 장착되어 있는 회전수단을 가동하여 탈수용 노즐헤더(62)를 통하여 공기를 분사시켜, 회전수단의 원심력과 공기의 분사력에 의해 인쇄회로기판에 붙어 있는 수계세정액을 2차로 털어낸다.

이때에 인쇄회로기판이 뒤집힌 자세에 있기 때문에, 칩과 인쇄회로기판 사이에 존재하는 수계세정액과 이물질이 함께 용이하게 밖으로 빠져나오게 된다.

여기에서, 상기 보조탱크(64)에 탈수된 수계세정액이 일정 레벨까지 충전되게 되면, 일정 시간 동안 밸브(V6-1, V6-2)를 열고, 펌프(P6-1)를 가동하여 상기 보조탱크(64)의 탈수된 준수계세정액을 상기 탈수수계세정액방류라인(L6-2)을 경유하여 상기 3차액중분사헹굼조(50)로 이송시킨다.

그 다음, 상기 복수개의 인쇄회로기판이 장착된 지그를 상기 샤워헹굼 및 탈수조(60)에서 꺼내어 상기 열풍건조조(70) 내에 마련된 도시되지 않은 회전수단에 인쇄회로기판의 뒤집은 자세를 유지하면서 장착하여 상기 열풍건조조(70)에 장전한다.

그 다음, 일정 시간 동안 블로워(72)와 히터(73)를 가동하면서 상기 지그가 장착되어 있는 회전수단을 가동하여 건조용 노즐헤더(71)를 통하여 열풍을 분사시켜, 회전수단의 원심력과 열풍과의 열교환에 의해 인쇄회로기판에 붙어 있는 수계세정액을 건조한다.

이때에 인쇄회로기판이 뒤집힌 자세에 있기 때문에, 칩과 인쇄회로기판 사이에 존재하는 수계세정액과 이물질 용이하게 밖으로 빠져나오게 된다.

상기 재생부(80)는, 소정된 시간마다 소정된 시간동안 가동된다.

상기 재생부(80)가 가동되게 되면, 밸브(V8-1, V8-2, V8-4, V8-5, V8-6)가 개방되고 펌프(P8-1, P8-2, P8-4, P8-5, P8-6)가 가동되어, 상기 2차액중분사헹금조(40)에서 헹굼에 사용된 준수세정액이 헹굼폐액공급라인(L8-1)을 경유하여 상기 농축액조(81)에 유입되었다가 강제적으로 헹굼폐액강제이송라인(L8-2)을 경유하여 상기 필터부(82)에 공급되고, 상기 필터부(82)에서 상기 헹굼에 사용된 준수세정액 중에서 함유된 이물질, 준수계 세정액 등의 오염물을 걸러서 그 오염물이 오염물배출라인(L8-3)을 경유하여 상기 농축액조(81)에 배출되고, 상기 오염물이 여관된 수순인 재생수가 상기 재생수배출라인(L8-4)을 경유하여 재생액조(83)에 저장되고, 상기 재생액조(83)에 저장된 재생액이 상기 재생액공급라인(L8-5)을 경유하여 상기 2차액중분사헹굼조(40)에 헹굼세정액으로서 공급되고, 그리고 상기 농축액조(81)에저장된 폐액인 농축액이 상기 농축액배출라인(L8-6)을 경유하여 상기 폐액탱크(90)에 배출된다.

상기 폐액이 상기 폐액탱크(90)에 소정 레벨 이상으로 저장되면, 폐기처리된다.

상기와 같이 구성되어 작동되는 인쇄회로기판 세정장치는, 인쇄회로기판을 세정, 탈수, 1차 내지 3차헹굼, 샤워헹굼탈수 및 건조할 시에, 거미발 형상으로 인쇄회로기판에 선단이 고정된 칩들의 발들이 연직방향 상향을 향하게 인쇄회로기판이 뒤집힌 자세에서 수행되어, 칩과 인쇄회로기판 사이에 존재하는 이물질들이 칩과 인쇄회로기판 사이에서 용이하게 빠져나오게 되어 종래보다 인쇄회로기판의 세정효율을 증대시킬 수 있으며, 준수계 세정제로 인쇄회로기판을 세정한 후에 바로 탈액공정을 수행함으로써, 오염된 준수계 세정액과 1차의 헴굼에 사용되어 오염된 수계 세정액을 재생처리하지 않고 반복적으로 액중분사세정조로 이송되어 소정 기간 동안 세정액으로서 사용한 후 세정준수계폐액탱크에 저장함으로써, 수계 세정제로 인쇄회로기판을 복수회 헹굼하여 오염된 헹굼수를 재활용하기 위한 여과장치에 대한 부하를 줄여 운용비용을 절감할 수 있고, 샤워헹굼탈수 및 열풍건조에서도 상기 인쇄회로기판을 뒤집은 자세에서 수행함으로써 건조효율을 증대시킬 수 있다.

