KR20150126352A

KR20150126352A - Contact pin

Info

Publication number: KR20150126352A
Application number: KR1020157023818A
Authority: KR
Inventors: 히토시 이누즈카
Original assignee: 가부시키가이샤 산케이 엔지니아링구
Priority date: 2013-03-07
Filing date: 2014-03-06
Publication date: 2015-11-11
Also published as: WO2014136884A1; JP2014173914A; TW201435349A; CN105190320A; TWI497082B

Abstract

(과제) 전기적 특성이 양호하고, 신뢰성이 향상된 컨택트 핀을 제공한다.
(해결수단) 컨택트 핀(10)은, 제1플런저와, 제2플런저와, 제1플런저 및 제2플런저의 신축방향을 따른 상대변위에 대응하여 반력을 발생하는 코일스프링을 구비한다. 제1플런저(10)의 습동부(13)는, 축심에 대칭으로 배치된, 축심으로부터 방사상으로 연장되는 2개의 측면을 갖는 선형부(17)를 갖는다. 제2플런저(20)의 습동부(23)도, 축심에 대칭으로 배치된, 축심으로부터 방사상으로 연장되는 2개의 측면을 갖는 선형부(27)를 갖는다. 양 플런저의 습동부가 맞물린 상태에서는, 각 플런저의 선형부가 번갈아 원주방향에 배치된다. 이로써, 양 플런저의 접촉면적을 넙ㄹ게 할 수 있고, 양 플런저의 축심 상의 안정적인 위치를 결정할 수 있다.[PROBLEMS] To provide a contact pin having good electrical characteristics and improved reliability.
A contact pin (10) has a coil spring that generates a reaction force corresponding to a relative displacement along a direction of expansion and contraction of a first plunger, a second plunger, and a first plunger and a second plunger. The sliding portion 13 of the first plunger 10 has a linear portion 17 having two sides extending radially from the axis, arranged symmetrically to the axis. The sliding portion 23 of the second plunger 20 also has a linear portion 27 having two sides extending radially from the axis, arranged symmetrically to the axis. In the state where the sliding portions of the both plungers are engaged, the linear portions of the respective plungers are alternately arranged in the circumferential direction. As a result, the contact area of both plungers can be increased, and a stable position on the axial center of both plungers can be determined.

Description

Contact pins {CONTACT PIN}

본 발명은, 예를 들면 반도체 웨이퍼(wafer)나 반도체 패키지 등의 각종 측정 대상물의 성능시험 등에 사용되는 컨택트 핀에 관한 것으로, 특히, 전기적 특성이 양호하고, 신뢰성이 향상된 컨택트 핀에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a contact pin used for performance tests of various measurement objects such as semiconductor wafers and semiconductor packages, and more particularly to a contact pin having good electrical characteristics and improved reliability.

예를 들면, 반도체 웨이퍼나 IC칩 등의 반도체 패키지 등 각종 측정 대상물의 전기적 특성의 검사에는, 반도체 패키지 등의 피검사 대상물과, 검사기판 등의 외부회로를 전기적으로 접속하는 컨택트 핀이 사용된다.For example, a contact pin for electrically connecting an object to be inspected such as a semiconductor package to an external circuit such as a test board is used for inspecting electrical characteristics of various measurement objects such as a semiconductor wafer or a semiconductor package such as an IC chip.

이러한 컨택트 핀은, 피검사 대상물의 전극에 접속되는 제1플런저와, 외부회로의 전극에 접속되는 제2플런저 및 양 플런저를 반대방향으로 힘을 받게 하는 탄성요소를 구비하는 구성이 일반적이다.Such contact pins generally include a first plunger connected to an electrode of an object to be inspected, a second plunger connected to an electrode of an external circuit, and an elastic element for urging the both plungers in opposite directions.

이러한 구성의 컨택트 핀으로서, 일방의 플런저에, 축방향으로 연장되는 축부를 가지고, 다른 일방의 플런저에 상기 축부가 삽입되어 습동하는 축공을 구비하는 타입이 있다.(예를 들면, 특허문헌 1 참조).As a contact pin having such a configuration, there is a type in which one of the plungers has a shaft portion extending in the axial direction and a shaft hole in which the shaft portion is inserted into the other one of the plungers to slide thereon (see, for example, Patent Document 1 ).

이러한 컨택트 핀에서는, 축부의 표면과 축공의 측벽이 접촉함으로써, 양 플런저의 사이가 도전된다.In such a contact pin, the surface of the shaft portion and the sidewall of the shaft hole are in contact with each other, so that the space between the both plungers is electrically conductive.

또한, 양 플런저 습동부의 단면형상이, 플런저의 축심에 대하여 대칭인 반원형을 갖는 타입이 제안되고 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조).Further, there has been proposed a type in which the cross-sectional shape of both plunger sliding portions has a semicircular shape symmetrical with respect to the axis of the plunger (see, for example, Patent Document 2).

이러한 컨택트 핀에서는, 양 습동부의 평면상에 형성되는 측면이 서로 면 접촉하여, 플런저 사이가 도전된다.In such a contact pin, the side surfaces formed on the plane of both the sliding portions are in surface contact with each other, and the plungers are electrically connected.

또한, 각 플런저가 두 갈래 형상의 탄성습동부를 구비하고, 양 습동부가 직교하여 맞물리는 타입도 제안되고 있다(예를 들면, 특허문헌 3 참조).Further, there is also proposed a type in which each plunger has a bifurcated resilient sliding portion and both sliding portions are orthogonal to each other (see, for example, Patent Document 3).

이러한 컨택트 핀에서는, 양 습동부의 맞물림부의 접촉에 의해 양 플런저가 도전된다.In such a contact pin, the both plungers are electrically connected by the contact of the engaging portions of both the sliding portions.

최근에는, 특히 큰 전류량(예를 들면, 1~3A)에 적합한 컨택트 핀이 요구되고 있다.Recently, a contact pin suitable for a particularly large current amount (for example, 1 to 3 A) is required.

또한, 고주파 디바이스용으로서, 고주파(예를 들면, 3~6GHz)에 적합한 컨택트 핀이 요구되고 있다.In addition, a contact pin suitable for a high frequency (for example, 3 to 6 GHz) is required for a high frequency device.

특허문헌 1: 일본공개특허 제2001-255340호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-255340 특허문헌 2: 국제특허공개 WO 2008/136393호 공보Patent Document 2: International Patent Publication No. WO 2008/136393 특허문헌 3: 일본공표특허 제2008-546164호 공보Patent Document 3: Japanese Patent Publication No. 2008-546164

상술한 특허문헌 1에 기재된 바와 같이, 원주형상의 축부와, 이 축부가 삽입되는 축공을 구비하는 컨택트 핀은, 실제로는 축부와 축공은 선 접촉하고 있어, 접촉면적이 작다. 이 때문에 전기적 저항이 크고, 특히 큰 전류를 통전시키는 측정이나 고주파 디바이스의 측정에는 적합하지 않다.As described in the above-mentioned Patent Document 1, the contact pin having the cylindrical shaft portion and the shaft hole into which the shaft portion is inserted actually comes into line contact with the shaft portion and the shaft hole, and the contact area is small. For this reason, the electrical resistance is large, and it is not particularly suitable for measurement that energizes a large current or measurement of a high frequency device.

또한, 양쪽의 습동특성에 의해 표면에 마모가 발생하고, 전도성에 지장을 초래할 염려가 있다. 그리고 컨택트 핀이 소직경이 될 경우, 축공의 직경도 좁아지고, 축공의 내부를 적절하게 도금처리하기가 곤란하다.In addition, wear and tear on the surface may occur due to wetting characteristics of both sides, which may cause deterioration in conductivity. When the contact pin has a small diameter, the diameter of the shaft hole becomes narrow, and it is difficult to appropriately process the inside of the shaft hole.

또한, 단면이 반원형상인 타입은, 접촉면적을 크게 하는 것은 가능하나, 양 플런저를 소정의 신축방향을 따라 직진안내하는 것은 기본적으로 탄성요소 뿐이기 때문에, 플런저의 상대경사 등이 발생하는 경우가 있고, 습동부의 측면끼리 안정적으로 접촉시키기가 곤란하다.In the type having a semicircular cross section, it is possible to increase the contact area. However, since it is basically only an elastic element to linearly guide both plungers along a predetermined expansion and contraction direction, the relative inclination or the like of the plunger may occur , It is difficult to stably contact the side surfaces of the sliding portion.

또한, 두 갈래로 맞물리는 타입도, 접촉면이 갈래부재의 선단부에 한정됨으로써, 저항치가 커서 큰 전류량용 등으로는 적합하지 않고, 마모도 문제가 된다.Also, in the bifurcated type, since the contact surface is limited to the tip end portion of the forked member, the resistance value is large, which is not suitable for a large amount of current and the like.

본 발명의 과제는, 전기적 특성이 양호하고, 신뢰성이 향상된 컨택트 핀을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a contact pin having good electrical characteristics and improved reliability.

