JP2015207545A - Oled light emission device and manufacturing method for the same - Google Patents
Oled light emission device and manufacturing method for the same Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015207545A JP2015207545A JP2014166283A JP2014166283A JP2015207545A JP 2015207545 A JP2015207545 A JP 2015207545A JP 2014166283 A JP2014166283 A JP 2014166283A JP 2014166283 A JP2014166283 A JP 2014166283A JP 2015207545 A JP2015207545 A JP 2015207545A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- curved portion
- electrode
- layer
- light emitting
- light emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 63
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 39
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 16
- 238000011161 development Methods 0.000 claims description 9
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract 1
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 14
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 14
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 14
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 10
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 8
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 8
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 8
- JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dizinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].[Zn+2].[Zn+2] JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- -1 (IZO) Chemical class 0.000 description 6
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 6
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 6
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M caesium fluoride Chemical compound [F-].[Cs+] XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 4
- NROKBHXJSPEDAR-UHFFFAOYSA-M potassium fluoride Chemical compound [F-].[K+] NROKBHXJSPEDAR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- IXHWGNYCZPISET-UHFFFAOYSA-N 2-[4-(dicyanomethylidene)-2,3,5,6-tetrafluorocyclohexa-2,5-dien-1-ylidene]propanedinitrile Chemical compound FC1=C(F)C(=C(C#N)C#N)C(F)=C(F)C1=C(C#N)C#N IXHWGNYCZPISET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NSMJMUQZRGZMQC-UHFFFAOYSA-N 2-naphthalen-1-yl-1H-imidazo[4,5-f][1,10]phenanthroline Chemical compound C12=CC=CN=C2C2=NC=CC=C2C2=C1NC(C=1C3=CC=CC=C3C=CC=1)=N2 NSMJMUQZRGZMQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GMEQIEASMOFEOC-UHFFFAOYSA-N 4-[3,5-bis[4-(4-methoxy-n-(4-methoxyphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n,n-bis(4-methoxyphenyl)aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C=1C=C(C=C(C=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC(OC)=CC=1)C=1C=CC(OC)=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC(OC)=CC=1)C=1C=CC(OC)=CC=1)C1=CC=C(OC)C=C1 GMEQIEASMOFEOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKIJILZFXPFTO-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-[4-[1-[4-(4-methyl-n-(4-methylphenyl)anilino)phenyl]cyclohexyl]phenyl]-n-(4-methylphenyl)aniline Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C1(CCCCC1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC(C)=CC=1)C=1C=CC(C)=CC=1)C1=CC=C(C)C=C1 ZOKIJILZFXPFTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WCWDODKOBRPTFL-UHFFFAOYSA-N [Si]=O.[K] Chemical compound [Si]=O.[K] WCWDODKOBRPTFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001515 alkali metal fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- JYMITAMFTJDTAE-UHFFFAOYSA-N aluminum zinc oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Al+3].[Zn+2] JYMITAMFTJDTAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VMPVEPPRYRXYNP-UHFFFAOYSA-I antimony(5+);pentachloride Chemical compound Cl[Sb](Cl)(Cl)(Cl)Cl VMPVEPPRYRXYNP-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 2
- FJDQFPXHSGXQBY-UHFFFAOYSA-L caesium carbonate Chemical compound [Cs+].[Cs+].[O-]C([O-])=O FJDQFPXHSGXQBY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910000024 caesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000000609 carbazolyl group Chemical class C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3NC12)* 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- MORCTKJOZRLKHC-UHFFFAOYSA-N lithium;oxoboron Chemical compound [Li].O=[B] MORCTKJOZRLKHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BLFVVZKSHYCRDR-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-2-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-2-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=C2C=CC=CC2=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C3C=CC=CC3=CC=2)C=C1 BLFVVZKSHYCRDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 2
- 150000002988 phenazines Chemical class 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 235000003270 potassium fluoride Nutrition 0.000 description 2
- 239000011698 potassium fluoride Substances 0.000 description 2
- 150000003248 quinolines Chemical class 0.000 description 2
- 150000003252 quinoxalines Chemical class 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005118 spray pyrolysis Methods 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 238000010023 transfer printing Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000012769 display material Substances 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 125000005259 triarylamine group Chemical group 0.000 description 1
- ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N triphenylamine Chemical class C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
- H10K59/8051—Anodes
- H10K59/80515—Anodes characterised by their shape
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
- H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21S—NON-PORTABLE LIGHTING DEVICES; SYSTEMS THEREOF; VEHICLE LIGHTING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLE EXTERIORS
- F21S2/00—Systems of lighting devices, not provided for in main groups F21S4/00 - F21S10/00 or F21S19/00, e.g. of modular construction
- F21S2/005—Systems of lighting devices, not provided for in main groups F21S4/00 - F21S10/00 or F21S19/00, e.g. of modular construction of modular construction
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
- H10K59/8052—Cathodes
- H10K59/80521—Cathodes characterised by their shape
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/20—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning
- H10K71/231—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by etching of existing layers
- H10K71/233—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by etching of existing layers by photolithographic etching
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
- F21Y2105/00—Planar light sources
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
- F21Y2115/00—Light-generating elements of semiconductor light sources
- F21Y2115/10—Light-emitting diodes [LED]
- F21Y2115/15—Organic light-emitting diodes [OLED]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/875—Arrangements for extracting light from the devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
Description
本発明は、発光装置に関し、特にOLED発光装置及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a light emitting device, and more particularly to an OLED light emitting device and a manufacturing method thereof.
OLED(Organic Light Emitting Diode:有機発光ダイオード) は、有機電界発光装置であり、有機発光材料を透明陽極と金属反射陰極との間に挟み、有機薄膜に電圧を印加することにより発光させ、表示装置として用いてもよく、照明装置として用いてもよい。 An OLED (Organic Light Emitting Diode) is an organic electroluminescent device, in which an organic luminescent material is sandwiched between a transparent anode and a metal reflective cathode, and light is emitted by applying a voltage to an organic thin film to display the device. It may be used as a lighting device.
OLED の発光ユニットは、主に、金属陰極、電子注入層、電子輸送層、発光層、正孔輸送層、正孔注入層、及び透明陽極から構成される。OLED 発光面は、複数の有効発光ユニット及び画素定義層から構成したので、表面の全体が発光できるわけではないため、開口率の概念がある。開口率とは、有効発光ユニットの表面積と発光面の全面積の割合を意味する。通常、照明OLED製品の開口率が一般的に80%以上である。OLED表示製品については、その表面に画素定義層の他、画像蓄積容量とTFTともあるため、開口率は一般的に約50%程度である。 The light emitting unit of OLED mainly comprises a metal cathode, an electron injection layer, an electron transport layer, a light emitting layer, a hole transport layer, a hole injection layer, and a transparent anode. Since the OLED light emitting surface is composed of a plurality of effective light emitting units and a pixel definition layer, the entire surface cannot emit light, so there is a concept of an aperture ratio. The aperture ratio means the ratio of the surface area of the effective light emitting unit to the total area of the light emitting surface. Usually, the aperture ratio of the lighting OLED product is generally 80% or more. An OLED display product has an image storage capacitor and a TFT in addition to a pixel definition layer on the surface thereof, so that the aperture ratio is generally about 50%.
