KR20150120311A - Oled light emitting device and method for manufacturing thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 발광장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, OLED 발광장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a light emitting device, and more particularly, to an OLED light emitting device and a method of manufacturing the same.
OLED(Organic Light Emitting Diode, 유기 발광 다이오드)는 일종 유기전계 발광장치로서 이는 투명양극 및 금속 반사 음극 사이에 유기발광재료를 개재하여 유기박막에 전압을 인가하는 방식으로 발광하는 소자이다. 이는 디스플레이장치로 사용될 수 있을 뿐만아니라 조명장치로도 사용될 수 있다.OLED (Organic Light Emitting Diode) is an organic electroluminescent device which emits light by applying a voltage to an organic thin film through an organic light emitting material between a transparent anode and a metal reflective cathode. This can be used not only as a display device but also as a lighting device.
OLED 발광유닛은 주로 금속 음극, 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 수송층, 정공 주입층, 투명 양극으로 구성되어 있다. OLED 발광면은 다수개의 유효 발광유닛 및 화소 정의층으로 구성되어 있어 표면전체가 발광할 수 있는 것이 아니어서 개구율이란 개념이 존재하는 것이다. 개구율이란, 유효 발광유닛의 표면면적이 전체 발광면의 면적에 대한 비율을 가리킨다. 조명 OLED 제품에 있어서 개구율은 일반적으로 80%이상이다. OLED 디스플레이 제품에 있어서 그 제품표면에는 화소 정의층 외에 화소 저장 커패시터 및 TFT가 존재하므로 개구율은 일반적으로 50%정도이다.The OLED light emitting unit is mainly composed of a metal cathode, an electron injecting layer, an electron transporting layer, a light emitting layer, a hole transporting layer, a hole injecting layer, and a transparent anode. Since the OLED light emitting surface is composed of a plurality of effective light emitting units and pixel defining layers, the entire surface can not emit light, so that the concept of the aperture ratio exists. The aperture ratio means a ratio of the surface area of the effective light emitting unit to the total area of the light emitting surface. For lighting OLED products, the aperture ratio is generally greater than 80%. In the OLED display product, the aperture ratio is generally about 50% since the pixel defining layer and the TFT exist in the surface of the product in addition to the pixel defining layer.
도1은 기존의 OLED 발광장치의 구조를 도시한 것이며 OLED는 주로 기판1, 평탄화 층2, 발광유닛3 및 화소 정의층4를 포함한다. 발광유닛3과 화소 정의층4는 평탄화 층2 위에 설치되어 있으며 발광유닛3의 표면은 평탄한 표면이다.FIG. 1 shows the structure of a conventional OLED light emitting device. The OLED mainly includes a
OLED의 휘도를 제고하기 위하여 통상적으로 사용되는 방법으로서는 유기재료의 발광효율을 제고하거나 혹은 개구율을 제고하는 방법 들이 있다. 유기재료의 발광효율을 제고하는 데는 다량의 실험을 거쳐 바람직한 발광기기의 구조를 최적화 할 필요가 있으며 또한 발광효율을 제고하는데는 일정한 한계가 있다. OLED 개구율을 제고하는 데는 보조 전극, TFT, 커패시터 등의 발광하지 않는 면의 면적을 감소시킬 필요가 있다. 현재, OLED는 통상적인 조명 및 디스플레이 재료로서 비교적 큰 사용량을 나타내고 있지만, 현재로서는 개구율을 일반적으로 최고로 60%정도밖에 제조할 수 없으므로, 현재의 OLED 개구율은 사용의 수요를 만족시키지 못하고 있다.As a commonly used method for improving the luminance of the OLED, there are methods of improving the luminous efficiency of the organic material or increasing the aperture ratio. In order to improve the luminous efficiency of an organic material, it is necessary to optimize the structure of a preferable light emitting device through a large amount of experiment, and there is a certain limit to enhance the luminous efficiency. In order to improve the OLED aperture ratio, it is necessary to reduce the area of the non-light emitting side of the auxiliary electrode, the TFT, the capacitor, and the like. At present, although OLEDs exhibit relatively large amounts of usage as conventional lighting and display materials, current OLED aperture ratios do not meet the needs of use, as the aperture ratio can generally be only about 60% at the most.
또한, OLED 디스플레이 패널은 해상도가 높을 수록 화소의 개구면적이 더욱 작아지며 화소 휘도도 감소된다.Also, the higher the resolution of the OLED display panel, the smaller the aperture area of the pixel and the lower the pixel brightness.
따라서, 해상도를 감소시키지 않는 조건 하에서 화소 휘도를 향상시킬 수 있는 장치 및 방법이 요구된다.Therefore, there is a need for an apparatus and method that can improve the pixel brightness under conditions that do not reduce the resolution.
상기 배경기술에서 개시한 상기 내용들은 본 발명의 배경을 보다 이해하기 쉽게 하기 위하여 사용된 내용뿐이므로, 상기 배경기술에는 당업계의 통상의 지식을 가진 자가 이미 알고 있는 종래기술 외의 내용도 포함될 수 있는 것이다.Since the above-mentioned contents disclosed in the background art are only used to facilitate a better understanding of the background of the present invention, the background art may include contents other than the prior art already known to those of ordinary skill in the art will be.
본 발명자들은 상기의 문제에 기반하여 예의 연구한 결과, 발광 유닛 및 기판 사이에 만곡부를 포함하는 평탄화 층을 설치하여 발광 면적을 증가시켜 발광 휘도를 증가시킬 수 있는 것을 확인하고, 본 발명을 완성하게 되었다.As a result of intensive studies based on the above problems, the present inventors have found that a planarization layer including a curved portion is provided between a light emitting unit and a substrate to increase the light emission area to increase the light emission luminance. .
한 일면으로서, 본 발명은 하기와 같은 OLED 발광장치를 제공한다. 기판; 상기 기판 위에 위치하고 다수개의 상호 격리된 만곡부를 구비하는 평탄화 층; 각 발광 유닛은 상기 만곡부 위에 위치하고 있으며 발광 유닛은 상기 만곡부와 대응되는 형상을 구비하고 있는 상기 평탄화 층 위에 위치하는 다수개 발광유닛을 포함하는 OLED 발광 장치에 있어서, 각 발광 유닛은 제1전극; 상기 제1전극 위에 위치하는 발광구조; 상기 발광구조 위에 위치하는 제2전극을 포함하며 상기 만곡부의 일 단면이 전체상에서 궁형윤곽을 갖는다.In one aspect, the present invention provides an OLED light emitting device as described below. Board; A planarization layer positioned over the substrate and having a plurality of mutually isolated bends; Each of the light emitting units including a plurality of light emitting units disposed on the planarizing layer and having a shape corresponding to the curved portion, the light emitting units including a first electrode; A light emitting structure located on the first electrode; And a second electrode located on the light emitting structure, wherein one end face of the curved portion has an arch shape on the whole.