10; 액중분사세정조, 20; 탈액조, 30; 1차액중분사헹굼조, 40; 2차액중분사헹굼조, 50; 3차액중분사헹굼조, 60; 샤워헹굼 및 탈수조, 70; 열풍건조조, 80; 재생부, 90; 폐액탱크

Claims

준수계세정액을 사용하여 인쇄회로기판을 세정하는 액중분사세정조(10),
세정된 인쇄회로기판에 붙어 있는 준수계세정액을 원심력에 의해 탈수하는 탈액조(20),
수계세정액으로서 순수를 사용하여 탈수된 인쇄회로기판을 1차 헹굼하는 1차액중분사헹굼조(30),
수계세정액으로서 순수를 사용하여 1차 헹굼된 인쇄회로기판을 2차 헹굼하는 2차액중분사헹굼조(40),
수계세정액으로서 순수를 사용하여 2차 헹굼된 인쇄회로기판을 3차 헹굼하는 3차액중분사헹굼조(50),
수계세정액으로서 순수를 사용하여 샤워헹굼하고 원심력에 의해 샤워헹굼된 인쇄회로기판에 붙어 있는 순수를 탈수하는 샤워헹굼 및 탈수조(60),
상기 샤워헹굼되고 탈수된 인쇄회로기판에 붙어 있는 순수를 열풍과 원심력에 의해 건조하는 열풍건조조(70),
상기 2차 및 3차액중분사헹굼조(50)에서 사용된 순수를 재생하는 재생부(80) 및
상기 액중분사세정조(10)와 상기 1차액중분사헹굼조(30)보다 낮은 위치에 배치되어 상기 액중분사세정조(10)와 상기 1차액중분사헹굼조(30)에서 사용된 준수계 세정액을 자연낙하게 의해 유입 받아 저장하는 폐액탱크(90)를 포함하고,
인쇄회로기판을 세정, 탈수, 1차 내지 3차헹굼, 샤워헹굼탈수 및 열풍건조할 시에, 거미발 형상으로 인쇄회로기판에 선단이 고정된 칩들의 발들이 연직방향 상향을 향하게 인쇄회로기판이 뒤집힌 자세에서 수행되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 세정장치.
제 1항에 있어서,
상기 액중분사세정조(10)에는 연직방향으로 이격되어 배치된 복수개의 노즐구를 가진 복수개의 노즐헤더(11)가 상기 액중분사세정조(10) 내에 장전된 복수개의 인쇄회로기판을 사이에 두고 서로 마주하게 배치되어 상기 액중분사세정조(10) 내에 기립설치되어 있고,
상기 액중분사세정조(10)에 상기 복수개의 인쇄회로기판이 침수되게 충전된 준수계세정액이 상기 액중분사세정조(10)에서 월류된 준수계세정액를 저장하는 준수계세정액월류저장조(12)가 유통가능하게 접속되어 있고,
상기 준수계세정액월류저장조(12)는 일단이 상기 준수계세정액월류저장조(12)의 천정부에 기단이 고정되고 선단이 상기 준수계세정액월류저장조(12)의 바닥에서 이격되게 기립되어 뻗어 있는 준수계세정액하등수유로벽부(13)를 포함하고, 그리고 상기 준수계세정액월류저장조(12)에서 준수계세정액하등수유로벽부(13)와 상기 준수계세정액월류저장조(12)의 바닥 사이를 통과한 다음 월류된 준수계세정액하등수를 상기 폐액탱크(90)에 저장하기 위해, 상류단이 준수계세정액월류저장조(12)의 준수계세정액하등수 상부에 접속되어 있고 하류단이 상기 폐액탱크(90)의 상부에 접속된 준수계세정액하등수공급라인(L1)을 포함하고,
상기 액중분사세정조(10)에 구비된 복수개의 노즐헤더(11)는 상류단이 상기 액중분사세정조(10)의 액중에 접속된 상태에서 도중에 밸브(V1-1), 펌프(P1-1) 및 이물질을 여과하는 필터(F1-1)가 개재된 준수계세정액 순환라인(L1-1)의 하류단에 접속되어 있고,
상기 액중분사세정조(10)의 하부에는 하류단이 준수계세정액하등수공급라인(L1)의 도중에 상부에 접속되고 도중에 밸브(V1-2)가 개재된 준수계세정폐액공급라인(L1-2)의 상류단이 접속되어 있고,
상기 액중분사세정조(10)의 하부에는 상류단이 상기 준수계세정액원류저장조(12)의 준수계세정액하등수에 접속되어 있고 도중에 밸브(V1-3), 펌프(P1-3) 이물질을 여과하는 필터(F1-3) 및 밸브(V1-3-1)가 개재된 준수계세정액하등수복귀라인(L1-3)의 하류단에 접속되어 있고,