図1は、伝統のOLED発光装置の構成を示し、OLEDは、主に基板1、平坦化層2、発光ユニット3、及び画素定義層4を備えている。発光ユニット3と画素定義層4は、平坦化層2に配置され、発光ユニット3の表面は、平坦な表面である。
FIG. 1 shows a configuration of a traditional OLED light emitting device, and the OLED mainly includes a
OLEDの輝度を向上させるために、通常に用いられる方法は、有機材料の発光効率あるいは開口率を向上させる方法である。有機材料の発光効率を向上させるためには多くの試験を行う必要があって、最高の発光ディバイスの構成を最適化し、発光効率を向上させるためには限界がある。OLEDの開口率を向上させるためには、補助電極、TFT、電気容量などの発光しない面の面積を低減する必要がある。現在、一般的に、最高の開口率として約60%程度のみに達するしかないものの、OLEDは、常用の照明および表示材料として、その使用量が比較的に多いため、既存のOLEDの開口率は、使用の需要を満たすことができない。 In order to improve the brightness | luminance of OLED, the method normally used is a method of improving the luminous efficiency or aperture ratio of an organic material. In order to improve the luminous efficiency of the organic material, it is necessary to perform many tests, and there is a limit to optimize the configuration of the best light emitting device and improve the luminous efficiency. In order to improve the aperture ratio of the OLED, it is necessary to reduce the area of the non-light emitting surface such as the auxiliary electrode, the TFT, and the electric capacity. At present, although the maximum aperture ratio generally reaches only about 60%, OLED is used in a relatively large amount as an ordinary lighting and display material. Can not meet the demand for use.
また、OELDディスプレイパネルの解像度が高ければ高いほど、画素の開口面積がより小さくなり、画素の輝度も低減される。 In addition, the higher the resolution of the OELD display panel, the smaller the aperture area of the pixel and the lower the luminance of the pixel.
したがって、解像度を低下せずに、画素の輝度を向上させることができる装置および方法が必要となっている。 Therefore, there is a need for an apparatus and method that can improve pixel brightness without reducing resolution.
前記背景技術の部分で開示された上記の情報は、本発明の背景をよく理解するために用いられたものだけであり、したがって、当業者に知られた従来技術を構成しない情報を含んでもよい。 The above information disclosed in the background section is only used to better understand the background of the present invention, and may therefore contain information that does not constitute prior art known to those skilled in the art. .
発明の開示
上記の問題点に鑑みて、発明者らは、長期にわたって鋭意研究を重ねた結果、湾曲部が含まれる平坦化層を、発光ユニットと基板との間に配置することにより、発光面積を増加させ、発光強度を向上させることを見出した。
DISCLOSURE OF THE INVENTION In view of the above problems, the inventors have conducted extensive research over a long period of time, and as a result, by arranging a planarization layer including a curved portion between a light emitting unit and a substrate, a light emitting area. It was found that the emission intensity was increased by increasing the emission intensity.
本発明の一態様によれば、OLED発光装置であって、
基板と、
前記基板に配置され、且つ互いに間隔をあけた複数の湾曲部を有する平坦化層と、
前記平坦化層に配置される複数の発光ユニットと、を備え、
各発光ユニットは前記湾曲部に配置され且つ前記湾曲部に相応する形状を有し、
各発光ユニットは、第1電極と、前記第1電極に配置される発光構造と、前記発光構造に配置される第2電極と、を有し、
前記湾曲部の一断面が全体として弧状の輪郭を有する。
According to one aspect of the present invention, an OLED light emitting device comprising:
A substrate,
A planarizing layer disposed on the substrate and having a plurality of curved portions spaced from each other;
A plurality of light emitting units disposed on the planarization layer,
Each light emitting unit is disposed in the curved portion and has a shape corresponding to the curved portion,
Each light emitting unit has a first electrode, a light emitting structure disposed on the first electrode, and a second electrode disposed on the light emitting structure,
One section of the curved portion has an arcuate outline as a whole.
本発明のある実施形態によれば、さらに、隣り合う前記湾曲部同士の間に位置する画素定義層を含む。 According to an embodiment of the present invention, it further includes a pixel definition layer positioned between the adjacent curved portions.
本発明の他の実施形態によれば、前記湾曲部と前記平坦化層とが同一の材料を含み、前記湾曲部と前記平坦化層とが一体に形成される。 According to another embodiment of the present invention, the curved portion and the planarizing layer include the same material, and the curved portion and the planarized layer are integrally formed.
本発明の他の実施形態によれば、前記湾曲部が前記平坦化層に形成される窪みである。
本発明の他の実施形態によれば、前記湾曲部が多重の凹凸表面を有する。
According to another embodiment of the present invention, the curved portion is a recess formed in the planarizing layer.
According to another embodiment of the present invention, the curved portion has multiple uneven surfaces.
本発明の他の一態様によれば、OLED発光装置の製造方法であって、
基板に、平坦化層を形成し、
前記平坦化層に、互いに間隔をあけた複数の湾曲部を形成し、
前記湾曲部に、第1電極を形成し、
前記第1電極に、発光構造及び第2電極を形成する、ことを備え、
前記湾曲部の一断面が全体として弧状の輪郭を有する。
According to another aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an OLED light emitting device,
Forming a planarization layer on the substrate;
Forming a plurality of curved portions spaced apart from each other in the planarizing layer;
Forming a first electrode on the curved portion;
Forming a light emitting structure and a second electrode on the first electrode,
One section of the curved portion has an arcuate outline as a whole.
本発明に係る方法の他の実施形態によれば、さらに、前記第1電極を形成した後、画素定義層を形成し、前記画素定義層が隣り合う前記湾曲部同士の間に位置され、且つ前記第1電極の少なくとも表面の一部を露出させる。 According to another embodiment of the method of the present invention, after the first electrode is formed, a pixel definition layer is formed, the pixel definition layer is positioned between the adjacent curved portions, and At least a part of the surface of the first electrode is exposed.
本発明に係る方法の他の実施形態によれば、前記湾曲部と前記平坦化層とが同一の材料であり、
前記湾曲部と前記平坦化層とが一体に形成され、
前記湾曲部を形成するには、
グレースケールマスクを用いて、前記平坦化層に対してフォトリソグラフィー・プロセスを行い、
前記平坦化層に対して現像プロセスを行い、且つベーキング・硬化を行って前記湾曲部を得る、ことを備える。
According to another embodiment of the method according to the present invention, the curved portion and the planarizing layer are the same material,
The curved portion and the planarizing layer are integrally formed,
To form the curved portion,
Using a gray scale mask, a photolithography process is performed on the planarization layer,
A development process is performed on the planarizing layer, and baking and curing are performed to obtain the curved portion.