본 발명은, 이하와 같은 해결수단에 의해, 상술한 과제를 해결한다.The present invention solves the above-described problems by means of the following solution.

청구항 1에 따른 발명은, 제1플런저, 상기 제1플런저에 대하여 소정의 신축방향을 따라 상대변위하는 제2플런저, 상기 제1플런저와 상기 제2플런저의 상기 신축방향을 따른 상대변위에 대응하여 반력을 발생하는 탄성요소를 구비하고, 상기 제1플런저 및 상기 제2플런저의 일방에 외부회로가 접촉되고 타방에 측정대상물과의 접촉부가 형성되는 컨택트 핀으로서, 상기 제1플런저와 상기 제2플런저는, 상기 신축방향을 따른 직선을 포함하는 평면형상으로 형성되며, 또한 상기 신축방향을 따라 연장됨과 함께, 서로 각도를 달리하여 배치되는 복수의 습동면부를 통하여 접촉하는 것을 특징으로 한다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a control device for a motorcycle including a first plunger, a second plunger relatively displaced along a predetermined expansion and contraction direction with respect to the first plunger, a second plunger displacing relative to the first plunger, A contact pin having an elastic element for generating a reaction force, wherein an external circuit is in contact with one of the first plunger and the second plunger, and a contact portion with the measurement object is formed in the other of the first plunger and the second plunger, Is formed in a planar shape including a straight line along the elongating and contracting direction and extends along the elongating and shrinking direction and is contacted through a plurality of sliding contact surface portions arranged at different angles from each other.

본 발명에 의하면, 양 플런저가 신축방향으로 연장되고, 또한, 서로 각도를 달리하는 복수의 습동면부를 갖기에, 넓은 면적으로 습동부를 접촉시킬 수 있다. 따라서, 큰 전류에 적합한 컨택트 핀을 제공할 수 있다.According to the present invention, since the both plungers extend in the elongating and contracting direction and have a plurality of sliding contact surface portions having different angles from each other, the sliding contact portion can be brought into contact with a large area. Therefore, a contact pin suitable for a large current can be provided.

또한, 이러한 컨택트 핀은, 고주파에 적합한 컨택트 핀으로서도 이용할 수 있다.Further, such a contact pin can also be used as a contact pin suitable for a high frequency.

또한, 습동부의 접촉면적이 크기 때문에, 국소적으로 높은 면압이 작용하여 마모가 진행되지 않고, 마모를 저감하여 신뢰성, 내구성이 향상될 수 있다.In addition, since the contact area of the sliding portion is large, high surface pressure acts locally, so that wear does not proceed and wear is reduced, and reliability and durability can be improved.

청구항 2에 따른 발명은, 청구항 1에 따른 발명에 있어서, 상기 제1플런저의 상기 습동면부를 포함하는 영역을 상기 신축방향과 직교하는 평면에서 잘라서 본 단면형상은, 동심에 배치되는 복수의 선형(fan shape)부를 가지며 구성되고, 상기 제2플런저의 상기 습동면부를 포함하는 영역을 상기 신축방향과 직교하는 평면에서 잘라서 본 단면형상은, 상기 제1플런저의 복수의 선형부의 간격에 각각 배치되는 복수의 선형부를 가지며 구성되며, 상기 복수의 습동면부는, 상기 제1플런저의 상기 선형부 및 상기 제2플런저의 상기 선형부의 반경방향을 따라 방사상으로 배치되는 것을 특징으로 한다.According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the cross-sectional shape taken along the plane orthogonal to the elongating and contracting direction of the region including the sliding contact surface portion of the first plunger is a plurality of linear wherein a sectional shape taken along a plane orthogonal to the elongating and contracting direction of the region including the sliding contact surface portion of the second plunger is formed in a plane shape of a plurality of linear portions of the first plunger, And the plurality of sliding contact surfaces are radially disposed along the radial direction of the linear portion of the first plunger and the linear portion of the second plunger.

이에 의하면, 양 플런저 습동부의 단면형상이, 동심에 배치되는 복수의 선형부를 가지고, 각 플런저의 선형부를 서로 원주방향으로 배치함으로써, 축심 상에 양 플런저의 안정적인 위치를 결정할 수 있다. 추가로, 선형부의 양 측면이 습동면부가 되므로, 넓은 접촉면적을 얻을 수 있다.According to this configuration, the cross-sectional shape of the both plunger sliding portions has a plurality of linear portions arranged concentrically, and the linear portions of the plungers are arranged in the circumferential direction with each other, whereby the stable position of both plungers can be determined on the axial center. In addition, since both sides of the linear portion are the sliding contact surfaces, a wide contact area can be obtained.

청구항 3에 따른 발명은, 청구항 2에 따른 발명에 있어서, 상기 제1플런저의 복수의 상기 선형부와, 상기 제2플런저의 복수의 상기 선형부 중 어느 일방을, 상기 컨택트 핀의 중심축 부근에서 서로 연결한 것을 특징으로 한다.According to a third aspect of the present invention, in the invention according to the second aspect, at least one of the plurality of linear portions of the first plunger and the plurality of linear portions of the second plunger is disposed in the vicinity of the central axis of the contact pin And are connected to each other.

이에 의하면, 일방의 플런저에, 선형부를 연결하는 연결부를 설치하고, 다른 일방의 플런저는, 이 연결부가 감입되는 슬릿을 설치함으로써, 연결부에 의해 연결된 선형부가 벌어지는 것을 방지하고, 양 플런저의 맞물림을 보다 확실하게 할 수 있다.According to this configuration, the connecting portion for connecting the linear portion to one of the plungers is provided, and the slit for inserting the connecting portion is provided for the other one of the plungers, thereby preventing the linear portion connected by the connecting portion from spreading, I can make sure.

청구항 4에 따른 발명은, 청구항 1에 따른 발명에 있어서, 상기 복수의 습동면부는, 상기 컨택트 핀을 상기 신축방향과 직교하는 평면에서 잘라서 본 단면형상에서, 지그재그 형상으로 배치되는 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 4 is characterized in that, in the invention according to claim 1, the plurality of sliding contact surface sections are arranged in a zigzag shape in a cross-sectional shape obtained by cutting the contact pins in a plane orthogonal to the elongating and contracting direction.

이에 의하면, 습동부의 단면형상을 지그재그 형상으로 함으로써, 보다 접촉면적을 넓힐 수 있다.According to this, by making the cross-sectional shape of the sliding portion zigzag, the contact area can be further widened.

또한, 다른 각도의 습동면부를 조합하여 구성함으로써, 각 플런저를 보다 확실하게 직진안내할 수 있다.Further, by constituting the sliding contact surface portions at different angles in combination, each plunger can be guided more reliably and straightly.

청구항 5에 따른 발명은, 청구항 1부터 청구항 4까지의 발명에 있어서, 상기 탄성요소는, 상기 제1플런저 및 상기 제2플런저의 상기 습동면부를 갖는 영역의 외경 측에 권회되고, 상기 습동면부에 인접하여 배치되는 밀착부를 갖는 코일스프링인 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 5 is the invention according to claims 1 to 4, wherein the resilient element is wound on an outer diameter side of a region of the first plunger and the second plunger having the sliding contact surface portion, And a coil spring having a contact portion disposed adjacent to the coil spring.

이에 의하면, 제1플런저와 제2플런저가 신축방향과 직교하는 방향에 대하여 이탈되지 않도록 위치가 결정되지 않은 경우, 양 습동부를 코일스프링의 밀착되어 감기는 부분으로 각 습동부가 접촉하는 방향으로 힘을 가함에 따라, 양 플런저가 안정적으로 습동할 수 있다.According to this, when the position is not determined so that the first plunger and the second plunger are not separated from each other in the direction orthogonal to the elongating and contracting direction, the both sliding portions are brought into close contact with the coil spring, As the force is applied, both plungers can stably slide.

청구항 6에 따른 발명은, 청구항 1부터 청구항 5까지의 발명에 있어서, 상기 제1플런저 및 상기 제2플런저는, 적어도 상기 습동면부가 절삭가공에 의해 형성된 후 도금이 실시되는 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 6 is characterized in that, in the invention according to claims 1 to 5, the first plunger and the second plunger are plated after at least the sliding contact surface is formed by cutting.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 제1 및 제2플런저의 접촉면의 면적을 넓게할 수 있고, 큰 전류량이나 고주파에 대응할 수 있는 컨택트 핀을 제공할 수 있다. 또한, 접촉면이 노출된 형상이고, 작은 직경의 구멍부분 등이 존재하지 않기에, 도금작업을 간편하고 균일하게 행할 수 있다. 추가로, 각 습동부 단면형상이 선형의 부분이 축심에 대칭으로 배치된 구조일 경우, 각 습동부의 선형부를 서로 원주방향으로 배치함으로써, 양 플런저의 위치를 안정적으로 축심 상에 결정할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to provide a contact pin capable of widening the contact surface area of the first and second plungers and coping with a large current amount and high frequency. In addition, since the contact surface is exposed, and there is no hole portion or the like having a small diameter, the plating operation can be performed easily and uniformly. In addition, in the case where the cross-sectional shape of each sliding portion is arranged symmetrically with respect to the axial center, the linear portions of the sliding portions are arranged in the circumferential direction with each other, whereby the positions of both plungers can be stably determined on the axial center.

