KR20150125426A - 기판 이송장치 및 가이드프레임 제조방법 - Google Patents

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KR20150125426A
KR20150125426A KR1020140052800A KR20140052800A KR20150125426A KR 20150125426 A KR20150125426 A KR 20150125426A KR 1020140052800 A KR1020140052800 A KR 1020140052800A KR 20140052800 A KR20140052800 A KR 20140052800A KR 20150125426 A KR20150125426 A KR 20150125426A
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Abstract

본 발명은 기판을 이송하기 위한 이송암, 상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부, 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부, 상기 이송암을 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부를 포함하고, 상기 주행부는 케이블이 삽입된 케이블베어의 이동을 가이드하는 제1가이드프레임, 상기 제1가이드프레임을 지지하는 지지부, 및 상기 지지부와 직접 결합되는 제2가이드프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치 및 가이드프레임 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 추가적인 작업을 생략함으로써, 주행부를 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄일 수 있으므로, 기판 이송장치를 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 기판 이송장치의 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

기판 이송장치 및 가이드프레임 제조방법{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING GUIDE FRAME}
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치 및 가이드프레임 제조방법에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
이러한 기판 이송장치는 상기 기판을 지지하는 이송암, 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부, 상기 승강부를 회전시키기 위한 선회부 및 상기 선회부를 이동시키기 위한 주행부를 포함한다.
상기 이송암은 상기 기판을 이송한다. 상기 이송암은 상기 승강부에 결합된다. 상기 이송암은 상기 기판을 지지하는 지지핸드, 상기 지지핸드를 이동시키기 위한 암유닛 및 일측에 상기 암유닛이 결합되고 타측에 상기 승강부가 결합되는 암베이스를 포함한다.
상기 승강부는 상기 이송암을 상하방향으로 이동시킨다. 상기 승강부는 상기 암베이스를 승강시킴으로써, 상기 암베이스에 결합되는 상기 지지핸드 및 상기 암유닛을 승강시킨다.
상기 선회부는 상기 승강부를 회전시킨다. 상기 선회부는 상기 주행부에 회전가능하게 결합된다. 상기 선회부는 회전축을 중심으로 회전하여 상기 승강부를 회전시킴으로써, 상기 이송암에 지지된 상기 기판을 회전시킨다.
상기 주행부는 주행방향으로 상기 선회부를 이동시킨다. 상기 주행부는 상기 선회부를 이동시킴으로써, 상기 이송암 및 상기 승강부를 이동시킬 수 있다. 상기 주행부는 주행베이스, 주행가이드부 및 주행구동부를 포함한다.
상기 주행베이스는 상기 선회부를 지지한다. 상기 선회부는 상기 주행베이스에 회전 가능하게 결합된다. 상기 주행베이스의 내부에는 상기 주행구동부가 설치된다.
상기 주행구동부는 상기 주행베이스를 주행방향으로 이동시킨다. 상기 주행구동부는 상기 주행베이스 내부에 설치된다.
상기 주행가이드부는 상기 주행베이스가 상기 주행방향으로 이동하도록 상기 주행베이스의 이동경로를 가이드한다. 상기 주행가이드부는 연결프레임 및 지지부를 포함한다.
여기서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치는 상기 주행가이드부 및 상기 지지부를 연결하기 위해 상기 연결프레임을 상기 주행가이드부에 용접하는 작업이 추가적으로 발생된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치는 상기 주행부를 제작하는데 소요되는 시간 및 비용이 증가됨에 따라 상기 기판 이송장치를 제작하는데 소요되는 시간 및 비용이 증가됨으로써, 생산성이 저하되는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 추가적으로 발생되는 작업을 생략함으로써, 기판 이송장치를 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄이기 위한 기판 이송장치 및 가이드프레임 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송하기 위한 이송암; 상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부; 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부; 상기 이송암을 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부를 포함하고; 상기 주행부는 케이블이 삽입된 케이블베어의 이동을 가이드하는 제1가이드프레임, 상기 제1가이드프레임을 지지하는 지지부, 및 상기 지지부와 직접 결합되는 제2가이드프레임을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기설정된 기준위치에 위치되게 상기 제1가이드프레임에 형성되는 분리부를 포함하고, 상기 분리부는 비절곡위치에 위치된 상기 제1가이드프레임이 절곡됨에 따라 상기 제2가이드프레임이 상기 비절곡위치에 위치되도록 상기 제1가이드프레임으로부터 상기 제2가이드프레임을 분리시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법은 제1가이드프레임에 절곡라인을 형성하는 단계; 상기 제1가이드프레임에 분리부를 형성하는 단계; 및 상기 제1가이드프레임으로부터 분리된 제2가이드프레임이 비절곡위치에 위치되도록 상기 절곡라인을 따라 상기 제1가이드프레임을 절곡하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법에 따르면 상기 분리부를 형성하는 단계는, 상기 제1가이드프레임에 분리라인을 형성하는 단계; 및 상기 분리라인을 따라 상기 제1가이드프레임을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면 하기와 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 추가적인 작업을 생략함으로써, 주행부를 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄일 수 있으므로, 기판 이송장치를 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 기판 이송장치의 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 이송장치를 설명하기 위한 사시도이고,
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치에서 가이드프레임을 설명하기 위한 사시도이고,
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송장치에서 가이드프레임을 설명하기 위한 단면도이고,
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법을 설명하기 위한 공정흐름도이고,
도 6는 본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 이송장치를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치에서 가이드프레임을 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 기판 이송장치에서 가이드프레임을 설명하기 위한 단면도이다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 기판(111)을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판(111)은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판(111)은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판(111)은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판(111)은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착기판일 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(111)에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판(111)을 이송할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 공정챔버들 및 상기 기판(111)이 저장되는 카세트 간에 상기 기판(111)을 이송할 수도 있다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(111)을 이송하기 위한 이송암(120), 상기 이송암(120)을 승강시키기 위한 승강부(130), 상기 승강부(130)를 회전시키는 선회부(140) 및 상기 이송암(120)을 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부(150)를 포함한다.