본 발명의 한 실시예로서, 인접한 상기 만곡부 사이에 위치하는 화소 정의층을 더 포함한다.In one embodiment of the present invention, the light emitting device further includes a pixel defining layer positioned between the adjacent curved portions.
본 발명의 다른 한 실시예로서, 상기 만곡부와 상기 평탄화 층은 동일한 재료를 포함하고, 상기 만곡부와 상기 평탄화 층은 일체로 형성된다.In another embodiment of the present invention, the curved portion and the planarization layer include the same material, and the curved portion and the planarization layer are integrally formed.
본 발명의 다른 한 실시예로서, 상기 만곡부는 상기 평탄화 층에 형성된 함몰부이다.In another embodiment of the present invention, the curved portion is a depression formed in the flattening layer.
본 발명의 다른 한 실시예로서, 상기 만곡부는 다중 요철(凹凸)형 표면을 구비한다.In another embodiment of the present invention, the curved portion has a multi-convex-concave surface.
다른 한 일면으로서, 본 발명은 하기와 같은 OLED 발광장치의 제조방법을 제공한다. 기판 위에 평탄화 층을 형성하는 단계; 상기 평탄화 층 위에 다수개의 서로 격리된 만곡부를 형성하는 단계; 상기 만곡부 위에 제1전극을 형성하는 단계; 상기 제1전극 위에 발광구조 및 제2전극을 형성하는 단계를 포함하는 OLED 발광장치의 제조방법에 있어서 상기 만곡부의 일 단면이 전체상에서 궁형윤곽을 갖는다.In another aspect, the present invention provides a method of manufacturing an OLED light emitting device as described below. Forming a planarization layer on the substrate; Forming a plurality of mutually isolated curves on the planarization layer; Forming a first electrode on the curved portion; And forming a light emitting structure and a second electrode on the first electrode, wherein one end face of the curved portion has an arch shape on the whole.
본 발명의 제조방법의 한 실시예로서, 상기 제1전극을 형성한 후에 화소 정의층을 형성하며 상기 화소 정의층이 상호 인접된 상기 만곡부 사이에 위치하여 상기 제1전극의 최소 부분 표면을 노출시키는 단계를 더 포함한다.In one embodiment of the manufacturing method of the present invention, a pixel defining layer is formed after forming the first electrode, and the pixel defining layer is located between the adjacent curved portions to expose a minimum partial surface of the first electrode .
본 발명의 제조방법의 다른 한 실시예로서, 상기 만곡부와 상기 평탄화 부는 동일한 재료를 포함하고, 상기 만곡부와 상기 평탄화 층은 일체로 형성되며, 상기 만곡부를 형성하는 단계는 그레이 스케일 마스크를 이용하여 상기 평탄화 층에 대하여 포토에칭공정을 수행하는 단계 및 상기 평탄화 층에 대하여 현상공정을 수행한 후 베이킹 경화를 진행하여 상기 만곡부를 획득하는 단계를 포함한다.According to another embodiment of the manufacturing method of the present invention, the curved portion and the flattening portion include the same material, and the curved portion and the flattening layer are integrally formed, and the forming of the curved portion is performed using the gray scale mask Performing a photoetching process on the flattening layer, and performing a baking process after performing the developing process on the flattening layer to obtain the curved portion.
본 발명의 제조방법의 다른 한 실시예로서, 상기 만곡부는 상기 평탄화 층에 형성된 함몰부이며, 상기 만곡부를 형성하는 단계는 그레이 스케일 마스크를 이용하여 상기 평탄화 층에 대하여 포토에칭공정을 수행하는 단계 및 상기 평탄화 층에 대하여 현상공정을 수행한 후 베이킹 경화를 진행하여 상기 만곡부를 획득하는 단계를 포함한다.In another embodiment of the manufacturing method of the present invention, the curved portion is a depression formed in the planarization layer, and the forming of the curved portion includes performing a photoetching process on the planarization layer using a gray scale mask, And performing a developing process on the flattening layer, followed by bake hardening to obtain the curved portion.
본 발명의 제조방법의 다른 한 실시예로서, 상기 만곡부는 다중 요철(凹凸)형 표면을 구비하며, 상기 만곡부를 형성하는 단계는 그레이 스케일 마스크를 이용하여 상기 평탄화 층에 대하여 포토에칭공정을 수행하는 단계 및 상기 평탄화 층에 대하여 현상공정을 수행한 후 베이킹 경화를 진행하여 상기 만곡부를 획득하는 단계를 포함한다.In another embodiment of the manufacturing method of the present invention, the curved portion has a multi-concave-convex surface, and the forming of the curved portion includes performing a photoetching process on the planarizing layer using a gray scale mask And performing a developing process on the flattening layer and then performing baking hardening to obtain the curved portion.
본 발명은 발광 유닛과 평탄화 층의 접촉부위에 만곡부를 설치하는 것을 통하여, 발광 유닛을 평탄화 표면으로부터 만곡 표면으로 변환시켜 유기 발광 다이오드의 개구율을 대폭적으로 향상시켜 발광면적을 대폭 증가시킴으로써 유기 발광 다이오드의 발광 휘도를 향상시키는 동시에 전력손실을 감소시키며 제품의 사용 수명을 연장할 수 있다.The present invention provides an organic light emitting diode having an organic light emitting diode and a method of manufacturing the organic light emitting diode by converting a light emitting unit from a planarizing surface to a curved surface by providing a curved portion at a contact portion between the light emitting unit and the planarizing layer, It is possible to improve light emission luminance, reduce power loss, and extend the service life of the product.
도1은 기존 OLED 발광장치의 구조 모식도이다.
도2는 본 발명의 한 실시예에 따른 OLED 발광장치의 구조 모식도이다.
도3은 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 OLED 발광장치의 구조 모식도이다.
도4는 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 OLED 발광장치의 구조 모식도이다.
도5는 본 발명의 제조방법의 한 실시예에 따른 공정흐름도이다.1 is a structural schematic diagram of a conventional OLED light emitting device.
2 is a structural schematic diagram of an OLED light emitting device according to an embodiment of the present invention.