도 1은 본 발명의 제1실시형태에 따른 컨택트 핀을 나타낸 도면으로, 도 1(a)는 측면도, 도 1(b)는 도 1(a)의 b-b 화살표 시점의 도면이다.
도 2는, 도 1의 컨택트 핀의 제1플런저를 나타낸 도면으로, 도 2(a)는 측면도, 도 2(b)는 도 2(a)의 b-b 화살표 시점의 도면, 도 2(c)는 도 1(a)의 c-c 선에 따른 단면도이다.
도 3은, 도 1의 컨택트 핀의 제2플런저를 나타낸 도면으로, 도 3(a)는 측면도, 도 3(b)는 도 3(a)의 b-b 화살표 시점의 도면, 도 3(c)는 도 3(a)의 c-c 선에 따른 단면도이다.
도 4는, 도 1의 컨택트 핀 습동부의 단면도이다.
도 5는, 본 발명의 제1실시형태에 따른 컨택트 핀의 측면도이다.
도 6은, 도 5의 컨택트 핀의 제1플런저를 나타낸 도면으로, 도 6(a)는 측면도, 도 6(b)는 도 6(a)의 b-b 화살표 시점의 도면, 도 6(c)는 도 1(a)의 c-c 선에 따른 단면도이다.
도 7은, 도 5의 컨택트 핀의 제2플런저를 나타낸 도면으로, 도 7(a)는 측면도, 도 7(b)는 도 7(a)의 b-b 화살표 시점의 도면, 도 7(c)는 도 7(a)의 c-c 선에 따른 단면도이다.
도 8은, 본 발명의 제2실시형태의 변경예에 따른 컨택트 핀 습동부의 단면도이다.
도 9는, 본 발명의 제2실시형태의 다른 변경예에 따른 컨택트 핀 습동부의 단면도이다.
도 10은, 본 발명의 제2실시형태의 또 다른 변경예에 따른 컨택트 핀 습동부의 단면도이다.Fig. 1 is a side view of the contact pin according to the first embodiment of the present invention, and Fig. 1 (b) is a view at the point of time indicated by the arrow bb in Fig. 1 (a).
Fig. 2 is a side view of the contact pin of Fig. 1, Fig. 2 (a) is a side view, Fig. 2 (b) Sectional view taken along the line cc in Fig. 1 (a).
Fig. 3 is a side view of the contact pin of Fig. 1, Fig. 3 (a) is a side view, Fig. 3 (b) 3 (c) is a cross-sectional view taken along the line cc in Fig. 3 (a).
4 is a cross-sectional view of the contact pin sliding portion of Fig.
5 is a side view of the contact pin according to the first embodiment of the present invention.
6 (a) is a side view, Fig. 6 (b) is a view at the time point indicated by the arrow bb in Fig. 6 (a), and Fig. 6 (c) is a view showing the first plunger of the contact pin of Fig. Sectional view taken along the line cc in Fig. 1 (a).
Fig. 7 is a side view of the contact pin of Fig. 5, Fig. 7 (a) is a side view, Fig. 7 (b) 7 (a). Fig.
8 is a cross-sectional view of a contact pin sliding portion according to a modification of the second embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view of a contact pin sliding portion according to another modification of the second embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view of a contact pin sliding portion according to another modification of the second embodiment of the present invention.

이하, 본 발명을 적용한 컨택트 핀의 실시형태에 대하여, 도면 등을 참조하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a contact pin to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings.

<제1실시형태>&Lt; First Embodiment >

도 1을 참조하여, 본 발명의 제1실시형태에 따른 컨택트 핀의 전체구조를 설명한다. 도 1(a)는 컨택트 핀의 측면도, 도 1(b)는 도 1(a)의 b-b 화살표 시점의 도면이다.Referring to Fig. 1, the entire structure of the contact pin according to the first embodiment of the present invention will be described. Fig. 1 (a) is a side view of the contact pin, and Fig. 1 (b) is a view at the time of point b-b in Fig. 1 (a).

컨택트 핀(1)은, 제1플런저(10)와, 제1플런저(10)에 대하여 소정의 신축방향(플런저의 길이방향, 축 방향이라고도 함)을 따라 상대적으로 위치가 변하는 제2플런저(20)와, 양 플런저(10, 20) 신축방향에 따른 상대변위에 대응하여 반력을 발생하는 코일스프링(30)(탄성요소)를 구비한다.The contact pin 1 includes a first plunger 10 and a second plunger 20 which is relatively displaced with respect to the first plunger 10 along a predetermined elongating / shrinking direction And a coil spring 30 (elastic element) which generates a reaction force corresponding to the relative displacement along the direction of expansion and contraction of both plungers 10, 20.

도 2를 참조하여, 제1플런저를 설명한다. 도 2(a)는 제1플런저의 측면도, 도 2(b)는 도 2(a)의 b-b 화살표 시점의 도면, 도 2(c)는 도 2(a)의 c-c 선에 따른 단면도이다.Referring to Fig. 2, the first plunger will be described. Fig. 2 (a) is a side view of the first plunger, Fig. 2 (b) is a view at the time point b-b in Fig. 2 (a) and Fig. 2 (c) is a sectional view along line c-c in Fig.

제1플런저(10)는 축 형상으로 형성된 부재로서, 측정대상물에 압접되어 전기적으로 도전되는 부분이다.The first plunger 10 is a member formed in a shaft shape and is a portion that is pressed against the measurement object to be electrically conducted.

제1플런저(10)는, 선단부(11)와, 제2플런저(20)와 습동하는 습동부(13)를 갖는다.The first plunger 10 has a tip end portion 11 and a sliding portion 13 slidingly engaged with the second plunger 20.

선단부(11) 및 습동부(13)는, 실질적으로 동심에 형성된 축 형상의 부분이다. 습동부(13)는, 선단부(11)의 측정대상물과는 반대측의 단부 근방에서 돌출되어 형성된다.The distal end portion 11 and the sliding portion 13 are shaft-shaped portions formed substantially concentrically. The sliding portion 13 is formed so as to protrude from the vicinity of the end portion of the distal end portion 11 opposite to the measurement object.

선단부(11)와 습동부(13)와의 사이에는, 외경측에 차양 형상으로 확대되는 플랜지(12)가 형성된다.Between the tip end 11 and the sliding portion 13, a flange 12 is formed on the outer diameter side in an oblong shape.

플랜지(12)의 단면 형상(신축방향과 직교하는 면)은, 원 외주의 일부가 절취된 형상이다. 이 절취부는 위치 맞춤을 위한 것이다.The cross-sectional shape (plane orthogonal to the elongating and contracting direction) of the flange 12 is a shape in which a part of the outer circumference of the circle is cut off. This cutout is for alignment.

선단부(11)의 선단에 형성된 측정대상물과의 당접부는, 복수의 V자 형상의 절개부가 형성된 크라운(crown) 형상으로 되어 있다.The contact portion with the measurement object formed at the distal end of the distal end portion 11 has a crown shape in which a plurality of V-shaped incised portions are formed.

습동부(13)의 플랜지(12)에 가까운 부분에는, 습동부(13)의 다른 부분에 대하여 외경을 크게 한 보스부(15)가 형성된다.A boss portion 15 having an increased outer diameter with respect to other portions of the sliding portion 13 is formed at a portion near the flange 12 of the sliding portion 13.

도 1에 나타낸 바와 같이, 이 보스부(15)와 플랜지(12)와의 사이에, 코일스프링(30) 일방의 단부가 지지된다.As shown in Fig. 1, one end of the coil spring 30 is supported between the boss 15 and the flange 12.

보스부(15)의 선단부(11)와 반대측의 단부는, 코일스프링(30)의 단부가 압입되기 쉽도록 습동부(13)의 타부로부터 외경이 점차 작게 변하는 테이퍼 형상으로 형성된다.The end portion of the boss portion 15 opposite to the distal end portion 11 is formed in a tapered shape whose outer diameter gradually decreases from the other end of the sliding portion 13 so that the end portion of the coil spring 30 can be easily inserted.

습동부(13)는, 도 2(b)에 나타낸 일측면에서, 보스부(15) 근방의 영역은 보스부(15) 측이 넓어진 테이퍼 형상으로 형성되고, 그 이외의 부분은 실질적으로 직선으로 형성된다. 습동부(13)의 선단은 모서리 깎기(chamfering)가 행해져 끝이 가늘게 되어있다.The sliding portion 13 is formed in a tapered shape in which the area near the boss portion 15 is wider on the side of the boss portion 15 and the other portions are formed substantially in a straight line . The tip end of the sliding portion 13 is chamfered to have a narrow tip.