本発明に係る方法の他の実施形態によれば、前記湾曲部が前記平坦化層に形成された窪みであり、
前記湾曲部を形成するには、
グレースケールマスクを用いて、前記平坦化層に対してフォトリソグラフィー・プロセスを行い、
前記平坦化層に対して現像プロセスを行い、且つベーキング・硬化を行って前記湾曲部を得る、ことを備える。
According to another embodiment of the method according to the present invention, the curved portion is a depression formed in the planarizing layer,
To form the curved portion,
Using a gray scale mask, a photolithography process is performed on the planarization layer,
A development process is performed on the planarizing layer, and baking and curing are performed to obtain the curved portion.
本発明に係る方法の他の実施形態によれば、前記湾曲部が多重の凹凸表面を有し、
前記湾曲部を形成するには、
グレースケールマスクを用いて、前記平坦化層に対してフォトリソグラフィー・プロセスを行い、
前記平坦化層に対して現像プロセスを行い、且つベーキング・硬化を行って前記湾曲部を得る、ことを備える。
According to another embodiment of the method according to the present invention, the curved portion has multiple uneven surfaces,
To form the curved portion,
Using a gray scale mask, a photolithography process is performed on the planarization layer,
A development process is performed on the planarizing layer, and baking and curing are performed to obtain the curved portion.
本発明は、発光ユニットと平坦化層との接触している部位に湾曲部を配置し、発光ユニットを平坦な表面から湾曲表面に変更し、有機発光ダイオード(OLED)の開口率を大幅に向上させ、発光面積を増大することにより、有機発光ダイオードの発光輝度を向上させ、消費電力を低減し、そして製品の寿命を引き延ばす。 In the present invention, a curved portion is disposed at a portion where the light emitting unit and the planarizing layer are in contact with each other, and the light emitting unit is changed from a flat surface to a curved surface, thereby greatly improving the aperture ratio of the organic light emitting diode (OLED). By increasing the light emitting area, the light emitting luminance of the organic light emitting diode is improved, the power consumption is reduced, and the life of the product is extended.
以下、添付された図面を参照して、さらに実施形態を詳細に説明する。しかしながら、例示的な実施形態は様々な形で実施することができ、且つ本明細書に記載された実施形態のみに限定されると解釈すべきではなく、むしろ、これらの実施形態の提供により、本発明を全体的且つ完全的に開示されることでき、且つ例示的な本実施形態の構想を完全に当業者に伝えるようになっている。図においては、明らかするために、かかる領域及び層の厚さを誇張した。図面において、同一の符号は同一または類似の構造を示しているため、その詳細な説明を省略する。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the exemplary embodiments can be implemented in a variety of forms and should not be construed as limited to only the embodiments described herein, but rather by the provision of these embodiments, The present invention can be disclosed fully and completely, and the concept of this exemplary embodiment is completely communicated to those skilled in the art. In the figures, the thickness of such regions and layers is exaggerated for clarity. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or similar structures, and detailed descriptions thereof are omitted.
説明された特徴、構造、または特性は、何れの適宜な方式で1つ又はそれ以上の実施形態に組み合わせることができる。以下の説明において、本発明の実施形態を十分に理解できるように、多くの具体的な詳細が提供される。しかしながら、当業者は、前記の特定の詳細の1つまたは複数がなくて本発明に係る技術案を実施でき、または他の方法、コンポーネント、材料などを使用することもできることが理解できる。他の場合、本発明の各態様を不明瞭にすることを避けるため、周知の構造、材料、または動作に関する詳細な説明または表示を行わない。 The described features, structures, or characteristics may be combined in one or more embodiments in any suitable manner. In the following description, numerous specific details are provided to provide a thorough understanding of embodiments of the invention. However, one of ordinary skill in the art appreciates that the technical solution according to the present invention may be practiced without one or more of the specific details described above, or other methods, components, materials, etc. may be used. In other instances, detailed descriptions or representations of well-known structures, materials, or operations are not made in order to avoid obscuring aspects of the invention.
ここで、図2を参照して、本発明の一実施形態に係るOLED表示装置について説明する。 Here, with reference to FIG. 2, the OLED display device which concerns on one Embodiment of this invention is demonstrated.
図2に示すように、 OLED表示装置100は基板102を有する。基板102は、ガラス、プラスチック、またはセラミックスの透明絶縁材料を含むことができる。
As shown in FIG. 2, the
基板102に、平坦化層104が配置されている。平坦化層104は、例えば、スピンコート法により形成されることができる。平坦化層104の材料は、例えば、フォトレジスト材料、またはスピンオンガラス(spin on glass:SOG )であり、且つ、該材料は、いずれも、フォトリソグラフィー・プロセスに用いられることができる。
A
平坦化層104に、複数の互いに間隔をあけた湾曲部104aが配置され、湾曲部104aは平坦化層104に形成される凸出部であり、湾曲部104aの一断面が全体として弧状の輪郭を有する。湾曲部104aは、平坦化層104に対してフォトリソグラフィー、現像工程、またはエッチング工程を行い、ベーキング・硬化を行った後に形成されたものであってもよく、例えば、グレースケールマスクを用いてフォトリソグラフィーまたはエッチングを行ってもよい。湾曲部104aと平坦化層104は、同じ材料を含んでもよく、または一体的に形成されてもよい。湾曲部104aは、フォトレジスト材料を含んでもよい。
A plurality of
平坦化層104に複数の発光ユニット106が配置され、各発光ユニット106は、湾曲部104aに位置され且つ湾曲部104aに対応する形状を有する。発光部106は、第1電極106a、発光構造106b、及び第2電極106cを含む。
A plurality of light emitting
第1電極106aは、大体的に平坦化層104の湾曲部104aを被覆し、これにより、第1電極106aにも、平坦化層104の湾曲部104aに対応する湾曲表面を有する。第1電極は、陽極または陰極であってもよく、それに用いられる導電性材料として、例えば、アルミニウム、銀、マグネシウム、パラジウム、白金などの金属材料、または、酸化インジウムスズ(ITO)、酸化インジウム亜鉛(IZO)、酸化アルミニウム亜鉛(AZO)、または酸化亜鉛(ZnO)のような金属酸化物などの透光材料が挙げられ、それらは、単独で用いてもよく、または組み合わせて用いてもよい。デバイスがボトムエミッションである場合、第1電極106aは、例えばアルミニウム、銀、マグネシウム、パラジウム、白金のような金属材料を用いた時に、光透過率が50%を超えるように、5〜200オングストローム(A)の厚さを有することができる。デバイスがトップエミッションである場合、第1電極は、アルミニウム、銀、マグネシウム、パラジウム、白金などの金属材料、及び酸化インジウムスズ(ITO)、酸化インジウム亜鉛(IZO)、酸化アルミニウム亜鉛(AZO)、または酸化亜鉛(ZnO)の金属酸化物を組み合わせて用いてもよく、100〜3000オングストローム(A)の厚さを有することができる。また、第1電極106aの導電性材料は、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法、熱蒸着法、化学気相蒸着法、及び噴霧熱分解法により形成される。
The
第1電極106aには、発光構造106bと第2電極106cが配置され、発光構造106bと第2電極106cは、いずれも、平坦化層104の湾曲部104aに対応する湾曲表面を有する。
The
発光構造106bは、電子注入層、電子輸送層、発光層、正孔輸送層、及び正孔注入層を含んでもよく、その中、電子注入層は、酸化リチウム、酸化ホウ素リチウム、酸化ケイ素カリウム、炭酸セシウム、または、例えばフッ化リチウム、フッ化カリウム、フッ化セシウムのようなアルカリ金属フッ化物から選ばれる1種であってもよい。
The
電子輸送層は、より高い電子移動度、より高いガラス転移温度、及び熱安定性を有することが求められ、且つ熱蒸発によって均一で微孔のない薄膜を形成することができ、オキサゾール誘導体、金属キレート化合物キノリン誘導体、キノキサリン誘導体、フェナジン誘導体、フェナントロリン誘導体、シリコン含有複素環式化合物のいずれかの1つである。 The electron transport layer is required to have higher electron mobility, higher glass transition temperature, and thermal stability, and can form a uniform and microporous thin film by thermal evaporation. The chelate compound is one of a quinoline derivative, a quinoxaline derivative, a phenazine derivative, a phenanthroline derivative, and a silicon-containing heterocyclic compound.