3 is a structural schematic diagram of an OLED light emitting device according to another embodiment of the present invention.
4 is a structural schematic diagram of an OLED light emitting device according to another embodiment of the present invention.
5 is a process flow diagram according to an embodiment of the manufacturing method of the present invention.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 예시 실시예를 전면적으로 기술하기로 한다. 다만, 예시 실시예는 각종 형식으로 실시될 수 있으며 하기에 기술한 실시예에 한정되어 이해되는 것이 아니다. 반대로 이러한 실시예의 제공에 의하여 본 발명을 전면적 및 완전하게 개시할 수 있으며 예시 실시예의 구상을 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 전면적으로 전달할 수 있는 것이다. 도면에서 더욱 명료하게 표시하기 위하여 구역과 층의 두께를 과대하여 표시하였다. 도면에서 동일한 도면부호는 동일한 혹은 유사한 구조를 표시하며 그들에 대한 상세한 기술은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Exemplary embodiments will now be described with reference to the accompanying drawings. However, the exemplary embodiments can be embodied in various forms and are not construed as being limited to the embodiments described below. On the contrary, the present invention can be fully and completely initiated by the provision of this embodiment, and the concept of the illustrative embodiment can be communicated to a person having ordinary skill in the art on the whole. The thickness of zones and layers is over-expressed for clarity in the figures. In the drawings, the same reference numerals denote the same or similar structures, and a detailed description thereof will be omitted.
기술한 특정, 구조 혹은 특성을 임의의 적합한 방식으로 하나 혹은 그 이상의 실시예 중에서 조합할 수 있다. 하기 기술 중에서 다량의 구제적인 세부 사항들을 제공하여 본 발명의 실시 방식을 충분히 이해하도록 한다. 하지만, 본 발명의 기술방안을 실시 함에 있어서 특정된 세부 사항중의 하나 혹은 다수개가 없거나 혹은 다른 한 방법, 구성 요소, 재료 등을 사용하여 실시할 수 있음은 당업계의 통상의 지식을 가진 자에 있어서 알수 있을 것이다. 다른 정황하의 공지 구조, 재료 혹은 조작에 대하여서는 상세히 기재하거나 기술하지 아니하여 본 발명의 구상을 흐리지 않도록 한다.The particular features, structures, or characteristics described may be combined in any suitable manner in one or more embodiments. A large amount of salvage details are provided in the following description to provide a thorough understanding of the manner in which the invention is practiced. However, it will be understood by those skilled in the art that the present invention may be practiced without one or more of the specific details, or with other methods, components, materials, You will know. The known structures, materials, or operations under different circumstances are not described or described in detail, so as not to disturb the concept of the present invention.
하기, 도2를 참조하여 본 발명의 한 실시예의 OLED 디스플레이 장치를 설명하기로 한다.An OLED display device according to an embodiment of the present invention will now be described with reference to FIG.
도2에 도시된 바와 같이, 해당 도면에서는 기판102를 구비하는 OLED 디스플레이 장치100를 나타내고 있다. 기판102는 유리, 플라스틱 혹은 세라믹으로 구성된 투명 절연 재료를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 2, the figure shows an
기판102 위에 평탄화 층104 를 설치한다. 평탄화 층104는 스핀코팅 방법에 의하여 형성될 수 있다. 평탄화 층104 재료는 포토레지스트 재료 혹은 스핀 온 글라스 (spin on glass,SOG) 일 수 있으며 상기 재료들은 포토에칭공정에 사용될 수 있다.A
평탄화 층104 위에 다수개의 상호 격리된 만곡부104a가 설치되어 있으며, 만곡부104a는 평탄화 층104 위에 형성된 돌출부이며, 만곡부104a의 일 단면은 전체상에서 활 모양으로 굽은 궁형(弓形)윤곽을 갖는다. 평탄화 층104에 대하여 포토에칭공정, 현상공정 혹은 에칭공정을 거친 후 베이킹 경화를 진행하여 만곡부104a를 형성할 수 있으며, 예를 들면 그레이 스케일 마스크를 이용하여 포토에칭 혹은 에칭을 진행할 수 있다. 만곡부104a과 평탄화 층104는 동일한 재료를 포함할 수 있거나 일체로 형성될 수 있다. 만곡부104a는 포토레지스트재료를 더 포함할 수 있다.A plurality of mutually isolated
평탄화 층104 위에 다수개의 발광 유닛106가 설치되어 있으며, 매개 발광 유닛106은 만곡부104a 위에 위치하여 있으며 만곡부104a와 대응되는 형상을 구비하고 있다. 발광 유닛106은 제1전극106a, 발광 구조 106b 및 제2전극106c를 포함한다.A plurality of
제1전극106a은 대체로 평탄화 층104의 만곡부104a을 커버하고 있으며, 평탄화 층104의 만곡부104a에 대응되도록 제1전극106a도 만곡표면을 구비하고 있다. 제1전극은 양극 혹은 음극일 수 있으며 사용하는 도전재료로서는 알루미늄, 은, 마그네슘, 팔라듐, 백금 등 금속재료; 인듐 주석 산화물 (ITO), 인듐 아연 산화물 (IZO), 알루미늄 아연 산화물 (AZO) 혹은 산화아연 (ZnO)과 같은 금속산화물 등 투명재료가 있으며, 이들은 단독으로 사용하거나 조합하여 사용할 수 있다. 기기가 밑부분이 발광하고, 제1전극106a은 알루미늄, 은, 마그네슘, 팔라듐, 백금 등 금속재료를 사용할 시, 50%보다 큰 투광률을 제공할 수 있도록 바람직하게 5~200Å의 두께를 가진다. 기기가 윗부분이 발광하고 제1전극은 알루미늄, 은, 마그네슘, 팔라듐, 백금 등 금속재료 및 인듐 주석 산화물 (ITO), 인듐 아연 산화물(IZO), 알루미늄 아연 산화물(AZO) 혹은 산화아연(ZnO)과 같은 금속산화물을 조합하여 사용할 시, 바람직하게 100~3000Å의 두께를 가진다. 이외, 제1전극 106a의 도전재료는 스퍼터링법, 전자빔증착법, 열증착법, 화학기상증착법, 분무열분해법에 의해 형성될 수 있다.The
제1전극106a 위에 발광 구조106b 및 제2전극106c가 설치되어 있으며, 평탄화 층104의 만곡부104a와 대응되도록 발광 구조106b 및 제2전극106c는 모두 굴곡표면을 구비하고 있다.The
발광 구조106b 는 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 수송층, 정공 주입층을 포함할 수 있으며, 전자 주입층은 산화 리튬, 산화리튬붕소 (), 산화실리콘칼륨 (), 탄산 세슘 혹은 알칼리 금속 불화물일 수 있다. 알칼리 금속 불화물로서 예를 들어 불화 리튬, 불화칼륨, 불화 세슘 중의 하나일 수 있다.The
전자 수송층은 비교적 높은 전자 이동도, 비교적 높은 유리 전이온도 및 열안전성을 구비하는 것을 필요로 하며, 열증착법에 의해 균일하고 미세공이 없는 박막을 형성할 수 있어야 한다. 상기 전자 수송층은 옥사졸(oxazole) 유도체, 금속킬레이트 퀴놀린 유도체, 퀴녹살린 유도체, 페나진 (phenazine) 유도체, 페난트롤린(Phenanthroline) 유도체, 규소 함유 헤테로고리 화합물중의 하나이다.The electron transporting layer needs to have a relatively high electron mobility, a relatively high glass transition temperature, and thermal stability, and should be able to form a uniform and microporous film by thermal vapor deposition. The electron transport layer is one of an oxazole derivative, a metal chelate quinoline derivative, a quinoxaline derivative, a phenazine derivative, a phenanthroline derivative, and a silicon-containing heterocyclic compound.
