JP3242577U - 二重濾過循環システム - Google Patents
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Abstract
Description
前記液吐出手段は、前記処理液を吐出するために用いられ、
前記メイン貯留槽は、前記液吐出手段により吐出された処理液を収集して貯留し、
前記第1循環ユニットは、その両端がそれぞれ、前記メイン貯留槽及び液吐出手段に接続される第1パイプラインと、該第1パイプラインの流路上に配置され、該第1パイプラインを流通する処理液を濾過する第1濾過装置とを備え、該第1濾過装置によって濾過された前記処理液には第1濾過液を含み、
前記第2循環ユニットは、その両端が前記メイン貯留槽に接続される第2パイプラインと、該第2パイプラインの流路上に配置され、該第2パイプラインを流通する処理液を濾過する第2濾過装置とを備え、該第2濾過装置によって濾過された前記処理液には、第2濾過液を含み、
このうち、前記第1濾過装置の第1濾過液は、前記液吐出手段に送られ、前記第2濾過装置の第2濾過液は、前記メイン貯留槽に送られることを特徴とする。
前記第2濾過装置によって濾過された処理液には、第2濾過残液をさらに含むことを特徴とする。
前記処理液は、前記第2パイプラインを通って、前記サブ貯留槽から前記第2濾過装置に流れ、
前記第1濾過残液は、前記第1還流パイプを通って前記サブ貯留槽に流れ、
前記第2濾過残液は、前記第2還流パイプを通って前記サブ貯留槽に流れることを特徴とする。
20 メイン貯留槽
30 第1循環ユニット
31 第1パイプライン
32 第1濾過装置
40 第2循環ユニット
41 第2パイプライン
42 第2濾過装置
51 サブ貯留槽
52 第1還流パイプ
53 第2還流パイプ
61 第1圧送手段
62 第2圧送手段
A プリント基板
Claims (6)
- 処理液を濾過して再利用する、二重濾過循環システムであって、液吐出手段、メイン貯留槽、第1循環ユニット及び第2循環ユニットを含み、
前記液吐出手段は、前記処理液を吐出するために用いられ、
前記メイン貯留槽は、前記液吐出手段により吐出された処理液を収集して貯留し、
前記第1循環ユニットは、その両端がそれぞれ、前記メイン貯留槽及び液吐出手段に接続される第1パイプラインと、該第1パイプラインの流路上に配置され、該第1パイプラインを流通する処理液を濾過する第1濾過装置とを備え、該第1濾過装置によって濾過された前記処理液には第1濾過液を含み、
前記第2循環ユニットは、その両端が前記メイン貯留槽に接続される第2パイプラインと、該第2パイプラインの流路上に配置され、該第2パイプラインを流通する処理液を濾過する第2濾過装置とを備え、該第2濾過装置によって濾過された前記処理液には、第2濾過液を含み、
このうち、前記第1濾過装置の第1濾過液は、前記液吐出手段に送られ、前記第2濾過装置の第2濾過液は、前記メイン貯留槽に送られることを特徴とする二重濾過循環システム。 - 前記第1濾過装置によって濾過された処理液には、第1濾過残液をさらに含み、
前記第2濾過装置によって濾過された処理液には、第2濾過残液をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の二重濾過循環システム。 - 前記二重濾過循環システムは、前記第2パイプラインの流路上に配置されるサブ貯留槽と、前記第1濾過装置とサブ貯留槽とに接続される第1還流パイプと、前記第2濾過装置とサブ貯留槽とに接続される第2還流パイプとをさらに含み、
前記処理液は、前記第2パイプラインを通って、前記サブ貯留槽から前記第2濾過装置に流れ、
前記第1濾過残液は、前記第1還流パイプを通って前記サブ貯留槽に流れ、
前記第2濾過残液は、前記第2還流パイプを通って前記サブ貯留槽に流れることを特徴とする請求項2記載の二重濾過循環システム。 - 前記第1濾過装置の濾過孔径が、前記第2濾過装置の濾過孔径よりも大きいことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の二重濾過循環システム。
- 前記二重濾過循環システムが、前記第1パイプラインの流路上に配置される第1圧送手段をさらに含むことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の二重濾過循環システム。
- 前記二重濾過循環システムが、前記第2パイプラインの流路上に配置される第2圧送手段をさらに含むことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の二重濾過循環システム。
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