상기 준수계세정액하등수유로벽부(13)보다 하류측에 위치된 상기 준수계세정액월류저장조(12)의 바닥에 하류단이 접속되고 도중에 밸브(V1-4)가 개재된 바이패스라인(L1-4)의 상류단이 상기 필터(F1-3)과 상기 밸브(V1-3-1) 사이의 준수계세정액하등수복귀라인(L1-3)의 도중에 접속되어 있고,
상기 준수계세정액하등수유로벽부(13)보다 상류측에 위치된 상기 준수계세정액월류저장조(12)의 바닥에는 하류단이 상기 준수계세정폐액공급라인(L1-2)의 도중에 접속되고 도중에 밸브(V1-5)가 개재된 제1준수계세정액드레인라인(L1-5)이 접속되어 있고, 그리고 상기 준수계세정액하등수유로벽부(13)보다 하류측에 위치된 상기 준수계세정액월류저장조(12)의 바닥에는 하류단이 준수계세정액하등수공급라인(L1)의 도중에 접속되고 도중에 밸브(V1-6)가 개제된 제2준수계세정액드레인라인(L1-6)이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 세정장치.
제 2항에 있어서
상기 탈액조(20)에는 인쇄회로기판을 장착한 지그를 회전시키는 회전수단이 구비되고, 그리고 연직방향으로 이격되어 장전된 인쇄회로기판을 향하게 배치된 복수개의 노즐구를 가진 노즐헤더(21)가 상기 액중분사세정조(10) 내에 기립설치되어 있고, 상기 노즐헤더(21)에는 상류단이 블로어(22)에 접속되어 있는 공기공급라인(L2-1)의 하류단이 접속되어 있고,
상기 탈액조(20)에는 상기 탈액조(20)의 위치보다 낮은 위치에 배치된 보조탱크(23)가 유통가능하게 접속되어 있고,
상기 보조탱크(23)는 도중에 밸브(V2-1), 펌프(P2-1) 및 밸브(V2-2)가 개재된 상태에서 하류단이 상기 액중분사세정조(10)의 하부에 접속된 탈수준수계세정액복귀라인(L2-2)의 상류단이 접속되어 있고,
상기 1차액중분사헹굼조(30) 상부에는 상기 1차액중분사헹굼조(30)의 위치보다 높은 위치에 배치된 순수저장탱크(1)의 하부에 상류단이 접속되고 도중에 밸브(2), 히터(3) 및 밸브(3)가 개재된 순수메인공급라인(L)의 하류단이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 세정장치.
제 2항에 있어서,
상기 1차액중분사헹굼조(30)에는 연직방향으로 이격되어 배치된 복수개의 노즐구를 가진 복수개의 노즐헤더(31)가 상기 1차액중분사헹굼조(30) 내에 장전된 복수개의 인쇄회로기판을 사이에 두고 서로 마주하게 배치되어 상기 1차액중분사헹굼조(30) 내에 기립설치되어 있고, 상기 1차액중분사헹굼조(30)에 상기 복수개의 인쇄회로기판이 침수되게 충전된 순수인 수계세정액이 상기 액중분사세정조(30)에서 월류된 수계세정액를 저장하는 수계세정액월류저장조(32)가 유통가능하게 접속되어 있고,
상기 수계세정액월류저장조(32)는 일단이 상기 수계세정액월류저장조(32)의 천정부에 기단이 고정되고 선단이 상기 수계세정액월류저장조(32)의 바닥에서 이격되게 기립되어 뻗어 있는 수계세정액하등수유로벽부(33)를 포함하고, 상기 수계세정액월류저장조(32)에서 수계세정액하등수유로벽부(33)와 상기 수계세정액월류저장조(32)의 바닥 사이를 통과한 다음 월류된 수계세정액하등수를 상기 폐액탱크(90)에 저장하기 위해, 상류단이 수계세정액월류저장조(32)의 수계세정액하등수 상부에 접속되어 있고 하류단이 상기 준수계세정액하등수공급라인(L1)의 도중에 접속된 수계세정액하등수공급라인(L3)을 포함하고,
상기 1차액중분사헹굼조(30)에 구비된 복수개의 노즐헤더(11)는 상류단이 상기 1차액중분사헹굼조(30)의 액중에 접속된 상태에서 도중에 밸브(V3-1), 펌프(P3-1) 및 이물질을 여과하는 필터(F3-1)가 개재된 수계세정액 순환라인(L3-1)의 하류단에 접속되어 있고,
상기 1차액중분사헹굼조(30)의 하부에는 하류단이 수계세정액하등수공급라인(L3)의 도중에 상부에 접속되고 도중에 밸브(V3-2)가 개재된 준수계세정폐액공급라인(L3-2)의 상류단이 접속되어 있고,