발광층은 유기재료 혹은 무기재료를 포함할 수 있으며, 예를 들어 소분자 재료, 중합체 재료 혹은 유기금속착체화합물일 수 있다. 상기 발광층은 진공 열 증착, 스핀코팅, 잉크 제트, 레이저 전사 혹은 스크린 인쇄 등 방식으로 형성될 수 있다.The light emitting layer may include an organic material or an inorganic material, and may be, for example, a small molecule material, a polymer material, or an organometallic complex compound. The light emitting layer may be formed by vacuum thermal deposition, spin coating, ink jet, laser transfer, screen printing, or the like.
정공 수송층은 비교적 높은 전자 이동도, 비교적 높은 열안전성을 구비하는 것을 필요로 하며, 열증착법에 의해 균일하고 핀 홀이 없는 박막을 형성할 수 있어야 한다. 선택할 수 있는 정공 수송층 재료로서는 쌍결합된(Pairwise coupling) 디아민계 화합물인 예를 들어 TPD, TAPC, NPB, β-NPB, α-NPD; 트리페닐아민 화합물인 예를 들어 TDAB, TDAPB, PTDATA, spiro-mTTB; 혹은 일부의 트리아릴아민 중합체, 카바졸계 화합물중의 하나 일수 있다.The hole transport layer needs to have a relatively high electron mobility and relatively high thermal stability, and should be able to form a uniform and pinhole-free thin film by thermal vapor deposition. Examples of the hole transporting material that can be selected include Pairwise coupling diamine compounds such as TPD, TAPC, NPB, beta-NPB, alpha -NPD; Triphenylamine compounds such as TDAB, TDAPB, PTDATA, spiro-mTTB; Or a part of triarylamine polymer or carbazole-based compound.
정공 주입층은 양극 및 인접한 정공 수송층과의 에너지 준위 정합도(matching degree)가 우수할 것을 필요로 하며, CuPc, TNATA, PEDOT 일수 있지만 이에 한정되는 것이 아니다. 한 바람직한 방안으로서는 정공 주입층은 P형 도핑구조를 사용 할 수 있으며, 정공 수송 재료에 예를 들어 SbCl5, FeCl3, 요오드, F4-TCNQ 혹은 TBAHA와 같은 산화물을 도핑할 수 있다. 물론 양자샘구조 등 기타 임의의 정공 주입을 향상시킬 수 있는 구조를 사용할 수 있다.The hole injection layer needs to have excellent energy level matching degree with the anode and the adjacent hole transporting layer, and may be CuPc, TNATA, PEDOT, but is not limited thereto. As a preferred method, the hole injecting layer may use a P-type doping structure, and the hole transporting material may be doped with an oxide such as SbCl 5 , FeCl 3 , iodine, F4-TCNQ or TBAHA. Of course, a structure capable of improving the injection of any other hole, such as quantum well structure, can be used.
제2전극106c는 음극 혹은 양극일 수 있으며 사용하는 도전재료로서는 알루미늄, 은, 마그네슘, 팔라듐, 백금 등 금속재료; 혹은 인듐 주석 산화물, 인듐 아연 산화물, 알루미늄 아연 산화물 혹은 산화아연과 같은 금속산화물 등 투명재료가 있으며 이들을 단독으로 사용하거나 조합하여 사용할 수 있으며 스퍼터링법 또는 증착법 등에 의해 형성될 수 있다.The
평탄화 층104 위에 화소 정의층108이 더 설치되어 있으며, 만곡부104a의 형상과 대응되는 제1전극106a의 표면을 노출하고 있으며, 그 재료로서 산화 실리콘, 질화 규소, 산질화규소, 유기 비전도 중합체일 수 있으며 혹은 이들의 조합일 수 있다. 이는 예를 들어 물리 기상 증착법(physical vapour deposition), 화학 기상 증착법(chemical vapour deposition) 및 스핀코팅법에 의해 형성될 수 있다. 화소 정의층108은 평탄화 층104 위의 만곡부의 외부에 형성되어 있으며, 다수개의 발광 유닛 106을 격리하게 한다.A
따라서, 발광 유닛 106 내의 제1전극106a, 발광 구조 106b 및 제2전극106c은 모두 만곡부104a과 대응되는 형상을 구비하고 있으며, 이러한 설치형태에 의해 발광 유닛106의 발광면적을 증가 시킬 수 있어 발광휘도를 향상시킬 수 있다.Therefore, the
하기, 도3을 참조하여 본 발명의 다른 한 실시예의 OLED 디스플레이 장치를 설명하기로 한다.An OLED display device according to another embodiment of the present invention will now be described with reference to FIG.