습동부(13)의 단면(신축방향과 직교하는 면) 현상은, 도 2(c)에 나타낸 바와 같이, 축심을 중심으로 한 실질적으로 선(부채꼴)형의 선형부(17)가, 축심에 대하여 대칭으로 한 쌍이 배치된 형상이다.As shown in Fig. 2 (c), the cross section of the sliding section 13 (the plane orthogonal to the elongating and contracting direction) is a phenomenon in which a substantially linear (fan-shaped) linear section 17, And are arranged symmetrically with respect to one another.

각 선형부(17)의 중심각은 일 예로서 90˚이다.The central angle of each linear portion 17 is, for example, 90 degrees.

각 선형부(17)의 측면(습동면)(17a)은, 제1플런저(10)의 축심 및 반경을 포함하는 평면을 따라 형성된다. 각 측면(17a)은, 실질적으로 직교하도록 배치된다.The side surface (sliding contact surface) 17a of each linear portion 17 is formed along a plane including the axis and radius of the first plunger 10. Each side surface 17a is arranged to be substantially orthogonal.

또한, 각 선형부(17)의 외주면(17b)은, 도 2(c)에 나타낸 단면 형상에서 중심각 90˚의 원호 형상을 이루는 볼록한 곡면이 된다(도 4를 참조하여 후술함).The outer peripheral surface 17b of each of the linear portions 17 is a convex curved surface having a circular arc shape with a central angle of 90 degrees in the sectional shape shown in Fig. 2 (c) (described later with reference to Fig. 4).

도 4에 나타낸 바와 같이, 습동부(13)에는 2개의 선형부(17)의 중심(축심)을 통해 보스부(15)의 바로 앞까지 연장되는 슬릿(19)이 형성된다.A slit 19 is formed in the sliding portion 13 so as to extend to the front of the boss portion 15 through the center (axis) of the two linear portions 17. As shown in Fig.

즉, 습동부(13)는 한 쌍의 선형부(17)가 슬릿(19)을 끼고 두 갈래인 형상으로 연장되는 구성이 된다.That is, the sliding portion 13 is configured so that the pair of linear portions 17 extend in a bifurcated shape with the slit 19 interposed therebetween.

각 선형부(17)의 2개의 측면(17a)이, 제2플런저(20)의 후술할 습동면부와 습동접촉하는 습동면부가 된다.Two side surfaces 17a of the respective linear portions 17 are sliding contact surfaces that make sliding contact with the sliding contact surface portion of the second plunger 20, which will be described later.

도 3을 참조하여, 제2플런저(20)를 설명한다.Referring to Fig. 3, the second plunger 20 will be described.

도 3(a)는 제2플런저의 측면도, 도 3(b)는 도 3(a)의 b-b 화살표 시점의 도면, 도 3(c)는 도 3(a)의 c-c 화살표 시점의 도면이다.Fig. 3 (a) is a side view of the second plunger, Fig. 3 (b) is a view at the time point b-b in Fig. 3 (a) and Fig. 3 (c) is a view at the time point c-c in Fig.

제2플런저(20)도, 제1플런저와 실질적으로 동일한 직경으로 형성된 축 형상의 부재이다.The second plunger 20 is also a shaft-shaped member formed to have substantially the same diameter as the first plunger.

제2플런저(20)는, 선단부(21) 및, 제1플런저(10)와 습동하는 습동부(23)를 갖는다.The second plunger 20 has a tip end portion 21 and a sliding portion 23 slidingly engaged with the first plunger 10.

선단부(21) 및 습동부(23)는 실질적으로 동일한 중심에 형성된 축 형상의 부분이다.The tip portion 21 and the sliding portion 23 are shaft-shaped portions formed at substantially the same center.

습동부(23)는, 선단부(21)의 측정대상물 측의 단부 근방으로부터 돌출되어 형성된다.The sliding portion 23 is formed so as to protrude from the vicinity of the end of the distal end portion 21 on the measurement subject side.

선단부(21)와 습동부(23)의 사이에는, 외경 측에 차양 형상으로 확대되는 플랜지(22)가 형성된다.Between the tip end portion 21 and the sliding portion 23, a flange 22 is formed on the outer diameter side in an oblique shape.

플랜지(22)의 단면(신축방향과 직교하는 면) 형상은, 원 외주의 일부가 절취된 형상이다. 이 절취부는 위치 맞춤을 위한 것이다.The shape of the cross section (plane orthogonal to the elongating / contracting direction) of the flange 22 is a shape in which a part of the outer circumference of the circle is cut out. This cutout is for alignment.

선단부(21)는, 원기둥 형상으로 형성되고, 그 선단은 반구 형상이 된다.The distal end portion 21 is formed in a columnar shape, and its tip end is hemispherical.

선단부(21)는, 검사기판과 배선을 통하여 접속되는 부분이다.The distal end portion 21 is a portion connected to the test substrate via a wiring.

습동부(23)의 플랜지(12)에 가까운 부분은, 습동부(13)의 다른 부분에 대하여 외경을 크게 한 보스부(25)가 형성된다.A boss portion 25 having an increased outer diameter is formed at a portion near the flange 12 of the sliding portion 23 with respect to the other portion of the sliding portion 13. [

도 1에 나타낸 바와 같이, 이 보스부(25)와 플랜지(12)의 사이에, 코일스프링의 다른 일방의 단부(30)가 지지된다.As shown in Fig. 1, the other end 30 of the coil spring is supported between the boss 25 and the flange 12.

보스부(25)의 선단부(11)와 반대측의 단부는, 코일스프링(30)의 단부가 압입되기 쉽도록, 습동부(13)의 다른 부분으로부터 외경이 점차 작아지는 테이퍼 형상으로 형성된다.The end portion of the boss portion 25 opposite to the distal end portion 11 is formed in a tapered shape in which the outer diameter gradually decreases from other portions of the sliding portion 13 so that the end portion of the coil spring 30 can be easily inserted.

습동부(23)는, 도 3(b)에 나타낸 일측면에서, 보스부(25) 근방의 영역은 보스부(25) 측이 넓어진 테이퍼 형상으로 형성되고, 그 이외의 부분은 실질적으로 직선으로 형성된다. 습동부(23)의 선단은 모서리 깎기가 행해져 끝이 가늘게 되어있다.3 (b), the sliding portion 23 is formed in a tapered shape in which the boss portion 25 side is wider in the vicinity of the boss portion 25, and the other portions are formed in a substantially straight line . The tip end of the sliding portion 23 is edge-sharpened and the tip is thinned.

습동부(23)의 단면(신축방향과 직교하는 면) 형상은, 도 3(c)에 나타낸 바와 같이, 축심을 중심으로 한 실질적으로 선형의 선형부(27)가, 축심에 대하여 대칭으로 한 쌍이 배치된 형상이다.As shown in Fig. 3 (c), the shape of the cross section (plane orthogonal to the elongating / contracting direction) of the sliding section 23 is such that the substantially linear linear section 27 about the axis is symmetrical with respect to the axis Are arranged in pairs.

각 선형부(27)의 중심각은 일 예로서 90˚이다.The center angle of each linear portion 27 is, for example, 90 degrees.

각 선형부(27)의 측면(습동면)(27a)은, 제1플런저(10)의 축심 및 반경을 포함하는 평면을 따라 형성된다. 각 측면(27a)은, 실질적으로 직교하도록 배치된다.The side surface (sliding contact surface) 27a of each linear portion 27 is formed along a plane including the axis and radius of the first plunger 10. Each side surface 27a is arranged to be substantially orthogonal.

또한, 각 선형부(27)의 외주면은, 도 3(c)에 나타낸 단면 형상에서 중심각 90˚의 원호 형상을 이루는 볼록한 곡면이 된다.The outer peripheral surface of each linear portion 27 becomes a convex curved surface having an arc shape of a central angle of 90 degrees in the sectional shape shown in Fig. 3 (c).

도 4에 나타낸 바와 같이, 습동부(23)에는 2개의 선형부(17)의 중심(축심)을 통해 보스부(15)의 바로 앞까지 연장되는 결합부(29)가 형성된다.4, the sliding portion 23 is formed with a coupling portion 29 extending to the front of the boss portion 15 through the center (axial center) of the two linear portions 17. As shown in Fig.

각 선형부(27)의 2개의 측면(27a)이, 제1플런저(10)의 후술할 습동면부와 습동접촉하는 습동면부가 된다.The two side surfaces 27a of the respective linear portions 27 are sliding contact portions that make sliding contact with the sliding contact surface portion of the first plunger 10, which will be described later.

코일스프링(30)은, 제1플런저(10), 제2플런저(20)와 실질적으로 동심이 되도록 선재를 권회하여 형성된 압축코일스프링이다.The coil spring 30 is a compression coil spring formed by winding a wire material so as to be substantially concentric with the first plunger 10 and the second plunger 20.

도 1에 나타낸 바와 같이, 컨택트 핀(1)의 길이방향으로 신축이 자유롭고, 내경은, 제1 및 제2플런저(10, 20)의 플랜지(12, 22)의 직경보다 작고, 습동부(13, 23)의 직경과 실질적으로 동일 직경이다.1, the contact pin 1 is free to extend and contract in the longitudinal direction and its inner diameter is smaller than the diameter of the flanges 12 and 22 of the first and second plungers 10 and 20, , 23).