発光層は、有機材料または無機材料を含んでもよく、例えば、低分子材料、ポリマー材料または有機金属錯体であり、熱真空蒸着、スピンコーティング、インクジェット、レーザー転写、またはスクリーン印刷などの手段により形成される。 The light emitting layer may include an organic material or an inorganic material, for example, a low molecular material, a polymer material, or an organometallic complex, and is formed by means such as thermal vacuum deposition, spin coating, ink jet, laser transfer, or screen printing. The
正孔輸送層は、より高い電子移動度および高い熱安定性を有し、且つ真空蒸着によってピンホールがない薄膜を形成できることが要求され、選択可能な正孔輸送材料は、例えば、TPD、TAPC、NPB、β−NPB、α−NPDのような対状カップリングしたジアミン系化合物であり、TDAB、TDAPB、PTDATA、spiro−mTTBのようなトリフェニルアミン化合物であり、または、あるトリアリールアミンポリマー、カルバゾール系化合物における1種である。 The hole transport layer is required to have a higher electron mobility and higher thermal stability and to form a pinhole-free thin film by vacuum deposition. Selectable hole transport materials include, for example, TPD, TAPC NPB, β-NPB, α-NPD coupled diamine compounds, TDAB, TDAPB, PTDATA, spiro-mTTB such as triphenylamine compounds, or some triarylamine polymers , One of carbazole compounds.
正孔注入層は、陽極及び隣り合う正孔輸送層とのエネルギー準位のマッチング度が良好であることが要求され、CuPc、TNATA、PEDOTであってもよいが、これらのみに限定されない。1つの例示的な形態では、正孔注入層がP型ドープ構造を用い、正孔輸送材料に対して例えばSbCl5、FeCl3、ヨウ素、F4−TCNQまたはTBAHAのような酸化剤をドープすることである。言うまでもなく、正孔注入を改善可能な構造であれば、量子井戸構造などの他の任意の構造を使用することができる。 The hole injection layer is required to have good matching of energy levels with the anode and the adjacent hole transport layer, and may be CuPc, TNATA, or PEDOT, but is not limited thereto. In one exemplary form, the hole injection layer uses a P-type doped structure and the hole transport material is doped with an oxidizing agent such as SbCl5, FeCl3, iodine, F4-TCNQ or TBAHA. . Needless to say, any other structure such as a quantum well structure can be used as long as the hole injection can be improved.
第2電極106cは、陰極または陽極であってもよく、それに用いられる導電性材料として、例えば、アルミニウム、銀、マグネシウム、パラジウム、白金のような金属材料、または、酸化インジウムスズ、酸化インジウム亜鉛、酸化アルミニウム亜鉛、または酸化亜鉛のような金属酸化物などの透光材料が挙げられ、それらは、単独で用いられてもよく、組み合わせて用いられてもよく、スパッタリングまたは蒸着などによって形成されてもよい。
The
平坦化層104にさらに画素定義層108が配置され、第1電極106aの曲面部104aに対応する表面を露出させる。画素定義層108の材料として、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、非導電性有機ポリマー、またはそれらの組み合わせが挙げられ、且つ物理的気相成長法、化学的気相成長法、及びスピンコート法により形成されることができる。画素定義層108は、平坦化層104上の湾曲部の外に位置され、且つ複数の発光ユニット106を隔離した。
A
このように、発光ユニット106における第1電極106a、発光構造106b、及び第2電極106cは、いずれも湾曲部104aに対応する形状を有しており、このような形態に設置することにより、発光ユニット106の発光面積を向上させることに寄与して発光輝度を高める。
As described above, each of the
ここで、図3を参照して、本発明に係る他の実施形態に係るOLED表示装置について説明する。 Here, an OLED display device according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
図3に示すように、 OLED表示装置200は基板202を有する。基板202の材料は、前記の実施形態と同じである。
As shown in FIG. 3, the
基板202に、平坦化層204が配置されている。平坦化層204の材料とその形成方法は、前記の実施形態と同じである。
A
平坦化層204に、複数の互いに間隔をあけた湾曲部204aが配置され、湾曲部204aが平坦化層204上に形成される窪み部であり、湾曲部204aの一断面が全体として弧状の輪郭を有する。湾曲部204aは、例えば平坦化層204にフォトレジストを塗布させ、フォトレジストに対してフォトリソグラフィー、現像工程、またはエッチング工程を行い、そしてベーキング・硬化を行った後に形成されてもよく、例えば、グレースケールマスクを用いてフォトリソグラフィーまたはエッチングを行ってもよい。
A plurality of
平坦化層204に複数の発光ユニット206が配置され、各発光ユニット206は、湾曲部204aに位置され且つ湾曲部204aに対応する形状を有する。発光部206は、第1電極206a、発光構造206b、及び第2電極206cを含む。
A plurality of light emitting
第1電極206aは、大体的に平坦化層204の湾曲部204aを被覆し、これにより、第1電極206aも、平坦化層204の湾曲部204aに対応する湾曲表面を有する。第1電極206aの材料とその形成方法は、前記の実施形態と同じである。
The
第1電極206aには、発光構造206bと第2電極206cが配置され、発光構造206bと第2電極206cは、いずれも、平坦化層204の湾曲部204aに対応する湾曲表面を有する。発光構造206b及び第2電極206cの材料とその形成方法は、前記の実施形態と同じである。
A
平坦化層204にさらに画素定義層208が配置され、第1電極206aの湾曲部204aの形状に対応する表面を露出させる。画素定義層208は、平坦化層204の湾曲部の外に位置しており、且つ複数の発光ユニット206を隔離する。画素定義層208の材料とその形成方法は、前記の実施形態と同じである。
A
このように、発光ユニット206における第1電極206a、発光構造206b、及び第2電極206cは、いずれも湾曲部204aに対応する形状を有しており、このような形態に設置することにより、発光ユニット206の発光面積を向上させることに寄与して発光輝度を高める。
As described above, each of the
ここで、図4を参照して、本発明に係る他の実施形態に係るOLED表示装置について説明する。 Here, an OLED display device according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
図4に示すように、 OLED表示装置300は基板302を有する。基板302の材料とその形成方法は、前記の実施形態と同じである。
As shown in FIG. 4, the