도3에 도시된 바와 같이, 해당 도면에서는 기판202를 구비하는 OLED 디스플레이 장치200를 나타내고 있다. 기판202의 재료는 상기 실시예와 동일하다.As shown in FIG. 3, the figure shows an
기판202 위에 평탄화 층204를 설치한다. 평탄화 층204의 재료 및 형성방법은 상기 실시예와 동일하다.A
평탄화 층204 위에 다수개의 상호 격리된 만곡부204a가 설치되어 있으며, 만곡부204a는 평탄화 층204 위에 형성된 함몰부이며 만곡부204a의 일 단면은 전체상에서 궁형윤곽을 갖는다. 만곡부204a는 예를 들어, 평탄화 층204에 포토레지스트를 코팅한 후 포토레지스트에 대하여 포토에칭공정, 현상공정 혹은 에칭공정을 거친 후 베이킹 경화를 진행하여 형성될 수 있으며, 그레이 스케일 마스크를 이용하여 포토에칭 혹은 에칭을 진행할 수 있다.A plurality of mutually isolated
평탄화 층204 위에 다수개의 발광 유닛206가 설치되어 있으며, 각 발광 유닛206은 만곡부204a 위에 위치하여 있으며 만곡부204a와 대응되는 형태를 구비하고 있다. 발광 유닛206은 제1전극206a, 발광 구조206b, 제2전극206c를 포함한다.A plurality of light emitting
제1전극206a은 대체로 평탄화 층 204의 만곡부204a을 커버하고 있으며, 평탄화 층204의 만곡부 204a에 대응되도록 제1전극206a도 만곡표면을 구비하고 있다. 제1전극206a의 재료는 상기 실시예와 동일하다.The
제1전극206a 위에 발광 구조 206b 및 제2전극 206c가 설치되어 있으며, 평탄화 층204의 만곡부204a와 대응되도록 발광 구조206b 및 제2전극 206c는 모두 만곡표면을 구비하고 있다. 발광 구조206b 및 제2전극 206c의 재료 및 형성방법은 상기 실시예와 동일하다.The
평탄화 층204 위에 화소 정의층208이 더 설치되어 있으며, 만곡부 204a의 형상과 대응되는 제1전극 206a의 표면을 노출하고 있으며 화소 정의층208은 평탄화 층204 위의 만곡부의 외부에 형성되어 있으며, 다수개의 발광 유닛206을 격리하게 한다. 화소 정의층208의 재료 및 형성방법은 상기 실시예와 동일하다.The
따라서 발광 유닛206내의 제1전극206a, 발광 구조206b 및 제2전극206c은 모두 만곡부204a과 대응되는 형상을 구비하고 있으며, 이러한 설치형태에 의해 발광 유닛206의 발광면적을 증가 시킬 수 있어 발광휘도를 향상시킬 수 있다.Therefore, the
하기, 도4를 참조하여 본 발명의 다른 한 실시예의 OLED 디스플레이 장치를 설명하기로 한다.An OLED display device according to another embodiment of the present invention will now be described with reference to FIG.
도4에 도시된 바와 같이, 해당 도면에서는 기판302를 구비하는 OLED 디스플레이 장치300를 나타내고 있다. 기판302의 재료 및 형성 방법은 상기 실시예와 동일하다.As shown in FIG. 4, an
기판302 위에 평탄화 층304를 설치한다. 평탄화 층304의 재료 및 형성방법은 상기 실시예와 동일하다.A
평탄화 층304 위에 다수개의 상호 격리된 만곡부304a가 설치되어 있으며, 만곡부304a는 다중 요철(凹凸)형 표면을 구비하고 있으며, 만곡부304a의 일 단면은 전체상에서 궁형윤곽을 갖는다. 만곡부304a는 예를 들어, 평탄화 층304에 대하여 포토에칭공정, 현상공정 혹은 에칭공정을 거친 후 베이킹 경화를 진행하여 형성될 수 있으며 그레이 스케일 마스크를 이용하여 포토에칭 혹은 에칭을 진행할 수 있다.A plurality of mutually isolated
평탄화 층304 위에 다수개의 발광 유닛306가 설치되어 있으며, 매개 발광 유닛306은 만곡부304a 위에 위치하여 있으며, 만곡부304a와 대응되는 형상을 구비하고 있다. 발광 유닛306은 제1전극306a, 발광 구조306b, 제2전극306c를 포함한다.A plurality of light emitting
제1전극306a은 대체로 평탄화 층 304의 만곡부304a을 커버하고 있으며, 평탄화 층304의 만곡부 304a에 대응되도록 제1전극306a도 만곡표면을 구비하고 있다. 제1전극306a의 재료 및 형성방법은 상기 실시예와 동일하다.The
제1전극306a 위에 발광 구조 306b 및 제2전극 306c가 설치되어 있으며, 평탄화 층304의 만곡부304a와 대응되도록 발광 구조306b 및 제2전극 306c는 모두 만곡표면을 구비하고 있다. 발광 구조306b 및 제2전극 306c의 재료 및 형성방법은 상기 실시예와 동일하다.The
평탄화 층304 위에 화소 정의층308이 더 설치되어 있으며, 만곡부 304a의 형상과 대응되는 제1전극 306a의 표면을 노출하고 있으며 화소 정의층308은 평탄화 층304 위의 만곡부 외부에 형성되어 있으며 다수개의 발광 유닛306을 격리하게 한다. 화소 정의층308의 재료 및 형성방법은 상기 실시예와 동일하다.A
따라서, 발광 유닛306내의 제1전극306a, 발광 구조306b 및 제2전극306c은 모두 만곡부304a과 대응되는 형상을 구비하고 있으며, 이러한 설치형태에 의해 발광 유닛306의 발광면적을 증가 시킬 수 있어 발광휘도를 향상시킬 수 있다.Accordingly, the
하기, 도5를 참조하여 본 발명의 한 실시예의 OLED 발광장치의 제조방법을 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of manufacturing an OLED light emitting device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
도5에 도시된 바와 같이, 우선, 평탄화 층을 기판 위에 형성한다. 기판은 유리, 플라스틱 혹은 세라믹으로 구성된 투명 절연 재료를 포함할 수 있다. 평탄화 층은 스핀코팅법에 의하여 형성될 수 있다. 평탄화 층의 재료는 포토레지스트 재료 혹은 스핀 온 글라스(spin on glass,SOG) 일 수 있다.As shown in Fig. 5, first, a planarization layer is formed on a substrate. The substrate may comprise a transparent insulating material composed of glass, plastic or ceramic. The planarization layer may be formed by spin coating. The material of the planarization layer may be a photoresist material or a spin on glass (SOG).