습동부(13, 23)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 조합된 형상으로 코일스프링(30)의 내경측에 삽입되고, 코일스프링(30)에 의해 지지된다.The sliding portions 13 and 23 are inserted into the inner diameter side of the coil spring 30 in a combined shape and supported by the coil spring 30 as shown in Fig.

먼저, 도 1을 다시 참조하여, 컨택트 핀(1)의 전체구조를 설명한다.First, referring to Fig. 1 again, the overall structure of the contact pin 1 will be described.

제1플런저(10)와 제2플런저(20)는, 각각 선단부(11, 21)를 외측으로 하여 직선상에 배치되고, 각 습동부(13, 23) 및, 각 선형부(17, 27)의 측면부(17a, 27a)가 서로 실질적으로 면 접촉하도록 조립된다.The first plunger 10 and the second plunger 20 are arranged in a straight line with their front ends 11 and 21 outwardly and the respective sliding portions 13 and 23 and the respective linear portions 17 and 27, The side portions 17a and 27a of the side wall portion 17 are substantially in surface contact with each other.

이 영역에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 각 선형부(17, 27)는 컨택트 핀(1)의 중심축 둘레에 번갈아 배열된다.In this area, as shown in Fig. 4, the linear portions 17 and 27 are alternately arranged around the center axis of the contact pin 1. [

또한, 측면부(17a, 27a)가 당접하는 습동면부는, 실질적으로 평면 서로가 면 접촉으로서 구성되고, 컨택트 핀(1)의 중심축 둘레에 방사상으로 배치된다.The sliding contact surface portions to which the side portions 17a and 27a abut are configured as substantially planar mutual surface contact and radially disposed around the center axis of the contact pin 1. [

또한, 제2플런저(20)의 결합부(29)는, 제1플런저(10)의 슬릿(19)에 갑입된다.The engaging portion 29 of the second plunger 20 is inserted into the slit 19 of the first plunger 10.

코일스프링(30)은, 양 플런저(10, 20)의 맞물린 습동부(13, 23)의 외경측에 권회된다.The coil spring 30 is wound on the outer diameter side of the sliding portions 13 and 23 engaged with the plungers 10 and 20.

코일스프링(30) 일방의 단부는, 제1플런저(10)의 습동부(13)의 외경측을 통하여, 보스부(15)를 지나 압입되고, 보스부(15)와 플랜지(12)의 사이에 지지된다.One end of the coil spring 30 is pushed through the boss portion 15 through the outer diameter side of the sliding portion 13 of the first plunger 10 and is inserted between the boss portion 15 and the flange 12 .

코일스프링(30)의 다른 일방의 단부는, 제2플런저(20)의 습동부(23)의 외경측을 통하여 보스부(25)를 지나 압입되고, 보스부(25)와 플랜지(22)의 사이에 지지된다.The other end portion of the coil spring 30 is pressed through the boss portion 25 through the outer diameter side of the sliding portion 23 of the second plunger 20 so that the boss portion 25 and the flange 22 Respectively.

이 코일스프링(30)은, 제1플런저(10)와 제2플런저(20)를 연결하고, 신축방향을 따른 상대변위에 대응하여 반력을 발생한다.The coil spring 30 connects the first plunger 10 and the second plunger 20, and generates a reaction force corresponding to a relative displacement along the elongating and contracting direction.

도 4를 더 참조하여, 양 플런저 습동부의 맞물림 형상을 설명한다.With reference to Fig. 4, the engagement shapes of both plunger sliding portions will be described.

도 4는, 컨택트 핀에서 양 플런저의 습동부를 나타낸 단면도(습동방향에 직교하는 면)이다.4 is a cross-sectional view (plane orthogonal to the sliding direction) showing a sliding portion of both plungers in the contact pin.

상술한 바와 같이, 양 플런저(10, 20)의 습동부(13, 23)가 맞물리는 형상은, 제1플런저(10) 선형부(17)와 제2플런저(20)의 선형부(27) 각각이, 축심을 중심으로 하여 서로 원주 상에 배치되고, 또한, 제2플런저(20)의 결합부(29)가 제1플런저(10)의 슬릿(19)에 감입되며, 전체로서 단면 형상이 원형이 된다.As described above, the shape in which the sliding portions 13 and 23 of the plungers 10 and 20 are engaged with each other is the same as that of the linear portion 27 of the first plunger 10 and the linear portion 27 of the second plunger 20, And the engaging portion 29 of the second plunger 20 is inserted into the slit 19 of the first plunger 10 so that the cross-sectional shape of the second plunger 20 as a whole It becomes circular.

상세하게는, 제1플런저(10)의 2개 선형부(17)의 각 측면(17a)은, 제2플런저(20)의 2개 선형부(27)의 각 측면(27a)에 면 접촉한다.Specifically, each side surface 17a of the two linear portions 17 of the first plunger 10 is in surface contact with each side surface 27a of the two linear portions 27 of the second plunger 20 .

추가로, 제1플런저(10)의 선형부(27)의 슬릿(29)에서 절취된 축심측의 단면이, 제2플런저(20) 결합부(29)의 측면에 면 접촉한다.The end surface of the shaft 27 cut away from the slit 29 of the linear portion 27 of the first plunger 10 is in surface contact with the side surface of the second plunger 20 engaging portion 29. [

또한, 도 4는, 이해하기 쉽게 나타내기 위하여 각 면 사이에 간격을 벌려 도시하나, 실제로 각 면은 접촉한다.Further, Fig. 4 is a view showing a gap between the respective surfaces in order to make it easy to understand, but actually each side is in contact.

이 예의 컨택트 핀(1)의 사용시에는, 양 플런저(10, 20)는, 신축방향을 따른 상대변위에 대응하여 습동부(13, 23)가 습동하고, 코일스프링(30)에 의해 상반되는 방향으로 힘이 가해진다.When the contact pin 1 of this example is used, the both plungers 10 and 20 slide in the sliding portions 13 and 23 corresponding to the relative displacement along the elongating and contracting direction, The force is applied.

양 습동부(13, 13)의 습동면부(측면부(17a, 27a))의 면 접촉에 의해, 제1플런저(10)와 제2플런저(20)가 도전된다.The first plunger 10 and the second plunger 20 are electrically connected by surface contact of the sliding contact surface portions (side surface portions 17a and 27a) of the both sliding portions 13 and 13.

본 실시형태의 컨택트 핀(1)에서는, 상술한 바와 같이, 양 플런저(10, 20)의 습동부(13, 23)가 넓은 습동면부끼리 면 접촉한다.In the contact pin 1 of the present embodiment, as described above, the sliding portions 13 and 23 of the both plungers 10 and 20 come into wide contact with each other.

또한, 양 습동부(13, 23)가, 축심을 통해 슬릿(19)과 결합부(29)로 맞물려 있으므로, 축심 상에 양 플런저(10, 20)의 위치를 확실히 결정하고, 확실하게 서로 직진안내 할 수 있다.Since both the sliding portions 13 and 23 are engaged with the slit 19 and the engaging portion 29 through the central axis, the positions of both the plungers 10 and 20 are reliably determined on the axis, Can guide.

따라서, 양 플런저(10, 20)의 습동부(13, 23)가 축심 상을 안정적으로 습동하고, 또한, 넓은 습동면부를 가지므로, 큰 전류나 고주파에 적합한 컨택트 핀을 제공할 수 있다.Therefore, since the sliding portions 13 and 23 of the plungers 10 and 20 stably slide on the central axis and have a wide sliding surface portion, a contact pin suitable for a large current and a high frequency can be provided.

또한, 결합부(29)를 설치함으로써, 이를 사이에 두는 한 쌍의 선형부(27)가 벌어지는 것도 방지할 수 있다.By providing the engaging portion 29, it is also possible to prevent a pair of linear portions 27 between the engaging portions 29 from spreading.

이러한 플런저는, 일반적으로는 팔라듐 합금이나 백금 합금 등의 도전성 재료를 절삭가공하고, 절삭가공 후에 구리 합금이나 금 등으로 도금함으로써 제조된다.Such a plunger is generally manufactured by cutting a conductive material such as a palladium alloy or a platinum alloy, and then plated with a copper alloy or gold after cutting.

제1실시형태의 플런저(10, 20)는, 습동면부(17a, 27a)의 모든 면이 거의 노출된 형상으로, 작은 직경의 구멍 부분 등이 존재하지 않으므로, 각 면을 확실히 도금할 수 있다.The plungers 10 and 20 of the first embodiment are formed in such a manner that all surfaces of the sliding contact surface portions 17a and 27a are almost exposed and there is no small hole portion or the like so that each surface can be reliably plated .

<제2실시예>&Lt; Embodiment 2 >

다음으로, 도 5를 참조하여, 본 발명의 제2실시형태에 따른 컨택트 핀의 전체구조를 설명한다. 도 5는 컨택트 핀의 측면도이다.Next, the overall structure of the contact pin according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to Fig. 5 is a side view of the contact pin.