基板302に、平坦化層304が配置されている。平坦化層304の材料とその形成方法は、前記の実施形態と同じである。
A
平坦化層304に、複数の互いに間隔をあけた湾曲部304aが配置され、湾曲部304aが多重の凹凸表面を有し、湾曲部304aの一断面が全体として弧状の輪郭を有する。湾曲部304aは、平坦化層304に対してフォトリソグラフィー、現像工程、またはエッチング工程を行い、ベーキング・硬化を行った後に形成されたものであってもよく、例えば、グレースケールマスクを用いてフォトリソグラフィーまたはエッチングを行ってもよい。
A plurality of
平坦化層304に複数の発光ユニット306が配置され、各発光ユニット306は、湾曲部304aに位置され且つ湾曲部304aに対応する形状を有する。発光ユニット306は、第1電極306a、発光構造306b、及び第2電極306cを含む。
A plurality of light emitting
第1電極306aは、大体的に平坦化層304の湾曲部304aを被覆し、これにより、第1電極306aも、平坦化層304の湾曲部304aに対応する湾曲表面を有する。第1電極306の材料とその形成方法は、前記の実施形態と同じである。
The
第1電極306aには、発光構造306bと第2電極306cが配置され、発光構造306bと第2電極306cは、いずれも、平坦化層304の湾曲部304aに対応する湾曲表面を有する。発光構造306b及び第2電極306cの材料とその形成方法は、前記の実施形態と同じである。
The
平坦化層304にさらに画素定義層308が配置され、第1電極306aの湾曲部304aの形状に対応する表面を露出させる。画素定義層308は、平坦化層304の湾曲部の外に位置しており、且つ複数の発光ユニット306を隔離する。画素定義層308の材料とその形成方法は、前記の実施形態と同じである。
A
このように、発光ユニット306における第1電極306a、発光構造306b、及び第2電極306cは、いずれも湾曲部304aに対応する形状を有しており、このような形態に設置することにより、発光ユニット306の発光面積を向上させることに寄与して発光輝度を高める。
As described above, each of the
ここで、図5を参照して、本発明に係る方法の一実施形態によりOLED発光装置を製造することについて説明する。 Referring now to FIG. 5, the manufacturing of an OLED light emitting device according to an embodiment of the method according to the present invention will be described.
図5に示すように、まず、基板に平坦化層を形成する。基板は、ガラス、プラスチック、またはセラミックスの透明絶縁材料を含むことができる。平坦化層は、例えば、スピンコート法により形成されることができる。平坦化層の材料は、例えば、フォトレジスト材料、またはスピンオンガラス(spin on glass: SOG)である。 As shown in FIG. 5, first, a planarization layer is formed on the substrate. The substrate can include a transparent insulating material of glass, plastic, or ceramic. The planarization layer can be formed by, for example, a spin coating method. The material of the planarization layer is, for example, a photoresist material or spin on glass (SOG).
次に、平坦化層に湾曲部を形成する。湾曲部は、平坦化層に形成された突起部、窪み部であってもよく、または多重の凹凸表面を有してもよく、湾曲部の一断面が全体として弧状の輪郭を有する。湾曲部と平坦化層とは、同じ材料を含んでもよく、または一体的に形成されてもよい。湾曲部を形成する具体的な工程として、平坦化層にフォトレジスト層を形成し、そしてグレースケールマスクを用いてフォトリソグラフィー及び現像プロセスにより、フォトレジスト層に開口を形成し;表面処理プロセスを行い、フォトレジスト層をマスクとして用いて、フォトレジスト層に露出された平坦化層の表面に対して表面処理を行い、且つベーキング・硬化を行うことにより湾曲部を形成し、上記の表面処理プロセスは、例えば、プラズマエッチング・プロセス、または、適宜なマスク(例えば、グレースケール・マスク)を合わせたプラズマエッチング・プロセスなどの製作方法であるが、本発明はこれのみに限定されるものではない。例えば、平坦化層は、フォトレジスト材料を含んでもよく、グレースケールマスクを用い、フォトレジスト材料に対してフォトリソグラフィー・プロセスを行い、そして現像プロセスを行い、且つベーキング・硬化を行うことにより、前記湾曲部を得ることができる。その中、前記ベーキング・硬化は、フォトレジストを平らにすることで平滑な凹凸曲面を形成するように、150〜350℃のオーブンでベーキングすることが好ましい。 Next, a curved portion is formed in the planarizing layer. The curved portion may be a protrusion or a depression formed on the planarizing layer, or may have multiple uneven surfaces, and one section of the curved portion has an arcuate outline as a whole. The curved portion and the planarizing layer may include the same material or may be formed integrally. As a specific process for forming the curved portion, a photoresist layer is formed on the planarization layer, and an opening is formed in the photoresist layer by photolithography and development processes using a gray scale mask; a surface treatment process is performed. Using the photoresist layer as a mask, surface treatment is performed on the surface of the planarization layer exposed to the photoresist layer, and the curved portion is formed by baking and curing. For example, a manufacturing method such as a plasma etching process or a plasma etching process combined with an appropriate mask (for example, a gray scale mask) is used, but the present invention is not limited thereto. For example, the planarization layer may include a photoresist material, using a gray scale mask, performing a photolithography process on the photoresist material, performing a development process, and performing baking and curing, thereby A curved portion can be obtained. Among them, the baking / curing is preferably performed in an oven at 150 to 350 ° C. so as to form a smooth uneven surface by flattening the photoresist.