다음으로, 평탄화 층 위에 만곡부를 형성한다. 만곡부는 평탄화 층 위에 형성된 돌출부, 함몰부 혹은 다중 요철(凹凸)형 표면이며 만곡부의 일 단면은 전체상에서 궁형윤곽을 갖는다. 만곡부와 평탄화 층은 동일한 재료를 포함할 수 있거나 혹은 일체로 형성될 수 있다. 만곡부를 형성하는 구체적인 단계는 다음과 같은 단계를 포함할 수 있다. 평탄화 층 위에 포토레지스트층을 형성하며, 그레이 스케일 마스크를 이용하여 포토에칭과 현상공정에 의하여 포토레지스트층 내부에 개구를 형성하며, 다음으로 표면처리공정을 수행한다. 즉, 포토레지스트층을 스케일 마스크로 사용하여 포토레지스트층이 노출한 평탄화층의 표면에 대하여 베이킹 경화를 진행하여 표면처리하는 방식으로 상기 만곡부를 형성한다. 상기 표면처리공정은 예를 들어, 플라즈마 에칭공정 혹은 적절한 스케일 마스크 (예: 그레이 스케일 마스크)를 배합한 플라즈마 에칭공정일 수 있으나, 이들에 한정되는 것이 아니다. 예들 들어, 평탄화 층은 포토레지스트재료를 포함할 수 있으며 그레이 스케일 마스크를 이용하여 포토레지스트재료에 대하여 포토에칭공정을 수행한 후, 현상공정 및 베이킹 경화 공정을 수행하여 상기 만곡부를 형성할 수 있다. 그중 베이킹 경화는 150~350℃의 배소로에서 진행하여 포토레지스트를 평활하게 하여 평활한 요철곡면을 형성할 수 있는 것이 바람직하다.Next, a curved portion is formed on the planarization layer. The curved portion is a protruding portion formed on the flattening layer, a depressed portion or a multi-concave-convex surface, and one end face of the curved portion has an arch shape on the whole. The curved portion and the planarization layer may include the same material or may be integrally formed. The concrete steps of forming the curved portion may include the following steps. Forming a photoresist layer on the planarization layer, forming an opening in the photoresist layer by photoetching and development using a gray scale mask, and then performing a surface treatment process. That is, the curved portion is formed in such a manner that the surface of the planarizing layer exposed by the photoresist layer is subjected to baking hardening and surface treatment using the photoresist layer as a scale mask. The surface treatment process may be, for example, a plasma etching process or a plasma etching process in which an appropriate scale mask (e.g., a gray scale mask) is blended, but is not limited thereto. For example, the planarization layer may include a photoresist material, and the photoresist material may be subjected to a photoetching process using a gray scale mask, followed by a development process and a baking hardening process to form the curved portion. Among them, baking hardening is preferably carried out in a roasting furnace at 150 to 350 占 폚 to smooth the photoresist so as to form a smooth concave-convex curved surface.
그 다음으로, 만곡부 위에 제1전극을 형성하여 만곡부와 대응되는 형상을 구비하게 한다. 포토레지스트층을 제거한 후 평탄화 층의 표면에 한 층의 도전재료를 형성하여 상기 도전재료는 순응적으로 평탄화 층 위에 형성되며, 또한 만곡부에 삽입된다. 계속하여 포토에칭 및 에칭공정을 수행하여 이 층의 도전재료를 패터닝하여 평탄화 층의 부분 표면에 도전재료를 남기는 방식으로 발광장치의 제1전극을 형성한다. 제1전극은 대체로 평탄화 층의 만곡부를 커버하고 있으며 제1전극은 만곡부와 대응된 형상을 구비한다. 여기서, 제1전극이 포함하는 재료로서는 알루미늄, 은, 마그네슘, 팔라듐, 백금 등 금속재료; 혹은 인듐 주석 산화물, 인듐 아연 산화물, 알루미늄 아연 산화물 혹은 산화아연과 같은 금속산화물 등 투명재료가 있으며, 이들은 단독으로 사용하거나 조합하여 사용할 수 있다. 기기가 밑부분이 발광하고 제1전극106a은 알루미늄, 은, 마그네슘, 팔라듐, 백금 등 금속재료를 사용할 시, 50%보다 큰 투광률을 제공할 수 있도록 바람직하게 5~200Å의 두께를 가진다. 기기가 윗부분이 발광하고, 제1전극은 알루미늄, 은, 마그네슘, 팔라듐, 백금 등 금속재료 및 인듐 주석 산화물 (ITO), 인듐 아연 산화물(IZO), 알루미늄 아연 산화물 (AZO) 혹은 산화아연 (ZnO) 과 같은 금속산화물을 조합하여 사용할 시, 바람직하게 100~3000Å의 두께를 가진다. 이외, 제1전극106a의 도전재료는 스퍼터링법, 전자빔증착법, 열증착법, 화학기상증착법, 분무열분해법에 의해 형성될 수 있다.Next, a first electrode is formed on the curved portion to have a shape corresponding to the curved portion. After removal of the photoresist layer, a layer of conductive material is formed on the surface of the planarization layer such that the conductive material is conformally formed over the planarization layer and is also inserted into the curved portion. Subsequently, a photoetching and etching process is performed to pattern the conductive material of this layer to form the first electrode of the light emitting device in such a manner that the conductive material is left on the partial surface of the planarization layer. The first electrode substantially covers the curved portion of the planarization layer and the first electrode has a shape corresponding to the curved portion. Here, as the material of the first electrode, metal materials such as aluminum, silver, magnesium, palladium, and platinum; Or a metal oxide such as indium tin oxide, indium zinc oxide, aluminum zinc oxide, or zinc oxide. These materials may be used alone or in combination. The
다음으로, 평탄화 층 위에 화소 정의층을 형성한다. 화소 정의층은 인접한 만곡부 사이에 위치하고 있으며, 제1전극의 최소 부분 표면을 노출시킨다. 화소 정의층은 평탄화 층 위의 만곡부 외부에 위치하여 있으며, 다수개 발광 유닛을 격리하게 한다. 화소 정의층의 재료는 산화 실리콘, 질화 규소, 산질화규소, 유기 비전도 중합체일 수 있으며 혹은 이들의 조합일 수 있다. 이는 예를 들어 물리 기상 증착법(physical vapour deposition), 화학 기상 증착법(chemical vapour deposition) 및 스핀코팅법에 의해 형성될 수 있다. 그 후, 포토에칭, 에칭공정 및 포토레지스트 패턴의 이용에 의해 화소 정의층을 패터닝하여 양극의 만곡표면을 노출시킨다. Next, a pixel defining layer is formed on the planarization layer. The pixel defining layer is located between adjacent curved portions and exposes the least partial surface of the first electrode. The pixel defining layer is located outside the curved portion on the planarization layer and isolates a plurality of light emitting units. The material of the pixel defining layer may be silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, organic nonconductive polymer, or a combination thereof. This can be formed by, for example, physical vapor deposition, chemical vapor deposition and spin coating. Thereafter, the pixel defining layer is patterned by using photoetching, etching, and a photoresist pattern to expose the curved surface of the anode.