이 예의 컨택트 핀(1)도, 제1플런저(10)와, 제2플런저(20)와, 코일스프링(탄성요소)(30)을 구비한다.The contact pin 1 of this example also includes a first plunger 10, a second plunger 20, and a coil spring (elastic element) 30.

이 예의 컨택트 핀은, 제1 및 제2플런저의 습동부의 구조와 코일스프링이 제1실시형태와 다르므로, 그 상위점만을 설명한다.The contact pin of this example is different from the first embodiment in the structure of the sliding portion of the first and second plungers and the coil spring, and therefore only the difference will be described.

제1실시형태의 컨택트 핀의 부위/부재와 동등한 부위/부재는 제1실시형태와 동일한 부호를 붙이고, 설명을 생략한다.The same parts / members as those of the contact pin of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and a description thereof will be omitted.

도 6을 참조하여, 제1플런저를 설명한다.Referring to Fig. 6, the first plunger will be described.

도 6(a)는 제1플런저의 측면도, 도 6(b)는 도 6(a)의 b-b 화살표 시점의 도면, 도 6(c)는 도 1(a)의 c-c 선에 따른 단면도이다.6 (a) is a side view of the first plunger, Fig. 6 (b) is a view at the time point b-b in Fig. 6 (a), and Fig. 6 (c) is a sectional view along line c-c in Fig.

제1플런저(10)의 습동부(53)의 보스부(15) 근방의 영역은, 보스부(15) 측이 넓은 테이퍼 형상으로 형성된다.The area of the sliding portion 53 of the first plunger 10 in the vicinity of the boss portion 15 is formed in a wide tapered shape on the side of the boss portion 15.

습동부(53)는, 테이퍼 형상 부분으로부터 연장되는 기부(54)와, 기부(54)로부터 연장되는, 단면형상이 원 외주의 일부가 절취된 대략 반원 형상의 중단부(55)와, 중단부(55)로부터 연장되는, 단면형상이 대략 반원 형상의 일부가 절취된 선부(56)를 갖는다. 이 선부(56)의 측면이 습동면부가 된다.The sliding portion 53 includes a base portion 54 extending from the tapered portion, a substantially semicircular-shaped intermediate portion 55 extending from the base portion 54, (56) having a part of a substantially semicircular cross-sectional shape, which is cut out from the base (55). The side surface of the wire 56 is a sliding contact surface.

선부(56)의 단면(신축방향과 직교하는 면) 형상은 대략 반원 형상으로, 원호의 양 끝 사이가, 산이 1개 반인 지그재그 선으로 접속된 형상이다.The cross section (plane perpendicular to the elongating / contracting direction) of the line section 56 has a shape of approximately semicircular shape, and the both ends of the arcs are connected by zigzag lines each having one half of the acid.

상세하게는 도 6(c)에 나타낸 바와 같이, 선부(56)의 외주면(56a)은, 단면 형상에서 중심각이 180°보다 작은 원호 형상을 이루는 볼록한 곡면을 이룬다.More specifically, as shown in Fig. 6 (c), the outer circumferential surface 56a of the line portion 56 has a convex curved surface having an arc shape whose central angle is less than 180 degrees in the cross-sectional shape.

선부(56)의 측면(습동면)은, 외주면(56a)의 일단으로부터 연장되는 평탄한 제1측면(56b)과, 제1측면(56b)으로부터 90°의 각도로 절곡된 산을 형성하는 평탄한 제2측면(56c)과, 제2측면(56c)로부터 90°의 각도로 절곡되어 골을 구성하고, 외주면(56a)의 다른 일방의 단부에 연장되는 평탄한 제3측면(56d)으로 이루어진다.The side surface (sliding contact surface) of the side surface portion 56 has a flat first side surface 56b extending from one end of the outer circumferential surface 56a and a flat side surface 56b forming an angle bent at an angle of 90 degrees from the first side surface 56b. Two side surfaces 56c and a flat third side surface 56d which is bent at an angle of 90 DEG from the second side surface 56c to form a valley and extends to the other end of the outer circumferential surface 56a.

이들 축 방향으로 연장되는 3개의 평탄한 측면(56b, 56c, 56d)이, 제2플런저(20)와 습동접촉하는 습동면부가 된다.Three flat side surfaces 56b, 56c and 56d extending in the axial direction are sliding contact surfaces in sliding contact with the second plunger 20.

도 7을 참조하여, 제2플런저를 설명한다.Referring to Fig. 7, the second plunger will be described.

도 7(a)는 제2플런저의 측면도, 도 7(b)는 도 7(a)의 b-b 화살표 시점의 도면, 도 7(c)는 도 7(a)의 c-c 선에 따른 단면도이다.Fig. 7A is a side view of the second plunger, Fig. 7B is a view at the time point b-b in Fig. 7A, and Fig. 7C is a cross-sectional view taken along the line c-c in Fig.

제2플런저(20)의 습동부(63)의 보스부(15) 근방의 영역은, 보스부(15) 측이 넓은 테이퍼 형상으로 형성된다.The area of the sliding portion 63 of the second plunger 20 in the vicinity of the boss 15 is formed in a wide tapered shape on the side of the boss 15.

습동부(63)는, 제1플런저(10)과 마찬가지로, 테이퍼 형상 부분으로부터 연장되는 기부(64)와, 기부(64)로부터 연장되는, 단면형상이 원 외주의 일부가 절취된 대략 반원 형상의 중단부(65)와, 중단부(65)로부터 연장되는, 단면형상이 대략 반원 형상의 일부가 절취된 선부(66)를 갖는다. 이 선부(66)의 측면이 습동면부가 된다.Similar to the first plunger 10, the sliding portion 63 includes a base portion 64 extending from the tapered portion and a base portion 64 extending from the base portion 64 and having a substantially semicircular shape A cutout portion 65 and a cutout portion 66 extending from the cutout portion 65 and partially cut out in a semi-circular cross-sectional shape. The side surface of the tip portion 66 is a sliding surface portion.

선부(66)의 단면(신축방향과 직교하는 면) 형상은 대략 반원 형상으로, 원호의 양 끝 사이가, 골이 1개 반인 지그재그 선으로 접속된 형상이다.The cross section (plane orthogonal to the elongating / contracting direction) of the line section 66 has a substantially semicircular shape and is connected with a zigzag line between the both ends of the arc with one half of the line.

상세하게는 도 7(c)에 나타낸 바와 같이, 선부(66)의 외주면(66a)은, 단면 형상에서 중심각이 180°보다 작은 원호 형상을 이루는 볼록한 곡면을 이룬다.More specifically, as shown in Fig. 7 (c), the outer circumferential surface 66a of the line portion 66 has a convex curved surface having an arc shape whose central angle is less than 180 degrees in the cross-sectional shape.

선부(66)의 측면은, 외주면(66a)의 일단으로부터 연장되는 평탄한 제1측면(66b)과, 제1측면(66b)으로부터 90°의 각도로 절곡된 골을 형성하는 평탄한 제2측면(66c)과, 제2측면(66c)로부터 90°의 각도로 절곡되어 산을 구성하고, 외주면(66a)의 다른 일방의 단부에 연장되는 평탄한 제3측면(66d)으로 이루어진다.The side surface of the front end portion 66 has a flat first side surface 66b extending from one end of the outer circumferential surface 66a and a flat second side surface 66c forming a valley bent at an angle of 90 占 from the first side surface 66b And a flat third side surface 66d which is bent at an angle of 90 DEG from the second side surface 66c to form an acid and extends to the other end of the outer circumferential surface 66a.

이들 축 방향으로 연장되는 3개의 평탄한 측면(66b, 66c, 66d)이, 제1플런저(10)의 습동면부와 습동접촉한다.Three flat side surfaces 66b, 66c, and 66d extending in the axial direction are in sliding contact with the sliding contact surface portion of the first plunger 10.

코일스프링(30)은, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 및 제2플런저(10, 20)의 습동부(53, 63)의 외경측에 권회되는 부분(31)이, 다른 부분보다 밀착되어 권회된다.5, the portion 31 of the coil spring 30 which is wound on the outer diameter side of the sliding portions 53 and 63 of the first and second plungers 10 and 20 is in close contact with the other portion It is circulated.

이 밀착권회부(31)에 의해, 양 플런저는, 습동부(53, 63)의 각 측면이 서로 접하도록 지지된다.By the tight contact winding portion 31, the both plungers are supported so that the respective side surfaces of the sliding portions 53, 63 come into contact with each other.

먼저, 도 5를 다시 참조하여, 컨택트 핀(1)의 전체구조를 설명한다.First, referring to Fig. 5 again, the overall structure of the contact pin 1 will be described.

제1플런저(10)와 제2플런저(20)는, 각각 선단부(11)를 외측으로 하여 직선 상에 배치되고, 각 습동부(53, 63)의 선부(56, 66)의 측면부끼리 서로 접촉하도록 조립된다.The first plunger 10 and the second plunger 20 are arranged linearly with their front ends 11 outward and the side portions of the side portions 56 and 66 of the sliding portions 53 and 63 are in contact with each other .