再び、第1電極を湾曲部に形成し、且つ湾曲部に対応する形状を有する。フォトレジスト層を除去した後、平坦化層の表面に1層の導電性材料が形成され、上記導電性材料は自然に平坦化層上に形成され、且つ湾曲部に充填され、次いで、この層の導電性材料をパターニングさせるように、フォトリソグラフィー及びエッチングプロセスを行い、平坦化層の表面の一部に導電性材料を残して発光装置の第1電極とする。第1電極は、大体的に平坦化層の湾曲部を被覆し、これにより、第1電極も、湾曲部に対応する形状を有する。ここで、第一電極の導電性材料として、例えば、アルミニウム、銀、マグネシウム、パラジウム、白金のような金属材料や、酸化インジウムスズ、酸化インジウム亜鉛、酸化アルミニウム亜鉛、または酸化亜鉛のような金属酸化物などの透光材料が挙げられ、これらは単独で又は組み合わせて使用することができる。デバイスがボトムエミッションである場合、第1電極106aは、アルミニウム、銀、マグネシウム、パラジウム、白金のような金属材料を用いた時、光透過率が50%を超えるように、5〜200オングストローム(A)の厚さを有することが好ましい。デバイスがトップエミッションである場合、第1電極は、アルミニウム、銀、マグネシウム、パラジウム、白金などの金属材料、及び酸化インジウムスズ(ITO)、酸化インジウム亜鉛(IZO)、酸化アルミニウム亜鉛(AZO)、または酸化亜鉛(ZnO)のような金属酸化物を組み合わせて用いてもよく、100〜3000オングストローム(A)の厚さを有することが好ましい。また、第1電極106aの導電性材料は、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法、熱蒸着法、化学気相蒸着法、及び噴霧熱分解法により形成されることができる。
Again, the first electrode is formed on the curved portion and has a shape corresponding to the curved portion. After removing the photoresist layer, a layer of conductive material is formed on the surface of the planarization layer, and the conductive material is naturally formed on the planarization layer and fills the curve, then this layer A photolithography and etching process is performed so as to pattern the conductive material, and the conductive material is left on a part of the surface of the planarization layer to form the first electrode of the light emitting device. The first electrode substantially covers the curved portion of the planarization layer, and thus the first electrode also has a shape corresponding to the curved portion. Here, as the conductive material of the first electrode, for example, a metal material such as aluminum, silver, magnesium, palladium, or platinum, or a metal oxide such as indium tin oxide, indium zinc oxide, aluminum zinc oxide, or zinc oxide. Examples thereof include translucent materials such as objects, and these can be used alone or in combination. When the device is bottom emission, the
続いて、平坦化層に画素定義層を形成し、画素定義層は、隣り合う湾曲部の間に位置され、且つ第1電極の少なくとも一部の表面を露出させる。画素定義層は、平坦化層の湾曲部の外に位置しており、且つ複数の発光ユニットを隔離する。画素定義層の材料は、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、非導電性有機ポリマー、またはそれらの組み合わせであってもよく、且つ物理的気相成長法、化学的気相成長法、及びスピンコート法により形成されることができる。その後、フォトリソグラフィー及びエッチング工程により、フォトレジストパーターンを用いて、当該画素定義層をパターニングさせて陽極の湾曲した表面を露出する。 Subsequently, a pixel definition layer is formed on the planarization layer, and the pixel definition layer is positioned between adjacent curved portions and exposes at least a part of the surface of the first electrode. The pixel definition layer is located outside the curved portion of the planarization layer and isolates the plurality of light emitting units. The material of the pixel definition layer may be, for example, silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, non-conductive organic polymer, or a combination thereof, and physical vapor deposition, chemical vapor deposition, And can be formed by spin coating. Thereafter, the pixel defining layer is patterned using a photoresist pattern by a photolithography and etching process to expose the curved surface of the anode.
最後に、第1電極に、発光構造及び第2電極を順次に形成する。発光構造は、電子注入層、電子輸送層、発光層、正孔輸送層、及び正孔注入層を含んでおり、フォトリソグラフィー及びエッチング工程により、積層の発光構造及び陰極を形成する。 電子注入層は、酸化リチウム、酸化ホウ素リチウム、酸化ケイ素カリウム、炭酸セシウム、または、アルカリ金属フッ化物、例えばフッ化リチウム、フッ化カリウム、フッ化セシウムから選ばれる1種であってもよい。電子輸送層は、より高い電子移動度、より高いガラス転移温度、及び熱安定性を有することが要求され、且つ熱蒸発によって均一で微孔がない薄膜を形成することができ、オキサゾール誘導体、金属キレート化合物キノリン誘導体、キノキサリン誘導体、フェナジン誘導体、フェナントロリン誘導体、シリコン含有複素環式化合物のいずれかの1つである。発光層は、有機材料または無機材料を含んでもよく、例えば、低分子材料、ポリマー材料または有機金属錯体であり、熱真空蒸着、スピンコーティング、インクジェット、レーザー転写、またはスクリーン印刷などの手段により形成される。正孔輸送層は、より高い電子移動度および高い熱安定性を有し、且つ真空蒸着によってピンホールがない薄膜が形成されることが要求され、選択可能な正孔輸送材料は、例えば、TPD、TAPC、NPB、β−NPB、α−NPDのような対状カップリングしたジアミン系化合物であり、TDAB、TDAPB、PTDATA、spiro−mTTBのようなトリフェニルアミン化合物であり、または、あるトリアリールアミンポリマー、カルバゾール系化合物における1種である。正孔注入層は、陽極及び隣り合う正孔輸送層とのエネルギー準位のマッチング度が良好であることが要求され、 CuPc、TNATA、PEDOTであってもよいが、これらのみに限定されない。1つの例示的な形態では、正孔注入層がP型ドープ構造を用い、正孔輸送材料に対して例えばSbCl5、FeCl3、ヨウ素、F4−TCNQまたはTBAHAのような酸化剤をドープする。言うまでもなく、正孔注入を改善可能な構造であれば、量子井戸構造などの他の任意の構造を使用することができる。第2電極の導電性材料は、例えば、アルミニウム、銀、マグネシウム、パラジウム、白金のような金属材料、または、酸化インジウムスズ、酸化インジウム亜鉛、酸化アルミニウム亜鉛、または酸化亜鉛のような金属酸化物などの透光材料が挙げられ、それらは、単独で用いてもよく、または組み合わせて用いてもよく、スパッタリングまたは蒸着などによって形成されてもよい。 Finally, a light emitting structure and a second electrode are sequentially formed on the first electrode. The light-emitting structure includes an electron injection layer, an electron transport layer, a light-emitting layer, a hole transport layer, and a hole injection layer, and a stacked light-emitting structure and a cathode are formed by photolithography and etching processes. The electron injection layer may be one selected from lithium oxide, lithium boron oxide, potassium silicon oxide, cesium carbonate, or an alkali metal fluoride such as lithium fluoride, potassium fluoride, and cesium fluoride. The electron transport layer is required to have higher electron mobility, higher glass transition temperature, and thermal stability, and can form a uniform and microporous thin film by thermal evaporation. The chelate compound is one of a quinoline derivative, a quinoxaline derivative, a phenazine derivative, a phenanthroline derivative, and a silicon-containing heterocyclic compound. The light emitting layer may include an organic material or an inorganic material, for example, a low molecular material, a polymer material, or an organometallic complex, and is formed by means such as thermal vacuum deposition, spin coating, ink jet, laser transfer, or screen printing. The The hole transport layer is required to have a higher electron mobility and high thermal stability and to form a thin film free of pinholes by vacuum deposition. Selectable hole transport materials are, for example, TPD , A pair-coupled diamine compound such as TAPC, NPB, β-NPB, α-NPD, a triphenylamine compound such as TDAB, TDAPB, PTDATA, spiro-mTTB, or some triaryl One of amine polymers and carbazole compounds. The hole injection layer is required to have a good energy level matching with the anode and the adjacent hole transport layer, and may be CuPc, TNATA, or PEDOT, but is not limited thereto. In one exemplary form, the hole injection layer uses a P-type doped structure and the hole transport material is doped with an oxidant such as, for example, SbCl5, FeCl3, iodine, F4-TCNQ, or TBAHA. Needless to say, any other structure such as a quantum well structure can be used as long as the hole injection can be improved. The conductive material of the second electrode is, for example, a metal material such as aluminum, silver, magnesium, palladium, or platinum, or a metal oxide such as indium tin oxide, indium zinc oxide, aluminum zinc oxide, or zinc oxide. These materials may be used alone, or may be used alone or in combination, and may be formed by sputtering or vapor deposition.