마지막으로, 순차로 제1전극 위에 발광구조 및 제2전극을 형성한다. 발광구조는 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 수송층, 정공 주입층을 포함하며, 포토에칭 및 에칭공정에 의해 적층된 발광구조 및 음극을 형성한다. 전자 주입층은 산화 리튬, 산화리튬붕소 (), 실리콘산화칼륨 (), 탄산 세슘 혹은 알칼리 금속 불화물인 예를 들어 불화 리튬, 불화칼륨, 불화 세슘 중의 하나일 수 있다. 전자 수송층은 비교적 높은 전자 이동도, 비교적 높은 유리 전이온도 및 열안전성을 구비하는 것을 필요로 하며, 열증착법에 의해 균일하고 미세공이 없는 박막을 형성할 수 있어야 한다. 상기 전자 수송층은 옥사졸 (oxazole, ) 유도체, 금속킬레이트 퀴놀린 유도체, 퀴녹살린 유도체, 페나진 (phenazine) 유도체, 페난트롤린(Phenanthroline) 유도체, 규소 함유 헤테로고리 화합물중의 하나이다. 발광층은 유기재료 혹은 무기재료를 포함할 수 있으며, 예를 들어 소분자 재료, 중합체 재료 혹은 유기금속착체 화합물일수 있다. 상기 발광층은 진공 열 증착, 스핀코팅, 잉크 제트, 레이저 전사 혹은 스크린 인쇄 등 방식으로 형성될 수 있다. 정공 수송층은 비교적 높은 전자 이동도, 비교적 높은 열안전성을 구비하는 것을 필요로 하며, 열증착법에 의해 균일하고 핀 홀이 없는 박막을 형성할 수 있어야 한다. 선택할 수 있는 정공 수송층 재료로서는 쌍결합된(Pairwise coupling) 디아민계 화합물인 예를 들어 TPD, TAPC, NPB, β-NPB, α-NPD; 트리페닐아민 화합물인 예를 들어 TDAB, TDAPB, PTDATA, spiro-mTTB; 혹은 일부의 트리아릴아민 중합체, 카바졸계 화합물중의 하나 일수 있다. 정공 주입층은 양극 및 인접한 정공 수송층과의 에너지 준위 정합도(matching degree)가 우수할 것을 필요로 하며, CuPc, TNATA, PEDOT일수 있지만 이에 한정되는 것이 아니다. 일종 시범적인 방안으로서는 정공 주입층은 P형 도핑구조를 사용할 수 있으며, 정공 수송 재료에 예들 들어 SbCl5, FeCl3, 요오드, F4-TCNQ 혹은 TBAHA와 같은 산화물을 도핑할 수 있다. 물론 양자샘구조 등 기타 임의의 정공 주입을 향상시킬 수 있는 구조를 사용할 수 있다. 제2전극의 도전재료로서는 알루미늄, 은, 마그네슘, 팔라듐, 백금 등 금속재료; 혹은 인듐 주석 산화물, 인듐 아연 산화물, 알루미늄 아연 산화물 혹은 산화아연과 같은 금속산화물 등 투명재료가 있으며, 이들을 단독으로 사용하거나 조합하여 사용할 수 있으며 스퍼터링법, 증착법 등에 의해 형성될 수 있다.Finally, the light emitting structure and the second electrode are sequentially formed on the first electrode. The light emitting structure includes an electron injection layer, an electron transporting layer, a light emitting layer, a hole transporting layer, and a hole injecting layer, and forms a light emitting structure and a cathode stacked by photoetching and etching processes. The electron injection layer may be formed of lithium oxide, lithium boron oxide ( ), Potassium silicon oxide ( ), Cesium carbonate, or an alkali metal fluoride, for example, lithium fluoride, potassium fluoride, or cesium fluoride. The electron transporting layer needs to have a relatively high electron mobility, a relatively high glass transition temperature, and thermal stability, and should be able to form a uniform and microporous film by thermal vapor deposition. The electron transport layer may include oxazole, ) Derivative, a metal chelate quinoline derivative, a quinoxaline derivative, a phenazine derivative, a phenanthroline derivative, and a silicon-containing heterocyclic compound. The light emitting layer may include an organic material or an inorganic material, and may be, for example, a small molecule material, a polymer material, or an organometallic complex compound. The light emitting layer may be formed by vacuum thermal deposition, spin coating, ink jet, laser transfer, screen printing, or the like. The hole transport layer needs to have a relatively high electron mobility and relatively high thermal stability, and should be able to form a uniform and pinhole-free thin film by thermal vapor deposition. Examples of the hole transporting material that can be selected include Pairwise coupling diamine compounds such as TPD, TAPC, NPB, beta-NPB, alpha -NPD; Triphenylamine compounds such as TDAB, TDAPB, PTDATA, spiro-mTTB; Or a part of triarylamine polymer or carbazole-based compound. The hole injection layer needs to have excellent energy level matching degree with the anode and the adjacent hole transporting layer, and may be CuPc, TNATA, PEDOT, but is not limited thereto. As a demonstration method, a hole injection layer can use a P-type doping structure, and a hole transport material can be doped with an oxide such as SbCl 5 , FeCl 3 , iodine, F 4 -TCNQ or TBAHA. Of course, a structure capable of improving the injection of any other hole, such as quantum well structure, can be used. As the conductive material of the second electrode, metal materials such as aluminum, silver, magnesium, palladium, and platinum; Or a metal oxide such as indium tin oxide, indium zinc oxide, aluminum zinc oxide, or zinc oxide. These materials can be used alone or in combination, and can be formed by a sputtering method, a vapor deposition method, or the like.
상기 구성에 의하여 본 발명은 발광 유닛과 평탄화 층의 접촉부 위에 만곡부를 설치하는 것을 통하여, 발광 유닛을 평탄화 표면으로부터 만곡 표면으로 변환시켜 유기 발광 다이오드의 개구율을 대폭적으로 향상시켜 발광면적을 대폭 증가시킴으로써 유기 발광 다이오드의 발광 휘도를 향상시키는 동시에 전력손실을 감소시키며 제품의 사용 수명을 연장할 수 있다 According to the present invention, by providing a curved portion on the contact portion between the light emitting unit and the planarizing layer, the light emitting unit is significantly changed from the planarizing surface to the curved surface to greatly increase the aperture ratio of the organic light emitting diode, The light emission brightness of the light emitting diode can be improved, the power loss can be reduced, and the service life of the product can be extended
당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서, 본 발명이 상술한 실시예는 단지 바람직한 실시예일뿐이며, 본 발명이 공개한 범위내에서의 각종 대체, 변환 및 개량을 진행할 수 있다. 따라서, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니며 특허 청구범위에 한정되는 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that the above-described embodiments of the present invention are merely preferred embodiments, and various substitutions, conversions, and improvements within the scope of the present invention can be carried out. Therefore, the present invention is not limited to the above embodiments, but is limited to the claims.