도 8을 더 참조하여, 양 플런저 습동부의 접촉상태를 설명한다.8, the contact state of both plunger sliding portions will be described.

도 8은, 컨택트 핀에서 양 플런저의 습동부를 나타낸 단면도(습동방향에 직교하는 면)이다.Fig. 8 is a cross-sectional view (plane perpendicular to the sliding direction) showing the sliding portions of both plungers at the contact pins.

상술한 바와 같이, 양 플런저(10, 20)의 습동부가 접촉한 상태로, 제1플런저(10)의 지그재그 형상 측면의 산이, 제2플런저(20)의 지그재그 형상 측면의 골과 감합하여, 전체로서 단면 형상이 원형이 된다.As described above, in the state in which the sliding portions of the both plungers 10 and 20 are in contact with each other, the acid on the zigzag-like side surface of the first plunger 10 engages with the valley of the zigzag-shaped side surface of the second plunger 20, The cross-sectional shape as a whole becomes circular.

상세하게는, 제1플런저(10)의 제1, 제2 및 제3측면(56b, 56c, 56d)이, 제2플런저(10)의 제1, 제2 및 제3측면(66b, 66c, 66d)에 면 접촉한다.The first, second and third sides 56b, 56c and 56d of the first plunger 10 are connected to the first, second and third sides 66b, 66c and 56d of the second plunger 10, 66d.

또한, 도 8에도, 이해하기 쉽게 나타내기 위하여 각 면 사이에 간격을 벌려 도시하였으나, 실제로 각 면은 접촉한다.Also, in FIG. 8, although the intervals between the respective surfaces are shown as being opened for easy understanding, the surfaces actually come in contact with each other.

이 예의 컨택트 핀에서는, 양 플런저 습동면부의 단면 형상을 서로 맞물리는 지그재그 형상으로 함으로써, 접촉면의 면적을 넓게 할 수 있기 때문에, 큰 전류나 고주파에 적합하다.In the contact pin of this example, since the cross-sectional shapes of the both plunger sliding surfaces are formed into a zigzag shape in which they are mutually engaged, it is possible to increase the area of the contact surface, which is suitable for large current and high frequency.

도 9는, 제2실시형태의 변형예로서, 양 플런저의 습동부를 나타낸 단면도(습동방향에 직교하는 면)이다.Fig. 9 is a sectional view (a plane orthogonal to the sliding direction) showing a sliding portion of both plungers as a modification of the second embodiment.

도 9에 나타낸 예에서는, 일방의 플런저의 습동부(73)은, 단면 형상이 대략 반원 형상으로, 원호의 양 끝 사이가, 산이 2개인 지그재그 선으로 접속된 형상이다.In the example shown in Fig. 9, the sliding portion 73 of one plunger has a substantially semicircular cross-sectional shape, and the two ends of the arc are connected by zigzag lines each having two mountains.

상세하게는, 단면 형상에서 중심각이 180°보다 작은 원호 형상을 이루는 볼록한 곡면인 외주면(73a)과, 외주면(73a)의 일단으로부터 연장되는 평탄한 제1측면(73b)과, 제1측면(73b)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 산을 형성하는 평탄한 제2측면(73c)과, 제2측면(73c)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 골을 형성하는 평탄한 제3측면(73d)과, 제3측면(73d)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 산을 형성하고, 외주면(73a)의 다른 일방의 단부에 연장되는 평탄한 제4측면(73e)을 갖는다.Specifically, an outer peripheral surface 73a, which is a convex curved surface having an arc shape whose central angle is smaller than 180 degrees in the cross-sectional shape, a flat first side surface 73b extending from one end of the outer peripheral surface 73a, A flat third side surface 73d bent at an angle of 90 DEG from the second side surface 73c to form a valley and a third side surface 73d bent at an angle of 90 deg. And has a flat fourth side surface 73e extending from the other end of the outer peripheral surface 73a.

이들 측면이 습동면부가 된다.These side surfaces are sliding surfaces.

다른 일방의 플런저의 습동부(83)의 단면 형상도 대략 반원 형상으로, 원호의 양 끝 사이가, 골이 2개인 지그재그 선으로 접속된 형상이다.The cross section of the sliding portion 83 of the plunger of the other plunger is also a substantially semicircular shape and the two ends of the arc are connected by a zigzag line having two corners.

상세하게는, 습동부(83)는, 단면 형상에서 중심각이 180°보다 큰 원호 형상을 이루는 볼록한 곡면인 외주면(83a)과, 외주면(83a)의 일단으로부터 연장되는 평탄한 제1측면(83b)과, 제1측면(83b)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 골을 형성하는 평탄한 제2측면(83c)과, 제2측면(83c)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 산을 형성하는 평탄한 제3측면(83d)과, 제3측면(83d)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 골을 형성하고, 외주면(83a)의 다른 일방의 단부에 연장되는 평탄한 제4측면(83e)을 갖는다.Specifically, the sliding portion 83 has an outer peripheral surface 83a, which is a convex curved surface having a circular arc shape whose central angle is larger than 180 degrees in the cross-sectional shape, a flat first side surface 83b extending from one end of the outer peripheral surface 83a, A flat second side 83c bent at an angle of 90 占 from the first side 83b and forming a valley and a flat third side 83c bent at an angle of 90 占 from the second side 83c to form an acid, And a fourth flat side surface 83e that is bent at an angle of 90 占 from the third side surface 83d to form a valley and extends to the other end of the outer circumferential surface 83a.

이들 측면이, 타방의 플런저의 습동부(73)의 측면(습동면부)과 습동접촉한다.These side surfaces make sliding contact with the side (sliding contact surface portion) of the sliding portion 73 of the other plunger.

양 플런저의 습동부(73, 83)가 접촉한 상태로, 제1플런저의 습동부(73)의 지그재그 형상 측면의 산이, 제2플런저의 습동부(83)의 지그재그 형상 측면의 골과 감합하여, 전체로서 단면 형상이 원형이 된다.The mountain on the zigzag side surface of the sliding portion 73 of the first plunger is engaged with the zigzag side surface of the sliding portion 83 of the second plunger in a state in which the sliding portions 73 and 83 of the both plungers are in contact with each other , The cross-sectional shape as a whole becomes circular.

상세하게는, 제1플런저 습동부(73)의 제1, 제2, 제3 및 제4측면(73b, 73c, 73d, 73e)이, 각각 제2플런저 습동부(83)의 제1, 제2, 제3 및 제4측면(83b, 83c, 83d, 83e)에 면 접촉한다.Specifically, the first, second, third and fourth sides 73b, 73c, 73d, and 73e of the first plunger sliding portion 73 are connected to the first, second and third sides of the second plunger sliding portion 83, 2, the third and fourth side surfaces 83b, 83c, 83d, and 83e.

도 10도, 제2실시형태의 변형예로서, 양 플런저의 습동부를 나타낸 단면도(습동방향에 직교하는 면)이다.Fig. 10 is a sectional view (a plane orthogonal to the sliding direction) showing a sliding portion of both plungers as a modification of the second embodiment.

도 10에 나타낸 예에서는, 일방의 플런저의 습동부(93)의 단면 형상이 대략 반원 형상으로, 원호의 양 끝 사이가, 산이 3개인 지그재그 선으로 접속된 형상이다.In the example shown in Fig. 10, the cross-sectional shape of the sliding part 93 of one plunger is a substantially semicircular shape, and the two ends of the arc are connected by zigzag lines each having three mountains.

상세하게는, 단면 형상에서 중심각이 180°보다 작은 원호 형상을 이루는 볼록한 곡면인 외주면(93a)과, 외주면(93a)의 일단으로부터 연장되는 평탄한 제1측면(93b)과, 제1측면(93b)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 산을 형성하는 평탄한 제2측면(93c)과, 제2측면(93c)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 골을 형성하는 평탄한 제3측면(93d)과, 제3측면(93d)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 산을 형성하는 평탄한 제4측면(93e)과, 제4측면(93e)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 골을 형성하는 평탄한 제5측면(93f)과, 제5측면(93f)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 산을 형성하고, 외주면(93a)의 다른 일방의 단부에 연장되는 평탄한 제6측면(93g)을 갖는다. 이들 측면이 습동면부가 된다.A flat first side surface 93b extending from one end of the outer circumferential surface 93a and a first side surface 93b extending from one end of the outer circumferential surface 93a; A flat third side surface 93d bent at an angle of 90 DEG from the second side surface 93c to form a valley and a third side surface 93d bent at an angle of 90 DEG to form a mountain, A flat fourth side surface 93e bent at an angle of 90 占 from the side surface 93d to form an angle and a flat fifth side surface 93f bent at an angle of 90 占 from the fourth side surface 93e to form a valley, And a flat sixth side surface 93g which is bent at an angle of 90 占 from the fifth side surface 93f to form an acid and extends to the other end of the outer circumferential surface 93a. These side surfaces are sliding surfaces.