상기 이송암(120)은 상기 기판(111)을 이송한다. 상기 이송암(120)은 상기 승강부(130)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(120)은 상기 승강부(130)가 상기 선회부(140)에 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 이송암(120)은 암베이스(121), 암바디(122), 암유닛(123) 및 지지핸드(124)를 포함할 수 있다.
상기 암베이스(121)는 상기 승강부(130)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(121)는 상기 승강부(130)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(120)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다.
상기 암바디(122)는 상기 암베이스(121)에 결합된다. 상기 암베이스(121)의 일측이 상기 승강부(130)에 결합되는 경우, 상기 암바디(122)는 상기 암베이스(121)의 타측에 결합될 수 있다.
상기 암유닛(123)은 상기 암바디(122)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(123)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(124)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(123)은 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 암유닛(123)은 직선으로 이동함으로써, 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 암유닛(123)은 회전 이동함으로써, 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다.
상기 지지핸드(124)는 상기 암유닛(123)에 결합된다. 상기 지지핸드(124)는 상기 암유닛(123)이 이동함에 따라 직선으로 이동함으로써, 기판(111)을 이송할 수 있다. 상기 지지핸드(124)는 상기 제2암기구(123b)에 결합될 수 있다.
상기 이송암(120)은 복수 개의 상기 기판(111)을 이송할 수 있도록 구현될 수 있다. 예컨대, 상기 이송암(120)이 2개의 상기 기판(111)을 이송할 수 있도록 구현되는 경우, 상기 이송암(120)은 상기 암유닛(123) 및 상기 지지핸드(124)를 각각 2개씩 포함할 수 있다. 상기 이송암(123)들은 서로 반대편에 위치되게 상기 암바디(122)에 결합될 수 있다. 상기 지지핸드(124)들은 각각 상기 승강부(130)가 상기 이송암(120)을 승강시키는 방향을 기준으로 서로 다른 높이에 위치되게 상기 이송암(123)들에 결합될 수 있다.
상기 승강부(130)는 상기 이송암(120)을 승강시킨다. 이를 위해, 상기 승강부(130)에는 상기 암베이스(121)가 결합된다. 이에 따라, 상기 승강부(130)는 상기 이송암(120)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다. 상기 승강부(130)는 상기 선회부(140)에 회전 가능하게 결합된다.
상기 선회부(140)는 상기 승강부(130)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(140)는 상기 이송암(120)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(140)는 상기 주행부(150)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(140)는 상기 주행부(150)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강부(130)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행부(150)는 상기 선회부(140)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이 경우, 상기 주행부(150)는 상기 이송암(120)에 지지된 기판(111)을 상기 주행방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 주행부(150)는 주행베이스(151)를 포함한다.
상기 주행베이스(151)는 상기 주행가이드부(152)를 따라 상기 주행방향으로 이동한다. 상기 주행베이스(151)는 구동부(미도시)로부터 제공되는 구동력에 의해 상기 주행방향으로 이동할 수 있다. 상기 주행베이스(151)에는 상기 선회부(140)가 결합된다. 이 경우, 상기 주행베이스(151)는 상기 선회부(140)를 이동시킴으로써, 상기 기판(111)을 상기 주행방향으로 이송할 수 있다.