상기 1차액중분사헹굼조(30)의 하부에는 상류단이 상기 수계세정액원류저장조(32)의 수계세정액하등수에 접속되어 있고 도중에 밸브(V3-3), 펌프(P3-3) 이물질을 여과하는 필터(F3-3) 및 밸브(V3-3-1)가 개재된 준수계세정액하등수복귀라인(L3-3)의 하류단에 접속되어 있고,
상기 수계세정액하등수유로벽부(33)보다 하류측에 위치된 상기 수계세정액월류저장조(32)의 바닥에 하류단이 접속되고 도중에 밸브(V3-4)가 개재된 바이패스라인(L3-4)의 상류단이 상기 필터(F3-3)과 상기 밸브(V3-3-1) 사이의 수계세정액하등수복귀라인(L3-3)의 도중에 접속되어 있고,
상기 수계세정액하등수유로벽부(33)보다 상류측에 위치된 상기 수계세정액월류저장조(32)의 바닥에는 하류단이 상기 수계세정폐액공급라인(L3-2)의 도중에 접속되고 도중에 밸브(V3-5)가 개재된 제1수계세정액드레인라인(L3-5)이 접속되어 있고, 그리고 상기 수계세정액하등수유로벽부(33)보다 하류측에 위치된 상기 수계세정액월류저장조(32)의 바닥에는 하류단이 수계세정액하등수공급라인(L3)의 도중에 접속되고 도중에 밸브(V3-6)가 개재된 제2드레인라인(L3-6)이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 세정장치.
제 4항에 있어서,
상기 2차액중분사헹굼조(40)에는 연직방향으로 이격되어 배치된 복수개의 노즐구를 가진 복수개의 노즐헤더(41)가 상기 2차액중분사헹굼조(40) 내에 장전된 복수개의 인쇄회로기판을 사이에 두고 서로 마주하게 배치되어 상기 2차액중분사헹굼조(40) 내에 기립설치되어 있고,
상기 2차액중분사헹굼조(40)는 일단이 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 천정부에 기단이 고정되고 선단이 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 바닥에서 이격되게 기립되어 뻗어 있는 수계세정액하등수유로벽부(43)를 포함하고 있고,
상기 2차액중분사헹굼조(40)에 구비된 복수개의 노즐헤더(41)는 상류단이 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 액중에 접속된 상태에서 도중에 밸브(V4-1), 펌프(P4-1) 및 이물질을 여과하는 필터(F4-1)가 개재된 수계세정액 순환라인(L4-1)의 하류단에 접속되어 있고,
상기 2차액중분사헹굼조(40)의 상부에는 상기 2차액중분사헹굼조(40)에서 월류하는 수계세정액상등수를 방류하는 수계세정액상등수방류라인(L4-2)이 접속되어 있고, 그리고 상기 수계세정액상등수방류라인(L4-2)의 도중에는 도중에 밸브(V4-3)가 개재된 상태에서 상류단이 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 하부에 접속되어 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 수계세정액하등수를 방류하는 수계세정액하등수방류라인(L4-3)의 하류단이 접속되어 있고,
상기 3차액중분사헹굼조(50)는 상기 순수저장탱크(1)의 위치보다 낮은 위치에 배치되어 있고, 그리고 상기 3차액중분사헹굼조(50)의 상부에는 상류단이 상기 히터(3)보다 하류측 부위인 상기 순수메인공급라인(L)의 도중에 접속되고 도중에 밸브(5)가 개재된 순수분기공급라인(L-1)의 하류단이 접속되어 있고,
상기 3차액중분사헹굼조(50)에는 연직방향으로 이격되어 배치된 복수개의 노즐구를 가진 복수개의 노즐헤더(51)가 상기 3차액중분사헹굼조(50) 내에 장전된 복수개의 인쇄회로기판을 사이에 두고 서로 마주하게 배치되어 상기 3차액중분사헹굼조(50) 내에 기립설치되어 있고,