上記を纏めて言えば、本発明は、発光ユニットと平坦化層との接触している部位に湾曲部を配置し、発光ユニットを平坦な表面から湾曲表面に変更し、有機発光ダイオード(OLED)の開口率を大幅に向上させ、発光面積を増大することにより、有機発光ダイオードの発光輝度を向上させ、消費電力を低減し、そして製品の寿命を延ばした。 In summary, in the present invention, a curved portion is disposed at a portion where the light emitting unit and the planarizing layer are in contact with each other, and the light emitting unit is changed from a flat surface to a curved surface, thereby providing an organic light emitting diode (OLED). By significantly improving the aperture ratio and increasing the light emitting area, the light emitting luminance of the organic light emitting diode was improved, the power consumption was reduced, and the life of the product was extended.
当業者は、以下のようなことに留意すべきである。すなわち、本発明に係る実施形態は、単なる例示に過ぎず、本発明の範囲内において、様々な他の置換、変更および改良を行うことができる。したがって、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、特許の請求範囲のみによって限定されるものである。 Those skilled in the art should note the following. That is, the embodiments according to the present invention are merely examples, and various other substitutions, changes, and improvements can be made within the scope of the present invention. Accordingly, the present invention is not limited to the above-described embodiment, but is limited only by the scope of the claims.
100、200、300: OLED発光装置
1、102、202、302: 基板
2、104、204、304: 平坦化層
104a、204a、304a: 湾曲部
3、106、206、306: 発光ユニット
106a、206a、306a: 第1電極
106b、206b、306b: 発光構造
106c、206c、306c: 第2電極
4、108、208、308: 画素定義層
100, 200, 300: OLED light emitting
Claims (10)
前記基板に配置され、且つ互いに間隔をあけた複数の湾曲部を有する平坦化層と、
前記平坦化層に配置される複数の発光ユニットと、
を備え、
各発光ユニットは、前記湾曲部に配置され且つ前記湾曲部に相応する形状を有し、
各発光ユニットは、第1電極と、前記第1電極に配置される発光構造と、前記発光構造に配置される第2電極と、を含み、
前記湾曲部の一断面が全体として弧状の輪郭を有する、OLED発光装置。 A substrate,
A planarizing layer disposed on the substrate and having a plurality of curved portions spaced from each other;
A plurality of light emitting units disposed in the planarization layer;
With
Each light emitting unit is disposed in the curved portion and has a shape corresponding to the curved portion,
Each light emitting unit includes a first electrode, a light emitting structure disposed on the first electrode, and a second electrode disposed on the light emitting structure,
The OLED light-emitting device, wherein one section of the curved portion has an arcuate outline as a whole.
前記湾曲部と前記平坦化層とが一体に形成される、請求項1に記載のOLED発光装置。 The curved portion and the planarizing layer include the same material,
The OLED light-emitting device according to claim 1, wherein the curved portion and the planarizing layer are integrally formed.
前記平坦化層に、互いに間隔をあけた複数の湾曲部を形成し、
前記湾曲部に、第1電極を形成し、
前記第1電極に、発光構造及び第2電極を形成する、
ことを備え、
前記湾曲部の一断面が全体として弧状の輪郭を有する、OLED発光装置の制造方法。 Forming a planarization layer on the substrate;
Forming a plurality of curved portions spaced apart from each other in the planarizing layer;
Forming a first electrode on the curved portion;
Forming a light emitting structure and a second electrode on the first electrode;
Prepared
The manufacturing method of an OLED light-emitting device, wherein one section of the curved portion has an arcuate outline as a whole.
前記湾曲部と前記平坦化層とが一体に形成され、
前記湾曲部を形成するには、
グレースケールマスクを用いて、前記平坦化層に対してフォトリソグラフィー・プロセスを行い、
前記平坦化層に対して現像プロセスを行い、且つベーキング・硬化を行って、前記湾曲部を得る、
ことを備える、請求項6に記載の方法。 The curved portion and the planarizing layer include the same material,
The curved portion and the planarizing layer are integrally formed,
To form the curved portion,
Using a gray scale mask, a photolithography process is performed on the planarization layer,
A development process is performed on the planarizing layer, and baking and curing are performed to obtain the curved portion.
The method of claim 6, comprising:
前記湾曲部を形成するには、
グレースケールマスクを用いて、前記平坦化層に対してフォトリソグラフィー・プロセスを行い、
前記平坦化層に対して現像プロセスを行い、且つベーキング・硬化を行って前記の湾曲部を得る、
ことを備える、請求項6に記載の方法。 The curved portion is a depression formed in the planarizing layer;
To form the curved portion,
Using a gray scale mask, a photolithography process is performed on the planarization layer,
A development process is performed on the planarizing layer, and the curved portion is obtained by baking and curing.
The method of claim 6, comprising:
前記湾曲部を形成するには、
グレースケールマスクを用いて、前記平坦化層に対してフォトリソグラフィー・プロセスを行い、
前記平坦化層に対して現像プロセスを行い、且つベーキング・硬化を行って前記湾曲部を得る、
ことを備える、請求項6に記載の方法。 The curved portion has multiple uneven surfaces;
To form the curved portion,
Using a gray scale mask, a photolithography process is performed on the planarization layer,
A development process is performed on the planarizing layer, and the curved portion is obtained by baking and curing.