상기 주행가이드부(152)는 상기 주행방향을 따라 설치된다. 상기 주행가이드부(152)는 상기 주행베이스(151)를 이동시키기 위한 이동경로를 가이드한다. 상기 주행가이드부(152)에는 상기 주행베이스(151)가 결합된다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 상기 주행부(150)는 제1가이드프레임(153), 제2가이드프레임(154) 및 지지부(155)를 포함할 수 있다.
상기 제1가이드프레임(153)은 케이블(미도시)이 삽입된 케이블베어(112)의 이동을 가이드 한다. 상기 제1가이드프레임(153)은 상기 주행가이드부(152)에 설치될 수 있다. 상기 제1가이드프레임(153)은 상기 지지부(154)에 의해 지면에 지지된다.
상기 제2가이드프레임(154)은 상기 제1가이드프레임(153)으로부터 외측으로 돌출되게 상기 제1가이드프레임(153)에 형성된다. 상기 제2가이드프레임(154)은 상기 지지부와 직접 결합되도록 상기 제1가이드프레임(153)에 형성될 수 있다.
상기 지지부(155)는 상기 제1가이드프레임(153)을 지지한다. 상기 지지부(155)는 상기 제1가이드프레임(153)의 하측에 위치될 수 있다. 상기 지지부(155)는 상기 제2가이드프레임(154)과 결합됨에 따라 상기 제1가이드프레임(153)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제2가이드프레임(154) 및 상기 지지부(155)가 직접 결합되도록 구현됨으로써, 종래 기술과 비교하면 상기 제2가이드프레임(154) 및 상기 지지부(155) 사이에 상기 연결프레임을 용접하는 작업을 생략할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)은 상기 제2가이드프레임(154) 및 상기 지지부(155)를 결합하는 작업에 소요되는 시간 및 비용을 줄일 수 있으므로 상기 주행부(150)를 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄일 수 있으므로, 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제1가이드프레임(153)에 형성되는 분리부(160)를 포함할 수 있다.
상기 분리부(160)는 기설정된 기준위치에 위치되게 상기 제1가이드프레임(153)에 형성된다. 상기 분리부(160)는 상기 제1가이드프레임(153)으로부터 상기 제2가이드프레임(154)을 분리시킨다. 이에 따라, 상기 분리부(160)는 비절곡위치에 위치된 상기 제1가이드프레임(153)이 절곡됨에 따라 상기 제2가이드프레임(154)이 상기 비절곡위치에 위치되도록 할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제1가이드프레임(153) 및 상기 제2가이드프레임(154)이 분리된 상태에서 상기 제1가이드프레임(153)을 절곡시킴으로써, 상기 제2가이드프레임(154)를 형성할 수 있으므로, 상기 제2가이드프레임(154)를 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 주행부(150)를 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄이는데 더 기여할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 더 줄일 수 있으므로, 생산성을 더 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 원가를 절감할 수 있다.
도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제2가이드프레임(154)에 형성되는 제1체결공(1541), 상기 지지부(155)에 형성되는 제2체결공(1551) 및 상기 제1체결공(1541) 및 상기 제2체결공(1551)에 삽입되는 삽입부재(156)를 포함할 수 있다.
상기 제1체결공(1541)은 상기 제2가이드프레임(154)에 형성된다. 상기 제1체결공(1541)은 상기 제2체결공(1551)과 대응되는 위치에 위치되게 상기 제2가이드프레임(154)에 형성될 수 있다. 상기 제1체결공(1541)에는 상기 삽입부재(156)가 삽입될 수 있다.
상기 제2체결공(1551)은 상기 지지부(155)에 형성된다. 상기 제2체결공(1551)은 상기 제1체결공(1541)과 대응되는 위치에 위치되게 상기 지지부(155)에 형성된다. 상기 제2체결공(1551)에는 상기 삽입부재(156)가 삽입될 수 있다.
상기 삽입부재(156)는 상기 제1체결공(1541) 및 상기 제2체결공(1551) 각각에 삽입된다. 상기 삽입부재(156)는 상기 제2가이드프레임(154) 및 상기 지지부(155)를 직접 결합시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제2가이드프레임(154) 및 상기 지지부(155)를 용접하는 경우와 비교하면, 상기 제2가이드프레임(154) 및 상기 지지부(155)를 결합시키는 작업에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 더 줄일 수 있으므로, 생산성을 더 향상시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법을 설명하기 위한 공정흐름도이고, 도 6는 본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4 내지 도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법(S100)은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
먼저, 절곡라인(A)을 형성한다(S110). 이러한 공정(S110)은 상기 제1가이드프레임(153)에 표시부재를 이용하여 상기 절곡라인(A)을 형성함으로써, 이루어질 수 있다. 상기 절곡라인(A)을 형성하는 공정(S110)은 상기 제1가이드프레임(153)을 제조하기 위한 강판 등의 판재가 절곡되기 위한 절곡라인(A)을 표시함으로써 수행될 수 있다.