상기 3차액중분사헹굼조(50) 상부는 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 수계세정액하등수유로벽부(43)와 상기 2차액중분헹굼조(40) 바닥 사이를 통과한 다음 월류된 수계세정액하등수를 건네어 받기 위해 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 상부와 유통가능하게 접속되어 있고,
상기 3차액중분사헹굼조(50)에 구비된 복수개의 노즐헤더(51)는 상류단이 상기 3차액중분사헹굼조(50)의 액중에 접속된 상태에서 도중에 밸브(V5-1), 펌프(P5-1) 및 이물질을 여과하는 필터(F5-1)가 개재된 수계세정액 순환라인(L5-1)의 하류단에 접속되어 있고,
상기 3차액중분사헹굼조(50)의 하부에는 도중에 밸브(V5-3)가 개재된 상태에서 상기 수계세정액상등수방류라인(L4-2)의 도중에 하류단이 접속된 수계세정액하등수방류라인(L5-3)의 상류단이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 세정장치.
제 5항에 있어서,
상기 샤워헹굼 및 탈수조(60)에는 연직방향으로 이격되어 배치된 복수개의 노즐구를 가진 샤워용 노즐헤더(61)와 탈수용 노즐헤더(62)가 상기 샤워헹굼 및 탈수조(60) 내에 배치되어 기립설치되어 있고,
상기 샤워헹굼 및 탈수조(60)는 상기 순수저장탱크(1)의 위치보다 낮은 위치에 배치되어 있고, 상기 샤워용 노즐헤더(61)에는 상류단이 상기 히터(3)보다 하류측 부위인 상기 순수메인공급라인(L)의 도중에 접속되고 도중에 밸브(6)가 개재된 순수분기공급라인(L-2)의 하류단이 접속되어 있고, 그리고 상기 탈수용 노즐헤더(62)에는 상류단이 블로어(63)에 접속되어 있는 공기공급라인(L6-1)의 하류단이 접속되어 있고,
상기 샤워헹굼 및 탈수조(60)는 인쇄회로기판을 장착한 지그를 회전시키는 회전수단을 구비하고,
상기 샤워헹굼 및 탈수조(60)에는 상기 샤워헹굼 및 탈수조(60)의 위치보다 낮은 위치에 배치된 보조탱크(64)가 유통가능하게 접속되어 있고, 상기 보조탱크(64)는 도중에 밸브(V6-1), 펌프(P6-1) 및 밸브(V6-2)가 개재된 상태에서 하류단이 상기 3차액중분사헹굼조(50)의 하부에 접속된 탈수수계세정액방류라인(L6-2)의 상류단이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 세정장치.
제 6항에 있어서,
상기 재생부(80)는, 도중에 밸브(V8-1) 및 펌프(P8-1)를 개재한 상태에서 상류단이 상기 2차액중분사헹굼조(40)의 하부에 접속된 헹굼폐액공급라인(L8-1)의 하류단에 접속된 농축액조(81); 도중에 밸브(V8-2)와 펌프(P8-2)가 개재되고 상류단이 상기 농축액조(81)의 하부에 접속된 헹굼폐액강제이송라인(L8-2)의 하류단에 접속되어 있고, 상기 헹굼폐액강제이송라인(L8-2)을 통하여 공급받은 헹굼폐액 중에서 함유된 이물질, 준수계 세정액 등의 오염물을 걸러서 그 오염물을 오염물배출라인(L8-3)을 경유하여 상기 농축액조(81)에 배출하는 필터부(82); 상류단이 상기 필터부(82)에 접속되고 도중에 밸브(V8-4) 및 펌프(P8-4)가 개재된 재생수배출라인(L8-4)의 하류단에 접속되어 상기 헹굼폐액 중에서 상기 필터부(82)에 의해 여과된 재생수를 저장하고, 하류단이 상기 2차액중분사헹굼조(40)에 접속되고 도중에 밸브(V8-5) 및 펌프(P8-5)가 개재된 재생액공급라인(L8-5)의 상류단이 접속되어 저장된 재생액을 상기 2차액중분사헹굼조(40)에 공급하는 재생액조(83); 그리고 상기 농축액조(81)에저장된 농축액을 상기 폐액탱크(90)에 배출시키기 위해 하류단이 상기 폐액탱크(90)에 접속되어 있고 도중에 밸브(V8-6) 및 펌프(P8-6)가 개재된 농축액배출라인(L8-6)을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 세정장치.