The method of claim 6, comprising:
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410155846.2 | 2014-04-17 | ||
CN201410155846.2A CN103928626A (en) | 2014-04-17 | 2014-04-17 | Oled light-emitting device and manufacturing method thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015207545A true JP2015207545A (en) | 2015-11-19 |
Family
ID=51146774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014166283A Pending JP2015207545A (en) | 2014-04-17 | 2014-08-19 | Oled light emission device and manufacturing method for the same |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015207545A (en) |
KR (1) | KR20150120311A (en) |
CN (1) | CN103928626A (en) |
TW (1) | TW201541629A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107819010A (en) * | 2016-09-13 | 2018-03-20 | 三星显示有限公司 | Display device |
WO2023275653A1 (en) * | 2021-06-30 | 2023-01-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Display device and method for producing display device |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104362257B (en) * | 2014-10-22 | 2017-10-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | A kind of top emission OLED device and preparation method thereof, display device |
CN104465708B (en) * | 2014-12-24 | 2017-10-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | A kind of array base palte and preparation method thereof and display device |
CN104952884B (en) * | 2015-05-13 | 2019-11-26 | 深圳市华星光电技术有限公司 | AMOLED back board structure and preparation method thereof |
US10243175B2 (en) * | 2016-02-02 | 2019-03-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting apparatus fabricated using a fluoropolymer and method of manufacturing the same |
CN105576145B (en) * | 2016-02-29 | 2018-11-30 | Tcl集团股份有限公司 | A kind of light emitting diode with quantum dots, display and preparation method |
CN106024807B (en) * | 2016-06-07 | 2019-11-29 | 上海天马有机发光显示技术有限公司 | A kind of display panel and preparation method thereof |
KR102423192B1 (en) * | 2017-09-06 | 2022-07-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | Foldable display apparatus and the manufacturing method thereof |
CN107731879A (en) * | 2017-10-31 | 2018-02-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | A kind of array base palte, preparation method, display panel and display device |
CN109192765A (en) * | 2018-09-17 | 2019-01-11 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | A kind of organic light emitting diode display and preparation method thereof |
US20200135799A1 (en) * | 2018-10-24 | 2020-04-30 | Innolux Corporation | Display device |
CN109638020A (en) * | 2018-12-06 | 2019-04-16 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | Display panel and preparation method thereof, display module |
CN109524448B (en) * | 2018-12-26 | 2020-11-24 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Flexible OLED display panel and preparation method thereof |
CN110071120A (en) * | 2019-04-16 | 2019-07-30 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Display panel and display device |
CN110649084B (en) * | 2019-10-12 | 2022-04-05 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Display panel and display device |
CN110752313B (en) * | 2019-10-30 | 2023-01-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | Display device, display panel and manufacturing method thereof |
CN111799384B (en) * | 2020-07-20 | 2023-11-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | Display panel, preparation method thereof and display device |
CN111862816B (en) | 2020-07-29 | 2023-08-18 | 视涯科技股份有限公司 | Display panel |
CN113990899A (en) * | 2021-09-28 | 2022-01-28 | 北海惠科光电技术有限公司 | Display panel preparation method and display panel |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005107327A1 (en) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Light-emitting display |
JP2005331665A (en) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Seiko Epson Corp | Electro-optical device, its manufacturing method, and electronic apparatus |
JP2008177169A (en) * | 2007-01-22 | 2008-07-31 | Toppoly Optoelectronics Corp | Organic electroluminescent display device and its manufacturing method |
JP2008311677A (en) * | 2004-08-31 | 2008-12-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Semiconductor device manufacturing method |
JP2010097697A (en) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Seiko Epson Corp | Organic el device and method of manufacturing the same, and electronic equipment |
JP2011228229A (en) * | 2010-04-23 | 2011-11-10 | Seiko Epson Corp | Organic electroluminescent device |
WO2012131288A1 (en) * | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Cambridge Display Technology Limited | Surface planarisation |
JP2013089293A (en) * | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Panasonic Corp | Manufacturing method of display panel and display panel |
JP2013140679A (en) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Ricoh Opt Ind Co Ltd | Organic el light source |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002008870A (en) * | 2000-06-20 | 2002-01-11 | Sony Corp | Display device |
JP2003243152A (en) * | 2002-02-18 | 2003-08-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | El display device and manufacturing method |
US6670772B1 (en) * | 2002-06-27 | 2003-12-30 | Eastman Kodak Company | Organic light emitting diode display with surface plasmon outcoupling |
CN1648733A (en) * | 2004-01-20 | 2005-08-03 | 鸿扬光电股份有限公司 | High light gain penetration reflective plate of liquid crystal display and its producing process |
US7812345B2 (en) * | 2008-02-28 | 2010-10-12 | Panasonic Corporation | Organic EL display panel |
JP2011018468A (en) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Sharp Corp | Organic el display device |
-
2014
- 2014-04-17 CN CN201410155846.2A patent/CN103928626A/en active Pending
- 2014-06-10 TW TW103120090A patent/TW201541629A/en unknown
- 2014-08-19 JP JP2014166283A patent/JP2015207545A/en active Pending
-
2015
- 2015-04-16 KR KR1020150053913A patent/KR20150120311A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005107327A1 (en) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Light-emitting display |
JP2005331665A (en) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Seiko Epson Corp | Electro-optical device, its manufacturing method, and electronic apparatus |
JP2008311677A (en) * | 2004-08-31 | 2008-12-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Semiconductor device manufacturing method |
JP2008177169A (en) * | 2007-01-22 | 2008-07-31 | Toppoly Optoelectronics Corp | Organic electroluminescent display device and its manufacturing method |
JP2010097697A (en) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Seiko Epson Corp | Organic el device and method of manufacturing the same, and electronic equipment |
JP2011228229A (en) * | 2010-04-23 | 2011-11-10 | Seiko Epson Corp | Organic electroluminescent device |
WO2012131288A1 (en) * | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Cambridge Display Technology Limited | Surface planarisation |
JP2013089293A (en) * | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Panasonic Corp | Manufacturing method of display panel and display panel |
JP2013140679A (en) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Ricoh Opt Ind Co Ltd | Organic el light source |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107819010A (en) * | 2016-09-13 | 2018-03-20 | 三星显示有限公司 | Display device |
CN107819010B (en) * | 2016-09-13 | 2023-09-01 | 三星显示有限公司 | Display apparatus |
US11895875B2 (en) | 2016-09-13 | 2024-02-06 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
WO2023275653A1 (en) * | 2021-06-30 | 2023-01-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Display device and method for producing display device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150120311A (en) | 2015-10-27 |
CN103928626A (en) | 2014-07-16 |
TW201541629A (en) | 2015-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2015207545A (en) | Oled light emission device and manufacturing method for the same | |
US9627645B2 (en) | Mask plate, organic light-emitting diode (OLED) transparent display panel and manufacturing method thereof | |
US8890136B2 (en) | Planar light emitting device | |
TWI520397B (en) | Organic light emitting diode | |
JP5543441B2 (en) | ORGANIC LIGHT EMITTING ELEMENT AND ITS MANUFACTURING METHOD, ORGANIC DISPLAY PANEL, ORGANIC DISPLAY DEVICE | |
WO2011024331A1 (en) | Light emitting element and method for producing the same, and light emitting device | |
JP5677434B2 (en) | Organic EL device | |
TW201607095A (en) | Organic light emtting device and method for manufacturing the same | |
JP2006030548A (en) | Optical substrate, light emitting element, display apparatus, and their manufacturing method | |
WO2015161584A1 (en) | Oled display and manufacturing method therefor | |
JP2008226718A (en) | Organic el device | |
WO2015149465A1 (en) | Woled back panel and manufacturing method therefor | |
JP6076685B2 (en) | Manufacturing method of light emitting module | |
JP6815294B2 (en) | Organic EL element and organic EL panel | |
WO2016188247A1 (en) | Oled device and preparation method therefor, and display apparatus | |
JP6387547B2 (en) | Organic EL device and method for producing the same, and method for forming metal oxide film | |
US9755162B2 (en) | Organic light emitting device and display device | |
JP5244378B2 (en) | Organic light emitting display | |
WO2015125308A1 (en) | Organic electroluminescent element, lighting apparatus, and lighting system | |
JP2009187697A (en) | Active matrix type organic el display device and its manufacturing method | |
JP2010033973A (en) | Organic electroluminescent element | |
JP2019091640A (en) | Organic el display panel, sticking sheet for window glass, and window glass | |
WO2015190550A1 (en) | Organic element | |
KR100866886B1 (en) | Method for manufacturing organic light emitting diode device | |
JP2010108652A (en) | Manufacturing method of organic electroluminescent element |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150825 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160628 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20161206 |