다음, 상기 분리부(160)를 형성한다(S120). 이러한 공정(S110)은 상기 제1가이드프레임(153)을 절단하여 상기 제2가이드프레임(154)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 분리부(160)를 형성하는 공정(S120)은 레이저 절단기 등의 절단부재를 이용하여 상기 제1가이드프레임(153)을 절단함으로써 수행될 수 있다.
다음, 상기 제1가이드프레임(153)을 절곡한다(S130). 이러한 공정(S130)은 상기 제2가이드프레임(154)이 상기 분리부(160)에 의해 상기 제1가이드프레임(153)으로부터 분리된 상태에서 상기 제1가이드프레임(153)을 절곡함에 따라 상기 제2가이드프레임(154)이 비절곡위치에 위치되도록 상기 제1가이드프레임(153)을 절곡시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 제1가이드프레임(153)을 절곡하는 공정(S130)은 절곡장치를 이용하여 상기 제1가이드프레임(153)을 절곡함으로써 수행될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법(S100)은 상기 제1가이드프레임(153) 및 상기 제2가이드프레임(154)이 분리된 상태에서 상기 제1가이드프레임(153)을 절곡시킴으로써, 상기 제2가이드프레임(154)를 형성할 수 있으므로, 상기 제2가이드프레임(154)를 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법(S100)은 상기 주행부(150)를 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄이는데 기여할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법(S100)은 제작하는데 소요되는 시간 및 비용을 더 줄일 수 있으므로, 생산성을 더 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 원가를 절감할 수 있다.
도 4 내지 도 6을 참고하면, 상기 분리부를 형성하는 공정(S120)은 분리라인(B)을 형성하는 공정(S121) 및 상기 제1가이드프레임(153)을 절단하는 공정(S122)을 포함할 수 있다.
상기 분리라인(B)을 형성하는 공정(S121)은 상기 제1가이드프레임(153)에 상기 제1가이드프레임(153)을 절단하기 위한 상기 분리라인(B)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 이러한 공정(S121)은 상기 절곡라인(A)을 기준으로 기설정된 기준위치에 상기 표시부재를 이용하여 상기 분리라인(B)을 형성함으로써 수행될 수 있다.
상기 제1가이드프레임(153)을 절단하는 공정(S122)은 상기 분리라인(B)을 형성하는 공정(S121)에서 형성된 상기 분리라인(B)을 따라 상기 제1가이드프레임(153)을 절단함으로써 이루어질 수 있다. 이러한 공정(S122)은 상기 절단부재를 이용하여 상기 제1가이드프레임(153)을 절단함으로써 수행될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법(S100)은 상기 분리라인(B)을 따라 상기 제1가이드프레임(153)을 절단함으로써, 작업자의 숙련도에 따라 상기 분리부(160)의 형태가 변형되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법(S100)은 상기 분리부(160)를 형성하는데 있어서, 상기 분리부(160)의 형태가 변형됨에 따라 상기 분리부(160)의 형태를 보정하는 작업을 생략할 수 있으므로, 상기 기판 이송장치(100)을 제작하는데 소요되는 비용 및 시간을 더 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 가이드프레임 제조방법(S100)은 상기 기판 이송장치(100)의 생산성을 더 향상시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
100: 기판 이송장치 111: 기판
112: 케이블베어 120: 이송암
130: 승강부 140: 선회부
150: 주행부 160: 분리부

Claims (4)

  1. 기판을 이송하기 위한 이송암;
    상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부;
    상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부;
    상기 이송암을 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부를 포함하고;
    상기 주행부는 케이블이 삽입된 케이블베어의 이동을 가이드하는 제1가이드프레임, 상기 제1가이드프레임을 지지하는 지지부, 및 상기 지지부와 직접 결합되는 제2가이드프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    기설정된 기준위치에 위치되게 상기 제1가이드프레임에 형성되는 분리부를 포함하고,
    상기 분리부는 비절곡위치에 위치된 상기 제1가이드프레임이 절곡됨에 따라 상기 제2가이드프레임이 상기 비절곡위치에 위치되도록 상기 제1가이드프레임으로부터 상기 제2가이드프레임을 분리시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  3. 제1가이드프레임에 절곡라인을 형성하는 단계;
    상기 제1가이드프레임에 분리부를 형성하는 단계; 및
    상기 제1가이드프레임으로부터 분리된 제2가이드프레임이 비절곡위치에 위치되도록 상기 절곡라인을 따라 상기 제1가이드프레임을 절곡하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드프레임 제조방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 분리부를 형성하는 단계는,
    상기 제1가이드프레임에 분리라인을 형성하는 단계; 및
    상기 분리라인을 따라 상기 제1가이드프레임을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드프레임 제조방법.
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