100, 200, 300: OLED 발광장치
1, 102, 202, 302: 기판
2, 104, 204, 304: 평탄화 층
104a, 204a, 304a: 만곡부
3, 106, 206, 306: 발광 유닛
106a, 206a, 306a: 제1전극
106b, 206b, 306b: 발광 구조
106c, 206c, 306c: 제2전극
4, 108, 208, 308: 화소 정의층100, 200, 300: OLED light emitting device
1, 102, 202, 302: substrate
2, 104, 204, 304: planarization layer
104a, 204a, 304a:
3, 106, 206, and 306:
106a, 206a, and 306a:
106b, 206b, and 306b:
106c, 206c, and 306c:
4, 108, 208, 308: pixel defining layer
Claims (10)
상기 기판 위에 위치하고 다수개의 상호 격리된 만곡부를 구비하는 평탄화 층;
상기 만곡부 위에 위치하고, 상기 만곡부와 대응되는 형상을 구비하고 있으며 상기 평탄화 층 위에 위치하는 다수개 발광유닛;을 포함하는 OLED 발광 장치에 있어서,
각 발광 유닛은,
제1전극;
상기 제1전극 위에 위치하는 발광구조;
상기 발광구조 위에 위치하는 제2전극을 포함하며,
상기 만곡부의 일 단면이 전체상에서 궁형윤곽을 갖는 OLED 발광 장치.
Board;
A planarization layer positioned over the substrate and having a plurality of mutually isolated bends;
And a plurality of light emitting units located on the curved portion and having a shape corresponding to the curved portion and located on the planarization layer,
Each of the light-
A first electrode;
A light emitting structure located on the first electrode;
And a second electrode overlying the light emitting structure,
And one end face of the curved portion has an arched contour on the whole.
인접한 상기 만곡부 사이에 위치하는 화소 정의층을 더 포함하는 OLED 발광 장치.
The method according to claim 1,
And a pixel defining layer located between the adjacent curved portions.
상기 만곡부와 상기 평탄화 층은 동일한 재료를 포함하고,
상기 만곡부와 상기 평탄화 층은 일체로 형성되는 OLED 발광 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the curved portion and the planarization layer comprise the same material,
Wherein the curved portion and the planarization layer are integrally formed.
상기 만곡부는 상기 평탄화 층에 형성된 함몰부인 것인 OLED 발광 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the curved portion is a depression formed in the planarization layer.
상기 만곡부는 다중 요철형 표면을 구비하는 OLED 발광 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the curved portion has a multi-concave-convex surface.
상기 평탄화 층 위에 다수개의 서로 격리된 만곡부를 형성하는 단계;
상기 만곡부 위에 제1전극을 형성하는 단계;
상기 제1전극 위에 발광구조 및 제2전극을 형성하는 단계;를 포함하며,
상기 만곡부의 일 단면이 전체상에서 궁형윤곽을 구비하는 OLED 발광장치의 제조방법.
Forming a planarization layer on the substrate;
Forming a plurality of mutually isolated curves on the planarization layer;
Forming a first electrode on the curved portion;
And forming a light emitting structure and a second electrode on the first electrode,
Wherein one end face of the curved portion has an arch shape on the whole.
상기 제1전극을 형성한 후에 화소 정의층을 형성하여 상기 화소 정의층이 상호 인접된 상기 만곡부 사이에 위치하여 상기 제1전극의 최소 부분 표면을 노출시키는 단계를 더 포함하는 OLED 발광장치의 제조방법.
The method according to claim 6,
Forming a pixel defining layer after forming the first electrode, and exposing a minimum partial surface of the first electrode, wherein the pixel defining layer is positioned between adjacent bent portions of the pixel defining layer .
상기 만곡부와 상기 평탄화 층은 동일한 재료를 포함하고,
상기 만곡부와 상기 평탄화 층은 일체로 형성되고,
상기 만곡부를 형성하는 단계는,
그레이 스케일 마스크를 이용하여 상기 평탄화 층에 대하여 포토에칭공정을 수행하는 단계;
상기 평탄화 층에 대하여 현상공정을 수행한 후 베이킹 경화를 진행하여 상기 만곡부를 획득하는 단계를 포함하는 OLED 발광장치의 제조방법.
The method according to claim 6,
Wherein the curved portion and the planarization layer comprise the same material,
Wherein the curved portion and the planarization layer are integrally formed,
Wherein forming the curved portion comprises:
Performing a photoetching process on the planarization layer using a gray scale mask;
And performing a bake hardening process on the planarization layer to obtain the curved portion.
상기 만곡부는 상기 평탄화 층에 형성된 함몰부이며,
상기 만곡부를 형성하는 단계는,
그레이 스케일 마스크를 이용하여 상기 평탄화 층에 대하여 포토에칭공정을 수행하는 단계;
상기 평탄화 층에 대하여 현상공정을 수행한 후 베이킹 경화를 진행하여 상기 만곡부를 획득하는 단계를 포함하는 OLED 발광장치의 제조방법.
The method according to claim 6,
Wherein the curved portion is a depression formed in the planarization layer,
Wherein forming the curved portion comprises:
Performing a photoetching process on the planarization layer using a gray scale mask;
And performing a bake hardening process on the planarization layer to obtain the curved portion.
상기 만곡부는 다중 요철형 표면을 구비하고,
상기 만곡부를 형성하는 단계는,
그레이 스케일 마스크를 이용하여 상기 평탄화 층에 대하여 포토에칭공정을 수행하는 단계;
상기 평탄화 층에 대하여 현상공정을 수행한 후 베이킹 경화를 진행하여 상기 만곡부를 획득하는 단계를 포함하는 OLED 발광장치의 제조방법.The method according to claim 6,
Wherein the curved portion has a multi-concave-convex surface,
Wherein forming the curved portion comprises:
Performing a photoetching process on the planarization layer using a gray scale mask;
And performing a bake hardening process on the planarization layer to obtain the curved portion.
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