다른 일방의 플런저의 습동부(103)의 단면 형상도 대략 반원 형상으로, 원호의 양 끝 사이가, 골이 3개인 지그재그 선으로 접속된 형상이다. 상세하게는, 단면 형상에서 중심각이 180°보다 큰 원호 형상을 이루는 볼록한 곡면인 외주면(103a)과, 외주면(103a)의 일단으로부터 연장되는 평탄한 제1측면(103b)과, 제1측면(103b)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 골을 형성하는 평탄한 제2측면(103c)과, 제2측면(103c)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 산을 형성하는 평탄한 제3측면(103d)과, 제3측면(103d)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 골을 형성하는 평탄한 제4측면(103e)과, 제4측면(103e)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 산을 형성하는 평탄한 제5측면(103f)과, 제5측면(103f)으로부터 90°의 각도로 절곡되어 골을 형성하고, 외주면(103a)의 다른 일방의 단부에 연장되는 평탄한 제6측면(103g)을 갖는다. The cross-sectional shape of the sliding portion 103 of the plunger of the other one also has a substantially semicircular shape, and the both ends of the arc are connected by zigzag lines each having three valleys. A flat first side surface 103b extending from one end of the outer circumferential surface 103a and a first side surface 103b extending from one end of the outer circumferential surface 103a; A flat third side surface 103d bent at an angle of 90 DEG from the second side surface 103c to form an acid and a third flat surface 103d bent at an angle of 90 DEG to form a trough, A flat fourth side surface 103e bent at an angle of 90 占 from the side surface 103d and forming a valley and a flat fifth side surface 103f bent at an angle of 90 占 from the fourth side surface 103e to form an acid, And a flat sixth side surface 103g which is bent at an angle of 90 占 from the fifth side surface 103f to form a valley and extends to the other end of the outer peripheral surface 103a.

양 플런저의 습동부(93, 103)가 접촉한 상태로, 제1플런저의 습동부(93)의 지그재그 형상 측면의 산이, 제2플런저의 습동부(103)의 지그재그 형상 측면의 골과 감합하여, 전체로서 단면 형상이 원형이 된다.The mountain on the zigzag side surface of the sliding portion 93 of the first plunger is engaged with the zigzag side surface of the sliding portion 103 of the second plunger in a state in which the sliding portions 93 and 103 of the both plungers are in contact with each other , The cross-sectional shape as a whole becomes circular.

상세하게는, 제1플런저 습동부(93)의 제1~제6측면(93b~93g)이, 각각 제2플런저 습동부(103)의 제1~제6측면(103b~103g)에 면 접촉한다.Specifically, the first to sixth side surfaces 93b to 93g of the first plunger sliding portion 93 are in surface contact with the first to sixth side surfaces 103b to 103g of the second plunger sliding portion 103, do.

이들 변형예에서도, 상술한 제2실시형태의 효과와 실질적으로 같은 효과를 얻을 수 있다.In these modified examples, substantially the same effects as those of the second embodiment described above can be obtained.

도 9, 도 10에 나타낸 각 플런저의 습동부는, 축심을 중심으로 한 대칭으로 형성되지 않으나, 각 습동부의 측면끼리 실질적으로 밀착하는 형상이기 때문에, 대칭성을 특히 고려할 필요는 없다.The sliding portions of the respective plungers shown in Figs. 9 and 10 are not formed symmetrically with respect to the axis, but the side surfaces of the sliding portions are substantially in close contact with each other.

(변형예)(Modified example)

본 발명은, 이상 설명한 실시형태에 한정되지 않고, 다양한 변형이나 변경이 가능하며, 이들도 본 발명의 기술적 범위 내이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention.

1) 각 플런저의 습동부의 면적이나 길이 등의 수치는, 컨택트 핀의 사용조건에 대응하여 적절히 변경할 수 있다.1) Numerical values such as the area and length of the sliding portion of each plunger can be appropriately changed corresponding to the use condition of the contact pin.

2) 제1실시형태에서는, 선형부의 중심각도를 90°로 하였으나, 90°이상의 각도(예를 들면 60°)일 수 있다. 또한, 선형부의 갯수도 특별히 한정되지 않는다. 또한, 선형부의 벌어짐이 문제가 되기 어려울 경우에는, 선형부 사이를 연결하는 연결부를 설치하지 않는 구성도 가능하다.2) In the first embodiment, the center angle of the linear portion is set to 90 degrees, but it may be an angle of 90 degrees or more (for example, 60 degrees). Also, the number of linear portions is not particularly limited. Further, when the spreading of the linear portion is unlikely to be a problem, it is also possible to provide a configuration in which a connecting portion for connecting the linear portions is not provided.

3) 제2실시형태에서도, 지그재그 형상 측면 사이의 각도를 90°로 하였으나, 90°이외의 각도일 수 있고, 또한, 선형부의 객수도 특별히 한정되지 않는다.3) Even in the second embodiment, the angle between the zigzag shaped lateral faces is 90 °, but it may be an angle other than 90 °, and the number of passengers in the linear portion is not particularly limited either.

4) 제1 및 제2플런저의 선단부의 형상은, 도 1 등에 나타낸 크라운 형상이나 반구 형상에 한정되지 않고, 적절히 변경할 수 있다.4) The shapes of the distal end portions of the first and second plungers are not limited to the crown shape or the hemispherical shape shown in Fig. 1 or the like, and can be appropriately changed.

5) 본 발명이 적용되는 컨택트 핀은 큰 전류량 용, 고주파 용에 적합하나, 이에 한정되지 않고, 비교적 작은 전류의 측정이나 고주파 이외의 측정에도 적용가능하고, 이 경우에도 전기적 저항의 낮음, 저마모, 신뢰성, 고내구성 등의 장점을 향유할 수 있다.5) The contact pin to which the present invention is applied is suitable for a large current amount and a high frequency. However, the present invention is not limited to this and is applicable to a measurement of a comparatively small current or a measurement other than high frequency. In this case, , Reliability, and high durability can be enjoyed.

또한, 측정대상물도 특별히 한정되지 않고, 반도체 웨이퍼, 반도체 패키지 외에도, 어떠한 측정대상물이라도 가능하다.The object to be measured is not particularly limited, and any object to be measured can be used in addition to a semiconductor wafer or a semiconductor package.

1: 컨택트 핀
10: 제1플런저
11: 선단부
12: 플랜지
13: 습동부
15: 보스부
17: 선형부
19: 슬릿
20: 제2플런저
21: 선단부
22: 플랜지
23: 습동부
25: 보스부
27: 선형부
29: 결합부
30: 코일스프링
53: 습동부
54: 기부
55: 중단부
56: 선부
63: 습동부
64: 기부
65: 중단부
66: 선부
73, 83, 93, 103: 습동부1: Contact pin
10: first plunger
11:
12: Flange
13:
15: Boss part
17:
19: slit
20: second plunger
21:
22: Flange
23:
25: boss part
27:
29:
30: coil spring
53:
54: donation
55:
56:
63:
64: donation
65:
66:
73, 83, 93, 103:

Claims

A first plunger;
A second plunger relatively displaced with respect to the first plunger along a predetermined extension and contraction direction; And
And an elastic element for generating a reaction force corresponding to a relative displacement of the first plunger and the second plunger along the elongating and contracting direction,
A contact pin having an external circuit connected to one of the first plunger and the second plunger and having a contact portion with the measurement object on the other,
Wherein the first plunger and the second plunger are formed in a planar shape including a straight line along the elongating and shrinking direction and extend along the elongating and shrinking direction and have a plurality of sliding surfaces Face) portion,
Contact pins.

The method according to claim 1,
Sectional shape taken along a plane orthogonal to the elongating and contracting direction of the region including the sliding contact surface portion of the first plunger has a plurality of linear (sector-shaped) portions arranged concentrically,
Sectional shape taken along a plane orthogonal to the elongating and contracting direction of the region including the sliding contact surface portion of the second plunger is constituted by a plurality of linear portions respectively arranged at intervals of a plurality of linear portions of the first plunger,
Wherein the sliding contact surface portion is radially disposed along the radial direction of the linear portion of the first plunger and the linear portion of the second plunger.
Contact pins.

3. The method of claim 2,
Wherein one of the plurality of linear portions of the first plunger and the plurality of linear portions of the second plunger is connected to each other in the vicinity of the central axis of the contact pin.
Contact pins.

The method according to claim 1,
Wherein the plurality of sliding contact surface portions are arranged in a zigzag shape in a cross-sectional shape obtained by cutting out the contact pins in a plane orthogonal to the elongating and contracting direction.
Contact pins.

5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the resilient element is a coil spring which is wound on an outer diameter side of a region having the sliding contact surface portion of the first plunger and the second plunger and has a tight contact portion disposed adjacent to the sliding contact surface portion.
Contact pins.

6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein the first plunger and the second plunger are plated after at least the sliding contact surface portion is formed by cutting.
Contact pins.